NAICS_1997 Data_type (ann. pay. and rec. ($000)) 98Total 98_E0 98_E1_4 98_E5_9 98_E10_19 98_EL20 98_E20_99 98_E100_499 98_EL500 98_E500+ 99 TOTAL 99_E0 99_E1_4 99_E5_9 99_E10_19 99_EL20 99_E20_99 99_E100_499 99_EL500 99_E500+ 00 TOTAL 00_E0 00_E1_4 00_E5_9 00_E10_19 00_EL20 00_E20_99 00_E100_499 00_EL500 00_E500+ 01 TOTAL 01_E0 01_E1_4 01_E5_9 01_E10_19 01_EL20 01_E20_99 01_E101_499 01_EL500 01_E500+ 02Total 02_E0 02_E1_4 02_E5_9 02_E10_19 02_EL20 02_E20_99 02_E100_499 02_EL500 02_E500+ --- firms 5579177 711899 2664452 1011849 600167 4988367 494357 80075 5562799 16378 5607743 709074 2680087 1012954 605693 5007808 501848 81347 5591003 16740 5652544 726862 2669870 1021210 617087 5035029 515977 84385 5635391 17153 5657774 703837 2697839 1019105 616064 5036845 518258 85304 5640407 17367 5697759 770041 2695606 1010804 613880 5090331 508249 82334 5680914 16845 --- estab. 6941822 713512 2669307 1025904 639805 5048528 674503 307294 6030325 911497 7008444 711990 2685788 1027212 643106 5068096 670822 309211 6048129 960315 7070048 730027 2675974 1035370 652461 5093832 674106 312112 6080050 989998 7095302 705612 2703984 1033719 650345 5093660 670477 315856 6079993 1015309 7200770 771135 2699380 1024081 652930 5147526 692775 332508 6172809 1027961 --- empl. 108117731 0 5584470 6643285 8047650 20275405 19377614 15411390 55064409 53053322 110705661 0 5606302 6652370 8129615 20388287 19703162 15637643 55729092 54976569 114064976 0 5592980 6708674 8285731 20587385 20276634 16260025 57124044 56940932 115061184 0 5630017 6698077 8274541 20602635 20370447 16410367 57383449 57677735 112400654 0 5697652 6639666 8246053 20583371 19874069 15908852 56366292 56034362 --- ann. pay. 3309405533 31634539 136798012 159689162 207062798 535184511 531231157 446353485 1512769153 1796636380 3554692909 34264682 143112925 166598812 217571005 561547424 564974625 474607339 1601129388 1953563521 3879430052 38594167 147581389 174383913 230564411 591123880 608446434 527544627 1727114941 2152315111 3989086323 34289996 153691559 178881075 236986003 603848633 624313095 539384914 1767546642 2221539681 3943179606 38127022 155662211 182383776 241410588 617583597 623716021 535749956 1777049574 2166130032 -- rec. 22062528196 215139058 937533365 888342543 1085595864 3126610830 2884696648 2547423855 8558731333 13503796863 11 firms 26619 4676 13020 4765 2486 24947 1333 226 26506 113 26259 4405 12957 4762 2460 24584 1331 226 26141 118 25450 4410 12410 4627 2367 23814 1315 224 25353 97 25802 4077 13246 4580 2268 24171 1325 219 25715 87 25828 4383 13020 4406 2339 24148 1380 205 25733 95 11 estab. 27292 4676 13026 4767 2494 24963 1424 345 26732 560 26926 4410 12961 4768 2472 24611 1414 348 26373 553 26076 4413 12417 4630 2378 23838 1394 417 25649 427 26447 4080 13256 4587 2284 24207 1419 413 26039 408 26552 4383 13026 4412 2362 24183 1493 376 26052 500 11 empl. 187149 0 26461 31113 32403 89977 46074 27696 163747 23402 192155 0 26320 31115 32090 89525 46800 26715 163040 29115 183565 0 25083 30354 31002 86439 46326 29065 161830 21735 183476 0 26567 30249 29920 86736 47780 29348 163864 19612 181162 0 26490 28813 30870 86173 48173 [k] [m] [j] 11 ann. pay. 4654305 131790 567760 685006 773105 2157661 1102727 581302 3841690 812615 4812649 143077 579362 709879 782861 2215179 1165380 588741 3969300 843349 4682533 126764 557253 692122 760171 2136310 1155392 651469 3943171 739362 4791849 110312 608405 727175 767892 2213784 1202366 674241 4090391 701458 4978291 124947 617729 704995 816319 2263990 1277033 (D) (D) (D) 11 rec. 25873138 961761 4251622 3526593 3597124 12337100 5864036 (D) (D) (D) 21 firms 19831 2000 9283 3163 2230 16676 2315 495 19486 345 18828 1998 9068 2861 2062 15989 2051 445 18485 343 18756 2161 8769 2861 2089 15880 2094 447 18421 335 19340 2293 8913 2926 2202 16334 2204 477 19015 325 18475 1905 8691 2825 2168 15589 2093 472 18154 321 21 estab. 24659 2009 9316 3251 2389 16965 2924 1231 21120 3539 23699 1999 9115 2943 2229 16286 2615 1168 20069 3630 23738 2163 8816 2941 2229 16149 2649 1185 19983 3755 24319 2295 8953 2989 2313 16550 2728 1174 20452 3867 23871 1905 8722 2895 2325 15847 2734 1354 19935 3936 21 empl. 497849 0 18699 20804 29626 69129 86207 63861 219197 278652 456645 0 18064 18683 27328 64075 74649 57327 196051 260594 456128 0 17708 18874 28024 64606 76770 59098 200474 255654 485565 0 18098 19305 29461 66864 81720 65955 214539 271026 465775 0 17764 18654 28971 65389 76861 62045 204295 261480 21 ann. pay. 21941916 119745 509869 621338 953689 2204641 3057149 2754914 8016704 13925212 20975962 134384 522321 595841 946979 2199525 2849056 2504650 7553231 13422731 22091246 127476 550268 656238 1030431 2364413 3083379 2877049 8324841 13766405 25014357 224568 610528 716323 1131846 2683265 3436060 3366413 9485738 15528619 23961694 118519 599532 680717 1125226 2523994 3290541 3094101 8908636 15053058 21 rec. 237573062 568372 3961163 3992179 5265590 13787304 16127191 19473647 49388142 188184920 22 firms 6603 425 3335 991 483 5234 870 267 6371 232 6663 467 3337 1009 495 5308 868 261 6437 226 7022 560 3401 1138 546 5645 888 274 6807 215 7283 561 3586 1172 574 5893 904 272 7069 214 7603 578 3747 1310 579 6214 901 288 7403 200 22 estab. 15895 426 3338 1003 534 5301 1393 1039 7733 8162 16578 471 3340 1014 541 5366 1391 1016 7773 8805 17301 560 3403 1142 593 5698 1385 1029 8112 9189 17702 562 3591 1176 619 5948 1389 1001 8338 9364 18432 580 3751 1323 641 6295 1423 1126 8844 9588 22 empl. 682227 0 7320 6362 6364 20046 38127 45337 103510 578717 667062 0 7333 6412 6443 20188 38201 43966 102355 564707 655230 0 7524 7196 7199 21919 39078 43739 104736 550494 654484 0 7954 7452 7609 23015 39840 43115 105970 548514 648254 0 8437 8156 7664 24257 39391 46942 110590 537664 22 ann. pay. 38097227 72549 132273 164765 230928 600515 1554292 2098264 4253071 33844156 39354990 172656 145359 171999 240267 730281 1580019 2067140 4377440 34977550 40650836 52657 147365 185920 260096 646038 1655283 2157831 4459152 36191684 41942303 43397 174593 205584 284148 707722 1793594 2174784 4676100 37266203 41844745 89332 177645 203208 304747 774932 1812597 2430022 5017551 36827194 22 rec. 396076643 295564 2727384 1372508 4857911 9253367 24518551 25257696 59029614 337047029 23 firms 686250 106286 335741 119962 68366 630355 49595 5423 685373 877 691490 100214 337077 123163 71264 631718 52845 5980 690543 947 701947 101506 338320 125497 73806 639129 55431 6381 700941 1006 691110 98837 340157 121107 70378 630479 53223 6379 690081 1029 701449 117278 337620 118272 69482 642652 51816 5988 700456 993 23 estab. 693018 106296 335758 119992 68487 630533 50254 6752 687539 5479 698541 100221 337096 123189 71367 631873 53508 7311 692692 5849 709590 101518 338340 125522 73906 639286 56044 7701 703031 6559 698898 98842 340184 121145 70486 630657 53807 7736 692200 6698 710325 117284 337644 118313 69605 642846 52788 7733 703367 6958 23 empl. 5798942 0 701180 784362 914506 2400048 1838353 881538 5119939 679003 6201626 0 707276 805416 952853 2465545 1977067 984231 5426843 774783 6572800 0 713245 820754 988547 2522546 2077191 1075331 5675068 897732 6491994 0 711476 792231 941570 2445277 2007060 1074961 5527298 964696 6307370 0 714678 774273 929557 2418508 1945717 997120 5361345 946025 23 ann. pay. 198547023 3777345 17369938 20651388 27664897 69463568 65268790 34863894 169596252 28950771 219087088 3937686 18267316 21941451 29767230 73913683 72212981 39833458 185960122 33126966 239910149 3904441 18615681 22619325 31431490 76570937 77786601 44632067 198989605 40920544 247211475 3892792 19356224 23027863 31633913 77910792 78732907 46320394 202964093 44247382 247302462 4867116 19707586 23395508 31975282 79945492 78561820 44262856 202770168 44532294 23 rec. 1177543687 35402528 128343179 107665441 134820565 406231713 333023552 196574115 935829380 241714307 31 firms 318537 24419 96995 58435 50971 230820 66342 16537 313699 4838 311902 23215 96474 57378 49427 226494 64510 16149 307153 4749 306303 22701 93700 56503 48689 221593 63860 16186 301639 4664 305160 21397 95906 56560 48321 222184 62851 15592 300627 4533 297873 21731 97197 55597 46851 221376 58198 14124 293698 4175 31 estab. 366443 24432 97025 58510 51254 231221 70286 26364 327871 38572 360244 23256 96532 57458 49696 226942 68226 25917 321085 39159 354498 22727 93749 56586 48950 222012 67334 25765 315111 39387 352619 21415 95956 56662 48612 222645 66446 24960 314051 38568 344341 21761 97232 55702 47200 221895 62443 23727 308065 36276 31 empl. 16946142 0 220180 391330 696697 1308207 2746971 2959622 7014800 9931342 16659930 0 218573 383927 674763 1277263 2668347 2895729 6841339 9818591 16473994 0 212012 378325 665739 1256076 2646829 2898980 6801885 9672109 15950424 0 216027 379061 660566 1255654 2601404 2780908 6637966 9312458 14393609 0 219951 372245 639036 1231232 2375691 2488018 6094941 8298668 31 ann. pay. 607342407 2160387 5095400 9640742 19188386 36084915 83491454 94511498 214087867 393254540 625536131 2310059 5339105 9851624 19297770 36798558 84630666 96704928 218134152 407401979 643953798 2082255 5374933 10093761 19774761 37325710 86915098 101758644 225999452 417954346 617699378 1977050 5568076 10180298 19544081 37269505 85060888 97400815 219731208 397968170 580356005 2231805 5823048 10533204 19888764 38476821 82257351 91152085 211886257 368469748 31 rec. 3937164576 15166970 27659982 44184220 80892263 167903435 346024892 460526128 974454455 2962710121 42 firms 363454 35734 162846 66647 45603 310830 41398 7921 360149 3305 358564 35593 160579 65262 44876 306310 41098 7855 355263 3301 354153 34570 157498 64659 44868 301595 41254 8004 350853 3300 346027 32893 153578 63277 44066 293814 40906 8052 342772 3255 345309 36273 155641 61383 42185 295482 39081 7633 342196 3113 42 estab. 453987 35837 163232 67818 49105 315992 58200 24738 398930 55057 450030 35726 161029 66460 48307 311522 56907 24712 393141 56889 446237 34706 158015 65843 48066 306630 56106 25150 387886 58351 438924 33036 154095 64458 47176 298765 55393 25155 379313 59611 436900 36346 156014 62774 45814 300948 56094 25386 382428 54472 42 empl. 5885230 0 344999 439225 609405 1393629 1494655 961569 3849853 2035377 5972022 0 339734 430197 600062 1369993 1494659 969625 3834277 2137745 6112029 0 333624 426651 599945 1360220 1510645 1015656 3886521 2225508 6142089 0 325134 417276 589477 1331887 1496448 1036659 3864994 2277095 5860256 0 328268 405002 564680 1297950 1421086 960457 3679493 2180763 42 ann. pay. 233924453 1790300 11468128 14497589 21149479 48905496 53715118 36755618 139376232 94548221 249997598 1971083 11694828 14859841 21715686 50241438 55928538 38126955 144296931 105700667 270122206 1913436 11991282 15350997 22569432 51825147 59560471 42349556 153735174 116387032 275899416 1903754 11766694 15156046 22361803 51188297 59408971 43121196 153718464 122180952 262527777 2115009 11732306 15068654 22017958 50933927 58081905 41274788 150290620 112237157 42 rec. 4490066075 27375163 197519021 201079536 253844438 679818158 643778390 527668937 1851265485 2638800590 44 firms 738890 76244 346480 157456 87409 667589 60418 8484 736491 2399 730303 76927 341133 154108 86704 658872 60398 8626 727896 2407 731444 79404 337493 153834 88036 658767 61308 8957 729032 2412 735135 79965 342277 153074 87606 662922 60957 8839 732718 2417 736130 85489 343608 150478 85819 665394 59639 8723 733756 2374 44 estab. 1113851 76515 347650 161031 98441 683637 102827 52163 838627 275224 1111260 77595 342496 157818 97044 674953 99733 52708 827394 283866 1113573 80059 339020 157619 97737 674435 97703 52214 824352 289221 1119950 80273 343744 157137 96994 678148 96172 51411 825731 294219 1125693 85730 344450 153900 96305 680385 98116 51814 830315 295378 44 empl. 14241512 0 766001 1033800 1147141 2946942 2227794 1215103 6389839 7851673 14476628 0 753552 1012670 1139663 2905885 2235163 1241089 6382137 8094491 14840775 0 746485 1010640 1159120 2916245 2279862 1295499 6491606 8349169 14890289 0 754199 1005739 1153546 2913484 2264439 1284481 6462404 8427885 14819904 0 771070 987573 1130838 2889481 2204104 1267733 6361318 8458586 44 ann. pay. 260349716 2125506 11934308 17070495 21334124 52464433 53637808 29919297 136021538 124328178 281946316 2566124 12417052 17642944 22174067 54800187 56427774 32454924 143682885 138263431 302552506 2620263 12713042 18123082 23218318 56674705 58906964 35766023 151347692 151204814 314756961 2540657 13338720 18569351 23848423 58297151 60680110 36912078 155889339 158867622 320707026 2683505 13673540 18972304 24053861 59383210 60539727 37139109 157062046 163644980 44 rec. 3134452697 33261163 150145969 161071445 190023515 534502092 574415110 382843754 1491760956 1642691741 48 firms 154715 23532 73714 23330 15637 136213 14598 2794 153605 1110 155170 21938 75248 23405 15836 136427 14836 2769 154032 1138 157333 22985 75422 23693 16098 138198 15162 2829 156189 1144 157197 21685 77016 23504 16004 138209 15038 2836 156083 1114 159373 23869 78316 23082 15723 140990 14549 2682 158221 1152 48 estab. 186364 23545 73842 23533 16251 137171 17979 8304 163454 22910 187339 21965 75324 23576 16433 137298 17997 8222 163517 23822 190044 23013 75506 23895 16608 139022 18168 7946 165136 24908 190683 21723 77099 23721 16510 139053 17884 7876 164813 25870 195143 23922 78375 23268 16330 141895 18180 8299 168374 26769 48 empl. 3462624 0 144129 153218 210217 507564 559665 439671 1506900 1955724 3627057 0 146234 153810 213369 513413 570767 439989 1524169 2102888 3790002 0 146606 155543 217112 519261 582262 454573 1556096 2233906 3750663 0 148718 154340 215732 518790 577811 461137 1557738 2192925 3581013 0 152338 151462 211781 515581 555230 420523 1491334 2089679 48 ann. pay. 108597481 775744 3213273 3557815 5151146 12697978 14700366 12667577 40065921 68531560 116682214 846683 3359480 3702251 5424988 13333402 15534217 13124426 41992045 74690169 125592421 828160 3425866 3851248 5603141 13708415 16373144 13911158 43992717 81599704 129506183 796764 3575336 3892125 5726879 13991104 16390516 14313279 44694899 84811284 127251855 1082649 3694719 3976671 5780843 14534882 16475462 13597820 44608164 82643691 48 rec. 499222123 5978016 20487795 17717846 23757691 67941348 60048231 47725736 175715315 323506808 51 firms 75299 12199 30762 12172 8916 64049 8373 1908 74330 969 77052 13053 31572 12096 8954 65675 8439 1923 76037 1015 79565 13051 32417 12592 9219 67279 9098 2094 78471 1094 77459 11272 32537 12294 9051 65154 9038 2134 76326 1133 77605 12328 33677 11817 8476 66298 8276 1955 76529 1076 51 estab. 120635 12243 30816 12332 9257 64648 10425 5553 80626 40009 126510 13148 31642 12220 9276 66286 10247 5462 81995 44515 133590 13129 32507 12718 9559 67913 10781 5474 84168 49422 137293 11310 32609 12446 9408 65773 10606 5536 81915 55378 138590 12338 33730 11965 8996 67029 10937 5780 83746 54844 51 empl. 3142024 0 63275 80724 119839 263838 320813 318542 903193 2238831 3234530 0 64422 79793 120692 264907 325823 322761 913491 2321039 3545731 0 66908 83279 124551 274738 358301 363472 996511 2549220 3754698 0 66442 81284 122454 270180 357581 367236 994997 2759701 3536120 0 68184 78298 114413 260895 319308 323800 904003 2632117 51 ann. pay. 146824689 1154538 2647643 2516727 3963523 10282431 12078594 14525588 36886613 109938076 170282356 1661773 2805283 2648689 4284898 11400643 13688908 16431139 41520690 128761666 209393800 2101891 2970359 3020443 4813420 12906113 16765223 22180082 51851418 157542382 207124226 1337189 2933097 2792728 4541224 11604238 15861816 18720410 46186464 160937762 188076999 1238967 3005067 2773737 4411049 11428820 14635738 16416349 42480907 145596092 51 rec. 870104283 4761652 11212585 10292059 14835973 41102269 46421133 54788035 142311437 727792846 52 firms 222005 25403 129088 31587 15616 201694 15107 3564 220365 1640 223535 24174 130505 32247 15952 202878 15378 3616 221872 1663 227034 26785 131450 32555 15817 206607 15171 3626 225404 1630 230595 25998 134815 33227 16095 210135 15197 3654 228986 1609 237883 29157 138235 33597 16133 217122 15149 3861 236132 1751 52 estab. 412416 25455 129412 32853 19118 206838 33308 25801 265947 146469 418337 24306 130850 33462 19075 207693 32410 25889 265992 152345 423727 26898 131927 33737 18772 211334 30889 25719 267942 155785 425028 26065 135206 34367 18881 214519 30307 26969 271795 153233 450422 29232 138516 34702 19721 222171 34952 31855 288978 161444 52 empl. 5770339 0 261918 202772 208236 672926 604343 603366 1880635 3889704 5965174 0 265973 206752 212337 685062 616781 614362 1916205 4048969 5963426 0 267849 208348 210513 686710 606867 620697 1914274 4049152 6248400 0 274736 212535 214116 701387 609248 630378 1941013 4307387 6414583 0 281524 215275 214035 710834 600345 652114 1963293 4451290 52 ann. pay. 290008843 1520940 7956348 7948582 9541210 26967080 26771742 27504705 81243527 208765316 313245188 1590129 8192811 8300188 9965781 28048909 27949601 29051160 85049670 228195518 346805452 2184142 8758846 8746377 10622883 30312248 29964626 33202192 93479066 253326386 373569819 1583026 9253130 9210496 11369156 31415808 32389959 33794842 97600609 275969210 372656276 1972594 9767809 9541413 11589275 32871091 32881553 36553830 102306474 270349802 52 rec. 2761952444 9947876 42038234 30731180 38734326 121451616 131472946 223074945 475999507 2285952937 53 firms 242497 33690 146819 32622 15352 228483 10446 2267 241196 1301 242838 33067 147651 32727 15384 228829 10441 2292 241562 1276 244513 34512 147681 32491 15465 230149 10742 2355 243246 1267 247582 35105 149762 32863 15323 233053 10927 2385 246365 1217 259846 41750 155205 32907 15651 245513 10659 2403 258575 1271 53 estab. 292450 33798 147225 33743 18045 232811 18698 10352 261861 30589 298080 33229 148132 33838 17773 232972 18088 10062 261122 36958 300177 34666 148164 33464 17766 234060 17491 10460 262011 38166 307003 35215 150222 33846 17428 236711 17566 11075 265352 41651 323024 41819 155502 33956 18134 249411 18570 11918 279899 43125 53 empl. 1812728 0 278935 209538 199559 688032 364808 255218 1308058 504670 1873792 0 280721 209935 200503 691159 365708 266794 1323661 550131 1942046 0 281120 209085 201539 691744 379343 286773 1357860 584186 2013673 0 283367 211422 200063 694852 388140 297915 1380907 632766 2017347 0 297796 211866 204509 714171 375560 297299 1387030 630317 53 ann. pay. 49888042 1220396 6208961 4827381 5101927 17358665 9887517 7453832 34700014 15188028 54095260 1283102 6568244 5086995 5300248 18238589 10505464 8128508 36872561 17222699 59212092 1417770 6863782 5313585 5592611 19187748 11408118 9243124 39838990 19373102 64009540 1400921 7304761 5728496 5838218 20272396 11939305 9946224 42157925 21851615 65241211 1636659 7644202 5956327 6173093 21410281 12017348 10063814 43491443 21749768 53 rec. 350549955 9857708 54535376 33882799 30931074 129206957 51037244 39421328 219665529 130884426 54 firms 641621 96052 362486 93638 49272 601448 32770 5240 639458 2163 654464 95185 369819 95545 51261 611810 34973 5415 652198 2266 670099 101790 371642 98278 53176 624886 37054 5812 667752 2347 682278 99441 381588 99645 54576 635250 38425 6178 679853 2425 708000 112810 394497 99931 54581 661819 37592 6103 705514 2486 54 estab. 687992 96102 362779 94431 51433 604745 42080 14570 661395 26597 704779 95387 370136 96315 53285 615123 43817 14740 673680 31099 722698 101935 371994 99070 55217 628216 45377 15633 689226 33472 736454 99540 381988 100481 56515 638524 46326 16013 700863 35591 772365 112880 394719 100741 57210 665550 49020 17204 731774 40591 54 empl. 6052365 0 697631 609665 653036 1960332 1210239 840861 4011432 2040933 6432422 0 710573 622465 680510 2013548 1296897 879193 4189638 2242784 6816216 0 715763 640070 706137 2061970 1383599 962674 4408243 2407973 7156579 0 734101 649577 726768 2110446 1444537 1034036 4589019 2567560 7046205 0 761339 652247 725647 2139233 1392001 991770 4523004 2523201 54 ann. pay. 277676568 4828230 23908940 22048483 27040826 77826479 59211329 42538851 179576659 98099909 311238501 5328055 25468046 23292034 29179029 83267164 65866060 46471196 195604420 115634081 362008229 6472194 26729616 25096627 31763462 90061899 75082116 58381734 223525749 138482480 374409080 5628546 27601853 25551817 32937847 91720063 77270083 60716915 229707061 144702019 368778137 6121324 28213893 26403647 33437505 94176369 75586019 57920750 227683138 141094999 54 rec. 944065638 19952768 95612258 72560946 81978097 270104069 170494273 129881263 570479605 373586033 55 firms 26419 1418 3223 774 1080 6495 5785 7577 19857 6562 26873 1394 3742 841 1149 7126 5527 7607 20260 6613 26762 1245 3988 877 1152 7262 5340 7489 20091 6671 26794 1197 3927 912 1151 7187 5258 7651 20096 6698 28229 1033 3906 899 1296 7134 6043 8328 21505 6724 55 estab. 43681 1422 3231 792 1106 6551 6056 8616 21223 22458 46528 1398 3758 856 1162 7174 5740 8665 21579 24949 47387 1252 4004 887 1179 7322 5535 8487 21344 26043 47559 1199 3941 922 1171 7233 5479 8678 21390 26169 49383 1033 3925 924 1354 7236 6337 9401 22974 26409 55 empl. 2703799 0 5276 3834 6961 16071 66261 221967 304299 2399500 2788276 0 5783 4262 7538 17583 66178 229905 313666 2474610 2873521 0 6314 4452 8114 18880 66768 221993 307641 2565880 2879223 0 6274 4542 8138 18954 69003 237516 325473 2553750 2913798 0 6458 4618 8981 20057 76984 280390 377431 2536367 55 ann. pay. 175648657 290881 251821 221965 375672 1140339 2982466 10857683 14980488 160668169 192378035 422066 259826 291846 435004 1408742 3157343 11834393 16400478 175977557 211361063 519510 339608 386622 504106 1749846 3369774 11775224 16894844 194466219 213123787 446687 426315 346706 459269 1678977 3506076 12782834 17967887 195155900 204802311 167800 312772 292588 552850 1326010 3878867 14690143 19895020 184907291 55 rec. 312884523 1773283 5082714 2084373 1871898 10812268 9473077 27879680 48165025 264719498 56 firms 302863 52051 138583 48052 28082 266768 25657 7564 299989 2874 299367 46051 140009 48133 28724 262917 25845 7563 296325 3042 299329 46367 137422 48693 29286 261768 26625 7754 296147 3182 308502 49061 141965 49080 29761 269867 27643 7819 305329 3173 289303 53859 128320 43611 26925 252715 25875 7607 286197 3106 56 estab. 351134 52101 138680 48291 28900 267972 29445 13576 310993 40141 350401 46196 140098 48418 29550 264262 29310 13437 307009 43392 351528 46516 137534 49015 30075 263140 29799 13613 306552 44976 362665 49131 142108 49404 30518 271161 30711 13412 315284 47381 343544 53885 128404 43880 27746 253915 29950 14327 298192 45352 56 empl. 7775033 0 286046 314238 374390 974674 1020200 1353409 3348283 4426750 8366523 0 288323 315065 383646 987034 1035256 1354494 3376784 4989739 9138100 0 284331 318319 391627 994277 1067856 1415338 3477471 5660629 9061987 0 291143 321405 398517 1011065 1103237 1411383 3525685 5536302 8299217 0 268581 284633 361452 914666 1025825 1345057 3285548 5013669 56 ann. pay. 163707409 2291581 6442671 6778719 8499976 24012947 22940319 26258965 73212231 90495178 183100191 2435222 6946196 7232525 9171209 25785152 24481832 27787942 78054926 105045265 210281063 3542542 7114741 7657711 9890467 28205461 26982624 30408677 85596762 124684301 221385956 2872417 7559775 7996658 10461353 28890203 28464904 31530314 88885421 132500535 212189377 3226422 6592610 7100791 9722499 26642322 27377622 31283985 85303929 126885448 56 rec. 457440805 9910863 25086065 22171886 27221940 84390754 64129322 61826556 210346632 247094173 61 firms 58468 7268 21223 8718 7140 44349 10587 2606 57542 926 59611 7030 21650 8872 7291 44843 11069 2748 58660 951 60934 7203 21746 9025 7532 45506 11558 2890 59954 980 63690 7660 22830 9449 7905 47844 11887 2970 62701 989 65933 8648 23108 9537 8179 49472 12379 3071 64922 1011 61 estab. 64902 7277 21253 8794 7386 44710 12102 4998 61810 3092 66492 7097 21679 8954 7509 45239 12496 5210 62945 3547 68014 7221 21790 9116 7724 45851 12911 5394 64156 3858 70878 7669 22864 9554 8116 48203 13022 5653 66878 4000 73701 8650 23127 9595 8414 49786 13925 5604 69315 4386 61 empl. 2323817 0 43618 57672 98001 199291 441153 452343 1092787 1231030 2431718 0 44343 58873 99857 203073 461111 479031 1143215 1288503 2532324 0 44883 60259 103336 208478 481276 503454 1193208 1339116 2612430 0 46689 62721 108304 217714 499234 520133 1237081 1375349 2701675 0 48193 63413 112089 223695 516135 535272 1275102 1426573 61 ann. pay. 52287365 265761 883212 951012 1666145 3766130 8369404 9801711 21937245 30350120 56871035 316878 946478 1020663 1769246 4053265 9068402 10803640 23925307 32945728 61923347 354906 994180 1089865 1943473 4382424 9844823 11911498 26138745 35784602 67097541 338689 1081348 1201160 2053830 4675027 10722174 12870172 28267373 38830168 71961852 360646 1066729 1185295 2182417 4795087 11451880 13794180 30041147 41920705 61 rec. 180278839 1325186 4221488 3591431 5710239 14848344 26766438 33150291 74765073 105513766 62 firms 527667 42679 236481 123092 63301 465553 45710 12990 524253 3414 524303 41283 232349 123301 64407 461340 46479 13054 520873 3430 532042 45724 228945 124713 67238 466620 48611 13320 528551 3491 540976 45548 230581 127152 69739 473020 50717 13700 537437 3539 560083 51190 236167 129892 72503 489752 52416 14295 556463 3620 62 estab. 649681 42878 237104 124954 67878 472814 67729 49949 590492 59189 649846 41682 233084 125111 68724 468601 67430 51468 587499 62347 658559 46142 229633 126459 71243 473477 68738 52295 594510 64049 671370 45822 231342 128843 73671 479678 69835 53863 603376 67994 703540 51303 236581 131421 77064 496369 78155 59629 634153 69387 62 empl. 13758395 0 530232 806891 837507 2174630 1814647 2464278 6453555 7304840 13865014 0 520884 809813 854099 2184796 1843907 2481667 6510370 7354644 14108655 0 514046 820433 891372 2225851 1931306 2550412 6707569 7401086 14534726 0 516533 837703 925333 2279569 2010298 2615958 6905825 7628901 14900148 0 533486 857043 961290 2351819 2063608 2729503 7144930 7755218 62 ann. pay. 395478378 3476059 18822057 26141036 28356525 76795677 51080309 55021003 182896989 212581389 409223160 2996690 18991240 26896572 29570616 78455118 54315688 57409055 190179861 219043299 431430402 3454896 19261825 27886827 31692418 82295966 59387606 61543090 203226662 228203740 465712029 3141888 20192963 29376596 33912511 86623958 64989178 66786991 218400127 247311902 499177227 3663651 20606482 30636102 35850510 90756745 68624223 72950782 232331750 266845477 62 rec. 1221284001 11396561 64779715 78044397 78818644 233039317 147072869 164826229 544938415 676345586 71 firms 96317 19692 38261 13671 10295 81919 11827 2040 95786 531 96044 18851 38501 13723 10373 81448 11912 2132 95492 552 97072 19222 38200 13762 10756 81940 12307 2250 96497 575 99124 19739 39874 13827 10607 84047 12204 2294 98545 579 103043 23019 40517 13835 10563 87934 12227 2292 102453 590 71 estab. 102870 19713 38299 13739 10476 82227 12846 3344 98417 4453 102786 18884 38544 13790 10539 81757 12919 3309 97985 4801 103816 19241 38237 13841 10925 82244 13284 3527 99055 4761 105961 19754 39913 13912 10779 84358 13095 3612 101065 4896 110375 23028 40548 13911 10736 88223 13408 3715 105346 5029 71 empl. 1583836 0 76015 90783 138742 305540 471466 331198 1108204 475632 1640030 0 76615 91340 140896 308851 479467 345088 1133406 506624 1741497 0 76173 91248 145722 313143 496809 373153 1183105 558392 1780362 0 79152 91729 143126 314007 493641 385430 1193078 587284 1800991 0 81051 91201 143223 315475 496962 380688 1193125 607866 71 ann. pay. 36046794 1445377 3571857 1935430 2367018 9319682 8140139 9303707 26763528 9283266 39415855 1502707 3670983 1948730 2471708 9594128 8794496 10419635 28808259 10607596 43203906 1534363 3585267 2095466 2643842 9858938 9436411 11151745 30447094 12756812 46132864 1682105 4129814 2103736 2718914 10634569 9345994 12633669 32614232 13518632 47724377 1936869 4226301 2198357 2772673 11134200 9359568 12769280 33263048 14461329 71 rec. 147554269 6143069 13020391 8033293 9701145 36897898 27023858 30480196 94401952 53152317 72 firms 418270 58746 131477 79510 68441 338174 70690 7850 416714 1556 411644 53156 130568 78391 68630 330745 71467 7835 410047 1597 412776 55560 128054 77817 68467 329898 73177 8056 411131 1645 416464 56881 129077 78623 68384 332965 73725 8102 414792 1672 427465 60635 128468 82514 70814 342431 75392 7954 425777 1688 72 estab. 544565 59117 131659 79901 70112 340789 84964 32453 458206 86359 539576 53566 130813 78912 70415 333706 84729 32204 450639 88937 542411 55861 128339 78379 70052 332631 85660 32224 450515 91896 548569 57156 129301 79189 69984 335630 85400 33149 454179 94390 565149 60839 128608 82856 72038 344341 88963 34731 468035 97114 72 empl. 9466660 0 303438 533090 933515 1770043 2661970 1376139 5808152 3658508 9638007 0 301418 525548 938122 1765088 2702442 1381069 5848599 3789408 9880923 0 296232 521975 936578 1754785 2775956 1423334 5954075 3926848 9972301 0 298800 527294 935983 1762077 2795087 1442031 5999195 3973106 10048875 0 304488 550382 970379 1825249 2844242 1417095 6086586 3962289 72 ann. pay. 109595274 2297965 3268865 4889006 8642655 19098491 27788591 15143278 62030360 47564914 116924965 2044388 3477722 5052451 9119092 19693653 29378007 15948705 65020365 51904600 125581836 2347072 3480275 5271439 9467351 20566137 31208058 17074291 68848486 56733350 128649922 2207129 3735319 5519476 9834919 21296843 32260316 17458182 71015341 57634581 131110795 2526453 3754283 5877847 10447228 22605811 33507309 17343885 73457005 57653790 72 rec. 446716242 10288008 19815512 25084937 37513792 92702249 101800526 56004534 250507309 196208933 81 firms 659258 55957 366109 131702 62372 616140 37883 4029 658052 1206 656875 53106 364554 131923 63084 612667 38830 4144 655641 1234 661709 56866 361592 133117 64344 615919 40222 4336 660477 1232 658412 54017 359964 133123 64820 611924 40788 4439 657151 1261 675218 59858 366512 134997 66776 628143 41363 4449 673955 1263 81 estab. 719368 56127 366534 133133 66001 621795 50076 15044 686915 32453 717892 53307 365134 133331 66519 618291 50435 15295 684021 33871 723323 57601 362095 134477 67681 621854 51187 15733 688774 34549 719402 54156 360550 134541 67999 617246 51480 15996 684722 34680 740118 59886 366824 136167 70327 633204 54021 16431 703656 36462 81 empl. 5038717 0 776636 854746 818722 2450104 1343677 556476 4350257 688460 5151464 0 772156 856702 831257 2460115 1386570 581721 4428406 723058 5293399 0 768240 865186 847724 2481150 1442599 620930 4544679 748720 5370479 0 763230 865388 854732 2483350 1463977 646300 4593627 776852 5420087 0 790777 876072 880611 2547460 1482350 640068 4669878 750209 81 ann. pay. 96012860 1346315 12156597 14336047 14922215 42761174 24978506 12316490 80056170 15956690 101953241 1243961 12683478 14977318 15742982 44647739 26934984 13418898 85001621 16951620 109876770 1362662 13052602 15666254 16593285 46674803 28851875 14876218 90402896 19473874 115218331 1325101 13594974 16220056 17390930 48531061 30273846 15979889 94784796 20433535 118899903 1429720 14245902 16778231 18202835 50656688 31539339 16429206 98625233 20274670 81 rec. 426099790 7797913 65819608 60707633 60795778 195120932 104363220 58844376 358328528 67771262 95 firms 5333 10 54 82 205 351 1095 1605 3051 2282 5462 15 59 88 187 349 1087 1629 3065 2397 5403 18 54 82 169 323 1013 1688 3024 2379 5401 10 50 77 189 326 990 1702 3018 2383 5349 10 46 87 189 332 1088 1674 3094 2255 95 estab. 13816 11 54 83 212 360 1169 2102 3631 10185 14589 17 60 94 193 364 1178 2066 3608 10981 14793 18 54 84 178 334 1089 2146 3569 11224 14934 10 50 79 197 336 1083 2174 3593 11341 13580 10 46 91 204 351 1198 2091 3640 9940 95 empl. 916349 0 91 227 808 1126 11453 43196 55775 860574 959257 0 [b] 222 689 [g] 11491 [k] 55111 904146 1001015 0 79 186 621 886 10852 45854 57592 943423 1022114 0 70 189 681 940 11121 45487 57548 964566 1011496 0 [b] 276 738 [g] 12396 47154 [l] [m] 95 ann. pay. 41475743 667 4394 8957 29285 43303 407060 1475308 1925671 39550072 44814940 2682 (D) 10147 27774 (D) 427257 (D) 1967890 42847050 54863304 2552 3522 6941 24104 37119 409258 1692955 2139332 52723972 53475502 587 3049 7638 30415 41689 430409 1881272 2353370 51122132 52670905 443 (D) 14439 32995 (D) 503645 1913740 (D) (D) 95 rec. 40333007 609 (D) 18388 88419 (D) 630288 3800802 (D) (D) 99 firms 56803 33532 19074 2953 926 56485 318 0 56803 0 98011 58130 33965 4685 997 97777 232 2 98011 0 98968 50388 40430 5945 1623 98386 582 0 98968 0 78644 36359 37012 4260 684 78315 329 0 78644 0 35722 24321 9636 1285 404 35646 68 7 35721 1 99 estab. 56803 33532 19074 2953 926 56485 318 0 56803 0 98011 58130 33965 4685 997 97777 232 2 98011 0 98968 50388 40430 5945 1623 98386 582 0 98968 0 78644 36359 37012 4260 684 78315 329 0 78644 0 35722 24321 9636 1285 404 35646 68 7 35721 1 99 empl. 71994 0 32390 18891 11975 63256 8738 0 71994 0 106329 0 [l] 29370 12898 [m] 5878 [e] 106329 0 143600 0 68755 37497 21209 127461 16139 0 143600 0 105228 0 61307 26635 8445 96387 8841 0 105228 0 32769 0 [j] 8164 5289 [k] 2100 [f] [k] [a] 99 ann. pay. 1300383 542463 383697 196679 110067 1232906 67477 0 1300383 0 2757234 1355277 (D) 364824 183570 (D) 77952 (D) 2757234 0 3933093 1644215 1051076 573063 365149 3633503 299590 0 3933093 0 2355804 836417 876585 350747 138432 2202181 153623 0 2355804 0 960381 532592 (D) 89741 72659 (D) 56474 (D) (D) (D) 99 rec. 5292399 2974025 (D) 529453 335442 (D) 211501 (D) (D) (D) 113 firms 14020 1977 6648 3092 1619 13336 599 42 13977 43 13479 1656 6492 3058 1595 12801 595 41 13437 42 13131 1666 6243 2962 1546 12417 634 42 13093 38 12592 1432 6330 2773 1410 11945 572 36 12553 39 12301 1627 5979 2632 1382 11620 609 35 12264 37 113 estab. 14255 1977 6650 3093 1621 13341 619 48 14008 247 13694 1656 6494 3062 1598 12810 608 47 13465 229 13347 1669 6246 2964 1548 12427 652 47 13126 221 12795 1434 6333 2776 1412 11955 586 39 12580 215 12509 1627 5981 2636 1384 11628 630 38 12296 213 113 empl. 84177 0 14287 20230 21005 55522 18127 2413 76062 8115 83833 0 14008 20034 20679 54721 18436 2864 76021 7812 83143 0 13355 19536 20129 53020 19869 2990 75879 7264 77984 0 13363 18416 18475 50254 18427 [h] [l] [i] 75822 0 12929 17319 18146 48394 18845 2478 69717 6105 113 ann. pay. 2248478 55879 300832 434838 503979 1295528 498513 88106 1882147 366331 2256428 47856 301220 441612 509067 1299755 503163 96909 1899827 356601 2256241 43635 286510 433848 488728 1252721 546097 104219 1903037 353204 2161848 36530 295007 427811 471767 1231115 509187 (D) (D) (D) 2207048 43944 294535 419443 480542 1238464 554075 84324 1876863 330185 113 rec. 11235337 366646 2048753 2090877 2075072 6581348 2495669 401475 9478492 1756845 114 firms 2457 880 1231 165 90 2366 69 13 2448 9 2532 899 1269 181 84 2433 75 14 2522 10 2660 977 1305 198 90 2570 64 17 2651 9 2623 885 1358 199 92 2534 66 16 2616 7 2368 832 1212 145 101 2290 55 15 2360 8 114 estab. 2465 880 1231 166 90 2367 71 14 2452 13 2541 899 1269 182 84 2434 76 16 2526 15 2671 977 1305 199 90 2571 65 21 2657 14 2636 885 1358 200 94 2537 67 20 2624 12 2385 832 1212 145 101 2290 58 22 2370 15 114 empl. 9313 0 1995 1060 1183 4238 [g] [g] [i] [g] 9986 0 2039 1168 1077 4284 2674 [g] [i] [g] 9988 0 2118 1270 1220 4608 2233 [g] [i] [g] 9954 0 2233 1288 1254 4775 2230 [g] [i] [g] 9244 0 1963 947 1356 4266 1837 [g] [i] [g] 114 ann. pay. 311118 25625 52562 28395 32601 139183 (D) (D) (D) (D) 332553 29471 54644 33323 28164 145602 73843 (D) (D) (D) 342459 26595 56957 29824 35153 148529 64910 (D) (D) (D) 340916 21367 57386 33663 34574 146990 68614 (D) (D) (D) 335427 21797 52654 21052 38038 133541 60531 (D) (D) (D) 114 rec. 1974301 199752 381863 109727 186430 877772 345942 (D) (D) (D) 115 firms 10153 1819 5142 1508 778 9247 667 172 10086 67 10258 1850 5196 1523 783 9352 663 173 10188 70 9667 1767 4862 1467 732 8828 617 169 9614 53 10594 1760 5558 1608 767 9693 687 170 10550 44 11165 1924 5829 1629 856 10238 716 158 11112 53 115 estab. 10572 1819 5145 1508 783 9255 734 283 10272 300 10691 1855 5198 1524 790 9367 730 285 10382 309 10058 1767 4866 1467 740 8840 677 349 9866 192 11016 1761 5565 1611 778 9715 766 354 10835 181 11658 1924 5833 1631 877 10265 805 316 11386 272 115 empl. 93659 0 10179 9823 10215 30217 [k] [j] [l] [j] 98336 0 10273 9913 10334 30520 25690 [j] [l] [j] 90434 0 9610 9548 9653 28811 24224 [j] [l] [j] 95538 0 10971 10545 10191 31707 27123 25056 83886 11652 96096 0 11598 10547 11368 33513 27491 21098 82102 13994 115 ann. pay. 2094709 50286 214366 221773 236525 722950 (D) (D) (D) (D) 2223668 65750 223498 234944 245630 769822 588374 (D) (D) (D) 2083833 56534 213786 228450 236290 735060 544385 (D) (D) (D) 2289085 52415 256012 265701 261551 835679 624565 506914 1967158 321927 2435816 59206 270540 264500 297739 891985 662427 504583 2058995 376821 115 rec. 12663500 395363 1821006 1325989 1335622 4877980 3022425 2545340 10445745 2217755 211 firms 6723 653 4000 1025 496 6174 365 83 6622 101 6345 679 3803 904 458 5844 312 85 6241 104 6472 807 3779 928 441 5955 341 77 6373 99 6435 741 3734 947 479 5901 356 86 6343 92 6317 597 3816 906 462 5781 354 89 6224 93 211 estab. 7927 654 4011 1039 528 6232 482 234 6948 979 7556 679 3814 916 498 5907 411 236 6554 1002 7740 807 3793 940 479 6019 458 242 6719 1021 7691 741 3750 959 506 5956 453 238 6647 1044 7629 597 3830 932 477 5836 456 292 6584 1045 211 empl. 97039 0 7719 6693 6526 20938 12773 11504 45215 51824 90012 0 7350 5854 5959 19163 11199 10601 40963 49049 83012 0 7414 6047 5723 19184 12285 9966 41435 41577 87980 0 7386 6153 6286 19825 12369 10290 42484 45496 88280 0 7466 5890 5980 19336 12113 11656 43105 45175 211 ann. pay. 5316305 34134 217468 223948 264953 740503 651692 676301 2068496 3247809 5377469 29378 216267 213914 260708 720267 643989 595216 1959472 3417997 5393011 40616 249214 253368 271729 814927 734334 703689 2252950 3140061 6217777 39391 264648 266432 299754 870225 742945 786895 2400065 3817712 6406475 28794 254065 258981 290795 832635 762724 807342 2402701 4003774 211 rec. 160879230 228801 2587900 2367043 2389652 7573396 6789872 9608878 23972146 136907084 212 firms 4925 469 1365 822 809 3465 988 275 4728 197 4830 502 1388 792 739 3421 962 249 4632 198 4761 462 1373 793 779 3407 907 251 4565 196 4794 518 1448 775 743 3484 878 243 4605 189 4669 477 1426 747 740 3390 846 248 4484 185 212 estab. 7309 469 1371 824 824 3488 1229 680 5397 1912 7280 502 1392 794 756 3444 1210 644 5298 1982 7231 462 1377 796 794 3429 1138 653 5220 2011 7323 518 1454 777 764 3513 1115 636 5264 2059 7205 477 1427 754 759 3417 1078 671 5166 2039 212 empl. 225309 0 3075 5503 10875 19453 35749 30518 85720 139589 215949 0 3037 5264 10017 18318 34580 28637 81535 134414 204329 0 3021 5319 10634 18974 32452 30046 81472 122857 200735 0 3162 5185 10112 18459 31851 29186 79496 121239 194174 0 3143 5007 10093 18243 30356 28607 77206 116968 212 ann. pay. 10012940 37019 94302 169726 357473 658520 1277591 1268293 3204404 6808536 9625175 49146 100259 165781 339807 654993 1264046 1181733 3100772 6524403 9344103 28166 93159 165310 367329 653964 1218368 1297058 3169390 6174713 9583696 61444 107017 180131 370606 719198 1254343 1326882 3300423 6283273 9122022 40188 124871 167127 390439 722625 1233777 1326554 3282956 5839066 212 rec. 47733102 169844 537625 681269 1486537 2875275 5380741 6423493 14679509 33053593 213 firms 8299 878 3918 1320 933 7049 985 157 8191 108 7771 817 3877 1171 873 6738 798 136 7672 99 7641 892 3618 1147 877 6534 866 142 7542 99 8222 1034 3731 1211 986 6962 989 172 8123 99 7587 831 3449 1176 970 6426 909 157 7492 95 213 estab. 9423 886 3934 1388 1037 7245 1213 317 8775 648 8863 818 3909 1233 975 6935 994 288 8217 646 8767 894 3646 1205 956 6701 1053 290 8044 723 9305 1036 3749 1253 1043 7081 1160 300 8541 764 9037 831 3465 1209 1089 6594 1200 391 8185 852 213 empl. 175501 0 7905 8608 12225 28738 37685 21839 88262 87239 150684 0 7677 7565 11352 26594 28870 18089 73553 77131 168787 0 7273 7508 11667 26448 32033 19086 77567 91220 196850 0 7550 7967 13063 28580 37500 26479 92559 104291 183321 0 7155 7757 12898 27810 34392 21782 83984 99337 213 ann. pay. 6612671 48592 198099 227664 331263 805618 1127866 810320 2743804 3868867 5973318 55860 205795 216146 346464 824265 941021 727701 2492987 3480331 7354132 58694 207895 237560 391373 895522 1130677 876302 2902501 4451631 9212884 123733 238863 269760 461486 1093842 1438772 1252636 3785250 5427634 8433197 49537 220596 254609 443992 968734 1294040 960205 3222979 5210218 213 rec. 28960730 169727 835638 943867 1389401 3338633 3956578 3441276 10736487 18224243 221 firms 6603 425 3335 991 483 5234 870 267 6371 232 6663 467 3337 1009 495 5308 868 261 6437 226 7022 560 3401 1138 546 5645 888 274 6807 215 7283 561 3586 1172 574 5893 904 272 7069 214 7603 578 3747 1310 579 6214 901 288 7403 200 221 estab. 15895 426 3338 1003 534 5301 1393 1039 7733 8162 16578 471 3340 1014 541 5366 1391 1016 7773 8805 17301 560 3403 1142 593 5698 1385 1029 8112 9189 17702 562 3591 1176 619 5948 1389 1001 8338 9364 18432 580 3751 1323 641 6295 1423 1126 8844 9588 221 empl. 682227 0 7320 6362 6364 20046 38127 45337 103510 578717 667062 0 7333 6412 6443 20188 38201 43966 102355 564707 655230 0 7524 7196 7199 21919 39078 43739 104736 550494 654484 0 7954 7452 7609 23015 39840 43115 105970 548514 648254 0 8437 8156 7664 24257 39391 46942 110590 537664 221 ann. pay. 38097227 72549 132273 164765 230928 600515 1554292 2098264 4253071 33844156 39354990 172656 145359 171999 240267 730281 1580019 2067140 4377440 34977550 40650836 52657 147365 185920 260096 646038 1655283 2157831 4459152 36191684 41942303 43397 174593 205584 284148 707722 1793594 2174784 4676100 37266203 41844745 89332 177645 203208 304747 774932 1812597 2430022 5017551 36827194 221 rec. 396076643 295564 2727384 1372508 4857911 9253367 24518551 25257696 59029614 337047029 233 firms 215301 38904 113714 33794 16557 202969 10712 1240 214921 380 214670 34130 114638 35051 17560 201379 11602 1299 214280 390 214651 33472 113491 35353 18295 200611 12244 1395 214250 401 214120 33010 113245 35092 18501 199848 12475 1386 213709 411 224416 40136 117060 35012 18367 210575 12138 1312 224025 391 233 estab. 216893 38907 113720 33806 16587 203020 10835 1623 215478 1415 216355 34131 114644 35057 17593 201425 11771 1640 214836 1519 216354 33474 113496 35361 18331 200662 12380 1743 214785 1569 215806 33013 113248 35105 18534 199900 12617 1699 214216 1590 226394 40136 117067 35026 18417 210646 12380 1665 224691 1703 233 empl. 1434338 0 232143 218649 219588 670380 386185 185978 1242543 191795 1538079 0 235898 226615 233165 695678 425095 202940 1323713 214366 1604913 0 234906 229270 243089 707265 450708 219154 1377127 227786 1616973 0 233271 227734 245650 706655 457853 212186 1376694 240279 1585717 0 242560 227075 243427 713062 441239 198050 1352351 233366 233 ann. pay. 50278132 1358010 5960172 5780469 6724135 19822786 14082061 7780539 41685386 8592746 55883792 1279630 6344834 6292287 7428453 21345204 16157411 8626925 46129540 9754252 60798086 1249397 6447505 6508134 8005002 22210038 17740859 9601273 49552170 11245916 64956985 1326490 6695176 6871337 8605299 23498302 18870921 9788975 52158198 12798787 65730491 1501802 7016548 7229754 8745772 24493876 18975952 9644724 53114552 12615939 233 rec. 534991934 17178422 67292883 50524438 59221003 194216746 138764619 78503109 411484474 123507460 234 firms 39062 4589 13276 7228 5894 30987 6696 1105 38788 274 38515 4154 13038 7048 5953 30193 6845 1188 38226 289 38304 4243 12728 6876 5855 29702 7072 1234 38008 296 39210 4078 13262 7514 6184 31038 6669 1213 38920 290 38610 5579 13002 6761 5634 30976 6198 1141 38315 295 234 estab. 40091 4589 13278 7232 5911 31010 6776 1312 39098 993 39556 4154 13040 7053 5966 30213 6917 1400 38530 1026 39516 4246 12731 6880 5867 29724 7132 1464 38320 1196 40476 4078 13265 7516 6200 31059 6728 1450 39237 1239 39949 5579 13003 6764 5646 30992 6310 1415 38717 1232 234 empl. 803944 0 28863 48274 80672 157809 261575 177738 597122 206822 848373 0 28559 47163 81143 156865 272915 190833 620613 227760 900987 0 27873 45818 80041 153732 282441 208419 644592 256395 901207 0 28809 50224 84208 163241 262644 203989 629874 271333 856312 0 29020 45132 76773 150925 246797 191008 588730 267582 234 ann. pay. 33346502 310814 1086037 1776755 3171472 6345078 10757552 7556553 24659183 8687319 35807866 311518 1072626 1743961 3276545 6404650 11472094 8608832 26485576 9322290 38628006 298574 1019343 1663542 3157594 6139053 11936548 9312447 27388048 11239958 39801624 319736 1149708 1963695 3544041 6977180 11511706 9597079 28085965 11715659 39321547 581697 1144877 1765884 3253063 6745521 11297421 8963558 27006500 12315047 234 rec. 174384008 2719501 5814228 7396166 13166001 29095896 48238304 42355951 119690151 54693857 235 firms 432271 62793 208754 78944 45927 396418 32252 3198 431868 403 438685 61930 209403 81070 47767 400170 34455 3608 438233 452 449380 63791 212106 83272 49670 408839 36173 3862 448874 506 438162 61749 213658 78506 45705 399618 34130 3883 437631 531 438835 71563 207564 76501 45489 401117 33556 3649 438322 513 235 estab. 436034 62800 208760 78954 45989 396503 32643 3817 432963 3071 442630 61936 209412 81079 47808 400235 34820 4271 439326 3304 453720 63798 212113 83281 49708 408900 36532 4494 449926 3794 442616 61751 213671 78524 45752 399698 34462 4587 438747 3869 443982 71569 207574 76523 45542 401208 34098 4653 439959 4023 235 empl. 3560660 0 440174 517439 614246 1571859 1190593 517822 3280274 280386 3815174 0 442819 531638 638545 1613002 1279057 590458 3482517 332657 4066900 0 450466 545666 665417 1661549 1344042 647758 3653349 413551 3973814 0 449396 514273 611712 1575381 1286563 658786 3520730 453084 3865341 0 443098 502066 609357 1554521 1257681 608062 3420264 445077 235 ann. pay. 114922389 2108521 10323729 13094164 17769290 43295704 40429177 19526802 103251683 11670706 127395430 2346538 10849856 13905203 19062232 46163829 44583476 22597701 113345006 14050424 140484057 2356470 11148833 14447649 20268894 48221846 48109194 25718347 122049387 18434670 142452866 2246566 11511340 14192831 19484573 47435310 48350280 26934340 122719930 19732936 142250424 2783617 11546161 14399870 19976447 48706095 48288447 25654574 122649116 19601308 235 rec. 468167745 15504605 55236068 49744837 62433561 182919071 146020629 75715055 404654755 63512990 311 firms 23203 2019 7086 4371 3769 17245 4089 1279 22613 590 22332 2036 6868 4142 3452 16498 4006 1256 21760 572 22037 2025 6698 4100 3382 16205 4009 1251 21465 572 22437 2168 6901 4124 3417 16610 4025 1240 21875 562 21384 2006 6458 3894 3293 15651 3935 1247 20833 551 311 estab. 27761 2025 7092 4378 3819 17314 4468 1963 23745 4016 26734 2039 6873 4152 3495 16559 4307 1916 22782 3952 26401 2029 6704 4112 3428 16273 4280 1939 22492 3909 26785 2170 6907 4142 3456 16675 4303 1909 22887 3898 25698 2007 6463 3915 3341 15726 4254 1951 21931 3767 311 empl. 1464439 0 16243 29162 51110 96515 163083 219967 479565 984874 1464354 0 15931 27565 46557 90053 161546 219954 471553 992801 1468254 0 15334 27421 45938 88693 162168 220389 471250 997004 1470146 0 15886 27523 46541 89950 162749 218071 470770 999376 1443766 0 14999 25834 45017 85850 156158 218041 460049 983717 311 ann. pay. 40209138 126805 247479 435202 888255 1697741 3861894 6184392 11744027 28465111 41857959 187648 249977 437798 838198 1713621 4001510 6400232 12115363 29742596 43773232 155896 268240 446619 870366 1741121 4190862 6626849 12558832 31214400 44085499 196756 292347 492720 933563 1915386 4338983 6823291 13077660 31007839 44480065 207601 293024 462407 937903 1900935 4328554 6985104 13214593 31265472 311 rec. 457521297 1998668 2482188 3504941 6677701 14663498 32274450 56660599 103598547 353922750 312 firms 2230 231 670 363 276 1540 444 144 2128 102 2281 276 681 354 296 1607 424 144 2175 106 2353 279 696 378 318 1671 439 143 2253 100 2702 324 854 429 354 1961 500 147 2608 94 2721 350 906 393 363 2012 469 143 2624 97 312 estab. 2729 231 670 364 278 1543 457 192 2192 537 2789 276 681 354 298 1609 439 204 2252 537 2869 279 696 378 321 1674 454 203 2331 538 3212 324 854 429 358 1965 527 202 2694 518 3232 350 906 394 364 2014 497 195 2706 526 312 empl. 172892 0 1560 2473 3737 7770 17607 22647 48024 124868 172349 0 1545 2346 3991 7882 17322 22442 47646 124703 169230 0 1531 2512 4205 8248 17311 22211 47770 121460 170864 0 1861 2865 4693 9419 19961 23039 52419 118445 163395 0 1973 2619 4904 9496 18439 21149 49084 114311 312 ann. pay. 6877485 12359 35391 53089 89546 190385 465349 771027 1426761 5450724 6991562 40081 33699 53656 96190 223626 500124 761484 1485234 5506328 7317617 21333 38235 60266 110472 230306 482197 789800 1502303 5815314 7257793 19980 46337 67950 121085 255352 586338 857140 1698830 5558963 7154139 14622 51612 69894 136275 272403 589511 781474 1643388 5510751 312 rec. 107946351 119089 416566 458904 859231 1853790 3844824 6988627 12687241 95259110 313 firms 3851 298 1064 611 499 2472 782 386 3640 211 3767 284 1057 614 490 2445 759 359 3563 204 3662 241 1058 622 486 2407 714 339 3460 202 3703 287 1122 603 494 2506 685 333 3524 179 3398 271 1007 564 442 2284 673 290 3247 151 313 estab. 4694 298 1064 612 502 2476 817 511 3804 890 4587 284 1057 615 498 2454 783 476 3713 874 4449 241 1059 622 492 2414 748 454 3616 833 4452 287 1124 606 497 2514 715 451 3680 772 4045 271 1007 566 443 2287 711 395 3393 652 313 empl. 385455 0 2379 4068 6632 13079 35219 71532 119830 265625 362286 0 2373 4073 6490 12936 33466 66883 113285 249001 339394 0 2337 4125 6581 13043 32227 62122 107392 232002 308490 0 2557 4039 6828 13424 29527 58503 101454 207036 261655 0 2264 3779 6036 12079 29868 51175 93122 168533 313 ann. pay. 10221639 52544 61549 103470 184337 401900 972102 1903598 3277600 6944039 9694368 39643 61678 110093 182380 393794 975222 1767326 3136342 6558026 9491120 18290 64017 113218 188010 383535 965066 1673425 3022026 6469094 8402974 51119 65582 106648 198602 421951 873114 1585234 2880299 5522675 7608197 35868 59054 102890 194946 392758 918758 1497676 2809192 4799005 313 rec. 43236210 208957 366499 583575 1180977 2340008 4461197 7486122 14287327 28948883 314 firms 6697 533 2593 1234 900 5260 1009 288 6557 140 6753 474 2539 1287 914 5214 1121 283 6618 135 6481 452 2367 1215 912 4946 1127 274 6347 134 6588 493 2495 1183 951 5122 1077 253 6452 136 6956 573 2874 1181 956 5584 1001 249 6834 122 314 estab. 7096 533 2593 1238 910 5274 1064 377 6715 381 7152 475 2540 1290 922 5227 1174 378 6779 373 6881 452 2368 1217 920 4957 1181 370 6508 373 6966 493 2498 1184 959 5134 1132 317 6583 383 7332 573 2874 1184 961 5592 1050 317 6959 373 314 empl. 217355 0 5685 8110 12178 25973 40839 45677 112489 104866 221971 0 5548 8562 12516 26626 44727 47529 118882 103089 215669 0 5208 8057 12367 25632 44880 44621 115133 100536 202022 0 5475 7825 12854 26154 42870 39463 108487 93535 190209 0 6226 7939 13022 27187 38770 36839 102796 87413 314 ann. pay. 5080662 42040 92876 152984 249712 537612 881982 996561 2416155 2664507 5313455 28877 98381 169964 268925 566147 995152 1113199 2674498 2638957 5364344 29255 101370 164559 275634 570818 1046499 1094619 2711936 2652408 5059415 33896 113359 166172 298171 611598 1029342 946831 2587771 2471644 5112849 152670 120231 176433 319511 768845 1022775 949023 2740643 2372206 314 rec. 35012642 1379214 583875 729827 1300477 3993393 4314394 4696508 13004295 22008347 315 firms 16391 2070 3874 2518 2712 11174 4079 895 16148 243 15815 2557 3907 2419 2344 11227 3586 787 15600 215 15744 2406 4096 2509 2431 11442 3376 733 15551 193 15523 2371 4481 2612 2195 11659 3037 659 15355 168 12862 1845 3606 2131 2011 9593 2608 526 12727 135 315 estab. 17453 2070 3874 2521 2719 11184 4166 1174 16524 929 16721 2557 3913 2427 2348 11245 3662 1036 15943 778 16505 2406 4105 2519 2434 11464 3429 979 15872 633 16152 2372 4484 2614 2214 11684 3085 855 15624 528 13359 1846 3606 2136 2019 9607 2671 692 12970 389 315 empl. 671241 0 8579 16956 37614 63149 170029 161498 394676 276565 574908 0 8694 16318 32400 57412 148927 139638 345977 228931 510482 0 9047 16891 33561 59499 138944 131418 329861 180621 441742 0 9791 17555 29982 57328 124021 112886 294235 147507 350439 0 8024 14504 27648 50176 104337 88294 242807 107632 315 ann. pay. 12366063 128124 152515 265351 572100 1118090 2746282 3042409 6906781 5459282 11205644 189477 175778 259722 515708 1140685 2520882 2836092 6497659 4707985 10426179 146229 183980 290522 557656 1178387 2470253 2771401 6420041 4006138 9262263 169521 210499 296884 508838 1185742 2230264 2479174 5895180 3367083 8151625 147816 179860 293199 545972 1166847 2186698 2165526 5519071 2632554 315 rec. 48399376 814376 814004 1267561 2397742 5293683 10149193 12416085 27858961 20540415 316 firms 1683 142 591 259 204 1196 319 106 1621 62 1695 190 586 261 181 1218 318 101 1637 58 1686 168 586 273 203 1230 302 97 1629 57 1681 152 622 273 211 1258 292 83 1633 48 1481 131 567 226 199 1123 250 71 1444 37 316 estab. 1801 142 591 259 204 1196 326 136 1658 143 1807 191 586 261 181 1219 331 127 1677 130 1783 168 587 273 203 1231 311 119 1661 122 1763 152 622 273 211 1258 299 106 1663 100 1549 131 567 226 199 1123 255 97 1475 74 316 empl. 79325 0 1326 1693 2778 5797 13857 19690 39344 39981 73966 0 1346 1736 2416 5498 13214 18875 37587 36379 68512 0 1267 1833 2725 5825 12527 17137 35489 33023 60567 0 1292 1839 2804 5935 12287 14516 32738 27829 47795 0 1226 1524 2605 5355 9783 11901 27039 20756 316 ann. pay. 1773064 9300 22501 27943 50723 110467 286411 428575 825453 947611 1737933 15578 23194 30737 51865 121374 284939 439394 845707 892226 1710508 10431 24803 37613 55967 128814 284904 408789 822507 888001 1495667 5582 26032 39326 56305 127245 275468 355373 758086 737581 1269367 11963 25896 34603 62017 134479 248403 297354 680236 589131 316 rec. 7106166 54932 121614 140547 279510 596603 1155686 1671454 3423743 3682423 321 firms 15832 1296 4231 2815 2819 11161 3582 838 15581 251 15612 1243 4162 2701 2883 10989 3508 847 15344 268 15452 1200 4089 2649 2801 10739 3570 877 15186 266 15411 1130 4234 2791 2749 10904 3437 819 15160 251 15198 1147 4290 2769 2681 10887 3280 791 14958 240 321 estab. 17656 1296 4231 2816 2828 11171 3749 1326 16246 1410 17473 1243 4162 2703 2896 11004 3666 1342 16012 1461 17328 1200 4091 2650 2810 10751 3710 1388 15849 1479 17289 1131 4236 2793 2765 10925 3587 1337 15849 1440 17052 1151 4293 2772 2693 10909 3482 1271 15662 1390 321 empl. 580334 0 9633 19034 38705 67372 144839 132460 344671 235663 595176 0 9370 18241 39449 67060 143546 131946 342552 252624 597684 0 9161 17900 38364 65425 145610 137389 348424 249260 557507 0 9275 18986 37761 66022 140524 125696 332242 225265 534011 0 9834 18836 36753 65423 132612 118910 316945 217066 321 ann. pay. 15440196 80577 181142 361868 807062 1430649 3425220 3412200 8268069 7172127 16372899 119241 187074 360104 861682 1528101 3499485 3579111 8606697 7766202 16511396 65250 181243 362298 848511 1457302 3614032 3747156 8818490 7692906 15829400 80746 193214 401290 860464 1535714 3594107 3554125 8683946 7145454 15922366 113445 221800 420292 903047 1658584 3614290 3592758 8865632 7056734 321 rec. 88649041 695108 1365385 2181797 4656383 8898673 18276348 19716896 46891917 41757124 322 firms 3805 170 511 430 567 1678 1358 518 3554 251 3740 168 499 433 552 1652 1340 508 3500 240 3648 135 502 402 547 1586 1297 529 3412 236 3660 153 535 397 554 1639 1271 521 3431 229 3538 155 551 402 529 1637 1200 476 3313 225 322 estab. 5927 170 512 430 567 1679 1423 795 3897 2030 5883 170 499 433 552 1654 1399 791 3844 2039 5790 135 502 402 547 1586 1348 820 3754 2036 5739 153 535 397 555 1640 1332 799 3771 1968 5546 155 552 402 534 1643 1271 755 3669 1877 322 empl. 567891 0 1260 2956 7917 12133 61391 87056 160580 407311 559020 0 1182 2975 7718 11875 60740 84982 157597 401423 553943 0 1186 2778 7850 11814 59235 89058 160107 393836 533251 0 1228 2716 7761 11705 57177 88086 156968 376283 495990 0 1240 2739 7346 11325 52334 78402 142061 353929 322 ann. pay. 22685731 25994 38309 79615 229778 373696 1912740 3198342 5484778 17200953 23226723 95091 37290 80156 226072 438609 1969851 3221166 5629626 17597097 23290895 33875 39550 82418 240246 396089 1947805 3405892 5749786 17541109 22500834 45839 42033 79977 222649 390498 1871293 3403454 5665245 16835589 21812743 25645 48468 84133 232606 390852 1844401 3140088 5375341 16437402 322 rec. 154746086 240544 325770 532008 1360218 2458540 9483089 17620261 29561890 125184196 323 firms 40221 2555 15480 9037 5886 32958 5853 1060 39871 350 38780 2238 15135 8671 5648 31692 5695 1048 38435 345 37188 2231 14282 8341 5459 30313 5533 1004 36850 338 36099 2065 14186 8022 5266 29539 5258 986 35783 316 35174 2191 14391 7627 4979 29188 4845 863 34896 278 323 estab. 42133 2555 15487 9048 5914 33004 6128 1512 40644 1489 40671 2240 15145 8680 5683 31748 5945 1507 39200 1471 39035 2234 14288 8346 5491 30359 5764 1454 37577 1458 37895 2066 14191 8029 5300 29586 5500 1412 36498 1397 36902 2192 14392 7640 5018 29242 5130 1255 35627 1275 323 empl. 845064 0 35938 59523 79168 174629 233054 167573 575256 269808 833649 0 35058 57385 76098 168541 226811 166893 562245 271404 813389 0 33140 55229 73604 161973 221152 159268 542393 270996 784520 0 32631 53099 70894 156624 210277 159410 526311 258209 706419 0 33188 50325 66892 150405 192424 136352 479181 227238 323 ann. pay. 27472755 130725 761021 1410700 2194000 4496446 7745939 5849605 18091990 9380765 27940066 171208 783201 1408829 2185766 4549004 7768103 5911951 18229058 9711008 28318533 149800 770406 1403607 2159587 4483400 7761907 5974238 18219545 10098988 27050907 137186 771280 1359095 2081208 4348769 7322422 5954787 17625978 9424929 25062361 137878 789698 1338401 2029188 4295165 6967670 5162070 16424905 8637456 323 rec. 93105255 526082 2827441 4503262 6525920 14382705 22065455 17889250 54337410 38767845 324 firms 1177 71 253 178 155 657 258 130 1045 132 1144 57 245 181 152 635 257 121 1013 131 1136 74 243 162 154 633 241 122 996 140 1133 73 250 166 149 638 242 121 1001 132 1132 66 262 174 151 653 233 119 1005 127 324 estab. 2221 71 253 179 160 663 338 335 1336 885 2226 57 245 182 156 640 330 300 1270 956 2210 74 243 163 155 635 314 290 1239 971 2253 73 250 168 151 642 326 298 1266 987 2296 66 262 175 159 662 323 292 1277 1019 324 empl. 111000 0 585 1212 2090 3887 9221 10626 23734 87266 109104 0 551 1215 1983 3749 9286 10646 23681 85423 109223 0 526 1082 2027 3635 8415 10918 22968 86255 103570 0 549 1103 1938 3590 8572 11252 23414 80156 100403 0 593 1161 1955 3709 8319 10337 22365 78038 324 ann. pay. 5997199 35935 26594 52207 105557 220293 414996 467145 1102434 4894765 6058224 4974 24315 60966 89736 179991 423638 516590 1120219 4938005 6385725 11628 25005 49065 104434 190132 374525 509110 1073767 5311958 6335924 7675 29901 50580 103661 191817 395823 591140 1178780 5157144 6456421 7715 35885 56800 104506 204906 409562 549758 1164226 5292195 324 rec. 216624384 81338 436683 578297 822414 1918732 5527588 7753895 15200215 201424169 325 firms 9660 675 2465 1607 1453 6200 2060 783 9043 617 9557 625 2454 1606 1441 6126 2032 785 8943 614 9530 624 2444 1572 1450 6090 2049 786 8925 605 9535 588 2520 1547 1432 6087 2073 780 8940 595 9341 591 2467 1542 1404 6004 1974 790 8768 573 325 estab. 13597 675 2465 1611 1459 6210 2254 1321 9785 3812 13534 629 2455 1607 1452 6143 2219 1345 9707 3827 13426 624 2447 1573 1466 6110 2232 1320 9662 3764 13361 589 2525 1549 1447 6110 2262 1336 9708 3653 13096 601 2470 1545 1418 6034 2208 1352 9594 3502 325 empl. 900706 0 5744 10908 19873 36525 83015 113192 232732 667974 886354 0 5623 10787 19602 36012 80591 113040 229643 656711 885848 0 5510 10535 19761 35806 81347 112853 230006 655842 869761 0 5687 10271 19386 35344 83206 113057 231607 638154 827430 0 5580 10275 18983 34838 78090 113326 226254 601176 325 ann. pay. 44123527 102893 188079 365137 691874 1347983 3132708 4544966 9025657 35097870 44738273 108739 185183 362276 712293 1368491 3274520 4750609 9393620 35344653 45609549 65403 194745 368108 745973 1374229 3324963 4862437 9561629 36047920 46394786 85112 201178 393488 736041 1415819 3483738 5085723 9985280 36409506 46430565 153977 219951 385961 764654 1524543 3419359 5228986 10172888 36257677 325 rec. 468211261 1795525 1737726 2743159 5150581 11426991 21394362 39110698 71932051 396279210 326 firms 13605 802 2620 1856 2129 7407 4079 1415 12901 704 13364 684 2601 1842 2094 7221 3971 1455 12647 717 12971 637 2415 1796 2029 6877 3923 1462 12262 709 12685 586 2470 1727 2014 6797 3835 1366 11998 687 12223 567 2394 1814 1971 6746 3590 1230 11566 657 326 estab. 16752 803 2620 1858 2133 7414 4245 2093 13752 3000 16646 689 2601 1844 2099 7233 4112 2142 13487 3159 16292 641 2415 1799 2035 6890 4048 2150 13088 3204 15981 588 2471 1730 2020 6809 3974 2031 12814 3167 15462 568 2396 1817 1976 6757 3785 1901 12443 3019 326 empl. 1030385 0 6030 12624 29655 48309 177942 237167 463418 566967 1046935 0 5971 12492 29041 47504 173349 242419 463272 583663 1056507 0 5592 12163 28174 45929 170757 243364 460050 596457 1002503 0 5728 11712 27809 45249 166146 221350 432745 569758 925607 0 5654 12397 27115 45166 154914 195941 396021 529586 326 ann. pay. 31563326 84091 157792 323719 813532 1379134 4952832 6709182 13041148 18522178 33350608 88129 169663 346100 822445 1426337 5007166 7182777 13616280 19734328 34110098 82055 156256 333769 835364 1407444 5008437 7333839 13749720 20360378 32641356 85140 167025 327757 788655 1368577 4938149 6688285 12995011 19646345 32036051 65294 181893 364553 835840 1447580 4975663 6355425 12778668 19257383 326 rec. 169377747 385201 1089576 1744440 3711809 6931026 21629907 30059648 58620581 110757166 327 firms 11883 825 3284 2051 2042 8202 2709 620 11531 352 11693 765 3262 2065 1961 8053 2662 636 11351 342 11455 726 3117 1979 1962 7784 2688 631 11103 352 11562 718 3174 2071 1939 7902 2675 627 11204 358 11395 819 3123 2054 1931 7927 2553 590 11070 325 327 estab. 16474 827 3286 2056 2077 8246 3363 1896 13505 2969 16541 766 3267 2073 1990 8096 3331 1802 13229 3312 16537 727 3122 1994 1984 7827 3308 1756 12891 3646 16732 724 3179 2083 1964 7950 3341 1772 13063 3669 16674 821 3125 2061 1975 7982 3302 1788 13072 3602 327 empl. 508272 0 7445 13915 27809 49169 104598 94073 247840 260432 510316 0 7400 13937 26934 48271 102362 96647 247280 263036 523698 0 7098 13353 27032 47483 106033 95847 249363 274335 524230 0 7109 13883 26635 47627 104121 91975 243723 280507 475476 0 7066 13938 26311 47315 98637 85569 231521 243955 327 ann. pay. 17590901 67346 180160 348514 796661 1392681 3340988 3087843 7821512 9769389 18272582 59210 188713 351807 817586 1417316 3422195 3275523 8115034 10157548 19122634 52069 179408 354561 804276 1390314 3530043 3354806 8275163 10847471 19349947 56329 188304 379227 822144 1446004 3551070 3316159 8313233 11036714 18119656 52076 187466 392247 859145 1490934 3539202 3148437 8178573 9941083 327 rec. 95442761 266419 900494 1755553 3790341 6712807 15357243 14721698 36791748 58651013 331 firms 4419 317 758 517 574 2166 1218 597 3981 438 4781 536 845 590 598 2569 1219 571 4359 422 5158 520 1027 686 667 2900 1258 589 4747 411 5555 522 1224 790 728 3264 1319 581 5164 391 5154 379 1114 758 773 3024 1223 547 4794 360 331 estab. 5497 318 759 518 575 2170 1263 765 4198 1299 5900 536 847 591 599 2573 1264 747 4584 1316 6300 520 1027 689 670 2906 1303 769 4978 1322 6684 522 1225 790 734 3271 1360 777 5408 1276 6229 379 1114 758 780 3031 1278 765 5074 1155 331 empl. 615177 0 1754 3497 7907 13158 54503 102973 170634 444543 597623 0 1918 3955 8337 14210 54547 99658 168415 429208 601627 0 2303 4604 9181 16088 55504 104823 176415 425212 572512 0 2789 5371 10122 18282 57115 102516 177913 394599 501038 0 2553 5130 10616 18299 52242 94040 164581 336457 331 ann. pay. 24827479 43494 50449 91874 227763 413580 1721455 3515934 5650969 19176510 24765637 91256 59532 110403 242580 503771 1781014 3484814 5769599 18996038 25544619 64422 67863 126466 274266 533017 1850715 3803067 6186799 19357820 23641904 102362 78636 145497 304044 630539 1859479 3546056 6036074 17605830 21623206 147849 82483 154682 335827 720841 1804599 3472568 5998008 15625198 331 rec. 139461013 1145234 546624 795229 1505331 3992418 8931207 18903763 31827388 107633625 332 firms 59314 3757 16357 11374 10895 42383 13338 2645 58366 948 57910 3095 16625 11162 10607 41489 12920 2569 56978 932 56761 3135 15882 11074 10294 40385 12884 2574 55843 918 56444 2767 16097 11000 10316 40180 12858 2489 55527 917 57398 3299 18135 11429 9919 42782 11558 2224 56564 834 332 estab. 63466 3758 16357 11379 10916 42410 13774 3721 59905 3561 62242 3099 16629 11164 10625 41517 13353 3661 58531 3711 61144 3137 15883 11078 10312 40410 13315 3661 57386 3758 60791 2767 16101 11011 10332 40211 13296 3553 57060 3731 61652 3300 18135 11433 9943 42811 12100 3309 58220 3432 332 empl. 1816223 0 37577 76977 149204 263758 534906 396479 1195143 621080 1788484 0 38167 75304 144900 258371 516450 384193 1159014 629470 1790817 0 36653 74775 140436 251864 518291 391878 1162033 628784 1761358 0 37140 74141 141262 252543 517609 380041 1150193 611165 1582399 0 41432 76730 135603 253765 460034 325795 1039594 542805 332 ann. pay. 60930049 321631 944615 2109389 4596517 7972152 17650051 13301747 38923950 22006099 61603757 215406 1000330 2153736 4587413 7956885 17567598 13298355 38822838 22780919 64244450 222186 999556 2229404 4689978 8141124 18360468 14023410 40525002 23719448 61803349 210237 994471 2185175 4565936 7955819 17816392 13366423 39138634 22664715 57681542 262397 1118620 2348566 4569430 8299013 16629787 12012309 36941109 20740433 332 rec. 248973057 1237005 4059146 7644810 14573180 27514141 56431255 51190221 135135617 113837440 333 firms 28087 1701 6943 5009 4898 18551 6777 1856 27184 903 27381 1420 7054 4900 4808 18182 6521 1796 26499 882 26612 1390 6779 4820 4604 17593 6417 1750 25760 852 26121 1184 6882 4726 4588 17380 6302 1618 25300 821 25245 1340 6860 4676 4425 17301 5701 1474 24476 769 333 estab. 30829 1701 6943 5010 4909 18563 7012 2369 27944 2885 30177 1426 7058 4903 4819 18206 6755 2331 27292 2885 29442 1391 6780 4822 4613 17606 6652 2267 26525 2917 28922 1184 6882 4728 4601 17395 6547 2115 26057 2865 27941 1343 6862 4682 4439 17326 5974 1995 25295 2646 333 empl. 1444452 0 16140 33816 67236 117192 275417 281847 674456 769996 1398226 0 16294 33056 65950 115300 264680 271921 651901 746325 1377950 0 15709 32620 63317 111646 260481 264663 636790 741160 1332854 0 15768 32160 62856 110784 256138 251424 618346 714508 1166221 0 15858 31661 60342 107861 225667 218132 551660 614561 333 ann. pay. 56532818 180062 473059 1053577 2347976 4054674 10343333 10880330 25278337 31254481 55874118 161733 501222 1056075 2330703 4049733 10210470 10809861 25070064 30804054 58386691 142944 500712 1085465 2313165 4042286 10432308 10996265 25470859 32915832 54713649 109225 499978 1044294 2239874 3893371 9882254 10168334 23943959 30769690 50101357 163778 522352 1103826 2264217 4054173 9231905 9126562 22412640 27688717 333 rec. 251308533 1042806 2084196 3917199 7598582 14642783 32427849 37020549 84091181 167217352 334 firms 15480 1282 3762 2265 2236 9545 3716 1386 14647 833 15109 1189 3781 2285 2183 9438 3596 1293 14327 782 14941 1301 3729 2209 2129 9368 3530 1292 14190 751 14643 953 3790 2179 2118 9040 3504 1346 13890 753 13833 1027 3530 2113 2055 8725 3291 1149 13165 668 334 estab. 17632 1282 3764 2269 2244 9559 3825 1734 15118 2514 17279 1190 3786 2289 2188 9453 3689 1677 14819 2460 17148 1304 3731 2212 2136 9383 3607 1666 14656 2492 16764 955 3792 2183 2124 9054 3593 1670 14317 2447 15883 1028 3534 2116 2059 8737 3435 1497 13669 2214 334 empl. 1680856 0 8534 15243 31071 54848 159421 241676 455945 1224911 1615177 0 8557 15225 29924 53706 154852 223595 432153 1183024 1557087 0 8407 14808 29485 52700 152316 223517 428533 1128554 1593307 0 8366 14691 29246 52303 153666 230941 436910 1156397 1300411 0 7857 14125 28297 50279 139966 186772 377017 923394 334 ann. pay. 79685307 251245 300761 533978 1132246 2218230 6028831 9634362 17881423 61803884 83841985 266355 322032 563263 1175207 2326857 6368243 10148196 18843296 64998689 90397471 374967 334625 594489 1263927 2568008 6824692 12185698 21578398 68819073 84522217 137466 343763 578601 1232500 2292330 6587168 11175562 20055060 64467157 71698438 184491 314733 571374 1189949 2260547 6364799 9361742 17987088 53711350 334 rec. 379931227 1150808 1444546 2466028 4667481 9728863 22791086 36139765 68659714 311271513 335 firms 5977 384 1367 924 860 3535 1460 572 5567 410 5941 406 1427 913 825 3571 1412 557 5540 401 5875 374 1442 895 841 3552 1373 559 5484 391 5796 376 1352 918 827 3473 1388 564 5425 371 5546 315 1351 928 789 3383 1317 509 5209 337 335 estab. 7153 384 1368 924 867 3543 1508 697 5748 1405 7104 407 1428 913 831 3579 1454 688 5721 1383 7041 375 1445 895 846 3561 1414 678 5653 1388 6940 376 1353 921 831 3481 1425 690 5596 1344 6601 315 1353 931 797 3396 1361 628 5385 1216 335 empl. 602400 0 3165 6241 11773 21179 60870 87690 169739 432661 586421 0 3256 6180 11330 20766 58940 86401 166107 420314 589406 0 3278 6038 11710 21026 58127 85392 164545 424861 575413 0 3065 6178 11320 20563 59746 87629 167938 407475 502400 0 3007 6243 10747 19997 55428 75464 150889 351511 335 ann. pay. 20229559 113250 91150 186608 366118 757126 1990241 2741172 5488539 14741020 20599635 47052 99137 191502 372312 710003 2038467 2829830 5578300 15021335 21852991 61160 104928 200471 404942 771501 2124477 2994581 5890559 15962432 20873387 101967 102809 202667 381746 789189 2134933 2967489 5891611 14981776 18849367 34697 106721 215945 384293 741656 2086377 2722731 5550764 13298603 335 rec. 108523267 258052 693200 1041774 1705266 3698292 8504320 12413124 24615736 83907531 336 firms 11130 861 2768 1714 1517 6860 2618 1029 10507 623 10916 809 2746 1681 1526 6762 2508 1024 10294 622 10634 719 2659 1597 1528 6503 2493 1032 10028 606 10522 668 2695 1660 1476 6499 2464 969 9932 590 10114 677 2610 1575 1483 6345 2298 927 9570 544 336 estab. 13202 861 2768 1715 1520 6864 2706 1256 10826 2376 13042 815 2748 1682 1530 6775 2580 1241 10596 2446 12766 720 2659 1598 1536 6513 2557 1244 10314 2452 12627 668 2697 1664 1480 6509 2520 1192 10221 2406 12202 678 2610 1577 1490 6355 2383 1172 9910 2292 336 empl. 1911346 0 6297 11476 20844 38617 113271 188961 340849 1570497 1906216 0 6184 11216 20850 38250 108997 191507 338754 1567462 1872630 0 5963 10719 20922 37604 109301 195735 342640 1529990 1753445 0 6044 11083 20425 37552 107646 180036 325234 1428211 1578707 0 5878 10550 20407 36835 99419 172014 308268 1270439 336 ann. pay. 84378736 106984 154156 286537 577886 1125563 3425014 5962440 10513017 73865719 90608982 116294 165970 293527 602900 1178691 3452620 6152500 10783811 79825171 88631732 80931 156770 302239 624554 1164494 3495232 6385675 11045401 77586331 83439891 129384 164232 296054 615345 1205015 3515232 5912017 10632264 72807627 78771473 120027 175649 321068 650475 1267219 3448000 6044258 10759477 68011996 336 rec. 632001391 820147 1153130 1818102 3146608 6937987 15655728 31051101 53644816 578356575 337 firms 19672 1649 7193 3788 2875 15505 3210 734 19449 223 19325 1513 7023 3706 2838 15080 3271 745 19096 229 18921 1415 6738 3663 2859 14675 3240 773 18688 233 19702 1471 7177 3845 2988 15481 3273 729 19483 219 21194 1577 8383 4196 3049 17205 3116 679 21000 194 337 estab. 20623 1649 7199 3793 2888 15529 3316 931 19776 847 20266 1515 7028 3712 2850 15105 3369 952 19426 840 19848 1418 6741 3668 2871 14698 3314 988 19000 848 20593 1472 7179 3857 3001 15509 3340 931 19780 813 22083 1577 8386 4204 3075 17242 3201 895 21338 745 337 empl. 603861 0 16114 25142 38829 80085 133824 126214 340123 263738 623153 0 15621 24645 38439 78705 135989 128556 343250 279903 640444 0 15016 24263 38905 78184 135423 135812 349419 291025 619197 0 15908 25758 40524 82190 134315 128222 344727 274470 575128 0 18664 27878 41101 87643 126419 116957 331019 244109 337 ann. pay. 16082291 113167 319133 533965 918144 1884409 3501767 3294601 8680777 7401514 17127833 94017 326790 535957 957890 1914654 3694157 3466216 9075027 8052806 17963631 60826 318146 542121 983501 1904594 3753303 3734483 9392380 8571251 17433649 77953 353187 605743 1040751 2077634 3796857 3544773 9419264 8014385 16806059 75864 427666 687356 1109340 2300226 3747008 3468051 9515285 7290774 337 rec. 73497087 354995 1673215 2443462 3818158 8289830 13320143 14586203 36196176 37300911 339 firms 30498 2782 13125 5525 3749 25181 3952 946 30079 419 30168 2650 12982 5575 3668 24875 3927 949 29751 417 30034 2652 12855 5570 3665 24742 3913 960 29615 419 29476 2349 12850 5506 3596 24301 3849 911 29061 415 28269 2408 12324 5162 3499 23393 3624 854 27871 398 339 estab. 31747 2783 13129 5532 3765 25209 4084 1260 30553 1194 31470 2652 12984 5583 3684 24903 4064 1254 30221 1249 31303 2652 12856 5576 3680 24764 4045 1250 30059 1244 30718 2349 12851 5511 3612 24323 3982 1207 29512 1206 29507 2409 12325 5168 3517 23419 3772 1205 28396 1111 339 empl. 737468 0 28192 36304 50567 115063 160065 150624 425752 311716 734242 0 27984 36714 49838 114536 158005 148004 420545 313697 732200 0 27746 36619 49594 113959 156780 150565 421304 310896 713165 0 27878 36263 48925 113066 153731 142795 409592 303573 664710 0 26835 34058 47336 108229 141831 132608 382668 282042 339 ann. pay. 23274482 131821 616669 865015 1348599 2962104 4691319 4585067 12238490 11035992 24353888 170050 645946 914953 1359919 3090868 4875310 4759702 12725880 11628008 25500383 233305 665075 946483 1423932 3268795 5072410 5083104 13424309 12076074 25604567 133575 683909 961153 1432499 3211136 4978462 5079445 13269043 12335524 25208158 116132 659986 948574 1459623 3184315 4880030 5090185 13154530 12053628 339 rec. 118090424 592470 2538104 3333745 5164353 11628672 18029568 22429661 52087901 66002523 421 firms 232280 21892 103930 43945 29963 199730 25650 4729 230109 2171 229758 22227 102597 43107 29532 197463 25480 4667 227610 2148 227279 21474 100829 42827 29531 194661 25710 4724 225095 2184 221912 20298 98315 41990 28979 189582 25427 4744 219753 2159 221357 22341 99701 40767 27799 190608 24252 4469 219329 2028 421 estab. 291099 21968 104204 44759 32355 203286 37370 16306 256962 34137 290053 22314 102913 43961 31891 201079 36572 16385 254036 36017 288584 21558 101197 43659 31735 198149 36176 16508 250833 37751 283435 20394 98674 42811 31130 193009 35549 16415 244973 38462 282959 22382 99975 41762 30389 194508 36458 16805 247771 35188 421 empl. 3466708 0 222494 289954 399949 912397 919478 564475 2396350 1070358 3527913 0 219471 284580 395463 899514 920865 570662 2391041 1136872 3624617 0 215683 283134 395106 893923 935671 593343 2422937 1201680 3633480 0 209973 277337 387796 875106 923588 604796 2403490 1229990 3443697 0 211875 269202 372314 853391 873778 554482 2281651 1162046 421 ann. pay. 146899993 1174344 7587810 9907517 14544792 33214463 35282753 22805780 91302996 55596997 158783498 1266667 7730806 10208368 14981375 34187216 36761521 23740340 94689077 64094421 171752464 1168937 7973231 10565957 15642428 35350553 39453119 26500830 101304502 70447962 173196447 1231121 7747822 10382908 15320765 34682616 38866682 26713079 100262377 72934070 162396424 1259526 7695303 10240844 15011022 34206695 37499064 24840376 96546135 65850289 421 rec. 2332184855 14491725 115786294 119206832 143561185 393046036 329246092 256971448 979263576 1352921279 422 firms 132145 13843 58921 22717 15691 111172 16009 3399 130580 1565 129713 13366 57992 22169 15391 108918 15851 3387 128156 1557 127772 13097 56677 21852 15377 107003 15769 3470 126242 1530 124958 12597 55274 21303 15131 104305 15689 3485 123479 1479 124758 13932 55947 20636 14434 104949 15026 3343 123318 1440 422 estab. 162888 13869 59028 23059 16750 112706 20830 8432 141968 20920 159977 13412 58116 22499 16416 110443 20335 8327 139105 20872 157653 13148 56818 22184 16331 108481 19930 8642 137053 20600 155489 12642 55421 21647 16046 105756 19844 8740 134340 21149 153941 13964 56039 21012 15425 106440 19636 8581 134657 19284 422 empl. 2418522 0 122505 149271 209456 481232 575177 397094 1453503 965019 2444109 0 120263 145617 204599 470479 573794 398963 1443236 1000873 2487412 0 117941 143517 204839 466297 574974 422313 1463584 1023828 2508609 0 115161 139939 201681 456781 572860 431863 1461504 1047105 2416559 0 116393 135800 192366 444559 547308 405975 1397842 1018717 422 ann. pay. 87024460 615956 3880318 4590072 6604687 15691033 18432365 13949838 48073236 38951224 91214100 704416 3964022 4651473 6734311 16054222 19167017 14386615 49607854 41606246 98369742 744499 4018051 4785040 6927004 16474594 20107352 15848726 52430672 45939070 102702969 672633 4018872 4773138 7041038 16505681 20542289 16408117 53456087 49246882 100131353 855483 4037003 4827810 7006936 16727232 20582841 16434412 53744485 46386868 422 rec. 2157881220 12883438 81732727 81872704 110283253 286772122 314532298 270697489 872001909 1285879311 441 firms 95985 7765 37763 18314 12459 76301 16955 2491 95747 238 95222 8463 37059 17863 12245 75630 16766 2581 94977 245 95808 8640 37190 17792 12402 76024 16763 2774 95561 247 96722 8951 38187 17733 12150 77021 16686 2773 96480 242 96890 9007 38991 17469 11797 77264 16460 2913 96637 253 441 estab. 123419 7795 37817 18592 13478 77682 21414 6695 105791 17628 123855 8516 37149 18164 13214 77043 20916 7085 105044 18811 124464 8675 37301 18098 13282 77356 20659 6652 104667 19797 125728 8979 38297 18068 13032 78376 20423 6567 105366 20362 126644 9019 39051 17782 12775 78627 20523 7024 106174 20470 441 empl. 1757248 0 83326 120620 166693 370639 716916 370434 1457989 299259 1803665 0 82073 117681 163702 363456 713843 381450 1458749 344916 1866293 0 82170 116834 165982 364986 719496 413265 1497747 368546 1850218 0 84017 116774 162687 363478 713054 416351 1492883 357335 1890916 0 86420 114879 158330 359629 708139 441078 1508846 382070 441 ann. pay. 55552390 471244 1632785 2615472 4137907 8857408 24539010 14003614 47400032 8152358 60217423 593863 1697014 2671228 4281499 9243604 25662183 15380908 50286695 9930728 63873881 649818 1722568 2682310 4374749 9429445 26204611 17039808 52673864 11200017 66619404 640315 1845644 2792471 4441250 9719680 27245538 18127845 55093063 11526341 67996832 633858 1924618 2858785 4450567 9867828 27292583 18970092 56130503 11866329 441 rec. 813208907 11184171 27909176 28605136 46009266 113707749 339756508 230004195 683468452 129740455 442 firms 48289 4448 22591 11283 6099 44421 3263 421 48105 184 48010 4479 22272 11078 6142 43971 3428 436 47835 175 48390 4687 22068 11154 6350 44259 3509 450 48218 172 49677 4869 22832 11387 6441 45529 3519 449 49497 180 49846 5247 23042 11246 6308 45843 3404 425 49672 174 442 estab. 64445 4471 22660 11565 7063 45759 6495 2875 55129 9316 64258 4508 22349 11354 7039 45250 6518 3069 54837 9421 64842 4820 22160 11436 7164 45580 6407 3099 55086 9756 65766 4885 22923 11688 7280 46776 6200 2897 55873 9893 66360 5255 23081 11553 7355 47244 6509 3193 56946 9414 442 empl. 509738 0 50584 73736 79186 203506 104854 45992 354352 155386 525342 0 50142 72689 80027 202858 111033 50837 364728 160614 549184 0 49859 73176 83025 206060 116149 52255 374464 174720 567318 0 51299 74608 83889 209796 116011 54960 380767 186551 551567 0 52727 73848 82276 208851 109938 51988 370777 180790 442 ann. pay. 11278469 113778 933650 1510341 1838089 4395858 2753766 1227107 8376731 2901738 12407723 133386 989963 1567033 1966370 4656752 3061767 1488115 9206634 3201089 13356112 135143 1009424 1628577 2113954 4887098 3382023 1592371 9861492 3494620 13644132 158990 1062776 1679392 2169793 5070951 3391617 1647020 10109588 3534544 13764754 173066 1088945 1738932 2219170 5220113 3315097 1628380 10163590 3601164 442 rec. 97073126 1568535 9083591 11161806 12815000 34628932 19110523 11494884 65234339 31838787 443 firms 32389 4182 15690 6992 3441 30305 1750 201 32256 133 32113 3904 15646 7000 3434 29984 1804 198 31986 127 32252 4013 15541 6941 3552 30047 1846 221 32114 138 33764 4584 16459 6958 3507 31508 1879 235 33622 142 34012 4688 16950 6725 3468 31831 1834 229 33894 118 443 estab. 45235 4188 15746 7182 3953 31069 3139 998 35206 10029 45167 3937 15704 7165 3907 30713 3068 1088 34869 10298 45592 4044 15608 7123 4020 30795 2933 1096 34824 10768 47747 4603 16533 7171 3976 32283 2934 1452 36669 11078 49600 4711 17020 6943 4076 32750 3435 1827 38012 11588 443 empl. 361907 0 35399 45431 44312 125142 54654 18380 198176 163731 384264 0 34957 45648 44205 124810 57118 18902 200830 183434 407321 0 34588 45213 46140 125941 59606 23719 209266 198055 425736 0 36414 45290 45516 127220 60525 26804 214549 211187 418725 0 37830 43876 45158 126864 58597 22582 208043 210682 443 ann. pay. 8575213 142648 671944 935524 1094948 2845064 1654571 636382 5136017 3439196 9573004 151099 700382 1009950 1147220 3008651 1851809 703866 5564326 4008678 11236630 142555 706616 1018616 1236958 3104745 2050184 1091597 6246526 4990104 11593224 151263 758733 1026002 1272527 3208525 2074120 1137695 6420340 5172884 11608791 168216 776325 1042834 1255462 3242837 2093332 861588 6197757 5411034 443 rec. 92280756 1408544 5691210 6224857 6947106 20271717 11491484 5788203 37551404 54729352 444 firms 68461 4902 26249 16492 11289 58932 8153 1063 68148 313 67675 5074 25662 16079 11183 57998 8243 1111 67352 323 67432 5270 25123 15814 11334 57541 8419 1139 67099 333 69413 5568 26351 16115 11498 59532 8441 1127 69100 313 68829 5928 26125 15915 11268 59236 8210 1093 68539 290 444 estab. 92789 4906 26291 16711 12257 60165 13215 5211 78591 14198 92293 5094 25703 16318 12103 59218 13046 5366 77630 14663 91948 5309 25181 16056 12153 58699 12872 5312 76883 15065 94135 5615 26412 16411 12299 60737 12734 5431 78902 15233 94109 5971 26159 16166 12235 60531 12899 5477 78907 15202 444 empl. 1131200 0 61164 109617 148635 319416 275269 115669 710354 420846 1183696 0 59360 106930 147994 314284 279085 125677 719046 464650 1235387 0 57992 105167 150368 313527 287658 128251 729436 505951 1249126 0 60266 106921 152578 319765 286542 129012 735319 513807 1270736 0 60850 105521 149775 316146 276447 126010 718603 552133 444 ann. pay. 27776894 194723 1240799 2364883 3574483 7374888 7681871 3368812 18425571 9351323 30179769 164372 1271207 2418904 3697584 7552067 8087729 3802252 19442048 10737721 32450283 262610 1258773 2401879 3798909 7722171 8461462 3983894 20167527 12282756 34701139 190944 1363002 2556424 4024401 8134771 8650117 4171147 20956035 13745104 35149472 219040 1381561 2600316 4057359 8258276 8596262 4164751 21019289 14130183 444 rec. 288435295 1905844 11159878 17642728 26034862 56743312 57021855 32997080 146762247 141673048 445 firms 111771 13474 53616 20843 11926 99859 9787 1648 111294 477 113724 15293 53973 20830 11887 101983 9642 1638 113263 461 117497 16260 55270 21614 12451 105595 9854 1601 117050 447 119777 16732 56849 21940 12566 108087 9698 1535 119320 457 119448 17037 57044 21511 12423 108015 9515 1460 118990 458 445 estab. 147787 13502 53716 21083 12624 100925 12659 5812 119396 28391 151506 15358 54112 21116 12517 103103 12335 5828 121266 30240 154491 16328 55410 21909 13057 106704 12449 6109 125262 29229 156261 16747 56984 22208 13171 109110 12182 5911 127203 29058 155677 17049 57119 21749 13069 108986 11889 5388 126263 29414 445 empl. 2943821 0 116677 136655 156375 409707 365144 250872 1025723 1918098 3014663 0 117404 136593 156706 410703 359796 249827 1020326 1994337 3004410 0 120063 141831 163874 425768 367522 245735 1039025 1965385 2963801 0 123568 143993 165769 433330 363528 236187 1033045 1930756 2883997 0 126628 140407 163752 430787 355524 227811 1014122 1869875 445 ann. pay. 43256951 287309 1379137 1504987 1788335 4959768 4697572 3558154 13215494 30041457 45919947 379454 1465918 1593160 1852194 5290726 4750307 3600207 13641240 32278707 48395505 388681 1562548 1692101 1988842 5632172 4937845 3705451 14275468 34120037 49336787 401624 1677113 1786804 2080848 5946389 5085664 3702442 14734495 34602292 50064502 428195 1743351 1816797 2122906 6111249 5138750 3673766 14923765 35140737 445 rec. 464412506 5124386 24365120 19714878 19737504 68941888 42490802 31371308 142803998 321608508 446 firms 44128 3780 18514 11655 6625 40574 2945 271 43790 338 43583 3826 18422 11271 6465 39984 3006 260 43250 333 43408 3818 18316 10967 6636 39737 3069 268 43074 334 43927 4117 18602 10835 6652 40206 3099 281 43586 341 42643 3864 18179 10341 6490 38874 3169 274 42317 326 446 estab. 82749 3808 18620 12079 7690 42197 5803 2089 50089 32660 82392 3972 18542 11670 7475 41659 5563 1865 49087 33305 81189 3852 18466 11358 7562 41238 5452 1765 48455 32734 81898 4137 18752 11249 7558 41696 5285 1881 48862 33036 82574 3869 18255 10751 7455 40330 5816 1820 47966 34608 446 empl. 940248 0 43069 77186 86775 207030 92593 27998 327621 612627 938245 0 42784 74652 84347 201783 94915 26351 323049 615196 913896 0 42488 72785 86766 202039 98169 26512 326720 587176 958072 0 42599 72188 87187 201974 99421 28815 330210 627862 988347 0 42168 68715 85102 195985 102040 29158 327183 661164 446 ann. pay. 16126345 112580 848641 1492536 1659328 4113085 1822741 595291 6531117 9595228 17760222 168572 877555 1526842 1714445 4287414 1987472 625850 6900736 10859486 19281152 124461 908592 1564471 1877303 4474827 2172274 664834 7311935 11969217 20634666 165053 951871 1639766 1994827 4751517 2382504 737228 7871249 12763417 22217762 134910 966684 1698840 2086520 4886954 2586697 810522 8284173 13933589 446 rec. 186448806 1288638 8877890 14259776 16797543 41223847 17395840 5022517 63642204 122806602 447 firms 70411 5565 28566 18358 11090 63579 5609 998 70186 225 68002 5399 27641 17382 10865 61287 5491 995 67773 229 66482 5701 27002 16809 10358 59870 5358 1032 66260 222 65511 5959 26997 16164 9922 59042 5247 990 65279 232 64068 6178 26474 15664 9585 57901 5027 902 63830 238 447 estab. 123937 5610 28620 18633 12221 65084 13461 13075 91620 32317 121095 5506 27776 17759 11962 63003 12804 12820 88627 32468 119648 5795 27168 17231 11375 61569 11985 13183 86737 32911 118892 5991 27141 16591 10944 60667 11884 12974 85525 33367 117100 6224 26595 15911 10745 59475 11967 12722 84164 32936 447 empl. 946463 0 68150 122130 141521 331801 179593 128671 640065 306398 930034 0 65474 115331 139064 319869 176185 128314 624368 305666 937083 0 64122 111304 133386 308812 172588 135434 616834 320249 927284 0 63796 106981 127632 298409 168840 128373 595622 331662 895983 0 65106 103577 123394 292077 161026 118923 572026 323957 447 ann. pay. 12330938 147898 898756 1525997 1782426 4355077 2297964 1667404 8320445 4010493 12825358 153184 922567 1521980 1809509 4407240 2336053 1730551 8473844 4351514 13321764 146126 925277 1507977 1767226 4346606 2316580 1865613 8528799 4792965 13455657 153675 972252 1500069 1735117 4361113 2328268 1818707 8508088 4947569 13471484 173213 981229 1501077 1725285 4380804 2223481 1731865 8336150 5135334 447 rec. 238083074 3474892 21829603 26087244 24728765 76120504 31687359 29406806 137214669 100868405 448 firms 70545 6973 38445 14928 6269 66615 3035 536 70186 359 68801 7135 37341 14372 6161 65009 2951 491 68451 350 68158 7389 36275 14460 6219 64343 3006 485 67834 324 68576 7708 36353 14425 6259 64745 3045 464 68254 322 69030 8648 36567 14156 5989 65360 2916 443 68719 311 448 estab. 152660 7021 38790 15501 7626 68938 7520 6320 82778 69882 151674 7221 37619 14912 7436 67188 6978 6408 80574 71100 150946 7447 36578 15041 7471 66537 6739 5738 79014 71932 151668 7730 36612 14997 7355 66694 6638 5075 78407 73261 151895 8669 36708 14568 7064 67009 6497 5418 78924 72971 448 empl. 1280391 0 84288 96624 80044 260956 97057 66729 424742 855649 1293439 0 81884 93191 79271 254346 95497 65020 414863 878576 1368665 0 79843 93710 79604 253157 98444 61670 413271 955394 1392626 0 79548 93596 80345 253489 100286 59910 413685 978941 1408948 0 81719 91672 77265 250656 93592 59789 404037 1004911 448 ann. pay. 17812444 135457 1186667 1463229 1366169 4151522 1723417 1114670 6989609 10822835 19134168 151389 1225929 1501519 1418219 4297056 1818146 1134685 7249887 11884281 20200440 152927 1245712 1575074 1492081 4465794 1959272 1165293 7590359 12610081 21117525 159253 1291163 1588032 1523863 4562311 1987306 1129214 7678831 13438694 21939932 178156 1329743 1623554 1503774 4635227 1911965 1083272 7630464 14309468 448 rec. 170396483 1837439 10845757 10123983 8600945 31408124 10919821 7329819 49657764 120738719 451 firms 46397 5523 24278 9205 4411 43417 2483 329 46229 168 44552 4703 23482 8970 4382 41537 2521 338 44396 156 43445 4728 22212 8995 4460 40395 2563 335 43293 152 42831 4554 22003 8733 4516 39806 2576 295 42677 154 43888 5353 22054 8931 4617 40955 2504 280 43739 149 451 estab. 68156 5544 24336 9438 5175 44493 4957 2415 51865 16291 66074 4736 23569 9226 5048 42579 4854 2477 49910 16164 65021 4763 22304 9243 5118 41428 4688 2485 48601 16420 64453 4582 22100 9060 5131 40873 4659 2243 47775 16678 65933 5366 22119 9159 5286 41930 4769 1999 48698 17235 451 empl. 579860 0 52157 59645 57029 168831 81403 38172 288406 291454 589873 0 50477 58418 56625 165520 83611 38657 287788 302085 616237 0 48149 58616 57695 164460 85703 40893 291056 325181 622261 0 47665 56858 58338 162861 86441 36572 285874 336387 617726 0 48895 58219 59952 167066 82233 33263 282562 335164 451 ann. pay. 7895236 116861 688295 771206 827942 2404304 1320331 557715 4282350 3612886 8247327 100056 700917 801090 858142 2460205 1398930 586586 4445721 3801606 8764847 100611 694325 830766 897720 2523422 1484540 669667 4677629 4087218 9221580 96254 712358 832994 922525 2564131 1540296 607052 4711479 4510101 9326141 110977 729977 868958 954703 2664615 1503823 557932 4726370 4599771 451 rec. 76687429 1029266 6361718 5804392 5760112 18955488 8702321 3654798 31312607 45374822 452 firms 10637 1499 5221 2000 1042 9762 620 133 10515 122 10691 1326 5409 2045 1021 9801 654 128 10583 108 10698 1353 5377 2005 1052 9787 676 131 10594 104 10426 1192 5306 2004 1046 9548 648 125 10321 105 9681 1412 4664 1751 1017 8844 607 131 9582 99 452 estab. 36757 1500 5232 2017 1128 9877 1019 634 11530 25227 38134 1364 5420 2062 1113 9959 1012 580 11551 26583 39639 1370 5387 2030 1127 9914 1001 659 11574 28065 41169 1194 5318 2024 1119 9655 976 854 11485 29684 41069 1414 4667 1769 1101 8951 957 718 10626 30443 452 empl. 2479161 0 11221 12933 13537 37691 20901 18955 77547 2401614 2444538 0 11735 13286 13403 38424 22610 18684 79718 2364820 2526107 0 11723 13047 13676 38446 23068 19977 81491 2444616 2525974 0 11444 13040 13589 38073 22403 20153 80629 2445345 2546094 0 10345 11390 13253 34988 21139 19537 75664 2470430 452 ann. pay. 33658351 28902 127631 143356 172844 472733 296062 269645 1038440 32619911 36559197 26256 143020 159555 175302 504133 331745 278890 1114768 35444429 39769399 27433 149391 156096 179491 512411 348226 309338 1169975 38599424 42238462 26953 148863 159759 181819 517394 346263 343940 1207597 41030865 43708510 26845 137538 144090 179979 488452 339091 345075 1172618 42535892 452 rec. 444604851 267921 1381119 1200005 1228640 4077685 2347945 2438147 8863777 435741074 453 firms 108934 14279 58040 21397 9551 103267 4636 736 108639 295 106594 12421 57458 21335 9735 100949 4617 723 106289 305 105271 12480 55881 21178 9961 99500 4715 751 104966 305 103603 11616 55525 20994 9754 97889 4651 758 103298 305 104458 12847 55356 20985 9653 98841 4555 760 104156 302 453 estab. 132569 14303 58199 21944 11047 105493 9069 4448 119010 13559 131246 12451 57631 21870 11207 103159 8679 4521 116359 14887 131043 12541 56088 21671 11320 101620 8444 4511 114575 16468 129311 11670 55722 21545 11025 99962 8309 4519 112790 16521 129997 12892 55453 21510 11157 101012 8949 4656 114617 15380 453 empl. 796044 0 124178 138571 122091 384840 141776 60791 587407 208637 828824 0 123006 138179 124719 385904 144294 63854 594052 234772 849661 0 120204 137469 127784 385457 147352 68794 601603 248058 841594 0 119132 136050 125284 380466 145834 69698 595998 245596 822992 0 121391 136321 123628 381340 140394 68605 590339 232653 453 ann. pay. 11858526 257732 1599122 1824379 1820297 5501530 2295313 913513 8710356 3148170 13033156 256562 1691298 1907483 1955521 5810864 2407788 1016361 9235013 3798143 13827381 250027 1715817 1991407 2006490 5963741 2508487 1092741 9564969 4262412 13877825 241114 1767075 2002907 2041260 6052356 2538930 1096235 9687521 4190304 14112129 265529 1765872 2051684 2043785 6126870 2505058 1184680 9816608 4295521 453 rec. 97907211 2393534 14955291 12965983 11747511 42062319 13797600 6665028 62524947 35382264 454 firms 35625 3862 17598 6211 3914 31585 3041 620 35246 379 35752 4918 16886 6125 3811 31740 3000 630 35370 382 36840 5080 17349 6348 3883 32660 3123 645 36428 412 35070 4125 16929 6054 3855 30963 3050 629 34642 428 37115 5287 18210 5962 3746 33205 2900 587 36692 423 454 estab. 43348 3867 17623 6286 4179 31955 4076 1591 37622 5726 43566 4932 16922 6202 4023 32079 3960 1601 37640 5926 44750 5115 17369 6423 4088 32995 4074 1605 38674 6076 42922 4140 16950 6125 4104 31319 3948 1607 36874 6048 44735 5291 18223 6039 3987 33540 3906 1572 39018 5717 454 empl. 515431 0 35788 40652 50943 127383 97634 72440 297457 217974 540045 0 34256 40072 49600 123928 97176 73516 294620 245425 566531 0 35284 41488 50820 127592 104107 78994 310693 255838 566279 0 34451 39440 50732 124623 101554 77646 303823 262456 523873 0 36991 39148 48953 125092 95035 68989 289116 234757 454 ann. pay. 14227959 116374 726881 918585 1271356 3033196 2555190 2006990 7595376 6632583 16089022 287931 731282 964200 1298062 3281475 2733845 2106653 8121973 7967049 18075112 239871 813999 1073808 1484595 3612273 3081460 2585416 9279149 8795963 18316560 155219 787870 1004731 1460193 3408013 3109487 2393553 8911053 9405507 17346717 171500 847697 1026437 1454351 3499985 3033588 2127186 8660759 8685958 454 rec. 164914253 1777993 7685616 7280657 9616261 26360527 19693052 16670969 62724548 102189705 481 firms 2574 378 1026 365 243 2012 302 124 2438 136 2607 414 1020 329 262 2025 321 124 2470 137 2711 443 1054 351 274 2122 328 125 2575 136 2675 376 1078 383 256 2093 321 129 2543 132 2762 397 1160 350 254 2161 331 128 2620 142 481 estab. 5348 379 1026 367 257 2029 471 516 3016 2332 5285 414 1021 331 277 2043 492 527 3062 2223 5429 447 1056 359 291 2153 493 531 3177 2252 5451 376 1079 390 273 2118 494 549 3161 2290 5512 413 1163 352 284 2212 507 587 3306 2206 481 empl. 560026 0 2019 2358 3155 7532 12009 18475 38016 522010 582838 0 1988 2173 3457 7618 12792 19664 40074 542764 615605 0 2074 2267 3738 8079 13196 19902 41177 574428 608986 0 2129 2481 3522 8132 12763 21751 42646 566340 548258 0 2246 2240 3349 7835 12855 18032 38722 509536 481 ann. pay. 22591218 17827 74709 74569 102293 269398 393431 651545 1314374 21276844 24414357 20692 75647 74359 111592 282290 444766 729483 1456539 22957818 26569287 28482 82444 76030 127230 314186 459608 772844 1546638 25022649 28780671 23834 84237 91139 124501 323711 467037 850251 1640999 27139672 27470866 60373 97890 88406 130707 377376 510092 727153 1614621 25856245 481 rec. 107699651 533723 649564 447346 696671 2327304 2625261 4238906 9191471 98508180 483 firms 1413 177 445 211 189 1022 218 101 1341 72 1465 232 462 202 182 1078 230 85 1393 72 1445 205 459 218 184 1066 221 91 1378 67 1413 194 467 199 175 1035 226 82 1343 70 1418 227 465 199 148 1039 223 91 1353 65 483 estab. 1911 177 445 212 192 1026 245 270 1541 370 1950 232 462 203 188 1085 260 228 1573 377 1900 205 459 220 185 1069 243 238 1550 350 1871 201 467 200 178 1046 245 182 1473 398 1902 227 466 199 155 1047 261 223 1531 371 483 empl. 72754 0 976 1395 2598 4969 8569 15241 28779 43975 71844 0 960 1334 2434 4728 9332 14988 29048 42796 67574 0 951 1451 2518 4920 8831 15894 29645 37929 70462 0 976 1341 2393 4710 8890 15547 29147 41315 64268 0 977 1326 1994 4297 8483 14158 26938 37330 483 ann. pay. 3103751 25697 39948 42210 87516 195371 324294 654759 1174424 1929327 3039510 15825 37870 49030 85792 188517 366993 636099 1191609 1847901 3003173 23043 34485 52291 86069 195888 361439 743808 1301135 1702038 3342061 16087 38571 50480 88832 193970 378028 747564 1319562 2022499 3164702 18694 40323 51051 72601 182669 416553 688267 1287489 1877213 483 rec. 22088696 92006 271769 293742 500499 1158016 1976606 3543289 6677911 15410785 484 firms 96882 16009 48507 13486 8902 86904 8102 1354 96360 522 97478 14806 49849 13750 9035 87440 8184 1316 96940 538 99065 15577 50183 13877 9193 88830 8357 1341 98528 537 98065 14414 51076 13482 9104 88076 8134 1345 97555 510 98645 15664 51432 13139 8807 89042 7820 1273 98135 510 484 estab. 107994 16012 48530 13547 9044 87133 9377 3385 99895 8099 108749 14818 49869 13798 9182 87667 9382 3362 100411 8338 110416 15594 50208 13922 9323 89047 9430 3192 101669 8747 109814 14427 51099 13519 9243 88288 9134 3233 100655 9159 111308 15693 51451 13181 8954 89279 9143 3317 101739 9569 484 empl. 1327158 0 92497 88409 119849 300755 305938 201484 808177 518981 1384178 0 94390 90131 121913 306434 311815 198098 816347 567831 1415794 0 94958 90963 123859 309780 316961 205050 831791 584003 1397865 0 95745 88422 122485 306652 308593 206654 821899 575966 1333342 0 97362 86305 118740 302407 294921 191171 788499 544843 484 ann. pay. 41018637 421932 1985221 2043295 3011668 7462116 8692147 6285740 22440003 18578634 43626168 485603 2082527 2153517 3178757 7900404 9156245 6379077 23435726 20190442 46451478 439216 2111700 2206007 3257792 8014715 9542966 6738092 24295773 22155705 46080949 430986 2207421 2209794 3315823 8164024 9384199 6928051 24476274 21604675 45067390 528546 2255525 2238951 3296724 8319746 9267084 6556109 24142939 20924451 484 rec. 166722008 2875127 12597035 10215577 13670374 39358113 34773048 23085425 97216586 69505422 485 firms 14481 1633 6076 2248 1774 11731 2218 434 14383 98 14202 1627 5798 2171 1787 11383 2256 455 14094 108 14375 1722 5816 2152 1835 11525 2275 470 14270 105 14336 1639 5802 2199 1804 11444 2302 484 14230 106 14770 1774 6131 2174 1862 11941 2252 469 14662 108 485 estab. 16358 1635 6078 2253 1791 11757 2416 744 14917 1441 16254 1630 5801 2173 1812 11416 2436 742 14594 1660 16383 1723 5819 2156 1847 11545 2450 752 14747 1636 16466 1641 5804 2203 1825 11473 2462 752 14687 1779 17073 1774 6133 2179 1872 11958 2423 847 15228 1845 485 empl. 349378 0 11673 15021 24246 50940 89633 72334 212907 136471 370022 0 11061 14406 24598 50065 91270 74112 215447 154575 386874 0 11153 14307 25235 50695 92314 78870 221879 164995 391561 0 11152 14668 24652 50472 93382 79219 223073 168488 387325 0 11914 14366 25469 51749 90800 78287 220836 166489 485 ann. pay. 6017587 50268 147161 185685 316062 699176 1337175 1276590 3312941 2704646 6729332 73418 156537 182060 332072 744087 1441783 1358353 3544223 3185109 7214701 67544 162680 196927 362641 789792 1514892 1483463 3788147 3426554 7558748 62266 167344 200521 357692 787823 1534506 1536500 3858829 3699919 7780055 87071 189104 205285 381905 863365 1603647 1595084 4062096 3717959 485 rec. 19127060 377666 992816 839268 1227949 3437699 4254303 3540071 11232073 7894987 486 firms 217 20 57 15 17 109 20 14 143 74 218 16 55 21 13 105 19 15 139 79 219 20 55 17 14 106 22 14 142 77 237 24 62 23 16 125 20 19 164 73 244 22 63 24 23 132 22 16 170 74 486 estab. 2495 20 57 15 22 114 55 59 228 2267 2550 16 55 21 16 108 56 50 214 2336 2802 20 55 17 14 106 58 45 209 2593 2785 24 62 23 16 125 55 64 244 2541 2701 22 63 24 23 132 59 79 270 2431 486 empl. 49406 [a] [c] [b] 221 432 710 1351 2493 46913 48149 0 106 124 178 408 703 1808 2919 45230 52960 0 118 103 184 405 778 1208 2391 50569 50923 0 132 154 214 500 666 1796 2962 47961 50362 0 137 144 307 588 681 1542 2811 47551 486 ann. pay. 2847842 (D) (D) (D) 12011 23263 40015 73461 136739 2711103 3032689 6600 3973 5616 9125 25314 37487 79715 142516 2890173 3828583 4864 5864 6143 11300 28171 41036 57350 126557 3702026 3880306 2304 7026 9944 13627 32901 38643 81784 153328 3726978 3915471 11372 8070 7815 15589 42846 47618 97065 187529 3727942 486 rec. 45053289 168035 130418 132756 745693 1176902 997794 874340 3049036 42004253 487 firms 2275 637 935 279 193 2044 168 40 2252 23 2190 534 967 267 193 1961 168 41 2170 20 2174 533 951 245 203 1932 183 38 2153 21 2304 581 1013 260 217 2071 174 39 2284 20 2429 747 1031 233 190 2201 177 35 2413 16 487 estab. 2353 637 936 281 195 2049 177 56 2282 71 2267 534 967 270 196 1967 181 55 2203 64 2254 533 953 247 207 1940 196 52 2188 66 2380 581 1015 262 221 2079 187 51 2317 63 2503 747 1033 233 195 2208 193 48 2449 54 487 empl. 23076 [a] [g] [g] 2599 6113 5978 5411 17502 5574 22877 0 1814 1763 2579 6156 6281 5165 17602 5275 23612 0 1817 1599 2724 6140 6765 4961 17866 5746 23414 0 1904 1659 2950 6513 6430 5145 18088 5326 19333 0 1943 1539 2497 5979 6319 3745 16043 3290 487 ann. pay. 511991 (D) (D) (D) 56614 153487 119569 115021 388077 123914 540702 18065 44067 41336 48977 152445 135016 125611 413072 127630 583464 25385 47693 37636 51853 162567 150791 123185 436543 146921 556806 17095 51569 37827 61601 168092 139899 108723 416714 140092 497481 26055 51214 38240 56988 172497 152118 89320 413935 83546 487 rec. 1762260 127203 227434 135098 192748 682483 544746 296328 1523557 238703 488 firms 25586 3045 11695 4926 2969 22635 2185 480 25300 286 25464 2697 11768 4928 3054 22447 2256 462 25165 299 25521 2816 11560 4959 3027 22362 2365 499 25226 295 25774 2762 11709 5040 3066 22577 2410 489 25476 298 26501 3083 12195 5073 3040 23391 2339 458 26188 313 488 estab. 31464 3049 11785 5026 3301 23161 3173 2060 28394 3070 31392 2703 11812 5018 3348 22881 3174 2037 28092 3300 31440 2817 11599 5057 3292 22765 3277 1969 28011 3429 31876 2775 11747 5156 3298 22976 3244 1839 28059 3817 33342 3083 12220 5175 3312 23790 3413 2057 29260 4082 488 empl. 421759 0 25235 32318 39168 96721 78245 68464 243430 178329 440175 0 25397 32356 40430 98183 81759 68521 248463 191712 472372 0 25067 32458 40047 97572 84861 72218 254651 217721 484611 0 25209 32919 40750 98878 87269 74671 260818 223793 475466 0 26229 33116 40368 99713 83360 64782 247855 227611 488 ann. pay. 13841475 174040 712345 907742 1154857 2948984 2461018 2246619 7656621 6184854 14915625 150793 729904 930890 1227574 3039161 2596987 2371889 8008037 6907588 16506967 156860 748363 976185 1247957 3129365 2839226 2537729 8506320 8000647 17098170 156488 755863 986479 1292850 3191680 2958668 2559934 8710282 8387888 17553387 269010 791581 1027686 1330112 3418389 2964101 2470388 8852878 8700509 488 rec. 60079175 1423353 4168212 4190203 4750181 14531949 9708488 7525920 31766357 28312818 492 firms 7600 1213 3523 1101 749 6586 810 163 7559 41 7745 1170 3774 1036 749 6729 815 157 7701 44 7910 1241 3776 1126 777 6920 793 155 7868 42 8274 1292 4064 1144 787 7287 807 143 8237 37 8385 1431 4151 1118 754 7454 770 122 8346 39 492 estab. 11723 1213 3530 1103 760 6606 967 406 7979 3744 11938 1170 3779 1036 764 6749 942 419 8110 3828 12297 1241 3782 1132 798 6953 923 404 8280 4017 12855 1292 4071 1159 804 7326 936 381 8643 4212 13173 1431 4154 1121 786 7492 967 338 8797 4376 492 empl. 539567 0 6696 7194 10197 24087 31571 25969 81627 457940 578368 0 7128 6774 10007 23909 30801 25400 80110 498258 619313 0 7071 7326 10695 25092 30840 25396 81328 537985 577575 0 7651 7470 10770 25891 31187 23105 80183 497392 553250 0 7824 7312 10151 25287 29325 17797 72409 480841 492 ann. pay. 15292256 35702 134334 142608 197093 509737 590821 515165 1615723 13676533 16725960 43378 149502 142388 210342 545610 609043 522239 1676892 15049068 17399431 49161 152229 164824 230437 596651 646408 543545 1786604 15612827 17815332 47323 165609 166144 241599 620675 635634 524549 1780858 16034474 17189319 42324 167784 172834 231176 614118 632194 414814 1661126 15528193 492 rec. 58881643 195598 898212 752028 878293 2724131 2022157 1360858 6107146 52774497 493 firms 4389 420 1453 711 628 3212 760 284 4256 133 4496 442 1557 712 588 3299 768 293 4360 136 4567 429 1573 763 608 3373 776 280 4429 138 4758 405 1746 790 597 3538 797 282 4617 141 4917 525 1688 782 672 3667 788 285 4740 177 493 estab. 6718 423 1455 729 689 3296 1098 808 5202 1516 6954 448 1558 726 650 3382 1074 802 5258 1696 7123 433 1575 785 651 3444 1098 763 5305 1818 7185 406 1755 809 652 3622 1127 825 5574 1611 7629 532 1692 804 749 3777 1214 803 5794 1835 493 empl. 119500 0 3226 4605 8184 16015 27012 30942 73969 45531 128606 0 3390 4749 7773 15912 26014 32233 74159 54447 135898 0 3397 5069 8112 16578 27716 31074 75368 60530 145266 0 3820 5226 7996 17042 28631 33249 78922 66344 149409 0 3706 5114 8906 17726 28486 31009 77221 72188 493 ann. pay. 3372724 30010 74926 118478 213032 436446 741896 848677 2027019 1345705 3657871 32309 79453 123055 220757 455574 745897 921960 2123431 1534440 4035337 33605 80408 135205 227862 477080 816778 911142 2205000 1830337 4393140 40381 97696 139797 230354 508228 853902 975923 2338053 2055087 4613184 39204 93228 146403 265041 543876 882055 959620 2385551 2227633 493 rec. 17808341 185305 552335 711828 1095283 2544751 3145828 3260599 8951178 8857163 511 firms 27726 2858 11261 4982 3625 22726 3600 907 27233 493 26464 2660 10746 4635 3528 21569 3502 886 25957 507 25773 2509 10298 4533 3362 20702 3616 910 25228 545 25117 2355 10117 4362 3281 20115 3551 904 24570 547 24761 2660 10186 4288 2996 20130 3274 839 24243 518 511 estab. 33429 2860 11274 5017 3689 22840 4048 2091 28979 4450 32377 2673 10761 4661 3577 21672 3905 1973 27550 4827 32545 2530 10316 4559 3412 20817 4004 1957 26778 5767 32111 2359 10125 4399 3342 20225 3914 2005 26144 5967 32577 2662 10204 4330 3125 20321 4048 2078 26447 6130 511 empl. 1011110 0 24144 33045 48946 106135 140825 150518 397478 613632 1004697 0 22810 30603 47735 101148 139276 148084 388508 616189 1080664 0 21979 30036 45717 97732 144939 160771 403442 677222 1100931 0 21475 28949 44683 95107 144103 161174 400384 700547 1019976 0 21630 28527 40838 90995 129203 146527 366725 653251 511 ann. pay. 49764177 164828 801738 1086376 1853548 3906490 6079987 7502614 17489091 32275086 54516491 207354 792283 1061818 1888668 3950123 6545400 8429166 18924689 35591802 75347574 241871 753598 1065305 1866301 3927075 7246033 10348166 21521274 53826300 68980747 214732 755322 1048002 1800991 3819047 6849754 8960820 19629621 49351126 60591598 225993 773629 1052643 1715838 3768103 6493238 8035055 18296396 42295202 511 rec. 228499527 732720 2740168 3158149 4753763 11384800 17211198 23476420 52072418 176427109 512 firms 18596 4315 8997 2411 1437 17160 1115 191 18466 130 18497 4106 9057 2388 1516 17067 1116 191 18374 123 18446 4076 9045 2374 1490 16985 1142 203 18330 116 18821 4153 9338 2392 1422 17305 1204 196 18705 116 19129 4510 9680 2163 1382 17735 1085 199 19019 110 512 estab. 23175 4323 9013 2448 1508 17292 1469 759 19520 3655 23102 4120 9075 2426 1585 17206 1427 708 19341 3761 22899 4084 9078 2400 1571 17133 1441 703 19277 3622 22782 4156 9364 2427 1493 17440 1460 713 19613 3169 23021 4510 9700 2195 1454 17859 1426 734 20019 3002 512 empl. 281713 0 17002 15738 18982 51722 39841 29210 120773 160940 293369 0 17071 15426 20254 52751 41018 29887 123656 169713 304204 0 17168 15469 20123 52760 42080 32738 127578 176626 297143 0 17463 15555 19187 52205 44099 31434 127738 169405 278399 0 17927 14062 18568 50557 39175 32003 121735 156664 512 ann. pay. 10137497 559495 1201801 608743 687537 3057576 1344666 1034897 5437139 4700358 10531411 559713 1199301 553774 785363 3098151 1486189 1038512 5622852 4908559 11736136 562000 1192050 600306 775493 3129849 1709649 1144166 5983664 5752472 11986269 569118 1233851 602108 741440 3146517 1890459 986207 6023183 5963086 11700025 579338 1260146 581801 803172 3224457 1611492 1086707 5922656 5777369 512 rec. 73280977 1844014 3831571 2501147 3144438 11321170 6297127 3671385 21289682 51991295 513 firms 17151 2809 5584 2903 2601 13897 2402 556 16855 296 17628 2703 6135 2991 2527 14356 2407 554 17317 311 18137 2729 6457 3078 2522 14786 2440 565 17791 346 17641 2421 6349 3007 2535 14312 2386 577 17275 366 17013 2411 6376 2800 2330 13917 2228 523 16668 345 513 estab. 47240 2829 5605 2971 2764 14169 3368 1980 19517 27723 50852 2743 6170 3034 2674 14621 3243 1992 19856 30996 54971 2759 6486 3126 2674 15045 3152 1951 20148 34823 59675 2444 6376 3071 2706 14597 3041 1926 19564 40111 58712 2417 6389 2859 2555 14220 3246 2016 19482 39230 513 empl. 1462701 0 12013 19586 35059 66658 92340 93507 252505 1210196 1504242 0 12988 20068 34103 67159 91382 91856 250397 1253845 1631832 0 13871 20676 34021 68568 94752 95028 258348 1373484 1777015 0 13608 20127 34291 68026 93668 94823 256517 1520498 1698408 0 13507 18788 31422 63717 85950 84308 233975 1464433 513 ann. pay. 69681412 270430 347615 484285 909083 2011413 2986934 3819785 8818132 60863280 76010594 309973 416169 586084 968315 2280541 3333414 4062829 9676784 66333810 88765942 676754 471772 656401 1078081 2883008 3836697 5186658 11906363 76859579 93959893 310265 476923 592663 1052169 2432020 3701877 4544973 10678870 83281023 87612842 213206 450146 555449 969951 2188752 3503505 4031889 9724146 77888696 513 rec. 477413344 1298164 2601195 2772260 4318281 10989900 14961013 18666340 44617253 432796091 514 firms 12211 2217 4921 1879 1259 10276 1290 334 11900 311 14851 3584 5634 2087 1390 12695 1444 371 14510 341 17607 3738 6617 2614 1850 14819 1932 481 17232 375 16275 2343 6735 2540 1817 13435 1930 519 15884 391 17137 2747 7435 2570 1776 14528 1744 467 16739 398 514 estab. 16791 2231 4924 1896 1296 10347 1540 723 12610 4181 20179 3612 5636 2099 1440 12787 1672 789 15248 4931 23175 3756 6627 2633 1902 14918 2184 863 17965 5210 22725 2351 6744 2549 1867 13511 2191 892 16594 6131 24280 2749 7437 2581 1862 14629 2217 952 17798 6482 514 empl. 386500 0 10116 12355 16852 39323 47807 45307 132437 254063 432222 0 11553 13696 18600 43849 54147 52934 150930 281292 529031 0 13890 17098 24690 55678 76530 74935 207143 321888 579609 0 13896 16653 24293 54842 75711 79805 210358 369251 539337 0 15120 16921 23585 55626 64980 60962 181568 357769 514 ann. pay. 17241603 159785 296489 337323 513355 1306952 1667007 2168292 5142251 12099352 29223860 584733 397530 447013 642552 2071828 2323905 2900632 7296365 21927495 33544148 621266 552939 698431 1093545 2966181 3972844 5501092 12440117 21104031 32197317 243074 467001 549955 946624 2206654 3419726 4228410 9854790 22342527 28172534 220430 521146 583844 922088 2247508 3027503 3262698 8537709 19634825 514 rec. 90910435 886754 2039651 1860503 2619491 7406399 7951795 8973890 24332084 66578351 521 firms 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 17 4 0 1 0 5 0 0 5 12 23 5 2 1 0 8 0 2 10 13 27 2 6 1 4 13 1 1 15 12 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 521 estab. 41 0 0 0 0 0 0 0 0 41 46 4 0 1 0 5 0 0 5 41 62 5 2 1 0 8 0 12 20 42 74 2 6 1 4 13 1 3 17 57 58 0 0 0 0 0 0 0 0 58 521 empl. 21456 0 0 0 0 0 0 0 0 21456 22329 [a] 0 [a] 0 [a] 0 0 [a] [j] 22337 [a] [a] [a] 0 [a] 0 [e] [e] [j] 23552 [a] [a] [a] [b] [b] [b] [b] [c] [j] 23367 0 0 0 0 0 0 0 0 23367 521 ann. pay. 963924 0 0 0 0 0 0 0 0 963924 1018731 (D) 0 (D) 0 (D) 0 0 (D) (D) 1083947 (D) (D) (D) 0 (D) 0 (D) (D) (D) 1234656 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 1304200 0 0 0 0 0 0 0 0 1304200 521 rec. 28909454 0 0 0 0 0 0 0 0 28909454 522 firms 53721 6230 21490 8260 6154 42134 8650 2190 52974 747 54675 5749 22266 8555 6360 42930 8767 2210 53907 768 54499 5794 22854 8444 6074 43166 8387 2193 53746 753 55886 6525 23399 8583 6081 44588 8313 2242 55143 743 58662 7287 24662 8787 6320 47056 8367 2427 57850 812 522 estab. 173159 6262 21576 8670 7873 44381 22676 20313 87370 85789 173807 5808 22365 8955 7897 45025 21853 20689 87567 86240 176279 5857 23008 8867 7515 45247 20456 20562 86265 90014 180764 6549 23514 8993 7426 46482 19935 21803 88220 92544 196160 7340 24741 9224 8381 49686 23791 25251 98728 97432 522 empl. 2688270 0 47689 54335 83832 185856 365213 379923 930992 1757278 2780756 0 [k] [l] 86151 191358 371036 386217 948611 1832145 2753190 0 [k] [l] 82213 187123 355551 382471 925145 1828045 2917625 0 [l] [l] 82599 189835 353239 392304 935378 1982247 3006084 0 53106 57745 85568 196419 352232 417536 966187 2039897 522 ann. pay. 105042896 380973 1387867 1760595 2823889 6353324 11766320 13415760 31535404 73507492 112584412 324303 (D) (D) 2783218 6142352 11832114 13491186 31465652 81118760 116059963 508267 (D) (D) 2742847 6394488 11585480 13801451 31781419 84278544 130447365 384704 (D) (D) 3244122 7378482 12812305 15438948 35629735 94817630 136261281 693928 1866309 2250223 3544453 8354913 13570690 17445099 39370702 96890579 522 rec. 1030210082 3349995 9066222 8747393 14839505 36003115 65806303 117657393 219466811 810743271 523 firms 40648 7257 23295 4697 2281 37530 1882 609 40021 627 41333 7070 23737 4959 2363 38129 1952 633 40714 619 43665 7827 24651 5260 2548 40286 2148 632 43066 599 46202 7620 26824 5531 2751 42726 2248 636 45610 592 48121 8528 28048 5384 2578 44538 2197 716 47451 670 523 estab. 63878 7263 23376 4873 2542 38054 2647 1469 42170 21708 66353 7089 23815 5123 2573 38600 2663 1479 42742 23611 72929 7842 24737 5392 2746 40717 2845 1456 45018 27911 76918 7641 26905 5649 2970 43165 2900 1409 47474 29444 81690 8534 28129 5539 2869 45071 3074 1755 49900 31790 523 empl. 724247 0 43363 29957 29601 102921 65199 62737 230857 493390 780061 0 44478 31638 30905 107021 67172 62364 236557 543504 866222 0 46548 33755 33595 113898 74847 66046 254791 611431 947060 0 50333 35357 35912 121602 79445 65931 266978 680082 1008867 0 52016 34426 33377 119819 73465 62996 256280 752587 523 ann. pay. 83445914 697526 2404745 2418211 3046262 8566744 7319529 7132163 23018436 60427478 92945562 762610 2512022 2744514 3365014 9384160 7925824 8192639 25502623 67442939 119531356 1163714 2825138 2985055 3951307 10925214 9932782 11378830 32236826 87294530 125028086 721472 2789643 2900340 3938961 10350416 10554940 9965759 30871115 94156971 115113130 685827 2869136 2790407 3571650 9917020 9842803 10255230 30015053 85098077 523 rec. 367487329 2974179 11161403 7497063 9291070 30923715 24730206 25361102 81015023 286472306 524 firms 127760 11621 83871 18558 7193 121243 4744 1016 127003 757 127411 10995 83943 18637 7232 120807 4790 1031 126628 783 128460 12749 83234 18721 7172 121876 4742 1077 127695 765 127971 11452 83758 18992 7194 121396 4744 1074 127214 757 129959 12781 84181 19215 7156 123333 4711 1118 129162 797 524 estab. 173658 11634 84020 19217 8667 123538 7914 3866 135318 38340 176136 11045 84102 19271 8559 122977 7803 3526 134306 41830 172195 12784 83462 19334 8437 124017 7477 3552 135046 37149 164832 11474 83943 19586 8374 123377 7375 3586 134338 30494 168976 12797 84288 19707 8339 125131 7926 4663 137720 31256 524 empl. 2312394 0 170059 117953 94306 382318 172110 155989 710417 1601977 2345952 0 171159 118512 94663 384334 175814 159095 719243 1626709 2290162 0 170223 118547 93745 382515 172785 164733 720033 1570129 2326133 0 171852 120099 94186 386137 172913 165555 724605 1601528 2342005 0 173958 121644 93461 389063 170332 164564 723959 1618046 524 ann. pay. 99338014 408799 4131641 3729284 3617024 11886748 7532273 6640302 26059323 73278691 104816285 460900 4288158 3817974 3779494 12346526 7833621 6958025 27138172 77678113 108073377 469262 4458095 3954336 3848260 12729953 8074175 7532990 28337118 79736259 114759420 426762 4702021 4166172 4074915 13369870 8661464 7962106 29993440 84765980 117625443 536048 4903689 4353822 4264233 14057792 9068738 8374390 31500920 86124523 524 rec. 1312063818 2504994 20615620 13586685 12465169 49172468 36457940 74446686 160077094 1151986724 525 firms 1012 296 439 88 34 857 55 42 954 58 1262 357 567 107 46 1077 75 47 1199 63 1548 410 718 141 72 1341 94 48 1483 65 1668 399 836 136 104 1475 86 49 1610 58 2531 561 1355 227 127 2270 116 65 2451 80 525 estab. 1680 296 440 93 36 865 71 153 1089 591 1995 360 568 112 46 1086 91 195 1372 623 2262 410 718 143 74 1345 111 137 1593 669 2440 399 838 138 107 1482 96 168 1746 694 3538 561 1358 232 132 2283 161 186 2630 908 525 empl. 23972 0 807 527 497 1831 1821 4717 8369 15603 36076 [a] [g] [f] 618 [g] 2759 6686 [j] [j] 31515 [a] [g] [f] 960 [h] 3684 [i] [j] [j] 34030 [a] [g] [f] [g] [h] [h] [i] [j] [j] 34260 0 2444 1460 1629 5533 4316 7018 16867 17393 525 ann. pay. 1218095 33642 32095 40492 54035 160264 153620 316480 630364 587731 1880198 (D) (D) (D) 38055 (D) 358042 409310 (D) (D) 2056809 (D) (D) (D) 80469 (D) 372189 (D) (D) (D) 2100292 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 2352222 56791 128675 146961 208939 541366 399322 479111 1419799 932423 525 rec. 23281761 1118708 1194989 900039 2138582 5352318 4478497 5609764 15440579 7841182 531 firms 203609 28650 129278 25083 10917 193928 7253 1602 202783 826 205620 28448 130673 25503 11160 195784 7372 1661 204817 803 209260 30189 131720 25751 11357 199017 7733 1709 208459 801 212958 30741 134169 26261 11361 202532 7890 1748 212170 788 226318 37127 140417 26633 11703 215880 7844 1778 225502 816 531 estab. 227217 28741 129623 25977 12785 197126 11895 6753 215774 11443 231337 28525 131020 26344 12794 198683 11848 6512 217043 14294 234949 30304 132095 26471 12916 201786 11815 7118 220719 14230 241115 30813 134534 26977 12810 205134 11999 7579 224712 16403 257195 37134 140678 27501 13479 218792 13017 8366 240175 17020 531 empl. 1197532 0 240721 160277 141765 542763 258284 187328 988375 209157 1225995 0 244117 162796 145284 552197 260951 201146 1014294 211701 1279547 0 246984 165009 147750 559743 277355 218280 1055378 224169 1335298 0 250138 168132 148144 566414 283940 228565 1078919 256379 1351973 0 265845 170901 152453 589199 281363 231730 1102292 249681 531 ann. pay. 34392583 1031500 5432576 3891337 3804277 14159690 7108066 5492919 26760675 7631908 36593436 1033864 5777996 4124252 3996282 14932394 7604490 6138243 28675127 7918309 40393716 1161733 6072296 4350360 4243679 15828068 8406947 7037749 31272764 9120952 44422141 1208225 6494233 4722398 4468308 16893164 8870066 7656051 33419281 11002860 45772548 1430421 6882009 4987139 4780271 18079840 9107263 7917258 35104361 10668187 531 rec. 236657346 8692915 49687831 29436759 25004676 112822181 37429110 28498122 178749413 57907933 532 firms 37034 4740 16646 7295 4273 32954 3055 617 36626 408 35392 4369 16058 6983 4070 31480 2927 575 34982 410 33472 4099 15047 6528 3941 29615 2852 594 33061 411 32726 4072 14669 6351 3796 28888 2869 588 32345 381 31575 4281 13905 6050 3762 27998 2625 580 31203 372 532 estab. 63109 4757 16702 7507 5081 34047 6638 3512 44197 18912 64644 4451 16184 7240 4810 32685 6075 3449 42209 22435 63174 4138 15146 6769 4669 30722 5502 3241 39465 23709 63759 4110 14758 6612 4440 29920 5377 3414 38711 25048 63645 4343 13937 6222 4456 28958 5340 3475 37773 25872 532 empl. 592605 0 36488 47631 55705 139824 101927 63690 305441 287164 621916 0 34800 45578 53138 133516 99785 60644 293945 327971 636037 0 32337 42708 51591 126636 96366 63315 286317 349720 652714 0 31409 41659 49777 122845 98027 63749 284621 368093 641322 0 30230 39499 49531 119260 87794 61361 268415 372907 532 ann. pay. 14347852 165580 698663 867527 1201456 2933226 2564529 1755636 7253391 7094461 16041736 212262 704085 892577 1212629 3021553 2593599 1725693 7340845 8700891 17192735 234682 705439 891929 1250625 3082675 2607935 1903530 7594140 9598595 17966347 166685 718954 920990 1276331 3082960 2718962 1970325 7772247 10194100 18021909 169550 685952 900248 1276630 3032380 2528918 1886796 7448094 10573815 532 rec. 98997720 956602 4031522 4178225 5491855 14658204 11316696 9896451 35871351 63126369 533 firms 1991 300 899 248 168 1615 147 68 1830 161 1952 250 923 245 162 1580 150 69 1799 153 1907 224 917 217 172 1530 164 65 1759 148 2027 292 928 254 169 1643 179 64 1886 141 2077 342 885 227 190 1644 200 63 1907 170 533 estab. 2124 300 900 259 179 1638 165 87 1890 234 2099 253 928 254 169 1604 165 101 1870 229 2054 224 923 224 181 1552 174 101 1827 227 2129 292 930 257 178 1657 190 82 1929 200 2184 342 887 233 199 1661 213 77 1951 233 533 empl. 22591 0 1726 1630 2089 5445 4597 4200 14242 8349 25881 0 1804 1561 2081 5446 4972 5004 15422 10459 26462 0 1799 1368 2198 5365 5622 5178 16165 10297 25661 0 1820 1631 2142 5593 6173 5601 17367 8294 24052 0 1721 1466 2525 5712 6403 4208 16323 7729 533 ann. pay. 1147607 23316 77722 68517 96194 265749 214922 205277 685948 461659 1460088 36976 86163 70166 91337 284642 307375 264572 856589 603499 1625641 21355 86047 71296 98307 277005 393236 301845 972086 653555 1621052 26011 91574 85108 93579 296272 350277 319848 966397 654655 1446754 36688 76241 68940 116192 298061 381167 259760 938988 507766 533 rec. 14894889 208191 816023 267815 434543 1726572 2291438 1026755 5044765 9850124 541 firms 641621 96052 362486 93638 49272 601448 32770 5240 639458 2163 654464 95185 369819 95545 51261 611810 34973 5415 652198 2266 670099 101790 371642 98278 53176 624886 37054 5812 667752 2347 682278 99441 381588 99645 54576 635250 38425 6178 679853 2425 708000 112810 394497 99931 54581 661819 37592 6103 705514 2486 541 estab. 687992 96102 362779 94431 51433 604745 42080 14570 661395 26597 704779 95387 370136 96315 53285 615123 43817 14740 673680 31099 722698 101935 371994 99070 55217 628216 45377 15633 689226 33472 736454 99540 381988 100481 56515 638524 46326 16013 700863 35591 772365 112880 394719 100741 57210 665550 49020 17204 731774 40591 541 empl. 6052365 0 697631 609665 653036 1960332 1210239 840861 4011432 2040933 6432422 0 710573 622465 680510 2013548 1296897 879193 4189638 2242784 6816216 0 715763 640070 706137 2061970 1383599 962674 4408243 2407973 7156579 0 734101 649577 726768 2110446 1444537 1034036 4589019 2567560 7046205 0 761339 652247 725647 2139233 1392001 991770 4523004 2523201 541 ann. pay. 277676568 4828230 23908940 22048483 27040826 77826479 59211329 42538851 179576659 98099909 311238501 5328055 25468046 23292034 29179029 83267164 65866060 46471196 195604420 115634081 362008229 6472194 26729616 25096627 31763462 90061899 75082116 58381734 223525749 138482480 374409080 5628546 27601853 25551817 32937847 91720063 77270083 60716915 229707061 144702019 368778137 6121324 28213893 26403647 33437505 94176369 75586019 57920750 227683138 141094999 541 rec. 944065638 19952768 95612258 72560946 81978097 270104069 170494273 129881263 570479605 373586033 551 firms 26419 1418 3223 774 1080 6495 5785 7577 19857 6562 26873 1394 3742 841 1149 7126 5527 7607 20260 6613 26762 1245 3988 877 1152 7262 5340 7489 20091 6671 26794 1197 3927 912 1151 7187 5258 7651 20096 6698 28229 1033 3906 899 1296 7134 6043 8328 21505 6724 551 estab. 43681 1422 3231 792 1106 6551 6056 8616 21223 22458 46528 1398 3758 856 1162 7174 5740 8665 21579 24949 47387 1252 4004 887 1179 7322 5535 8487 21344 26043 47559 1199 3941 922 1171 7233 5479 8678 21390 26169 49383 1033 3925 924 1354 7236 6337 9401 22974 26409 551 empl. 2703799 0 5276 3834 6961 16071 66261 221967 304299 2399500 2788276 0 5783 4262 7538 17583 66178 229905 313666 2474610 2873521 0 6314 4452 8114 18880 66768 221993 307641 2565880 2879223 0 6274 4542 8138 18954 69003 237516 325473 2553750 2913798 0 6458 4618 8981 20057 76984 280390 377431 2536367 551 ann. pay. 175648657 290881 251821 221965 375672 1140339 2982466 10857683 14980488 160668169 192378035 422066 259826 291846 435004 1408742 3157343 11834393 16400478 175977557 211361063 519510 339608 386622 504106 1749846 3369774 11775224 16894844 194466219 213123787 446687 426315 346706 459269 1678977 3506076 12782834 17967887 195155900 204802311 167800 312772 292588 552850 1326010 3878867 14690143 19895020 184907291 551 rec. 312884523 1773283 5082714 2084373 1871898 10812268 9473077 27879680 48165025 264719498 561 firms 288762 50454 132446 45411 26268 254579 24042 7345 285966 2796 285898 44663 134035 45563 27001 251262 24326 7342 282930 2968 286393 45061 131794 46148 27606 250609 25147 7535 283291 3102 294974 47742 136093 46455 27991 258281 26022 7578 291881 3093 275183 52388 122200 40867 25065 240520 24271 7364 272155 3028 561 estab. 334174 50502 132538 45641 27043 255724 27609 13014 296347 37827 334101 44806 134122 45839 27783 252550 27598 12878 293026 41075 335515 45208 131902 46455 28361 251926 28176 13107 293209 42306 345916 47812 136235 46774 28717 259538 28956 12875 301369 44547 325846 52413 122282 41130 25843 241668 28111 13715 283494 42352 561 empl. 7487633 0 272931 296734 349931 919596 959319 1320751 3199666 4287967 8079349 0 275588 298033 360422 934043 977647 1321825 3233515 4845834 8846617 0 272226 301569 368832 942627 1012083 1381733 3336443 5510174 8761451 0 278451 304069 374639 957159 1042240 1376027 3375426 5386025 7998637 0 255015 266624 336498 858137 966580 1307527 3132244 4866393 561 ann. pay. 154176518 2229206 6146367 6342669 7821841 22540083 21025156 25103924 68669163 85507355 173116039 2367419 6646107 6797883 8508087 24319496 22635260 26659842 73614598 99501441 199746258 3470476 6815630 7216300 9221493 26723899 25106231 29224473 81054603 118691655 210071758 2805110 7233821 7512303 9715748 27266982 26393957 30165006 83825945 126245813 200554360 3128985 6235728 6589614 8934600 24888927 25271082 29821566 79981575 120572785 561 rec. 409237061 9426908 23407937 20211603 24395838 77442286 56870752 56673120 190986158 218250903 562 firms 14162 1597 6137 2642 1814 12190 1625 235 14050 112 13537 1388 5974 2570 1724 11656 1529 236 13421 116 12999 1306 5628 2545 1682 11161 1486 232 12879 120 13591 1319 5872 2626 1771 11588 1630 253 13471 120 14184 1471 6120 2745 1861 12197 1616 258 14071 113 562 estab. 16960 1599 6142 2650 1857 12248 1836 562 14646 2314 16300 1390 5976 2579 1767 11712 1712 559 13983 2317 16013 1308 5632 2560 1714 11214 1623 506 13343 2670 16749 1319 5873 2630 1801 11623 1755 537 13915 2834 17698 1472 6122 2750 1903 12247 1839 612 14698 3000 562 empl. 287400 0 13115 17504 24459 55078 60881 32658 148617 138783 287174 0 12735 17032 23224 52991 57609 32669 143269 143905 291483 0 12105 16750 22795 51650 55773 33605 141028 150455 300536 0 12692 17336 23878 53906 60997 35356 150259 150277 300580 0 13566 18009 24954 56529 59245 37530 153304 147276 562 ann. pay. 9530891 62375 296304 436050 678135 1472864 1915163 1155041 4543068 4987823 9984152 67803 300089 434642 663122 1465656 1846572 1128100 4440328 5543824 10534805 72066 299111 441411 668974 1481562 1876393 1184204 4542159 5992646 11314198 67307 325954 484355 745605 1623221 2070947 1365308 5059476 6254722 11635017 97437 356882 511177 787899 1753395 2106540 1462419 5322354 6312663 562 rec. 48203744 483955 1678128 1960283 2826102 6948468 7258570 5153436 19360474 28843270 611 firms 58468 7268 21223 8718 7140 44349 10587 2606 57542 926 59611 7030 21650 8872 7291 44843 11069 2748 58660 951 60934 7203 21746 9025 7532 45506 11558 2890 59954 980 63690 7660 22830 9449 7905 47844 11887 2970 62701 989 65933 8648 23108 9537 8179 49472 12379 3071 64922 1011 611 estab. 64902 7277 21253 8794 7386 44710 12102 4998 61810 3092 66492 7097 21679 8954 7509 45239 12496 5210 62945 3547 68014 7221 21790 9116 7724 45851 12911 5394 64156 3858 70878 7669 22864 9554 8116 48203 13022 5653 66878 4000 73701 8650 23127 9595 8414 49786 13925 5604 69315 4386 611 empl. 2323817 0 43618 57672 98001 199291 441153 452343 1092787 1231030 2431718 0 44343 58873 99857 203073 461111 479031 1143215 1288503 2532324 0 44883 60259 103336 208478 481276 503454 1193208 1339116 2612430 0 46689 62721 108304 217714 499234 520133 1237081 1375349 2701675 0 48193 63413 112089 223695 516135 535272 1275102 1426573 611 ann. pay. 52287365 265761 883212 951012 1666145 3766130 8369404 9801711 21937245 30350120 56871035 316878 946478 1020663 1769246 4053265 9068402 10803640 23925307 32945728 61923347 354906 994180 1089865 1943473 4382424 9844823 11911498 26138745 35784602 67097541 338689 1081348 1201160 2053830 4675027 10722174 12870172 28267373 38830168 71961852 360646 1066729 1185295 2182417 4795087 11451880 13794180 30041147 41920705 611 rec. 180278839 1325186 4221488 3591431 5710239 14848344 26766438 33150291 74765073 105513766 621 firms 400749 31587 193169 102191 44500 371447 23845 3979 399271 1478 398121 31409 189569 102356 45272 368606 24047 3969 396622 1499 403638 34591 186748 103767 47523 372629 25377 4106 402112 1526 409832 34613 187501 105710 49547 377371 26638 4264 408273 1559 424694 38796 191396 108056 52088 390336 27991 4699 423026 1668 621 estab. 458396 31724 193729 103902 48335 377690 34767 15340 427797 30599 455726 31696 190160 104025 48841 374722 34350 15558 424630 31096 459414 34826 187346 105344 50877 378393 35268 15935 429596 29818 466914 34781 188169 107179 52782 382911 35963 16315 435189 31725 487747 38874 191776 109450 55995 396095 41650 19182 456927 30820 621 empl. 4482362 0 439045 666587 580941 1686573 871017 629158 3186748 1295614 4466133 0 430617 668824 591849 1691290 878361 625219 3194870 1271263 4566196 0 424873 679036 621602 1725511 935483 657187 3318181 1248015 4736631 0 425560 693224 648934 1767718 981047 686307 3435072 1301559 4917156 0 437137 710299 682110 1829546 1029355 751711 3610612 1306544 621 ann. pay. 164309975 2511601 17571171 24279778 24890173 69252723 36356653 19483828 125093204 39216771 169988142 2352549 17669251 24924494 25871779 70818073 38573531 20406806 129798410 40189732 179852113 2406844 17903254 25803595 27791280 73904973 42515717 22255210 138675900 41176213 195440247 2418234 18729957 27133954 29681752 77963897 46683416 24885711 149533024 45907223 208136533 2763649 18935513 28291108 31400791 81391061 49610080 28342195 159343336 48793197 621 rec. 505690644 8651087 59173899 71796157 68251942 207873085 102569690 63917109 374359884 131330760 622 firms 4364 109 60 24 21 214 464 1723 2401 1963 4323 125 84 38 45 292 446 1657 2395 1928 4370 127 130 55 52 364 448 1663 2475 1895 4434 147 178 80 60 465 473 1609 2547 1887 4548 210 225 110 92 637 487 1590 2714 1834 622 estab. 6964 114 61 24 21 220 477 1773 2470 4494 6969 127 84 39 45 295 459 1710 2464 4505 7087 132 132 55 56 375 460 1740 2575 4512 7138 147 180 80 60 467 476 1679 2622 4516 7569 210 225 116 100 651 513 1725 2889 4680 622 empl. 5011337 0 126 155 279 560 31675 418325 450560 4560777 5000531 0 176 231 603 1010 30407 407100 438517 4562014 5014641 0 273 365 690 1328 29954 408873 440155 4574486 5085005 0 361 554 819 1734 30797 391963 424494 4660511 5121584 0 433 721 1220 2374 30243 389501 422118 4699466 622 ann. pay. 160869112 478354 9626 7910 10652 506542 714715 11125819 12347076 148522036 163440600 120276 6785 14379 31460 172900 728770 10988836 11890506 151550094 170050765 402727 11700 17270 23204 454901 741566 11490876 12687343 157363422 180902707 120418 17594 26601 30270 194883 813189 11536154 12544226 168358481 195097359 126239 23164 38725 77882 266010 854431 12253169 13373610 181723749 622 rec. 499145896 596554 305355 155614 271975 1329498 2509443 29113116 32952057 466193839 623 firms 32449 3064 7198 3727 3670 17659 8090 5631 31380 1069 32256 2401 7479 3864 3665 17409 8180 5611 31200 1056 32162 2430 7294 3796 3712 17232 8247 5569 31048 1114 32630 2413 7358 3809 3779 17359 8470 5661 31490 1140 32720 2544 7284 3612 3736 17176 8486 5836 31498 1222 623 estab. 59742 3094 7210 3761 3781 17846 11047 16200 45093 14649 61557 2450 7498 3893 3798 17639 11029 16814 45482 16075 63005 2547 7318 3824 3830 17519 11000 16728 45247 17758 65088 2467 7378 3869 3914 17628 11027 17312 45967 19121 67900 2559 7291 3652 3881 17383 11701 18516 47600 20300 623 empl. 2511204 0 15705 24960 50533 91198 395568 907025 1393791 1117413 2568012 0 16206 25885 50523 92614 399553 911376 1403543 1164469 2592119 0 15882 25471 51103 92456 401352 913282 1407090 1185029 2671457 0 16064 25681 52064 93809 412704 929525 1436038 1235419 2770665 0 16252 24355 51667 92274 409004 965200 1466478 1304187 623 ann. pay. 44619559 285476 216035 324951 693430 1519892 6159042 16546169 24225103 20394456 47466468 322418 246543 361243 728399 1658603 6496367 17268841 25423811 22042657 50159280 374875 252315 374359 754365 1755914 6875525 18101598 26733037 23426243 54665096 375023 267112 400664 828744 1871543 7405542 19416487 28693572 25971524 58950491 496660 273131 380879 828097 1978767 7546379 20780344 30305490 28645001 623 rec. 126267746 1285744 959069 1013434 2039183 5297430 16237528 42802419 64337377 61930369 624 firms 94365 7920 36058 17157 15138 76273 13927 3534 93734 631 93854 7352 35220 17045 15455 75072 14369 3730 93171 683 96080 8578 34775 17099 15971 76423 15074 3851 95348 732 98286 8377 35546 17559 16384 77866 15631 4027 97524 762 102620 9642 37264 18120 16612 81638 16039 4123 101800 820 624 estab. 124579 7946 36104 17267 15741 77058 21438 16636 115132 9447 125594 7409 35342 17154 16040 75945 21592 17386 114923 10671 129053 8637 34837 17236 16480 77190 22010 17892 117092 11961 132230 8427 35615 17715 16915 78672 22369 18557 119598 12632 140324 9660 37289 18203 17088 82240 24291 20206 126737 13587 624 empl. 1753492 0 75356 115189 205754 396299 516387 509770 1422456 331036 1830338 0 73885 114873 211124 399882 535586 537972 1473440 356898 1935699 0 73018 115561 217977 406556 564517 571070 1542143 393556 2041633 0 74548 118244 223516 416308 585750 608163 1610221 431412 2090743 0 79664 121668 226293 427625 595006 623091 1645722 445021 624 ann. pay. 25679732 200628 1025225 1528397 2762270 5516520 7849899 7865187 21231606 4448126 28327950 201447 1068661 1596456 2938978 5805542 8517020 8744572 23067134 5260816 31368244 270450 1094556 1691603 3123569 6180178 9254798 9695406 25130382 6237862 34703979 228213 1178300 1815377 3371745 6593635 10087031 10948639 27629305 7074674 36992844 277103 1374674 1925390 3543740 7120907 10613333 11575074 29309314 7683530 624 rec. 90179715 863176 4341392 5079192 8255544 18539304 25756208 28993585 73289097 16890618 711 firms 32260 8058 16360 3464 1962 29844 1766 512 32122 138 32397 7972 16346 3518 1977 29813 1895 549 32257 140 33322 8356 16463 3683 2115 30617 2003 563 33183 139 34322 8569 17236 3774 2047 31626 1969 595 34190 132 37545 10134 19071 3666 2059 34930 1903 568 37401 144 711 estab. 32770 8060 16379 3480 2000 29919 1863 616 32398 372 32906 7987 16367 3539 2005 29898 1992 653 32543 363 33859 8360 16480 3702 2146 30688 2103 661 33452 407 34840 8572 17247 3793 2076 31688 2064 724 34476 364 38191 10138 19078 3694 2090 35000 2047 718 37765 426 711 empl. 312082 0 29511 22519 26114 78144 71282 91225 240651 71431 330381 0 29751 22985 26578 79314 76299 97023 252636 77745 351919 0 30105 23949 28449 82503 81113 101034 264650 87269 361745 0 31254 24703 27215 83172 79779 110190 273141 88604 370329 0 34357 23760 27431 85548 78133 102838 266519 103810 711 ann. pay. 15803834 1077723 2662356 878462 817326 5435867 2347051 5537307 13320225 2483609 17380510 1092719 2692940 852186 826833 5464678 2662178 6329584 14456440 2924070 19090251 1164869 2623099 986703 932575 5707246 2981305 6467336 15155887 3934364 20393467 1276570 3059522 957234 902752 6196078 2641376 7697795 16535249 3858218 21654639 1441494 3206707 1021529 951566 6621296 2385586 7763348 16770230 4884409 711 rec. 55904896 4053539 8538814 3526272 3243674 19362299 7312548 14969309 41644156 14260740 712 firms 5284 493 2528 834 570 4425 641 189 5255 29 5309 417 2535 846 593 4391 683 196 5270 39 5355 456 2485 844 596 4381 714 218 5313 42 5604 522 2543 915 635 4615 734 213 5562 42 6135 685 2819 964 648 5116 757 219 6092 43 712 estab. 5682 493 2531 842 599 4465 738 366 5569 113 5714 417 2537 853 622 4429 781 353 5563 151 5777 456 2487 850 623 4416 813 382 5611 166 6032 522 2546 920 661 4649 833 377 5859 173 6633 685 2820 972 686 5163 894 413 6470 163 712 empl. 96512 0 5134 5436 7782 18352 26312 33721 78385 18127 104607 0 5163 5560 8027 18750 28361 35978 83089 21518 110380 0 5124 5553 8022 18699 28534 40029 87262 23118 113545 0 5226 5969 8579 19774 30421 38761 88956 24589 116123 0 5868 6286 8672 20826 31720 39903 92449 23674 712 ann. pay. 2086328 8032 85230 91763 134758 319783 528668 774629 1623080 463248 2321151 7204 88512 96562 144149 336427 574027 837470 1747924 573227 2549317 11233 90923 102448 151166 355770 599850 977589 1933209 616108 2781408 17818 99402 112829 169681 399730 676137 994040 2069907 711501 2900281 13802 110415 128426 174948 427591 709254 1060731 2197576 702705 712 rec. 8655007 71326 496526 468698 599554 1636104 2105460 2952060 6693624 1961383 713 firms 58843 11141 19374 9374 7765 47654 9437 1349 58440 403 58409 10463 19620 9362 7805 47250 9352 1396 57998 411 58464 10410 19252 9237 8047 46946 9605 1481 58032 432 59264 10648 20095 9140 7929 47812 9514 1499 58825 439 59437 12200 18627 9206 7859 47892 9587 1520 58999 438 713 estab. 64418 11160 19389 9417 7877 47843 10245 2362 60450 3968 64166 10480 19640 9398 7912 47430 10146 2303 59879 4287 64180 10425 19270 9289 8156 47140 10368 2484 59992 4188 65089 10660 20120 9199 8042 48021 10198 2511 60730 4359 65551 12205 18650 9245 7960 48060 10467 2584 61111 4440 713 empl. 1175242 0 41370 62828 104846 209044 373872 206252 789168 386074 1205042 0 41701 62795 106291 210787 374807 212087 797681 407361 1279198 0 40944 61746 109251 211941 387162 232090 831193 448005 1305072 0 42672 61057 107332 211061 383441 236479 830981 474091 1314539 0 40826 61155 107120 209101 387109 237947 834157 480382 713 ann. pay. 18156632 359622 824271 965205 1414934 3564032 5264420 2991771 11820223 6336409 19714194 402784 889531 999982 1500726 3793023 5558291 3252581 12603895 7110299 21564338 358261 871245 1006315 1560101 3795922 5855256 3706820 13357998 8206340 22957989 387717 970890 1033673 1646481 4038761 6028481 3941834 14009076 8948913 23169457 481573 909179 1048402 1646159 4085313 6264728 3945201 14295242 8874215 713 rec. 82994366 2018204 3985051 4038323 5857917 15899495 17605850 12558827 46064172 36930194 721 firms 49699 7886 17346 7346 7370 39948 7583 1621 49152 547 49152 7362 17243 7210 7635 39450 7614 1552 48616 536 49198 7329 16903 7315 7688 39235 7926 1514 48675 523 49685 7092 17254 7352 7999 39697 7985 1478 49160 525 51168 7941 17169 7961 8196 41267 7968 1428 50663 505 721 estab. 59331 7890 17375 7409 7554 40228 8612 2826 51666 7665 59278 7374 17273 7271 7840 39758 8575 2720 51053 8225 59851 7341 16950 7378 7885 39554 8832 2778 51164 8687 60196 7122 17291 7429 8209 40051 8879 2722 51652 8544 61795 7946 17188 8025 8400 41559 9057 2962 53578 8217 721 empl. 1708028 0 35589 49111 100070 184770 284637 265066 734473 973555 1737734 0 35593 48126 104693 188412 285023 253490 726925 1010809 1767782 0 34918 48754 105224 188896 293292 249887 732075 1035707 1752782 0 35832 49297 109563 194692 294427 244340 733459 1019323 1696701 0 36425 53067 113017 202509 292528 232976 728013 968688 721 ann. pay. 30038014 460813 535249 607696 1143777 2747535 3589074 4072082 10408691 19629323 32200402 317569 580828 629250 1250890 2778537 3763578 4217127 10759242 21441160 34708241 557592 574901 654578 1295044 3082115 4012147 4284899 11379161 23329080 34096205 330071 626286 681918 1406116 3044391 4121235 4185644 11351270 22744935 34125530 361660 636124 763225 1473805 3234814 4264371 4237293 11736478 22389052 721 rec. 122505607 1949951 3623109 3490847 6038902 15102809 15976071 13055539 44134419 78371188 722 firms 368992 50863 114136 72172 61105 298276 63255 6352 367883 1109 362890 45797 113331 71190 61022 291340 63991 6402 361733 1157 363957 48233 111158 70510 60797 290698 65391 6648 362737 1220 367141 49792 111832 71279 60405 293308 65876 6721 365905 1236 376637 52695 111301 74561 62632 301189 67549 6629 375367 1270 722 estab. 485234 51227 114284 72492 62558 300561 76352 29627 406540 78694 480298 46192 113540 71641 62575 293948 76154 29484 399586 80712 482560 48520 111389 71001 62167 293077 76828 29446 399351 83209 488373 50034 112010 71760 61775 295579 76521 30427 402527 85846 503354 52893 111420 74831 63638 302782 79906 31769 414457 88897 722 empl. 7758632 0 267849 483979 833445 1585273 2377333 1111073 5073679 2684953 7900273 0 265825 477422 833429 1576676 2417419 1127579 5121674 2778599 8113141 0 261314 473221 831354 1565889 2482664 1173447 5222000 2891141 8219519 0 262968 477997 826420 1567385 2500660 1197691 5265736 2953783 8352174 0 268063 497315 857362 1622740 2551714 1184119 5358573 2993601 722 ann. pay. 79557260 1837152 2733616 4281310 7498878 16350956 24199517 11071196 51621669 27935591 84724563 1726819 2896894 4423201 7868202 16915116 25614429 11731578 54261123 30463440 90873595 1789480 2905374 4616861 8172307 17484022 27195911 12789392 57469325 33404270 94553717 1877058 3109033 4837558 8428803 18252452 28139081 13272538 59664071 34889646 96985265 2164793 3118159 5114622 8973423 19370997 29242938 13106592 61720527 35264738 722 rec. 324210635 8338057 16192403 21594090 31474890 77599440 85824455 42948995 206372890 117837745 811 firms 220297 22950 126856 42798 17901 210505 8277 990 219772 525 216535 20525 125183 42810 18142 206660 8347 988 215995 540 215162 21325 122409 42923 18416 205073 8553 1000 214626 536 213785 20562 121868 42601 18617 203648 8609 980 213237 548 215083 21644 123120 41802 18630 205196 8372 996 214564 519 811 estab. 238740 23018 126964 43170 19062 212214 12111 4134 228459 10281 234555 20622 125320 43187 19264 208393 11995 4448 224836 9719 232567 21884 122546 43302 19437 207169 11947 4522 223638 8929 230867 20649 122035 43015 19630 205329 11829 4505 221663 9204 233234 21654 123197 42135 19928 206914 12290 4672 223876 9358 811 empl. 1303108 0 269473 276321 230952 776746 260920 91188 1128854 174254 1318467 0 266265 276338 234865 777468 264854 93934 1136256 182211 1334206 0 262252 277120 238425 777797 273362 99106 1150265 183941 1343180 0 260052 274555 241361 775968 276692 103422 1156082 187098 1334875 0 265827 269814 241988 777629 267324 98736 1143689 191186 811 ann. pay. 32816874 578725 5197734 6269564 5899904 17945927 6638222 2586469 27170618 5646256 34369540 550894 5362209 6508036 6177022 18598161 6978090 2745118 28321369 6048171 37287561 584974 5392015 6706721 6411450 19095160 7519618 3000702 29615480 7672081 38242761 565732 5587087 6873727 6705372 19731918 7741839 3131804 30605561 7637200 38271751 603720 5777375 6945343 6871789 20198227 7642989 3032529 30873745 7398006 811 rec. 130610519 3073090 26528388 23718690 21444418 74764586 23373646 9613640 107751872 22858647 812 firms 160362 18890 87834 30558 14749 152031 7390 740 160161 201 159903 18884 87810 30010 14759 151463 7494 741 159698 205 163111 20921 88352 30064 15070 154407 7735 776 162918 193 161043 19606 87700 29834 15069 152209 7837 800 160846 197 169042 22243 90771 30812 16000 159826 8233 775 168834 208 812 estab. 194452 18980 88124 31479 16718 155301 13627 6227 175155 19297 195107 18975 88229 30901 16642 154747 13281 6135 174163 20944 199420 21073 88673 30914 16946 157606 13210 6187 177003 22417 196810 19654 88076 30685 16814 155229 13252 6216 174697 22113 206884 22256 90976 31511 17761 162504 14429 6332 183265 23619 812 empl. 1247851 0 183810 198519 192834 575163 255520 114974 945657 302194 1261383 0 182511 195026 193701 571238 259287 116881 947406 313977 1293215 0 182942 195927 197854 576723 269694 126030 972447 320768 1311522 0 180275 194546 197968 572789 271173 128964 972926 338596 1314320 0 191444 201095 210626 603165 283892 124528 1011585 302735 812 ann. pay. 20531264 406949 2345452 2777596 2965378 8495375 4449559 2027406 14972340 5558924 21587374 387896 2483028 2868585 3124178 8863687 4766379 2164427 15794493 5792881 22781734 436700 2603206 2974862 3295214 9309982 5016570 2448730 16775282 6006452 23629161 443037 2659246 3037046 3378764 9518093 5120328 2488969 17127390 6501771 24219389 460804 2839428 3205546 3655750 10161528 5417637 2467858 18047023 6172366 812 rec. 75128325 2282437 12316968 9887468 9471565 33958438 13170576 6742360 53871374 21256951 813 firms 278709 14117 151422 58352 29738 253629 22253 2319 278201 508 280545 13698 151563 59111 30197 254569 23027 2432 280028 517 283542 14621 150834 60137 30875 256467 23966 2578 283011 531 283684 13849 150399 60697 31150 256095 24368 2678 283141 543 291212 15971 152623 62391 32164 263149 24790 2704 290643 569 813 estab. 286176 14129 151446 58484 30221 254280 24338 4683 283301 2875 288230 13710 151585 59243 30613 255151 25159 4712 285022 3208 291336 14644 150876 60261 31298 257079 26030 5024 288133 3203 291725 13853 150439 60841 31555 256688 26399 5275 288362 3363 300000 15976 152651 62521 32638 263786 27302 5427 296515 3485 813 empl. 2487758 0 323353 379906 394936 1098195 827237 350314 2275746 212012 2571614 0 323380 385338 402691 1111409 862429 370906 2344744 226870 2665978 0 323046 392139 411445 1126630 899543 395794 2421967 244011 2715777 0 322903 396287 415403 1134593 916112 413914 2464619 251158 2770892 0 333506 405163 427997 1166666 931134 416804 2514604 256288 813 ann. pay. 42664722 360641 4613411 5288887 6056933 16319872 13890725 7702615 37913212 4751510 45996327 305171 4838241 5600697 6441782 17185891 15190515 8509353 40885759 5110568 49807475 340988 5057381 5984671 6886621 18269661 16315687 9426786 44012134 5795341 53346409 316332 5348641 6309283 7306794 19281050 17411679 10359116 47051845 6294564 56408763 365196 5629099 6627342 7675296 20296933 18478713 10928819 49704465 6704298 813 rec. 220360946 2442386 26974252 27101475 29879795 86397908 67818998 42488376 196705282 23655664 1131 firms 358 72 163 58 18 311 22 4 337 21 381 81 180 51 23 335 22 5 362 19 418 89 194 60 27 370 24 7 401 17 392 71 185 67 27 350 19 7 376 16 633 108 318 112 41 579 33 6 618 15 1131 estab. 418 72 163 58 19 312 24 6 342 76 431 81 181 51 24 337 24 7 368 63 469 90 194 61 27 372 31 9 412 57 441 72 185 69 27 353 20 10 383 58 680 108 318 113 42 581 35 8 624 56 1131 empl. 3426 0 310 383 242 935 [f] [e] [g] [g] 3258 0 353 329 281 963 [f] [e] 1982 1276 3337 0 378 389 341 1108 [f] [e] 2116 1221 3203 0 363 439 354 1156 488 439 2083 1120 4203 0 652 729 528 1909 1004 250 3163 1040 1131 ann. pay. 132368 1233 7462 12207 7922 28824 (D) (D) (D) (D) 121920 2133 8612 9447 10023 30215 (D) (D) 58629 63291 132021 2989 10050 10760 12208 36007 (D) (D) 67560 64461 122992 1898 9281 14026 10895 36100 16940 11534 64574 58418 158214 1889 16880 22206 15346 56321 35500 6492 98313 59901 1131 rec. 1112163 24049 201641 152818 95088 473596 188002 29485 691083 421080 1132 firms 152 33 65 27 9 134 8 3 145 7 185 53 76 26 11 166 10 3 179 6 191 40 86 30 14 170 13 3 186 5 188 36 86 32 11 165 13 4 182 6 286 57 128 47 23 255 20 5 280 6 1132 estab. 221 33 65 27 9 134 8 3 145 76 252 53 76 26 11 166 10 3 179 73 258 40 86 30 14 170 13 3 186 72 256 36 86 32 11 165 14 4 183 73 352 57 128 47 23 255 21 5 281 71 1132 empl. 1387 0 139 167 106 412 [e] [b] [f] [f] 1380 0 163 170 156 489 [e] [b] 851 529 1677 0 182 192 168 542 [e] [b] 1005 672 2049 0 175 214 145 534 363 [c] [g] [g] 2657 0 243 306 303 852 822 320 1994 663 1132 ann. pay. 45919 1043 3214 3892 1890 10039 (D) (D) (D) (D) 49617 1533 3877 4176 2942 12528 (D) (D) 20571 29046 66968 1672 4719 4099 3613 14103 (D) (D) 25724 41244 70068 1137 4068 5450 2798 13453 7268 (D) (D) (D) 75806 1985 4902 7604 7249 21740 14218 5880 41838 33968 1132 rec. 313498 14411 33458 31717 28815 108401 43699 20925 173025 140473 1133 firms 13530 1872 6420 3007 1592 12891 570 35 13496 34 12931 1522 6237 2981 1561 12301 564 33 12898 33 12538 1538 5963 2872 1505 11878 598 32 12508 30 12027 1326 6059 2674 1372 11431 541 25 11997 30 11397 1462 5534 2473 1318 10787 557 24 11368 29 1133 estab. 13616 1872 6422 3008 1593 12895 587 39 13521 95 13011 1522 6237 2985 1563 12307 574 37 12918 93 12620 1539 5966 2873 1507 11885 608 35 12528 92 12098 1326 6062 2675 1374 11437 552 25 12014 84 11477 1462 5535 2476 1319 10792 574 25 11391 86 1133 empl. 79364 0 13838 19680 20657 54175 17211 2077 73463 5901 79195 0 13492 19535 20242 53269 17484 2435 73188 6007 78129 0 12795 18955 19620 51370 18831 2557 72758 5371 72732 0 12825 17763 17976 48564 17576 1967 68107 4625 68962 0 12034 16284 17315 45633 17019 1908 64560 4402 1133 ann. pay. 2070191 53603 290156 418739 494167 1256665 472853 78669 1808187 262004 2084891 44190 288731 427989 496102 1257012 476426 87189 1820627 264264 2057252 38974 271741 418989 472907 1202611 514450 92692 1809753 247499 1968788 33495 281658 408335 458074 1181562 484979 79664 1746205 222583 1973028 40070 272753 389633 457947 1160403 504357 71952 1736712 236316 1133 rec. 9809676 328186 1813654 1906342 1951169 5999351 2263968 351065 8614384 1195292 1141 firms 2112 786 1056 136 60 2038 56 10 2104 8 2174 815 1085 134 62 2096 58 12 2166 8 2299 892 1120 158 57 2227 51 14 2292 7 2241 810 1153 143 62 2168 54 13 2235 6 1901 696 986 93 66 1841 41 12 1894 7 1141 estab. 2120 786 1056 137 60 2039 58 11 2108 12 2181 815 1085 135 62 2097 59 13 2169 12 2308 892 1120 159 57 2228 52 17 2297 11 2252 810 1153 144 64 2171 55 16 2242 10 1916 696 986 93 66 1841 44 18 1903 13 1141 empl. 7206 0 1669 862 785 3316 1904 [f] [i] [g] 7611 0 1719 850 790 3359 2089 1317 6765 846 7477 0 1779 1006 748 3533 1799 1396 6728 749 7350 0 1858 925 832 3615 1832 1299 6746 604 6537 0 1549 583 885 3017 1413 1304 5734 803 1141 ann. pay. 252566 24110 47582 25169 25065 121926 62214 (D) (D) (D) 263683 27933 48801 28020 22545 127299 61605 51689 240593 23090 266695 25253 50583 25269 24212 125317 56000 59580 240897 25798 258565 19888 50363 26523 26675 123449 58184 55443 237076 21489 252635 19746 44281 14912 29855 108794 49720 50091 208605 44030 1141 rec. 1654956 184589 343491 88230 161452 777762 308798 326898 1413458 241498 1142 firms 345 94 175 29 30 328 13 3 344 1 360 84 184 47 22 337 17 3 357 3 363 85 185 40 33 343 13 4 360 3 384 75 205 56 30 366 12 4 382 2 469 136 226 52 35 449 14 4 467 2 1142 estab. 345 94 175 29 30 328 13 3 344 1 360 84 184 47 22 337 17 3 357 3 363 85 185 40 33 343 13 4 360 3 384 75 205 56 30 366 12 4 382 2 469 136 226 52 35 449 14 4 467 2 1142 empl. 2107 0 326 198 398 922 [e] [f] [g] [a] 2375 0 320 318 287 925 585 [e] [g] [f] 2511 0 339 264 472 1075 434 [e] [g] [f] 2604 0 375 363 422 1160 398 [e] [g] [f] 2707 0 414 364 471 1249 424 [e] [g] [f] 1142 ann. pay. 58552 1515 4980 3226 7536 17257 (D) (D) (D) (D) 68870 1538 5843 5303 5619 18303 12238 (D) (D) (D) 75764 1342 6374 4555 10941 23212 8910 (D) (D) (D) 82351 1479 7023 7140 7899 23541 10430 (D) (D) (D) 82792 2051 8373 6140 8183 24747 10811 (D) (D) (D) 1142 rec. 319345 15163 38372 21497 24978 100010 37144 (D) (D) (D) 1151 firms 5532 1033 2514 866 487 4900 446 136 5482 50 5582 1063 2520 875 483 4941 453 137 5531 51 4753 915 2105 779 414 4213 379 122 4714 39 5134 963 2361 814 422 4560 420 125 5105 29 4946 889 2268 789 432 4378 417 115 4910 36 1151 estab. 5872 1033 2517 866 492 4908 489 202 5599 273 5929 1068 2522 876 490 4956 498 211 5665 264 5061 915 2109 779 422 4225 414 259 4898 163 5464 963 2367 815 432 4577 466 271 5314 150 5324 889 2271 790 451 4401 471 224 5096 228 1151 empl. 64568 0 5166 5651 6445 17262 17518 19201 53981 10587 67441 0 5205 5718 6350 17273 17538 17693 52504 14937 57587 0 4321 5084 5437 14842 15006 17810 47658 9929 59615 0 4877 5353 5638 15868 17097 18596 51561 8054 58541 0 4642 5138 5771 15551 16597 15661 47809 10732 1151 ann. pay. 1506905 34473 128606 149021 163927 476027 367025 345403 1188455 318450 1577196 43151 129525 154840 165794 493310 408695 343710 1245715 331481 1347539 34609 114494 142162 140426 431691 348293 333419 1113403 234136 1463707 35719 140227 156801 165100 497847 399420 355689 1252956 210751 1514936 30578 136440 153692 165352 486062 414757 346270 1247089 267847 1151 rec. 8681380 230054 1004433 890540 865945 2990972 2022811 1877691 6891474 1789906 1152 firms 3198 477 1940 451 192 3060 110 21 3191 7 3222 494 1936 466 196 3092 103 18 3213 9 3403 533 1997 507 214 3251 122 22 3395 8 3946 525 2415 577 245 3762 154 21 3937 9 4478 649 2708 624 286 4267 180 23 4470 8 1152 estab. 3246 477 1940 451 192 3060 115 57 3232 14 3269 494 1936 466 196 3092 104 48 3244 25 3450 533 1997 507 214 3251 125 59 3435 15 3999 526 2416 579 246 3767 155 59 3981 18 4537 649 2709 625 288 4271 183 65 4519 18 1152 empl. 16047 0 3629 2924 2409 8962 3880 [g] [j] [f] 16747 0 3631 3031 2587 9249 3621 2365 15235 1512 18197 0 3786 3304 2812 9902 4166 3251 17319 878 20750 0 4588 3774 3210 11572 5097 2945 19614 1136 22876 0 5287 3997 3772 13056 5810 3034 21900 976 1152 ann. pay. 307237 7140 52075 43376 41376 143967 78315 (D) (D) (D) 326691 14518 55695 49935 45814 165962 78648 49690 294300 32391 383710 12081 60231 56134 55007 183453 84658 88383 356494 27216 452312 10351 76938 68914 60810 217013 105485 91063 413561 38751 495963 13341 89013 69620 76309 248283 112809 100193 461285 34678 1152 rec. 2558100 92369 580902 289628 300674 1263573 629935 485730 2379238 178862 1153 firms 1424 309 688 191 99 1287 111 15 1413 11 1456 293 740 182 104 1319 107 18 1444 12 1513 319 760 181 104 1364 116 25 1505 8 1516 272 782 217 100 1371 113 24 1508 8 1744 386 853 216 138 1593 120 20 1733 11 1153 estab. 1454 309 688 191 99 1287 130 24 1441 13 1493 293 740 182 104 1319 128 26 1473 20 1547 319 760 181 104 1364 138 31 1533 14 1553 272 782 217 100 1371 145 24 1540 13 1797 386 853 216 138 1593 151 27 1771 26 1153 empl. 13044 0 1384 1248 1361 3993 [h] [g] [j] [h] 14148 0 1437 1164 1397 3998 4531 [g] [j] [h] 14650 0 1503 1160 1404 4067 5052 [h] [j] [g] 15173 0 1506 1418 1343 4267 4929 3515 12711 2462 14679 0 1669 1412 1825 4906 5084 2403 12393 2286 1153 ann. pay. 280567 8673 33685 29376 31222 102956 (D) (D) (D) (D) 319781 8081 38278 30169 34022 110550 101031 (D) (D) (D) 352584 9844 39061 30154 40857 119916 111434 (D) (D) (D) 373066 6345 38847 39986 35641 120819 119660 60162 300641 72425 424917 15287 45087 41188 56078 157640 134861 58120 350621 74296 1153 rec. 1424020 72940 235671 145821 169003 623435 369679 181919 1175033 248987 2111 firms 6723 653 4000 1025 496 6174 365 83 6622 101 6345 679 3803 904 458 5844 312 85 6241 104 6472 807 3779 928 441 5955 341 77 6373 99 6435 741 3734 947 479 5901 356 86 6343 92 6317 597 3816 906 462 5781 354 89 6224 93 2111 estab. 7927 654 4011 1039 528 6232 482 234 6948 979 7556 679 3814 916 498 5907 411 236 6554 1002 7740 807 3793 940 479 6019 458 242 6719 1021 7691 741 3750 959 506 5956 453 238 6647 1044 7629 597 3830 932 477 5836 456 292 6584 1045 2111 empl. 97039 0 7719 6693 6526 20938 12773 11504 45215 51824 90012 0 7350 5854 5959 19163 11199 10601 40963 49049 83012 0 7414 6047 5723 19184 12285 9966 41435 41577 87980 0 7386 6153 6286 19825 12369 10290 42484 45496 88280 0 7466 5890 5980 19336 12113 11656 43105 45175 2111 ann. pay. 5316305 34134 217468 223948 264953 740503 651692 676301 2068496 3247809 5377469 29378 216267 213914 260708 720267 643989 595216 1959472 3417997 5393011 40616 249214 253368 271729 814927 734334 703689 2252950 3140061 6217777 39391 264648 266432 299754 870225 742945 786895 2400065 3817712 6406475 28794 254065 258981 290795 832635 762724 807342 2402701 4003774 2111 rec. 160879230 228801 2587900 2367043 2389652 7573396 6789872 9608878 23972146 136907084 2121 firms 1022 113 190 121 162 586 317 71 974 48 948 92 181 118 147 538 296 68 902 46 880 64 184 105 150 503 266 63 832 48 888 115 170 99 148 532 243 67 842 46 802 58 160 97 130 445 246 67 758 44 2121 estab. 1442 113 194 121 162 590 345 129 1064 378 1336 92 183 118 147 540 331 125 996 340 1253 64 186 105 153 508 285 143 936 317 1266 115 172 100 152 539 264 135 938 328 1194 58 161 97 132 448 279 138 865 329 2121 empl. 81272 0 473 797 2296 3566 13022 11050 27638 53634 76381 0 399 782 2027 3208 12000 10839 26047 50334 70666 0 413 689 2071 3173 10689 10352 24214 46452 70999 0 371 652 2092 3115 10006 11694 24815 46184 74915 0 363 654 1784 2801 10205 11576 24582 50333 2121 ann. pay. 3988677 17988 16089 25740 63813 123630 457117 476258 1057005 2931672 3697834 22611 14086 23240 58631 118568 423939 457081 999588 2698246 3542168 7687 13461 19911 68757 109816 385337 453755 948908 2593260 3786164 36212 14258 25089 70012 145571 408320 556800 1110691 2675473 3812771 13267 15824 21275 59714 110080 407016 564794 1081890 2730881 2121 rec. 19845659 51399 85970 100213 248433 486015 2095535 2887139 5468689 14376970 2122 firms 411 74 164 48 35 321 33 23 377 34 409 92 151 51 35 329 31 18 378 31 412 74 175 56 33 338 25 21 384 28 381 67 176 38 33 314 20 20 354 27 270 44 113 37 22 216 17 15 248 22 2122 estab. 536 74 165 48 36 323 42 48 413 123 529 92 151 51 37 331 45 46 422 107 522 74 175 59 35 343 36 41 420 102 485 67 179 39 34 319 26 51 396 89 351 44 113 41 26 224 21 38 283 68 2122 empl. 43903 0 339 321 452 1112 1349 3769 6230 37673 39928 0 298 319 454 1071 1044 3428 5543 34385 34820 0 353 368 418 1139 672 3858 5669 29151 32810 0 341 228 416 985 475 3923 5383 27427 25692 0 221 233 297 751 430 3472 4653 21039 2122 ann. pay. 2038195 2765 12116 13320 19297 47498 55263 157246 260007 1778188 1844895 3532 11674 14173 19461 48840 44963 133963 227766 1617129 1718470 1629 12880 14205 15301 44015 30010 171961 245986 1472484 1650013 6279 12608 9774 19631 48292 18769 187212 254273 1395740 1373375 4579 15185 9704 30494 59962 22185 204556 286703 1086672 2122 rec. 8169777 22957 71077 41300 93974 229308 150059 1075887 1455254 6714523 2123 firms 3520 282 1011 653 612 2558 640 188 3386 134 3501 318 1056 623 557 2554 637 170 3361 140 3492 324 1014 632 596 2566 618 172 3356 136 3545 336 1102 638 562 2638 617 160 3415 130 3614 375 1153 613 588 2729 585 170 3484 130 2123 estab. 5331 282 1012 655 626 2575 842 503 3920 1411 5415 318 1058 625 572 2573 834 473 3880 1535 5456 324 1016 632 606 2578 817 469 3864 1592 5572 336 1103 638 578 2655 825 450 3930 1642 5660 375 1153 616 601 2745 778 495 4018 1642 2123 empl. 100134 0 2263 4385 8127 14775 21378 15699 51852 48282 99640 0 2340 4163 7536 14039 21536 14370 49945 49695 98843 0 2255 4262 8145 14662 21091 15836 51589 47254 96926 0 2450 4305 7604 14359 21370 13569 49298 47628 93567 0 2559 4120 8012 14691 19721 13559 47971 45596 2123 ann. pay. 3986068 16266 66097 130666 274363 487392 765211 634789 1887392 2098676 4082446 23003 74499 128368 261715 487585 795144 590689 1873418 2209028 4083465 18850 66818 131194 283271 500133 803021 671342 1974496 2108969 4147519 18953 80151 145268 280963 525335 827254 582870 1935459 2212060 3935876 22342 93862 136148 300231 552583 804576 557204 1914363 2021513 2123 rec. 19717666 95488 380578 539756 1144130 2159952 3135147 2460467 7755566 11962100 2131 firms 8299 878 3918 1320 933 7049 985 157 8191 108 7771 817 3877 1171 873 6738 798 136 7672 99 7641 892 3618 1147 877 6534 866 142 7542 99 8222 1034 3731 1211 986 6962 989 172 8123 99 7587 831 3449 1176 970 6426 909 157 7492 95 2131 estab. 9423 886 3934 1388 1037 7245 1213 317 8775 648 8863 818 3909 1233 975 6935 994 288 8217 646 8767 894 3646 1205 956 6701 1053 290 8044 723 9305 1036 3749 1253 1043 7081 1160 300 8541 764 9037 831 3465 1209 1089 6594 1200 391 8185 852 2131 empl. 175501 0 7905 8608 12225 28738 37685 21839 88262 87239 150684 0 7677 7565 11352 26594 28870 18089 73553 77131 168787 0 7273 7508 11667 26448 32033 19086 77567 91220 196850 0 7550 7967 13063 28580 37500 26479 92559 104291 183321 0 7155 7757 12898 27810 34392 21782 83984 99337 2131 ann. pay. 6612671 48592 198099 227664 331263 805618 1127866 810320 2743804 3868867 5973318 55860 205795 216146 346464 824265 941021 727701 2492987 3480331 7354132 58694 207895 237560 391373 895522 1130677 876302 2902501 4451631 9212884 123733 238863 269760 461486 1093842 1438772 1252636 3785250 5427634 8433197 49537 220596 254609 443992 968734 1294040 960205 3222979 5210218 2131 rec. 28960730 169727 835638 943867 1389401 3338633 3956578 3441276 10736487 18224243 2211 firms 1666 107 255 104 167 633 687 200 1520 146 1682 94 271 132 163 660 675 202 1537 145 1704 99 276 140 173 688 666 213 1567 137 1781 130 305 147 173 755 679 211 1645 136 1756 103 329 134 167 733 665 228 1626 130 2211 estab. 8305 107 257 106 185 655 1101 749 2505 5800 8811 98 273 134 177 682 1094 743 2519 6292 9150 99 277 141 189 706 1063 760 2529 6621 9207 131 307 147 192 777 1069 743 2589 6618 9493 103 331 137 189 760 1075 819 2654 6839 2211 empl. 546696 0 547 688 2439 3674 32231 35244 71149 475547 533214 0 577 855 2308 3740 31927 34993 70660 462554 520854 0 602 892 2445 3939 31759 35298 70996 449858 515988 0 682 949 2516 4147 32060 34621 70828 445160 515769 0 688 857 2441 3986 31245 37306 72537 443232 2211 ann. pay. 31647328 27272 19613 28918 106269 182072 1325023 1651816 3158911 28488417 32442619 151568 26878 37710 104619 320775 1350634 1653739 3325148 29117471 33758900 21624 24390 36464 112629 195107 1381543 1740076 3316726 30442174 34337769 22240 30377 41909 120109 214635 1480391 1766727 3461753 30876016 34828436 65545 28031 33185 123220 249981 1468209 1973505 3691695 31136741 2211 rec. 320502670 131399 1399754 256984 2907973 4696110 15797473 21427328 41920911 278581759 2212 firms 630 57 209 105 64 435 55 36 526 104 610 47 222 98 62 429 50 34 513 97 603 47 210 97 58 412 58 35 505 98 592 44 217 97 57 415 51 32 498 94 631 68 223 111 59 461 54 31 546 85 2212 estab. 2723 58 209 109 76 452 101 154 707 2016 2851 47 222 100 70 439 98 165 702 2149 2846 47 210 99 67 423 103 152 678 2168 2831 44 219 100 63 426 84 127 637 2194 2897 70 223 118 72 483 86 131 700 2197 2212 empl. 99962 0 476 716 775 1967 1890 5620 9477 90485 96953 0 464 660 773 1897 1658 5129 8684 88269 94821 0 478 641 750 1869 1789 4596 8254 86567 95348 0 492 644 712 1848 1831 4323 8002 87346 86890 0 519 721 716 1956 2066 4398 8420 78470 2212 ann. pay. 5282225 39923 19143 31650 35093 125809 99422 241408 466639 4815586 5657570 10866 19833 27523 36962 95184 87186 241539 423909 5233661 5529810 16524 19112 28813 37203 101652 94857 231833 428342 5101468 6001077 7422 25643 32563 34731 100359 110365 197485 408209 5592868 5342147 6940 21698 30211 41148 99997 131392 221794 453183 4888964 2212 rec. 67275310 79932 654470 478929 1310935 2524266 7724447 2878244 13126957 54148353 2213 firms 4388 261 2871 782 253 4167 128 39 4334 54 4452 326 2844 779 271 4220 144 32 4396 56 4803 414 2915 901 316 4546 166 34 4746 57 4995 387 3064 928 345 4724 175 36 4935 60 5296 407 3195 1065 354 5021 185 35 5241 55 2213 estab. 4867 261 2872 788 273 4194 191 136 4521 346 4916 326 2845 780 294 4245 199 108 4552 364 5305 414 2916 902 337 4569 219 117 4905 400 5664 387 3065 929 364 4745 236 131 5112 552 6042 407 3197 1068 380 5052 262 176 5490 552 2213 empl. 35569 0 6297 4958 3150 14405 4006 4473 22884 12685 36895 0 6292 4897 3362 14551 4616 3844 23011 13884 39555 0 6444 5663 4004 16111 5530 3845 25486 14069 43148 0 6780 5859 4381 17020 5949 4171 27140 16008 45595 0 7230 6578 4507 18315 6080 5238 29633 15962 2213 ann. pay. 1167674 5354 93517 104197 89566 292634 129847 205040 627521 540153 1254801 10222 98648 106766 98686 314322 142199 171862 628383 626418 1362126 14509 103863 120643 110264 349279 178883 185922 714084 648042 1603457 13735 118573 131112 129308 392728 202838 210572 806138 797319 1674162 16847 127916 139812 140379 424954 212996 234723 872673 801489 2213 rec. 8298663 84233 673160 636595 639003 2032991 996631 952124 3981746 4316917 2331 firms 11192 2829 5871 1299 619 10618 388 95 11101 91 12189 3071 6224 1442 744 11481 507 107 12095 94 12902 2982 6657 1630 858 12127 567 117 12811 91 13175 2836 6655 1814 977 12282 664 130 13076 99 13860 2804 7303 1860 968 12935 693 138 13766 94 2331 estab. 11369 2832 5873 1301 622 10628 413 138 11179 190 12383 3072 6226 1443 750 11491 548 124 12163 220 13111 2984 6659 1632 866 12141 601 142 12884 227 13358 2837 6657 1817 980 12291 711 176 13178 180 14044 2804 7308 1864 976 12952 742 164 13858 186 2331 empl. 56326 0 11222 8311 8050 27583 13051 9385 50019 6307 68024 0 11962 9235 9842 31039 17582 11659 60280 7744 77885 0 12951 10535 11407 34893 20509 12478 67880 10005 88993 0 13163 11715 12915 37793 23692 13817 75302 13691 90669 0 14466 12018 12603 39087 23532 14669 77288 13381 2331 ann. pay. 2262825 166410 393302 293672 281877 1135261 461744 346824 1943829 318996 2814520 172339 437132 343608 354722 1307801 657849 419286 2384936 429584 3269158 164894 468769 377028 465833 1476524 756199 476151 2708874 560284 3990101 156215 484556 438707 513298 1592776 972272 579359 3144407 845694 4100107 141975 545793 473892 515979 1677639 1043208 670559 3391406 708701 2331 rec. 24460771 1412212 4716723 2654048 2784158 11567141 5133980 3239442 19940563 4520208 2332 firms 161068 30573 92211 24500 9367 156651 3976 330 160957 111 159525 26190 92574 25576 10215 154555 4516 342 159413 112 158881 25715 91086 25836 10744 153381 5007 375 158763 118 154774 25402 90322 24380 9604 149708 4573 371 154652 122 169908 33164 96373 24953 10244 164734 4696 357 169787 121 2332 estab. 161652 30573 92211 24507 9376 156667 4007 475 161149 503 160178 26190 92576 25577 10229 154572 4577 475 159624 554 159550 25715 91088 25837 10758 153398 5051 512 158961 589 155437 25403 90322 24383 9617 149725 4614 472 154811 626 170720 33164 96375 24956 10263 164758 4788 490 170036 684 2332 empl. 688495 0 186882 156823 121851 465556 133929 45405 644890 43605 741588 0 189379 163911 133330 486620 153870 48895 689385 52203 781012 0 187726 166058 140495 494279 171729 56765 722773 58239 735386 0 184403 156413 124882 465698 157256 53008 675962 59424 770851 0 197776 159955 133589 491320 161168 50526 703014 67837 2332 ann. pay. 20345686 892536 4486681 3760336 3272156 12411709 4232614 1745098 18389421 1956265 23225796 848303 4774735 4144357 3741959 13509354 5101464 1958103 20568921 2656875 25519665 807571 4837595 4352258 4064840 14062264 6020027 2353660 22435951 3083714 25985907 834885 4950951 4277559 3888583 13951978 6062180 2379736 22393894 3592013 28410104 1100083 5331955 4681775 4335324 15449137 6529749 2475713 24454599 3955505 2332 rec. 250603429 13293612 52776491 33278742 29927206 129276051 49936625 21012957 200225633 50377796 2333 firms 43150 5502 15633 7997 6578 35710 6363 845 42918 232 43058 4869 15841 8035 6605 35350 6599 873 42822 236 42962 4775 15748 7890 6697 35110 6686 924 42720 242 46268 4772 16268 8901 7923 37864 7255 909 46028 240 40755 4168 13384 8201 7163 32916 6770 842 40528 227 2333 estab. 43872 5502 15636 7998 6589 35725 6415 1010 43150 722 43794 4869 15842 8037 6614 35362 6646 1041 43049 745 43693 4775 15749 7892 6707 35123 6728 1089 42940 753 47011 4773 16269 8905 7937 37884 7292 1051 46227 784 41630 4168 13384 8206 7178 32936 6850 1011 40797 833 2333 empl. 689517 0 34039 53515 89687 177241 239205 131188 547634 141883 728467 0 34557 53469 89993 178019 253643 142386 574048 154419 746016 0 34229 52677 91187 178093 258470 149911 586474 159542 792594 0 35705 59606 107853 203164 276905 145361 625430 167164 724197 0 30318 55102 97235 182655 256539 132855 572049 152148 2333 ann. pay. 27669621 299064 1080189 1726461 3170102 6275816 9387703 5688617 21352136 6317485 29843476 258988 1132967 1804322 3331772 6528049 10398098 6249536 23175683 6667793 32009263 276932 1141141 1778848 3474329 6671250 10964633 6771462 24407345 7601918 34980977 335390 1259669 2155071 4203418 7953548 11836469 6829880 26619897 8361080 33220280 259744 1138800 2074087 3894469 7367100 11402995 6498452 25268547 7951733 2333 rec. 259927734 2472598 9799669 14591648 26509639 53373554 83694014 54250710 191318278 68609456 2341 firms 11748 1563 3280 2060 1882 8785 2385 489 11659 89 11457 1354 3240 1962 1832 8388 2438 533 11359 98 11285 1325 3103 1904 1778 8110 2491 574 11175 110 11595 1388 3257 2067 1815 8527 2380 578 11485 110 11279 1561 3112 1931 1760 8364 2230 563 11157 122 2341 estab. 12193 1563 3282 2061 1888 8794 2414 573 11781 412 11911 1354 3242 1962 1837 8395 2463 622 11480 431 11795 1325 3104 1905 1784 8118 2508 675 11301 494 12133 1388 3257 2068 1823 8536 2404 677 11617 516 11818 1561 3112 1932 1762 8367 2271 681 11319 499 2341 empl. 267142 0 7188 13975 25884 47047 96692 76315 220054 47088 284368 0 7205 13327 25119 45651 99689 84423 229763 54605 304936 0 6894 12809 24449 44152 102703 95275 242130 62806 311019 0 7148 13912 24769 45829 97245 95751 238825 72194 310815 0 7112 12986 24078 44176 92084 94845 231105 79710 2341 ann. pay. 12525762 123151 391796 638817 1218524 2372288 4315729 3597181 10285198 2240564 13469410 96812 381461 608089 1216038 2302400 4650669 4052805 11005874 2463536 14316101 101987 357105 563599 1095189 2117880 4693869 4493427 11305176 3010925 15697550 137650 397519 678769 1284264 2498202 4833062 4872265 12203529 3494021 15755131 145598 409854 659160 1218870 2433482 4771811 4752145 11957438 3797693 2341 rec. 82129692 851493 2155618 2943853 5387124 11338088 22567377 25350793 59256258 22873434 2349 firms 27366 3026 9996 5168 4012 22202 4317 634 27153 213 27112 2800 9798 5087 4122 21807 4411 671 26889 223 27076 2918 9625 4972 4077 21592 4585 677 26854 222 27672 2690 10005 5447 4369 22511 4293 652 27456 216 27392 4018 9890 4830 3874 22612 3974 594 27180 212 2349 estab. 27898 3026 9996 5171 4023 22216 4362 739 27317 581 27645 2800 9798 5091 4129 21818 4454 778 27050 595 27721 2921 9627 4975 4083 21606 4624 789 27019 702 28343 2690 10008 5448 4377 22523 4324 773 27620 723 28131 4018 9891 4832 3884 22625 4039 734 27398 733 2349 empl. 536802 0 21675 34299 54788 110762 164883 101423 377068 159734 564005 0 21354 33836 56024 111214 173226 106410 390850 173155 596051 0 20979 33009 55592 109580 179738 113144 402462 193589 590188 0 21661 36312 59439 117412 165399 108238 391049 199139 545497 0 21908 32146 52695 106749 154713 96163 357625 187872 2349 ann. pay. 20820740 187663 694241 1137938 1952948 3972790 6441823 3959372 14373985 6446755 22338456 214706 691165 1135872 2060507 4102250 6821425 4556027 15479702 6858754 24311905 196587 662238 1099943 2062405 4021173 7242679 4819020 16082872 8229033 24104074 182086 752189 1284926 2259777 4478978 6678644 4724814 15882436 8221638 23566416 436099 735023 1106724 2034193 4312039 6525610 4211413 15049062 8517354 2349 rec. 92254316 1868008 3658610 4452313 7778877 17757808 25670927 17005158 60433893 31820423 2351 firms 87653 9319 41925 17448 10808 79500 7343 703 87546 107 88195 9037 41718 17549 11196 79500 7846 733 88079 116 89523 9430 41627 17960 11411 80428 8220 748 89396 127 88519 9098 41850 17595 11063 79606 8034 755 88395 124 89223 10148 41788 17403 11078 80417 7934 743 89094 129 2351 estab. 88542 9319 41926 17450 10818 79513 7415 809 87737 805 89125 9042 41719 17551 11206 79518 7912 841 88271 854 90487 9430 41630 17963 11416 80439 8276 850 89565 922 89550 9098 41851 17598 11069 79616 8088 851 88555 995 90341 10148 41788 17405 11083 80424 8028 926 89378 963 2351 empl. 817297 0 89820 114986 144693 349499 269298 114766 733563 83734 862013 0 89977 115345 149653 354975 288498 118680 762153 99860 897912 0 90302 118344 153121 361767 300650 122189 784606 113306 898440 0 90400 115786 148993 355179 297562 124152 776893 121547 879908 0 90914 114854 148470 354238 292995 118367 765600 114308 2351 ann. pay. 28511597 331349 2120236 3113733 4521349 10086667 9915896 4760536 24763099 3748498 31044940 346678 2236736 3202938 4822837 10609189 10982751 5067474 26659414 4385526 33406016 376565 2293442 3339803 5015791 11025601 11678176 5408794 28112571 5293445 34507914 360885 2331273 3411773 5074568 11178499 12056634 5738807 28973940 5533974 34806094 426073 2421996 3512226 5215143 11575438 12201195 5484360 29260993 5545101 2351 rec. 115839498 2271644 10985237 11911150 16220810 41388841 37762067 16845561 95996469 19843029 2352 firms 39429 7590 20975 6129 2957 37651 1681 88 39420 9 39728 7104 21221 6324 3186 37835 1769 111 39715 13 40931 7644 21495 6432 3312 38883 1914 123 40920 11 40322 7191 21701 6274 3130 38296 1881 134 40311 11 40876 8264 21530 6055 3050 38899 1836 128 40863 13 2352 estab. 39475 7590 20975 6130 2958 37653 1692 104 39449 26 39767 7104 21221 6324 3187 37836 1780 126 39742 25 40973 7644 21495 6432 3316 38887 1921 142 40950 23 40364 7191 21701 6275 3133 38300 1891 145 40336 28 40935 8264 21530 6055 3055 38904 1850 144 40898 37 2352 empl. 198800 0 42237 39807 39134 121178 59649 13564 194391 4409 212050 0 43066 41120 42210 126396 62827 17255 206478 5572 221787 0 43635 41774 44210 129619 67977 19427 217023 4764 220433 0 43571 40640 41207 125418 67687 22266 215371 5062 218825 0 44181 39439 40768 124388 66428 20456 211272 7553 2352 ann. pay. 5227676 187957 893204 878419 954824 2914404 1772168 442661 5129233 98443 5684254 171999 933652 930600 1064253 3100504 1918146 523166 5541816 142438 6121419 204432 966946 961384 1136690 3269452 2096566 647000 6013018 108401 6300673 193084 1005293 975290 1111635 3285302 2162940 722376 6170618 130055 6459789 256518 1002672 991416 1146805 3397411 2159358 687781 6244550 215239 2352 rec. 18552961 1204714 4049668 2789023 2907978 10951383 5205365 1657915 17814663 738298 2353 firms 65093 7219 30177 12665 7929 57990 6214 769 64973 120 65567 6732 29974 12975 8252 57933 6635 865 65433 134 65890 6582 29662 13136 8498 57878 6951 896 65725 165 64890 6439 29585 12801 8245 57070 6745 900 64715 175 64730 7261 29752 12454 7964 57431 6339 801 64571 159 2353 estab. 65703 7219 30179 12669 7939 58006 6271 916 65193 510 66220 6732 29978 12977 8260 57947 6691 1008 65646 574 66802 6587 29662 13137 8503 57889 7000 1020 65909 893 65860 6441 29588 12803 8251 57083 6802 1027 64912 948 65858 7262 29754 12461 7974 57451 6422 1031 64904 954 2353 empl. 692603 0 64844 83534 106651 255029 233620 128970 617619 74984 742538 0 64771 85353 111084 261208 249444 148014 658666 83872 815056 0 64591 86331 114546 265468 264676 158177 688321 126735 831895 0 64314 84380 110883 259577 260247 159594 679418 152477 770632 0 64811 82055 106698 253564 242360 139413 635337 135295 2353 ann. pay. 25345173 331487 1608631 2316309 3378891 7635318 8779206 5454176 21868700 3476473 28361458 362116 1673032 2431662 3646996 8113806 9620898 6397401 24132105 4229353 32698001 301894 1712909 2520241 3873877 8408921 10497081 7218338 26124340 6573661 33480174 280875 1748516 2559963 3844188 8433542 10612221 7350987 26396750 7083424 31707131 329385 1797693 2553645 3807936 8488659 10155458 6804742 25448859 6258272 2353 rec. 89483864 1513571 7148651 7533578 10405409 26601209 27323333 18184169 72108711 17375153 2354 firms 52200 7551 24027 9470 5679 46727 4871 543 52141 59 52303 7213 23998 9570 5818 46599 4997 641 52237 66 53212 7374 24119 9725 6012 47230 5222 693 53145 67 50444 7288 24132 8555 5138 45113 4552 708 50373 71 49423 8604 22621 8102 4934 44261 4416 667 49344 79 2354 estab. 52544 7551 24027 9471 5681 46730 4904 622 52256 288 52704 7213 23998 9572 5820 46603 5020 728 52351 353 53625 7374 24120 9725 6016 47235 5251 746 53232 393 50885 7288 24134 8557 5141 45120 4572 764 50456 429 50021 8604 22622 8103 4936 44265 4449 786 49500 521 2354 empl. 497600 0 51217 61879 76031 189127 187678 89261 466066 31534 538933 0 51315 63021 78261 192597 195520 106372 494489 44444 564994 0 51713 63700 80833 196246 202393 117978 516617 48377 529521 0 50825 55930 69055 175810 179902 122178 477890 51631 515364 0 48711 52897 66557 168165 173373 115415 456953 58411 2354 ann. pay. 14408860 271207 1172464 1408744 1965709 4818124 5656680 2906174 13380978 1027882 15995317 271932 1221035 1490228 2121069 5104264 6079351 3440444 14624059 1371258 17389820 269719 1235522 1526856 2167710 5199807 6465714 4132983 15798504 1591316 17188600 264439 1252319 1394459 1998252 4909469 6143947 4427349 15480765 1707835 17208688 338988 1216390 1378053 1953174 4886605 6048958 4184270 15119833 2088855 2354 rec. 53198174 1858772 6142087 4938720 5973368 18912947 16482894 10780844 46176685 7021489 2355 firms 57101 9246 32486 8914 3986 54632 2197 241 57070 31 57525 8857 32533 9246 4173 54809 2406 276 57491 34 58247 8943 32709 9345 4326 55323 2584 302 58209 38 57189 8914 32757 8963 3805 54439 2374 333 57146 43 60484 10834 33874 9015 4036 57759 2375 306 60440 44 2355 estab. 57353 9246 32487 8914 3988 54635 2229 283 57147 206 57801 8858 32533 9247 4177 54815 2433 326 57574 227 58525 8944 32709 9346 4331 55330 2612 345 58287 238 57441 8914 32757 8967 3810 54448 2401 384 57233 208 60754 10834 33875 9018 4044 57771 2422 355 60548 206 2355 empl. 303906 0 64982 57518 52923 175423 79281 [k] [m] [j] 327772 0 65274 59685 55271 180230 86422 [k] [m] [j] 347303 0 66171 60347 56831 183349 92327 52721 328397 18906 337558 0 65593 57630 50297 173520 84698 57709 315927 21631 338784 0 68835 58007 53346 180188 84828 51686 316702 22082 2355 ann. pay. 8073441 219491 1323827 1280982 1374912 4199212 2409075 (D) (D) (D) 9104443 267582 1394779 1404254 1479248 4545863 2691457 (D) (D) (D) 9963643 252985 1448738 1448084 1592481 4742288 2991653 1647409 9381350 582293 9951543 245901 1491686 1428060 1448243 4613890 2851003 1853587 9318480 633063 10438867 314336 1571580 1487550 1575980 4949446 2929905 1816908 9696259 742608 2355 rec. 39126256 1970882 8157455 5370903 5289792 20789032 10110613 5499308 36398953 2727303 2356 firms 30877 4736 14489 5408 3359 27992 2657 209 30858 19 30665 4402 14353 5555 3349 27659 2745 240 30644 21 30855 4526 14445 5484 3380 27835 2740 254 30829 26 30127 4470 14435 5207 3181 27293 2572 236 30101 26 31367 5628 14584 5262 3132 28606 2506 228 31340 27 2356 estab. 30980 4736 14489 5408 3368 28001 2692 257 30950 30 30767 4402 14354 5555 3349 27660 2768 307 30735 32 30966 4526 14447 5484 3380 27837 2766 319 30922 44 30247 4470 14440 5209 3182 27301 2595 306 30202 45 31538 5628 14586 5266 3133 28613 2545 312 31470 68 2356 empl. 246478 0 30553 35500 45062 111115 99188 29475 239778 6700 257629 0 30195 36524 44938 111657 103103 35010 249770 7859 260774 0 30355 36116 45440 111911 102650 37895 252456 8318 247408 0 30183 34126 42758 107067 97389 36088 240544 6864 244435 0 31050 34653 42198 107901 94101 33740 235742 8693 2356 ann. pay. 7087370 135344 672937 825866 1168330 2802477 3063448 997789 6863714 223656 7614393 135528 692200 873856 1216176 2917760 3224343 1210623 7352726 261667 7928821 153834 695745 856150 1250859 2956588 3367430 1305025 7629043 299778 7833919 148495 744568 854250 1211779 2959092 3319018 1296247 7574357 259562 7882266 206428 765748 894010 1234676 3100862 3243552 1205559 7549973 332293 2356 rec. 30607059 1451406 4775448 3764067 4331768 14322689 10806255 4035309 29164253 1442806 2357 firms 29474 5487 11858 5944 3540 26829 2390 222 29441 33 29763 5327 11690 6131 3690 26838 2618 272 29728 35 30136 5085 11794 6336 3847 27062 2738 295 30095 41 30639 5151 12457 6182 3720 27510 2793 291 30594 45 34680 7933 13088 6437 4016 31474 2871 288 34633 47 2357 estab. 29575 5487 11858 5944 3542 26831 2399 242 29472 103 29870 5327 11690 6132 3691 26840 2629 293 29762 108 30238 5085 11794 6336 3848 27063 2749 306 30118 120 30743 5151 12457 6183 3721 27512 2802 318 30632 111 34820 7933 13088 6437 4017 31475 2887 323 34685 135 2357 empl. 244553 0 26596 39191 47226 113013 85766 34136 232915 11638 269232 0 26263 40474 49050 115787 96365 42133 254285 14947 292569 0 26654 41888 51418 119960 101832 48265 270057 22512 295285 0 27577 40936 49900 118413 104096 48719 271228 24057 306585 0 29622 42381 53644 125647 105563 46682 277892 28693 2357 ann. pay. 7719874 239249 801354 1031041 1342315 3413959 2717258 1174471 7305688 414186 8718107 250685 832359 1105339 1392816 3581199 3118430 1504020 8203649 514458 9501215 234502 795617 1123089 1477693 3630901 3386918 1762387 8780206 721009 10419100 255961 913154 1182703 1561835 3913653 3627508 1839042 9380203 1038897 10993175 416073 994193 1256401 1681504 4348171 3729589 1828918 9906678 1086497 2357 rec. 40255179 2166648 4725941 4623139 5875644 17391372 12997236 6685570 37074178 3181001 2358 firms 3756 366 2132 820 303 3621 124 8 3753 3 3718 310 2095 863 299 3567 143 5 3715 3 3735 333 2017 866 361 3577 146 9 3732 3 3648 305 1972 837 353 3467 167 11 3645 3 3955 406 2089 885 403 3783 156 12 3951 4 2358 estab. 3830 366 2132 820 304 3622 131 18 3771 59 3789 310 2095 863 299 3567 151 13 3731 58 3797 333 2017 866 363 3579 152 17 3748 49 3722 305 1972 837 356 3470 172 27 3669 53 4028 406 2089 885 406 3786 164 32 3982 46 2358 empl. 19905 0 4648 5255 3895 13798 3720 [f] [j] [g] 20494 0 4569 5623 3897 14089 4407 [f] [j] [g] 21590 0 4443 5581 4745 14769 4570 790 20129 1461 22296 0 4361 5443 4604 14408 5249 1246 20903 1393 23692 0 4709 5774 5327 15810 4997 1507 22314 1378 2358 ann. pay. 594841 8578 103512 137252 117458 366800 137384 (D) (D) (D) 636779 10236 106840 151414 121709 390199 164725 (D) (D) (D) 688475 19071 107329 148805 150187 425392 176257 29109 630758 57717 758907 8260 106779 154725 157717 427481 210222 61175 698878 60029 841050 12850 123730 171589 188173 496342 209751 70363 776456 64594 2358 rec. 3216861 86344 648250 641635 641245 2017474 685535 271055 2974064 242797 2359 firms 66894 11279 30686 12146 7370 61481 4813 487 66781 113 71434 12948 31822 12857 7809 65436 5330 540 71306 128 77075 13874 34238 13989 8528 70629 5694 615 76938 137 72601 12893 34769 12094 7076 66832 5050 587 72469 132 64321 12485 28238 10889 6878 58490 5160 546 64196 125 2359 estab. 68032 11286 30687 12148 7391 61512 4910 566 66988 1044 72587 12948 31824 12858 7819 65449 5436 629 71514 1073 78307 13875 34239 13992 8535 70641 5805 749 77195 1112 73804 12893 34771 12095 7089 66848 5139 765 72752 1052 65687 12490 28242 10893 6894 58519 5331 744 64594 1093 2359 empl. 539518 0 65277 79769 98631 243677 172393 68122 484192 55326 584513 0 67389 84493 104181 256063 192471 75403 523937 60576 644915 0 72602 91585 114273 278460 206967 90316 575743 69172 590978 0 72572 79402 94015 245989 189733 86834 522556 68422 567116 0 60265 72006 92349 224620 193036 80796 498452 68664 2359 ann. pay. 17953557 383859 1627564 2101818 2945502 7058743 5978062 2601200 15638005 2315552 20235739 529782 1759223 2314912 3197128 7801045 6783375 2982128 17566548 2669191 22786647 543468 1892585 2523237 3603606 8562896 7449399 3567302 19579597 3207050 22012036 488666 1917752 2231608 3076356 7714382 7366787 3644770 18725939 3286097 21913364 482966 1652159 2154980 3173056 7463161 7610681 3571673 18645515 3267849 2359 rec. 77887893 2980624 8603331 8172622 10787547 30544124 24647331 11755324 66946779 10941114 3111 firms 1083 57 230 214 212 713 236 67 1016 67 1106 75 239 223 193 730 238 68 1036 70 1127 61 259 210 205 735 245 71 1051 76 1174 68 295 208 206 777 251 77 1105 69 1183 79 295 205 204 783 252 81 1116 67 3111 estab. 1712 57 230 214 213 714 272 165 1151 561 1711 75 239 223 196 733 273 152 1158 553 1710 61 259 210 208 738 278 155 1171 539 1779 68 295 208 210 781 286 162 1229 550 1783 79 295 206 207 787 299 169 1255 528 3111 empl. 49084 0 555 1426 2816 4797 8445 7265 20507 28577 50384 0 572 1473 2555 4600 8847 7358 20805 29579 50801 0 608 1402 2703 4713 9036 6997 20746 30055 49235 0 690 1366 2745 4801 9170 7845 21816 27419 47012 0 708 1336 2773 4817 9133 8306 22256 24756 3111 ann. pay. 1620058 15978 11609 33889 73302 134778 261762 236074 632614 987444 1724796 9647 11647 35257 74756 131307 281379 268875 681561 1043235 1736894 2843 12774 33703 76392 125712 294336 258636 678684 1058210 1764080 6957 17866 34821 74039 133683 320928 306169 760780 1003300 1787858 45517 17776 36266 82577 182136 313943 323368 819447 968411 3111 rec. 29091490 737804 227151 411305 954780 2331040 3516571 4330377 10177988 18913502 3112 firms 534 28 127 86 67 308 108 57 473 61 544 35 123 90 63 311 120 53 484 60 540 34 112 99 61 306 121 61 488 52 553 45 120 95 66 326 113 60 499 54 492 29 100 76 70 275 110 55 440 52 3112 estab. 890 28 127 86 67 308 121 99 528 362 897 35 123 90 63 311 134 100 545 352 913 34 112 99 61 306 137 116 559 354 916 45 120 95 66 326 127 110 563 353 832 29 100 78 71 278 118 106 502 330 3112 empl. 59298 0 310 567 889 1766 4313 8623 14702 44596 60672 0 299 599 885 1783 5001 8423 15207 45465 59853 0 262 653 844 1759 4872 9032 15663 44190 57643 0 293 625 911 1829 4759 8854 15442 42201 54531 0 232 506 952 1690 4499 8008 14197 40334 3112 ann. pay. 2370228 4042 8334 10471 25105 47952 132587 295716 476255 1893973 2431798 2404 6440 12786 24142 45772 158541 279406 483719 1948079 2460270 1864 6862 13150 22615 44491 158528 321570 524589 1935681 2469321 13924 7826 15676 24468 61894 159131 318266 539291 1930030 2422553 5301 4872 11931 25274 47378 157914 308856 514148 1908405 3112 rec. 47108696 108880 78486 198964 361948 748278 2287593 3798855 6834726 40273970 3113 firms 1619 164 463 336 260 1223 252 99 1574 45 1541 124 466 305 254 1149 250 98 1497 44 1502 149 418 300 250 1117 248 95 1460 42 1571 158 452 304 263 1177 253 90 1520 51 1548 135 447 313 258 1153 254 95 1502 46 3113 estab. 1815 165 465 336 275 1241 289 131 1661 154 1735 125 467 306 267 1165 285 132 1582 153 1689 152 418 302 263 1135 275 127 1537 152 1750 159 453 305 275 1192 279 122 1593 157 1715 135 447 315 270 1167 275 127 1569 146 3113 empl. 86291 0 1055 2253 3427 6735 9543 18828 35106 51185 85230 0 1077 2048 3313 6438 9701 17306 33445 51785 84106 0 972 2029 3313 6314 9529 16432 32275 51831 86916 0 1014 2049 3495 6558 9681 15373 31612 55304 81206 0 1018 2093 3376 6487 9619 16346 32452 48754 3113 ann. pay. 2715617 7076 12749 30248 46509 96582 206108 530483 833173 1882444 2767259 3718 13798 25839 43359 86714 217323 508823 812860 1954399 2784940 11530 17783 26268 46738 102319 231822 512336 846477 1938463 2819487 5796 15504 26895 51940 100135 250418 493051 843604 1975883 2734895 9412 33219 30779 53849 127259 233674 508251 869184 1865711 3113 rec. 25465403 87324 312103 190093 280703 870223 1431886 3859149 6161258 19304145 3114 firms 1401 85 309 199 176 769 335 181 1285 116 1398 122 298 193 174 787 328 162 1277 121 1387 120 298 172 191 781 330 162 1273 114 1397 130 287 177 201 795 329 167 1291 106 1322 95 292 158 186 731 317 158 1206 116 3114 estab. 1808 85 310 199 176 770 343 250 1363 445 1805 122 299 194 174 789 348 219 1356 449 1796 120 299 172 191 782 350 221 1353 443 1804 130 288 177 202 797 338 244 1379 425 1721 95 292 158 186 731 335 230 1296 425 3114 empl. 170477 0 678 1373 2373 4424 14776 34308 53508 116969 171503 0 658 1302 2415 4375 14889 30973 50237 121266 166650 0 639 1152 2636 4427 14542 30460 49429 117221 165395 0 636 1182 2797 4615 13934 31762 50311 115084 158905 0 615 1076 2583 4274 13597 29537 47408 111497 3114 ann. pay. 5043577 12303 15685 25167 57036 110191 422231 959933 1492355 3551222 5248746 24986 12223 28027 58226 123462 430059 895346 1448867 3799879 5379596 20165 12580 25558 71597 129900 424350 916808 1471058 3908538 5385475 14470 12739 25403 76386 128998 435114 993353 1557465 3828010 5405741 7727 15369 25637 73824 122557 432596 972439 1527592 3878149 3114 rec. 53547140 105611 148534 204990 522365 981500 3312301 7847230 12141031 41406109 3115 firms 1308 106 253 188 188 735 325 138 1198 110 1272 105 241 180 184 710 336 129 1175 97 1250 103 260 163 177 703 323 129 1155 95 1265 100 271 178 183 732 309 126 1167 98 1190 108 246 153 164 671 299 122 1092 98 3115 estab. 1839 106 253 188 189 736 344 183 1263 576 1806 105 241 180 185 711 353 180 1244 562 1769 103 260 163 177 703 340 179 1222 547 1774 100 271 178 184 733 328 166 1227 547 1697 108 246 153 165 672 315 161 1148 549 3115 empl. 131481 0 563 1266 2566 4395 13849 22108 40352 91129 132111 0 550 1190 2532 4272 14584 21852 40708 91403 132017 0 584 1091 2383 4058 13927 21949 39934 92083 131799 0 640 1196 2526 4362 13486 21676 39524 92275 129274 0 546 1043 2299 3888 12398 20738 37024 92250 3115 ann. pay. 4305878 13138 15059 25133 68630 121960 376123 713779 1211862 3094016 4555632 16579 10703 23565 66977 117824 400670 762930 1281424 3274208 4829655 8745 13055 22196 59783 103779 407323 786146 1297248 3532407 4823532 11808 15301 25456 69868 122433 396337 789028 1307798 3515734 4859792 4152 13616 23450 61184 102402 383721 758862 1244985 3614807 3115 rec. 65536650 53384 173420 285214 654832 1166850 4250206 8803034 14220090 51316560 3116 firms 3512 239 1146 617 500 2502 602 257 3361 151 3503 312 1078 619 482 2491 606 251 3348 155 3405 268 1090 610 451 2419 579 250 3248 157 3443 308 1092 614 442 2456 590 247 3293 150 3191 252 980 594 394 2220 586 242 3048 143 3116 estab. 4144 239 1146 618 500 2503 628 326 3457 687 4129 312 1078 619 483 2492 631 311 3434 695 4032 268 1090 611 453 2422 600 308 3330 702 4074 308 1092 616 443 2459 613 297 3369 705 3805 252 980 595 395 2222 614 289 3125 680 3116 empl. 468929 0 2655 4053 6807 13515 25985 47361 86861 382068 483137 0 2522 4071 6470 13063 26030 46497 85590 397547 491111 0 2503 4001 6197 12701 25147 45376 83224 407887 496177 0 2551 4021 6037 12609 25398 43770 81777 414400 495730 0 2295 3912 5342 11549 24095 43712 79356 416374 3116 ann. pay. 10713520 22059 40231 68337 133685 264312 666426 1231658 2162396 8551124 11431098 43655 39101 63664 128856 275276 686317 1257378 2218971 9212127 11829239 45413 42898 64501 131361 284173 674286 1243379 2201838 9627401 12172408 25235 47513 73788 137129 283665 683837 1210138 2177640 9994768 12391140 27336 41240 72565 126663 267804 691689 1317606 2277099 10114041 3116 rec. 121523852 213315 452701 815922 1178029 2659967 5984319 11397905 20042191 101481661 3117 firms 718 77 149 105 100 431 193 61 685 33 729 84 153 110 94 441 186 75 702 27 741 94 174 110 82 460 182 72 714 27 710 76 169 120 82 447 168 67 682 28 643 85 126 93 88 392 152 74 618 25 3117 estab. 839 77 149 105 100 431 210 90 731 108 842 84 153 110 94 441 198 112 751 91 854 94 174 110 83 461 193 114 768 86 823 76 169 121 82 448 178 110 736 87 754 85 126 98 89 398 163 116 677 77 3117 empl. 43809 0 327 669 1353 2349 8758 9953 21060 22749 42534 0 342 734 1234 2310 8429 13584 24323 18211 41770 0 373 733 1089 2195 8246 13398 23839 17931 39855 0 383 790 1125 2298 7526 13292 23116 16739 38663 0 281 597 1199 2077 6749 14189 23015 15648 3117 ann. pay. 956400 6684 13962 21557 34132 76335 189777 232932 499044 457356 988801 7414 14924 17732 30142 70212 187470 345355 603037 385764 1070573 7170 13952 17841 33218 72181 198083 373640 643904 426669 1057737 8648 15118 21342 36587 81695 201702 392343 675740 381997 1092500 6882 14059 19988 33166 74095 182996 413426 670517 421983 3117 rec. 8847155 53963 146704 151495 356117 708279 1395985 3100968 5205232 3641923 3118 firms 10937 1066 3842 2253 1875 9036 1456 289 10781 156 10075 947 3675 2055 1638 8315 1337 279 9931 144 9843 928 3507 2027 1597 8059 1369 274 9702 141 10011 1024 3594 1993 1598 8209 1399 265 9873 138 9729 986 3439 1947 1576 7948 1375 275 9598 131 3118 estab. 11838 1071 3845 2259 1906 9081 1631 429 11141 697 10876 949 3678 2063 1659 8349 1436 419 10204 672 10644 929 3512 2035 1622 8098 1448 434 9980 664 10817 1025 3598 2004 1617 8244 1503 401 10148 669 10534 987 3443 1954 1597 7981 1490 445 9916 618 3118 empl. 304049 0 8797 15018 25425 49240 52085 40103 141428 162621 287277 0 8524 13687 21990 44201 47989 41424 133614 153663 293331 0 8066 13582 21646 43294 49934 43923 137151 156180 298017 0 8283 13343 21659 43285 51763 42324 137372 160645 288577 0 8076 12867 21509 42452 50552 43324 136328 152249 3118 ann. pay. 7911540 30901 104516 169133 316873 621423 899354 1077218 2597995 5313545 7936750 51191 109762 180386 285597 626936 879454 1125737 2632127 5304623 8595371 45132 113851 182711 296669 638363 991563 1232109 2862035 5733336 8811171 88203 125391 189893 323452 726939 1055769 1242793 3025501 5785670 8702321 75596 116786 183769 336198 712349 1117633 1267767 3097749 5604572 3118 rec. 49936821 458566 482656 718971 1299407 2959600 4300082 5528130 12787812 37149009 3119 firms 2495 197 567 373 393 1530 602 212 2344 151 2556 232 595 367 374 1568 621 215 2404 152 2613 268 580 409 370 1627 631 209 2467 146 2672 259 621 435 377 1692 628 215 2535 137 2454 237 533 356 354 1480 612 223 2315 139 3119 estab. 2876 197 567 373 393 1530 630 290 2450 426 2933 232 595 367 374 1568 649 291 2508 425 2994 268 580 410 370 1628 659 285 2572 422 3048 259 621 438 377 1695 651 297 2643 405 2857 237 534 358 361 1490 645 308 2443 414 3119 empl. 151021 0 1303 2537 5454 9294 25329 31418 66041 84980 151506 0 1387 2461 5163 9011 26076 32537 67624 83882 148615 0 1327 2778 5127 9232 26935 32822 68989 79626 145109 0 1396 2951 5246 9593 27032 33175 69800 75309 149868 0 1228 2404 4984 8616 25516 33881 68013 81855 3119 ann. pay. 4572320 14624 25334 51267 132983 224208 707526 906599 1838333 2733987 4773079 28054 31379 50542 126143 236118 760297 956382 1952797 2820282 5086694 13034 34485 60691 131993 240203 810571 982225 2032999 3053695 4782288 21715 35089 79446 139694 275944 835747 1078150 2189841 2592447 5083265 25678 36087 58022 145168 264955 814388 1114529 2193872 2889393 3119 rec. 56464090 179821 460433 527987 1069520 2237761 5795507 7994951 16028219 40435871 3121 firms 2137 213 653 354 270 1490 424 134 2048 89 2196 265 659 347 291 1562 409 131 2102 94 2267 263 674 371 313 1621 427 132 2180 87 2558 302 792 417 346 1857 484 136 2477 81 2616 331 876 385 352 1944 453 135 2532 84 3121 estab. 2601 213 653 355 272 1493 437 180 2110 491 2671 265 659 347 293 1564 424 189 2177 494 2748 263 674 371 316 1624 442 186 2252 496 3033 302 792 417 350 1861 510 183 2554 479 3099 331 876 386 353 1946 481 180 2607 492 3121 empl. 140256 [a] [g] [g] [h] 7569 16630 21306 45505 94751 142139 0 1493 2302 3927 7722 16519 20298 44539 97600 139937 0 1479 2467 4141 8087 16820 20208 45115 94822 145627 0 1736 2774 4599 9109 19317 21361 49787 95840 139364 0 1917 2575 4773 9265 17659 19792 46716 92648 3121 ann. pay. 5343926 (D) (D) (D) (D) 187074 425831 729801 1342706 4001220 5478404 39137 32661 52928 95290 220016 448061 673069 1341146 4137258 5757929 20041 37165 58032 109154 224392 471497 722535 1418424 4339505 5859001 19349 43572 65910 115906 244737 564514 792231 1601482 4257519 5774423 12411 49170 68271 131226 261078 567765 733145 1561988 4212435 3121 rec. 68519586 99308 392745 446713 805108 1743874 3574459 6365504 11683837 56835749 3122 firms 95 18 17 9 6 50 20 10 80 15 87 11 22 7 5 45 15 13 73 14 88 16 22 7 5 50 12 11 73 15 146 22 62 12 8 104 16 11 131 15 107 19 30 8 11 68 16 8 92 15 3122 estab. 128 18 17 9 6 50 20 12 82 46 118 11 22 7 5 45 15 15 75 43 121 16 22 7 5 50 12 17 79 42 179 22 62 12 8 104 17 19 140 39 133 19 30 8 11 68 16 15 99 34 3122 empl. 32636 [a] [b] [b] [b] 201 977 1341 2519 30117 30210 0 52 44 64 160 803 2144 3107 27103 29293 0 52 45 64 161 491 2003 2655 26638 25237 0 125 91 94 310 644 1678 2632 22605 24031 0 56 44 131 231 780 1357 2368 21663 3122 ann. pay. 1533559 (D) (D) (D) (D) 3311 39518 41226 84055 1449504 1513158 944 1038 728 900 3610 52063 88415 144088 1369070 1559688 1292 1070 2234 1318 5914 10700 67265 83879 1475809 1398792 631 2765 2040 5179 10615 21824 64909 97348 1301444 1379716 2211 2442 1623 5049 11325 21746 48329 81400 1298316 3122 rec. 39426765 19781 23821 12191 54123 109916 270365 623123 1003404 38423361 3131 firms 359 32 54 31 42 159 83 57 299 60 373 34 63 51 35 183 77 57 317 56 374 26 68 43 44 181 80 55 316 58 387 36 82 39 55 212 73 53 338 49 383 36 98 45 42 221 78 40 339 44 3131 estab. 603 32 54 31 42 159 85 73 317 286 613 34 63 51 35 183 78 76 337 276 607 26 68 43 44 181 83 76 340 267 605 36 82 40 55 213 75 69 357 248 569 36 98 45 42 221 81 51 353 216 3131 empl. 84865 0 129 217 582 928 3855 11453 16236 68629 81028 0 150 370 485 1005 3647 11625 16277 64751 76609 0 152 281 628 1061 3661 10775 15497 61112 66321 0 198 261 795 1254 3503 9287 14044 52277 60243 0 207 301 595 1103 3803 7729 12635 47608 3131 ann. pay. 2063017 2756 4765 4107 11121 22749 106824 274356 403929 1659088 1953154 5165 4452 7949 9919 27485 107619 283956 419060 1534094 1930479 1277 4969 5174 12783 24203 98370 267380 389953 1540526 1614660 26816 5705 7075 18746 58342 95034 234526 387902 1226758 1589374 2689 5108 7187 14344 29328 103164 214364 346856 1242518 3131 rec. 10228526 17309 36082 35938 99526 188855 529634 1130309 1848798 8379728 3132 firms 1766 112 446 281 241 1080 349 186 1615 151 1740 105 455 251 248 1059 343 185 1587 153 1667 92 448 255 237 1032 312 171 1515 152 1668 92 467 252 233 1044 309 178 1531 137 1537 106 409 233 209 957 312 153 1422 115 3132 estab. 2100 112 446 281 241 1080 359 237 1676 424 2072 105 455 251 248 1059 352 235 1646 426 1987 92 449 255 238 1034 322 219 1575 412 1971 92 467 253 233 1045 322 225 1592 379 1791 106 409 234 210 959 329 189 1477 314 3132 empl. 208029 0 985 1885 3222 6092 15580 33057 54729 153300 199782 0 1011 1674 3278 5963 15186 33028 54177 145605 185478 0 961 1702 3238 5901 14174 30401 50476 135002 170441 0 1054 1718 3267 6039 13286 29905 49230 121211 139857 0 919 1569 2888 5376 13873 24984 44233 95624 3132 ann. pay. 5542747 30112 20858 41833 74962 167765 383564 861841 1413170 4129577 5361165 18218 23322 37678 76791 156009 394246 857307 1407562 3953603 5233472 5022 23016 41961 77645 147644 378282 814754 1340680 3892792 4698293 11766 24324 37294 85270 158654 348567 808700 1315921 3382372 4109372 22099 21927 41208 87792 173026 385991 744701 1303718 2805654 3132 rec. 21043476 127360 116333 188476 444776 876945 1764577 3515368 6156890 14886586 3133 firms 1845 154 564 299 216 1233 358 164 1755 90 1771 145 539 312 208 1204 341 140 1685 86 1737 123 542 324 206 1195 328 132 1655 82 1758 159 573 312 206 1250 307 126 1683 75 1579 129 500 286 191 1106 289 123 1518 61 3133 estab. 1991 154 564 300 219 1237 373 201 1811 180 1902 145 539 313 215 1212 353 165 1730 172 1855 123 542 324 210 1199 343 159 1701 154 1876 159 575 313 209 1256 318 157 1731 145 1685 129 500 287 191 1107 301 155 1563 122 3133 empl. 92561 0 1265 1966 2828 6059 15784 27022 48865 43696 81476 0 1212 2029 2727 5968 14633 22230 42831 38645 77307 0 1224 2142 2715 6081 14392 20946 41419 35888 71728 0 1305 2060 2766 6131 12738 19311 38180 33548 61555 0 1138 1909 2553 5600 12192 18462 36254 25301 3133 ann. pay. 2615875 19676 35926 57530 98254 211386 481714 767401 1460501 1155374 2380049 16260 33904 64466 95670 210300 473357 626063 1309720 1070329 2327169 11991 36032 66083 97582 211688 488414 591291 1291393 1035776 2090021 12537 35553 62279 94586 204955 429513 542008 1176476 913545 1909451 11080 32019 54495 92810 190404 429603 538611 1158618 750833 3133 rec. 11964208 64288 214084 359161 636675 1274208 2166986 2840445 6281639 5682569 3141 firms 2970 214 1400 538 288 2440 337 132 2909 61 2864 196 1316 543 261 2316 361 132 2809 55 2707 167 1208 498 291 2164 367 117 2648 59 2701 196 1184 468 326 2174 364 102 2640 61 2646 191 1217 434 309 2151 334 103 2588 58 3141 estab. 3216 214 1400 542 298 2454 372 181 3007 209 3105 197 1317 546 269 2329 393 182 2904 201 2949 167 1209 500 298 2174 398 166 2738 211 2928 196 1187 469 333 2185 396 136 2717 211 2859 191 1217 437 312 2157 355 134 2646 213 3141 empl. 123284 0 2965 3460 3824 10249 14075 24325 48649 74635 123376 0 2781 3524 3551 9856 14895 25435 50186 73190 118346 0 2594 3226 3929 9749 15489 21761 46999 71347 111453 0 2513 2994 4297 9804 15191 18919 43914 67539 105148 0 2585 2918 4165 9668 13433 16997 40098 65050 3141 ann. pay. 2893044 13658 45842 59525 75696 194721 293270 516087 1004078 1888966 2989174 15288 46927 65225 76112 203552 323203 584178 1110933 1878241 2919247 10867 48929 63974 87678 211448 349508 512731 1073687 1845560 2765104 12390 47358 60585 103554 223887 352831 431545 1008263 1756841 2856705 130275 48471 64114 104522 347382 343654 426881 1117917 1738788 3141 rec. 24441120 1264897 266829 329273 489107 2350106 1741143 2349254 6440503 18000617 3149 firms 3743 319 1193 696 612 2820 673 160 3653 90 3907 278 1223 744 653 2898 761 156 3815 92 3790 285 1159 717 621 2782 762 162 3706 84 3902 297 1311 715 625 2948 715 153 3816 86 4329 382 1657 747 647 3433 668 150 4251 78 3149 estab. 3880 319 1193 696 612 2820 692 196 3708 172 4047 278 1223 744 653 2898 781 196 3875 172 3932 285 1159 717 622 2783 783 204 3770 162 4038 297 1311 715 626 2949 736 181 3866 172 4473 382 1657 747 649 3435 695 183 4313 160 3149 empl. 94071 0 2720 4650 8354 15724 26764 21352 63840 30231 98595 0 2767 5038 8965 16770 29832 22094 68696 29899 97323 0 2614 4831 8438 15883 29391 22860 68134 29189 90569 0 2962 4831 8557 16350 27679 20544 64573 25996 85061 0 3641 5021 8857 17519 25337 19842 62698 22363 3149 ann. pay. 2187618 28382 47034 93459 174016 342891 588712 480474 1412077 775541 2324281 13589 51454 104739 192813 362595 671949 529021 1563565 760716 2445097 18388 52441 100585 187956 359370 696991 581888 1638249 806848 2294311 21506 66001 105587 194617 387711 676511 515286 1579508 714803 2256144 22395 71760 112319 214989 421463 679121 522142 1622726 633418 3149 rec. 10571522 114317 317046 400554 811370 1643287 2573251 2347254 6563792 4007730 3151 firms 1188 83 217 169 173 642 379 120 1141 47 1127 102 231 128 168 629 342 112 1083 44 1089 107 214 139 156 616 319 113 1048 41 1033 90 227 135 157 609 282 107 998 35 812 59 167 95 129 450 252 80 782 30 3151 estab. 1292 83 217 169 174 643 385 145 1173 119 1230 102 232 128 169 631 348 138 1117 113 1182 107 214 139 157 617 322 139 1078 104 1113 90 227 135 157 609 284 128 1021 92 879 60 167 95 129 451 256 97 804 75 3151 empl. 94028 0 456 1112 2442 4010 16611 23044 43665 50363 88154 0 530 874 2333 3737 14511 21863 40111 48043 80522 0 485 954 2200 3639 13077 21654 38370 42152 70479 0 494 914 2179 3587 12026 19815 35428 35051 55896 0 381 676 1800 2857 10791 14954 28602 27294 3151 ann. pay. 1907985 10477 11109 25226 51479 98291 300741 422913 821945 1086040 1865251 12431 12338 18772 50232 93773 279603 429996 803372 1061879 1739109 10696 11866 21753 47572 91887 263892 433011 788790 950319 1503381 8294 13122 19973 42798 84187 247456 399443 731086 772295 1316761 5622 11140 18661 40085 75508 245387 346360 667255 649506 3151 rec. 6546916 25716 53728 95437 167717 342598 1024304 1538829 2905731 3641185 3152 firms 12885 1658 2762 2015 2261 8696 3312 687 12695 190 12425 2145 2788 1942 1916 8791 2866 606 12263 162 12414 1978 2989 2027 2015 9009 2701 563 12273 141 12456 2042 3415 2143 1813 9413 2428 496 12337 119 10687 1680 2884 1824 1720 8108 2097 389 10594 93 3152 estab. 13685 1658 2762 2015 2263 8698 3368 882 12948 737 13100 2145 2791 1950 1917 8803 2913 776 12492 608 12963 1978 2998 2035 2015 9026 2739 722 12487 476 12915 2043 3416 2143 1830 9432 2461 631 12524 391 11039 1680 2884 1827 1726 8117 2139 509 10765 274 3152 empl. 520341 0 6313 13634 31453 51400 137175 123763 312338 208003 436374 0 6307 13159 26548 46014 118450 105904 270368 166006 383200 0 6715 13679 27818 48212 110878 99280 258370 124830 328974 0 7571 14441 24736 46748 98256 82970 227974 101000 260416 0 6463 12411 23607 42481 82498 64682 189661 70755 3152 ann. pay. 9321730 100884 112639 200574 456218 870315 2139398 2335723 5345436 3976294 8290488 155832 131243 202406 404379 893860 1942072 2141241 4977173 3313315 7651145 117398 135228 224605 446643 923874 1913530 2097287 4934691 2716454 6791378 146344 160809 233309 407666 948128 1693503 1846694 4488325 2303053 5987318 131205 145213 239583 452976 968977 1684247 1600073 4253297 1734021 3152 rec. 37906456 738668 645420 1027598 2004596 4416282 8137318 9669461 22223061 15683395 3159 firms 2373 329 895 335 279 1838 392 101 2331 42 2305 310 888 349 260 1807 383 80 2270 35 2277 321 893 343 260 1817 358 72 2247 30 2064 239 839 334 225 1637 330 70 2037 27 1389 106 555 212 162 1035 264 65 1364 25 3159 estab. 2476 329 895 337 282 1843 413 147 2403 73 2391 310 890 349 262 1811 401 122 2334 57 2360 321 893 345 262 1821 368 118 2307 53 2124 239 841 336 227 1643 340 96 2079 45 1441 106 555 214 164 1039 276 86 1401 40 3159 empl. 56872 0 1810 2210 3719 7739 16243 14691 38673 18199 50380 0 1857 2285 3519 7661 15966 11871 35498 14882 46760 0 1847 2258 3543 7648 14989 10484 33121 13639 42289 0 1726 2200 3067 6993 13739 10101 30833 11456 34127 0 1180 1417 2241 4838 11048 8658 24544 9583 3159 ann. pay. 1136348 16763 28767 39551 64403 149484 306143 283773 739400 396948 1049905 21214 32197 38544 61097 153052 299207 264855 717114 332791 1035925 18135 36886 44164 63441 162626 292831 241103 696560 339365 967504 14883 36568 43602 58374 153427 289305 233037 675769 291735 847546 10989 23507 34955 52911 122362 257064 219093 598519 249027 3159 rec. 3946004 49992 114856 144526 225429 534803 987571 1207795 2730169 1215835 3161 firms 290 25 99 48 34 206 55 13 274 16 329 41 103 50 42 236 63 15 314 15 330 28 103 56 46 233 69 13 315 15 342 34 117 60 39 250 66 13 329 13 274 25 98 45 32 200 53 11 264 10 3161 estab. 315 25 99 48 34 206 57 14 277 38 354 41 103 50 42 236 65 16 317 37 354 28 103 56 46 233 72 14 319 35 358 34 117 60 39 250 69 13 332 26 286 25 98 45 32 200 54 14 268 18 3161 empl. 13427 [a] [c] 295 482 991 2499 1719 5209 8218 14891 0 235 324 537 1096 2582 2258 5936 8955 13834 0 221 377 601 1199 2898 1828 5925 7909 11660 0 253 413 519 1185 2802 1838 5825 5835 9274 0 213 302 429 944 2141 1670 4755 4519 3161 ann. pay. 384198 (D) (D) 5931 10334 22406 63787 48794 134987 249211 426501 7564 4558 7317 14684 34123 71255 61840 167218 259283 406554 1634 5334 8568 14508 30044 78424 55573 164041 242513 353873 1091 5943 9761 11879 28674 76597 45579 150850 203023 315147 964 4667 8361 12461 26453 66719 47456 140628 174519 3161 rec. 2343202 6877 26770 41745 73966 149358 458337 401938 1009633 1333569 3162 firms 362 32 108 34 42 216 71 44 331 31 351 38 108 37 30 213 68 42 323 28 349 34 109 42 41 226 55 42 323 26 346 31 116 48 40 235 55 34 324 22 307 27 111 35 36 209 51 29 289 18 3162 estab. 417 32 108 34 42 216 72 51 339 78 400 38 108 37 30 213 74 46 333 67 389 34 109 42 41 226 56 47 329 60 381 31 116 48 40 235 56 38 329 52 339 27 111 35 36 209 51 38 298 41 3162 empl. 38207 [a] [c] 220 579 1047 3298 8801 13146 25061 33648 0 246 238 405 889 2869 8318 12076 21572 30437 0 236 273 564 1073 2138 7906 11117 19320 27012 0 242 322 523 1087 2164 6255 9506 17506 21109 0 250 233 461 944 1666 5048 7658 13451 3162 ann. pay. 774448 (D) (D) 3929 9455 20682 62817 178078 261577 512871 726291 3868 4909 4668 9158 22603 52022 176638 251263 475028 735276 3632 5348 5809 11224 26013 42982 173971 242966 492310 626534 1554 4835 7605 10096 24090 44039 152184 220313 406221 536030 4244 6006 4832 10194 25276 40975 113805 180056 355974 3162 rec. 2964457 16292 23279 18507 45983 104061 188647 557002 849710 2114747 3169 firms 1042 85 384 177 128 774 193 52 1019 23 1026 111 375 174 109 769 188 47 1004 22 1016 106 374 175 116 771 179 43 993 23 1002 87 389 165 132 773 172 38 983 19 906 79 358 146 131 714 147 32 893 13 3169 estab. 1069 85 384 177 128 774 197 71 1042 27 1053 112 375 174 109 770 192 65 1027 26 1040 106 375 175 116 772 183 58 1013 27 1024 87 389 165 132 773 174 55 1002 22 924 79 358 146 131 714 150 45 909 15 3169 empl. 27691 0 864 1178 1717 3759 8060 9170 20989 6702 25427 0 865 1174 1474 3513 7763 8299 19575 5852 24241 0 810 1183 1560 3553 7491 7403 18447 5794 21895 0 797 1104 1762 3663 7321 6423 17407 4488 17412 0 763 989 1715 3467 5976 5183 14626 2786 3169 ann. pay. 614418 5003 13359 18083 30934 67379 159807 201703 428889 185529 585141 4146 13727 18752 28023 64648 161662 200916 427226 157915 568678 5165 14121 23236 30235 72757 163498 179245 415500 153178 515260 2937 15254 21960 34330 74481 154832 157610 386923 128337 418190 6755 15223 21410 39362 82750 140709 136093 359552 58638 3169 rec. 1798507 31763 71565 80295 159561 343184 508702 712514 1564400 234107 3211 firms 4390 328 1159 793 826 3106 973 236 4315 75 4361 323 1123 823 837 3106 942 229 4277 84 4229 294 1088 766 817 2965 952 233 4150 79 4137 273 1113 788 769 2943 911 208 4062 75 3901 289 1051 713 702 2755 861 217 3833 68 3211 estab. 4859 328 1159 793 827 3107 1017 381 4505 354 4839 323 1123 823 840 3109 990 368 4467 372 4695 294 1089 766 819 2968 995 380 4343 352 4594 274 1115 788 771 2948 951 356 4255 339 4368 289 1051 713 707 2760 907 379 4046 322 3211 empl. 130373 0 2695 5367 11291 19353 39527 34450 93330 37043 131916 0 2549 5574 11469 19592 38646 33356 91594 40322 131353 0 2453 5152 11097 18702 39005 35563 93270 38083 122188 0 2468 5318 10572 18358 37902 30913 87173 35015 115998 0 2412 4839 9647 16898 34670 31923 83491 32507 3211 ann. pay. 3562019 18585 43180 94385 224096 380246 963097 986274 2329617 1232402 3750507 51378 44474 98581 231590 426023 960743 1007523 2394289 1356218 3782683 12463 40525 91832 232643 377463 981619 1060079 2419161 1363522 3520306 16472 46052 98754 218332 379610 961704 946332 2287646 1232660 3549672 15686 48906 94314 215804 374710 927021 1012619 2314350 1235322 3211 rec. 26164758 143365 398322 662267 1481731 2685685 6314729 7352317 16352731 9812027 3212 firms 1521 90 203 170 284 747 520 181 1448 73 1496 85 197 172 260 714 512 192 1418 78 1501 72 207 169 252 700 523 198 1421 80 1538 68 238 186 262 754 507 197 1458 80 1452 45 205 180 269 699 486 187 1372 80 3212 estab. 1893 90 203 171 286 750 531 245 1526 367 1886 85 197 173 261 716 524 259 1499 387 1904 72 207 169 253 701 534 263 1498 406 1944 68 238 186 263 755 516 262 1533 411 1844 45 205 180 269 699 504 248 1451 393 3212 empl. 113418 0 469 1134 3926 5529 22793 26886 55208 58210 117542 0 456 1180 3634 5270 22528 27755 55553 61989 120578 0 474 1155 3518 5147 23224 28606 56977 63601 116445 0 549 1316 3651 5516 21965 27924 55405 61040 111009 0 469 1245 3727 5441 21004 26084 52529 58480 3212 ann. pay. 3358843 12689 12969 25156 90699 141513 597548 730689 1469750 1889093 3625681 9852 12743 26712 87910 137217 607453 800433 1545103 2080578 3749786 7454 12668 27508 85703 133333 627827 827668 1588828 2160958 3696485 5968 15788 31302 98359 151417 632231 809595 1593243 2103242 3670076 6659 15315 34408 100881 157263 641044 821834 1620141 2049935 3212 rec. 20097487 32520 106645 165668 458363 763196 2713366 3948791 7425353 12672134 3219 firms 10089 878 2869 1852 1710 7309 2113 485 9907 182 9917 835 2842 1706 1788 7171 2074 487 9732 185 9881 834 2794 1714 1734 7076 2112 504 9692 189 9894 789 2883 1818 1720 7210 2034 473 9717 177 10004 813 3034 1876 1711 7434 1956 444 9834 170 3219 estab. 10904 878 2869 1852 1715 7314 2201 700 10215 689 10748 835 2842 1707 1795 7179 2152 715 10046 702 10729 834 2795 1715 1738 7082 2181 745 10008 721 10751 789 2883 1819 1731 7222 2120 719 10061 690 10840 817 3037 1879 1717 7450 2071 644 10165 675 3219 empl. 336543 0 6469 12533 23488 42490 82519 71124 196133 140410 345718 0 6365 11487 24346 42198 82372 70835 195405 150313 345753 0 6234 11593 23749 41576 83381 73220 198177 147576 318874 0 6258 12352 23538 42148 80657 66859 189664 129210 307004 0 6953 12752 23379 43084 76938 60903 180925 126079 3219 ann. pay. 8519334 49303 124993 242327 492267 908890 1864575 1695237 4468702 4050632 8996711 58011 129857 234811 542182 964861 1931289 1771155 4667305 4329406 8978927 45333 128050 242958 530165 946506 2004586 1859409 4810501 4168426 8612609 58306 131374 271234 543773 1004687 2000172 1798198 4803057 3809552 8702618 91100 157579 291570 586362 1126611 2046225 1758305 4931141 3771477 3219 rec. 42386796 519223 860418 1353862 2716289 5449792 9248253 8415788 23113833 19272963 3221 firms 254 20 12 7 7 46 44 74 164 90 267 17 22 11 9 59 46 71 176 91 285 16 27 9 15 67 52 73 192 93 308 22 26 19 21 88 51 81 220 88 338 26 48 31 17 122 55 72 249 89 3221 estab. 581 20 12 7 7 46 44 86 176 405 592 17 22 11 9 59 46 83 188 404 597 16 27 9 15 67 52 83 202 395 606 22 26 19 21 88 51 93 232 374 628 26 48 31 18 123 55 88 266 362 3221 empl. 187641 0 27 47 100 174 2336 14126 16636 171005 185198 0 46 81 130 257 2426 13574 16257 168941 177141 0 59 65 214 338 2813 13640 16791 160350 170033 0 51 128 289 468 2914 15961 19343 150690 162988 0 108 195 234 537 2509 12554 15600 147388 3221 ann. pay. 9515122 1772 1385 1543 2913 7613 97738 664747 770098 8745024 9742648 2535 1334 2435 4293 10597 101914 684538 797049 8945599 9475216 6801 3022 2143 5400 17366 121280 687528 826174 8649042 9195407 9012 1773 4017 8083 22885 117965 787349 928199 8267208 9106270 3740 3407 5062 5771 17980 110362 640341 768683 8337587 3221 rec. 70944105 18998 31526 44366 50887 145777 676858 4571776 5394411 65549694 3222 firms 3631 150 499 423 560 1632 1317 459 3408 223 3556 151 477 422 543 1593 1296 454 3343 213 3444 119 475 393 532 1519 1247 473 3239 205 3434 131 509 378 533 1551 1222 461 3234 200 3278 129 503 371 512 1515 1147 424 3086 192 3222 estab. 5346 150 500 423 560 1633 1379 709 3721 1625 5291 153 477 422 543 1595 1353 708 3656 1635 5193 119 475 393 532 1519 1296 737 3552 1641 5133 131 509 378 534 1552 1281 706 3539 1594 4918 129 504 371 516 1520 1216 667 3403 1515 3222 empl. 380250 0 1233 2909 7817 11959 59055 72930 143944 236306 373822 0 1136 2894 7588 11618 58314 71408 141340 232482 376802 0 1127 2713 7636 11476 56422 75418 143316 233486 363218 0 1177 2588 7472 11237 54263 72125 137625 225593 333002 0 1132 2544 7112 10788 49825 65848 126461 206541 3222 ann. pay. 13170609 24222 36924 78072 226865 366083 1815002 2533595 4714680 8455929 13484075 92556 35956 77721 221779 428012 1867937 2536628 4832577 8651498 13815679 27074 36528 80275 234846 378723 1826525 2718364 4923612 8892067 13305427 36827 40260 75960 214566 367613 1753328 2616105 4737046 8568381 12706473 21905 45061 79071 226835 372872 1734039 2499747 4606658 8099815 3222 rec. 83801981 221546 294244 487642 1309331 2312763 8806231 13048485 24167479 59634502 3231 firms 40221 2555 15480 9037 5886 32958 5853 1060 39871 350 38780 2238 15135 8671 5648 31692 5695 1048 38435 345 37188 2231 14282 8341 5459 30313 5533 1004 36850 338 36099 2065 14186 8022 5266 29539 5258 986 35783 316 35174 2191 14391 7627 4979 29188 4845 863 34896 278 3231 estab. 42133 2555 15487 9048 5914 33004 6128 1512 40644 1489 40671 2240 15145 8680 5683 31748 5945 1507 39200 1471 39035 2234 14288 8346 5491 30359 5764 1454 37577 1458 37895 2066 14191 8029 5300 29586 5500 1412 36498 1397 36902 2192 14392 7640 5018 29242 5130 1255 35627 1275 3231 empl. 845064 0 35938 59523 79168 174629 233054 167573 575256 269808 833649 0 35058 57385 76098 168541 226811 166893 562245 271404 813389 0 33140 55229 73604 161973 221152 159268 542393 270996 784520 0 32631 53099 70894 156624 210277 159410 526311 258209 706419 0 33188 50325 66892 150405 192424 136352 479181 227238 3231 ann. pay. 27472755 130725 761021 1410700 2194000 4496446 7745939 5849605 18091990 9380765 27940066 171208 783201 1408829 2185766 4549004 7768103 5911951 18229058 9711008 28318533 149800 770406 1403607 2159587 4483400 7761907 5974238 18219545 10098988 27050907 137186 771280 1359095 2081208 4348769 7322422 5954787 17625978 9424929 25062361 137878 789698 1338401 2029188 4295165 6967670 5162070 16424905 8637456 3231 rec. 93105255 526082 2827441 4503262 6525920 14382705 22065455 17889250 54337410 38767845 3241 firms 1177 71 253 178 155 657 258 130 1045 132 1144 57 245 181 152 635 257 121 1013 131 1136 74 243 162 154 633 241 122 996 140 1133 73 250 166 149 638 242 121 1001 132 1132 66 262 174 151 653 233 119 1005 127 3241 estab. 2221 71 253 179 160 663 338 335 1336 885 2226 57 245 182 156 640 330 300 1270 956 2210 74 243 163 155 635 314 290 1239 971 2253 73 250 168 151 642 326 298 1266 987 2296 66 262 175 159 662 323 292 1277 1019 3241 empl. 111000 0 585 1212 2090 3887 9221 10626 23734 87266 109104 0 551 1215 1983 3749 9286 10646 23681 85423 109223 0 526 1082 2027 3635 8415 10918 22968 86255 103570 0 549 1103 1938 3590 8572 11252 23414 80156 100403 0 593 1161 1955 3709 8319 10337 22365 78038 3241 ann. pay. 5997199 35935 26594 52207 105557 220293 414996 467145 1102434 4894765 6058224 4974 24315 60966 89736 179991 423638 516590 1120219 4938005 6385725 11628 25005 49065 104434 190132 374525 509110 1073767 5311958 6335924 7675 29901 50580 103661 191817 395823 591140 1178780 5157144 6456421 7715 35885 56800 104506 204906 409562 549758 1164226 5292195 3241 rec. 216624384 81338 436683 578297 822414 1918732 5527588 7753895 15200215 201424169 3251 firms 1216 72 246 141 123 582 267 145 994 222 1182 66 220 136 144 566 262 138 966 216 1191 67 254 117 135 573 274 135 982 209 1192 52 261 129 138 580 283 130 993 199 1145 66 217 122 136 541 277 131 949 196 3251 estab. 2463 72 246 143 123 584 297 240 1121 1342 2442 66 220 136 147 569 294 233 1096 1346 2431 67 254 117 138 576 308 227 1111 1320 2383 52 262 129 140 583 331 219 1133 1250 2287 66 217 122 139 544 316 231 1091 1196 3251 empl. 206863 0 573 947 1646 3166 10330 17405 30901 175962 196954 0 513 898 1950 3361 9957 17711 31029 165925 191979 0 585 778 1782 3145 10582 17030 30757 161222 183249 0 590 857 1885 3332 11056 16575 30963 152286 172964 0 507 814 1850 3171 10392 16525 30088 142876 3251 ann. pay. 11102524 20383 20358 35630 70472 146843 451635 883060 1481538 9620986 10773332 3154 19158 33481 85028 140821 447321 906487 1494629 9278703 10878343 7021 23488 31264 74974 136747 495966 927524 1560237 9318106 10771035 5680 22163 39374 84034 151251 523274 908048 1582573 9188462 10517022 7907 24492 33710 84656 150765 516440 861427 1528632 8988390 3251 rec. 107018155 108369 207552 253790 929869 1499580 4097108 6918480 12515168 94502987 3252 firms 492 42 55 43 51 191 127 56 374 118 516 49 74 43 60 226 116 59 401 115 531 32 90 57 54 233 128 56 417 114 568 46 96 59 65 266 132 60 458 110 630 42 135 68 71 316 146 61 523 107 3252 estab. 820 42 55 43 51 191 130 85 406 414 851 49 74 43 60 226 122 87 435 416 863 32 90 57 56 235 133 84 452 411 906 46 96 59 65 266 137 102 505 401 969 42 136 68 72 318 163 105 586 383 3252 empl. 114197 0 118 297 743 1158 5486 7773 14417 99780 113667 0 163 281 794 1238 4935 8124 14297 99370 113573 0 194 377 711 1282 5522 8328 15132 98441 107863 0 195 388 853 1436 5684 9359 16479 91384 96808 0 291 456 954 1701 6244 10443 18388 78420 3252 ann. pay. 5595486 6624 3630 9926 25569 45749 204720 302069 552538 5042948 5802492 7663 3875 9879 27367 48784 255690 330952 635426 5167066 5977426 3305 5787 12155 25725 46972 216392 363111 626475 5350951 5660077 35287 5909 13829 30421 85446 219636 416627 721709 4938368 5296180 12053 10778 17293 37052 77176 250948 483738 811862 4484318 3252 rec. 63330382 130773 103274 137677 272116 643840 2128823 6221383 8994046 54336336 3253 firms 721 57 192 133 94 476 126 54 656 65 700 46 202 130 80 458 124 57 639 61 677 39 188 125 92 444 116 57 617 60 700 49 184 132 95 460 120 57 637 63 704 49 180 137 86 452 132 57 641 63 3253 estab. 948 57 192 133 94 476 137 97 710 238 940 48 202 130 80 460 134 110 704 236 915 39 188 125 92 444 131 106 681 234 950 49 184 132 96 461 137 110 708 242 962 49 180 138 87 454 156 107 717 245 3253 empl. 38252 0 457 908 1257 2622 4550 5724 12896 25356 37349 0 474 871 1065 2410 4220 5419 12049 25300 36282 0 410 823 1230 2463 4010 5538 12011 24271 35648 0 417 847 1296 2560 4236 5131 11927 23721 34267 0 416 903 1101 2420 4356 5210 11986 22281 3253 ann. pay. 1680562 16345 12624 25731 36071 90771 134815 209712 435298 1245264 1687815 4868 13233 27718 33140 78959 135667 205670 420296 1267519 1699812 1556 11973 25911 36978 76418 129405 198659 404482 1295330 1660280 6493 12526 26572 41715 87306 143697 189400 420403 1239877 1649560 2822 13592 32461 34977 83852 158685 199613 442150 1207410 3253 rec. 20806243 25457 139372 283124 342434 790387 1291336 2142751 4224474 16581769 3254 firms 1467 107 339 210 191 847 328 157 1332 135 1481 82 364 217 189 852 333 158 1343 138 1476 105 333 232 180 850 329 160 1339 137 1470 92 354 219 183 848 328 162 1338 132 1411 89 312 205 206 812 295 168 1275 136 3254 estab. 1812 107 339 210 192 848 339 201 1388 424 1830 82 364 217 190 853 344 202 1399 431 1823 105 333 232 181 851 343 192 1386 437 1825 93 354 219 185 851 339 197 1387 438 1779 89 313 205 208 815 309 208 1332 447 3254 empl. 217111 0 744 1435 2621 4800 14505 25578 44883 172228 218804 0 817 1464 2560 4841 14593 27073 46507 172297 227461 0 736 1555 2436 4727 13946 26413 45086 182375 233503 0 811 1483 2485 4779 14722 27824 47325 186178 237905 0 705 1385 2728 4818 13214 27747 45779 192126 3254 ann. pay. 12590376 18563 29604 56902 104331 209400 568405 1115363 1893168 10697208 13009695 34797 34149 57411 99530 225887 602754 1282926 2111567 10898128 13276262 14601 36947 65583 109183 226314 605506 1211330 2043150 11233112 14585333 7885 44339 65918 98934 217076 676263 1364284 2257623 12327710 15878156 21416 45494 56260 117405 240575 617813 1505507 2363895 13514261 3254 rec. 143323970 154363 343229 350743 732609 1580944 3024571 9065270 13670785 129653185 3255 firms 1648 73 427 306 292 1098 339 109 1546 102 1651 93 434 282 289 1098 346 109 1553 98 1653 94 402 301 302 1099 353 107 1559 94 1668 78 444 296 293 1111 355 107 1573 95 1558 84 402 281 279 1046 315 112 1473 85 3255 estab. 2110 73 427 306 292 1098 383 196 1677 433 2119 95 434 282 289 1100 389 189 1678 441 2105 94 402 301 303 1100 400 186 1686 419 2098 78 444 296 294 1112 395 183 1690 408 1966 84 402 281 280 1047 364 187 1598 368 3255 empl. 74903 0 1019 2054 3986 7059 12978 13651 33688 41215 75082 0 1008 1847 3870 6725 13037 13289 33051 42031 75685 0 927 2008 4106 7041 13690 12506 33237 42448 72935 0 998 1981 3951 6930 13168 12627 32725 40210 68387 0 946 1856 3813 6615 11875 13093 31583 36804 3255 ann. pay. 3097105 3518 29414 73373 142177 248482 490343 535158 1273983 1823122 3215611 17588 33014 62412 136607 249621 533031 530912 1313564 1902047 3328940 4506 31547 70512 148836 255401 562336 532806 1350543 1978397 3191057 4264 31591 69608 148768 254231 544029 523241 1321501 1869556 3059460 10063 35515 71488 149596 266662 505846 554728 1327236 1732224 3255 rec. 27757279 91880 229559 443834 791057 1556330 2795107 3801107 8152544 19604735 3256 firms 2299 185 687 396 332 1600 416 147 2163 136 2231 142 661 425 332 1560 390 149 2099 132 2203 152 650 408 325 1535 400 141 2076 127 2141 132 654 386 319 1491 396 138 2025 116 2113 130 680 378 283 1471 398 133 2002 111 3256 estab. 2528 185 687 397 332 1601 442 196 2239 289 2462 142 661 426 333 1562 411 207 2180 282 2439 152 651 408 327 1538 419 191 2148 291 2383 132 655 386 322 1495 415 189 2099 284 2354 130 680 378 284 1472 422 180 2074 280 3256 empl. 128196 0 1597 2697 4514 8808 16705 25008 50521 77675 125204 0 1509 2874 4550 8933 15843 23613 48389 76815 124597 0 1445 2766 4528 8739 16204 23233 48176 76421 119062 0 1494 2554 4321 8369 16249 21579 46197 72865 110682 0 1515 2535 3880 7930 16164 20961 45055 65627 3256 ann. pay. 4910181 22941 53813 80965 134319 292038 608799 808896 1709733 3200448 4903968 14485 44418 87241 153104 299248 592102 795069 1686419 3217549 5148645 15284 43259 89650 158471 306664 616572 832854 1756090 3392555 5040724 16414 43798 102577 150154 312943 629155 828252 1770350 3270374 4895056 88764 46742 89432 146303 371241 677488 786791 1835520 3059536 3256 rec. 65394672 1190464 448104 781360 1012999 3432927 4096433 5189069 12718429 52676243 3259 firms 2250 139 519 378 372 1408 483 164 2055 195 2223 147 499 373 350 1369 487 169 2025 198 2194 135 528 333 366 1362 470 174 2006 188 2178 139 529 328 341 1337 481 180 1998 180 2156 131 541 351 344 1367 436 178 1981 175 3259 estab. 2916 139 519 379 375 1412 526 306 2244 672 2890 147 500 373 353 1373 525 317 2215 675 2850 135 529 333 369 1366 498 334 2198 652 2816 139 530 328 345 1342 508 336 2186 630 2779 141 542 353 348 1384 478 334 2196 583 3259 empl. 121184 0 1236 2570 5106 8912 18461 18053 45426 75758 119294 0 1139 2552 4813 8504 18006 17811 44321 74973 116271 0 1213 2228 4968 8409 17393 19805 45607 70664 117501 0 1182 2161 4595 7938 18091 19962 45991 71510 106417 0 1200 2326 4657 8183 15845 19347 43375 63042 3259 ann. pay. 5147293 14519 38636 82610 178935 314700 673991 690708 1679399 3467894 5345360 26184 37336 84134 177517 325171 707955 698593 1731719 3613641 5300121 19130 41744 73033 191806 325713 698786 796153 1820652 3479469 5486280 9089 40852 75610 182015 307566 747684 855871 1911121 3575159 5135131 10952 43338 85317 194665 334272 692139 837182 1863593 3271538 3259 rec. 40580560 94219 266636 492631 1069497 1922983 3960984 5772638 11656605 28923955 3261 firms 11453 690 2048 1549 1796 6083 3541 1219 10843 610 11291 581 2053 1548 1773 5955 3458 1254 10667 624 10968 546 1906 1513 1737 5702 3392 1265 10359 609 10772 517 1988 1439 1730 5674 3333 1170 10177 595 10407 483 1967 1532 1705 5687 3095 1057 9839 568 3261 estab. 13966 690 2048 1550 1797 6085 3664 1762 11511 2455 13892 586 2053 1549 1776 5964 3562 1800 11326 2566 13588 550 1906 1515 1740 5711 3480 1811 11002 2586 13367 519 1989 1440 1733 5681 3435 1698 10814 2553 13004 484 1969 1533 1709 5695 3244 1591 10530 2474 3261 empl. 823855 0 4777 10543 25085 40405 156983 205142 402530 421325 838372 0 4745 10506 24679 39930 153529 209784 403243 435129 845247 0 4451 10254 24260 38965 149602 211803 400370 444877 803846 0 4635 9788 23989 38412 146168 191195 375775 428071 744673 0 4699 10459 23590 38748 135849 169684 344281 400392 3261 ann. pay. 24467572 77275 130165 273903 694966 1176309 4338252 5787979 11302540 13165032 25866543 78888 140988 296812 702117 1218805 4402764 6227561 11849130 14017413 26403605 70852 129540 283459 724141 1207992 4354025 6385899 11947916 14455689 25504845 79720 137915 276647 685986 1180268 4315224 5792270 11287762 14217083 25087655 47759 148482 310442 727127 1233810 4339188 5529566 11102564 13985091 3261 rec. 135991494 291525 930782 1495295 3280751 5998353 18901508 26143012 51042873 84948621 3262 firms 2243 113 572 307 333 1325 541 216 2082 161 2169 103 548 294 321 1266 515 222 2003 166 2094 91 509 283 292 1175 534 218 1927 167 2006 69 482 288 284 1123 507 217 1847 159 1902 84 427 282 266 1059 498 198 1755 147 3262 estab. 2786 113 572 308 336 1329 581 331 2241 545 2754 103 548 295 323 1269 550 342 2161 593 2704 91 509 284 295 1179 568 339 2086 618 2614 69 482 290 287 1128 539 333 2000 614 2458 84 427 284 267 1062 541 310 1913 545 3262 empl. 206530 0 1253 2081 4570 7904 20959 32025 60888 145642 208563 0 1226 1986 4362 7574 19820 32635 60029 148534 211260 0 1141 1909 3914 6964 21155 31561 59680 151580 198657 0 1093 1924 3820 6837 19978 30155 56970 141687 180934 0 955 1938 3525 6418 19065 26257 51740 129194 3262 ann. pay. 7095754 6816 27627 49816 118566 202825 614580 921203 1738608 5357146 7484065 9241 28675 49288 120328 207532 604402 955216 1767150 5716915 7706493 11203 26716 50310 111223 199452 654412 947940 1801804 5904689 7136511 5420 29110 51110 102669 188309 622925 896015 1707249 5429262 6948396 17535 33411 54111 108713 213770 636475 825859 1676104 5272292 3262 rec. 33386253 93676 158794 249145 431058 932673 2728399 3916636 7577708 25808545 3271 firms 1682 156 615 237 185 1193 293 114 1600 82 1651 130 592 264 168 1154 300 114 1568 83 1582 127 541 248 173 1089 295 118 1502 80 1588 127 550 257 171 1105 295 108 1508 80 1487 139 503 260 152 1054 261 95 1410 77 3271 estab. 1940 158 615 237 185 1195 302 161 1658 282 1910 130 594 264 168 1156 309 164 1629 281 1839 127 543 248 173 1091 306 168 1565 274 1833 127 550 257 171 1105 310 149 1564 269 1714 139 503 260 152 1054 280 127 1461 253 3271 empl. 77265 0 1290 1596 2511 5397 12784 18098 36279 40986 75672 0 1223 1748 2322 5293 12612 17600 35505 40167 76264 0 1106 1641 2378 5125 12331 18840 36296 39968 73539 0 1135 1657 2283 5075 12512 16052 33639 39900 65846 0 1058 1722 2051 4831 10917 13733 29481 36365 3271 ann. pay. 2282261 8905 20811 29154 52348 111218 336421 489415 937054 1345207 2345990 6898 21207 34034 53603 115742 349137 531378 996257 1349733 2411772 3267 18893 33552 59089 114801 345720 581642 1042163 1369609 2316521 11189 20570 34851 51560 118170 340376 493284 951830 1364691 2163620 4300 18806 38118 56370 117594 341259 439607 898460 1265160 3271 rec. 9034326 20131 73591 140554 214483 448759 1183104 1853548 3485411 5548915 3272 firms 1976 183 770 340 224 1517 281 83 1881 95 2074 217 813 367 233 1630 275 90 1995 79 2045 166 807 367 249 1589 288 81 1958 87 2041 165 796 390 224 1575 289 82 1946 95 1879 155 753 343 194 1445 262 88 1795 84 3272 estab. 2258 183 770 340 224 1517 290 103 1910 348 2370 217 813 367 235 1632 286 113 2031 339 2340 167 807 368 249 1591 299 96 1986 354 2348 165 796 390 225 1576 299 100 1975 373 2190 155 753 343 194 1445 276 113 1834 356 3272 empl. 134626 0 1745 2251 3033 7029 11403 13157 31589 103037 129810 0 1792 2421 3176 7389 11342 13781 32512 97298 131237 0 1788 2417 3376 7581 12241 13224 33046 98191 129971 0 1712 2589 3086 7387 12023 12507 31917 98054 114794 0 1611 2298 2654 6563 10569 13186 30318 84476 3272 ann. pay. 4743200 14803 36604 51005 75275 177687 307848 369785 855320 3887880 4763912 17179 39882 55471 83818 196350 324008 404936 925294 3838618 4992941 10248 40092 60372 89732 200444 377932 435367 1013743 3979198 4826718 8068 39812 64213 84666 196759 347978 390115 934852 3891866 4404599 6925 36619 56404 74820 174768 333825 425850 934443 3470156 3272 rec. 22179763 33886 171726 235501 281444 722557 1251515 1786138 3760210 18419553 3273 firms 5826 313 1257 1035 1175 3780 1620 309 5709 117 5725 271 1266 994 1130 3661 1617 322 5600 125 5589 263 1208 932 1104 3507 1630 318 5455 134 5493 255 1215 940 1060 3470 1573 321 5364 129 5336 312 1116 908 1051 3387 1522 306 5215 121 3273 estab. 9190 313 1258 1040 1208 3819 2193 1369 7381 1809 9308 272 1269 1000 1155 3696 2202 1278 7176 2132 9385 263 1211 944 1124 3542 2176 1200 6918 2467 9386 261 1218 952 1080 3511 2157 1257 6925 2461 9365 314 1118 914 1082 3428 2174 1305 6907 2458 3273 empl. 195354 0 2919 7100 16066 26085 60671 45381 132137 63217 206235 0 2966 6781 15522 25269 60586 48252 134107 72128 216743 0 2885 6380 15260 24525 62984 45743 133252 83491 220614 0 2812 6379 14657 23848 60383 46625 130856 89758 202682 0 2669 6225 14343 23237 58510 43826 125573 77109 3273 ann. pay. 6937159 29553 85896 193140 501100 809689 2100425 1651230 4561344 2375815 7546304 21779 90408 186209 507463 805859 2174361 1765330 4745550 2800754 7960861 24354 84912 180711 478428 768405 2210416 1694797 4673618 3287243 8349032 24351 87125 189607 491083 792166 2241289 1815291 4848746 3500286 7994103 27643 82148 194003 493018 796812 2224178 1722006 4742996 3251107 3273 rec. 43948148 148372 438495 933638 2306570 3827075 10325211 8437605 22589891 21358257 3274 firms 233 12 59 36 37 144 45 17 206 27 218 9 55 35 32 131 45 16 192 26 215 13 49 39 25 126 47 16 189 26 213 15 46 32 35 128 44 14 186 27 248 25 79 40 31 175 41 9 225 23 3274 estab. 372 12 59 36 37 144 50 34 228 144 364 9 55 35 32 131 49 30 210 154 362 13 49 39 25 126 51 38 215 147 362 15 46 32 35 128 49 27 204 158 378 25 79 40 33 177 46 12 235 143 3274 empl. 19578 0 115 245 496 856 1612 2641 5109 14469 20313 0 106 236 449 791 1638 2502 4931 15382 20259 0 97 264 368 729 1818 2828 5375 14884 18997 0 92 210 474 776 1510 2144 4430 14567 17004 0 155 276 404 835 1477 1041 3353 13651 3274 ann. pay. 750212 1412 2478 4988 12937 21815 47156 96490 165461 584751 793620 266 2308 5828 12216 20618 49127 96911 166656 626964 781895 982 2269 6906 9475 19632 48713 108298 176643 605252 758338 780 1936 6092 11897 20705 44849 87511 153065 605273 702943 2041 3405 7794 10971 24211 45642 42572 112425 590518 3274 rec. 5227177 14422 25423 52638 81721 174204 278850 228005 681059 4546118 3279 firms 2288 161 583 403 421 1568 488 117 2173 115 2145 138 536 405 398 1477 440 116 2033 112 2145 157 512 393 411 1473 444 119 2036 109 2345 156 567 452 451 1626 488 120 2234 111 2565 188 672 503 505 1868 483 112 2463 102 3279 estab. 2714 161 584 403 423 1571 528 229 2328 386 2589 138 536 407 400 1481 485 217 2183 406 2611 157 512 395 413 1477 476 254 2207 404 2803 156 569 452 453 1630 526 239 2395 408 3027 188 672 504 514 1878 526 231 2635 392 3279 empl. 81449 0 1376 2723 5703 9802 18128 14796 42726 38723 78286 0 1313 2751 5465 9529 16184 14512 40225 38061 79195 0 1222 2651 5650 9523 16659 15212 41394 37801 81109 0 1358 3048 6135 10541 17693 14647 42881 38228 75150 0 1573 3417 6859 11849 17164 13783 42796 32354 3279 ann. pay. 2878069 12673 34371 70227 155001 272272 549138 480923 1302333 1575736 2822756 13088 34908 70265 160486 278747 525562 476968 1281277 1541479 2975165 13218 33242 73020 167552 287032 547262 534702 1368996 1606169 3099338 11941 38861 84464 182938 318204 576578 529958 1424740 1674598 2854391 11167 46488 95928 223966 377549 594298 518402 1490249 1364142 3279 rec. 15053347 49608 191259 393222 906123 1540212 2318563 2416402 6275177 8778170 3311 firms 318 67 47 28 17 159 34 44 237 81 601 247 96 43 36 422 51 47 520 81 898 227 219 124 93 663 98 53 814 84 1268 264 346 216 136 962 157 63 1182 86 1149 157 296 208 186 847 166 58 1071 78 3311 estab. 410 67 47 28 17 159 35 48 242 168 702 247 96 43 36 422 52 52 526 176 1003 227 219 124 93 663 100 57 820 183 1374 264 346 216 136 962 157 72 1191 183 1259 157 296 208 189 850 169 69 1088 171 3311 empl. 148969 0 98 174 239 511 1420 8224 10155 138814 144194 0 211 284 529 1024 2273 8674 11971 132223 149128 0 465 811 1242 2518 3760 9537 15815 133313 148381 0 770 1470 1889 4129 5811 10788 20728 127653 126969 0 697 1434 2421 4552 6235 10102 20889 106080 3311 ann. pay. 7715797 9145 2676 4489 7879 24189 56361 386478 467028 7248769 7542991 50079 8088 8300 15905 82372 87428 376557 546357 6996634 7803502 30511 14154 22962 36912 104539 140671 443934 689144 7114358 7216042 35456 23781 40320 56821 156378 194958 446608 797944 6418098 6519279 97771 23782 45663 73631 240847 223665 442653 907165 5612114 3311 rec. 48043024 847316 189092 238213 349464 1624085 1073344 2819011 5516440 42526584 3312 firms 563 58 81 52 53 244 125 104 473 90 613 76 95 65 53 289 130 96 515 98 711 100 140 76 64 380 134 100 614 97 715 76 156 86 69 387 141 98 626 89 668 62 152 82 63 359 125 100 584 84 3312 estab. 769 59 81 52 53 245 135 146 526 243 824 76 95 65 53 289 140 136 565 259 933 100 140 76 64 380 144 139 663 270 939 76 156 86 69 387 154 140 681 258 870 62 152 82 63 359 134 146 639 231 3312 empl. 65833 0 178 347 694 1219 5790 16818 23827 42006 64799 0 220 446 708 1374 6071 15853 23298 41501 68030 0 299 511 860 1670 6012 17186 24868 43162 65597 0 340 596 950 1886 6234 17295 25415 40182 58699 0 328 555 877 1760 5113 16940 23813 34886 3312 ann. pay. 2443086 14633 5078 9506 23263 52480 201481 592778 846739 1596347 2471127 13985 7708 12988 23967 58648 212207 575230 846085 1625042 2668297 11888 8936 14070 26191 61085 217927 636342 915354 1752943 2447860 16448 9506 16555 33071 75580 213513 598321 887414 1560446 2346212 9602 11472 16383 28687 66144 195532 639614 901290 1444922 3312 rec. 16377332 87114 90367 98555 154205 430241 1270418 3901021 5601680 10775652 3313 firms 386 28 63 31 44 166 87 59 312 74 408 37 70 41 45 193 83 58 334 74 446 39 82 56 47 224 88 71 383 63 497 45 100 69 49 263 99 73 435 62 436 18 86 57 53 214 93 74 381 55 3313 estab. 551 28 63 31 44 166 88 75 329 222 573 37 70 41 46 194 84 76 354 219 613 39 82 56 48 225 89 88 402 211 659 45 100 69 50 264 100 90 454 205 584 18 86 57 53 214 96 94 404 180 3313 empl. 85364 0 156 207 575 938 3779 9590 14307 71057 85636 0 168 269 606 1043 3790 9453 14286 71350 85999 0 199 392 646 1237 3836 11398 16471 69528 78218 0 220 468 675 1363 4150 11353 16866 61352 68535 0 190 377 700 1267 4183 11621 17071 51464 3313 ann. pay. 3438254 1557 5510 5465 17065 29597 135379 334662 499638 2938616 3447399 4546 4992 7895 17294 34727 136098 343146 513971 2933428 3637509 4411 4564 10599 19049 38623 147165 435593 621381 3016128 3328411 23064 5612 12380 20659 61715 142253 400238 604206 2724205 2953853 3322 6826 10204 23208 43560 150902 431128 625590 2328263 3313 rec. 26814042 18835 65720 92101 165519 342175 1248512 3488858 5079545 21734497 3314 firms 757 49 153 91 84 377 183 87 647 110 767 52 157 106 86 401 179 83 663 104 768 45 159 105 98 407 170 90 667 101 746 38 162 96 100 396 171 81 648 98 760 52 185 106 93 436 161 74 671 89 3314 estab. 941 49 154 91 84 378 198 111 687 254 958 52 158 106 86 402 192 109 703 255 969 45 159 107 99 410 179 125 714 255 939 38 162 96 102 398 183 107 688 251 958 52 185 106 95 438 174 108 720 238 3314 empl. 83650 0 340 616 1130 2086 8262 12074 22422 61228 79290 0 338 696 1166 2200 8101 11901 22202 57088 74500 0 339 685 1337 2361 7569 12641 22571 51929 72295 0 366 648 1381 2395 7666 11548 21609 50686 64203 0 436 709 1276 2421 6680 10407 19508 44695 3314 ann. pay. 3286436 4649 8961 18274 36259 68143 300981 464946 834070 2452366 3189006 4349 11876 22335 42130 80690 323649 470507 874846 2314160 3102011 2975 10594 22158 47959 83686 296514 513908 894108 2207903 2966823 2121 11618 17993 45812 77544 294851 440328 812723 2154100 2754038 15486 13451 23847 44799 97583 277740 433144 808467 1945571 3314 rec. 21329878 111804 86066 145737 273516 617123 2074840 2608736 5300699 16029179 3315 firms 2508 115 414 315 376 1220 791 324 2335 173 2513 124 427 335 378 1264 779 309 2352 161 2457 109 427 325 365 1226 771 300 2297 160 2453 99 460 323 374 1256 754 291 2301 152 2254 90 395 305 378 1168 682 264 2114 140 3315 estab. 2826 115 414 316 377 1222 807 385 2414 412 2843 124 428 336 378 1266 796 374 2436 407 2782 109 427 326 366 1228 791 360 2379 403 2773 99 461 323 377 1260 766 368 2394 379 2558 90 395 305 380 1170 705 348 2223 335 3315 empl. 231361 0 982 2153 5269 8404 35252 56267 99923 131438 223704 0 981 2260 5328 8569 34312 53777 96658 127046 223970 0 1001 2205 5096 8302 34327 54061 96690 127280 208021 0 1093 2189 5227 8509 33254 51532 93295 114726 182632 0 902 2055 5342 8299 30031 44970 83300 99332 3315 ann. pay. 7943906 13510 28224 54140 143297 239171 1027253 1737070 3003494 4940412 8115114 18297 26868 58885 143284 247334 1021632 1719374 2988340 5126774 8333300 14637 29615 56677 144155 245084 1048438 1773290 3066812 5266488 7682768 25273 28119 58249 147681 259322 1013904 1660561 2933787 4748981 7049824 21668 26952 58585 165502 272707 956760 1526029 2755496 4294328 3315 rec. 26896737 80165 115379 220623 562627 978794 3264093 6086137 10329024 16567713 3321 firms 3046 129 442 419 521 1511 995 351 2857 189 3039 113 484 415 513 1525 993 329 2847 192 2937 97 443 409 482 1431 981 336 2748 189 2856 81 451 393 499 1424 922 325 2671 185 2725 83 426 408 497 1414 866 272 2552 173 3321 estab. 3285 129 442 419 521 1511 1015 424 2950 335 3297 113 484 415 513 1525 1012 398 2935 362 3195 97 443 409 482 1431 999 404 2834 361 3110 81 451 394 499 1425 937 386 2748 362 2973 83 426 408 497 1414 884 347 2645 328 3321 empl. 166094 0 1032 2900 7226 11158 43221 54260 108639 57455 166422 0 1120 2831 7146 11097 43050 51982 106129 60293 164435 0 1020 2790 6625 10435 41988 52635 105058 59377 158033 0 1051 2709 7011 10771 39334 50229 100334 57699 135882 0 1033 2746 6988 10767 36873 40783 88423 47459 3321 ann. pay. 5913531 29775 32754 91023 236543 390095 1460920 1918749 3769764 2143767 6059584 8514 34922 94057 244897 382390 1499148 1852912 3734450 2325134 6196311 11421 36911 95528 236537 380397 1487772 1964967 3833136 2363175 5737968 15319 32725 91436 246264 385744 1343275 1783702 3512721 2225247 5187228 10661 34476 95300 250906 391343 1370428 1553366 3315137 1872091 3321 rec. 22814142 61692 150557 360733 920147 1493129 5122203 6983243 13598575 9215567 3322 firms 1552 92 412 273 248 1025 341 112 1478 74 1534 92 403 281 232 1008 344 111 1463 71 1498 79 399 263 229 970 355 107 1432 66 1457 74 388 261 229 952 335 107 1394 63 1398 80 394 253 218 945 307 92 1344 54 3322 estab. 1700 92 412 273 248 1025 360 148 1533 167 1687 92 403 281 232 1008 362 160 1530 157 1643 79 399 263 229 970 374 144 1488 155 1598 74 388 261 229 952 354 152 1458 140 1537 80 394 253 218 945 334 139 1418 119 3322 empl. 79405 0 942 1818 3376 6136 13625 15848 35609 43796 79988 0 921 1855 3158 5934 14247 16016 36197 43791 76842 0 930 1765 3083 5778 14969 16387 37134 39708 71055 0 866 1746 3125 5737 13876 16639 36252 34803 62724 0 874 1694 3051 5619 12689 14385 32693 30031 3322 ann. pay. 2657379 6228 23222 47491 99820 176761 447996 536820 1161577 1495802 2697225 7590 23358 52308 96036 179292 472711 550375 1202378 1494847 2846368 4441 24425 49998 100134 178998 510051 598407 1287456 1558912 2498434 5042 25673 55279 98456 184450 466551 595273 1246274 1252160 2333712 12003 25248 52662 97798 187711 450526 547038 1185275 1148437 3322 rec. 10502974 56300 118043 184007 321959 680309 1514908 2592354 4787571 5715403 3323 firms 11655 621 2523 2121 2251 7516 3241 636 11393 262 11351 467 2515 2048 2197 7227 3184 675 11086 265 10906 427 2327 1904 2112 6770 3198 670 10638 268 11387 467 2463 1995 2229 7154 3299 656 11109 278 12994 735 3660 2390 2311 9096 3014 631 12741 253 3323 estab. 12492 621 2523 2124 2254 7522 3326 845 11693 799 12249 467 2516 2050 2202 7235 3265 898 11398 851 11854 427 2327 1906 2116 6776 3282 901 10959 895 12363 467 2463 1999 2231 7160 3386 894 11440 923 13974 735 3660 2392 2313 9100 3124 872 13096 878 3323 empl. 390599 0 5889 14287 31257 51433 131508 88128 271069 119530 404156 0 5986 13840 30407 50233 129243 92036 271512 132644 409569 0 5608 12944 28939 47491 130887 95463 273841 135728 418133 0 5793 13527 30597 49917 135210 94568 279695 138438 385669 0 8461 15992 31817 56270 121468 84924 262662 123007 3323 ann. pay. 12630004 90654 145955 398534 997235 1632378 4359898 2813754 8806030 3823974 13364260 32865 159166 403936 986420 1582387 4446499 3096494 9125380 4238880 13988119 38404 148596 392872 983269 1563141 4635032 3289778 9487951 4500168 14176561 46427 165474 408644 1032859 1653404 4734540 3239663 9627607 4548954 13619366 68544 225912 498608 1098384 1891448 4403514 3048487 9343449 4275917 3323 rec. 61441956 360582 1007793 1930959 3960649 7259983 16760467 13799943 37820393 23621563 3324 firms 1505 85 248 193 226 752 485 163 1400 105 1468 58 266 188 215 727 475 157 1359 109 1403 43 248 199 205 695 453 150 1298 105 1376 52 223 191 224 690 445 137 1272 104 1278 49 209 191 192 641 407 131 1179 99 3324 estab. 1856 85 248 193 226 752 499 205 1456 400 1805 58 266 188 215 727 490 198 1415 390 1739 43 248 199 205 695 470 189 1354 385 1702 52 223 191 224 690 463 175 1328 374 1572 49 209 191 192 641 424 178 1243 329 3324 empl. 100476 0 580 1326 3072 4978 20552 20631 46161 54315 95093 0 618 1302 2859 4779 19955 20059 44793 50300 93953 0 577 1385 2733 4695 18801 19496 42992 50961 91176 0 503 1289 3031 4823 18479 18000 41302 49874 84666 0 500 1306 2662 4468 16816 16459 37743 46923 3324 ann. pay. 3751541 9580 17474 38290 91368 156712 690570 723305 1570587 2180954 3617821 5661 18167 36001 87673 147502 671844 725254 1544600 2073221 3622233 2951 20215 40182 88266 151614 655948 715833 1523395 2098838 3572273 4872 18470 39058 96175 158575 671351 676103 1506029 2066244 3400273 4140 19355 41751 90163 155409 631336 653675 1440420 1959853 3324 rec. 22142955 61776 101721 185999 415024 764520 2394848 2748030 5907398 16235557 3325 firms 894 41 198 125 128 492 233 94 819 75 877 46 197 119 121 483 233 87 803 74 855 35 195 119 112 461 237 83 781 74 840 40 192 122 105 459 223 81 763 77 867 42 208 118 116 484 238 76 798 69 3325 estab. 992 41 198 125 128 492 235 109 836 156 981 46 197 119 121 483 235 101 819 162 955 35 195 119 112 461 239 94 794 161 939 40 192 122 105 459 223 93 775 164 959 42 208 118 116 484 242 90 816 143 3325 empl. 73162 0 465 841 1726 3032 10116 12871 26019 47143 73601 0 475 795 1641 2911 10567 12678 26156 47445 74686 0 463 794 1503 2760 10477 12685 25922 48764 68884 0 467 830 1427 2724 9880 12204 24808 44076 65577 0 467 790 1537 2794 10690 11218 24702 40875 3325 ann. pay. 2341590 3350 11236 20638 49018 84242 307139 401418 792799 1548791 2431543 10423 12212 21091 48656 92382 333338 437474 863194 1568349 2494438 6475 11261 22235 47400 87371 335688 427695 850754 1643684 2316036 5776 12488 22573 45003 85840 323638 426086 835564 1480472 2251202 3860 13561 22840 48747 89008 364718 408688 862414 1388788 3325 rec. 11606840 18628 76151 99814 206319 400912 1460041 1708430 3569383 8037457 3326 firms 1697 88 416 271 286 1061 421 137 1619 78 1682 81 413 265 288 1047 416 137 1600 82 1638 74 386 258 281 999 423 144 1566 72 1590 66 375 250 277 968 413 140 1521 69 1479 55 329 255 258 897 395 125 1417 62 3326 estab. 1888 88 416 271 286 1061 439 200 1700 188 1877 81 413 265 290 1049 431 201 1681 196 1839 74 386 258 281 999 442 213 1654 185 1775 66 375 250 278 969 431 201 1601 174 1656 55 329 255 259 898 419 186 1503 153 3326 empl. 71494 0 939 1845 3963 6747 18685 20599 46031 25463 70823 0 936 1802 4010 6748 17939 19881 44568 26255 72395 0 892 1748 3871 6511 18566 21559 46636 25759 70284 0 885 1691 3867 6443 17946 21052 45441 24843 62167 0 729 1744 3609 6082 16843 17068 39993 22174 3326 ann. pay. 2100652 13584 24000 47323 112067 196974 550896 638778 1386648 714004 2149590 18952 25430 48196 117242 209820 550435 621639 1381894 767696 2287272 6824 26226 46952 121835 201837 585682 716059 1503578 783694 2157871 3289 26335 44118 121105 194847 556244 677064 1428155 729716 2029771 5581 23395 51340 121754 202070 559744 599276 1361090 668681 3326 rec. 9166996 31031 95965 187779 461721 776496 2116191 2297897 5190584 3976412 3327 firms 27278 1777 9183 5739 4991 21690 4746 642 27078 200 26403 1470 9216 5631 4817 21134 4480 583 26197 206 25909 1513 8844 5621 4696 20674 4461 572 25707 202 25735 1369 8944 5581 4612 20506 4469 561 25536 199 25912 1574 9979 5589 4236 21378 3876 467 25721 191 3327 estab. 27690 1777 9183 5739 4995 21694 4827 803 27324 366 26858 1470 9218 5631 4822 21141 4562 743 26446 412 26378 1513 8844 5622 4701 20680 4539 740 25959 419 26216 1369 8945 5587 4615 20516 4557 707 25780 436 26377 1575 9979 5590 4245 21389 3989 610 25988 389 3327 empl. 442531 0 20908 38783 67670 127361 179810 85952 393123 49408 420646 0 20942 37885 65084 123911 167386 75783 367080 53566 420946 0 20264 37696 63612 121572 168447 76941 366960 53986 418202 0 20491 37517 62462 120470 169705 74825 365000 53202 370065 0 22516 37483 57180 117179 143947 59967 321093 48972 3327 ann. pay. 14940650 80313 512734 1055458 2117221 3765726 6238613 3018804 13023143 1917507 14721239 71383 529872 1069125 2090496 3760876 5980204 2783727 12524807 2196432 15613786 90441 539765 1126520 2187019 3943745 6385756 2985287 13314788 2298998 14800477 78434 520619 1094479 2027827 3721359 6104009 2774257 12599625 2200852 13487813 84961 579704 1131501 1945768 3741934 5449381 2261126 11452441 2035372 3327 rec. 42486875 332889 1761674 3271221 5372106 10737890 15895719 7829591 34463200 8023675 3328 firms 5882 326 1314 1060 1125 3825 1613 304 5742 140 5724 246 1367 1019 1125 3757 1536 290 5583 141 5579 262 1254 1035 1091 3642 1499 303 5444 135 5543 241 1262 1020 1120 3643 1482 290 5415 128 5623 310 1396 1135 1128 3969 1284 257 5510 113 3328 estab. 6401 326 1314 1062 1130 3832 1700 499 6031 370 6278 246 1368 1019 1125 3758 1628 478 5864 414 6161 262 1255 1035 1093 3645 1590 505 5740 421 6116 241 1263 1020 1123 3647 1573 490 5710 406 6200 310 1396 1135 1136 3977 1393 450 5820 380 3328 empl. 159101 0 3084 7235 15565 25884 64456 40188 130528 28573 155081 0 3198 6916 15498 25612 61589 37582 124783 30298 155343 0 2890 7041 15129 25060 60752 40054 125866 29477 152944 0 2956 6881 15509 25346 59321 38418 123085 29859 136702 0 3339 7644 15478 26461 50794 31828 109083 27619 3328 ann. pay. 4789683 23727 77229 190876 439659 731491 1866058 1247258 3844807 944876 4864728 15883 86930 196097 450953 749863 1843660 1194245 3787768 1076960 5078437 19314 80089 196032 458289 753724 1912772 1318594 3985090 1093347 4812777 16837 78715 193224 441482 730258 1760239 1227021 3717518 1095259 4579060 30394 87189 223872 471383 812838 1626479 1095084 3534401 1044659 3328 rec. 18973792 99136 256873 615060 1265455 2236524 4697642 5454647 12388813 6584979 3329 firms 6573 599 1621 1173 1127 4520 1340 412 6272 301 6614 524 1764 1196 1103 4587 1338 405 6330 284 6781 606 1786 1267 1091 4750 1349 399 6498 283 6379 377 1799 1187 1026 4389 1339 377 6105 274 5815 371 1534 1090 966 3961 1245 352 5558 257 3329 estab. 7162 599 1621 1173 1128 4521 1373 488 6382 780 7210 526 1764 1196 1105 4591 1368 484 6443 767 7380 607 1786 1267 1093 4753 1380 471 6604 776 6972 377 1801 1187 1028 4393 1372 455 6220 752 6404 371 1534 1091 967 3963 1291 437 5691 713 3329 empl. 333361 0 3738 7942 15349 27029 52933 58002 137964 195397 322674 0 3971 8078 15097 27146 52474 58176 137796 184878 322648 0 4009 8612 14941 27562 53404 56658 137624 185024 312647 0 4128 7951 14233 26312 53858 54106 134276 178371 278947 0 3513 7331 13281 24125 49914 49163 123202 155745 3329 ann. pay. 11805019 64420 100011 219756 453586 837773 1727961 2002861 4568595 7236424 11697767 44135 110273 232925 465040 852373 1769759 2036235 4658367 7039400 12117486 41915 112068 259085 467229 880297 1851767 2006790 4738854 7378632 11730952 34241 113972 236364 456765 841342 1856545 1967254 4665141 7065811 10793117 42253 109780 230692 444527 827252 1773661 1845569 4446482 6346635 3329 rec. 49836527 214971 490369 809238 1649800 3164378 6469236 7776086 17409700 32426827 3331 firms 2871 191 631 463 490 1775 705 235 2715 156 2781 163 638 462 474 1737 676 221 2634 147 2711 162 617 449 449 1677 673 219 2569 142 2646 137 617 439 435 1628 672 207 2507 139 2621 152 632 434 436 1654 629 202 2485 136 3331 estab. 3181 191 631 463 490 1775 725 286 2786 395 3110 163 638 462 475 1738 698 277 2713 397 3044 162 617 449 449 1677 697 270 2644 400 2964 137 617 439 435 1628 691 262 2581 383 2937 152 632 435 440 1659 661 255 2575 362 3331 empl. 220938 0 1467 3156 6666 11289 29723 35962 76974 143964 207328 0 1481 3084 6467 11032 27711 33838 72581 134747 199497 0 1399 3039 6146 10584 27854 32994 71432 128065 193884 0 1401 3021 5905 10327 27414 32466 70207 123677 176458 0 1491 2999 5931 10421 25215 29529 65165 111293 3331 ann. pay. 8157963 18007 32801 82567 180723 314098 949853 1181158 2445109 5712854 7597656 17770 36757 80119 181903 316549 892477 1142494 2351520 5246136 7663231 16363 36130 86735 174536 313764 925792 1162015 2401571 5261660 7442627 10213 39643 87467 172412 309735 910025 1166213 2385973 5056654 6978880 16743 41804 93290 180015 331852 877375 1085485 2294712 4684168 3331 rec. 47510101 244145 231907 440469 829059 1745580 3732452 5043100 10521132 36988969 3332 firms 4383 246 1078 715 712 2751 1085 343 4179 204 4410 301 1093 684 739 2817 1071 326 4214 196 4296 252 1078 706 710 2746 1040 313 4099 197 4163 210 1063 672 717 2662 1016 300 3978 185 3985 238 1041 679 664 2622 930 261 3813 172 3332 estab. 4649 246 1078 716 716 2756 1119 403 4278 371 4674 302 1093 686 740 2821 1104 386 4311 363 4544 252 1078 708 711 2749 1074 368 4191 353 4408 210 1063 673 719 2665 1050 350 4065 343 4226 240 1041 680 667 2628 968 317 3913 313 3332 empl. 197896 0 2544 4808 9942 17294 44454 49937 111685 86211 181012 0 2540 4559 10219 17318 43845 46782 107945 73067 183398 0 2488 4749 9939 17176 43392 44594 105162 78236 177435 0 2414 4524 9913 16851 41666 43141 101658 75777 146269 0 2349 4585 9105 16039 36651 36457 89147 57122 3332 ann. pay. 8468144 46316 75973 150748 353824 626861 1678249 2137214 4442324 4025820 8217769 56217 78299 148217 360448 643181 1717416 2088060 4448657 3769112 9546893 53224 77942 159040 367176 657382 1782037 2042783 4482202 5064691 8367934 19672 76569 143635 350759 590635 1608353 1886879 4085867 4282067 7291338 28728 82132 159466 345277 615603 1512091 1704860 3832554 3458784 3332 rec. 29064039 169071 348872 592556 1224197 2334696 5329900 6797220 14461816 14602223 3333 firms 2436 151 656 380 348 1535 561 185 2281 155 2399 140 683 368 327 1518 535 185 2238 161 2320 133 640 379 310 1462 509 191 2162 158 2289 122 648 377 306 1453 514 169 2136 153 2198 127 588 385 306 1406 491 155 2052 146 3333 estab. 2578 151 656 380 348 1535 577 218 2330 248 2550 140 685 368 328 1521 546 218 2285 265 2490 133 640 379 310 1462 520 223 2205 285 2457 122 648 377 306 1453 531 199 2183 274 2358 127 588 385 307 1407 511 187 2105 253 3333 empl. 128579 0 1511 2518 4735 8764 22805 25340 56909 71670 130751 0 1559 2456 4467 8482 21668 25473 55623 75128 129077 0 1477 2555 4330 8362 20702 27229 56293 72784 125312 0 1492 2550 4193 8235 21384 26333 55952 69360 111610 0 1301 2539 4179 8019 19766 22314 50099 61511 3333 ann. pay. 5003774 19617 45577 75222 173615 314031 805715 931501 2051247 2952527 5121364 17754 50106 79118 155152 302130 788942 1000991 2092063 3029301 5487091 11584 48153 84337 154737 298811 786204 1152477 2237492 3249599 5148991 13301 50248 88111 158594 310254 822433 1081957 2214644 2934347 4847459 17849 44258 90619 165409 318135 818308 963432 2099875 2747584 3333 rec. 22216885 87609 209357 378221 639268 1314455 3315437 4111883 8741775 13475110 3334 firms 1558 100 309 230 212 851 397 167 1415 143 1495 73 300 233 204 810 385 165 1360 135 1450 68 294 246 173 781 383 155 1319 131 1485 82 304 242 190 818 393 144 1355 130 1474 80 322 217 216 835 375 142 1352 122 3334 estab. 1868 100 309 230 213 852 411 207 1470 398 1819 73 300 234 204 811 401 204 1416 403 1779 68 294 246 175 783 396 192 1371 408 1814 82 304 242 192 820 407 182 1409 405 1800 80 322 217 216 835 397 186 1418 382 3334 empl. 170863 0 705 1600 2873 5178 17104 26011 48293 122570 177520 0 690 1612 2757 5059 16435 25968 47462 130058 178626 0 666 1686 2418 4770 16306 24692 45768 132858 179211 0 682 1630 2578 4890 16935 24621 46446 132765 156821 0 703 1447 2843 4993 15928 23507 44428 112393 3334 ann. pay. 5620001 10297 20263 46567 89534 166661 543642 853911 1564214 4055787 5932320 3752 20942 42072 87386 154152 555572 879349 1589073 4343247 6133876 6016 20988 47975 84109 159088 587306 843335 1589729 4544147 5912717 12799 20926 51241 85988 170954 602198 807074 1580226 4332491 5556293 9860 24231 48396 99078 181565 590679 809617 1581861 3974432 3334 rec. 32657665 52308 118979 233025 446471 850783 2845043 3664401 7360227 25297438 3335 firms 10141 587 2611 2037 1988 7223 2290 431 9944 197 9776 398 2705 1970 1920 6993 2174 421 9588 188 9469 409 2554 1893 1877 6733 2147 404 9284 185 9288 340 2615 1894 1850 6699 2050 366 9115 173 8965 441 2701 1872 1747 6761 1723 326 8810 155 3335 estab. 10539 587 2611 2037 1991 7226 2356 537 10119 420 10168 401 2705 1970 1923 6999 2241 536 9776 392 9873 409 2554 1893 1880 6736 2218 525 9479 394 9691 340 2615 1894 1854 6703 2124 488 9315 376 9346 442 2701 1874 1750 6767 1796 448 9011 335 3335 empl. 255351 0 6086 13759 27139 46984 88695 58365 194044 61307 239484 0 6247 13353 26220 45820 83925 54398 184143 55341 232695 0 6018 12845 25608 44471 82571 52282 179324 53371 220206 0 6058 12891 25193 44142 79024 47524 170690 49516 187361 0 6332 12648 23899 42879 64944 38916 146739 40622 3335 ann. pay. 10511461 46898 181583 453958 1019241 1701680 3660476 2466670 7828826 2682635 10034737 37075 194863 458991 995850 1686779 3525714 2384498 7596991 2437746 10164657 26038 198055 448794 997790 1670677 3598886 2371382 7640945 2523712 9071325 24513 190247 424090 930972 1569822 3235640 2029859 6835321 2236004 8136622 32762 201514 450351 932726 1617353 2842641 1776192 6236186 1900436 3335 rec. 24337092 108738 577342 1188151 2401463 4275694 7829648 5528823 17634165 6702927 3336 firms 801 43 158 96 120 417 210 78 705 96 815 35 168 101 129 433 208 82 723 92 800 40 158 106 118 422 216 72 710 90 780 30 155 98 123 406 212 69 687 93 762 29 149 104 122 404 198 74 676 86 3336 estab. 960 43 158 96 120 417 217 98 732 228 971 35 168 101 129 433 215 102 750 221 961 40 158 106 118 422 222 94 738 223 949 30 155 98 123 406 220 87 713 236 922 29 149 104 122 404 208 94 706 216 3336 empl. 112926 0 353 656 1728 2737 8349 11469 22555 90371 112560 0 366 689 1810 2865 8545 12235 23645 88915 112406 0 357 737 1660 2754 8917 11034 22705 89701 104525 0 351 697 1688 2736 8920 10792 22448 82077 96501 0 339 733 1656 2728 8151 11190 22069 74432 3336 ann. pay. 4809472 2614 12153 20668 62157 97592 314809 438037 850438 3959034 4958749 3823 13351 21919 60518 99611 323970 470460 894041 4064708 5086638 3274 11207 25655 61788 101924 357105 463881 922910 4163728 4885008 1571 11892 23936 58717 96116 347979 475739 919834 3965174 4637395 4849 11887 26744 61390 104870 322877 486546 914293 3723102 3336 rec. 37701159 85881 59106 119736 249950 514673 1325993 2066697 3907363 33793796 3339 firms 6383 383 1500 1088 1028 3999 1562 504 6065 318 6195 311 1469 1082 1015 3877 1506 486 5869 326 6059 327 1438 1041 967 3773 1481 482 5736 323 5943 263 1480 1004 970 3717 1477 444 5638 305 5698 273 1428 986 936 3623 1387 404 5414 284 3339 estab. 7054 383 1500 1088 1031 4002 1607 620 6229 825 6885 312 1469 1082 1020 3883 1550 608 6041 844 6751 327 1439 1041 970 3777 1525 595 5897 854 6639 263 1480 1005 972 3720 1524 547 5791 848 6352 273 1429 987 937 3626 1433 508 5567 785 3339 empl. 357899 0 3474 7319 14153 24946 64287 74763 163996 193903 349571 0 3411 7303 14010 24724 62551 73227 160502 189069 342251 0 3304 7009 13216 23529 60739 71838 156106 186145 332281 0 3370 6847 13386 23603 60795 66547 150945 181336 291201 0 3343 6710 12729 22782 55012 56219 134013 157188 3339 ann. pay. 13962003 36313 104709 223847 468882 833751 2390589 2871839 6096179 7865824 14011523 25342 106904 225639 489446 847331 2406379 2844009 6097719 7913804 14304305 26445 108237 232929 473029 840640 2394978 2960392 6196010 8108295 13885047 27156 110453 225814 482432 845855 2355626 2720613 5922094 7962953 12653370 52987 116526 234960 480322 884795 2267934 2300430 5453159 7200211 3339 rec. 57821592 295054 538633 965041 1808174 3606902 8049376 9808425 21464703 36356889 3341 firms 1938 247 534 240 286 1307 357 133 1797 141 1922 253 512 283 264 1312 348 126 1786 136 1969 255 570 285 264 1374 341 121 1836 133 1817 168 510 272 262 1212 343 122 1677 140 1477 148 371 229 192 940 309 122 1371 106 3341 estab. 2050 247 534 240 286 1307 370 136 1813 237 2042 253 514 284 264 1315 357 136 1808 234 2077 256 570 286 264 1376 347 132 1855 222 1916 168 510 273 263 1214 350 131 1695 221 1568 148 371 230 192 941 317 147 1405 163 3341 empl. 243164 0 1241 1603 3905 6749 14243 20793 41785 201379 224815 0 1155 1853 3563 6571 13851 19196 39618 185197 193897 0 1260 1934 3589 6783 14393 17020 38196 155701 199637 0 1096 1818 3578 6492 14628 19023 40143 159494 155137 0 836 1543 2602 4981 12654 18249 35884 119253 3341 ann. pay. 12628448 56540 47765 57935 161909 324149 636739 913480 1874368 10754080 12340294 22485 47814 70812 158153 299264 690189 1009878 1999331 10340963 11812969 128608 56498 88746 179359 453211 744316 1405464 2602991 9209978 11372337 26235 48647 72558 182597 330037 738775 1157019 2225831 9146506 9549212 16719 34895 64638 121589 237841 701785 1164149 2103775 7445437 3341 rec. 79551928 78324 186008 327879 576640 1168851 3284466 5280457 9733774 69818154 3342 firms 2082 158 434 287 275 1154 503 225 1882 200 2021 144 443 275 267 1129 491 213 1833 188 2049 211 443 266 259 1179 469 223 1871 178 1956 113 452 264 255 1084 457 233 1774 182 1761 128 357 248 241 974 442 185 1601 160 3342 estab. 2327 158 434 287 276 1155 514 270 1939 388 2266 144 443 275 267 1129 500 255 1884 382 2305 212 443 266 259 1180 477 265 1922 383 2200 113 452 264 255 1084 477 256 1817 383 2008 128 359 249 241 977 459 202 1638 370 3342 empl. 276929 0 976 1925 3841 6742 21442 36900 65084 211845 270392 0 1008 1856 3617 6481 21228 34776 62485 207907 256501 0 960 1772 3589 6321 20472 38080 64873 191628 269498 0 968 1786 3573 6327 19935 41170 67432 202066 206255 0 757 1675 3285 5717 19555 30054 55326 150929 3342 ann. pay. 16149765 37190 38971 73937 157838 307936 1008462 1736216 3052614 13097151 17225663 62998 42076 68935 155456 329465 1089356 1948980 3367801 13857862 17433245 97065 42492 76242 161619 377418 1185081 2665778 4228277 13204968 16175149 21411 41713 81206 166090 310420 1002059 2604463 3916942 12258207 13346435 27506 32238 72548 144309 276601 1050287 1748758 3075646 10270789 3342 rec. 73810996 109513 153109 288454 562331 1113407 3708071 6840178 11661656 62149340 3343 firms 531 63 153 71 77 364 97 45 506 25 506 57 143 79 74 353 89 39 481 25 533 60 154 86 68 368 99 45 512 21 537 59 166 83 64 372 98 43 513 24 598 58 183 104 88 433 101 42 576 22 3343 estab. 572 63 153 71 77 364 101 54 519 53 539 57 143 79 74 353 94 47 494 45 560 60 154 86 68 368 99 53 520 40 561 59 166 83 64 372 98 48 518 43 623 58 183 104 88 433 103 47 583 40 3343 empl. 32829 0 357 470 1020 1847 4145 7597 13589 19240 28188 0 325 540 1034 1899 3899 6619 12417 15771 30127 0 347 568 914 1829 4148 8212 14189 15938 28686 0 379 564 873 1816 4382 6785 12983 15703 25344 0 413 691 1164 2268 4441 5763 12472 12872 3343 ann. pay. 1019089 6020 8944 12598 28655 56217 120742 238929 415888 603201 977934 12339 9397 15830 33809 71375 124441 221606 417422 560512 1001995 9396 11903 20089 34388 75776 135993 267657 479426 522569 1005565 4281 12639 22450 30478 69848 164743 221567 456158 549407 1043741 3757 14333 27283 47460 92833 209585 208884 511302 532439 3343 rec. 9393398 23187 75617 122512 209684 431000 913555 1447223 2791778 6601620 3344 firms 5551 411 1124 757 792 3084 1516 594 5194 357 5458 351 1189 783 769 3092 1469 557 5118 340 5356 381 1126 739 732 2978 1481 563 5022 334 5242 293 1083 738 730 2844 1491 574 4909 333 4887 294 1018 703 743 2758 1366 481 4605 282 3344 estab. 6244 411 1125 758 794 3088 1556 711 5355 889 6181 352 1189 785 771 3097 1503 698 5298 883 6104 382 1126 741 734 2983 1509 690 5182 922 5973 295 1083 741 732 2851 1520 685 5056 917 5560 294 1019 704 745 2762 1417 620 4799 761 3344 empl. 588039 0 2521 5174 11011 18706 67741 106397 192844 395195 562211 0 2645 5262 10637 18544 65624 96488 180656 381555 571377 0 2507 5010 10241 17758 65793 97424 180975 390402 603160 0 2346 5028 10235 17609 68155 97956 183720 419440 458945 0 2251 4741 10314 17306 58930 75754 151990 306955 3344 ann. pay. 23581337 85407 84489 173418 347003 690317 2135918 3713790 6540025 17041312 25696028 73543 98123 188476 374443 734585 2336548 3841675 6912808 18783220 31940683 85591 99012 192354 402799 779756 2593240 4669218 8042214 23898469 28296971 56659 91595 187352 391452 727058 2508644 3855199 7090901 21206070 21932669 68190 90826 185328 392022 736366 2300477 3253074 6289917 15642752 3344 rec. 114893236 647901 421266 872483 1622216 3563866 8069279 11689800 23322945 91570291 3345 firms 4907 322 1239 783 696 3040 1133 387 4560 347 4709 276 1229 739 698 2942 1076 366 4384 325 4538 297 1154 696 702 2849 1017 366 4232 306 4519 220 1241 691 698 2850 991 387 4228 291 4588 308 1281 708 691 2988 957 354 4299 289 3345 estab. 5541 322 1240 785 698 3045 1155 475 4675 866 5351 276 1231 740 700 2947 1095 458 4500 851 5201 297 1156 696 704 2853 1038 460 4351 850 5151 220 1243 691 698 2852 1009 475 4336 815 5228 309 1282 708 691 2990 992 431 4413 815 3345 empl. 488782 0 2827 5241 9729 17797 46979 59460 124236 364546 482482 0 2829 4895 9600 17324 44880 56209 118413 364069 461516 0 2721 4621 9727 17069 42081 55188 114338 347178 453496 0 2857 4620 9553 17030 41046 58095 116171 337325 417552 0 2908 4678 9547 17133 39237 50366 106736 310816 3345 ann. pay. 24381954 55006 99006 185570 382309 721891 1952757 2628528 5303176 19078778 25793672 72642 102612 191252 386725 753231 1921198 2721880 5396309 20397363 26495638 45135 102271 183214 422340 752960 1940513 2891740 5585213 20910425 26071991 20242 118978 180331 400262 719813 1913877 3000980 5634670 20437321 24255795 45205 113086 189798 431480 779569 1878174 2679906 5337649 18918146 3345 rec. 93631483 181187 465395 701171 1483598 2831351 5922196 9650787 18404334 75227149 3346 firms 824 81 278 127 110 596 125 63 784 40 835 108 266 126 111 611 133 60 804 31 834 97 282 137 105 621 134 42 797 37 887 100 338 131 110 679 134 43 856 31 832 91 320 121 102 634 130 40 804 28 3346 estab. 898 81 278 128 113 600 129 88 817 81 900 108 266 126 112 612 140 83 835 65 901 97 282 137 107 623 137 66 826 75 963 100 338 131 112 681 139 75 895 68 896 91 320 121 102 634 147 50 831 65 3346 empl. 51113 0 612 830 1565 3007 4871 10529 18407 32706 47089 0 595 819 1473 2887 5370 10307 18564 28525 43669 0 612 903 1425 2940 5429 7593 15962 27707 38830 0 720 875 1434 3029 5520 7912 16461 22369 37178 0 692 797 1385 2874 5149 6586 14609 22569 3346 ann. pay. 1924714 11082 21586 30520 54532 117720 174213 403419 695352 1229362 1808394 22348 22010 27958 66621 138937 206511 404177 749625 1058769 1712941 9172 22449 33844 63422 128887 225549 285841 640277 1072664 1600204 8638 30191 34704 61621 135154 259070 336334 730558 869646 1570586 23114 29355 31779 53089 137337 224491 306971 668799 901787 3346 rec. 8650186 110696 143151 153529 213012 620388 893519 1231320 2745227 5904959 3351 firms 1238 83 304 198 189 774 308 111 1193 45 1218 86 308 189 182 765 304 104 1173 45 1190 64 322 191 181 758 281 102 1141 49 1196 80 299 203 190 772 278 97 1147 49 1122 59 289 194 171 713 283 84 1080 42 3351 estab. 1355 83 304 198 189 774 314 128 1216 139 1333 86 308 189 182 765 310 118 1193 140 1307 64 322 191 181 758 286 116 1160 147 1307 80 299 203 190 772 283 109 1164 143 1234 59 289 195 172 715 290 93 1098 136 3351 empl. 74534 0 702 1351 2589 4642 12902 17608 35152 39382 74351 0 684 1304 2537 4525 13011 16455 33991 40360 74277 0 750 1321 2599 4670 12232 16297 33199 41078 72052 0 652 1358 2640 4650 12346 15350 32346 39706 63848 0 611 1308 2330 4249 12176 12563 28988 34860 3351 ann. pay. 2299290 11929 17377 35307 67323 131936 366090 522033 1020059 1279231 2370483 13530 17424 33775 66226 130955 382135 506756 1019846 1350637 2546520 4139 18896 35328 70688 129051 383544 493979 1006574 1539946 2345966 7906 16370 37519 72035 133830 376783 472656 983269 1362697 2212035 5936 16384 36527 70587 129434 395852 437859 963145 1248890 3351 rec. 12306658 23011 106793 178542 340316 648662 1774740 2037487 4460889 7845769 3352 firms 290 28 61 29 37 155 49 24 228 62 305 30 77 31 35 173 45 29 247 58 305 25 75 36 33 169 50 28 247 58 319 25 78 38 38 179 53 33 265 54 334 32 90 40 41 203 54 30 287 47 3352 estab. 370 28 61 29 38 156 49 27 232 138 381 30 78 31 35 174 45 33 252 129 377 25 75 36 33 169 50 33 252 125 388 25 78 38 38 179 54 41 274 114 398 32 90 40 41 203 54 32 289 109 3352 empl. 102784 [a] [c] 199 505 839 2286 4631 7756 95028 99833 0 169 212 485 866 2015 5662 8543 91290 100835 0 175 232 424 831 2233 4807 7871 92964 94410 0 175 241 517 933 2389 5018 8340 86070 91124 0 209 269 537 1015 2303 5626 8944 82180 3352 ann. pay. 3241904 (D) (D) 5559 15573 90996 58093 139909 288998 2952906 3149107 1849 3972 5660 14791 26272 62224 170917 259413 2889694 3282599 2722 4767 10180 12823 30492 65233 132441 228166 3054433 3148512 42144 5258 6860 15678 69940 64528 145551 280019 2868493 3073722 1244 6018 8511 16666 32439 69085 182542 284066 2789656 3352 rec. 23530011 21655 153964 54673 113129 343421 419541 1571697 2334659 21195352 3353 firms 2512 127 622 444 385 1578 559 199 2336 176 2438 118 617 434 355 1524 541 207 2272 166 2362 105 583 415 362 1465 526 209 2200 162 2312 110 548 416 335 1409 545 210 2164 148 2250 110 579 420 305 1414 503 189 2106 144 3353 estab. 2964 127 622 444 388 1581 580 250 2411 553 2882 118 617 434 359 1528 557 264 2349 533 2801 105 584 415 364 1468 540 264 2272 529 2751 110 548 417 337 1412 561 266 2239 512 2651 110 580 421 310 1421 522 246 2189 462 3353 empl. 210266 0 1464 2989 5242 9695 22238 28874 60807 149459 200255 0 1458 2932 4817 9207 21540 30038 60785 139470 198989 0 1338 2799 4989 9126 21288 30287 60701 138288 193238 0 1296 2815 4547 8658 22480 31961 63099 130139 168352 0 1342 2831 4165 8338 19986 27219 55543 112809 3353 ann. pay. 7212010 19031 44341 90337 174833 328542 790120 950892 2069554 5142456 7206029 11721 45465 97524 177188 331898 809841 1007612 2149351 5056678 7414596 13039 45351 94982 189215 342587 845918 1110369 2298874 5115722 7236320 35676 47704 93001 167638 344019 877090 1147337 2368446 4867874 6518083 9595 49831 100768 157174 317368 813613 1030522 2161503 4356580 3353 rec. 33211206 54861 266081 433846 629969 1384757 2912362 4096123 8393242 24817964 3359 firms 2044 146 380 253 251 1030 554 245 1829 215 2084 172 425 259 255 1111 531 226 1868 216 2121 180 462 253 267 1162 524 225 1911 210 2064 161 427 261 266 1115 516 230 1861 203 1924 114 393 274 274 1055 481 212 1748 176 3359 estab. 2464 146 381 253 252 1032 565 292 1889 575 2508 173 425 259 255 1112 542 273 1927 581 2556 181 464 253 268 1166 538 265 1969 587 2494 161 428 263 266 1118 527 274 1919 575 2318 114 394 275 274 1057 495 257 1809 509 3359 empl. 214816 [a] [f] 1702 3437 6003 23444 36577 66024 148792 211982 0 945 1732 3491 6168 22374 34246 62788 149194 215305 0 1015 1686 3698 6399 22374 34001 62774 152531 215713 0 942 1764 3616 6322 22531 35300 64153 151560 179076 0 845 1835 3715 6395 20963 30056 57414 121662 3359 ann. pay. 7476355 (D) (D) 55405 108389 205652 775938 1128338 2109928 5366427 7874016 19952 32276 54543 114107 220878 784267 1144545 2149690 5724326 8609276 41260 35914 59981 132216 269371 829782 1257792 2356945 6252331 8142589 16241 33477 65287 126395 241400 816532 1201945 2259877 5882712 7045527 17922 34488 70139 139866 262415 807827 1071808 2142050 4903477 3359 rec. 39475392 158525 166362 374713 621852 1321452 3397677 4707817 9426946 30048446 3361 firms 342 41 108 54 32 235 50 20 305 37 352 48 114 43 43 248 48 19 315 37 347 39 123 40 37 239 47 24 310 37 342 34 111 52 43 240 41 24 305 37 322 25 111 42 40 218 47 19 284 38 3361 estab. 411 41 108 54 33 236 51 21 308 103 418 48 114 43 43 248 49 20 317 101 410 39 123 40 37 239 47 26 312 98 410 34 111 52 43 240 42 26 308 102 395 25 111 42 40 218 47 21 286 109 3361 empl. 235483 [a] [c] 359 426 999 2349 3438 6786 228697 233917 0 238 279 574 1091 2148 3117 6356 227561 235413 0 260 269 517 1046 1978 4166 7190 228223 215132 [a] [c] 336 616 1192 1645 4274 7111 208021 216886 0 232 273 552 1057 2031 4273 7361 209525 3361 ann. pay. 13017154 (D) (D) 7750 11296 28910 69780 117710 216400 12800754 15105608 6231 5409 6547 15620 33807 72804 113943 220554 14885054 14823702 2141 5836 6732 14704 29413 81461 146044 256918 14566784 12606936 (D) (D) 10115 15613 49273 50487 155941 255701 12351235 13910476 7350 5649 8167 15283 36449 70447 146897 253793 13656683 3361 rec. 236999089 100970 104769 113555 206154 525448 647397 1842024 3014869 233984220 3362 firms 1919 130 422 322 292 1166 517 155 1838 81 1893 136 397 305 302 1140 504 159 1803 90 1860 123 373 284 317 1097 499 168 1764 96 1836 104 399 291 295 1089 521 140 1750 86 1783 104 362 304 321 1091 485 129 1705 78 3362 estab. 2116 130 422 322 292 1166 530 190 1886 230 2103 136 397 305 302 1140 519 191 1850 253 2081 123 373 284 317 1097 509 199 1805 276 2062 104 399 291 296 1090 530 167 1787 275 2001 104 362 304 321 1091 503 171 1765 236 3362 empl. 128687 0 990 2164 4045 7199 22005 27367 56571 72116 141610 0 899 2050 4132 7081 21486 28875 57442 84168 150461 0 808 1925 4391 7124 21911 31514 60549 89912 132765 0 886 1978 4047 6911 22893 26912 56716 76049 114410 0 857 2042 4393 7292 20879 24460 52631 61779 3362 ann. pay. 3815998 9210 21541 47812 94678 173241 596757 818472 1588470 2227528 4346749 29319 20066 46828 102996 199209 624166 864207 1687582 2659167 4460041 16659 18306 43863 108981 187809 610385 931256 1729450 2730591 3959236 6549 20379 46185 108751 181864 640585 803316 1625765 2333471 3864490 14737 28827 55691 124303 223558 636266 811344 1671168 2193322 3362 rec. 23235348 83751 204518 298728 632581 1219578 3019856 4382768 8622202 14613146 3363 firms 4771 299 1181 680 576 2736 1122 542 4400 371 4637 241 1165 677 570 2653 1089 534 4276 361 4471 214 1106 630 557 2507 1083 528 4118 353 4400 218 1111 640 557 2526 1029 494 4049 351 4317 229 1119 628 556 2532 961 491 3984 333 3363 estab. 5933 299 1181 681 577 2738 1166 669 4573 1360 5816 246 1167 678 572 2663 1123 654 4440 1376 5621 214 1106 631 564 2515 1112 644 4271 1350 5526 218 1112 644 559 2533 1047 614 4194 1332 5437 230 1119 629 562 2540 996 611 4147 1290 3363 empl. 801461 0 2700 4480 7977 15157 48434 103258 166849 634612 794523 0 2667 4495 7821 14983 47847 103227 166057 628466 812191 0 2557 4194 7573 14324 47895 104030 166249 645942 739667 0 2556 4212 7701 14469 45319 93299 153087 586580 657102 0 2557 4190 7731 14478 41854 91441 147773 509329 3363 ann. pay. 32724340 41558 61741 110140 224136 437575 1437882 3125012 5000469 27723871 35429395 34911 73472 121220 228512 458115 1503236 3224501 5185852 30243543 35991068 24873 65931 135203 241894 467901 1525807 3293258 5286966 30704102 32388102 71488 69001 114521 236461 491471 1475965 2924217 4891653 27496449 29733646 49429 72698 135537 245262 502926 1450917 3099138 5052981 24680665 3363 rec. 203963033 387723 502084 874981 1260602 3025390 6834196 16857869 26717455 177245578 3364 firms 1521 116 340 223 222 901 372 132 1405 116 1516 111 350 233 217 911 351 140 1402 114 1485 97 351 239 217 904 341 135 1380 105 1466 96 320 249 207 872 356 131 1359 107 1294 75 269 193 217 754 318 122 1194 100 3364 estab. 1827 116 340 223 222 901 379 149 1429 398 1845 112 350 233 217 912 358 163 1433 412 1823 98 351 239 217 905 347 150 1402 421 1792 96 320 249 207 872 362 152 1386 406 1619 75 269 193 217 754 324 143 1221 398 3364 empl. 518881 0 784 1479 3058 5321 16112 21851 43284 475597 509571 0 788 1553 2950 5291 14640 23307 43238 466333 446243 0 791 1643 2949 5383 14330 21212 40925 405318 449383 0 712 1701 2828 5241 14855 21668 41764 407619 391273 0 617 1345 2984 4946 13747 19880 38573 352700 3364 ann. pay. 26872794 27311 25238 44955 107203 204707 610773 888506 1703986 25168808 27718051 23314 27651 50447 98156 199568 549547 927790 1676905 26041146 25026371 19954 26969 51849 102246 201018 564580 893002 1658600 23367771 26204849 11521 23203 53994 104065 192783 615521 921234 1729538 24475311 23250070 18995 23527 45371 119976 207869 570092 828980 1606941 21643129 3364 rec. 124446482 71943 96438 163887 415616 747884 1984018 2895290 5627192 118819290 3365 firms 176 11 24 15 22 72 49 26 147 29 174 11 23 17 26 77 45 23 145 29 159 10 17 18 27 72 39 23 134 25 153 12 17 20 16 65 40 23 128 25 143 8 18 14 21 61 37 21 119 24 3365 estab. 237 11 24 15 22 72 52 34 158 79 241 11 23 17 26 77 48 30 155 86 227 10 17 18 27 72 44 29 145 82 218 12 17 20 16 65 44 28 137 81 197 8 18 14 21 61 38 29 128 69 3365 empl. 37676 [a] [b] 108 289 449 2111 3648 6208 31468 38815 0 54 118 352 524 2114 3124 5762 33053 38724 0 39 109 383 531 1998 3375 5904 32820 35423 [a] [b] 142 240 423 1897 3483 5803 29620 28199 0 40 95 292 427 1623 3024 5074 23125 3365 ann. pay. 1522233 (D) (D) 3203 8772 15374 77741 138741 231856 1290377 1612483 1036 1598 3557 13971 20162 76794 116320 213276 1399207 1633472 3604 2176 3159 11074 20013 74603 125588 220204 1413268 1486943 (D) (D) 4035 7006 24715 69008 126076 219799 1267144 1277714 265 1607 3265 11515 16652 70907 117790 205349 1072365 3365 rec. 8307047 1703 9234 18002 54546 83485 306427 434333 824245 7482802 3366 firms 1727 185 471 287 252 1195 352 124 1671 56 1664 179 481 268 249 1177 312 120 1609 55 1635 145 473 258 256 1132 320 128 1580 55 1685 153 508 276 246 1183 322 129 1634 51 1612 146 490 275 222 1133 314 123 1570 42 3366 estab. 1835 185 471 287 253 1196 356 145 1697 138 1779 179 481 268 251 1179 315 135 1629 150 1763 145 473 258 257 1133 323 150 1606 157 1815 153 508 276 247 1184 329 156 1669 146 1736 146 490 275 223 1134 324 151 1609 127 3366 empl. 142684 0 1055 1956 3428 6439 15612 23223 45274 97410 145065 0 1052 1798 3396 6246 14021 22918 43185 101880 146969 0 1044 1737 3485 6266 14149 24454 44869 102100 138962 0 1098 1823 3433 6354 14510 23551 44415 94547 131292 0 1019 1817 2994 5830 13554 23358 42742 88550 3366 ann. pay. 4761852 17667 26192 47027 90558 181444 429990 700790 1312224 3449628 4804405 16151 27118 43289 100174 186732 419566 682357 1288655 3515750 5044270 9269 28398 40707 97528 175902 415052 783607 1374561 3669709 5094086 9149 29921 45068 97992 182130 462846 753579 1398555 3695531 5111708 19359 28945 50989 91512 190805 448427 833611 1472843 3638865 3366 rec. 21115423 115074 154395 227705 366594 863768 1947219 3609066 6420053 14695370 3369 firms 800 79 222 133 121 555 160 45 760 40 803 83 216 138 119 556 163 43 762 41 806 91 216 128 117 552 170 44 766 40 769 51 229 132 112 524 162 46 732 37 779 90 241 119 106 556 145 41 742 37 3369 estab. 843 79 222 133 121 555 172 48 775 68 840 83 216 138 119 556 168 48 772 68 841 91 216 128 117 552 175 46 773 68 804 51 230 132 112 525 166 49 740 64 817 90 241 120 106 557 151 46 754 63 3369 empl. 46474 0 502 930 1621 3053 6648 6176 15877 30597 42715 0 486 923 1625 3034 6741 6939 16714 26001 42629 0 464 842 1624 2930 7040 6984 16954 25675 42113 0 511 891 1560 2962 6527 6849 16338 25775 39545 0 556 788 1461 2805 5731 5578 14114 25431 3369 ann. pay. 1664365 5138 12281 25650 41243 84312 202091 173209 459612 1204753 1592291 5332 10656 21639 43471 81098 206507 223382 510987 1081304 1652808 4431 9154 20726 48127 82438 223344 212920 518702 1134106 1699739 1587 13599 22136 45457 82779 200820 227654 511253 1188486 1623369 9892 14396 22048 42624 88960 200944 206498 496402 1126967 3369 rec. 13934969 58983 81692 121244 210515 472434 916615 1029751 2418800 11516169 3371 firms 14674 1324 6036 2926 1992 12278 1806 444 14528 146 14423 1233 5861 2860 1993 11947 1884 444 14275 148 14153 1141 5662 2807 2037 11647 1885 471 14003 150 14873 1213 6038 2960 2150 12361 1935 434 14730 143 16450 1318 7186 3342 2214 14060 1844 415 16319 131 3371 estab. 15251 1324 6041 2931 2004 12300 1884 538 14722 529 14977 1233 5865 2866 2004 11968 1958 541 14467 510 14684 1142 5665 2812 2048 11667 1936 563 14166 518 15371 1213 6040 2966 2162 12381 1980 524 14885 486 16963 1318 7189 3350 2239 14096 1898 512 16506 457 3371 empl. 386318 0 13378 19318 26742 59438 73560 79070 212068 174250 403601 0 12912 18963 26848 58723 76505 80925 216153 187448 414573 0 12553 18528 27595 58676 77174 84934 220784 193789 401541 0 13325 19727 29067 62119 78239 79924 220282 181259 382765 0 15905 22071 29646 67622 73766 74233 215621 167144 3371 ann. pay. 9352685 88957 253646 394736 602127 1339466 1748030 1936194 5023690 4328995 10124265 71243 259430 400063 636707 1367443 1916910 2051520 5335873 4788392 10592854 44109 259217 403738 670029 1377093 1980346 2191799 5549238 5043616 10329579 63226 289239 449974 716376 1518815 2059849 2070709 5649373 4680206 10444684 54314 350711 528353 780913 1714291 2038643 2070344 5823278 4621406 3371 rec. 44754336 246741 1338408 1831879 2621821 6038849 7184440 8804682 22027971 22726365 3372 firms 4003 252 860 696 722 2530 1141 249 3920 83 3928 225 870 668 701 2464 1124 251 3839 89 3819 216 811 673 669 2369 1109 254 3732 87 3894 203 862 713 684 2462 1101 247 3810 84 3843 218 919 703 665 2505 1050 216 3771 72 3372 estab. 4206 252 860 696 723 2531 1158 299 3988 218 4141 225 870 668 702 2465 1138 306 3909 232 4036 216 811 673 670 2370 1123 314 3807 229 4113 204 862 713 685 2464 1114 306 3884 229 4044 218 919 703 666 2506 1065 279 3850 194 3372 empl. 173113 0 2021 4703 9916 16640 48584 37271 102495 70618 174589 0 2023 4500 9683 16206 47539 36780 100525 74064 177200 0 1843 4510 9215 15568 46828 38788 101184 76016 171157 0 1935 4876 9399 16210 45058 37058 98326 72831 148323 0 2102 4792 9110 16004 42576 31627 90207 58116 3372 ann. pay. 5582340 17013 51625 119146 271695 459479 1461471 1100143 3021093 2561247 5769328 15196 51872 113514 279257 459839 1472894 1111442 3044175 2725153 6052462 14660 45450 114922 267750 442782 1481916 1233899 3158597 2893865 5772917 12368 48762 132254 277281 470665 1447733 1160997 3079395 2693522 5073529 19460 61771 137999 274494 493724 1425478 1066878 2986080 2087449 3372 rec. 21316538 93322 242145 482562 933023 1751052 4640328 4096271 10487651 10828887 3379 firms 1048 73 297 166 161 697 266 64 1027 21 1028 55 292 178 144 669 267 72 1008 20 1002 58 265 183 153 659 248 75 982 20 987 55 277 173 154 659 239 69 967 20 955 41 278 151 170 640 226 68 934 21 3379 estab. 1166 73 298 166 161 698 274 94 1066 100 1148 57 293 178 144 672 273 105 1050 98 1128 60 265 183 153 661 255 111 1027 101 1109 55 277 178 154 664 246 101 1011 98 1076 41 278 151 170 640 238 104 982 94 3379 empl. 44430 0 715 1121 2171 4007 11680 9873 25560 18870 44963 0 686 1182 1908 3776 11945 10851 26572 18391 48671 0 620 1225 2095 3940 11421 12090 27451 21220 46499 0 648 1155 2058 3861 11018 11240 26119 20380 44040 0 657 1015 2345 4017 10077 11097 25191 18849 3379 ann. pay. 1147266 7197 13862 20083 44322 85464 292266 258264 635994 511272 1234240 7578 15488 22380 41926 87372 304353 303254 694979 539261 1318315 2057 13479 23461 45722 84719 291041 308785 684545 633770 1331153 2359 15186 23515 47094 88154 289275 313067 690496 640657 1287846 2090 15184 21004 53933 92211 282887 330829 705927 581919 3379 rec. 7426213 14932 92662 129021 263314 499929 1495375 1685250 3680554 3745659 3391 firms 11840 795 5949 2181 1272 10197 1175 288 11660 180 11662 784 5787 2185 1251 10007 1182 297 11486 176 11516 795 5607 2181 1275 9858 1182 300 11340 176 11500 777 5680 2147 1232 9836 1188 298 11322 178 10879 781 5243 1988 1223 9235 1169 299 10703 176 3391 estab. 12474 795 5950 2185 1277 10207 1228 423 11858 616 12327 784 5787 2189 1257 10017 1232 435 11684 643 12163 795 5607 2184 1282 9868 1229 435 11532 631 12151 777 5680 2149 1239 9845 1233 442 11520 631 11575 781 5243 1991 1231 9246 1228 502 10976 599 3391 empl. 295923 0 12571 14175 16995 43741 47090 44310 135141 160782 302227 0 12274 14230 16755 43259 47148 44872 135279 166948 304555 0 12030 14177 17116 43323 47014 46584 136921 167634 304435 0 12174 14052 16648 42874 46670 46335 135879 168556 294154 0 11395 13085 16416 40896 45044 47839 133779 160375 3391 ann. pay. 10830803 44293 304372 381693 509665 1240023 1585524 1572451 4397998 6432805 11570561 61634 311371 392827 520941 1286773 1701802 1671787 4660362 6910199 12315561 137758 312947 408384 558082 1417171 1773106 1872891 5063168 7252393 12843366 58069 326747 427430 561816 1374062 1760816 2016989 5151867 7691499 12908614 42229 310227 411684 579404 1343544 1770487 2223456 5337487 7571127 3391 rec. 59721119 207817 936052 1223949 1812552 4180370 5618581 8526952 18325903 41395216 3399 firms 18678 1987 7176 3344 2477 14984 2777 663 18424 254 18528 1866 7195 3390 2417 14868 2745 657 18270 258 18540 1857 7248 3389 2390 14884 2731 664 18279 261 17997 1572 7170 3359 2364 14465 2663 616 17744 253 17412 1627 7081 3174 2276 14158 2455 560 17173 239 3399 estab. 19273 1988 7179 3347 2488 15002 2856 837 18695 578 19143 1868 7197 3394 2427 14886 2832 819 18537 606 19140 1857 7249 3392 2398 14896 2816 815 18527 613 18567 1572 7171 3362 2373 14478 2749 765 17992 575 17932 1628 7082 3177 2286 14173 2544 703 17420 512 3399 empl. 441545 0 15621 22129 33572 71322 112975 106314 290611 150934 432015 0 15710 22484 33083 71277 110857 103132 285266 146749 427645 0 15716 22442 32478 70636 109766 103981 284383 143262 408730 0 15704 22211 32277 70192 107061 96460 273713 135017 370556 0 15440 20973 30920 67333 96787 84769 248889 121667 3399 ann. pay. 12443679 87528 312297 483322 838934 1722081 3105795 3012616 7840492 4603187 12783327 108416 334575 522126 838978 1804095 3173508 3087915 8065518 4717809 13184822 95547 352128 538099 865850 1851624 3299304 3210213 8361141 4823681 12761201 75506 357162 533723 870683 1837074 3217646 3062456 8117176 4644025 12299544 73903 349759 536890 880219 1840771 3109543 2866729 7817043 4482501 3399 rec. 58369305 384653 1602052 2109796 3351801 7448302 12410987 13902709 33761998 24607307 4211 firms 23655 1995 10717 4537 2870 20119 2666 584 23369 286 23156 2028 10371 4397 2808 19604 2677 606 22887 269 22751 2021 10020 4387 2832 19260 2619 589 22468 283 21921 1813 9648 4297 2758 18516 2543 579 21638 283 21388 1871 9565 3938 2654 18028 2503 581 21112 276 4211 estab. 28711 2010 10734 4591 3051 20386 3802 1702 25890 2821 28328 2038 10392 4449 2983 19862 3675 1853 25390 2938 28385 2044 10043 4442 2995 19524 3553 1916 24993 3392 27572 1821 9673 4346 2924 18764 3436 1817 24017 3555 27370 1874 9587 3996 2833 18290 3608 2105 24003 3367 4211 empl. 384205 0 22905 29851 37766 90522 95968 67239 253729 130476 391849 0 22221 28956 36856 88033 97630 73400 259063 132786 402051 0 21420 28891 37192 87503 96424 73141 257068 144983 387296 0 20590 28199 36511 85300 93286 70396 248982 138314 390438 0 20363 25923 35178 81464 90834 73181 245479 144959 4211 ann. pay. 12657789 96813 613108 767570 1058855 2536346 3044995 2184684 7766025 4891764 13568355 104165 593492 808828 1060302 2566787 3187391 2542335 8296513 5271842 14129451 89011 586766 805740 1117061 2598578 3231164 2524811 8354553 5774898 14143412 91142 580337 806055 1112360 2589894 3186631 2429513 8206038 5937374 14036008 73942 596547 764038 1108192 2542719 3141426 2599140 8283285 5752723 4211 rec. 674943072 1291045 11686086 10579876 11869308 35426315 34227394 44949198 114602907 560340165 4212 firms 13652 1355 6699 2303 1443 11800 1436 290 13526 126 13639 1449 6658 2197 1472 11776 1445 303 13524 115 13525 1346 6587 2227 1467 11627 1465 315 13407 118 13204 1270 6394 2207 1449 11320 1460 305 13085 119 13017 1514 6301 2097 1349 11261 1372 268 12901 116 4212 estab. 15021 1357 6716 2328 1514 11915 1851 568 14334 687 15008 1449 6671 2224 1541 11885 1821 641 14347 661 14905 1346 6600 2264 1516 11726 1860 648 14234 671 14545 1272 6409 2238 1518 11437 1837 671 13945 600 14487 1515 6309 2148 1435 11407 1840 652 13899 588 4212 empl. 157215 0 13623 15141 19146 47910 51641 34470 134021 23194 161687 0 13652 14411 19614 47677 52738 37865 138280 23407 167403 0 13541 14638 19682 47861 53825 40328 142014 25389 166135 0 13054 14550 19349 46953 53506 39748 140207 25928 155212 0 12782 13878 17948 44608 50257 34145 129010 26202 4212 ann. pay. 5724510 60107 463221 487442 641659 1652429 1796437 1263348 4712214 1012296 6123814 63974 487138 484212 676295 1711619 1924763 1427362 5063744 1060070 6599675 60282 515853 513174 714905 1804214 2040711 1632844 5477769 1121906 6622790 57717 503846 510811 709951 1782325 2035319 1607325 5424969 1197821 6439694 72332 479865 515869 693707 1761773 2013035 1432994 5207802 1231892 4212 rec. 78795369 928622 9394154 6598175 6786240 23707191 16599162 12565299 52871652 25923717 4213 firms 11339 1343 4811 1935 1314 9403 1312 392 11107 232 11629 1349 4857 2010 1363 9579 1412 399 11390 239 11692 1222 4829 2051 1451 9553 1487 409 11449 243 11894 1299 4884 2073 1475 9731 1512 410 11653 241 12263 1388 5099 2096 1499 10082 1525 427 12034 229 4213 estab. 14564 1345 4823 1957 1378 9503 1650 1189 12342 2222 14901 1351 4868 2033 1429 9681 1746 1207 12634 2267 15109 1224 4840 2073 1513 9650 1819 1228 12697 2412 15479 1305 4898 2097 1535 9835 1857 1296 12988 2491 16114 1388 5117 2117 1626 10248 2084 1450 13782 2332 4213 empl. 157584 0 10186 12711 17409 40306 43435 31343 115084 42500 169013 0 10304 13243 18218 41765 47631 34130 123526 45487 183937 0 10398 13571 19352 43321 51046 37250 131617 52320 185391 0 10419 13609 19713 43741 51656 36866 132263 53128 182671 0 10828 13828 20112 44768 52951 37794 135513 47158 4213 ann. pay. 5788519 72010 352919 415671 593934 1434534 1519080 1116089 4069703 1718816 6502996 88043 378762 460887 655461 1583153 1743916 1242076 4569145 1933851 7179742 67567 385024 476774 686756 1616121 1893778 1437917 4947816 2231926 7510075 83497 394850 491961 726758 1697066 1995972 1453854 5146892 2363183 7541790 59193 411969 509237 759113 1739512 2140470 1513513 5393495 2148295 4213 rec. 110771000 780473 7523511 6828429 8814194 23946607 21645818 17582310 63174735 47596265 4214 firms 37088 4156 15987 6833 4689 31665 4131 776 36572 516 36503 3920 15741 6722 4659 31042 4190 763 35995 508 35600 3477 15331 6586 4735 30129 4175 787 35091 509 34672 3546 14896 6407 4506 29355 4030 789 34174 498 33420 3528 14765 5973 4245 28511 3735 729 32975 445 4214 estab. 45681 4160 16014 6925 4928 32027 5444 2155 39626 6055 45157 3929 15785 6813 4892 31419 5399 2061 38879 6278 44378 3481 15372 6668 4981 30502 5282 2056 37840 6538 43076 3555 14941 6495 4746 29737 5059 1942 36738 6338 41630 3536 14793 6086 4553 28968 5017 1854 35839 5791 4214 empl. 726783 0 34462 45205 62574 142241 152412 97974 392627 334156 751200 0 33662 44460 62345 140467 153939 96708 391114 360086 763142 0 32720 43595 63355 139670 154237 101813 395720 367422 776712 0 31757 42576 60281 134614 147314 106882 388810 387902 722877 0 31262 39689 56754 127705 134570 94225 356500 366377 4214 ann. pay. 38110102 243577 1238775 1618042 2430397 5530791 6582426 4856228 16969445 21140657 41807488 318845 1256916 1679686 2564788 5820235 6989170 4898496 17707901 24099587 44860777 245954 1283158 1727520 2715292 5971924 7453794 5742738 19168456 25692321 45141728 333414 1250866 1695673 2640978 5920931 7201974 5776392 18899297 26242431 41815709 234132 1201141 1624570 2561146 5620989 6798550 5296996 17716535 24099174 4214 rec. 395613584 2273819 12280522 14066756 18839019 47460116 46213772 39056912 132730800 262882784 4215 firms 9740 734 4111 1671 1293 7809 1355 349 9513 227 9534 736 3973 1713 1255 7677 1295 330 9302 232 9288 714 3795 1674 1248 7431 1303 320 9054 234 9066 693 3693 1617 1256 7259 1264 320 8843 223 8812 739 3564 1619 1162 7084 1223 294 8601 211 4215 estab. 12473 740 4128 1702 1350 7920 1830 1013 10763 1710 12326 742 3985 1746 1315 7788 1759 896 10443 1883 12126 718 3808 1715 1307 7548 1725 935 10208 1918 11899 693 3710 1651 1312 7366 1673 965 10004 1895 11597 741 3577 1655 1237 7210 1734 957 9901 1696 4215 empl. 170928 0 8885 11060 17094 37039 48699 35635 121373 49555 169728 0 8475 11293 16687 36455 47432 32889 116776 52952 173178 0 8016 11013 16597 35626 47730 35287 118643 54535 166365 0 7879 10611 16905 35395 46345 35526 117266 49099 153938 0 7603 10649 15521 33773 44414 30984 109171 44767 4215 ann. pay. 7033392 49403 394259 458657 676818 1579137 1917553 1405923 4902613 2130779 7152802 46516 386162 487195 693678 1613551 1895701 1302595 4811847 2340955 7564891 55319 379186 490570 697484 1622559 1974417 1463985 5060961 2503930 7223393 35282 369357 478905 709719 1593263 1882166 1438872 4914301 2309092 6891539 53500 354228 493547 681496 1582771 1906081 1320130 4808982 2082557 4215 rec. 118248254 740161 8069771 8247287 8858963 25916182 20518084 17749018 64183284 54064970 4216 firms 27611 2478 11879 5554 3694 23605 2994 592 27191 420 27093 2376 11657 5387 3724 23144 2948 577 26669 424 26673 2292 11274 5381 3653 22600 3049 618 26267 406 26079 2199 10805 5301 3584 21889 3135 645 25669 410 25875 2474 11001 5139 3361 21975 2946 586 25507 368 4216 estab. 38646 2488 11944 5752 4135 24319 4484 1740 30543 8103 38512 2389 11711 5610 4142 23852 4379 1787 30018 8494 38286 2304 11343 5592 4045 23284 4418 1993 29695 8591 37816 2212 10871 5500 3978 22561 4461 1900 28922 8894 36579 2483 11053 5373 3787 22696 4524 2036 29256 7323 4216 empl. 499826 0 26077 36611 49151 111839 106186 62985 281010 218816 507297 0 25681 35585 49946 111212 106075 63305 280592 226705 534804 0 24843 35636 48895 109374 111328 71476 292178 242626 559234 0 23871 35163 47606 106640 114219 78827 299686 259548 512242 0 24005 33860 44695 102560 105370 68058 275988 236254 4216 ann. pay. 25335399 211788 1008794 1469381 2174949 4864912 4666154 2826161 12357227 12978172 29223491 161828 1042741 1513465 2310537 5028571 4957524 2990015 12976110 16247381 33909102 177424 1088169 1657357 2458403 5381353 5837513 3884100 15102966 18806136 34778654 197767 1031635 1581915 2275504 5086821 5574562 4070759 14732142 20046512 30186473 134916 981572 1474809 2104354 4695651 5198720 3466721 13361092 16825381 4216 rec. 355758834 1544016 15112210 22116371 25639471 64412068 52735999 38490132 155638199 200120635 4217 firms 15069 1040 6284 3016 2232 12572 1928 364 14864 205 14716 973 6073 3013 2224 12283 1872 360 14515 201 14381 941 5844 2993 2134 11912 1892 380 14184 197 14111 926 5674 2916 2121 11637 1901 377 13915 196 14009 1040 5579 2919 2076 11614 1850 363 13827 182 4217 estab. 21464 1047 6312 3083 2468 12910 3300 1756 17966 3498 21472 974 6105 3084 2439 12602 3162 1873 17637 3835 21424 943 5868 3056 2336 12203 3076 1968 17247 4177 21323 943 5699 2984 2287 11913 3108 1932 16953 4370 21597 1040 5592 2995 2329 11956 3319 2027 17302 4295 4217 empl. 225402 0 13814 19879 29629 63322 68242 41756 173320 52082 237954 0 13418 19902 29718 63038 67194 43077 173309 64645 248895 0 12912 19857 28676 61445 68101 46369 175915 72980 247959 0 12591 19303 28325 60219 68360 47319 175898 72061 237461 0 12381 19220 27729 59330 66180 44547 170057 67404 4217 ann. pay. 8733239 49144 483654 740640 1156408 2429846 2678806 1536167 6644819 2088420 9550548 44036 486422 764031 1185925 2480414 2761350 1632309 6874073 2676475 10403978 51490 488048 807202 1189763 2536503 2904393 1861192 7302088 3101890 10661830 55312 485097 773034 1193712 2507155 3058548 1898047 7463750 3198080 10114923 82539 475594 778617 1193354 2530104 2931808 1785109 7247021 2867902 4217 rec. 108052184 780571 6263248 8099587 10701544 25844950 29776338 16181298 71802586 36249598 4218 firms 59803 4447 25362 12137 8751 50697 7181 1280 59158 645 58621 4302 25005 11841 8552 49700 7041 1233 57974 647 57121 4108 24217 11550 8393 48268 7007 1190 56465 656 55235 3835 23271 11190 8215 46511 6912 1170 54593 642 54321 4342 23118 10792 7851 46103 6513 1087 53703 618 4218 estab. 76082 4473 25426 12369 9598 51866 11401 5223 68490 7592 75423 4336 25087 12082 9422 50927 11147 5114 67188 8235 73742 4136 24330 11776 9187 49429 10908 4783 65120 8622 72113 3871 23377 11415 9011 47674 10633 4890 63197 8916 71340 4357 23201 11087 8737 47382 10803 4781 62966 8374 4218 empl. 798378 0 55384 80459 117254 253097 247745 140010 640852 157526 803332 0 54654 78604 114751 248009 246261 138202 632472 170860 796213 0 52879 76805 112295 241979 245669 135801 623449 172764 797004 0 50791 74222 110275 235288 242681 137179 615148 181856 747944 0 50448 71622 105412 227482 226509 120428 574419 173525 4218 ann. pay. 32046022 220019 1956343 2841872 4304822 9323056 9781730 5749681 24854467 7191555 33161822 235003 1979115 2828589 4337355 9380062 9907606 5829052 25116720 8045102 34178360 209103 2013774 2846512 4424875 9494264 10346226 5982483 25822973 8355387 34259509 201827 1888860 2791856 4334093 9216636 10150797 6062270 25429703 8829806 32379308 342933 1833329 2726782 4197108 9100152 9554278 5378131 24032561 8346747 4218 rec. 316382558 3437526 22115335 24213500 33195288 82961649 71114353 42835791 196911793 119470765 4219 firms 35886 4345 18086 5986 3740 32157 2991 471 35619 267 36391 5096 18276 5851 3537 32760 2922 445 36127 264 37725 5355 18945 6007 3673 33980 3030 442 37452 273 37139 4717 19062 6011 3662 33452 2978 449 36879 260 39656 5446 20718 6219 3657 36040 2915 439 39394 262 4219 estab. 38457 4348 18107 6052 3933 32440 3608 960 37008 1449 38926 5106 18309 5920 3728 33063 3484 953 37500 1426 40229 5362 18993 6073 3855 34283 3535 981 38799 1430 39612 4722 19096 6085 3819 33722 3485 1002 38209 1403 42245 5448 20746 6305 3852 36351 3529 943 40823 1422 4219 empl. 346387 0 37158 39037 49926 126121 105150 53063 284334 62053 335853 0 37404 38126 47328 122858 101965 51086 275909 59944 354994 0 38954 39128 49062 127144 107311 51878 286333 68661 347384 0 39021 39104 48831 126956 106221 52053 285230 62154 340914 0 42203 40533 48965 131701 102693 51120 285514 55400 4219 ann. pay. 11471021 171483 1076737 1108242 1506950 3863412 3295572 1867499 9026483 2444538 11692182 204257 1120058 1181475 1497034 4002824 3394100 1876100 9273024 2419158 12926488 212787 1233253 1241108 1637889 4325037 3771123 1970760 10066920 2859568 12855056 175163 1242974 1252698 1617690 4288525 3780713 1976047 10045285 2809771 12990980 206039 1361058 1353375 1712552 4633024 3814696 2047642 10495362 2495618 4219 rec. 173620000 2715492 23341457 18456851 18857158 63370958 36415172 27561490 127347620 46272380 4221 firms 12275 862 5814 2283 1583 10542 1345 241 12128 147 11957 850 5632 2222 1505 10209 1366 245 11820 137 11678 846 5403 2226 1452 9927 1353 259 11539 139 11243 821 5149 2131 1421 9522 1324 254 11100 143 10976 908 5084 2016 1318 9326 1258 256 10840 136 4221 estab. 15872 872 5821 2308 1694 10695 1735 756 13186 2686 15368 853 5641 2251 1605 10350 1730 747 12827 2541 14920 848 5414 2254 1542 10058 1689 786 12533 2387 14430 821 5160 2162 1512 9655 1703 755 12113 2317 13670 908 5090 2063 1405 9466 1609 784 11859 1811 4221 empl. 227521 0 12206 15030 21218 48454 48008 24921 121383 106138 228588 0 11902 14667 20186 46755 48649 26632 122036 106552 231535 0 11360 14755 19479 45594 48807 28491 122892 108643 225894 0 10897 14035 19172 44104 47960 28491 120555 105339 208781 0 10618 13282 17617 41517 44657 27820 113994 94787 4221 ann. pay. 8304389 40112 432301 516558 789205 1778176 1795712 1109075 4682963 3621426 8331851 51208 439522 526494 766854 1784078 1910809 1191280 4886167 3445684 8868579 34759 434496 550385 750887 1770527 1978503 1297184 5046214 3822365 8880210 36396 414418 529094 731750 1711658 1962183 1298206 4972047 3908163 8227705 42241 403939 509433 696196 1651809 1847488 1279655 4778952 3448753 4221 rec. 120337242 493699 5537425 5881093 6699224 18611441 16969566 14436266 50017273 70319969 4222 firms 6382 723 2907 1021 659 5310 706 194 6210 172 6115 671 2757 975 651 5054 701 188 5943 172 5948 627 2649 954 661 4891 699 176 5766 182 5755 588 2559 943 612 4702 699 174 5575 180 5936 750 2628 952 597 4927 651 167 5745 191 4222 estab. 8124 723 2910 1027 675 5335 785 349 6469 1655 7510 672 2758 981 664 5075 767 297 6139 1371 7418 628 2651 958 671 4908 774 275 5957 1461 7189 589 2559 953 620 4721 755 289 5765 1424 7243 751 2630 956 617 4954 716 273 5943 1300 4222 empl. 194864 0 5994 6796 8793 21583 26407 25298 73288 121576 199759 0 5655 6409 8606 20670 26034 26470 73174 126585 210418 0 5408 6341 8673 20422 26504 25533 72459 137959 234917 0 5296 6207 8077 19580 27215 26161 72956 161961 218150 0 5366 6295 7871 19532 24067 23304 66903 151247 4222 ann. pay. 9320121 53335 217033 243646 322343 836357 1007456 1088959 2932772 6387349 10054870 57924 218172 236311 355451 867858 1082697 1109368 3059923 6994947 11979927 138141 217170 264101 348565 967977 1134676 1237040 3339693 8640234 13695588 50176 225652 258156 364941 898925 1204193 1309523 3412641 10282947 12776342 189890 221052 280284 381168 1072394 1095193 1337255 3504842 9271500 4222 rec. 366325768 2389055 3554125 3441497 4059931 13444608 12749125 24459480 50653213 315672555 4223 firms 19339 2490 9594 3117 1861 17062 1700 371 19133 206 18998 2459 9486 3030 1816 16791 1644 368 18803 195 18722 2375 9337 2918 1873 16503 1676 367 18546 176 18161 2231 9111 2725 1847 15914 1711 366 17991 170 17708 2398 8933 2636 1705 15672 1537 345 17554 154 4223 estab. 20661 2495 9606 3137 1914 17152 1973 710 19835 826 20284 2472 9500 3054 1868 16894 1893 682 19469 815 20027 2390 9358 2944 1923 16615 1907 728 19250 777 19471 2232 9130 2742 1894 15998 1967 744 18709 762 19031 2399 8945 2671 1770 15785 1859 668 18312 719 4223 empl. 209301 0 19579 20347 24697 64623 60870 40873 166366 42935 208649 0 19414 19735 24036 63185 59237 40424 162846 45803 214141 0 19161 19054 24962 63177 61887 41267 166331 47810 212432 0 18822 17832 24622 61276 62765 41535 165576 46856 200838 0 18438 17203 22812 58453 56533 37476 152462 48376 4223 ann. pay. 8265640 120684 653698 643788 826660 2244830 2197449 1587252 6029531 2236109 8360952 129899 669763 656094 834994 2290750 2239030 1620309 6150089 2210863 8948501 117734 692552 656308 900604 2367198 2496781 1727180 6591159 2357342 9038390 109645 683897 615518 897274 2306334 2583191 1749218 6638743 2399647 9281711 160691 670784 648516 924207 2404198 2612816 1816364 6833378 2448333 4223 rec. 122651905 2127782 12187007 9229512 9804784 33349085 27641806 19550965 80541856 42110049 4224 firms 34796 3452 14806 6046 4449 28753 4619 971 34343 453 33829 3192 14413 5838 4396 27839 4589 932 33360 469 33040 3086 13976 5674 4338 27074 4551 964 32589 451 32398 3146 13565 5554 4218 26483 4508 977 31968 430 31946 3471 13504 5260 4032 26267 4297 960 31524 422 4224 estab. 41448 3452 14830 6110 4597 28989 5236 1839 36064 5384 40568 3201 14437 5896 4557 28091 5162 1748 35001 5567 39721 3098 13999 5737 4487 27321 5055 1781 34157 5564 39206 3151 13599 5616 4353 26719 5013 1768 33500 5706 38550 3475 13518 5328 4193 26514 4893 1872 33279 5271 4224 empl. 855776 0 30933 39911 60238 131082 177279 132814 441175 414601 876175 0 29972 38565 59455 127992 177418 127839 433249 442926 874524 0 29284 37482 58698 125464 175108 136687 437259 437265 871071 0 28260 36792 57157 122209 173461 140832 436502 434569 861427 0 28046 34833 54617 117496 166058 135078 418632 442795 4224 ann. pay. 28325478 140637 909518 1181065 1738526 3969746 5284383 4144373 13398502 14926976 30070803 175672 919279 1194773 1801922 4091646 5426872 4061049 13579567 16491236 31568378 150978 921823 1204807 1836454 4114062 5610447 4485135 14209644 17358734 32955573 159469 937403 1224589 1887037 4208498 5695211 4708579 14612288 18343285 32673197 163870 943353 1205891 1878812 4191926 5710404 4741935 14644265 18028932 4224 rec. 655053376 3097986 23141474 26117051 36371055 88727566 90449395 76648841 255825802 399227574 4225 firms 6835 473 2447 1438 1089 5447 1193 126 6766 69 6606 523 2343 1373 1016 5255 1150 138 6543 63 6465 524 2296 1344 978 5142 1110 150 6402 63 6268 475 2262 1289 952 4978 1081 149 6208 60 5833 437 2110 1137 902 4586 1043 147 5776 57 4225 estab. 10044 473 2461 1512 1337 5783 2175 719 8677 1367 9760 527 2356 1446 1260 5589 2085 768 8442 1318 9546 525 2318 1415 1200 5458 1986 827 8271 1275 9286 489 2281 1369 1173 5312 1939 817 8068 1218 8769 448 2120 1203 1095 4866 1975 822 7663 1106 4225 empl. 95394 0 5579 9456 14367 29402 39253 10357 79012 16382 92219 0 5298 9040 13354 27692 38385 10966 77043 15176 91987 0 5143 8829 12937 26909 37462 12158 76529 15458 90547 0 5135 8536 12587 26258 36086 12877 75221 15326 84004 0 4774 7526 12172 24472 34662 11875 71009 12995 4225 ann. pay. 2377129 19604 146281 234549 313990 714424 770851 314007 1799282 577847 2395925 23952 142241 230056 297853 694102 794211 349466 1837779 558146 2483393 22369 146751 226438 308967 704525 780485 396696 1881706 601687 2553904 23023 149911 231072 314657 718663 793901 428275 1940839 613065 2362002 14947 140730 207617 302385 665679 792981 416317 1874977 487025 4225 rec. 117841512 574114 7662411 7482310 11812896 27531731 31052964 19853522 78438217 39403295 4226 firms 11618 968 5567 2007 1351 9893 1186 260 11339 279 11310 895 5441 1905 1347 9588 1187 258 11033 277 11018 911 5142 1894 1333 9280 1197 272 10749 269 10689 872 4971 1839 1281 8963 1198 274 10435 254 10587 973 4930 1806 1230 8939 1152 268 10359 228 4226 estab. 15790 968 5581 2047 1467 10063 1722 865 12650 3140 15410 900 5462 1945 1451 9758 1697 853 12308 3102 15293 911 5166 1930 1437 9444 1681 900 12025 3268 15819 874 4993 1869 1373 9109 1690 923 11722 4097 15570 973 4947 1843 1335 9098 1749 874 11721 3849 4226 empl. 164427 0 11464 13096 18096 42656 39246 19979 101881 62546 159824 0 11279 12430 18023 41732 39817 19933 101482 58342 166400 0 10794 12346 17821 40961 40228 22919 104108 62292 164259 0 10348 12010 17104 39462 40844 21915 102221 62038 156828 0 10269 11860 16313 38442 38790 20286 97518 59310 4226 ann. pay. 7560584 48124 489393 542063 771798 1851378 1675937 808430 4335745 3224839 7697921 56030 504034 528212 800066 1888342 1755351 877052 4520745 3177176 8251215 47453 494678 548668 812664 1903463 1839028 1021341 4763832 3487383 8251859 50611 478725 536712 780920 1846968 1891774 987735 4726477 3525382 8025340 58474 458386 550826 774103 1841789 1866008 958895 4666692 3358648 4226 rec. 117983393 798877 6842796 6571766 7139629 21353068 16899487 12311094 50563649 67419744 4227 firms 7867 334 2359 1547 1316 5556 1680 449 7685 182 7685 351 2280 1518 1266 5415 1629 464 7508 177 7445 312 2223 1465 1270 5270 1542 460 7272 173 7177 329 2119 1410 1199 5057 1512 448 7017 160 6910 336 2061 1326 1159 4882 1434 436 6752 158 4227 estab. 11251 334 2370 1595 1459 5758 2271 907 8936 2315 11160 353 2291 1565 1395 5604 2189 953 8746 2414 10662 314 2233 1509 1402 5458 2055 968 8481 2181 10375 335 2129 1456 1342 5262 2014 998 8274 2101 9806 341 2069 1365 1304 5079 1964 951 7994 1812 4227 empl. 134064 0 5402 10116 16407 31925 44190 24330 100445 33619 134052 0 5210 9994 15640 30844 43345 25855 100044 34008 131990 0 5020 9444 15844 30308 41762 26186 98256 33734 128900 0 4821 9115 15068 29004 41490 25482 95976 32924 121984 0 4718 8713 14395 27826 38291 25407 91524 30460 4227 ann. pay. 4757503 19357 178499 296505 498813 993174 1321174 774581 3088929 1668574 4918105 19940 161465 301527 504372 987304 1357246 816488 3161038 1757067 5222859 16500 162390 305450 525332 1009672 1396268 848993 3254933 1967926 5579154 22304 171661 304331 551436 1049732 1504167 878625 3432524 2146630 5214008 19375 167170 287836 517558 991939 1504611 865123 3361673 1852335 4227 rec. 317499567 650140 7090756 8698983 17225512 33665391 62797916 24588436 121051743 196447824 4228 firms 3837 252 963 515 602 2332 1144 306 3782 55 3789 266 976 493 584 2319 1098 314 3731 58 3735 282 973 465 525 2245 1092 340 3677 58 3688 289 983 442 517 2231 1055 342 3628 60 3556 276 951 482 442 2151 1009 331 3491 65 4228 estab. 4795 253 964 529 636 2382 1355 603 4340 455 4720 272 981 497 611 2361 1286 615 4262 458 4630 283 976 468 549 2276 1282 636 4194 436 4566 293 988 446 535 2262 1236 618 4116 450 4377 276 954 490 457 2177 1153 633 3963 414 4228 empl. 151008 0 2086 3506 8428 14020 49843 51475 115338 35670 152969 0 2097 3330 8114 13541 48120 53502 115163 37806 157259 0 2089 3153 7242 12484 47835 57183 117502 39757 160630 0 2176 2997 7125 12298 46832 57814 116944 43686 163239 0 2083 3212 6194 11489 45154 57832 114475 48764 4228 ann. pay. 5940134 18981 59591 109760 284827 473159 1809803 2054809 4337771 1602363 6329881 32199 69395 105005 290011 496610 1809432 2199545 4505587 1824294 6762053 32525 68539 104679 260718 466461 1863489 2406737 4736687 2025366 7130387 52517 75490 109028 268668 505703 1844037 2494291 4844031 2286356 7348325 43747 73303 119845 246433 483328 1865139 2555179 4903646 2444679 4228 rec. 87988670 635117 1058580 1450212 2962013 6105922 18429511 30247467 54782900 33205770 4229 firms 30023 4289 14464 4755 2820 26328 2652 660 29640 383 30217 4159 14665 4826 2850 26500 2685 661 29846 371 30491 4137 14678 4924 2987 26726 2723 671 30120 371 30311 3852 14559 4983 3116 26510 2756 690 29956 355 32018 4384 15748 5031 3071 28234 2815 631 31680 338 4229 estab. 34903 4299 14485 4794 2971 26549 3578 1684 31811 3092 35197 4162 14690 4864 3005 26721 3526 1664 31911 3286 35436 4151 14703 4969 3120 26943 3501 1741 32185 3251 35147 3858 14582 5034 3244 26718 3527 1828 32073 3074 36925 4393 15766 5093 3249 28501 3718 1704 33923 3002 4229 empl. 386167 0 29262 31013 37212 97487 90081 67047 254615 131552 391874 0 29436 31447 37185 98068 92789 67342 258199 133675 409158 0 29682 32113 39183 100978 95381 71889 268248 140910 419959 0 29406 32415 40769 102590 96207 76756 275553 144406 401308 0 32081 32876 40375 105332 99096 66897 271325 129983 4229 ann. pay. 12173482 155122 794004 822138 1058525 2829789 2569600 2068352 7467741 4705741 13053792 157592 840151 873001 1082788 2953532 2791369 2162058 7906959 5146833 14284837 184040 879652 924204 1182813 3170709 3007675 2428420 8606804 5678033 14617904 168492 881715 964638 1244355 3259200 3063632 2553665 8876497 5741407 14222723 162248 958286 1017562 1286074 3424170 3288201 2463689 9176060 5046663 4229 rec. 252199787 2116668 14658153 13000280 14208209 43983310 37542528 48601418 130127256 122072531 4411 firms 46639 4072 16912 5615 4817 31416 13064 2043 46523 116 46573 4478 16815 5594 4650 31537 12782 2141 46460 113 47229 4498 17136 5760 4713 32107 12677 2325 47109 120 47951 4661 17696 5854 4704 32915 12581 2339 47835 116 47912 4557 18044 5700 4638 32939 12357 2482 47778 134 4411 estab. 49893 4079 16924 5656 4940 31599 13938 3162 48699 1194 50115 4505 16835 5644 4765 31749 13596 3335 48680 1435 50878 4507 17162 5809 4830 32308 13429 3497 49234 1644 51632 4672 17720 5906 4806 33104 13310 3541 49955 1677 52049 4560 18062 5789 4782 33193 13310 3762 50265 1784 4411 empl. 1151397 0 35049 36541 67299 138889 592379 319327 1050595 100802 1175181 0 35016 36616 64714 136346 584685 333582 1054613 120568 1222104 0 35849 37511 65547 138907 585522 364181 1088610 133494 1225419 0 36924 38241 65138 140303 577801 367160 1085264 140155 1259213 0 37996 37210 64479 139685 573480 394068 1107233 151980 4411 ann. pay. 41435550 345054 717060 851191 1785250 3698555 21159597 12576202 37434354 4001196 45181287 452303 761974 905014 1854664 3973955 22040070 14062330 40076355 5104932 47836711 434369 789177 927849 1848874 4000269 22348220 15593121 41941610 5895101 50161556 486100 860353 986210 1931968 4264631 23222491 16671794 44158916 6002640 51330458 480980 886236 1004574 1936125 4307915 23090481 17532271 44930667 6399791 4411 rec. 693062853 9480841 18413301 15340632 28536542 71771316 307852316 219560219 599183851 93879002 4412 firms 12981 1273 5364 2988 2134 11759 1129 77 12965 16 13118 1405 5194 2978 2196 11773 1246 77 13096 22 13491 1432 5286 2935 2306 11959 1420 94 13473 18 13902 1545 5473 3002 2254 12274 1514 95 13883 19 14982 1688 6124 3135 2248 13195 1667 95 14957 25 4412 estab. 13874 1274 5369 3025 2244 11912 1437 195 13544 330 14081 1406 5202 3008 2301 11917 1544 172 13633 448 14514 1437 5296 2961 2403 12097 1721 217 14035 479 14922 1549 5483 3023 2342 12397 1782 241 14420 502 16224 1688 6128 3167 2366 13349 2059 284 15692 532 4412 empl. 107073 0 12069 19835 28263 60167 34750 7450 102367 4706 114827 0 11737 19668 29195 60600 39159 7015 106774 8053 126933 0 11886 19471 30824 62181 45343 10158 117682 9251 131434 0 12287 19839 30325 62451 49070 10773 122294 9140 140296 0 13820 20830 30194 64844 55160 10390 130394 9902 4412 ann. pay. 2970483 48713 258216 455674 761053 1523656 1102094 249901 2875651 94832 3394498 60078 265630 476272 827002 1628982 1308648 237517 3175147 219351 3832425 61920 275312 471435 900060 1708727 1524760 358261 3591748 240677 4026196 65462 291222 500093 894982 1751759 1654320 362528 3768607 257589 4523339 71776 336638 543092 926405 1877911 1976362 371939 4226212 297127 4412 rec. 48739073 1097980 4402544 5977641 9411688 20889853 19107142 3963770 43960765 4778308 4413 firms 36474 2420 15489 9716 5515 33140 2807 405 36352 122 35636 2580 15052 9296 5403 32331 2781 399 35511 125 35184 2710 14772 9099 5389 31970 2699 393 35062 122 34963 2745 15020 8879 5197 31841 2623 382 34846 117 34092 2762 14826 8634 4918 31140 2471 373 33984 108 4413 estab. 59652 2442 15524 9911 6294 34171 6039 3338 43548 16104 59659 2605 15112 9512 6148 33377 5776 3578 42731 16928 59072 2731 14843 9328 6049 32951 5509 2938 41398 17674 59174 2758 15094 9139 5884 32875 5331 2785 40991 18183 58371 2771 14861 8826 5627 32085 5154 2978 40217 18154 4413 empl. 498778 0 36208 64244 71131 171583 89787 43657 305027 193751 513657 0 35320 61397 69793 166510 89999 40853 297362 216295 517256 0 34435 59852 69611 163898 88631 38926 291455 225801 493365 0 34806 58694 67224 160724 86183 38418 285325 208040 491407 0 34604 56839 63657 155100 79499 36620 271219 220188 4413 ann. pay. 11146357 77477 657509 1308607 1591604 3635197 2277319 1177511 7090027 4056330 11641638 81482 669410 1289942 1599833 3640667 2313465 1081061 7035193 4606445 12204745 153529 658079 1283026 1625815 3720449 2331631 1088426 7140506 5064239 12431652 88753 694069 1306168 1614300 3703290 2368727 1093523 7165540 5266112 12143035 81102 701744 1311119 1588037 3682002 2225740 1065882 6973624 5169411 4413 rec. 71406981 605350 5093331 7286863 8061036 21046580 12797050 6480206 40323836 31083145 4421 firms 21728 1984 8754 5411 3318 19467 1903 262 21632 96 21591 1848 8781 5271 3331 19231 2005 262 21498 93 21682 1954 8620 5232 3460 19266 2045 281 21592 90 22091 2015 8788 5348 3470 19621 2088 286 21995 96 21464 2188 8403 5148 3371 19110 1994 264 21368 96 4421 estab. 29723 1995 8789 5579 3859 20222 3721 1782 25725 3998 29574 1869 8828 5429 3829 19955 3772 1867 25594 3980 29720 1970 8679 5396 3927 19972 3658 1947 25577 4143 29920 2025 8841 5509 3927 20302 3602 1922 25826 4094 29478 2194 8426 5312 3944 19876 3777 2113 25766 3712 4421 empl. 267041 0 20150 35719 43299 99168 61541 31970 192679 74362 270455 0 20298 34920 43594 98812 65686 34085 198583 71872 284060 0 19988 34667 45581 100236 68555 36992 205783 78277 278231 0 20153 35165 45601 100919 69628 38284 208831 69400 262634 0 19672 34134 44471 98277 65528 35072 198877 63757 4421 ann. pay. 6395872 55975 369734 726108 1001650 2153467 1615844 913043 4682354 1713518 6966887 62571 402672 745964 1054681 2265888 1801660 1073605 5141153 1825734 7472696 64226 402525 752643 1134876 2354270 1948857 1188656 5491783 1980913 7467822 66712 414856 772162 1140770 2394500 1972966 1180778 5548244 1919578 7382786 79106 405627 784100 1160788 2429621 1918830 1097345 5445796 1936990 4421 rec. 52532504 709426 3570140 5317758 6989671 16586995 11589212 8203168 36379375 16153129 4422 firms 26629 2464 13838 5875 2796 24973 1389 167 26529 100 26484 2631 13493 5810 2827 24761 1451 180 26392 92 26771 2733 13450 5925 2905 25013 1489 177 26679 92 27649 2854 14045 6043 2985 25927 1456 171 27554 95 28442 3059 14640 6100 2949 26748 1435 171 28354 88 4422 estab. 34722 2476 13871 5986 3204 25537 2774 1093 29404 5318 34684 2639 13521 5925 3210 25295 2746 1202 29243 5441 35122 2850 13481 6040 3237 25608 2749 1152 29509 5613 35846 2860 14082 6179 3353 26474 2598 975 30047 5799 36882 3061 14655 6241 3411 27368 2732 1080 31180 5702 4422 empl. 242697 0 30434 38017 35887 104338 43313 14022 161673 81024 254887 0 29844 37769 36433 104046 45347 16752 166145 88742 265124 0 29871 38509 37444 105824 47594 15263 168681 96443 289087 0 31146 39443 38288 108877 46383 16676 171936 117151 288933 0 33055 39714 37805 110574 44410 16916 171900 117033 4422 ann. pay. 4882597 57803 563916 784233 836439 2242391 1137922 314064 3694377 1188220 5440836 70815 587291 821069 911689 2390864 1260107 414510 4065481 1375355 5883416 70917 606899 875934 979078 2532828 1433166 403715 4369709 1513707 6176310 92278 647920 907230 1029023 2676451 1418651 466242 4561344 1614966 6381968 93960 683318 954832 1058382 2790492 1396267 531035 4717794 1664174 4422 rec. 44540622 859109 5513451 5844048 5825329 18041937 7521311 3291716 28854964 15685658 4431 firms 32389 4182 15690 6992 3441 30305 1750 201 32256 133 32113 3904 15646 7000 3434 29984 1804 198 31986 127 32252 4013 15541 6941 3552 30047 1846 221 32114 138 33764 4584 16459 6958 3507 31508 1879 235 33622 142 34012 4688 16950 6725 3468 31831 1834 229 33894 118 4431 estab. 45235 4188 15746 7182 3953 31069 3139 998 35206 10029 45167 3937 15704 7165 3907 30713 3068 1088 34869 10298 45592 4044 15608 7123 4020 30795 2933 1096 34824 10768 47747 4603 16533 7171 3976 32283 2934 1452 36669 11078 49600 4711 17020 6943 4076 32750 3435 1827 38012 11588 4431 empl. 361907 0 35399 45431 44312 125142 54654 18380 198176 163731 384264 0 34957 45648 44205 124810 57118 18902 200830 183434 407321 0 34588 45213 46140 125941 59606 23719 209266 198055 425736 0 36414 45290 45516 127220 60525 26804 214549 211187 418725 0 37830 43876 45158 126864 58597 22582 208043 210682 4431 ann. pay. 8575213 142648 671944 935524 1094948 2845064 1654571 636382 5136017 3439196 9573004 151099 700382 1009950 1147220 3008651 1851809 703866 5564326 4008678 11236630 142555 706616 1018616 1236958 3104745 2050184 1091597 6246526 4990104 11593224 151263 758733 1026002 1272527 3208525 2074120 1137695 6420340 5172884 11608791 168216 776325 1042834 1255462 3242837 2093332 861588 6197757 5411034 4431 rec. 92280756 1408544 5691210 6224857 6947106 20271717 11491484 5788203 37551404 54729352 4441 firms 51011 3188 18759 12483 8896 43326 6565 865 50756 255 50487 3414 18407 12159 8734 42714 6611 903 50228 259 50275 3621 18118 11883 8771 42393 6705 908 50006 269 50883 3657 18682 11975 8804 43118 6611 898 50627 256 50304 3711 18612 11806 8623 42752 6445 872 50069 235 4441 estab. 71506 3191 18788 12631 9652 44262 10704 4425 59391 12115 71238 3430 18436 12326 9442 43634 10537 4532 58703 12535 70931 3658 18157 12066 9388 43269 10308 4375 57952 12979 71851 3682 18716 12184 9428 44010 10059 4509 58578 13273 71747 3753 18636 11988 9341 43718 10160 4493 58371 13376 4441 empl. 963574 0 44144 83106 117764 245014 225608 100055 570677 392897 1012190 0 42930 80959 116183 240072 227107 108457 575636 436554 1055242 0 42111 79045 116837 237993 232640 108213 578846 476396 1062400 0 43086 79623 117354 240063 227394 108402 575859 486541 1091562 0 43734 78664 115073 237471 220201 105714 563386 528176 4441 ann. pay. 24256684 144998 923872 1854324 2912592 5835786 6589892 3004105 15429783 8826901 26376156 119018 956481 1899218 2990309 5965026 6896783 3390646 16252455 10123701 28421726 214766 951977 1886057 3056302 6109102 7194888 3484566 16788556 11633170 30336726 130858 1008092 1996269 3214993 6350212 7245960 3650201 17246373 13090353 30836414 149307 1035136 2031573 3247664 6463680 7191233 3652100 17307013 13529401 4441 rec. 252208178 1336641 8081015 13329809 20335540 43083005 46965081 28101937 118150023 134058155 4442 firms 17520 1714 7490 4009 2400 15613 1631 213 17457 63 17253 1660 7255 3920 2455 15290 1672 224 17186 67 17224 1649 7005 3932 2568 15154 1753 249 17156 68 18592 1911 7670 4140 2700 16421 1871 241 18533 59 18586 2217 7513 4109 2650 16489 1803 234 18526 60 4442 estab. 21283 1715 7503 4080 2605 15903 2511 786 19200 2083 21055 1664 7267 3992 2661 15584 2509 834 18927 2128 21017 1651 7024 3990 2765 15430 2564 937 18931 2086 22284 1933 7696 4227 2871 16727 2675 922 20324 1960 22362 2218 7523 4178 2894 16813 2739 984 20536 1826 4442 empl. 167626 0 17020 26511 30871 74402 49661 15614 139677 27949 171506 0 16430 25971 31811 74212 51978 17220 143410 28096 180145 0 15881 26122 33531 75534 55018 20038 150590 29555 186726 0 17180 27298 35224 79702 59148 20610 159460 27266 179174 0 17116 26857 34702 78675 56246 20296 155217 23957 4442 ann. pay. 3520210 49725 316927 510559 661891 1539102 1091979 364707 2995788 524422 3803613 45354 314726 519686 707275 1587041 1190946 411606 3189593 614020 4028557 47844 306796 515822 742607 1613069 1266574 499328 3378971 649586 4364413 60086 354910 560155 809408 1784559 1404157 520946 3709662 654751 4313058 69733 346425 568743 809695 1794596 1405029 512651 3712276 600782 4442 rec. 36227117 569203 3078863 4312919 5699322 13660307 10056774 4895143 28612224 7614893 4451 firms 68126 7948 30396 11823 8007 58174 8063 1469 67706 420 68687 8816 30644 11713 7854 59027 7817 1442 68286 401 70211 9205 31202 12069 8099 60575 7831 1417 69823 388 71672 9743 32315 12100 8090 62248 7688 1336 71272 400 69694 9770 32019 11310 7604 60703 7324 1271 69298 396 4451 estab. 96260 7956 30426 11885 8253 58520 9541 4438 72499 23761 97431 8834 30713 11795 8097 59439 9165 4267 72871 24560 98275 9246 31243 12195 8322 61006 9122 3982 74110 24165 99357 9748 32348 12200 8326 62622 8934 3755 75311 24046 97166 9774 32048 11376 7833 61031 8476 3912 73419 23747 4451 empl. 2689076 0 65396 78213 106407 250016 313671 233610 797297 1891779 2743237 0 65893 77455 105203 248551 304836 230479 783866 1959371 2716868 0 67199 79786 107926 254911 305736 226133 786780 1930088 2665804 0 69551 79959 108374 257884 301276 214699 773859 1891945 2569351 0 69884 74220 101553 245657 288687 206975 741319 1828032 4451 ann. pay. 39748761 189266 731830 815249 1165613 2901958 3963591 3275038 10140587 29608174 41868408 250722 782552 855701 1184673 3073648 3956413 3277254 10307315 31561093 43971989 247892 831016 898927 1246797 3224632 4026225 3362755 10613612 33358377 44633110 261741 897264 938309 1294658 3391972 4140970 3297241 10830183 33802927 44879366 248465 918232 900529 1251101 3318327 4117368 3297351 10733046 34146320 4451 rec. 418033504 3153787 13022161 10486736 12411266 39073950 34953994 28011986 102039930 315993574 4452 firms 19025 3421 8911 3556 1880 17768 1068 131 18967 58 20286 4173 9074 3675 2010 18932 1150 141 20223 63 22172 4460 9860 4084 2269 20673 1297 136 22106 66 22727 4323 10290 4309 2310 21232 1288 142 22662 65 23953 4520 10559 4497 2666 22242 1505 140 23887 66 4452 estab. 23647 3425 8947 3625 2046 18043 1717 752 20512 3135 25926 4204 9111 3751 2155 19221 1725 871 21817 4109 27753 4471 9917 4143 2403 20934 1852 1435 24221 3532 28209 4331 10330 4370 2465 21496 1792 1419 24707 3502 29345 4527 10577 4545 2798 22447 2024 811 25282 4063 4452 empl. 125616 0 19528 23264 24068 66860 30801 9807 107468 18148 140858 0 19876 23996 25921 69793 33514 11330 114637 26221 153855 0 21600 26705 29536 77841 38347 11078 127266 26589 161785 0 22495 28242 29936 80673 39086 11825 131584 30201 176845 0 23750 29414 34802 87966 44779 12568 145313 31532 4452 ann. pay. 1687278 67979 241080 271249 285069 865377 408663 144301 1418341 268937 2110471 89463 258971 286560 321396 956390 440479 170331 1567200 543271 2358060 98305 287521 322809 370134 1078769 517375 178570 1774714 583346 2549756 92967 315286 360412 384273 1152938 551272 223721 1927931 621825 2987390 118962 343313 395226 466222 1323723 644690 236027 2204440 782950 4452 rec. 17824220 1096384 3451838 3012651 2932134 10493007 3652523 1446696 15592226 2231994 4453 firms 24830 2107 14314 5473 2074 23968 721 91 24780 50 24945 2306 14261 5454 2043 24064 740 92 24896 49 25305 2595 14214 5474 2105 24388 787 85 25260 45 25563 2666 14253 5539 2185 24643 782 96 25521 42 25985 2748 14468 5706 2178 25100 746 92 25938 47 4453 estab. 27880 2121 14343 5573 2325 24362 1401 622 26385 1495 28149 2320 14288 5570 2265 24443 1445 690 26578 1571 28463 2611 14250 5571 2332 24764 1475 692 26931 1532 28695 2668 14306 5638 2380 24992 1456 737 27185 1510 29166 2748 14494 5828 2438 25508 1389 665 27562 1604 4453 empl. 129129 0 31753 35178 25900 92831 20672 7455 120958 8171 130568 0 31635 35142 25582 92359 21446 8018 121823 8745 133687 0 31264 35340 26412 93016 23439 8524 124979 8708 136212 0 31522 35792 27459 94773 23166 9663 127602 8610 137801 0 32994 36773 27397 97164 22058 8268 127490 10311 4453 ann. pay. 1820912 30064 406227 418489 337653 1192433 325318 138815 1656566 164346 1941068 39269 424395 450899 346125 1260688 353415 152622 1766725 174343 2065456 42484 444011 470365 371911 1328771 394245 164126 1887142 178314 2153921 46916 464563 488083 401917 1401479 393422 181480 1976381 177540 2197746 60768 481806 521042 405583 1469199 376692 140388 1986279 211467 4453 rec. 28554782 874215 7891121 6215491 4394104 19374931 3884285 1912626 25171842 3382940 4461 firms 44128 3780 18514 11655 6625 40574 2945 271 43790 338 43583 3826 18422 11271 6465 39984 3006 260 43250 333 43408 3818 18316 10967 6636 39737 3069 268 43074 334 43927 4117 18602 10835 6652 40206 3099 281 43586 341 42643 3864 18179 10341 6490 38874 3169 274 42317 326 4461 estab. 82749 3808 18620 12079 7690 42197 5803 2089 50089 32660 82392 3972 18542 11670 7475 41659 5563 1865 49087 33305 81189 3852 18466 11358 7562 41238 5452 1765 48455 32734 81898 4137 18752 11249 7558 41696 5285 1881 48862 33036 82574 3869 18255 10751 7455 40330 5816 1820 47966 34608 4461 empl. 940248 0 43069 77186 86775 207030 92593 27998 327621 612627 938245 0 42784 74652 84347 201783 94915 26351 323049 615196 913896 0 42488 72785 86766 202039 98169 26512 326720 587176 958072 0 42599 72188 87187 201974 99421 28815 330210 627862 988347 0 42168 68715 85102 195985 102040 29158 327183 661164 4461 ann. pay. 16126345 112580 848641 1492536 1659328 4113085 1822741 595291 6531117 9595228 17760222 168572 877555 1526842 1714445 4287414 1987472 625850 6900736 10859486 19281152 124461 908592 1564471 1877303 4474827 2172274 664834 7311935 11969217 20634666 165053 951871 1639766 1994827 4751517 2382504 737228 7871249 12763417 22217762 134910 966684 1698840 2086520 4886954 2586697 810522 8284173 13933589 4461 rec. 186448806 1288638 8877890 14259776 16797543 41223847 17395840 5022517 63642204 122806602 4471 firms 70411 5565 28566 18358 11090 63579 5609 998 70186 225 68002 5399 27641 17382 10865 61287 5491 995 67773 229 66482 5701 27002 16809 10358 59870 5358 1032 66260 222 65511 5959 26997 16164 9922 59042 5247 990 65279 232 64068 6178 26474 15664 9585 57901 5027 902 63830 238 4471 estab. 123937 5610 28620 18633 12221 65084 13461 13075 91620 32317 121095 5506 27776 17759 11962 63003 12804 12820 88627 32468 119648 5795 27168 17231 11375 61569 11985 13183 86737 32911 118892 5991 27141 16591 10944 60667 11884 12974 85525 33367 117100 6224 26595 15911 10745 59475 11967 12722 84164 32936 4471 empl. 946463 0 68150 122130 141521 331801 179593 128671 640065 306398 930034 0 65474 115331 139064 319869 176185 128314 624368 305666 937083 0 64122 111304 133386 308812 172588 135434 616834 320249 927284 0 63796 106981 127632 298409 168840 128373 595622 331662 895983 0 65106 103577 123394 292077 161026 118923 572026 323957 4471 ann. pay. 12330938 147898 898756 1525997 1782426 4355077 2297964 1667404 8320445 4010493 12825358 153184 922567 1521980 1809509 4407240 2336053 1730551 8473844 4351514 13321764 146126 925277 1507977 1767226 4346606 2316580 1865613 8528799 4792965 13455657 153675 972252 1500069 1735117 4361113 2328268 1818707 8508088 4947569 13471484 173213 981229 1501077 1725285 4380804 2223481 1731865 8336150 5135334 4471 rec. 238083074 3474892 21829603 26087244 24728765 76120504 31687359 29406806 137214669 100868405 4481 firms 43299 4646 23064 8946 3945 40601 2032 381 43014 285 41711 4669 22092 8503 3865 39129 1957 359 41445 266 40987 4792 21273 8476 3860 38401 1978 359 40738 249 41195 5024 21217 8448 3871 38560 2039 349 40948 247 41519 5715 21157 8365 3743 38980 1969 325 41274 245 4481 estab. 92871 4678 23321 9259 4691 41949 4598 3575 50122 42749 91039 4722 22279 8766 4556 40323 4199 3821 48343 42696 89989 4829 21422 8792 4506 39549 4018 3286 46853 43136 91711 5033 21363 8732 4396 39524 4073 2948 46545 45166 93083 5729 21254 8543 4234 39760 4011 3175 46946 46137 4481 empl. 928945 0 50130 58005 50260 158395 63589 43110 265094 663851 943824 0 47947 55238 49637 152822 61759 43358 257939 685885 1015399 0 46594 54883 49584 151061 63407 41805 256273 759126 1033252 0 46142 54806 49678 150626 65447 41539 257612 775640 1045610 0 47022 53947 48354 149323 62127 41254 252704 792906 4481 ann. pay. 12117834 86695 617236 761035 754093 2219059 1021032 656037 3896128 8221706 12973999 100955 634737 768791 776511 2280994 1051889 707006 4039889 8934110 13717538 98221 647584 797012 809926 2352743 1123144 764448 4240335 9477203 14518975 103561 669519 802936 831827 2407843 1142742 768272 4318857 10200118 15397381 120584 685984 822216 811162 2439946 1116001 694879 4250826 11146555 4481 rec. 122165264 1121131 5808956 5250219 4614205 16794511 6277075 4725448 27797034 94368230 4482 firms 7289 476 3633 1747 815 6671 471 87 7229 60 7012 526 3470 1646 780 6422 456 72 6950 62 6845 527 3351 1608 771 6257 466 71 6794 51 6761 562 3249 1610 768 6189 459 63 6711 50 7074 678 3495 1645 710 6528 435 62 7025 49 4482 estab. 29603 478 3660 1851 1086 7075 1480 1318 9873 19730 30042 546 3507 1751 1029 6833 1385 1237 9455 20587 29664 531 3403 1718 1047 6699 1378 1080 9157 20507 28175 564 3298 1736 1034 6632 1224 915 8771 19404 27961 682 3512 1763 964 6921 1140 955 9016 18945 4482 empl. 195504 0 8363 11318 10279 29960 14677 10860 55497 140007 188875 0 8033 10682 9912 28627 14435 9950 53012 135863 185076 0 7759 10476 9644 27879 14908 9647 52434 132642 187624 0 7490 10456 9677 27623 14944 8829 51396 136228 201150 0 8370 10759 9107 28236 13838 8866 50940 150210 4482 ann. pay. 2472505 15260 120893 168006 165821 469980 244423 168380 882783 1589722 2608531 10703 121953 166425 162839 461920 256209 157799 875928 1732603 2611208 10893 126740 169896 170030 477559 275212 156865 909636 1701572 2698873 11909 124434 175797 166911 479051 293720 139482 912253 1786620 2732096 12988 132856 183446 170848 500138 270222 147566 917926 1814170 4482 rec. 22555189 118355 1097879 1180049 993292 3389575 1608500 1071456 6069531 16485658 4483 firms 20145 1851 11757 4247 1552 19407 589 100 20096 49 20249 1940 11788 4235 1560 19523 592 85 20200 49 20490 2070 11660 4390 1626 19746 615 82 20443 47 20779 2122 11896 4381 1657 20056 599 75 20730 49 20583 2255 11919 4162 1564 19900 563 75 20538 45 4483 estab. 30186 1865 11809 4391 1849 19914 1442 1427 22783 7403 30593 1953 11833 4395 1851 20032 1394 1350 22776 7817 31293 2087 11753 4531 1918 20289 1343 1372 23004 8289 31782 2133 11951 4529 1925 20538 1341 1212 23091 8691 30851 2258 11942 4262 1866 20328 1346 1288 22962 7889 4483 empl. 155942 0 25795 27301 19505 72601 18791 12759 104151 51791 160740 0 25904 27271 19722 72897 19303 11712 103912 56828 168190 0 25490 28351 20376 74217 20129 10218 104564 63626 171750 0 25916 28334 20990 75240 19895 9542 104677 67073 162188 0 26327 26966 19804 73097 17627 9669 100393 61795 4483 ann. pay. 3222105 33502 448538 534188 446255 1462483 457962 290253 2210698 1011407 3551638 39731 469239 566303 478869 1554142 510048 269880 2334070 1217568 3871694 43813 471388 608166 512125 1635492 560916 243980 2440388 1431306 3899677 43783 497210 609299 525125 1675417 550844 221460 2447721 1451956 3810455 44584 510903 617892 521764 1695143 525742 240827 2461712 1348743 4483 rec. 25676030 597953 3938922 3693715 2993448 11224038 3034246 1532915 15791199 9884831 4511 firms 34258 4212 17836 6838 3287 32173 1786 190 34149 109 32981 3606 17276 6704 3280 30866 1815 198 32879 102 32156 3617 16255 6729 3373 29974 1885 197 32056 100 31705 3494 16038 6607 3395 29534 1899 172 31605 100 32647 4140 16125 6771 3497 30533 1848 172 32553 94 4511 estab. 45815 4231 17879 6993 3853 32956 3452 1219 37627 8188 44246 3622 17337 6875 3790 31624 3392 1352 36368 7878 43608 3631 16320 6893 3863 30707 3349 1333 35389 8219 43152 3522 16103 6846 3855 30326 3325 986 34637 8515 44279 4149 16171 6939 4028 31287 3418 947 35652 8627 4511 empl. 378358 0 38249 44297 42601 125147 57231 21075 203453 174905 383103 0 37193 43755 42594 123542 59148 21407 204097 179006 388583 0 35344 43852 43715 122911 61681 23345 207937 180646 408743 0 34792 42946 43984 121722 62564 20206 204492 204251 405173 0 35875 44184 45549 125608 59642 18734 203984 201189 4511 ann. pay. 5390658 83526 524676 595907 640143 1844252 971680 322858 3138790 2251868 5660262 79743 537501 621008 672042 1910294 1047726 347130 3305150 2355112 5983497 76680 534220 641720 704126 1956746 1120410 417687 3494843 2488654 6324245 73118 543255 654144 715923 1986440 1166206 363887 3516533 2807712 6497442 86902 561751 690203 756768 2095624 1158161 344887 3598672 2898770 4511 rec. 52513346 797738 4978626 4681171 4608236 15065771 6676497 2129570 23871838 28641508 4512 firms 12168 1311 6444 2370 1124 11249 710 145 12104 64 11600 1097 6208 2268 1103 10676 717 146 11539 61 11318 1111 5959 2269 1088 10427 687 144 11258 60 11155 1060 5968 2128 1123 10279 685 129 11093 62 11265 1213 5930 2161 1120 10424 664 115 11203 62 4512 estab. 22341 1313 6457 2445 1322 11537 1505 1196 14238 8103 21828 1114 6232 2351 1258 10955 1462 1125 13542 8286 21413 1132 5984 2350 1255 10721 1339 1152 13212 8201 21301 1060 5997 2214 1276 10547 1334 1257 13138 8163 21654 1217 5948 2220 1258 10643 1351 1052 13046 8608 4512 empl. 201502 0 13908 15348 14428 43684 24172 17097 84953 116549 206770 0 13284 14663 14031 41978 24463 17250 83691 123079 227654 0 12805 14764 13980 41549 24022 17548 83119 144535 213518 0 12873 13912 14354 41139 23877 16366 81382 132136 212553 0 13020 14035 14403 41458 22591 14529 78578 133975 4512 ann. pay. 2504578 33335 163619 175299 187799 560052 348651 234857 1143560 1361018 2587065 20313 163416 180082 186100 549911 351204 239456 1140571 1446494 2781350 23931 160105 189046 193594 566676 364130 251980 1182786 1598564 2897335 23136 169103 178850 206602 577691 374090 243165 1194946 1702389 2828699 24075 168226 178755 197935 568991 345662 213045 1127698 1701001 4512 rec. 24174083 231528 1383092 1123221 1151876 3889717 2025824 1525228 7440769 16733314 4521 firms 167 49 18 8 3 78 15 24 117 50 141 65 1 1 0 67 10 17 94 47 103 31 0 3 0 34 11 15 60 43 95 19 6 2 0 27 13 15 55 40 406 77 148 66 26 317 32 17 366 40 4521 estab. 10526 49 18 8 3 78 18 29 125 10401 10538 65 1 1 0 67 13 24 104 10434 10428 33 0 3 0 36 14 20 70 10358 10374 19 6 2 0 27 16 125 168 10206 10418 77 148 66 30 321 47 36 404 10014 4521 empl. 1783556 [a] 37 48 [b] [c] [f] [h] 4722 1778834 1730991 0 [a] [a] 0 [a] [f] [h] 3771 1727220 1765852 0 0 23 0 23 658 2899 3580 1762272 1727333 0 [a] [a] 0 29 691 3110 3830 1723503 1742136 0 314 437 337 1088 1343 2771 5202 1736934 4521 ann. pay. 23494257 (D) 487 417 (D) (D) (D) (D) 62723 23431534 25321148 5101 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 64043 25257105 27204111 945 0 514 0 1459 16667 49293 67419 27136692 28631374 547 (D) (D) 0 1130 8645 89438 99213 28532161 29172508 2168 7687 5683 5030 20568 25387 63734 109689 29062819 4521 rec. 274073931 15129 72234 44020 29731 161114 198752 327190 687056 273386875 4529 firms 10510 1450 5203 1992 1039 9684 608 118 10410 100 10589 1262 5408 2044 1021 9735 646 115 10496 93 10632 1322 5377 2002 1052 9753 667 119 10539 93 10369 1173 5300 2002 1046 9521 638 113 10272 97 9315 1335 4516 1685 991 8527 578 119 9224 91 4529 estab. 26231 1451 5214 2009 1125 9799 1001 605 11405 14826 27596 1299 5419 2061 1113 9892 999 556 11447 16149 29211 1337 5387 2027 1127 9878 987 639 11504 17707 30795 1175 5312 2022 1119 9628 960 729 11317 19478 30651 1337 4519 1703 1071 8630 910 682 10222 20429 4529 empl. 695605 [a] 11184 12885 [j] [k] [j] [j] 72825 622780 713547 0 [j] [j] 13403 [k] [j] [j] 75947 637600 760255 0 11723 13024 13676 38423 22410 17078 77911 682344 798641 0 [j] [j] 13589 38044 21712 17043 76799 721842 803958 0 10031 10953 12916 33900 19796 16766 70462 733496 4529 ann. pay. 10164094 (D) 127144 142939 (D) (D) (D) (D) 975717 9188377 11238049 21155 (D) (D) 175302 (D) (D) (D) 1050725 10187324 12565288 26488 149391 155582 179491 510952 331559 260045 1102556 11462732 13607088 26406 (D) (D) 181819 516264 337618 254502 1108384 12498704 14536002 24677 129851 138407 174949 467884 313704 281341 1062929 13473073 4529 rec. 170530920 252792 1308885 1155985 1198909 3916571 2149193 2110957 8176721 162354199 4531 firms 24471 2269 13484 5715 2240 23708 706 42 24456 15 23658 2001 13053 5638 2214 22906 698 35 23639 19 23087 2161 12409 5450 2312 22332 701 38 23071 16 22724 2077 12058 5493 2352 21980 687 41 22708 16 22101 1966 11825 5317 2245 21353 682 49 22084 17 4531 estab. 25634 2270 13492 5802 2482 24046 1147 286 25479 155 24798 2004 13064 5716 2456 23240 1086 182 24508 290 24197 2175 12424 5523 2519 22641 1054 187 23882 315 23870 2095 12070 5573 2559 22297 1015 201 23513 357 23094 1967 11833 5375 2412 21587 1018 249 22854 240 4531 empl. 123263 0 30438 36836 28484 95758 21722 4082 121562 1701 121783 0 29233 36382 28324 93939 21606 3201 118746 3037 122224 0 28175 35365 29468 93008 21707 3590 118305 3919 125116 0 27321 35588 30379 93288 21539 4504 119331 5785 119117 0 27627 34573 28586 90786 21208 5431 117425 1692 4531 ann. pay. 1469027 31535 320694 393526 340904 1086659 295887 59695 1442241 26786 1537594 30262 322758 413784 361737 1128541 305483 48459 1482483 55111 1584096 32318 320586 415308 374573 1142785 314976 63458 1521219 62877 1643813 43369 317338 427109 393934 1181750 311132 75948 1568830 74983 1597080 31925 312614 420179 380186 1144904 317964 101495 1564363 32717 4531 rec. 7314208 199884 1945811 1818846 1431713 5396254 1105077 432935 6934266 379942 4532 firms 33004 4233 16897 6632 3127 30889 1749 233 32871 133 31922 3730 16308 6572 3223 29833 1731 229 31793 129 30967 3555 15588 6493 3232 28868 1728 247 30843 124 30294 3372 15498 6269 3049 28188 1727 254 30169 125 33464 4670 16769 6789 3158 31386 1702 250 33338 126 4532 estab. 44373 4238 16951 6802 3567 31558 3698 1215 36471 7902 43582 3738 16373 6721 3708 30540 3473 1343 35356 8226 43016 3574 15670 6626 3688 29558 3360 1329 34247 8769 42465 3383 15567 6428 3479 28857 3297 1308 33462 9003 45314 4681 16796 6914 3626 32017 3464 1516 36997 8317 4532 empl. 324212 0 36197 43173 39955 119325 53705 17102 190132 134080 338802 0 35280 42727 40998 119005 54235 18288 191528 147274 349554 0 33626 42208 41303 117137 54517 22289 193943 155611 338549 0 33449 40840 38749 113038 54597 21702 189337 149212 334734 0 36496 44219 40250 120965 52659 20809 194433 140301 4532 ann. pay. 4272344 65281 403097 477019 491317 1436714 738109 247399 2422222 1850122 4841680 75049 427231 489959 513547 1505786 777597 294035 2577418 2264262 5246195 67121 416161 498250 536149 1517681 801953 341097 2660731 2585464 5227319 63149 433143 505421 509516 1511229 825311 350810 2687350 2539969 5439333 88445 466900 555624 559143 1670112 830924 373302 2874338 2564995 4532 rec. 42135355 758793 3663021 3420042 3050703 10892559 4449306 2427350 17769215 24366140 4533 firms 14705 1888 9038 2061 796 13783 569 273 14625 80 14379 1462 9066 2106 820 13454 568 266 14288 91 13703 1326 8558 2082 781 12747 591 272 13610 93 13565 1347 8373 2100 794 12614 570 287 13471 94 13967 1570 8481 2112 815 12978 619 284 13881 86 4533 estab. 18220 1889 9053 2103 905 13950 989 1477 16416 1804 18037 1466 9087 2156 913 13622 980 1480 16082 1955 17480 1332 8581 2119 876 12908 970 1525 15403 2077 17436 1348 8394 2147 888 12777 919 1636 15332 2104 17997 1570 8493 2151 918 13132 1096 1657 15885 2112 4533 empl. 105357 0 17811 13046 9950 40807 17029 22630 80466 24891 110496 0 18070 13430 10204 41704 17295 23429 82428 28068 113837 0 17144 13332 9759 40235 17949 24056 82240 31597 115719 0 16668 13328 9970 39966 17709 26028 83703 32016 117587 0 17394 13525 10174 41093 18593 26082 85768 31819 4533 ann. pay. 1387460 25192 209356 164658 146434 545640 239744 278211 1063595 323865 1524819 19983 230760 180185 156259 587187 256605 296861 1140653 384166 1625138 18637 226860 203491 151659 600647 277267 314661 1192575 432563 1698721 18634 230868 200639 163435 613576 271700 347445 1232721 466000 1789399 25359 233918 204305 160795 624377 295350 349363 1269090 520309 4533 rec. 7910526 227149 1872646 1216253 791893 4107941 1129432 1152177 6389550 1520976 4539 firms 36917 5889 18629 7003 3415 34936 1677 211 36824 93 36791 5230 19041 7031 3507 34809 1675 212 36696 95 37661 5439 19333 7167 3659 35598 1746 214 37558 103 37164 4820 19604 7149 3578 35151 1715 201 37067 97 35061 4641 18286 6773 3460 33160 1603 201 34964 97 4539 estab. 44342 5906 18703 7237 4093 35939 3235 1470 40644 3698 44829 5243 19107 7277 4130 35757 3140 1516 40413 4416 46350 5460 19413 7403 4237 36513 3060 1470 41043 5307 45540 4844 19691 7397 4099 36031 3078 1374 40483 5057 43592 4674 18331 7070 4201 34276 3371 1234 38881 4711 4539 empl. 243212 0 39732 45516 43702 128950 49320 16977 195247 47965 257743 0 40423 45640 45193 131256 51158 18936 201350 56393 264046 0 41259 46564 47254 135077 53179 18859 207115 56931 262210 0 41694 46294 46186 134174 51989 17464 203627 58583 251554 0 39874 44004 44618 128496 47934 16283 192713 58841 4539 ann. pay. 4729695 135724 665975 789176 841642 2432517 1021573 328208 3782298 947397 5129063 131268 710549 823555 923978 2589350 1068103 377006 4034459 1094604 5371952 131951 752210 874358 944109 2702628 1114291 373525 4190444 1181508 5307972 115962 785726 869738 974375 2745801 1130787 322032 4198620 1109352 5286317 119800 752440 871576 943661 2687477 1060820 360520 4108817 1177500 4539 rec. 40547122 1207708 7473813 6510842 6473202 21665565 7113785 2652566 31431916 9115206 4541 firms 8956 961 4331 1447 946 7685 816 238 8739 217 9646 1845 4121 1506 886 8358 809 249 9416 230 10628 1780 4545 1741 1075 9141 952 274 10367 261 9900 1280 4451 1631 1048 8410 943 260 9613 287 10800 1747 5083 1602 1007 9439 849 232 10520 280 4541 estab. 9792 961 4333 1455 968 7717 929 301 8947 845 10634 1852 4127 1517 900 8396 918 326 9640 994 11802 1784 4547 1749 1095 9175 1060 346 10581 1221 11086 1285 4455 1642 1075 8457 1042 325 9824 1262 11923 1747 5086 1627 1029 9489 955 337 10781 1142 4541 empl. 229954 0 8900 9473 12476 30849 29542 34594 94985 134969 255296 0 8583 9858 11737 30178 29449 35858 95485 159811 276698 0 9403 11446 14342 35191 35070 42672 112933 163765 280912 0 9306 10625 14001 33932 34580 37593 106105 174807 250003 0 10451 10426 13418 34295 30608 32997 97900 152103 4541 ann. pay. 7267653 44512 200271 234561 327357 806701 826889 1012985 2646575 4621078 8854120 194124 208232 267357 339592 1009305 977591 1063665 3050561 5803559 10433028 135445 271581 364576 500592 1272194 1224304 1566411 4062909 6370119 10421271 70418 241110 299448 439903 1050879 1199469 1266222 3516570 6904701 9526329 76162 277679 305946 446151 1105938 1153277 1050575 3309790 6216539 4541 rec. 114234620 815725 2423739 2307951 3370018 8917433 7849758 9873541 26640732 87593888 4542 firms 5791 696 3178 851 520 5245 420 90 5755 36 5651 645 3109 817 556 5127 397 92 5616 35 5555 641 3058 816 516 5031 406 85 5522 33 5397 566 3059 761 521 4907 376 85 5368 29 5278 582 3053 704 479 4818 353 80 5251 27 4542 estab. 6389 698 3178 854 531 5261 476 231 5968 421 6251 645 3109 819 569 5142 449 232 5823 428 6155 641 3058 818 530 5047 456 209 5712 443 6004 566 3059 764 529 4918 427 214 5559 445 5860 583 3054 704 487 4828 436 220 5484 376 4542 empl. 66330 0 6119 5599 6982 18700 15478 13587 47765 18565 66614 0 5936 5322 7490 18748 14694 13311 46753 19861 66657 0 5843 5329 6868 18040 14978 12815 45833 20824 64266 0 5944 5011 6986 17941 13266 13032 44239 20027 57940 0 5984 4669 6388 17041 13017 11217 41275 16665 4542 ann. pay. 1428097 18178 108740 108329 148777 384024 348636 311846 1044506 383591 1479907 14637 105413 103427 163507 386984 345945 302777 1035706 444201 1510238 12890 105211 109176 158785 386062 353444 295609 1035115 475123 1500955 10528 108888 105568 159093 384077 336598 313376 1034051 466904 1350338 13858 107329 101422 146047 368656 324221 291177 984054 366284 4542 rec. 6767287 109338 769706 582685 726826 2188555 1521420 1200322 4910297 1856990 4543 firms 20908 2205 10089 3913 2448 18655 1808 297 20760 148 20485 2428 9656 3802 2369 18255 1797 294 20346 139 20691 2659 9746 3791 2292 18488 1768 290 20546 145 19805 2279 9419 3662 2286 17646 1734 288 19668 137 21068 2958 10074 3656 2261 18949 1702 280 20931 137 4543 estab. 27167 2208 10112 3977 2680 18977 2671 1059 22707 4460 26681 2435 9686 3866 2554 18541 2593 1043 22177 4504 26793 2690 9764 3856 2463 18773 2558 1050 22381 4412 25832 2289 9436 3719 2500 17944 2479 1068 21491 4341 26952 2961 10083 3708 2471 19223 2515 1015 22753 4199 4543 empl. 219147 0 20769 25580 31485 77834 52614 24259 154707 64440 218135 0 19737 24892 30373 75002 53033 24347 152382 65753 223176 0 20038 24713 29610 74361 54059 23507 151927 71249 221101 0 19201 23804 29745 72750 53708 27021 153479 67622 215930 0 20556 24053 29147 73756 51410 24775 149941 65989 4543 ann. pay. 5532209 53684 417870 575695 795222 1842471 1379665 682159 3904295 1627914 5754995 79170 417637 593416 794963 1885186 1410309 740211 4035706 1719289 6131846 91536 437207 600056 825218 1954017 1503712 723396 4181125 1950721 6394334 74273 437872 599715 861197 1973057 1573420 813955 4360432 2033902 6470050 81480 462689 619069 862153 2025391 1556090 785434 4366915 2103135 4543 rec. 43912346 852930 4492171 4390021 5519417 15254539 10321874 5597106 31173519 12738827 4811 firms 784 163 209 92 64 528 117 70 715 69 760 118 225 80 76 499 116 73 688 72 778 115 233 102 68 518 115 74 707 71 722 89 235 88 65 477 104 73 654 68 750 93 275 84 66 518 95 69 682 68 4811 estab. 3377 164 209 93 69 535 233 420 1188 2189 3237 118 225 81 82 506 230 432 1168 2069 3324 119 233 109 78 539 222 441 1202 2122 3331 89 236 93 76 494 224 453 1171 2160 3297 109 276 85 86 556 215 471 1242 2055 4811 empl. 520756 0 413 615 837 1865 5458 13726 21049 499707 539994 0 476 536 1000 2012 5052 14062 21126 518868 570902 0 457 677 935 2069 5043 14466 21578 549324 562103 0 475 573 880 1928 4639 13941 20508 541595 513615 0 509 560 881 1950 4393 11763 18106 495509 4811 ann. pay. 20917358 7047 14319 21028 24695 67089 167985 472101 707175 20210183 22506160 5407 16553 17657 31449 71066 164075 524158 759299 21746861 24484512 6919 17035 22344 26919 73217 165769 547277 786263 23698249 26589728 4910 16495 20154 26343 67902 163440 512956 744298 25845430 25739116 13066 18469 20296 31041 82872 163727 449034 695633 25043483 4811 rec. 98451483 286518 164516 104306 200449 755789 919354 2958233 4633376 93818107 4812 firms 1812 215 817 273 179 1484 195 58 1737 75 1871 296 795 249 188 1528 213 56 1797 74 1953 328 821 249 207 1605 219 56 1880 73 1974 287 843 295 192 1617 223 61 1901 73 2035 304 885 267 189 1645 240 66 1951 84 4812 estab. 1971 215 817 274 188 1494 238 96 1828 143 2048 296 796 250 195 1537 262 95 1894 154 2105 328 823 250 213 1614 271 90 1975 130 2120 287 843 297 197 1624 270 96 1990 130 2215 304 887 267 198 1656 292 116 2064 151 4812 empl. 39270 0 1606 1743 2318 5667 6551 4749 16967 22303 42844 0 1512 1637 2457 5606 7740 5602 18948 23896 44703 0 1617 1590 2803 6010 8153 5436 19599 25104 46883 0 1654 1908 2642 6204 8124 7810 22138 24745 34643 0 1737 1680 2468 5885 8462 6269 20616 14027 4812 ann. pay. 1673860 10780 60390 53541 77598 202309 225446 179444 607199 1066661 1908197 15285 59094 56702 80143 211224 280691 205325 697240 1210957 2084775 21563 65409 53686 100311 240969 293839 225567 760375 1324400 2190943 18924 67742 70985 98158 255809 303597 337295 896701 1294242 1731750 47307 79421 68110 99666 294504 346365 278119 918988 812762 4812 rec. 9248168 247205 485048 343040 496222 1571515 1705907 1280673 4558095 4690073 4831 firms 836 85 251 114 118 568 143 69 780 56 881 129 269 121 111 630 140 58 828 53 867 115 265 126 114 620 133 61 814 53 837 116 267 106 107 596 130 56 782 55 812 105 265 116 80 566 135 60 761 51 4831 estab. 1272 85 251 115 121 572 163 221 956 316 1307 129 269 122 117 637 164 187 988 319 1254 115 265 128 115 623 151 183 957 297 1227 123 267 107 109 606 146 130 882 345 1222 105 266 116 87 574 166 165 905 317 4831 empl. 54680 0 548 762 1587 2897 5670 10030 18597 36083 52532 0 531 814 1507 2852 5697 10021 18570 33962 47838 0 554 829 1516 2899 5178 10066 18143 29695 50717 0 563 732 1460 2755 4983 10068 17806 32911 45523 0 557 765 1075 2397 5047 8450 15894 29629 4831 ann. pay. 2383304 21803 25884 24856 57662 130205 228289 446282 804776 1578528 2312408 10265 22527 32103 57382 122277 242689 441172 806138 1506270 2214151 15467 19555 31074 55941 122037 242275 496827 861139 1353012 2491131 8918 22404 27292 56172 114786 236729 502591 854106 1637025 2360346 5724 22144 28693 44096 100657 292293 448856 841806 1518540 4831 rec. 18500047 39232 162201 152907 385816 740156 1553967 2553338 4847461 13652586 4832 firms 593 92 194 97 71 454 75 37 566 27 603 103 193 81 71 448 93 31 572 31 599 90 194 92 70 446 90 37 573 26 596 78 200 93 69 440 97 32 569 27 627 122 200 83 68 473 89 38 600 27 4832 estab. 639 92 194 97 71 454 82 49 585 54 643 103 193 81 71 448 96 41 585 58 646 90 194 92 70 446 92 55 593 53 644 78 200 93 69 440 99 52 591 53 680 122 200 83 68 473 95 58 626 54 4832 empl. 18074 0 428 633 1011 2072 2899 5211 10182 7892 19312 0 429 520 927 1876 3635 4967 10478 8834 19736 0 397 622 1002 2021 3653 5828 11502 8234 19745 0 413 609 933 1955 3907 5479 11341 8404 18745 0 420 561 919 1900 3436 5708 11044 7701 4832 ann. pay. 720447 3894 14064 17354 29854 65166 96005 208477 369648 350799 727102 5560 15343 16927 28410 66240 124304 194927 385471 341631 789022 7576 14930 21217 30128 73851 119164 246981 439996 349026 850930 7169 16167 23188 32660 79184 141299 244973 465456 385474 804356 12970 18179 22358 28505 82012 124260 239411 445683 358673 4832 rec. 3588649 52774 109568 140835 114683 417860 422639 989951 1830450 1758199 4841 firms 42179 8656 19424 5147 3708 36935 4063 839 41837 342 44781 8447 21826 5451 3743 39467 4138 829 44434 347 47743 8986 23691 5782 3899 42358 4173 860 47391 352 47784 8060 24851 5740 3931 42582 4024 845 47451 333 47361 8177 24691 5528 3869 42265 3948 814 47027 334 4841 estab. 49895 8658 19434 5172 3765 37029 4697 1960 43686 6209 52724 8457 21835 5475 3808 39575 4720 2010 46305 6419 55874 8991 23699 5796 3968 42454 4671 1903 49028 6846 56378 8067 24860 5754 3993 42674 4487 1963 49124 7254 56746 8205 24699 5544 3936 42384 4591 2011 48986 7760 4841 empl. 840243 0 35809 33986 50130 119925 159275 129006 408206 432037 897609 0 39870 35955 50709 126534 163644 129764 419942 477667 922740 0 43031 37962 52783 133776 164309 135718 433803 488937 914969 0 44810 37645 53203 135658 158400 134195 428253 486716 882036 0 45161 36443 52507 134111 155234 126726 416071 465965 4841 ann. pay. 27249750 219951 770868 815133 1305625 3111577 4619803 4019842 11751222 15498528 29343436 303242 870304 884511 1361114 3419171 4902004 4189986 12511161 16832275 31613977 251644 945191 949846 1415812 3562493 4996564 4432005 12991062 18622915 31223890 247730 1000040 953817 1444973 3646560 4835574 4495359 12977493 18246397 30866727 278147 1029561 969336 1490683 3767727 4922716 4361424 13051867 17814860 4841 rec. 109179620 1504908 5935751 4702699 6633132 18776490 19298187 15321431 53396108 55783512 4842 firms 54852 7353 29084 8341 5201 49979 4073 564 54616 236 52853 6359 28025 8301 5297 47982 4078 537 52597 256 51474 6591 26494 8097 5298 46480 4214 530 51224 250 50429 6354 26225 7747 5175 45501 4139 546 50186 243 51443 7487 26742 7613 4944 46786 3900 510 51196 247 4842 estab. 58099 7354 29096 8375 5279 50104 4680 1425 56209 1890 56025 6361 28034 8323 5374 48092 4662 1352 54106 1919 54542 6603 26509 8126 5355 46593 4759 1289 52641 1901 53436 6360 26239 7765 5250 45614 4647 1270 51531 1905 54562 7488 26752 7637 5018 46895 4552 1306 52753 1809 4842 empl. 486915 0 56688 54423 69719 180830 146663 72478 399971 86944 486569 0 54520 54176 71204 179900 148171 68334 396405 90164 493054 0 51927 53001 71076 176004 152652 69332 397988 95066 482896 0 50935 50777 69282 170994 150193 72459 393646 89250 451306 0 52201 49862 66233 168296 139687 64445 372428 78878 4842 ann. pay. 13768887 201981 1214353 1228162 1706043 4350539 4072344 2265898 10688781 3080106 14282732 182361 1212223 1269006 1817643 4481233 4254241 2189091 10924565 3358167 14837501 187572 1166509 1256161 1841980 4452222 4546402 2306087 11304711 3532790 14857059 183256 1207381 1255977 1870850 4517464 4548625 2432692 11498781 3358278 14200663 250399 1225964 1269615 1806041 4552019 4344368 2194685 11091072 3109591 4842 rec. 57542388 1370219 6661284 5512878 7037242 20581623 15474861 7763994 43820478 13721910 4851 firms 491 55 165 56 60 336 87 43 466 25 458 39 149 60 46 294 99 37 430 28 449 40 135 64 46 285 98 38 421 28 474 48 136 66 42 292 112 41 445 29 482 58 130 58 49 295 110 48 453 29 4851 estab. 615 55 165 56 60 336 90 60 486 129 723 39 149 60 46 294 105 53 452 271 705 40 135 64 46 285 103 46 434 271 715 48 136 66 42 292 121 54 467 248 751 58 130 59 49 296 127 75 498 253 4851 empl. 32115 0 353 338 806 1497 3550 6916 11963 20152 40124 [a] [e] 391 657 1349 3905 7038 12292 27832 43148 0 276 423 677 1376 3920 6909 12205 30943 42216 0 282 444 601 1327 4446 7445 13218 28998 46194 0 260 383 628 1271 4683 8615 14569 31625 4851 ann. pay. 981378 3685 5156 4471 11765 25077 62743 205453 293273 688105 1226119 (D) (D) 6611 10144 33577 72784 209941 316302 909817 1295799 5703 6886 7435 12226 32250 78241 206523 317014 978785 1345563 8632 4209 9053 11778 33672 91606 218322 343600 1001963 1482711 3482 5261 7471 11993 28207 102773 263965 394945 1087766 4851 rec. 2546176 13603 30722 20040 29174 93539 245152 430204 768895 1777281 4852 firms 229 24 70 37 19 150 40 31 221 8 236 32 73 28 25 158 42 26 226 10 250 38 77 36 26 177 39 25 241 9 242 31 69 39 27 166 42 25 233 9 323 44 102 51 34 231 53 29 313 10 4852 estab. 415 24 70 37 19 150 55 67 272 143 440 32 73 28 29 162 56 50 268 172 444 38 77 36 26 177 53 51 281 163 460 31 69 39 27 166 53 49 268 192 579 44 102 51 34 231 66 61 358 221 4852 empl. 23374 0 151 248 247 646 1480 3218 5344 18030 21800 [a] [c] 182 310 644 1782 2384 4810 16990 26805 0 179 261 366 806 1753 2161 4720 22085 24672 0 149 253 357 759 1945 2740 5444 19228 20705 0 215 335 450 1000 2396 3130 6526 14179 4852 ann. pay. 650834 935 1771 3026 3219 8951 28961 76219 114131 536703 654375 (D) (D) 2309 3833 15191 33180 66398 114769 539606 709684 4331 3920 3677 5363 17291 33291 64646 115228 594456 810974 1391 3321 4003 6320 15035 38776 76311 130122 680852 730794 8832 5096 4665 6541 25134 47182 85512 157828 572966 4852 rec. 1712361 32443 22191 20011 39493 114138 120772 235657 470567 1241794 4853 firms 6550 898 3371 974 641 5884 589 61 6534 16 6526 950 3248 948 678 5824 618 65 6507 19 6731 1006 3333 981 693 6013 629 70 6712 19 6762 951 3362 1008 703 6024 653 69 6746 16 7027 1043 3563 996 731 6333 621 57 7011 16 4853 estab. 6631 898 3371 978 646 5893 609 78 6580 51 6605 950 3249 950 685 5834 634 78 6546 59 6806 1006 3333 984 699 6022 643 82 6747 59 6842 951 3362 1010 711 6034 664 79 6777 65 7146 1043 3563 996 735 6337 643 105 7085 61 4853 empl. 60484 0 6058 6502 8751 21311 21869 9152 52332 8152 63375 0 5826 6314 9273 21413 23242 9309 53964 9411 67818 0 6015 6497 9406 21918 23732 11101 56751 11067 69446 0 6072 6655 9494 22221 24324 10995 57540 11906 65575 0 6636 6560 9841 23037 23234 8536 54807 10768 4853 ann. pay. 1018165 18059 77990 82462 119141 297652 362004 178605 838261 179904 1131230 28053 83748 83362 127517 322680 394157 202370 919207 212023 1244314 27612 88290 94212 143846 353960 414607 249901 1018468 225846 1257657 27456 91186 90305 140093 349040 418377 244006 1011423 246234 1269235 29956 103420 95763 152190 381329 436936 212213 1030478 238757 4853 rec. 4374289 183814 624001 443912 518836 1770563 1332895 603496 3706954 667335 4854 firms 3346 182 1177 493 466 2318 788 201 3307 39 3263 175 1127 481 474 2257 760 205 3222 41 3165 169 1060 464 471 2164 758 211 3133 32 3129 161 1043 483 453 2140 742 215 3097 32 3180 208 1088 479 431 2206 721 220 3147 33 4854 estab. 4400 182 1177 493 472 2324 851 322 3497 903 4341 176 1127 481 481 2265 814 322 3401 940 4217 169 1060 465 473 2167 815 321 3303 914 4287 161 1043 484 460 2148 787 326 3261 1026 4352 208 1088 479 434 2209 759 351 3319 1033 4854 empl. 152621 0 2399 3295 6431 12125 33428 34356 79909 72712 161890 0 2293 3155 6615 12063 32590 34436 79089 82801 162877 0 2147 3073 6622 11842 32308 37974 82124 80753 168940 0 2139 3203 6258 11600 31398 37660 80658 88282 171599 0 2200 3141 6025 11366 30381 39800 81547 90052 4854 ann. pay. 1950914 10363 20352 30138 63876 124729 397741 484715 1007185 943729 2178747 8998 22130 29206 71509 131843 417784 501039 1050666 1128081 2322642 5122 20793 29852 76672 132439 431001 563653 1127093 1195549 2471790 7494 22535 33279 71256 134564 425981 595036 1155581 1316209 2612166 10291 25031 32427 68747 136496 430178 653863 1220537 1391629 4854 rec. 5922742 34121 93936 106398 188133 422588 985995 1361821 2770404 3152338 4855 firms 1382 125 397 231 227 980 335 52 1367 15 1341 128 381 204 216 929 344 53 1326 15 1312 129 382 186 208 905 344 50 1299 13 1257 115 343 186 219 863 331 50 1244 13 1336 140 386 186 232 944 327 50 1321 15 4855 estab. 1532 126 397 231 229 983 370 94 1447 85 1480 129 382 204 219 934 372 92 1398 82 1451 129 384 186 210 909 372 93 1374 77 1395 117 344 187 221 869 358 88 1315 80 1473 140 387 186 232 945 359 86 1390 83 4855 empl. 32328 0 826 1552 3105 5483 13022 6908 25413 6915 33589 0 789 1364 2963 5116 13457 7722 26295 7294 34057 0 814 1265 2882 4961 14021 7662 26644 7413 33406 0 718 1257 3001 4976 13570 7408 25954 7452 32162 0 803 1260 3230 5293 13282 6405 24980 7182 4855 ann. pay. 594388 4849 12077 22151 46058 85135 223604 135612 444351 150037 651402 4458 12549 19502 44811 81320 248967 146239 476526 174876 668710 3788 13931 18764 44302 80785 262711 155123 498619 170091 659518 3443 12344 19148 46080 81015 258347 146074 485436 174082 666966 16149 14390 20858 53310 104707 267568 136105 508380 158586 4855 rec. 2025376 58542 79064 106421 218914 462941 784265 374375 1621581 403795 4859 firms 2590 349 898 458 363 2068 404 90 2562 28 2475 303 821 450 351 1925 417 100 2442 33 2556 340 830 421 393 1984 430 104 2518 38 2559 333 850 417 363 1963 443 111 2517 42 2516 281 863 404 387 1935 437 100 2472 44 4859 estab. 2765 350 898 458 365 2071 441 123 2635 130 2665 304 821 450 352 1927 455 147 2529 136 2760 341 830 421 393 1985 464 159 2608 152 2767 333 850 417 364 1964 479 156 2599 168 2772 281 863 408 388 1940 469 169 2578 194 4859 empl. 48456 0 1886 3086 4906 9878 16284 11784 37946 10510 49244 0 1700 3000 4780 9480 16294 13223 38997 10247 52169 0 1722 2788 5282 9792 16580 13063 39435 12734 52881 0 1792 2856 4941 9589 17699 12971 40259 12622 51090 0 1800 2687 5295 9782 16824 11801 38407 12683 4859 ann. pay. 821908 12377 29815 43437 72003 157632 262122 195986 615740 206168 887459 14298 29850 41070 74258 159476 274911 232366 666753 220706 973552 20988 28860 42987 80232 173067 295041 243617 711725 261827 1013246 13850 33749 44733 82165 174497 301419 256751 732667 280579 1018183 18361 35906 44101 89124 187492 319010 243426 749928 268255 4859 rec. 2546116 55143 142902 142486 233399 573930 785224 534518 1893672 652444 4861 firms 54 5 4 1 2 12 5 2 19 35 49 4 7 0 1 12 3 5 20 29 48 5 5 1 1 12 4 3 19 29 48 6 7 2 1 16 4 4 24 24 52 2 12 4 3 21 3 2 26 26 4861 estab. 358 5 4 1 4 14 8 12 34 324 327 4 7 0 1 12 6 16 34 293 307 5 5 1 1 12 7 4 23 284 229 6 7 2 1 16 12 14 42 187 261 2 12 4 3 21 7 6 34 227 4861 empl. 7333 [a] [a] [a] [b] [b] [c] [e] 651 6682 7137 0 12 0 [a] [b] 116 [f] 1097 6040 6709 0 [a] [a] [a] [b] 162 [e] 579 6130 5995 [a] 13 [a] [a] [b] 156 [f] 716 5279 6030 [a] 22 [b] 41 84 [b] [c] 291 5739 4861 ann. pay. 442039 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 35025 407014 453446 18 407 0 (D) (D) 4345 (D) 42344 411102 425645 131 (D) (D) (D) (D) 5573 (D) 20961 404684 430919 (D) 1028 (D) (D) (D) 10607 (D) 35750 395169 472339 (D) 1453 (D) 983 3665 (D) (D) 15255 457084 4861 rec. 3783097 (D) 82606 (D) 3542 (D) (D) (D) 171938 3611159 4862 firms 141 11 43 12 13 79 11 8 98 43 139 7 41 17 9 74 10 7 91 48 140 10 42 13 10 75 12 8 95 45 153 15 45 16 12 88 9 13 110 43 154 15 39 15 12 81 13 12 106 48 4862 estab. 1561 11 43 12 13 79 24 13 116 1445 1683 7 41 17 9 74 23 7 104 1579 1938 10 42 13 10 75 27 11 113 1825 2017 15 45 16 12 88 19 20 127 1890 1936 15 39 15 12 81 27 61 169 1767 4862 empl. 35092 [a] 92 [b] 171 [e] 379 [e] 1019 34073 34511 0 79 102 125 306 285 428 1019 33492 39214 0 91 77 134 302 415 382 1099 38115 38189 0 92 105 159 356 282 899 1537 36652 37450 0 87 92 168 347 353 1234 1934 35516 4862 ann. pay. 1993819 (D) 3552 (D) 9500 (D) 26366 (D) 59767 1934052 2205385 5865 3395 4877 6638 20775 18057 19881 58713 2146672 2961066 4523 4334 5270 8567 22694 25450 19048 67192 2893874 2981259 1462 4993 6162 11008 23625 16907 46732 87264 2893995 2994108 10804 5195 4843 9666 30508 29800 76510 136818 2857290 4862 rec. 35896535 166885 33658 110424 724389 1035356 844907 686050 2566313 33330222 4869 firms 57 4 10 2 2 18 4 4 26 31 63 5 7 4 3 19 6 3 28 35 61 5 8 3 3 19 6 3 28 33 63 3 10 5 3 21 7 3 31 32 73 5 12 5 8 30 6 3 39 34 4869 estab. 576 4 10 2 5 21 23 34 78 498 540 5 7 4 6 22 27 27 76 464 557 5 8 3 3 19 24 30 73 484 539 3 10 5 3 21 24 30 75 464 504 5 12 5 8 30 25 12 67 437 4869 empl. 6981 [a] [a] [a] [b] [b] [c] 596 823 6158 6501 0 15 22 [b] [b] 302 [e] 803 5698 7037 0 [a] [b] [b] [b] 201 [e] 713 6324 6739 [a] 27 [b] [b] [c] 228 [e] 709 6030 6882 [a] 28 [b] 98 157 [e] [c] 586 6296 4869 ann. pay. 411984 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 31121 41947 370037 373858 717 171 739 (D) (D) 15085 (D) 41459 332399 441872 210 (D) (D) (D) (D) 10013 (D) 38404 403468 468128 (D) 1005 (D) (D) (D) 11129 (D) 30314 437814 449024 (D) 1422 (D) 4940 8673 (D) (D) 35456 413568 4869 rec. 5373657 (D) 14154 (D) 17762 (D) (D) (D) 310785 5062872 4871 firms 431 102 148 50 44 344 56 18 418 13 420 73 163 51 49 336 55 15 406 14 414 77 173 42 41 333 52 16 401 13 484 99 189 53 61 402 55 14 471 13 500 118 193 49 58 418 60 12 490 10 4871 estab. 472 102 148 50 44 344 60 25 429 43 458 73 163 51 49 336 61 19 416 42 454 77 173 42 43 335 57 22 414 40 521 99 189 53 64 405 60 18 483 38 538 118 194 49 62 423 66 18 507 31 4871 empl. 9033 [a] 305 336 637 [g] 2014 2412 [i] [h] 8704 [a] 300 331 683 [g] 2000 2093 [i] [h] 8658 [a] 349 274 575 [g] 1916 2410 [i] [h] 8605 [a] 365 327 865 [g] 1966 1899 [i] [h] 7162 [a] 378 320 782 [g] 2158 1504 [i] [g] 4871 ann. pay. 187007 (D) 5341 5782 11291 (D) 34639 50623 (D) (D) 188320 (D) 5369 6427 11759 (D) 36425 48715 (D) (D) 192844 (D) 6114 5887 8232 (D) 35625 52999 (D) (D) 188107 (D) 8643 6289 15584 (D) 35400 36443 (D) (D) 164355 (D) 8060 6613 12874 (D) 40830 34572 (D) (D) 4871 rec. 516114 (D) 38994 24583 45263 (D) 137637 103023 (D) (D) 4872 firms 1688 509 725 206 127 1567 92 18 1677 11 1619 436 737 197 126 1496 94 20 1610 9 1612 432 715 183 142 1472 111 18 1601 11 1670 449 759 191 137 1536 104 20 1660 10 1756 584 768 164 116 1632 97 19 1748 8 4872 estab. 1718 509 725 208 129 1571 96 25 1692 26 1649 436 737 199 128 1500 100 28 1628 21 1642 432 715 185 143 1475 118 24 1617 25 1699 449 759 193 137 1538 111 26 1675 24 1784 584 768 164 117 1633 106 24 1763 21 4872 empl. 12296 0 1264 1338 1660 4262 3214 2622 10098 2198 12262 0 1368 1300 1641 4309 3446 2534 10289 1973 12964 0 1338 1192 1880 4410 3986 1958 10354 2610 12921 0 1407 1223 1816 4446 3778 2556 10780 2141 10478 0 1431 1088 1505 4024 3431 1760 9215 1263 4872 ann. pay. 273728 14876 32059 28157 37746 112838 63388 50927 227153 46575 295530 15028 35164 31044 30149 111385 75230 59494 246109 49421 331164 19979 38113 27460 36487 122039 91131 50658 263828 67336 313306 13223 38829 28742 37716 118510 85492 52248 256250 57056 281631 21692 39120 27918 38457 127187 87969 41781 256937 24694 4872 rec. 987696 105118 165570 93133 123355 487176 292320 122782 902278 85418 4879 firms 159 26 62 23 22 133 20 4 157 2 155 25 67 19 18 129 19 6 154 1 152 24 63 20 20 127 20 4 151 1 154 33 65 16 19 133 15 5 153 1 177 45 70 20 16 151 20 4 175 2 4879 estab. 163 26 63 23 22 134 21 6 161 2 160 25 67 20 19 131 20 8 159 1 158 24 65 20 21 130 21 6 157 1 160 33 67 16 20 136 16 7 159 1 181 45 71 20 16 152 21 6 179 2 4879 empl. 1747 [a] [c] [c] 302 [f] 750 377 [g] [b] 1911 [a] 146 132 255 [f] 835 538 [g] [a] 1990 [a] 130 133 269 [f] 863 593 [g] [a] 1888 [a] 132 109 269 [f] 686 690 [g] [a] 1693 [a] 134 131 210 [e] 730 481 [g] [a] 4879 ann. pay. 51256 (D) (D) (D) 7577 (D) 21542 13471 (D) (D) 56852 (D) 3534 3865 7069 (D) 23361 17402 (D) (D) 59456 (D) 3466 4289 7134 (D) 24035 19528 (D) (D) 55393 (D) 4097 2796 8301 (D) 19007 20032 (D) (D) 51495 (D) 4034 3709 5657 (D) 23319 12967 (D) (D) 4879 rec. 258450 (D) 22870 17382 24130 (D) 114789 70523 (D) (D) 4881 firms 3422 371 1467 583 428 2849 400 98 3347 75 3353 323 1388 642 410 2763 415 97 3275 78 3381 354 1362 638 410 2764 433 103 3300 81 3434 354 1368 685 399 2806 445 103 3354 80 3607 404 1494 692 410 3000 424 96 3520 87 4881 estab. 4352 371 1467 585 444 2867 443 266 3576 776 4305 323 1389 642 425 2779 460 258 3497 808 4368 354 1362 641 422 2779 473 271 3523 845 4417 354 1368 688 405 2815 492 229 3536 881 4926 404 1495 692 418 3009 487 332 3828 1098 4881 empl. 114721 0 3196 3861 5733 12790 14652 14408 41850 72871 118838 0 2982 4242 5548 12772 15394 14133 42299 76539 126701 0 2965 4248 5493 12706 16205 14945 43856 82845 127585 0 2934 4504 5287 12725 16364 16183 45272 82313 126349 0 3179 4539 5506 13224 15511 14913 43648 82701 4881 ann. pay. 3076483 38501 70152 90302 140105 339060 409389 390914 1139363 1937120 3454151 21252 77440 103856 155530 358078 443651 450128 1251857 2202294 3634029 29527 71723 110737 151144 363131 472136 458021 1293288 2340741 3713423 39949 81229 111985 152533 385696 496364 474733 1356793 2356630 3899413 93068 87211 122772 166956 470007 503509 527984 1501500 2397913 4881 rec. 12747510 535561 414067 484514 603023 2037165 1781741 1774055 5592961 7154549 4882 firms 472 53 120 81 72 326 71 35 432 40 476 35 134 82 69 320 82 33 435 41 451 37 120 77 66 300 76 38 414 37 454 41 120 86 55 302 78 35 415 39 489 59 149 82 55 345 73 31 449 40 4882 estab. 821 53 122 83 81 339 95 104 538 283 837 35 138 83 77 333 107 94 534 303 821 37 120 78 74 309 98 98 505 316 831 41 121 88 59 309 100 89 498 333 924 59 150 84 59 352 104 89 545 379 4882 empl. 18704 0 257 552 977 1786 2513 4876 9175 9529 20972 0 273 574 892 1739 3400 4899 10038 10934 21427 0 258 488 879 1625 2877 5262 9764 11663 22954 0 273 571 802 1646 3010 5477 10133 12821 20667 0 317 553 761 1631 2589 4108 8328 12339 4882 ann. pay. 572485 7294 6431 15887 26635 56247 65580 154029 275856 296629 672460 1244 6954 17230 22778 48206 84001 152766 284973 387487 714434 1377 6983 13873 24896 47129 76391 163090 286610 427824 738994 1694 7785 15068 21510 46057 82153 170691 298901 440093 733877 11174 10948 18561 23841 64524 83710 141836 290070 443807 4882 rec. 2324028 37907 74164 76010 98036 286117 256912 341860 884889 1439139 4883 firms 2149 337 908 265 211 1721 255 96 2072 77 2058 252 904 252 222 1630 260 87 1977 81 1993 238 854 256 216 1564 258 93 1915 78 1987 242 860 251 202 1555 262 93 1910 77 1960 269 814 257 199 1539 250 92 1881 79 4883 estab. 2684 337 913 272 241 1763 334 212 2309 375 2593 253 910 259 241 1663 335 203 2201 392 2543 238 866 265 231 1600 322 202 2124 419 2496 242 866 258 227 1593 312 214 2119 377 2453 269 816 260 226 1571 313 191 2075 378 4883 empl. 72453 0 1655 1795 2876 6326 9649 13128 29103 43350 71443 0 1667 1704 3013 6384 9839 11783 28006 43437 81631 0 1534 1707 2942 6183 9467 12759 28409 53222 78702 0 1580 1707 2789 6076 9963 14037 30076 48626 77205 0 1452 1721 2692 5865 9348 12307 27520 49685 4883 ann. pay. 3023579 33098 74486 54834 99349 261767 339835 470550 1072152 1951427 2995330 35940 74793 53493 102412 266638 333558 422977 1023173 1972157 3250746 19476 72304 59093 101655 252528 338925 477642 1069095 2181651 3349988 17431 80349 62038 100405 260223 362442 540314 1162979 2187009 3577005 39634 80754 73489 97319 291196 369679 542384 1203259 2373746 4883 rec. 9592110 130115 233608 266196 417657 1047576 1337621 1790201 4175398 5416712 4884 firms 6428 816 2915 1370 845 5946 423 35 6404 24 6609 788 3014 1411 901 6114 428 37 6579 30 6671 779 3040 1402 902 6123 469 48 6640 31 6915 829 3100 1465 941 6335 500 46 6881 34 7751 1049 3555 1552 980 7136 532 46 7714 37 4884 estab. 6750 816 2977 1374 886 6053 459 57 6569 181 6943 790 3017 1415 930 6152 459 80 6691 252 7010 779 3044 1408 926 6157 503 99 6759 251 7325 829 3104 1470 970 6373 531 113 7017 308 8238 1049 3558 1557 1009 7173 609 145 7927 311 4884 empl. 46742 0 6243 8919 11025 26187 12858 2756 41801 4941 50543 0 6370 9224 11840 27434 12788 3528 43750 6793 56207 0 6564 9214 11799 27577 14205 5220 47002 9205 61283 0 6650 9619 12374 28643 14981 5901 49525 11758 61960 0 7646 10198 13012 30856 16213 4204 51273 10687 4884 ann. pay. 1041269 36100 131966 166178 228417 562661 283050 72597 918308 122961 1148677 30133 119080 176158 250662 576033 305238 88429 969700 178977 1308820 24901 123964 187812 264730 601407 351268 130780 1083455 225365 1483289 29441 131268 199463 275499 635671 381447 151729 1168847 314442 1575940 33934 154924 217347 303833 710038 420094 122717 1252849 323091 4884 rec. 4723123 150100 670433 732961 859459 2412953 1147417 316435 3876805 846318 4885 firms 12204 1287 5826 2477 1338 10928 960 215 12103 101 11884 1014 5820 2390 1354 10578 991 207 11776 108 11700 1092 5555 2384 1323 10354 1031 208 11593 107 11716 1060 5607 2356 1353 10376 1027 200 11603 113 11574 1137 5573 2306 1283 10299 977 188 11464 110 4885 estab. 15806 1291 5847 2562 1570 11270 1751 1369 14390 1416 15464 1017 5850 2468 1573 10908 1719 1360 13987 1477 15177 1093 5578 2463 1526 10660 1763 1249 13672 1505 15334 1071 5634 2455 1518 10678 1692 1118 13488 1846 15476 1137 5591 2398 1484 10610 1791 1233 13634 1842 4885 empl. 148394 0 12920 16213 17522 46655 35205 30366 112226 36168 157548 0 13021 15655 17818 46494 36674 31266 114434 43114 161662 0 12436 15533 17492 45461 37960 30786 114207 47455 168159 0 12407 15246 17929 45582 38761 28680 113023 55136 164374 0 12286 14907 16893 44086 36201 25047 105334 59040 4885 ann. pay. 5445908 53268 412119 562122 638895 1666404 1275518 1092884 4034806 1411102 5885937 43313 429627 562157 666306 1701403 1336958 1188478 4226839 1659098 6620349 62039 444988 577680 671912 1756619 1476563 1210154 4443336 2177013 6829426 59225 427417 571973 703102 1761717 1521629 1085208 4368554 2460872 6809918 84371 430213 570449 696359 1781392 1482404 1043322 4307118 2502800 4885 rec. 27687080 536210 2609369 2514853 2616741 8277173 4844266 3000006 16121445 11565635 4889 firms 991 181 459 150 77 867 85 28 980 11 1164 285 508 151 100 1044 89 21 1154 10 1405 316 629 202 112 1259 106 27 1392 13 1350 236 654 197 118 1205 105 29 1339 11 1205 165 610 184 115 1074 89 29 1192 13 4889 estab. 1051 181 459 150 79 869 91 52 1012 39 1250 285 508 151 102 1046 94 42 1182 68 1521 316 629 202 113 1260 118 50 1428 93 1473 238 654 197 119 1208 117 76 1401 72 1325 165 610 184 116 1075 109 67 1251 74 4889 empl. 20745 0 964 978 1035 2977 3368 2930 9275 11470 20831 0 1084 957 1319 3360 3664 2912 9936 10895 24744 0 1310 1268 1442 4020 4147 3246 11413 13331 25928 0 1365 1272 1569 4206 4190 4393 12789 13139 24911 0 1349 1198 1504 4051 3498 4203 11752 13159 4889 ann. pay. 681751 5779 17191 18419 21456 62845 87646 65645 216136 465615 759070 18911 22010 17996 29886 88803 93581 69111 251495 507575 978589 19540 28401 26990 33620 108551 123943 98042 330536 648053 983050 8748 27815 25952 39801 102316 114633 137259 354208 628842 957234 6829 27531 25068 41804 101232 104705 92145 298082 659152 4889 rec. 3005324 33460 166571 115669 155265 470965 340531 303363 1114859 1890465 4921 firms 2464 490 1054 347 222 2113 252 70 2435 29 2616 459 1209 355 223 2246 274 64 2584 32 2762 479 1284 381 255 2399 266 66 2731 31 2996 506 1432 420 273 2631 275 61 2967 29 3152 545 1564 413 268 2790 278 58 3126 26 4921 estab. 6096 490 1057 348 230 2125 318 196 2639 3457 6309 459 1214 355 230 2258 330 204 2792 3517 6667 479 1289 382 267 2417 318 217 2952 3715 7105 506 1436 426 280 2648 343 186 3177 3928 7447 545 1567 414 286 2812 396 191 3399 4048 4921 empl. 468988 0 2033 2261 3055 7349 9721 11564 28634 440354 508558 0 2325 2323 3001 7649 10321 10840 28810 479748 548858 0 2437 2481 3490 8408 10268 10897 29573 519285 513567 0 2714 2735 3799 9248 10691 9776 29715 483852 497358 0 2975 2669 3564 9208 10699 8341 28248 469110 4921 ann. pay. 13928686 15204 42222 50272 62878 170576 200517 256370 627463 13301223 15289462 11504 52954 51699 67592 183749 220547 241618 645914 14643548 15890525 19055 55065 57904 74314 206338 226527 267181 700046 15190479 16455540 21067 61852 65766 84572 233257 227055 251013 711325 15744215 15936070 17291 65983 65975 83355 232604 249857 214795 697256 15238814 4921 rec. 54757288 87353 385472 332111 341835 1146771 921741 802573 2871085 51886203 4922 firms 5160 723 2470 754 527 4474 568 100 5142 18 5155 711 2565 681 527 4484 549 101 5134 21 5172 762 2493 746 523 4524 533 97 5154 18 5298 786 2633 725 515 4659 534 90 5283 15 5251 886 2587 705 486 4664 496 72 5232 19 4922 estab. 5627 723 2473 755 530 4481 649 210 5340 287 5629 711 2565 681 534 4491 612 215 5318 311 5630 762 2493 750 531 4536 605 187 5328 302 5750 786 2635 733 524 4678 593 195 5466 284 5726 886 2587 707 500 4680 571 147 5398 328 4922 empl. 70579 0 4663 4933 7142 16738 21850 14405 52993 17586 69810 0 4803 4451 7006 16260 20480 14560 51300 18510 70455 0 4634 4845 7205 16684 20572 14499 51755 18700 64008 0 4937 4735 6971 16643 20496 13329 50468 13540 55892 0 4849 4643 6587 16079 18626 9456 44161 11731 4922 ann. pay. 1363570 20498 92112 92336 134215 339161 390304 258795 988260 375310 1436498 31874 96548 90689 142750 361861 388496 280621 1030978 405520 1508906 30106 97164 106920 156123 390313 419881 276364 1086558 422348 1359792 26256 103757 100378 157027 387418 408579 273536 1069533 290259 1253249 25033 101801 106859 147821 381514 382337 200019 963870 289379 4922 rec. 4124355 108245 512740 419917 536458 1577360 1100416 558285 3236061 888294 4931 firms 4389 420 1453 711 628 3212 760 284 4256 133 4496 442 1557 712 588 3299 768 293 4360 136 4567 429 1573 763 608 3373 776 280 4429 138 4758 405 1746 790 597 3538 797 282 4617 141 4917 525 1688 782 672 3667 788 285 4740 177 4931 estab. 6718 423 1455 729 689 3296 1098 808 5202 1516 6954 448 1558 726 650 3382 1074 802 5258 1696 7123 433 1575 785 651 3444 1098 763 5305 1818 7185 406 1755 809 652 3622 1127 825 5574 1611 7629 532 1692 804 749 3777 1214 803 5794 1835 4931 empl. 119500 0 3226 4605 8184 16015 27012 30942 73969 45531 128606 0 3390 4749 7773 15912 26014 32233 74159 54447 135898 0 3397 5069 8112 16578 27716 31074 75368 60530 145266 0 3820 5226 7996 17042 28631 33249 78922 66344 149409 0 3706 5114 8906 17726 28486 31009 77221 72188 4931 ann. pay. 3372724 30010 74926 118478 213032 436446 741896 848677 2027019 1345705 3657871 32309 79453 123055 220757 455574 745897 921960 2123431 1534440 4035337 33605 80408 135205 227862 477080 816778 911142 2205000 1830337 4393140 40381 97696 139797 230354 508228 853902 975923 2338053 2055087 4613184 39204 93228 146403 265041 543876 882055 959620 2385551 2227633 4931 rec. 17808341 185305 552335 711828 1095283 2544751 3145828 3260599 8951178 8857163 5111 firms 18338 1925 7472 3445 2373 15215 2262 573 18050 288 17540 1782 7232 3249 2300 14563 2137 553 17253 287 17429 1628 7130 3270 2283 14311 2237 558 17106 323 17095 1585 7011 3170 2250 14016 2222 540 16778 317 17102 1781 7238 3076 2072 14167 2096 541 16804 298 5111 estab. 21735 1927 7474 3459 2393 15253 2436 1207 18896 2839 21245 1792 7234 3255 2319 14600 2301 1221 18122 3123 21946 1637 7133 3278 2309 14357 2424 1295 18076 3870 21758 1587 7018 3179 2284 14068 2425 1306 17799 3959 22488 1782 7243 3097 2146 14268 2566 1385 18219 4269 5111 empl. 727918 0 16205 22765 31878 70848 88081 96170 255099 472819 700034 0 15536 21464 31036 68036 83594 94207 245837 454197 749179 0 15382 21660 31034 68076 87724 99310 255110 494069 747587 0 14996 20979 30581 66556 88760 97087 252403 495184 707874 0 15597 20422 28089 64108 81780 95657 241545 466329 5111 ann. pay. 26148393 110411 405828 575367 922314 2013920 2776375 3298621 8088916 18059477 26820770 125505 420347 581050 914294 2041196 2754653 3502253 8298102 18522668 31257568 119794 434432 624229 986180 2164635 3136804 3955947 9257386 22000182 32026082 133299 422385 608833 960839 2125356 3120938 3895674 9141968 22884114 30661221 112822 454961 603390 907979 2079152 3007272 3932013 9018437 21642784 5111 rec. 132125712 440224 1845676 2067111 2908246 7261257 9591693 14456553 31309503 100816209 5112 firms 9426 933 3789 1537 1252 7511 1339 341 9191 235 8961 878 3514 1386 1228 7006 1365 339 8710 251 8382 881 3168 1263 1080 6392 1379 357 8128 254 8057 770 3106 1192 1031 6099 1329 368 7796 261 7699 879 2948 1212 925 5964 1179 307 7450 249 5112 estab. 11694 933 3800 1558 1296 7587 1612 884 10083 1611 11132 881 3527 1406 1258 7072 1604 752 9428 1704 10599 893 3183 1281 1103 6460 1580 662 8702 1897 10353 772 3107 1220 1058 6157 1489 699 8345 2008 10089 880 2961 1233 979 6053 1482 693 8228 1861 5112 empl. 283192 0 7939 10280 17068 35287 52744 54348 142379 140813 304663 0 7274 9139 16699 33112 55682 53877 142671 161992 331485 0 6597 8376 14683 29656 57215 61461 148332 183153 353344 0 6479 7970 14102 28551 55343 64087 147981 205363 312102 0 6033 8105 12749 26887 47423 50870 125180 186922 5112 ann. pay. 23615784 54417 395910 511009 931234 1892570 3303612 4203993 9400175 14215609 27695721 81849 371936 480768 974374 1908927 3790747 4926913 10626587 17069134 44090006 122077 319166 441076 880121 1762440 4109229 6392219 12263888 31826118 36954665 81433 332937 439169 840152 1693691 3728816 5065146 10487653 26467012 29930377 113171 318668 449253 807859 1688951 3485966 4103042 9277959 20652418 5112 rec. 96373815 292496 894492 1091038 1845517 4123543 7619505 9019867 20762915 75610900 5121 firms 15628 3755 7312 2038 1257 14362 982 167 15511 117 15434 3567 7316 1995 1305 14183 972 169 15324 110 15477 3623 7311 1971 1295 14200 997 178 15375 102 15762 3681 7534 2001 1218 14434 1058 167 15659 103 15990 3962 7812 1778 1203 14755 960 176 15891 99 5121 estab. 20064 3763 7328 2072 1322 14485 1321 698 16504 3560 19889 3578 7334 2027 1369 14308 1265 644 16217 3672 19730 3625 7343 1991 1369 14328 1264 641 16233 3497 19532 3684 7560 2028 1283 14555 1287 636 16478 3054 19652 3962 7832 1803 1266 14863 1270 643 16776 2876 5121 empl. 255239 0 13797 13359 16631 43787 35048 26628 105463 149776 270164 0 13726 12950 17469 44145 35881 26923 106949 163215 276588 0 13809 12867 17520 44196 36602 29095 109893 166695 270137 0 13997 13049 16469 43515 38788 27356 109659 160478 253378 0 14461 11627 16209 42297 34607 29078 105982 147396 5121 ann. pay. 8429318 523328 1091985 532883 603075 2751271 1135884 926558 4813713 3615605 9174921 521459 1082350 474327 687647 2765783 1251463 888441 4905687 4269234 9805935 512897 1075398 512174 678100 2778569 1444034 978338 5200941 4604994 10156424 528119 1109872 514406 630723 2783120 1632648 821260 5237028 4919396 9985896 548213 1135469 489457 687675 2860814 1392141 954043 5206998 4778898 5121 rec. 62299033 1722915 3328339 2102751 2743274 9897279 5297096 3087924 18282299 44016734 5122 firms 2981 560 1685 373 180 2798 134 25 2957 24 3077 539 1741 393 212 2885 145 24 3054 23 2982 453 1734 403 195 2785 147 26 2958 24 3072 472 1804 391 204 2871 148 31 3050 22 3150 548 1868 385 179 2980 129 23 3132 18 5122 estab. 3111 560 1685 376 186 2807 148 61 3016 95 3213 542 1741 399 216 2898 162 64 3124 89 3169 459 1735 409 202 2805 177 62 3044 125 3250 472 1804 399 210 2885 173 77 3135 115 3369 548 1868 392 188 2996 156 91 3243 126 5122 empl. 26474 0 3205 2379 2351 7935 4793 2582 15310 11164 23205 0 3345 2476 2785 8606 5137 2964 16707 6498 27616 0 3359 2602 2603 8564 5478 3643 17685 9931 27006 0 3466 2506 2718 8690 5311 4078 18079 8927 25021 0 3466 2435 2359 8260 4568 2925 15753 9268 5122 ann. pay. 1708179 36167 109816 75860 84462 306305 208782 108339 623426 1084753 1356490 38254 116951 79447 97716 332368 234726 150071 717165 639325 1930201 49103 116652 88132 97393 351280 265615 165828 782723 1147478 1829845 40999 123979 87702 110717 363397 257811 164947 786155 1043690 1714129 31125 124677 92344 115497 363643 219351 132664 715658 998471 5122 rec. 10981944 121099 503232 398396 401164 1423891 1000031 583461 3007383 7974561 5131 firms 6335 695 1408 1231 1442 4776 1202 222 6200 135 6146 630 1485 1227 1306 4648 1146 219 6013 133 5974 599 1546 1193 1200 4538 1097 200 5835 139 5631 540 1546 1089 1151 4326 964 199 5489 142 5261 524 1412 1023 1070 4029 904 193 5126 135 5131 estab. 8518 695 1411 1253 1504 4863 1546 683 7092 1426 8546 632 1494 1243 1354 4723 1456 699 6878 1668 8492 607 1556 1214 1256 4633 1365 613 6611 1881 9234 548 1564 1110 1224 4446 1183 577 6206 3028 9038 525 1418 1028 1138 4109 1222 656 5987 3051 5131 empl. 242981 0 3206 8576 19506 31288 43960 31559 106807 136174 250271 0 3331 8384 17741 29456 41639 31282 102377 147894 253643 0 3451 8223 16324 27998 40311 29393 97702 155941 269384 0 3448 7454 15684 26586 35879 29293 91758 177626 254257 0 3209 6999 14504 24712 33778 29462 87952 166305 5131 ann. pay. 10281461 71900 83006 144161 346927 645994 1147598 1086162 2879754 7401707 11364268 87713 90258 166178 334666 678815 1115189 1164795 2958799 8405469 12292056 83101 98404 180800 337633 699938 1226410 1104504 3030852 9261204 12739672 62157 144290 149338 331610 687395 1079983 1173457 2940835 9798837 12215244 37535 94864 146042 321305 599746 1065480 1241106 2906332 9308912 5131 rec. 51112379 144411 322815 418289 831528 1717043 3237312 3878699 8833054 42279325 5132 firms 1831 214 733 303 194 1444 210 93 1747 84 1855 201 772 316 200 1489 211 69 1769 86 1800 196 759 314 186 1455 192 71 1718 82 1713 175 692 308 181 1356 201 70 1627 86 1669 192 691 285 175 1343 180 68 1591 78 5132 estab. 4955 214 735 318 210 1477 346 390 2213 2742 5364 202 775 321 219 1517 314 269 2100 3264 5270 196 765 324 195 1480 235 288 2003 3267 6692 175 695 316 187 1373 269 192 1834 4858 6891 192 692 297 193 1374 249 247 1870 5021 5132 empl. 178721 0 1623 1941 2604 6168 7927 15907 30002 148719 182119 0 1658 2086 2661 6405 7905 10838 25148 156971 212710 0 1659 2067 2485 6211 7301 11271 24783 187927 245448 0 1495 2040 2366 5901 8295 10361 24557 220891 300143 0 1444 1898 2324 5666 6561 9769 21996 278147 5132 ann. pay. 7271479 38292 43474 50442 80286 212494 262786 657408 1132688 6138791 8059848 31358 49951 61577 90983 233869 270274 569913 1074056 6985792 10084425 40852 51974 70560 88974 252360 280935 618591 1151886 8932539 11730403 59342 47510 65622 83368 255842 332720 569626 1158188 10572215 12450498 11153 48748 62733 84672 207306 245645 527868 980819 11469679 5132 rec. 81925230 62207 301788 346576 395613 1106184 1264150 2868481 5238815 76686415 5133 firms 9106 1900 3443 1370 969 7682 1013 265 8960 146 9749 1872 3878 1449 1026 8225 1071 287 9583 166 10483 1934 4152 1572 1139 8797 1171 312 10280 203 10419 1706 4111 1612 1208 8637 1239 325 10201 218 10204 1695 4273 1493 1090 8551 1162 284 9997 207 5133 estab. 33767 1920 3459 1400 1050 7829 1476 907 10212 23555 36942 1909 3901 1470 1101 8381 1473 1024 10878 26064 41209 1956 4165 1588 1223 8932 1552 1050 11534 29675 43749 1721 4117 1645 1295 8778 1589 1157 11524 32225 42783 1700 4279 1534 1224 8737 1775 1113 11625 31158 5133 empl. 1040999 0 7184 9069 12949 29202 40453 46041 115696 925303 1071852 0 7999 9598 13701 31298 41838 49736 122872 948980 1165479 0 8761 10386 15212 34359 47140 54364 135863 1029616 1262183 0 8665 10633 16241 35539 49494 55169 140202 1121981 1144008 0 8854 9891 14594 33339 45611 45077 124027 1019981 5133 ann. pay. 52128472 160238 221135 289682 481870 1152925 1576550 2076215 4805690 47322782 56586478 190902 275960 358329 542666 1367857 1947951 2328121 5643929 50942549 66389461 552801 321394 405041 651474 1930710 2329352 3463563 7723625 58665836 69489818 188766 285123 377703 637191 1488783 2289174 2801890 6579847 62909971 62947100 164518 306534 346674 563974 1381700 2192380 2262915 5836995 57110105 5133 rec. 344375735 1091546 1976592 2007395 3091140 8166673 10459551 11919160 30545384 313830351 5141 firms 7485 1430 3081 1260 788 6559 660 132 7351 134 10005 2874 3571 1473 940 8858 819 166 9843 162 12588 2911 4585 1969 1384 10849 1262 277 12388 200 11652 1743 4812 1931 1338 9824 1294 309 11427 225 11501 1904 5004 1867 1218 9993 1057 234 11284 217 5141 estab. 8483 1444 3082 1272 813 6611 842 306 7759 724 11265 2898 3572 1483 972 8925 985 418 10328 937 14139 2925 4591 1984 1423 10923 1455 480 12858 1281 13437 1749 4818 1937 1373 9877 1486 534 11897 1540 13203 1906 5005 1875 1272 10058 1365 511 11934 1269 5141 empl. 118974 0 6570 8303 10558 25431 23441 17700 66572 52402 149238 0 7538 9685 12492 29715 30040 24758 84513 64725 232453 0 9943 12897 18432 41272 49691 46020 136983 95470 262068 0 10170 12661 17787 40618 50563 49809 140990 121078 208181 0 10408 12229 16048 38685 38838 33973 111496 96685 5141 ann. pay. 6550761 117282 167541 196632 298870 780325 832517 1174138 2786980 3763781 16472632 531207 242458 299253 408673 1481591 1454476 1737926 4673993 11798639 19022929 481102 394942 538967 835855 2250866 2844617 3851126 8946609 10076320 16709087 186987 323571 395697 667843 1574098 2364974 2906695 6845767 9863320 11671707 145777 339826 388952 600041 1474596 1874041 2004355 5352992 6318715 5141 rec. 40239793 587530 1424846 1293992 1835873 5142241 5162139 5809688 16114068 24125725 5142 firms 4756 787 1840 619 471 3717 633 204 4554 202 4879 710 2063 614 450 3837 628 207 4672 207 5057 827 2032 645 466 3970 671 209 4850 207 4667 600 1923 609 479 3611 638 212 4461 206 5679 843 2431 703 558 4535 689 236 5460 219 5142 estab. 8308 787 1842 624 483 3736 698 417 4851 3457 8914 714 2064 616 468 3862 687 371 4920 3994 9036 831 2036 649 479 3995 729 383 5107 3929 9288 602 1926 612 494 3634 705 358 4697 4591 11077 843 2432 706 590 4571 852 441 5864 5213 5142 empl. 267526 0 3546 4052 6294 13892 24366 27607 65865 201661 282984 0 4015 4011 6108 14134 24107 28176 66417 216567 296578 0 3947 4201 6258 14406 26839 28915 70160 226418 317541 0 3726 3992 6506 14224 25148 29996 69368 248173 331156 0 4712 4692 7537 16941 26142 26989 70072 261084 5142 ann. pay. 10690842 42503 128948 140691 214485 526627 834490 994154 2355271 8335571 12751228 53526 155072 147760 233879 590237 869429 1162706 2622372 10128856 14521219 140164 157997 159464 257690 715315 1128227 1649966 3493508 11027711 15488230 56087 143430 154258 278781 632556 1054752 1321715 3009023 12479207 16500827 74653 181320 194892 322047 772912 1153462 1258343 3184717 13316110 5142 rec. 50670642 299224 614805 566511 783618 2264158 2789656 3164202 8218016 42452626 5211 firms 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 17 4 0 1 0 5 0 0 5 12 23 5 2 1 0 8 0 2 10 13 27 2 6 1 4 13 1 1 15 12 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 5211 estab. 41 0 0 0 0 0 0 0 0 41 46 4 0 1 0 5 0 0 5 41 62 5 2 1 0 8 0 12 20 42 74 2 6 1 4 13 1 3 17 57 58 0 0 0 0 0 0 0 0 58 5211 empl. 21456 0 0 0 0 0 0 0 0 21456 22329 [a] 0 [a] 0 [a] 0 0 [a] [j] 22337 [a] [a] [a] 0 [a] 0 [e] [e] [j] 23552 [a] [a] [a] [b] [b] [b] [b] [c] [j] 23367 0 0 0 0 0 0 0 0 23367 5211 ann. pay. 963924 0 0 0 0 0 0 0 0 963924 1018731 (D) 0 (D) 0 (D) 0 0 (D) (D) 1083947 (D) (D) (D) 0 (D) 0 (D) (D) (D) 1234656 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 1304200 0 0 0 0 0 0 0 0 1304200 5211 rec. 28909454 0 0 0 0 0 0 0 0 28909454 5221 firms 19313 290 4886 2656 3162 10994 6298 1633 18925 388 18883 289 4654 2586 3092 10621 6209 1657 18487 396 18592 303 4470 2528 3066 10367 6148 1684 18199 393 18106 264 4215 2435 2975 9889 6089 1734 17712 394 17551 219 3960 2379 2865 9423 5845 1859 17127 424 5221 estab. 105387 293 4898 2784 4058 12033 16889 15986 44908 60479 104045 312 4676 2695 3934 11617 16209 16296 44122 59923 105568 304 4490 2625 3825 11244 15552 16442 43238 62330 107231 267 4221 2538 3683 10709 15065 17276 43050 64181 114286 239 3963 2489 3806 10497 17199 19303 46999 67287 5221 empl. 1920435 0 11637 17928 44010 73575 273819 293167 640561 1279874 1937191 0 [j] [j] 42842 71340 271558 297865 640763 1296428 1934668 0 [j] [j] 42615 70294 270634 302635 643563 1291105 2062520 0 [j] [j] 41461 68087 268332 312849 649268 1413252 2110093 0 9585 16090 40256 65931 256999 327353 650283 1459810 5221 ann. pay. 71207637 52337 246131 462869 1222961 1984298 7826663 9532666 19343627 51864010 75882131 50161 (D) (D) 1240031 1994482 7981490 9801280 19777252 56104879 78549833 72070 (D) (D) 1289287 2065765 8256915 10359459 20682139 57867694 85340360 31290 (D) (D) 1339718 2073443 8616260 11346257 22035960 63304400 87661195 172015 227505 467159 1317372 2184051 8660457 12436060 23280568 64380627 5221 rec. 594492219 1047479 1216552 2530766 7157784 11952581 48709580 74717747 135379908 459112311 5222 firms 20628 3274 9898 3200 1627 17999 1490 625 20114 514 21588 2896 10533 3485 1850 18764 1685 603 21052 536 21726 3081 10931 3435 1715 19162 1501 566 21229 497 22031 3146 11205 3441 1716 19508 1492 553 21553 478 23445 3647 11792 3517 1821 20777 1556 618 22951 494 5222 estab. 48050 3277 9935 3365 2086 18663 3465 3071 25199 22851 49611 2925 10582 3671 2265 19443 3520 3150 26113 23498 49287 3097 11014 3629 2125 19865 3140 3049 26054 23233 49833 3156 11254 3634 2088 20132 3120 3283 26535 23298 53026 3651 11838 3711 2393 21593 3737 3840 29170 23856 5222 empl. 565529 0 21389 20661 21391 63441 52222 60168 175831 389698 644801 0 22866 22470 24206 69542 60880 61974 192396 452405 620903 0 23301 22087 22357 67745 51824 56349 175918 444985 646369 0 23910 22052 22551 68513 51706 53949 174168 472201 661599 0 24955 22653 23681 71289 53789 59324 184402 477197 5222 ann. pay. 25626483 192810 617428 709845 848760 2368843 2327327 2813022 7509192 18117291 29171861 143351 639606 721180 885605 2389742 2524468 2715320 7629530 21542331 29591520 307661 684649 733950 849882 2576142 2117703 2550294 7244139 22347381 35210937 167399 787117 873701 1045384 2873601 2640685 3000777 8515063 26695874 37122533 277566 907354 939668 1155051 3279639 2835187 3424263 9539089 27583444 5222 rec. 371198879 1341476 4910007 3750184 4907914 14909581 11173114 22138772 48221467 322977412 5223 firms 14713 2666 6707 2413 1393 13179 1088 242 14509 204 15078 2564 7079 2491 1440 13574 1081 236 14891 187 15000 2410 7458 2491 1317 13676 918 223 14817 183 16546 3115 7982 2717 1412 15226 910 236 16372 174 18491 3422 8911 2899 1656 16888 1147 265 18300 191 5223 estab. 19722 2692 6743 2521 1729 13685 2322 1256 17263 2459 20151 2571 7107 2589 1698 13965 2124 1243 17332 2819 21424 2456 7504 2613 1565 14138 1764 1071 16973 4451 23700 3126 8039 2821 1655 15641 1750 1244 18635 5065 28848 3450 8940 3024 2182 17596 2855 2108 22559 6289 5223 empl. 202306 0 14663 15746 18431 48840 39172 26588 114600 87706 198764 0 15323 16050 19103 50476 38598 26378 115452 83312 197619 0 15718 16125 17241 49084 33093 23487 105664 91955 208736 0 16951 17697 18587 53235 33201 25506 111942 96794 234392 0 18566 19002 21631 59199 41444 30859 131502 102890 5223 ann. pay. 8208776 135826 524308 587881 752168 2000183 1612330 1070072 4682585 3526191 7530420 130791 462679 507076 657582 1758128 1326156 974586 4058870 3471550 7918610 128536 490172 530195 603678 1752581 1210862 891698 3855141 4063469 9896068 186015 655894 730509 859020 2431438 1555360 1091914 5078712 4817356 11477553 244347 731450 843396 1072030 2891223 2075046 1584776 6551045 4926508 5223 rec. 64518984 961040 2939663 2466443 2773807 9140953 5923609 20800874 35865436 28653548 5231 firms 12627 1832 7090 1507 816 11245 828 274 12347 280 12488 1630 7107 1606 808 11151 795 255 12201 287 12532 1688 6916 1700 844 11148 843 265 12256 276 12336 1477 6958 1699 857 10991 835 255 12081 255 12753 1842 7225 1582 809 11458 758 273 12489 264 5231 estab. 32866 1834 7116 1564 946 11460 1284 906 13650 19216 34501 1636 7132 1659 916 11343 1210 848 13401 21100 38143 1691 6945 1747 937 11320 1234 864 13418 24725 39590 1497 6981 1744 956 11178 1184 784 13146 26444 42333 1842 7255 1641 929 11667 1196 993 13856 28477 5231 empl. 457443 0 [j] [i] 10675 33891 30906 35369 100166 357277 491283 0 [j] 10286 [j] 34977 30047 32147 97171 394112 538978 0 [j] 10910 [j] [k] [k] 33637 100771 438207 575304 0 13613 [j] [j] 35631 31120 32002 98753 476551 627882 0 13955 [j] [j] 34650 27286 29804 91740 536142 5231 ann. pay. 57353485 237976 (D) (D) 935336 2501818 3086777 3777186 9365781 47987704 63179015 232555 (D) 812689 (D) 2779526 3316069 4048133 10143728 53035287 80248397 288798 (D) 828677 (D) (D) (D) 4881662 11647156 68601241 84660971 221698 724337 (D) (D) 2741376 3466226 4549717 10757319 73903652 76670072 172484 700262 (D) (D) 2576458 3142821 4345751 10065030 66605042 5231 rec. 255403981 990471 2970026 (D) (D) (D) 8374718 12200638 29826248 225577733 5232 firms 68 33 11 2 3 49 4 5 58 10 104 43 30 8 4 85 6 5 96 8 18 3 1 0 1 5 3 3 11 7 74 26 29 3 2 60 4 4 68 6 151 35 80 11 3 129 6 8 143 8 5232 estab. 82 33 11 2 3 49 4 13 66 16 118 43 32 8 4 87 6 9 102 16 30 3 1 0 1 5 3 3 11 19 86 26 29 3 2 60 4 8 72 14 173 36 80 11 3 130 6 18 154 19 5232 empl. 6647 0 [a] [a] 49 78 192 1188 1458 5189 6952 0 [b] 57 [b] 170 166 1014 1350 5602 6808 0 [a] 0 [a] [a] [c] 725 853 5955 6531 0 51 [a] [b] 95 128 1035 1258 5273 7302 0 144 [b] [b] 251 157 1616 2024 5278 5232 ann. pay. 498989 25744 (D) (D) 5320 31868 10154 66779 108801 390188 507967 5342 (D) 3276 (D) 17335 7105 65948 90388 417579 515608 106 (D) 0 (D) (D) (D) 48274 54347 461261 580888 2530 2339 (D) (D) 6136 6641 75256 88033 492855 718873 4700 5991 (D) (D) 16298 8381 141160 165839 553034 5232 rec. 3555191 15165 30321 (D) (D) (D) 18969 478438 555155 3000036 5239 firms 28193 5392 16200 3195 1467 26254 1079 360 27693 500 28980 5398 16605 3350 1558 26911 1182 402 28495 485 31345 6136 17738 3563 1712 29149 1332 398 30879 466 34024 6117 19842 3831 1899 31689 1439 420 33548 476 35477 6651 20750 3795 1778 32974 1464 482 34920 557 5239 estab. 30930 5396 16249 3307 1593 26545 1359 550 28454 2476 31734 5410 16651 3456 1653 27170 1447 622 29239 2495 34756 6148 17791 3645 1808 29392 1608 589 31589 3167 37242 6118 19895 3902 2012 31927 1712 617 34256 2986 39184 6656 20794 3887 1937 33274 1872 744 35890 3294 5239 empl. 260157 0 29765 20310 18877 68952 34101 26180 129233 130924 281826 0 30590 21295 19989 71874 36959 29203 138036 143790 320436 0 33047 22845 22394 78286 43197 31684 153167 167269 365225 0 36669 24473 24734 85876 48197 32894 166967 198258 373683 0 37917 24269 22732 84918 46022 31576 162516 211167 5239 ann. pay. 25593440 433806 1729221 1764425 2105606 6033058 4222598 3288198 13543854 12049586 29258580 524713 1786436 1928549 2347601 6587299 4602650 4078558 15268507 13990073 38767351 874810 2054241 2156378 2790553 7875982 6210447 6448894 20535323 18232028 39786227 497244 2062967 2177134 2865559 7602904 7082073 5340786 20025763 19760464 37724185 508643 2162883 2073049 2579689 7324264 6691601 5768319 19784184 17940001 5239 rec. 108528157 1968543 8161056 5228964 6256512 21615075 16336519 12682026 50633620 57894537 5241 firms 5081 558 1791 732 409 3490 677 435 4602 479 5394 524 2024 773 452 3773 692 429 4894 500 5548 533 2211 758 462 3964 658 450 5072 476 5957 570 2513 835 488 4406 646 434 5486 471 5930 608 2450 855 485 4398 636 424 5458 472 5241 estab. 39142 561 1796 748 454 3559 881 1402 5842 33300 42286 531 2028 783 494 3836 886 1316 6038 36248 37437 533 2222 767 482 4004 831 1366 6201 31236 30852 570 2517 868 513 4468 826 1189 6483 24369 31271 608 2457 870 519 4454 863 1456 6773 24498 5241 empl. 1532559 0 3962 4707 5416 14085 29285 76539 119909 1412650 1549222 0 4423 4978 6068 15469 30075 74945 120489 1428733 1489183 0 4877 4853 6094 15824 27605 79584 123013 1366170 1505007 0 5461 5322 6518 17301 26786 75288 119375 1385632 1500814 0 5254 5437 6424 17115 26273 70366 113754 1387060 5241 ann. pay. 69159311 40286 111727 151468 205951 509432 1240087 3316092 5065611 64093700 72599976 36955 133415 154955 240850 566175 1318888 3357538 5242601 67357375 74733460 43459 161242 164226 234671 603598 1237886 3805679 5647163 69086297 78493632 36602 172049 191001 271136 670788 1297104 3671422 5639314 72854318 78489668 41228 170635 198597 270409 680869 1307303 3505325 5493497 72996171 5241 rec. 1177580984 459567 1803742 1609588 2374494 6247391 16971702 58262044 81481137 1096099847 5242 firms 122999 11063 82082 17834 6791 117770 4111 657 122538 461 122348 10471 81921 17870 6787 117049 4147 674 121870 478 123234 12216 81028 17968 6717 117929 4131 702 122762 472 122329 10882 81250 18163 6712 117007 4141 716 121864 465 124367 12173 81733 18366 6676 118948 4123 778 123849 518 5242 estab. 134516 11073 82224 18469 8213 119979 7033 2464 129476 5040 133850 10514 82074 18488 8065 119141 6917 2210 128268 5582 134758 12251 81240 18567 7955 120013 6646 2186 128845 5913 133980 10904 81426 18718 7861 118909 6549 2397 127855 6125 137705 12189 81831 18837 7820 120677 7063 3207 130947 6758 5242 empl. 779835 0 166097 113246 88890 368233 142825 79450 590508 189327 796730 0 166736 113534 88595 368865 145739 84150 598754 197976 800979 0 165346 113694 87651 366691 145180 85149 597020 203959 821126 0 166391 114777 87668 368836 146127 90267 605230 215896 841191 0 168704 116207 87037 371948 144059 94198 610205 230986 5242 ann. pay. 30178703 368513 4019914 3577816 3411073 11377316 6292186 3324210 20993712 9184991 32216309 423945 4154743 3663019 3538644 11780351 6514733 3600487 21895571 10320738 33339917 425803 4296853 3790110 3613589 12126355 6836289 3727311 22689955 10649962 36265788 390160 4529972 3975171 3803779 12699082 7364360 4290684 24354126 11911662 39135775 494820 4733054 4155225 3993824 13376923 7761435 4869065 26007423 13128352 5242 rec. 134482834 2045427 18811878 11977097 10090675 42925077 19486238 16184642 78595957 55886877 5259 firms 1012 296 439 88 34 857 55 42 954 58 1262 357 567 107 46 1077 75 47 1199 63 1548 410 718 141 72 1341 94 48 1483 65 1659 398 836 136 99 1469 84 48 1601 58 2531 561 1355 227 127 2270 116 65 2451 80 5259 estab. 1680 296 440 93 36 865 71 153 1089 591 1995 360 568 112 46 1086 91 195 1372 623 2262 410 718 143 74 1345 111 137 1593 669 2431 398 838 138 102 1476 94 167 1737 694 3538 561 1358 232 132 2283 161 186 2630 908 5259 empl. 23972 0 807 527 497 1831 1821 4717 8369 15603 36076 [a] [g] [f] 618 [g] 2759 6686 [j] [j] 31515 [a] [g] [f] 960 [h] 3684 [i] [j] [j] 33660 [a] [g] [f] [g] [h] 3525 6369 [j] [j] 34260 0 2444 1460 1629 5533 4316 7018 16867 17393 5259 ann. pay. 1218095 33642 32095 40492 54035 160264 153620 316480 630364 587731 1880198 (D) (D) (D) 38055 (D) 358042 409310 (D) (D) 2056809 (D) (D) (D) 80469 (D) 372189 (D) (D) (D) 2068581 (D) (D) (D) (D) (D) 354222 424658 (D) (D) 2352222 56791 128675 146961 208939 541366 399322 479111 1419799 932423 5259 rec. 23281761 1118708 1194989 900039 2138582 5352318 4478497 5609764 15440579 7841182 5311 firms 98234 10435 65202 13038 5208 93883 3081 729 97693 541 97835 10614 64794 12973 5136 93517 3094 710 97321 514 97983 10917 64363 12964 5242 93486 3252 742 97480 503 96631 10453 63496 13000 5176 92125 3283 747 96155 476 96625 11262 63023 12762 5113 92160 3164 801 96125 500 5311 estab. 107755 10458 65368 13460 6017 95303 4901 2719 102923 4832 107474 10649 64968 13385 5844 94846 4887 2619 102352 5122 108204 10990 64556 13334 5921 94801 4923 2939 102663 5541 107998 10479 63684 13347 5820 93330 5040 3111 101481 6517 109078 11263 63152 13149 5897 93461 5090 3578 102129 6949 5311 empl. 490244 0 122759 82968 66122 271849 97894 56111 425854 64390 484073 0 122282 82520 65446 270248 97821 55853 423922 60151 501492 0 122106 82727 66615 271448 105295 62033 438776 62716 513212 0 120555 82776 66228 269559 106838 66073 442470 70742 515151 0 122342 81442 65273 269057 102172 69299 440528 74623 5311 ann. pay. 11005053 315912 2230666 1632311 1375843 5554732 2094009 1492556 9141297 1863756 11398855 330099 2365084 1709739 1438155 5843077 2245874 1493775 9582726 1816129 12545092 384203 2463704 1825440 1544078 6217425 2471910 1744547 10433882 2111210 13893320 389619 2587644 1922678 1631364 6531305 2674310 1967709 11173324 2719996 14179375 409194 2569513 1944267 1641487 6564461 2615875 2220282 11400618 2778757 5311 rec. 106386810 3308136 25177782 15464880 12384534 56335332 16896746 12487104 85719182 20667628 5312 firms 57708 10521 37591 5620 2214 55946 1300 293 57539 169 58096 9854 38240 5879 2338 56311 1329 290 57930 166 58954 10601 38191 5920 2370 57082 1393 306 58781 173 62670 11723 40519 6110 2386 60738 1449 315 62502 168 68781 15343 43184 6042 2378 66947 1377 277 68601 180 5312 estab. 63519 10557 37701 5932 2924 57114 2865 1647 61626 1893 64342 9877 38333 6162 2943 57315 2769 1524 61608 2734 65098 10622 38286 6151 2934 57993 2689 1641 62323 2775 68948 11730 40605 6343 2893 61571 2758 1605 65934 3014 76046 15346 43264 6407 3064 68081 3206 1617 72904 3142 5312 empl. 241101 0 67242 35528 28186 130956 43555 30981 205492 35609 259992 0 68794 37189 30010 135993 44469 32567 213029 46963 271145 0 69235 37683 30616 137534 47408 33752 218694 52451 283959 0 72561 38649 30692 141902 49508 34802 226212 57747 277561 0 77893 38203 30616 146712 45591 31395 223698 53863 5312 ann. pay. 8691590 371460 1741684 961174 866468 3940786 1577129 1196692 6714607 1976983 9560649 350564 1880282 1047361 935073 4213280 1624371 1308510 7146161 2414488 10562944 387318 1967950 1105870 1002154 4463292 1807290 1416737 7687319 2875625 11063932 404629 2104759 1172604 1029503 4711495 1868921 1472874 8053290 3010642 11258252 540619 2254990 1215411 1088997 5100017 1775483 1381475 8256975 3001277 5312 rec. 67944403 3249830 16051402 8417194 7274696 34993122 9788386 6536360 51317868 16626535 5313 firms 48547 7696 26513 6482 3604 44295 3148 780 48223 324 50532 7983 27669 6704 3785 46141 3240 840 50221 311 53148 8675 29202 6909 3846 48632 3348 856 52836 312 54448 8567 30189 7201 3891 49848 3405 881 54134 314 61755 10523 34232 7883 4304 56942 3567 913 61422 333 5313 estab. 55943 7726 26554 6585 3844 44709 4129 2387 51225 4718 59521 7999 27719 6797 4007 46522 4192 2369 53083 6438 61647 8692 29253 6986 4061 48992 4203 2538 55733 5914 64169 8604 30245 7287 4097 50233 4201 2863 57297 6872 72071 10525 34262 7945 4518 57250 4721 3171 65142 6929 5313 empl. 466187 0 50720 41781 47457 139958 116835 100236 357029 109158 481930 0 53041 43087 49828 145956 118661 112726 377343 104587 506910 0 55643 44599 50519 150761 124652 122495 397908 109002 538127 0 57022 46707 51224 154953 127594 127690 410237 127890 559261 0 65610 51256 56564 173430 133600 131036 438066 121195 5313 ann. pay. 14695940 344128 1460226 1297852 1561966 4664172 3436928 2803671 10904771 3791169 15633932 353201 1532630 1367152 1623054 4876037 3734245 3335958 11946240 3687692 17285680 390212 1640642 1419050 1697447 5147351 4127747 3876465 13151563 4134117 19464889 413977 1801830 1627116 1807441 5650364 4326835 4215468 14192667 5272222 20334921 480608 2057506 1827461 2049787 6415362 4715905 4315501 15446768 4888153 5313 rec. 62326133 2134949 8458647 5554685 5345446 21493727 10743978 9474658 41712363 20613770 5321 firms 5112 606 2495 742 497 4340 508 184 5032 80 5076 687 2411 754 493 4345 467 184 4996 80 5018 588 2434 765 505 4292 475 171 4938 80 5093 628 2447 825 486 4386 469 167 5022 71 5074 723 2456 747 482 4408 421 171 5000 74 5321 estab. 10835 607 2501 757 583 4448 867 660 5975 4860 11247 692 2425 770 581 4468 753 677 5898 5349 11067 594 2445 785 581 4405 764 594 5763 5304 12071 634 2459 847 556 4496 718 600 5814 6257 11944 723 2467 775 570 4535 729 645 5909 6035 5321 empl. 171141 0 5223 4818 6379 16420 16881 16125 49426 121715 179086 0 5029 4872 6349 16250 15902 17295 49447 129639 181963 0 4963 4970 6551 16484 16614 15612 48710 133253 189247 0 5041 5352 6339 16732 15834 15925 48491 140756 181952 0 5077 4810 6221 16108 13104 15498 44710 137242 5321 ann. pay. 4449857 29272 123820 117453 160136 430681 440189 396747 1267617 3182240 4874477 24029 126853 126827 167717 445426 437152 454722 1337300 3537177 5071004 25231 126795 128968 175039 456033 441863 423430 1321326 3749678 5345095 23472 129418 140651 177789 471330 412497 438051 1321878 4023217 5366887 27695 128025 128540 177854 462114 371991 448566 1282671 4084216 5321 rec. 35725874 204829 1007640 926295 1198307 3337071 2459621 2535019 8331711 27394163 5322 firms 19690 2525 9029 4228 2183 17965 1433 176 19574 116 18372 2146 8607 3903 2032 16688 1386 181 18255 117 16746 2025 7697 3472 1929 15123 1316 193 16632 114 16003 2013 7277 3265 1828 14383 1313 193 15889 114 14878 1992 6499 3129 1817 13437 1155 188 14780 98 5322 estab. 33948 2536 9062 4363 2676 18637 3649 1788 24074 9874 34473 2207 8687 4089 2511 17494 3415 1839 22748 11725 33128 2051 7763 3640 2398 15852 3065 1689 20606 12522 32299 2041 7331 3436 2239 15047 2953 1789 19789 12510 31995 2020 6512 3228 2207 13967 2738 1885 18590 13405 5322 empl. 241557 0 20244 27525 28209 75978 45396 20286 141660 99897 255284 0 19106 25434 26369 70909 45564 20139 136612 118672 254716 0 16901 22574 25158 64633 43753 22376 130762 123954 256176 0 15793 21325 23674 60792 43992 22985 127769 128407 252571 0 14531 20367 23877 58775 38348 22909 120032 132539 5322 ann. pay. 3379190 61360 246793 307168 377273 992594 738165 301639 2032398 1346792 3979753 89318 247594 305431 376120 1018463 771408 350260 2140131 1839622 4194537 75968 244169 295981 395711 1011829 765846 449683 2227358 1967179 4402260 72691 254164 299564 405074 1031493 797607 449667 2278767 2123493 4547604 63212 224294 303888 405728 997122 710838 464332 2172292 2375312 5322 rec. 20671673 304739 1131240 1237337 1485939 4159255 2538314 1976930 8674499 11997174 5323 firms 3870 352 1577 966 574 3469 316 46 3831 39 3732 287 1537 935 572 3331 324 43 3698 34 3552 274 1463 889 541 3167 309 44 3520 32 3427 261 1404 874 517 3056 298 42 3396 31 3597 316 1499 860 557 3232 289 45 3566 31 5323 estab. 6246 352 1584 984 650 3570 682 316 4568 1678 6428 287 1547 948 644 3426 609 347 4382 2046 6358 274 1469 907 617 3267 540 328 4135 2223 6406 261 1411 893 593 3158 527 325 4010 2396 6737 346 1501 873 662 3382 584 360 4326 2411 5323 empl. 40034 0 3675 6304 7155 17134 8651 4972 30757 9277 42138 0 3545 6141 7191 16877 8975 4563 30415 11723 41863 0 3396 5917 6864 16177 8811 3972 28960 12903 41355 0 3257 5822 6609 15688 8759 3445 27892 13463 40907 0 3476 5633 7110 16219 8311 3330 27860 13047 5323 ann. pay. 1039769 10857 86513 142505 174866 414741 241956 134648 791345 248424 1135420 7946 88126 148343 179830 424245 241944 119596 785785 349635 1189599 9707 87923 149903 180057 427590 251074 110934 789598 400001 1220593 9209 82599 150770 180156 422734 258759 104495 785988 434605 1262493 15725 88253 148324 193905 446207 242410 107519 796136 466357 5323 rec. 4971199 87427 413374 518717 635956 1655474 745152 444797 2845423 2125776 5324 firms 8648 1257 3547 1369 1059 7232 915 252 8399 249 8465 1252 3507 1401 1004 7164 846 210 8220 245 8383 1213 3457 1411 993 7074 835 227 8136 247 8420 1170 3547 1398 991 7106 866 221 8193 227 8227 1251 3453 1323 928 6955 831 214 8000 227 5324 estab. 12080 1262 3555 1403 1172 7392 1440 748 9580 2500 12496 1265 3525 1433 1074 7297 1298 586 9181 3315 12621 1219 3469 1437 1073 7198 1133 630 8961 3660 12983 1174 3557 1436 1052 7219 1179 700 9098 3885 12969 1254 3457 1346 1017 7074 1289 585 8948 4021 5324 empl. 139873 0 7346 8984 13962 30292 30999 22307 83598 56275 145408 0 7120 9131 13229 29480 29344 18647 77471 67937 157495 0 7077 9247 13018 29342 27188 21355 77885 79610 165936 0 7318 9160 13155 29633 29442 21394 80469 85467 165892 0 7146 8689 12323 28158 28031 19624 75813 90079 5324 ann. pay. 5479036 64091 241537 300401 489181 1095210 1144219 922602 3162031 2317005 6052086 90969 241512 311976 488962 1133419 1143095 801115 3077629 2974457 6737595 123776 246552 317077 499818 1187223 1149152 919483 3255858 3481737 6998399 61313 252773 330005 513312 1157403 1250099 978112 3385614 3612785 6844925 62918 245380 319496 499143 1126937 1203679 866379 3196995 3647930 5324 rec. 37628974 359607 1479268 1495876 2171653 5506404 5573609 4939705 16019718 21609256 5331 firms 1991 300 899 248 168 1615 147 68 1830 161 1952 250 923 245 162 1580 150 69 1799 153 1907 224 917 217 172 1530 164 65 1759 148 2027 292 928 254 169 1643 179 64 1886 141 2077 342 885 227 190 1644 200 63 1907 170 5331 estab. 2124 300 900 259 179 1638 165 87 1890 234 2099 253 928 254 169 1604 165 101 1870 229 2054 224 923 224 181 1552 174 101 1827 227 2129 292 930 257 178 1657 190 82 1929 200 2184 342 887 233 199 1661 213 77 1951 233 5331 empl. 22591 0 1726 1630 2089 5445 4597 4200 14242 8349 25881 0 1804 1561 2081 5446 4972 5004 15422 10459 26462 0 1799 1368 2198 5365 5622 5178 16165 10297 25661 0 1820 1631 2142 5593 6173 5601 17367 8294 24052 0 1721 1466 2525 5712 6403 4208 16323 7729 5331 ann. pay. 1147607 23316 77722 68517 96194 265749 214922 205277 685948 461659 1460088 36976 86163 70166 91337 284642 307375 264572 856589 603499 1625641 21355 86047 71296 98307 277005 393236 301845 972086 653555 1621052 26011 91574 85108 93579 296272 350277 319848 966397 654655 1446754 36688 76241 68940 116192 298061 381167 259760 938988 507766 5331 rec. 14894889 208191 816023 267815 434543 1726572 2291438 1026755 5044765 9850124 5411 firms 170467 15570 111492 24281 11180 162523 6935 828 170286 181 169613 15137 110590 24370 11411 161508 7056 850 169414 199 169204 15679 109490 24700 11274 161143 7011 842 168996 208 169239 15911 109458 24693 11174 161236 6934 842 169012 227 170427 17019 108796 25046 11381 162242 7052 899 170193 234 5411 estab. 177838 15578 111587 24580 12013 163758 9769 2843 176370 1468 177037 15156 110689 24665 12158 162668 9905 2768 175341 1696 176720 15705 109610 25004 12056 162375 9708 2739 174822 1898 176771 15939 109607 25010 11886 162442 9516 2763 174721 2050 178692 17036 108857 25293 12158 163344 10009 3104 176457 2235 5411 empl. 1049373 0 213526 156812 147955 518293 255211 157295 930799 118574 1082253 0 212169 157076 151269 520514 259768 161536 941818 140435 1088963 0 211074 158939 149118 519131 258382 159015 936528 152435 1110187 0 211830 159074 148126 519030 256660 157775 933465 176722 1138451 0 212671 161616 151277 525564 260693 165284 951541 186910 5411 ann. pay. 53600979 887822 6913907 5995168 6930908 20727805 14735182 9935872 45398859 8202120 57179550 936270 7112588 6088849 7248728 21386435 15308512 10346945 47041892 10137658 62140749 1065702 7349107 6453983 7453122 22321914 15818240 11173427 49313581 12827168 67236548 1064065 7789423 6760306 7883630 23497424 16610305 11910689 52018418 15218130 70456903 1229238 7754008 7015419 8244819 24243484 17211122 12528670 53983276 16473627 5411 rec. 182828620 3463739 27755002 19313515 19286679 69818935 37405257 28928451 136152643 46675977 5412 firms 93765 10532 56955 15333 6553 89373 3598 524 93495 270 93638 10550 56480 15356 6630 89016 3765 572 93353 285 94067 10882 55945 15671 6758 89256 3913 589 93758 309 95256 11123 56417 15817 6983 90340 3991 617 94948 308 99149 12407 58150 16174 7204 93935 4161 707 98803 346 5412 estab. 99083 10542 56986 15441 6968 89937 4940 1358 96235 2848 99422 10579 56511 15471 7029 89590 5050 1462 96102 3320 100363 10902 55980 15779 7154 89815 5180 1450 96445 3918 101826 11128 56456 15937 7349 90870 5178 1490 97538 4288 110844 12409 58165 16270 7585 94429 5728 1680 101837 9007 5412 empl. 1060647 0 113979 98588 85867 298434 129493 81009 508936 551711 1093608 0 113388 98740 86730 298858 136196 88433 523487 570121 1164194 0 112815 100762 88306 301883 142827 95199 539909 624285 1191356 0 113619 101783 91574 306976 147728 101854 556558 634798 1241269 0 118511 104193 94548 317252 152925 112846 583023 658246 5412 ann. pay. 30260516 357491 2431112 2587571 2691890 8068064 4440435 2408227 14916726 15343790 32697382 472411 2539486 2669606 2782312 8463815 4816529 2586325 15866669 16830713 37698071 355991 2672514 2780351 2905231 8714087 5360035 2988914 17063036 20635035 38302003 471094 2731000 2898282 3102457 9202833 5653830 3436303 18292966 20009037 38929976 495132 2875735 3060147 3265086 9696100 5832590 3693009 19221699 19708277 5412 rec. 86243925 1417956 8994564 7234539 6897948 24545007 11876599 6888427 43310033 42933892 5413 firms 92872 12912 45324 15864 9741 83841 7319 1194 92354 518 92816 11786 45209 16163 10224 83382 7662 1223 92267 549 91816 11575 43967 16156 10268 81966 7990 1324 91280 536 92762 11235 44541 16394 10448 82618 8193 1387 92198 564 95966 13165 46269 16265 10279 85978 8037 1374 95389 577 5413 estab. 102744 12917 45359 15963 10032 84271 9380 3929 97580 5164 103430 11811 45245 16258 10496 83810 9617 4055 97482 5948 102292 11596 44018 16240 10527 82381 9869 4334 96584 5708 103597 11249 44584 16489 10698 83020 9936 4458 97414 6183 108061 13185 46293 16371 10679 86528 10764 4780 102072 5989 5413 empl. 1171469 0 91682 104506 129729 325917 271220 184572 781709 389760 1212838 0 91211 106566 136646 334423 286593 187681 808697 404141 1213355 0 89101 106670 137130 332901 300916 207349 841166 372189 1285927 0 90082 108354 140162 338598 311142 221718 871458 414469 1236939 0 92982 107391 137001 337374 302900 216585 856859 380080 5413 ann. pay. 54825520 537816 3142377 3902637 5436913 13019743 12820862 9124180 34964785 19860735 59780006 590725 3256156 4106451 5916686 13870018 14098599 9557553 37526170 22253836 64768720 676649 3275590 4344609 6268341 14565189 15464367 11611793 41641349 23127371 68712721 579266 3434492 4512639 6511631 15038028 16360990 12410974 43809992 24902729 67128127 655255 3482470 4565319 6488689 15191733 16271155 12353109 43815997 23312130 5413 rec. 166219410 2194588 10565791 11214271 14672721 38647371 35853297 27332268 101832936 64386474 5414 firms 27602 4797 16446 3705 1662 26610 832 86 27528 74 27877 4323 16846 3920 1747 26836 876 96 27808 69 28196 4580 16580 4062 1816 27038 995 94 28127 69 29069 4558 17258 4152 1928 27896 1000 102 28998 71 30426 5258 18613 3927 1668 29466 790 99 30355 71 5414 estab. 27817 4798 16454 3721 1692 26665 896 130 27691 126 28097 4334 16849 3939 1774 26896 941 129 27966 131 28422 4581 16582 4080 1844 27087 1059 140 28286 136 29305 4560 17262 4171 1957 27950 1050 167 29167 138 30711 5258 18618 3945 1714 29535 887 164 30586 125 5414 empl. 124680 0 31779 23866 21711 77356 27573 8540 113469 11211 131134 0 32395 25220 23037 80652 29582 10073 120307 10827 139726 0 32284 26218 23929 82431 34180 10177 126788 12938 147772 0 33269 26765 25366 85400 34811 11731 131942 15830 131546 0 35421 25349 21922 82692 26420 7726 116838 14708 5414 ann. pay. 4897684 163104 955249 813355 878051 2809759 1184081 365248 4359088 538596 5362119 210351 1017557 898251 970979 3097138 1316995 412546 4826679 535440 6046357 152214 1069803 993664 1061305 3276986 1613798 480600 5371384 674973 6088090 154815 1063241 975061 1047664 3240781 1578787 531960 5351528 736562 5685106 162577 1106509 972913 961764 3203763 1285153 407746 4896662 788444 5414 rec. 19598570 898728 5581103 3562100 2978408 13020339 3409805 1018992 17449136 2149434 5415 firms 78806 19487 40872 7980 4641 72980 4320 995 78295 511 85437 18616 46116 8865 5161 78758 5037 1074 84869 568 90776 20154 47134 9778 5920 82986 5954 1243 90183 593 91329 17621 49373 9795 6225 83014 6298 1404 90716 613 92606 19363 50963 9245 5860 85431 5442 1151 92024 582 5415 estab. 85535 19494 40905 8047 4789 73235 5093 2175 80503 5032 93798 18665 46157 8927 5276 79025 5717 2223 86965 6833 100144 20169 47172 9859 6038 83238 6592 2536 92366 7778 100852 17628 49427 9861 6349 83265 6901 2673 92839 8013 102872 19378 50999 9324 6082 85783 6574 2615 94972 7900 5415 empl. 873455 0 71115 51933 62240 185288 169543 148219 503050 370405 1013049 0 80216 57884 69174 207274 197199 170401 574874 438175 1171236 0 82906 63924 79890 226720 235097 204851 666668 504568 1254805 0 87354 63748 84216 235318 250035 233818 719171 535634 1089497 0 89294 60844 79034 229172 209662 178305 617139 472358 5415 ann. pay. 54755626 1245583 3680592 2605362 3527753 11059290 10899080 9501034 31459404 23296222 66314054 1255503 4287669 3117209 4145182 12805563 13259046 11698519 37763128 28550926 85302825 1865174 4441154 3441860 4899863 14648051 16899789 16606593 48154433 37148392 84675882 1358280 4398639 3196610 4916504 13870033 16345995 16722741 46938769 37737113 73836091 1084507 4368145 3220214 4734362 13407228 14597226 13041457 41045911 32790180 5415 rec. 181779719 3235834 11861613 8046415 10969308 34113170 30648397 28278188 93039755 88739964 5416 firms 83564 19155 46554 8610 4475 78794 3391 791 82976 588 86087 20056 47735 8659 4623 81073 3608 788 85469 618 92031 22438 50190 9114 4980 86722 3819 856 91397 634 102083 24755 56264 9912 5412 96343 4231 874 101448 635 110393 27813 61268 10277 5333 104691 4104 923 109718 675 5416 estab. 87731 19168 46605 8705 4695 79173 4298 1541 85012 2719 90877 20091 47790 8746 4852 81479 4371 1590 87440 3437 97109 22477 50248 9195 5195 87115 4511 1699 93325 3784 107659 24787 56320 10004 5622 96733 4921 1768 103422 4237 117008 27828 61310 10413 5719 105270 5312 2196 112778 4230 5416 empl. 601491 0 83347 55509 59324 198180 121942 92620 412742 188749 658487 0 85191 56119 61214 202524 130036 92133 424693 233794 711611 0 89285 58679 65706 213670 139775 105566 459011 252600 806104 0 99957 64104 71635 235696 157851 112243 505790 300314 820439 0 109174 66426 70281 245881 146191 111436 503508 316931 5416 ann. pay. 33841507 1031651 4019621 2792865 3111710 10955847 6194426 4438932 21589205 12252302 38585097 1152328 4223693 2887315 3312802 11576138 6920134 4344955 22841227 15743870 44209697 1403400 4692603 3184317 3786095 13066415 8070585 5252958 26389958 17819739 47344655 1293205 4928382 3293974 3887468 13403029 8465373 5708488 27576890 19767765 49568251 1630767 5145473 3427107 3860196 14063543 7886510 5876886 27826939 21741312 5416 rec. 130823753 5380519 16287735 9260717 10018584 40947555 19548458 13840984 74336997 56486756 5417 firms 9886 1407 3980 1526 1080 7993 1230 411 9634 252 10019 1299 4060 1552 1075 7986 1346 408 9740 279 10431 1526 4037 1624 1127 8314 1397 416 10127 304 11198 1504 4398 1750 1224 8876 1501 497 10874 324 11418 1668 4582 1594 1189 9033 1478 532 11043 375 5417 estab. 11689 1410 3982 1542 1111 8045 1509 823 10377 1312 12088 1313 4067 1566 1106 8052 1621 811 10484 1604 12640 1535 4042 1641 1171 8389 1633 848 10870 1770 13514 1507 4409 1773 1260 8949 1744 946 11639 1875 13944 1668 4595 1606 1261 9130 1836 996 11962 1982 5417 empl. 309851 0 8183 10021 14470 32674 48859 63911 145444 164407 338346 0 8488 10251 14399 33138 54746 64002 151886 186460 359097 0 8387 10748 15103 34238 57781 67289 159308 199789 387067 0 9024 11634 16408 37066 61026 81578 179670 207397 399213 0 9324 10439 15906 35669 60951 84936 181556 217657 5417 ann. pay. 16803084 120142 362569 477102 735306 1695119 2687506 3434820 7817445 8985639 19917814 99658 410863 492230 763045 1765796 3120037 3858730 8744563 11173251 25260607 184007 421190 566284 861398 2032879 3862639 5883651 11779169 13481438 25090589 162094 454559 620038 962153 2198844 3994504 5863977 12057325 13033264 25692084 174889 472013 551593 936230 2134725 3983713 5752246 11870684 13821400 5417 rec. 62482362 517852 1563043 1507513 2499255 6087663 9357202 13395607 28840472 33641890 5418 firms 36928 5118 19298 5977 3326 33719 2558 416 36693 235 37056 4776 19583 5980 3415 33754 2667 407 36828 228 36425 4877 18794 5931 3456 33058 2716 414 36188 237 36108 4518 18822 6024 3340 32704 2764 409 35877 231 34459 4676 18071 5514 3154 31415 2460 370 34245 214 5418 estab. 39911 5119 19311 6013 3435 33878 3023 912 37813 2098 40052 4789 19593 6010 3524 33916 3056 877 37849 2203 39532 4886 18805 5968 3551 33210 3081 838 37129 2403 39290 4519 18832 6063 3428 32842 3094 828 36764 2526 37930 4676 18076 5565 3287 31604 2910 870 35384 2546 5418 empl. 430669 0 38819 38981 44288 122088 94604 62028 278720 151949 443252 0 39625 39087 45370 124082 99926 61796 285804 157448 472312 0 37943 38883 45642 122468 102123 64626 289217 183095 464243 0 37834 39637 44566 122037 104142 64421 290600 173643 411819 0 36431 36140 41848 114419 91795 55476 261690 150129 5418 ann. pay. 18419557 237229 1370890 1477597 1816653 4902369 4036766 2374170 11313305 7106252 19851384 257445 1436725 1546218 1966257 5206645 4473627 2591810 12272082 7579302 22907439 287588 1435548 1641925 2117037 5482098 4920526 3035509 13438133 9469306 22267114 230237 1434388 1597842 2084595 5347062 4912877 2757260 13017199 9249915 20475110 251097 1351825 1517733 1992872 5113527 4419940 2554903 12088370 8386740 5418 rec. 60400991 972255 5673343 5331852 5996892 17974342 11848432 6224854 36047628 24353363 5419 firms 48817 7074 21573 10382 6636 45665 2773 257 48695 122 53071 8646 23210 10699 7007 49562 3131 257 52950 121 58316 10081 25517 11259 7615 54472 3420 295 58187 129 56382 8217 25066 11131 7873 52287 3667 300 56254 128 64480 11441 27795 11904 8550 59690 4274 350 64314 166 5419 estab. 55644 7076 21590 10419 6698 45783 3172 859 49814 5830 59978 8649 23235 10733 7070 49687 3539 825 54051 5927 65476 10084 25537 11304 7681 54606 3744 1049 59399 6077 63640 8223 25091 11173 7966 52453 3986 920 57359 6281 72303 11442 27806 11954 8725 59927 5000 799 65726 6577 5419 empl. 430730 0 45201 69449 87452 202102 91794 42667 336563 94167 459455 0 47890 71522 92671 212083 102851 43138 358072 101383 495722 0 51968 75247 101313 228528 112518 48602 389648 106074 509118 0 51132 74478 104715 230325 121142 48898 400365 108753 577032 0 57531 79849 113830 251210 140464 59176 450850 126182 5419 ann. pay. 10272095 247392 1032623 1396826 1911642 4588483 2212991 956368 7757842 2514253 11551095 353364 1183309 1485905 2073038 5095616 2552581 1073813 8722010 2829085 13673764 481469 1372107 1689634 2411070 5954280 3072137 1348289 10374706 3299058 14691478 315490 1367729 1697065 2541745 5922029 3347422 1374523 10643974 4047504 17006489 437862 1657715 2073202 2953487 7122266 4098610 1712724 12933600 4072889 5419 rec. 53688288 1871297 7330064 7090024 8658302 24949687 10546826 3973492 39470005 14218283 5511 firms 26419 1418 3223 774 1080 6495 5785 7577 19857 6562 26873 1394 3742 841 1149 7126 5527 7607 20260 6613 26762 1245 3988 877 1152 7262 5340 7489 20091 6671 26794 1197 3927 912 1151 7187 5258 7651 20096 6698 28229 1033 3906 899 1296 7134 6043 8328 21505 6724 5511 estab. 43681 1422 3231 792 1106 6551 6056 8616 21223 22458 46528 1398 3758 856 1162 7174 5740 8665 21579 24949 47387 1252 4004 887 1179 7322 5535 8487 21344 26043 47559 1199 3941 922 1171 7233 5479 8678 21390 26169 49383 1033 3925 924 1354 7236 6337 9401 22974 26409 5511 empl. 2703799 0 5276 3834 6961 16071 66261 221967 304299 2399500 2788276 0 5783 4262 7538 17583 66178 229905 313666 2474610 2873521 0 6314 4452 8114 18880 66768 221993 307641 2565880 2879223 0 6274 4542 8138 18954 69003 237516 325473 2553750 2913798 0 6458 4618 8981 20057 76984 280390 377431 2536367 5511 ann. pay. 175648657 290881 251821 221965 375672 1140339 2982466 10857683 14980488 160668169 192378035 422066 259826 291846 435004 1408742 3157343 11834393 16400478 175977557 211361063 519510 339608 386622 504106 1749846 3369774 11775224 16894844 194466219 213123787 446687 426315 346706 459269 1678977 3506076 12782834 17967887 195155900 204802311 167800 312772 292588 552850 1326010 3878867 14690143 19895020 184907291 5511 rec. 312884523 1773283 5082714 2084373 1871898 10812268 9473077 27879680 48165025 264719498 5611 firms 23118 3861 9533 3354 2217 18965 2407 1012 22384 734 23853 3865 9953 3332 2308 19458 2600 1026 23084 769 25021 4002 10301 3496 2473 20272 2866 1072 24210 811 27415 4849 11233 3818 2622 22522 3028 1091 26641 774 20118 4482 6584 2445 1962 15473 2659 1159 19291 827 5611 estab. 26238 3869 9544 3364 2253 19030 2673 1417 23120 3118 26293 3879 9962 3351 2335 19527 2861 1441 23829 2464 27359 4003 10310 3512 2499 20324 3095 1475 24894 2465 30147 4856 11248 3835 2644 22583 3242 1370 27195 2952 23680 4490 6591 2461 2003 15545 2938 1436 19919 3761 5611 empl. 383987 0 19031 21984 29123 70138 85249 99560 254947 129040 437967 0 20073 21869 30559 72501 95095 112698 280294 157673 472516 0 20889 22786 32780 76455 106261 120546 303262 169254 518112 0 22776 25099 34907 82782 113163 129474 325419 192693 492056 0 13423 15975 26170 55568 98218 127110 280896 211160 5611 ann. pay. 14810790 399577 978890 977169 1262366 3618002 3175397 3113396 9906795 4903995 17172711 593911 1051802 1071715 1352585 4070013 3636349 3652523 11358885 5813826 20021361 407977 1120279 1142896 1466297 4137449 4337520 4007034 12482003 7539358 22592484 698530 1214760 1239430 1619240 4771960 4685746 4542844 14000550 8591934 22516155 550826 729393 887151 1377031 3544401 4327745 4750327 12622473 9893682 5611 rec. 60040579 1488342 1791533 2161960 3394859 8836694 9811200 10128182 28776076 31264503 5612 firms 1252 114 214 136 170 634 317 160 1111 141 1254 131 247 130 153 661 296 153 1110 144 1292 155 278 145 153 731 262 160 1153 139 1172 100 275 126 131 632 252 152 1036 136 1600 193 564 161 129 1047 258 150 1455 145 5612 estab. 2523 114 214 143 180 651 445 274 1370 1153 2690 138 247 135 156 676 384 350 1410 1280 3023 158 280 151 159 748 345 361 1454 1569 2952 100 275 128 140 643 320 296 1259 1693 3416 193 564 161 140 1058 337 396 1791 1625 5612 empl. 109662 0 480 911 2249 3640 13264 23369 40273 69389 115780 0 503 839 2006 3348 12481 23953 39782 75998 115926 0 548 918 2045 3511 11087 25679 40277 75649 115606 0 538 831 1708 3077 10855 25225 39157 76449 125496 0 1079 1025 1725 3829 10795 23235 37859 87637 5612 ann. pay. 3520919 27065 22685 45573 91985 187308 437207 601369 1225884 2295035 3624788 26095 24187 39782 82513 172577 404286 639172 1216035 2408753 3754987 70362 26715 41146 81929 220152 387720 731258 1339130 2415857 3758242 31990 21620 38575 83349 175534 378476 728804 1282814 2475428 4397197 15137 48144 43615 72262 179158 424533 712011 1315702 3081495 5612 rec. 11191876 56859 145450 122216 159748 484273 955689 1610089 3050051 8141825 5613 firms 21929 3344 5217 2228 1966 12755 4922 3132 20809 1120 22833 3371 5845 2344 2153 13713 4845 3076 21634 1199 23814 3608 6098 2455 2194 14355 4992 3187 22534 1280 25243 3665 6798 2677 2410 15550 5265 3154 23969 1274 22973 3639 5559 2236 2307 13741 5110 2957 21808 1165 5613 estab. 37525 3355 5231 2237 2030 12853 5300 4601 22754 14771 40714 3415 5853 2359 2233 13860 5220 4444 23524 17190 42408 3671 6109 2488 2269 14537 5302 4628 24467 17941 44896 3680 6812 2704 2493 15689 5607 4682 25978 18918 41093 3643 5574 2260 2415 13892 5693 4900 24485 16608 5613 empl. 3614119 0 10636 14839 26955 52430 237088 665051 954569 2659550 3993443 0 11964 15602 29694 57260 234684 646584 938528 3054915 4572954 0 12429 16212 30012 58653 241641 684427 984721 3588233 4363620 0 13885 17747 33426 65058 249727 664183 978968 3384652 3880888 0 11643 14906 32094 58643 240504 612731 911878 2969010 5613 ann. pay. 71264859 599189 426843 523916 851786 2401734 5610753 12061358 20073845 51191014 81464024 592781 505246 587223 1002280 2687530 5868512 12333400 20889442 60574582 98479494 1738305 581881 625867 1096604 4042657 6336924 13473444 23853025 74626469 100924086 835564 583383 649260 1188600 3256807 6439704 13266382 22962893 77961193 92959996 967879 536361 572487 1091670 3168397 6396839 12857476 22422712 70537284 5613 rec. 125046444 1507432 1188761 1258904 1985470 5940567 9851858 17476192 33268617 91777827 5614 firms 30198 4498 13938 4818 3242 26496 2830 555 29881 317 29737 3911 14234 4824 3128 26097 2744 568 29409 328 29489 4023 13919 4741 3183 25866 2702 576 29144 345 29151 3789 13978 4608 3094 25469 2743 589 28801 350 28360 3600 13558 4516 3028 24702 2693 601 27996 364 5614 estab. 35228 4506 13955 4858 3358 26677 3421 1307 31405 3823 34900 3917 14251 4870 3255 26293 3297 1251 30841 4059 34728 4066 13947 4781 3296 26090 3196 1325 30611 4117 34403 3813 14009 4657 3219 25698 3204 1278 30180 4223 33703 3608 13576 4572 3187 24943 3319 1376 29638 4065 5614 empl. 642347 0 28502 31597 43452 103551 105699 86579 295829 346518 671035 0 28856 31629 42099 102584 103391 90188 296163 374872 702222 0 28097 31042 42565 101704 102601 93321 297626 404596 710812 0 28086 30261 41556 99903 103037 95565 298505 412307 692741 0 27661 29504 40756 97921 100741 100283 298945 393796 5614 ann. pay. 13791245 159906 584935 642358 940021 2327220 2422524 1727399 6477143 7314102 15062208 192784 640631 685618 966235 2485268 2513414 1993474 6992156 8070052 17019042 217473 656806 725129 1080083 2679491 2690316 2241413 7611220 9407822 17875594 193868 677422 713680 1078880 2663850 2754198 2440675 7858723 10016871 17823605 213361 631981 704773 1051518 2601633 2735571 2463739 7800943 10022662 5614 rec. 50019531 710937 3023811 2581067 3218005 9533820 6877788 6606835 23018443 27001088 5615 firms 27765 2720 15169 5997 2186 26072 1301 271 27644 121 26365 2219 14621 5662 2198 24700 1266 274 26240 125 24795 2189 13675 5239 2027 23130 1256 277 24663 132 23562 2051 13097 4755 1965 21868 1285 273 23426 136 19957 1983 11485 3583 1524 18575 1025 233 19833 124 5615 estab. 36079 2723 15191 6093 2524 26531 2535 1483 30549 5530 34569 2252 14651 5787 2516 25206 2342 1481 29029 5540 32918 2199 13702 5373 2337 23611 2243 1504 27358 5560 31642 2052 13136 4879 2253 22320 2221 1395 25936 5706 27587 1986 11511 3676 1761 18934 1916 1399 22249 5338 5615 empl. 297530 0 34940 38188 28533 101661 48022 43673 193356 104174 300645 0 33473 36236 28531 98240 47116 42541 187897 112748 307666 0 31113 33496 26393 91002 46831 42739 180572 127094 313116 0 29315 30394 25782 85491 47768 42871 176130 136986 258084 0 25397 22939 20014 68350 37414 36166 141930 116154 5615 ann. pay. 8016702 111613 667690 767388 666206 2212897 1300310 1200603 4713810 3302892 8658039 85159 703638 761667 701644 2252108 1307720 1246979 4806807 3851232 9660033 82798 661290 767265 688617 2199970 1424084 1383629 5007683 4652350 10008049 83595 615032 682986 659176 2040789 1394363 1479681 4914833 5093216 8469891 70293 542815 540776 552592 1706476 1173583 1150178 4030237 4439654 5615 rec. 24628213 263891 1773664 1738140 1659185 5434880 3325656 3589847 12350383 12277830 5616 firms 17594 2139 7690 2788 1897 14514 2251 639 17404 190 17423 2036 7606 2775 1920 14337 2214 651 17202 221 17375 2114 7540 2743 1910 14307 2201 648 17156 219 17713 2124 7652 2916 1904 14596 2236 670 17502 211 18070 2147 7856 2929 1970 14902 2266 690 17858 212 5616 estab. 21598 2142 7697 2806 1944 14589 2446 1071 18106 3492 21607 2056 7609 2792 1974 14431 2405 1137 17973 3634 21683 2119 7545 2765 1959 14388 2396 1056 17840 3843 22041 2131 7656 2950 1959 14696 2449 999 18144 3897 22319 2147 7860 2948 2029 14984 2565 1204 18753 3566 5616 empl. 694619 0 15985 18431 25586 60002 95150 119861 275013 419606 707187 0 15671 18242 25998 59911 93907 121857 275675 431512 711003 0 15614 18161 25941 59716 94200 122277 276193 434810 720465 0 15836 19135 25613 60584 95088 126037 281709 438756 732002 0 16517 19298 26946 62761 94023 131096 287880 444122 5616 ann. pay. 11855346 89712 330604 388509 494885 1303710 1533013 1872598 4709321 7146025 12888204 111519 339433 398911 530080 1379943 1580682 2092854 5053479 7834725 14029639 113558 349505 415108 557441 1435612 1710181 2341512 5487305 8542334 14939245 107137 379983 467139 587630 1541889 1871680 2258749 5672318 9266927 15835500 150795 385606 477470 645227 1659098 1889513 2517571 6066182 9769318 5616 rec. 30660748 360935 1385737 1329518 1610808 4686998 3721979 4255444 12664421 17996327 5617 firms 141880 29501 68138 22320 12293 132252 8112 1242 141606 274 140497 26312 68815 22677 12735 130539 8407 1260 140206 291 141659 26075 68343 23542 13246 131206 8885 1274 141365 294 148213 28477 71636 23771 13504 137388 9203 1303 147894 319 145987 33676 67633 22244 12275 135828 8580 1266 145674 313 5617 estab. 147456 29512 68147 22345 12380 132384 8575 2095 143054 4402 146767 26323 68824 22706 12819 130672 8861 1998 141531 5236 147648 26092 68354 23573 13341 131360 9344 1994 142698 4950 154421 28491 71650 23808 13584 137533 9653 2060 149246 5175 152933 33677 67640 22272 12364 135953 9312 2243 147508 5425 5617 empl. 1398083 0 138289 146080 163394 447763 302273 225416 975452 422631 1464752 0 139503 148493 169567 457563 314128 225304 996995 467757 1503042 0 140022 154140 176672 470834 331767 231222 1033823 469219 1549286 0 144976 155955 179935 480866 343994 231373 1056233 493053 1470446 0 140941 144965 163760 449666 320209 220231 990106 480340 5617 ann. pay. 22729159 644316 2384708 2321377 2660991 8011392 4732912 3138396 15882700 6846459 24970079 637117 2587544 2511770 2905989 8642420 5236558 3217328 17096306 7873773 26721904 658367 2649152 2725571 3219073 9252163 5933428 3468541 18654132 8067772 29338543 727536 2990251 2931933 3493567 10143287 6477374 3745876 20366537 8972006 28874708 1015649 2775188 2762231 3297784 9850852 6199707 3777824 19828383 9046325 5617 rec. 73546414 4319111 11065568 8400074 9114099 32898852 14689177 7715372 55303401 18243013 5619 firms 25582 4278 12549 3772 2306 22905 1952 448 25305 277 24507 2818 12716 3819 2415 21768 2004 442 24214 293 23532 2896 11642 3788 2428 20754 2028 451 23233 299 23075 2688 11426 3785 2370 20269 2058 457 22784 291 18701 2668 8962 2753 1876 16259 1730 426 18415 286 5619 estab. 27527 4281 12559 3795 2374 23009 2214 766 25989 1538 26561 2826 12725 3839 2495 21885 2228 776 24889 1672 25748 2900 11655 3812 2501 20868 2255 764 23887 1861 25414 2689 11449 3813 2425 20376 2260 795 23431 1983 21115 2669 8966 2780 1944 16359 2031 761 19151 1964 5619 empl. 347286 0 25068 24704 30639 80411 72574 57242 210227 137059 388540 0 25545 25123 31968 82636 76845 58700 218181 170359 461288 0 23514 24814 32424 80752 77695 61522 219969 241319 470434 0 23039 24647 31712 79398 78608 61299 219305 251129 346924 0 18354 18012 25033 61399 64676 56675 182750 164174 5619 ann. pay. 8187498 197828 750012 676379 853601 2477820 1813040 1388805 5679665 2507833 9275986 128053 793626 741197 966761 2629637 2087739 1484112 6201488 3074498 10059798 181636 770002 773318 1031449 2756405 2286058 1577642 6620105 3439693 10635515 126890 751370 789300 1005306 2672866 2392416 1701995 6767277 3868238 9677308 145045 586240 601111 846516 2178912 2123591 1592440 5894943 3782365 5619 rec. 34103256 719401 3033413 2619724 3253664 9626202 7637405 5291159 22554766 11548490 5621 firms 7047 665 3091 1386 995 6137 784 94 7015 32 6464 584 2872 1240 926 5622 722 87 6431 33 6041 574 2661 1188 843 5266 662 77 6005 36 6033 534 2695 1170 828 5227 697 73 5997 36 6253 590 2761 1243 850 5444 693 86 6223 30 5621 estab. 8368 665 3091 1391 1009 6156 877 213 7246 1122 7744 586 2872 1246 942 5646 795 209 6650 1094 7368 575 2662 1194 861 5292 708 165 6165 1203 7273 534 2696 1173 845 5248 738 158 6144 1129 7684 590 2762 1248 873 5473 759 186 6418 1266 5621 empl. 151562 0 6648 9228 13378 29254 28353 13270 70877 80685 149111 0 6169 8190 12494 26853 26402 11995 65250 83861 146032 0 5741 7847 11345 24933 23938 11447 60318 85714 139864 0 5784 7712 11118 24614 25921 10518 61053 78811 141892 0 6217 8114 11421 25752 24727 12621 63100 78792 5621 ann. pay. 4779795 22690 137748 212458 358008 730904 868000 468442 2067346 2712449 4854056 31285 135845 197953 331877 696960 821084 409639 1927683 2926373 5138999 21579 132886 194593 319571 668629 801168 423056 1892853 3246146 5103959 23345 133656 203349 324930 685280 873347 427249 1985876 3118083 5387420 37507 147674 219972 345919 751072 888183 508853 2148108 3239312 5621 rec. 23348275 197736 751314 892818 1309162 3151030 3370845 1920655 8442530 14905745 5622 firms 1663 247 594 292 198 1331 216 58 1605 58 1668 223 611 308 203 1345 206 59 1610 58 1639 161 623 322 205 1311 211 59 1581 58 1689 146 654 321 230 1351 214 67 1632 57 1627 146 634 307 221 1308 203 62 1573 54 5622 estab. 2459 247 594 292 210 1343 247 94 1684 775 2452 223 611 308 219 1361 234 92 1687 765 2678 161 626 324 214 1325 235 92 1652 1026 2933 146 654 321 233 1354 236 107 1697 1236 2917 147 634 307 227 1315 235 119 1669 1248 5622 empl. 52756 0 1340 1935 2659 5934 7919 7352 21205 31551 51801 0 1342 2052 2676 6070 7232 7967 21269 30532 56647 0 1401 2103 2779 6283 7602 8176 22061 34586 63598 0 1502 2114 3028 6644 7688 8100 22432 41166 59280 0 1459 2018 2861 6338 7089 8061 21488 37792 5622 ann. pay. 1967291 15865 35832 51216 74053 176966 260950 284935 722851 1244440 2043488 14486 35932 58404 88544 197366 238783 289863 726012 1317476 2224489 27549 37303 61148 81857 207857 261376 293313 762546 1461943 2553902 9209 42035 59936 100615 211795 256411 323226 791432 1762470 2485051 12293 41443 56038 96809 206583 260177 318917 785677 1699374 5622 rec. 12718921 71380 222200 247246 431391 972217 1095515 1167298 3235030 9483891 5629 firms 5559 685 2452 964 625 4726 651 108 5485 74 5498 581 2491 1022 597 4691 624 111 5426 72 5406 571 2344 1036 635 4586 633 115 5334 72 5954 639 2523 1136 715 5013 734 133 5880 74 6396 735 2725 1195 792 5447 741 135 6323 73 5629 estab. 6133 687 2457 967 638 4749 712 255 5716 417 6104 581 2493 1025 606 4705 683 258 5646 458 5967 572 2344 1042 639 4597 680 249 5526 441 6543 639 2523 1136 723 5021 781 272 6074 469 7097 735 2726 1195 803 5459 845 307 6611 486 5629 empl. 83082 0 5127 6341 8422 19890 24609 12036 56535 26547 86262 0 5224 6790 8054 20068 23975 12707 56750 29512 88804 0 4963 6800 8671 20434 24233 13982 58649 30155 97074 0 5406 7510 9732 22648 27388 16738 66774 30300 99408 0 5890 7877 10672 24439 27429 16848 68716 30692 5629 ann. pay. 2783805 23820 122724 172376 246074 564994 786213 401664 1752871 1030934 3086608 22032 128312 178285 242701 571330 786705 428598 1786633 1299975 3171317 22938 128922 185670 267546 605076 813849 467835 1886760 1284557 3656337 34753 150263 221070 320060 726146 941189 614833 2282168 1374169 3762546 47637 167765 235167 345171 795740 958180 634649 2388569 1373977 5629 rec. 12136548 214839 704614 820219 1085549 2825221 2792210 2065483 7682914 4453634 6111 firms 16416 760 2116 1790 2865 7531 7220 1533 16284 132 16646 625 2130 1819 2845 7419 7442 1645 16506 140 16823 645 2119 1788 2783 7335 7606 1741 16682 141 17256 707 2165 1794 2858 7524 7785 1803 17112 144 18547 868 2334 1943 3060 8205 8298 1883 18386 161 6111 estab. 18604 761 2117 1791 2881 7550 7610 2814 17974 630 18889 633 2130 1823 2872 7458 7778 2997 18233 656 19136 646 2119 1794 2801 7360 7940 3089 18389 747 19473 709 2165 1796 2887 7557 8024 3110 18691 782 20894 868 2334 1949 3068 8219 8637 3205 20061 833 6111 empl. 659427 0 5121 12263 40932 58316 314262 233178 605756 53671 694749 0 5034 12510 40454 57998 325658 252530 636186 58563 724354 0 5033 12401 39725 57159 334298 266395 657852 66502 747611 0 5070 12315 40815 58200 344523 280635 683358 64253 793638 0 5677 13277 43705 62659 364396 295675 722730 70908 6111 ann. pay. 12974811 59984 82795 164831 636442 944052 5731732 5189299 11865083 1109728 14279273 63292 96722 175935 647584 983533 6176771 5880706 13041010 1238263 15458594 63772 89564 181032 648957 983325 6583436 6466359 14033120 1425474 16952249 85374 105446 200364 701130 1092314 7192833 7175854 15461001 1491248 18892435 105714 113487 223493 803617 1246311 8013944 7909091 17169346 1723089 6111 rec. 41859655 280280 331487 514461 1784109 2910337 17268060 17797656 37976053 3883602 6112 firms 549 23 70 40 53 186 173 140 499 50 552 28 69 40 59 196 170 136 502 50 551 34 74 35 63 206 153 137 496 55 562 32 87 41 51 211 159 134 504 58 624 35 115 46 62 258 161 147 566 58 6112 estab. 818 23 70 40 53 186 198 230 614 204 816 28 69 40 59 196 192 225 613 203 809 34 74 35 63 206 172 216 594 215 848 32 90 41 51 214 179 202 595 253 931 35 115 46 62 258 174 232 664 267 6112 empl. 74788 0 156 280 732 1168 8411 30377 39956 34832 76511 0 145 252 822 1219 8490 30006 39715 36796 82760 0 155 235 870 1260 7679 30394 39333 43427 85964 0 185 290 715 1190 7960 29267 38417 47547 95015 0 230 319 861 1410 8068 32029 41507 53508 6112 ann. pay. 1854343 2360 3610 8248 19746 33964 190173 549682 773819 1080524 1995080 1936 3749 8137 21231 35053 201732 561873 798658 1196422 2195705 3209 4815 7465 22240 37729 194679 619426 851834 1343871 2378225 1794 5703 9293 20386 37176 204943 639026 881145 1497080 2657285 9158 7297 9224 27022 52701 211407 720859 984967 1672318 6112 rec. 3759090 6315 26716 29133 77769 139933 467486 1395150 2002569 1756521 6113 firms 2366 81 415 174 165 835 373 545 1753 613 2394 101 407 173 161 842 386 540 1768 626 2448 127 411 170 180 888 375 547 1810 638 2454 116 418 184 165 883 372 548 1803 651 2593 147 488 174 170 979 390 562 1931 662 6113 estab. 2946 81 415 174 175 845 389 592 1826 1120 3004 102 407 173 168 850 403 606 1859 1145 3105 127 411 170 184 892 396 599 1887 1218 3136 116 418 189 167 890 389 587 1866 1270 3377 147 488 176 170 981 411 598 1990 1387 6113 empl. 1260468 0 859 1133 2303 4295 19160 141803 165258 1095210 1301801 0 838 1140 2211 4189 19372 142705 166266 1135535 1332535 0 882 1133 2468 4483 18610 144619 167712 1164823 1357358 0 853 1221 2313 4387 18354 142406 165147 1192211 1403085 0 1049 1182 2291 4522 19162 144652 168336 1234749 6113 ann. pay. 30127844 16204 23528 26899 55317 121948 401633 2839864 3363445 26764399 32354264 19520 22393 27564 57452 126929 428201 2989597 3544727 28809537 34603977 25308 24005 30617 67004 146934 437995 3081118 3666047 30937930 37202837 12169 25903 32530 59812 130414 455759 3144340 3730513 33472324 40128148 11973 28836 31318 65194 137321 504961 3378238 4020520 36107628 6113 rec. 104059977 59843 150300 118280 196938 525361 1506890 9194734 11226985 92832992 6114 firms 6234 1133 3046 896 502 5577 498 97 6172 62 6185 972 3095 894 533 5494 522 108 6124 61 6270 1035 3039 898 582 5554 547 106 6207 63 6394 1041 3138 921 569 5669 570 103 6342 52 6766 1162 3631 840 495 6128 481 111 6720 46 6114 estab. 6765 1133 3049 909 523 5614 686 242 6542 223 6701 972 3096 910 544 5522 690 241 6453 248 6787 1039 3046 913 594 5592 688 246 6526 261 6863 1042 3143 936 575 5696 703 289 6688 175 7285 1163 3634 854 525 6176 641 335 7152 133 6114 empl. 59137 0 5867 5817 6816 18500 18966 10866 48332 10805 62063 0 6015 5920 7155 19090 19206 11998 50294 11769 65566 0 5992 5942 7704 19638 19694 12902 52234 13332 65502 0 6054 5999 7683 19736 21186 15034 55956 9546 58275 0 6959 5496 6571 19026 17346 14935 51307 6968 6114 ann. pay. 2036475 46930 205639 187248 232729 672546 621790 374995 1669331 367144 2188689 46861 212060 187860 242944 689725 636118 418421 1744264 444425 2579260 72816 214105 188928 283934 759783 669551 521622 1950956 628304 2539999 61078 216329 195919 257790 731116 739552 632802 2103470 436529 2375267 45305 229935 190179 255081 720500 663408 625227 2009135 366132 6114 rec. 6649972 180954 831899 554535 694337 2261725 1747572 1445927 5455224 1194748 6115 firms 5946 699 2541 1119 823 5182 590 122 5894 52 5993 714 2549 1138 802 5203 604 132 5939 54 6065 705 2503 1136 848 5192 670 145 6007 58 6251 708 2578 1211 871 5368 684 136 6188 63 6063 719 2415 1157 904 5195 670 139 6004 59 6115 estab. 6856 701 2546 1143 901 5291 902 422 6615 241 6901 716 2556 1163 867 5302 927 420 6649 252 7032 713 2512 1160 906 5291 952 445 6688 344 7234 708 2583 1238 941 5470 961 425 6856 378 7076 720 2419 1173 976 5288 1056 380 6724 352 6115 empl. 69077 0 5430 7334 10867 23631 20047 11621 55299 13778 74597 0 5423 7569 10665 23657 20831 12296 56784 17813 81175 0 5342 7469 11296 24107 23299 14468 61874 19301 87351 0 5425 7938 11569 24932 24554 14738 64224 23127 84048 0 5230 7708 12002 24940 23282 15494 63716 20332 6115 ann. pay. 1667611 19427 110417 132749 207423 470016 450638 288133 1208787 458824 1888540 25742 120735 150148 214286 510911 492964 298870 1302745 585795 2092789 26782 118097 153411 244171 542461 542912 346055 1431428 661361 2390615 28605 130474 170360 265656 595095 615412 361286 1571793 818822 2334620 30707 129892 172275 286886 619760 581633 362768 1564161 770459 6115 rec. 7162633 130516 565691 539802 851613 2087622 1857544 1044557 4989723 2172910 6116 firms 23225 3736 10965 4250 2454 21405 1567 184 23156 69 24137 3903 11269 4317 2622 22111 1749 206 24066 71 25081 4016 11500 4507 2785 22808 1978 220 25006 75 26702 4313 12170 4760 3088 24331 2051 245 26627 75 27002 4729 11819 4843 3177 24568 2129 233 26930 72 6116 estab. 24739 3742 10983 4284 2554 21563 2046 560 24169 570 26002 3914 11287 4350 2714 22265 2212 568 25045 957 26961 4021 11524 4543 2874 22962 2394 610 25966 995 28656 4319 12190 4803 3182 24494 2412 714 27620 1036 28988 4729 11829 4855 3284 24697 2630 674 28001 987 6116 empl. 167074 0 22334 27900 32593 82827 52456 18351 153634 13440 187360 0 22997 28250 34830 86077 58838 22682 167597 19763 206171 0 23572 29853 37310 90735 67681 25304 183720 22451 222002 0 24885 31402 41116 97403 71453 28544 197400 24602 216593 0 24705 31911 42440 99056 73245 23696 195997 20596 6116 ann. pay. 2584806 91203 336597 347197 399344 1174341 757564 342011 2273916 310890 3017662 122842 366691 374824 468251 1332608 886667 411475 2630750 386912 3612567 135545 412622 422635 540123 1510925 1119436 541145 3171506 441061 3903838 124097 454554 472655 611252 1662558 1162867 580028 3405453 498385 3704944 119859 417491 440510 601454 1579314 1141076 483989 3204379 500565 6116 rec. 10723900 505461 1766318 1432631 1686263 5390673 2877575 1229004 9497252 1226648 6117 firms 3937 836 2071 450 284 3641 212 56 3909 28 3906 687 2132 492 273 3584 238 52 3874 32 3897 641 2102 493 296 3532 267 66 3865 32 4272 743 2274 541 306 3864 302 70 4236 36 4541 988 2306 536 312 4142 286 74 4502 39 6117 estab. 4174 836 2073 453 299 3661 271 138 4070 104 4179 732 2134 495 285 3646 294 153 4093 86 4184 641 2104 501 302 3548 369 189 4106 78 4668 743 2275 551 313 3882 354 326 4562 106 5150 988 2308 542 329 4167 376 180 4723 427 6117 empl. 33846 0 3851 2945 3758 10554 7851 6147 24552 9294 34637 0 3891 3232 3720 10843 8716 6814 26373 8264 39763 0 3907 3226 3963 11096 10015 9372 30483 9280 46642 0 4217 3556 4093 11866 11204 9509 32579 14063 51021 0 4343 3520 4219 12082 10636 8791 31509 19512 6117 ann. pay. 1041475 29653 120626 83840 115144 349263 215874 217727 782864 258611 1147527 36685 124128 96195 117498 374506 245949 242698 863153 284374 1380455 27474 130972 105777 137044 401267 296814 335773 1033854 346601 1729778 25572 142939 120039 137804 426354 350808 336836 1113998 615780 1869153 37930 139791 118296 143163 439180 335451 314008 1088639 780514 6117 rec. 6063612 161817 549077 402589 419210 1532693 1041311 1043263 3617267 2446345 6211 firms 173066 14743 83375 40734 20353 159205 11984 1197 172386 680 171735 14629 81501 40356 20552 157038 12709 1276 171023 712 174006 16061 80227 40695 21463 158446 13477 1356 173279 727 177127 16058 80852 41559 22174 160643 14305 1426 176374 753 179583 17266 79875 42427 22836 162404 14778 1637 178819 764 6211 estab. 195167 14821 83651 41542 22053 162067 17597 5287 184951 10216 193967 14765 81770 41126 22048 159709 18124 5426 183259 10708 195655 16223 80505 41391 22886 161005 18576 5727 185308 10347 197892 16133 81144 42204 23518 162999 19109 5782 187890 10002 203669 17282 80036 43064 24464 164846 21659 7262 193767 9902 6211 empl. 1619363 0 187210 264583 270206 721999 410124 169099 1301222 318141 1692571 0 182911 262793 273120 718824 440982 182791 1342597 349974 1763793 0 180271 265457 285688 731416 475454 199479 1406349 357444 1848200 0 180950 271266 295294 747510 505100 211926 1464536 383664 1904325 0 181235 277350 303814 762399 524112 235320 1521831 382494 6211 ann. pay. 90403330 1626805 11536839 13268141 15514488 41946273 24971217 9260710 76178200 14225130 95058555 1518949 11421870 13362361 15847961 42151141 27005667 10122554 79279362 15779193 101252467 1520496 11490041 13591623 16826064 43428224 29700114 11182085 84310423 16942044 109542092 1504893 11961590 14159595 17679148 45305226 32615043 12632793 90553062 18989030 115081001 1720256 11733622 14557046 18210543 46221467 34051553 14526446 94799466 20281535 6211 rec. 253220236 4901895 31634445 33375783 36877190 106789313 66619982 31680237 205089532 48130704 6212 firms 111325 5335 46860 42100 14614 108909 2301 84 111294 31 111497 5413 45605 42600 15284 108902 2477 81 111460 37 112373 5869 44166 43027 16447 109509 2728 101 112338 35 112802 5784 43072 43523 17296 109675 2981 106 112762 40 113128 5983 41978 43592 18159 109712 3268 111 113091 37 6212 estab. 115060 5351 46966 42534 15588 110439 3322 610 114371 689 115268 5481 45721 43011 16229 110442 3479 507 114428 840 116494 5879 44273 43433 17325 110910 3734 648 115292 1202 117038 5804 43195 43907 18139 111045 3960 610 115615 1423 117812 5986 42037 43898 19148 111069 4733 838 116640 1172 6212 empl. 665498 0 120796 277184 183477 581457 66287 9727 657471 8027 683331 0 117731 281161 192735 591627 71172 8809 671608 11723 710858 0 114117 284325 207581 606023 78052 11635 695710 15148 733862 0 111266 288605 218898 618769 84344 12009 715122 18740 750129 0 109279 290007 230322 629608 93578 12674 735860 14269 6212 ann. pay. 19885297 286091 3029447 7813260 5897501 17026299 2313456 318388 19658143 227154 21471821 300124 3150122 8260852 6466857 18177955 2602158 332979 21113092 358729 23235125 320592 3192141 8698170 7184276 19395179 2980788 411252 22787219 447906 25196085 351977 3308382 9219008 7854470 20733837 3346446 493318 24573601 622484 26806179 384111 3350318 9602422 8552426 21889277 3814064 612796 26316137 490042 6212 rec. 71223564 1336829 12805173 26373130 19517851 60032983 7955975 1606511 69595469 1628095 6213 firms 84331 8319 53722 14841 5004 81886 1956 282 84124 207 84343 8255 53449 15005 5188 81897 1958 278 84133 210 86686 9477 53471 15619 5499 84066 2125 281 86472 214 88719 9519 54485 16177 5795 85976 2236 293 88505 214 96595 11332 58542 17160 6437 93471 2504 377 96352 243 6213 estab. 89937 8339 53869 15240 5890 83338 3443 988 87769 2168 90084 8304 53609 15408 6041 83362 3304 1143 87809 2275 92441 9504 53638 16003 6325 85470 3479 1305 90254 2187 94555 9540 54682 16551 6573 87346 3512 1302 92160 2395 104171 11352 58639 17523 7446 94960 4691 1576 101227 2944 6213 empl. 421106 0 111637 94248 64024 269909 63877 29578 363364 57742 416967 0 111115 95240 66889 273244 64171 27455 364870 52097 417239 0 111758 99634 70874 282266 70149 27893 380308 36931 448479 0 114140 103463 74982 292585 75724 30356 398665 49814 485587 0 123469 110081 83337 316887 84427 38348 439662 45925 6213 ann. pay. 11069850 237634 2364701 2238812 1741107 6582254 1771608 761572 9115434 1954416 10981215 247723 2445456 2328724 1817576 6839479 1786760 685147 9311386 1669829 11173131 265648 2571052 2513956 2001344 7352000 2062551 708253 10122804 1050327 12434618 264639 2749015 2715442 2195132 7924228 2289215 853967 11067410 1367208 14025386 332752 2992418 2980229 2492478 8797877 2652234 1084824 12534935 1490451 6213 rec. 38943543 1269656 11818348 8458208 5917290 27463502 5621045 2241864 35326411 3617132 6214 firms 11055 931 3118 1533 1471 7053 2235 1118 10406 649 10849 805 3106 1529 1424 6864 2160 1164 10188 661 10817 817 2949 1516 1451 6733 2220 1195 10148 669 11024 844 2953 1546 1498 6841 2267 1237 10345 679 12806 1148 3733 1857 1701 8439 2373 1290 12102 704 6214 estab. 22376 945 3123 1555 1596 7219 3651 4217 15087 7289 22719 822 3125 1563 1536 7046 3434 4428 14908 7811 22203 833 2966 1545 1556 6900 3497 4451 14848 7355 22912 877 2982 1564 1607 7030 3484 4743 15257 7655 25324 1150 3772 1890 1833 8645 3970 5101 17716 7608 6214 empl. 541445 0 6424 10384 19831 36639 89808 137211 263658 277787 548329 0 6449 10296 19264 36009 87238 142398 265645 282684 554908 0 6235 10181 19743 36159 89826 150482 276467 278441 582230 0 6281 10462 20412 37155 92633 163347 293135 289095 593462 0 7889 12481 23183 43553 95365 169187 308105 285357 6214 ann. pay. 17802215 110758 205567 337965 643216 1297506 2549060 3717956 7564522 10237693 18149977 77309 215745 357125 646866 1297045 2582460 3969657 7849162 10300815 18788958 99975 207141 354652 680026 1341794 2750419 4356118 8448331 10340627 20568625 108075 219439 378298 724653 1430465 3025352 4932887 9388704 11179921 21804181 94132 296633 426764 828025 1645554 3153919 5233345 10032818 11771363 6214 rec. 64453593 445381 1088190 1316745 2273750 5124066 8247319 12677867 26049252 38404341 6215 firms 6006 590 2276 1165 795 4826 766 194 5786 220 5896 651 2136 1092 805 4684 788 204 5676 220 6039 700 2141 1158 801 4800 821 201 5822 217 6206 700 2280 1116 843 4939 847 203 5989 217 6445 742 2382 1108 867 5099 873 237 6209 236 6215 estab. 9671 598 2283 1187 851 4919 1084 765 6768 2903 9591 652 2143 1105 853 4753 1067 824 6644 2947 9750 703 2146 1184 833 4866 1083 752 6701 3049 11026 702 2285 1136 900 5023 1069 817 6909 4117 10357 757 2395 1124 943 5219 1323 891 7433 2924 6215 empl. 156328 0 4966 7746 10608 23320 28334 24687 76341 79987 152493 0 4576 7194 10737 22507 29156 25842 77505 74988 152059 0 4581 7611 10688 22880 31064 26395 80339 71720 169195 0 4885 7383 11251 23519 31745 27791 83055 86140 181314 0 5203 7333 11583 24119 33318 31924 89361 91953 6215 ann. pay. 5649627 68895 244879 376483 497305 1187562 1215071 879336 3281969 2367658 5982830 55728 247914 360727 524695 1189064 1334154 903967 3427185 2555645 6568039 67655 251144 383105 561682 1263586 1473672 1033587 3770845 2797194 7515374 62373 274363 385833 619730 1342299 1626079 1167467 4135845 3379529 8247536 72768 307837 415018 674937 1470560 1771574 1410523 4652657 3594879 6215 rec. 25546332 268498 944587 1215996 1973859 4402940 4779795 3960864 13143599 12402733 6216 firms 12310 1176 2472 1229 1582 6459 3861 1300 11620 690 11234 1215 2442 1176 1367 6200 3184 1170 10554 680 11022 1200 2494 1105 1217 6016 3153 1159 10328 694 11117 1247 2496 1135 1251 6129 3113 1188 10430 687 12791 1745 3166 1237 1368 7516 3274 1294 12084 707 6216 estab. 19439 1176 2474 1231 1593 6474 4296 2690 13460 5979 17451 1228 2448 1182 1409 6267 3575 2419 12261 5190 16092 1214 2500 1108 1246 6068 3466 2276 11810 4282 16284 1253 2498 1138 1285 6174 3403 2244 11821 4463 18298 1756 3166 1249 1376 7547 3722 2522 13791 4507 6216 empl. 901525 0 5129 8325 22393 35847 170632 215498 421977 479548 796814 0 5044 7906 19163 32113 142701 193600 368414 428400 786607 0 5109 7322 17273 29704 145267 194455 369426 417181 774381 0 5090 7524 17726 30340 144343 197408 372091 402290 804233 0 6406 8339 19284 34029 149958 215856 399843 404390 6216 ann. pay. 15245666 157698 119640 164224 416113 857675 2707579 3380185 6945439 8300227 14034345 131532 119647 165820 387786 804785 2359607 3153889 6318281 7716064 14245234 100716 122785 164763 355266 743530 2561810 3243588 6548928 7696306 14941576 94809 137398 172846 389724 794777 2729373 3481457 7005607 7935969 16211222 118287 151203 193041 425485 888016 3049788 3997712 7935516 8275706 6216 rec. 34312578 289651 484024 556902 1060856 2391433 6328669 7435563 16155665 18156913 6219 firms 4680 494 1359 611 744 3208 1050 263 4521 159 4592 444 1338 629 709 3120 1061 252 4433 159 4697 470 1314 672 698 3154 1126 265 4545 152 4827 468 1379 675 740 3262 1159 257 4678 149 5444 582 1731 697 763 3773 1217 291 5281 163 6219 estab. 6746 494 1363 613 764 3234 1374 783 5391 1355 6646 444 1344 630 725 3143 1367 811 5321 1325 6779 470 1318 680 706 3174 1433 776 5383 1396 7207 472 1383 679 760 3294 1426 817 5537 1670 8116 591 1731 702 785 3809 1552 992 6353 1763 6219 empl. 177097 0 2883 4117 10402 17402 41955 43358 102715 74382 175628 0 2791 4234 9941 16966 42941 44324 104231 71397 180732 0 2802 4506 9755 17063 45671 46848 109582 71150 180284 0 2948 4521 10371 17840 47158 43470 108468 71816 198106 0 3656 4708 10587 18951 48597 48402 115950 82156 6219 ann. pay. 4253990 23720 70098 80893 180443 355154 828662 1165681 2349497 1904493 4309399 21184 68497 88885 180038 358604 902725 1238613 2499942 1809457 4589159 31762 68950 97326 182622 380660 986363 1320327 2687350 1901809 5241877 31468 79770 102932 218895 433065 1051908 1323822 2808795 2433082 5961028 41343 103482 116588 216897 478310 1116948 1476549 3071807 2889221 6219 rec. 17990798 139177 399132 499393 631146 1668848 3016905 4314203 8999956 8990842 6221 firms 3677 69 36 18 13 136 384 1439 1959 1718 3623 67 46 29 20 162 381 1393 1936 1687 3637 72 83 33 24 212 380 1389 1981 1656 3626 81 103 44 30 258 387 1338 1983 1643 3581 90 105 52 43 290 388 1289 1967 1614 6221 estab. 5648 74 36 18 13 141 392 1453 1986 3662 5621 69 46 29 20 164 389 1415 1968 3653 5756 72 85 33 24 214 391 1412 2017 3739 5765 81 105 44 30 260 388 1372 2020 3745 5971 90 105 57 51 303 399 1367 2069 3902 6221 empl. 4610069 0 67 107 182 356 26621 344985 371962 4238107 4599643 0 95 167 277 539 26138 337811 364488 4235155 4623686 0 166 218 332 716 25765 337403 363884 4259802 4680588 0 209 307 428 944 26027 321583 348554 4332034 4713450 0 204 349 577 1130 25092 311346 337568 4375882 6221 ann. pay. 147661362 428059 3602 7095 5594 444350 590741 8818977 9854068 137807294 150207196 111094 3337 11440 13561 139432 618368 8778275 9536075 140671121 156596031 368189 6914 12736 13439 401278 627752 9114598 10143628 146452403 166379184 103648 11097 19007 17169 150921 668447 9135537 9954905 156424279 179673489 106980 13220 25329 56744 202273 693192 9425929 10321394 169352095 6221 rec. 468007640 525446 268810 107783 213717 1115756 2131118 23737230 26984104 441023536 6222 firms 538 12 12 3 5 32 40 213 285 253 535 17 17 5 10 49 35 194 278 257 559 24 19 10 13 66 33 202 301 258 579 22 27 14 17 80 35 206 321 258 609 32 46 17 19 114 33 219 366 243 6222 estab. 848 12 13 3 5 33 44 228 305 543 838 17 17 6 10 50 36 209 295 543 832 28 19 10 13 70 34 236 340 492 758 22 27 14 17 80 36 229 345 413 797 32 46 17 19 114 40 250 404 393 6222 empl. 247775 [a] 35 [b] [b] 122 2467 52630 55219 192556 244652 0 36 39 135 210 2316 49559 52085 192567 240431 0 38 72 165 275 1997 51729 54001 186430 240512 0 51 98 215 364 1837 53489 55690 184822 235942 0 81 114 254 449 1815 58257 60521 175421 6222 ann. pay. 8131790 (D) 4973 (D) (D) 16194 61453 1690423 1768070 6363720 7956625 2274 1571 1897 4256 9998 57254 1618322 1685574 6271051 7975184 11990 1266 2782 3715 19753 55212 1736206 1811171 6164013 8332977 7079 1555 3275 7226 19135 57565 1870290 1946990 6385987 8787338 6557 3233 3260 8502 21552 57488 2176144 2255184 6532154 6222 rec. 15576265 25368 14347 10984 18664 69363 116463 3872251 4058077 11518188 6223 firms 306 28 12 3 3 46 40 77 163 143 331 41 21 4 15 81 30 74 185 146 352 32 28 12 15 87 35 78 200 152 404 44 48 22 13 127 52 69 248 156 548 88 74 42 30 234 69 88 391 157 6223 estab. 468 28 12 3 3 46 41 92 179 289 510 41 21 4 15 81 34 86 201 309 499 32 28 12 19 91 35 92 218 281 615 44 48 22 13 127 52 78 257 358 801 88 74 42 30 234 74 108 416 385 6223 empl. 153493 [a] 24 [b] [b] 82 2587 20710 23379 130114 156236 0 45 25 191 261 1953 19730 21944 134292 150524 0 69 75 193 337 2192 19741 22270 128254 163905 0 101 149 176 426 2933 16891 20250 143655 172192 0 148 258 389 795 3336 19898 24029 148163 6223 ann. pay. 5075960 (D) 1051 (D) (D) 45998 62521 616419 724938 4351022 5276779 6908 1877 1042 13643 23470 53148 592239 668857 4607922 5479550 22548 3520 1752 6050 33870 58602 640072 732544 4747006 6190546 9691 4942 4319 5875 24827 87177 530327 642331 5548215 6636532 12702 6711 10136 12636 42185 103751 651096 797032 5839500 6223 rec. 15561991 45740 22198 36847 39594 144379 261862 1503635 1909876 13652115 6231 firms 8383 518 554 238 274 1584 2928 3178 7690 693 8614 669 712 293 284 1958 2870 3112 7940 674 8631 601 792 357 330 2080 2842 3022 7944 687 8787 628 819 356 366 2169 2869 3031 8069 718 8672 661 717 288 347 2013 2769 3138 7920 752 6231 estab. 16065 520 554 239 284 1597 3034 3927 8558 7507 16561 680 713 296 306 1995 2982 3859 8836 7725 16891 661 795 361 339 2156 2966 3719 8841 8050 17046 644 821 367 376 2208 2964 3717 8889 8157 16779 668 717 294 359 2038 2890 3928 8856 7923 6231 empl. 1557105 0 1164 1558 3798 6520 183579 533760 723859 833246 1558806 0 1457 1936 3856 7249 179223 530563 717035 841771 1533714 0 1606 2402 4518 8526 177249 520215 705990 827724 1559457 0 1684 2403 4968 9055 178335 519629 707019 852438 1604222 0 1554 1958 4816 8328 172553 538795 719676 884546 6231 ann. pay. 28522345 152516 29057 30168 71454 283195 2884662 9899652 13067509 15454836 29672312 185065 39005 47569 76400 348039 2934312 10221328 13503679 16168633 30691284 202181 37221 47197 80688 367287 3099999 10515825 13983111 16708173 33343153 247981 43612 50905 92235 434733 3310169 11097758 14842660 18500493 35808394 316941 42538 40823 92814 493116 3319411 11958631 15771158 20037236 6231 rec. 74576571 784549 98870 87724 268883 1240026 6761935 24261876 32263837 42312734 6232 firms 7816 516 1679 948 1048 4191 1918 1377 7486 330 7636 335 1669 945 1028 3977 1927 1412 7316 320 7541 376 1573 927 975 3851 1902 1432 7185 356 7528 346 1580 931 971 3828 1885 1453 7166 362 7818 394 1733 903 1000 4030 1903 1471 7404 414 6232 estab. 20695 532 1685 970 1078 4265 3802 8533 16600 4095 21122 365 1675 958 1062 4060 3786 8986 16832 4290 21727 410 1578 941 1013 3942 3641 8933 16516 5211 23037 370 1584 951 1014 3919 3531 9406 16856 6181 25737 398 1733 917 1063 4111 4006 10277 18394 7343 6232 empl. 381793 0 3717 6395 14379 24491 78190 162231 264912 116881 382839 0 3703 6311 14216 24230 80231 165544 270005 112834 396354 0 3557 6264 13429 23250 78696 169580 271526 124828 407354 0 3619 6282 13261 23162 78442 173905 275509 131845 440888 0 3972 6114 13733 23819 77521 180361 281701 159187 6232 ann. pay. 6467258 37761 51786 90875 214663 395085 1302434 2791073 4488592 1978666 6797267 21785 59092 92132 216196 389205 1393125 3008152 4790482 2006785 7369341 36625 59118 98184 214974 408901 1419836 3196380 5025117 2344224 7929653 20652 59726 103060 221371 404809 1462416 3446060 5313285 2616368 8932649 29807 62994 104412 234856 432069 1511416 3608916 5552401 3380248 6232 rec. 17915586 85946 214777 267263 543433 1111419 3079899 6976136 11167454 6748132 6233 firms 13837 1740 4222 2097 1825 9884 2449 1117 13450 387 13684 1218 4369 2182 1808 9577 2584 1109 13270 414 13693 1293 4225 2058 1884 9460 2665 1130 13255 438 13936 1230 4254 2058 1904 9446 2860 1185 13491 445 13995 1279 4150 2007 1871 9307 2995 1218 13520 475 6233 estab. 16791 1749 4225 2103 1869 9946 2742 1973 14661 2130 17674 1221 4377 2191 1849 9638 2876 2078 14592 3082 18076 1315 4235 2064 1926 9540 2939 2206 14685 3391 18535 1242 4260 2082 1949 9533 3134 2265 14932 3603 18764 1283 4156 2022 1912 9373 3320 2288 14981 3783 6233 empl. 434716 0 9228 13988 24941 48157 97181 151894 297232 137484 479349 0 9429 14621 24610 48660 103465 154730 306855 172494 510957 0 9184 13752 25706 48642 107764 161403 317809 193148 546928 0 9215 13823 26058 49096 117095 170910 337101 209827 565955 0 9245 13416 25759 48420 122562 179137 350119 215836 6233 ann. pay. 6904700 83142 112487 160034 291368 647031 1309554 2606737 4563322 2341378 8008194 107762 122513 176591 306672 713538 1465947 2753199 4932684 3075510 8842981 125429 131362 178740 332235 767766 1611538 2987140 5366444 3476537 9831877 96545 137214 191956 373175 798890 1838743 3324700 5962333 3869544 10502720 138910 139422 184493 355882 818707 1947264 3592643 6358614 4144106 6233 rec. 26130513 386989 555473 539024 913327 2394813 4806492 8236546 15437851 10692662 6239 firms 3684 293 743 447 533 2016 948 570 3534 150 3601 181 730 447 564 1922 933 589 3444 157 3591 161 706 457 535 1859 967 589 3415 176 3684 211 708 466 550 1935 975 591 3501 183 3587 210 684 416 527 1837 937 613 3387 200 6239 estab. 6191 293 746 449 550 2038 1469 1767 5274 917 6200 184 733 448 581 1946 1385 1891 5222 978 6311 161 710 458 552 1881 1454 1870 5205 1106 6470 211 713 469 575 1968 1398 1924 5290 1180 6620 210 685 419 547 1861 1485 2023 5369 1251 6239 empl. 137590 0 1596 3019 7415 12030 36618 59140 107788 29802 147018 0 1617 3017 7841 12475 36634 60539 109648 37370 151094 0 1535 3053 7450 12038 37643 62084 111765 39329 157718 0 1546 3173 7777 12496 38832 65081 116409 41309 159600 0 1481 2867 7359 11707 36368 66907 114982 44618 6239 ann. pay. 2725256 12057 22705 43874 115945 194581 662392 1248707 2105680 619576 2988695 7806 25933 44951 129131 207821 702983 1286162 2196966 791729 3255674 10640 24614 50238 126468 211960 744152 1402253 2358365 897309 3560413 9845 26560 54743 141963 233111 794214 1547969 2575294 985119 3706728 11002 28177 51151 144545 234875 768288 1620154 2623317 1083411 6239 rec. 7645076 28260 89949 119423 313540 551172 1589202 3327861 5468235 2176841 6241 firms 31018 2188 12579 4738 3728 23233 5024 2330 30587 431 30720 1817 12146 4871 3783 22617 5155 2481 30253 467 30875 1948 11711 4880 3913 22452 5344 2570 30366 509 32301 2195 12082 5105 4098 23480 5611 2672 31763 538 34966 2855 13431 5336 4193 25815 5803 2755 34373 593 6241 estab. 43297 2197 12598 4767 3959 23521 8187 8344 40052 3245 43473 1829 12164 4908 3991 22892 8154 8779 39825 3648 44202 1969 11732 4924 4073 22698 8238 9060 39996 4206 46300 2204 12097 5178 4273 23752 8476 9397 41625 4675 50695 2860 13444 5375 4369 26048 9303 10170 45521 5174 6241 empl. 704251 0 25635 31268 50392 107295 193689 272120 573104 131147 737839 0 24899 32331 51417 108647 199919 287124 595690 142149 790599 0 24389 32515 53106 110010 209730 307195 626935 163664 839902 0 24900 33952 55706 114558 222698 328857 666113 173789 883958 0 27939 35529 56882 120350 226787 342821 689958 194000 6241 ann. pay. 12203888 75219 460435 562407 904910 2002971 3454931 4602774 10060676 2143212 13418337 60167 468908 600506 955453 2085034 3722398 5121959 10929391 2488946 14862084 73475 474660 645489 1014344 2207968 4036719 5682494 11927181 2934903 16630014 71783 520045 706353 1123095 2421276 4468019 6461328 13350623 3279391 17846348 98190 573919 759989 1185350 2617448 4719469 6818890 14155807 3690541 6241 rec. 44933294 336786 1823216 2125955 3050046 7336003 11451024 18232064 37019091 7914203 6242 firms 8318 367 3397 1513 1168 6445 1313 457 8215 103 8261 229 3323 1526 1201 6279 1414 463 8156 105 8305 235 3234 1533 1233 6235 1468 487 8190 115 8493 270 3206 1582 1258 6316 1546 501 8363 130 8876 305 3368 1546 1342 6561 1628 538 8727 149 6242 estab. 10213 368 3402 1523 1198 6491 2047 1287 9825 388 10189 231 3323 1536 1231 6321 2186 1265 9772 417 10263 243 3234 1539 1269 6285 2233 1301 9819 444 10489 270 3209 1588 1287 6354 2306 1346 10006 483 11445 307 3369 1554 1395 6625 2726 1592 10943 502 6242 empl. 108976 0 7259 10071 15825 33155 43189 23729 100073 8903 114334 0 7181 10182 16199 33562 47939 24358 105859 8475 121175 0 7076 10300 16698 34074 50435 26983 111492 9683 128383 0 7049 10609 17145 34803 54114 27618 116535 11848 133802 0 7430 10313 17902 35645 56018 30490 122153 11649 6242 ann. pay. 1979780 8870 123181 173746 279695 585492 796712 445937 1828141 151639 2192809 7206 125591 187758 292377 612932 930874 473197 2017003 175806 2436190 11114 127212 200439 315550 654315 1024677 553448 2232440 203750 2740522 9114 137988 213043 340666 700811 1166528 601701 2469040 271482 2991913 18532 146058 214975 376677 756242 1263617 672190 2692049 299864 6242 rec. 10879645 79025 706299 866506 1257270 2909100 4953103 1887518 9749721 1129924 6243 firms 5446 293 1348 664 586 2891 1290 1054 5235 211 5397 238 1289 629 594 2750 1315 1107 5172 225 5357 250 1233 604 607 2694 1316 1091 5101 256 5324 273 1203 614 587 2677 1259 1135 5071 253 5240 275 1205 578 535 2593 1266 1113 4972 268 6243 estab. 8106 295 1359 692 626 2972 1730 2323 7025 1081 8213 243 1304 639 638 2824 1788 2356 6968 1245 8288 261 1239 623 651 2774 1758 2331 6863 1425 8324 273 1212 630 631 2746 1666 2382 6794 1530 8451 276 1210 586 576 2648 1835 2434 6917 1534 6243 empl. 296154 0 2790 4377 7983 15150 54543 128050 197743 98411 313822 0 2741 4191 8158 15090 56380 133995 205465 108357 324336 0 2601 4030 8212 14843 58803 135032 208678 115658 326455 0 2528 4080 7980 14588 54349 143683 212620 113835 319609 0 2588 3829 7325 13742 54426 135856 204024 115585 6243 ann. pay. 3982781 12735 70369 110286 182268 375658 933670 1572177 2881505 1101276 4470954 14301 71630 107074 188811 381816 997353 1748318 3127487 1343467 4846777 16310 72911 103735 188816 381772 1037352 1831930 3251054 1595723 5184930 9981 74680 110316 192716 387693 1044427 2033160 3465280 1719650 5329584 13487 205328 108000 195241 522056 1056937 2064196 3643189 1686395 6243 rec. 11808900 40681 517886 270397 516338 1345302 2628956 4308307 8282565 3526335 6244 firms 51656 5076 18736 10249 9676 43737 6849 880 51466 190 51598 5069 18464 10029 9898 43460 7003 935 51398 200 53686 6147 18600 10091 10238 45076 7428 975 53479 207 54349 5639 19060 10263 10462 45424 7684 1018 54126 223 55828 6210 19261 10662 10559 46692 7848 1045 55585 243 6244 estab. 62963 5086 18745 10285 9958 44074 9474 4682 58230 4733 63719 5106 18551 10071 10180 43908 9464 4986 58358 5361 66300 6164 18632 10150 10487 45433 9781 5200 60414 5886 67117 5680 19097 10319 10724 45820 9921 5432 61173 5944 69733 6217 19266 10688 10748 46919 10427 6010 63356 6377 6244 empl. 644111 0 39672 69473 131554 240699 224966 85871 551536 92575 664343 0 39064 68169 135350 242583 231348 92495 566426 97917 699589 0 38952 68716 139961 247629 245549 101860 595038 104551 746893 0 40071 69603 142685 252359 254589 108005 614953 131940 753374 0 41707 71997 144184 257888 257775 113924 629587 123787 6244 ann. pay. 7513283 103804 371240 681958 1395397 2552399 2664586 1244299 6461284 1051999 8245850 119773 402532 701118 1502337 2725760 2866395 1401098 6993253 1252597 9223193 169551 419773 741940 1604859 2936123 3156050 1627534 7719707 1503486 10148513 137335 445587 785665 1715268 3083855 3408057 1852450 8344362 1804151 10824999 146894 449369 842426 1786472 3225161 3573310 2019798 8818269 2006730 6244 rec. 22557876 406684 1293991 1816334 3431890 6948899 6723125 4565696 18237720 4320156 7111 firms 9655 1967 4463 1292 836 8558 812 252 9622 33 9252 1590 4418 1329 786 8123 844 249 9216 36 9165 1620 4218 1302 842 7982 885 264 9131 34 9236 1615 4323 1324 794 8056 866 279 9201 35 9240 1679 4417 1201 801 8098 844 262 9204 36 7111 estab. 9789 1967 4464 1295 845 8571 843 291 9705 84 9342 1591 4419 1332 794 8136 876 276 9288 54 9253 1621 4218 1305 846 7990 922 285 9197 56 9327 1618 4324 1326 799 8067 902 306 9275 52 9366 1680 4418 1207 806 8111 892 301 9304 62 7111 empl. 118145 0 8760 8453 11158 28371 34458 43448 106277 11868 121970 0 8729 8725 10656 28110 35758 42151 106019 15951 126374 0 8394 8490 11419 28303 37559 45566 111428 14946 127806 0 8535 8702 10589 27826 36204 48453 112483 15323 132531 0 8763 7850 10836 27449 37119 45764 110332 22199 7111 ann. pay. 2929369 208322 306715 196717 302280 1014034 664127 904829 2582990 346379 3052758 153723 339866 216091 300875 1010555 713354 942029 2665938 386820 3251253 157136 341829 228878 319519 1047362 768818 1011384 2827564 423689 3343588 181877 404619 252989 303655 1143140 712402 1072236 2927778 415810 3331112 164631 374620 229456 276665 1045372 750747 1027161 2823280 507832 7111 rec. 10830898 571996 1419128 821060 1057403 3869587 2408497 2836988 9115072 1715826 7112 firms 4177 962 1738 520 355 3575 375 162 4112 65 4201 932 1773 512 379 3596 377 169 4142 59 4292 925 1794 562 390 3671 402 154 4227 65 4422 916 1899 583 383 3781 408 174 4363 59 4250 941 1810 538 345 3634 385 168 4187 63 7112 estab. 4322 962 1746 526 361 3595 398 189 4182 140 4372 943 1784 523 380 3630 393 209 4232 140 4461 925 1800 573 395 3693 421 201 4315 146 4584 916 1901 592 386 3795 426 213 4434 150 4418 941 1811 548 348 3648 412 203 4263 155 7112 empl. 91075 0 3424 3429 4699 11552 14032 30851 56435 34640 91043 0 3457 3386 5150 11993 14271 32833 59097 31946 100196 0 3505 3657 5311 12473 15936 31062 59471 40725 104384 0 3675 3904 5139 12718 15958 35324 64000 40384 101504 0 3496 3550 4666 11712 15247 32251 59210 42294 7112 ann. pay. 7059658 80955 148737 81321 130771 441784 989599 4102504 5533887 1525771 8159178 71300 139004 104627 150436 465367 1161976 4828502 6455845 1703333 9214948 77489 140619 106375 147590 472073 1342912 4777821 6592806 2622142 9954591 53767 152350 128499 144573 479189 1058821 5884594 7422604 2531987 10515677 63253 149384 102956 180039 495632 766471 6015557 7277660 3238017 7112 rec. 21543250 283647 643735 425036 592108 1944526 2106360 9668719 13719605 7823645 7113 firms 3983 919 1847 502 311 3579 294 72 3945 38 4087 943 1875 507 312 3637 315 93 4045 42 4229 957 1945 544 307 3753 329 104 4186 43 4313 962 1964 565 338 3829 334 106 4269 44 4802 1009 2318 611 343 4281 368 101 4750 52 7113 estab. 4103 921 1848 506 315 3590 312 99 4001 102 4224 944 1878 510 315 3647 335 119 4101 123 4394 958 1949 545 310 3762 347 125 4234 160 4456 962 1965 567 342 3836 352 142 4330 126 5008 1011 2318 614 347 4290 401 150 4841 167 7113 empl. 57891 0 3576 3285 4204 11065 12104 12973 36142 21749 65413 0 3734 3358 4176 11268 13027 16083 40378 25035 71846 0 3873 3594 4130 11597 13074 18530 43201 28645 73928 0 3844 3691 4535 12070 13767 19693 45530 28398 80006 0 4471 3975 4473 12919 14328 17267 44514 35492 7113 ann. pay. 1365516 55288 170599 96381 135315 457583 282420 253554 993557 371959 1672787 60441 211148 94840 117932 484361 341415 327689 1153465 519322 1917235 77941 235787 118280 113180 545188 318742 449874 1313804 603431 2009875 86485 228077 116306 136810 567678 340499 480949 1389126 620749 2208771 75892 228517 131926 142028 578363 369531 475222 1423116 785655 7113 rec. 10518343 474101 1110292 776776 626364 2987533 1632451 2005238 6625222 3893121 7114 firms 2729 509 1586 394 134 2623 89 8 2720 9 2784 578 1534 413 145 2670 94 9 2773 11 2992 613 1674 418 167 2872 98 12 2982 10 3048 612 1755 411 151 2929 97 13 3039 9 3476 711 2078 414 146 3349 100 17 3466 10 7114 estab. 2788 509 1587 397 145 2638 109 10 2757 31 2837 578 1535 416 156 2685 112 11 2808 29 3048 613 1675 422 177 2887 117 15 3019 29 3107 612 1757 417 158 2944 111 24 3079 28 3551 711 2080 418 158 3367 125 30 3522 29 7114 empl. 14253 0 3135 2494 1712 7341 3513 1503 12357 1896 15069 0 3026 2597 1900 7523 3629 1823 12975 2094 15979 0 3267 2675 2158 8100 3751 1896 13747 2232 16220 0 3410 2628 1903 7941 3953 2200 14094 2126 17052 0 3902 2619 1888 8409 3705 2317 14431 2621 7114 ann. pay. 954736 44996 170433 130063 84468 429960 196404 112000 738364 216372 1037071 69085 164942 149112 88694 471833 200514 139973 812320 224751 1117482 63353 168734 142897 112754 487738 218160 152828 858726 258756 1139323 74285 188508 139256 92512 494561 221167 168630 884358 254965 1281125 71990 204887 167792 127945 572614 272742 109572 954928 326197 7114 rec. 3521784 225594 832561 539047 336637 1933839 607576 237420 2778835 742949 7115 firms 11746 3701 6729 756 331 11517 197 23 11737 9 12108 3929 6748 758 359 11794 268 33 12095 13 12682 4241 6836 857 414 12348 290 33 12671 11 13344 4464 7298 891 386 13039 266 31 13336 8 15826 5794 8449 904 427 15574 211 29 15814 12 7115 estab. 11768 3701 6734 756 334 11525 201 27 11753 15 12131 3931 6751 758 360 11800 276 38 12114 17 12703 4243 6838 857 418 12356 296 35 12687 16 13366 4464 7300 891 391 13046 273 39 13358 8 15848 5795 8451 907 431 15584 217 34 15835 13 7115 empl. 30718 0 10616 4858 4341 19815 7175 2450 29440 1278 36886 0 10805 4919 4696 20420 9614 4133 34167 2719 37524 0 11066 5533 5431 22030 10793 3980 36803 721 39407 0 11790 5778 5049 22617 9897 4520 37034 2373 39236 0 13725 5766 5568 25059 7734 5239 38032 1204 7115 ann. pay. 3494555 688162 1865872 373980 164492 3092506 214501 164420 3471427 23128 3458716 738170 1837980 287516 168896 3032562 244919 91391 3368872 89844 3589333 788950 1736130 390273 239532 3154885 332673 75429 3562987 26346 3946090 880156 2085968 320184 225202 3511510 308487 91386 3911383 34707 4317954 1065728 2249299 389399 224889 3929315 226095 135836 4291246 26708 7115 rec. 9490621 2498201 4533098 964353 631162 8626814 557664 220944 9405422 85199 7121 firms 5284 493 2528 834 570 4425 641 189 5255 29 5309 417 2535 846 593 4391 683 196 5270 39 5355 456 2485 844 596 4381 714 218 5313 42 5604 522 2543 915 635 4615 734 213 5562 42 6135 685 2819 964 648 5116 757 219 6092 43 7121 estab. 5682 493 2531 842 599 4465 738 366 5569 113 5714 417 2537 853 622 4429 781 353 5563 151 5777 456 2487 850 623 4416 813 382 5611 166 6032 522 2546 920 661 4649 833 377 5859 173 6633 685 2820 972 686 5163 894 413 6470 163 7121 empl. 96512 0 5134 5436 7782 18352 26312 33721 78385 18127 104607 0 5163 5560 8027 18750 28361 35978 83089 21518 110380 0 5124 5553 8022 18699 28534 40029 87262 23118 113545 0 5226 5969 8579 19774 30421 38761 88956 24589 116123 0 5868 6286 8672 20826 31720 39903 92449 23674 7121 ann. pay. 2086328 8032 85230 91763 134758 319783 528668 774629 1623080 463248 2321151 7204 88512 96562 144149 336427 574027 837470 1747924 573227 2549317 11233 90923 102448 151166 355770 599850 977589 1933209 616108 2781408 17818 99402 112829 169681 399730 676137 994040 2069907 711501 2900281 13802 110415 128426 174948 427591 709254 1060731 2197576 702705 7121 rec. 8655007 71326 496526 468698 599554 1636104 2105460 2952060 6693624 1961383 7131 firms 2402 555 704 405 292 1956 360 53 2369 33 2129 487 653 329 289 1758 296 45 2099 30 2063 456 637 324 268 1685 301 47 2033 30 2027 459 667 281 269 1676 277 45 1998 29 2254 576 718 319 259 1872 306 49 2227 27 7131 estab. 3512 555 706 405 305 1971 411 121 2503 1009 3135 487 653 331 294 1765 350 113 2228 907 2879 456 637 328 275 1696 378 89 2163 716 2783 459 668 290 280 1697 319 86 2102 681 2992 576 720 323 264 1883 389 86 2358 634 7131 empl. 142603 0 1484 2735 3827 8046 13089 7018 28153 114450 127422 0 1449 2168 3923 7540 11135 6726 25401 102021 124009 0 1412 2170 3741 7323 11297 6450 25070 98939 119301 0 1448 1886 3597 6931 10962 6916 24809 94492 116544 0 1603 2106 3500 7209 11898 7289 26396 90148 7131 ann. pay. 2156551 22051 37718 46317 62397 168483 182647 107659 458789 1697762 2266308 28898 36810 40080 61232 167020 193053 114879 474952 1791356 2277054 22767 38157 37721 58995 157640 183646 118203 459489 1817565 2313996 19056 40834 34412 63653 157955 185666 126541 470162 1843834 2149800 31882 38761 39332 61293 171268 199767 129318 500353 1649447 7131 rec. 9304040 128661 168073 164846 234757 696337 644822 385001 1726160 7577880 7132 firms 2172 270 576 416 328 1590 330 159 2079 93 1875 210 476 313 310 1309 301 170 1780 95 1815 186 475 287 297 1245 294 171 1710 105 1796 205 469 268 287 1229 287 173 1689 107 1824 190 459 293 312 1254 280 179 1713 111 7132 estab. 2526 270 578 424 330 1602 375 325 2302 224 2238 212 478 314 325 1329 344 324 1997 241 2191 186 479 294 307 1266 333 319 1918 273 2175 205 474 270 302 1251 321 318 1890 285 2224 192 461 294 318 1265 343 310 1918 306 7132 empl. 166921 0 1262 2815 4339 8416 12693 34658 55767 111154 178684 0 1023 2120 4140 7283 12147 36282 55712 122972 202600 0 1008 1927 3991 6926 12050 37819 56795 145805 215636 0 998 1779 3741 6518 11549 38198 56265 159371 221878 0 1013 1945 4209 7167 11355 38932 57454 164424 7132 ann. pay. 3473179 14627 29326 46469 49903 140325 194735 660425 995485 2477694 4098543 25833 23382 33848 57569 140632 241520 747603 1129755 2968788 4756696 22563 21113 44606 51066 139348 190030 858112 1187490 3569206 5399626 34616 23752 27313 53072 138753 217735 910528 1267016 4132610 5504245 37292 28973 26528 55653 148446 208859 909106 1266411 4237834 7132 rec. 26908414 198143 193196 175547 380843 947729 1217814 4898004 7063547 19844867 7139 firms 54328 10316 18094 8557 7152 44119 8765 1148 54032 296 54466 9766 18492 8724 7213 44195 8771 1195 54161 305 54644 9768 18142 8630 7489 44029 9026 1274 54329 315 55499 9984 18960 8595 7380 44919 8965 1292 55176 323 55409 11434 17450 8596 7293 44773 9016 1302 55091 318 7139 estab. 58380 10335 18105 8588 7242 44270 9459 1916 55645 2735 58793 9781 18509 8753 7293 44336 9452 1866 55654 3139 59110 9783 18154 8667 7574 44178 9657 2076 55911 3199 60131 9996 18978 8639 7460 45073 9558 2107 56738 3393 60335 11437 17469 8628 7378 44912 9735 2188 56835 3500 7139 empl. 865718 0 38624 57278 96680 192582 348090 164576 705248 160470 898936 0 39229 58507 98228 195964 351525 169079 716568 182368 952589 0 38524 57649 101519 197692 363815 187821 749328 203261 970135 0 40226 57392 99994 197612 360930 191365 749907 220228 976117 0 38210 57104 99411 194725 363856 191726 750307 225810 7139 ann. pay. 12526902 322944 757227 872419 1302634 3255224 4887038 2223687 10365949 2160953 13349343 348053 829339 926054 1381925 3485371 5123718 2390099 10999188 2350155 14530588 312931 811975 923988 1450040 3498934 5481580 2730505 11711019 2819569 15244367 334045 906304 971948 1529756 3742053 5625080 2904765 12271898 2972469 15515412 412399 841445 982542 1529213 3765599 5856102 2906777 12528478 2986934 7139 rec. 46781912 1691400 3623782 3697930 5242317 14255429 15743214 7275822 37274465 9507447 7211 firms 39425 5713 12247 5829 6576 30365 7066 1498 38929 496 39360 5396 12368 5719 6865 30348 7086 1437 38871 489 39605 5427 12225 5822 6895 30369 7372 1393 39134 471 40232 5283 12616 5891 7182 30972 7437 1356 39765 467 41551 5937 12579 6476 7414 32406 7400 1301 41107 444 7211 estab. 48508 5717 12270 5876 6715 30578 7870 2602 41050 7458 48962 5407 12393 5762 7031 30593 7843 2517 40953 8009 49736 5437 12264 5869 7055 30625 8090 2564 41279 8457 50206 5302 12650 5950 7353 31255 8135 2503 41893 8313 51531 5938 12592 6515 7578 32623 8223 2706 43552 7979 7211 empl. 1655906 0 25536 39336 90489 155361 271904 260549 687814 968092 1685482 0 25916 38489 95193 159598 271892 249399 680889 1004593 1714070 0 25723 39091 95522 160336 279282 245312 684930 1029140 1698323 0 26677 39806 99499 165982 280178 239267 685427 1012896 1642067 0 27316 43418 103290 174024 278392 227193 679609 962458 7211 ann. pay. 29108620 409033 343526 445416 1000620 2198595 3386417 4002347 9587359 19521261 31220395 269779 385794 459917 1101692 2217182 3529257 4150206 9896645 21323750 33660955 507884 379279 485314 1130608 2503085 3760599 4202918 10466602 23194353 32986127 280514 417668 507803 1227644 2433629 3860810 4091521 10385960 22600167 32968367 303197 431911 571444 1296904 2603456 3994082 4117933 10715471 22252896 7211 rec. 117414326 1582531 2556881 2668114 5415832 12223358 14518784 12712700 39454842 77959484 7212 firms 7013 1955 2946 973 527 6401 441 111 6953 60 6720 1764 2868 956 512 6100 458 103 6661 59 6567 1645 2803 962 519 5929 466 111 6506 61 6582 1607 2850 936 559 5952 449 116 6517 65 6779 1816 2795 982 520 6113 479 120 6712 67 7212 estab. 7430 1955 2952 979 560 6446 632 164 7242 188 7123 1765 2873 965 538 6141 635 148 6924 199 6975 1647 2807 971 547 5972 626 175 6773 202 7000 1607 2853 943 591 5994 617 175 6786 214 7280 1820 2800 991 549 6160 691 212 7063 217 7212 empl. 36130 0 5959 6225 6155 18339 9799 2937 31075 5055 37117 0 5862 6101 6131 18094 10272 3035 31401 5716 38107 0 5728 6184 6137 18049 10686 3560 32295 5812 38819 0 5808 6019 6697 18524 10516 4037 33077 5742 39053 0 5742 6295 6317 18354 10660 4316 33330 5723 7212 ann. pay. 752330 47832 147286 128871 112884 436873 166621 51247 654741 97589 796483 44690 151490 133735 117561 447476 194091 49001 690568 105915 842919 43396 153990 134486 124803 456675 202953 63612 723240 119679 900974 45279 167225 137464 143253 493221 203353 77757 774331 126643 940064 54544 159726 154435 141035 509740 215640 88038 813418 126646 7212 rec. 3595827 335155 757673 649710 488605 2231143 713417 272936 3217496 378331 7213 firms 3314 218 2153 546 271 3188 92 26 3306 8 3125 202 2007 537 261 3007 90 22 3119 6 3079 257 1876 533 277 2943 106 20 3069 10 2926 202 1788 527 261 2778 117 18 2913 13 2897 188 1796 505 266 2755 107 21 2883 14 7213 estab. 3393 218 2153 554 279 3204 110 60 3374 19 3193 202 2007 544 271 3024 97 55 3176 17 3140 257 1879 538 283 2957 116 39 3112 28 2990 213 1788 536 265 2802 127 44 2973 17 2984 188 1796 519 273 2776 143 44 2963 21 7213 empl. 15992 0 4094 3550 3426 11070 2934 1580 15584 408 15135 0 3815 3536 3369 10720 2859 1056 14635 500 15605 0 3467 3479 3565 10511 3324 1015 14850 755 15640 0 3347 3472 3367 10186 3733 1036 14955 685 15581 0 3367 3354 3410 10131 3476 1467 15074 507 7213 ann. pay. 177064 3948 44437 33409 30273 112067 36036 18488 166591 10473 183524 3100 43544 35598 31637 113879 40230 17920 172029 11495 204367 6312 41632 34778 39633 122355 48595 18369 189319 15048 209104 4278 41393 36651 35219 117541 57072 16366 190979 18125 217099 3919 44487 37346 35866 121618 54649 31322 207589 9510 7213 rec. 1495454 32265 308555 173023 134465 648308 743870 69903 1462081 33373 7221 firms 166666 23078 38247 32211 32112 125648 37795 2632 166075 591 163897 19513 39483 32001 31842 122839 37850 2603 163292 605 165128 20969 38982 31718 31672 123341 38427 2735 164503 625 165621 21195 39348 31920 31221 123684 38549 2751 164984 637 170651 22780 38325 33562 32820 127487 39791 2721 169999 652 7221 estab. 193140 23141 38277 32270 32313 126001 40004 6494 172499 20641 190788 19618 39514 32080 32091 123303 39917 6330 169550 21238 192342 21016 39024 31803 31883 123726 40466 6420 170612 21730 193262 21273 39386 32007 31470 124136 40416 6468 171020 22242 198531 22836 38348 33609 32967 127760 41869 6768 176397 22134 7221 empl. 3703453 0 93627 218349 442205 754181 1417597 392287 2564065 1139388 3788062 0 96084 217019 438976 752079 1429557 395446 2577082 1210980 3897123 0 94969 214724 436747 746440 1461631 420141 2628212 1268911 3963258 0 95555 216347 430583 742485 1470301 428304 2641090 1322168 4000075 0 96708 226163 453209 776080 1509540 420866 2706486 1293589 7221 ann. pay. 40642096 1056657 993656 1982432 4152089 8184834 15566671 4625575 28377080 12265016 43410899 987862 1106118 2077143 4325589 8496712 16309627 4782489 29588828 13822071 46707000 1041402 1099160 2159323 4491721 8791606 17308393 5353782 31453781 15253219 48702432 1079364 1198095 2263900 4595562 9136921 17814415 5556674 32508010 16194422 49674450 1253863 1190538 2408255 4975572 9828228 18701273 5293807 33823308 15851142 7221 rec. 148212500 4279151 5603984 9719326 16380041 35982502 49973387 14484571 100440460 47772040 7222 firms 139299 19371 43596 27381 23040 113388 21536 3699 138623 676 136414 18039 42674 26449 22920 110082 21894 3735 135711 703 135981 18716 41608 26170 22481 108975 22430 3835 135240 741 139074 20189 42550 26592 22512 111843 22608 3867 138318 756 143822 21502 43624 27881 23266 116273 22945 3825 143043 779 7222 estab. 213643 19651 43681 27572 24090 114994 31454 21419 167867 45776 210920 18317 42796 26709 24013 111835 31130 21455 164420 46500 210895 18938 41748 26474 23464 110624 31027 21342 162993 47902 215793 20348 42660 26894 23421 113323 30586 22276 166185 49608 222816 21624 43701 28045 23966 117336 32427 23409 173172 49644 7222 empl. 3277834 0 101487 184074 311751 597312 803806 654651 2055769 1222065 3318549 0 99599 177525 309959 587083 820081 664423 2071587 1246962 3385478 0 97228 176212 305014 578454 845401 684662 2108517 1276961 3407334 0 99594 178494 305506 583594 846939 701826 2132359 1274975 3463127 0 103654 186223 316241 606118 857192 694252 2157562 1305565 7222 ann. pay. 29871228 582044 1040239 1587257 2623085 5832625 7017857 5675722 18526204 11345024 31475084 541289 1073561 1591524 2735429 5941803 7485956 6088585 19516344 11958740 33454232 534947 1083404 1663983 2786340 6068674 7902688 6509706 20481068 12973164 34789292 593812 1165298 1755943 2906282 6421335 8207415 6776371 21405121 13384171 35932754 678586 1187180 1853866 3073469 6793101 8391363 6832626 22017090 13915664 7222 rec. 133821171 2912247 6163240 7982673 11498674 28556834 28972191 25417149 82946174 50874997 7223 firms 12199 2743 4337 1916 1343 10339 1427 310 12076 123 13205 2890 4564 2141 1554 11149 1611 316 13076 129 14054 2922 4903 2245 1783 11853 1739 330 13922 132 14231 2816 5101 2308 1747 11972 1810 319 14101 130 13203 2774 4627 2152 1527 11080 1665 333 13078 125 7223 estab. 25786 2754 4351 1923 1392 10420 1737 1478 13635 12151 27413 2892 4601 2179 1605 11277 1873 1436 14586 12827 28745 2931 4920 2282 1805 11938 1976 1465 15379 13366 29345 2817 5103 2326 1807 12053 2070 1384 15507 13838 31324 2786 4630 2172 1572 11160 1925 1348 14433 16891 7223 empl. 457115 0 9155 12731 17965 39851 54555 45126 139532 317583 468838 0 9674 14217 21166 45057 60865 47150 153072 315766 501920 0 10483 14938 24007 49428 65340 49477 164245 337675 513762 0 10934 15399 23546 49879 68629 46126 164634 349128 541130 0 9849 14334 20606 44789 63288 48867 156944 384186 7223 ann. pay. 6072206 65626 124651 144714 201581 536572 671779 591129 1799480 4272726 6700510 79734 138596 166897 251646 636873 785614 646540 2069027 4631483 7367059 79132 146212 186758 286966 699068 863504 709029 2271601 5095458 7576446 73081 160585 193341 293938 720945 919833 696734 2337512 5238934 7697638 80818 151399 187320 272446 691983 860429 750072 2302484 5395154 7223 rec. 26762794 375189 828816 785156 1003046 2992207 2576496 2355722 7924425 18838369 7224 firms 52230 5679 27967 10693 4677 49016 3009 158 52183 47 50714 5361 26620 10637 4779 47397 3111 166 50674 40 50091 5630 25685 10407 4939 46661 3235 153 50049 42 49483 5595 24849 10491 5003 45938 3338 163 49439 44 50195 5645 24732 10987 5072 46436 3556 160 50152 43 7224 estab. 52665 5681 27975 10727 4763 49146 3157 236 52539 126 51177 5365 26629 10673 4866 47533 3234 263 51030 147 50578 5635 25697 10442 5015 46789 3359 219 50367 211 49973 5596 24861 10533 5077 46067 3449 299 49815 158 50683 5647 24741 11005 5133 46526 3685 244 50455 228 7224 empl. 320230 0 63580 68825 61524 193929 101375 19009 314313 5917 324824 0 60468 68661 63328 192457 106916 20560 319933 4891 328620 0 58634 67347 65586 191567 110292 19167 321026 7594 335165 0 56885 67757 66785 191427 114791 21435 327653 7512 347842 0 57852 70595 67306 195753 121694 20134 337581 10261 7224 ann. pay. 2971730 132825 575070 566907 522123 1796925 943210 178770 2918905 52825 3138070 117934 578619 587637 555538 1839728 1033232 213964 3086924 51146 3345304 133999 576598 606797 607280 1924674 1121326 216875 3262875 82429 3485547 130801 585055 624374 633021 1973251 1197418 242759 3413428 72119 3680423 151526 589042 665181 651936 2057685 1289873 230087 3577645 102778 7224 rec. 15414170 771470 3596363 3106935 2593129 10067897 4302381 691553 15061831 352339 8111 firms 153907 15499 87894 31965 12569 147927 5283 520 153730 177 151829 13990 86828 32089 12840 145747 5364 526 151637 192 151530 14414 85416 32313 13120 145263 5534 536 151333 197 151407 14278 85254 32187 13316 145035 5619 549 151203 204 151435 14231 86028 31472 13383 145114 5566 560 151240 195 8111 estab. 166901 15557 87958 32259 13479 149253 8179 2845 160277 6624 164898 14078 86927 32387 13717 147109 8189 3169 158467 6431 164116 14968 85512 32615 13931 147026 8150 3338 158514 5602 163951 14349 85383 32503 14133 146368 8088 3322 157778 6173 165049 14238 86086 31753 14478 146555 8705 3469 158729 6320 8111 empl. 828722 0 191699 206066 161674 559439 163891 46689 770019 58703 842606 0 189653 206835 165486 561974 166755 48631 777360 65246 855958 0 188056 208267 169259 565582 173366 52498 791446 64512 870881 0 186806 207266 171614 565686 178258 55868 799812 71069 868838 0 190804 202868 172855 566527 175079 55781 797387 71451 8111 ann. pay. 18375665 372675 3693401 4615974 3925593 12607643 3500908 1020341 17128892 1246773 19388016 377426 3814889 4801271 4159705 13153291 3680257 1063053 17896601 1491415 20512101 413684 3860353 4980770 4350475 13605282 4015595 1213574 18834451 1677650 21449092 395272 4012690 5131031 4562472 14101465 4261389 1285827 19648681 1800411 21952872 407031 4145220 5179167 4727615 14459033 4316672 1333137 20108842 1844030 8111 rec. 77479125 2002790 19268840 17724432 14832804 53828866 13492917 4395501 71717284 5761841 8112 firms 14958 1471 8437 2516 1347 13771 874 160 14805 153 14237 1244 8114 2369 1312 13039 887 163 14089 148 13424 1216 7550 2255 1244 12265 855 159 13279 145 12924 1203 7263 2168 1190 11824 817 144 12785 139 12470 1306 7150 1947 1082 11485 711 141 12337 133 8112 estab. 17214 1474 8456 2549 1455 13934 1285 509 15728 1486 16218 1248 8133 2405 1396 13182 1262 511 14955 1263 15344 1218 7568 2281 1327 12394 1200 552 14146 1198 14633 1214 7278 2198 1278 11968 1164 432 13564 1069 14148 1307 7155 1962 1165 11589 1047 451 13087 1061 8112 empl. 138354 0 17187 16426 17480 51093 29341 16551 96985 41369 142210 0 16548 15397 17138 49083 30180 18171 97434 44776 143645 0 15528 14668 16243 46439 29503 18579 94521 49124 140624 0 14837 14116 15615 44568 28311 18310 91189 49435 137794 0 14571 12596 14328 41495 24415 16995 82905 54889 8112 ann. pay. 4820022 57488 363576 420892 534346 1376302 1001289 628839 3006430 1813592 5238955 51729 373118 404659 536699 1366205 1080329 716571 3163105 2075850 6608267 35823 358801 399711 519173 1313508 1111053 768338 3192899 3415368 6489709 57020 363691 399895 521297 1341903 1079641 727762 3149306 3340403 6016253 56631 359221 372746 485917 1274515 951912 708557 2934984 3081269 8112 rec. 18677153 225896 1425021 1221005 1451073 4322995 2750205 2107594 9180794 9496359 8113 firms 24137 2588 12493 4556 2554 22191 1515 249 23955 182 23682 2092 12528 4595 2526 21741 1515 245 23501 181 23426 2305 12103 4504 2546 21458 1551 244 23253 173 23499 2100 12314 4495 2617 21526 1563 230 23319 180 24480 2484 12943 4528 2622 22577 1496 235 24308 172 8113 estab. 25626 2588 12498 4574 2622 22282 1795 514 24591 1035 25149 2095 12529 4606 2596 21826 1788 484 24098 1051 24950 2306 12104 4518 2610 21538 1804 478 23820 1130 24977 2103 12319 4523 2668 21613 1800 460 23873 1104 25932 2484 12946 4543 2684 22657 1784 464 24905 1027 8113 empl. 191016 0 25790 29824 33499 89113 48384 20341 157838 33178 196181 0 25808 30073 33375 89256 49248 21057 159561 36620 197613 0 25146 29527 33442 88115 51149 21446 160710 36903 200954 0 25471 29222 34620 89313 50898 22546 162757 38197 196649 0 27040 29525 34746 91311 49256 20279 160846 35803 8113 ann. pay. 6261573 83859 572413 768567 1011296 2436135 1658782 752836 4847753 1413820 6543415 66078 587010 803087 1034266 2490441 1738723 787470 5016634 1526781 6756014 67099 584801 813454 1062055 2527409 1832249 814527 5174185 1581829 7015703 63873 609274 812758 1124791 2610696 1853539 916935 5381170 1634533 7009776 75054 656118 841034 1144463 2716669 1838463 815015 5370147 1639629 8113 rec. 23832512 429813 2963538 2914803 3593768 9901922 5612313 2548213 18062448 5770064 8114 firms 27448 3392 18033 3765 1438 26628 644 90 27362 86 26926 3199 17714 3761 1474 26148 616 85 26849 77 26911 3390 17342 3856 1516 26104 646 82 26832 79 26077 2981 17038 3756 1504 25279 641 78 25998 79 26810 3624 17000 3857 1550 26031 630 77 26738 72 8114 estab. 28999 3399 18052 3788 1506 26745 852 266 27863 1136 28290 3201 17731 3789 1555 26276 756 284 27316 974 28157 3392 17362 3888 1569 26211 793 154 27158 999 27306 2983 17055 3791 1551 25380 777 291 26448 858 28105 3625 17010 3877 1601 26113 754 288 27155 950 8114 empl. 145016 0 34797 24005 18299 77101 19304 7607 104012 41004 137470 0 34256 24033 18866 77155 18671 6075 101901 35569 136990 0 33522 24658 19481 77661 19344 6583 103588 33402 130721 0 32938 23951 19512 76401 19225 6698 102324 28397 131594 0 33412 24825 20059 78296 18574 5681 102551 29043 8114 ann. pay. 3359614 64703 568344 464131 428669 1525847 477243 184453 2187543 1172071 3199154 55661 587192 499019 446352 1588224 478781 178024 2245029 954125 3411179 68368 588060 512786 479747 1648961 560721 204263 2413945 997234 3288257 49567 601432 530043 496812 1677854 547270 201280 2426404 861853 3292850 65004 616816 552396 513794 1748010 535942 175820 2459772 833078 8114 rec. 10621729 414591 2870989 1858450 1566773 6710803 1518211 562332 8791346 1830383 8121 firms 84289 9612 49645 15443 6704 81404 2641 211 84256 33 83331 9247 49093 15159 6788 80287 2794 215 83296 35 83985 10227 48470 15121 6943 80761 2961 230 83952 33 84448 10184 48513 15144 7218 81059 3114 240 84413 35 86008 11022 48806 15195 7450 82473 3261 234 85968 40 8121 estab. 95690 9667 49695 15610 7172 82144 4819 2297 89260 6430 95232 9284 49153 15324 7215 80976 4793 2212 87981 7251 95910 10272 48536 15296 7344 81448 4709 2283 88440 7470 96597 10200 48605 15295 7614 81714 4783 2317 88814 7783 99624 11030 48845 15274 7795 82944 5533 2423 90900 8724 8121 empl. 473598 0 101709 100047 87536 289292 88116 34056 411464 62134 485465 0 99940 98212 89078 287230 93592 35416 416238 69227 503209 0 98302 98359 91108 287769 100635 38483 426887 76322 516912 0 97242 98643 94547 290432 105758 40367 436557 80355 529593 0 100536 99124 97697 297357 110314 39516 447187 82406 8121 ann. pay. 6584011 171828 1135639 1224614 1264572 3796653 1448397 495720 5740770 843241 7037923 166297 1184341 1272743 1338430 3961811 1619208 546118 6127137 910786 7632305 183603 1216266 1334688 1435526 4170083 1803515 628809 6602407 1029898 8147214 238909 1259992 1364326 1533383 4396610 1933888 658378 6988876 1158338 8430790 211181 1282523 1376298 1599610 4469612 2051395 647584 7168591 1262199 8121 rec. 20704357 832351 4453539 3255984 3288810 11830684 4093058 1456812 17380554 3323803 8122 firms 16852 1528 8361 4139 1972 16000 782 52 16834 18 16617 1456 8292 4022 1995 15765 786 48 16599 18 16508 1416 8193 3994 2039 15642 795 55 16492 16 16544 1472 8143 3990 2018 15623 840 65 16528 16 16078 1420 7678 3931 2074 15103 879 72 16054 24 8122 estab. 23093 1529 8503 4622 2594 17248 1618 322 19188 3905 22876 1460 8430 4466 2589 16945 1593 417 18955 3921 22878 1425 8328 4398 2660 16811 1581 503 18895 3983 22797 1486 8289 4405 2594 16774 1712 554 19040 3757 22477 1422 7753 4311 2766 16252 2019 491 18762 3715 8122 empl. 166682 0 18642 27088 25323 71053 25266 5913 102232 64450 160110 0 18384 26317 25650 70351 25540 5530 101421 58689 166158 0 18243 26133 26264 70640 26408 7047 104095 62063 170340 0 18109 25997 25990 70096 27400 8143 105639 64701 147132 0 17745 25824 26807 70376 29043 8182 107601 39531 8122 ann. pay. 3704999 34688 413029 662940 632375 1743032 702450 157479 2602961 1102038 3757568 31689 431573 671596 664762 1799620 724274 181541 2705435 1052133 3937357 29201 434027 676411 693523 1833162 755158 193292 2781612 1155745 4077997 34990 449343 699457 704852 1888642 799211 235925 2923778 1154219 3871379 24085 446815 693673 737841 1902414 840338 256277 2999029 872350 8122 rec. 14370396 155178 2251388 2614638 2406249 7427453 2439827 848468 10715748 3654648 8123 firms 37866 3532 18905 7592 4556 34585 2896 311 37792 74 36944 3338 18648 7316 4393 33695 2868 303 36866 78 36342 3447 18238 7114 4341 33140 2825 306 36271 71 35728 3425 18074 6943 4147 32589 2756 306 35651 77 35818 3585 18451 6781 4054 32871 2602 271 35744 74 8123 estab. 44530 3549 18977 7788 5240 35554 5234 1982 42770 1760 43758 3350 18731 7525 5033 34639 5090 1822 41551 2207 43051 3470 18313 7322 4992 34097 5006 1808 40911 2140 42270 3442 18169 7136 4733 33480 4850 1737 40067 2203 42110 3587 18512 6965 4609 33673 4615 1673 39961 2149 8123 empl. 392782 0 41044 49586 60081 150711 103531 47745 301987 90795 393080 0 40290 47882 58176 146348 102110 46382 294840 98240 389493 0 39472 46622 57597 143691 100931 48562 293184 96309 383722 0 39002 45603 55237 139842 96670 46581 283093 100629 371240 0 40557 44368 54236 139161 91776 40661 271598 99642 8123 ann. pay. 6364893 89941 446689 543788 733327 1813745 1560491 907722 4281958 2082935 6588607 71240 460537 553532 748909 1834218 1592848 899867 4326933 2261674 6742822 72489 469871 546690 729686 1818736 1601292 961636 4381664 2361158 6751367 72625 484298 557511 725526 1839960 1559484 946852 4346296 2405071 6802484 73879 523106 562613 733807 1893405 1523257 873412 4290074 2512410 8123 rec. 20479181 387908 2611478 1866516 1934772 6800674 3701749 2215135 12717558 7761623 8129 firms 21381 4218 10924 3385 1520 20047 1083 171 21301 80 23032 4843 11778 3515 1585 21721 1052 180 22953 79 26294 5831 13452 3836 1749 24868 1159 190 26217 77 24344 4525 12971 3757 1689 22942 1135 193 24270 74 31156 6216 15836 4906 2423 29381 1498 204 31083 73 8129 estab. 31139 4235 10949 3459 1712 20355 1956 1626 23937 7202 33241 4881 11915 3586 1805 22187 1805 1684 25676 7565 37581 5906 13496 3898 1950 25250 1914 1593 28757 8824 35146 4526 13013 3849 1873 23261 1907 1608 26776 8370 42673 6217 15866 4961 2591 29635 2262 1745 33642 9031 8129 empl. 214789 0 22415 21798 19894 64107 38607 27260 129974 84815 222728 0 23897 22615 20797 67309 38045 29553 134907 87821 234355 0 26925 24813 22885 74623 41720 31938 148281 86074 240548 0 25922 24303 22194 72419 41345 33873 147637 92911 266355 0 32606 31779 31886 96271 52759 36169 185199 81156 8129 ann. pay. 3877361 110492 350095 346254 335104 1141945 738221 466485 2346651 1530710 4203276 118670 406577 370714 372077 1268038 830049 536901 2634988 1568288 4469250 151407 483042 417073 436479 1488001 856605 664993 3009599 1459651 4652583 96513 465613 415752 415003 1392881 827745 647814 2868440 1784143 5114736 151659 586984 572962 584492 1896097 1002647 690585 3589329 1525407 8129 rec. 19574391 907000 3000563 2150330 1841734 7899627 2935942 2221945 13057514 6516877 8131 firms 161205 5581 85392 37075 17754 145802 14291 1002 161095 110 164446 6506 85840 37887 18229 148462 14807 1066 164335 111 166598 6705 85947 38542 18679 149873 15440 1169 166482 116 165859 6029 84980 38873 18943 148825 15712 1210 165747 112 172311 7532 87434 40589 19482 155037 15942 1213 172192 119 8131 estab. 161332 5581 85393 37076 17759 145809 14336 1048 161193 139 164574 6506 85841 37889 18233 148469 14854 1102 164425 149 166716 6707 85949 38543 18685 149884 15484 1202 166570 146 165984 6029 84983 38874 18951 148837 15761 1246 165844 140 172562 7532 87436 40589 19485 155042 16009 1272 172323 239 8131 empl. 1469479 0 192115 240091 236535 668741 539166 164597 1372504 96975 1517882 0 192299 245550 243445 681294 561687 175519 1418500 99382 1569353 0 192972 249912 249364 692248 587271 187485 1467004 102349 1595009 0 191539 252752 253292 697583 598202 196792 1492577 102432 1638915 0 200736 261971 259923 722630 607209 197037 1526876 112039 8131 ann. pay. 18855527 87838 2007913 2584394 2794289 7474434 6859178 2659056 16992668 1862859 20390610 122886 2124993 2772870 3019986 8040735 7410576 2918466 18369777 2020833 22089462 147168 2242849 2960284 3225583 8575884 8022148 3219807 19817839 2271623 23294649 108633 2347702 3102665 3425528 8984528 8515581 3535837 21035946 2258703 24843744 138677 2521215 3324490 3607367 9591749 9046341 3703308 22341398 2502346 8131 rec. 82910385 581781 8926690 11243940 11998419 32750830 29654114 12089227 74494171 8416214 8132 firms 10596 852 6188 1461 861 9362 788 240 10390 206 10760 678 6338 1524 911 9451 854 244 10549 211 11155 832 6367 1655 927 9781 917 249 10947 208 11835 824 6823 1757 994 10398 972 260 11630 205 12944 978 7564 1833 1070 11445 993 277 12715 229 8132 estab. 12349 852 6188 1480 926 9446 1122 567 11135 1214 12540 679 6339 1543 965 9526 1164 571 11261 1279 12925 837 6368 1668 991 9864 1217 556 11637 1288 13648 824 6827 1786 1046 10483 1275 556 12314 1334 14952 978 7565 1871 1176 11590 1357 737 13684 1268 8132 empl. 113658 0 11752 9527 11480 32759 29157 26674 88590 25068 121342 0 12295 9956 12009 34260 31682 29017 94959 26383 128873 0 12384 10861 12278 35523 34510 29616 99649 29224 135947 0 13339 11568 13282 38189 36861 32100 107150 28797 143800 0 14576 11922 14188 40686 38164 33322 112172 31628 8132 ann. pay. 3640553 61064 334373 309401 372380 1077218 924948 795073 2797239 843314 3959660 19571 369112 330073 399742 1118498 1059791 925498 3103787 855873 4388361 25734 383524 384265 423554 1217077 1183764 994848 3395689 992672 4951121 32143 437805 423450 468222 1361620 1343792 1151178 3856590 1094531 5415980 42543 489339 446046 527479 1505407 1453154 1221915 4180476 1235504 8132 rec. 46518426 816104 5938738 4939756 5549376 17243974 12823379 12080457 42147810 4370616 8133 firms 8840 771 4365 1610 1030 7776 791 213 8780 60 9053 531 4482 1752 1073 7838 937 221 8996 57 9266 628 4375 1807 1180 7990 990 223 9203 63 9954 614 4772 1979 1241 8606 1037 242 9885 69 11443 831 5794 2105 1355 10085 1045 243 11373 70 8133 estab. 10398 771 4368 1626 1088 7853 1159 916 9928 470 10741 533 4486 1767 1129 7915 1303 880 10098 643 11057 640 4378 1820 1243 8081 1352 1035 10468 589 11886 617 4778 1996 1312 8703 1387 1089 11179 707 13485 833 5802 2123 1417 10175 1518 996 12689 796 8133 empl. 89539 0 9094 10540 13715 33349 27646 18537 79532 10007 100107 0 9443 11531 14497 35471 32883 20581 88935 11172 107824 0 9309 11816 15582 36707 34920 22704 94331 13493 116907 0 10049 12975 16547 39571 36273 25372 101216 15691 124217 0 12078 13751 18146 43975 36314 26686 106975 17242 8133 ann. pay. 2220271 21156 201885 236269 321682 780992 665452 485767 1932211 288060 2533382 16334 222594 269518 347716 856162 795315 547823 2199300 334082 2836905 18431 227259 285619 384757 916066 885857 647462 2449385 387520 3239402 20874 264430 331877 436105 1053286 952658 748415 2754359 485043 3584777 25792 320956 368917 491614 1207279 994454 858105 3059838 524939 8133 rec. 12940150 171505 1336694 1291598 1595979 4395776 2949112 3378800 10723688 2216462 8134 firms 30183 1988 15650 6292 3480 27410 2268 425 30103 80 29762 1609 15691 6263 3411 26974 2260 446 29680 82 29739 1766 15323 6325 3452 26866 2331 452 29649 90 29742 1786 15253 6322 3439 26800 2378 467 29645 97 28975 1806 14475 6368 3338 25987 2422 468 28877 98 8134 estab. 32063 1988 15655 6325 3651 27619 2865 959 31443 620 31642 1609 15697 6299 3552 27157 2875 1021 31053 589 31628 1766 15333 6359 3590 27048 2926 1059 31033 595 31711 1786 15256 6355 3560 26957 2969 1148 31074 637 31176 1809 14476 6387 3470 26142 3268 1128 30538 638 8134 empl. 314725 0 31244 41313 45677 118234 83315 65174 266723 48002 320681 0 31569 41303 45280 118152 83702 67038 268892 51789 330697 0 30864 41646 45723 118233 85898 70549 274680 56017 339182 0 30807 41603 45286 117696 88498 72921 279115 60067 339933 0 30023 41692 44201 115916 90588 73707 280211 59722 8134 ann. pay. 3890204 30852 344984 411718 493086 1280640 1195262 856902 3332804 557400 4044190 24367 371147 421004 496141 1312659 1225263 920195 3458117 586073 4332728 33448 375416 438092 521189 1368145 1321915 988736 3678796 653932 4700999 33706 397264 452521 542519 1426010 1438597 1068628 3933235 767764 4789128 32818 384592 466461 524363 1408234 1505267 1123370 4036871 752257 8134 rec. 16117675 215275 2363440 2196555 2076162 6851432 4226702 2795465 13873599 2244076 8139 firms 68067 4925 39829 11919 6630 63303 4165 498 67966 101 66707 4375 39215 11692 6584 61866 4225 514 66605 102 66963 4691 38824 11814 6651 61980 4339 544 66863 100 66468 4597 38573 11770 6549 61489 4318 554 66361 107 65708 4824 37356 11500 6934 60614 4435 561 65610 98 8139 estab. 70034 4937 39842 11977 6797 63553 4856 1193 69602 432 68733 4383 39222 11745 6734 62084 4963 1138 68185 548 69010 4694 38848 11871 6789 62202 5051 1172 68425 585 68496 4597 38595 11830 6686 61708 5007 1236 67951 545 67825 4824 37372 11551 7090 60837 5150 1294 67281 544 8139 empl. 500357 0 79148 78435 87529 245112 147953 75332 468397 31960 511602 0 77774 76998 87460 242232 152475 78751 473458 38144 529231 0 77517 77904 88498 243919 156944 85440 486303 42928 528732 0 77169 77389 86996 241554 156278 86729 484561 44171 524027 0 76093 75827 91539 243459 158859 86052 488370 35657 8139 ann. pay. 14058167 159731 1724256 1747105 2075496 5706588 4245885 2905817 12858290 1199877 15068485 122013 1750395 1807232 2178197 5857837 4699570 3197371 13754778 1313707 16160019 116207 1828333 1916411 2331538 6192489 4902003 3575933 14670425 1489594 17160238 120976 1901440 1998770 2434420 6455606 5161051 3855058 15471715 1688523 17775134 125366 1912997 2021428 2524473 6584264 5479497 4022121 16085882 1689252 8139 rec. 61874310 657721 8408690 7429626 8659859 25155896 18165691 12144427 55466014 6408296 11311 firms 358 72 163 58 18 311 22 4 337 21 381 81 180 51 23 335 22 5 362 19 418 89 194 60 27 370 24 7 401 17 392 71 185 67 27 350 19 7 376 16 633 108 318 112 41 579 33 6 618 15 11311 estab. 418 72 163 58 19 312 24 6 342 76 431 81 181 51 24 337 24 7 368 63 469 90 194 61 27 372 31 9 412 57 441 72 185 69 27 353 20 10 383 58 680 108 318 113 42 581 35 8 624 56 11311 empl. 3426 0 310 383 242 935 [f] [e] [g] [g] 3258 0 353 329 281 963 [f] [e] 1982 1276 3337 0 378 389 341 1108 [f] [e] 2116 1221 3203 0 363 439 354 1156 488 439 2083 1120 4203 0 652 729 528 1909 1004 250 3163 1040 11311 ann. pay. 132368 1233 7462 12207 7922 28824 (D) (D) (D) (D) 121920 2133 8612 9447 10023 30215 (D) (D) 58629 63291 132021 2989 10050 10760 12208 36007 (D) (D) 67560 64461 122992 1898 9281 14026 10895 36100 16940 11534 64574 58418 158214 1889 16880 22206 15346 56321 35500 6492 98313 59901 11311 rec. 1112163 24049 201641 152818 95088 473596 188002 29485 691083 421080 11321 firms 152 33 65 27 9 134 8 3 145 7 185 53 76 26 11 166 10 3 179 6 191 40 86 30 14 170 13 3 186 5 188 36 86 32 11 165 13 4 182 6 286 57 128 47 23 255 20 5 280 6 11321 estab. 221 33 65 27 9 134 8 3 145 76 252 53 76 26 11 166 10 3 179 73 258 40 86 30 14 170 13 3 186 72 256 36 86 32 11 165 14 4 183 73 352 57 128 47 23 255 21 5 281 71 11321 empl. 1387 0 139 167 106 412 [e] [b] [f] [f] 1380 0 163 170 156 489 [e] [b] 851 529 1677 0 182 192 168 542 [e] [b] 1005 672 2049 0 175 214 145 534 363 [c] [g] [g] 2657 0 243 306 303 852 822 320 1994 663 11321 ann. pay. 45919 1043 3214 3892 1890 10039 (D) (D) (D) (D) 49617 1533 3877 4176 2942 12528 (D) (D) 20571 29046 66968 1672 4719 4099 3613 14103 (D) (D) 25724 41244 70068 1137 4068 5450 2798 13453 7268 (D) (D) (D) 75806 1985 4902 7604 7249 21740 14218 5880 41838 33968 11321 rec. 313498 14411 33458 31717 28815 108401 43699 20925 173025 140473 11331 firms 13530 1872 6420 3007 1592 12891 570 35 13496 34 12931 1522 6237 2981 1561 12301 564 33 12898 33 12538 1538 5963 2872 1505 11878 598 32 12508 30 12027 1326 6059 2674 1372 11431 541 25 11997 30 11397 1462 5534 2473 1318 10787 557 24 11368 29 11331 estab. 13616 1872 6422 3008 1593 12895 587 39 13521 95 13011 1522 6237 2985 1563 12307 574 37 12918 93 12620 1539 5966 2873 1507 11885 608 35 12528 92 12098 1326 6062 2675 1374 11437 552 25 12014 84 11477 1462 5535 2476 1319 10792 574 25 11391 86 11331 empl. 79364 0 13838 19680 20657 54175 17211 2077 73463 5901 79195 0 13492 19535 20242 53269 17484 2435 73188 6007 78129 0 12795 18955 19620 51370 18831 2557 72758 5371 72732 0 12825 17763 17976 48564 17576 1967 68107 4625 68962 0 12034 16284 17315 45633 17019 1908 64560 4402 11331 ann. pay. 2070191 53603 290156 418739 494167 1256665 472853 78669 1808187 262004 2084891 44190 288731 427989 496102 1257012 476426 87189 1820627 264264 2057252 38974 271741 418989 472907 1202611 514450 92692 1809753 247499 1968788 33495 281658 408335 458074 1181562 484979 79664 1746205 222583 1973028 40070 272753 389633 457947 1160403 504357 71952 1736712 236316 11331 rec. 9809676 328186 1813654 1906342 1951169 5999351 2263968 351065 8614384 1195292 11411 firms 2112 786 1056 136 60 2038 56 10 2104 8 2174 815 1085 134 62 2096 58 12 2166 8 2299 892 1120 158 57 2227 51 14 2292 7 2241 810 1153 143 62 2168 54 13 2235 6 1901 696 986 93 66 1841 41 12 1894 7 11411 estab. 2120 786 1056 137 60 2039 58 11 2108 12 2181 815 1085 135 62 2097 59 13 2169 12 2308 892 1120 159 57 2228 52 17 2297 11 2252 810 1153 144 64 2171 55 16 2242 10 1916 696 986 93 66 1841 44 18 1903 13 11411 empl. 7206 0 1669 862 785 3316 1904 [f] [i] [g] 7611 0 1719 850 790 3359 2089 1317 6765 846 7477 0 1779 1006 748 3533 1799 1396 6728 749 7350 0 1858 925 832 3615 1832 1299 6746 604 6537 0 1549 583 885 3017 1413 1304 5734 803 11411 ann. pay. 252566 24110 47582 25169 25065 121926 62214 (D) (D) (D) 263683 27933 48801 28020 22545 127299 61605 51689 240593 23090 266695 25253 50583 25269 24212 125317 56000 59580 240897 25798 258565 19888 50363 26523 26675 123449 58184 55443 237076 21489 252635 19746 44281 14912 29855 108794 49720 50091 208605 44030 11411 rec. 1654956 184589 343491 88230 161452 777762 308798 326898 1413458 241498 11421 firms 345 94 175 29 30 328 13 3 344 1 360 84 184 47 22 337 17 3 357 3 363 85 185 40 33 343 13 4 360 3 384 75 205 56 30 366 12 4 382 2 469 136 226 52 35 449 14 4 467 2 11421 estab. 345 94 175 29 30 328 13 3 344 1 360 84 184 47 22 337 17 3 357 3 363 85 185 40 33 343 13 4 360 3 384 75 205 56 30 366 12 4 382 2 469 136 226 52 35 449 14 4 467 2 11421 empl. 2107 0 326 198 398 922 [e] [f] [g] [a] 2375 0 320 318 287 925 585 [e] [g] [f] 2511 0 339 264 472 1075 434 [e] [g] [f] 2604 0 375 363 422 1160 398 [e] [g] [f] 2707 0 414 364 471 1249 424 [e] [g] [f] 11421 ann. pay. 58552 1515 4980 3226 7536 17257 (D) (D) (D) (D) 68870 1538 5843 5303 5619 18303 12238 (D) (D) (D) 75764 1342 6374 4555 10941 23212 8910 (D) (D) (D) 82351 1479 7023 7140 7899 23541 10430 (D) (D) (D) 82792 2051 8373 6140 8183 24747 10811 (D) (D) (D) 11421 rec. 319345 15163 38372 21497 24978 100010 37144 (D) (D) (D) 11511 firms 5532 1033 2514 866 487 4900 446 136 5482 50 5582 1063 2520 875 483 4941 453 137 5531 51 4753 915 2105 779 414 4213 379 122 4714 39 5134 963 2361 814 422 4560 420 125 5105 29 4946 889 2268 789 432 4378 417 115 4910 36 11511 estab. 5872 1033 2517 866 492 4908 489 202 5599 273 5929 1068 2522 876 490 4956 498 211 5665 264 5061 915 2109 779 422 4225 414 259 4898 163 5464 963 2367 815 432 4577 466 271 5314 150 5324 889 2271 790 451 4401 471 224 5096 228 11511 empl. 64568 0 5166 5651 6445 17262 17518 19201 53981 10587 67441 0 5205 5718 6350 17273 17538 17693 52504 14937 57587 0 4321 5084 5437 14842 15006 17810 47658 9929 59615 0 4877 5353 5638 15868 17097 18596 51561 8054 58541 0 4642 5138 5771 15551 16597 15661 47809 10732 11511 ann. pay. 1506905 34473 128606 149021 163927 476027 367025 345403 1188455 318450 1577196 43151 129525 154840 165794 493310 408695 343710 1245715 331481 1347539 34609 114494 142162 140426 431691 348293 333419 1113403 234136 1463707 35719 140227 156801 165100 497847 399420 355689 1252956 210751 1514936 30578 136440 153692 165352 486062 414757 346270 1247089 267847 11511 rec. 8681380 230054 1004433 890540 865945 2990972 2022811 1877691 6891474 1789906 11521 firms 3198 477 1940 451 192 3060 110 21 3191 7 3222 494 1936 466 196 3092 103 18 3213 9 3403 533 1997 507 214 3251 122 22 3395 8 3946 525 2415 577 245 3762 154 21 3937 9 4478 649 2708 624 286 4267 180 23 4470 8 11521 estab. 3246 477 1940 451 192 3060 115 57 3232 14 3269 494 1936 466 196 3092 104 48 3244 25 3450 533 1997 507 214 3251 125 59 3435 15 3999 526 2416 579 246 3767 155 59 3981 18 4537 649 2709 625 288 4271 183 65 4519 18 11521 empl. 16047 0 3629 2924 2409 8962 3880 [g] [j] [f] 16747 0 3631 3031 2587 9249 3621 2365 15235 1512 18197 0 3786 3304 2812 9902 4166 3251 17319 878 20750 0 4588 3774 3210 11572 5097 2945 19614 1136 22876 0 5287 3997 3772 13056 5810 3034 21900 976 11521 ann. pay. 307237 7140 52075 43376 41376 143967 78315 (D) (D) (D) 326691 14518 55695 49935 45814 165962 78648 49690 294300 32391 383710 12081 60231 56134 55007 183453 84658 88383 356494 27216 452312 10351 76938 68914 60810 217013 105485 91063 413561 38751 495963 13341 89013 69620 76309 248283 112809 100193 461285 34678 11521 rec. 2558100 92369 580902 289628 300674 1263573 629935 485730 2379238 178862 11531 firms 1424 309 688 191 99 1287 111 15 1413 11 1456 293 740 182 104 1319 107 18 1444 12 1513 319 760 181 104 1364 116 25 1505 8 1516 272 782 217 100 1371 113 24 1508 8 1744 386 853 216 138 1593 120 20 1733 11 11531 estab. 1454 309 688 191 99 1287 130 24 1441 13 1493 293 740 182 104 1319 128 26 1473 20 1547 319 760 181 104 1364 138 31 1533 14 1553 272 782 217 100 1371 145 24 1540 13 1797 386 853 216 138 1593 151 27 1771 26 11531 empl. 13044 0 1384 1248 1361 3993 [h] [g] [j] [h] 14148 0 1437 1164 1397 3998 4531 [g] [j] [h] 14650 0 1503 1160 1404 4067 5052 [h] [j] [g] 15173 0 1506 1418 1343 4267 4929 3515 12711 2462 14679 0 1669 1412 1825 4906 5084 2403 12393 2286 11531 ann. pay. 280567 8673 33685 29376 31222 102956 (D) (D) (D) (D) 319781 8081 38278 30169 34022 110550 101031 (D) (D) (D) 352584 9844 39061 30154 40857 119916 111434 (D) (D) (D) 373066 6345 38847 39986 35641 120819 119660 60162 300641 72425 424917 15287 45087 41188 56078 157640 134861 58120 350621 74296 11531 rec. 1424020 72940 235671 145821 169003 623435 369679 181919 1175033 248987 21111 firms 6723 653 4000 1025 496 6174 365 83 6622 101 6345 679 3803 904 458 5844 312 85 6241 104 6472 807 3779 928 441 5955 341 77 6373 99 6435 741 3734 947 479 5901 356 86 6343 92 6317 597 3816 906 462 5781 354 89 6224 93 21111 estab. 7927 654 4011 1039 528 6232 482 234 6948 979 7556 679 3814 916 498 5907 411 236 6554 1002 7740 807 3793 940 479 6019 458 242 6719 1021 7691 741 3750 959 506 5956 453 238 6647 1044 7629 597 3830 932 477 5836 456 292 6584 1045 21111 empl. 97039 0 7719 6693 6526 20938 12773 11504 45215 51824 90012 0 7350 5854 5959 19163 11199 10601 40963 49049 83012 0 7414 6047 5723 19184 12285 9966 41435 41577 87980 0 7386 6153 6286 19825 12369 10290 42484 45496 88280 0 7466 5890 5980 19336 12113 11656 43105 45175 21111 ann. pay. 5316305 34134 217468 223948 264953 740503 651692 676301 2068496 3247809 5377469 29378 216267 213914 260708 720267 643989 595216 1959472 3417997 5393011 40616 249214 253368 271729 814927 734334 703689 2252950 3140061 6217777 39391 264648 266432 299754 870225 742945 786895 2400065 3817712 6406475 28794 254065 258981 290795 832635 762724 807342 2402701 4003774 21111 rec. 160879230 228801 2587900 2367043 2389652 7573396 6789872 9608878 23972146 136907084 21211 firms 1022 113 190 121 162 586 317 71 974 48 948 92 181 118 147 538 296 68 902 46 880 64 184 105 150 503 266 63 832 48 888 115 170 99 148 532 243 67 842 46 802 58 160 97 130 445 246 67 758 44 21211 estab. 1442 113 194 121 162 590 345 129 1064 378 1336 92 183 118 147 540 331 125 996 340 1253 64 186 105 153 508 285 143 936 317 1266 115 172 100 152 539 264 135 938 328 1194 58 161 97 132 448 279 138 865 329 21211 empl. 81272 0 473 797 2296 3566 13022 11050 27638 53634 76381 0 399 782 2027 3208 12000 10839 26047 50334 70666 0 413 689 2071 3173 10689 10352 24214 46452 70999 0 371 652 2092 3115 10006 11694 24815 46184 74915 0 363 654 1784 2801 10205 11576 24582 50333 21211 ann. pay. 3988677 17988 16089 25740 63813 123630 457117 476258 1057005 2931672 3697834 22611 14086 23240 58631 118568 423939 457081 999588 2698246 3542168 7687 13461 19911 68757 109816 385337 453755 948908 2593260 3786164 36212 14258 25089 70012 145571 408320 556800 1110691 2675473 3812771 13267 15824 21275 59714 110080 407016 564794 1081890 2730881 21211 rec. 19845659 51399 85970 100213 248433 486015 2095535 2887139 5468689 14376970 21221 firms 32 4 9 4 6 23 3 1 27 5 31 5 6 5 6 22 2 1 25 6 31 4 8 5 2 19 4 4 27 4 34 3 12 3 7 25 1 2 28 6 32 3 9 7 4 23 3 2 28 4 21221 estab. 37 4 9 4 6 23 3 1 27 10 36 5 6 5 6 22 2 1 25 11 39 4 8 5 2 19 4 7 30 9 42 3 12 3 7 25 1 5 31 11 40 3 9 7 4 23 3 5 31 9 21221 empl. 8052 [a] [a] [b] [b] [c] [b] [c] 273 7779 7982 0 [a] 35 64 [c] [b] [c] 238 7744 7707 0 [a] 38 [b] 79 55 665 799 6908 7433 0 17 18 72 107 [b] [c] 319 7114 5403 [a] [b] 42 46 111 [c] [f] 746 4657 21221 ann. pay. 388133 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 10137 377996 382590 97 (D) 2371 2199 (D) (D) (D) 10298 372292 383872 43 (D) 2237 (D) 3277 1611 34419 39307 344565 357279 3 951 1308 1979 4241 (D) (D) 11131 346148 287281 (D) (D) 1580 1568 4975 (D) (D) 33518 253763 21221 rec. 1794384 (D) (D) 6836 6571 (D) (D) (D) 179430 1614954 21222 firms 257 56 106 30 20 212 20 13 245 12 264 64 105 34 20 223 19 11 253 11 272 57 122 36 21 236 13 11 260 12 245 52 121 24 16 213 11 11 235 10 156 29 75 17 10 131 10 9 150 6 21222 estab. 317 56 107 30 20 213 28 28 269 48 321 64 105 34 21 224 24 36 284 37 320 57 122 36 22 237 20 23 280 40 288 52 121 25 16 214 11 31 256 32 187 29 75 18 10 132 12 23 167 20 21222 empl. 16542 [a] [c] [c] [c] [f] 911 2204 [h] [j] 13805 0 220 219 261 700 598 2005 3303 10502 12278 0 253 228 262 743 380 1812 2935 9343 11222 0 238 140 212 590 221 2146 2957 8265 9026 [a] 144 100 137 [e] [c] 1938 2506 6520 21222 ann. pay. 800480 (D) (D) (D) (D) (D) 39416 92035 (D) (D) 675773 3019 8630 9391 11648 32688 29762 65845 128295 547478 625555 1275 9693 8727 10223 29918 19616 62703 112237 513318 600658 6010 8752 5458 12333 32553 9779 90963 133295 467363 544926 (D) 11641 4583 23525 (D) (D) 107356 163588 381338 21222 rec. 3121700 (D) 55045 20575 58000 (D) (D) 526389 770743 2350957 21223 firms 46 3 16 4 5 28 4 3 35 11 53 11 15 5 4 35 5 3 43 10 53 5 20 8 4 37 3 3 43 10 53 8 21 5 4 38 3 5 46 7 34 3 11 7 3 24 1 3 28 6 21223 estab. 83 3 16 4 6 29 4 5 38 45 90 11 15 5 5 36 7 5 48 42 86 5 20 10 5 40 3 4 47 39 84 8 23 5 5 41 3 7 51 33 56 3 11 9 3 26 2 4 32 24 21223 empl. 15474 [a] [b] [b] [b] [c] [b] 725 925 14549 14376 [a] [b] 20 68 117 162 839 1118 13258 11517 0 40 52 60 152 43 821 1016 10501 10679 0 46 37 50 133 62 1021 1216 9463 7824 [a] [a] [b] [b] [c] [b] 542 677 7147 21223 ann. pay. 666361 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 29247 37890 628471 605465 (D) (D) 887 4288 6387 4077 44799 55263 550202 515781 72 1102 1491 2797 5462 1639 47771 54872 460909 488165 126 1420 1515 3155 6216 1929 64555 72700 415465 360224 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 43481 50972 309252 21223 rec. 2563925 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 282540 323641 2240284 21229 firms 85 11 33 10 4 58 7 8 73 12 69 12 25 7 5 49 7 3 59 10 65 8 25 8 6 47 5 4 56 9 58 4 23 6 6 39 6 4 49 9 55 9 18 7 5 39 4 4 47 8 21229 estab. 99 11 33 10 4 58 7 14 79 20 82 12 25 7 5 49 12 4 65 17 77 8 25 8 6 47 9 7 63 14 71 4 23 6 6 39 11 8 58 13 68 9 18 7 9 43 4 6 53 15 21229 empl. 3835 [a] [b] [b] [b] [c] [e] [f] [g] [h] 3765 [a] 42 45 61 [c] [e] [e] 884 2881 3318 0 [b] 50 [b] 165 194 560 919 2399 3476 0 40 33 82 155 [c] [f] 891 2585 3439 [a] [b] [b] [b] [c] [c] [e] 724 2715 21229 ann. pay. 183221 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 181067 (D) 1838 1524 1326 (D) (D) (D) 33910 147157 193262 239 (D) 1750 (D) 5358 7144 27068 39570 153692 203911 140 1485 1493 2164 5282 (D) (D) 37147 166764 180944 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 38625 142319 21229 rec. 689768 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 181440 508328 21231 firms 1325 90 278 226 259 853 301 92 1246 79 1312 101 298 221 245 865 284 81 1230 82 1290 91 294 223 246 854 277 80 1211 79 1312 97 329 223 233 882 282 73 1237 75 1362 125 355 223 252 955 257 79 1291 71 21231 estab. 2338 90 279 226 262 857 396 252 1505 833 2384 101 299 221 248 869 382 236 1487 897 2420 91 295 223 249 858 375 226 1459 961 2456 97 329 223 236 885 383 229 1497 959 2514 125 355 226 255 961 360 263 1584 930 21231 empl. 44564 0 632 1540 3529 5701 10057 8206 23964 20600 46053 0 673 1490 3336 5499 9864 7479 22842 23211 46849 0 658 1546 3390 5594 9791 7932 23317 23532 45171 0 736 1513 3169 5418 9727 6772 21917 23254 45099 0 796 1515 3454 5765 8947 7176 21888 23211 21231 ann. pay. 1724929 6137 18833 40897 117886 183753 365301 333773 882827 842102 1830454 10747 20906 42819 112672 187144 356793 303670 847607 982847 1914976 4389 18138 47044 117937 187508 364171 343244 894923 1020053 1929868 7128 26671 49158 112158 195115 375991 288267 859373 1070495 1853226 9169 31735 49003 129009 218916 359879 291012 869807 983419 21231 rec. 9295827 38650 133641 199660 495021 866972 1468369 1322523 3657864 5637963 21232 firms 2018 167 656 377 319 1519 316 100 1935 83 2027 186 680 364 295 1525 327 88 1940 87 2024 203 638 371 319 1531 315 97 1943 81 2049 213 692 372 302 1579 302 89 1970 79 2066 219 713 355 309 1596 302 89 1987 79 21232 estab. 2636 167 656 378 325 1526 395 224 2145 491 2702 186 681 365 301 1533 401 207 2141 561 2698 203 639 371 322 1535 389 216 2140 558 2779 213 693 372 308 1586 380 199 2165 614 2819 219 713 355 313 1600 369 203 2172 647 21232 empl. 38484 0 1456 2507 4115 8078 9755 6061 23894 14590 37985 0 1499 2413 3899 7811 10063 5256 23130 14855 37883 0 1412 2455 4304 8171 9642 6034 23847 14036 37703 0 1533 2506 4039 8078 9665 5219 22962 14741 36381 0 1582 2373 4122 8077 9311 4931 22319 14062 21232 ann. pay. 1509134 9367 41899 77466 142249 270981 350969 240997 862947 646187 1545436 11206 47714 76463 140961 276344 385116 218139 879599 665837 1521325 12504 42414 76250 151729 282897 382123 236421 901441 619884 1579743 10683 48315 87339 155585 301922 376679 224137 902738 677005 1528220 12382 55529 78723 156640 303274 388061 216553 907888 620332 21232 rec. 7354662 53336 219324 305595 591244 1169499 1404292 945381 3519172 3835490 21239 firms 291 25 77 50 37 189 43 19 251 40 271 31 78 38 22 169 43 21 233 38 283 30 82 38 34 184 43 18 245 38 283 26 81 43 30 180 52 16 248 35 278 31 85 35 32 183 41 18 242 36 21239 estab. 357 25 77 51 39 192 51 27 270 87 329 31 78 39 23 171 51 30 252 77 338 30 82 38 35 185 53 27 265 73 337 26 81 43 34 184 62 22 268 69 327 31 85 35 33 184 49 29 262 65 21239 empl. 17086 0 175 338 483 996 1566 1432 3994 13092 15602 0 168 260 301 729 1609 1635 3973 11629 14111 0 185 261 451 897 1658 1870 4425 9686 14052 0 181 286 396 863 1978 1578 4419 9633 12087 0 181 232 436 849 1463 1452 3764 8323 21239 ann. pay. 752005 762 5365 12303 14228 32658 48941 60019 141618 610387 706556 1050 5879 9086 8082 24097 53235 68880 146212 560344 647164 1957 6266 7900 13605 29728 56727 91677 178132 469032 637908 1142 5165 8771 13220 28298 74584 70466 173348 464560 554430 791 6598 8422 14582 30393 56636 49639 136668 417762 21239 rec. 3067177 3502 27613 34501 57865 123481 262486 192563 578530 2488647 21311 firms 8299 878 3918 1320 933 7049 985 157 8191 108 7771 817 3877 1171 873 6738 798 136 7672 99 7641 892 3618 1147 877 6534 866 142 7542 99 8222 1034 3731 1211 986 6962 989 172 8123 99 7587 831 3449 1176 970 6426 909 157 7492 95 21311 estab. 9423 886 3934 1388 1037 7245 1213 317 8775 648 8863 818 3909 1233 975 6935 994 288 8217 646 8767 894 3646 1205 956 6701 1053 290 8044 723 9305 1036 3749 1253 1043 7081 1160 300 8541 764 9037 831 3465 1209 1089 6594 1200 391 8185 852 21311 empl. 175501 0 7905 8608 12225 28738 37685 21839 88262 87239 150684 0 7677 7565 11352 26594 28870 18089 73553 77131 168787 0 7273 7508 11667 26448 32033 19086 77567 91220 196850 0 7550 7967 13063 28580 37500 26479 92559 104291 183321 0 7155 7757 12898 27810 34392 21782 83984 99337 21311 ann. pay. 6612671 48592 198099 227664 331263 805618 1127866 810320 2743804 3868867 5973318 55860 205795 216146 346464 824265 941021 727701 2492987 3480331 7354132 58694 207895 237560 391373 895522 1130677 876302 2902501 4451631 9212884 123733 238863 269760 461486 1093842 1438772 1252636 3785250 5427634 8433197 49537 220596 254609 443992 968734 1294040 960205 3222979 5210218 21311 rec. 28960730 169727 835638 943867 1389401 3338633 3956578 3441276 10736487 18224243 22111 firms 527 51 142 44 33 270 84 60 414 113 521 42 136 52 31 261 84 58 403 118 534 39 141 59 40 279 84 59 422 112 570 53 151 65 39 308 96 55 459 111 563 47 172 60 36 315 92 54 461 102 22111 estab. 1936 51 143 44 37 275 129 176 580 1356 1991 42 137 52 35 266 128 164 558 1433 2118 39 142 59 44 284 128 160 572 1546 2208 54 152 65 45 316 140 143 599 1609 2349 47 173 63 43 326 132 163 621 1728 22111 empl. 148972 0 301 280 477 1058 3223 9843 14124 134848 147282 0 281 332 419 1032 3264 8918 13214 134068 143927 0 303 365 521 1189 3514 7815 12518 131409 139254 0 328 410 558 1296 3908 7431 12635 126619 135521 0 362 384 516 1262 3895 7398 12555 122966 22111 ann. pay. 9078750 19917 10780 12669 24626 67992 154750 534915 757657 8321093 9453630 102955 14861 16226 25960 160002 168033 488814 816849 8636781 10044613 7297 11100 15029 34574 68000 192367 460140 720507 9324106 10188048 9867 14248 16596 35010 75721 228734 464266 768721 9419327 9765666 56420 15009 14024 33142 118595 219554 494475 832624 8933042 22111 rec. 89479824 89138 242203 123682 2253957 2708980 3726584 6377101 12812665 76667159 22112 firms 1252 56 113 60 134 363 609 165 1137 115 1278 52 135 80 132 399 600 166 1165 113 1278 60 135 81 133 409 588 176 1173 105 1317 77 154 82 135 448 590 173 1211 106 1290 56 157 74 131 418 579 192 1189 101 22112 estab. 6369 56 114 62 148 380 972 573 1925 4444 6820 56 136 82 142 416 966 579 1961 4859 7032 60 135 82 145 422 935 600 1957 5075 6999 77 155 82 147 461 929 600 1990 5009 7144 56 158 74 146 434 943 656 2033 5111 22112 empl. 397724 0 246 408 1962 2616 29008 25401 57025 340699 385932 0 296 523 1889 2708 28663 26075 57446 328486 376927 0 299 527 1924 2750 28245 27483 58478 318449 376734 0 354 539 1958 2851 28152 27190 58193 318541 380248 0 326 473 1925 2724 27350 29908 59982 320266 22112 ann. pay. 22568578 7355 8833 16249 81643 114080 1170273 1116901 2401254 20167324 22988989 48613 12017 21484 78659 160773 1182601 1164925 2508299 20480690 23714287 14327 13290 21435 78055 127107 1189176 1279936 2596219 21118068 24149721 12373 16129 25313 85099 138914 1251657 1302461 2693032 21456689 25062770 9125 13022 19161 90078 131386 1248655 1479030 2859071 22203699 22112 rec. 231022846 42261 1157551 133302 654016 1987130 12070889 15050227 29108246 201914600 22121 firms 630 57 209 105 64 435 55 36 526 104 610 47 222 98 62 429 50 34 513 97 603 47 210 97 58 412 58 35 505 98 592 44 217 97 57 415 51 32 498 94 631 68 223 111 59 461 54 31 546 85 22121 estab. 2723 58 209 109 76 452 101 154 707 2016 2851 47 222 100 70 439 98 165 702 2149 2846 47 210 99 67 423 103 152 678 2168 2831 44 219 100 63 426 84 127 637 2194 2897 70 223 118 72 483 86 131 700 2197 22121 empl. 99962 0 476 716 775 1967 1890 5620 9477 90485 96953 0 464 660 773 1897 1658 5129 8684 88269 94821 0 478 641 750 1869 1789 4596 8254 86567 95348 0 492 644 712 1848 1831 4323 8002 87346 86890 0 519 721 716 1956 2066 4398 8420 78470 22121 ann. pay. 5282225 39923 19143 31650 35093 125809 99422 241408 466639 4815586 5657570 10866 19833 27523 36962 95184 87186 241539 423909 5233661 5529810 16524 19112 28813 37203 101652 94857 231833 428342 5101468 6001077 7422 25643 32563 34731 100359 110365 197485 408209 5592868 5342147 6940 21698 30211 41148 99997 131392 221794 453183 4888964 22121 rec. 67275310 79932 654470 478929 1310935 2524266 7724447 2878244 13126957 54148353 22131 firms 3789 205 2545 680 204 3634 89 30 3753 36 3836 257 2505 685 224 3671 105 23 3799 37 4184 347 2575 805 271 3998 121 27 4146 38 4323 323 2699 819 287 4128 130 26 4284 39 4562 340 2782 944 293 4359 140 26 4525 37 22131 estab. 4086 205 2546 683 217 3651 124 113 3888 198 4129 257 2506 686 239 3688 136 88 3912 217 4523 347 2576 806 285 4014 150 95 4259 264 4832 323 2700 820 299 4142 166 106 4414 418 5114 340 2783 947 308 4378 178 134 4690 424 22131 empl. 28623 0 5604 4318 2482 12404 2736 4066 19206 9417 29996 0 5554 4292 2711 12557 3348 3252 19157 10839 32786 0 5690 5048 3412 14150 3857 3356 21363 11423 35206 0 5982 5168 3596 14746 4167 3557 22470 12736 37041 0 6321 5863 3679 15863 4307 4198 24368 12673 22131 ann. pay. 936881 3927 79748 90600 69519 243794 85997 190157 519948 416933 1016102 7610 84018 93323 77457 262408 97712 152611 512731 503371 1120315 8907 88633 107635 91744 296919 120436 169836 587191 533124 1324944 10271 100393 114588 107371 332623 141071 191116 664810 660134 1356633 13699 107555 123621 111839 356714 144080 199917 700711 655922 22131 rec. 6522869 63563 560115 568543 514687 1706908 639328 847558 3193794 3329075 22132 firms 563 54 306 99 45 504 34 12 550 13 584 65 325 91 45 526 32 11 569 15 583 61 326 94 40 521 40 11 572 11 632 61 347 105 51 564 42 13 619 13 690 57 395 116 53 621 44 12 677 13 22132 estab. 700 54 306 102 48 510 55 19 584 116 715 65 325 91 49 530 49 18 597 118 708 61 326 94 45 526 55 20 601 107 748 61 347 105 56 569 57 23 649 99 831 57 395 116 60 628 70 40 738 93 22132 empl. 5307 [a] 660 [f] 559 1837 [f] [e] 3117 2190 5270 0 714 583 571 1868 [f] [f] 3278 1992 5141 [a] 726 [f] 506 [g] 1245 [e] 3527 1614 6312 0 761 [f] 671 [g] 1396 [f] 4057 2255 7022 [a] 879 680 667 [g] 1452 [f] 4677 2345 22132 ann. pay. 150714 (D) 12921 (D) 15808 42467 (D) (D) 84163 66551 161170 2546 13934 12503 17977 46960 (D) (D) 92627 68543 159909 (D) 14389 (D) 15480 (D) 40285 (D) 101432 58477 197818 3448 17426 (D) 17646 (D) 43278 (D) 115439 82379 233413 (D) 19397 15118 22276 (D) 52537 (D) 144841 88572 22132 rec. 1011069 (D) 106810 64003 89636 (D) 259334 (D) 630194 380875 22133 firms 57 2 20 3 8 33 10 2 45 12 54 4 14 3 6 27 12 2 41 13 57 6 14 2 7 29 12 2 43 14 62 3 18 4 9 34 11 2 47 15 70 10 19 5 12 46 8 2 56 14 22133 estab. 81 2 20 3 8 33 12 4 49 32 72 4 14 3 6 27 14 2 43 29 74 6 14 2 7 29 14 2 45 29 84 3 18 4 9 34 13 2 49 35 97 10 19 5 12 46 14 2 62 35 22133 empl. 1639 [a] 33 [b] 109 164 [e] [b] 561 1078 1629 0 24 22 80 126 [e] [b] 576 1053 1628 [a] 28 [a] 86 [c] 428 [b] 596 1032 1630 0 37 [b] 114 [c] 386 [b] 613 1017 1532 [a] 30 35 161 [c] 321 [b] 588 944 22133 ann. pay. 80079 (D) 848 (D) 4239 6373 (D) (D) 23410 56669 77529 66 696 940 3252 4954 (D) (D) 23025 54504 81902 (D) 841 (D) 3040 (D) 18162 (D) 25461 56441 80695 16 754 (D) 4291 (D) 18489 (D) 25889 54806 84116 (D) 964 1073 6264 (D) 16379 (D) 27121 56995 22133 rec. 764725 (D) 6235 4049 34680 (D) 97969 (D) 157758 606967 23311 firms 11192 2829 5871 1299 619 10618 388 95 11101 91 12189 3071 6224 1442 744 11481 507 107 12095 94 12902 2982 6657 1630 858 12127 567 117 12811 91 13175 2836 6655 1814 977 12282 664 130 13076 99 13860 2804 7303 1860 968 12935 693 138 13766 94 23311 estab. 11369 2832 5873 1301 622 10628 413 138 11179 190 12383 3072 6226 1443 750 11491 548 124 12163 220 13111 2984 6659 1632 866 12141 601 142 12884 227 13358 2837 6657 1817 980 12291 711 176 13178 180 14044 2804 7308 1864 976 12952 742 164 13858 186 23311 empl. 56326 0 11222 8311 8050 27583 13051 9385 50019 6307 68024 0 11962 9235 9842 31039 17582 11659 60280 7744 77885 0 12951 10535 11407 34893 20509 12478 67880 10005 88993 0 13163 11715 12915 37793 23692 13817 75302 13691 90669 0 14466 12018 12603 39087 23532 14669 77288 13381 23311 ann. pay. 2262825 166410 393302 293672 281877 1135261 461744 346824 1943829 318996 2814520 172339 437132 343608 354722 1307801 657849 419286 2384936 429584 3269158 164894 468769 377028 465833 1476524 756199 476151 2708874 560284 3990101 156215 484556 438707 513298 1592776 972272 579359 3144407 845694 4100107 141975 545793 473892 515979 1677639 1043208 670559 3391406 708701 23311 rec. 24460771 1412212 4716723 2654048 2784158 11567141 5133980 3239442 19940563 4520208 23321 firms 153029 29168 88281 23133 8658 149240 3440 257 152937 92 151354 24820 88532 24156 9545 147053 3937 274 151264 90 150685 24403 86967 24508 9986 145864 4426 304 150594 91 146056 24079 86030 22949 8759 141817 3846 296 145959 97 160917 31607 92161 23478 9281 156527 4007 287 160821 96 23321 estab. 153561 29168 88281 23138 8666 149253 3466 389 153108 453 151952 24820 88534 24157 9558 147069 3992 395 151456 496 151296 24403 86969 24508 10000 145880 4460 430 150770 526 146670 24080 86030 22952 8771 141833 3878 391 146102 568 161677 31607 92163 23481 9299 156550 4086 408 161044 633 23321 empl. 626161 0 178768 148002 112363 439133 114262 34946 588341 37820 677065 0 181121 154654 124421 460196 133136 38819 632151 44914 713339 0 179222 157360 130460 467042 150829 45577 663448 49891 661414 0 175524 147038 113719 436281 131713 42420 610414 51000 696886 0 188836 150275 120762 459873 136130 41020 637023 59863 23321 ann. pay. 18245529 841060 4276552 3524962 2960414 11602988 3556445 1358778 16518211 1727318 20956582 787495 4555966 3882441 3451910 12677812 4349212 1575404 18602428 2354154 23058337 760584 4605643 4095991 3737593 13199811 5226447 1905572 20331830 2726507 23160092 783248 4694110 3993667 3500990 12972015 5060011 1937368 19969394 3190698 25396809 1033760 5039096 4357778 3899888 14330522 5519878 2004518 21854918 3541891 23321 rec. 225893991 12571664 50162636 31013814 26833715 120581829 41394207 17009933 178985969 46908022 23322 firms 8054 1405 3930 1368 710 7413 538 76 8027 27 8186 1370 4042 1420 671 7503 580 73 8156 30 8208 1312 4119 1329 758 7518 583 76 8177 31 8730 1323 4292 1431 846 7892 729 77 8698 32 9007 1557 4212 1475 964 8208 693 74 8975 32 23322 estab. 8091 1405 3930 1369 710 7414 541 86 8041 50 8226 1370 4042 1420 671 7503 585 80 8168 58 8254 1312 4119 1329 758 7518 591 82 8191 63 8767 1323 4292 1431 846 7892 736 81 8709 58 9043 1557 4212 1475 964 8208 702 82 8992 51 23322 empl. 62334 0 8114 8821 9488 26423 19667 10459 56549 5785 64523 0 8258 9257 8909 26424 20734 10076 57234 7289 67673 0 8504 8698 10035 27237 20900 11188 59325 8348 73972 0 8879 9375 11163 29417 25543 10588 65548 8424 73965 0 8940 9680 12827 31447 25038 9506 65991 7974 23322 ann. pay. 2100157 51476 210129 235374 311742 808721 676169 386320 1871210 228947 2269214 60808 218769 261916 290049 831542 752252 382699 1966493 302721 2461328 46987 231952 256267 327247 862453 793580 448088 2104121 357207 2825815 51637 256841 283892 387593 979963 1002169 442368 2424500 401315 3013295 66323 292859 323997 435436 1118615 1009871 471195 2599681 413614 23322 rec. 24709438 721948 2613855 2264928 3093491 8694222 8542418 4003024 21239664 3469774 23331 firms 6842 720 2366 1283 1101 5470 1126 179 6775 67 6936 798 2372 1257 1078 5505 1188 175 6868 68 6984 723 2482 1263 1093 5561 1175 184 6920 64 5821 746 2410 1091 885 5132 539 84 5755 66 2342 477 672 386 323 1858 338 84 2280 62 23331 estab. 6904 720 2366 1283 1102 5471 1129 184 6784 120 6998 798 2372 1257 1079 5506 1192 183 6881 117 7039 723 2482 1263 1094 5562 1179 193 6934 105 5887 746 2410 1091 887 5134 541 92 5767 120 2406 477 672 388 324 1861 345 93 2299 107 23331 empl. 161159 0 5216 8576 14947 28739 42872 29401 101012 60147 166000 0 5255 8470 14610 28335 45794 30460 104589 61411 164858 0 5417 8414 14887 28718 45662 31828 106208 58650 114021 0 5220 7256 11826 24302 19715 13035 57052 56969 86859 0 1489 2559 4348 8396 12579 12859 33834 53025 23331 ann. pay. 6145133 56760 170830 271011 505289 1003890 1641905 1207662 3853457 2291676 6461894 41188 176499 271398 522937 1012022 1832626 1253744 4098392 2363502 6797251 54092 186109 267060 553447 1060708 1873363 1338163 4272234 2525017 4565607 48386 168424 237458 408325 862593 695142 524091 2081826 2483781 3828813 24182 50489 90371 163405 328447 540426 540503 1409376 2419437 23331 rec. 20501999 273576 339270 513843 921922 2048611 2551474 3040739 7640824 12861175 23332 firms 36355 4782 13267 6714 5477 30240 5240 678 36158 197 36170 4071 13469 6778 5527 29845 5414 710 35969 201 36022 4052 13266 6627 5604 29549 5514 752 35815 207 40490 4026 13858 7810 7039 32733 6719 833 40285 205 38452 3691 12712 7816 6841 31060 6434 765 38259 193 23332 estab. 36968 4782 13270 6715 5487 30254 5286 826 36366 602 36796 4071 13470 6780 5535 29856 5454 858 36168 628 36654 4052 13267 6629 5613 29561 5549 896 36006 648 41124 4027 13859 7814 7050 32750 6751 959 40460 664 39224 3691 12712 7818 6854 31075 6505 918 38498 726 23332 empl. 528358 0 28823 44939 74740 148502 196333 101787 446622 81736 562467 0 29302 44999 75383 149684 207849 111926 469459 93008 581158 0 28812 44263 76300 149375 212808 118083 480266 100892 678573 0 30485 52350 96027 178862 257190 132326 568378 110195 637338 0 28829 52543 92887 174259 243960 119996 538215 99123 23332 ann. pay. 21524488 242304 909359 1455450 2664813 5271926 7745798 4480955 17498679 4025809 23381582 217800 956468 1532924 2808835 5516027 8565472 4995792 19077291 4304291 25212012 222840 955032 1511788 2920882 5610542 9091270 5433299 20135111 5076901 30415370 287004 1091245 1917613 3795093 7090955 11141327 6305789 24538071 5877299 29391467 235562 1088311 1983716 3731064 7038653 10862569 5957949 23859171 5532296 23332 rec. 239425735 2199022 9460399 14077805 25587717 51324943 81142540 51209971 183677454 55748281 23411 firms 10884 1493 3113 1923 1736 8265 2122 418 10805 79 10606 1297 3062 1843 1688 7890 2170 464 10524 82 10434 1267 2927 1792 1645 7631 2212 496 10339 95 10837 1342 3090 1953 1692 8077 2156 511 10744 93 10507 1478 2956 1804 1636 7874 2027 504 10405 102 23411 estab. 11268 1493 3114 1924 1742 8273 2142 486 10901 367 11006 1297 3062 1843 1693 7895 2188 542 10625 381 10889 1267 2927 1793 1650 7637 2222 581 10440 449 11314 1342 3090 1954 1699 8085 2172 597 10854 460 10985 1478 2956 1805 1638 7877 2060 609 10546 439 23411 empl. 232811 0 6810 13009 23814 43633 85220 64991 193844 38967 248814 0 6772 12495 23099 42366 87907 72854 203127 45687 265678 0 6489 12041 22626 41156 90001 80710 211867 53811 275191 0 6778 13136 23118 43032 87479 84293 214804 60387 274144 0 6771 12139 22321 41231 83304 84505 209040 65104 23411 ann. pay. 10868266 106846 368564 590813 1123977 2190200 3786449 3029273 9005922 1862344 11706960 90995 356385 564357 1123477 2135214 4060570 3434156 9629940 2077020 12328611 93841 330221 523755 1013416 1961233 4095642 3727429 9784304 2544307 13758593 129318 375503 638399 1207890 2351110 4342130 4228769 10922009 2836584 13767501 130528 390044 613152 1136052 2269776 4290408 4162914 10723098 3044403 23411 rec. 72164772 783334 2050671 2736983 5031905 10602893 20196223 22407376 53206492 18958280 23412 firms 886 70 167 137 146 520 266 79 865 21 871 57 179 119 144 499 269 77 845 26 872 58 176 112 134 480 280 86 846 26 778 46 167 114 124 451 225 75 751 27 792 83 156 127 124 490 204 66 760 32 23412 estab. 925 70 168 137 146 521 272 87 880 45 905 57 180 119 144 500 275 80 855 50 906 58 177 112 134 481 286 94 861 45 819 46 167 114 124 451 232 80 763 56 833 83 156 127 124 490 211 72 773 60 23412 empl. 34331 0 378 966 2070 3414 11472 11324 26210 8121 35554 0 433 832 2020 3285 11782 11569 26636 8918 39258 0 405 768 1823 2996 12702 14565 30263 8995 35828 0 370 776 1651 2797 9766 11458 24021 11807 36671 0 341 847 1757 2945 8780 10340 22065 14606 23412 ann. pay. 1657496 16305 23232 48004 94547 182088 529280 567908 1279276 378220 1762450 5817 25076 43732 92561 167186 590099 618649 1375934 386516 1987490 8146 26884 39844 81773 156647 598227 765998 1520872 466618 1938957 8332 22016 40370 76374 147092 490932 643496 1281520 657437 1987630 15070 19810 46008 82818 163706 481403 589231 1234340 753290 23412 rec. 9964920 68159 104947 206870 355219 735195 2371154 2943417 6049766 3915154 23491 firms 7749 676 2195 1502 1413 5786 1700 218 7704 45 7523 597 2062 1430 1414 5503 1749 225 7477 46 7390 578 2026 1351 1361 5316 1792 236 7344 46 8987 550 2323 1904 1827 6604 2069 268 8941 46 10520 868 3356 2091 1826 8141 2065 262 10468 52 23491 estab. 7823 676 2195 1502 1414 5787 1705 234 7726 97 7597 597 2062 1430 1415 5504 1754 241 7499 98 7483 579 2026 1352 1362 5319 1798 254 7371 112 9090 550 2323 1904 1828 6605 2073 294 8972 118 10652 868 3356 2091 1826 8141 2086 297 10524 128 23491 empl. 156448 0 4932 10090 19416 34438 66813 35039 136290 20158 163751 0 4681 9612 19372 33665 69964 35646 139275 24476 165784 0 4554 9083 18789 32426 71994 39822 144242 21542 193347 0 5392 12898 25360 43650 81027 44811 169488 23859 198821 0 7782 14007 24981 46770 80799 42605 170174 28647 23491 ann. pay. 6355696 50331 189080 367098 729144 1335653 2713393 1348895 5397941 957755 6728813 84669 176164 359417 744182 1364432 2842752 1605561 5812745 916068 7033034 39053 171250 333645 740634 1284582 2997125 1663953 5945660 1087374 8484892 47170 231318 521624 1016876 1816988 3470124 1973553 7260665 1224227 8785618 68245 300265 529704 1041887 1940101 3570992 1871136 7382229 1403389 23491 rec. 35161006 354108 1518676 2252728 4207078 8332590 14647434 7694469 30674493 4486513 23492 firms 3170 404 974 605 481 2464 550 119 3133 37 3281 386 991 657 511 2545 564 126 3235 46 3411 469 1035 632 494 2630 623 111 3364 47 3837 368 1161 749 624 2902 734 151 3787 50 4077 488 1344 771 643 3246 671 114 4031 46 23492 estab. 3305 404 974 606 481 2465 555 137 3157 148 3436 386 991 658 511 2546 571 146 3263 173 3644 470 1035 633 494 2632 632 125 3389 255 4065 368 1161 750 625 2904 739 166 3809 256 4325 488 1344 771 646 3249 689 127 4065 260 23492 empl. 76411 0 2221 4062 6639 12922 20800 19347 53069 23342 85302 0 2243 4414 6955 13612 22340 18685 54637 30665 97545 0 2334 4206 6718 13258 24592 18312 56162 41383 114999 0 2607 5009 8480 16096 29451 24555 70102 44897 98465 [a] [h] 5184 8773 16991 27281 17678 61950 36515 23492 ann. pay. 2786378 28081 75603 133617 220635 457936 742158 645112 1845206 941172 3186979 36655 77586 146748 237910 498899 802137 668382 1969418 1217561 3815794 50678 82359 138151 227826 499014 910341 704194 2113549 1702245 4382043 44447 95299 164975 297654 602375 1080122 929945 2612442 1769601 3909650 (D) (D) 162646 293802 619090 990328 637060 2246478 1663172 23492 rec. 12463879 (D) (D) 538083 921759 (D) 3123895 1941707 7211838 5252041 23493 firms 641 52 195 89 75 411 109 55 575 66 626 43 192 92 68 395 113 56 564 62 631 51 195 85 76 407 109 52 568 63 582 35 194 79 66 374 92 55 521 61 470 56 118 62 49 285 88 41 414 56 23493 estab. 709 52 195 89 75 411 113 59 583 126 696 43 192 92 68 395 116 62 573 123 689 51 195 85 76 407 111 56 574 115 647 35 194 79 66 374 94 60 528 119 527 56 118 62 49 285 93 48 426 101 23493 empl. 100218 0 394 598 1026 2018 4683 9788 16489 83729 98580 0 421 613 939 1973 4852 10429 17254 81326 101745 0 431 581 1019 2031 4913 8952 15896 85849 105367 0 404 550 878 1832 3952 9584 15368 89999 91921 [a] [e] 408 680 1354 3720 6868 11942 79979 23493 ann. pay. 3784244 19057 12600 19803 32144 83604 177763 366318 627685 3156559 3844681 11505 11996 20847 31656 76004 190653 464671 731328 3113353 4137821 14477 11718 18748 33367 78310 200082 390785 669177 3468644 4036493 10343 15071 16749 34688 76851 139202 424958 641011 3395482 4087472 (D) (D) 14986 25910 245830 141045 330593 717468 3370004 23493 rec. 16078240 (D) (D) 61832 89920 (D) 434625 985357 2177457 13900783 23499 firms 15860 1894 6632 2972 2043 13541 1963 254 15758 102 15734 1774 6553 2908 2129 13364 1990 276 15630 104 15702 1820 6369 2904 2146 13239 2065 290 15594 108 14321 1737 6327 2715 1852 12631 1401 188 14220 101 12373 2606 5072 1906 1356 10940 1151 186 12277 96 23499 estab. 16061 1894 6632 2974 2053 13553 1989 309 15851 210 15916 1774 6553 2911 2135 13373 2013 329 15715 201 15905 1821 6371 2905 2151 13248 2083 354 15685 220 14541 1737 6330 2715 1858 12640 1418 253 14311 230 12627 2606 5073 1908 1363 10950 1171 262 12383 244 23499 empl. 203725 0 14128 19549 27707 61384 72587 37249 171220 32505 216372 0 14009 19197 28758 61964 76070 41650 179684 36688 230977 0 13660 19139 29066 61865 78239 46058 186162 44815 176475 0 13258 17855 24721 55834 50969 29288 136091 40384 156290 0 10826 12547 18261 41634 42913 29012 113559 42731 23499 ann. pay. 7894422 90194 416958 617420 971025 2095597 2808509 1599047 6503153 1391269 8577983 81877 425419 608860 1046759 2162915 2985883 1817413 6966211 1611772 9325256 92379 396911 609399 1060578 2159267 3135131 2060088 7354486 1970770 7200646 80126 410501 581578 910559 1982764 1989196 1396358 5368318 1832328 6783676 104730 330306 399388 672594 1507018 1823245 1372624 4702887 2080789 23499 rec. 28551191 698661 1663056 1599670 2560120 6521507 7464973 6383625 20370105 8181086 23511 firms 87653 9319 41925 17448 10808 79500 7343 703 87546 107 88195 9037 41718 17549 11196 79500 7846 733 88079 116 89523 9430 41627 17960 11411 80428 8220 748 89396 127 88519 9098 41850 17595 11063 79606 8034 755 88395 124 89223 10148 41788 17403 11078 80417 7934 743 89094 129 23511 estab. 88542 9319 41926 17450 10818 79513 7415 809 87737 805 89125 9042 41719 17551 11206 79518 7912 841 88271 854 90487 9430 41630 17963 11416 80439 8276 850 89565 922 89550 9098 41851 17598 11069 79616 8088 851 88555 995 90341 10148 41788 17405 11083 80424 8028 926 89378 963 23511 empl. 817297 0 89820 114986 144693 349499 269298 114766 733563 83734 862013 0 89977 115345 149653 354975 288498 118680 762153 99860 897912 0 90302 118344 153121 361767 300650 122189 784606 113306 898440 0 90400 115786 148993 355179 297562 124152 776893 121547 879908 0 90914 114854 148470 354238 292995 118367 765600 114308 23511 ann. pay. 28511597 331349 2120236 3113733 4521349 10086667 9915896 4760536 24763099 3748498 31044940 346678 2236736 3202938 4822837 10609189 10982751 5067474 26659414 4385526 33406016 376565 2293442 3339803 5015791 11025601 11678176 5408794 28112571 5293445 34507914 360885 2331273 3411773 5074568 11178499 12056634 5738807 28973940 5533974 34806094 426073 2421996 3512226 5215143 11575438 12201195 5484360 29260993 5545101 23511 rec. 115839498 2271644 10985237 11911150 16220810 41388841 37762067 16845561 95996469 19843029 23521 firms 39429 7590 20975 6129 2957 37651 1681 88 39420 9 39728 7104 21221 6324 3186 37835 1769 111 39715 13 40931 7644 21495 6432 3312 38883 1914 123 40920 11 40322 7191 21701 6274 3130 38296 1881 134 40311 11 40876 8264 21530 6055 3050 38899 1836 128 40863 13 23521 estab. 39475 7590 20975 6130 2958 37653 1692 104 39449 26 39767 7104 21221 6324 3187 37836 1780 126 39742 25 40973 7644 21495 6432 3316 38887 1921 142 40950 23 40364 7191 21701 6275 3133 38300 1891 145 40336 28 40935 8264 21530 6055 3055 38904 1850 144 40898 37 23521 empl. 198800 0 42237 39807 39134 121178 59649 13564 194391 4409 212050 0 43066 41120 42210 126396 62827 17255 206478 5572 221787 0 43635 41774 44210 129619 67977 19427 217023 4764 220433 0 43571 40640 41207 125418 67687 22266 215371 5062 218825 0 44181 39439 40768 124388 66428 20456 211272 7553 23521 ann. pay. 5227676 187957 893204 878419 954824 2914404 1772168 442661 5129233 98443 5684254 171999 933652 930600 1064253 3100504 1918146 523166 5541816 142438 6121419 204432 966946 961384 1136690 3269452 2096566 647000 6013018 108401 6300673 193084 1005293 975290 1111635 3285302 2162940 722376 6170618 130055 6459789 256518 1002672 991416 1146805 3397411 2159358 687781 6244550 215239 23521 rec. 18552961 1204714 4049668 2789023 2907978 10951383 5205365 1657915 17814663 738298 23531 firms 65093 7219 30177 12665 7929 57990 6214 769 64973 120 65567 6732 29974 12975 8252 57933 6635 865 65433 134 65890 6582 29662 13136 8498 57878 6951 896 65725 165 64890 6439 29585 12801 8245 57070 6745 900 64715 175 64730 7261 29752 12454 7964 57431 6339 801 64571 159 23531 estab. 65703 7219 30179 12669 7939 58006 6271 916 65193 510 66220 6732 29978 12977 8260 57947 6691 1008 65646 574 66802 6587 29662 13137 8503 57889 7000 1020 65909 893 65860 6441 29588 12803 8251 57083 6802 1027 64912 948 65858 7262 29754 12461 7974 57451 6422 1031 64904 954 23531 empl. 692603 0 64844 83534 106651 255029 233620 128970 617619 74984 742538 0 64771 85353 111084 261208 249444 148014 658666 83872 815056 0 64591 86331 114546 265468 264676 158177 688321 126735 831895 0 64314 84380 110883 259577 260247 159594 679418 152477 770632 0 64811 82055 106698 253564 242360 139413 635337 135295 23531 ann. pay. 25345173 331487 1608631 2316309 3378891 7635318 8779206 5454176 21868700 3476473 28361458 362116 1673032 2431662 3646996 8113806 9620898 6397401 24132105 4229353 32698001 301894 1712909 2520241 3873877 8408921 10497081 7218338 26124340 6573661 33480174 280875 1748516 2559963 3844188 8433542 10612221 7350987 26396750 7083424 31707131 329385 1797693 2553645 3807936 8488659 10155458 6804742 25448859 6258272 23531 rec. 89483864 1513571 7148651 7533578 10405409 26601209 27323333 18184169 72108711 17375153 23541 firms 24429 3888 11875 4618 2295 22676 1612 124 24412 17 24493 3697 11809 4740 2378 22624 1684 169 24477 16 24993 3769 11804 4843 2510 22926 1863 187 24976 17 23630 3828 11724 4200 2066 21818 1605 190 23613 17 21672 4314 9965 3727 1974 19980 1479 194 21653 19 23541 estab. 24471 3888 11875 4618 2295 22676 1623 144 24443 28 24532 3697 11809 4741 2379 22626 1690 192 24508 24 25030 3769 11804 4843 2511 22927 1876 202 25005 25 23664 3828 11725 4201 2066 21820 1611 205 23636 28 21720 4314 9966 3727 1974 19981 1485 227 21693 27 23541 empl. 169823 0 25564 29996 30249 85809 60010 18938 164757 5066 182702 0 25514 31030 31822 88366 64326 25681 178373 4329 197878 0 25619 31439 33486 90544 71281 [k] [m] [i] 178820 0 24868 27330 27346 79544 62149 [k] [m] [i] 170005 0 21876 24075 26391 72342 57936 32560 162838 7167 23541 ann. pay. 4710880 131777 592893 658098 757309 2140077 1827071 598864 4566012 144868 5208921 129670 612369 693983 847019 2283041 1999724 804323 5087088 121833 5667795 132519 594758 709626 858036 2294939 2194269 (D) (D) (D) 5605994 130385 608110 650112 760662 2149269 2152234 (D) (D) (D) 5460469 157260 548411 602470 739646 2047787 2047620 1154701 5250108 210361 23541 rec. 16264237 825910 2443972 1950597 2115794 7336273 5459644 2922554 15718471 545766 23542 firms 21294 2812 8609 3795 2784 18000 2859 395 21254 40 21164 2570 8623 3829 2778 17800 2872 444 21116 48 21408 2690 8731 3774 2821 18016 2872 470 21358 50 19940 2568 8755 3267 2384 16974 2437 475 19886 54 19404 2917 8129 3153 2291 16490 2421 434 19345 59 23542 estab. 21585 2812 8609 3795 2785 18001 2881 450 21332 253 21515 2570 8623 3829 2779 17801 2889 505 21195 320 21774 2690 8731 3774 2824 18019 2888 503 21410 364 20337 2568 8756 3267 2387 16978 2451 511 19940 397 19944 2917 8129 3154 2293 16493 2448 515 19456 488 23542 empl. 287445 0 18686 25002 37862 81550 113168 67319 262037 25408 312683 0 18690 25389 37623 81702 115122 77176 274000 38683 319342 0 18860 24951 38328 82139 113145 82269 277553 41789 300984 0 18514 21393 32588 72495 98566 85118 256179 44805 293849 0 17743 20802 31254 69799 96235 77349 243383 50466 23542 ann. pay. 8535448 117062 434048 581518 987196 2119824 3356148 2213462 7689434 846014 9454216 113014 452787 627677 1020770 2214248 3535537 2513807 8263592 1190624 10224375 111655 473593 631337 1046256 2262841 3639875 2925535 8828251 1396124 9973183 102566 468245 549931 955330 2076072 3305986 3082733 8464791 1508392 10054987 143151 461816 558994 932618 2096579 3293657 2817807 8208043 1846944 23542 rec. 31376116 799258 2652159 2230713 2994171 8676301 9101233 7247410 25024944 6351172 23543 firms 6481 851 3543 1058 601 6053 400 25 6478 3 6649 946 3566 1002 662 6176 441 28 6645 4 6814 915 3585 1108 681 6289 487 36 6812 2 6877 892 3653 1089 688 6322 510 43 6875 2 8349 1373 4527 1222 669 7791 516 39 8346 3 23543 estab. 6488 851 3543 1058 601 6053 400 28 6481 7 6657 946 3566 1002 662 6176 441 31 6648 9 6821 915 3585 1108 681 6289 487 41 6817 4 6884 892 3653 1089 688 6322 510 48 6880 4 8357 1373 4527 1222 669 7791 516 44 8351 6 23543 empl. 40332 0 6967 6881 7920 21768 14500 3004 39272 1060 43548 0 7111 6602 8816 22529 16072 3515 42116 1432 47774 0 7234 7310 9019 23563 17967 [i] [k] [f] 49717 0 7443 7207 9121 23771 19187 [i] [k] [f] 51510 0 9092 8020 8912 26024 19202 5506 50732 778 23543 ann. pay. 1162532 22368 145523 169128 221204 558223 473461 93848 1125532 37000 1332180 29248 155879 168568 253280 606975 544090 122314 1273379 58801 1497650 25545 167171 185893 263418 642027 631570 (D) (D) (D) 1609423 31488 175964 194416 282260 684128 685727 (D) (D) (D) 1693232 38577 206163 216589 280910 742239 707681 211762 1661682 31550 23543 rec. 5557821 233604 1045956 757410 863403 2900373 1922017 610880 5433270 124551 23551 firms 44088 7347 24899 6961 3006 42213 1642 211 44066 22 44282 6933 24889 7262 3158 42242 1770 243 44255 27 44857 7015 25156 7227 3276 42674 1893 258 44825 32 44239 6986 25227 7105 2882 42200 1723 280 44203 36 46774 8596 26029 7119 3011 44755 1716 265 46736 38 23551 estab. 44252 7347 24900 6961 3007 42215 1666 240 44121 131 44449 6934 24889 7263 3159 42245 1792 278 44315 134 45028 7016 25156 7228 3280 42680 1916 277 44873 155 44391 6986 25227 7109 2886 42208 1744 313 44265 126 46918 8596 26030 7120 3015 44761 1743 294 46798 120 23551 empl. 237285 0 50377 44895 39800 135072 59150 34782 229004 8281 256279 0 50347 46780 41671 138798 64059 41911 244768 11511 269786 0 51318 46587 42757 140662 68308 45121 254091 15695 262936 0 50912 45695 37905 134512 61696 48975 245183 17753 262569 0 53371 45735 39740 138846 61418 44258 244522 18047 23551 ann. pay. 6164620 180401 1030066 982094 998800 3191361 1734327 1008456 5934144 230476 6935370 216089 1078991 1081683 1087924 3464687 1922930 1242399 6630016 305354 7533333 199448 1123430 1087985 1175524 3586387 2137166 1349931 7073484 459849 7507081 187074 1174083 1115894 1061923 3538974 2000732 1469781 7009487 497594 7809913 256097 1231737 1163602 1134747 3786183 2065306 1420329 7271818 538095 23551 rec. 28846419 1582254 6300497 4071758 3664538 15619047 6909535 4413352 26941934 1904485 23552 firms 13016 1899 7587 1953 980 12419 556 32 13007 9 13246 1924 7644 1984 1015 12567 637 35 13239 7 13393 1928 7553 2118 1050 12649 692 46 13387 6 12953 1928 7530 1858 923 12239 652 54 12945 8 13714 2238 7845 1896 1025 13004 661 42 13707 7 23552 estab. 13101 1899 7587 1953 981 12420 563 43 13026 75 13352 1924 7644 1984 1018 12570 641 48 13259 93 13497 1928 7553 2118 1051 12650 696 68 13414 83 13050 1928 7530 1858 924 12240 657 71 12968 82 13836 2238 7845 1898 1029 13010 679 61 13750 86 23552 empl. 66621 0 14605 12623 13123 40351 20131 [h] [l] [g] 71493 0 14927 12905 13600 41432 22363 [i] [l] [h] 77517 0 14853 13760 14074 42687 24019 7600 74306 3211 74622 0 14681 11935 12392 39008 23002 8734 70744 3878 76215 0 15464 12272 13606 41342 23410 7428 72180 4035 23552 ann. pay. 1908821 39090 293761 298888 376112 1007851 674748 (D) (D) (D) 2169073 51493 315788 322571 391324 1081176 768527 (D) (D) (D) 2430310 53537 325308 360099 416957 1155901 854487 297478 2307866 122444 2444462 58827 317603 312166 386320 1074916 850271 383806 2308993 135469 2628954 58239 339843 323948 441233 1163263 864599 396579 2424441 204513 23552 rec. 10279837 388628 1856958 1299145 1625254 5169985 3201078 1085956 9457019 822818 23561 firms 30877 4736 14489 5408 3359 27992 2657 209 30858 19 30665 4402 14353 5555 3349 27659 2745 240 30644 21 30855 4526 14445 5484 3380 27835 2740 254 30829 26 30127 4470 14435 5207 3181 27293 2572 236 30101 26 31367 5628 14584 5262 3132 28606 2506 228 31340 27 23561 estab. 30980 4736 14489 5408 3368 28001 2692 257 30950 30 30767 4402 14354 5555 3349 27660 2768 307 30735 32 30966 4526 14447 5484 3380 27837 2766 319 30922 44 30247 4470 14440 5209 3182 27301 2595 306 30202 45 31538 5628 14586 5266 3133 28613 2545 312 31470 68 23561 empl. 246478 0 30553 35500 45062 111115 99188 29475 239778 6700 257629 0 30195 36524 44938 111657 103103 35010 249770 7859 260774 0 30355 36116 45440 111911 102650 37895 252456 8318 247408 0 30183 34126 42758 107067 97389 36088 240544 6864 244435 0 31050 34653 42198 107901 94101 33740 235742 8693 23561 ann. pay. 7087370 135344 672937 825866 1168330 2802477 3063448 997789 6863714 223656 7614393 135528 692200 873856 1216176 2917760 3224343 1210623 7352726 261667 7928821 153834 695745 856150 1250859 2956588 3367430 1305025 7629043 299778 7833919 148495 744568 854250 1211779 2959092 3319018 1296247 7574357 259562 7882266 206428 765748 894010 1234676 3100862 3243552 1205559 7549973 332293 23561 rec. 30607059 1451406 4775448 3764067 4331768 14322689 10806255 4035309 29164253 1442806 23571 firms 29474 5487 11858 5944 3540 26829 2390 222 29441 33 29763 5327 11690 6131 3690 26838 2618 272 29728 35 30136 5085 11794 6336 3847 27062 2738 295 30095 41 30639 5151 12457 6182 3720 27510 2793 291 30594 45 34680 7933 13088 6437 4016 31474 2871 288 34633 47 23571 estab. 29575 5487 11858 5944 3542 26831 2399 242 29472 103 29870 5327 11690 6132 3691 26840 2629 293 29762 108 30238 5085 11794 6336 3848 27063 2749 306 30118 120 30743 5151 12457 6183 3721 27512 2802 318 30632 111 34820 7933 13088 6437 4017 31475 2887 323 34685 135 23571 empl. 244553 0 26596 39191 47226 113013 85766 34136 232915 11638 269232 0 26263 40474 49050 115787 96365 42133 254285 14947 292569 0 26654 41888 51418 119960 101832 48265 270057 22512 295285 0 27577 40936 49900 118413 104096 48719 271228 24057 306585 0 29622 42381 53644 125647 105563 46682 277892 28693 23571 ann. pay. 7719874 239249 801354 1031041 1342315 3413959 2717258 1174471 7305688 414186 8718107 250685 832359 1105339 1392816 3581199 3118430 1504020 8203649 514458 9501215 234502 795617 1123089 1477693 3630901 3386918 1762387 8780206 721009 10419100 255961 913154 1182703 1561835 3913653 3627508 1839042 9380203 1038897 10993175 416073 994193 1256401 1681504 4348171 3729589 1828918 9906678 1086497 23571 rec. 40255179 2166648 4725941 4623139 5875644 17391372 12997236 6685570 37074178 3181001 23581 firms 3756 366 2132 820 303 3621 124 8 3753 3 3718 310 2095 863 299 3567 143 5 3715 3 3735 333 2017 866 361 3577 146 9 3732 3 3648 305 1972 837 353 3467 167 11 3645 3 3955 406 2089 885 403 3783 156 12 3951 4 23581 estab. 3830 366 2132 820 304 3622 131 18 3771 59 3789 310 2095 863 299 3567 151 13 3731 58 3797 333 2017 866 363 3579 152 17 3748 49 3722 305 1972 837 356 3470 172 27 3669 53 4028 406 2089 885 406 3786 164 32 3982 46 23581 empl. 19905 0 4648 5255 3895 13798 3720 [f] [j] [g] 20494 0 4569 5623 3897 14089 4407 [f] [j] [g] 21590 0 4443 5581 4745 14769 4570 790 20129 1461 22296 0 4361 5443 4604 14408 5249 1246 20903 1393 23692 0 4709 5774 5327 15810 4997 1507 22314 1378 23581 ann. pay. 594841 8578 103512 137252 117458 366800 137384 (D) (D) (D) 636779 10236 106840 151414 121709 390199 164725 (D) (D) (D) 688475 19071 107329 148805 150187 425392 176257 29109 630758 57717 758907 8260 106779 154725 157717 427481 210222 61175 698878 60029 841050 12850 123730 171589 188173 496342 209751 70363 776456 64594 23581 rec. 3216861 86344 648250 641635 641245 2017474 685535 271055 2974064 242797 23591 firms 4560 604 1238 868 829 3539 873 126 4538 22 4907 772 1323 872 828 3795 950 137 4882 25 5339 870 1520 963 872 4225 941 140 5306 33 4732 774 1576 772 659 3781 785 136 4702 30 3741 582 975 640 641 2838 756 119 3713 28 23591 estab. 4598 604 1238 868 830 3540 879 138 4557 41 4945 772 1323 872 829 3796 955 153 4904 41 5382 870 1520 963 873 4226 948 148 5322 60 4782 774 1576 772 660 3782 789 155 4726 56 3799 582 975 640 642 2839 767 143 3749 50 23591 empl. 79102 0 2833 5852 11169 19854 34165 18752 72771 6331 86642 0 2989 5858 11223 20070 37846 20427 78343 8299 93564 0 3383 6436 11945 21764 38381 21164 81309 12255 81995 0 3507 5115 8936 17558 32905 22035 72498 9497 76231 0 2275 4326 8760 15361 30804 19218 65383 10848 23591 ann. pay. 2846486 42709 85445 175129 355943 659226 1230497 705885 2595608 250878 3199771 46056 99314 177733 368539 691642 1379392 819782 2890816 308955 3585788 50166 98946 198536 409025 756673 1477727 862833 3097233 488555 3260927 42410 100500 162121 310817 615848 1313363 906425 2835636 425291 3130304 46757 82227 145687 323862 598533 1261753 825803 2686089 444215 23591 rec. 9798113 233357 450725 482149 963300 2129531 3522228 2668335 8320094 1478019 23592 firms 5233 550 2232 1258 770 4810 398 22 5230 3 5411 658 2225 1232 822 4937 445 26 5408 3 5693 750 2325 1267 833 5175 479 35 5689 4 5454 668 2379 1138 755 4940 469 41 5450 4 5112 490 2165 1173 748 4576 486 45 5107 5 23592 estab. 5275 557 2232 1260 774 4823 417 28 5268 7 5450 658 2225 1233 826 4942 463 39 5444 6 5772 750 2325 1269 836 5180 495 90 5765 7 5531 668 2379 1138 759 4944 485 98 5527 4 5205 490 2166 1173 752 4581 512 66 5159 46 23592 empl. 39584 0 5136 8296 10218 23650 13448 [g] [k] [e] 42259 0 5109 8128 11020 24257 15131 2779 42167 92 45837 0 5335 8383 11213 24931 16108 4073 45112 725 47125 0 5381 7617 10055 23053 17171 [i] [k] [g] 46220 0 5061 7854 10071 22986 17049 5725 45760 460 23592 ann. pay. 1247764 18103 115029 222134 316451 671717 480428 (D) (D) (D) 1409795 25110 125744 221578 359812 732244 554937 117423 1404604 5191 1570121 27805 133128 236997 378672 776602 614243 169271 1560116 10005 1756166 26847 134174 216720 360661 738402 706272 (D) (D) (D) 1773257 16954 127771 231136 374174 750035 727683 275898 1753616 19641 23592 rec. 6556872 108757 656758 845164 1260999 2871678 2568376 1032770 6472824 84048 23593 firms 23209 4310 12054 3892 1889 22145 987 69 23201 8 25031 4824 12692 4193 2107 23816 1127 76 25019 12 26980 4966 13554 4704 2346 25570 1303 94 26967 13 25383 4761 13660 3720 1814 23955 1293 122 25370 13 22763 4355 11438 3572 1899 21264 1363 120 22747 16 23593 estab. 23240 4310 12054 3892 1889 22145 989 89 23223 17 25060 4824 12692 4193 2107 23816 1129 89 25034 26 27005 4966 13554 4704 2346 25570 1305 107 26982 23 25409 4761 13660 3720 1814 23955 1295 135 25385 24 22812 4355 11440 3572 1899 21266 1371 146 22783 29 23593 empl. 118521 0 24866 25315 25156 75337 33345 8868 117550 971 133165 0 26305 27288 27776 81369 39099 10901 131369 1796 152542 0 28211 30468 31195 89874 45801 14256 149931 2611 144439 0 27683 23972 23800 75455 48741 17609 141805 2634 145838 0 23821 23351 25206 72378 51083 17902 141363 4475 23593 ann. pay. 3979861 128237 648785 693365 776101 2246488 1251713 410496 3908697 71164 4625680 177634 707280 781471 863026 2529411 1492910 493881 4516202 109478 5253631 182792 751347 855413 975278 2764830 1685502 635128 5085460 168171 5482190 163850 749504 694794 815478 2423626 2032079 885516 5341221 140969 5666394 140544 669875 725185 922695 2458299 2103654 858124 5420077 246317 23593 rec. 22944363 934190 3416727 2845798 3356524 10553239 7899638 3282170 21735047 1209316 23594 firms 1336 247 419 238 190 1094 203 32 1329 7 1509 332 467 266 193 1258 211 33 1502 7 1733 375 578 280 214 1447 235 45 1727 6 1895 346 652 303 278 1579 259 49 1887 8 1827 325 589 324 266 1504 275 41 1820 7 23594 estab. 1344 247 419 238 190 1094 205 33 1332 12 1519 332 467 266 193 1258 212 37 1507 12 1752 375 578 280 214 1447 237 49 1733 19 1923 346 652 303 278 1579 261 50 1890 33 1874 325 589 324 266 1504 277 63 1844 30 23594 empl. 18295 0 892 1608 2641 5141 7259 [h] [j] [f] 19447 0 970 1795 2652 5417 7750 5172 18339 1108 21896 0 1205 1840 2908 5953 8569 6289 20811 1085 27056 0 1350 2036 3840 7226 10057 [i] [j] [h] 26911 0 1307 2178 3655 7140 10559 5813 23512 3399 23594 ann. pay. 638416 14647 25204 44602 85942 170395 256074 (D) (D) (D) 702996 17206 29875 50084 91253 188418 280981 180491 649890 53106 808738 19178 35498 51907 97743 204326 308302 241776 754404 54334 953062 22468 39949 61714 131388 255519 394968 (D) (D) (D) 950062 21836 41550 66230 125301 254917 395478 225721 876116 73946 23594 rec. 3448827 128235 239915 253445 444550 1066145 1262895 876561 3205601 243226 23595 firms 3294 417 1094 599 563 2673 510 79 3262 32 3582 623 1143 633 543 2942 531 77 3550 32 4026 686 1372 686 613 3357 542 94 3993 33 3840 628 1441 710 502 3281 449 76 3806 34 3135 444 1095 619 459 2617 432 56 3105 30 23595 estab. 4065 417 1094 599 566 2676 531 86 3293 772 4374 623 1143 633 545 2944 557 82 3583 791 4820 686 1372 687 614 3359 566 98 4023 797 4600 628 1441 710 505 3284 472 80 3836 764 3912 444 1095 619 462 2620 465 67 3152 760 23595 empl. 72618 0 2453 3985 7626 14064 19871 10847 44782 27836 73371 0 2578 4258 7387 14223 20551 9684 44458 28913 80929 0 2951 4627 8413 15991 21041 12754 49786 31143 72616 0 3067 4723 6783 14573 16722 9488 40783 31833 66532 0 2469 4183 6183 12835 16569 6848 36252 30280 23595 ann. pay. 3198473 20557 75501 124068 273052 493178 827900 488215 1809293 1389180 3472586 27633 81084 140804 291665 541186 880928 472706 1894820 1577766 3859624 30798 88951 148159 330141 598049 915537 581157 2094743 1764881 3543120 31986 88232 159819 261397 541434 758824 449118 1749376 1793744 3448290 23617 78757 148242 245745 496361 790942 359906 1647209 1801081 23595 rec. 10416479 111882 342643 476337 767931 1698793 2142183 943817 4784793 5631686 23599 firms 29288 5151 13650 5291 3131 27223 1849 162 29234 54 31017 5739 13973 5661 3317 28690 2073 193 30956 61 33328 6227 14889 6089 3650 30855 2200 214 33269 59 31320 5716 15061 5451 3069 29297 1799 171 31267 53 27763 6290 11976 4561 2865 25692 1852 170 27714 49 23599 estab. 29510 5151 13650 5291 3142 27234 1889 192 29315 195 31239 5739 13974 5661 3319 28693 2120 229 31042 197 33576 6228 14890 6089 3652 30859 2254 257 33370 206 31559 5716 15063 5452 3073 29304 1837 247 31388 171 28085 6294 11977 4565 2873 25709 1939 259 27907 178 23599 empl. 211398 0 29097 34713 41821 105631 64305 22571 192507 18891 229629 0 29438 37166 44123 110727 72094 26440 209261 20368 250147 0 31517 39831 48599 119947 77067 31780 228794 21353 217747 0 31584 35939 40601 108124 64137 24698 196959 20788 205384 0 25332 30114 38474 93920 66972 25290 186182 19202 23599 ann. pay. 6042557 159606 677600 842520 1138013 2817739 1931450 750274 5499463 543094 6824911 236143 715926 943242 1222833 3118144 2194227 897845 6210216 614695 7708745 232729 784715 1032225 1412747 3462416 2448088 1077137 6987641 721104 7016571 201105 805393 936440 1196615 3139553 2161281 941139 6241973 774598 6945057 233258 651979 838500 1181279 2905016 2331171 1026221 6262408 682649 23599 rec. 24723239 1464203 3496563 3269729 3994243 12224738 7252011 2951671 22428420 2294819 31111 firms 1083 57 230 214 212 713 236 67 1016 67 1106 75 239 223 193 730 238 68 1036 70 1127 61 259 210 205 735 245 71 1051 76 1174 68 295 208 206 777 251 77 1105 69 1183 79 295 205 204 783 252 81 1116 67 31111 estab. 1712 57 230 214 213 714 272 165 1151 561 1711 75 239 223 196 733 273 152 1158 553 1710 61 259 210 208 738 278 155 1171 539 1779 68 295 208 210 781 286 162 1229 550 1783 79 295 206 207 787 299 169 1255 528 31111 empl. 49084 0 555 1426 2816 4797 8445 7265 20507 28577 50384 0 572 1473 2555 4600 8847 7358 20805 29579 50801 0 608 1402 2703 4713 9036 6997 20746 30055 49235 0 690 1366 2745 4801 9170 7845 21816 27419 47012 0 708 1336 2773 4817 9133 8306 22256 24756 31111 ann. pay. 1620058 15978 11609 33889 73302 134778 261762 236074 632614 987444 1724796 9647 11647 35257 74756 131307 281379 268875 681561 1043235 1736894 2843 12774 33703 76392 125712 294336 258636 678684 1058210 1764080 6957 17866 34821 74039 133683 320928 306169 760780 1003300 1787858 45517 17776 36266 82577 182136 313943 323368 819447 968411 31111 rec. 29091490 737804 227151 411305 954780 2331040 3516571 4330377 10177988 18913502 31121 firms 315 13 78 52 46 189 68 29 286 29 322 24 78 52 38 192 74 27 293 29 324 22 67 61 38 188 75 34 297 27 329 27 73 58 42 200 68 34 302 27 293 19 67 38 44 168 67 33 268 25 31121 estab. 469 13 78 52 46 189 75 59 323 146 477 24 78 52 38 192 80 64 336 141 491 22 67 61 38 188 81 77 346 145 492 27 73 58 42 200 73 73 346 146 447 19 67 40 45 171 70 73 314 133 31121 empl. 18360 [a] [c] 348 605 1137 2497 4186 7820 10540 18920 0 189 354 536 1079 2926 4148 8153 10767 18612 0 159 397 514 1070 2723 4963 8756 9856 18206 [a] [c] 382 569 1132 2591 4902 8625 9581 17332 0 161 254 594 1009 2565 4399 7973 9359 31121 ann. pay. 658756 (D) (D) 6100 16929 31248 71275 156483 259006 399750 652306 1624 3683 7636 14326 27269 87692 143182 258143 394163 658346 1275 3482 7561 13660 25978 81281 182663 289922 368424 639296 (D) (D) 9417 14303 30779 79325 174308 284412 354884 636762 2209 3254 6303 16320 28086 83519 169585 281190 355572 31121 rec. 8912238 26315 47847 91258 176924 342344 880486 1902211 3125041 5787197 31122 firms 188 13 39 30 17 99 34 20 153 35 190 10 33 35 18 96 42 18 156 34 189 10 37 34 19 100 38 20 158 31 196 15 40 33 19 107 40 19 166 30 174 9 27 32 22 90 37 18 145 29 31122 estab. 354 13 39 30 17 99 40 31 170 184 352 10 33 35 18 96 50 27 173 179 357 10 37 34 19 100 48 31 179 178 360 15 40 33 19 107 49 28 184 176 324 9 27 32 22 90 42 26 158 166 31122 empl. 27898 [a] [c] 194 225 524 1592 2712 4828 23070 27696 [a] [b] 224 245 549 1920 2538 5007 22689 27657 [a] [b] 233 271 588 1882 2407 4877 22780 26565 0 97 220 259 576 1979 2288 4843 21722 24250 [a] [b] 214 293 561 1703 2213 4477 19773 31122 ann. pay. 1077745 (D) (D) 3973 6153 13813 54950 89196 157959 919786 1067638 (D) (D) 4573 5366 12734 66351 83294 162379 905259 1111345 (D) (D) 5108 7034 15680 68784 91825 176289 935056 1139079 7692 4161 5353 6821 24027 73233 93425 190685 948394 1084695 (D) (D) 4387 8091 16864 65687 93943 176494 908201 31122 rec. 28791046 (D) (D) 90635 178114 (D) 1236571 1486222 3099765 25691281 31123 firms 48 2 10 4 4 20 6 9 35 13 48 1 12 3 7 23 4 9 36 12 43 2 8 4 4 18 8 8 34 9 43 3 7 4 5 19 5 9 33 10 41 1 6 6 4 17 6 7 30 11 31123 estab. 67 2 10 4 4 20 6 9 35 32 68 1 12 3 7 23 4 9 36 32 65 2 8 4 4 18 8 8 34 31 64 3 7 4 5 19 5 9 33 31 61 1 6 6 4 17 6 7 30 31 31123 empl. 13040 [a] [b] 25 59 105 224 1725 2054 10986 14056 [a] [b] 21 104 155 155 1737 2047 12009 13584 [a] [a] 23 59 101 267 1662 2030 11554 12872 [a] [a] 23 83 121 189 1664 1974 10898 12949 [a] [a] 38 65 120 231 1396 1747 11202 31123 ann. pay. 633727 (D) (D) 398 2023 2891 6362 50037 59290 574437 711854 (D) (D) 577 4450 5769 4498 52930 63197 648657 690579 (D) (D) 481 1921 2833 8463 47082 58378 632201 690946 (D) (D) 906 3344 7088 6573 50533 64194 626752 701096 (D) (D) 1241 863 2428 8708 45328 56464 644632 31123 rec. 9405412 (D) (D) 17071 6910 (D) 170536 410422 609920 8795492 31131 firms 52 4 5 2 3 14 17 10 41 11 55 4 5 2 4 15 16 11 42 13 53 3 4 4 5 16 17 9 42 11 56 6 7 2 3 18 19 7 44 12 53 2 9 3 5 19 11 12 42 11 31131 estab. 95 4 5 2 3 14 18 12 44 51 98 4 5 2 4 15 16 13 44 54 94 3 4 4 5 16 17 11 44 50 94 6 7 2 3 18 19 9 46 48 90 2 9 3 5 19 11 18 48 42 31131 empl. 15998 [a] [a] [a] [b] [b] [g] 2143 3217 12781 17699 0 [a] [a] 50 74 928 2359 3361 14338 16072 0 4 23 61 88 1022 2263 3373 12699 14594 0 [a] [a] 46 79 1072 1533 2684 11910 14384 [a] [b] [b] [b] 109 534 2702 3345 11039 31131 ann. pay. 632652 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 82438 124407 508245 699589 81 (D) (D) 1049 1661 35550 86713 123924 575665 639704 105 178 452 815 1550 38083 91829 131462 508242 568999 184 (D) (D) 791 1962 41961 66054 109977 459022 606003 (D) (D) (D) (D) 20428 23449 98568 142445 463558 31131 rec. 6896168 (D) (D) (D) (D) (D) 282023 1202675 1682901 5213267 31132 firms 145 14 34 47 19 114 15 11 140 5 141 9 39 36 28 112 15 9 136 5 146 17 39 39 23 118 14 8 140 6 155 14 47 40 30 131 12 6 149 6 120 8 44 26 17 95 12 5 112 8 31132 estab. 158 14 34 47 19 114 15 17 146 12 153 9 39 36 28 112 15 14 141 12 158 17 39 39 23 118 14 12 144 14 167 14 47 40 30 131 12 10 153 14 133 8 44 26 18 96 12 7 115 18 31132 empl. 10687 0 [b] [e] [e] [f] [f] 2277 3596 7091 9794 0 [c] [c] 366 701 627 2109 3437 6357 10012 0 96 256 321 673 543 1700 2916 7096 9908 0 [c] [e] 429 810 495 1323 2628 7280 9109 [a] [c] [c] [c] 528 522 1199 2249 6860 31132 ann. pay. 374161 115 (D) (D) (D) (D) (D) 68352 89007 285154 350487 72 (D) (D) 4635 9282 10404 68763 88449 262038 351961 743 1735 3380 4387 10245 9444 52896 72585 279376 361874 491 (D) (D) 5756 11658 9075 51857 72590 289284 367016 (D) (D) (D) (D) 10870 9813 46668 67351 299665 31132 rec. 3951877 (D) (D) (D) (D) (D) 57414 475523 639315 3312562 31133 firms 857 84 220 165 170 639 151 46 836 21 793 44 219 164 148 575 153 46 774 19 760 60 196 149 147 552 147 43 742 18 801 74 201 156 157 588 146 44 778 23 808 71 199 160 158 588 152 49 789 19 31133 estab. 935 85 222 165 177 649 176 63 888 47 874 45 220 164 153 582 179 66 827 47 837 62 196 149 154 561 163 64 788 49 873 75 201 157 163 596 159 66 821 52 873 71 199 161 164 595 164 69 828 45 31133 empl. 34286 0 510 1111 2222 3843 5349 7708 16900 17386 32903 0 494 1111 1906 3511 5441 6758 15710 17193 33222 0 476 1035 1931 3442 5189 5749 14380 18842 36005 0 458 1092 2056 3606 5161 5781 14548 21457 33429 0 468 1069 2034 3571 5378 6519 15468 17961 31133 ann. pay. 926140 1711 6762 14032 30023 52528 98589 177596 328713 597427 935217 1421 6686 13574 24190 45871 101466 165921 313258 621959 969845 7575 7943 13699 26394 55611 108485 151511 315607 654238 1013176 2348 7326 14172 29173 53019 114387 152931 320337 692839 970007 5464 7222 14449 29742 56877 113496 169840 340213 629794 31133 rec. 8975142 48556 70812 80144 154307 353819 603374 974233 1931426 7043716 31134 firms 583 62 204 122 71 459 73 34 566 17 571 67 203 103 76 449 71 35 555 16 559 70 179 108 77 434 73 37 544 15 575 64 197 106 75 442 80 34 556 19 586 54 195 124 80 453 84 32 569 17 31134 estab. 627 62 204 122 76 464 80 39 583 44 610 67 203 104 82 456 75 39 570 40 600 70 179 110 81 440 81 40 561 39 616 64 198 106 79 447 89 37 573 43 619 54 195 125 83 457 88 33 578 41 31134 empl. 25320 [a] [e] 808 887 2140 2553 6700 11393 13927 24834 0 469 692 991 2152 2705 6080 10937 13897 24800 0 396 715 1000 2111 2775 6720 11606 13194 26409 0 421 678 964 2063 2953 6736 11752 14657 24284 0 415 816 1048 2279 3185 5926 11390 12894 31134 ann. pay. 782664 (D) (D) 11733 11195 28718 60231 202097 291046 491618 781966 2144 5071 9200 13485 29900 69903 187426 287229 494737 823430 3107 7927 8737 15142 34913 75810 216100 326823 496607 875438 2773 5286 9217 16220 33496 84995 222209 340700 534738 791869 2080 6804 12338 17862 39084 86916 193175 319175 472694 31134 rec. 5642216 19548 41315 74763 76197 211823 489075 1206718 1907616 3734600 31141 firms 507 18 76 65 67 226 137 74 437 70 513 40 66 66 72 244 135 69 448 65 510 35 76 60 74 245 128 73 446 64 511 43 77 57 73 250 130 71 451 60 489 28 87 43 75 233 123 75 431 58 31141 estab. 656 18 77 65 67 227 139 95 461 195 662 40 67 67 72 246 139 88 473 189 660 35 77 60 74 246 130 92 468 192 665 43 78 57 73 251 132 91 474 191 644 28 87 43 75 233 124 101 458 186 31141 empl. 88468 0 181 467 870 1518 6118 13896 21532 66936 90688 0 152 452 984 1588 6390 14234 22212 68476 85922 0 151 411 1041 1603 5695 12977 20275 65647 86238 0 151 382 1014 1547 5627 13714 20888 65350 82763 0 187 295 1028 1510 5224 13297 20031 62732 31141 ann. pay. 2277966 2560 5529 9874 16817 34780 157987 337952 530719 1747247 2415636 7384 3180 11394 20366 42324 168561 353277 564162 1851474 2435524 7180 3645 10931 26654 48410 150856 355893 555159 1880365 2515073 5168 3581 9312 27820 45881 158559 388664 593104 1921969 2444668 1653 4029 8995 28971 43648 153989 383607 581244 1863424 31141 rec. 21493649 48539 32667 59505 177832 318543 1155455 2823122 4297120 17196529 31142 firms 919 67 233 134 109 543 199 108 850 69 910 82 232 127 102 543 194 95 832 78 903 85 222 112 117 536 204 92 832 71 911 87 210 120 128 545 200 99 844 67 858 67 205 115 111 498 195 87 780 78 31142 estab. 1152 67 233 134 109 543 204 155 902 250 1143 82 232 127 102 543 209 131 883 260 1136 85 222 112 117 536 220 129 885 251 1139 87 210 120 129 546 206 153 905 234 1077 67 205 115 111 498 211 129 838 239 31142 empl. 82009 0 497 906 1503 2906 8658 20412 31976 50033 80815 0 506 850 1431 2787 8499 16739 28025 52790 80728 0 488 741 1595 2824 8847 17483 29154 51574 79157 0 485 800 1783 3068 8307 18048 29423 49734 76142 0 428 781 1555 2764 8373 16240 27377 48765 31142 ann. pay. 2765611 9743 10156 15293 40219 75411 264244 621981 961636 1803975 2833110 17602 9043 16633 37860 81138 261498 542069 884705 1948405 2944072 12985 8935 14627 44943 81490 273494 560915 915899 2028173 2870402 9302 9158 16091 48566 83117 276555 604689 964361 1906041 2961073 6074 11340 16642 44853 78909 278607 588832 946348 2014725 31142 rec. 32053491 57072 115867 145485 344533 662957 2156846 5024108 7843911 24209580 31151 firms 932 46 158 126 129 459 265 113 837 95 911 47 157 116 130 450 269 111 830 81 888 47 168 105 116 436 263 109 808 80 909 53 175 109 132 469 245 110 824 85 844 48 148 108 109 413 238 105 756 88 31151 estab. 1395 46 158 126 130 460 280 156 896 499 1381 47 157 116 131 451 282 162 895 486 1350 47 168 105 116 436 277 159 872 478 1365 53 175 109 133 470 261 149 880 485 1296 48 148 108 110 414 251 140 805 491 31151 empl. 111066 0 357 845 1783 2985 11652 19029 33666 77400 111737 0 362 773 1798 2933 12166 19808 34907 76830 112001 0 392 709 1611 2712 11694 19406 33812 78189 112293 0 407 732 1853 2992 10947 19147 33086 79207 110169 0 339 740 1534 2613 10129 17490 30232 79937 31151 ann. pay. 3662263 5199 11269 18072 52289 86829 324942 623858 1035629 2626634 3920184 14325 7695 16914 51209 90143 342089 703362 1135594 2784590 4170392 3429 8773 15824 43232 71258 352999 713106 1137363 3033029 4166250 9717 9731 16443 54807 90698 329737 710632 1131067 3035183 4216871 1763 8261 17508 44904 72436 324411 672313 1069160 3147711 31151 rec. 58459671 28254 115070 228844 517860 890028 3848285 8187718 12926031 45533640 31152 firms 401 60 95 62 59 276 61 25 362 39 380 58 84 64 54 260 68 18 346 34 380 56 92 58 61 267 60 20 347 33 373 47 96 69 51 263 64 16 343 30 364 60 98 45 55 258 61 19 338 26 31152 estab. 444 60 95 62 59 276 64 27 367 77 425 58 84 64 54 260 71 18 349 76 419 56 92 58 61 267 63 20 350 69 409 47 96 69 51 263 67 17 347 62 401 60 98 45 55 258 64 21 343 58 31152 empl. 20415 0 206 421 783 1410 2197 3079 6686 13729 20374 0 188 417 734 1339 2418 2044 5801 14573 20016 0 192 382 772 1346 2233 2543 6122 13894 19506 0 233 464 673 1370 2539 2529 6438 13068 19105 0 207 303 765 1275 2269 3248 6792 12313 31152 ann. pay. 643615 7939 3790 7061 16341 35131 51181 89921 176233 467382 635448 2254 3008 6651 15768 27681 58581 59568 145830 489618 659263 5316 4282 6372 16551 32521 54324 73040 159885 499378 657282 2091 5570 9013 15061 31735 66600 78396 176731 480551 642921 2389 5355 5942 16280 29966 59310 86549 175825 467096 31152 rec. 7076979 25130 58350 56370 136972 276822 401921 615316 1294059 5782920 31161 firms 3512 239 1146 617 500 2502 602 257 3361 151 3503 312 1078 619 482 2491 606 251 3348 155 3405 268 1090 610 451 2419 579 250 3248 157 3443 308 1092 614 442 2456 590 247 3293 150 3191 252 980 594 394 2220 586 242 3048 143 31161 estab. 4144 239 1146 618 500 2503 628 326 3457 687 4129 312 1078 619 483 2492 631 311 3434 695 4032 268 1090 611 453 2422 600 308 3330 702 4074 308 1092 616 443 2459 613 297 3369 705 3805 252 980 595 395 2222 614 289 3125 680 31161 empl. 468929 0 2655 4053 6807 13515 25985 47361 86861 382068 483137 0 2522 4071 6470 13063 26030 46497 85590 397547 491111 0 2503 4001 6197 12701 25147 45376 83224 407887 496177 0 2551 4021 6037 12609 25398 43770 81777 414400 495730 0 2295 3912 5342 11549 24095 43712 79356 416374 31161 ann. pay. 10713520 22059 40231 68337 133685 264312 666426 1231658 2162396 8551124 11431098 43655 39101 63664 128856 275276 686317 1257378 2218971 9212127 11829239 45413 42898 64501 131361 284173 674286 1243379 2201838 9627401 12172408 25235 47513 73788 137129 283665 683837 1210138 2177640 9994768 12391140 27336 41240 72565 126663 267804 691689 1317606 2277099 10114041 31161 rec. 121523852 213315 452701 815922 1178029 2659967 5984319 11397905 20042191 101481661 31171 firms 718 77 149 105 100 431 193 61 685 33 729 84 153 110 94 441 186 75 702 27 741 94 174 110 82 460 182 72 714 27 710 76 169 120 82 447 168 67 682 28 643 85 126 93 88 392 152 74 618 25 31171 estab. 839 77 149 105 100 431 210 90 731 108 842 84 153 110 94 441 198 112 751 91 854 94 174 110 83 461 193 114 768 86 823 76 169 121 82 448 178 110 736 87 754 85 126 98 89 398 163 116 677 77 31171 empl. 43809 0 327 669 1353 2349 8758 9953 21060 22749 42534 0 342 734 1234 2310 8429 13584 24323 18211 41770 0 373 733 1089 2195 8246 13398 23839 17931 39855 0 383 790 1125 2298 7526 13292 23116 16739 38663 0 281 597 1199 2077 6749 14189 23015 15648 31171 ann. pay. 956400 6684 13962 21557 34132 76335 189777 232932 499044 457356 988801 7414 14924 17732 30142 70212 187470 345355 603037 385764 1070573 7170 13952 17841 33218 72181 198083 373640 643904 426669 1057737 8648 15118 21342 36587 81695 201702 392343 675740 381997 1092500 6882 14059 19988 33166 74095 182996 413426 670517 421983 31171 rec. 8847155 53963 146704 151495 356117 708279 1395985 3100968 5205232 3641923 31181 firms 9958 980 3575 2076 1729 8360 1265 213 9838 120 9113 862 3429 1886 1486 7663 1142 208 9013 100 8912 863 3262 1857 1451 7433 1167 208 8808 104 9050 941 3323 1835 1452 7551 1198 199 8948 102 8796 904 3173 1802 1437 7316 1171 208 8695 101 31181 estab. 10680 985 3578 2082 1760 8405 1428 330 10163 517 9742 864 3432 1894 1507 7697 1233 328 9258 484 9540 864 3267 1865 1476 7472 1241 343 9056 484 9679 942 3327 1846 1471 7586 1294 311 9191 488 9420 905 3177 1809 1458 7349 1277 349 8975 445 31181 empl. 230577 0 8180 13807 23381 45368 44056 29159 118583 111994 216550 0 7933 12555 19911 40399 39730 30893 111022 105528 223421 0 7486 12415 19620 39521 41445 33257 114223 109198 229426 0 7657 12254 19639 39550 43067 31480 114097 115329 220296 0 7451 11889 19606 38946 41921 32228 113095 107201 31181 ann. pay. 5684553 26604 94799 152474 284175 558052 714790 762599 2035441 3649112 5745577 48925 100600 163005 249336 561866 692689 828312 2082867 3662710 6344408 43327 103930 163578 263033 573868 788762 926763 2289393 4055015 6560357 82811 113212 171748 287133 654904 840148 925480 2420532 4139825 6421790 71753 104797 166361 296062 638973 886893 956100 2481966 3939824 31181 rec. 30342559 429037 389289 586666 1041315 2446307 3173924 3802045 9422276 20920283 31182 firms 784 60 220 139 115 534 135 57 726 58 763 71 194 136 116 517 133 51 701 62 738 49 191 137 120 497 133 49 679 59 747 65 203 122 116 506 137 47 690 57 693 54 190 110 101 455 138 50 643 50 31182 estab. 909 60 220 139 115 534 142 71 747 162 887 71 194 136 116 517 136 64 717 170 857 49 191 137 120 497 134 64 695 162 870 65 203 122 116 506 140 64 710 160 817 54 190 110 101 455 141 67 663 154 31182 empl. 62287 0 493 955 1603 3051 5408 8070 16529 45758 58942 0 451 916 1577 2944 5341 7731 16016 42926 58125 0 448 945 1677 3070 5335 7819 16224 41901 56258 0 453 844 1596 2893 5702 7960 16555 39703 56220 0 447 742 1393 2582 5634 7984 16200 40020 31182 ann. pay. 1991548 2850 7888 14012 26816 51566 136932 255959 444457 1547091 1937572 1696 7330 14538 28395 51959 135176 237504 424639 1512933 1986213 1572 7709 15730 29109 54120 146495 241040 441655 1544558 1956073 4393 9502 14511 30131 58537 154440 250338 463315 1492758 1984520 2642 8701 14146 31193 56682 167640 242539 466861 1517659 31182 rec. 18129209 23650 78368 118678 219218 439914 870808 1454437 2765159 15364050 31183 firms 230 26 47 38 31 142 59 25 226 4 227 14 52 33 36 135 64 24 223 4 226 16 54 33 26 129 69 24 222 4 246 18 68 36 30 152 65 24 241 5 272 28 76 35 38 177 66 24 267 5 31183 estab. 249 26 47 38 31 142 61 28 231 18 247 14 52 33 36 135 67 27 229 18 247 16 54 33 26 129 73 27 229 18 268 18 68 36 30 152 69 26 247 21 297 28 76 35 38 177 72 29 278 19 31183 empl. 11185 0 124 256 441 821 2621 2874 6316 4869 11785 0 140 216 502 858 2918 2800 6576 5209 11785 0 132 222 349 703 3154 2847 6704 5081 12333 0 173 245 424 842 2994 2884 6720 5613 12061 0 178 236 510 924 2997 3112 7033 5028 31183 ann. pay. 235439 1447 1829 2647 5882 11805 47632 58660 118097 117342 253601 570 1832 2843 7866 13111 51589 59921 124621 128980 264750 233 2212 3403 4527 10375 56306 64306 130987 133763 294741 999 2677 3634 6188 13498 61181 66975 141654 153087 296011 1201 3288 3262 8943 16694 63100 69128 148922 147089 31183 rec. 1465053 5879 14999 13627 38874 73379 255350 271648 600377 864676 31191 firms 461 42 93 66 63 264 120 39 423 38 475 37 116 63 62 278 117 40 435 40 478 43 102 70 61 276 124 38 438 40 462 51 104 60 55 270 115 41 426 36 397 33 76 51 46 206 115 44 365 32 31191 estab. 553 42 93 66 63 264 124 51 439 114 565 37 116 63 62 278 120 52 450 115 568 43 102 70 61 276 129 47 452 116 548 51 104 60 55 270 119 53 442 106 480 33 76 52 46 207 119 55 381 99 31191 empl. 45337 0 222 460 899 1581 5157 6644 13382 31955 45820 0 272 437 858 1567 5061 6858 13486 32334 42785 0 231 471 878 1580 5422 6188 13190 29595 38354 0 230 416 750 1396 5017 6458 12871 25483 45630 0 165 333 647 1145 4695 7679 13519 32111 31191 ann. pay. 1398134 2106 4823 8004 17465 32398 123781 186261 342440 1055694 1438648 2378 7679 7680 17528 35265 126620 182425 344310 1094338 1627766 1334 8129 9650 17607 36720 134331 171911 342962 1284804 1163004 4916 5965 8122 18323 37326 133877 193457 364660 798344 1386853 2456 5874 6759 14362 29451 134243 232071 395765 991088 31191 rec. 16667666 27660 68179 69597 130427 295863 1004416 1555447 2855726 13811940 31192 firms 224 15 54 29 36 134 49 19 202 22 232 20 56 39 25 140 54 18 212 20 261 34 62 49 27 172 52 15 239 22 263 26 56 60 34 176 51 16 243 20 276 36 68 50 32 186 54 18 258 18 31192 estab. 255 15 54 29 36 134 51 23 208 47 259 20 56 39 25 140 55 22 217 42 289 34 62 50 27 173 53 19 245 44 291 26 56 60 34 176 52 22 250 41 297 36 69 50 32 187 56 22 265 32 31192 empl. 12931 [a] [c] 197 490 825 1860 2477 5162 7769 12260 0 131 266 346 743 2000 2406 5149 7111 12523 0 152 345 376 873 2129 2109 5111 7412 12130 0 123 405 471 999 2095 2405 5499 6631 11423 0 149 337 413 899 1926 2612 5437 5986 31192 ann. pay. 450966 (D) (D) 4510 10547 19067 61826 90202 171095 279871 461426 659 2992 5873 9033 18557 72213 94000 184770 276656 486390 1318 3278 10092 9530 24218 81589 80305 186112 300278 478850 1037 3083 10057 12123 26300 74503 87614 188417 290433 467170 8483 3136 9911 10752 32282 75252 97950 205484 261686 31192 rec. 5443286 50573 148998 100016 76171 375758 464368 671115 1511241 3932045 31193 firms 143 4 32 29 23 88 33 9 130 13 142 10 32 24 26 92 32 4 128 14 153 15 39 25 22 101 33 5 139 14 154 13 37 27 19 96 38 7 141 13 135 6 34 22 23 85 33 7 125 10 31193 estab. 165 4 32 29 23 88 37 12 137 28 165 10 32 24 26 92 36 7 135 30 177 15 39 25 22 101 36 10 147 30 180 13 37 27 19 96 41 11 148 32 159 6 34 22 23 85 36 11 132 27 31193 empl. 5664 [a] [b] 196 309 585 1383 1069 3037 2627 5388 0 74 154 347 575 1395 740 2710 2678 5375 0 89 174 291 554 1452 756 2762 2613 5894 0 85 182 261 528 1618 939 3085 2809 5625 0 86 153 313 552 1365 1026 2943 2682 31193 ann. pay. 246984 (D) (D) 7100 12706 22273 70490 30418 123181 123803 238904 963 2404 4476 13202 21045 70758 22738 114541 124363 234611 1676 3150 5446 12663 22935 63777 25557 112269 122342 276365 1053 3143 7429 10968 22593 71791 44550 138934 137431 253610 459 4644 4395 14686 24184 68043 44584 136811 116799 31193 rec. 8701902 4838 48318 50139 126982 230277 465345 443196 1138818 7563084 31194 firms 537 40 142 83 77 342 105 44 491 46 559 56 133 80 66 335 132 40 507 52 552 44 131 91 64 330 139 37 506 46 577 57 137 100 75 369 131 38 538 39 517 53 118 74 71 316 119 42 477 40 31194 estab. 609 40 142 83 77 342 108 60 510 99 629 56 133 80 66 335 136 56 527 102 620 44 131 91 64 330 145 51 526 94 645 57 137 100 75 369 137 55 561 84 590 53 118 75 74 320 125 59 504 86 31194 empl. 25356 0 308 567 1076 1951 4386 5086 11423 13933 26880 0 296 523 896 1715 5437 5632 12784 14096 26602 0 291 610 901 1802 6062 5783 13647 12955 26578 0 294 689 1067 2050 5755 5888 13693 12885 27331 0 259 493 1032 1784 5190 6195 13169 14162 31194 ann. pay. 905265 2718 6914 11993 39119 60744 154011 186517 401272 503993 1043873 8195 6194 12062 30945 57396 200261 223752 481409 562464 1055468 1434 7644 13749 31953 54780 229417 230013 514210 541258 1080115 4079 7068 17533 36350 65030 232723 250673 548426 531689 1120669 4648 7751 14205 43494 70098 202783 261153 534034 586635 31194 rec. 11049374 41025 69352 133314 374089 617780 1348297 1975234 3941311 7108063 31199 firms 1189 96 246 166 194 702 296 118 1116 73 1204 109 258 161 195 723 287 124 1134 70 1225 132 246 174 196 748 284 125 1157 68 1266 112 287 188 194 781 293 123 1197 69 1181 109 237 159 182 687 291 123 1101 80 31199 estab. 1294 96 246 166 194 702 310 144 1156 138 1315 109 258 161 195 723 302 154 1179 136 1340 132 246 174 196 748 296 158 1202 138 1384 112 287 191 194 784 302 156 1242 142 1331 109 237 159 186 691 309 161 1161 170 31199 empl. 61733 0 555 1117 2680 4352 12543 16142 33037 28696 61158 0 614 1081 2716 4411 12183 16901 33495 27663 61330 0 564 1178 2681 4423 11870 17986 34279 27051 62153 0 664 1259 2697 4620 12547 17485 34652 27501 59859 0 569 1088 2579 4236 12340 16369 32945 26914 31199 ann. pay. 1570971 8000 8920 19660 53146 89726 297418 413201 800345 770626 1590228 15859 12110 20451 55435 103855 290445 433467 827767 762461 1682459 7272 12284 21754 60240 101550 301457 474439 877446 805013 1783954 10630 15830 36305 61930 124695 322853 501856 949404 834550 1854963 9632 14682 22752 61874 108940 334067 478771 921778 933185 31199 rec. 14601862 55725 125586 174921 361851 718083 2513081 3349959 6581123 8020739 31211 firms 956 85 287 152 120 644 171 75 890 66 930 92 275 145 126 638 146 77 861 69 927 100 263 147 131 641 147 74 862 65 959 110 275 155 132 672 152 76 900 59 965 107 304 137 134 682 150 75 907 58 31211 estab. 1300 85 287 153 122 647 179 96 922 378 1285 92 275 145 128 640 157 111 908 377 1289 100 263 147 134 644 159 104 907 382 1317 110 275 155 135 675 174 101 950 367 1324 107 304 137 135 683 167 95 945 379 31211 empl. 81318 0 649 1037 1592 3278 6861 11847 21986 59332 83143 0 601 969 1681 3251 6270 11390 20911 62232 80302 0 589 984 1690 3263 6174 11265 20702 59600 80819 0 601 1042 1745 3388 6434 12128 21950 58869 75740 0 679 911 1819 3409 5907 10683 19999 55741 31211 ann. pay. 2707089 4938 16295 22393 38434 82060 200754 395408 678222 2028867 2844451 21602 12335 22923 43105 99965 197534 367253 664752 2179699 3021430 6746 16565 23532 45690 92533 192989 387479 673001 2348429 3006102 10983 15592 24005 45108 95688 196613 408981 701282 2304820 2817865 3024 15894 25198 51499 95615 207044 359060 661719 2156146 31211 rec. 35594783 21317 108138 133557 310639 573651 1470133 3202510 5246294 30348489 31212 firms 478 49 164 73 46 332 119 17 468 10 500 73 173 63 51 360 114 15 489 11 508 72 162 76 48 358 124 16 498 10 500 66 153 77 50 346 127 18 491 9 415 66 125 51 50 292 95 18 405 10 31212 estab. 514 49 164 73 46 332 120 21 473 41 533 73 173 63 51 360 115 19 494 39 538 72 162 76 48 358 125 20 503 35 526 66 153 77 50 346 128 22 496 30 446 66 125 51 50 292 98 24 414 32 31212 empl. 32038 [a] [e] 496 600 1483 4725 2348 8556 23482 30650 0 410 402 671 1483 4681 2084 8248 22402 32122 [a] [e] 511 649 1525 5054 2068 8647 23475 32931 0 [e] [f] 677 1527 5382 2729 9638 23293 30761 0 258 350 668 1276 4014 2391 7681 23080 31212 ann. pay. 1620892 (D) (D) 9890 10865 29459 88368 87378 205205 1415687 1568844 12296 8752 6646 13149 40843 92489 66005 199337 1369507 1591318 (D) (D) 10058 17090 38108 106254 68478 212840 1378478 1573687 2668 (D) (D) 13612 33650 121557 115721 270928 1302759 1585176 3529 6225 7254 15510 32518 109937 89016 231471 1353705 31212 rec. 18659524 28865 73054 69501 118543 289963 577770 701247 1568980 17090544 31213 firms 672 75 196 125 101 497 129 30 656 16 732 92 205 135 110 542 143 29 714 18 798 89 236 145 130 600 149 32 781 17 1064 120 354 183 161 818 197 31 1046 18 1175 147 427 192 159 925 198 33 1156 19 31213 estab. 727 75 196 125 101 497 132 48 677 50 788 92 205 135 110 542 145 46 733 55 856 89 236 145 130 600 150 49 799 57 1125 120 354 183 162 819 199 47 1065 60 1239 147 427 193 159 926 203 49 1178 61 31213 empl. 20325 0 466 846 1411 2723 4845 4745 12313 8012 22218 0 467 903 1521 2891 5279 4727 12897 9321 21814 0 496 953 1751 3200 5333 4683 13216 8598 26060 0 778 1202 2142 4122 7202 4323 15647 10413 26832 0 937 1281 2167 4385 7242 4592 16219 10613 31213 ann. pay. 741722 5182 10949 18819 37972 72922 129166 160405 362493 379229 811705 5041 11386 22536 37641 76604 147876 156788 381268 430437 876638 8958 13112 23717 45048 90835 162200 169121 422156 454482 1000810 5564 20444 30430 55473 111911 232105 167747 511763 489047 1087093 5778 26082 34026 60972 126858 224581 189842 541281 545812 31213 rec. 9717671 48216 202973 228871 348516 828576 1286857 1715392 3830825 5886846 31214 firms 45 4 6 4 3 17 6 14 37 8 49 8 6 4 4 22 7 12 41 8 50 2 13 3 4 22 8 13 43 7 49 6 10 2 3 21 9 13 43 6 75 11 20 5 9 45 13 11 69 6 31214 estab. 60 4 6 4 3 17 6 15 38 22 65 8 6 4 4 22 7 13 42 23 65 2 13 3 4 22 8 13 43 22 65 6 10 2 3 21 9 13 43 22 90 11 20 5 9 45 13 12 70 20 31214 empl. 6575 [a] [a] [b] [b] 85 199 2366 2650 3925 6128 0 15 28 54 97 289 2097 2483 3645 5699 [a] [b] 19 51 99 259 2192 2550 3149 5817 0 [b] [a] 35 72 299 2181 2552 3265 6031 0 43 33 119 195 496 2126 2817 3214 31214 ann. pay. 274223 (D) (D) (D) (D) 2633 7543 86610 96786 177437 253404 198 188 823 1395 2604 10162 83023 95789 157615 268543 (D) (D) 725 1326 2916 10054 97457 110427 158116 278402 134 (D) (D) 1713 3488 14239 99782 117509 160893 284289 80 969 1793 3245 6087 26203 95227 127517 156772 31214 rec. 4547608 910 8580 14784 27410 51684 239699 746355 1037738 3509870 31221 firms 22 4 3 1 1 9 2 3 14 8 18 3 3 0 0 6 1 5 12 6 24 8 5 0 0 13 0 3 16 8 24 2 8 1 0 11 2 3 16 8 16 3 2 0 0 5 3 3 11 5 31221 estab. 32 4 3 1 1 9 2 3 14 18 27 3 3 0 0 6 1 6 13 14 33 8 5 0 0 13 0 3 16 17 32 2 8 1 0 11 2 4 17 15 20 3 2 0 0 5 3 4 12 8 31221 empl. 5067 [a] [a] [a] [a] [b] [b] [e] 493 4574 5141 0 [a] 0 0 [a] [b] [g] 1206 3935 5024 0 10 0 0 10 0 503 513 4511 3597 [a] 20 [a] 0 [b] [b] 322 404 3193 2264 0 [a] 0 0 [a] [c] 365 592 1672 31221 ann. pay. 135945 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 21492 114453 154811 22 (D) 0 0 (D) (D) (D) 75073 79738 123477 710 237 0 0 947 0 6696 7643 115834 110158 (D) 439 (D) 0 (D) (D) 6342 7841 102317 69658 28 (D) 0 0 (D) (D) 7488 14417 55241 31221 rec. 1141540 1124 (D) 0 0 (D) (D) 128387 223371 918169 31222 firms 79 14 14 8 5 41 18 8 67 12 75 8 19 7 5 39 14 9 62 13 70 8 17 7 5 37 12 9 58 12 128 20 54 11 8 93 14 9 116 12 95 16 28 8 11 63 13 6 82 13 31222 estab. 96 14 14 8 5 41 18 9 68 28 91 8 19 7 5 39 14 9 62 29 88 8 17 7 5 37 12 14 63 25 147 20 54 11 8 93 15 15 123 24 113 16 28 8 11 63 13 11 87 26 31222 empl. 27569 [a] [b] [b] [b] [c] [f] [f] 2026 25543 25069 0 [b] 44 64 [c] [f] [f] 1901 23168 24269 0 42 45 64 151 491 1500 2142 22127 21640 [a] 105 [b] 94 [e] [f] 1356 2228 19412 21767 0 [b] 44 131 [c] [f] 992 1776 19991 31222 ann. pay. 1397614 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 62563 1335051 1358347 922 (D) 728 900 (D) (D) (D) 69015 1289332 1436211 582 833 2234 1318 4967 10700 60569 76236 1359975 1288634 (D) 2326 (D) 5179 (D) (D) 58567 89507 1199127 1310058 2183 (D) 1623 5049 (D) (D) 40841 66983 1243075 31222 rec. 38285225 18657 (D) 12191 54123 (D) (D) 494736 780033 37505192 31311 firms 359 32 54 31 42 159 83 57 299 60 373 34 63 51 35 183 77 57 317 56 374 26 68 43 44 181 80 55 316 58 387 36 82 39 55 212 73 53 338 49 383 36 98 45 42 221 78 40 339 44 31311 estab. 603 32 54 31 42 159 85 73 317 286 613 34 63 51 35 183 78 76 337 276 607 26 68 43 44 181 83 76 340 267 605 36 82 40 55 213 75 69 357 248 569 36 98 45 42 221 81 51 353 216 31311 empl. 84865 0 129 217 582 928 3855 11453 16236 68629 81028 0 150 370 485 1005 3647 11625 16277 64751 76609 0 152 281 628 1061 3661 10775 15497 61112 66321 0 198 261 795 1254 3503 9287 14044 52277 60243 0 207 301 595 1103 3803 7729 12635 47608 31311 ann. pay. 2063017 2756 4765 4107 11121 22749 106824 274356 403929 1659088 1953154 5165 4452 7949 9919 27485 107619 283956 419060 1534094 1930479 1277 4969 5174 12783 24203 98370 267380 389953 1540526 1614660 26816 5705 7075 18746 58342 95034 234526 387902 1226758 1589374 2689 5108 7187 14344 29328 103164 214364 346856 1242518 31311 rec. 10228526 17309 36082 35938 99526 188855 529634 1130309 1848798 8379728 31321 firms 748 57 235 125 83 500 105 63 668 80 730 43 230 114 85 472 110 65 647 83 712 40 217 120 94 471 99 61 631 81 728 47 221 123 89 480 104 71 655 73 663 47 191 111 79 428 107 65 600 63 31321 estab. 924 57 235 125 83 500 107 73 680 244 899 43 230 114 85 472 112 72 656 243 874 40 218 120 94 472 100 68 640 234 880 47 221 124 89 481 105 77 663 217 792 47 191 112 79 429 110 72 611 181 31321 empl. 130441 0 511 823 1063 2397 4777 13155 20329 110112 124188 0 503 750 1102 2355 4788 12494 19637 104551 113249 0 419 780 1279 2478 4581 10750 17809 95440 105590 0 498 820 1230 2548 4520 12347 19415 86175 87391 0 432 743 1067 2242 4501 11192 17935 69456 31321 ann. pay. 3422150 25171 9593 16545 21228 72537 114511 337438 524486 2897664 3220720 3236 9612 15322 21827 49997 125110 333947 509054 2711666 3138544 1559 9585 17620 26884 55648 133722 298733 488103 2650441 2808970 3665 10773 18422 29454 62314 123954 336630 522898 2286072 2444690 7844 9599 18333 31545 67321 121849 333379 522549 1922141 31321 rec. 12198829 40301 50340 90657 164073 345371 624919 1715605 2685895 9512934 31322 firms 463 32 140 81 76 329 71 41 441 22 447 27 146 69 69 311 77 37 425 22 425 26 139 77 58 300 66 38 404 21 420 22 143 77 55 297 69 36 402 18 372 29 127 60 47 263 66 27 356 16 31322 estab. 503 32 140 81 76 329 73 58 460 43 488 27 146 69 69 311 79 55 445 43 465 26 139 77 59 301 68 55 424 41 459 22 143 77 55 297 76 50 423 36 401 29 127 60 48 264 67 38 369 32 31322 empl. 19844 0 334 540 1036 1910 2913 6766 11589 8255 19106 0 327 462 890 1679 3266 6457 11402 7704 18683 0 311 509 773 1593 2718 6755 11066 7617 17466 0 306 522 760 1588 2840 6372 10800 6666 14746 0 278 417 671 1366 2917 4858 9141 5605 31322 ann. pay. 482147 3378 6167 9580 22412 41537 68783 166956 277276 204871 466331 2375 5836 8780 18265 35256 75952 159028 270236 196095 464981 1698 5958 11489 15510 34655 63671 173502 271828 193153 433619 812 4953 9503 17800 33068 63709 166664 263441 170178 410745 4681 5536 11486 17752 39455 80465 133929 253849 156896 31322 rec. 1596347 22919 26273 37959 67127 154278 319363 497119 970760 625587 31323 firms 202 9 30 27 22 88 51 30 169 33 202 15 27 22 29 93 47 28 168 34 199 16 30 21 28 95 43 23 161 38 194 7 39 17 30 93 43 24 160 34 194 11 32 20 31 94 45 22 161 33 31323 estab. 245 9 30 27 22 88 54 38 180 65 248 15 27 22 29 93 49 38 180 68 249 16 30 21 28 95 46 33 174 75 242 7 39 17 30 93 45 35 173 69 234 11 32 20 31 94 48 28 170 64 31323 empl. 20002 0 58 185 312 555 2432 4435 7422 12580 20851 [a] [b] 140 383 576 2099 3851 6526 14325 20650 0 71 147 380 598 2040 3074 5712 14938 19925 0 85 125 427 637 1871 3239 5747 14178 17934 0 69 130 422 621 2038 2541 5200 12734 31323 ann. pay. 736740 793 2922 6055 8902 18672 62942 142369 223983 512757 769800 (D) (D) 4578 12291 30171 60076 115602 205849 563951 786306 1516 4104 4426 11526 21572 59584 96951 178107 608199 744849 264 4202 3634 12675 20775 56260 89232 166267 578582 689565 2524 2810 3789 14843 23966 64321 88458 176745 512820 31323 rec. 4337555 13628 13964 20593 80090 128275 355913 415018 899206 3438349 31324 firms 387 14 41 48 60 163 124 59 346 41 395 20 52 46 65 183 110 61 354 41 362 10 62 37 57 166 105 54 325 37 352 16 64 35 59 174 95 51 320 32 333 19 59 42 52 172 98 40 310 23 31324 estab. 428 14 41 48 60 163 125 68 356 72 437 20 52 46 65 183 112 70 365 72 399 10 62 37 57 166 108 63 337 62 390 16 64 35 59 174 96 63 333 57 364 19 59 42 52 172 104 51 327 37 31324 empl. 37742 0 82 337 811 1230 5458 8701 15389 22353 35637 [a] [c] 322 903 1353 5033 10226 16612 19025 32896 0 160 266 806 1232 4835 9822 15889 17007 27460 0 165 251 850 1266 4055 7947 13268 14192 19786 0 140 279 728 1147 4417 6393 11957 7829 31324 ann. pay. 901710 770 2176 9653 22420 35019 137328 215078 387425 514285 904314 (D) (D) 8998 24408 40585 133108 248730 422423 481891 843641 249 3369 8426 23725 35769 121305 245568 402642 440999 710855 7025 4396 5735 25341 42497 104644 216174 363315 347540 564372 7050 3982 7600 23652 42284 119356 188935 350575 213797 31324 rec. 2910745 50512 25756 39267 133486 249021 464382 887626 1601029 1309716 31331 firms 1608 143 518 265 186 1112 292 132 1536 72 1535 126 500 268 184 1078 279 113 1470 65 1509 112 496 279 184 1071 270 109 1450 59 1530 144 524 271 186 1125 250 100 1475 55 1385 119 462 250 171 1002 239 96 1337 48 31331 estab. 1731 143 518 266 189 1116 305 158 1579 152 1644 126 500 269 191 1086 289 130 1505 139 1602 112 496 279 188 1075 281 129 1485 117 1624 144 526 272 189 1131 260 121 1512 112 1467 119 462 251 171 1003 249 117 1369 98 31331 empl. 80790 0 1159 1747 2423 5329 12822 22303 40454 40336 70211 0 1117 1747 2419 5283 12091 18648 36022 34189 66265 0 1127 1841 2417 5385 11778 17456 34619 31646 61466 0 1198 1774 2486 5458 10425 15750 31633 29833 53002 0 1050 1675 2280 5005 10065 15076 30146 22856 31331 ann. pay. 2222287 19286 33235 51776 88018 192315 395288 580030 1167633 1054654 1992830 15105 31472 56611 87747 190935 393038 477753 1061726 931104 1914987 11548 33454 57317 87551 189870 395854 449817 1035541 879446 1707452 12071 32425 53571 87468 185535 344800 406083 936418 771034 1578168 10412 29461 47756 85201 172830 347934 400846 921610 656558 31331 rec. 10077341 57246 199382 323038 600507 1180173 1786789 2040310 5007272 5070069 31332 firms 243 11 46 34 30 121 66 33 220 23 242 19 39 44 24 126 62 28 216 26 234 11 46 45 22 124 59 23 206 28 232 15 49 41 20 125 57 26 208 24 199 10 38 36 20 104 51 27 182 17 31332 estab. 260 11 46 34 30 121 68 43 232 28 258 19 39 44 24 126 64 35 225 33 253 11 46 45 22 124 62 30 216 37 252 15 49 41 20 125 58 36 219 33 218 10 38 36 20 104 52 38 194 24 31332 empl. 11771 0 106 219 405 730 2962 4719 8411 3360 11265 0 95 282 308 685 2542 3582 6809 4456 11042 0 97 301 298 696 2614 3490 6800 4242 10262 0 107 286 280 673 2313 3561 6547 3715 8553 0 88 234 273 595 2127 3386 6108 2445 31332 ann. pay. 393588 390 2691 5754 10236 19071 86426 187371 292868 100720 387219 1155 2432 7855 7923 19365 80319 148310 247994 139225 412182 443 2578 8766 10031 21818 92560 141474 255852 156330 382569 466 3128 8708 7118 19420 84713 135925 240058 142511 331283 668 2558 6739 7609 17574 81669 137765 237008 94275 31332 rec. 1886867 7042 14702 36123 36168 94035 380197 800135 1274367 612500 31411 firms 412 35 134 66 48 283 72 31 386 26 413 37 135 65 45 282 76 33 391 22 375 14 122 57 50 243 82 27 352 23 373 22 120 51 56 249 78 22 349 24 361 24 114 56 52 246 66 26 338 23 31411 estab. 483 35 134 66 49 284 76 41 401 82 478 37 135 65 45 282 79 43 404 74 441 14 122 57 50 243 85 35 363 78 437 22 120 51 57 250 81 26 357 80 422 24 114 56 53 247 67 29 343 79 31411 empl. 51458 0 321 421 640 1382 3043 5801 10226 41232 51153 0 330 420 609 1359 3135 7061 11555 39598 46742 0 306 379 691 1376 3636 5812 10824 35918 45188 0 304 346 741 1391 3457 5127 9975 35213 44438 [a] [e] 377 734 1366 2698 5021 9085 35353 31411 ann. pay. 1420311 5761 7008 9027 13407 35203 80748 155498 271449 1148862 1418035 2596 6815 10138 13776 33325 81928 191216 306469 1111566 1323961 2191 7029 9556 16329 35105 96831 173547 305483 1018478 1284917 2683 7746 7927 20370 38726 91907 138466 269099 1015818 1409503 (D) (D) 9503 21945 146731 77804 146525 371060 1038443 31411 rec. 14962557 (D) (D) 77729 162005 (D) 449381 772802 2685503 12277054 31412 firms 2561 179 1266 472 240 2157 265 101 2523 38 2456 159 1181 478 216 2034 285 100 2419 37 2337 153 1086 441 241 1921 285 91 2297 40 2334 174 1064 417 270 1925 286 81 2292 42 2289 167 1103 378 257 1905 268 77 2250 39 31412 estab. 2733 179 1266 476 249 2170 296 140 2606 127 2627 160 1182 481 224 2047 314 139 2500 127 2508 153 1087 443 248 1931 313 131 2375 133 2491 174 1067 418 276 1935 315 110 2360 131 2437 167 1103 381 259 1910 288 105 2303 134 31412 empl. 71826 0 2644 3039 3184 8867 11032 18524 38423 33403 72223 0 2451 3104 2942 8497 11760 18374 38631 33592 71604 0 2288 2847 3238 8373 11853 15949 36175 35429 66265 0 2209 2648 3556 8413 11734 13792 33939 32326 60710 [a] [g] 2541 3431 8302 10735 11976 31013 29697 31412 ann. pay. 1472733 7897 38834 50498 62289 159518 212522 360589 732629 740104 1571139 12692 40112 55087 62336 170227 241275 392962 804464 766675 1595286 8676 41900 54418 71349 176343 252677 339184 768204 827082 1480187 9707 39612 52658 83184 185161 260924 293079 739164 741023 1447202 (D) (D) 54611 82577 200651 265850 280356 746857 700345 31412 rec. 9478563 (D) (D) 251544 327102 (D) 1291762 1576452 3755000 5723563 31491 firms 2000 166 770 410 294 1640 286 52 1978 22 1965 143 751 407 300 1601 294 49 1944 21 1887 136 699 398 284 1517 296 54 1867 20 1886 142 708 384 300 1534 273 58 1865 21 1923 163 768 377 295 1603 254 49 1906 17 31491 estab. 2032 166 770 410 294 1640 297 62 1999 33 1999 143 751 407 300 1601 305 60 1966 33 1925 136 699 398 285 1518 306 69 1893 32 1922 142 708 384 300 1534 283 71 1888 34 1962 163 768 377 296 1604 266 62 1932 30 31491 empl. 31241 0 1743 2707 3996 8446 11149 6746 26341 4900 31776 0 1700 2724 4067 8491 11453 7213 27157 4619 31356 0 1550 2687 3842 8079 11559 7766 27404 3952 30257 0 1592 2571 4064 8227 10462 7432 26121 4136 26637 0 1757 2521 3957 8235 9665 6439 24339 2298 31491 ann. pay. 679299 11244 29424 53498 85794 179960 252783 140959 573702 105597 731529 5342 30840 56956 89306 182444 273101 170417 625962 105567 762972 6834 30046 54790 92651 184321 283419 191177 658917 104055 767782 9408 35021 56117 97918 198464 271262 179939 649665 118117 718064 10631 35723 57883 101662 205899 277400 161871 645170 72894 31491 rec. 2832639 51079 134965 184378 327489 697911 985357 654161 2337429 495210 31499 firms 1747 153 423 286 318 1180 387 109 1676 71 1948 135 472 337 353 1297 468 108 1873 75 1909 149 460 319 337 1265 467 109 1841 68 2022 155 603 331 325 1414 443 96 1953 69 2411 219 889 370 352 1830 415 102 2347 64 31499 estab. 1848 153 423 286 318 1180 395 134 1709 139 2048 135 472 337 353 1297 476 136 1909 139 2007 149 460 319 337 1265 477 135 1877 130 2116 155 603 331 326 1415 453 110 1978 138 2511 219 889 370 353 1831 429 121 2381 130 31499 empl. 62830 0 977 1943 4358 7278 15615 14606 37499 25331 66819 0 1067 2314 4898 8279 18379 14881 41539 25280 65967 0 1064 2144 4596 7804 17832 15094 40730 25237 60312 0 1370 2260 4493 8123 17217 13112 38452 21860 58424 0 1884 2500 4900 9284 15672 13403 38359 20065 31499 ann. pay. 1508319 17138 17610 39961 88222 162931 335929 339515 838375 669944 1592752 8247 20614 47783 103507 180151 398848 358604 937603 655149 1682125 11554 22395 45795 95305 175049 413572 390711 979332 702793 1526529 12098 30980 49470 96699 189247 405249 335347 929843 596686 1538080 11764 36037 54436 113327 215564 401721 360271 977556 560524 31499 rec. 7738883 63238 182081 216176 483881 945376 1587894 1693093 4226363 3512520 31511 firms 516 31 81 68 75 255 171 64 490 26 489 33 81 48 75 237 168 60 465 24 489 38 80 55 68 241 162 63 466 23 474 36 79 54 84 253 142 57 452 22 395 25 65 36 64 190 136 50 376 19 31511 estab. 573 31 81 68 75 255 173 76 504 69 551 33 82 48 75 238 171 74 483 68 546 38 80 55 68 241 163 77 481 65 528 36 79 54 84 253 143 69 465 63 442 25 65 36 64 190 139 60 389 53 31511 empl. 51371 0 172 455 1075 1702 7253 13393 22348 29023 49229 0 198 321 1081 1600 7124 13103 21827 27402 45800 0 188 375 968 1531 6692 13006 21229 24571 42551 0 175 365 1195 1735 6295 11410 19440 23111 35120 0 149 249 899 1297 5697 9346 16340 18780 31511 ann. pay. 1010825 6999 4173 8853 17688 37713 121304 244424 403441 607384 1002668 4984 4068 5015 18119 32186 128025 262761 422972 579696 959988 4853 3635 7681 17573 33742 123386 269864 426992 532996 879108 2607 3239 6560 20488 32894 121529 228279 382702 496406 798030 2978 3327 5927 17845 30077 120704 218158 368939 429091 31511 rec. 3579351 17397 14161 24814 72017 128389 433772 967693 1529854 2049497 31519 firms 676 52 136 101 98 387 208 56 651 25 642 69 150 80 93 392 174 52 618 24 602 69 134 84 88 375 157 50 582 20 561 54 148 81 73 356 140 50 546 15 419 34 102 59 65 260 116 30 406 13 31519 estab. 719 52 136 101 99 388 212 69 669 50 679 69 150 80 94 393 177 64 634 45 636 69 134 84 89 376 159 62 597 39 585 54 148 81 73 356 141 59 556 29 437 35 102 59 65 261 117 37 415 22 31519 empl. 42657 0 284 657 1367 2308 9358 9651 21317 21340 38925 0 332 553 1252 2137 7387 8760 18284 20641 34722 0 297 579 1232 2108 6385 8648 17141 17581 27928 0 319 549 984 1852 5731 8405 15988 11940 20776 0 232 427 901 1560 5094 5608 12262 8514 31519 ann. pay. 897160 3478 6936 16373 33791 60578 179437 178489 418504 478656 862583 7447 8270 13757 32113 61587 151578 167235 380400 482183 779121 5843 8231 14072 29999 58145 140506 163147 361798 417323 624273 5687 9883 13413 22310 51293 125927 171164 348384 275889 518731 2644 7813 12734 22240 45431 124683 128202 298316 220415 31519 rec. 2967565 8319 39567 70623 95700 214209 590532 571136 1375877 1591688 31521 firms 8144 786 1783 1342 1503 5414 2283 353 8050 94 7057 1330 1607 1149 1107 5193 1551 255 6999 58 7110 1213 1702 1171 1212 5298 1533 236 7067 43 7472 1346 2015 1335 1090 5786 1444 205 7435 37 7186 1190 2113 1378 1139 5820 1208 134 7162 24 31521 estab. 8359 786 1783 1342 1503 5414 2295 424 8133 226 7191 1330 1607 1149 1107 5193 1558 305 7056 135 7222 1213 1705 1171 1212 5301 1543 282 7126 96 7563 1346 2015 1335 1091 5787 1454 240 7481 82 7251 1190 2113 1380 1139 5822 1220 159 7201 50 31521 empl. 231766 0 4098 9068 20944 34110 93473 58415 185998 45768 156379 0 3637 7712 15395 26744 63549 40037 130330 26049 146030 0 3872 7921 16651 28444 61322 37742 127508 18522 133325 0 4515 9019 14880 28414 57004 31500 116918 16407 102646 0 4777 9352 15605 29734 45859 19919 95512 7134 31521 ann. pay. 3190116 48162 65473 113300 248865 475800 1151556 799875 2427231 762885 2239230 87534 68880 101668 184312 442394 786414 564224 1793032 446198 2150914 65967 68441 106535 209282 450225 788805 567543 1806573 344341 2006880 84131 81531 122021 182798 470481 720240 484802 1675523 331357 1652459 72122 91167 149617 212728 525634 663783 333186 1522603 129856 31521 rec. 4946673 276791 226946 435738 590922 1530397 1774231 1021770 4326398 620275 31522 firms 1056 84 201 112 127 524 275 151 950 106 1154 94 240 132 136 602 309 152 1063 91 1113 102 238 133 141 614 279 142 1035 78 1040 87 279 119 132 617 230 128 975 65 801 78 168 83 110 439 213 100 752 49 31522 estab. 1345 84 201 112 128 525 287 185 997 348 1434 94 240 138 137 609 316 191 1116 318 1335 102 239 139 141 621 288 180 1089 246 1221 88 279 119 146 632 237 162 1031 190 944 78 168 83 115 444 220 142 806 138 31522 empl. 144562 0 445 740 1755 2940 12518 26739 42197 102365 129018 0 546 896 1907 3349 13998 26894 44241 84777 102473 0 547 874 1959 3380 12567 24877 40824 61649 84139 0 607 792 1815 3214 10355 21525 35094 49045 70789 0 344 575 1482 2401 9854 17263 29518 41271 31522 ann. pay. 2667844 2960 8331 15399 29873 56563 234143 533467 824173 1843671 2367505 7805 12980 17974 43707 82466 259213 525701 867380 1500125 2061211 5974 13366 18737 46323 84400 260205 494133 838738 1222473 1756521 11847 16262 18627 44883 91619 210940 448703 751262 1005259 1612269 6282 13882 16316 46746 83226 230759 408637 722622 889647 31522 rec. 11956414 50477 83892 99079 242134 475582 1355656 2340438 4171676 7784738 31523 firms 3362 679 645 489 579 2392 702 206 3300 62 3693 605 748 579 601 2533 900 203 3636 57 3623 561 844 627 570 2602 783 190 3575 48 3354 522 897 591 496 2506 637 167 3310 44 2211 349 429 290 385 1453 573 142 2168 43 31523 estab. 3486 679 645 489 580 2393 717 241 3351 135 3813 605 749 580 601 2535 918 236 3689 124 3719 561 847 628 570 2606 790 217 3613 106 3438 522 897 591 497 2507 643 191 3341 97 2272 349 429 291 385 1454 581 162 2197 75 31523 empl. 125801 0 1476 3338 8010 12824 28243 33759 74826 50975 129438 0 1700 3983 8255 13938 35890 33565 83393 46045 114850 0 1866 4250 7981 14097 32236 31471 77804 37046 93915 0 1988 3987 6759 12734 25929 25205 63868 30047 72419 0 982 1990 5353 8325 22364 21715 52404 20015 31523 ann. pay. 3107147 41538 31814 64282 163445 301079 700114 890463 1891656 1215491 3274313 52953 39629 72955 157391 322928 805817 941173 2069918 1204395 3038153 40842 42504 87989 164669 336004 768007 930314 2034325 1003828 2645136 45874 52098 80174 151544 329690 660810 813718 1804218 840918 2361910 48987 30012 61244 162580 302823 677476 734877 1715176 646734 31523 rec. 19491697 393252 271058 433361 1071749 2169420 4536972 5785062 12491454 7000243 31529 firms 479 109 133 72 52 366 68 29 463 16 642 116 195 83 72 466 120 38 624 18 668 102 207 97 92 498 116 37 651 17 681 87 225 98 96 506 125 35 666 15 559 63 174 73 87 397 115 40 552 7 31529 estab. 495 109 133 72 52 366 69 32 467 28 662 116 195 83 72 466 121 44 631 31 687 102 207 97 92 498 118 43 659 28 693 87 225 98 96 506 127 38 671 22 572 63 174 73 87 397 118 46 561 11 31529 empl. 18212 0 294 488 744 1526 2941 4850 9317 8895 21539 0 424 568 991 1983 5013 5408 12404 9135 19847 0 430 634 1227 2291 4753 5190 12234 7613 17595 0 461 643 1282 2386 4968 4740 12094 5501 14562 0 360 494 1167 2021 4421 5785 12227 2335 31529 ann. pay. 356623 8224 7021 7593 14035 36873 53585 111918 202376 154247 409440 7540 9754 9809 18969 46072 90628 110143 246843 162597 400867 4615 10917 11344 26369 53245 96513 105297 255055 145812 382841 4492 10918 12487 28441 56338 101513 99471 257322 125519 360680 3814 10152 12406 30922 57294 112229 123373 292896 67784 31529 rec. 1511672 18148 63524 59420 99791 240883 470459 522191 1233533 278139 31599 firms 2373 329 895 335 279 1838 392 101 2331 42 2305 310 888 349 260 1807 383 80 2270 35 2277 321 893 343 260 1817 358 72 2247 30 2064 239 839 334 225 1637 330 70 2037 27 1389 106 555 212 162 1035 264 65 1364 25 31599 estab. 2476 329 895 337 282 1843 413 147 2403 73 2391 310 890 349 262 1811 401 122 2334 57 2360 321 893 345 262 1821 368 118 2307 53 2124 239 841 336 227 1643 340 96 2079 45 1441 106 555 214 164 1039 276 86 1401 40 31599 empl. 56872 0 1810 2210 3719 7739 16243 14691 38673 18199 50380 0 1857 2285 3519 7661 15966 11871 35498 14882 46760 0 1847 2258 3543 7648 14989 10484 33121 13639 42289 0 1726 2200 3067 6993 13739 10101 30833 11456 34127 0 1180 1417 2241 4838 11048 8658 24544 9583 31599 ann. pay. 1136348 16763 28767 39551 64403 149484 306143 283773 739400 396948 1049905 21214 32197 38544 61097 153052 299207 264855 717114 332791 1035925 18135 36886 44164 63441 162626 292831 241103 696560 339365 967504 14883 36568 43602 58374 153427 289305 233037 675769 291735 847546 10989 23507 34955 52911 122362 257064 219093 598519 249027 31599 rec. 3946004 49992 114856 144526 225429 534803 987571 1207795 2730169 1215835 31611 firms 290 25 99 48 34 206 55 13 274 16 329 41 103 50 42 236 63 15 314 15 330 28 103 56 46 233 69 13 315 15 342 34 117 60 39 250 66 13 329 13 274 25 98 45 32 200 53 11 264 10 31611 estab. 315 25 99 48 34 206 57 14 277 38 354 41 103 50 42 236 65 16 317 37 354 28 103 56 46 233 72 14 319 35 358 34 117 60 39 250 69 13 332 26 286 25 98 45 32 200 54 14 268 18 31611 empl. 13427 [a] [c] 295 482 991 2499 1719 5209 8218 14891 0 235 324 537 1096 2582 2258 5936 8955 13834 0 221 377 601 1199 2898 1828 5925 7909 11660 0 253 413 519 1185 2802 1838 5825 5835 9274 0 213 302 429 944 2141 1670 4755 4519 31611 ann. pay. 384198 (D) (D) 5931 10334 22406 63787 48794 134987 249211 426501 7564 4558 7317 14684 34123 71255 61840 167218 259283 406554 1634 5334 8568 14508 30044 78424 55573 164041 242513 353873 1091 5943 9761 11879 28674 76597 45579 150850 203023 315147 964 4667 8361 12461 26453 66719 47456 140628 174519 31611 rec. 2343202 6877 26770 41745 73966 149358 458337 401938 1009633 1333569 31621 firms 362 32 108 34 42 216 71 44 331 31 351 38 108 37 30 213 68 42 323 28 349 34 109 42 41 226 55 42 323 26 346 31 116 48 40 235 55 34 324 22 307 27 111 35 36 209 51 29 289 18 31621 estab. 417 32 108 34 42 216 72 51 339 78 400 38 108 37 30 213 74 46 333 67 389 34 109 42 41 226 56 47 329 60 381 31 116 48 40 235 56 38 329 52 339 27 111 35 36 209 51 38 298 41 31621 empl. 38207 [a] [c] 220 579 1047 3298 8801 13146 25061 33648 0 246 238 405 889 2869 8318 12076 21572 30437 0 236 273 564 1073 2138 7906 11117 19320 27012 0 242 322 523 1087 2164 6255 9506 17506 21109 0 250 233 461 944 1666 5048 7658 13451 31621 ann. pay. 774448 (D) (D) 3929 9455 20682 62817 178078 261577 512871 726291 3868 4909 4668 9158 22603 52022 176638 251263 475028 735276 3632 5348 5809 11224 26013 42982 173971 242966 492310 626534 1554 4835 7605 10096 24090 44039 152184 220313 406221 536030 4244 6006 4832 10194 25276 40975 113805 180056 355974 31621 rec. 2964457 16292 23279 18507 45983 104061 188647 557002 849710 2114747 31699 firms 1042 85 384 177 128 774 193 52 1019 23 1026 111 375 174 109 769 188 47 1004 22 1016 106 374 175 116 771 179 43 993 23 1002 87 389 165 132 773 172 38 983 19 906 79 358 146 131 714 147 32 893 13 31699 estab. 1069 85 384 177 128 774 197 71 1042 27 1053 112 375 174 109 770 192 65 1027 26 1040 106 375 175 116 772 183 58 1013 27 1024 87 389 165 132 773 174 55 1002 22 924 79 358 146 131 714 150 45 909 15 31699 empl. 27691 0 864 1178 1717 3759 8060 9170 20989 6702 25427 0 865 1174 1474 3513 7763 8299 19575 5852 24241 0 810 1183 1560 3553 7491 7403 18447 5794 21895 0 797 1104 1762 3663 7321 6423 17407 4488 17412 0 763 989 1715 3467 5976 5183 14626 2786 31699 ann. pay. 614418 5003 13359 18083 30934 67379 159807 201703 428889 185529 585141 4146 13727 18752 28023 64648 161662 200916 427226 157915 568678 5165 14121 23236 30235 72757 163498 179245 415500 153178 515260 2937 15254 21960 34330 74481 154832 157610 386923 128337 418190 6755 15223 21410 39362 82750 140709 136093 359552 58638 31699 rec. 1798507 31763 71565 80295 159561 343184 508702 712514 1564400 234107 32111 firms 4390 328 1159 793 826 3106 973 236 4315 75 4361 323 1123 823 837 3106 942 229 4277 84 4229 294 1088 766 817 2965 952 233 4150 79 4137 273 1113 788 769 2943 911 208 4062 75 3901 289 1051 713 702 2755 861 217 3833 68 32111 estab. 4859 328 1159 793 827 3107 1017 381 4505 354 4839 323 1123 823 840 3109 990 368 4467 372 4695 294 1089 766 819 2968 995 380 4343 352 4594 274 1115 788 771 2948 951 356 4255 339 4368 289 1051 713 707 2760 907 379 4046 322 32111 empl. 130373 0 2695 5367 11291 19353 39527 34450 93330 37043 131916 0 2549 5574 11469 19592 38646 33356 91594 40322 131353 0 2453 5152 11097 18702 39005 35563 93270 38083 122188 0 2468 5318 10572 18358 37902 30913 87173 35015 115998 0 2412 4839 9647 16898 34670 31923 83491 32507 32111 ann. pay. 3562019 18585 43180 94385 224096 380246 963097 986274 2329617 1232402 3750507 51378 44474 98581 231590 426023 960743 1007523 2394289 1356218 3782683 12463 40525 91832 232643 377463 981619 1060079 2419161 1363522 3520306 16472 46052 98754 218332 379610 961704 946332 2287646 1232660 3549672 15686 48906 94314 215804 374710 927021 1012619 2314350 1235322 32111 rec. 26164758 143365 398322 662267 1481731 2685685 6314729 7352317 16352731 9812027 32121 firms 1521 90 203 170 284 747 520 181 1448 73 1496 85 197 172 260 714 512 192 1418 78 1501 72 207 169 252 700 523 198 1421 80 1538 68 238 186 262 754 507 197 1458 80 1452 45 205 180 269 699 486 187 1372 80 32121 estab. 1893 90 203 171 286 750 531 245 1526 367 1886 85 197 173 261 716 524 259 1499 387 1904 72 207 169 253 701 534 263 1498 406 1944 68 238 186 263 755 516 262 1533 411 1844 45 205 180 269 699 504 248 1451 393 32121 empl. 113418 0 469 1134 3926 5529 22793 26886 55208 58210 117542 0 456 1180 3634 5270 22528 27755 55553 61989 120578 0 474 1155 3518 5147 23224 28606 56977 63601 116445 0 549 1316 3651 5516 21965 27924 55405 61040 111009 0 469 1245 3727 5441 21004 26084 52529 58480 32121 ann. pay. 3358843 12689 12969 25156 90699 141513 597548 730689 1469750 1889093 3625681 9852 12743 26712 87910 137217 607453 800433 1545103 2080578 3749786 7454 12668 27508 85703 133333 627827 827668 1588828 2160958 3696485 5968 15788 31302 98359 151417 632231 809595 1593243 2103242 3670076 6659 15315 34408 100881 157263 641044 821834 1620141 2049935 32121 rec. 20097487 32520 106645 165668 458363 763196 2713366 3948791 7425353 12672134 32191 firms 4156 384 1118 743 689 2934 879 235 4048 108 4105 354 1102 693 716 2865 888 249 4002 103 4177 366 1130 687 706 2889 923 252 4064 113 4318 409 1183 741 740 3073 902 238 4213 105 4583 381 1393 817 766 3357 886 240 4483 100 32191 estab. 4445 384 1118 743 691 2936 909 308 4153 292 4399 354 1102 694 720 2870 911 333 4114 285 4485 366 1130 688 708 2892 949 335 4176 309 4631 409 1183 742 746 3080 924 323 4327 304 4887 383 1393 818 767 3361 921 313 4595 292 32191 empl. 143133 0 2558 5073 9533 17164 35446 31164 83774 59359 150175 0 2454 4680 9692 16826 35907 32911 85644 64531 157685 0 2509 4667 9656 16832 37185 34023 88040 69645 151227 0 2534 5100 10175 17809 36322 31167 85298 65929 147745 0 3104 5577 10459 19140 35454 30459 85053 62692 32191 ann. pay. 3770371 19523 54682 107905 217716 399826 858245 764838 2022909 1747462 4121156 20026 53036 104563 234981 412606 897483 851955 2162044 1959112 4363969 20447 55006 107354 237548 420355 949642 899645 2269642 2094327 4360757 29027 59010 124992 259781 472810 961078 867250 2301138 2059619 4433223 32906 72008 136978 283254 525146 998974 886328 2410448 2022775 32191 rec. 22657156 174384 444598 618700 1306555 2544237 4680328 4551814 11776379 10880777 32192 firms 2884 212 756 555 586 2109 692 68 2869 15 2823 201 738 534 605 2078 656 70 2804 19 2799 208 714 534 584 2040 665 76 2781 18 2755 172 746 565 564 2047 619 73 2739 16 2763 181 811 569 538 2099 588 61 2748 15 32192 estab. 3024 212 756 555 587 2110 726 128 2964 60 2968 201 738 534 606 2079 686 136 2901 67 2947 208 714 534 584 2040 687 152 2879 68 2915 172 746 565 564 2047 658 150 2855 60 2921 181 812 570 542 2105 640 104 2849 72 32192 empl. 52953 0 1755 3756 8011 13522 25710 9009 48241 4712 53043 0 1737 3597 8322 13656 24766 9327 47749 5294 53504 0 1675 3622 7982 13279 24813 9468 47560 5944 51239 0 1711 3828 7690 13229 23375 9490 46094 5145 47509 0 1981 3870 7397 13248 21534 7355 42137 5372 32192 ann. pay. 1045438 11246 32040 61800 145423 250509 508988 176540 936037 109401 1090077 23406 30826 63299 157619 275150 501746 194638 971534 118543 1153302 9585 31767 67142 152959 261453 519100 231068 1011621 141681 1098859 13416 32246 68799 151389 265850 491621 222025 979496 119363 1111775 39419 39106 74876 158535 311936 486741 182723 981400 130375 32192 rec. 5036797 245350 203507 362054 776833 1587744 2119054 830013 4536811 499986 32199 firms 3090 282 995 554 436 2267 545 200 3012 78 3029 280 1002 479 468 2229 533 189 2951 78 2945 260 950 493 445 2148 527 194 2869 76 2856 208 954 512 417 2091 517 177 2785 71 2686 251 830 490 407 1978 486 154 2618 68 32199 estab. 3435 282 995 554 437 2268 566 264 3098 337 3381 280 1002 479 469 2230 555 246 3031 350 3297 260 951 493 446 2150 545 258 2953 344 3205 208 954 512 421 2095 538 246 2879 326 3032 253 832 491 408 1984 510 227 2721 311 32199 empl. 140457 0 2156 3704 5944 11804 21363 30951 64118 76339 142500 0 2174 3210 6332 11716 21699 28597 62012 80488 134564 0 2050 3304 6111 11465 21383 29729 62577 71987 116408 0 2013 3424 5673 11110 20960 26202 58272 58136 111750 0 1868 3305 5523 10696 19950 23089 53735 58015 32199 ann. pay. 3703525 18534 38271 72622 129128 258555 497342 753859 1509756 2193769 3785478 14579 45995 66949 149582 277105 532060 724562 1533727 2251751 3461656 15301 41277 68462 139658 264698 535844 728696 1529238 1932418 3152993 15863 40118 77443 132603 266027 547473 708923 1522423 1630570 3157620 18775 46465 79716 144573 289529 560510 689254 1539293 1618327 32199 rec. 14692843 99489 212313 373108 632901 1317811 2448871 3033961 6800643 7892200 32211 firms 32 4 3 0 1 8 7 4 19 13 33 1 3 2 3 9 6 4 19 14 36 1 4 0 2 7 10 5 22 14 40 1 5 1 4 11 8 7 26 14 27 0 2 4 2 8 4 5 17 10 32211 estab. 44 4 3 0 1 8 7 6 21 23 45 1 3 2 3 9 6 6 21 24 48 1 4 0 2 7 10 7 24 24 51 1 5 1 4 11 8 9 28 23 44 0 2 4 2 8 4 7 19 25 32211 empl. 10475 [a] [a] 0 [a] [b] [e] 386 678 9797 9793 [a] [a] [a] 51 67 255 362 684 9109 9963 [a] [a] 0 [b] 35 455 607 1097 8866 9813 [a] [a] [a] 56 72 326 933 1331 8482 8373 0 [a] 22 [b] 59 151 729 939 7434 32211 ann. pay. 536329 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 10738 26207 510122 532294 (D) (D) (D) 2282 2623 11088 13638 27349 504945 583593 (D) (D) 0 (D) 2403 20138 25236 47777 535816 551593 (D) (D) (D) 2355 3286 12939 45568 61793 489800 505399 0 (D) 1178 (D) 1666 6162 39591 47419 457980 32211 rec. 3790816 0 (D) 10046 (D) (D) 53747 348921 415885 3374931 32212 firms 153 8 6 4 4 22 24 48 94 59 164 10 15 2 4 31 26 47 104 60 166 8 18 3 8 37 28 43 108 58 174 9 14 10 10 43 27 48 118 56 220 17 37 16 7 77 35 51 163 57 32212 estab. 305 8 6 4 4 22 24 56 102 203 314 10 15 2 4 31 26 54 111 203 311 8 18 3 8 37 28 47 112 199 308 9 14 10 10 43 27 55 125 183 353 17 37 16 7 77 35 64 176 177 32212 empl. 123256 0 [a] [b] [b] 100 1438 10828 12366 110890 123696 [a] 34 [a] [b] 106 1462 10636 12204 111492 113828 0 44 21 111 176 1538 9466 11180 102648 108535 0 [b] [b] 148 243 1594 11190 13027 95508 105829 0 [b] 103 [c] 288 1515 9981 11784 94045 32212 ann. pay. 6274030 250 (D) (D) (D) 3536 62812 528073 594421 5679609 6435104 (D) 940 (D) (D) 4001 64483 550076 618560 5816544 6023906 5742 1156 636 2954 10488 68030 491444 569962 5453944 5851086 7437 (D) (D) 4069 13818 67923 559904 641645 5209441 5873220 2488 (D) 2289 (D) 9608 68338 497094 575040 5298180 32212 rec. 45774675 12080 (D) 23459 (D) (D) 365993 3517087 3973647 41801028 32213 firms 95 8 3 3 2 16 13 23 52 43 95 6 4 7 2 19 14 21 54 41 105 7 5 6 5 23 14 27 64 41 116 12 7 8 7 34 16 27 77 39 107 9 9 11 8 37 16 16 69 38 32213 estab. 232 8 3 3 2 16 13 24 53 179 233 6 4 7 2 19 14 23 56 177 238 7 5 6 5 23 14 29 66 172 247 12 7 8 7 34 16 29 79 168 231 9 9 11 9 38 16 17 71 160 32213 empl. 53910 [a] [a] [b] [b] [b] [f] 2912 3592 50318 51709 0 [a] 55 [b] 84 709 2576 3369 48340 53350 [a] [a] 44 [b] 127 820 3567 4514 48836 51685 [a] [a] 57 85 153 994 3838 4985 46700 48786 0 21 70 99 190 843 1844 2877 45909 32213 ann. pay. 2704763 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 125936 149470 2555293 2775250 1380 (D) 1793 (D) 3973 26343 120824 151140 2624110 2867717 (D) (D) 1507 (D) 4475 33112 170848 208435 2659282 2792728 (D) (D) 1686 1659 5781 37103 181877 224761 2567967 2727651 1252 739 1595 3120 6706 35862 103656 146224 2581427 32213 rec. 21378614 6918 4159 10861 20055 41993 257118 705768 1004879 20373735 32221 firms 1678 51 160 149 257 617 719 248 1584 94 1648 53 163 134 247 597 720 236 1553 95 1602 43 159 146 239 587 670 253 1510 92 1590 45 178 139 241 603 665 232 1500 90 1542 48 186 134 240 608 638 217 1463 79 32221 estab. 2846 51 160 149 257 617 747 405 1769 1077 2828 53 163 134 247 597 749 396 1742 1086 2809 43 159 146 239 587 690 420 1697 1112 2766 45 178 139 241 603 695 379 1677 1089 2699 48 187 134 242 611 676 372 1659 1040 32221 empl. 206719 0 389 1029 3654 5072 33106 40707 78885 127834 206713 0 396 941 3505 4842 33050 39284 77176 129537 211822 0 391 1007 3471 4869 30789 42087 77745 134077 204016 0 431 951 3405 4787 29990 37991 72768 131248 188637 0 424 919 3324 4667 27897 35284 67848 120789 32221 ann. pay. 7201278 14105 13286 28560 107273 163224 1043118 1458922 2665264 4536014 7496881 19150 15859 24343 101579 160931 1078524 1444732 2684187 4812694 7812038 8587 16854 28838 101704 155983 1014030 1557929 2727942 5084096 7470249 8086 19087 26138 94717 148028 981403 1416274 2545705 4924544 7239833 8983 22060 28970 103757 163770 975010 1372594 2511374 4728459 32221 rec. 44304153 115553 135912 182391 643710 1077566 4858658 6642834 12579058 31725095 32222 firms 783 34 117 102 104 357 206 113 676 107 777 39 105 107 105 356 208 111 675 102 755 30 105 88 102 325 218 114 657 98 767 29 118 93 107 347 205 120 672 95 743 31 131 91 96 349 196 104 649 94 32222 estab. 977 34 117 102 104 357 210 147 714 263 972 41 105 107 105 358 212 148 718 254 955 30 105 88 102 325 227 148 700 255 964 29 118 93 107 347 212 158 717 247 929 31 131 91 97 350 203 142 695 234 32222 empl. 75390 0 279 672 1473 2424 8891 15092 26407 48983 71545 0 252 709 1455 2416 9016 14360 25792 45753 72603 0 249 596 1474 2319 9492 14902 26713 45890 70146 0 273 616 1511 2400 8897 15805 27102 43044 66078 0 286 598 1332 2216 8205 13697 24118 41960 32222 ann. pay. 2767668 6361 8116 18731 46753 79961 292638 550039 922638 1845030 2762451 69395 6961 20075 48406 144837 309420 522774 977031 1785420 2788921 7507 7258 18578 54523 87866 324183 553264 965313 1823608 2709665 23073 9638 19757 49974 102442 310593 598197 1011232 1698433 2668606 2027 10384 21013 48646 82070 312774 540592 935436 1733170 32222 rec. 18044907 14706 72127 137880 283394 508107 1636364 3133100 5277571 12767336 32223 firms 647 22 131 106 110 369 183 60 612 35 632 27 116 122 100 365 173 59 597 35 607 19 122 105 99 345 163 66 574 33 590 18 127 92 94 331 161 68 560 30 538 21 99 88 98 306 142 61 509 29 32223 estab. 774 22 131 106 110 369 188 74 631 143 775 27 116 122 100 365 179 70 614 161 741 19 122 105 99 345 167 79 591 150 714 18 127 92 94 331 165 80 576 138 644 21 99 88 98 306 146 70 522 122 32223 empl. 47055 0 341 745 1460 2546 7978 9002 19526 27529 46096 0 270 829 1346 2445 7788 8484 18717 27379 44423 0 292 736 1381 2409 7413 9439 19261 25162 43250 0 299 643 1271 2213 6893 9783 18889 24361 39077 0 236 613 1334 2183 6225 8991 17399 21678 32223 ann. pay. 1366759 982 8373 18504 35229 63088 226380 287665 577133 789626 1417161 1598 5995 22122 33053 62768 231720 282551 577039 840122 1442727 7687 6625 20036 35990 70338 223396 326779 620513 822214 1408489 1231 7191 16760 33631 58813 205049 340253 604115 804374 1313428 2377 6775 17393 39696 66241 200388 313677 580306 733122 32223 rec. 7925658 16587 45197 100108 215229 377121 891482 1667596 2936199 4989459 32229 firms 620 43 91 66 89 289 213 62 564 56 597 32 93 59 91 275 199 68 542 55 577 27 89 54 92 262 198 63 523 54 582 39 86 54 91 270 195 66 531 51 541 29 87 58 78 252 177 62 491 50 32229 estab. 749 43 92 66 89 290 234 83 607 142 716 32 93 59 91 275 213 94 582 134 688 27 89 54 92 262 212 90 564 124 689 39 86 54 92 271 209 89 569 120 646 29 87 58 79 253 191 83 527 119 32229 empl. 51086 0 224 463 1230 1917 9080 8129 19126 31960 49468 0 218 415 1282 1915 8460 9280 19655 29813 47954 0 195 374 1310 1879 8728 8990 19597 28357 45806 0 174 378 1285 1837 8483 8546 18866 26940 39210 0 186 414 1122 1722 7498 7876 17096 22114 32229 ann. pay. 1834904 2774 7149 12277 37610 59810 252866 236969 549645 1285259 1807582 2413 7141 11181 38741 59476 248273 286571 594320 1213262 1771993 3293 5791 12823 42629 64536 264916 280392 609844 1162149 1717024 4437 4344 13305 36244 58330 256283 261381 575994 1141030 1484606 8518 5842 11695 34736 60791 245867 272884 579542 905064 32229 rec. 13527263 74700 41008 67263 166998 349969 1419727 1604955 3374651 10152612 32311 firms 36042 2286 13900 8203 5269 29658 5094 962 35714 328 34791 2004 13629 7840 5078 28551 4964 953 34468 323 33439 2002 12855 7613 4893 27363 4857 906 33126 313 32633 1879 12871 7340 4732 26822 4628 891 32341 292 31999 2026 13117 7018 4506 26667 4288 782 31737 262 32311 estab. 37688 2286 13906 8213 5292 29697 5335 1339 36371 1317 36432 2006 13639 7848 5108 28601 5179 1331 35111 1321 35016 2005 12861 7618 4922 27406 5051 1282 33739 1277 34172 1880 12876 7347 4762 26865 4832 1244 32941 1231 33482 2026 13118 7030 4541 26715 4526 1100 32341 1141 32311 empl. 762441 0 32499 54024 70659 157182 202290 150828 510300 252141 755016 0 31754 51831 68243 151828 197279 150905 500012 255004 737534 0 29973 50353 65859 146185 193826 143514 483525 254009 713855 0 29686 48598 63660 141944 184770 144098 470812 243043 645256 0 30420 46280 60460 137160 169874 123273 430307 214949 32311 ann. pay. 24572208 117288 679510 1256747 1930009 3983554 6661825 5296956 15942335 8629873 25086367 157546 702255 1250603 1940656 4051060 6697144 5374837 16123041 8963326 25496255 121203 688189 1261889 1915525 3986806 6758545 5430351 16175702 9320553 24539045 124155 695612 1231745 1861341 3912853 6427090 5432292 15772235 8766810 22862427 129885 718354 1217854 1824149 3890242 6158872 4726251 14775365 8087062 32311 rec. 87399394 498044 2624093 4191207 6012597 13325941 20136835 16772327 50235103 37164291 32312 firms 4261 269 1580 834 619 3302 777 128 4207 54 4065 234 1506 831 572 3143 747 121 4011 54 3821 229 1427 728 566 2950 695 116 3761 60 3538 186 1315 682 536 2719 645 117 3481 57 3249 166 1274 610 475 2525 569 104 3198 51 32312 estab. 4445 269 1581 835 622 3307 793 173 4273 172 4239 234 1506 832 575 3147 766 176 4089 150 4019 229 1427 728 569 2953 713 172 3838 181 3723 186 1315 682 538 2721 668 168 3557 166 3420 166 1274 610 477 2527 604 155 3286 134 32312 empl. 82623 0 3439 5499 8509 17447 30764 16745 64956 17667 78633 0 3304 5554 7855 16713 29532 15988 62233 16400 75855 0 3167 4876 7745 15788 27326 15754 58868 16987 70665 0 2945 4501 7234 14680 25507 15312 55499 15166 61163 0 2768 4045 6432 13245 22550 13079 48874 12289 32312 ann. pay. 2900547 13437 81511 153953 263991 512892 1084114 552649 2149655 750892 2853699 13662 80946 158226 245110 497944 1070959 537114 2106017 747682 2822278 28597 82217 141718 244062 496594 1003362 543887 2043843 778435 2511862 13031 75668 127350 219867 435916 895332 522495 1853743 658119 2199934 7993 71344 120547 205039 404923 808798 435819 1649540 550394 32312 rec. 5705861 28038 203348 312055 513323 1056764 1928620 1116923 4102307 1603554 32411 firms 155 18 23 9 7 57 24 19 100 55 145 10 20 11 13 54 21 21 96 49 162 20 22 15 12 69 21 19 109 53 165 15 29 15 12 71 22 23 116 49 202 22 44 27 13 106 24 23 153 49 32411 estab. 304 18 23 9 7 57 25 24 106 198 292 10 20 11 13 54 21 24 99 193 298 20 22 15 12 69 22 21 112 186 302 15 29 15 12 71 23 28 122 180 349 22 44 28 13 107 29 28 164 185 32411 empl. 69491 0 45 62 85 192 1091 2716 3999 65492 65813 0 52 70 190 312 1026 3217 4555 61258 66422 0 49 94 165 308 994 2697 3999 62423 63165 0 62 94 151 307 1039 3404 4750 58415 62132 0 89 177 188 454 1100 2870 4424 57708 32411 ann. pay. 4202766 16147 2108 1870 2988 23113 56077 140299 219489 3983277 4141531 828 1620 3785 6463 12696 56769 166797 236262 3905269 4461494 8245 1471 4941 10757 25414 51607 152449 229470 4232024 4414025 4408 1926 3160 5350 14844 53462 210278 278584 4135441 4569613 4211 2940 6044 8119 21314 60542 170845 252701 4316912 32411 rec. 195751999 54361 139722 155120 172047 521250 2782031 4499806 7803087 187948912 32412 firms 662 24 128 120 94 366 156 82 604 58 645 27 114 121 88 350 159 72 581 64 617 29 114 101 84 328 147 76 551 66 630 40 123 95 88 346 151 71 568 62 617 31 131 101 84 347 138 69 554 63 32412 estab. 1452 24 128 121 99 372 227 251 850 602 1483 27 114 122 92 355 224 217 796 687 1463 29 114 102 85 330 215 219 764 699 1520 40 123 97 90 350 229 220 799 721 1537 31 131 101 92 355 217 214 786 751 32412 empl. 26947 0 317 821 1234 2372 5055 4505 11932 15015 29041 0 265 826 1094 2185 5266 4052 11503 17538 28510 0 266 705 1070 2041 4562 5156 11759 16751 27248 0 295 651 1125 2071 4977 5106 12154 15094 25806 0 311 682 1054 2047 4557 4764 11368 14438 32412 ann. pay. 1180411 1822 16595 38345 64634 121396 232570 198433 552399 628012 1293140 1836 14935 43497 51283 111551 239040 193033 543624 749516 1276088 2193 15607 33372 53601 104773 204258 219517 528548 747540 1296100 2032 20687 34622 63155 120496 224619 246526 591641 704459 1272406 1873 26005 38020 59596 125494 220138 250134 595766 676640 32412 rec. 13811101 17854 242995 348091 457985 1066925 1779457 1900253 4746635 9064466 32419 firms 388 29 102 49 54 234 78 30 342 46 379 20 111 49 51 231 77 30 338 41 383 25 107 46 58 236 73 29 338 45 365 18 98 56 49 221 70 28 319 46 341 13 87 46 54 200 73 28 301 40 32419 estab. 465 29 102 49 54 234 86 60 380 85 451 20 111 49 51 231 85 59 375 76 449 25 107 46 58 236 77 50 363 86 431 18 98 56 49 221 74 50 345 86 410 13 87 46 54 200 77 50 327 83 32419 empl. 14562 0 223 329 771 1323 3075 3405 7803 6759 14250 0 234 319 699 1252 2994 3377 7623 6627 14291 0 211 283 792 1286 2859 3065 7210 7081 13157 0 192 358 662 1212 2556 2742 6510 6647 12465 0 193 302 713 1208 2662 2703 6573 5892 32419 ann. pay. 614022 17966 7891 11992 37935 75784 126349 128413 330546 283476 623553 2310 7760 13684 31990 55744 127829 156760 340333 283220 648143 1190 7927 10752 40076 59945 118660 137144 315749 332394 625799 1235 7288 12798 35156 56477 117742 134336 308555 317244 614402 1631 6940 12736 36791 58098 128882 128779 315759 298643 32419 rec. 7061284 9123 53966 75086 192382 330557 966100 1353836 2650493 4410791 32511 firms 41 1 4 4 2 11 4 6 21 20 37 0 1 1 4 6 4 7 17 20 37 0 2 1 3 6 3 9 18 19 37 1 1 0 4 6 4 8 18 19 39 2 6 2 3 13 3 8 24 15 32511 estab. 58 1 4 4 2 11 6 8 25 33 53 0 1 1 4 6 5 9 20 33 56 0 2 1 3 6 3 14 23 33 53 1 1 0 4 6 4 11 21 32 58 2 6 2 3 13 3 13 29 29 32511 empl. 11259 [a] [a] 31 [b] 72 170 878 1120 10139 10826 0 [a] [a] [b] 59 131 842 1032 9794 10689 0 [a] [a] 42 56 91 934 1081 9608 9961 [a] [a] 0 [b] 57 190 873 1120 8841 10449 [a] [a] [a] 43 70 94 662 826 9623 32511 ann. pay. 702422 (D) (D) 1001 (D) 2568 7659 58726 68953 633469 688004 0 (D) (D) (D) 3363 6532 59164 69059 618945 670788 0 (D) (D) 4295 4460 4761 71384 80605 590183 696167 (D) (D) 0 (D) 4018 12445 59145 75608 620559 763357 (D) (D) (D) 2534 3422 6264 30764 40450 722907 32511 rec. 20967769 (D) (D) (D) 15031 (D) 90163 415600 550518 20417251 32512 firms 118 6 45 13 9 73 15 8 96 22 112 9 33 17 9 68 15 6 89 23 116 10 41 15 6 72 14 9 95 21 112 9 36 13 8 66 20 6 92 20 87 4 25 13 7 49 12 8 69 18 32512 estab. 647 6 45 13 9 73 18 13 104 543 637 9 33 17 9 68 18 17 103 534 623 10 41 15 6 72 14 26 112 511 586 9 36 13 8 66 26 13 105 481 551 4 25 13 7 49 20 20 89 462 32512 empl. 12881 [a] [c] 80 [b] 278 356 221 855 12026 11562 0 [b] 111 [c] 285 317 571 1173 10389 12032 0 90 106 68 264 349 652 1265 10767 11212 [a] [b] 91 [c] 278 633 246 1157 10055 9557 [a] [b] 88 89 240 394 709 1343 8214 32512 ann. pay. 603967 (D) (D) 3140 (D) 8765 11106 7301 27172 576795 571509 365 (D) 3694 (D) 9774 10483 23020 43277 528232 611550 1328 2695 3768 1494 9285 11139 24619 45043 566507 612718 (D) (D) 2553 (D) 10244 25266 7380 42890 569828 569743 (D) (D) 3612 3261 9124 25184 31509 65817 503926 32512 rec. 5780466 (D) (D) 21904 34187 (D) 331165 107920 514022 5266444 32513 firms 155 8 24 13 18 63 39 18 120 35 152 8 22 11 23 64 37 18 119 33 152 10 23 15 15 63 42 16 121 31 150 6 24 20 19 69 35 19 123 27 152 11 22 20 18 71 40 15 126 26 32513 estab. 204 8 24 13 18 63 43 25 131 73 201 8 22 11 23 64 42 25 131 70 204 10 23 15 15 63 49 24 136 68 202 6 24 20 19 69 41 27 137 65 198 11 22 20 18 71 45 24 140 58 32513 empl. 17433 0 54 89 252 395 1406 3234 5035 12398 16803 0 [b] [b] 328 456 1350 3362 5168 11635 16336 0 [b] [b] 196 343 1585 3120 5048 11288 15483 0 52 145 249 446 1390 2891 4727 10756 14632 [a] [b] [c] 238 422 1483 2846 4751 9881 32513 ann. pay. 823845 491 1507 4253 9531 15782 56117 154203 226102 597743 804870 454 (D) (D) 12925 18212 54670 168531 241413 563457 853194 1530 (D) (D) 7573 16213 66599 164836 247648 605546 801304 426 1651 6116 9416 17609 59249 147245 224103 577201 761956 (D) (D) (D) 11170 19574 67337 140107 227018 534938 32513 rec. 6062160 (D) (D) (D) 68647 (D) 463542 863111 1448718 4613442 32518 firms 427 27 75 52 40 194 89 49 332 95 428 27 75 49 47 198 86 52 336 92 426 15 86 38 55 194 93 47 334 92 427 15 81 49 49 194 96 48 338 89 396 14 59 43 49 165 97 46 308 88 32518 estab. 724 27 75 54 40 196 101 94 391 333 734 27 75 49 49 200 100 91 391 343 730 15 86 38 57 196 112 79 387 343 727 15 81 49 51 196 122 83 401 326 674 14 59 43 51 167 116 79 362 312 32518 empl. 63672 0 191 346 525 1062 3590 4814 9466 54206 62202 0 194 310 620 1124 3418 5413 9955 52247 59952 0 200 240 723 1163 3712 5063 9938 50014 57605 0 190 316 675 1181 3814 5476 10471 47134 56036 0 143 277 658 1078 3675 5041 9794 46242 32518 ann. pay. 3293604 17044 7009 13423 22055 59531 158243 230053 447827 2845777 3296368 1121 6507 11816 28406 47850 150202 266520 464572 2831796 3309015 1422 7668 9233 29313 47636 169126 261073 477835 2831180 3339424 2868 7196 15707 26395 52166 178338 292759 523263 2816161 3350881 1335 7623 11001 30144 50103 183005 265392 498500 2852381 32518 rec. 19400040 8414 50389 71530 191859 322192 1348835 1934666 3605693 15794347 32519 firms 579 30 98 59 54 241 123 77 441 138 552 22 89 58 61 230 123 65 418 134 553 32 102 48 56 238 125 61 424 129 559 21 119 47 58 245 130 61 436 123 559 35 105 44 59 243 126 66 435 124 32519 estab. 830 30 98 59 54 241 129 100 470 360 817 22 89 58 62 231 129 91 451 366 818 32 102 48 57 239 130 84 453 365 815 21 120 47 58 246 138 85 469 346 806 35 105 44 60 244 132 95 471 335 32519 empl. 101618 0 220 401 738 1359 4808 8258 14425 87193 95561 0 197 394 846 1437 4741 7523 13701 81860 92970 0 239 327 753 1319 4845 7261 13425 79545 88988 0 268 305 797 1370 5029 7089 13488 75500 82290 0 242 297 822 1361 4746 7267 13374 68916 32519 ann. pay. 5678686 2420 9260 13813 34704 60197 218510 432777 711484 4967202 5412581 1214 8885 14778 36745 61622 225434 389252 676308 4736273 5433796 2741 11226 12887 32299 59153 244341 405612 709106 4724690 5321422 1988 11164 14998 39064 67214 247976 401519 716709 4604713 5071085 4803 12549 13643 37547 68542 234650 393655 696847 4374238 32519 rec. 54807720 79566 118457 117463 620145 935631 1863403 3597183 6396217 48411503 32521 firms 426 37 46 38 47 168 114 47 329 97 449 44 65 39 55 203 107 47 357 92 462 29 75 53 50 207 118 46 371 91 494 39 83 55 62 239 116 50 405 89 564 37 126 63 63 289 131 52 472 92 32521 estab. 708 37 46 38 47 168 116 74 358 350 737 44 65 39 55 203 111 73 387 350 746 29 75 53 50 207 121 73 401 345 783 39 83 55 62 239 121 81 441 342 858 37 127 63 64 291 148 83 522 336 32521 empl. 75339 0 98 261 679 1038 4845 6254 12137 63202 74863 0 142 257 724 1123 4639 6303 12065 62798 76517 0 168 349 657 1174 5130 6757 13061 63456 72565 [a] [c] 360 817 1346 4930 7341 13617 58948 70229 [a] [e] 422 842 1538 5444 8359 15341 54888 32521 ann. pay. 4047060 6299 3234 9181 23902 42616 179760 252717 475093 3571967 4165459 7410 3349 9335 25764 45858 247206 269939 563003 3602456 4433612 3150 4164 11604 23870 42788 205072 315860 563720 3869892 4255069 (D) (D) 12537 29276 72771 195179 358263 626213 3628856 4155326 (D) (D) 16032 31154 66624 220999 419445 707068 3448258 32521 rec. 53853663 (D) (D) 130381 236471 (D) 1942684 5824548 8327234 45526429 32522 firms 73 5 9 5 4 23 13 9 45 28 74 5 9 4 5 23 9 12 44 30 76 3 15 4 4 26 10 10 46 30 81 7 13 4 3 27 16 11 54 27 75 5 9 5 8 27 15 10 52 23 32522 estab. 112 5 9 5 4 23 14 11 48 64 114 5 9 4 5 23 11 14 48 66 117 3 15 4 6 28 12 11 51 66 123 7 13 4 3 27 16 21 64 59 111 5 9 5 8 27 15 22 64 47 32522 empl. 38858 0 20 36 64 120 641 1519 2280 36578 38804 0 21 24 70 115 296 1821 2232 36572 37056 0 26 28 54 108 392 1571 2071 34985 35298 [a] [b] 28 36 90 754 2018 2862 32436 26579 [a] [a] 34 112 163 800 2084 3047 23532 32522 ann. pay. 1548426 325 396 745 1667 3133 24960 49352 77445 1470981 1637033 253 526 544 1603 2926 8484 61013 72423 1564610 1543814 155 1623 551 1855 4184 11320 47251 62755 1481059 1405008 (D) (D) 1292 1145 12675 24457 58364 95496 1309512 1140854 (D) (D) 1261 5898 10552 29949 64293 104794 1036060 32522 rec. 9476719 (D) (D) 7296 35645 (D) 186139 396835 666812 8809907 32531 firms 501 37 135 98 65 335 96 32 463 38 491 34 141 98 55 328 88 36 452 39 476 27 133 100 61 321 85 36 442 34 492 36 130 103 67 336 83 37 456 36 511 35 136 107 60 338 99 38 475 36 32531 estab. 682 37 135 98 65 335 105 67 507 175 684 36 141 98 55 330 95 82 507 177 665 27 133 100 61 321 99 78 498 167 704 36 130 103 68 337 99 83 519 185 727 35 136 108 61 340 122 82 544 183 32531 empl. 23543 [a] [e] 668 856 1860 3441 3373 8674 14869 22906 0 332 651 725 1708 2871 3518 8097 14809 21673 0 300 670 812 1782 3043 3230 8055 13618 21329 0 294 661 916 1871 3017 3024 7912 13417 20246 0 318 708 738 1764 3254 3083 8101 12145 32531 ann. pay. 968633 (D) (D) 17553 23073 50534 99914 118650 269098 699535 977706 4492 9635 19516 21182 54825 85414 131180 271419 706287 942012 906 7816 20391 22368 51481 93838 118211 263530 678482 941240 2882 8783 19352 27453 58470 96466 113523 268459 672781 950308 2371 9958 24366 21407 58102 111411 123724 293237 657071 32531 rec. 10403498 19898 91569 193565 186436 491468 865922 1191752 2549142 7854356 32532 firms 228 20 57 35 29 141 30 23 194 34 217 12 61 32 25 130 36 22 188 29 206 12 55 25 31 123 31 22 176 30 212 13 54 29 28 124 37 21 182 30 198 14 44 30 26 114 33 19 166 32 32532 estab. 266 20 57 35 29 141 32 30 203 63 256 12 61 32 25 130 39 28 197 59 250 12 55 25 31 123 32 28 183 67 246 13 54 29 28 124 38 27 189 57 235 14 44 30 26 114 34 25 173 62 32532 empl. 14709 [a] [c] 240 401 762 1109 2351 4222 10487 14443 0 142 220 340 702 1349 1901 3952 10491 14609 0 110 153 418 681 967 2308 3956 10653 14319 0 123 186 380 689 1219 2107 4015 10304 14021 0 98 195 363 656 1102 2127 3885 10136 32532 ann. pay. 711929 (D) (D) 8178 12998 40237 34901 91062 166200 545729 710109 376 3598 8202 11958 24134 50253 74490 148877 561232 757800 650 4157 5520 14610 24937 35567 80448 140952 616848 719040 3611 3743 7220 14262 28836 47231 75877 151944 567096 699252 451 3634 8095 13570 25750 47274 75889 148913 550339 32532 rec. 10402745 5559 47803 89559 155998 298919 425414 950999 1675332 8727413 32541 firms 1467 107 339 210 191 847 328 157 1332 135 1481 82 364 217 189 852 333 158 1343 138 1476 105 333 232 180 850 329 160 1339 137 1470 92 354 219 183 848 328 162 1338 132 1411 89 312 205 206 812 295 168 1275 136 32541 estab. 1812 107 339 210 192 848 339 201 1388 424 1830 82 364 217 190 853 344 202 1399 431 1823 105 333 232 181 851 343 192 1386 437 1825 93 354 219 185 851 339 197 1387 438 1779 89 313 205 208 815 309 208 1332 447 32541 empl. 217111 0 744 1435 2621 4800 14505 25578 44883 172228 218804 0 817 1464 2560 4841 14593 27073 46507 172297 227461 0 736 1555 2436 4727 13946 26413 45086 182375 233503 0 811 1483 2485 4779 14722 27824 47325 186178 237905 0 705 1385 2728 4818 13214 27747 45779 192126 32541 ann. pay. 12590376 18563 29604 56902 104331 209400 568405 1115363 1893168 10697208 13009695 34797 34149 57411 99530 225887 602754 1282926 2111567 10898128 13276262 14601 36947 65583 109183 226314 605506 1211330 2043150 11233112 14585333 7885 44339 65918 98934 217076 676263 1364284 2257623 12327710 15878156 21416 45494 56260 117405 240575 617813 1505507 2363895 13514261 32541 rec. 143323970 154363 343229 350743 732609 1580944 3024571 9065270 13670785 129653185 32551 firms 1140 44 290 204 216 754 250 72 1076 64 1155 68 290 195 220 773 247 72 1092 63 1156 72 284 202 219 777 251 69 1097 59 1192 60 320 199 220 799 263 71 1133 59 1107 70 285 185 217 757 223 72 1052 55 32551 estab. 1428 44 290 204 216 754 282 118 1154 274 1448 68 290 195 220 773 277 114 1164 284 1441 72 284 202 220 778 285 112 1175 266 1463 60 320 199 221 800 292 119 1211 252 1363 70 285 185 218 758 258 113 1129 234 32551 empl. 52935 0 694 1363 2921 4978 9143 8957 23078 29857 53048 0 669 1285 2983 4937 9008 8652 22597 30451 53235 0 662 1349 3023 5034 9441 7921 22396 30839 50727 0 697 1324 2967 4988 9344 8301 22633 28094 47329 0 665 1211 2986 4862 8170 7782 20814 26515 32551 ann. pay. 2184193 2201 19832 48896 98096 169025 338780 348245 856050 1328143 2245750 4144 20427 42063 101147 167781 361307 337507 866595 1379155 2289601 3419 20812 45530 103013 172774 377280 313940 863994 1425607 2202951 3285 21304 43109 107015 174713 370225 331363 876301 1326650 2104491 7663 24531 44321 107660 184175 337149 323879 845203 1259288 32551 rec. 20395969 76416 162634 276905 585905 1101860 1852047 2346525 5300432 15095537 32552 firms 528 29 137 102 76 344 91 39 474 54 515 25 144 87 69 325 101 38 464 51 511 22 118 99 83 322 103 39 464 47 491 18 124 97 73 312 93 37 442 49 468 14 117 96 62 289 93 41 423 45 32552 estab. 682 29 137 102 76 344 101 78 523 159 671 27 144 87 69 327 112 75 514 157 664 22 118 99 83 322 115 74 511 153 635 18 124 97 73 312 103 64 479 156 603 14 117 96 62 289 106 74 469 134 32552 empl. 21968 0 325 691 1065 2081 3835 4694 10610 11358 22034 0 339 562 887 1788 4029 4637 10454 11580 22450 0 265 659 1083 2007 4249 4585 10841 11609 22208 0 301 657 984 1942 3824 4326 10092 12116 21058 0 281 645 827 1753 3705 5311 10769 10289 32552 ann. pay. 912912 1317 9582 24477 44081 79457 151563 186913 417933 494979 969861 13444 12587 20349 35460 81840 171724 193405 446969 522892 1039339 1087 10735 24982 45823 82627 185056 218866 486549 552790 988106 979 10287 26499 41753 79518 173804 191878 445200 542906 954969 2400 10984 27167 41936 82487 168697 230849 482033 472936 32552 rec. 7361310 15464 66925 166929 205152 454470 943060 1454582 2852112 4509198 32561 firms 1597 103 509 300 235 1147 278 81 1506 91 1534 84 473 314 236 1107 254 87 1448 86 1515 97 472 290 228 1087 265 80 1432 83 1457 87 470 279 221 1057 247 79 1383 74 1398 76 466 268 193 1003 249 74 1326 72 32561 estab. 1765 103 509 301 235 1148 303 119 1570 195 1701 84 473 315 237 1109 272 131 1512 189 1684 97 473 290 230 1090 283 117 1490 194 1624 87 471 279 224 1061 266 115 1442 182 1560 76 466 268 194 1004 272 109 1385 175 32561 empl. 63155 0 1202 2044 3174 6420 10633 12062 29115 34040 62173 0 1058 2109 3235 6402 9783 11960 28145 34028 61122 0 1043 1959 3179 6181 10459 11962 28602 32520 58357 0 1077 1841 3002 5920 9739 11036 26695 31662 54035 0 1039 1792 2651 5482 9569 10708 25759 28276 32561 ann. pay. 2565322 18173 32886 60731 98362 210152 399931 407085 1017168 1548154 2604853 8122 30753 64504 112800 216179 383957 417639 1017775 1587078 2704813 9925 30903 59881 114916 215625 414521 437467 1067613 1637200 2618589 7267 29327 59015 104783 200392 399112 435183 1034687 1583902 2605192 84511 30005 58561 104256 277333 425863 393976 1097172 1508020 32561 rec. 33714820 1134472 308265 555751 744159 2742647 2412054 2571765 7726466 25988354 32562 firms 712 82 178 96 97 453 139 67 659 53 708 58 188 111 96 453 137 64 654 54 700 55 178 118 97 448 135 63 646 54 697 45 184 107 98 434 149 61 644 53 726 54 214 110 90 468 149 60 677 49 32562 estab. 763 82 178 96 97 453 139 77 669 94 761 58 188 111 96 453 139 76 668 93 755 55 178 118 97 448 136 74 658 97 759 45 184 107 98 434 149 74 657 102 794 54 214 110 90 468 150 71 689 105 32562 empl. 65041 0 395 653 1340 2388 6072 12946 21406 43635 63031 0 451 765 1315 2531 6060 11653 20244 42787 63475 0 402 807 1349 2558 5745 11271 19574 43901 60705 0 417 713 1319 2449 6510 10543 19502 41203 56647 0 476 743 1229 2448 6595 10253 19296 37351 32562 ann. pay. 2344859 4768 20927 20234 35957 81886 208868 401811 692565 1652294 2299115 6363 13665 22737 40304 83069 208145 377430 668644 1630471 2443832 5359 12356 29769 43555 91039 202051 395387 688477 1755355 2422135 9147 14471 43562 45371 112551 230043 393069 735663 1686472 2289864 4253 16737 30871 42047 93908 251625 392815 738348 1551516 32562 rec. 31679852 55992 139839 225609 268840 690280 1684379 2617304 4991963 26687889 32591 firms 254 11 45 54 41 151 61 22 234 20 244 12 45 42 42 141 60 23 224 20 245 10 54 39 48 151 51 24 226 19 230 8 41 41 47 137 52 23 212 18 226 6 48 36 48 138 51 20 209 17 32591 estab. 564 11 45 54 41 151 85 108 344 220 541 12 45 42 42 141 77 116 334 207 533 10 54 39 48 151 63 123 337 196 505 8 41 41 48 138 66 117 321 184 501 16 48 36 50 150 75 115 340 161 32591 empl. 13494 [a] [c] 363 [f] 1059 2421 2585 6065 7429 13311 [a] [c] 276 567 950 2184 2836 5970 7341 13050 [a] [c] 262 696 1089 1924 2981 5994 7056 12886 0 95 255 633 983 2127 3082 6192 6694 12001 [a] [c] 244 [f] 991 2033 3013 6037 5964 32591 ann. pay. 554750 (D) (D) 12584 (D) 37879 101796 102315 241990 312760 591828 (D) (D) 9686 21044 35531 99015 120261 254807 337021 553991 (D) (D) 8910 29189 44932 83416 129378 257726 296265 587216 1191 4422 8736 26478 40827 103984 135158 279969 307247 556363 (D) (D) 9470 (D) 43275 102681 134577 280533 275830 32591 rec. 4174624 (D) (D) 54828 (D) (D) 485943 925764 1683276 2491348 32592 firms 62 4 13 7 2 26 15 11 52 10 59 1 13 6 3 23 13 12 48 11 57 2 11 4 3 20 13 12 45 12 63 8 10 3 3 24 17 11 52 11 61 2 11 9 2 24 14 11 49 12 32592 estab. 99 4 13 7 2 26 15 18 59 40 95 1 13 6 3 23 13 20 56 39 92 2 11 4 3 20 13 17 50 42 100 8 10 3 3 24 17 18 59 41 92 2 11 9 2 24 14 17 55 37 32592 empl. 7773 [a] [b] 50 [b] 111 627 1617 2355 5418 7806 [a] [b] 39 35 101 449 1698 2248 5558 7504 [a] [b] 28 41 92 484 1322 1898 5606 7325 0 23 20 39 82 617 1038 1737 5588 6304 [a] [b] 64 [b] 111 474 1094 1679 4625 32592 ann. pay. 278163 (D) (D) 1760 (D) 4916 19022 56531 80469 197694 289511 (D) (D) 1781 836 4457 16352 60223 81032 208479 288003 (D) (D) 1337 1436 4725 17356 42826 64907 223096 276290 993 775 1083 1015 3866 21424 35933 61223 215067 262041 (D) (D) 2391 (D) 4626 16308 41985 62919 199122 32592 rec. 1111244 (D) (D) 8792 (D) (D) 83100 224320 323543 787701 32599 firms 1941 124 461 317 329 1231 407 131 1769 172 1930 134 441 325 305 1205 415 134 1754 176 1903 123 463 290 315 1191 407 138 1736 167 1893 123 478 284 291 1176 413 146 1735 158 1876 123 482 306 294 1205 372 147 1724 152 32599 estab. 2253 124 461 318 332 1235 426 180 1841 412 2254 134 442 325 308 1209 435 181 1825 429 2225 123 464 290 318 1195 422 194 1811 414 2211 123 479 284 294 1180 425 201 1806 405 2186 123 483 308 296 1210 389 202 1801 385 32599 empl. 99917 0 1095 2157 4490 7742 15413 13851 37006 62911 98177 0 1005 2237 4211 7453 15373 13277 36103 62074 95717 0 1059 1938 4231 7228 14985 15502 37715 58002 97290 0 1064 1886 3923 6873 15347 15842 38062 59228 88112 0 1067 2018 3996 7081 13338 15240 35659 52453 32599 ann. pay. 4314380 13829 32828 68266 156982 271905 553173 531862 1356940 2957440 4464021 24698 32181 72667 155637 285183 592588 518109 1395880 3068141 4458127 16516 35573 62786 161181 276056 598014 623949 1498019 2960108 4622774 6905 35655 65791 154522 262873 622276 684780 1569929 3052845 4316727 9349 38042 73456 165524 286371 573150 660620 1520141 2796586 32599 rec. 35294692 62183 233878 429011 910219 1635291 3391941 4622554 9649786 25644906 32611 firms 1234 49 176 159 178 562 388 162 1112 122 1192 38 179 148 173 538 372 162 1072 120 1173 45 169 135 184 533 361 161 1055 118 1144 42 185 121 174 522 350 151 1023 121 1093 44 184 123 161 512 333 134 979 114 32611 estab. 1481 49 176 159 178 562 400 202 1164 317 1460 38 179 148 173 538 383 208 1129 331 1460 45 169 135 184 533 371 201 1105 355 1440 42 185 121 175 523 361 196 1080 360 1395 44 184 124 162 514 345 171 1030 365 32611 empl. 112154 0 432 1099 2466 3997 18209 26200 48406 63748 108987 0 423 1034 2377 3834 17410 25611 46855 62132 111704 0 397 925 2569 3891 16806 24843 45540 66164 108464 0 452 825 2409 3686 16431 22768 42885 65579 100385 0 456 854 2197 3507 15320 19196 38023 62362 32611 ann. pay. 3858609 5063 11954 29694 73631 120342 572223 814966 1507531 2351078 3958064 9228 14157 27890 71677 122952 562985 901528 1587465 2370599 4103091 6512 13269 24334 77515 121630 544400 839709 1505739 2597352 4049902 4067 13883 22087 71251 111288 540014 771684 1422986 2626916 3917179 5382 14325 24666 72748 117121 558257 680438 1355816 2561363 32611 rec. 25603823 42997 99121 151792 398182 692092 3102210 3852422 7646724 17957099 32612 firms 1016 36 224 166 154 580 255 94 929 87 978 33 212 143 156 544 247 98 889 89 941 36 194 137 138 505 255 101 861 80 924 29 179 150 142 500 246 98 844 80 904 31 173 161 139 504 231 95 830 74 32612 estab. 1203 36 224 166 154 580 276 127 983 220 1176 36 212 143 156 547 263 135 945 231 1141 36 194 137 138 505 272 142 919 222 1125 29 179 150 142 500 260 145 905 220 1092 32 173 161 139 505 252 135 892 200 32612 empl. 48436 0 526 1114 2122 3762 11457 11714 26933 21503 49496 0 496 938 2078 3512 10831 12610 26953 22543 50200 0 483 900 1892 3275 11254 13205 27734 22466 49083 0 430 986 1980 3396 10777 12925 27098 21985 45458 0 392 1080 1902 3374 10224 11034 24632 20826 32612 ann. pay. 1519124 3133 15589 25884 56990 101596 323449 352298 777343 741781 1636209 6128 15076 25322 58635 105161 326358 393157 824676 811533 1680767 3789 17676 25982 57959 105406 346782 413452 865640 815127 1608836 2216 13045 26526 55850 97637 325740 393636 817013 791823 1634457 1326 13110 32353 63115 109904 357993 369952 837849 796608 32612 rec. 9823907 11445 74516 150468 302804 539233 1531656 1995449 4066338 5757569 32613 firms 434 28 137 96 75 336 61 12 409 25 418 25 128 96 68 317 60 15 392 26 409 22 107 90 72 291 76 16 383 26 400 20 109 87 64 280 73 19 372 28 362 19 99 80 57 255 69 17 341 21 32613 estab. 448 28 137 96 75 336 63 15 414 34 432 25 128 96 68 317 62 18 397 35 426 22 107 90 72 291 78 19 388 38 417 20 109 87 64 280 74 22 376 41 377 19 99 80 57 255 70 23 348 29 32613 empl. 15691 0 343 614 991 1948 2291 1959 6198 9493 16012 0 310 624 916 1850 2283 2485 6618 9394 17239 0 255 589 985 1829 2912 2346 7087 10152 16695 0 254 574 860 1688 2814 2893 7395 9300 12910 0 234 537 773 1544 2694 2103 6341 6569 32613 ann. pay. 535563 3966 9321 14712 23612 51611 69459 68109 189179 346384 551110 1433 8930 16632 24844 51839 74793 82096 208728 342382 596112 2918 7810 15126 25574 51428 96233 79104 226765 369347 615983 8480 9517 14983 21442 54422 94299 96363 245084 370899 530698 2376 11148 16114 22581 52219 93693 83214 229126 301572 32613 rec. 2622467 7379 63060 81969 128082 280490 530828 446678 1257996 1364471 32614 firms 566 21 118 97 103 339 138 45 522 44 402 35 58 68 59 220 102 42 364 38 397 29 63 62 49 203 112 42 357 40 390 17 75 59 45 196 121 38 355 35 380 17 71 51 54 193 114 37 344 36 32614 estab. 774 21 118 97 103 339 147 111 597 177 575 35 58 68 60 221 106 95 422 153 569 29 63 62 49 203 115 99 417 152 566 17 75 59 45 196 124 98 418 148 551 17 71 51 54 193 123 85 401 150 32614 empl. 37070 0 294 650 1377 2321 5475 6756 14552 22518 31748 0 116 447 830 1393 4172 6172 11737 20011 33394 0 165 433 678 1276 4637 6612 12525 20869 31503 0 169 412 605 1186 4854 5653 11693 19810 30520 0 174 339 741 1254 4412 4735 10401 20119 32614 ann. pay. 1069200 1388 7873 15137 32739 57137 149281 197699 404117 665083 955269 4123 4955 11514 19098 39690 123485 185949 349124 606145 974221 2484 4687 10989 17871 36031 133253 201136 370420 603801 939688 4346 5807 11403 15166 36722 141413 169577 347712 591976 948640 3913 5760 10989 21566 42228 139251 151753 333232 615408 32614 rec. 6329984 29928 36249 59605 113053 238835 623209 832688 1694732 4635252 32615 firms 257 14 19 13 30 76 99 48 223 34 426 15 65 53 68 201 125 67 393 33 404 16 52 52 67 187 117 60 364 40 406 15 52 53 64 184 136 50 370 36 409 18 68 50 73 209 118 49 376 33 32615 estab. 416 14 19 13 30 76 102 69 247 169 630 15 65 53 68 201 133 101 435 195 608 16 52 52 67 187 125 88 400 208 610 15 52 53 64 184 149 76 409 201 610 18 69 50 73 210 133 73 416 194 32615 empl. 29820 0 43 89 425 557 4729 5922 11208 18612 37456 0 160 367 931 1458 5357 9462 16277 21179 37940 0 129 352 944 1425 5148 9009 15582 22358 35645 0 114 356 877 1347 6356 7534 15237 20408 33653 0 165 346 1010 1521 5446 6656 13623 20030 32615 ann. pay. 863862 5740 1075 2512 15434 24761 135460 178672 338893 524969 1105125 1182 4392 10508 26809 42891 148954 292387 484232 620893 1141000 922 4329 10602 28555 44408 149960 271759 466127 674873 1070156 1841 3071 10020 26281 41213 180925 234170 456308 613848 1094919 1305 5581 11636 32410 50932 164414 225401 440747 654172 32615 rec. 7169556 16013 46770 87272 172488 322543 771543 1063323 2157409 5012147 32616 firms 218 14 35 20 19 88 72 24 184 34 199 8 25 16 20 69 69 26 164 35 199 9 22 15 29 75 61 30 166 33 186 8 30 14 18 70 59 26 155 31 173 8 25 14 18 65 57 22 144 29 32616 estab. 486 14 35 20 19 88 73 59 220 266 489 8 25 16 20 69 71 55 195 294 481 9 22 15 29 75 61 62 198 283 459 8 30 14 18 70 61 46 177 282 459 8 25 14 18 65 59 42 166 293 32616 empl. 34874 0 77 133 280 490 3458 3957 7905 26969 37955 0 55 112 286 453 3339 4153 7945 30010 37488 0 46 95 412 553 2993 4820 8366 29122 35655 0 59 94 267 420 3009 3342 6771 28884 35168 0 58 89 243 390 3045 3058 6493 28675 32616 ann. pay. 1037326 1347 1378 3911 7529 14165 83813 105151 203129 834197 1177798 588 1828 3458 8581 14455 91416 123605 229476 948322 1164689 873 1399 2020 11057 15349 79798 135378 230525 934164 1188673 842 2967 2377 7211 13397 83921 91550 188868 999805 1222519 1308 1669 2206 7380 12563 91071 91488 195122 1027397 32616 rec. 8454314 8358 9394 13953 44974 76679 457894 455127 989700 7464614 32619 firms 7994 528 1339 998 1237 4102 2544 886 7532 462 7938 427 1386 1024 1229 4066 2499 901 7466 472 7699 389 1299 1022 1199 3909 2421 912 7242 457 7572 386 1358 955 1224 3923 2360 839 7122 450 7323 346 1348 1053 1203 3950 2186 763 6899 424 32619 estab. 9158 528 1339 999 1238 4104 2603 1179 7886 1272 9130 429 1386 1025 1231 4071 2544 1188 7803 1327 8903 393 1299 1024 1201 3917 2458 1200 7575 1328 8750 388 1359 956 1225 3928 2406 1115 7449 1301 8520 346 1348 1053 1206 3953 2262 1062 7277 1243 32619 empl. 545810 0 3062 6844 17424 27330 111364 148634 287328 258482 556718 0 3185 6984 17261 27430 110137 149291 286858 269860 557282 0 2976 6960 16780 26716 105852 150968 283536 273746 526801 0 3157 6541 16991 26689 101927 136080 264696 262105 486579 0 3220 7214 16724 27158 94708 122902 244768 241811 32619 ann. pay. 15583888 56638 82975 182053 485031 806697 3004567 4071084 7882348 7701540 16482968 56206 91650 201488 492473 841817 3074773 4248839 8165429 8317539 16743725 53354 80370 194406 505610 833740 3003599 4445361 8282700 8461025 16031607 57928 89625 189251 488785 825589 2948912 4035290 7809791 8221816 15739243 32149 96889 212478 507327 848843 2934509 3927320 7710672 8028571 32619 rec. 75987443 175405 601672 950236 2121168 3848481 11884168 17497325 33229974 42757469 32621 firms 701 43 302 102 89 536 92 47 675 26 665 44 277 97 76 494 94 50 638 27 635 43 255 96 75 469 88 51 608 27 597 33 242 90 74 439 81 53 573 24 494 22 173 77 61 333 89 51 473 21 32621 estab. 874 43 302 103 90 538 100 78 716 158 867 44 277 98 76 495 101 86 682 185 868 43 255 97 75 470 92 88 650 218 838 33 242 91 74 440 87 95 622 216 707 22 173 78 61 334 99 90 523 184 32621 empl. 72784 0 633 678 1196 2507 2147 4636 9290 63494 72608 0 598 636 999 2233 2365 5101 9699 62909 74325 [a] [f] 638 974 2152 2265 5011 9428 64897 72481 0 523 582 951 2056 2085 4577 8718 63763 68862 0 370 523 769 1662 2356 4160 8178 60684 32621 ann. pay. 3016771 1431 11867 13064 28665 55027 58284 121724 235035 2781736 3125341 1515 10729 12926 25405 50575 68708 137456 256739 2868602 3245451 (D) (D) 14059 24423 52321 64387 140631 257339 2988112 3117085 2821 13089 13133 22384 51427 61925 130472 243824 2873261 3140095 2262 8822 12716 20877 44677 72329 133975 250981 2889114 32621 rec. 14550226 6691 47508 66847 86990 208036 452330 691187 1351553 13198673 32622 firms 155 5 29 14 25 73 38 16 127 28 155 5 26 12 21 64 38 21 123 32 151 3 26 11 19 59 41 19 119 32 162 7 27 18 20 72 39 19 130 32 184 10 38 18 23 89 44 18 151 33 32622 estab. 222 5 29 14 27 75 44 26 145 77 225 5 26 12 23 66 43 35 144 81 217 3 26 11 21 61 46 30 137 80 228 7 27 18 22 74 43 26 143 85 257 10 38 19 24 91 52 25 168 89 32622 empl. 23454 0 67 94 345 506 1767 2436 4709 18745 24803 0 58 85 309 452 1549 2977 4978 19825 24502 [a] [b] 73 258 391 1644 2557 4592 19910 23553 0 60 119 265 444 1598 2371 4413 19140 22201 0 91 110 301 502 1915 2124 4541 17660 32622 ann. pay. 755288 1292 1941 2837 11613 17683 54958 83824 156465 598823 813891 375 1496 2860 10316 15047 50394 92671 158112 655779 807403 (D) (D) 2254 8301 11976 56815 83431 152222 655181 758799 572 1315 3566 8217 13670 53568 78940 146178 612621 772799 1529 1957 3765 9902 17153 67734 72561 157448 615351 32622 rec. 3973031 7145 10360 19321 50237 87063 337814 388733 813610 3159421 32629 firms 1411 65 241 191 219 716 412 155 1283 128 1372 54 245 185 224 708 384 153 1245 127 1332 45 228 176 198 647 406 150 1203 129 1274 29 213 180 190 612 388 147 1147 127 1250 52 216 187 182 637 365 132 1134 116 32629 estab. 1690 65 241 191 219 716 437 227 1380 310 1662 54 245 185 224 708 406 221 1335 327 1619 45 228 176 199 648 430 221 1299 320 1548 29 213 181 191 614 409 212 1235 313 1494 52 216 187 182 637 390 195 1222 272 32629 empl. 110292 0 553 1309 3029 4891 17045 24953 46889 63403 111152 0 570 1265 3054 4889 15906 24557 45352 65800 112433 0 541 1198 2682 4421 17246 23993 45660 66773 102623 0 510 1223 2604 4337 16295 23207 43839 58784 89871 0 494 1305 2455 4254 14794 19973 39021 50850 32629 ann. pay. 3323695 4093 13819 33915 78288 130115 501338 715655 1347108 1976587 3544833 7351 16450 33502 84607 141910 485300 725089 1352299 2192534 3653639 8293 14366 33997 78499 135155 533210 723878 1392243 2261396 3260627 2027 14706 34411 72068 123212 507432 686603 1317247 1943380 3035502 13744 22632 37630 77934 151940 496412 619323 1267675 1767827 32629 rec. 14862996 79840 100926 162977 293831 637574 1938255 2836716 5412545 9450451 32711 firms 1144 114 481 164 126 885 160 58 1103 41 1125 98 468 181 112 859 167 56 1082 43 1062 99 422 170 104 795 171 55 1021 41 1052 94 429 166 109 798 159 51 1008 44 966 108 371 179 90 748 131 42 921 45 32711 estab. 1191 116 481 164 126 887 163 69 1119 72 1173 98 470 181 112 861 169 70 1100 73 1107 99 424 170 104 797 175 67 1039 68 1092 94 429 166 109 798 163 59 1020 72 1006 108 371 179 90 748 135 50 933 73 32711 empl. 39610 0 974 1102 1714 3790 6780 9818 20388 19222 38514 0 941 1200 1577 3718 6645 9740 20103 18411 38641 0 834 1118 1428 3380 6845 9765 19990 18651 36944 0 868 1058 1460 3386 6496 8180 18062 18882 33866 0 759 1192 1203 3154 5249 7013 15416 18450 32711 ann. pay. 1113666 5619 13360 17600 29124 65703 162092 241537 469332 644334 1126262 2626 14051 21636 30244 68557 165771 269629 503957 622305 1166867 2022 12085 21556 30498 66161 173050 283343 522554 644313 1092849 9456 13819 19099 28889 71263 156103 228262 455628 637221 1034741 2546 11389 23686 27643 65264 144626 198757 408647 626094 32711 rec. 3673630 10772 37870 79985 76504 205131 383495 745419 1334045 2339585 32712 firms 547 42 134 73 59 308 133 58 499 48 536 32 124 83 56 295 134 60 489 47 531 28 119 78 69 294 125 65 484 47 544 33 121 91 62 307 136 58 501 43 527 31 132 81 62 306 131 53 490 37 32712 estab. 749 42 134 73 59 308 139 92 539 210 737 32 124 83 56 295 140 94 529 208 732 28 119 78 69 294 131 101 526 206 741 33 121 91 62 307 147 90 544 197 708 31 132 81 62 306 145 77 528 180 32712 empl. 37655 0 316 494 797 1607 6004 8280 15891 21764 37158 0 282 548 745 1575 5967 7860 15402 21756 37623 0 272 523 950 1745 5486 9075 16306 21317 36595 0 267 599 823 1689 6016 7872 15577 21018 31980 0 299 530 848 1677 5668 6720 14065 17915 32712 ann. pay. 1168595 3286 7451 11554 23224 45515 174329 247878 467722 700873 1219728 4272 7156 12398 23359 47185 183366 261749 492300 727428 1244905 1245 6808 11996 28591 48640 172670 298299 519609 725296 1223672 1733 6751 15752 22671 46907 184273 265022 496202 727470 1128879 1754 7417 14432 28727 52330 196633 240850 489813 639066 32712 rec. 5360696 9359 35721 60569 137979 243628 799609 1108129 2151366 3209330 32721 firms 1976 183 770 340 224 1517 281 83 1881 95 2074 217 813 367 233 1630 275 90 1995 79 2045 166 807 367 249 1589 288 81 1958 87 2041 165 796 390 224 1575 289 82 1946 95 1879 155 753 343 194 1445 262 88 1795 84 32721 estab. 2258 183 770 340 224 1517 290 103 1910 348 2370 217 813 367 235 1632 286 113 2031 339 2340 167 807 368 249 1591 299 96 1986 354 2348 165 796 390 225 1576 299 100 1975 373 2190 155 753 343 194 1445 276 113 1834 356 32721 empl. 134626 0 1745 2251 3033 7029 11403 13157 31589 103037 129810 0 1792 2421 3176 7389 11342 13781 32512 97298 131237 0 1788 2417 3376 7581 12241 13224 33046 98191 129971 0 1712 2589 3086 7387 12023 12507 31917 98054 114794 0 1611 2298 2654 6563 10569 13186 30318 84476 32721 ann. pay. 4743200 14803 36604 51005 75275 177687 307848 369785 855320 3887880 4763912 17179 39882 55471 83818 196350 324008 404936 925294 3838618 4992941 10248 40092 60372 89732 200444 377932 435367 1013743 3979198 4826718 8068 39812 64213 84666 196759 347978 390115 934852 3891866 4404599 6925 36619 56404 74820 174768 333825 425850 934443 3470156 32721 rec. 22179763 33886 171726 235501 281444 722557 1251515 1786138 3760210 18419553 32731 firms 153 7 28 28 25 88 20 15 123 30 175 11 41 28 27 107 23 15 145 30 170 12 32 32 25 101 25 15 141 29 159 4 33 29 24 90 27 14 131 28 136 5 22 25 20 72 21 12 105 31 32731 estab. 257 7 28 28 25 88 26 22 136 121 273 11 41 28 27 107 27 22 156 117 268 12 32 32 25 101 29 21 151 117 260 4 33 29 24 90 31 20 141 119 253 5 22 25 20 72 29 22 123 130 32731 empl. 16775 0 59 201 325 585 549 1993 3127 13648 16915 0 91 207 350 648 642 1985 3275 13640 17076 0 70 228 334 632 861 1647 3140 13936 17227 0 69 205 315 589 834 1586 3009 14218 16905 0 47 178 268 493 735 1535 2763 14142 32731 ann. pay. 754211 1231 3770 7729 11942 24672 15408 95724 135804 618407 799451 1068 4083 7775 12288 25214 21597 88394 135205 664246 833287 903 4162 7575 12744 25384 31318 86390 143092 690195 877532 245 3393 6710 12722 23070 27151 104805 155026 722506 849855 234 2823 6704 10829 20590 26274 79705 126569 723286 32731 rec. 7251839 2721 22411 54339 103086 182557 172557 584059 939173 6312666 32732 firms 2809 139 520 477 568 1704 882 155 2741 68 2743 123 534 433 546 1636 879 155 2670 73 2645 106 510 398 523 1537 867 166 2570 75 2551 95 500 411 490 1496 829 153 2478 73 2522 143 457 400 493 1493 807 153 2453 69 32732 estab. 5242 139 521 480 597 1737 1330 954 4021 1221 5364 123 537 438 566 1664 1350 852 3866 1498 5414 106 513 405 536 1560 1298 837 3695 1719 5398 99 503 419 505 1526 1305 842 3673 1725 5471 145 459 405 517 1526 1322 887 3735 1736 32732 empl. 90691 0 1215 3228 7828 12271 32371 20904 65546 25145 95866 0 1251 2929 7564 11744 32349 20351 64444 31422 100239 0 1219 2722 7253 11194 32912 20360 64466 35773 101483 0 1182 2762 6778 10722 31749 19757 62228 39255 92497 0 1094 2712 6640 10446 31148 19564 61158 31339 32732 ann. pay. 3309854 13026 42360 93387 259779 408552 1177639 808058 2394249 915605 3617119 10779 43342 85998 258598 398717 1236926 812604 2448247 1168872 3739776 9145 39411 80015 235393 363964 1216387 771475 2351826 1387950 3917192 9032 38510 89590 237443 374575 1239182 808865 2422622 1494570 3735056 14967 36409 90023 236988 378387 1228744 800567 2407698 1327358 32732 rec. 21598968 80718 229231 486352 1204304 2000605 6297378 4370245 12668228 8930740 32733 firms 930 28 154 127 176 485 316 88 889 41 906 37 144 124 171 476 302 82 860 46 894 41 139 119 163 462 304 81 847 47 884 40 151 120 164 475 287 77 839 45 863 42 144 115 175 476 268 80 824 39 32733 estab. 1338 28 154 127 178 487 382 182 1051 287 1334 37 144 124 174 479 353 176 1008 326 1372 41 139 123 165 468 360 165 993 379 1362 41 151 122 166 480 339 168 987 375 1350 42 144 115 176 477 339 177 993 357 32733 empl. 32656 0 344 897 2467 3708 11952 7762 23422 9234 33964 0 326 866 2408 3600 11355 7703 22658 11306 36855 0 333 826 2279 3438 11700 7766 22904 13951 36162 0 342 814 2338 3494 10986 7158 21638 14524 32248 0 336 793 2443 3572 10060 6982 20614 11634 32733 ann. pay. 1131037 4773 9751 27194 78857 120575 424766 265573 810914 320123 1213292 2851 9178 28767 84213 125009 407326 267631 799966 413326 1298019 4952 8461 27387 74786 115586 420771 281593 817950 480069 1350405 6163 10365 25730 81547 123805 417641 284017 825463 524942 1286970 4574 11851 28938 85947 131310 411104 275055 817469 469501 32733 rec. 6522157 25516 60360 128596 420866 635338 1820809 1369632 3825779 2696378 32739 firms 2092 139 555 403 406 1503 423 111 2037 55 2064 100 547 409 386 1442 438 122 2002 62 2035 104 527 383 395 1409 453 104 1966 69 2052 117 531 381 382 1411 449 125 1985 67 1974 122 493 368 365 1348 447 117 1912 62 32739 estab. 2353 139 555 405 408 1507 455 211 2173 180 2337 101 547 410 388 1446 472 228 2146 191 2331 104 527 384 398 1413 489 177 2079 252 2366 117 531 382 385 1415 482 227 2124 242 2291 122 493 369 369 1353 484 219 2056 235 32739 empl. 55232 0 1301 2774 5446 9521 15799 14722 40042 15190 59490 0 1298 2779 5200 9277 16240 18213 43730 15760 62573 0 1263 2604 5394 9261 17511 15970 42742 19831 65742 0 1219 2598 5226 9043 16814 18124 43981 21761 61032 0 1192 2542 4992 8726 16567 15745 41038 19994 32739 ann. pay. 1742057 10523 30015 64830 150522 255890 482612 481875 1220377 521680 1916442 7081 33805 63669 152364 256919 508512 596701 1362132 554310 2089779 9354 32878 65734 155505 263471 541940 555339 1360750 729029 2203903 8911 34857 67577 159371 270716 557315 617604 1445635 758268 2122222 7868 31065 68338 159254 266525 558056 566679 1391260 730962 32739 rec. 8575184 39417 126493 264351 578314 1008575 2034467 2113669 5156711 3418473 32741 firms 45 1 4 5 3 13 11 8 32 13 42 0 5 4 4 13 9 7 29 13 39 0 2 3 3 8 11 7 26 13 41 2 2 2 4 10 10 7 27 14 41 2 7 5 4 18 10 4 32 9 32741 estab. 84 1 4 5 3 13 16 17 46 38 84 0 5 4 4 13 13 19 45 39 80 0 2 3 3 8 15 19 42 38 82 2 2 2 4 10 13 19 42 40 77 2 7 5 6 20 13 6 39 38 32741 empl. 5201 [a] [a] 31 36 78 472 1089 1639 3562 5360 0 11 27 58 96 399 1227 1722 3638 5167 0 [a] [a] 45 68 503 1247 1818 3349 4533 [a] [a] [a] 63 77 378 1158 1613 2920 4393 [a] [a] 33 56 100 480 345 925 3468 32741 ann. pay. 216172 (D) (D) 727 1299 2538 18676 48276 69490 146682 214502 0 395 625 2036 3056 16912 52381 72349 142153 209683 0 (D) (D) 1474 2052 17831 51456 71339 138344 192225 (D) (D) (D) 1514 2158 15273 51815 69246 122979 182836 (D) (D) 1409 2099 4558 19422 16352 40332 142504 32741 rec. 1017852 (D) (D) 5668 12467 (D) 109251 72854 205164 812688 32742 firms 189 11 55 31 34 131 34 9 174 15 177 9 50 31 28 118 36 9 163 14 177 13 47 36 22 118 36 9 163 14 174 13 44 30 31 118 34 7 159 15 207 23 72 35 27 157 31 5 193 14 32742 estab. 288 11 55 31 34 131 34 17 182 106 280 9 50 31 28 118 36 11 165 115 282 13 47 36 22 118 36 19 173 109 280 13 44 30 31 118 36 8 162 118 301 23 72 35 27 157 33 6 196 105 32742 empl. 14377 [a] [c] 214 460 778 1140 1552 3470 10907 14953 0 95 209 391 695 1239 1275 3209 11744 15092 0 [b] [c] 323 661 1315 1581 3557 11535 14464 [a] [b] [c] 411 699 1132 986 2817 11647 12611 [a] [c] 243 348 735 997 696 2428 10183 32742 ann. pay. 534040 (D) (D) 4261 11638 19277 28480 48214 95971 438069 579118 266 1913 5203 10180 17562 32215 44530 94307 484811 572212 982 (D) (D) 8001 17580 30882 56842 105304 466908 566113 (D) (D) (D) 10383 18547 29576 35696 83819 482294 520107 (D) (D) 6385 8872 19653 26220 26220 72093 448014 32742 rec. 4209325 (D) (D) 46970 69254 (D) 169599 155151 475895 3733430 32791 firms 319 13 43 41 57 154 115 33 302 17 313 10 50 42 55 157 109 31 297 16 299 12 43 39 60 154 99 32 285 14 300 9 49 41 57 156 98 30 284 16 299 8 58 39 64 169 94 25 288 11 32791 estab. 363 13 43 41 57 154 118 46 318 45 365 10 50 43 55 158 111 45 314 51 348 12 43 40 60 155 101 50 306 42 352 9 50 41 57 157 101 43 301 51 347 8 58 39 64 169 100 42 311 36 32791 empl. 20695 0 108 301 790 1199 4640 5416 11255 9440 19532 0 125 302 753 1180 4298 5017 10495 9037 18900 0 106 280 837 1223 4022 5406 10651 8249 19598 0 116 281 775 1172 3899 5059 10130 9468 16079 0 114 269 854 1237 3637 4652 9526 6553 32791 ann. pay. 804486 3351 3045 10065 23886 40347 156589 173053 369989 434497 764762 5150 4027 9503 24255 42935 142614 176566 362115 402647 776185 1718 3071 9943 28350 43082 140602 217160 400844 375341 837878 517 3606 9119 25726 38968 127346 215166 381480 456398 651973 1023 3490 8854 30664 44031 130915 197042 371988 279985 32791 rec. 3349835 6234 16821 36636 125703 185394 486403 817983 1489780 1860055 32799 firms 1977 148 540 362 364 1414 374 86 1874 103 1838 128 486 363 343 1320 332 87 1739 99 1852 145 469 354 351 1319 346 90 1755 97 2052 147 518 411 394 1470 392 92 1954 98 2273 180 614 464 441 1699 391 89 2179 94 32799 estab. 2351 148 541 362 366 1417 410 183 2010 341 2224 128 486 364 345 1323 374 172 1869 355 2263 145 469 355 353 1322 375 204 1901 362 2451 147 519 411 396 1473 425 196 2094 357 2680 180 614 465 450 1709 426 189 2324 356 32799 empl. 60754 0 1268 2422 4913 8603 13488 9380 31471 29283 58754 0 1188 2449 4712 8349 11886 9495 29730 29024 60295 0 1116 2371 4813 8300 12637 9806 30743 29552 61511 0 1242 2767 5360 9369 13794 9588 32751 28760 59071 0 1459 3148 6005 10612 13527 9131 33270 25801 32799 ann. pay. 2073583 9322 31326 60162 131115 231925 392549 307870 932344 1141239 2057994 7938 30881 60762 136231 235812 382948 300402 919162 1138832 2198980 11500 30171 63077 139202 243950 406660 317542 968152 1230828 2261460 11424 35255 75345 157212 279236 449232 314792 1043260 1218200 2202418 10144 42998 87074 193302 333518 463383 321360 1118261 1084157 32799 rec. 11703512 43374 174438 356586 780420 1354818 1832160 1598419 4785397 6918115 33111 firms 318 67 47 28 17 159 34 44 237 81 601 247 96 43 36 422 51 47 520 81 898 227 219 124 93 663 98 53 814 84 1268 264 346 216 136 962 157 63 1182 86 1149 157 296 208 186 847 166 58 1071 78 33111 estab. 410 67 47 28 17 159 35 48 242 168 702 247 96 43 36 422 52 52 526 176 1003 227 219 124 93 663 100 57 820 183 1374 264 346 216 136 962 157 72 1191 183 1259 157 296 208 189 850 169 69 1088 171 33111 empl. 148969 0 98 174 239 511 1420 8224 10155 138814 144194 0 211 284 529 1024 2273 8674 11971 132223 149128 0 465 811 1242 2518 3760 9537 15815 133313 148381 0 770 1470 1889 4129 5811 10788 20728 127653 126969 0 697 1434 2421 4552 6235 10102 20889 106080 33111 ann. pay. 7715797 9145 2676 4489 7879 24189 56361 386478 467028 7248769 7542991 50079 8088 8300 15905 82372 87428 376557 546357 6996634 7803502 30511 14154 22962 36912 104539 140671 443934 689144 7114358 7216042 35456 23781 40320 56821 156378 194958 446608 797944 6418098 6519279 97771 23782 45663 73631 240847 223665 442653 907165 5612114 33111 rec. 48043024 847316 189092 238213 349464 1624085 1073344 2819011 5516440 42526584 33121 firms 179 17 13 13 11 54 45 35 134 45 188 16 22 17 12 67 46 31 144 44 209 21 32 15 19 87 43 35 165 44 197 7 31 18 20 76 41 36 153 44 205 18 33 20 18 89 39 35 163 42 33121 estab. 253 18 13 13 11 55 46 48 149 104 265 16 22 17 12 67 48 43 158 107 290 21 32 15 19 87 45 45 177 113 281 7 31 18 20 76 43 49 168 113 281 18 33 20 18 89 40 47 176 105 33121 empl. 27759 0 29 93 145 267 2116 6277 8660 19099 26759 0 48 122 170 340 2311 5985 8636 18123 27681 0 71 107 254 432 2122 6635 9189 18492 27490 [a] [b] 128 276 463 2018 7202 9683 17807 25191 0 64 135 259 458 1743 6433 8634 16557 33121 ann. pay. 1018269 5321 917 2524 4934 13696 75956 238235 327887 690382 999807 1763 2427 3947 5439 13576 84831 226596 325003 674804 1069255 734 2932 2671 8396 14733 82670 263848 361251 708004 1057736 (D) (D) 3721 10300 20735 77101 272978 370814 686922 1013373 5970 2130 4420 8261 20781 72647 251346 344774 668599 33121 rec. 6866376 54877 14920 29102 41217 140116 498028 1546392 2184536 4681840 33122 firms 392 41 68 39 42 190 80 69 339 53 433 60 73 48 41 222 84 66 372 61 509 79 108 61 45 293 91 66 450 59 525 69 125 68 49 311 100 63 474 51 469 44 119 62 45 270 86 66 422 47 33122 estab. 516 41 68 39 42 190 89 98 377 139 559 60 73 48 41 222 92 93 407 152 643 79 108 61 45 293 99 94 486 157 658 69 125 68 49 311 111 91 513 145 589 44 119 62 45 270 94 99 463 126 33122 empl. 38074 0 149 254 549 952 3674 10541 15167 22907 38040 0 172 324 538 1034 3760 9868 14662 23378 40349 0 228 404 606 1238 3890 10551 15679 24670 38107 [a] [e] 468 674 1423 4216 10093 15732 22375 33508 0 264 420 618 1302 3370 10507 15179 18329 33122 ann. pay. 1424817 9312 4161 6982 18329 38784 125525 354543 518852 905965 1471320 12222 5281 9041 18528 45072 127376 348634 521082 950238 1599042 11154 6004 11399 17795 46352 135257 372494 554103 1044939 1390124 (D) (D) 12834 22771 54845 136412 325343 516600 873524 1332839 3632 9342 11963 20426 45363 122885 388268 556516 776323 33122 rec. 9510956 32237 75447 69453 112988 290125 772390 2354629 3417144 6093812 33131 firms 386 28 63 31 44 166 87 59 312 74 408 37 70 41 45 193 83 58 334 74 446 39 82 56 47 224 88 71 383 63 497 45 100 69 49 263 99 73 435 62 436 18 86 57 53 214 93 74 381 55 33131 estab. 551 28 63 31 44 166 88 75 329 222 573 37 70 41 46 194 84 76 354 219 613 39 82 56 48 225 89 88 402 211 659 45 100 69 50 264 100 90 454 205 584 18 86 57 53 214 96 94 404 180 33131 empl. 85364 0 156 207 575 938 3779 9590 14307 71057 85636 0 168 269 606 1043 3790 9453 14286 71350 85999 0 199 392 646 1237 3836 11398 16471 69528 78218 0 220 468 675 1363 4150 11353 16866 61352 68535 0 190 377 700 1267 4183 11621 17071 51464 33131 ann. pay. 3438254 1557 5510 5465 17065 29597 135379 334662 499638 2938616 3447399 4546 4992 7895 17294 34727 136098 343146 513971 2933428 3637509 4411 4564 10599 19049 38623 147165 435593 621381 3016128 3328411 23064 5612 12380 20659 61715 142253 400238 604206 2724205 2953853 3322 6826 10204 23208 43560 150902 431128 625590 2328263 33131 rec. 26814042 18835 65720 92101 165519 342175 1248512 3488858 5079545 21734497 33141 firms 148 14 36 23 10 83 27 11 121 27 156 18 40 24 13 95 26 8 129 27 153 6 44 23 15 88 23 14 125 28 147 8 41 20 16 85 27 10 122 25 142 10 44 15 11 80 25 13 118 24 33141 estab. 171 14 37 23 10 84 28 14 126 45 182 18 41 24 13 96 28 11 135 47 178 6 44 23 16 89 25 19 133 45 171 8 41 20 17 86 29 13 128 43 164 10 44 15 11 80 28 17 125 39 33141 empl. 15857 0 81 155 141 377 1214 1739 3330 12527 14894 0 86 157 186 429 1210 1327 2966 11928 12548 0 102 144 214 460 904 1714 3078 9470 12076 0 99 137 227 463 1184 1208 2855 9221 11273 [a] [c] 106 162 376 1008 1634 3018 8255 33141 ann. pay. 688611 920 2538 4717 6792 14967 46872 66878 128717 559894 623801 513 3136 5591 10694 19934 46974 46864 113772 510029 532782 332 3039 4750 8559 16680 37229 55367 109276 423506 527794 873 3232 4521 8110 16736 47745 43408 107889 419905 504841 (D) (D) 4214 7602 16166 46550 65709 128425 376416 33141 rec. 4923989 (D) (D) 24738 56295 (D) 362042 310297 779401 4144588 33142 firms 193 12 26 20 19 77 43 33 153 40 182 12 26 19 17 74 42 26 142 40 190 15 26 23 17 81 39 32 152 38 186 10 31 18 22 81 39 29 149 37 173 9 27 19 24 79 38 24 141 32 33142 estab. 247 12 26 20 19 77 43 40 160 87 236 12 26 19 17 74 42 30 146 90 252 15 26 25 17 83 39 40 162 90 244 10 31 18 22 81 39 36 156 88 232 9 27 19 24 79 38 33 150 82 33142 empl. 28824 0 50 134 248 432 1861 4683 6976 21848 26205 0 58 127 215 400 1911 4160 6471 19734 26569 0 60 165 227 452 1828 4661 6941 19628 25150 0 62 115 291 468 1847 4348 6663 18487 21876 [a] [b] 134 323 510 1657 3978 6145 15731 33142 ann. pay. 1049647 436 1386 4622 6924 13368 67129 174246 254743 794904 1034371 2484 1853 5106 5923 15366 79406 162407 257179 777192 1081274 451 1547 6338 9673 18009 70039 193694 281742 799532 958079 276 1869 3169 11812 17126 64307 162399 243832 714247 876031 (D) (D) 4222 9379 22380 61415 169623 253418 622613 33142 rec. 7907838 (D) (D) 29626 59110 (D) 370825 1137389 1647961 6259877 33149 firms 441 23 91 48 55 217 115 44 376 65 458 22 91 63 56 232 113 51 396 62 456 24 89 59 66 238 109 48 395 61 442 20 90 58 62 230 107 45 382 60 471 33 114 72 58 277 100 40 417 54 33149 estab. 523 23 91 48 55 217 127 57 401 122 540 22 91 63 56 232 122 68 422 118 539 24 89 59 66 238 115 66 419 120 524 20 90 58 63 231 115 58 404 120 562 33 114 72 60 279 108 58 445 117 33149 empl. 38969 0 209 327 741 1277 5187 5652 12116 26853 38191 0 194 412 765 1371 4980 6414 12765 25426 35383 0 177 376 896 1449 4837 6266 12552 22831 35069 0 205 396 863 1464 4635 5992 12091 22978 31054 0 275 469 791 1535 4015 4795 10345 20709 33149 ann. pay. 1548178 3293 5037 8935 22543 39808 186980 223822 450610 1097568 1530834 1352 6887 11638 25513 45390 197269 261236 503895 1026939 1487955 2192 6008 11070 29727 48997 189246 264847 503090 984865 1480950 972 6517 10303 25890 43682 182799 234521 461002 1019948 1373166 7542 8266 15411 27818 59037 169775 197812 426624 946542 33149 rec. 8498051 65247 55583 91373 158111 370314 1341973 1161050 2873337 5624714 33151 firms 985 50 151 82 106 389 334 163 886 99 1027 70 173 92 124 459 325 149 933 94 1031 63 183 103 127 476 318 144 938 93 1056 53 208 118 128 507 322 135 964 92 936 41 167 93 123 424 299 133 856 80 33151 estab. 1149 50 151 82 106 389 341 187 917 232 1200 70 173 92 124 459 333 172 964 236 1198 63 183 103 127 476 328 166 970 228 1212 53 208 118 131 510 326 163 999 213 1076 41 167 93 125 426 309 169 904 172 33151 empl. 134943 0 362 553 1481 2396 15627 29206 47229 87714 129516 0 384 607 1808 2799 15231 25628 43658 85858 126141 0 424 682 1818 2924 14927 25298 43149 82992 116518 0 486 785 1819 3090 14925 23666 41681 74837 101537 0 385 619 1763 2767 13712 22230 38709 62828 33151 ann. pay. 4923662 5644 11433 15026 39046 71149 453223 914312 1438684 3484978 5004606 4494 12060 15677 50538 82769 445483 826127 1354379 3650227 5059694 5946 14165 17616 52728 90455 458368 864331 1413154 3646540 4580613 19661 12951 23417 54903 110932 439949 768918 1319799 3260814 4169720 10073 12286 19751 59461 101571 435612 763193 1300376 2869344 33151 rec. 15367068 34633 57487 86830 194654 373604 1360527 3173467 4907598 10459470 33152 firms 1550 65 263 233 270 831 458 166 1455 95 1510 54 254 243 254 805 456 167 1428 82 1452 46 244 222 238 750 456 163 1369 83 1423 46 252 205 246 749 434 163 1346 77 1346 49 228 212 255 744 385 141 1270 76 33152 estab. 1677 65 263 234 271 833 466 198 1497 180 1643 54 255 244 254 807 463 202 1472 171 1584 46 244 223 239 752 463 194 1409 175 1561 46 253 205 246 750 440 205 1395 166 1482 49 228 212 255 744 396 179 1319 163 33152 empl. 96418 0 620 1600 3788 6008 19625 27061 52694 43724 94188 0 597 1653 3520 5770 19081 28149 53000 41188 97829 0 577 1523 3278 5378 19400 28763 53541 44288 91503 0 607 1404 3408 5419 18329 27866 51614 39889 81095 0 517 1436 3579 5532 16319 22740 44591 36504 33152 ann. pay. 3020244 7866 16791 39114 104251 168022 574030 822758 1564810 1455434 3110508 13803 14808 43208 92746 164565 576149 893247 1633961 1476547 3273606 8691 15450 39061 91427 154629 590070 908959 1653658 1619948 3102155 5612 15168 34832 92778 148390 573955 891643 1613988 1488167 2880104 11595 14666 38834 106041 171136 521148 762836 1455120 1424984 33152 rec. 11529669 45532 57892 133793 367973 605190 1903566 2912670 5421426 6108243 33211 firms 3046 129 442 419 521 1511 995 351 2857 189 3039 113 484 415 513 1525 993 329 2847 192 2937 97 443 409 482 1431 981 336 2748 189 2856 81 451 393 499 1424 922 325 2671 185 2725 83 426 408 497 1414 866 272 2552 173 33211 estab. 3285 129 442 419 521 1511 1015 424 2950 335 3297 113 484 415 513 1525 1012 398 2935 362 3195 97 443 409 482 1431 999 404 2834 361 3110 81 451 394 499 1425 937 386 2748 362 2973 83 426 408 497 1414 884 347 2645 328 33211 empl. 166094 0 1032 2900 7226 11158 43221 54260 108639 57455 166422 0 1120 2831 7146 11097 43050 51982 106129 60293 164435 0 1020 2790 6625 10435 41988 52635 105058 59377 158033 0 1051 2709 7011 10771 39334 50229 100334 57699 135882 0 1033 2746 6988 10767 36873 40783 88423 47459 33211 ann. pay. 5913531 29775 32754 91023 236543 390095 1460920 1918749 3769764 2143767 6059584 8514 34922 94057 244897 382390 1499148 1852912 3734450 2325134 6196311 11421 36911 95528 236537 380397 1487772 1964967 3833136 2363175 5737968 15319 32725 91436 246264 385744 1343275 1783702 3512721 2225247 5187228 10661 34476 95300 250906 391343 1370428 1553366 3315137 1872091 33211 rec. 22814142 61692 150557 360733 920147 1493129 5122203 6983243 13598575 9215567 33221 firms 1552 92 412 273 248 1025 341 112 1478 74 1534 92 403 281 232 1008 344 111 1463 71 1498 79 399 263 229 970 355 107 1432 66 1457 74 388 261 229 952 335 107 1394 63 1398 80 394 253 218 945 307 92 1344 54 33221 estab. 1700 92 412 273 248 1025 360 148 1533 167 1687 92 403 281 232 1008 362 160 1530 157 1643 79 399 263 229 970 374 144 1488 155 1598 74 388 261 229 952 354 152 1458 140 1537 80 394 253 218 945 334 139 1418 119 33221 empl. 79405 0 942 1818 3376 6136 13625 15848 35609 43796 79988 0 921 1855 3158 5934 14247 16016 36197 43791 76842 0 930 1765 3083 5778 14969 16387 37134 39708 71055 0 866 1746 3125 5737 13876 16639 36252 34803 62724 0 874 1694 3051 5619 12689 14385 32693 30031 33221 ann. pay. 2657379 6228 23222 47491 99820 176761 447996 536820 1161577 1495802 2697225 7590 23358 52308 96036 179292 472711 550375 1202378 1494847 2846368 4441 24425 49998 100134 178998 510051 598407 1287456 1558912 2498434 5042 25673 55279 98456 184450 466551 595273 1246274 1252160 2333712 12003 25248 52662 97798 187711 450526 547038 1185275 1148437 33221 rec. 10502974 56300 118043 184007 321959 680309 1514908 2592354 4787571 5715403 33231 firms 4469 256 904 789 848 2797 1296 256 4349 120 4316 165 872 765 841 2643 1281 267 4191 125 4095 128 789 698 796 2411 1292 262 3965 130 4342 166 862 698 868 2594 1338 272 4204 138 5226 289 1475 903 892 3559 1275 262 5096 130 33231 estab. 4744 256 904 791 848 2799 1326 322 4447 297 4595 165 872 767 842 2646 1308 342 4296 299 4389 128 789 700 797 2414 1317 333 4064 325 4648 166 862 701 868 2597 1364 353 4314 334 5556 289 1475 905 893 3562 1316 335 5213 343 33231 empl. 150387 0 2119 5324 11886 19329 52226 31597 103152 47235 153300 0 2086 5173 11717 18976 51558 33748 104282 49018 152889 0 1890 4719 10943 17552 52644 33709 103905 48984 159824 0 2052 4763 12009 18824 54701 36511 110036 49788 152420 0 3390 6053 12315 21758 51567 33202 106527 45893 33231 ann. pay. 5142431 64076 54727 149800 371203 639806 1780756 1077067 3497629 1644802 5347880 14283 58826 155693 372117 600919 1827195 1177526 3605640 1742240 5519442 18468 54958 148475 361857 583758 1898912 1243360 3726030 1793412 5801506 16610 60231 148075 409615 634531 2014827 1352961 4002319 1799187 5585352 32515 94101 187061 423594 737271 1885454 1233494 3856219 1729133 33231 rec. 26754111 197868 470696 836119 1688786 3193469 8091588 6197918 17482975 9271136 33232 firms 7237 365 1619 1332 1403 4719 1951 399 7069 168 7086 302 1643 1283 1356 4584 1910 424 6918 168 6864 299 1538 1206 1316 4359 1913 425 6697 167 7099 301 1601 1297 1361 4560 1968 398 6926 173 7823 446 2185 1487 1419 5537 1744 386 7667 156 33232 estab. 7748 365 1619 1333 1406 4723 2000 523 7246 502 7654 302 1644 1283 1360 4589 1957 556 7102 552 7465 299 1538 1206 1319 4362 1965 568 6895 570 7715 301 1601 1298 1363 4563 2022 541 7126 589 8418 446 2185 1487 1420 5538 1808 537 7883 535 33232 empl. 240212 0 3770 8963 19371 32104 79282 56531 167917 72295 250856 0 3900 8667 18690 31257 77685 58288 167230 83626 256680 0 3718 8225 17996 29939 78243 61754 169936 86744 258309 0 3741 8764 18588 31093 80509 58057 169659 88650 233249 0 5071 9939 19502 34512 69901 51722 156135 77114 33232 ann. pay. 7487573 26578 91228 248734 626032 992572 2579142 1736687 5308401 2179172 8016380 18582 100340 248243 614303 981468 2619304 1918968 5519740 2496640 8468677 19936 93638 244397 621412 979383 2736120 2046418 5761921 2706756 8375055 29817 105243 260569 623244 1018873 2719713 1886702 5625288 2749767 8034014 36029 131811 311547 674790 1154177 2518060 1814993 5487230 2546784 33232 rec. 34687845 162714 537097 1094840 2271863 4066514 8668879 7602025 20337418 14350427 33241 firms 427 29 53 49 59 190 138 61 389 38 426 24 64 45 56 189 137 63 389 37 405 14 66 51 54 185 126 57 368 37 375 12 47 41 62 162 127 48 337 38 334 9 29 48 52 138 111 48 297 37 33241 estab. 474 29 53 49 59 190 139 71 400 74 467 24 64 45 56 189 139 70 398 69 447 14 66 51 54 185 129 61 375 72 413 12 47 41 62 162 131 51 344 69 375 9 29 48 52 138 115 53 306 69 33241 empl. 26505 0 127 343 800 1270 5984 8332 15586 10919 24661 0 148 330 717 1195 5681 8000 14876 9785 23942 0 153 363 737 1253 5413 7072 13738 10204 23298 0 107 287 807 1201 5457 6289 12947 10351 21278 0 70 342 734 1146 4526 5597 11269 10009 33241 ann. pay. 928139 2575 4786 11792 24934 44087 199871 300084 544042 384097 883516 1508 4549 9073 22664 37794 189146 296870 523810 359706 891229 1660 7227 11645 25585 46117 188930 266977 502024 389205 900847 941 6081 9554 27588 44164 207401 240380 491945 408902 803930 1192 5167 12971 24455 43785 170003 214823 428611 375319 33241 rec. 3560654 48777 22251 53283 82647 206958 630366 805223 1642547 1918107 33242 firms 558 14 52 57 94 217 227 60 504 54 557 15 51 59 94 219 224 59 502 55 536 15 45 64 92 216 210 61 487 49 531 15 55 54 98 222 208 56 486 45 514 22 67 61 91 241 182 48 471 43 33242 estab. 631 14 52 57 94 217 234 72 523 108 633 15 51 59 94 219 232 72 523 110 613 15 45 64 92 216 219 74 509 104 608 15 55 54 98 222 217 70 509 99 578 22 67 61 91 241 190 63 494 84 33242 empl. 33853 0 118 401 1315 1834 9260 6980 18074 15779 32410 0 113 411 1250 1774 9134 7329 18237 14173 32537 0 101 452 1201 1754 8289 7179 17222 15315 31781 0 135 381 1342 1858 8456 6888 17202 14579 28862 0 160 422 1273 1855 7614 6035 15504 13358 33242 ann. pay. 1232102 768 4228 13320 39723 58039 325294 253022 636355 595747 1175664 1697 4372 12849 38963 57881 316764 258830 633475 542189 1209886 693 3712 13812 38873 57090 299505 265473 622068 587818 1198384 2397 4944 11344 42352 61037 311262 274413 646712 551672 1108277 1390 5871 14840 43801 65902 288080 249098 603080 505197 33242 rec. 4329560 6061 24078 60536 223199 313874 998888 824139 2136901 2192659 33243 firms 540 42 143 87 73 345 121 45 511 29 506 19 151 84 65 319 115 40 474 32 483 14 137 84 59 294 118 37 449 34 487 25 121 96 64 306 111 37 454 33 445 18 113 82 49 262 115 39 416 29 33243 estab. 751 42 143 87 73 345 126 62 533 218 705 19 151 84 65 319 119 56 494 211 679 14 137 84 59 294 122 54 470 209 681 25 121 96 64 306 115 54 475 206 619 18 113 82 49 262 119 62 443 176 33243 empl. 40118 0 335 582 957 1874 5308 5319 12501 27617 38022 0 357 561 892 1810 5140 4730 11680 26342 37474 0 323 570 795 1688 5099 5245 12032 25442 36097 0 261 621 882 1764 4566 4823 11153 24944 34526 0 270 542 655 1467 4676 4827 10970 23556 33243 ann. pay. 1591300 6237 8460 13178 26711 54586 165405 170199 390190 1201110 1558641 2456 9246 14079 26046 51827 165934 169554 387315 1171326 1521118 598 9276 14725 23808 48407 167513 183383 399303 1121815 1473042 1534 7445 18160 26235 53374 152688 161310 367372 1105670 1488066 1558 8317 13940 21907 45722 173253 189754 408729 1079337 33243 rec. 14252741 6938 55392 72180 109178 243688 765594 1118668 2127950 12124791 33251 firms 894 41 198 125 128 492 233 94 819 75 877 46 197 119 121 483 233 87 803 74 855 35 195 119 112 461 237 83 781 74 840 40 192 122 105 459 223 81 763 77 867 42 208 118 116 484 238 76 798 69 33251 estab. 992 41 198 125 128 492 235 109 836 156 981 46 197 119 121 483 235 101 819 162 955 35 195 119 112 461 239 94 794 161 939 40 192 122 105 459 223 93 775 164 959 42 208 118 116 484 242 90 816 143 33251 empl. 73162 0 465 841 1726 3032 10116 12871 26019 47143 73601 0 475 795 1641 2911 10567 12678 26156 47445 74686 0 463 794 1503 2760 10477 12685 25922 48764 68884 0 467 830 1427 2724 9880 12204 24808 44076 65577 0 467 790 1537 2794 10690 11218 24702 40875 33251 ann. pay. 2341590 3350 11236 20638 49018 84242 307139 401418 792799 1548791 2431543 10423 12212 21091 48656 92382 333338 437474 863194 1568349 2494438 6475 11261 22235 47400 87371 335688 427695 850754 1643684 2316036 5776 12488 22573 45003 85840 323638 426086 835564 1480472 2251202 3860 13561 22840 48747 89008 364718 408688 862414 1388788 33251 rec. 11606840 18628 76151 99814 206319 400912 1460041 1708430 3569383 8037457 33261 firms 1697 88 416 271 286 1061 421 137 1619 78 1682 81 413 265 288 1047 416 137 1600 82 1638 74 386 258 281 999 423 144 1566 72 1590 66 375 250 277 968 413 140 1521 69 1479 55 329 255 258 897 395 125 1417 62 33261 estab. 1888 88 416 271 286 1061 439 200 1700 188 1877 81 413 265 290 1049 431 201 1681 196 1839 74 386 258 281 999 442 213 1654 185 1775 66 375 250 278 969 431 201 1601 174 1656 55 329 255 259 898 419 186 1503 153 33261 empl. 71494 0 939 1845 3963 6747 18685 20599 46031 25463 70823 0 936 1802 4010 6748 17939 19881 44568 26255 72395 0 892 1748 3871 6511 18566 21559 46636 25759 70284 0 885 1691 3867 6443 17946 21052 45441 24843 62167 0 729 1744 3609 6082 16843 17068 39993 22174 33261 ann. pay. 2100652 13584 24000 47323 112067 196974 550896 638778 1386648 714004 2149590 18952 25430 48196 117242 209820 550435 621639 1381894 767696 2287272 6824 26226 46952 121835 201837 585682 716059 1503578 783694 2157871 3289 26335 44118 121105 194847 556244 677064 1428155 729716 2029771 5581 23395 51340 121754 202070 559744 599276 1361090 668681 33261 rec. 9166996 31031 95965 187779 461721 776496 2116191 2297897 5190584 3976412 33271 firms 23787 1719 8750 5150 4134 19753 3500 399 23652 135 23032 1420 8750 5061 4001 19232 3296 366 22894 138 22627 1457 8401 5041 3918 18817 3306 360 22483 144 22544 1339 8488 5011 3882 18720 3330 345 22395 149 22878 1531 9484 4980 3572 19567 2874 295 22736 142 33271 estab. 23967 1719 8750 5150 4138 19757 3562 466 23785 182 23233 1420 8752 5061 4006 19239 3355 445 23039 194 22830 1457 8401 5042 3923 18823 3365 430 22618 212 22756 1339 8489 5013 3885 18726 3391 409 22526 230 23107 1532 9484 4981 3579 19576 2961 369 22906 201 33271 empl. 304052 0 19802 34680 55746 110228 129014 46618 285860 18192 286833 0 19752 33933 53754 107439 119290 41039 267768 19065 291642 0 19165 33738 52798 105701 121119 42049 268869 22773 292720 0 19368 33559 52387 105314 123312 41325 269951 22769 261423 0 21309 33239 48014 102562 103570 34104 240236 21187 33271 ann. pay. 10085350 74699 473753 929727 1739678 3217857 4522377 1628186 9368420 716930 9901950 62771 488650 945192 1730194 3226807 4309693 1524775 9061275 840675 10687168 84693 502402 985465 1814947 3387507 4626185 1660747 9674439 1012729 10232161 71089 482748 964096 1701673 3219606 4500670 1565849 9286125 946036 9396977 80491 538379 990351 1626903 3236124 3962188 1291243 8489555 907422 33271 rec. 27994126 312943 1623558 2832154 4467831 9236486 11327367 4269179 24833032 3161094 33272 firms 3516 58 433 589 857 1937 1249 255 3441 75 3397 50 466 570 816 1902 1187 229 3318 79 3309 56 443 580 778 1857 1157 224 3238 71 3221 30 456 571 730 1787 1143 223 3153 68 3063 43 495 609 665 1812 1006 179 2997 66 33272 estab. 3723 58 433 589 857 1937 1265 337 3539 184 3625 50 466 570 816 1902 1207 298 3407 218 3548 56 443 580 778 1857 1174 310 3341 207 3460 30 456 574 730 1790 1166 298 3254 206 3270 43 495 609 666 1813 1028 241 3082 188 33272 empl. 138479 0 1106 4103 11924 17133 50796 39334 107263 31216 133813 0 1190 3952 11330 16472 48096 34744 99312 34501 129304 0 1099 3958 10814 15871 47328 34892 98091 31213 125482 0 1123 3958 10075 15156 46393 33500 95049 30433 108642 0 1207 4244 9166 14617 40377 25863 80857 27785 33272 ann. pay. 4855300 5614 38981 125731 377543 547869 1716236 1390618 3654723 1200577 4819289 8612 41222 123933 360302 534069 1670511 1258952 3463532 1355757 4926618 5748 37363 141055 372072 556238 1759571 1324540 3640349 1286269 4568316 7345 37871 130383 326154 501753 1603339 1208408 3313500 1254816 4090836 4470 41325 141150 318865 505810 1487193 969883 2962886 1127950 33272 rec. 14492749 19946 138116 439067 904275 1501404 4568352 3560412 9630168 4862581 33281 firms 5882 326 1314 1060 1125 3825 1613 304 5742 140 5724 246 1367 1019 1125 3757 1536 290 5583 141 5579 262 1254 1035 1091 3642 1499 303 5444 135 5543 241 1262 1020 1120 3643 1482 290 5415 128 5623 310 1396 1135 1128 3969 1284 257 5510 113 33281 estab. 6401 326 1314 1062 1130 3832 1700 499 6031 370 6278 246 1368 1019 1125 3758 1628 478 5864 414 6161 262 1255 1035 1093 3645 1590 505 5740 421 6116 241 1263 1020 1123 3647 1573 490 5710 406 6200 310 1396 1135 1136 3977 1393 450 5820 380 33281 empl. 159101 0 3084 7235 15565 25884 64456 40188 130528 28573 155081 0 3198 6916 15498 25612 61589 37582 124783 30298 155343 0 2890 7041 15129 25060 60752 40054 125866 29477 152944 0 2956 6881 15509 25346 59321 38418 123085 29859 136702 0 3339 7644 15478 26461 50794 31828 109083 27619 33281 ann. pay. 4789683 23727 77229 190876 439659 731491 1866058 1247258 3844807 944876 4864728 15883 86930 196097 450953 749863 1843660 1194245 3787768 1076960 5078437 19314 80089 196032 458289 753724 1912772 1318594 3985090 1093347 4812777 16837 78715 193224 441482 730258 1760239 1227021 3717518 1095259 4579060 30394 87189 223872 471383 812838 1626479 1095084 3534401 1044659 33281 rec. 18973792 99136 256873 615060 1265455 2236524 4697642 5454647 12388813 6584979 33291 firms 1176 75 215 144 170 604 299 144 1047 129 1194 80 233 155 165 633 285 152 1070 124 1203 87 240 173 158 658 286 136 1080 123 1145 49 241 166 159 615 281 128 1024 121 1052 52 211 149 135 547 267 125 939 113 33291 estab. 1454 75 215 144 170 604 306 166 1076 378 1481 80 233 155 166 634 292 175 1101 380 1487 88 240 173 159 660 292 158 1110 377 1419 49 241 166 160 616 286 151 1053 366 1330 52 211 149 135 547 279 158 984 346 33291 empl. 125046 0 519 979 2311 3809 12881 21360 38050 86996 124415 0 550 1043 2237 3830 11955 22470 38255 86160 120733 0 570 1214 2125 3909 12123 19611 35643 85090 118931 0 548 1128 2242 3918 11979 19941 35838 83093 107896 0 482 994 1877 3353 11627 19050 34030 73866 33291 ann. pay. 4568359 27455 14939 29893 74164 146451 445442 800629 1392522 3175837 4603906 7949 16693 30404 72606 127652 426852 833455 1387959 3215947 4699786 9764 16610 37952 72894 137220 455419 745157 1337796 3361990 4628887 1942 15371 37836 89738 144887 454684 753741 1353312 3275575 4350880 9670 19927 35148 72097 136842 444179 751827 1332848 3018032 33291 rec. 21611704 59580 126706 137319 294729 618334 1756373 3259794 5634501 15977203 33299 firms 5447 524 1406 1029 957 3916 1043 275 5234 213 5470 444 1531 1041 938 3954 1056 261 5271 199 5629 519 1546 1094 933 4092 1067 269 5428 201 5282 328 1558 1021 867 3774 1061 256 5091 191 4807 319 1323 941 831 3414 980 234 4628 179 33299 estab. 5708 524 1406 1029 958 3917 1067 322 5306 402 5729 446 1531 1041 939 3957 1076 309 5342 387 5893 519 1546 1094 934 4093 1088 313 5494 399 5553 328 1560 1021 868 3777 1086 304 5167 386 5074 319 1323 942 832 3416 1012 279 4707 367 33299 empl. 208315 0 3219 6963 13038 23220 40052 36642 99914 108401 198259 0 3421 7035 12860 23316 40519 35706 99541 98718 201915 0 3439 7398 12816 23653 41281 37047 101981 99934 193716 0 3580 6823 11991 22394 41879 34165 98438 95278 171051 0 3031 6337 11404 20772 38287 30113 89172 81879 33299 ann. pay. 7236660 36965 85072 189863 379422 691322 1282519 1202232 3176073 4060587 7093861 36186 93580 202521 392434 724721 1342907 1202780 3270408 3823453 7417700 32151 95458 221133 394335 743077 1396348 1261633 3401058 4016642 7102065 32299 98601 198528 367027 696455 1401861 1213513 3311829 3790236 6442237 32583 89853 195544 372430 690410 1329482 1093742 3113634 3328603 33299 rec. 28224823 155391 363663 671919 1355071 2546044 4712863 4516292 11775199 16449624 33311 firms 1400 89 328 235 254 906 321 106 1333 67 1349 70 342 217 259 888 303 100 1291 58 1302 71 311 215 245 842 306 101 1249 53 1277 65 312 226 223 826 307 94 1227 50 1265 78 321 217 223 839 295 84 1218 47 33311 estab. 1502 89 328 235 254 906 330 125 1361 141 1454 70 342 217 260 889 314 122 1325 129 1406 71 311 215 245 842 317 123 1282 124 1377 65 312 226 223 826 317 121 1264 113 1367 78 321 217 226 842 309 104 1255 112 33311 empl. 101017 0 748 1618 3450 5816 13417 15967 35200 65817 90467 0 798 1462 3502 5762 12186 15099 33047 57420 88551 0 683 1455 3325 5463 12669 15521 33653 54898 85795 0 701 1575 3030 5306 12235 15452 32993 52802 79005 0 767 1512 2988 5267 11863 12757 29887 49118 33311 ann. pay. 3227881 6165 14169 33185 80337 133856 370118 472707 976681 2251200 2917221 7196 16852 31615 86199 141862 338507 475218 955587 1961634 2971576 4227 14540 35021 82870 136658 353551 512287 1002496 1969080 2872446 3285 15731 38044 77808 134868 345641 519872 1000381 1872065 2755226 8935 16640 38924 79325 143824 360338 435162 939324 1815902 33311 rec. 21059871 169741 96555 204981 376659 847936 1558160 2028096 4434192 16625679 33312 firms 734 63 125 100 102 390 197 86 673 61 740 62 119 109 97 387 205 82 674 66 734 49 138 105 97 389 201 80 670 64 715 42 146 95 98 381 197 73 651 64 698 46 138 105 99 388 176 72 636 62 33312 estab. 804 63 125 100 102 390 200 100 690 114 814 62 119 109 97 387 208 95 690 124 813 49 138 105 97 389 205 93 687 126 793 42 146 95 98 381 198 86 665 128 783 46 138 106 100 390 186 92 668 115 33312 empl. 73978 0 312 696 1440 2448 8683 12735 23866 50112 75800 0 274 727 1361 2362 9031 12355 23748 52052 74127 0 318 689 1336 2343 8737 11357 22437 51690 70016 0 325 644 1322 2291 8479 10629 21399 48617 59627 0 318 718 1407 2443 7445 9949 19837 39790 33312 ann. pay. 3076878 6959 8096 19745 42843 77643 299382 425368 802393 2274485 3094555 5715 8699 21353 45129 80896 324828 427062 832786 2261769 3063130 7983 10085 20159 44912 83139 323747 409620 816506 2246624 2848536 2086 10914 20196 42116 75312 309184 381077 765573 2082963 2543705 4628 11535 26907 46514 89584 284503 379241 753328 1790377 33312 rec. 19261747 50666 66410 127268 235961 480305 1230849 2087938 3799092 15462655 33313 firms 761 39 178 128 134 479 187 46 712 49 718 31 177 136 118 462 168 42 672 46 698 42 168 129 107 446 166 41 653 45 677 30 159 118 114 421 168 44 633 44 678 28 173 112 114 427 158 49 634 44 33313 estab. 875 39 178 128 134 479 195 61 735 140 842 31 177 136 118 462 176 60 698 144 825 42 168 129 107 446 175 54 675 150 794 30 159 118 114 421 176 55 652 142 787 28 173 112 114 427 166 59 652 135 33313 empl. 45943 0 407 842 1776 3025 7623 7260 17908 28035 41061 0 409 895 1604 2908 6494 6384 15786 25275 36819 0 398 895 1485 2778 6448 6116 15342 21477 38073 0 375 802 1553 2730 6700 6385 15815 22258 37826 0 406 769 1536 2711 5907 6823 15441 22385 33313 ann. pay. 1853204 4883 10536 29637 57543 102599 280353 283083 666035 1187169 1585880 4859 11206 27151 50575 93791 229142 240214 563147 1022733 1628525 4153 11505 31555 46754 93967 248494 240108 582569 1045956 1721645 4842 12998 29227 52488 99555 255200 265264 620019 1101626 1679949 3180 13629 27459 54176 98444 232534 271082 602060 1077889 33313 rec. 7188483 23738 68942 108220 216439 417339 943443 927066 2287848 4900635 33321 firms 304 26 88 55 46 215 70 12 297 7 316 29 99 52 50 230 64 14 308 8 307 22 95 50 52 219 63 15 297 10 292 13 96 45 52 206 64 13 283 9 280 19 91 53 47 210 54 8 272 8 33321 estab. 316 26 88 56 46 216 72 16 304 12 327 29 99 53 50 231 66 18 315 12 318 22 95 51 52 220 65 19 304 14 302 13 96 45 52 206 67 17 290 12 292 19 91 53 47 210 59 12 281 11 33321 empl. 8570 0 212 355 642 1209 2900 2220 6329 2241 8341 0 238 336 697 1271 2623 2064 5958 2383 8764 0 221 327 703 1251 2567 2415 6233 2531 8208 0 235 301 716 1252 2575 2046 5873 2335 6720 0 218 359 641 1218 2216 1272 4706 2014 33321 ann. pay. 306407 944 6017 8615 20185 35761 110564 79769 226094 80313 309088 2657 5345 8508 23231 39741 101125 78740 219606 89482 330972 1543 5347 9145 22207 38242 108440 91701 238383 92589 287461 484 5877 8166 20217 34744 96509 71401 202654 84807 257040 498 5976 10252 21135 37861 89739 48896 176496 80544 33321 rec. 915980 2830 22111 39042 79991 143974 287545 189103 620622 295358 33322 firms 434 29 110 66 69 274 97 30 401 33 476 53 103 71 72 299 104 33 436 40 492 46 106 89 71 312 111 31 454 38 496 34 123 71 85 313 113 34 460 36 537 47 167 75 75 364 112 25 501 36 33322 estab. 463 29 110 66 69 274 99 34 407 56 503 53 103 71 72 299 106 37 442 61 518 46 106 89 71 312 113 35 460 58 524 34 123 71 85 313 117 38 468 56 558 48 167 76 75 366 113 27 506 52 33322 empl. 19293 0 267 449 945 1661 4049 4424 10134 9159 19981 0 238 488 939 1665 4266 4846 10777 9204 21235 0 237 590 1017 1844 4891 4860 11595 9640 20820 0 259 454 1142 1855 4852 5154 11861 8959 16820 0 369 495 1056 1920 4575 3254 9749 7071 33322 ann. pay. 774805 5402 8371 14955 31736 60464 154553 179816 394833 379972 833208 17196 8754 15770 30711 72431 162663 188973 424067 409141 896960 8189 8290 18463 36140 71082 197775 223148 492005 404955 826086 5936 8989 12718 36674 64317 172381 215517 452215 373871 708349 6834 13031 16397 37213 73475 173866 139996 387337 321012 33322 rec. 3190795 28253 49301 55375 150333 283262 695561 606031 1584854 1605941 33329 firms 3658 191 880 594 597 2262 918 304 3484 174 3633 219 891 561 617 2288 903 282 3473 160 3510 184 877 567 587 2215 867 268 3350 160 3386 163 844 556 580 2143 839 254 3236 150 3178 172 783 551 542 2048 764 229 3041 137 33329 estab. 3870 191 880 594 601 2266 948 353 3567 303 3844 220 891 562 618 2291 932 331 3554 290 3708 184 877 568 588 2217 896 314 3427 281 3582 163 844 557 582 2146 866 295 3307 275 3376 173 783 551 545 2052 796 278 3126 250 33329 empl. 170033 0 2065 4004 8355 14424 37505 43293 95222 74811 152690 0 2064 3735 8583 14382 36956 39872 91210 61480 153399 0 2030 3832 8219 14081 35934 37319 87334 66065 148407 0 1920 3769 8055 13744 34239 35941 83924 64483 122729 0 1762 3731 7408 12901 29860 31931 74692 48037 33329 ann. pay. 7386932 39970 61585 127178 301903 530636 1413132 1877629 3821397 3565535 7075473 36364 64200 123939 306506 531009 1453628 1820347 3804984 3270489 8318961 43492 64305 131432 308829 548058 1475822 1727934 3751814 4567147 7254387 13252 61703 122751 293868 491574 1339463 1599961 3430998 3823389 6325949 21396 63125 132817 286929 504267 1248486 1515968 3268721 3057228 33329 rec. 24957264 137988 277460 498139 993873 1907460 4346794 6002086 12256340 12700924 33331 firms 2436 151 656 380 348 1535 561 185 2281 155 2399 140 683 368 327 1518 535 185 2238 161 2320 133 640 379 310 1462 509 191 2162 158 2289 122 648 377 306 1453 514 169 2136 153 2198 127 588 385 306 1406 491 155 2052 146 33331 estab. 2578 151 656 380 348 1535 577 218 2330 248 2550 140 685 368 328 1521 546 218 2285 265 2490 133 640 379 310 1462 520 223 2205 285 2457 122 648 377 306 1453 531 199 2183 274 2358 127 588 385 307 1407 511 187 2105 253 33331 empl. 128579 0 1511 2518 4735 8764 22805 25340 56909 71670 130751 0 1559 2456 4467 8482 21668 25473 55623 75128 129077 0 1477 2555 4330 8362 20702 27229 56293 72784 125312 0 1492 2550 4193 8235 21384 26333 55952 69360 111610 0 1301 2539 4179 8019 19766 22314 50099 61511 33331 ann. pay. 5003774 19617 45577 75222 173615 314031 805715 931501 2051247 2952527 5121364 17754 50106 79118 155152 302130 788942 1000991 2092063 3029301 5487091 11584 48153 84337 154737 298811 786204 1152477 2237492 3249599 5148991 13301 50248 88111 158594 310254 822433 1081957 2214644 2934347 4847459 17849 44258 90619 165409 318135 818308 963432 2099875 2747584 33331 rec. 22216885 87609 209357 378221 639268 1314455 3315437 4111883 8741775 13475110 33341 firms 1558 100 309 230 212 851 397 167 1415 143 1495 73 300 233 204 810 385 165 1360 135 1450 68 294 246 173 781 383 155 1319 131 1485 82 304 242 190 818 393 144 1355 130 1474 80 322 217 216 835 375 142 1352 122 33341 estab. 1868 100 309 230 213 852 411 207 1470 398 1819 73 300 234 204 811 401 204 1416 403 1779 68 294 246 175 783 396 192 1371 408 1814 82 304 242 192 820 407 182 1409 405 1800 80 322 217 216 835 397 186 1418 382 33341 empl. 170863 0 705 1600 2873 5178 17104 26011 48293 122570 177520 0 690 1612 2757 5059 16435 25968 47462 130058 178626 0 666 1686 2418 4770 16306 24692 45768 132858 179211 0 682 1630 2578 4890 16935 24621 46446 132765 156821 0 703 1447 2843 4993 15928 23507 44428 112393 33341 ann. pay. 5620001 10297 20263 46567 89534 166661 543642 853911 1564214 4055787 5932320 3752 20942 42072 87386 154152 555572 879349 1589073 4343247 6133876 6016 20988 47975 84109 159088 587306 843335 1589729 4544147 5912717 12799 20926 51241 85988 170954 602198 807074 1580226 4332491 5556293 9860 24231 48396 99078 181565 590679 809617 1581861 3974432 33341 rec. 32657665 52308 118979 233025 446471 850783 2845043 3664401 7360227 25297438 33351 firms 10141 587 2611 2037 1988 7223 2290 431 9944 197 9776 398 2705 1970 1920 6993 2174 421 9588 188 9469 409 2554 1893 1877 6733 2147 404 9284 185 9288 340 2615 1894 1850 6699 2050 366 9115 173 8965 441 2701 1872 1747 6761 1723 326 8810 155 33351 estab. 10539 587 2611 2037 1991 7226 2356 537 10119 420 10168 401 2705 1970 1923 6999 2241 536 9776 392 9873 409 2554 1893 1880 6736 2218 525 9479 394 9691 340 2615 1894 1854 6703 2124 488 9315 376 9346 442 2701 1874 1750 6767 1796 448 9011 335 33351 empl. 255351 0 6086 13759 27139 46984 88695 58365 194044 61307 239484 0 6247 13353 26220 45820 83925 54398 184143 55341 232695 0 6018 12845 25608 44471 82571 52282 179324 53371 220206 0 6058 12891 25193 44142 79024 47524 170690 49516 187361 0 6332 12648 23899 42879 64944 38916 146739 40622 33351 ann. pay. 10511461 46898 181583 453958 1019241 1701680 3660476 2466670 7828826 2682635 10034737 37075 194863 458991 995850 1686779 3525714 2384498 7596991 2437746 10164657 26038 198055 448794 997790 1670677 3598886 2371382 7640945 2523712 9071325 24513 190247 424090 930972 1569822 3235640 2029859 6835321 2236004 8136622 32762 201514 450351 932726 1617353 2842641 1776192 6236186 1900436 33351 rec. 24337092 108738 577342 1188151 2401463 4275694 7829648 5528823 17634165 6702927 33361 firms 801 43 158 96 120 417 210 78 705 96 815 35 168 101 129 433 208 82 723 92 800 40 158 106 118 422 216 72 710 90 780 30 155 98 123 406 212 69 687 93 762 29 149 104 122 404 198 74 676 86 33361 estab. 960 43 158 96 120 417 217 98 732 228 971 35 168 101 129 433 215 102 750 221 961 40 158 106 118 422 222 94 738 223 949 30 155 98 123 406 220 87 713 236 922 29 149 104 122 404 208 94 706 216 33361 empl. 112926 0 353 656 1728 2737 8349 11469 22555 90371 112560 0 366 689 1810 2865 8545 12235 23645 88915 112406 0 357 737 1660 2754 8917 11034 22705 89701 104525 0 351 697 1688 2736 8920 10792 22448 82077 96501 0 339 733 1656 2728 8151 11190 22069 74432 33361 ann. pay. 4809472 2614 12153 20668 62157 97592 314809 438037 850438 3959034 4958749 3823 13351 21919 60518 99611 323970 470460 894041 4064708 5086638 3274 11207 25655 61788 101924 357105 463881 922910 4163728 4885008 1571 11892 23936 58717 96116 347979 475739 919834 3965174 4637395 4849 11887 26744 61390 104870 322877 486546 914293 3723102 33361 rec. 37701159 85881 59106 119736 249950 514673 1325993 2066697 3907363 33793796 33391 firms 729 45 150 113 113 421 174 56 651 78 704 30 140 128 123 421 156 50 627 77 677 34 136 120 104 394 155 50 599 78 669 24 149 112 109 394 153 45 592 77 668 35 160 117 93 405 143 46 594 74 33391 estab. 889 45 150 113 113 421 181 69 671 218 867 30 140 128 123 421 165 59 645 222 844 34 136 120 104 394 162 65 621 223 837 24 149 112 109 394 160 53 607 230 818 35 160 117 93 405 150 56 611 207 33391 empl. 69853 0 370 766 1542 2678 7354 8606 18638 51215 65923 0 358 873 1682 2913 6474 7523 16910 49013 63355 0 333 834 1393 2560 6101 7684 16345 47010 62993 0 340 788 1463 2591 6045 6683 15319 47674 55238 0 367 815 1267 2449 5675 6358 14482 40756 33391 ann. pay. 2724022 5947 10071 25999 50468 92485 263049 333977 689511 2034511 2673871 2421 9467 29743 56680 98311 237234 283812 619357 2054514 2713856 1575 9389 31815 50767 93546 227923 334691 656160 2057696 2783856 6172 12256 27903 55126 101457 234453 296880 632790 2151066 2516241 24167 11825 30235 47902 114129 232353 271182 617664 1898577 33391 rec. 12789839 135809 69534 158881 223902 588126 979251 1577131 3144508 9645331 33392 firms 1717 87 309 265 277 938 516 175 1629 88 1691 79 319 255 287 940 492 170 1602 89 1680 93 315 229 293 930 485 171 1586 94 1669 66 325 237 303 931 486 161 1578 91 1572 80 295 253 265 893 449 146 1488 84 33392 estab. 1834 87 309 265 279 940 532 203 1675 159 1816 79 319 255 290 943 504 211 1658 158 1809 93 316 229 294 932 499 205 1636 173 1799 66 325 238 303 932 502 194 1628 171 1700 80 295 254 265 894 469 177 1540 160 33392 empl. 98261 0 731 1808 3866 6405 21551 25643 53599 44662 96750 0 746 1759 4071 6576 21114 26304 53994 42756 97092 0 726 1554 4034 6314 20433 25079 51826 45266 93532 0 760 1597 4215 6572 20241 23249 50062 43470 78058 0 701 1757 3688 6146 17752 19746 43644 34414 33392 ann. pay. 3732899 14630 22746 54193 128135 219704 786450 954367 1960521 1772378 3795758 5762 23462 53697 143124 226045 814555 989363 2029963 1765795 3921510 7937 21976 49118 143107 222138 802132 1003462 2027732 1893778 3656398 5547 23769 52749 157782 239847 774602 909832 1924281 1732117 3265868 12386 26350 62807 143478 245021 724370 767959 1737350 1528518 33392 rec. 15694721 50553 133738 251826 542684 978801 2619161 3351663 6949625 8745096 33399 firms 4001 251 1041 710 638 2640 876 283 3799 202 3860 202 1010 699 605 2516 860 278 3654 206 3764 200 987 692 570 2449 842 274 3565 199 3665 173 1006 655 558 2392 839 250 3481 184 3512 158 973 616 578 2325 797 221 3343 169 33399 estab. 4331 251 1041 710 639 2641 894 348 3883 448 4202 203 1010 699 607 2519 881 338 3738 464 4098 200 987 692 572 2451 864 325 3640 458 4003 173 1006 655 560 2394 862 300 3556 447 3834 158 974 616 579 2327 814 275 3416 418 33399 empl. 189785 0 2373 4745 8745 15863 35382 40514 91759 98026 186898 0 2307 4671 8257 15235 34963 39400 89598 97300 181804 0 2245 4621 7789 14655 34205 39075 87935 93869 175756 0 2270 4462 7708 14440 34509 36615 85564 90192 157905 0 2275 4138 7774 14187 31585 30115 75887 82018 33399 ann. pay. 7505082 15736 71892 143655 290279 521562 1341090 1583495 3446147 4058935 7541894 17159 73975 142199 289642 522975 1354590 1570834 3448399 4093495 7668939 16933 76872 151996 279155 524956 1364923 1622239 3512118 4156821 7444793 15437 74428 145162 269524 504551 1346571 1513901 3365023 4079770 6871261 16434 78351 141918 288942 525645 1311211 1261289 3098145 3773116 33399 rec. 29337032 108692 335361 554334 1041588 2039975 4450964 4879631 11370570 17966462 33411 firms 1938 247 534 240 286 1307 357 133 1797 141 1922 253 512 283 264 1312 348 126 1786 136 1969 255 570 285 264 1374 341 121 1836 133 1817 168 510 272 262 1212 343 122 1677 140 1477 148 371 229 192 940 309 122 1371 106 33411 estab. 2050 247 534 240 286 1307 370 136 1813 237 2042 253 514 284 264 1315 357 136 1808 234 2077 256 570 286 264 1376 347 132 1855 222 1916 168 510 273 263 1214 350 131 1695 221 1568 148 371 230 192 941 317 147 1405 163 33411 empl. 243164 0 1241 1603 3905 6749 14243 20793 41785 201379 224815 0 1155 1853 3563 6571 13851 19196 39618 185197 193897 0 1260 1934 3589 6783 14393 17020 38196 155701 199637 0 1096 1818 3578 6492 14628 19023 40143 159494 155137 0 836 1543 2602 4981 12654 18249 35884 119253 33411 ann. pay. 12628448 56540 47765 57935 161909 324149 636739 913480 1874368 10754080 12340294 22485 47814 70812 158153 299264 690189 1009878 1999331 10340963 11812969 128608 56498 88746 179359 453211 744316 1405464 2602991 9209978 11372337 26235 48647 72558 182597 330037 738775 1157019 2225831 9146506 9549212 16719 34895 64638 121589 237841 701785 1164149 2103775 7445437 33411 rec. 79551928 78324 186008 327879 576640 1168851 3284466 5280457 9733774 69818154 33421 firms 561 46 94 71 63 274 134 80 488 73 549 40 104 66 61 271 133 76 480 69 556 55 101 74 60 290 123 75 488 68 525 27 109 72 57 265 110 81 456 69 423 35 69 55 45 204 107 55 366 57 33421 estab. 615 46 94 71 63 274 135 94 503 112 609 40 104 66 61 271 135 86 492 117 616 56 101 74 60 291 125 82 498 118 574 27 109 72 57 265 112 85 462 112 485 35 71 56 45 207 110 57 374 111 33421 empl. 97046 0 210 467 898 1575 5951 13097 20623 76423 98373 0 236 448 843 1527 6183 12373 20083 78290 83117 0 230 496 823 1549 5847 12290 19686 63431 86964 0 237 493 810 1540 5116 14609 21265 65699 65176 0 155 367 594 1116 5021 8187 14324 50852 33421 ann. pay. 7545310 13345 13215 19914 45290 91764 356211 737451 1185426 6359884 8429599 50994 10045 16369 41955 119363 409088 845967 1374418 7055181 7252927 48915 14607 23109 40752 127383 441411 1089959 1658753 5594174 5789793 7468 14061 23646 50343 95518 310951 1156798 1563267 4226526 4591461 16073 6711 17042 29482 69308 330759 535799 935866 3655595 33421 rec. 29785834 60067 43640 66418 116360 286485 1109319 2400168 3795972 25989862 33422 firms 1088 80 192 124 158 554 299 116 969 119 1057 78 196 131 149 554 287 106 947 110 1067 115 200 123 137 575 276 115 966 101 1023 60 202 128 140 530 279 111 920 103 937 62 145 126 136 469 270 99 838 99 33422 estab. 1216 80 192 124 158 554 306 135 995 221 1182 78 196 131 149 554 292 129 975 207 1200 115 200 123 137 575 280 141 996 204 1158 60 202 128 140 530 296 123 949 209 1069 62 145 126 136 469 281 110 860 209 33422 empl. 155223 0 435 847 2229 3511 12431 19037 34979 120244 147123 0 441 897 2032 3370 12069 17490 32929 114194 148347 0 432 822 1931 3185 11526 20672 35383 112964 153962 0 420 864 1960 3244 12062 19656 34962 119000 117229 0 310 849 1892 3051 11735 17554 32340 84889 33422 ann. pay. 7680288 14834 14173 33499 91948 154454 538155 834970 1527579 6152709 7831204 8170 18752 35261 89577 151760 551228 928414 1631402 6199802 8937337 40947 18736 33333 87838 180854 588944 1248455 2018253 6919084 8859028 11101 16054 38486 83777 149418 574157 1075379 1798954 7060074 7487693 6269 12857 36015 79036 134177 583201 1001879 1719257 5768436 33422 rec. 38513924 26380 56203 143055 299297 524935 1995757 3581934 6102626 32411298 33429 firms 463 32 148 92 54 326 71 35 432 31 445 26 143 78 57 304 72 36 412 33 455 41 142 69 62 314 71 38 423 32 431 26 141 64 58 289 69 42 400 31 428 31 143 67 60 301 66 32 399 29 33429 estab. 496 32 148 92 55 327 73 41 441 55 475 26 143 78 57 304 73 40 417 58 489 41 142 69 62 314 72 42 428 61 468 26 141 64 58 289 69 48 406 62 454 31 143 67 60 301 68 35 404 50 33429 empl. 24660 0 331 611 714 1656 3060 4766 9482 15178 24896 0 331 511 742 1584 2976 4913 9473 15423 25037 0 298 454 835 1587 3099 5118 9804 15233 28572 0 311 429 803 1543 2757 6905 11205 17367 23850 0 292 459 799 1550 2799 4313 8662 15188 33429 ann. pay. 924167 9011 11583 20524 20600 61718 114096 163795 339609 584558 964860 3834 13279 17305 23924 58342 129040 174599 361981 602879 1242981 7203 9149 19800 33029 69181 154726 327364 551271 691710 1526328 2842 11598 19074 31970 65484 116951 372286 554721 971607 1267281 5164 12670 19491 35791 73116 136327 211080 420523 846758 33429 rec. 5511238 23066 53266 78981 146674 301987 602995 858076 1763058 3748180 33431 firms 531 63 153 71 77 364 97 45 506 25 506 57 143 79 74 353 89 39 481 25 533 60 154 86 68 368 99 45 512 21 537 59 166 83 64 372 98 43 513 24 598 58 183 104 88 433 101 42 576 22 33431 estab. 572 63 153 71 77 364 101 54 519 53 539 57 143 79 74 353 94 47 494 45 560 60 154 86 68 368 99 53 520 40 561 59 166 83 64 372 98 48 518 43 623 58 183 104 88 433 103 47 583 40 33431 empl. 32829 0 357 470 1020 1847 4145 7597 13589 19240 28188 0 325 540 1034 1899 3899 6619 12417 15771 30127 0 347 568 914 1829 4148 8212 14189 15938 28686 0 379 564 873 1816 4382 6785 12983 15703 25344 0 413 691 1164 2268 4441 5763 12472 12872 33431 ann. pay. 1019089 6020 8944 12598 28655 56217 120742 238929 415888 603201 977934 12339 9397 15830 33809 71375 124441 221606 417422 560512 1001995 9396 11903 20089 34388 75776 135993 267657 479426 522569 1005565 4281 12639 22450 30478 69848 164743 221567 456158 549407 1043741 3757 14333 27283 47460 92833 209585 208884 511302 532439 33431 rec. 9393398 23187 75617 122512 209684 431000 913555 1447223 2791778 6601620 33441 firms 5551 411 1124 757 792 3084 1516 594 5194 357 5458 351 1189 783 769 3092 1469 557 5118 340 5356 381 1126 739 732 2978 1481 563 5022 334 5242 293 1083 738 730 2844 1491 574 4909 333 4887 294 1018 703 743 2758 1366 481 4605 282 33441 estab. 6244 411 1125 758 794 3088 1556 711 5355 889 6181 352 1189 785 771 3097 1503 698 5298 883 6104 382 1126 741 734 2983 1509 690 5182 922 5973 295 1083 741 732 2851 1520 685 5056 917 5560 294 1019 704 745 2762 1417 620 4799 761 33441 empl. 588039 0 2521 5174 11011 18706 67741 106397 192844 395195 562211 0 2645 5262 10637 18544 65624 96488 180656 381555 571377 0 2507 5010 10241 17758 65793 97424 180975 390402 603160 0 2346 5028 10235 17609 68155 97956 183720 419440 458945 0 2251 4741 10314 17306 58930 75754 151990 306955 33441 ann. pay. 23581337 85407 84489 173418 347003 690317 2135918 3713790 6540025 17041312 25696028 73543 98123 188476 374443 734585 2336548 3841675 6912808 18783220 31940683 85591 99012 192354 402799 779756 2593240 4669218 8042214 23898469 28296971 56659 91595 187352 391452 727058 2508644 3855199 7090901 21206070 21932669 68190 90826 185328 392022 736366 2300477 3253074 6289917 15642752 33441 rec. 114893236 647901 421266 872483 1622216 3563866 8069279 11689800 23322945 91570291 33451 firms 4907 322 1239 783 696 3040 1133 387 4560 347 4709 276 1229 739 698 2942 1076 366 4384 325 4538 297 1154 696 702 2849 1017 366 4232 306 4519 220 1241 691 698 2850 991 387 4228 291 4588 308 1281 708 691 2988 957 354 4299 289 33451 estab. 5541 322 1240 785 698 3045 1155 475 4675 866 5351 276 1231 740 700 2947 1095 458 4500 851 5201 297 1156 696 704 2853 1038 460 4351 850 5151 220 1243 691 698 2852 1009 475 4336 815 5228 309 1282 708 691 2990 992 431 4413 815 33451 empl. 488782 0 2827 5241 9729 17797 46979 59460 124236 364546 482482 0 2829 4895 9600 17324 44880 56209 118413 364069 461516 0 2721 4621 9727 17069 42081 55188 114338 347178 453496 0 2857 4620 9553 17030 41046 58095 116171 337325 417552 0 2908 4678 9547 17133 39237 50366 106736 310816 33451 ann. pay. 24381954 55006 99006 185570 382309 721891 1952757 2628528 5303176 19078778 25793672 72642 102612 191252 386725 753231 1921198 2721880 5396309 20397363 26495638 45135 102271 183214 422340 752960 1940513 2891740 5585213 20910425 26071991 20242 118978 180331 400262 719813 1913877 3000980 5634670 20437321 24255795 45205 113086 189798 431480 779569 1878174 2679906 5337649 18918146 33451 rec. 93631483 181187 465395 701171 1483598 2831351 5922196 9650787 18404334 75227149 33461 firms 824 81 278 127 110 596 125 63 784 40 835 108 266 126 111 611 133 60 804 31 834 97 282 137 105 621 134 42 797 37 887 100 338 131 110 679 134 43 856 31 832 91 320 121 102 634 130 40 804 28 33461 estab. 898 81 278 128 113 600 129 88 817 81 900 108 266 126 112 612 140 83 835 65 901 97 282 137 107 623 137 66 826 75 963 100 338 131 112 681 139 75 895 68 896 91 320 121 102 634 147 50 831 65 33461 empl. 51113 0 612 830 1565 3007 4871 10529 18407 32706 47089 0 595 819 1473 2887 5370 10307 18564 28525 43669 0 612 903 1425 2940 5429 7593 15962 27707 38830 0 720 875 1434 3029 5520 7912 16461 22369 37178 0 692 797 1385 2874 5149 6586 14609 22569 33461 ann. pay. 1924714 11082 21586 30520 54532 117720 174213 403419 695352 1229362 1808394 22348 22010 27958 66621 138937 206511 404177 749625 1058769 1712941 9172 22449 33844 63422 128887 225549 285841 640277 1072664 1600204 8638 30191 34704 61621 135154 259070 336334 730558 869646 1570586 23114 29355 31779 53089 137337 224491 306971 668799 901787 33461 rec. 8650186 110696 143151 153529 213012 620388 893519 1231320 2745227 5904959 33511 firms 61 4 14 4 9 31 15 6 52 9 67 9 14 5 8 36 17 5 58 9 68 4 13 12 9 38 16 6 60 8 72 11 13 11 8 43 15 6 64 8 96 5 32 18 9 64 20 7 91 5 33511 estab. 90 4 14 4 9 31 16 6 53 37 94 9 14 5 8 36 18 5 59 35 92 4 13 12 9 38 17 6 61 31 95 11 13 11 8 43 16 6 65 30 121 5 32 19 9 65 21 7 93 28 33511 empl. 16156 0 29 25 126 180 695 1208 2083 14073 15026 0 29 32 111 172 709 860 1741 13285 14153 0 28 82 124 234 743 1055 2032 12121 13220 0 26 77 107 210 672 959 1841 11379 11961 0 68 121 135 324 814 1061 2199 9762 33511 ann. pay. 556421 264 610 559 3449 4882 21080 29169 55131 501290 542393 1502 745 1030 1512 4789 23240 23117 51146 491247 618966 48 469 2681 3958 7156 26218 29868 63242 555724 516267 596 536 2249 2561 5942 26469 30139 62550 453717 496981 249 1419 3466 4456 9590 28919 33579 72088 424893 33511 rec. 2712869 1154 7008 21261 22168 51591 157367 110900 319858 2393011 33512 firms 1179 79 290 194 180 743 293 105 1141 38 1153 77 294 184 174 729 287 99 1115 38 1126 60 309 179 172 720 265 96 1081 45 1128 69 286 192 182 729 263 91 1083 45 1030 54 257 176 162 649 264 77 990 40 33512 estab. 1265 79 290 194 180 743 298 122 1163 102 1239 77 294 184 174 729 292 113 1134 105 1215 60 309 179 172 720 269 110 1099 116 1212 69 286 192 182 729 267 103 1099 113 1113 54 257 176 163 650 269 86 1005 108 33512 empl. 58378 0 673 1326 2463 4462 12207 16400 33069 25309 59325 0 655 1272 2426 4353 12302 15595 32250 27075 60124 0 722 1239 2475 4436 11489 15242 31167 28957 58832 0 626 1281 2533 4440 11674 14391 30505 28327 51887 0 543 1187 2195 3925 11362 11502 26789 25098 33512 ann. pay. 1742869 11665 16767 34748 63874 127054 345010 492864 964928 777941 1828090 12028 16679 32745 64714 126166 358895 483639 968700 859390 1927554 4091 18427 32647 66730 121895 357326 464111 943332 984222 1829699 7310 15834 35270 69474 127888 350314 442517 920719 908980 1715054 5687 14965 33061 66131 119844 366933 404280 891057 823997 33512 rec. 9593789 21857 99785 157281 318148 597071 1617373 1926587 4141031 5452758 33521 firms 156 18 31 20 21 90 22 12 124 32 161 16 40 19 22 97 20 15 132 29 168 12 41 22 25 100 26 13 139 29 167 9 45 19 23 96 28 16 140 27 171 19 45 19 24 107 28 12 147 24 33521 estab. 189 18 31 20 21 90 22 13 125 64 191 16 40 19 22 97 20 17 134 57 194 12 41 22 25 100 26 15 141 53 190 9 45 19 23 96 29 22 147 43 191 19 45 19 24 107 28 13 148 43 33521 empl. 29021 [a] [b] [c] 286 488 1058 2160 3706 25315 25531 0 89 129 321 539 943 2688 4170 21361 24438 0 95 138 323 556 1210 1926 3692 20746 21291 [a] [c] [c] 300 528 1218 2340 4086 17205 20368 0 103 126 313 542 1178 1612 3332 17036 33521 ann. pay. 905908 (D) (D) (D) 8970 82079 23017 66859 171955 733953 742426 929 2634 4107 9477 17147 27185 86372 130704 611722 725692 1615 2983 5353 9933 19884 33879 59593 113356 612336 666661 (D) (D) (D) 9411 19733 27500 71373 118606 548055 657675 723 3887 3921 10449 18980 31763 46780 97523 560152 33521 rec. 5216512 17268 39742 24236 76032 157278 174008 324407 655693 4560819 33522 firms 139 10 30 9 16 65 27 12 104 35 149 14 37 12 13 76 25 14 115 34 142 13 34 14 8 69 24 16 109 33 157 16 33 19 15 83 25 18 126 31 167 13 45 21 17 96 26 18 140 27 33522 estab. 181 10 30 9 17 66 27 14 107 74 190 14 38 12 13 77 25 16 118 72 183 13 34 14 8 69 24 18 111 72 198 16 33 19 15 83 25 19 127 71 207 13 45 21 17 96 26 19 141 66 33522 empl. 73763 [a] [b] [b] 219 351 1228 2471 4050 69713 74302 0 80 83 164 327 1072 2974 4373 69929 76397 0 80 94 101 275 1023 2881 4179 72218 73119 [a] [b] [c] 217 405 1171 2678 4254 68865 70756 0 106 143 224 473 1125 4014 5612 65144 33522 ann. pay. 2335996 (D) (D) (D) 6603 8917 35076 73050 117043 2218953 2406681 920 1338 1553 5314 9125 35039 84545 128709 2277972 2556907 1107 1784 4827 2890 10608 31354 72848 114810 2442097 2481851 (D) (D) (D) 6267 50207 37028 74178 161413 2320438 2416047 521 2131 4590 6217 13459 37322 135762 186543 2229504 33522 rec. 18313499 4387 114222 30437 37097 186143 245533 1247290 1678966 16634533 33531 firms 2512 127 622 444 385 1578 559 199 2336 176 2438 118 617 434 355 1524 541 207 2272 166 2362 105 583 415 362 1465 526 209 2200 162 2312 110 548 416 335 1409 545 210 2164 148 2250 110 579 420 305 1414 503 189 2106 144 33531 estab. 2964 127 622 444 388 1581 580 250 2411 553 2882 118 617 434 359 1528 557 264 2349 533 2801 105 584 415 364 1468 540 264 2272 529 2751 110 548 417 337 1412 561 266 2239 512 2651 110 580 421 310 1421 522 246 2189 462 33531 empl. 210266 0 1464 2989 5242 9695 22238 28874 60807 149459 200255 0 1458 2932 4817 9207 21540 30038 60785 139470 198989 0 1338 2799 4989 9126 21288 30287 60701 138288 193238 0 1296 2815 4547 8658 22480 31961 63099 130139 168352 0 1342 2831 4165 8338 19986 27219 55543 112809 33531 ann. pay. 7212010 19031 44341 90337 174833 328542 790120 950892 2069554 5142456 7206029 11721 45465 97524 177188 331898 809841 1007612 2149351 5056678 7414596 13039 45351 94982 189215 342587 845918 1110369 2298874 5115722 7236320 35676 47704 93001 167638 344019 877090 1147337 2368446 4867874 6518083 9595 49831 100768 157174 317368 813613 1030522 2161503 4356580 33531 rec. 33211206 54861 266081 433846 629969 1384757 2912362 4096123 8393242 24817964 33591 firms 122 4 26 22 13 65 21 15 101 21 130 8 29 22 10 69 26 15 110 20 133 9 30 18 14 71 28 13 112 21 134 10 31 23 12 76 23 16 115 19 123 8 22 21 19 70 18 18 106 17 33591 estab. 177 4 26 22 13 65 21 17 103 74 181 8 29 22 10 69 26 17 112 69 182 9 30 18 14 71 28 14 113 69 184 10 31 23 12 76 23 18 117 67 175 8 22 21 19 70 19 23 112 63 33591 empl. 31320 [a] [b] 144 184 387 1052 2986 4425 26895 31245 0 70 131 138 339 1085 2973 4397 26848 31391 0 70 113 179 362 1205 2450 4017 27374 30924 0 68 161 150 379 1012 3047 4438 26486 26067 0 44 138 263 445 805 2960 4210 21857 33591 ann. pay. 1088658 (D) (D) 4190 5493 11724 30037 90865 132626 956032 1162407 4615 2261 3552 4143 14571 37969 96653 149193 1013214 1182697 3113 1813 4110 5986 15022 47427 80944 143393 1039304 1144600 1280 2898 5376 5081 14635 41782 104809 161226 983374 970500 2189 1224 4382 8860 16655 26654 102149 145458 825042 33591 rec. 6571691 24507 6949 32658 51009 115123 139755 551375 806253 5765438 33592 firms 296 21 25 15 27 88 97 52 237 59 301 24 35 18 23 100 94 48 242 59 313 31 37 18 35 121 90 43 254 59 313 21 33 32 34 120 89 43 252 61 307 16 33 34 44 127 83 44 254 53 33592 estab. 413 21 25 15 27 88 99 62 249 164 421 24 35 18 23 100 96 57 253 168 447 31 39 18 35 123 93 51 267 180 447 21 33 34 34 122 92 49 263 184 420 16 33 34 44 127 85 52 264 156 33592 empl. 57999 [a] [b] 97 366 527 4628 8377 13532 44467 59471 0 80 123 312 515 4300 7966 12781 46690 61942 0 85 123 477 685 4070 7144 11899 50043 65989 0 89 209 463 761 4139 7421 12321 53668 49601 0 76 233 590 899 3904 6146 10949 38652 33592 ann. pay. 2125177 (D) (D) 2956 10415 18441 150532 263028 432001 1693176 2336093 2736 4073 4529 11329 22667 156388 284263 463318 1872775 2752764 20475 4966 3744 17839 47024 157818 321586 526428 2226336 2565719 1695 4270 10573 15425 31963 153312 239644 424919 2140800 2005485 6206 2663 7420 24279 40568 163236 215606 419410 1586075 33592 rec. 13439459 42567 19201 59004 171098 291870 858846 1083677 2234393 11205066 33593 firms 616 39 119 84 81 323 148 70 541 75 612 42 121 89 87 339 132 68 539 73 622 51 135 75 79 340 142 69 551 71 604 45 129 75 82 331 133 75 539 65 565 26 124 80 80 310 135 59 504 61 33593 estab. 752 39 120 84 82 325 152 77 554 198 750 43 121 89 87 340 135 76 551 199 765 52 135 75 79 341 148 77 566 199 743 45 130 75 82 332 136 89 557 186 690 26 125 81 80 312 136 73 521 169 33593 empl. 68248 0 268 571 1131 1970 6195 10548 18713 49535 67285 0 275 593 1234 2102 5863 10582 18547 48738 68091 0 313 489 1117 1919 6170 10279 18368 49723 66345 0 286 509 1137 1932 5980 11903 19815 46530 58590 0 271 535 1079 1885 5811 9557 17253 41337 33593 ann. pay. 2174622 3428 7086 17543 35319 63376 189718 296419 549513 1625109 2245516 2413 7989 17110 37563 65075 189345 308111 562531 1682985 2360814 4321 11117 14978 36778 67194 206712 304101 578007 1782807 2266820 2346 9791 16661 33469 62267 188346 359164 609777 1657043 2161177 5481 8553 17593 33482 65109 202499 309658 577266 1583911 33593 rec. 11311416 72017 38585 77352 140832 328786 790013 1307878 2426677 8884739 33599 firms 1048 82 210 132 130 554 288 115 957 91 1078 98 240 130 135 603 279 102 984 94 1090 89 260 142 139 630 264 106 1000 90 1049 85 234 131 138 588 271 100 959 90 961 64 214 139 131 548 247 96 891 70 33599 estab. 1122 82 210 132 130 554 293 136 983 139 1156 98 240 130 135 603 285 123 1011 145 1162 89 260 142 140 631 269 123 1023 139 1120 85 234 131 138 588 276 118 982 138 1033 64 214 139 131 548 255 109 912 121 33599 empl. 57249 0 473 890 1756 3119 11569 14666 29354 27895 53981 0 520 885 1807 3212 11126 12725 27063 26918 53881 0 547 961 1925 3433 10929 14128 28490 25391 52455 0 499 885 1866 3250 11400 12929 27579 24876 44818 0 454 929 1783 3166 10443 11393 25002 19816 33599 ann. pay. 2087898 8992 15241 30716 57162 112111 405651 478026 995788 1092110 2130000 10188 17953 29352 61072 118565 400565 455518 974648 1155352 2313001 13351 18018 37149 71613 140131 417825 551161 1109117 1203884 2165450 10920 16518 32677 72420 132535 433092 498328 1063955 1101495 1908365 4046 22048 40744 73245 140083 415438 444395 999916 908449 33599 rec. 8152826 19434 101627 205699 258913 585673 1609063 1764887 3959623 4193203 33611 firms 268 36 96 35 26 193 38 14 245 23 276 39 99 30 37 205 38 10 253 23 274 32 109 29 31 201 35 15 251 23 267 30 96 40 34 200 32 13 245 22 248 23 96 31 31 181 34 8 223 25 33611 estab. 324 36 96 35 26 193 39 14 246 78 329 39 99 30 37 205 39 10 254 75 324 32 109 29 31 201 35 16 252 72 321 30 96 40 34 200 33 14 247 74 308 23 96 31 31 181 34 9 224 84 33611 empl. 204054 [a] [c] [c] 334 763 1855 2410 5028 199026 199924 0 198 195 494 887 1678 1528 4093 195831 199974 0 225 197 436 858 1493 2248 4599 195375 187713 0 200 262 485 947 1301 2121 4369 183344 196197 [a] [c] 200 412 809 1350 1772 3931 192266 33611 ann. pay. 11596677 (D) (D) (D) 8043 19868 60165 84960 164993 11431684 13415712 3627 4431 4319 12996 25373 59506 54755 139634 13276078 13186679 1878 4948 4834 12303 23963 67631 82296 173890 13012789 11413129 17142 4891 8186 11384 41603 41537 80809 163949 11249180 12991526 (D) (D) 5828 11183 29109 49581 63720 142410 12849116 33611 rec. 226640386 (D) (D) 86962 163002 (D) 505539 1069466 2019603 224620783 33612 firms 77 5 12 19 7 43 12 6 61 16 78 9 15 13 6 43 10 9 62 16 75 7 14 11 6 38 12 9 59 16 76 4 15 12 9 40 9 11 60 16 76 2 15 11 9 37 13 11 61 15 33612 estab. 87 5 12 19 7 43 12 7 62 25 89 9 15 13 6 43 10 10 63 26 86 7 14 11 6 38 12 10 60 26 89 4 15 12 9 40 9 12 61 28 87 2 15 11 9 37 13 12 62 25 33612 empl. 31429 [a] [b] [c] 92 236 494 1028 1758 29671 33993 0 40 84 80 204 470 1589 2263 31730 35439 0 35 72 81 188 485 1918 2591 32848 27419 [a] [b] 74 131 245 344 2153 2742 24677 20689 [a] [b] 73 140 248 681 2501 3430 17259 33612 ann. pay. 1420477 (D) (D) (D) 3253 9042 9615 32750 51407 1369070 1689896 2604 978 2228 2624 8434 13298 59188 80920 1608976 1637023 263 888 1898 2401 5450 13830 63748 83028 1553995 1193807 (D) (D) 1929 4229 7670 8950 75132 91752 1102055 918950 (D) (D) 2339 4100 7340 20866 83177 111383 807567 33612 rec. 10358703 (D) (D) 26593 43152 (D) 141858 772558 995266 9363437 33621 firms 1919 130 422 322 292 1166 517 155 1838 81 1893 136 397 305 302 1140 504 159 1803 90 1860 123 373 284 317 1097 499 168 1764 96 1836 104 399 291 295 1089 521 140 1750 86 1783 104 362 304 321 1091 485 129 1705 78 33621 estab. 2116 130 422 322 292 1166 530 190 1886 230 2103 136 397 305 302 1140 519 191 1850 253 2081 123 373 284 317 1097 509 199 1805 276 2062 104 399 291 296 1090 530 167 1787 275 2001 104 362 304 321 1091 503 171 1765 236 33621 empl. 128687 0 990 2164 4045 7199 22005 27367 56571 72116 141610 0 899 2050 4132 7081 21486 28875 57442 84168 150461 0 808 1925 4391 7124 21911 31514 60549 89912 132765 0 886 1978 4047 6911 22893 26912 56716 76049 114410 0 857 2042 4393 7292 20879 24460 52631 61779 33621 ann. pay. 3815998 9210 21541 47812 94678 173241 596757 818472 1588470 2227528 4346749 29319 20066 46828 102996 199209 624166 864207 1687582 2659167 4460041 16659 18306 43863 108981 187809 610385 931256 1729450 2730591 3959236 6549 20379 46185 108751 181864 640585 803316 1625765 2333471 3864490 14737 28827 55691 124303 223558 636266 811344 1671168 2193322 33621 rec. 23235348 83751 204518 298728 632581 1219578 3019856 4382768 8622202 14613146 33631 firms 939 58 352 164 111 685 115 66 866 73 898 35 324 174 107 640 114 69 823 75 873 53 302 151 101 607 125 69 801 72 872 53 311 152 101 617 120 64 801 71 874 51 348 148 98 645 108 60 813 61 33631 estab. 1048 58 352 165 111 686 115 76 877 171 1003 35 324 175 107 641 114 80 835 168 982 53 302 152 101 608 125 76 809 173 984 53 311 155 101 620 120 72 812 172 971 51 348 149 98 646 111 66 823 148 33631 empl. 104197 0 797 1068 1520 3385 5027 12197 20609 83588 103848 0 715 1157 1435 3307 4903 12599 20809 83039 105256 0 691 999 1353 3043 5385 12673 21101 84155 98182 0 710 985 1366 3061 5092 11326 19479 78703 80507 0 776 951 1328 3055 4654 10161 17870 62637 33631 ann. pay. 4491238 15555 17358 26862 37652 97427 150493 408789 656709 3834529 5002317 3599 21243 33379 35839 94060 153976 399087 647123 4355194 5177133 7090 17131 25438 39297 88956 182796 417630 689382 4487751 4916038 35184 15684 26288 37756 114912 176513 360867 652292 4263746 4106306 11639 18914 29731 38065 98349 175499 332082 605930 3500376 33631 rec. 32744212 67609 116385 161057 209524 554575 849122 1801503 3205200 29539012 33632 firms 1035 64 251 156 110 581 251 90 922 113 1012 50 279 135 104 568 232 97 897 115 979 47 254 134 109 544 227 99 870 109 944 36 250 121 111 518 225 89 832 112 837 28 227 100 108 463 197 81 741 96 33632 estab. 1135 64 251 156 110 581 252 101 934 201 1109 50 279 135 104 568 232 114 914 195 1072 47 254 134 109 544 227 115 886 186 1034 36 250 121 111 518 226 105 849 185 922 28 227 100 108 463 200 97 760 162 33632 empl. 118129 0 544 1021 1514 3079 11058 14650 28787 89342 111989 0 628 905 1413 2946 10106 15976 29028 82961 113031 0 577 899 1475 2951 10108 16360 29419 83612 104769 0 567 783 1472 2822 9793 14851 27466 77303 83434 0 522 649 1431 2602 8415 14024 25041 58393 33632 ann. pay. 4094164 4899 12837 24820 47022 89578 294262 337848 721688 3372476 4210692 13789 17184 24572 40402 95947 289826 408198 793971 3416721 4263993 7495 15778 46724 49286 119283 289156 430670 839109 3424884 4016612 2391 15482 22627 45775 86275 290811 397009 774095 3242517 3169695 1692 14407 19287 45516 80902 273015 392728 746645 2423050 33632 rec. 24137326 10594 89278 175169 231340 506381 1212624 2167636 3886641 20250685 33633 firms 179 11 36 27 21 95 31 20 146 33 177 8 34 26 25 93 31 20 144 33 171 6 34 25 23 88 32 18 138 33 168 6 34 23 26 89 30 15 134 34 185 12 40 20 28 100 33 18 151 34 33633 estab. 211 11 36 27 21 95 32 21 148 63 212 8 34 26 25 93 32 21 146 66 207 6 34 25 23 88 33 19 140 67 204 6 34 23 26 89 31 17 137 67 221 12 40 20 28 100 33 22 155 66 33633 empl. 48499 0 87 189 286 562 1171 5112 6845 41654 47467 0 91 171 326 588 1258 5456 7302 40165 50001 0 74 160 302 536 1314 5150 7000 43001 44251 0 81 145 334 560 1199 3754 5513 38738 36109 [a] [b] 130 396 612 1361 4225 6198 29911 33633 ann. pay. 2294232 207 2072 6134 6868 15281 34391 165106 214778 2079454 2452249 699 2360 4041 8248 15348 41193 181206 237747 2214502 2390938 443 2054 4042 7039 13578 42220 163038 218836 2172102 2091211 880 2580 3386 9389 16235 39852 133397 189484 1901727 1788109 (D) (D) 8475 11475 29031 48673 151341 229045 1559064 33633 rec. 10103427 (D) (D) 72323 41780 (D) 214578 900773 1264271 8839156 33634 firms 207 11 36 24 31 102 49 27 178 29 201 6 45 20 32 103 42 25 170 31 198 10 41 23 25 99 43 25 167 31 193 10 42 22 25 99 38 29 166 27 194 11 51 17 21 100 40 23 163 31 33634 estab. 282 11 36 24 31 102 51 32 185 97 278 6 45 20 32 103 43 30 176 102 266 10 41 23 25 99 44 31 174 92 260 10 42 22 25 99 39 35 173 87 253 11 51 17 21 100 41 29 170 83 33634 empl. 41357 0 92 149 405 646 2181 4796 7623 33734 43812 0 108 130 432 670 1779 4635 7084 36728 43115 0 100 156 345 601 1859 4379 6839 36276 39484 0 103 144 383 630 1731 4824 7185 32299 36478 0 121 103 280 504 1897 3523 5924 30554 33634 ann. pay. 1478517 1212 2147 3317 9153 15829 63940 139004 218773 1259744 1675180 1221 3102 3253 13978 21554 56059 129241 206854 1468326 1584230 286 3133 4086 9820 17325 65240 119126 201691 1382539 1477891 4119 4021 3624 10870 22634 54305 130095 207034 1270857 1394536 2699 5489 3777 7282 19247 61836 108547 189630 1204906 33634 rec. 12523497 26151 35173 23001 42270 126595 387408 524302 1038305 11485192 33635 firms 453 36 126 65 53 280 71 43 394 59 431 27 109 68 51 255 80 38 373 58 411 24 110 54 51 239 77 40 356 55 410 21 109 64 52 246 69 40 355 55 413 20 120 66 51 257 67 40 364 49 33635 estab. 550 36 126 65 53 280 73 49 402 148 532 27 110 68 51 256 82 45 383 149 509 24 110 54 52 240 78 44 362 147 507 21 109 64 52 246 71 45 362 145 513 20 120 66 52 258 70 45 373 140 33635 empl. 115906 0 294 427 751 1472 2914 6148 10534 105372 113184 0 252 434 677 1363 3410 5462 10235 102949 118268 0 278 351 699 1328 3101 6188 10617 107651 105316 0 271 420 724 1415 2899 6145 10459 94857 92395 0 291 442 700 1433 2812 6451 10696 81699 33635 ann. pay. 6013521 6507 6501 10448 19616 43072 86244 189267 318583 5694938 6450096 687 6096 11249 17378 35410 99246 175724 310380 6139716 6684394 1735 7220 10565 26600 46120 93245 205292 344657 6339737 5889799 2018 7583 11589 21790 42980 83264 218669 344913 5544886 5353543 1624 7711 13287 22774 45396 98056 240174 383626 4969917 33635 rec. 34296275 14508 39617 63148 112367 229640 548680 1527297 2305617 31990658 33636 firms 276 23 64 34 26 147 62 32 241 35 259 22 56 34 25 137 56 33 226 33 242 16 50 34 25 125 58 28 211 31 247 15 53 38 24 130 61 28 219 28 245 22 45 37 28 132 58 30 220 25 33636 estab. 366 23 64 34 27 148 63 44 255 111 350 22 56 34 25 137 57 40 234 116 335 16 50 34 25 125 58 36 219 116 338 15 53 38 24 130 61 37 228 110 332 22 45 37 28 132 58 35 225 107 33636 empl. 46977 0 148 217 352 717 2356 6229 9302 37675 50847 0 152 222 328 702 2240 6583 9525 41322 53783 0 117 210 348 675 2231 5846 8752 45031 50433 0 130 254 333 717 2320 5699 8736 41697 47931 0 108 246 359 713 2171 6003 8887 39044 33636 ann. pay. 1687217 1037 2309 4790 7290 15426 51146 166194 232766 1454451 1861304 978 3490 4737 7116 16321 48165 177081 241567 1619737 1959934 3917 2660 4375 9480 20432 57584 162257 240273 1719661 1774288 2536 2704 5691 9422 20353 86044 164911 271308 1502980 1871255 12047 2432 6286 10120 30885 66030 186670 283585 1587670 33636 rec. 17773782 174164 16589 91277 60965 342995 366385 1016293 1725673 16048109 33637 firms 638 15 56 45 75 191 226 141 558 80 635 25 53 49 72 199 220 132 551 84 612 13 48 46 69 176 220 133 529 83 603 15 59 48 70 192 206 126 524 79 584 21 49 56 62 188 201 118 507 77 33637 estab. 789 15 56 45 75 191 232 169 592 197 784 25 53 49 73 200 225 155 580 204 754 13 48 46 70 177 224 167 568 186 740 15 60 48 70 193 210 153 556 184 719 21 49 56 64 190 206 144 540 179 33637 empl. 126060 0 135 306 1083 1524 10133 26673 38330 87730 127248 0 116 326 1032 1474 10321 24892 36687 90561 129416 0 109 309 984 1402 10369 26700 38471 90945 115931 0 135 327 1060 1522 9545 24062 35129 80802 111908 [a] [c] 394 934 1433 8846 23252 33531 78377 33637 ann. pay. 5549720 3196 3683 8321 36042 51242 369956 878221 1299419 4250301 6233803 5546 3330 11391 38440 58707 396598 894823 1350128 4883675 6282397 1414 3021 9018 35012 48465 393751 962096 1404312 4878085 5304947 9805 4925 9392 37151 61273 360778 812668 1234719 4070228 5379524 (D) (D) 13961 34536 55280 359989 872185 1287454 4092070 33637 rec. 24428350 (D) (D) 78857 144440 (D) 1499474 4170964 5930308 18498042 33639 firms 1282 81 260 165 149 655 323 148 1126 156 1267 68 266 171 154 659 317 146 1122 145 1219 45 267 163 154 629 305 137 1071 148 1190 62 253 172 148 635 283 125 1043 147 1204 64 239 184 160 647 261 140 1048 156 33639 estab. 1552 81 260 165 149 655 348 177 1180 372 1548 73 266 171 155 665 338 169 1172 376 1496 45 267 163 159 634 323 156 1113 383 1459 62 253 173 150 638 289 150 1077 382 1506 65 239 184 163 651 277 173 1101 405 33639 empl. 200336 0 603 1103 2066 3772 13594 27453 44819 155517 196128 0 605 1150 2178 3933 13830 27624 45387 150741 199321 0 611 1110 2067 3788 13528 26734 44050 155271 181301 0 559 1154 2029 3742 12740 22638 39120 142181 168340 0 548 1275 2303 4126 11698 23802 39626 128714 33639 ann. pay. 7115731 8945 14834 25448 60493 109720 387450 840583 1337753 5777978 7543754 8392 16667 28598 67111 120768 418173 859141 1398082 6145672 7648049 2493 14934 30955 65360 113742 401815 833149 1348706 6299343 6917316 14555 16022 31924 64308 126809 384398 706601 1217808 5699508 6670678 9138 18471 40733 75494 143836 367819 815411 1327066 5343612 33639 rec. 47956164 51208 177141 210149 417916 856414 1755925 4749101 7361440 40594724 33641 firms 1521 116 340 223 222 901 372 132 1405 116 1516 111 350 233 217 911 351 140 1402 114 1485 97 351 239 217 904 341 135 1380 105 1466 96 320 249 207 872 356 131 1359 107 1294 75 269 193 217 754 318 122 1194 100 33641 estab. 1827 116 340 223 222 901 379 149 1429 398 1845 112 350 233 217 912 358 163 1433 412 1823 98 351 239 217 905 347 150 1402 421 1792 96 320 249 207 872 362 152 1386 406 1619 75 269 193 217 754 324 143 1221 398 33641 empl. 518881 0 784 1479 3058 5321 16112 21851 43284 475597 509571 0 788 1553 2950 5291 14640 23307 43238 466333 446243 0 791 1643 2949 5383 14330 21212 40925 405318 449383 0 712 1701 2828 5241 14855 21668 41764 407619 391273 0 617 1345 2984 4946 13747 19880 38573 352700 33641 ann. pay. 26872794 27311 25238 44955 107203 204707 610773 888506 1703986 25168808 27718051 23314 27651 50447 98156 199568 549547 927790 1676905 26041146 25026371 19954 26969 51849 102246 201018 564580 893002 1658600 23367771 26204849 11521 23203 53994 104065 192783 615521 921234 1729538 24475311 23250070 18995 23527 45371 119976 207869 570092 828980 1606941 21643129 33641 rec. 124446482 71943 96438 163887 415616 747884 1984018 2895290 5627192 118819290 33651 firms 176 11 24 15 22 72 49 26 147 29 174 11 23 17 26 77 45 23 145 29 159 10 17 18 27 72 39 23 134 25 153 12 17 20 16 65 40 23 128 25 143 8 18 14 21 61 37 21 119 24 33651 estab. 237 11 24 15 22 72 52 34 158 79 241 11 23 17 26 77 48 30 155 86 227 10 17 18 27 72 44 29 145 82 218 12 17 20 16 65 44 28 137 81 197 8 18 14 21 61 38 29 128 69 33651 empl. 37676 [a] [b] 108 289 449 2111 3648 6208 31468 38815 0 54 118 352 524 2114 3124 5762 33053 38724 0 39 109 383 531 1998 3375 5904 32820 35423 [a] [b] 142 240 423 1897 3483 5803 29620 28199 0 40 95 292 427 1623 3024 5074 23125 33651 ann. pay. 1522233 (D) (D) 3203 8772 15374 77741 138741 231856 1290377 1612483 1036 1598 3557 13971 20162 76794 116320 213276 1399207 1633472 3604 2176 3159 11074 20013 74603 125588 220204 1413268 1486943 (D) (D) 4035 7006 24715 69008 126076 219799 1267144 1277714 265 1607 3265 11515 16652 70907 117790 205349 1072365 33651 rec. 8307047 1703 9234 18002 54546 83485 306427 434333 824245 7482802 33661 firms 1727 185 471 287 252 1195 352 124 1671 56 1664 179 481 268 249 1177 312 120 1609 55 1635 145 473 258 256 1132 320 128 1580 55 1685 153 508 276 246 1183 322 129 1634 51 1612 146 490 275 222 1133 314 123 1570 42 33661 estab. 1835 185 471 287 253 1196 356 145 1697 138 1779 179 481 268 251 1179 315 135 1629 150 1763 145 473 258 257 1133 323 150 1606 157 1815 153 508 276 247 1184 329 156 1669 146 1736 146 490 275 223 1134 324 151 1609 127 33661 empl. 142684 0 1055 1956 3428 6439 15612 23223 45274 97410 145065 0 1052 1798 3396 6246 14021 22918 43185 101880 146969 0 1044 1737 3485 6266 14149 24454 44869 102100 138962 0 1098 1823 3433 6354 14510 23551 44415 94547 131292 0 1019 1817 2994 5830 13554 23358 42742 88550 33661 ann. pay. 4761852 17667 26192 47027 90558 181444 429990 700790 1312224 3449628 4804405 16151 27118 43289 100174 186732 419566 682357 1288655 3515750 5044270 9269 28398 40707 97528 175902 415052 783607 1374561 3669709 5094086 9149 29921 45068 97992 182130 462846 753579 1398555 3695531 5111708 19359 28945 50989 91512 190805 448427 833611 1472843 3638865 33661 rec. 21115423 115074 154395 227705 366594 863768 1947219 3609066 6420053 14695370 33699 firms 800 79 222 133 121 555 160 45 760 40 803 83 216 138 119 556 163 43 762 41 806 91 216 128 117 552 170 44 766 40 769 51 229 132 112 524 162 46 732 37 779 90 241 119 106 556 145 41 742 37 33699 estab. 843 79 222 133 121 555 172 48 775 68 840 83 216 138 119 556 168 48 772 68 841 91 216 128 117 552 175 46 773 68 804 51 230 132 112 525 166 49 740 64 817 90 241 120 106 557 151 46 754 63 33699 empl. 46474 0 502 930 1621 3053 6648 6176 15877 30597 42715 0 486 923 1625 3034 6741 6939 16714 26001 42629 0 464 842 1624 2930 7040 6984 16954 25675 42113 0 511 891 1560 2962 6527 6849 16338 25775 39545 0 556 788 1461 2805 5731 5578 14114 25431 33699 ann. pay. 1664365 5138 12281 25650 41243 84312 202091 173209 459612 1204753 1592291 5332 10656 21639 43471 81098 206507 223382 510987 1081304 1652808 4431 9154 20726 48127 82438 223344 212920 518702 1134106 1699739 1587 13599 22136 45457 82779 200820 227654 511253 1188486 1623369 9892 14396 22048 42624 88960 200944 206498 496402 1126967 33699 rec. 13934969 58983 81692 121244 210515 472434 916615 1029751 2418800 11516169 33711 firms 7797 618 3465 1760 1109 6952 723 98 7773 24 7633 567 3337 1727 1105 6736 766 104 7606 27 7475 550 3154 1694 1123 6521 809 117 7447 28 8071 588 3410 1802 1252 7052 880 112 8044 27 9560 711 4455 2086 1312 8564 858 110 9532 28 33711 estab. 7904 618 3466 1760 1111 6955 748 118 7821 83 7749 567 3338 1727 1108 6740 789 126 7655 94 7585 551 3155 1694 1127 6527 817 141 7485 100 8176 588 3410 1803 1256 7057 890 130 8077 99 9670 711 4456 2087 1317 8571 869 124 9564 106 33711 empl. 101442 0 7729 11550 14858 34137 26980 15975 77092 24350 110070 0 7478 11421 14853 33752 28401 17419 79572 30498 116420 0 7152 11189 15175 33516 30328 20361 84205 32215 122015 0 7728 12013 16869 36610 32681 19972 89263 32752 127541 0 10036 13732 17567 41335 31690 18889 91914 35627 33711 ann. pay. 2582130 54432 151572 247961 350628 804593 700515 417810 1922918 659212 2882244 20745 156005 255010 365515 797275 779487 478657 2055419 826825 3122805 23844 152802 256872 382962 816480 850976 567633 2235089 887716 3370054 28456 175475 287768 443001 934700 950791 571548 2457039 913015 3656587 26256 227720 342557 485679 1082212 949449 570177 2601838 1054749 33711 rec. 14688148 100114 779398 1106399 1535485 3521396 2916730 2284004 8722130 5966018 33712 firms 6883 706 2572 1166 884 5328 1085 347 6760 123 6798 666 2524 1133 889 5212 1120 343 6675 123 6685 591 2508 1113 915 5127 1077 356 6560 125 6809 625 2628 1158 899 5310 1056 323 6689 120 6897 607 2731 1256 903 5497 987 306 6790 107 33712 estab. 7347 706 2575 1171 893 5345 1136 420 6901 446 7228 666 2527 1139 896 5228 1169 415 6812 416 7099 591 2510 1118 921 5140 1119 422 6681 418 7195 625 2630 1163 906 5324 1090 394 6808 387 7293 607 2733 1263 922 5525 1029 388 6942 351 33712 empl. 284876 0 5649 7768 11884 25301 46580 63095 134976 149900 293531 0 5434 7542 11995 24971 48104 63506 136581 156950 298153 0 5401 7339 12420 25160 46846 64573 136579 161574 279526 0 5597 7714 12198 25509 45558 59952 131019 148507 255224 0 5869 8339 12079 26287 42076 55344 123707 131517 33712 ann. pay. 6770555 34525 102074 146775 251499 534873 1047515 1518384 3100772 3669783 7242021 50498 103425 145053 271192 570168 1137423 1572863 3280454 3961567 7470049 20265 106415 146866 287067 560613 1129370 1624166 3314149 4155900 6959525 34770 113764 162206 273375 584115 1109058 1499161 3192334 3767191 6788097 28058 122991 185796 295234 632079 1089194 1500167 3221440 3566657 33712 rec. 30066188 146627 559010 725480 1086336 2517453 4267710 6520678 13305841 16760347 33721 firms 4003 252 860 696 722 2530 1141 249 3920 83 3928 225 870 668 701 2464 1124 251 3839 89 3819 216 811 673 669 2369 1109 254 3732 87 3894 203 862 713 684 2462 1101 247 3810 84 3843 218 919 703 665 2505 1050 216 3771 72 33721 estab. 4206 252 860 696 723 2531 1158 299 3988 218 4141 225 870 668 702 2465 1138 306 3909 232 4036 216 811 673 670 2370 1123 314 3807 229 4113 204 862 713 685 2464 1114 306 3884 229 4044 218 919 703 666 2506 1065 279 3850 194 33721 empl. 173113 0 2021 4703 9916 16640 48584 37271 102495 70618 174589 0 2023 4500 9683 16206 47539 36780 100525 74064 177200 0 1843 4510 9215 15568 46828 38788 101184 76016 171157 0 1935 4876 9399 16210 45058 37058 98326 72831 148323 0 2102 4792 9110 16004 42576 31627 90207 58116 33721 ann. pay. 5582340 17013 51625 119146 271695 459479 1461471 1100143 3021093 2561247 5769328 15196 51872 113514 279257 459839 1472894 1111442 3044175 2725153 6052462 14660 45450 114922 267750 442782 1481916 1233899 3158597 2893865 5772917 12368 48762 132254 277281 470665 1447733 1160997 3079395 2693522 5073529 19460 61771 137999 274494 493724 1425478 1066878 2986080 2087449 33721 rec. 21316538 93322 242145 482562 933023 1751052 4640328 4096271 10487651 10828887 33791 firms 620 46 140 101 100 387 180 40 607 13 604 30 145 100 90 365 183 44 592 12 575 31 130 95 90 346 177 40 563 12 557 27 128 97 89 341 168 36 545 12 522 17 117 87 95 316 159 35 510 12 33791 estab. 696 46 141 101 100 388 183 60 631 65 685 32 146 100 90 368 183 69 620 65 661 33 130 95 90 348 179 66 593 68 639 27 128 102 89 346 170 57 573 66 607 17 117 87 95 316 164 63 543 64 33791 empl. 24452 0 335 685 1362 2382 8116 6108 16606 7846 25264 0 345 665 1171 2181 8152 6384 16717 8547 26207 0 314 633 1193 2140 7996 6140 16276 9931 25500 0 308 645 1173 2126 7684 5467 15277 10223 24138 0 286 588 1315 2189 7298 5675 15162 8976 33791 ann. pay. 671147 5161 5798 12114 26191 49264 208171 171878 429313 241834 737740 4433 7145 11898 23504 46980 211880 194919 453779 283961 776111 1474 6465 10958 24929 43826 209070 168653 421549 354562 770601 987 6817 12489 26183 46476 208787 166731 421994 348607 762839 1268 6184 11436 29309 48197 206599 182527 437323 325516 33791 rec. 5020164 8889 41070 77964 156245 284168 1144512 1089276 2517956 2502208 33792 firms 428 27 157 65 61 310 86 24 420 8 424 25 147 78 54 304 84 28 416 8 427 27 135 88 63 313 71 35 419 8 430 28 149 76 65 318 71 33 422 8 433 24 161 64 75 324 67 33 424 9 33792 estab. 470 27 157 65 61 310 91 34 435 35 463 25 147 78 54 304 90 36 430 33 467 27 135 88 63 313 76 45 434 33 470 28 149 76 65 318 76 44 438 32 469 24 161 64 75 324 74 41 439 30 33792 empl. 19978 0 380 436 809 1625 3564 3765 8954 11024 19699 0 341 517 737 1595 3793 4467 9855 9844 22464 0 306 592 902 1800 3425 5950 11175 11289 20999 0 340 510 885 1735 3334 5773 10842 10157 19902 0 371 427 1030 1828 2779 5422 10029 9873 33792 ann. pay. 476119 2036 8064 7969 18131 36200 84095 86386 206681 269438 496500 3145 8343 10482 18422 40392 92473 108335 241200 255300 542204 583 7014 12503 20793 40893 81971 140132 262996 279208 560552 1372 8369 11026 20911 41678 80488 146336 268502 292050 525007 822 9000 9568 24624 44014 76288 148302 268604 256403 33792 rec. 2406049 6043 51592 51057 107069 215761 350863 595974 1162598 1243451 33911 firms 11840 795 5949 2181 1272 10197 1175 288 11660 180 11662 784 5787 2185 1251 10007 1182 297 11486 176 11516 795 5607 2181 1275 9858 1182 300 11340 176 11500 777 5680 2147 1232 9836 1188 298 11322 178 10879 781 5243 1988 1223 9235 1169 299 10703 176 33911 estab. 12474 795 5950 2185 1277 10207 1228 423 11858 616 12327 784 5787 2189 1257 10017 1232 435 11684 643 12163 795 5607 2184 1282 9868 1229 435 11532 631 12151 777 5680 2149 1239 9845 1233 442 11520 631 11575 781 5243 1991 1231 9246 1228 502 10976 599 33911 empl. 295923 0 12571 14175 16995 43741 47090 44310 135141 160782 302227 0 12274 14230 16755 43259 47148 44872 135279 166948 304555 0 12030 14177 17116 43323 47014 46584 136921 167634 304435 0 12174 14052 16648 42874 46670 46335 135879 168556 294154 0 11395 13085 16416 40896 45044 47839 133779 160375 33911 ann. pay. 10830803 44293 304372 381693 509665 1240023 1585524 1572451 4397998 6432805 11570561 61634 311371 392827 520941 1286773 1701802 1671787 4660362 6910199 12315561 137758 312947 408384 558082 1417171 1773106 1872891 5063168 7252393 12843366 58069 326747 427430 561816 1374062 1760816 2016989 5151867 7691499 12908614 42229 310227 411684 579404 1343544 1770487 2223456 5337487 7571127 33911 rec. 59721119 207817 936052 1223949 1812552 4180370 5618581 8526952 18325903 41395216 33991 firms 3769 370 1750 676 423 3219 454 72 3745 24 3686 377 1656 689 412 3134 453 74 3661 25 3662 359 1674 659 421 3113 453 75 3641 21 3473 297 1598 650 408 2953 421 74 3448 25 3000 270 1374 568 342 2554 361 63 2978 22 33991 estab. 3802 370 1751 676 423 3220 464 81 3765 37 3718 377 1656 690 412 3135 465 79 3679 39 3693 359 1675 660 421 3115 460 83 3658 35 3505 297 1598 651 409 2955 427 81 3463 42 3031 271 1374 568 345 2558 366 69 2993 38 33991 empl. 59990 0 3696 4439 5637 13772 18016 13787 45575 14415 59923 0 3504 4541 5587 13632 18058 12971 44661 15262 58000 0 3538 4344 5712 13594 17809 13648 45051 12949 55353 0 3386 4245 5477 13108 16238 12174 41520 13833 47195 0 2911 3847 4649 11407 14098 10665 36170 11025 33991 ann. pay. 1628839 12418 74968 98581 134923 320890 481468 397831 1200189 428650 1710858 18222 78664 104506 131621 333013 510614 394690 1238317 472541 1717264 15496 80615 105777 148818 350706 514859 434750 1300315 416949 1637398 12433 75136 99077 133442 320088 466930 411585 1198603 438795 1511769 10850 68085 98450 134849 312234 448430 403576 1164240 347529 33991 rec. 8705029 59501 355823 454154 652383 1521861 2161290 2605178 6288329 2416700 33992 firms 2485 272 900 449 328 1949 374 120 2443 42 2411 259 878 445 318 1900 356 109 2365 46 2410 264 898 425 313 1900 349 110 2359 51 2365 241 887 442 300 1870 347 103 2320 45 2185 218 839 384 285 1726 317 98 2141 44 33992 estab. 2572 273 901 449 328 1951 379 153 2483 89 2496 259 878 446 318 1901 362 137 2400 96 2486 264 898 425 313 1900 355 135 2390 96 2433 241 887 442 300 1870 353 132 2355 78 2256 218 839 384 285 1726 327 124 2177 79 33992 empl. 74252 0 1944 2962 4497 9403 15201 20372 44976 29276 66910 0 1887 2923 4354 9164 14455 17720 41339 25571 68072 0 1921 2827 4203 8951 14405 17733 41089 26983 66132 0 1935 2981 4109 9025 14544 17526 41095 25037 60456 0 1792 2518 3855 8165 12701 16616 37482 22974 33992 ann. pay. 2013094 13402 36986 56103 96988 203479 361539 561711 1126729 886365 1968222 22625 37755 60805 98947 220132 362040 525587 1107759 860463 2065608 9432 42065 67417 96011 214925 402966 494636 1112527 953081 2051571 14003 44307 66342 97363 222015 398129 509795 1129939 921632 2040221 15589 37822 60180 92689 206280 406072 509626 1121978 918243 33992 rec. 11579141 86686 223428 280002 438675 1028791 1968042 2880830 5877663 5701478 33993 firms 997 135 364 143 125 767 151 60 978 19 997 138 383 142 120 783 144 53 980 17 992 125 391 159 119 794 135 49 978 14 946 98 370 162 118 748 138 45 931 15 865 85 338 152 114 689 124 36 849 16 33993 estab. 1022 135 364 143 125 767 151 71 989 33 1017 138 383 142 120 783 144 61 988 29 1007 125 391 159 119 794 135 55 984 23 958 98 370 162 118 748 138 51 937 21 878 85 338 152 115 690 124 42 856 22 33993 empl. 30690 0 721 954 1671 3346 5889 9801 19036 11654 28854 0 787 950 1645 3382 5934 9576 18892 9962 26691 0 829 1073 1652 3554 5540 8973 18067 8624 23915 0 772 1076 1602 3450 5331 7403 16184 7731 20163 0 723 999 1541 3263 4866 5481 13610 6553 33993 ann. pay. 802395 7343 14858 22493 37979 82673 143867 235814 462354 340041 774558 6231 15324 23349 39068 83972 154126 252384 490482 284076 752758 3861 17477 25926 39985 87249 159542 255608 502399 250359 681485 2421 16824 25697 38347 83289 142787 237944 464020 217465 656149 3973 14359 26449 43394 88175 133151 172244 393570 262579 33993 rec. 4015148 29721 84050 145399 176813 435983 658000 1029832 2123815 1891333 33994 firms 972 73 347 178 137 735 161 50 946 26 952 64 374 158 131 727 151 48 926 26 935 78 340 169 125 712 154 45 911 24 882 60 337 155 127 679 140 44 863 19 781 41 295 151 111 598 131 37 766 15 33994 estab. 1006 73 347 178 137 735 169 61 965 41 988 64 374 158 131 727 164 51 942 46 972 78 340 169 125 712 170 49 931 41 918 60 337 155 127 679 157 51 887 31 811 41 295 151 113 600 143 45 788 23 33994 empl. 28737 0 788 1173 1802 3763 6658 6644 17065 11672 27837 0 868 1058 1737 3663 6129 6657 16449 11388 26949 0 764 1113 1617 3494 6331 6734 16559 10390 24535 0 769 1020 1710 3499 5780 6240 15519 9016 21328 0 679 995 1498 3172 5316 5465 13953 7375 33994 ann. pay. 805804 2367 16314 23506 44846 87033 175119 179764 441916 363888 796137 3663 19807 22968 45648 92086 166308 182732 441126 355011 784869 4344 16768 25208 45419 91739 171752 187728 451219 333650 722771 2532 16686 22917 46950 89085 157972 178057 425114 297657 641068 1468 15873 24886 43624 85851 161330 154172 401353 239715 33994 rec. 3551588 7444 73201 94048 182763 357456 619831 705514 1682801 1868787 33995 firms 5800 587 2348 1133 820 4888 750 131 5769 31 5854 594 2386 1138 799 4917 755 147 5819 35 5965 596 2429 1181 805 5011 765 150 5926 39 5905 493 2471 1168 822 4954 772 140 5866 39 6102 578 2644 1151 834 5207 730 129 6066 36 33995 estab. 5932 587 2349 1135 827 4898 771 188 5857 75 6007 595 2386 1139 806 4926 781 208 5915 92 6105 596 2429 1181 810 5016 793 198 6007 98 6041 493 2471 1168 827 4959 802 185 5946 95 6231 578 2644 1152 837 5211 761 174 6146 85 33995 empl. 84503 0 5258 7476 11189 23923 29493 20428 73844 10659 87487 0 5382 7527 10914 23823 28974 21722 74519 12968 88427 0 5400 7770 11027 24197 29109 21527 74833 13594 88034 0 5519 7661 11235 24415 29593 21659 75667 12367 81993 0 5939 7515 11305 24759 27785 18699 71243 10750 33995 ann. pay. 2572760 21609 104160 167737 297592 591098 949511 667936 2208545 364215 2761188 27141 113651 179812 299819 620423 962064 731758 2314245 446943 2897013 35111 119693 186091 311353 652248 998159 776712 2427119 469894 2871694 23114 123261 186801 324344 657520 1019585 767468 2444573 427121 2771658 20741 129453 195869 335747 681810 979454 718533 2379797 391861 33995 rec. 9360435 81387 471553 624627 981362 2158929 3084276 2772584 8015789 1344646 33999 firms 4690 550 1467 766 644 3427 891 238 4556 134 4660 434 1518 818 638 3408 888 235 4531 129 4605 435 1516 797 607 3355 877 243 4475 130 4458 383 1507 783 589 3262 848 219 4329 129 4511 435 1591 768 591 3385 796 205 4386 125 33999 estab. 4939 550 1467 766 648 3431 922 283 4636 303 4917 435 1520 819 640 3414 916 283 4613 304 4877 435 1516 798 610 3359 903 295 4557 320 4712 383 1508 784 592 3267 872 265 4404 308 4725 435 1592 770 591 3388 823 249 4460 265 33999 empl. 163373 0 3214 5125 8776 17115 37718 35282 90115 73258 161004 0 3282 5485 8846 17613 37307 34486 89406 71598 159506 0 3264 5315 8267 16846 36572 35366 88784 70722 150761 0 3323 5228 8144 16695 35575 31458 83728 67033 139421 0 3396 5099 8072 16567 32021 27843 76431 62990 33999 ann. pay. 4620787 30389 65011 114902 226606 436908 994291 969560 2400759 2220028 4772364 30534 69374 130686 223875 454469 1018356 1000764 2473589 2298775 4967310 27303 75510 127680 224264 454757 1052026 1060779 2567562 2399748 4796282 21003 80948 132889 230237 465077 1032243 957607 2454927 2341355 4678679 21282 84167 131056 229916 466421 981106 908578 2356105 2322574 33999 rec. 21157964 119914 393997 511566 919805 1945282 3919548 3908771 9773601 11384363 42111 firms 6572 729 2914 922 643 5208 1030 250 6488 84 6566 738 2829 949 648 5164 1051 269 6484 82 6590 698 2843 968 698 5207 1035 260 6502 88 6398 642 2739 988 678 5047 1017 248 6312 86 6086 605 2672 878 620 4775 967 263 6005 81 42111 estab. 7701 729 2915 924 662 5230 1233 501 6964 737 7708 739 2830 951 671 5191 1230 543 6964 744 7805 703 2844 971 721 5239 1209 536 6984 821 7617 642 2742 992 700 5076 1187 528 6791 826 7404 606 2674 885 639 4804 1175 612 6591 813 42111 empl. 156084 0 5999 6103 8710 20812 42996 34204 98012 58072 161232 0 5825 6278 8752 20855 43532 38312 102699 58533 166023 0 5801 6313 9376 21490 43269 36963 101722 64301 153814 0 5612 6408 9149 21169 41674 35570 98413 55401 162224 0 5458 5752 8365 19575 39016 38050 96641 65583 42111 ann. pay. 5190224 33161 181765 175852 264992 655770 1438055 1162962 3256787 1933437 5641423 37109 169741 193797 281035 681682 1490814 1407267 3579763 2061660 5870126 36405 173854 193360 309029 712648 1501431 1324846 3538925 2331201 5826606 33504 172350 199886 312887 718627 1448751 1252830 3420208 2406398 5737828 24417 176746 190522 278525 670210 1358397 1346157 3374764 2363064 42111 rec. 565189710 611745 4928794 4305641 4435656 14281836 18093768 32225897 64601501 500588209 42112 firms 9140 746 4017 1664 1133 7560 1089 280 8929 211 9022 871 3895 1594 1103 7463 1087 275 8825 197 8961 865 3801 1659 1103 7428 1063 264 8755 206 8736 781 3729 1639 1113 7262 1003 263 8528 208 9022 937 3926 1578 1111 7552 1005 260 8817 205 42112 estab. 12159 754 4029 1696 1239 7718 1794 880 10392 1767 12101 873 3908 1626 1195 7602 1683 945 10230 1871 12285 878 3819 1694 1192 7583 1604 1024 10211 2074 12083 787 3745 1674 1199 7405 1507 949 9861 2222 12659 939 3940 1618 1214 7711 1656 1162 10529 2130 42112 empl. 161154 0 8427 10974 14876 34277 35487 25878 95642 65512 162304 0 8181 10523 14479 33183 36099 26115 95397 66907 166430 0 8053 10923 14410 33386 35623 27081 96090 70340 165975 0 7775 10729 14751 33255 34033 26315 93603 72372 165149 0 8197 10467 14790 33454 34337 27311 95102 70047 42112 ann. pay. 5662166 43175 281183 329943 458895 1113196 1111737 802938 3027871 2634295 6010078 46788 269593 352420 447741 1116542 1172648 858056 3147246 2862832 6231853 33564 262700 354828 470183 1121275 1201377 904762 3227414 3004439 6269721 40305 258415 351489 471349 1121558 1184298 886952 3192808 3076913 6390137 38596 276846 339374 501860 1156676 1232244 973982 3362902 3027235 42112 rec. 90907472 560281 5552443 4865665 5650145 16628534 11909396 9825731 38363661 52543811 42113 firms 1315 74 502 254 172 1002 219 66 1287 28 1336 107 482 245 178 1012 225 73 1310 26 1322 110 480 242 184 1016 209 70 1295 27 1302 94 489 235 171 989 210 74 1273 29 1268 90 468 239 166 963 207 69 1239 29 42113 estab. 1872 77 503 262 183 1025 315 234 1574 298 1925 109 484 251 187 1031 330 259 1620 305 2036 110 481 247 193 1031 310 251 1592 444 2005 95 491 240 176 1002 319 249 1570 435 1928 90 470 243 186 989 340 252 1581 347 42113 empl. 22195 0 1057 1666 2254 4977 6338 4582 15897 6298 24090 0 1058 1605 2311 4974 7149 5323 17446 6644 25752 0 1043 1623 2373 5039 7065 4842 16946 8806 24907 0 1069 1573 2215 4857 7143 4920 16920 7987 23069 0 990 1584 2189 4763 6745 4754 16262 6807 42113 ann. pay. 806004 5451 26590 47261 67406 146708 204550 146063 497321 308683 883412 4409 27871 46547 68827 147654 234914 171505 554073 329339 957037 8331 28253 46073 74716 157373 243542 167599 568514 388523 971151 6613 29593 48644 69677 154527 260387 185932 600846 370305 860796 4034 29022 50215 72141 155412 243995 183972 583379 277417 42113 rec. 12740937 47462 402621 491217 625366 1566666 2787439 2263772 6617877 6123060 42114 firms 6757 446 3285 1700 925 6356 369 24 6749 8 6361 312 3167 1612 883 5974 350 31 6355 6 6007 349 2897 1520 851 5617 350 31 5998 9 5612 296 2691 1437 799 5223 350 26 5599 13 5135 239 2499 1244 761 4743 357 22 5122 13 42114 estab. 6979 450 3287 1709 967 6413 460 87 6960 19 6594 317 3170 1621 930 6038 432 106 6576 18 6259 353 2899 1530 889 5671 430 105 6206 53 5867 297 2695 1440 849 5281 423 91 5795 72 5379 239 2503 1250 794 4786 437 79 5302 77 42114 empl. 44772 0 7422 11108 11926 30456 11147 2575 44178 594 44223 0 7157 10550 11314 29021 10850 3650 43521 702 43846 0 6523 10032 11033 27588 10467 4255 42310 1536 42600 0 6134 9489 10396 26019 10436 3591 40046 2554 39996 0 5718 8120 9834 23672 10736 3066 37474 2522 42114 ann. pay. 999395 15026 123570 214514 267562 620672 290653 72721 984046 15349 1033442 15859 126287 216064 262699 620909 289015 105507 1015431 18011 1070435 10711 121959 211479 263133 607282 284814 127604 1019700 50735 1075934 10720 119979 206036 258447 595182 293195 103799 992176 83758 1047247 6895 113933 183927 255666 560421 306790 95029 962240 85007 42114 rec. 6104953 71557 802228 917353 1158141 2949279 1436791 633798 5019868 1085085 42121 firms 6095 631 3057 947 627 5262 658 131 6051 44 6088 680 3024 916 624 5244 672 128 6044 44 6071 644 3011 951 610 5216 670 138 6024 47 5962 583 2969 936 611 5099 680 135 5914 48 5939 735 2956 876 580 5147 633 115 5895 44 42121 estab. 6730 632 3064 954 656 5306 851 258 6415 315 6704 680 3026 926 649 5281 851 268 6400 304 6673 644 3014 960 628 5246 844 275 6365 308 6521 584 2976 944 645 5149 847 265 6261 260 6566 735 2960 888 615 5198 871 255 6324 242 42121 empl. 67806 0 6139 6198 8343 20680 23893 15576 60149 7657 70291 0 6076 5997 8329 20402 24329 17202 61933 8358 72457 0 6112 6293 8244 20649 24198 17684 62531 9926 72519 0 5957 6177 8130 20264 24926 17163 62353 10166 64675 0 5855 5698 7704 19257 23358 13716 56331 8344 42121 ann. pay. 2684905 28904 223596 207339 295721 755560 874423 670784 2300767 384138 2845880 32120 230887 210493 300442 773942 917519 734472 2425933 419947 3095204 28930 246022 229574 320566 825092 962444 841095 2628631 466573 3026744 25709 238037 216178 323882 803806 956100 782052 2541958 484786 2715893 38251 228699 210757 306072 783779 931229 617934 2332942 382951 42121 rec. 31826576 470854 5017144 2856186 2884638 11228822 7496689 5091350 23816861 8009715 42122 firms 7570 724 3643 1356 818 6541 781 161 7483 87 7563 769 3635 1281 849 6534 777 177 7488 75 7466 702 3577 1276 858 6413 799 179 7391 75 7254 687 3426 1271 840 6224 784 172 7180 74 7090 779 3346 1224 770 6119 743 154 7016 74 42122 estab. 8291 725 3652 1374 858 6609 1000 310 7919 372 8304 769 3645 1298 892 6604 970 373 7947 357 8232 702 3586 1304 888 6480 1016 373 7869 363 8024 688 3433 1294 873 6288 990 406 7684 340 7921 780 3349 1260 820 6209 969 397 7575 346 42122 empl. 89409 0 7484 8943 10803 27230 27748 18894 73872 15537 91396 0 7576 8414 11285 27275 28409 20663 76347 15049 94946 0 7429 8345 11438 27212 29627 22644 79483 15463 93616 0 7097 8373 11219 26689 28580 22585 77854 15762 90537 0 6927 8180 10244 25351 26899 20429 72679 17858 42122 ann. pay. 3039605 31203 239625 280103 345938 896869 922014 592564 2411447 628158 3277934 31854 256251 273719 375853 937677 1007244 692890 2637811 640123 3504471 31352 269831 283600 394339 979122 1078267 791749 2849138 655333 3596046 32008 265809 294633 386069 978519 1079219 825273 2883011 713035 3723801 34081 251166 305112 387635 977994 1081806 815060 2874860 848941 42122 rec. 46968793 457768 4377010 3741989 3901602 12478369 9102473 7473949 29054791 17914002 42131 firms 5639 586 2296 950 723 4555 763 215 5533 106 5746 604 2289 985 727 4605 819 213 5637 109 5739 526 2279 996 758 4559 852 214 5625 114 5818 589 2313 980 765 4647 844 209 5700 118 5887 647 2368 966 745 4726 830 220 5776 111 42131 estab. 6898 586 2304 963 759 4612 927 549 6088 810 7019 606 2296 993 770 4665 979 566 6210 809 7105 526 2288 1010 799 4623 1002 570 6195 910 7220 589 2322 997 800 4708 1002 563 6273 947 7322 647 2380 975 804 4806 1045 635 6486 836 42131 empl. 91465 0 4871 6212 9719 20802 26531 19664 66997 24468 96929 0 4894 6480 9902 21276 29319 20461 71056 25873 104798 0 4940 6586 10292 21818 30374 22059 74251 30547 101631 0 4953 6413 10323 21689 30038 20616 72343 29288 97926 0 5023 6383 10130 21536 29765 21622 72923 25003 42131 ann. pay. 3406634 36120 178678 220219 333195 768212 922822 693162 2384196 1022438 3783173 52912 189458 238747 366613 847730 1061029 748740 2657499 1125674 4119890 27257 195385 243695 378509 844846 1119865 861085 2825796 1294094 4097033 33889 194831 249074 394397 872191 1144342 803000 2819533 1277500 4075326 26648 200743 246753 396585 870729 1185592 876729 2933050 1142276 42131 rec. 74088907 434243 4290695 4253842 5672215 14650995 14428349 11656426 40735770 33353137 42132 firms 2284 333 918 404 241 1896 242 75 2213 71 2400 311 983 418 259 1971 274 80 2325 75 2487 312 993 428 306 2039 292 82 2413 74 2561 316 1024 442 306 2088 314 83 2485 76 2749 366 1114 461 339 2280 313 84 2677 72 42132 estab. 3104 333 919 406 250 1908 307 217 2432 672 3236 311 985 426 266 1988 346 230 2564 672 3351 312 993 430 313 2048 368 238 2654 697 3502 316 1026 446 320 2108 384 261 2753 749 3819 366 1116 465 367 2314 440 303 3057 762 42132 empl. 23428 0 1949 2671 3156 7776 7143 3151 18070 5358 25998 0 2059 2820 3406 8285 8274 3939 20498 5500 29196 0 2144 2861 4113 9118 9231 4498 22847 6349 31621 0 2168 2926 4193 9287 9995 4887 24169 7452 31848 0 2427 3043 4539 10009 10192 4409 24610 7238 42132 ann. pay. 858347 15613 62251 79762 107395 265021 255775 113219 634015 224332 996464 16469 69817 90595 119235 296116 310749 150152 757017 239447 1141362 18686 71442 93188 139787 323103 352069 173584 848756 292606 1280658 15377 76936 95339 147645 335297 400662 198761 934720 345938 1317628 16949 88226 103625 161807 370607 437530 187130 995267 322361 42132 rec. 14433747 183358 997760 984984 1153958 3320060 2530645 1670232 7520937 6912810 42133 firms 1032 115 460 156 105 836 108 53 997 35 1095 129 476 168 115 888 114 56 1058 37 1082 115 455 177 115 862 118 62 1042 40 1122 130 463 187 118 898 125 61 1084 38 1138 124 460 195 131 910 130 62 1102 36 42133 estab. 1658 117 462 158 115 852 166 183 1201 457 1777 129 478 171 123 901 170 203 1274 503 1766 115 457 179 123 874 171 221 1266 500 1835 130 465 190 123 908 186 242 1336 499 1906 124 464 200 158 946 216 282 1444 462 42133 empl. 17413 0 911 1040 1352 3303 3523 4033 10859 6554 19343 0 981 1113 1530 3624 3607 4862 12093 7250 20899 0 939 1171 1498 3608 3845 5818 13271 7628 22287 0 962 1240 1501 3703 3946 6082 13731 8556 21912 0 950 1304 1728 3982 4240 6313 14535 7377 42133 ann. pay. 679567 9412 38989 39121 53817 141339 125729 150412 417480 262087 773664 5127 42206 44270 61641 153244 138833 174298 466375 307289 874543 6069 40037 47367 58811 152284 141901 227536 521721 352822 1003709 17342 40700 47821 63775 169638 158253 249725 577616 426093 964685 5776 40336 54649 70303 171064 172424 248590 592078 372607 42133 rec. 11834441 60997 1078693 704929 894599 2739218 2285918 2577999 7603135 4231306 42139 firms 2468 309 1137 425 245 2116 210 74 2400 68 2469 305 1109 439 263 2116 213 73 2402 67 2466 270 1102 450 272 2094 232 76 2402 64 2472 264 1084 464 286 2098 237 75 2410 62 2568 251 1157 474 284 2166 264 79 2509 59 42139 estab. 2904 309 1138 430 254 2131 250 240 2621 283 2869 305 1109 443 270 2127 251 208 2586 283 2887 271 1102 454 278 2105 278 199 2582 305 2922 270 1085 464 292 2111 285 230 2626 296 3067 251 1157 477 297 2182 383 230 2795 272 42139 empl. 25278 0 2455 2788 3182 8425 6238 4495 19158 6120 26743 0 2370 2830 3380 8580 6431 4868 19879 6864 29044 0 2375 2953 3449 8777 7596 4875 21248 7796 29852 0 2336 3030 3696 9062 7677 5281 22020 7832 30985 0 2428 3098 3715 9241 8754 5450 23445 7540 42139 ann. pay. 843971 10865 73001 76569 99527 259962 214754 159296 634012 209959 949695 13535 77281 87275 107972 286063 233305 168886 688254 261441 1043947 15555 78160 92524 109649 295888 279943 175712 751543 292404 1128675 16889 82383 99727 120941 319940 292715 202368 815023 313652 1184151 9820 82664 104210 130418 327112 344924 201064 873100 311051 42139 rec. 10413905 101875 1156363 884674 1093422 3236334 2400906 1677653 7314893 3099012 42141 firms 1129 93 460 195 137 885 174 39 1098 31 1105 78 447 192 133 850 188 32 1070 35 1066 69 431 177 137 814 184 33 1031 35 1027 69 415 175 130 789 175 27 991 36 987 70 395 162 143 770 154 31 955 32 42141 estab. 1374 93 460 197 143 893 228 117 1238 136 1358 78 447 194 138 857 244 91 1192 166 1350 70 433 179 144 826 240 81 1147 203 1293 69 415 178 140 802 224 58 1084 209 1214 70 395 167 151 783 197 62 1042 172 42141 empl. 21787 0 1027 1299 1858 4184 6123 3848 14155 7632 22003 0 961 1249 1775 3985 6718 2590 13293 8710 23606 0 919 1164 1783 3866 6819 2775 13460 10146 22533 0 891 1146 1735 3772 6233 2080 12085 10448 22481 0 836 1085 1873 3794 5244 2757 11795 10686 42141 ann. pay. 1067047 3887 35694 47077 69791 156449 261754 159586 577789 489258 1095821 9267 33364 42798 67912 153341 305507 108474 567322 528499 1246329 3991 33115 39783 70943 147832 312286 111330 571448 674881 1219970 4238 30450 41208 72830 148726 284105 86801 519632 700338 1254236 3072 28972 42194 79661 153899 252423 126268 532590 721646 42141 rec. 19763430 26317 381688 497457 591055 1496517 2028681 920423 4445621 15317809 42142 firms 5136 401 2034 1107 772 4314 677 89 5080 56 4942 318 2001 1048 752 4119 671 97 4887 55 4771 272 1917 999 775 3963 651 95 4709 62 4617 292 1851 973 702 3818 652 84 4554 63 4300 284 1708 880 654 3526 630 87 4243 57 42142 estab. 7235 402 2038 1120 813 4373 958 296 5627 1608 7120 322 2003 1062 798 4185 935 321 5441 1679 7023 272 1921 1011 830 4034 916 300 5250 1773 6779 297 1857 985 738 3877 914 305 5096 1683 6462 284 1713 896 708 3601 927 289 4817 1645 42142 empl. 140372 0 4644 7354 10196 22194 24408 10918 57520 82852 141388 0 4512 6972 10001 21485 23847 12938 58270 83118 134340 0 4314 6694 10334 21342 23275 12844 57461 76879 147160 0 4176 6525 9272 19973 22842 12203 55018 92142 136619 0 3837 5896 8626 18359 22804 11048 52211 84408 42142 ann. pay. 5943666 16688 123248 202203 312292 654431 867787 456041 1978259 3965407 6058195 24137 124534 212164 318098 678933 873012 535211 2087156 3971039 6172834 22370 126680 205200 350615 704865 874060 565136 2144061 4028773 6456525 82939 123800 209013 325373 741125 888436 525414 2154975 4301550 5786409 13471 111459 194602 311487 631019 952789 489148 2072956 3713453 42142 rec. 42815313 89994 889266 1201393 2052725 4233378 4010825 2712288 10956491 31858822 42143 firms 13741 1956 5364 2450 1768 11538 1650 330 13518 223 13863 1942 5409 2509 1780 11640 1673 316 13629 234 13571 1629 5419 2487 1792 11327 1680 335 13342 229 13082 1616 5319 2358 1659 10952 1584 332 12868 214 11589 1361 4934 2003 1452 9750 1373 283 11406 183 42143 estab. 17315 1957 5374 2480 1857 11668 2106 895 14669 2646 17511 1944 5432 2538 1869 11783 2051 848 14682 2829 17235 1631 5433 2508 1880 11452 2031 811 14294 2941 16524 1617 5337 2385 1754 11093 1891 713 13697 2827 14807 1367 4943 2034 1568 9912 1790 702 12404 2403 42143 empl. 326097 0 11786 16227 23621 51634 61932 46635 160201 165896 346049 0 11644 16583 23939 52166 63558 43790 159514 186535 356853 0 11546 16464 24075 52085 63835 48802 164722 192131 347834 0 11260 15669 22479 49408 59442 50250 159100 188734 313055 0 10398 13326 19551 43275 49544 39888 132707 180348 42143 ann. pay. 20454371 135288 457334 640825 1031655 2265102 3083283 2663174 8011559 12442812 23187287 192383 484871 677202 1150574 2505030 3346313 2574158 8425501 14761786 24989921 137777 517017 729895 1202883 2587572 3652088 3314725 9554385 15435536 24339672 147965 474690 681502 1117913 2422070 3374440 3205996 9002506 15337166 21613170 99766 428908 595900 983014 2107588 2914491 2643953 7666032 13947138 42143 rec. 205000739 1023388 4166906 5569619 7622859 18382772 22965762 20703398 62051932 142948807 42144 firms 5006 382 2180 1050 724 4336 539 84 4959 47 4834 344 2061 1026 725 4156 549 86 4791 43 4756 356 2001 976 743 4076 547 88 4711 45 4671 349 1969 996 705 4019 522 86 4627 44 4704 409 2043 966 687 4105 487 76 4668 36 42144 estab. 5404 383 2186 1064 761 4394 662 189 5245 159 5239 344 2068 1038 759 4209 681 171 5061 178 5152 357 2005 994 775 4131 664 196 4991 161 5071 349 1973 1013 743 4078 640 198 4916 155 5134 411 2045 984 735 4175 614 191 4980 154 42144 empl. 52516 0 4904 6891 9687 21482 18362 6913 46757 5759 53097 0 4539 6795 9608 20942 18537 7773 47252 5845 52991 0 4494 6444 9784 20722 18472 8095 47289 5702 53002 0 4377 6584 9356 20317 17876 8969 47162 5840 50442 0 4520 6361 9187 20068 17076 7428 44572 5870 42144 ann. pay. 1899852 17300 139666 222719 320716 700401 679001 281402 1660804 239048 2013749 14843 137151 230957 327071 710022 719665 324135 1753822 259927 2037692 13403 136802 223308 346281 719794 721525 348506 1789825 247867 2060032 18259 142008 227732 333438 721437 710339 363714 1795490 264542 2010224 21586 143316 228991 343133 737026 716126 313283 1766435 243789 42144 rec. 17295695 184298 1764971 2351326 2701288 7001883 4787175 2861522 14650580 2645115 42145 firms 8281 989 4251 1302 799 7341 647 152 8140 141 8067 964 4142 1250 783 7139 647 146 7932 135 7853 870 3964 1268 811 6913 661 146 7720 133 7804 927 3818 1260 848 6853 651 164 7668 136 8349 1088 4137 1312 854 7391 649 174 8214 135 42145 estab. 9829 990 4254 1312 829 7385 870 402 8657 1172 9489 967 4149 1258 812 7186 848 377 8411 1078 9287 870 3970 1278 839 6957 839 380 8176 1111 9212 928 3824 1270 871 6893 810 389 8092 1120 9826 1088 4140 1328 901 7457 875 369 8701 1125 42145 empl. 124557 0 8558 8593 10627 27778 24100 17917 69795 54762 126334 0 8456 8203 10480 27139 23314 17038 67491 58843 130855 0 8068 8323 10820 27211 24421 16788 68420 62435 139657 0 7808 8318 11235 27361 24030 20118 71509 68148 139054 0 8422 8664 11430 28516 23514 21420 73450 65604 42145 ann. pay. 6358123 54600 356413 333163 456503 1200679 1057118 835186 3092983 3265140 6980103 61149 350334 342374 464947 1218804 1079267 846802 3144873 3835230 7494290 47329 343158 352473 491146 1234106 1198866 852606 3285578 4208712 8228509 62070 350007 365507 533313 1310897 1249706 1000228 3560831 4667678 8534099 80550 370579 384155 583866 1419150 1291453 1195854 3906457 4627642 42145 rec. 88619859 709034 3892838 3184259 4024972 11811103 8380488 8053994 28245585 60374274 42146 firms 1504 129 657 245 178 1209 222 48 1479 25 1442 100 651 224 165 1140 232 49 1421 21 1410 120 619 211 165 1115 225 50 1390 20 1372 119 600 210 158 1087 212 51 1350 22 1352 124 591 218 149 1082 206 42 1330 22 42146 estab. 1755 129 658 245 180 1212 287 131 1630 125 1712 100 652 224 166 1142 306 108 1556 156 1632 120 620 212 167 1119 271 124 1514 118 1582 119 601 211 161 1092 251 118 1461 121 1547 124 593 222 152 1091 246 94 1431 116 42146 empl. 28755 0 1311 1623 2414 5348 9034 6909 21291 7464 30353 0 1323 1504 2245 5072 9271 7643 21986 8367 28452 0 1276 1414 2220 4910 9016 6891 20817 7635 27990 0 1248 1436 2114 4798 8293 7020 20111 7879 28554 0 1234 1462 2002 4698 8066 6558 19322 9232 42146 ann. pay. 947256 8087 44637 52229 75523 180476 305006 237290 722772 224484 1019651 5333 45950 47544 72466 171293 312937 270619 754849 264802 1011119 12859 46152 48805 79040 186856 330288 256937 774081 237038 1012469 8537 49685 49583 78850 186655 303689 273685 764029 248440 981093 7055 39997 54736 81688 183476 307627 252586 743689 237404 42146 rec. 7482457 74434 444567 427690 561484 1508175 1799028 1920414 5227617 2254840 42149 firms 2410 206 1041 484 312 2043 247 60 2350 60 2366 174 1030 474 321 1999 253 60 2312 54 2290 161 980 468 316 1925 245 62 2232 58 2213 174 924 436 308 1842 252 60 2154 59 2242 192 957 433 307 1889 251 55 2195 47 42149 estab. 2769 206 1044 507 345 2102 333 125 2560 209 2728 174 1034 499 350 2057 334 145 2536 192 2699 161 990 486 346 1983 321 164 2468 231 2615 176 934 453 339 1902 329 161 2392 223 2640 192 964 455 338 1949 368 147 2464 176 42149 empl. 32699 0 2232 3218 4171 9621 8453 4834 22908 9791 31976 0 2227 3154 4297 9678 8694 4936 23308 8668 36045 0 2103 3092 4339 9534 8399 5618 23551 12494 38536 0 1997 2898 4090 8985 8598 6242 23825 14711 32672 0 2015 2895 4085 8995 8322 5126 22443 10229 42149 ann. pay. 1439787 7727 81783 119826 163917 373253 328477 223549 925279 514508 1452682 11733 80712 126647 163720 382812 352469 239097 974378 478304 1908592 8225 80234 128056 174384 390899 364681 293498 1049078 859514 1824551 9406 80226 121128 179261 390021 391259 320554 1101834 722717 1636478 8632 77910 123992 178297 388831 363641 275904 1028376 608102 42149 rec. 14636091 166354 740286 835012 1284636 3026288 2241813 1884873 7152974 7483117 42151 firms 9124 678 3800 1568 1225 7271 1307 340 8918 206 8942 671 3687 1616 1189 7163 1248 320 8731 211 8723 661 3516 1573 1187 6937 1266 309 8512 211 8510 629 3416 1528 1201 6774 1228 306 8308 202 8303 696 3292 1535 1123 6646 1186 284 8116 187 42151 estab. 11744 684 3815 1593 1273 7365 1754 987 10106 1638 11631 677 3698 1642 1240 7257 1692 870 9819 1812 11465 665 3528 1607 1236 7036 1672 908 9616 1849 11250 629 3431 1552 1251 6863 1621 936 9420 1830 10997 697 3304 1567 1186 6754 1680 932 9366 1631 42151 empl. 166137 0 8273 10393 16227 34893 47437 35398 117728 48409 165112 0 7894 10664 15867 34425 46305 32673 113403 51709 168576 0 7442 10354 15839 33635 46665 34896 115196 53380 162222 0 7320 10051 16193 33564 45399 35074 114037 48185 150064 0 7037 10097 15012 32146 43338 30780 106264 43800 42151 ann. pay. 6762552 43897 363039 421374 627473 1455783 1871549 1387504 4714836 2047716 6886938 42318 355429 454104 648986 1500837 1850519 1284791 4636147 2250791 7275017 50083 349238 452615 661665 1513601 1923542 1432407 4869550 2405467 6967047 31304 336494 440848 674841 1483487 1830134 1413050 4726671 2240376 6641621 50287 322651 452454 653012 1478404 1853869 1302272 4634545 2007076 42151 rec. 108063473 656286 6992932 6723706 8023129 22396053 18552930 16646178 57595161 50468312 42152 firms 627 56 311 103 68 538 48 11 597 30 602 65 286 97 66 514 47 12 573 29 575 53 279 101 61 494 37 13 544 31 565 64 277 89 55 485 36 15 536 29 518 43 272 84 39 438 37 11 486 32 42152 estab. 729 56 313 109 77 555 76 26 657 72 695 65 287 104 75 531 67 26 624 71 661 53 280 108 71 512 53 27 592 69 649 64 279 99 61 503 52 29 584 65 600 44 273 88 51 456 54 25 535 65 42152 empl. 4791 0 612 667 867 2146 1262 237 3645 1146 4616 0 581 629 820 2030 1127 216 3373 1243 4602 0 574 659 758 1991 1065 391 3447 1155 4143 0 559 560 712 1831 946 452 3229 914 3874 0 566 552 509 1627 1076 204 2907 967 42152 ann. pay. 270840 5506 31220 37283 49345 123354 46004 18419 187777 83063 265864 4198 30733 33091 44692 112714 45182 17804 175700 90164 289874 5236 29948 37955 35819 108958 50875 31578 191411 98463 256346 3978 32863 38057 34878 109776 52032 25822 187630 68716 249918 3213 31577 41093 28484 104367 52212 17858 174437 75481 42152 rec. 10184781 83875 1076839 1523581 835834 3520129 1965154 1102840 6588123 3596658 42161 firms 9531 750 4144 1929 1295 8118 1016 225 9359 172 9471 790 4060 1894 1344 8088 1005 209 9302 169 9357 731 4010 1873 1326 7940 1038 225 9203 154 9223 738 3809 1926 1280 7753 1082 238 9073 150 9595 955 3997 1946 1266 8164 1053 232 9449 146 42161 estab. 13773 759 4162 1988 1431 8340 1553 750 10643 3130 13873 791 4072 1966 1475 8304 1506 776 10586 3287 13904 736 4026 1949 1445 8156 1524 927 10607 3297 13878 739 3825 2002 1412 7978 1572 909 10459 3419 14337 960 4009 2028 1421 8418 1679 1016 11113 3224 42161 empl. 154975 0 9159 12726 17210 39095 34407 19722 93224 61751 155489 0 8958 12559 18110 39627 35010 19672 94309 61180 165955 0 8887 12449 17619 38955 36504 22220 97679 68276 168091 0 8411 12779 16955 38145 37586 24424 100155 67936 166242 0 8722 12835 16685 38242 36385 23842 98469 67773 42161 ann. pay. 6601753 43165 351978 510167 733112 1638422 1493067 795905 3927394 2674359 7105745 49151 365251 533452 779629 1727483 1572750 818900 4119133 2986612 8250900 57889 381823 550206 817194 1807112 1737247 965363 4509722 3741178 8098979 47145 366278 571522 773828 1758773 1776667 1081829 4617269 3481710 7768540 47987 359431 556168 777509 1741095 1750128 1033081 4524304 3244236 42161 rec. 93524189 499017 5569832 7212916 9067251 22349016 16228732 9689782 48267530 45256659 42162 firms 3211 247 1347 675 427 2696 378 76 3150 61 3115 255 1300 628 420 2603 375 74 3052 63 3023 249 1218 636 409 2512 378 75 2965 58 2955 243 1177 632 396 2448 372 83 2903 52 2882 274 1184 598 322 2378 374 78 2830 52 42162 estab. 3785 247 1355 690 456 2748 547 156 3451 334 3711 257 1303 650 445 2655 543 160 3358 353 3595 250 1221 653 438 2562 542 202 3306 289 3541 243 1180 647 421 2491 526 172 3189 352 3510 275 1186 624 346 2431 554 189 3174 336 42162 empl. 51016 0 3066 4435 5614 13115 13315 7090 33520 17496 54202 0 2968 4107 5495 12570 13442 8008 34020 20182 52676 0 2742 4219 5407 12368 14007 9068 35443 17233 52655 0 2669 4147 5219 12035 13397 10583 36015 16640 52580 0 2631 3938 4233 10802 13366 9287 33455 19125 42162 ann. pay. 2192995 15910 95371 153403 205721 470405 522481 266484 1259370 933625 2516213 22033 104907 150542 220364 497846 539103 317987 1354936 1161277 2509102 15077 102964 175709 226884 520634 593824 371818 1486276 1022826 2647494 46794 98845 168242 225506 539387 573140 454669 1567196 1080298 2509101 13709 91784 168671 190548 464712 595570 372728 1433010 1076091 42162 rec. 68254948 171344 1892421 4597171 3150708 9811644 10387657 10576745 30776046 37478902 42169 firms 15014 1481 6389 2956 1979 12805 1635 314 14754 260 14652 1331 6300 2868 1967 12466 1601 316 14383 269 14429 1312 6048 2876 1925 12161 1664 341 14166 263 14028 1218 5821 2746 1915 11700 1707 346 13753 275 13535 1245 5822 2597 1779 11443 1549 303 13295 240 42169 estab. 21088 1482 6427 3074 2248 13231 2384 834 16449 4639 20928 1341 6336 2994 2222 12893 2330 851 16074 4854 20787 1318 6096 2990 2162 12566 2352 864 15782 5005 20397 1230 5866 2851 2145 12092 2363 819 15274 5123 18732 1248 5858 2721 2020 11847 2291 831 14969 3763 42169 empl. 293835 0 13852 19450 26327 59629 58464 36173 154266 139569 297606 0 13755 18919 26341 59015 57623 35625 152263 145343 316173 0 13214 18968 25869 58051 60817 40188 159056 157117 338488 0 12791 18237 25432 56460 63236 43820 163516 174972 293420 0 12652 17087 23777 53516 55619 34929 144064 149356 42169 ann. pay. 16540651 152713 561445 805811 1236116 2756085 2650606 1763772 7170463 9370188 19601533 90644 572583 829471 1310544 2803242 2845671 1853128 7502041 12099492 23149100 104458 603382 931442 1414325 3053607 3506442 2546919 9106968 14042132 24032181 103828 566512 842151 1276170 2788661 3224755 2534261 8547677 15484504 19908832 73220 530357 749970 1136297 2489844 2853022 2060912 7403778 12505054 42169 rec. 193979697 873655 7649957 10306284 13421512 32251408 26119610 18223605 76594623 117385074 42171 firms 7250 440 3050 1387 1084 5961 1008 169 7138 112 7032 412 2926 1374 1077 5789 968 162 6919 113 6866 448 2782 1346 1039 5615 977 166 6758 108 6710 457 2703 1290 1021 5471 979 160 6610 100 6457 487 2625 1218 981 5311 904 149 6364 93 42171 estab. 9533 441 3064 1409 1141 6055 1470 651 8176 1357 9436 413 2937 1394 1131 5875 1401 656 7932 1504 9457 448 2790 1367 1092 5697 1358 685 7740 1717 9387 466 2713 1310 1070 5559 1369 665 7593 1794 9373 487 2632 1236 1059 5414 1399 725 7538 1835 42171 empl. 112859 0 6570 9130 14408 30108 35936 20384 86428 26431 117224 0 6317 9074 14448 29839 35136 20484 85459 31765 124860 0 6015 8926 13970 28911 35364 21287 85562 39298 122386 0 5873 8543 13660 28076 35727 20902 84705 37681 111066 0 5677 8013 13194 26884 32353 20624 79861 31205 42171 ann. pay. 4194475 24922 222327 322887 536944 1107080 1347249 704772 3159101 1035374 4536231 18349 218987 339454 547308 1124098 1376208 726119 3226425 1309806 5014707 25735 219043 349225 546041 1140044 1470663 802959 3413666 1601041 5073216 24847 215751 320010 539895 1100503 1553405 757749 3411657 1661559 4439761 39328 208946 303569 527749 1079592 1353468 736704 3169764 1269997 42171 rec. 45771182 358520 2753685 2834931 4412372 10359508 10588339 6938776 27886623 17884559 42172 firms 3669 337 1543 756 483 3119 393 97 3609 60 3653 297 1538 772 514 3121 376 96 3593 60 3585 256 1504 776 489 3025 394 105 3524 61 3556 238 1451 791 496 2976 407 107 3490 66 3715 323 1463 818 504 3108 436 108 3652 63 42172 estab. 4801 337 1547 766 532 3182 622 334 4138 663 4839 297 1542 788 558 3185 571 374 4130 709 4756 256 1509 783 535 3083 582 384 4049 707 4912 243 1454 805 537 3039 605 424 4068 844 5144 323 1465 833 573 3194 720 455 4369 775 42172 empl. 47331 0 3385 4977 6306 14668 12967 8949 36584 10747 49740 0 3389 5063 6764 15216 12632 9470 37318 12422 52669 0 3326 5130 6484 14940 13458 10373 38771 13898 54353 0 3224 5202 6561 14987 13600 11806 40393 13960 54879 0 3301 5327 6665 15293 14813 11074 41180 13699 42172 ann. pay. 1801565 11846 120851 184305 246991 563993 524330 321856 1410179 391386 1971444 14532 125705 186291 274567 601095 539117 355384 1495596 475848 2131807 14258 127776 203731 266165 611930 580325 410499 1602754 529053 2270478 14249 125533 208073 280349 628204 603684 469753 1701641 568837 2361259 20386 129729 219536 293095 662746 674703 479496 1816945 544314 42172 rec. 31668105 246003 1859958 2722929 3720994 8549884 12321533 4156016 25027433 6640672 42173 firms 3247 194 1279 702 526 2701 407 90 3198 49 3146 195 1205 687 502 2589 414 91 3094 52 3077 174 1176 682 486 2518 408 99 3025 52 3022 179 1149 653 481 2462 413 98 2973 49 3001 173 1127 689 464 2453 407 95 2955 46 42173 estab. 5589 197 1288 726 637 2848 906 613 4367 1222 5651 195 1215 707 604 2721 910 659 4290 1361 5710 176 1184 707 566 2633 867 711 4211 1499 5579 181 1159 674 541 2555 880 653 4088 1491 5598 173 1131 723 540 2567 929 654 4150 1448 42173 empl. 52121 0 2928 4639 7054 14621 14350 10498 39469 12652 57424 0 2803 4569 6695 14067 14556 10890 39513 17911 57696 0 2714 4564 6532 13810 14371 12186 40367 17329 57478 0 2646 4339 6411 13396 14213 12251 39860 17618 57267 0 2602 4579 6109 13290 14335 10369 37994 19273 42173 ann. pay. 2210840 9746 108955 189357 303449 611507 612026 432220 1655753 555087 2481839 8057 109540 194006 294930 606533 644598 463075 1714206 767633 2674106 6673 111161 205808 310963 634605 648959 538973 1822537 851569 2705747 13963 113064 194542 304274 625843 693781 562098 1881722 824025 2693297 17320 107742 201026 303445 629533 695071 472466 1797070 896227 42173 rec. 25599100 120328 1243799 2004288 2178350 5546765 5075241 4351473 14973479 10625621 42174 firms 995 70 413 173 145 801 142 30 973 22 985 69 405 183 137 794 137 30 961 24 951 63 383 190 127 763 136 32 931 20 918 53 372 185 128 738 126 33 897 21 936 57 364 196 132 749 132 34 915 21 42174 estab. 1541 72 413 182 158 825 302 158 1285 256 1546 69 411 195 146 821 280 184 1285 261 1501 63 385 199 143 790 269 188 1247 254 1445 53 373 195 139 760 254 190 1204 241 1482 57 364 203 157 781 271 193 1245 237 42174 empl. 13091 0 931 1133 1861 3925 4989 1925 10839 2252 13566 0 909 1196 1811 3916 4870 2233 11019 2547 13670 0 857 1237 1690 3784 4908 2523 11215 2455 13742 0 848 1219 1693 3760 4820 2360 10940 2802 14249 0 801 1301 1761 3863 4679 2480 11022 3227 42174 ann. pay. 526359 2630 31521 44091 69024 147266 195201 77319 419786 106573 561034 3098 32190 44280 69120 148688 201427 87731 437846 123188 583358 4824 30068 48438 66594 149924 204446 108761 463131 120227 612389 2253 30749 50409 69194 152605 207678 108447 468730 143659 620606 5505 29177 54486 69065 158233 208566 96443 463242 157364 42174 rec. 5013797 55720 405806 537439 389828 1388793 1791225 735033 3915051 1098746 42181 firms 3681 271 1411 618 512 2812 594 172 3578 103 3564 255 1363 599 505 2722 573 155 3450 114 3464 268 1316 594 471 2649 540 157 3346 118 3331 215 1272 585 461 2533 526 150 3209 122 3387 279 1309 595 443 2626 502 141 3269 118 42181 estab. 5267 290 1412 626 571 2899 1003 728 4630 637 5214 274 1370 604 555 2803 967 671 4441 773 5152 275 1327 597 512 2711 895 676 4282 870 5050 231 1281 589 509 2610 866 624 4100 950 5112 280 1313 615 499 2707 896 638 4241 871 42181 empl. 91431 0 3090 4063 6864 14017 21389 26486 61892 29539 95928 0 3023 3974 6783 13780 21597 24402 59779 36149 93450 0 2844 3948 6306 13098 20028 24316 57442 36008 93168 0 2740 3868 6134 12742 19636 22689 55067 38101 89608 0 2820 3938 5995 12753 18233 20181 51167 38441 42181 ann. pay. 3945761 11717 112549 142846 261041 528153 901021 1175219 2604393 1341368 4274322 13292 108073 149401 266867 537633 922072 1087997 2547702 1726620 4285046 14988 106616 148335 255883 525822 881649 1106165 2513636 1771410 4304186 20043 102816 149317 251263 523439 858334 1041192 2422965 1881221 4029157 25952 104695 151565 246427 528639 797207 926830 2252676 1776481 42181 rec. 47308673 213378 1317346 1534140 2026007 5090871 6695514 8453571 20239956 27068717 42182 firms 8329 473 2750 1804 1763 6790 1366 125 8281 48 8110 450 2671 1790 1683 6594 1342 119 8055 55 7888 433 2608 1723 1645 6409 1313 114 7836 52 7628 434 2540 1633 1566 6173 1290 116 7579 49 7377 455 2459 1519 1542 5975 1237 114 7326 51 42182 estab. 9583 473 2758 1814 1859 6904 2018 488 9410 173 9448 452 2681 1805 1761 6699 1998 445 9142 306 9206 437 2617 1737 1726 6517 1940 401 8858 348 9086 439 2554 1652 1653 6298 1870 527 8695 391 9008 461 2463 1532 1639 6095 1971 542 8608 400 42182 empl. 102538 0 6109 12234 24199 42542 44134 10667 97343 5195 102044 0 5994 12101 22932 41027 43515 10945 95487 6557 101374 0 5869 11704 22487 40060 43014 10273 93347 8027 99387 0 5658 11022 21236 37916 42785 10793 91494 7893 95610 0 5430 10272 21060 36762 41452 10100 88314 7296 42182 ann. pay. 2999045 22090 136670 281930 644045 1084735 1356675 337053 2778463 220582 3099342 24911 142476 288996 630745 1087128 1382866 355469 2825463 273879 3199447 16745 142234 290277 634890 1084146 1448138 344292 2876576 322871 3250385 19076 142747 286397 626342 1074562 1474114 367797 2916473 333912 3166621 32049 137565 267952 640039 1077605 1414703 354970 2847278 319343 42182 rec. 40444575 551934 1792279 2690436 6589425 11624074 14455879 3551335 29631288 10813287 42183 firms 29095 2256 12938 5853 3857 24904 3122 662 28688 407 28545 2142 12862 5704 3764 24472 3040 638 28150 395 27764 2063 12440 5498 3742 23743 3019 604 27366 398 26796 1915 11831 5403 3652 22801 3022 583 26406 390 26219 2162 11758 5143 3453 22516 2782 549 25847 372 42183 estab. 35488 2260 12972 5999 4298 25529 4782 2070 32381 3107 34947 2151 12906 5855 4221 25133 4693 2024 31850 3097 34089 2076 12496 5641 4169 24382 4569 1972 30923 3166 33098 1918 11886 5547 4047 23398 4499 1949 29846 3252 32437 2169 11807 5313 3875 23164 4362 1888 29414 3023 42183 empl. 353234 0 27877 38618 51269 117764 106787 61607 286158 67076 347881 0 27679 37655 50212 115546 106048 60752 282346 65535 349093 0 26857 36389 49841 113087 105679 60501 279267 69826 352561 0 25586 35650 48845 110081 105215 61333 276629 75932 324366 0 25608 33966 46106 105680 95159 53380 254219 70147 42183 ann. pay. 15377738 107785 1067069 1531169 2117444 4823467 4657245 2685633 12166345 3211393 15534301 113772 1080992 1505589 2138758 4839111 4693941 2774838 12307890 3226411 16406251 105551 1099629 1511237 2231924 4948341 4888177 2868852 12705370 3700881 16364269 101689 1033229 1471122 2123870 4729910 4774505 2865026 12369441 3994828 15286055 162815 999667 1432877 2018709 4614068 4363928 2551662 11529658 3756397 42183 rec. 122659567 1489579 11522338 12027749 14423154 39462820 28455195 17993088 85911103 36748464 42184 firms 9882 674 4075 1980 1418 8147 1302 265 9714 168 9743 678 4046 1909 1402 8035 1279 257 9571 172 9572 647 3916 1911 1366 7840 1310 250 9400 172 9358 609 3851 1856 1370 7686 1257 251 9194 164 9256 709 3854 1846 1256 7665 1217 229 9111 145 42184 estab. 14984 676 4086 2011 1575 8348 2325 1289 11962 3022 15152 680 4058 1948 1574 8260 2262 1272 11794 3358 14880 650 3936 1949 1526 8061 2262 1169 11492 3388 14723 621 3865 1884 1551 7921 2172 1192 11285 3438 14479 710 3871 1902 1451 7934 2287 1171 11392 3087 42184 empl. 144708 0 9024 13151 18898 41073 43633 23191 107897 36811 146666 0 8986 12682 18766 40434 43181 22716 106331 40335 145730 0 8597 12682 18122 39401 44450 22365 106216 39514 144668 0 8481 12270 18434 39185 43153 23061 105399 39269 137162 0 8394 12181 16843 37418 41180 20721 99319 37843 42184 ann. pay. 5627905 36944 319424 479068 722773 1558209 1721032 895933 4175174 1452731 5859420 38089 329504 471863 730120 1569576 1727996 902458 4200030 1659390 6047589 35706 327956 475593 728667 1567922 1866731 934355 4369008 1678581 5931115 28526 317784 463721 739614 1549645 1783038 952345 4285028 1646087 5706129 33736 311004 460772 696537 1502049 1756519 870159 4128727 1577402 42184 rec. 58876765 372146 3739294 3845655 5133035 13090130 12233095 7148386 32471611 26405154 42185 firms 5664 409 2472 1255 792 4928 585 109 5622 42 5570 431 2387 1220 795 4833 584 112 5529 41 5382 365 2293 1195 761 4614 618 102 5334 48 5183 376 2205 1104 759 4444 590 103 5137 46 5152 395 2207 1089 738 4429 586 91 5106 46 42185 estab. 6768 410 2473 1276 849 5008 858 488 6354 414 6738 433 2389 1233 868 4923 819 540 6282 456 6548 365 2298 1207 812 4682 849 412 5943 605 6426 376 2208 1120 812 4516 809 452 5777 649 6573 395 2211 1105 811 4522 885 396 5803 770 42185 empl. 60566 0 5628 8279 10335 24242 20122 10433 54797 5769 61153 0 5325 8095 10332 23752 19646 11452 54850 6303 61407 0 5135 7884 9756 22775 20749 10024 53548 7859 61700 0 4971 7377 9895 22243 19838 11462 53543 8157 60212 0 4962 7308 9603 21873 19932 8944 50749 9463 42185 ann. pay. 1944730 18767 156617 225636 312003 713023 663903 333167 1710093 234637 2056176 22589 161210 228508 319562 731869 671792 367439 1771100 285076 2159614 14137 181150 228352 313183 736822 756608 339668 1833098 326516 2283248 17320 146349 230531 333760 727960 734798 470248 1933006 350242 2293056 66970 144806 233448 330833 776057 752454 364525 1893036 400020 42185 rec. 19696370 559900 1410146 2048756 2253826 6272628 4695250 2723469 13691347 6005023 42186 firms 3646 364 1718 632 433 3147 341 81 3569 77 3578 346 1678 626 429 3079 342 79 3500 78 3524 333 1648 635 427 3043 330 76 3449 75 3397 286 1575 615 427 2903 349 71 3323 74 3364 342 1531 608 432 2913 312 64 3289 75 42186 estab. 3992 364 1725 643 446 3178 415 160 3753 239 3924 346 1683 637 443 3109 408 162 3679 245 3867 333 1656 645 442 3076 393 153 3622 245 3730 286 1583 623 439 2931 417 146 3494 236 3731 342 1536 620 462 2960 402 146 3508 223 42186 empl. 45901 0 3656 4114 5689 13459 11680 7626 32765 13136 49660 0 3647 4097 5726 13470 12274 7935 33679 15981 45159 0 3577 4198 5783 13558 11749 8322 33629 11530 45520 0 3355 4035 5731 13121 12054 7841 33016 12504 40986 0 3234 3957 5805 12996 10553 7102 30651 10335 42186 ann. pay. 2150843 22716 164014 181223 247516 615469 481854 322676 1419999 730844 2338261 22350 156860 184232 251303 614745 508939 340851 1464535 873726 2080413 21976 156189 192718 260328 631211 504923 389151 1525285 555128 2126306 15173 145935 190768 259244 611120 526008 365662 1502790 623516 1898290 21411 135592 180168 264563 601734 469467 309985 1381186 517104 42186 rec. 27396608 250589 2333932 2066764 2769841 7421126 4579420 2965942 14966488 12430120 42191 firms 5725 613 2718 997 693 5021 566 90 5677 48 5699 700 2665 989 641 4995 573 83 5651 48 5749 696 2671 988 657 5012 603 86 5701 48 5613 643 2612 976 645 4876 603 88 5567 46 6158 853 2967 979 657 5456 568 87 6111 47 42191 estab. 6200 613 2728 1007 749 5097 666 182 5945 255 6179 700 2675 1003 685 5063 698 157 5918 261 6221 697 2691 1002 699 5089 698 174 5961 260 6085 643 2616 995 679 4933 696 181 5810 275 6707 853 2972 998 697 5520 671 181 6372 335 42191 empl. 57676 0 5601 6538 9177 21316 19275 9638 50229 7447 55508 0 5390 6427 8583 20400 19497 8829 48726 6782 57625 0 5442 6415 8693 20550 21161 9687 51398 6227 57716 0 5303 6417 8577 20297 21250 10101 51648 6068 57587 0 6019 6413 8853 21285 19847 9541 50673 6914 42191 ann. pay. 1919239 24067 176162 194944 306115 701288 583488 328791 1613567 305672 1959883 28481 174580 211750 293820 708631 649109 310251 1667991 291892 2139652 27163 185050 216000 310118 738331 728461 359852 1826644 313008 2204681 24061 178380 223797 301473 727711 783730 374983 1886424 318257 2294568 32549 211584 229880 321675 795688 773912 394723 1964323 330245 42191 rec. 28972284 409065 3805658 3398167 3541613 11154503 7836498 4985257 23976258 4996026 42192 firms 3055 308 1522 526 329 2685 288 52 3025 30 3028 371 1482 506 289 2648 306 46 3000 28 3008 363 1452 498 299 2612 313 52 2977 31 2890 312 1395 497 298 2502 306 57 2865 25 3012 352 1495 475 300 2622 310 52 2984 28 42192 estab. 3190 309 1522 531 347 2709 339 92 3140 50 3158 375 1483 511 300 2669 349 95 3113 45 3140 367 1457 503 311 2638 342 110 3090 50 3025 312 1399 502 310 2523 338 127 2988 37 3181 352 1499 484 314 2649 365 110 3124 57 42192 empl. 35626 0 3215 3385 4334 10934 10315 6174 27423 8203 35505 0 3108 3281 3948 10337 11267 6409 28013 7492 38325 0 3030 3219 3965 10214 11532 7277 29023 9302 36890 0 2917 3239 4014 10170 11648 7761 29579 7311 35313 0 3079 3066 4001 10146 11418 6471 28035 7278 42192 ann. pay. 1328107 12204 99445 102402 144511 358562 370887 221515 950964 377143 1329045 23270 102298 109686 138715 373969 426598 237782 1038349 290696 1477673 15567 107833 106831 145974 376205 460926 271292 1108423 369250 1483239 13502 102523 107707 144135 367867 459969 295452 1123288 359951 1467009 15433 106467 107375 154057 383332 463963 291664 1138959 328050 42192 rec. 18323292 201000 1910146 1596563 2340889 6048598 4672425 3238901 13959924 4363368 42193 firms 7790 688 2996 1485 1208 6377 1157 163 7697 93 7289 629 2980 1326 1117 6052 999 148 7199 90 7102 593 2807 1317 1135 5852 1027 136 7015 87 6847 541 2737 1270 1097 5645 989 130 6764 83 6710 587 2692 1272 1009 5560 941 126 6627 83 42193 estab. 8974 689 2999 1504 1256 6448 1444 383 8275 699 8459 634 2993 1348 1176 6151 1247 368 7766 693 8267 594 2823 1337 1185 5939 1269 359 7567 700 8002 544 2752 1296 1140 5732 1222 347 7301 701 7870 588 2700 1292 1064 5644 1202 331 7177 693 42193 empl. 113246 0 6543 9922 16526 32991 41797 18707 93495 19751 102260 0 6522 8789 15214 30525 35274 16162 81961 20299 103108 0 6124 8764 15532 30420 36705 14614 81739 21369 99109 0 5960 8381 14928 29269 35777 14081 79127 19982 93060 0 5891 8459 13685 28035 33034 13753 74822 18238 42193 ann. pay. 3185572 30755 165145 230139 428714 854753 1144336 521347 2520436 665136 3040080 35157 169748 232000 411528 848433 1040278 479436 2368147 671933 3302669 27546 175810 231457 463169 897982 1159315 477246 2534543 768126 3132047 25629 169825 226068 424102 845624 1135958 441726 2423308 708739 3045028 30847 167254 243837 412796 854734 1060242 465094 2380070 664958 42193 rec. 31616739 313662 2237690 2191370 3378624 8121346 8480552 5324534 21926432 9690307 42194 firms 7858 907 4689 1217 606 7419 364 53 7836 22 7989 945 4753 1229 578 7505 404 62 7971 18 8226 1038 4820 1269 604 7731 415 58 8204 22 8083 896 4829 1257 618 7600 401 57 8058 25 8607 1055 5190 1319 592 8156 377 52 8585 22 42194 estab. 7992 908 4693 1228 624 7453 416 73 7942 50 8126 946 4758 1239 595 7538 444 96 8078 48 8355 1039 4823 1278 628 7768 445 93 8306 49 8215 897 4835 1265 642 7639 428 96 8163 52 8745 1055 5194 1327 614 8190 431 77 8698 47 42194 empl. 49800 0 9635 7839 7962 25436 12926 7364 45726 4074 51289 0 9834 7849 7576 25259 13982 8054 47295 3994 55854 0 10018 8116 8016 26150 14780 8009 48939 6915 54408 0 10065 8014 8180 26259 13974 7816 48049 6359 54205 0 10613 8461 7903 26977 13792 7114 47883 6322 42194 ann. pay. 1765354 33882 308425 252245 267734 862286 454935 319024 1636245 129109 1890128 26869 313561 266541 270868 877839 496261 378277 1752377 137751 2102777 38167 328488 284566 298577 949798 567850 366621 1884269 218508 2080304 29331 332791 278487 299224 939833 540961 365344 1846138 234166 2209461 39680 355767 306922 304910 1007279 583644 335209 1926132 283329 42194 rec. 36002379 741128 7373991 5833788 4691319 18640226 6930699 6805028 32375953 3626426 42199 firms 11487 1829 6161 1761 907 10658 621 117 11396 91 12411 2451 6396 1802 913 11562 646 111 12319 92 13665 2665 7195 1936 979 12775 678 117 13570 95 13730 2325 7489 2012 1006 12832 684 124 13640 90 15192 2599 8374 2176 1101 14250 725 126 15101 91 42199 estab. 12101 1829 6165 1782 957 10733 743 230 11706 395 13004 2451 6400 1819 972 11642 746 237 12625 379 14246 2665 7199 1953 1032 12849 781 245 13875 371 14285 2326 7494 2027 1048 12895 801 251 13947 338 15742 2600 8381 2204 1163 14348 860 244 15452 290 42199 empl. 90039 0 12164 11353 11927 35444 20837 11180 67461 22578 91291 0 12550 11780 12007 36337 21945 11632 69914 21377 100082 0 14340 12614 12856 39810 23133 12291 75234 24848 99261 0 14776 13053 13132 40961 23572 12294 76827 22434 100749 0 16601 14134 14523 45258 24602 14241 84101 16648 42199 ann. pay. 3272749 70575 327560 328512 359876 1086523 741926 476822 2305271 967478 3473046 90480 359871 361498 382103 1193952 781854 470354 2446160 1026886 3903717 104344 436072 402254 420051 1362721 854571 495749 2713041 1190676 3954785 82640 459455 416639 448756 1407490 860095 498542 2766127 1188658 3974914 87530 519986 465361 519114 1591991 932935 560952 3085878 889036 42199 rec. 58705306 1050637 8013972 5436963 4904713 19406285 8494998 7207770 35109053 23596253 42211 firms 1489 82 768 259 169 1278 129 46 1453 36 1413 84 739 228 146 1197 138 45 1380 33 1345 75 684 219 149 1127 140 46 1313 32 1279 82 645 214 131 1072 132 45 1249 30 1228 96 601 207 130 1034 118 51 1203 25 42211 estab. 2263 82 769 264 180 1295 173 173 1641 622 2215 84 740 234 154 1212 179 174 1565 650 2104 75 685 224 156 1140 187 166 1493 611 2018 82 646 217 139 1084 178 153 1415 603 1986 96 601 213 139 1049 178 187 1414 572 42211 empl. 32427 0 1566 1670 2297 5533 4512 5341 15386 17041 32512 0 1567 1503 1988 5058 4781 5272 15111 17401 31475 0 1409 1421 1974 4804 4824 5636 15264 16211 31024 0 1353 1421 1762 4536 4631 5745 14912 16112 28644 0 1227 1329 1715 4271 4231 5370 13872 14772 42211 ann. pay. 1630580 3946 62057 63207 109059 238269 216563 266632 721464 909116 1610883 3624 60827 62877 89914 217242 248889 284388 750519 860364 1717166 2150 55636 59083 98986 215855 259419 294077 769351 947815 1712310 2510 55701 64719 89113 212043 249991 305111 767145 945165 1620785 3619 49903 60159 84523 198204 235746 291064 725014 895771 42211 rec. 40972544 66098 620819 878800 1313063 2878780 4426092 4838774 12143646 28828898 42212 firms 6049 380 2921 1181 797 5279 606 93 5978 71 5970 454 2845 1147 753 5199 609 93 5901 69 5862 432 2786 1143 728 5089 605 98 5792 70 5641 425 2641 1107 715 4888 580 97 5565 76 5602 483 2671 1041 671 4866 567 102 5535 67 42212 estab. 8104 380 2926 1191 869 5366 792 335 6493 1611 7864 455 2849 1160 812 5276 797 307 6380 1484 7623 432 2790 1158 783 5163 765 307 6235 1388 7323 425 2646 1125 776 4972 776 281 6029 1294 6813 483 2675 1064 719 4941 717 295 5953 860 42212 empl. 124413 0 6150 7831 10566 24547 20103 7516 52166 72247 127087 0 5984 7588 10034 23606 20553 8501 52660 74427 129198 0 5822 7579 9712 23113 20825 9083 53021 76177 123458 0 5526 7249 9565 22340 20222 8666 51228 72230 113722 0 5518 6875 8911 21304 19166 9032 49502 64220 42212 ann. pay. 3680634 15464 193156 252006 373730 834356 675153 298038 1807547 1873087 3733252 22362 194553 251662 366873 835450 743729 333688 1912867 1820385 3919206 17109 197269 262141 355529 832048 771066 375153 1978267 1940939 3877471 19538 187621 249569 350508 807236 756668 355837 1919741 1957730 3504712 22857 186950 238815 329652 778274 717483 346211 1841968 1662744 42212 rec. 34522503 182626 1997919 1961487 2264463 6406495 4647244 2686589 13740328 20782175 42213 firms 4794 400 2125 843 618 3986 620 116 4722 72 4630 312 2048 847 607 3814 629 123 4566 64 4525 339 1933 864 577 3713 616 129 4458 67 4374 314 1864 810 576 3564 621 126 4311 63 4193 329 1812 769 518 3428 579 121 4128 65 42213 estab. 5505 410 2126 853 645 4034 770 248 5052 453 5289 314 2052 857 639 3862 754 266 4882 407 5193 341 1939 872 603 3755 737 313 4805 388 5089 314 1868 820 597 3599 749 321 4669 420 4871 329 1814 786 547 3476 714 302 4492 379 42213 empl. 70681 0 4490 5529 8355 18374 23393 12064 53831 16850 68989 0 4351 5576 8164 18091 23315 12859 54265 14724 70862 0 4129 5755 7793 17677 23158 13772 54607 16255 71412 0 4018 5365 7845 17228 23107 14080 54415 16997 66415 0 3873 5078 6991 15942 21260 13418 50620 15795 42213 ann. pay. 2993175 20702 177088 201345 306416 705551 903996 544405 2153952 839223 2987716 25222 184142 211955 310067 731386 918191 573204 2222781 764935 3232207 15500 181591 229161 296372 722624 948018 627954 2298596 933611 3290429 14348 171096 214806 292129 692379 955524 637258 2285161 1005268 3102208 15765 167086 210459 282021 675331 894259 642380 2211970 890238 42213 rec. 44842195 244975 2918687 3040806 3121698 9326166 7896230 6910903 24133299 20708896 42221 firms 6382 723 2907 1021 659 5310 706 194 6210 172 6115 671 2757 975 651 5054 701 188 5943 172 5948 627 2649 954 661 4891 699 176 5766 182 5755 588 2559 943 612 4702 699 174 5575 180 5936 750 2628 952 597 4927 651 167 5745 191 42221 estab. 8124 723 2910 1027 675 5335 785 349 6469 1655 7510 672 2758 981 664 5075 767 297 6139 1371 7418 628 2651 958 671 4908 774 275 5957 1461 7189 589 2559 953 620 4721 755 289 5765 1424 7243 751 2630 956 617 4954 716 273 5943 1300 42221 empl. 194864 0 5994 6796 8793 21583 26407 25298 73288 121576 199759 0 5655 6409 8606 20670 26034 26470 73174 126585 210418 0 5408 6341 8673 20422 26504 25533 72459 137959 234917 0 5296 6207 8077 19580 27215 26161 72956 161961 218150 0 5366 6295 7871 19532 24067 23304 66903 151247 42221 ann. pay. 9320121 53335 217033 243646 322343 836357 1007456 1088959 2932772 6387349 10054870 57924 218172 236311 355451 867858 1082697 1109368 3059923 6994947 11979927 138141 217170 264101 348565 967977 1134676 1237040 3339693 8640234 13695588 50176 225652 258156 364941 898925 1204193 1309523 3412641 10282947 12776342 189890 221052 280284 381168 1072394 1095193 1337255 3504842 9271500 42221 rec. 366325768 2389055 3554125 3441497 4059931 13444608 12749125 24459480 50653213 315672555 42231 firms 5263 700 2517 948 535 4700 406 92 5198 65 5366 675 2669 918 524 4786 420 92 5298 68 5316 641 2639 909 553 4742 424 90 5256 60 5183 605 2625 826 562 4618 415 91 5124 59 4808 648 2391 782 496 4317 360 75 4752 56 42231 estab. 5743 704 2520 952 554 4730 492 307 5529 214 5853 676 2673 921 539 4809 514 281 5604 249 5802 656 2642 914 569 4781 505 283 5569 233 5668 605 2628 830 579 4642 516 284 5442 226 5275 648 2392 790 514 4344 479 251 5074 201 42231 empl. 46315 0 5317 6202 7142 18661 13974 8385 41020 5295 46711 0 5617 5958 6898 18473 14496 7797 40766 5945 47544 0 5445 5899 7361 18705 14985 7746 41436 6108 46755 0 5484 5331 7463 18278 14473 7807 40558 6197 40493 0 5030 5095 6579 16704 12494 6221 35419 5074 42231 ann. pay. 1721969 34912 186617 205945 255454 682928 492772 302294 1477994 243975 1788850 44361 197213 206154 255188 702916 516890 289022 1508828 280022 1879619 28645 202527 216024 262134 709330 579310 303467 1592107 287512 1861183 24551 203198 191534 264195 683478 575239 303509 1562226 298957 1775392 44058 187894 192457 259644 684053 517644 284536 1486233 289159 42231 rec. 21896968 545247 3133344 2726545 2751792 9156928 5049030 2483382 16689340 5207628 42232 firms 4586 507 2196 734 494 3931 471 112 4514 72 4472 544 2112 719 463 3838 464 104 4406 66 4339 476 2078 690 469 3713 459 111 4283 56 4181 487 1988 618 470 3563 451 113 4127 54 3980 453 1950 601 425 3429 393 111 3933 47 42232 estab. 4899 508 2199 739 509 3955 521 178 4654 245 4769 547 2117 728 477 3869 507 159 4535 234 4628 476 2086 699 481 3742 495 167 4404 224 4465 488 1993 623 484 3588 495 162 4245 220 4273 454 1955 610 439 3458 445 160 4063 210 42232 empl. 61105 0 4478 4791 6630 15899 17120 11097 44116 16989 58641 0 4385 4731 6194 15310 16889 10489 42688 15953 60632 0 4333 4513 6318 15164 16762 11739 43665 16967 59912 0 4171 4077 6352 14600 16395 12048 43043 16869 59145 0 4082 3939 5740 13761 14166 12477 40404 18741 42232 ann. pay. 2249678 26581 148319 150444 199064 524408 565055 357571 1447034 802644 2172820 28025 155781 150922 195481 530209 575691 372138 1478038 694782 2383007 25130 160674 148814 211327 545945 634502 427857 1608304 774703 2330159 30349 154307 142280 222535 549471 624831 439875 1614177 715982 2384278 35944 140830 147536 221354 545664 640101 472109 1657874 726404 42232 rec. 32858037 447142 2460784 2045660 2313810 7267396 7047592 5247156 19562144 13295893 42233 firms 7883 1081 4054 1175 683 6993 681 138 7812 71 7548 1028 3872 1132 684 6716 629 141 7486 62 7462 1045 3810 1069 688 6612 658 135 7405 57 7213 915 3697 1047 672 6331 696 130 7157 56 7220 1058 3679 1002 653 6392 648 126 7166 54 42233 estab. 8273 1081 4060 1182 699 7022 789 176 7987 286 7912 1037 3877 1142 701 6757 716 186 7659 253 7824 1045 3820 1079 704 6648 747 185 7580 244 7583 915 3707 1054 685 6361 783 196 7340 243 7608 1058 3685 1013 681 6437 781 191 7409 199 42233 empl. 78130 0 8163 7677 9032 24872 24675 17899 67446 10684 77609 0 7799 7352 9047 24198 23002 18375 65575 12034 79373 0 7750 7014 9178 23942 24927 17375 66244 13129 79595 0 7547 6854 8965 23366 26108 16986 66460 13135 76252 0 7473 6507 8732 22712 24348 14678 61738 14514 42233 ann. pay. 2954221 50570 253160 227529 296610 827869 896508 730449 2454826 499395 2989586 48114 249692 229649 309957 837412 891714 756504 2485630 503956 3212906 50259 261210 228350 335546 875365 1008178 750798 2634341 578565 3348318 43938 256805 218366 326408 845517 1081967 740343 2667827 680491 3554955 62866 268421 233589 362296 927172 1089575 785333 2802080 752875 42233 rec. 46070771 867731 5159273 3094333 3767450 12888787 11763289 8339224 32991300 13079471 42234 firms 1650 202 827 262 149 1440 149 31 1620 30 1652 212 833 261 147 1453 135 36 1624 28 1642 213 810 250 164 1437 140 38 1615 27 1621 224 801 234 143 1402 155 40 1597 24 1738 239 913 251 132 1535 142 37 1714 24 42234 estab. 1746 202 827 264 152 1445 171 49 1665 81 1750 212 833 263 151 1459 156 56 1671 79 1773 213 810 252 169 1444 160 93 1697 76 1755 224 802 235 146 1407 173 102 1682 73 1875 239 913 258 136 1546 154 66 1766 109 42234 empl. 23751 0 1621 1677 1893 5191 5101 3492 13784 9967 25688 0 1613 1694 1897 5204 4850 3763 13817 11871 26592 0 1633 1628 2105 5366 5213 4407 14986 11606 26170 0 1620 1570 1842 5032 5789 4694 15515 10655 24948 0 1853 1662 1761 5276 5525 4100 14901 10047 42234 ann. pay. 1339772 8621 65602 59870 75532 209625 243114 196938 649677 690095 1409696 9399 67077 69369 74368 220213 254735 202645 677593 732103 1472969 13700 68141 63120 91597 236558 274791 245058 756407 716562 1498730 10807 69587 63338 84136 227868 301154 265491 794513 704217 1567086 17823 73639 74934 80913 247309 365496 274386 887191 679895 42234 rec. 21826129 267662 1433606 1362974 971732 4035974 3781895 3481203 11299072 10527057 42241 firms 3438 442 1396 605 375 2818 397 120 3335 103 3285 306 1403 597 388 2694 380 109 3183 102 3183 312 1351 566 389 2618 365 110 3093 90 3094 292 1318 534 393 2537 363 104 3004 90 3385 385 1452 580 410 2827 371 97 3295 90 42241 estab. 4300 442 1397 608 380 2827 448 196 3471 829 4163 306 1406 600 391 2703 415 163 3281 882 4036 312 1354 569 394 2629 392 174 3195 841 3993 296 1323 537 398 2554 387 155 3096 897 4334 385 1452 584 431 2852 422 178 3452 882 42241 empl. 169776 0 2899 4072 4955 11926 15250 18167 45343 124433 173722 0 2916 3921 5075 11912 14719 15159 41790 131932 171229 0 2819 3770 5163 11752 14460 17133 43345 127884 172432 0 2769 3603 5168 11540 14055 16285 41880 130552 172514 0 3018 3855 5510 12383 13971 15103 41457 131057 42241 ann. pay. 5892475 18469 78277 101217 124133 322096 467090 585836 1375022 4517453 6284408 17026 86507 106267 128567 338367 472931 523605 1334903 4949505 6480920 14841 89493 105113 143307 352754 480234 570125 1403113 5077807 7149010 20500 88456 107356 145613 361925 477151 572237 1411313 5737697 6850228 22291 95391 123643 161909 403234 497332 570659 1471225 5379003 42241 rec. 173346910 571625 2397683 2733091 4239451 9941850 11268181 16901821 38111852 135235058 42242 firms 3124 210 1199 581 416 2406 489 141 3036 88 3035 236 1146 529 419 2330 483 127 2940 95 2946 234 1071 504 427 2236 476 143 2855 91 2834 231 1029 469 410 2139 473 137 2749 85 2704 254 992 451 359 2056 451 124 2631 73 42242 estab. 3683 210 1200 592 437 2439 564 221 3224 459 3588 240 1150 536 446 2372 570 190 3132 456 3509 234 1073 515 451 2273 542 238 3053 456 3390 231 1033 480 436 2180 539 225 2944 446 3232 257 993 461 380 2091 517 218 2826 406 42242 empl. 85495 0 2611 3799 5606 12016 18779 19075 49870 35625 82915 0 2484 3514 5687 11685 19168 17535 48388 34527 85680 0 2302 3321 5863 11486 18217 19945 49648 36032 87251 0 2218 3082 5573 10873 18150 18675 47698 39553 81855 0 2136 3002 4872 10010 17947 16713 44670 37185 42242 ann. pay. 3015156 11905 83627 132563 190729 418824 586349 659584 1664757 1350399 2989142 13909 84757 133557 203397 435620 621903 608067 1665590 1323552 3224290 14905 77970 130708 202127 425710 646128 715826 1787664 1436626 3328726 9601 84676 117179 213727 425183 647414 687410 1760007 1568719 3251504 10807 85252 118584 180254 394897 673800 634310 1703007 1548497 42242 rec. 67080683 292969 2437428 3256349 4703460 10690206 15263034 11321397 37274637 29806046 42243 firms 2191 195 952 375 267 1789 276 68 2133 58 2157 197 913 374 261 1745 293 68 2106 51 2137 191 888 388 269 1736 274 73 2083 54 2109 204 876 371 259 1710 269 75 2054 55 1990 197 852 317 248 1614 245 76 1935 55 42243 estab. 2795 195 954 376 272 1797 327 200 2324 471 2769 197 915 375 265 1752 343 206 2301 468 2741 191 890 389 273 1743 312 216 2271 470 2741 204 877 374 265 1720 303 200 2223 518 2565 198 852 318 256 1624 296 189 2109 456 42243 empl. 48096 0 1973 2515 3508 7996 10851 7788 26635 21461 48499 0 1874 2497 3394 7765 11511 7687 26963 21536 49578 0 1850 2523 3588 7961 10889 8515 27365 22213 50239 0 1820 2438 3429 7687 10719 9021 27427 22812 47529 0 1792 2118 3358 7268 9589 8579 25436 22093 42243 ann. pay. 1764862 6232 58786 76433 110264 251715 356333 285646 893694 871168 1832198 8776 54115 83534 108731 255156 379417 286542 921115 911083 1890884 6314 56375 81683 118506 262878 380036 318456 961370 929514 2001136 14909 61168 83152 120974 280203 379904 345053 1005160 995976 1951801 8747 66043 72374 119274 266438 352965 340218 959621 992180 42243 rec. 32081043 154745 1580511 1734377 2092201 5561834 4737078 6130933 16429845 15651198 42244 firms 942 48 327 165 164 704 178 43 925 17 904 56 321 156 146 679 168 38 885 19 867 57 311 139 144 651 164 39 854 13 881 57 318 147 140 662 169 37 868 13 830 50 301 137 135 623 159 35 817 13 42244 estab. 1016 48 327 165 168 708 204 59 971 45 975 56 322 156 152 686 186 58 930 45 937 58 311 139 151 659 180 60 899 38 960 57 318 148 150 673 185 57 915 45 912 50 302 137 148 637 173 57 867 45 42244 empl. 18661 0 724 1078 2213 4015 7019 6048 17082 1579 18352 0 721 1037 2029 3787 6827 4917 15531 2821 17612 0 700 904 1964 3568 6759 5782 16109 1503 17975 0 684 975 1917 3576 7058 5139 15773 2202 17306 0 661 884 1825 3370 6574 4792 14736 2570 42244 ann. pay. 533414 1786 23412 30376 66637 122211 191118 169982 483311 50103 541960 3623 26538 28619 72379 131159 195559 137546 464264 77696 537811 2438 24687 32001 69978 129104 200003 162357 491464 46347 577276 2102 25172 31282 79251 137807 219824 155451 513082 64194 574472 1973 24122 32145 77873 136113 224656 137631 498400 76072 42244 rec. 11119192 51173 943251 982996 1801207 3778627 4294512 1999753 10072892 1046300 42245 firms 2134 205 981 343 288 1817 236 44 2097 37 2104 209 963 334 279 1785 241 41 2067 37 2027 192 921 333 259 1705 236 46 1987 40 2009 222 877 355 231 1685 243 42 1970 39 2047 236 958 312 231 1737 224 49 2010 37 42245 estab. 2500 205 984 348 301 1838 275 79 2192 308 2473 209 965 335 300 1809 277 78 2164 309 2397 192 923 335 279 1729 269 86 2084 313 2381 223 878 357 244 1702 279 94 2075 306 2369 236 959 317 246 1758 267 96 2121 248 42245 empl. 54639 0 1950 2290 3830 8070 8325 4486 20881 33758 54870 0 1919 2189 3672 7780 8541 4501 20822 34048 51332 0 1818 2230 3449 7497 8689 5065 21251 30081 46929 0 1712 2354 3076 7142 9081 4835 21058 25871 63680 0 1860 2064 3110 7034 8213 5282 20529 43151 42245 ann. pay. 1464086 7538 47198 63218 99144 217098 234437 122767 574302 889784 1540093 15838 49150 60162 98852 224002 246271 123456 593729 946364 1735398 5211 50581 63229 94417 213438 251641 130615 595694 1139704 1680843 7593 48240 66824 89554 212211 279444 130625 622280 1058563 2302495 11686 54328 61382 92439 219835 261291 172384 653510 1648985 42245 rec. 54284362 191008 1057633 1369579 1339428 3957648 3803461 1727891 9489000 44795362 42246 firms 2978 454 1301 506 351 2612 310 43 2965 13 2943 433 1275 507 348 2563 330 38 2931 12 2897 404 1269 486 360 2519 318 49 2886 11 2879 410 1244 493 360 2507 314 46 2867 12 2775 454 1189 452 323 2418 303 42 2763 12 42246 estab. 3072 454 1303 509 361 2627 345 66 3038 34 3048 433 1275 512 358 2578 363 68 3009 39 2992 404 1269 491 364 2528 354 73 2955 37 2980 410 1246 497 362 2515 354 73 2942 38 2883 454 1190 458 332 2434 339 69 2842 41 42246 empl. 27239 0 2835 3282 4672 10789 11419 3851 26059 1180 27706 0 2706 3295 4678 10679 12228 3604 26511 1195 28710 0 2727 3187 4817 10731 11613 5023 27367 1343 28405 0 2638 3214 4815 10667 11325 5066 27058 1347 26719 0 2554 2968 4254 9776 10964 4462 25202 1517 42246 ann. pay. 736211 15756 81220 84689 120193 301858 291993 102674 696525 39686 797304 14009 79883 89594 132114 315600 334555 104721 754876 42428 854649 14977 78002 93981 140483 327443 346274 136364 810081 44568 882232 16426 78710 99085 136272 330493 353489 149217 833199 49033 895718 17940 79411 100329 138904 336584 351870 146736 835190 60528 42246 rec. 15760715 411941 2086497 2297036 2678700 7474174 5438135 1642247 14554556 1206159 42247 firms 3315 213 1366 640 490 2709 482 76 3267 48 3262 243 1304 607 493 2647 485 78 3210 52 3185 229 1283 575 488 2575 482 79 3136 49 3133 249 1257 562 472 2540 475 79 3094 39 3004 263 1204 535 423 2425 459 79 2963 41 42247 estab. 3483 213 1367 646 497 2723 512 94 3329 154 3423 243 1305 613 500 2661 508 102 3271 152 3353 232 1283 579 496 2590 507 100 3197 156 3305 249 1260 566 479 2554 500 99 3153 152 3182 263 1208 539 435 2445 485 106 3036 146 42247 empl. 51002 0 2953 4221 6733 13907 18428 9319 41654 9348 57172 0 2823 4032 6721 13576 18295 10541 42412 14760 57312 0 2763 3808 6732 13303 18586 10798 42687 14625 53407 0 2631 3705 6524 12860 18490 11347 42697 10710 51207 0 2634 3531 5760 11925 17746 11533 41204 10003 42247 ann. pay. 1601235 7919 82430 118706 181506 390561 549475 315185 1255221 346014 1850329 12845 78546 118219 193403 403013 561714 360621 1325348 524981 1885818 15318 82412 112694 191833 402257 580294 385201 1367752 518066 1811481 15339 84287 112491 204156 416273 603113 411381 1430767 380714 1833556 12244 83256 109552 183782 388834 598435 434308 1421577 411979 42247 rec. 39597608 242568 2475065 2582220 3576895 8876748 9912757 7207434 25996939 13600669 42248 firms 5546 428 2069 1005 831 4333 987 184 5504 42 5403 470 1983 965 809 4227 941 191 5359 44 5355 459 1995 947 769 4170 943 194 5307 48 5294 412 1974 944 743 4073 965 215 5253 41 5165 522 1838 900 730 3990 923 208 5121 44 42248 estab. 5984 428 2078 1022 858 4386 1061 295 5742 242 5880 470 1990 984 836 4280 1016 333 5629 251 5829 461 2002 965 799 4227 1009 286 5522 307 5753 412 1981 962 768 4123 1035 309 5467 286 5659 522 1844 921 752 4039 1012 350 5401 258 42248 empl. 105047 0 4645 6613 11263 22521 40216 28632 91369 13678 106582 0 4346 6442 10938 21726 38785 31686 92197 14385 108650 0 4441 6268 10375 21084 37766 31359 90209 18441 113100 0 4339 6261 10134 20734 38512 36376 95622 17478 111470 0 3912 6008 9939 19859 37001 33220 90080 21390 42248 ann. pay. 3190105 26237 166613 236787 351628 781265 1208051 756958 2746274 443831 3285058 24012 158836 230356 364249 777453 1166625 847681 2791759 493299 3539862 30512 163800 232324 365883 792519 1190535 895412 2878466 661396 3753290 28490 164378 246283 375328 814479 1225864 1023357 3063700 689590 3771433 31013 156147 241414 370011 798585 1243046 1049951 3091582 679851 42248 rec. 54232789 520018 3694902 5112235 6608941 15936096 16639404 12286329 44861829 9370960 42249 firms 11436 1257 5216 1827 1281 9581 1307 313 11201 235 11023 1042 5105 1769 1267 9183 1308 292 10783 240 10718 1009 4887 1739 1245 8880 1327 279 10486 232 10415 1069 4673 1683 1218 8643 1273 285 10201 214 10289 1110 4718 1578 1181 8587 1195 295 10077 212 42249 estab. 14615 1257 5220 1844 1323 9644 1500 629 11773 2842 14249 1047 5109 1785 1309 9250 1484 550 11284 2965 13927 1014 4894 1755 1280 8943 1490 548 10981 2946 13703 1069 4683 1695 1251 8698 1431 556 10685 3018 13414 1110 4718 1593 1213 8634 1382 609 10625 2789 42249 empl. 295821 0 10343 12041 17458 39842 46992 35448 122282 173539 306357 0 10183 11638 17261 39082 47344 32209 118635 187722 304421 0 9864 11471 16747 38082 48129 33067 119278 185143 301333 0 9449 11160 16521 37130 46071 34088 117289 184044 289147 0 9479 10403 15989 35871 44053 35394 115318 173829 42249 ann. pay. 10127934 44795 287955 337076 494292 1164118 1399537 1145741 3709396 6418538 10950311 65634 300947 344465 500230 1211276 1447897 1068810 3727983 7222328 11418746 46462 298503 353074 509920 1207959 1535302 1170779 3914040 7504706 11771579 44509 302316 360937 522162 1229924 1509008 1233848 3972780 7798799 11241990 47169 299403 346468 554366 1247406 1507009 1255738 4010153 7231837 42249 rec. 207550074 661939 6468504 6049168 9330772 22510383 19092833 17431036 59034252 148515822 42251 firms 3636 145 1083 949 699 2876 611 104 3591 45 3552 185 1061 895 652 2793 608 109 3510 42 3474 187 1038 882 629 2736 574 120 3430 44 3350 168 1026 831 603 2628 562 122 3312 38 3130 150 993 742 569 2454 523 116 3093 37 42251 estab. 6305 145 1092 1012 922 3171 1514 537 5222 1083 6197 189 1070 953 878 3090 1476 572 5138 1059 6077 188 1050 939 837 3014 1378 642 5034 1043 5890 182 1040 892 809 2923 1354 671 4948 942 5653 161 1000 796 753 2710 1396 682 4788 865 42251 empl. 57139 0 2664 6253 9045 17962 18752 7537 44251 12888 56523 0 2598 5907 8420 16925 19233 8279 44437 12086 56407 0 2520 5806 8204 16530 18560 9009 44099 12308 54945 0 2530 5520 7766 15816 18003 9766 43585 11360 51249 0 2393 4920 7518 14831 16947 8898 40676 10573 42251 ann. pay. 1715682 6527 67716 163206 241484 478933 531664 245195 1255792 459890 1750490 12026 66543 158874 227535 464978 567053 277302 1309333 441157 1783106 10430 67164 153341 232835 463770 551908 305148 1320826 462280 1812100 7831 69479 155380 235684 468374 561219 333996 1363589 448511 1725744 5579 68756 144473 228995 447803 551105 329342 1328250 397494 42251 rec. 82846759 247743 3228240 4689361 8150931 16316275 17179419 15553668 49049362 33797397 42252 firms 1694 113 590 242 259 1204 468 13 1685 9 1633 129 581 228 230 1168 441 15 1624 9 1604 134 578 226 209 1147 433 15 1595 9 1584 123 568 227 221 1139 421 14 1574 10 1479 125 499 192 220 1036 420 14 1470 9 42252 estab. 2046 113 592 243 268 1216 501 139 1856 190 1960 129 582 232 234 1177 474 140 1791 169 1905 134 578 230 215 1157 468 128 1753 152 1879 123 568 231 229 1151 445 82 1678 201 1751 125 499 198 222 1044 442 79 1565 186 42252 empl. 25116 0 1237 1586 3635 6458 16334 1633 24425 691 23453 0 1232 1492 3204 5928 15471 1570 22969 484 23170 0 1202 1473 2960 5635 15174 1879 22688 482 22736 0 1203 1518 3150 5871 14555 1282 21708 1028 21976 0 1065 1284 3113 5462 14221 1424 21107 869 42252 ann. pay. 255721 3285 23501 24419 32236 83441 134311 20476 238228 17493 254584 3531 25607 23979 32435 85552 135454 21359 242365 12219 280843 4108 28387 27699 31878 92072 139031 36249 267352 13491 277999 8379 30320 28037 34816 101552 135831 21012 258395 19604 252169 3904 23345 22714 31282 81245 134769 16890 232904 19265 42252 rec. 20436855 124753 2191425 1556966 2512959 6386103 10889762 1204726 18480591 1956264 42259 firms 1539 215 774 249 134 1372 123 18 1513 26 1452 209 701 253 135 1298 109 21 1428 24 1416 203 680 238 142 1263 111 22 1396 20 1358 184 668 233 129 1214 107 18 1339 19 1242 162 618 204 115 1099 104 22 1225 17 42259 estab. 1693 215 777 257 147 1396 160 43 1599 94 1603 209 704 261 148 1322 135 56 1513 90 1564 203 690 246 148 1287 140 57 1484 80 1517 184 673 246 135 1238 140 64 1442 75 1365 162 621 209 120 1112 137 61 1310 55 42259 empl. 13139 0 1678 1617 1687 4982 4167 1187 10336 2803 12243 0 1468 1641 1730 4839 3681 1117 9637 2606 12410 0 1421 1550 1773 4744 3728 1270 9742 2668 12866 0 1402 1498 1671 4571 3528 1829 9928 2938 10779 0 1316 1322 1541 4179 3494 1553 9226 1553 42259 ann. pay. 405726 9792 55064 46924 40270 152050 104876 48336 305262 100464 390851 8395 50091 47203 37883 143572 91704 50805 286081 104770 419444 7831 51200 45398 44254 148683 89546 55299 293528 125916 463805 6813 50112 47655 44157 148737 96851 73267 318855 144950 384089 5464 48629 40430 42108 136631 107107 70085 313823 70266 42259 rec. 14557898 201618 2242746 1235983 1149006 4829353 2983783 3095128 10908264 3649634 42261 firms 3351 251 1572 550 397 2770 400 94 3264 87 3286 247 1554 488 414 2703 399 92 3194 92 3209 283 1459 484 397 2623 393 106 3122 87 3108 263 1414 484 384 2545 378 100 3023 85 2997 286 1359 473 356 2474 352 92 2918 79 42261 estab. 4258 251 1576 563 446 2836 576 308 3720 538 4158 247 1559 499 464 2769 564 289 3622 536 4038 283 1467 494 444 2688 543 304 3535 503 3908 264 1421 493 424 2602 518 308 3428 480 3717 286 1362 483 393 2524 518 281 3323 394 42261 empl. 43497 0 3235 3591 5484 12310 14208 7613 34131 9366 41990 0 3212 3170 5670 12052 14292 6977 33321 8669 44576 0 3039 3141 5429 11609 13795 9267 34671 9905 43116 0 2930 3231 5222 11383 13729 8133 33245 9871 40079 0 2855 3120 4820 10795 12566 6993 30354 9725 42261 ann. pay. 1832737 13096 162985 157704 234732 568517 542280 275767 1386564 446173 1838062 12926 169353 139775 250687 572741 570416 274264 1417421 420641 2054561 16242 167519 148854 241578 574193 600024 349345 1523562 530999 1951502 17817 154687 154290 227477 554271 558088 311640 1423999 527503 1941899 14459 146547 153582 219283 533871 565302 309250 1408423 533476 42261 rec. 32648096 243856 2530203 2495455 2319258 7588772 5785189 4090777 17464738 15183358 42269 firms 8304 717 3995 1457 956 7125 791 174 8090 214 8062 648 3887 1417 935 6887 792 177 7856 206 7845 628 3683 1410 937 6658 808 178 7644 201 7618 609 3557 1355 899 6420 822 186 7428 190 7622 687 3571 1333 874 6465 803 186 7454 168 42269 estab. 11532 717 4005 1484 1021 7227 1146 557 8930 2602 11252 653 3903 1446 987 6989 1133 564 8686 2566 11255 628 3699 1436 993 6756 1138 596 8490 2765 11911 610 3572 1376 949 6507 1172 615 8294 3617 11853 687 3585 1360 942 6574 1231 593 8398 3455 42269 empl. 120930 0 8229 9505 12612 30346 25038 12366 67750 53180 117834 0 8067 9260 12353 29680 25525 12956 68161 49673 121824 0 7755 9205 12392 29352 26433 13652 69437 52387 121143 0 7418 8779 11882 28079 27115 13782 68976 52167 116749 0 7414 8740 11493 27647 26224 13293 67164 49585 42269 ann. pay. 5727847 35028 326408 384359 537066 1282861 1133657 532663 2949181 2778666 5859859 43104 334681 388437 549379 1315601 1184935 602788 3103324 2756535 6196654 31211 327159 399814 571086 1329270 1239004 671996 3240270 2956384 6300357 32794 324038 382422 553443 1292697 1333686 676095 3302478 2997879 6083441 44015 311839 397244 554820 1307918 1300706 649645 3258269 2825172 42269 rec. 85335297 555021 4312593 4076311 4820371 13764296 11114298 8220317 33098911 52236386 42271 firms 5124 85 1095 1079 1016 3275 1368 343 4986 138 4990 144 1078 1005 956 3183 1327 350 4860 130 4830 128 1065 961 951 3105 1243 355 4703 127 4646 128 1011 930 905 2974 1207 349 4530 116 4332 110 952 849 834 2745 1136 339 4220 112 42271 estab. 7503 85 1101 1115 1138 3439 1818 690 5947 1556 7500 146 1086 1042 1062 3336 1763 723 5822 1678 7203 128 1072 992 1062 3254 1649 735 5638 1565 7020 133 1019 964 1021 3137 1604 759 5500 1520 6532 115 958 875 951 2899 1547 709 5155 1377 42271 empl. 99466 0 2657 7095 12575 22327 35440 19022 76789 22677 99286 0 2662 6683 11698 21043 34574 19770 75387 23899 97236 0 2576 6225 11762 20563 32795 20066 73424 23812 94034 0 2475 6064 11194 19733 32489 19670 71892 22142 87956 0 2367 5654 10321 18342 29416 18734 66492 21464 42271 ann. pay. 3305423 4372 67465 194573 360756 627166 1040305 576567 2244038 1061385 3448623 9442 70744 190527 343564 614277 1059083 592848 2266208 1182415 3600020 7266 72914 183797 362169 626146 1051141 628329 2305616 1294404 3731903 6826 73763 184533 365844 630966 1112860 664546 2408372 1323531 3485137 5281 69265 173312 331836 579694 1072800 636237 2288731 1196406 42271 rec. 214437460 147539 2063044 4951394 8290039 15452016 36004164 17830297 69286477 145150983 42272 firms 2927 249 1265 473 310 2297 375 153 2825 102 2863 207 1202 517 321 2247 360 158 2765 98 2775 184 1158 508 330 2180 348 152 2680 95 2684 202 1108 486 307 2103 344 147 2594 90 2720 226 1109 481 330 2146 344 140 2630 90 42272 estab. 3748 249 1269 480 321 2319 453 217 2989 759 3660 207 1205 523 333 2268 426 230 2924 736 3459 186 1161 517 340 2204 406 233 2843 616 3355 202 1110 492 321 2125 410 239 2774 581 3274 226 1111 490 353 2180 417 242 2839 435 42272 empl. 34598 0 2745 3021 3832 9598 8750 5308 23656 10942 34766 0 2548 3311 3942 9801 8771 6085 24657 10109 34754 0 2444 3219 4082 9745 8967 6120 24832 9922 34866 0 2346 3051 3874 9271 9001 5812 24084 10782 34028 0 2351 3059 4074 9484 8875 6673 25032 8996 42272 ann. pay. 1452080 14985 111034 101932 138057 366008 280869 198014 844891 607189 1469482 10498 90721 111000 160808 373027 298163 223640 894830 574652 1622839 9234 89476 121653 163163 383526 345127 220664 949317 673522 1847251 15478 97898 119798 185592 418766 391307 214079 1024152 823099 1728871 14094 97905 114524 185722 412245 431811 228886 1072942 655929 42272 rec. 103062107 502601 5027712 3747589 8935473 18213375 26793752 6758139 51765266 51296841 42281 firms 2504 101 487 306 434 1328 915 237 2480 24 2426 121 462 282 420 1285 869 240 2394 32 2355 133 473 240 367 1213 849 263 2325 30 2287 129 473 234 342 1178 816 262 2256 31 2142 109 417 261 274 1061 788 259 2108 34 42281 estab. 2958 102 487 319 450 1358 1069 430 2857 101 2876 127 464 285 435 1311 1019 432 2762 114 2788 133 475 243 381 1232 995 459 2686 102 2713 133 476 237 356 1202 949 456 2607 106 2545 109 417 266 285 1077 896 464 2437 108 42281 empl. 95440 0 1101 2098 6082 9281 40337 37969 87587 7853 96252 0 1022 1903 5867 8792 38555 38695 86042 10210 97379 0 1056 1633 5125 7814 37555 41691 87060 10319 97580 0 1078 1608 4796 7482 36657 42804 86943 10637 99754 0 927 1758 3888 6573 35699 43429 85701 14053 42281 ann. pay. 3449998 13173 23643 54235 192360 283411 1421042 1442591 3147044 302954 3574807 19799 25831 50588 191028 287246 1405461 1473320 3166027 408780 3741072 15220 27988 45019 163936 252163 1399580 1653833 3305576 435496 3867074 41355 31332 53581 158904 285172 1390589 1720243 3396004 471070 3981868 9458 29237 56756 133725 229176 1404562 1771262 3405000 576868 42281 rec. 43239043 134608 405306 641194 1319067 2500175 13436928 19228064 35165167 8073876 42282 firms 1363 151 476 209 169 1005 235 82 1322 41 1393 145 514 211 165 1035 236 84 1355 38 1407 149 500 225 158 1032 250 87 1369 38 1428 160 510 208 176 1054 245 88 1387 41 1440 167 534 222 168 1091 228 79 1398 42 42282 estab. 1837 151 477 210 186 1024 286 173 1483 354 1844 145 517 212 176 1050 267 183 1500 344 1842 150 501 225 168 1044 287 177 1508 334 1853 160 512 209 179 1060 287 162 1509 344 1832 167 537 224 172 1100 257 169 1526 306 42282 empl. 55568 0 985 1408 2346 4739 9506 13506 27751 27817 56717 0 1075 1427 2247 4749 9565 14807 29121 27596 59880 0 1033 1520 2117 4670 10280 15492 30442 29438 63050 0 1098 1389 2329 4816 10175 15010 30001 33049 63485 0 1156 1454 2306 4916 9455 14403 28774 34711 42282 ann. pay. 2490136 5808 35948 55525 92467 189748 388761 612218 1190727 1299409 2755074 12400 43564 54417 98983 209364 403971 726225 1339560 1415514 3020981 17305 40551 59660 96782 214298 463909 752904 1431111 1589870 3263313 11162 44158 55447 109764 220531 453448 774048 1448027 1815286 3366457 34289 44066 63089 112708 254152 460577 783917 1498646 1867811 42282 rec. 44749627 500509 653274 809018 1642946 3605747 4992583 11019403 19617733 25131894 42291 firms 5176 512 2317 948 573 4350 576 155 5081 95 5018 448 2216 946 577 4187 583 161 4931 87 4933 426 2145 939 594 4104 570 175 4849 84 4800 400 2037 938 617 3992 551 179 4722 78 4825 421 2071 935 586 4013 569 167 4749 76 42291 estab. 7427 512 2323 957 633 4425 1007 494 5926 1501 7313 451 2221 957 633 4262 962 487 5711 1602 7158 432 2151 948 639 4170 922 520 5612 1546 6885 402 2043 949 660 4054 877 584 5515 1370 7052 429 2078 948 653 4108 958 606 5672 1380 42291 empl. 76223 0 4934 6156 7424 18514 17239 11604 47357 28866 75012 0 4669 6152 7381 18202 17600 11737 47539 27473 75258 0 4520 6146 7646 18312 17462 12239 48013 27245 74868 0 4339 6139 7903 18381 17357 12777 48515 26353 72542 0 4525 6157 7617 18299 17456 11676 47431 25111 42291 ann. pay. 2595981 22525 121722 158426 213277 515950 514866 410117 1440933 1155048 2611494 16329 123130 163899 214680 518038 554666 415147 1487851 1123643 2732370 17287 120354 168787 235374 541802 567859 438314 1547975 1184395 2798245 17486 119822 167308 255020 559636 570465 475132 1605233 1193012 2711113 20605 117915 180956 246631 566107 614999 446706 1627812 1083301 42291 rec. 46870897 360386 2342571 2558263 3065849 8327069 7967961 7340453 23635483 23235414 42292 firms 3237 274 1509 501 298 2582 380 169 3131 106 3124 266 1458 481 292 2497 358 155 3010 114 3007 262 1384 469 288 2403 350 145 2898 109 2885 272 1311 458 278 2319 325 137 2781 104 2854 283 1353 405 275 2316 322 123 2761 93 42292 estab. 4202 274 1509 501 307 2591 469 392 3452 750 4105 266 1460 482 304 2512 429 341 3282 823 3998 262 1385 474 298 2419 409 340 3168 830 3883 272 1311 461 287 2331 379 300 3010 873 3776 283 1353 406 288 2330 390 287 3007 769 42292 empl. 88779 0 3103 3270 3903 10276 13574 15731 39581 49198 92201 0 2989 3120 3826 9935 13401 14674 38010 54191 96303 0 2856 3059 3711 9626 13092 14514 37232 59071 95795 0 2730 3002 3639 9371 12107 14385 35863 59932 80385 0 2811 2675 3586 9072 11918 12480 33470 46915 42292 ann. pay. 2835261 11762 94863 100341 137224 344190 399888 426469 1170547 1664714 3287832 11367 96938 98636 139704 346645 411241 406823 1164709 2123123 3624914 15828 98305 101093 136073 351299 427673 470314 1249286 2375628 3428154 12381 93908 107599 137573 351461 382281 443078 1176820 2251334 2780791 11395 89738 104820 128009 333962 382799 389936 1106697 1674094 42292 rec. 35146741 105178 957562 776670 875372 2714782 3284463 3708980 9708225 25438516 42293 firms 3538 394 1417 706 473 2990 454 72 3516 22 3630 429 1435 693 531 3088 447 70 3605 25 3712 448 1451 727 522 3148 475 63 3686 26 4181 468 1613 787 626 3494 562 100 4156 25 4309 478 1753 805 615 3651 544 91 4286 23 42293 estab. 3938 401 1423 713 488 3025 577 255 3857 81 4034 429 1440 697 556 3122 553 257 3932 102 4104 454 1455 734 540 3183 579 253 4015 89 4598 468 1617 797 652 3534 676 324 4534 64 4751 478 1753 819 641 3691 698 286 4675 76 42293 empl. 46748 0 3029 4615 6404 14048 16869 10755 41672 5076 48621 0 3075 4507 7104 14686 16836 10225 41747 6874 49657 0 3080 4770 7119 14969 18101 10123 43193 6464 60890 0 3452 5150 8342 16944 20640 15247 52831 8059 59335 0 3788 5408 8232 17428 21345 13251 52024 7311 42293 ann. pay. 1126205 16180 67735 103834 148741 336490 409416 260159 1006065 120140 1227443 12572 69519 106511 170112 358714 423524 272590 1054828 172615 1333397 27805 78166 115419 172901 394291 476925 290544 1161760 171637 1607701 23184 89020 127712 201515 441431 548401 388696 1378528 229173 1632166 16859 95669 133713 208380 454621 577484 369680 1401785 230381 42293 rec. 10761904 169103 972236 1158298 1353969 3653606 3571532 2242515 9467653 1294251 42294 firms 1343 107 389 227 215 938 300 70 1308 35 1313 120 361 226 206 913 297 71 1281 32 1300 116 380 216 204 916 281 72 1269 31 1277 124 374 212 193 903 270 69 1242 35 1354 150 426 218 190 984 268 67 1319 35 42294 estab. 1573 107 389 230 220 946 339 93 1378 195 1548 120 361 230 208 919 334 98 1351 197 1539 116 380 220 209 925 315 99 1339 200 1520 124 374 216 197 911 307 92 1310 210 1597 150 426 228 199 1003 296 94 1393 204 42294 empl. 55531 0 860 1531 3007 5398 11731 10852 27981 27550 56328 0 808 1534 2838 5180 11818 11635 28633 27695 57802 0 831 1445 2788 5064 11294 12059 28417 29385 57261 0 782 1406 2640 4828 10899 11569 27296 29965 55571 0 914 1419 2525 4858 10741 11300 26899 28672 42294 ann. pay. 1656342 5202 21774 37431 78635 143042 304337 324254 771633 884709 1763990 4698 22067 38886 77097 142748 334136 358594 835478 928512 1898880 4558 23439 38867 79812 146676 329098 372456 848230 1050650 1951011 3434 23449 38922 78483 144288 331241 375769 851298 1099713 2072610 6088 28098 41106 75347 150639 332342 493939 976920 1095690 42294 rec. 83827872 256760 886747 1509700 2549384 5202591 10389891 16345660 31938142 51889730 42295 firms 1527 139 564 335 225 1263 184 47 1494 33 1497 123 562 330 206 1221 195 53 1469 28 1477 117 556 314 214 1201 198 47 1446 31 1420 103 532 314 209 1158 191 41 1390 30 1457 131 571 303 195 1200 193 38 1431 26 42295 estab. 2219 139 568 340 272 1319 328 188 1835 384 2186 123 568 334 248 1273 335 206 1814 372 2179 117 563 316 251 1247 342 205 1794 385 2093 106 535 320 242 1203 330 199 1732 361 2110 132 574 311 235 1252 340 185 1777 333 42295 empl. 20466 0 1218 2214 2946 6378 4976 3067 14421 6045 20470 0 1208 2177 2692 6077 5410 3436 14923 5547 20619 0 1220 2052 2817 6089 5639 3454 15182 5437 19970 0 1157 2056 2784 5997 5616 3064 14677 5293 20224 0 1236 1996 2618 5850 5855 2537 14242 5982 42295 ann. pay. 749368 7084 38228 67106 99205 211623 170173 108253 490049 259319 758519 6786 41216 66197 89768 203967 190583 127275 521825 236694 810233 6029 39043 63948 98494 207514 208118 133211 548843 261390 798344 4549 38061 68670 95954 207234 208483 122848 538565 259779 824718 4178 43071 64779 96420 208448 225721 111849 546018 278700 42295 rec. 9335797 35412 506738 682717 755443 1980310 1726110 1048742 4755162 4580635 42299 firms 15243 2863 8268 2038 1037 14206 766 157 15129 114 15674 2773 8633 2150 1039 14595 811 161 15567 107 16103 2768 8763 2259 1165 14955 856 181 15992 111 15788 2485 8693 2274 1193 14645 864 174 15683 105 17259 2921 9575 2365 1211 16072 925 156 17153 106 42299 estab. 15544 2866 8273 2053 1051 14243 858 262 15363 181 16011 2773 8640 2164 1056 14633 913 275 15821 190 16458 2770 8769 2277 1183 14999 934 324 16257 201 16168 2486 8702 2291 1206 14685 958 329 15972 196 17639 2921 9582 2381 1233 16117 1036 246 17399 240 42299 empl. 98420 0 16118 13227 13528 42873 25692 15038 83603 14817 99242 0 16687 13957 13344 43988 27724 15635 87347 11895 109519 0 17175 14641 15102 46918 29793 19500 96211 13308 111175 0 16946 14662 15461 47069 29588 19714 96371 14804 113251 0 18807 15221 15797 49825 31781 15653 97259 15992 42299 ann. pay. 3210325 92369 449682 355000 381443 1278494 770920 539100 2588514 621811 3404514 105840 487281 398872 391427 1383420 877219 581629 2842268 562246 3885043 112533 520345 436090 460159 1529127 998002 723581 3250710 634333 4034449 107458 517455 454427 475810 1555150 1022761 748142 3326053 708396 4201325 103123 583795 492188 531287 1710393 1154856 651579 3516828 684497 42299 rec. 66256576 1189829 8992299 6314632 5608192 22104952 10602571 17915068 50622591 15633985 44111 firms 23762 1187 2714 1777 3442 9120 12523 2010 23653 109 23415 1220 2769 1755 3239 8983 12222 2102 23307 108 23412 1299 2897 1677 3125 8998 12023 2280 23301 111 23576 1345 3151 1715 3097 9308 11868 2293 23469 107 22478 1171 2746 1501 2883 8301 11618 2433 22352 126 44111 estab. 26219 1191 2716 1779 3463 9149 13075 2961 25185 1034 26117 1236 2773 1759 3264 9032 12751 3089 24872 1245 26225 1304 2902 1682 3140 9028 12519 3266 24813 1412 26444 1350 3157 1721 3110 9338 12346 3313 24997 1447 25625 1174 2750 1509 2906 8339 12224 3521 24084 1541 44111 empl. 1049621 0 5848 12265 49818 67931 574603 314265 956799 92822 1070428 0 5983 12115 46739 64837 566664 327879 959380 111048 1111848 0 6204 11405 45150 62759 563812 357708 984279 127569 1112471 0 6751 11720 44422 62893 554443 360785 978121 134350 1138977 0 5940 10339 41813 58092 548959 387150 994201 144776 44111 ann. pay. 38856502 268043 148907 312350 1342197 2071497 20652681 12403489 35127667 3728835 42321667 351857 163674 322111 1364039 2201681 21484382 13868481 37554544 4767123 44768288 340847 168093 294536 1299461 2102937 21655930 15382612 39141479 5626809 46915520 370787 206644 325607 1353289 2256327 22461345 16432840 41150512 5765008 47866732 357917 183973 307278 1292144 2141312 22287787 17276598 41705697 6161035 44111 rec. 638732031 6702896 2907504 5042380 20106899 34759679 298277650 216261817 549299146 89432885 44112 firms 23079 2885 14198 3838 1378 22299 664 94 23057 22 23365 3259 14046 3839 1417 22561 672 110 23343 22 24014 3199 14240 4084 1594 23117 759 115 23991 23 24570 3317 14546 4141 1610 23614 810 121 24545 25 25640 3386 15298 4200 1756 24640 842 130 25612 28 44112 estab. 23674 2888 14208 3877 1477 22450 863 201 23514 160 23998 3269 14062 3885 1501 22717 845 246 23808 190 24653 3203 14260 4127 1690 23280 910 231 24421 232 25188 3322 14563 4185 1696 23766 964 228 24958 230 26424 3386 15312 4280 1876 24854 1086 241 26181 243 44112 empl. 101776 0 29201 24276 17481 70958 17776 5062 93796 7980 104753 0 29033 24501 17975 71509 18021 5703 95233 9520 110256 0 29645 26106 20397 76148 21710 6473 104331 5925 112948 0 30173 26521 20716 77410 23358 6375 107143 5805 120236 0 32056 26871 22666 81593 24521 6918 113032 7204 44112 ann. pay. 2579048 77011 568153 538841 443053 1627058 506916 172713 2306687 272361 2859620 100446 598300 582903 490625 1772274 555688 193849 2521811 337809 3068423 93522 621084 633313 549413 1897332 692290 210509 2800131 268292 3246036 115313 653709 660603 578679 2008304 761146 238954 3008404 237632 3463726 123063 702263 697296 643981 2166603 802694 255673 3224970 238756 44112 rec. 54330822 2777945 15505797 10298252 8429643 37011637 9574666 3298402 49884705 4446117 44121 firms 2789 202 1013 668 525 2408 338 33 2779 10 2817 283 948 652 534 2417 352 36 2805 12 2884 258 980 652 552 2442 389 43 2874 10 2905 266 998 681 521 2466 389 42 2897 8 2909 241 1055 649 518 2463 401 37 2901 8 44121 estab. 3015 202 1014 671 560 2447 432 82 2961 54 3039 284 949 656 562 2451 440 82 2973 66 3114 258 981 654 580 2473 477 84 3034 80 3134 267 1000 685 546 2498 476 108 3082 52 3145 241 1055 653 539 2488 503 102 3093 52 44121 empl. 31000 0 2356 4449 7051 13856 11483 4043 29382 1618 33272 0 2251 4361 7268 13880 12334 3825 30039 3233 36376 0 2275 4309 7392 13976 13545 5198 32719 3657 34829 0 2273 4485 6974 13732 13674 4667 32073 2756 35662 0 2538 4333 6994 13865 14252 4607 32724 2938 44121 ann. pay. 962793 10563 49664 102849 193208 356284 396709 158383 911376 51417 1090022 14848 48954 107720 203676 375198 453332 140155 968685 121337 1146545 11844 48552 100966 211035 372397 455857 183673 1011927 134618 1142979 10069 53494 110340 198672 372575 479143 179777 1031495 111484 1274148 12014 62249 112419 217063 403745 541769 189745 1135259 138889 44121 rec. 15878887 210042 826317 1220674 2298515 4555548 5980440 2353858 12889846 2989041 44122 firms 10196 1071 4351 2320 1610 9352 792 45 10189 7 10305 1122 4246 2326 1663 9357 895 43 10295 10 10611 1174 4306 2284 1754 9518 1032 53 10603 8 11001 1279 4475 2322 1733 9809 1126 55 10990 11 12076 1447 5069 2486 1730 10732 1268 59 12059 17 44122 estab. 10859 1072 4355 2354 1684 9465 1005 113 10583 276 11042 1122 4253 2352 1739 9466 1104 90 10660 382 11400 1179 4315 2307 1823 9624 1244 133 11001 399 11788 1282 4483 2338 1796 9899 1306 133 11338 450 13079 1447 5073 2514 1827 10861 1556 182 12599 480 44122 empl. 76073 0 9713 15386 21212 46311 23267 3407 72985 3088 81555 0 9486 15307 21927 46720 26825 3190 76735 4820 90557 0 9611 15162 23432 48205 31798 4960 84963 5594 96605 0 10014 15354 23351 48719 35396 6106 90221 6384 104634 0 11282 16497 23200 50979 40908 5783 97670 6964 44122 ann. pay. 2007690 38150 208552 352825 567845 1167372 705385 91518 1964275 43415 2304476 45230 216676 368552 623326 1253784 855316 97362 2206462 98014 2685880 50076 226760 370469 689025 1336330 1068903 174588 2579821 106059 2883217 55393 237728 389753 696310 1379184 1175177 182751 2737112 146105 3249191 59762 274389 430673 709342 1474166 1434593 182194 3090953 158238 44122 rec. 32860186 887938 3576227 4756967 7113173 16334305 13126702 1609912 31070919 1789267 44131 firms 26068 1769 11818 6683 3475 23745 1921 306 25972 96 25287 1852 11468 6316 3372 23008 1884 296 25188 99 24753 1880 11147 6195 3318 22540 1832 281 24653 100 24339 1888 11230 5936 3191 22245 1732 267 24244 95 23482 1981 10860 5695 2939 21475 1652 267 23394 88 44131 estab. 41890 1783 11840 6839 4035 24497 4063 2079 30639 11251 41869 1871 11513 6482 3911 23777 3896 2305 29978 11891 41084 1896 11200 6381 3774 23251 3718 1652 28621 12463 40766 1898 11293 6144 3661 22996 3585 1520 28101 12665 39834 1984 10883 5837 3424 22128 3410 1601 27139 12695 44131 empl. 345427 0 27470 43694 44822 115986 60993 30277 207256 138171 353602 0 26836 41222 43561 111619 61009 27193 199821 153781 355342 0 25966 40316 42779 109061 60042 24389 193492 161850 328832 0 26043 38808 41194 106045 57223 23599 186867 141965 329751 0 25306 37036 37829 100171 52793 22857 175821 153930 44131 ann. pay. 7228735 53566 498749 853656 972104 2378075 1488680 794500 4661255 2567480 7446988 54509 513137 839619 968968 2376233 1518055 681737 4576025 2870963 7828007 126094 495164 840716 966281 2428255 1528762 646833 4603850 3224157 7870635 57658 520039 842264 956169 2376130 1521115 630547 4527792 3342843 7582925 51620 515584 829316 907374 2303894 1412190 619802 4335886 3247039 44131 rec. 46934715 415083 3740413 4821753 4769335 13746584 8209304 3827571 25783459 21151256 44132 firms 10528 652 3672 3036 2055 9415 940 132 10487 41 10461 729 3585 2982 2049 9345 941 136 10422 39 10535 831 3626 2908 2089 9454 906 138 10498 37 10721 857 3791 2947 2022 9617 928 139 10684 37 10714 781 3967 2943 1993 9684 858 136 10678 36 44132 estab. 17762 659 3684 3072 2259 9674 1976 1259 12909 4853 17790 734 3599 3030 2237 9600 1880 1273 12753 5037 17988 835 3643 2947 2275 9700 1791 1286 12777 5211 18408 860 3801 2995 2223 9879 1746 1265 12890 5518 18537 787 3978 2989 2203 9957 1744 1377 13078 5459 44132 empl. 153351 0 8738 20550 26309 55597 28794 13380 97771 55580 160055 0 8484 20175 26232 54891 28990 13660 97541 62514 161914 0 8469 19536 26832 54837 28589 14537 97963 63951 164533 0 8763 19886 26030 54679 28960 14819 98458 66075 161656 0 9298 19803 25828 54929 26706 13763 95398 66258 44132 ann. pay. 3917622 23911 158760 454951 619500 1257122 788639 383011 2428772 1488850 4194650 26973 156273 450323 630865 1264434 795410 399324 2459168 1735482 4376738 27435 162915 442310 659534 1292194 802869 441593 2536656 1840082 4561017 31095 174030 463904 658131 1327160 847612 462976 2637748 1923269 4560110 29482 186160 481803 680663 1378108 813550 446080 2637738 1922372 44132 rec. 24472266 190267 1352918 2465110 3291701 7299996 4587746 2652635 14540377 9931889 44211 firms 21728 1984 8754 5411 3318 19467 1903 262 21632 96 21591 1848 8781 5271 3331 19231 2005 262 21498 93 21682 1954 8620 5232 3460 19266 2045 281 21592 90 22091 2015 8788 5348 3470 19621 2088 286 21995 96 21464 2188 8403 5148 3371 19110 1994 264 21368 96 44211 estab. 29723 1995 8789 5579 3859 20222 3721 1782 25725 3998 29574 1869 8828 5429 3829 19955 3772 1867 25594 3980 29720 1970 8679 5396 3927 19972 3658 1947 25577 4143 29920 2025 8841 5509 3927 20302 3602 1922 25826 4094 29478 2194 8426 5312 3944 19876 3777 2113 25766 3712 44211 empl. 267041 0 20150 35719 43299 99168 61541 31970 192679 74362 270455 0 20298 34920 43594 98812 65686 34085 198583 71872 284060 0 19988 34667 45581 100236 68555 36992 205783 78277 278231 0 20153 35165 45601 100919 69628 38284 208831 69400 262634 0 19672 34134 44471 98277 65528 35072 198877 63757 44211 ann. pay. 6395872 55975 369734 726108 1001650 2153467 1615844 913043 4682354 1713518 6966887 62571 402672 745964 1054681 2265888 1801660 1073605 5141153 1825734 7472696 64226 402525 752643 1134876 2354270 1948857 1188656 5491783 1980913 7467822 66712 414856 772162 1140770 2394500 1972966 1180778 5548244 1919578 7382786 79106 405627 784100 1160788 2429621 1918830 1097345 5445796 1936990 44211 rec. 52532504 709426 3570140 5317758 6989671 16586995 11589212 8203168 36379375 16153129 44221 firms 14277 1245 7124 3271 1702 13342 848 65 14255 22 14086 1228 6920 3247 1714 13109 889 73 14071 15 14253 1310 6875 3257 1789 13231 934 75 14240 13 14800 1388 7133 3398 1849 13768 937 82 14787 13 14231 1333 6828 3248 1812 13221 913 82 14216 15 44221 estab. 15967 1247 7139 3330 1931 13647 1611 349 15607 360 15720 1230 6933 3312 1947 13422 1598 319 15339 381 15845 1322 6891 3316 1981 13510 1689 353 15552 293 16127 1390 7153 3463 2059 14065 1621 400 16086 41 15765 1335 6836 3331 2080 13582 1675 476 15733 32 44221 empl. 99924 0 16043 21315 22086 59444 28039 5258 92741 7183 99683 0 15625 21240 22403 59268 29322 5929 94519 5164 103479 0 15621 21430 23344 60395 31370 6683 98448 5031 105106 0 16152 22299 24008 62459 31323 8295 102077 3029 100882 0 15771 21388 23538 60697 29567 9081 99345 1537 44221 ann. pay. 2740273 33730 348273 518207 612851 1513061 876052 167547 2556660 183613 2969946 37719 356968 539939 660491 1595117 971152 216812 2783081 186865 3171891 38126 364997 570257 703402 1676782 1087037 247652 3011471 160420 3294078 46830 390836 594668 749612 1781946 1103072 290431 3175449 118629 3294332 54677 380827 609989 760826 1806319 1064948 358226 3229493 64839 44221 rec. 20408847 429936 3358420 3987453 4373542 12149351 5743296 2225397 20118044 290803 44229 firms 12356 1219 6714 2604 1094 11631 542 102 12275 81 12402 1403 6573 2563 1113 11652 563 107 12322 80 12521 1423 6575 2668 1116 11782 556 102 12440 81 12852 1466 6912 2645 1136 12159 520 89 12768 84 14213 1726 7812 2852 1137 13527 523 89 14139 74 44229 estab. 18755 1229 6732 2656 1273 11890 1163 744 13797 4958 18964 1409 6588 2613 1263 11873 1148 883 13904 5060 19277 1528 6590 2724 1256 12098 1060 799 13957 5320 19719 1470 6929 2716 1294 12409 977 575 13961 5758 21117 1726 7819 2910 1331 13786 1057 604 15447 5670 44229 empl. 142773 0 14391 16702 13801 44894 15274 8764 68932 73841 155204 0 14219 16529 14030 44778 16025 10823 71626 83578 161645 0 14250 17079 14100 45429 16224 8580 70233 91412 183981 0 14994 17144 14280 46418 15060 8381 69859 114122 188051 0 17284 18326 14267 49877 14843 7835 72555 115496 44229 ann. pay. 2142324 24073 215643 266026 223588 729330 261870 146517 1137717 1004607 2470890 33096 230323 281130 251198 795747 288955 197698 1282400 1188490 2711525 32791 241902 305677 275676 856046 346129 156063 1358238 1353287 2882232 45448 257084 312562 279411 894505 315579 175811 1385895 1496337 3087636 39283 302491 344843 297556 984173 331319 172809 1488301 1599335 44229 rec. 24131775 429173 2155031 1856595 1451787 5892586 1778015 1066319 8736920 15394855 44311 firms 19526 1990 9948 4325 2062 18325 1006 115 19446 80 19432 1957 9819 4311 2079 18166 1068 124 19358 74 19850 2241 9699 4381 2222 18543 1091 139 19773 77 21407 2858 10326 4530 2277 19991 1194 140 21325 82 22427 2967 11180 4499 2357 21003 1201 153 22357 70 44311 estab. 28831 1996 9997 4483 2465 18941 2043 636 21620 7211 29041 1986 9869 4448 2448 18751 2036 822 21609 7432 29615 2263 9754 4522 2599 19138 1920 869 21927 7688 31596 2875 10382 4706 2659 20622 2033 1166 23821 7775 34228 2990 11238 4688 2883 21799 2566 1542 25907 8321 44311 empl. 238445 0 22340 28025 26396 76761 31180 11028 118969 119476 258442 0 21922 28156 26389 76467 32905 12067 121439 137003 278879 0 21600 28550 28552 78702 33819 15343 127864 151015 294605 0 23015 29524 29242 81781 37400 15712 134893 159712 304781 0 25051 29382 30525 84958 37762 16077 138797 165984 44311 ann. pay. 5134389 51288 389375 537950 603630 1582243 827501 319578 2729322 2405067 5934755 63116 396996 562000 636733 1658845 941670 339275 2939790 2994965 6613131 63244 405832 591365 705916 1766357 1007086 491327 3264770 3348361 7279237 79638 434824 614388 727939 1856789 1091462 504863 3453114 3826123 7897734 90053 469790 649604 772834 1982281 1161212 500442 3643935 4253799 44311 rec. 66176262 679406 3462157 3900866 4394227 12436656 6310942 3885499 22633097 43543165 44312 firms 11431 2114 5046 2351 1174 10685 616 79 11380 51 11265 1837 5146 2393 1157 10533 616 62 11211 54 10996 1665 5194 2238 1139 10236 629 69 10934 62 10990 1627 5491 2131 1036 10285 570 77 10932 58 10214 1610 5107 1945 920 9582 522 63 10167 47 44312 estab. 13248 2114 5049 2366 1237 10766 805 287 11858 1390 13046 1841 5149 2406 1218 10614 750 185 11549 1497 12889 1674 5204 2263 1195 10336 733 178 11247 1642 13069 1629 5508 2152 1084 10373 670 187 11230 1839 12469 1610 5117 1962 969 9658 635 195 10488 1981 44312 empl. 103453 0 11517 15310 15237 42064 19506 6347 67917 35536 105061 0 11496 15522 15186 42204 20534 [i] [l] [k] 106213 0 11581 14593 15006 41180 21704 7344 70228 35985 109025 0 11982 13804 13702 39488 19590 [i] [l] [k] 94370 0 11282 12634 12097 36013 17285 [i] [l] [k] 44312 ann. pay. 3050799 88207 256208 356670 435708 1136793 735284 297685 2169762 881037 3238118 84303 274967 407878 452178 1219326 825326 (D) (D) (D) 4187431 76209 273137 387598 473551 1210495 945816 568699 2725010 1462421 3866907 67684 297071 372585 481967 1219307 895700 (D) (D) (D) 3297181 74372 278788 353132 422754 1129046 839213 (D) (D) (D) 44312 rec. 23413796 692463 2031131 2074354 2195454 6993402 4468448 (D) (D) (D) 44313 firms 1450 78 696 319 206 1299 133 12 1444 6 1431 110 681 298 200 1289 123 15 1427 4 1421 107 648 323 195 1273 128 15 1416 5 1378 99 642 300 196 1237 117 19 1373 5 1379 111 663 283 193 1250 113 14 1377 2 44313 estab. 3156 78 700 333 251 1362 291 75 1728 1428 3080 110 686 311 241 1348 282 81 1711 1369 3088 107 650 338 226 1321 280 49 1650 1438 3082 99 643 313 233 1288 231 99 1618 1464 2903 111 665 293 224 1293 234 90 1617 1286 44313 empl. 20009 0 1542 2096 2679 6317 3968 1005 11290 8719 20761 0 1539 1970 2630 6139 3679 [g] [j] [i] 22229 0 1407 2070 2582 6059 4083 1032 11174 11055 22106 0 1417 1962 2572 5951 3535 [g] [j] [j] 19574 0 1497 1860 2536 5893 3550 [g] [j] [i] 44313 ann. pay. 390025 3153 26361 40904 55610 126028 91786 19119 236933 153092 400131 3680 28419 40072 58309 130480 84813 (D) (D) (D) 436068 3102 27647 39653 57491 127893 97282 31571 256746 179322 447080 3941 26838 39029 62621 132429 86958 (D) (D) (D) 413876 3791 27747 40098 59874 131510 92907 (D) (D) (D) 44313 rec. 2690698 36675 197922 249637 357425 841659 712094 (D) (D) (D) 44411 firms 1510 136 401 335 266 1138 273 69 1480 30 1672 161 451 357 294 1263 304 75 1642 30 1783 213 485 363 318 1379 294 75 1748 35 1949 214 629 380 332 1555 288 80 1923 26 2195 216 758 436 366 1776 310 85 2171 24 44411 estab. 3929 136 402 335 269 1142 362 206 1710 2219 4377 161 451 359 299 1270 397 215 1882 2495 4366 213 485 364 323 1385 379 220 1984 2382 4841 214 629 382 336 1561 377 321 2259 2582 5280 252 758 440 380 1830 417 244 2491 2789 44411 empl. 284442 0 940 2252 3458 6650 9387 6639 22676 261766 324645 0 1065 2428 3930 7423 10684 7206 25313 299332 350901 0 1133 2422 4229 7784 10586 7514 25884 325017 368798 0 1446 2518 4378 8342 10191 8089 26622 342176 416450 0 1750 2901 4914 9565 10952 8749 29266 387184 44411 ann. pay. 5610906 3647 19537 44567 70099 137850 200657 141053 479560 5131346 6760644 5103 25402 50384 82474 163363 227653 162495 553511 6207133 7576968 7000 23548 49542 92064 172154 230371 165187 567712 7009256 8844884 7197 32279 54595 100590 194661 242674 176384 613719 8231165 9417957 7159 38640 69758 118717 234274 273121 209669 717064 8700893 44411 rec. 92813043 64261 326448 543884 839799 1774392 1852345 1686205 5312942 87500101 44412 firms 3648 261 1809 880 434 3384 200 46 3630 18 3490 254 1729 839 406 3228 199 45 3472 18 3427 275 1657 818 406 3156 208 43 3407 20 3361 245 1622 832 405 3104 198 41 3343 18 3176 251 1543 763 374 2931 190 37 3158 18 44412 estab. 8376 262 1814 908 572 3556 610 558 4724 3652 8380 257 1732 878 525 3392 602 616 4610 3770 8396 276 1661 867 512 3316 544 476 4336 4060 8445 245 1625 875 511 3256 518 492 4266 4179 8302 253 1544 795 495 3087 543 405 4035 4267 44412 empl. 43799 0 4239 5694 5296 15229 5922 3780 24931 18868 43130 0 4109 5430 5018 14557 5701 3508 23766 19364 46060 0 3853 5333 5070 14256 5911 2944 23111 22949 44442 0 3701 5334 5087 14122 5613 3090 22825 21617 45339 0 3670 5024 4707 13401 5166 2809 21376 23963 44412 ann. pay. 1049969 5754 77651 116164 124833 324402 154240 96006 574648 475321 1082866 7350 80254 115866 124110 327580 153739 97880 579199 503667 1200810 7436 78336 118615 121459 325846 169498 81309 576653 624157 1223178 4794 76463 119997 131365 332619 163807 93503 589929 633249 1281144 11997 74211 118585 125168 329961 155312 87939 573212 707932 44412 rec. 8839227 122022 550834 697977 670957 2041790 851820 507131 3400741 5438486 44413 firms 13445 666 5361 3537 2384 11948 1344 118 13410 35 13231 726 5193 3399 2376 11694 1375 126 13195 36 12994 743 5073 3269 2375 11460 1368 128 12956 38 12902 777 5034 3237 2335 11383 1357 125 12865 37 12838 809 5020 3144 2331 11304 1382 119 12805 33 44413 estab. 15431 666 5366 3561 2501 12094 1841 469 14404 1027 15259 733 5200 3422 2494 11849 1831 505 14185 1074 15026 774 5080 3296 2486 11636 1777 531 13944 1082 14837 795 5043 3276 2437 11551 1753 486 13790 1047 14755 809 5023 3163 2443 11438 1838 519 13795 960 44413 empl. 138849 0 12575 23480 31452 67507 40500 10813 118820 20029 145112 0 12135 22621 31332 66088 41336 12369 119793 25319 146086 0 11801 21709 31431 64941 42352 12663 119956 26130 139468 0 11568 21560 30984 64112 41842 12565 118519 20949 140075 0 11640 21011 30906 63557 42380 12578 118515 21560 44413 ann. pay. 2198684 16969 187243 354730 491079 1050021 689957 174461 1914439 284245 2302302 21020 190023 348688 503431 1063162 722852 205601 1991615 310687 2484323 107644 186876 348264 515512 1158296 743555 219989 2121840 362483 2428392 24347 195245 359214 528587 1107393 763469 222392 2093254 335138 2564410 23623 199111 363663 550101 1136498 804232 258955 2199685 364725 44413 rec. 16737413 200199 1552594 2242604 3086517 7081914 4399710 1509238 12990862 3746551 44419 firms 32622 2125 11190 7737 5838 26890 4845 690 32425 197 32315 2273 11036 7573 5681 26563 4832 724 32119 196 32284 2390 10903 7442 5696 26431 4922 730 32083 201 32878 2421 11398 7534 5755 27108 4853 717 32678 200 32307 2435 11293 7468 5567 26763 4658 700 32121 186 44419 estab. 43770 2127 11206 7827 6310 27470 7891 3192 38553 5217 43222 2279 11053 7667 6124 27123 7707 3196 38026 5196 43143 2395 10931 7539 6067 26932 7608 3148 37688 5455 43728 2428 11419 7651 6144 27642 7411 3210 38263 5465 43410 2439 11311 7590 6023 27363 7362 3325 38050 5360 44419 empl. 496484 0 26390 51680 77558 155628 169799 78823 404250 92234 499303 0 25621 50480 75903 152004 169386 85374 406764 92539 512195 0 25324 49581 76107 151012 173791 85092 409895 102300 509692 0 26371 50211 76905 153487 169748 84658 407893 101799 489698 0 26674 49728 74546 150948 161703 81578 394229 95469 44419 ann. pay. 15397125 118628 639441 1338863 2226581 4323513 5545038 2592585 12461136 2935989 16230344 85545 660802 1384280 2280294 4410921 5792539 2924670 13128130 3102214 17159625 92686 663217 1369636 2327267 4452806 6051464 3018081 13522351 3637274 17840272 94520 704105 1462463 2454451 4715539 6076010 3157922 13949471 3890801 17572903 106528 723174 1479567 2453678 4762947 5958568 3095537 13817052 3755851 44419 rec. 133818495 950159 5651139 9845344 15738267 32184909 39861206 24399363 96445478 37373017 44421 firms 4527 397 2308 1078 482 4265 227 26 4518 9 4403 349 2179 1076 518 4122 240 33 4395 8 4297 340 2046 1063 556 4005 251 33 4289 8 4288 318 2106 1027 542 3993 258 31 4282 6 4295 348 2078 1075 508 4009 247 32 4288 7 44421 estab. 4769 397 2308 1094 511 4310 302 75 4687 82 4624 351 2179 1089 550 4169 313 83 4565 59 4558 340 2048 1073 595 4056 322 108 4486 72 4514 318 2110 1038 573 4039 337 82 4458 56 4579 348 2079 1088 540 4055 373 128 4556 23 44421 empl. 26580 0 5265 7026 5989 18280 5575 1156 25011 1569 27032 0 4939 7026 6549 18514 6204 1557 26275 757 28606 0 4663 6935 7125 18723 6888 2007 27618 988 28436 0 4762 6714 6935 18411 7250 1997 27658 778 27775 0 4769 6931 6599 18299 6955 2128 27382 393 44421 ann. pay. 582641 10916 94362 140059 137234 382571 146028 37542 566141 16500 627463 8876 91891 141888 155393 398048 164291 49767 612106 15357 678266 8828 87352 141197 174296 411673 186288 63186 661147 17119 711663 8601 97987 143957 171792 422337 202769 70738 695844 15819 728625 10499 98691 152533 173262 434985 205492 74182 714659 13966 44421 rec. 5586529 104355 837546 1090101 1269954 3301956 1519962 625710 5447628 138901 44422 firms 13014 1317 5183 2932 1920 11352 1413 192 12957 57 12871 1311 5077 2845 1939 11172 1441 197 12810 61 12947 1309 4961 2869 2015 11154 1508 223 12885 62 14324 1593 5565 3115 2159 12432 1620 217 14269 55 14307 1869 5435 3036 2142 12482 1563 208 14253 54 44422 estab. 16514 1318 5195 2986 2094 11593 2209 711 14513 2001 16431 1313 5088 2903 2111 11415 2196 751 14362 2069 16459 1311 4976 2917 2170 11374 2242 829 14445 2014 17770 1615 5586 3189 2298 12688 2338 840 15866 1904 17783 1870 5444 3090 2354 12758 2366 856 15980 1803 44422 empl. 141046 0 11755 19485 24882 56122 44086 14458 114666 26380 144474 0 11491 18945 25262 55698 45774 15663 117135 27339 151539 0 11218 19187 26406 56811 48130 18031 122972 28567 158290 0 12418 20584 28289 61291 51898 18613 131802 26488 151399 0 12347 19926 28103 60376 49291 18168 127835 23564 44422 ann. pay. 2937569 38809 222565 370500 524657 1156531 945951 327165 2429647 507922 3176150 36478 222835 377798 551882 1188993 1026655 361839 2577487 598663 3350291 39016 219444 374625 568311 1201396 1080286 436142 2717824 632467 3652750 51485 256923 416198 637616 1362222 1201388 450208 3013818 638932 3584433 59234 247734 416210 636433 1359611 1199537 438469 2997617 586816 44422 rec. 30640588 464848 2241317 3222818 4429368 10358351 8536812 4269433 23164596 7475992 44511 firms 45597 4918 18696 7212 5734 36560 7321 1353 45234 363 45563 5347 18907 7028 5574 36856 7038 1321 45215 348 45767 5401 19199 7113 5517 37230 6914 1290 45434 333 46050 5655 19580 7058 5444 37737 6766 1209 45712 338 40176 5192 16664 5678 4712 32246 6438 1157 39841 335 44511 estab. 68553 4926 18713 7239 5857 36735 8276 3705 48716 19837 69004 5362 18923 7060 5687 37032 7947 3420 48399 20605 68779 5422 19223 7164 5632 37441 7784 3308 48533 20246 68797 5657 19600 7093 5570 37920 7628 3112 48660 20137 62934 5193 16677 5703 4801 32374 7212 3171 42757 20177 44511 empl. 2533012 0 39862 47994 77600 165456 293572 225733 684761 1848251 2583957 0 40149 46723 75905 162777 283065 221620 667462 1916495 2543527 0 40839 47264 74863 162966 279012 217267 659245 1884282 2487338 0 41647 46694 74081 162422 274120 204812 641354 1845984 2387828 0 36051 37343 64482 137876 264232 199136 601244 1786584 44511 ann. pay. 37986296 133745 458268 515088 882217 1989318 3756014 3173976 8919308 29066988 39938737 180439 487239 529192 883664 2080534 3717373 3157952 8955859 30982878 41795041 166192 515464 550686 905924 2138266 3735679 3234533 9108478 32686563 42341542 177886 544628 570550 918294 2211358 3841078 3150874 9203310 33138232 42470977 161411 475685 478797 833731 1949624 3820852 3184456 8954932 33516045 44511 rec. 389913474 1817409 6098816 5264379 8107081 21287685 32422029 26918361 80628075 309285399 44512 firms 22657 3030 11702 4614 2282 21628 790 149 22567 90 23233 3469 11741 4690 2284 22184 820 150 23154 79 24553 3804 12006 4959 2586 23355 959 158 24472 81 25730 4088 12736 5047 2652 24523 963 154 25640 90 29616 4578 15355 5634 2897 28464 923 141 29528 88 44512 estab. 27707 3030 11713 4646 2396 21785 1265 733 23783 3924 28427 3472 11790 4735 2410 22407 1218 847 24472 3955 29496 3824 12020 5031 2690 23565 1338 674 25577 3919 30560 4091 12748 5107 2756 24702 1306 643 26651 3909 34232 4581 15371 5673 3032 28657 1264 741 30662 3570 44512 empl. 156064 0 25534 30219 28807 84560 20099 7877 112536 43528 159280 0 25744 30732 29298 85774 21771 8859 116404 42876 173341 0 26360 32522 33063 91945 26724 8866 127535 45806 178466 0 27904 33265 34293 95462 27156 9887 132505 45961 181523 0 33833 36877 37071 107781 24455 7839 140075 41448 44512 ann. pay. 1762465 55521 273562 300161 283396 912640 207577 101062 1221279 541186 1929671 70283 295313 326509 301009 993114 239040 119302 1351456 578215 2176948 81700 315552 348241 340873 1086366 290546 128222 1505134 671814 2291568 83855 352636 367759 376364 1180614 299892 146367 1626873 664695 2408389 87054 442547 421732 417370 1368703 296516 112895 1778114 630275 44512 rec. 28120030 1336378 6923345 5222357 4304185 17786265 2531965 1093625 21411855 6708175 44521 firms 6188 591 3173 1391 693 5848 305 26 6179 9 6070 646 3003 1358 694 5701 327 35 6063 7 5960 600 2951 1327 698 5576 341 31 5948 12 6042 674 2950 1342 691 5657 339 35 6031 11 5913 683 2803 1282 730 5498 367 40 5905 8 44521 estab. 6619 592 3184 1404 720 5900 411 123 6434 185 6516 647 3010 1374 719 5750 416 172 6338 178 6517 602 2965 1339 720 5626 426 162 6214 303 6599 674 2960 1358 717 5709 399 193 6301 298 6467 684 2809 1293 759 5545 447 184 6176 291 44521 empl. 38887 0 7222 9068 9030 25320 9143 2186 36649 2238 39664 0 6902 8879 9117 24898 9675 3417 37990 1674 41010 0 6862 8635 9228 24725 10167 [h] [k] [h] 41924 0 6803 8751 9052 24606 10249 3637 38492 3432 41765 0 6609 8409 9487 24505 10766 3826 39097 2668 44521 ann. pay. 564455 11633 95681 121735 125896 354945 139109 39284 533338 31117 593936 13235 95837 122013 129672 360757 142493 62892 566142 27794 643337 13238 97923 125444 140687 377292 157382 (D) (D) (D) 695646 14649 102571 134085 139576 390881 168267 74659 633807 61839 714230 32362 101691 135185 154622 423860 183089 71496 678445 35785 44521 rec. 5648059 390581 1069229 1121842 980856 3562508 1229485 563821 5355814 292245 44522 firms 1727 254 965 303 131 1653 69 3 1725 2 1761 272 960 310 140 1682 73 4 1759 2 1809 280 965 335 149 1729 75 3 1807 2 1896 274 1040 350 142 1806 86 2 1894 2 2197 349 1204 385 177 2115 78 2 2195 2 44522 estab. 1776 254 965 310 146 1675 89 7 1771 5 1807 272 964 316 152 1704 93 5 1802 5 1853 280 967 343 159 1749 95 4 1848 5 1940 274 1046 358 151 1829 103 3 1935 5 2238 349 1209 390 186 2134 97 2 2233 5 44522 empl. 7857 0 2043 1962 1596 5601 2140 [b] [i] [b] 8299 0 2061 1992 1692 5745 2162 [e] [i] [b] 8458 0 2055 2149 1855 6059 2178 [c] [i] [b] 8990 0 2179 2282 1786 6247 2610 [b] [i] [b] 9771 0 2674 2489 2289 7452 2206 [b] [i] [b] 44522 ann. pay. 121554 5966 27993 26854 23163 83976 35481 (D) (D) (D) 137701 5352 29098 27979 28984 91413 32851 (D) (D) (D) 137306 5880 31042 31299 29230 97451 35806 (D) (D) (D) 149310 6031 32751 35485 30640 104907 42267 (D) (D) (D) 167634 8372 43579 38682 38246 128879 36170 (D) (D) (D) 44522 rec. 1560631 89353 527275 359082 294576 1270286 230195 (D) (D) (D) 44523 firms 3094 676 1526 432 262 2896 179 19 3094 0 3050 664 1477 450 259 2850 178 19 3047 3 3092 670 1497 454 258 2879 195 18 3092 0 3268 685 1587 486 287 3045 203 19 3267 1 3458 761 1650 512 281 3204 232 21 3457 1 44523 estab. 3209 677 1528 438 277 2920 234 55 3209 0 3166 664 1483 459 275 2881 225 57 3163 3 3204 670 1503 458 275 2906 229 69 3204 0 3382 685 1594 490 304 3073 235 73 3381 1 3569 764 1650 518 296 3228 267 73 3568 1 44523 empl. 17533 0 3207 2780 3397 9384 5874 2275 17533 0 18011 0 3050 2891 3402 9343 6086 [g] [j] [e] 18451 0 3084 2961 3373 9418 6812 2221 18451 0 20615 0 3341 3172 3862 10375 7397 [h] [j] [a] 21580 0 3469 3292 3700 10461 8320 [h] [j] [a] 44523 ann. pay. 256153 14041 44639 35522 42493 136695 85049 34409 256153 0 273196 14036 45389 38776 45685 143886 89118 (D) (D) (D) 295007 16396 47632 40391 46770 151189 102173 41645 295007 0 374488 15345 55230 48793 53980 173348 121570 (D) (D) (D) 412580 20220 58183 52881 58591 189875 138362 (D) (D) (D) 44523 rec. 3583146 232947 756916 581659 616837 2188359 1039332 (D) (D) (D) 44529 firms 8033 1900 3250 1432 800 7382 519 84 7985 48 9420 2591 3636 1561 922 8710 574 84 9368 52 11324 2910 4448 1972 1167 10497 689 85 11271 53 11533 2690 4714 2134 1193 10731 663 87 11481 52 12395 2727 4902 2320 1481 11430 830 78 12338 57 44529 estab. 12043 1902 3270 1473 903 7548 983 567 9098 2945 14437 2621 3654 1602 1009 8886 991 637 10514 3923 16179 2919 4482 2003 1249 10653 1102 1200 12955 3224 16288 2698 4730 2164 1293 10885 1055 1150 13090 3198 17071 2730 4909 2344 1557 11540 1213 552 13305 3766 44529 empl. 61339 0 7056 9454 10045 26555 13644 [i] [k] [j] 74884 0 7863 10234 11710 29807 15591 5345 50743 24141 85936 0 9599 12960 15080 37639 19190 5453 62282 23654 90256 0 10172 14037 15236 39445 18830 5266 63541 26715 103729 0 10998 15224 19326 45548 23487 5880 74915 28814 44529 ann. pay. 745116 36339 72767 87138 93517 289761 149024 (D) (D) (D) 1105638 56840 88647 97792 117055 360334 176017 57853 594204 511434 1282410 62791 110924 125675 153447 452837 222014 71281 746132 536278 1330312 56942 124734 142049 160077 483802 219168 68612 771582 558730 1692946 58008 139860 168478 214763 581109 287069 78674 946852 746094 44529 rec. 7032384 383503 1098418 950068 1039865 3471854 1153511 477311 5102676 1929708 44531 firms 24830 2107 14314 5473 2074 23968 721 91 24780 50 24945 2306 14261 5454 2043 24064 740 92 24896 49 25305 2595 14214 5474 2105 24388 787 85 25260 45 25563 2666 14253 5539 2185 24643 782 96 25521 42 25985 2748 14468 5706 2178 25100 746 92 25938 47 44531 estab. 27880 2121 14343 5573 2325 24362 1401 622 26385 1495 28149 2320 14288 5570 2265 24443 1445 690 26578 1571 28463 2611 14250 5571 2332 24764 1475 692 26931 1532 28695 2668 14306 5638 2380 24992 1456 737 27185 1510 29166 2748 14494 5828 2438 25508 1389 665 27562 1604 44531 empl. 129129 0 31753 35178 25900 92831 20672 7455 120958 8171 130568 0 31635 35142 25582 92359 21446 8018 121823 8745 133687 0 31264 35340 26412 93016 23439 8524 124979 8708 136212 0 31522 35792 27459 94773 23166 9663 127602 8610 137801 0 32994 36773 27397 97164 22058 8268 127490 10311 44531 ann. pay. 1820912 30064 406227 418489 337653 1192433 325318 138815 1656566 164346 1941068 39269 424395 450899 346125 1260688 353415 152622 1766725 174343 2065456 42484 444011 470365 371911 1328771 394245 164126 1887142 178314 2153921 46916 464563 488083 401917 1401479 393422 181480 1976381 177540 2197746 60768 481806 521042 405583 1469199 376692 140388 1986279 211467 44531 rec. 28554782 874215 7891121 6215491 4394104 19374931 3884285 1912626 25171842 3382940 44611 firms 22073 1005 6658 7238 4798 19699 1988 146 21833 240 21353 1140 6385 6863 4560 18948 2037 136 21121 232 20874 1117 6174 6542 4621 18454 2049 144 20647 227 20493 1151 5972 6258 4637 18018 2100 147 20265 228 19488 1037 5458 5901 4559 16955 2169 141 19265 223 44611 estab. 42565 1008 6671 7317 5138 20134 3076 611 23821 18744 41846 1147 6404 6947 4852 19350 3029 558 22937 18909 40617 1132 6195 6630 4897 18854 3002 519 22375 18242 40026 1153 5996 6343 4918 18410 2981 571 21962 18064 40152 1041 5465 5959 4768 17233 3094 604 20931 19221 44611 empl. 722779 0 17252 48763 63200 129215 61250 14318 204783 517996 709175 0 16406 46284 59932 122622 62684 12454 197760 511415 680251 0 15797 44179 60892 120868 63890 12256 197014 483237 699160 0 15126 42507 61255 118888 66309 13333 198530 500630 730557 0 14295 40045 60149 114489 68337 14601 197427 533130 44611 ann. pay. 12010871 46092 374471 945437 1170349 2536349 1157710 274554 3968613 8042258 13395865 62208 376964 964520 1187874 2591566 1285730 252069 4129365 9266500 14542974 43101 386356 977258 1306362 2713077 1383897 308740 4405714 10137260 15484007 61367 397507 1014054 1397893 2870821 1551717 333465 4756003 10728004 16752617 60918 398005 1050410 1491244 3000577 1692196 401478 5094251 11658366 44611 rec. 159070305 719024 5266749 11132931 14173172 31291876 13388574 3139069 47819519 111250786 44612 firms 4197 655 2398 680 289 4022 129 25 4176 21 4247 657 2472 665 278 4072 130 25 4227 20 4493 747 2573 695 301 4316 129 27 4472 21 5072 905 2865 820 293 4883 140 26 5049 23 5636 1023 3213 892 309 5437 153 24 5614 22 44612 estab. 9526 655 2408 727 385 4175 420 333 4928 4598 9587 661 2483 701 387 4232 377 275 4884 4703 9615 748 2594 728 414 4484 309 245 5038 4577 10630 905 2880 859 387 5031 292 244 5567 5063 11255 1023 3225 933 368 5549 340 194 6083 5172 44612 empl. 58182 0 4846 4383 3608 12837 3784 3158 19779 38403 61771 0 5175 4255 3475 12905 3886 2575 19366 42405 61237 0 5301 4449 3748 13498 3742 2935 20175 41062 75658 0 5844 5212 3695 14751 4105 3362 22218 53440 83323 0 6692 5747 3972 16411 4606 2814 23831 59492 44612 ann. pay. 695306 11851 58747 55346 51300 177244 63427 61825 302496 392810 759045 23064 68685 60415 53027 205191 69552 65241 339984 419061 842413 25375 72547 67179 58403 223504 78238 77272 379014 463399 1054136 43371 83325 83489 59650 269835 91775 73622 435232 618904 1201877 20451 91506 89894 65767 267618 107133 75829 450580 751297 44612 rec. 7402954 162385 777917 588329 378789 1907420 595946 323595 2826961 4575993 44613 firms 6683 484 3978 1419 499 6380 235 42 6657 26 6645 502 3911 1435 516 6364 219 36 6619 26 6532 469 3828 1416 549 6262 212 31 6505 27 6485 523 3734 1410 550 6217 207 33 6457 28 5809 433 3359 1276 488 5556 205 24 5785 24 44613 estab. 14724 488 4016 1535 726 6765 941 757 8463 6261 14673 624 3952 1554 758 6888 843 502 8233 6440 14281 481 3872 1523 767 6643 795 544 7982 6299 14006 533 3788 1529 769 6619 714 531 7864 6142 13006 433 3378 1384 708 5903 831 381 7115 5891 44613 empl. 74368 0 8880 8996 6213 24089 7053 4840 35982 38386 76074 0 8817 9085 6423 24325 6712 3782 34819 41255 74426 0 8651 9057 6799 24507 6626 3397 34530 39896 74617 0 8398 9054 6875 24327 6301 3318 33946 40671 72544 0 7619 8122 6061 21802 6074 2448 30324 42220 44613 ann. pay. 1600739 10652 194320 198374 143834 547180 153871 110709 811760 788979 1632553 26944 197462 207278 157319 589003 152821 103235 845059 787494 1696648 14117 202741 213055 170236 600149 168983 87052 856184 840464 1679079 14406 202434 215506 173041 605387 161504 90424 857315 821764 1723345 14211 187008 203968 159988 565175 154740 66597 786512 936833 44613 rec. 6868663 84573 872542 775925 557296 2290336 543605 198974 3032915 3835748 44619 firms 11316 1636 5482 2322 1057 10497 649 74 11220 96 11473 1528 5660 2310 1130 10628 668 78 11374 99 11642 1486 5746 2321 1178 10731 726 82 11539 103 11998 1538 6033 2354 1187 11112 693 89 11894 104 11824 1371 6150 2276 1146 10943 687 93 11723 101 44619 estab. 15934 1657 5525 2500 1441 11123 1366 388 12877 3057 16286 1540 5703 2468 1478 11189 1314 530 13033 3253 16676 1491 5805 2477 1484 11257 1346 457 13060 3616 17236 1546 6088 2518 1484 11636 1298 535 13469 3767 18161 1372 6187 2475 1611 11645 1551 641 13837 4324 44619 empl. 84919 0 12091 15044 13754 40889 20506 5682 67077 17842 91225 0 12386 15028 14517 41931 21633 7540 71104 20121 97982 0 12739 15100 15327 43166 23911 7924 75001 22981 108637 0 13231 15415 15362 44008 22706 8802 75516 33121 101923 0 13562 14801 14920 43283 23023 9295 75601 26322 44619 ann. pay. 1819429 43985 221103 293379 293845 852312 447733 148203 1448248 371181 1972759 56356 234444 294629 316225 901654 479369 205305 1586328 386431 2199117 41868 246948 306979 342302 938097 541156 191770 1671023 528094 2417444 45909 268605 326717 364243 1005474 577508 239717 1822699 594745 2539923 39330 290165 354568 369521 1053584 632628 266618 1952830 587093 44619 rec. 13106884 322656 1960682 1762591 1688286 5734215 2867715 1360879 9962809 3144075 44711 firms 38342 3160 13167 9969 7084 33380 3938 831 38149 193 36865 2831 12803 9492 6870 31996 3851 822 36669 196 35866 2985 12455 9018 6629 31087 3742 846 35675 191 36255 3335 12863 8897 6458 31553 3672 827 36052 203 39598 4148 14484 9685 6645 34962 3665 764 39391 207 44711 estab. 82207 3190 13200 10107 7713 34210 9816 10762 54788 27419 81486 2926 12873 9695 7496 32990 9354 10640 52984 28502 80512 3043 12540 9252 7251 32086 8736 10966 51788 28724 81171 3364 12945 9141 7064 32514 8726 10883 52123 29048 84701 4189 14559 9827 7423 35998 9043 10843 55884 28817 44711 empl. 647007 0 32153 67199 90257 189609 117457 97724 404790 242217 645931 0 30936 63820 88024 182780 115453 96933 395166 250765 653279 0 30130 60293 85577 176000 114017 102211 392228 261051 655433 0 31034 59409 82919 173362 111340 98416 383118 272315 652765 0 36220 64428 85645 186293 111176 94062 391531 261234 44711 ann. pay. 7990907 86570 365603 751974 1038753 2242900 1408417 1232469 4883786 3107121 8446220 78488 380120 753865 1039669 2252142 1431805 1274793 4958740 3487480 8925782 79039 388115 734243 1037839 2239236 1428105 1376329 5043670 3882112 9018452 84048 422813 743132 1027608 2277601 1434271 1364229 5076101 3942351 9357008 110631 492510 835522 1085127 2523790 1439917 1342812 5306519 4050489 44711 rec. 169759197 2407020 12797665 16094396 16538434 47837515 21800665 22551298 92189478 77569719 44719 firms 33441 2406 15405 8415 4151 30377 2343 568 33288 153 32463 2569 14858 7922 4134 29483 2265 563 32311 152 31895 2724 14567 7832 3856 28979 2188 578 31745 150 30494 2625 14148 7313 3599 27685 2118 539 30342 152 25583 2031 11993 6003 3050 23077 1869 489 25435 148 44719 estab. 41730 2420 15420 8526 4508 30874 3645 2313 36832 4898 39609 2580 14903 8064 4466 30013 3450 2180 35643 3966 39136 2752 14628 7979 4124 29483 3249 2217 34949 4187 37721 2627 14196 7450 3880 28153 3158 2091 33402 4319 32399 2035 12036 6084 3322 23477 2924 1879 28280 4119 44719 empl. 299456 0 35997 54931 51264 142192 62136 30947 235275 64181 284103 0 34538 51511 51040 137089 60732 31381 229202 54901 283804 0 33992 51011 47809 132812 58571 33223 224606 59198 271851 0 32762 47572 44713 125047 57500 29957 212504 59347 243218 0 28886 39149 37749 105784 49850 24861 180495 62723 44719 ann. pay. 4340031 61328 533153 774023 743673 2112177 889547 434935 3436659 903372 4379138 74696 542447 768115 769840 2155098 904248 455758 3515104 864034 4395982 67087 537162 773734 729387 2107370 888475 489284 3485129 910853 4437205 69627 549439 756937 707509 2083512 893997 454478 3431987 1005218 4114476 62582 488719 665555 640158 1857014 783564 389053 3029631 1084845 44719 rec. 68323877 1067872 9031938 9992848 8190331 28282989 9886694 6855508 45025191 23298686 44811 firms 6218 379 3122 1518 670 5689 388 79 6156 62 5902 422 2956 1373 661 5412 356 74 5842 60 5706 422 2851 1325 625 5223 353 75 5651 55 5616 471 2765 1298 604 5138 357 68 5563 53 5465 478 2786 1205 560 5029 327 61 5417 48 44811 estab. 11863 391 3134 1564 813 5902 889 572 7363 4500 11445 431 2972 1422 831 5656 805 558 7019 4426 10670 423 2870 1379 785 5457 762 519 6738 3932 10732 471 2787 1337 713 5308 784 487 6579 4153 10416 478 2796 1235 637 5146 674 464 6284 4132 44811 empl. 87451 0 7052 9848 8258 25158 11123 7237 43518 43933 84890 0 6625 8880 8210 23715 10195 6453 40363 44527 84973 0 6441 8609 7783 22833 10465 6521 39819 45154 86192 0 6176 8375 7507 22058 10363 6685 39106 47086 83175 0 6351 7795 7078 21224 9230 5845 36299 46876 44811 ann. pay. 1434785 7378 116594 170124 163985 458081 221054 138265 817400 617385 1481019 10140 115338 164109 169789 459376 211567 137438 808381 672638 1594760 7088 115612 165269 174622 462591 227290 168420 858301 736459 1551278 10578 114680 159346 169087 453691 220892 164199 838782 712496 1580023 11535 117202 156623 159356 444716 202735 124744 772195 807828 44811 rec. 9957974 123435 885274 890607 828680 2727996 1072894 709732 4510622 5447352 44812 firms 16723 1502 9428 3494 1432 15856 623 128 16607 116 15977 1577 8833 3341 1390 15141 605 126 15872 105 15296 1617 8239 3232 1385 14473 599 123 15195 101 14750 1626 7883 3054 1357 13920 615 115 14650 100 13778 1727 7207 2844 1215 12993 578 111 13682 96 44812 estab. 37451 1516 9609 3582 1693 16400 1414 1478 19292 18159 36154 1591 8926 3394 1574 15485 1268 1811 18564 17590 35633 1617 8289 3327 1559 14792 1209 1326 17327 18306 35564 1629 7931 3130 1498 14188 1213 1073 16474 19090 34559 1735 7244 2891 1355 13225 1182 1153 15560 18999 44812 empl. 294306 0 20651 22483 18046 61180 18758 14223 94161 200145 283872 0 19326 21582 17598 58506 18293 15885 92684 191188 302491 0 18119 20817 17723 56659 18727 13478 88864 213627 304645 0 17421 19729 17296 54446 19547 13345 87338 217307 299652 0 16128 18176 15643 49947 18076 13680 81703 217949 44812 ann. pay. 3516459 25280 236390 270257 256025 787952 285825 191005 1264782 2251677 3734851 31896 237595 279788 259113 808392 306312 214311 1329015 2405836 3893314 30615 239375 279843 269732 819565 321966 211416 1352947 2540367 4044792 30956 239126 269900 269237 809219 329644 210200 1349063 2695729 4091544 34181 219652 261581 253445 768859 307288 197065 1273212 2818332 44812 rec. 31679581 338867 1962533 1730062 1442608 5474070 1769199 1407388 8650657 23028924 44813 firms 2857 378 1569 541 206 2694 114 31 2839 18 2796 414 1477 541 203 2635 114 26 2775 21 2832 421 1463 560 214 2658 131 23 2812 20 2922 441 1460 613 230 2744 138 22 2904 18 2993 448 1509 624 242 2823 131 22 2976 17 44813 estab. 5168 378 1574 556 231 2739 182 187 3108 2060 5333 414 1480 559 221 2674 177 176 3027 2306 5647 425 1469 574 240 2708 198 195 3101 2546 5724 441 1466 626 255 2788 197 184 3169 2555 6119 448 1512 631 262 2853 197 197 3247 2872 44813 empl. 47442 0 3425 3435 2619 9479 3406 2858 15743 31699 50686 0 3242 3471 2712 9425 3569 2579 15573 35113 58608 0 3229 3577 2751 9557 4258 2541 16356 42252 57076 0 3187 3897 2946 10030 4399 2954 17383 39693 62411 0 3371 4011 3100 10482 4411 2747 17640 44771 44813 ann. pay. 533654 5751 32025 34045 31444 103265 45829 35243 184337 349317 582653 6421 33920 36377 34580 111298 50467 35432 197197 385456 675358 6196 34977 39738 37450 118361 62828 34779 215968 459390 726189 6931 34941 42944 39791 124607 67150 44173 235930 490259 731544 6803 38975 44984 38897 129659 73031 43163 245853 485691 44813 rec. 6528762 61725 359754 312770 237486 971735 411270 261093 1644098 4884664 44814 firms 7911 832 3665 1634 926 7057 590 133 7780 131 7489 769 3523 1526 887 6705 550 117 7372 117 7332 794 3425 1506 848 6573 533 117 7223 109 7590 904 3558 1522 846 6830 529 120 7479 111 8025 1100 3792 1537 840 7269 516 121 7906 119 44814 estab. 20838 835 3680 1668 1047 7230 1077 732 9039 11799 20901 793 3548 1558 984 6883 997 635 8515 12386 20627 810 3453 1558 914 6735 951 607 8293 12334 21774 904 3580 1577 926 6987 873 579 8439 13335 22897 1102 3802 1559 921 7384 853 632 8869 14028 44814 empl. 393745 0 7863 10780 11733 30376 17729 12386 60491 333254 419754 0 7560 10011 11238 28809 16898 11743 57450 362304 453088 0 7487 9774 10746 28007 16319 12394 56720 396368 469949 0 7560 9920 10723 28203 16110 11531 55844 414105 473934 0 8252 9955 10709 28916 15090 11702 55708 418226 44814 ann. pay. 5195951 15510 95001 134440 161957 406908 274019 186440 867367 4328584 5654479 14775 97949 131938 161870 406532 275823 202762 885117 4769362 5918257 16564 99424 136811 162170 414969 278075 223009 916053 5002204 6452283 22614 106178 142716 168054 439562 265430 206146 911138 5541145 7046497 29590 119455 148344 164078 461467 272071 198525 932063 6114434 44814 rec. 61064919 263670 1048875 1060894 1026477 3399916 1631342 1553112 6584370 54480549 44815 firms 2325 355 1366 345 131 2197 86 22 2305 20 2323 371 1354 364 109 2198 84 21 2303 20 2404 399 1376 382 122 2279 87 20 2386 18 2559 413 1437 440 146 2436 84 21 2541 18 2955 603 1600 453 169 2825 93 19 2937 18 44815 estab. 5790 357 1374 373 158 2262 237 215 2714 3076 5529 375 1365 387 136 2263 217 250 2730 2799 5661 403 1390 397 145 2335 191 214 2740 2921 5860 417 1447 457 163 2484 189 216 2889 2971 6388 603 1607 462 198 2870 238 256 3364 3024 44815 empl. 29089 0 2770 2197 1592 6559 2203 2162 10924 18165 28628 0 2734 2286 1334 6354 2211 2385 10950 17678 28463 0 2848 2449 1494 6791 2240 1815 10846 17617 28860 0 2927 2771 1784 7482 2450 1845 11777 17083 30993 0 3321 2878 2058 8257 2734 1736 12727 18266 44815 ann. pay. 368638 9246 33201 29643 22951 95041 35254 41210 171505 197133 391493 5526 36911 31531 20469 94437 39859 46153 180449 211044 400245 7134 40972 35355 22997 106458 38012 40647 185117 215128 420105 6752 43406 41486 27935 119579 44501 37459 201539 218566 528736 9715 51132 43409 29798 134054 49240 39616 222910 305826 44815 rec. 3214324 94426 440350 278675 156906 970357 263640 274303 1508300 1706024 44819 firms 7733 1200 3931 1446 641 7218 386 74 7678 55 7654 1118 3964 1389 674 7145 382 74 7601 53 7811 1141 3934 1501 720 7296 397 74 7767 44 8130 1170 4128 1549 740 7587 430 71 8088 42 8662 1359 4273 1720 767 8119 432 67 8618 44 44819 estab. 11761 1201 3950 1516 749 7416 799 391 8606 3155 11677 1118 3988 1446 810 7362 735 391 8488 3189 11751 1151 3951 1557 863 7522 707 425 8654 3097 12057 1171 4152 1605 841 7769 817 409 8995 3062 12704 1363 4293 1765 861 8282 867 473 9622 3082 44819 empl. 76912 0 8369 9262 8012 25643 10370 4244 40257 36655 75994 0 8460 9008 8545 26013 10593 4313 40919 35075 87776 0 8470 9657 9087 27214 11398 5056 43668 44108 86530 0 8871 10114 9422 28407 12578 5179 46164 40366 95445 0 9599 11132 9766 30497 12586 5544 48627 46818 44819 ann. pay. 1068347 23530 104025 122526 117731 367812 159051 63874 590737 477610 1129504 32197 113024 125048 130690 400959 167861 70910 639730 489774 1235604 30624 117224 139996 142955 430799 194973 86177 711949 523655 1324328 25730 131188 146544 157723 461185 215125 106095 782405 541923 1419037 28760 139568 167275 165588 501191 211636 91766 804593 614444 44819 rec. 9719704 239008 1112170 977211 922048 3250437 1128730 519820 4898987 4820717 44821 firms 7289 476 3633 1747 815 6671 471 87 7229 60 7012 526 3470 1646 780 6422 456 72 6950 62 6845 527 3351 1608 771 6257 466 71 6794 51 6761 562 3249 1610 768 6189 459 63 6711 50 7074 678 3495 1645 710 6528 435 62 7025 49 44821 estab. 29603 478 3660 1851 1086 7075 1480 1318 9873 19730 30042 546 3507 1751 1029 6833 1385 1237 9455 20587 29664 531 3403 1718 1047 6699 1378 1080 9157 20507 28175 564 3298 1736 1034 6632 1224 915 8771 19404 27961 682 3512 1763 964 6921 1140 955 9016 18945 44821 empl. 195504 0 8363 11318 10279 29960 14677 10860 55497 140007 188875 0 8033 10682 9912 28627 14435 9950 53012 135863 185076 0 7759 10476 9644 27879 14908 9647 52434 132642 187624 0 7490 10456 9677 27623 14944 8829 51396 136228 201150 0 8370 10759 9107 28236 13838 8866 50940 150210 44821 ann. pay. 2472505 15260 120893 168006 165821 469980 244423 168380 882783 1589722 2608531 10703 121953 166425 162839 461920 256209 157799 875928 1732603 2611208 10893 126740 169896 170030 477559 275212 156865 909636 1701572 2698873 11909 124434 175797 166911 479051 293720 139482 912253 1786620 2732096 12988 132856 183446 170848 500138 270222 147566 917926 1814170 44821 rec. 22555189 118355 1097879 1180049 993292 3389575 1608500 1071456 6069531 16485658 44831 firms 19306 1754 11337 4106 1461 18658 527 83 19268 38 19403 1835 11363 4090 1474 18762 533 70 19365 38 19639 1978 11241 4223 1544 18986 550 65 19601 38 19925 2024 11478 4218 1573 19293 537 55 19885 40 19700 2138 11472 4009 1484 19103 503 58 19664 36 44831 estab. 28104 1768 11387 4243 1730 19128 1224 1107 21459 6645 28552 1848 11404 4240 1739 19231 1187 1051 21469 7083 29303 1991 11330 4354 1819 19494 1134 986 21614 7689 29780 2035 11530 4357 1825 19747 1132 852 21731 8049 28914 2141 11493 4099 1770 19503 1133 946 21582 7332 44831 empl. 144380 0 24874 26384 18372 69630 16395 10736 96761 47619 148849 0 24988 26330 18626 69944 17011 9944 96899 51950 156383 0 24592 27266 19371 71229 17716 8241 97186 59197 159314 0 24988 27257 19940 72185 17664 7564 97413 61901 150915 0 25345 25956 18779 70080 15699 7811 93590 57325 44831 ann. pay. 3030158 32181 433316 519687 426332 1411516 418893 261800 2092209 937949 3325994 36645 453371 549784 456670 1496470 470153 239499 2206122 1119872 3637708 42017 455634 588816 492968 1579435 515858 207923 2303216 1334492 3651427 41754 481384 589111 502969 1615218 510540 188531 2314289 1337138 3583339 42015 493438 599615 501439 1636507 487323 211761 2335591 1247748 44831 rec. 23829905 395721 3796145 3580118 2881123 10653107 2822966 1356534 14832607 8997298 44832 firms 841 97 420 141 91 749 62 18 829 12 848 105 425 145 86 761 60 15 836 12 853 92 419 167 82 760 65 18 843 10 855 98 418 163 84 763 62 20 845 10 885 117 447 153 80 797 60 17 874 11 44832 estab. 2082 97 422 148 119 786 218 320 1324 758 2041 105 429 155 112 801 207 299 1307 734 1990 96 423 177 99 795 209 386 1390 600 2002 98 421 172 100 791 209 360 1360 642 1937 117 449 163 96 825 213 342 1380 557 44832 empl. 11562 0 921 917 1133 2971 2396 2023 7390 4172 11891 0 916 941 1096 2953 2292 1768 7013 4878 11807 0 898 1085 1005 2988 2413 1977 7378 4429 12436 0 928 1077 1050 3055 2231 1978 7264 5172 11273 0 982 1010 1025 3017 1928 1858 6803 4470 44832 ann. pay. 191947 1321 15222 14501 19923 50967 39069 28453 118489 73458 225644 3086 15868 16519 22199 57672 39895 30381 127948 97696 233986 1796 15754 19350 19157 56057 45058 36057 137172 96814 248250 2029 15826 20188 22156 60199 40304 32929 133432 114818 227116 2569 17465 18277 20325 58636 38419 29066 126121 100995 44832 rec. 1846125 202232 142777 113597 112325 570931 211280 176381 958592 887533 45111 firms 19882 2663 10145 3926 1922 18656 1066 100 19822 60 19029 2212 9852 3849 1888 17801 1058 113 18972 57 18535 2247 9197 3864 1965 17273 1093 112 18478 57 18374 2214 9146 3775 1965 17100 1116 100 18316 58 18775 2614 9068 3853 1986 17521 1100 100 18721 54 45111 estab. 24146 2677 10169 4020 2232 19098 2072 518 21688 2458 23140 2225 9887 3945 2175 18232 1977 697 20906 2234 22611 2260 9232 3955 2255 17702 1928 725 20355 2256 22468 2231 9185 3920 2231 17567 1960 544 20071 2397 23018 2619 9092 3960 2297 17968 2073 507 20548 2470 45111 empl. 181428 0 21959 25508 24806 72273 34707 9230 116210 65218 181739 0 21382 25137 24428 70947 35021 10634 116602 65137 184964 0 20010 25130 25409 70549 36559 12506 119614 65350 189494 0 19921 24506 25669 70096 37566 11050 118712 70782 190543 0 20256 25171 26047 71474 35896 9977 117347 73196 45111 ann. pay. 2653013 50307 328969 360402 370467 1110145 562554 143778 1816477 836536 2752938 46931 336684 374882 387562 1146059 592498 180375 1918932 834006 2948289 49632 330518 389153 411977 1181280 654827 217815 2053922 894367 3062098 47824 340687 399959 418656 1207126 690080 197035 2094241 967857 3191861 58959 347411 421760 447054 1275184 693919 177044 2146147 1045714 45111 rec. 26169189 537500 3154769 2940113 2827675 9460057 4261568 1251259 14972884 11196305 45112 firms 6529 894 3421 1207 585 6107 339 56 6502 27 6338 803 3322 1166 605 5896 365 53 6314 24 6208 752 3186 1218 610 5766 370 50 6186 22 6076 737 3100 1191 628 5656 358 39 6053 23 6217 849 3075 1220 667 5811 339 43 6193 24 45112 estab. 10934 897 3425 1221 658 6201 567 457 7225 3709 10789 804 3328 1182 670 5984 620 449 7053 3736 10911 753 3193 1236 677 5859 617 381 6857 4054 10783 744 3105 1236 692 5777 573 217 6567 4216 11021 849 3081 1234 721 5885 550 265 6700 4321 45112 empl. 118603 0 7010 7782 7576 22368 9835 7477 39680 78923 124806 0 6961 7627 7861 22449 11235 7060 40744 84062 131456 0 6825 7978 7980 22783 11323 6761 40867 90589 137147 0 6491 7741 7998 22230 11022 5119 38371 98776 139748 0 6674 7959 8615 23248 10327 5134 38709 101039 45112 ann. pay. 1582076 20692 74709 82836 87843 266080 129920 91006 487006 1095070 1686001 17066 79694 84087 94798 275645 167301 91938 534884 1151117 1775316 16651 81261 90072 98416 286400 149062 109125 544587 1230729 1893986 11714 82102 90492 104952 289260 151339 82204 522803 1371183 1968363 14519 81251 95002 108167 298939 148756 85489 533184 1435179 45112 rec. 17129724 144842 750591 650446 671638 2217517 869222 528780 3615519 13514205 45113 firms 4040 374 2373 829 303 3879 130 16 4025 15 3926 349 2285 813 316 3763 135 17 3915 11 3783 364 2127 773 346 3610 144 17 3771 12 3710 313 2090 782 351 3536 147 16 3699 11 3922 384 2111 869 395 3759 139 15 3913 9 45113 estab. 6223 376 2381 846 351 3954 275 82 4311 1912 5888 351 2296 829 357 3833 275 85 4193 1695 5695 364 2138 788 390 3680 266 81 4027 1668 5543 313 2101 798 391 3603 253 73 3929 1614 5642 384 2120 877 439 3820 233 68 4121 1521 45113 empl. 47828 0 5005 5345 3872 14222 3971 1465 19658 28170 44797 0 4795 5277 4044 14116 4184 1799 20099 24698 38952 0 4541 5009 4374 13924 4420 1881 20225 18727 47960 0 4532 5095 4436 14063 4605 1813 20481 27479 40984 0 4638 5613 5047 15298 4472 1831 21601 19383 45113 ann. pay. 499594 5921 49608 55277 51137 161943 68816 17660 248419 251175 521205 9545 51784 57470 52518 171317 76217 22591 270125 251080 507166 4504 52700 53769 60881 171854 85462 26110 283426 223740 602251 7179 52237 58981 61456 179853 88144 24706 292703 309548 567035 5100 54668 66507 72479 198754 87634 29887 316275 250760 45113 rec. 4124080 37720 427483 414745 372882 1252830 399938 137448 1790216 2333864 45114 firms 3818 281 1897 877 478 3533 254 22 3809 9 3698 242 1817 877 472 3408 260 19 3687 11 3639 254 1745 876 452 3327 282 19 3628 11 3556 230 1703 860 451 3244 283 18 3545 11 3739 293 1871 829 450 3443 272 14 3729 10 45114 estab. 4512 281 1904 906 612 3703 538 162 4403 109 4429 242 1826 919 588 3575 520 121 4216 213 4391 254 1757 914 541 3466 538 146 4150 241 4358 234 1712 892 541 3379 539 152 4070 288 4598 297 1878 868 571 3614 562 107 4283 315 45114 empl. 30499 0 4275 5662 6347 16284 8718 2903 27905 2594 31761 0 4055 5714 6261 16030 8708 1914 26652 5109 33211 0 3968 5735 5952 15655 9379 2197 27231 5980 34142 0 3848 5604 5881 15333 9371 2224 26928 7214 33898 0 4307 5441 5840 15588 8947 1792 26327 7571 45114 ann. pay. 655975 6606 71390 97392 130696 306084 210390 70414 586888 69087 700118 6201 69339 104569 137164 317273 211710 52226 581209 118909 752726 5893 69741 108726 132852 317212 231059 64637 612908 139818 765910 6401 68229 104712 130859 310201 236643 59942 606786 159124 770183 8324 78421 106934 129068 322747 227852 52467 603066 167117 45114 rec. 5090353 77676 645783 675867 736041 2135367 1145769 212083 3493219 1597134 45121 firms 8536 860 4471 1680 838 7849 525 111 8485 51 8126 708 4314 1601 815 7438 523 115 8076 50 7831 722 4093 1572 781 7168 507 108 7783 48 7649 657 4077 1449 817 7000 506 94 7600 49 7534 765 3920 1418 804 6907 495 84 7486 48 45121 estab. 14385 862 4479 1732 979 8052 1075 777 9904 4481 14065 719 4329 1651 937 7636 1036 735 9407 4658 13693 739 4111 1618 911 7379 954 750 9083 4610 13599 657 4090 1512 930 7189 945 799 8933 4666 14198 769 3933 1465 901 7068 978 777 8823 5375 45121 empl. 137149 0 9678 10914 10702 31294 17882 12639 61815 75334 139590 0 9213 10407 10387 30007 17773 13125 60905 78685 151666 0 8772 10273 10081 29126 17344 12817 59287 92379 143985 0 8828 9498 10436 28762 17122 11456 57340 86645 146718 0 8681 9212 10332 28225 16465 10222 54912 91806 45121 ann. pay. 1703524 23408 109487 115309 132554 380758 250361 173445 804564 898960 1765406 11604 108358 119547 130339 369848 247990 184329 802167 963239 1896482 14219 105741 126646 132128 378734 248652 182353 809739 1086743 1990266 14864 111430 114168 145699 386161 247033 175382 808576 1181690 2017642 15248 108341 114964 137912 376465 248653 155193 780311 1237331 45121 rec. 16623498 161940 933273 726337 817533 2639083 1455829 1072727 5167639 11455859 45122 firms 3640 451 1973 690 286 3400 187 36 3623 17 3481 389 1894 667 288 3238 196 33 3467 14 3494 389 1866 697 307 3259 183 37 3479 15 3513 403 1891 679 306 3279 182 36 3497 16 3738 448 2010 743 316 3517 172 32 3721 17 45122 estab. 7956 451 1978 713 343 3485 430 419 4334 3622 7763 395 1903 700 321 3319 426 390 4135 3628 7720 393 1873 732 344 3342 385 402 4129 3591 7702 403 1907 702 346 3358 389 458 4205 3497 7456 448 2015 755 357 3575 373 275 4223 3233 45122 empl. 64353 0 4230 4434 3726 12390 6290 4458 23138 41215 67180 0 4071 4256 3644 11971 6690 4125 22786 44394 75988 0 4033 4491 3899 12423 6678 4731 23832 52156 69533 0 4045 4414 3918 12377 6755 4910 24042 45491 65835 0 4339 4823 4071 13233 6126 4307 23666 42169 45122 ann. pay. 801054 9927 54132 59990 55245 179294 98290 61412 338996 462058 821659 8709 55058 60535 55761 180063 103214 55127 338404 483255 884868 9712 54364 62400 61466 187942 115478 69627 373047 511821 907069 8272 57673 64682 60903 191530 127057 67783 386370 520699 811057 8827 59885 63791 60023 192526 97009 57852 347387 463670 45122 rec. 7550585 69588 449819 396884 334343 1250634 569995 452501 2273130 5277455 45211 firms 167 49 18 8 3 78 15 24 117 50 141 65 1 1 0 67 10 17 94 47 103 31 0 3 0 34 11 15 60 43 95 19 6 2 0 27 13 15 55 40 406 77 148 66 26 317 32 17 366 40 45211 estab. 10526 49 18 8 3 78 18 29 125 10401 10538 65 1 1 0 67 13 24 104 10434 10428 33 0 3 0 36 14 20 70 10358 10374 19 6 2 0 27 16 125 168 10206 10418 77 148 66 30 321 47 36 404 10014 45211 empl. 1783556 [a] 37 48 [b] [c] [f] [h] 4722 1778834 1730991 0 [a] [a] 0 [a] [f] [h] 3771 1727220 1765852 0 0 23 0 23 658 2899 3580 1762272 1727333 0 [a] [a] 0 29 691 3110 3830 1723503 1742136 0 314 437 337 1088 1343 2771 5202 1736934 45211 ann. pay. 23494257 (D) 487 417 (D) (D) (D) (D) 62723 23431534 25321148 5101 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 64043 25257105 27204111 945 0 514 0 1459 16667 49293 67419 27136692 28631374 547 (D) (D) 0 1130 8645 89438 99213 28532161 29172508 2168 7687 5683 5030 20568 25387 63734 109689 29062819 45211 rec. 274073931 15129 72234 44020 29731 161114 198752 327190 687056 273386875 45291 firms 138 70 32 14 3 119 2 6 127 11 118 12 60 24 5 101 1 3 105 13 102 8 50 22 4 84 4 3 91 11 142 17 64 32 9 122 5 4 131 11 204 13 110 39 17 179 10 4 193 11 45291 estab. 1788 70 32 14 3 119 2 16 137 1651 1840 12 60 24 5 101 1 3 105 1735 1968 8 50 22 4 84 4 4 92 1876 2051 17 64 32 9 122 5 5 132 1919 2241 13 110 39 17 179 11 28 218 2023 45291 empl. 449645 [a] 73 97 [b] [c] [b] [g] 1364 448281 461992 0 [c] [c] 67 [e] [a] [f] 1103 460889 477521 0 99 139 53 291 165 1128 1584 475937 495230 0 [c] [c] 114 458 139 722 1319 493911 497947 0 240 254 239 733 376 720 1829 496118 45291 ann. pay. 7021711 (D) 915 1018 (D) (D) (D) (D) 17971 7003740 7915156 253 (D) (D) 864 (D) (D) (D) 14827 7900329 8736584 203 795 1368 1127 3493 2010 18920 24423 8712161 9330882 178 (D) (D) 1086 5589 1566 8557 15712 9315170 10094387 348 3318 3403 3472 10541 7616 10060 28217 10066170 45291 rec. 129762125 3376 44024 39420 20188 107008 70156 106304 283468 129478657 45299 firms 10374 1380 5171 1978 1036 9565 606 112 10283 91 10474 1250 5348 2020 1016 9634 645 112 10391 83 10533 1314 5327 1980 1048 9669 663 116 10448 85 10230 1156 5236 1970 1037 9399 633 109 10141 89 9114 1322 4406 1646 974 8348 568 115 9031 83 45299 estab. 24443 1381 5182 1995 1122 9680 999 589 11268 13175 25756 1287 5359 2037 1108 9791 998 553 11342 14414 27243 1329 5337 2005 1123 9794 983 635 11412 15831 28744 1158 5248 1990 1110 9506 955 724 11185 17559 28410 1324 4409 1664 1054 8451 899 654 10004 18406 45299 empl. 245960 0 11111 12788 13463 37362 19933 14166 71461 174499 251555 0 11603 13119 13336 38058 21936 14850 74844 176711 282734 0 11624 12885 13623 38132 22245 15950 76327 206407 303411 0 11287 12824 13475 37586 21573 16321 75480 227931 306011 0 9791 10699 12677 33167 19420 16046 68633 237378 45299 ann. pay. 3142383 22150 126229 141921 171859 462159 285268 210319 957746 2184637 3322893 20902 141808 157350 174438 494498 321174 220226 1035898 2286995 3828704 26285 148596 154214 178364 507459 329549 241125 1078133 2750571 4276206 26228 146739 156975 180733 510675 336052 245945 1092672 3183534 4441615 24329 126533 135004 171477 457343 306088 271281 1034712 3406903 45299 rec. 40768795 249416 1264861 1116565 1178721 3809563 2079037 2004653 7893253 32875542 45311 firms 24471 2269 13484 5715 2240 23708 706 42 24456 15 23658 2001 13053 5638 2214 22906 698 35 23639 19 23087 2161 12409 5450 2312 22332 701 38 23071 16 22724 2077 12058 5493 2352 21980 687 41 22708 16 22101 1966 11825 5317 2245 21353 682 49 22084 17 45311 estab. 25634 2270 13492 5802 2482 24046 1147 286 25479 155 24798 2004 13064 5716 2456 23240 1086 182 24508 290 24197 2175 12424 5523 2519 22641 1054 187 23882 315 23870 2095 12070 5573 2559 22297 1015 201 23513 357 23094 1967 11833 5375 2412 21587 1018 249 22854 240 45311 empl. 123263 0 30438 36836 28484 95758 21722 4082 121562 1701 121783 0 29233 36382 28324 93939 21606 3201 118746 3037 122224 0 28175 35365 29468 93008 21707 3590 118305 3919 125116 0 27321 35588 30379 93288 21539 4504 119331 5785 119117 0 27627 34573 28586 90786 21208 5431 117425 1692 45311 ann. pay. 1469027 31535 320694 393526 340904 1086659 295887 59695 1442241 26786 1537594 30262 322758 413784 361737 1128541 305483 48459 1482483 55111 1584096 32318 320586 415308 374573 1142785 314976 63458 1521219 62877 1643813 43369 317338 427109 393934 1181750 311132 75948 1568830 74983 1597080 31925 312614 420179 380186 1144904 317964 101495 1564363 32717 45311 rec. 7314208 199884 1945811 1818846 1431713 5396254 1105077 432935 6934266 379942 45321 firms 4688 439 2148 1068 595 4250 364 43 4657 31 4766 464 2195 1078 582 4319 375 44 4738 28 4721 414 2181 1078 599 4272 373 48 4693 28 4790 425 2236 1104 582 4347 366 50 4763 27 5327 542 2490 1215 628 4875 376 48 5299 28 45321 estab. 7730 439 2148 1090 667 4344 617 118 5079 2651 8415 464 2199 1101 652 4416 605 112 5133 3282 8617 417 2186 1095 664 4362 597 129 5088 3529 8787 429 2241 1118 652 4440 579 148 5167 3620 9267 543 2493 1231 730 4997 633 176 5806 3461 45321 empl. 110228 0 4789 7012 7569 19370 11175 2523 33068 77160 124063 0 4954 7113 7361 19428 11296 2684 33408 90655 134941 0 4898 7133 7593 19624 11371 3904 34899 100042 127922 0 5006 7351 7419 19776 11436 3711 34923 92999 125670 0 5695 7993 8049 21737 11594 3555 36886 88784 45321 ann. pay. 1990633 12253 71839 115753 142203 342048 243107 57913 643068 1347565 2415455 19911 81089 125177 137942 364119 260776 80153 705048 1710407 2702087 15885 82274 125320 151257 374736 270754 109073 754563 1947524 2685698 12662 90825 136766 148730 388983 288149 83105 760237 1925461 2799686 14297 99206 154821 177048 445372 300205 106676 852253 1947433 45321 rec. 25073489 132225 760519 991744 950286 2834774 1549560 718893 5103227 19970262 45322 firms 28370 3794 14749 5566 2541 26650 1414 197 28261 109 27205 3266 14116 5496 2647 25525 1380 194 27099 106 26293 3141 13410 5417 2637 24605 1382 207 26194 99 25550 2947 13264 5168 2474 23853 1384 212 25449 101 28180 4129 14279 5575 2537 26520 1347 211 28078 102 45322 estab. 36643 3799 14803 5712 2900 27214 3081 1097 31392 5251 35167 3274 14174 5620 3056 26124 2868 1231 30223 4944 34399 3157 13484 5531 3024 25196 2763 1200 29159 5240 33678 2954 13326 5310 2827 24417 2718 1160 28295 5383 36047 4138 14303 5683 2896 27020 2831 1340 31191 4856 45322 empl. 213984 0 31408 36161 32386 99955 42530 14579 157064 56920 214739 0 30326 35614 33637 99577 42939 15604 158120 56619 214613 0 28728 35075 33710 97513 43146 18385 159044 55569 210627 0 28443 33489 31330 93262 43161 17991 154414 56213 209064 0 30801 36226 32201 99228 41065 17254 157547 51517 45322 ann. pay. 2281711 53028 331258 361266 349114 1094666 495002 189486 1779154 502557 2426225 55138 346142 364782 375605 1141667 516821 213882 1872370 553855 2544108 51236 333887 372930 384892 1142945 531199 232024 1906168 637940 2541621 50487 342318 368655 360786 1122246 537162 267705 1927113 614508 2639647 74148 367694 400803 382095 1224740 530719 266626 2022085 617562 45322 rec. 17061866 626568 2902502 2428298 2100417 8057785 2899746 1708457 12665988 4395878 45331 firms 14705 1888 9038 2061 796 13783 569 273 14625 80 14379 1462 9066 2106 820 13454 568 266 14288 91 13703 1326 8558 2082 781 12747 591 272 13610 93 13565 1347 8373 2100 794 12614 570 287 13471 94 13967 1570 8481 2112 815 12978 619 284 13881 86 45331 estab. 18220 1889 9053 2103 905 13950 989 1477 16416 1804 18037 1466 9087 2156 913 13622 980 1480 16082 1955 17480 1332 8581 2119 876 12908 970 1525 15403 2077 17436 1348 8394 2147 888 12777 919 1636 15332 2104 17997 1570 8493 2151 918 13132 1096 1657 15885 2112 45331 empl. 105357 0 17811 13046 9950 40807 17029 22630 80466 24891 110496 0 18070 13430 10204 41704 17295 23429 82428 28068 113837 0 17144 13332 9759 40235 17949 24056 82240 31597 115719 0 16668 13328 9970 39966 17709 26028 83703 32016 117587 0 17394 13525 10174 41093 18593 26082 85768 31819 45331 ann. pay. 1387460 25192 209356 164658 146434 545640 239744 278211 1063595 323865 1524819 19983 230760 180185 156259 587187 256605 296861 1140653 384166 1625138 18637 226860 203491 151659 600647 277267 314661 1192575 432563 1698721 18634 230868 200639 163435 613576 271700 347445 1232721 466000 1789399 25359 233918 204305 160795 624377 295350 349363 1269090 520309 45331 rec. 7910526 227149 1872646 1216253 791893 4107941 1129432 1152177 6389550 1520976 45391 firms 6768 952 3251 1462 751 6416 312 26 6754 14 6370 673 3182 1414 752 6021 305 33 6359 11 6223 703 3030 1363 767 5863 316 33 6212 11 6009 597 2891 1396 748 5632 335 32 5999 10 5833 649 2671 1357 788 5465 335 23 5823 10 45391 estab. 8462 953 3265 1479 834 6531 604 287 7422 1040 8213 674 3187 1448 830 6139 576 274 6989 1224 8138 704 3042 1383 841 5970 584 268 6822 1316 7945 597 2899 1434 798 5728 581 265 6574 1371 7903 649 2675 1379 859 5562 643 243 6448 1455 45391 empl. 63650 0 7108 9582 9803 26493 10126 [h] [k] [j] 66075 0 6935 9216 9701 25852 9896 4070 39818 26257 67967 0 6659 8911 9974 25544 10614 3940 40098 27869 72120 0 6358 9175 9785 25318 10724 3730 39772 32348 75782 0 6141 8949 10399 25489 10986 2610 39085 36697 45391 ann. pay. 801523 18825 83042 108360 113616 323843 126348 (D) (D) (D) 880010 15644 88217 109602 123279 336742 130019 63988 530749 349261 947780 14855 90416 112968 128411 346650 145495 57323 549468 398312 1010849 13796 88718 118297 135536 356347 154949 54272 565568 445281 1127287 12240 82628 114143 142955 351966 156894 40676 549536 577751 45391 rec. 7883142 112881 717267 732081 800445 2362674 933287 303334 3599295 4283847 45392 firms 5614 924 3437 845 266 5472 112 24 5608 6 5583 762 3481 876 302 5421 128 24 5573 10 5636 806 3427 907 327 5467 137 22 5626 10 5837 795 3610 923 333 5661 145 21 5827 10 6294 974 3956 906 308 6144 119 21 6284 10 45392 estab. 5953 926 3447 875 328 5576 207 160 5943 10 5921 763 3492 910 357 5522 229 121 5872 49 5971 806 3442 941 376 5565 235 125 5925 46 6162 796 3626 953 387 5762 253 133 6148 14 6651 974 3966 953 371 6264 239 135 6638 13 45392 empl. 21509 0 7058 5369 3277 15704 2725 [g] [j] [g] 24707 0 7172 5637 3700 16509 3138 1490 21137 3570 22284 0 7167 5811 3972 16950 3420 1694 22064 220 22988 0 7521 5856 4086 17463 3766 1625 22854 134 22853 0 8173 5724 3815 17712 3161 1673 22546 307 45392 ann. pay. 521298 19485 136468 113405 79903 349261 71755 (D) (D) (D) 598372 19254 146865 122324 102901 391344 83755 50315 525414 72958 601996 17897 158359 143513 113833 433602 105440 58177 597219 4777 602422 20366 159700 134495 127276 441837 118739 39435 600011 2411 602791 22983 176587 137867 103744 441181 103233 50602 595016 7775 45392 rec. 4260451 186363 1548905 926092 619747 3281107 647602 280055 4208764 51687 45393 firms 4050 462 1429 984 720 3595 416 27 4038 12 3984 416 1437 952 744 3549 393 27 3969 15 3844 378 1446 935 679 3438 365 25 3828 16 3757 362 1611 867 622 3462 267 14 3743 14 3755 312 1707 914 549 3482 237 21 3740 15 45393 estab. 5724 464 1440 1019 889 3812 809 319 4940 784 5951 418 1449 990 905 3762 743 354 4859 1092 6156 385 1455 975 839 3654 643 367 4664 1492 5865 382 1632 913 762 3689 545 277 4511 1354 5611 312 1716 960 710 3698 588 104 4390 1221 45393 empl. 43234 0 3326 6540 9468 19334 13485 3330 36149 7085 46195 0 3300 6336 9913 19549 13120 3923 36592 9603 43101 0 3306 6249 8972 18527 11448 3142 33117 9984 35519 0 3651 5719 8151 17521 8257 1609 27387 8132 32738 0 3894 6011 7275 17180 7194 1376 25750 6988 45393 ann. pay. 1342157 22497 84991 173792 265335 546615 409179 94670 1050464 291693 1370487 18108 81556 166944 283850 550458 372519 95399 1018376 352111 1270613 13765 77227 153792 240183 484967 306908 72689 864564 406049 1043750 16212 91283 145570 228033 481098 239541 32077 752716 291034 925770 9086 89581 157291 205195 461153 198783 34595 694531 231239 45393 rec. 9604491 180810 1331028 1675959 1943421 5131218 1733432 317434 7182084 2422407 45399 firms 20499 3551 10512 3712 1679 19454 844 135 20433 66 20868 3379 10941 3789 1710 19819 856 132 20807 61 21973 3552 11430 3962 1888 20832 934 138 21904 69 21574 3066 11492 3963 1877 20398 972 138 21508 66 19189 2706 9952 3597 1815 18070 916 139 19125 64 45399 estab. 24203 3563 10551 3864 2042 20020 1615 704 22339 1864 24744 3388 10979 3929 2038 20334 1592 767 22693 2051 26085 3565 11474 4104 2181 21324 1598 710 23632 2453 25568 3069 11534 4097 2152 20852 1699 699 23250 2318 23427 2739 9974 3778 2261 18752 1901 752 21405 2022 45399 empl. 114819 0 22240 24025 21154 67419 22984 8729 99132 15687 120766 0 23016 24451 21879 69346 25004 9453 103803 16963 130694 0 24127 25593 24336 74056 27697 10083 111836 18858 131583 0 24164 25544 24164 73872 29242 10500 113614 17969 120181 0 21666 23320 23129 68115 26593 10624 105332 14849 45399 ann. pay. 2064717 74917 361474 393619 382788 1212798 414291 145424 1772513 292204 2280194 78262 393911 424685 413948 1310806 481810 167304 1959920 320274 2551563 85434 426208 464085 461682 1437409 556448 185336 2179193 372370 2650951 65588 446025 471376 483530 1466519 617558 196248 2280325 370626 2630469 75491 403644 462275 491767 1433177 601910 234647 2269734 360735 45399 rec. 18799038 727654 3876613 3176710 3109589 10890566 3799464 1751743 16441773 2357265 45411 firms 8956 961 4331 1447 946 7685 816 238 8739 217 9646 1845 4121 1506 886 8358 809 249 9416 230 10628 1780 4545 1741 1075 9141 952 274 10367 261 9900 1280 4451 1631 1048 8410 943 260 9613 287 10800 1747 5083 1602 1007 9439 849 232 10520 280 45411 estab. 9792 961 4333 1455 968 7717 929 301 8947 845 10634 1852 4127 1517 900 8396 918 326 9640 994 11802 1784 4547 1749 1095 9175 1060 346 10581 1221 11086 1285 4455 1642 1075 8457 1042 325 9824 1262 11923 1747 5086 1627 1029 9489 955 337 10781 1142 45411 empl. 229954 0 8900 9473 12476 30849 29542 34594 94985 134969 255296 0 8583 9858 11737 30178 29449 35858 95485 159811 276698 0 9403 11446 14342 35191 35070 42672 112933 163765 280912 0 9306 10625 14001 33932 34580 37593 106105 174807 250003 0 10451 10426 13418 34295 30608 32997 97900 152103 45411 ann. pay. 7267653 44512 200271 234561 327357 806701 826889 1012985 2646575 4621078 8854120 194124 208232 267357 339592 1009305 977591 1063665 3050561 5803559 10433028 135445 271581 364576 500592 1272194 1224304 1566411 4062909 6370119 10421271 70418 241110 299448 439903 1050879 1199469 1266222 3516570 6904701 9526329 76162 277679 305946 446151 1105938 1153277 1050575 3309790 6216539 45411 rec. 114234620 815725 2423739 2307951 3370018 8917433 7849758 9873541 26640732 87593888 45421 firms 5791 696 3178 851 520 5245 420 90 5755 36 5651 645 3109 817 556 5127 397 92 5616 35 5555 641 3058 816 516 5031 406 85 5522 33 5397 566 3059 761 521 4907 376 85 5368 29 5278 582 3053 704 479 4818 353 80 5251 27 45421 estab. 6389 698 3178 854 531 5261 476 231 5968 421 6251 645 3109 819 569 5142 449 232 5823 428 6155 641 3058 818 530 5047 456 209 5712 443 6004 566 3059 764 529 4918 427 214 5559 445 5860 583 3054 704 487 4828 436 220 5484 376 45421 empl. 66330 0 6119 5599 6982 18700 15478 13587 47765 18565 66614 0 5936 5322 7490 18748 14694 13311 46753 19861 66657 0 5843 5329 6868 18040 14978 12815 45833 20824 64266 0 5944 5011 6986 17941 13266 13032 44239 20027 57940 0 5984 4669 6388 17041 13017 11217 41275 16665 45421 ann. pay. 1428097 18178 108740 108329 148777 384024 348636 311846 1044506 383591 1479907 14637 105413 103427 163507 386984 345945 302777 1035706 444201 1510238 12890 105211 109176 158785 386062 353444 295609 1035115 475123 1500955 10528 108888 105568 159093 384077 336598 313376 1034051 466904 1350338 13858 107329 101422 146047 368656 324221 291177 984054 366284 45421 rec. 6767287 109338 769706 582685 726826 2188555 1521420 1200322 4910297 1856990 45431 firms 8053 383 3013 2029 1360 6785 1019 183 7987 66 7782 337 2882 1987 1316 6522 1013 176 7711 71 7542 345 2809 1894 1281 6329 965 176 7470 72 7330 312 2683 1861 1285 6141 947 174 7262 68 7133 301 2634 1794 1243 5972 938 156 7066 67 45431 estab. 12512 383 3016 2071 1472 6942 1673 826 9441 3071 12204 337 2899 2022 1422 6680 1633 810 9123 3081 11820 353 2815 1934 1378 6480 1553 844 8877 2943 11600 321 2687 1887 1422 6317 1495 866 8678 2922 11317 304 2636 1824 1393 6157 1510 754 8421 2896 45431 empl. 106044 0 7176 13310 17350 37836 27251 12530 77617 28427 107234 0 6866 13084 16692 36642 27527 12467 76636 30598 106360 0 6752 12466 16428 35646 27353 12212 75211 31149 105351 0 6419 12120 16575 35114 27376 12920 75410 29941 102172 0 6287 11804 15841 33932 26329 10813 71074 31098 45431 ann. pay. 2934046 11757 155645 320569 477537 965508 791392 373519 2130419 803627 2999221 10916 149969 319743 479678 960306 811852 381785 2153943 845278 3143266 15012 152601 319896 480675 968184 834860 391167 2194211 949055 3311690 13503 155632 331826 514659 1015620 888952 436592 2341164 970526 3298896 12235 152642 324278 497869 987024 876356 373035 2236415 1062481 45431 rec. 25964140 158939 1950964 2644504 3755469 8509876 6968128 3351026 18829030 7135110 45439 firms 12857 1822 7076 1884 1088 11870 790 115 12775 82 12705 2091 6774 1816 1053 11734 784 119 12637 68 13152 2314 6937 1898 1011 12160 803 115 13078 74 12477 1967 6736 1801 1002 11506 787 115 12408 69 13936 2657 7440 1862 1018 12977 764 125 13866 70 45439 estab. 14655 1825 7096 1906 1208 12035 998 233 13266 1389 14477 2098 6787 1844 1132 11861 960 233 13054 1423 14973 2337 6949 1922 1085 12293 1005 206 13504 1469 14232 1968 6749 1832 1078 11627 984 202 12813 1419 15635 2657 7447 1884 1078 13066 1005 261 14332 1303 45439 empl. 113103 0 13593 12270 14135 39998 25363 11729 77090 36013 110901 0 12871 11808 13681 38360 25506 11880 75746 35155 116816 0 13286 12247 13182 38715 26706 11295 76716 40100 115750 0 12782 11684 13170 37636 26332 14101 78069 37681 113758 0 14269 12249 13306 39824 25081 13962 78867 34891 45439 ann. pay. 2598163 41927 262225 255126 317685 876963 588273 308640 1773876 824287 2755774 68254 267668 273673 315285 924880 598457 358426 1881763 874011 2988580 76524 284606 280160 344543 985833 668852 332229 1986914 1001666 3082644 60770 282240 267889 346538 957437 684468 377363 2019268 1063376 3171154 69245 310047 294791 364284 1038367 679734 412399 2130500 1040654 45439 rec. 17948206 693991 2541207 1745517 1763948 6744663 3353746 2246080 12344489 5603717 48111 firms 784 163 209 92 64 528 117 70 715 69 760 118 225 80 76 499 116 73 688 72 778 115 233 102 68 518 115 74 707 71 722 89 235 88 65 477 104 73 654 68 750 93 275 84 66 518 95 69 682 68 48111 estab. 3377 164 209 93 69 535 233 420 1188 2189 3237 118 225 81 82 506 230 432 1168 2069 3324 119 233 109 78 539 222 441 1202 2122 3331 89 236 93 76 494 224 453 1171 2160 3297 109 276 85 86 556 215 471 1242 2055 48111 empl. 520756 0 413 615 837 1865 5458 13726 21049 499707 539994 0 476 536 1000 2012 5052 14062 21126 518868 570902 0 457 677 935 2069 5043 14466 21578 549324 562103 0 475 573 880 1928 4639 13941 20508 541595 513615 0 509 560 881 1950 4393 11763 18106 495509 48111 ann. pay. 20917358 7047 14319 21028 24695 67089 167985 472101 707175 20210183 22506160 5407 16553 17657 31449 71066 164075 524158 759299 21746861 24484512 6919 17035 22344 26919 73217 165769 547277 786263 23698249 26589728 4910 16495 20154 26343 67902 163440 512956 744298 25845430 25739116 13066 18469 20296 31041 82872 163727 449034 695633 25043483 48111 rec. 98451483 286518 164516 104306 200449 755789 919354 2958233 4633376 93818107 48121 firms 1812 215 817 273 179 1484 195 58 1737 75 1871 296 795 249 188 1528 213 56 1797 74 1953 328 821 249 207 1605 219 56 1880 73 1974 287 843 295 192 1617 223 61 1901 73 2035 304 885 267 189 1645 240 66 1951 84 48121 estab. 1971 215 817 274 188 1494 238 96 1828 143 2048 296 796 250 195 1537 262 95 1894 154 2105 328 823 250 213 1614 271 90 1975 130 2120 287 843 297 197 1624 270 96 1990 130 2215 304 887 267 198 1656 292 116 2064 151 48121 empl. 39270 0 1606 1743 2318 5667 6551 4749 16967 22303 42844 0 1512 1637 2457 5606 7740 5602 18948 23896 44703 0 1617 1590 2803 6010 8153 5436 19599 25104 46883 0 1654 1908 2642 6204 8124 7810 22138 24745 34643 0 1737 1680 2468 5885 8462 6269 20616 14027 48121 ann. pay. 1673860 10780 60390 53541 77598 202309 225446 179444 607199 1066661 1908197 15285 59094 56702 80143 211224 280691 205325 697240 1210957 2084775 21563 65409 53686 100311 240969 293839 225567 760375 1324400 2190943 18924 67742 70985 98158 255809 303597 337295 896701 1294242 1731750 47307 79421 68110 99666 294504 346365 278119 918988 812762 48121 rec. 9248168 247205 485048 343040 496222 1571515 1705907 1280673 4558095 4690073 48311 firms 836 85 251 114 118 568 143 69 780 56 881 129 269 121 111 630 140 58 828 53 867 115 265 126 114 620 133 61 814 53 837 116 267 106 107 596 130 56 782 55 812 105 265 116 80 566 135 60 761 51 48311 estab. 1272 85 251 115 121 572 163 221 956 316 1307 129 269 122 117 637 164 187 988 319 1254 115 265 128 115 623 151 183 957 297 1227 123 267 107 109 606 146 130 882 345 1222 105 266 116 87 574 166 165 905 317 48311 empl. 54680 0 548 762 1587 2897 5670 10030 18597 36083 52532 0 531 814 1507 2852 5697 10021 18570 33962 47838 0 554 829 1516 2899 5178 10066 18143 29695 50717 0 563 732 1460 2755 4983 10068 17806 32911 45523 0 557 765 1075 2397 5047 8450 15894 29629 48311 ann. pay. 2383304 21803 25884 24856 57662 130205 228289 446282 804776 1578528 2312408 10265 22527 32103 57382 122277 242689 441172 806138 1506270 2214151 15467 19555 31074 55941 122037 242275 496827 861139 1353012 2491131 8918 22404 27292 56172 114786 236729 502591 854106 1637025 2360346 5724 22144 28693 44096 100657 292293 448856 841806 1518540 48311 rec. 18500047 39232 162201 152907 385816 740156 1553967 2553338 4847461 13652586 48321 firms 593 92 194 97 71 454 75 37 566 27 603 103 193 81 71 448 93 31 572 31 599 90 194 92 70 446 90 37 573 26 596 78 200 93 69 440 97 32 569 27 627 122 200 83 68 473 89 38 600 27 48321 estab. 639 92 194 97 71 454 82 49 585 54 643 103 193 81 71 448 96 41 585 58 646 90 194 92 70 446 92 55 593 53 644 78 200 93 69 440 99 52 591 53 680 122 200 83 68 473 95 58 626 54 48321 empl. 18074 0 428 633 1011 2072 2899 5211 10182 7892 19312 0 429 520 927 1876 3635 4967 10478 8834 19736 0 397 622 1002 2021 3653 5828 11502 8234 19745 0 413 609 933 1955 3907 5479 11341 8404 18745 0 420 561 919 1900 3436 5708 11044 7701 48321 ann. pay. 720447 3894 14064 17354 29854 65166 96005 208477 369648 350799 727102 5560 15343 16927 28410 66240 124304 194927 385471 341631 789022 7576 14930 21217 30128 73851 119164 246981 439996 349026 850930 7169 16167 23188 32660 79184 141299 244973 465456 385474 804356 12970 18179 22358 28505 82012 124260 239411 445683 358673 48321 rec. 3588649 52774 109568 140835 114683 417860 422639 989951 1830450 1758199 48411 firms 16802 3548 7976 2244 1531 15299 1235 195 16729 73 17955 3488 8944 2417 1533 16382 1314 184 17880 75 19454 3840 9761 2574 1656 17831 1346 199 19376 78 19922 3544 10506 2604 1690 18344 1311 198 19853 69 20058 4222 9900 2523 1714 18359 1401 210 19970 88 48411 estab. 17532 3548 7980 2251 1550 15329 1396 385 17110 422 18737 3488 8946 2424 1557 16415 1475 416 18306 431 20329 3844 9764 2579 1683 17870 1477 365 19712 617 20726 3546 10509 2609 1711 18375 1424 427 20226 500 21172 4227 9903 2527 1743 18400 1656 506 20562 610 48411 empl. 136007 0 14976 14826 20623 50425 44871 21598 116894 19113 141575 0 16573 15897 20657 53127 47878 20622 121627 19948 153280 0 17974 16794 22352 57120 49416 23290 129826 23454 149788 0 19305 17060 22804 59169 48059 22209 129437 20351 156098 0 18374 16593 23053 58020 50814 24169 133003 23095 48411 ann. pay. 3866921 88552 330404 355791 536122 1310869 1270087 660970 3241926 624995 4087463 102050 370157 395089 551002 1418298 1394320 654269 3466887 620576 4529759 99482 402131 422384 602874 1526871 1484231 704533 3715635 814124 4434046 103461 435550 437989 614720 1591720 1439713 693963 3725396 708650 4903477 112142 423224 444662 658088 1638116 1613229 817454 4068799 834678 48411 rec. 17614449 641693 2220660 1951856 2639393 7453602 5399474 2409443 15262519 2351930 48412 firms 25491 5108 11449 2903 2178 21638 2854 696 25188 303 26943 4959 12883 3034 2211 23087 2851 695 26633 310 28402 5146 13931 3208 2243 24528 2851 707 28086 316 27969 4517 14346 3137 2242 24242 2737 689 27668 301 27433 3955 14792 3005 2157 23909 2581 645 27135 298 48412 estab. 32363 5110 11454 2921 2215 21700 3301 1575 26576 5787 33987 4969 12889 3051 2251 23160 3245 1594 27999 5988 35545 5147 13935 3217 2285 24584 3194 1538 29316 6229 35652 4521 14351 3145 2282 24299 3063 1536 28898 6754 35574 3978 14796 3017 2193 23984 2935 1505 28424 7150 48412 empl. 704236 0 20833 19160 29507 69500 114404 107408 291312 412924 756034 0 23297 20058 30052 73407 115766 109142 298315 457719 769460 0 25057 21168 30431 76656 114893 112428 303977 465483 765181 0 25505 20585 30399 76489 110341 111986 298816 466365 725938 0 26787 19850 29454 76091 104420 102557 283068 442870 48412 ann. pay. 23382829 131399 440464 459342 769503 1800708 3349716 3358872 8509296 14873533 25255973 201192 500147 489422 810112 2000873 3507684 3535717 9044274 16211699 27084218 152162 543060 527462 812938 2035622 3512333 3727472 9275427 17808791 26789844 144269 564490 515828 830253 2054840 3395861 3801396 9252097 17537747 25963250 166005 606337 524674 832595 2129611 3309487 3543970 8983068 16980182 48412 rec. 91565171 863215 3715091 2750843 3993739 11322888 13898713 12911988 38133589 53431582 48421 firms 8260 860 3257 1402 1284 6803 1273 145 8221 39 8232 879 3225 1358 1298 6760 1274 158 8192 40 8226 908 3208 1381 1256 6753 1276 159 8188 38 7987 883 3118 1296 1223 6520 1262 166 7948 39 7768 850 3065 1286 1231 6432 1161 143 7736 32 48421 estab. 9278 860 3260 1409 1316 6845 1527 456 8828 450 9219 880 3230 1361 1331 6802 1515 462 8779 440 9147 917 3213 1395 1280 6805 1508 451 8764 383 8913 886 3125 1301 1253 6565 1489 456 8510 403 8781 851 3069 1295 1263 6478 1427 446 8351 430 48421 empl. 124055 0 6708 9377 17590 33675 47638 23107 104420 19635 126960 0 6616 9106 17822 33544 48065 24133 105742 21218 128905 0 6569 9222 17143 32934 47587 24985 105506 23399 128222 0 6537 8628 16577 31742 47277 26201 105220 23002 114558 0 6461 8581 16921 31963 42930 22176 97069 17489 48421 ann. pay. 3273377 30783 127175 178906 368855 705719 1209143 711886 2626748 646629 3453693 33337 134218 181498 386710 735763 1255053 731258 2722074 731619 3661367 36685 138498 189451 394198 758832 1323446 798641 2880919 780448 3657921 34938 146575 178648 381043 741204 1312720 820108 2874032 783889 3314099 34221 137648 181872 405503 759244 1226194 711912 2697350 616749 48421 rec. 13548866 157863 625783 587820 1194574 2566040 3693881 2588124 8848045 4700821 48422 firms 34020 5035 19408 5035 2592 32070 1651 193 33914 106 32715 4302 18701 5043 2694 30740 1693 169 32602 113 31771 4419 17601 4928 2749 29697 1792 171 31660 111 31420 4336 17640 4724 2674 29374 1763 176 31313 107 32519 5337 17931 4708 2541 30517 1718 166 32401 118 48422 estab. 34732 5036 19413 5052 2617 32118 1784 354 34256 476 33459 4303 18703 5051 2722 30779 1831 313 32923 536 32493 4420 17604 4935 2770 29729 1928 264 31921 572 32099 4339 17641 4729 2700 29409 1876 278 31563 536 33326 5337 17933 4716 2559 30545 1912 323 32780 546 48422 empl. 194961 0 37426 32549 34288 104263 56124 19132 179519 15442 197529 0 36076 32635 35913 104624 58853 16703 180180 17349 200437 0 34387 31962 36546 102895 62141 17761 182797 17640 196163 0 34041 30720 35538 100299 61109 18251 179659 16504 189612 0 34802 30525 33564 98891 58397 16083 173371 16241 48422 ann. pay. 5181558 129279 816113 741782 864256 2551430 1575378 566943 4693751 487807 5457150 112574 813187 774024 937654 2637439 1695312 501003 4833754 623396 5692418 117892 779859 768597 958947 2625295 1834844 566028 5026167 666251 5800444 115581 814102 783966 988291 2701940 1874070 599161 5175171 625273 5650453 161236 830819 799257 936483 2727795 1812015 531011 5070821 579632 48422 rec. 23396513 911726 4431246 3518858 3689370 12551200 6672297 1729426 20952923 2443590 48423 firms 12671 1458 6420 1907 1328 11113 1175 250 12538 133 11997 1178 6100 1902 1308 10488 1135 229 11852 145 11561 1264 5686 1789 1296 10035 1169 218 11422 139 11103 1135 5469 1728 1280 9612 1132 223 10967 136 11239 1300 5747 1622 1172 9841 1042 222 11105 134 48423 estab. 14089 1458 6423 1914 1346 11141 1369 615 13125 964 13347 1178 6101 1911 1321 10511 1316 577 12404 943 12902 1266 5692 1796 1305 10059 1323 574 11956 946 12424 1135 5473 1735 1297 9640 1282 536 11458 966 12455 1300 5750 1626 1196 9872 1213 537 11622 833 48423 empl. 167899 0 12554 12497 17841 42892 42901 30239 116032 51867 162080 0 11828 12435 17469 41732 41253 27498 110483 51597 163712 0 10971 11817 17387 40175 42924 26586 109685 54027 158511 0 10357 11429 17167 38953 41807 28007 108767 49744 147136 0 10938 10756 15748 37442 38360 26186 101988 45148 48423 ann. pay. 5313952 41919 271065 307474 472932 1093390 1287823 987069 3368282 1945670 5371889 36450 264818 313484 493279 1108031 1303876 956830 3368737 2003152 5483716 32995 248152 298113 488835 1068095 1388112 941418 3397625 2086091 5398694 32737 246704 293363 501516 1074320 1361835 1013423 3449578 1949116 5236111 54942 257497 288486 464055 1064980 1306159 951762 3322901 1913210 48423 rec. 20597009 300630 1604255 1406200 2153298 5464383 5108683 3446444 14019510 6577499 48511 firms 491 55 165 56 60 336 87 43 466 25 458 39 149 60 46 294 99 37 430 28 449 40 135 64 46 285 98 38 421 28 474 48 136 66 42 292 112 41 445 29 482 58 130 58 49 295 110 48 453 29 48511 estab. 615 55 165 56 60 336 90 60 486 129 723 39 149 60 46 294 105 53 452 271 705 40 135 64 46 285 103 46 434 271 715 48 136 66 42 292 121 54 467 248 751 58 130 59 49 296 127 75 498 253 48511 empl. 32115 0 353 338 806 1497 3550 6916 11963 20152 40124 [a] [e] 391 657 1349 3905 7038 12292 27832 43148 0 276 423 677 1376 3920 6909 12205 30943 42216 0 282 444 601 1327 4446 7445 13218 28998 46194 0 260 383 628 1271 4683 8615 14569 31625 48511 ann. pay. 981378 3685 5156 4471 11765 25077 62743 205453 293273 688105 1226119 (D) (D) 6611 10144 33577 72784 209941 316302 909817 1295799 5703 6886 7435 12226 32250 78241 206523 317014 978785 1345563 8632 4209 9053 11778 33672 91606 218322 343600 1001963 1482711 3482 5261 7471 11993 28207 102773 263965 394945 1087766 48511 rec. 2546176 13603 30722 20040 29174 93539 245152 430204 768895 1777281 48521 firms 229 24 70 37 19 150 40 31 221 8 236 32 73 28 25 158 42 26 226 10 250 38 77 36 26 177 39 25 241 9 242 31 69 39 27 166 42 25 233 9 323 44 102 51 34 231 53 29 313 10 48521 estab. 415 24 70 37 19 150 55 67 272 143 440 32 73 28 29 162 56 50 268 172 444 38 77 36 26 177 53 51 281 163 460 31 69 39 27 166 53 49 268 192 579 44 102 51 34 231 66 61 358 221 48521 empl. 23374 0 151 248 247 646 1480 3218 5344 18030 21800 [a] [c] 182 310 644 1782 2384 4810 16990 26805 0 179 261 366 806 1753 2161 4720 22085 24672 0 149 253 357 759 1945 2740 5444 19228 20705 0 215 335 450 1000 2396 3130 6526 14179 48521 ann. pay. 650834 935 1771 3026 3219 8951 28961 76219 114131 536703 654375 (D) (D) 2309 3833 15191 33180 66398 114769 539606 709684 4331 3920 3677 5363 17291 33291 64646 115228 594456 810974 1391 3321 4003 6320 15035 38776 76311 130122 680852 730794 8832 5096 4665 6541 25134 47182 85512 157828 572966 48521 rec. 1712361 32443 22191 20011 39493 114138 120772 235657 470567 1241794 48531 firms 3160 371 1763 449 294 2877 246 29 3152 8 3069 367 1676 424 310 2777 255 29 3061 8 3085 377 1683 437 293 2790 256 32 3078 7 3049 363 1650 436 311 2760 255 27 3042 7 3084 383 1688 425 311 2807 249 21 3077 7 48531 estab. 3194 371 1763 452 298 2884 253 38 3175 19 3102 367 1676 426 315 2784 261 37 3082 20 3116 377 1683 439 297 2796 262 40 3098 18 3086 363 1650 437 316 2766 261 33 3060 26 3164 383 1688 425 315 2811 264 63 3138 26 48531 empl. 27586 0 3036 3001 4034 10071 9155 4525 23751 3835 28601 0 2849 2795 4231 9875 9472 4621 23968 4633 30355 0 2934 2914 4024 9872 9685 5289 24846 5509 30281 0 2859 2860 4214 9933 9113 5037 24083 6198 29114 0 2994 2776 4189 9959 9277 3798 23034 6080 48531 ann. pay. 412601 7730 33976 35232 52183 129121 138273 75612 343006 69595 459288 13439 34496 34905 53714 136554 147714 88636 372904 86384 485190 12586 36450 40812 55038 144886 152434 103527 400847 84343 488704 12452 37169 38187 59352 147160 146387 92333 385880 102824 492776 11849 41226 38134 61123 152332 156825 84010 393167 99609 48531 rec. 1661854 76000 236288 151530 190967 654785 474817 221869 1351471 310383 48532 firms 3395 527 1608 525 347 3007 344 33 3384 11 3462 583 1572 524 368 3047 364 37 3448 14 3650 629 1650 544 400 3223 374 39 3636 14 3717 588 1712 572 392 3264 399 43 3706 11 3947 660 1875 571 420 3526 372 38 3936 11 48532 estab. 3437 527 1608 526 348 3009 356 40 3405 32 3503 583 1573 524 370 3050 373 41 3464 39 3690 629 1650 545 402 3226 381 42 3649 41 3756 588 1712 573 395 3268 403 46 3717 39 3982 660 1875 571 420 3526 379 42 3947 35 48532 empl. 32898 0 3022 3501 4717 11240 12714 4627 28581 4317 34774 0 2977 3519 5042 11538 13770 4688 29996 4778 37463 0 3081 3583 5382 12046 14047 5812 31905 5558 39165 0 3213 3795 5280 12288 15211 5958 33457 5708 36461 0 3642 3784 5652 13078 13957 4738 31773 4688 48532 ann. pay. 605564 10329 44014 47230 66958 168531 223731 102993 495255 110309 671942 14614 49252 48457 73803 186126 246443 113734 546303 125639 759124 15026 51840 53400 88808 209074 262173 146374 617621 141503 768953 15004 54017 52118 80741 201880 271990 151673 625543 143410 776459 18107 62194 57629 91067 228997 280111 128203 637311 139148 48532 rec. 2712435 107814 387713 292382 327869 1115778 858078 381627 2355483 356952 48541 firms 3346 182 1177 493 466 2318 788 201 3307 39 3263 175 1127 481 474 2257 760 205 3222 41 3165 169 1060 464 471 2164 758 211 3133 32 3129 161 1043 483 453 2140 742 215 3097 32 3180 208 1088 479 431 2206 721 220 3147 33 48541 estab. 4400 182 1177 493 472 2324 851 322 3497 903 4341 176 1127 481 481 2265 814 322 3401 940 4217 169 1060 465 473 2167 815 321 3303 914 4287 161 1043 484 460 2148 787 326 3261 1026 4352 208 1088 479 434 2209 759 351 3319 1033 48541 empl. 152621 0 2399 3295 6431 12125 33428 34356 79909 72712 161890 0 2293 3155 6615 12063 32590 34436 79089 82801 162877 0 2147 3073 6622 11842 32308 37974 82124 80753 168940 0 2139 3203 6258 11600 31398 37660 80658 88282 171599 0 2200 3141 6025 11366 30381 39800 81547 90052 48541 ann. pay. 1950914 10363 20352 30138 63876 124729 397741 484715 1007185 943729 2178747 8998 22130 29206 71509 131843 417784 501039 1050666 1128081 2322642 5122 20793 29852 76672 132439 431001 563653 1127093 1195549 2471790 7494 22535 33279 71256 134564 425981 595036 1155581 1316209 2612166 10291 25031 32427 68747 136496 430178 653863 1220537 1391629 48541 rec. 5922742 34121 93936 106398 188133 422588 985995 1361821 2770404 3152338 48551 firms 1382 125 397 231 227 980 335 52 1367 15 1341 128 381 204 216 929 344 53 1326 15 1312 129 382 186 208 905 344 50 1299 13 1257 115 343 186 219 863 331 50 1244 13 1336 140 386 186 232 944 327 50 1321 15 48551 estab. 1532 126 397 231 229 983 370 94 1447 85 1480 129 382 204 219 934 372 92 1398 82 1451 129 384 186 210 909 372 93 1374 77 1395 117 344 187 221 869 358 88 1315 80 1473 140 387 186 232 945 359 86 1390 83 48551 empl. 32328 0 826 1552 3105 5483 13022 6908 25413 6915 33589 0 789 1364 2963 5116 13457 7722 26295 7294 34057 0 814 1265 2882 4961 14021 7662 26644 7413 33406 0 718 1257 3001 4976 13570 7408 25954 7452 32162 0 803 1260 3230 5293 13282 6405 24980 7182 48551 ann. pay. 594388 4849 12077 22151 46058 85135 223604 135612 444351 150037 651402 4458 12549 19502 44811 81320 248967 146239 476526 174876 668710 3788 13931 18764 44302 80785 262711 155123 498619 170091 659518 3443 12344 19148 46080 81015 258347 146074 485436 174082 666966 16149 14390 20858 53310 104707 267568 136105 508380 158586 48551 rec. 2025376 58542 79064 106421 218914 462941 784265 374375 1621581 403795 48599 firms 2590 349 898 458 363 2068 404 90 2562 28 2475 303 821 450 351 1925 417 100 2442 33 2556 340 830 421 393 1984 430 104 2518 38 2559 333 850 417 363 1963 443 111 2517 42 2516 281 863 404 387 1935 437 100 2472 44 48599 estab. 2765 350 898 458 365 2071 441 123 2635 130 2665 304 821 450 352 1927 455 147 2529 136 2760 341 830 421 393 1985 464 159 2608 152 2767 333 850 417 364 1964 479 156 2599 168 2772 281 863 408 388 1940 469 169 2578 194 48599 empl. 48456 0 1886 3086 4906 9878 16284 11784 37946 10510 49244 0 1700 3000 4780 9480 16294 13223 38997 10247 52169 0 1722 2788 5282 9792 16580 13063 39435 12734 52881 0 1792 2856 4941 9589 17699 12971 40259 12622 51090 0 1800 2687 5295 9782 16824 11801 38407 12683 48599 ann. pay. 821908 12377 29815 43437 72003 157632 262122 195986 615740 206168 887459 14298 29850 41070 74258 159476 274911 232366 666753 220706 973552 20988 28860 42987 80232 173067 295041 243617 711725 261827 1013246 13850 33749 44733 82165 174497 301419 256751 732667 280579 1018183 18361 35906 44101 89124 187492 319010 243426 749928 268255 48599 rec. 2546116 55143 142902 142486 233399 573930 785224 534518 1893672 652444 48611 firms 54 5 4 1 2 12 5 2 19 35 49 4 7 0 1 12 3 5 20 29 48 5 5 1 1 12 4 3 19 29 48 6 7 2 1 16 4 4 24 24 52 2 12 4 3 21 3 2 26 26 48611 estab. 358 5 4 1 4 14 8 12 34 324 327 4 7 0 1 12 6 16 34 293 307 5 5 1 1 12 7 4 23 284 229 6 7 2 1 16 12 14 42 187 261 2 12 4 3 21 7 6 34 227 48611 empl. 7333 [a] [a] [a] [b] [b] [c] [e] 651 6682 7137 0 12 0 [a] [b] 116 [f] 1097 6040 6709 0 [a] [a] [a] [b] 162 [e] 579 6130 5995 [a] 13 [a] [a] [b] 156 [f] 716 5279 6030 [a] 22 [b] 41 84 [b] [c] 291 5739 48611 ann. pay. 442039 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 35025 407014 453446 18 407 0 (D) (D) 4345 (D) 42344 411102 425645 131 (D) (D) (D) (D) 5573 (D) 20961 404684 430919 (D) 1028 (D) (D) (D) 10607 (D) 35750 395169 472339 (D) 1453 (D) 983 3665 (D) (D) 15255 457084 48611 rec. 3783097 (D) 82606 (D) 3542 (D) (D) (D) 171938 3611159 48621 firms 141 11 43 12 13 79 11 8 98 43 139 7 41 17 9 74 10 7 91 48 140 10 42 13 10 75 12 8 95 45 153 15 45 16 12 88 9 13 110 43 154 15 39 15 12 81 13 12 106 48 48621 estab. 1561 11 43 12 13 79 24 13 116 1445 1683 7 41 17 9 74 23 7 104 1579 1938 10 42 13 10 75 27 11 113 1825 2017 15 45 16 12 88 19 20 127 1890 1936 15 39 15 12 81 27 61 169 1767 48621 empl. 35092 [a] 92 [b] 171 [e] 379 [e] 1019 34073 34511 0 79 102 125 306 285 428 1019 33492 39214 0 91 77 134 302 415 382 1099 38115 38189 0 92 105 159 356 282 899 1537 36652 37450 0 87 92 168 347 353 1234 1934 35516 48621 ann. pay. 1993819 (D) 3552 (D) 9500 (D) 26366 (D) 59767 1934052 2205385 5865 3395 4877 6638 20775 18057 19881 58713 2146672 2961066 4523 4334 5270 8567 22694 25450 19048 67192 2893874 2981259 1462 4993 6162 11008 23625 16907 46732 87264 2893995 2994108 10804 5195 4843 9666 30508 29800 76510 136818 2857290 48621 rec. 35896535 166885 33658 110424 724389 1035356 844907 686050 2566313 33330222 48691 firms 47 4 8 1 2 15 2 4 21 26 53 3 7 2 3 15 4 3 22 31 51 5 6 2 3 16 3 3 22 29 52 3 9 3 2 17 5 3 25 27 60 3 11 4 4 22 5 3 30 30 48691 estab. 490 4 8 1 5 18 16 34 68 422 482 3 7 2 6 18 20 27 65 417 497 5 6 2 3 16 16 30 62 435 482 3 9 3 2 17 18 30 65 417 429 3 11 4 4 22 20 11 53 376 48691 empl. 5935 [a] [a] [a] [b] [b] [b] 596 735 5200 5940 [a] 15 [a] [b] [b] [c] [e] 705 5235 6276 0 [a] [a] [b] [b] 97 [e] 595 5681 6004 [a] [b] [b] [b] [b] [c] [e] 604 5400 5871 [a] [b] [b] 53 [c] 201 [c] 472 5399 48691 ann. pay. 347012 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 31121 37581 309431 339036 (D) 171 (D) (D) (D) (D) (D) 35873 303163 393122 210 (D) (D) (D) (D) 4573 (D) 32447 360675 416575 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 24966 391609 383845 (D) (D) (D) 2908 (D) 9834 (D) 28601 355244 48691 rec. 4535869 (D) (D) (D) 11245 (D) 63724 (D) 271904 4263965 48699 firms 15 0 2 1 0 3 2 0 5 10 14 2 0 2 0 4 2 0 6 8 15 0 2 1 0 3 3 0 6 9 16 0 1 2 1 4 2 0 6 10 25 2 1 1 4 8 1 1 10 15 48699 estab. 86 0 2 1 0 3 7 0 10 76 58 2 0 2 0 4 7 0 11 47 60 0 2 1 0 3 8 0 11 49 57 0 1 2 1 4 6 0 10 47 75 2 1 1 4 8 5 1 14 61 48699 empl. 1046 0 [a] [a] 0 [a] [b] 0 88 958 561 [a] 0 [a] 0 [a] [b] 0 98 463 761 0 [a] [a] 0 14 104 0 118 643 735 0 [a] [a] [a] [b] [b] 0 105 630 1011 [a] [a] [a] 45 [b] [b] [a] 114 897 48699 ann. pay. 64972 0 (D) (D) 0 (D) (D) 0 4366 60606 34822 (D) 0 (D) 0 (D) (D) 0 5586 29236 48750 0 (D) (D) 0 517 5440 0 5957 42793 51553 0 (D) (D) (D) (D) (D) 0 5348 46205 65179 (D) (D) (D) 2032 (D) (D) (D) 6855 58324 48699 rec. 837788 (D) (D) (D) 6517 (D) (D) (D) 38881 798907 48711 firms 431 102 148 50 44 344 56 18 418 13 420 73 163 51 49 336 55 15 406 14 414 77 173 42 41 333 52 16 401 13 484 99 189 53 61 402 55 14 471 13 500 118 193 49 58 418 60 12 490 10 48711 estab. 472 102 148 50 44 344 60 25 429 43 458 73 163 51 49 336 61 19 416 42 454 77 173 42 43 335 57 22 414 40 521 99 189 53 64 405 60 18 483 38 538 118 194 49 62 423 66 18 507 31 48711 empl. 9033 [a] 305 336 637 [g] 2014 2412 [i] [h] 8704 [a] 300 331 683 [g] 2000 2093 [i] [h] 8658 [a] 349 274 575 [g] 1916 2410 [i] [h] 8605 [a] 365 327 865 [g] 1966 1899 [i] [h] 7162 [a] 378 320 782 [g] 2158 1504 [i] [g] 48711 ann. pay. 187007 (D) 5341 5782 11291 (D) 34639 50623 (D) (D) 188320 (D) 5369 6427 11759 (D) 36425 48715 (D) (D) 192844 (D) 6114 5887 8232 (D) 35625 52999 (D) (D) 188107 (D) 8643 6289 15584 (D) 35400 36443 (D) (D) 164355 (D) 8060 6613 12874 (D) 40830 34572 (D) (D) 48711 rec. 516114 (D) 38994 24583 45263 (D) 137637 103023 (D) (D) 48721 firms 1688 509 725 206 127 1567 92 18 1677 11 1619 436 737 197 126 1496 94 20 1610 9 1612 432 715 183 142 1472 111 18 1601 11 1670 449 759 191 137 1536 104 20 1660 10 1756 584 768 164 116 1632 97 19 1748 8 48721 estab. 1718 509 725 208 129 1571 96 25 1692 26 1649 436 737 199 128 1500 100 28 1628 21 1642 432 715 185 143 1475 118 24 1617 25 1699 449 759 193 137 1538 111 26 1675 24 1784 584 768 164 117 1633 106 24 1763 21 48721 empl. 12296 0 1264 1338 1660 4262 3214 2622 10098 2198 12262 0 1368 1300 1641 4309 3446 2534 10289 1973 12964 0 1338 1192 1880 4410 3986 1958 10354 2610 12921 0 1407 1223 1816 4446 3778 2556 10780 2141 10478 0 1431 1088 1505 4024 3431 1760 9215 1263 48721 ann. pay. 273728 14876 32059 28157 37746 112838 63388 50927 227153 46575 295530 15028 35164 31044 30149 111385 75230 59494 246109 49421 331164 19979 38113 27460 36487 122039 91131 50658 263828 67336 313306 13223 38829 28742 37716 118510 85492 52248 256250 57056 281631 21692 39120 27918 38457 127187 87969 41781 256937 24694 48721 rec. 987696 105118 165570 93133 123355 487176 292320 122782 902278 85418 48799 firms 159 26 62 23 22 133 20 4 157 2 155 25 67 19 18 129 19 6 154 1 152 24 63 20 20 127 20 4 151 1 154 33 65 16 19 133 15 5 153 1 177 45 70 20 16 151 20 4 175 2 48799 estab. 163 26 63 23 22 134 21 6 161 2 160 25 67 20 19 131 20 8 159 1 158 24 65 20 21 130 21 6 157 1 160 33 67 16 20 136 16 7 159 1 181 45 71 20 16 152 21 6 179 2 48799 empl. 1747 [a] [c] [c] 302 [f] 750 377 [g] [b] 1911 [a] 146 132 255 [f] 835 538 [g] [a] 1990 [a] 130 133 269 [f] 863 593 [g] [a] 1888 [a] 132 109 269 [f] 686 690 [g] [a] 1693 [a] 134 131 210 [e] 730 481 [g] [a] 48799 ann. pay. 51256 (D) (D) (D) 7577 (D) 21542 13471 (D) (D) 56852 (D) 3534 3865 7069 (D) 23361 17402 (D) (D) 59456 (D) 3466 4289 7134 (D) 24035 19528 (D) (D) 55393 (D) 4097 2796 8301 (D) 19007 20032 (D) (D) 51495 (D) 4034 3709 5657 (D) 23319 12967 (D) (D) 48799 rec. 258450 (D) 22870 17382 24130 (D) 114789 70523 (D) (D) 48811 firms 1265 124 471 200 184 979 197 47 1223 42 1230 116 453 205 171 945 200 43 1188 42 1231 118 449 208 160 935 208 43 1186 45 1200 110 445 202 157 914 197 46 1157 43 1228 112 442 206 160 920 207 57 1184 44 48811 estab. 1826 124 471 202 190 987 217 177 1381 445 1834 116 454 205 176 951 224 168 1343 491 1834 118 449 210 162 939 228 169 1336 498 1811 110 445 204 158 917 222 135 1274 537 1942 112 443 206 163 924 243 244 1411 531 48811 empl. 60268 0 984 1335 2433 4752 7008 5948 17708 42560 62944 0 921 1351 2345 4617 7403 5462 17482 45462 67932 0 922 1383 2148 4453 7830 6066 18349 49583 65876 0 927 1337 2113 4377 7238 6316 17931 47945 67572 0 927 1338 2122 4387 7412 8317 20116 47456 48811 ann. pay. 1215867 5440 16832 25196 48753 96221 172957 146339 415517 800350 1431085 8229 18328 27239 54612 108408 189143 150183 447734 983351 1569466 8945 19264 33228 49197 110634 214634 185616 510884 1058582 1515341 9813 27577 29126 52824 119340 194563 195147 509050 1006291 1762700 72077 20488 30072 50465 173102 217703 313010 703815 1058885 48811 rec. 5602059 461902 109632 131839 213440 916813 860989 1101555 2879357 2722702 48819 firms 2184 247 996 383 244 1870 209 57 2136 48 2148 207 935 437 239 1818 220 61 2099 49 2174 236 913 430 251 1830 231 66 2127 47 2259 244 923 484 242 1893 253 64 2210 49 2403 292 1052 486 251 2081 222 45 2348 55 48819 estab. 2526 247 996 383 254 1880 226 89 2195 331 2471 207 935 437 249 1828 236 90 2154 317 2534 236 913 431 260 1840 245 102 2187 347 2606 244 923 484 247 1898 270 94 2262 344 2984 292 1052 486 255 2085 244 88 2417 567 48819 empl. 54453 0 2212 2526 3300 8038 7644 8460 24142 30311 55894 0 2061 2891 3203 8155 7991 8671 24817 31077 58769 0 2043 2865 3345 8253 8375 8879 25507 33262 61709 0 2007 3167 3174 8348 9126 9867 27341 34368 58777 0 2252 3201 3384 8837 8099 6596 23532 35245 48819 ann. pay. 1860616 33061 53320 65106 91352 242839 236432 244575 723846 1136770 2023066 13023 59112 76617 100918 249670 254508 299945 804123 1218943 2064563 20582 52459 77509 101947 252497 257502 272405 782404 1282159 2198082 30136 53652 82859 99709 266356 301801 279586 847743 1350339 2136713 20991 66723 92700 116491 296905 285806 214974 797685 1339028 48819 rec. 7145451 73659 304435 352675 389583 1120352 920752 672500 2713604 4431847 48821 firms 472 53 120 81 72 326 71 35 432 40 476 35 134 82 69 320 82 33 435 41 451 37 120 77 66 300 76 38 414 37 454 41 120 86 55 302 78 35 415 39 489 59 149 82 55 345 73 31 449 40 48821 estab. 821 53 122 83 81 339 95 104 538 283 837 35 138 83 77 333 107 94 534 303 821 37 120 78 74 309 98 98 505 316 831 41 121 88 59 309 100 89 498 333 924 59 150 84 59 352 104 89 545 379 48821 empl. 18704 0 257 552 977 1786 2513 4876 9175 9529 20972 0 273 574 892 1739 3400 4899 10038 10934 21427 0 258 488 879 1625 2877 5262 9764 11663 22954 0 273 571 802 1646 3010 5477 10133 12821 20667 0 317 553 761 1631 2589 4108 8328 12339 48821 ann. pay. 572485 7294 6431 15887 26635 56247 65580 154029 275856 296629 672460 1244 6954 17230 22778 48206 84001 152766 284973 387487 714434 1377 6983 13873 24896 47129 76391 163090 286610 427824 738994 1694 7785 15068 21510 46057 82153 170691 298901 440093 733877 11174 10948 18561 23841 64524 83710 141836 290070 443807 48821 rec. 2324028 37907 74164 76010 98036 286117 256912 341860 884889 1439139 48831 firms 145 11 36 13 17 77 27 16 120 25 148 8 32 21 17 78 26 16 120 28 145 13 27 18 18 76 27 16 119 26 157 15 37 19 23 94 23 14 131 26 169 18 41 21 20 100 27 16 143 26 48831 estab. 196 11 36 13 20 80 31 22 133 63 199 8 33 21 20 82 29 21 132 67 196 13 27 18 19 77 30 22 129 67 201 15 37 19 24 95 26 20 141 60 212 18 41 21 22 102 32 22 156 56 48831 empl. 7471 0 67 93 247 407 887 1506 2800 4671 7427 0 65 146 230 441 843 1207 2491 4936 7445 0 56 118 243 417 882 1715 3014 4431 7304 0 82 136 340 558 855 1097 2510 4794 6304 0 76 143 270 489 718 1205 2412 3892 48831 ann. pay. 277692 800 1950 3570 9506 15826 32157 57342 105325 172367 264651 189 1531 5580 9212 16512 29417 46260 92189 172462 265766 366 1423 5229 9111 16129 27065 56376 99570 166196 254864 1648 2555 5578 11800 21581 26344 48634 96559 158305 245979 2249 1962 6273 9652 20136 24473 52113 96722 149257 48831 rec. 1082342 10158 9178 23750 71536 114622 102661 331359 548642 533700 48832 firms 400 41 93 38 59 231 77 46 354 46 383 27 97 32 51 207 79 49 335 48 371 23 85 39 52 199 76 50 325 46 385 37 95 30 55 217 69 54 340 45 380 40 90 42 50 222 66 49 337 43 48832 estab. 619 41 96 38 64 239 106 91 436 183 601 27 100 33 52 212 95 101 408 193 607 23 88 40 52 203 97 92 392 215 612 37 98 30 57 222 85 113 420 192 595 40 90 42 55 227 89 88 404 191 48832 empl. 44967 0 216 240 849 1305 3201 6952 11458 33509 43785 0 225 218 660 1103 2823 7182 11108 32677 53496 0 182 259 715 1156 2804 6914 10874 42622 50273 0 221 205 775 1201 2596 8711 12508 37765 50428 0 200 287 711 1198 2620 6450 10268 40160 48832 ann. pay. 2029910 10788 7212 6285 27276 51561 114350 258947 424858 1605052 2016081 17267 7901 6597 22821 54586 93030 243894 391510 1624571 2194692 1252 6515 8475 25626 41868 106962 255348 404178 1790514 2249516 3793 10705 8762 27224 50484 93761 316750 460995 1788521 2425187 20444 15700 12835 26300 75279 93672 278464 447415 1977772 48832 rec. 5647484 54288 44911 71648 105197 276044 381472 872072 1529588 4117896 48833 firms 826 150 356 99 85 690 91 25 806 20 815 119 362 106 89 676 95 19 790 25 784 96 360 105 84 645 96 21 762 22 756 90 339 101 81 611 104 17 732 24 753 113 332 90 83 618 93 20 731 22 48833 estab. 906 150 356 101 90 697 107 38 842 64 891 119 362 108 94 683 111 30 824 67 863 96 360 107 89 652 113 28 793 70 830 90 339 103 87 619 120 23 762 68 828 113 332 90 91 626 108 27 761 67 48833 empl. 11535 0 579 687 1109 2375 3577 2894 8846 2689 11393 0 593 729 1206 2528 3885 2006 8419 2974 11775 0 582 715 1117 2414 3578 2544 8536 3239 11957 0 552 706 1077 2335 3945 2117 8397 3560 11224 0 514 615 1112 2241 3463 2434 8138 3086 48833 ann. pay. 429598 15449 40981 21404 37694 115528 125950 82209 323687 105911 430114 10243 41929 22772 41270 116214 137674 63897 317785 112329 478748 13489 41590 25178 37990 118247 135085 88548 341880 136868 507806 7917 41092 25164 37734 111907 152563 85943 350413 157393 509953 13883 40438 25781 40715 120817 150301 96441 367559 142394 48833 rec. 1818193 52962 109763 87111 183794 433630 584291 302437 1320358 497835 48839 firms 817 135 423 115 50 723 62 20 805 12 755 98 413 93 65 669 62 13 744 11 732 106 382 94 62 644 61 15 720 12 726 100 389 101 43 633 68 17 718 8 693 98 351 104 46 599 67 15 681 12 48839 estab. 963 135 425 120 67 747 90 61 898 65 902 99 415 97 75 686 100 51 837 65 877 106 391 100 71 668 82 60 810 67 853 100 392 106 59 657 81 58 796 57 818 98 353 107 58 616 84 54 754 64 48839 empl. 8480 0 793 775 671 2239 1984 1776 5999 2481 8838 0 784 611 917 2312 2288 1388 5988 2850 8915 0 714 615 867 2196 2203 1586 5985 2930 9168 0 725 660 597 1982 2567 2112 6661 2507 9249 0 662 676 599 1937 2547 2218 6702 2547 48839 ann. pay. 286379 6061 24343 23575 24873 78852 67378 72052 218282 68097 284484 8241 23432 18544 29109 79326 73437 68926 221689 62795 311540 4369 22776 20211 28928 76284 69813 77370 223467 88073 337802 4073 25997 22534 23647 76251 89774 88987 255012 82790 395886 3058 22654 28600 20652 74964 101233 115366 291563 104323 48839 rec. 1044091 12707 69756 83687 57130 223280 269197 284333 776810 267281 48841 firms 5851 695 2696 1292 793 5476 357 14 5847 4 5948 634 2778 1320 847 5579 346 16 5941 7 5902 608 2752 1282 848 5490 385 18 5893 9 6105 673 2780 1343 864 5660 421 14 6095 10 6632 850 3082 1384 864 6180 429 14 6623 9 48841 estab. 6045 695 2758 1295 833 5581 386 22 5989 56 6145 635 2781 1323 876 5615 372 41 6028 117 6078 608 2755 1287 872 5522 414 47 5983 95 6294 673 2783 1347 893 5696 444 51 6191 103 6813 850 3085 1388 893 6216 470 52 6738 75 48841 empl. 37271 0 5801 8414 10320 24535 10139 [f] [k] [g] 39934 0 5902 8660 11127 25689 9493 1522 36704 3230 41753 0 5991 8442 11070 25503 10930 1682 38115 3638 43742 0 6015 8847 11359 26221 11986 1321 39528 4214 43344 0 6674 9120 11468 27262 12091 1130 40483 2861 48841 ann. pay. 809073 27033 122798 156240 212083 518154 228491 (D) (D) (D) 878687 19977 107702 164518 235358 527555 232296 37047 796898 81789 961739 14402 111078 169911 245949 541340 274544 42417 858301 103438 1030781 20679 115325 179977 253016 568997 309266 32555 910818 119963 1064803 26336 131241 192551 266338 616466 310977 37696 965139 99664 48841 rec. 3162921 111819 551820 608294 743284 2015217 794288 95855 2905360 257561 48849 firms 577 121 219 78 52 470 66 21 557 20 661 154 236 91 54 535 82 21 638 23 769 171 288 120 54 633 84 30 747 22 810 156 320 122 77 675 79 32 786 24 1120 199 473 168 116 956 103 33 1092 28 48849 estab. 705 121 219 79 53 472 73 35 580 125 798 155 236 92 54 537 87 39 663 135 932 171 289 121 54 635 89 52 776 156 1031 156 321 123 77 677 87 62 826 205 1425 199 473 169 116 957 139 93 1189 236 48849 empl. 9471 0 442 505 705 1652 2719 [g] [i] [h] 10609 0 468 564 713 1745 3295 2006 7046 3563 14454 0 573 772 729 2074 3275 3538 8887 5567 17541 0 635 772 1015 2422 2995 4580 9997 7544 18616 0 972 1078 1544 3594 4122 3074 10790 7826 48849 ann. pay. 232196 9067 9168 9938 16334 44507 54559 (D) (D) (D) 269990 10156 11378 11640 15304 48478 72942 51382 172802 97188 347081 10499 12886 17901 18781 60067 76724 88363 225154 121927 452508 8762 15943 19486 22483 66674 72181 119174 258029 194479 511137 7598 23683 24796 37495 93572 109117 85021 287710 223427 48849 rec. 1560202 38281 118613 124667 116175 397736 353129 220580 971445 588757 48851 firms 12204 1287 5826 2477 1338 10928 960 215 12103 101 11884 1014 5820 2390 1354 10578 991 207 11776 108 11700 1092 5555 2384 1323 10354 1031 208 11593 107 11716 1060 5607 2356 1353 10376 1027 200 11603 113 11574 1137 5573 2306 1283 10299 977 188 11464 110 48851 estab. 15806 1291 5847 2562 1570 11270 1751 1369 14390 1416 15464 1017 5850 2468 1573 10908 1719 1360 13987 1477 15177 1093 5578 2463 1526 10660 1763 1249 13672 1505 15334 1071 5634 2455 1518 10678 1692 1118 13488 1846 15476 1137 5591 2398 1484 10610 1791 1233 13634 1842 48851 empl. 148394 0 12920 16213 17522 46655 35205 30366 112226 36168 157548 0 13021 15655 17818 46494 36674 31266 114434 43114 161662 0 12436 15533 17492 45461 37960 30786 114207 47455 168159 0 12407 15246 17929 45582 38761 28680 113023 55136 164374 0 12286 14907 16893 44086 36201 25047 105334 59040 48851 ann. pay. 5445908 53268 412119 562122 638895 1666404 1275518 1092884 4034806 1411102 5885937 43313 429627 562157 666306 1701403 1336958 1188478 4226839 1659098 6620349 62039 444988 577680 671912 1756619 1476563 1210154 4443336 2177013 6829426 59225 427417 571973 703102 1761717 1521629 1085208 4368554 2460872 6809918 84371 430213 570449 696359 1781392 1482404 1043322 4307118 2502800 48851 rec. 27687080 536210 2609369 2514853 2616741 8277173 4844266 3000006 16121445 11565635 48899 firms 991 181 459 150 77 867 85 28 980 11 1164 285 508 151 100 1044 89 21 1154 10 1405 316 629 202 112 1259 106 27 1392 13 1350 236 654 197 118 1205 105 29 1339 11 1205 165 610 184 115 1074 89 29 1192 13 48899 estab. 1051 181 459 150 79 869 91 52 1012 39 1250 285 508 151 102 1046 94 42 1182 68 1521 316 629 202 113 1260 118 50 1428 93 1473 238 654 197 119 1208 117 76 1401 72 1325 165 610 184 116 1075 109 67 1251 74 48899 empl. 20745 0 964 978 1035 2977 3368 2930 9275 11470 20831 0 1084 957 1319 3360 3664 2912 9936 10895 24744 0 1310 1268 1442 4020 4147 3246 11413 13331 25928 0 1365 1272 1569 4206 4190 4393 12789 13139 24911 0 1349 1198 1504 4051 3498 4203 11752 13159 48899 ann. pay. 681751 5779 17191 18419 21456 62845 87646 65645 216136 465615 759070 18911 22010 17996 29886 88803 93581 69111 251495 507575 978589 19540 28401 26990 33620 108551 123943 98042 330536 648053 983050 8748 27815 25952 39801 102316 114633 137259 354208 628842 957234 6829 27531 25068 41804 101232 104705 92145 298082 659152 48899 rec. 3005324 33460 166571 115669 155265 470965 340531 303363 1114859 1890465 49211 firms 2464 490 1054 347 222 2113 252 70 2435 29 2616 459 1209 355 223 2246 274 64 2584 32 2762 479 1284 381 255 2399 266 66 2731 31 2996 506 1432 420 273 2631 275 61 2967 29 3152 545 1564 413 268 2790 278 58 3126 26 49211 estab. 6096 490 1057 348 230 2125 318 196 2639 3457 6309 459 1214 355 230 2258 330 204 2792 3517 6667 479 1289 382 267 2417 318 217 2952 3715 7105 506 1436 426 280 2648 343 186 3177 3928 7447 545 1567 414 286 2812 396 191 3399 4048 49211 empl. 468988 0 2033 2261 3055 7349 9721 11564 28634 440354 508558 0 2325 2323 3001 7649 10321 10840 28810 479748 548858 0 2437 2481 3490 8408 10268 10897 29573 519285 513567 0 2714 2735 3799 9248 10691 9776 29715 483852 497358 0 2975 2669 3564 9208 10699 8341 28248 469110 49211 ann. pay. 13928686 15204 42222 50272 62878 170576 200517 256370 627463 13301223 15289462 11504 52954 51699 67592 183749 220547 241618 645914 14643548 15890525 19055 55065 57904 74314 206338 226527 267181 700046 15190479 16455540 21067 61852 65766 84572 233257 227055 251013 711325 15744215 15936070 17291 65983 65975 83355 232604 249857 214795 697256 15238814 49211 rec. 54757288 87353 385472 332111 341835 1146771 921741 802573 2871085 51886203 49221 firms 5160 723 2470 754 527 4474 568 100 5142 18 5155 711 2565 681 527 4484 549 101 5134 21 5172 762 2493 746 523 4524 533 97 5154 18 5298 786 2633 725 515 4659 534 90 5283 15 5251 886 2587 705 486 4664 496 72 5232 19 49221 estab. 5627 723 2473 755 530 4481 649 210 5340 287 5629 711 2565 681 534 4491 612 215 5318 311 5630 762 2493 750 531 4536 605 187 5328 302 5750 786 2635 733 524 4678 593 195 5466 284 5726 886 2587 707 500 4680 571 147 5398 328 49221 empl. 70579 0 4663 4933 7142 16738 21850 14405 52993 17586 69810 0 4803 4451 7006 16260 20480 14560 51300 18510 70455 0 4634 4845 7205 16684 20572 14499 51755 18700 64008 0 4937 4735 6971 16643 20496 13329 50468 13540 55892 0 4849 4643 6587 16079 18626 9456 44161 11731 49221 ann. pay. 1363570 20498 92112 92336 134215 339161 390304 258795 988260 375310 1436498 31874 96548 90689 142750 361861 388496 280621 1030978 405520 1508906 30106 97164 106920 156123 390313 419881 276364 1086558 422348 1359792 26256 103757 100378 157027 387418 408579 273536 1069533 290259 1253249 25033 101801 106859 147821 381514 382337 200019 963870 289379 49221 rec. 4124355 108245 512740 419917 536458 1577360 1100416 558285 3236061 888294 49311 firms 2675 248 899 433 365 1945 482 179 2606 69 2741 259 962 411 371 2003 478 189 2670 71 2838 274 983 452 377 2086 483 191 2760 78 3004 260 1138 476 373 2247 494 188 2929 75 3152 333 1096 470 439 2338 514 199 3051 101 49311 estab. 3868 249 901 447 396 1993 665 527 3185 683 4246 261 963 421 407 2052 645 524 3221 1025 4415 276 984 465 403 2128 654 500 3282 1133 4500 261 1141 490 404 2296 670 531 3497 1003 4893 340 1097 482 478 2397 805 529 3731 1162 49311 empl. 65890 0 1993 2784 4732 9509 17196 20166 46871 19019 75946 0 2109 2692 4850 9651 16154 21708 47513 28433 80704 0 2130 2985 5063 10178 17247 22007 49432 31272 89356 0 2463 3160 5017 10640 17966 23980 52586 36770 94316 0 2406 3073 5815 11294 18392 21859 51545 42771 49311 ann. pay. 1804429 18696 45560 70824 122686 257766 463179 552603 1273548 530881 2121153 20773 46798 69216 133699 270486 461751 632140 1364377 756776 2359205 25220 49147 79818 143632 297817 495519 633305 1426641 932564 2656539 28967 61751 83179 145245 319142 533628 683268 1536038 1120501 2876318 28754 59084 88793 166274 342905 560806 658044 1561755 1314563 49311 rec. 9288010 115702 344075 361293 635718 1456788 1907776 1978856 5343420 3944590 49312 firms 558 36 146 94 102 378 120 34 532 26 583 62 145 104 87 398 122 37 557 26 612 48 161 118 87 414 138 36 588 24 607 45 156 122 86 409 139 34 582 25 608 53 158 117 83 411 138 34 583 25 49312 estab. 864 38 146 97 107 388 180 78 646 218 911 62 145 106 94 407 172 88 667 244 945 48 161 121 93 423 184 88 695 250 942 45 159 124 91 419 195 76 690 252 970 53 160 119 88 420 204 96 720 250 49312 empl. 22692 0 365 625 1392 2382 4995 5572 12949 9743 25404 0 335 720 1170 2225 4930 5401 12556 12848 27096 0 372 805 1123 2300 5326 5208 12834 14262 28231 0 367 820 1167 2354 5528 4800 12682 15549 28100 0 361 771 1106 2238 5427 5010 12675 15425 49312 ann. pay. 647103 3843 9580 18699 39801 71923 140469 142748 355140 291963 699395 5297 8521 20716 36313 70847 148051 139079 357977 341418 805809 3219 8625 21944 34441 68229 166630 154403 389262 416547 853705 6408 10990 22222 34294 73914 168075 142276 384265 469440 866540 3623 9831 22788 37139 73381 181854 151164 406399 460141 49312 rec. 4241802 19278 49500 98748 133510 301036 663428 508298 1472762 2769040 49313 firms 360 58 105 48 59 270 55 16 341 19 361 52 103 64 48 267 56 17 340 21 357 40 111 64 53 268 48 21 337 20 358 34 121 58 52 265 55 18 338 20 363 39 121 60 56 276 48 18 342 21 49313 estab. 509 58 105 48 69 280 100 59 439 70 516 54 103 65 54 276 99 63 438 78 516 42 112 66 54 274 91 69 434 82 552 34 124 58 60 276 100 76 452 100 539 39 122 64 64 289 78 73 440 99 49313 empl. 4511 0 237 304 693 1234 1482 950 3666 845 5143 0 224 425 612 1261 1386 1071 3718 1425 4891 0 241 419 698 1358 1215 1136 3709 1182 5459 0 279 366 665 1310 1310 1351 3971 1488 4798 0 268 364 693 1325 1233 1007 3565 1233 49313 ann. pay. 110249 4302 5776 6211 15136 31425 31381 20055 82861 27388 128232 2464 6573 8839 15081 32957 31001 27566 91524 36708 127052 2901 5802 9439 16091 34233 28324 31016 93573 33479 147543 1660 6843 8582 18235 35320 32761 35692 103773 43770 139954 2964 6988 8086 18850 36888 35481 29111 101480 38474 49313 rec. 1715364 27904 66053 95745 163416 353118 195602 274020 822740 892624 49319 firms 841 78 303 136 107 624 111 66 801 40 857 70 347 133 87 637 120 61 818 39 808 67 318 130 95 610 117 43 770 38 831 66 331 134 90 621 121 50 792 39 846 100 313 136 98 647 98 49 794 52 49319 estab. 1477 78 303 137 117 635 153 144 932 545 1281 71 347 134 95 647 158 127 932 349 1247 67 318 133 101 619 169 106 894 353 1191 66 331 137 97 631 162 142 935 256 1227 100 313 139 119 671 127 105 903 324 49319 empl. 26407 0 631 892 1367 2890 3339 4254 10483 15924 22113 0 722 912 1141 2775 3544 4053 10372 11741 23207 0 654 860 1228 2742 3928 2723 9393 13814 22220 0 711 880 1147 2738 3827 3118 9683 12537 22195 0 671 906 1292 2869 3434 3133 9436 12759 49319 ann. pay. 810943 3169 14010 22744 35409 75332 106867 133271 315470 495473 709091 3775 17561 24284 35664 81284 105094 123175 309553 399538 743271 2265 16834 24004 33698 76801 126305 92418 295524 447747 735353 3346 18112 25814 32580 79852 119438 114687 313977 421376 730372 3863 17325 26736 42778 90702 103914 121301 315917 414455 49319 rec. 2563165 22421 92707 156042 162639 433809 379022 499425 1312256 1250909 51111 firms 6616 501 2294 1462 1035 5292 957 244 6493 123 6415 456 2244 1407 1041 5148 919 222 6289 126 6172 366 2133 1390 988 4877 935 230 6042 130 6055 390 2122 1324 937 4773 938 214 5925 130 6023 410 2210 1297 873 4790 895 214 5899 124 51111 estab. 8686 501 2294 1463 1042 5300 1066 644 7010 1676 8625 466 2244 1408 1050 5168 1026 648 6842 1783 8586 370 2133 1393 998 4894 1050 691 6635 1951 8540 391 2122 1327 946 4786 1064 683 6533 2007 8728 410 2211 1303 897 4821 1166 791 6778 1950 51111 empl. 401373 0 5244 9743 13840 28827 36748 44072 109647 291726 393543 0 5080 9444 13909 28433 36017 40665 105115 288428 412627 0 4831 9304 13333 27468 36375 41895 105738 306889 413951 0 4767 8816 12673 26256 36761 40497 103514 310437 387993 0 5093 8658 11785 25536 35066 41439 102041 285952 51111 ann. pay. 12244525 22950 88594 159827 256270 527641 790723 1106015 2424379 9820146 12739812 38746 88842 166617 275365 569570 827742 1082473 2479785 10260027 14216000 26621 89005 174334 273104 563064 871866 1150097 2585027 11630973 14747105 21471 93887 176069 264425 555852 881372 1125874 2563098 12184007 14039848 21255 116570 174189 251838 563852 895733 1176228 2635813 11404035 51111 rec. 46477469 70262 453913 541918 702718 1768811 2407082 3286824 7462717 39014752 51112 firms 5719 616 2529 1008 673 4826 602 172 5600 119 5465 549 2434 971 642 4596 580 171 5347 118 5257 477 2301 954 632 4364 603 173 5140 117 5185 498 2235 953 632 4318 588 163 5069 116 5589 680 2461 945 624 4710 598 171 5479 110 51112 estab. 6250 616 2529 1008 676 4829 632 282 5743 507 5984 549 2434 971 645 4599 603 279 5481 503 6252 477 2301 955 640 4373 638 318 5329 923 6248 498 2236 956 637 4327 621 365 5313 935 6912 681 2461 953 640 4735 715 318 5768 1144 51112 empl. 131949 0 5463 6564 9065 21092 23571 24149 68812 63137 126824 0 5226 6288 8769 20283 22322 24112 66717 60107 135586 0 4912 6266 8613 19791 22916 26777 69484 66102 133245 0 4777 6317 8598 19692 23126 26174 68992 64253 127161 0 5310 6227 8437 19974 22476 25465 67915 59246 51112 ann. pay. 6247801 39976 153360 205659 339485 738480 1019264 1140052 2897796 3350005 6412418 42292 162428 213692 333103 751515 1019847 1214511 2985873 3426545 7676311 32330 162828 225186 348445 768789 1139334 1452317 3360440 4315871 7544103 39556 146904 222658 337819 746937 1091777 1365629 3204343 4339760 7190913 51959 164913 226361 350820 794053 1103771 1367926 3265750 3925163 51112 rec. 32824021 221339 673017 779818 1133571 2807745 3571329 5425415 11804489 21019532 51113 firms 2552 304 1205 379 222 2110 285 86 2481 71 2495 288 1199 344 235 2066 272 86 2424 71 2490 275 1180 340 230 2025 289 90 2404 86 2522 293 1193 329 248 2063 287 92 2442 80 2408 230 1201 326 217 1974 261 97 2332 76 51113 estab. 2683 304 1207 381 222 2114 293 96 2503 180 2646 288 1201 346 235 2070 279 101 2450 196 2661 275 1183 341 231 2030 296 103 2429 232 2698 294 1196 330 249 2069 296 108 2473 225 2713 230 1203 329 221 1983 291 116 2390 323 51113 empl. 90454 0 2441 2494 3010 7945 11487 11874 31306 59148 81391 0 2406 2287 3140 7833 10854 12316 31003 50388 87242 0 2390 2232 3113 7735 11517 12793 32045 55197 89676 0 2410 2137 3350 7897 11955 13270 33122 56554 90017 0 2375 2111 2939 7425 10495 13411 31331 58686 51113 ann. pay. 3781501 14994 68943 77194 103274 264405 413586 472242 1150233 2631268 3767370 14401 75211 79400 115177 284189 398323 534732 1217244 2550126 4309858 13809 73325 74379 116203 277716 451967 567701 1297384 3012474 4803151 38354 73190 74008 127556 313108 468958 640521 1422587 3380564 4863261 12932 75020 73168 118956 280076 430391 647285 1357752 3505509 51113 rec. 27937864 44301 320958 319902 479787 1164948 1716349 2653717 5535014 22402850 51114 firms 1139 101 464 202 147 914 138 44 1096 43 849 97 335 136 98 666 94 45 805 44 1146 108 456 197 150 911 136 43 1090 56 1164 107 467 201 151 926 146 37 1109 55 1136 143 485 199 109 936 118 30 1084 52 51114 estab. 1277 103 464 209 150 926 141 65 1132 145 970 97 335 136 101 669 97 63 829 141 1370 109 456 197 154 916 138 61 1115 255 1394 107 467 203 153 930 148 47 1125 269 1566 143 486 203 120 952 136 47 1135 431 51114 empl. 38024 0 1052 1365 1958 4375 5364 6693 16432 21592 31665 0 746 903 1327 2976 3491 7122 13589 18076 46240 0 1023 1299 2057 4379 5370 7187 16936 29304 45096 0 1016 1294 2070 4380 5585 6160 16125 28971 46913 0 1042 1328 1527 3897 4469 5107 13473 33440 51114 ann. pay. 1642916 3822 36324 50662 90101 180909 215022 274959 670890 972026 1454873 4536 27833 33821 58146 124336 156974 293182 574492 880381 2418061 6695 37223 63324 115385 222627 258105 334022 814754 1603307 2327697 11868 37047 50979 94976 194870 275488 325673 796031 1531666 2275843 9317 40438 55141 57982 162878 234596 266051 663525 1612318 51114 rec. 11989265 32293 170902 186540 204131 593866 766847 858116 2218829 9770436 51119 firms 2536 403 980 394 299 2076 296 78 2450 86 2533 392 1020 391 287 2090 288 78 2456 77 2591 404 1060 389 284 2137 293 72 2502 89 2381 297 994 363 284 1938 284 74 2296 85 2156 318 881 309 252 1760 243 79 2082 74 51119 estab. 2839 403 980 398 303 2084 304 120 2508 331 3020 392 1020 394 288 2094 296 130 2520 500 3077 406 1060 392 286 2144 302 122 2568 509 2878 297 997 363 299 1956 296 103 2355 523 2569 318 882 309 268 1777 258 113 2148 421 51119 empl. 66118 0 2005 2599 4005 8609 10911 9382 28902 37216 66611 0 2078 2542 3891 8511 10910 9992 29413 37198 67484 0 2226 2559 3918 8703 11546 10658 30907 36577 65619 0 2026 2415 3890 8331 11333 10986 30650 34969 55790 0 1777 2098 3401 7276 9274 10235 26785 29005 51119 ann. pay. 2231650 28669 58607 82025 133184 302485 337780 305353 945618 1286032 2446297 25530 66033 87520 132503 311586 351767 377355 1040708 1405589 2637338 40339 72051 87006 133043 332439 415532 451810 1199781 1437557 2604026 22050 71357 85119 136063 314589 403343 437977 1155909 1448117 2291356 17359 58020 74531 128383 278293 342781 474523 1095597 1195759 51119 rec. 12897093 72029 226886 238933 388039 925887 1130086 2232481 4288454 8608639 51121 firms 9426 933 3789 1537 1252 7511 1339 341 9191 235 8961 878 3514 1386 1228 7006 1365 339 8710 251 8382 881 3168 1263 1080 6392 1379 357 8128 254 8057 770 3106 1192 1031 6099 1329 368 7796 261 7699 879 2948 1212 925 5964 1179 307 7450 249 51121 estab. 11694 933 3800 1558 1296 7587 1612 884 10083 1611 11132 881 3527 1406 1258 7072 1604 752 9428 1704 10599 893 3183 1281 1103 6460 1580 662 8702 1897 10353 772 3107 1220 1058 6157 1489 699 8345 2008 10089 880 2961 1233 979 6053 1482 693 8228 1861 51121 empl. 283192 0 7939 10280 17068 35287 52744 54348 142379 140813 304663 0 7274 9139 16699 33112 55682 53877 142671 161992 331485 0 6597 8376 14683 29656 57215 61461 148332 183153 353344 0 6479 7970 14102 28551 55343 64087 147981 205363 312102 0 6033 8105 12749 26887 47423 50870 125180 186922 51121 ann. pay. 23615784 54417 395910 511009 931234 1892570 3303612 4203993 9400175 14215609 27695721 81849 371936 480768 974374 1908927 3790747 4926913 10626587 17069134 44090006 122077 319166 441076 880121 1762440 4109229 6392219 12263888 31826118 36954665 81433 332937 439169 840152 1693691 3728816 5065146 10487653 26467012 29930377 113171 318668 449253 807859 1688951 3485966 4103042 9277959 20652418 51121 rec. 96373815 292496 894492 1091038 1845517 4123543 7619505 9019867 20762915 75610900 51211 firms 9529 2881 4772 943 464 9060 343 60 9463 66 9581 2696 4923 951 512 9082 379 59 9520 61 9786 2709 5009 999 554 9271 392 69 9732 54 10226 2840 5284 1042 515 9681 428 66 10175 51 10563 3084 5625 927 473 10109 346 58 10513 50 51211 estab. 9703 2884 4777 953 479 9093 366 68 9527 176 9796 2698 4928 961 526 9113 405 66 9584 212 10018 2710 5017 1006 566 9299 419 76 9794 224 10595 2843 5295 1048 525 9711 454 81 10246 349 10943 3084 5634 938 493 10149 391 68 10608 335 51211 empl. 63336 0 8578 6173 6093 20844 12356 7785 40985 22351 72505 0 8853 6086 6817 21756 14852 7486 44094 28411 84549 0 9015 6500 7471 22986 14670 10299 47955 36594 96892 0 9472 6733 6824 23029 15834 9048 47911 48981 85659 0 10020 5980 6206 22206 12502 8099 42807 42852 51211 ann. pay. 4742149 443982 863510 347165 329054 1983711 552682 464944 3001337 1740812 5301296 449606 877075 288511 401325 2016517 688986 404291 3109794 2191502 5722993 433305 867393 312973 403641 2017312 811555 501056 3329923 2393070 6815633 444811 904641 333462 362571 2045485 979830 386463 3411778 3403855 6662753 466879 939946 312427 434582 2153834 776017 435034 3364885 3297868 51211 rec. 44832326 1363213 2643733 1466381 1663063 7136390 3048133 1066226 11250749 33581577 51212 firms 629 82 303 94 69 548 49 10 607 22 579 74 291 78 58 501 44 12 557 22 562 83 281 72 48 484 46 11 541 21 512 62 264 70 50 446 48 10 504 8 508 69 255 68 53 445 44 11 500 8 51212 estab. 711 83 303 94 72 552 59 14 625 86 706 75 291 78 61 505 48 18 571 135 678 83 283 72 51 489 50 17 556 122 537 62 266 71 52 451 53 13 517 20 541 69 258 69 59 455 52 14 521 20 51212 empl. 26900 0 637 589 888 2114 1970 974 5058 21842 27669 0 607 509 806 1922 1492 1148 4562 23107 13861 0 610 461 682 1753 1713 1096 4562 9299 5870 0 559 456 679 1694 1556 944 4194 1676 5311 0 536 447 729 1712 1588 925 4225 1086 51212 ann. pay. 889219 3873 42492 22906 45195 114466 94187 36805 245458 643761 1058311 4344 27821 32577 41108 105850 65120 48910 219880 838431 1118723 6616 34147 34074 37231 112068 86245 48041 246354 872369 306638 6758 28095 32697 38556 106106 86099 43485 235690 70948 311907 8849 27269 37291 35513 108922 91837 43264 244023 67884 51212 rec. 1544022 29257 131342 165690 334574 660863 470427 216237 1347527 196495 51213 firms 2301 367 552 476 438 1833 375 60 2268 33 2240 339 549 475 436 1799 345 64 2208 32 2158 345 563 396 427 1731 333 61 2125 33 2148 345 529 426 389 1689 366 59 2114 34 2129 339 466 393 440 1638 384 73 2095 34 51213 estab. 6280 369 558 495 477 1899 616 536 3051 3229 6197 345 556 495 477 1873 568 485 2926 3271 5884 345 583 405 481 1814 543 461 2818 3066 5353 345 539 446 435 1765 538 439 2742 2611 5198 339 472 405 466 1682 586 475 2743 2455 51213 empl. 132412 0 1318 3249 5785 10352 12749 11654 34755 97657 137137 0 1276 3197 5721 10194 11872 11664 33730 103407 143958 0 1315 2681 5713 9709 11711 11160 32580 111378 132661 0 1179 2879 5323 9381 13136 11851 34368 98293 134055 0 1107 2718 6053 9878 13526 14523 37927 96128 51213 ann. pay. 1083890 28240 16096 27745 46583 118664 106279 93673 318616 765274 1133532 20709 20742 29008 48941 119400 102933 106159 328492 805040 1129991 22943 21867 27326 50267 122403 108784 93746 324933 805058 1188564 33310 23169 29436 46548 132463 120197 105187 357847 830717 1340696 20048 19687 27584 53155 120474 120722 151143 392339 948357 51213 rec. 11007327 106754 96725 132321 287871 623671 732842 972918 2329431 8677896 51219 firms 3210 426 1685 525 287 2923 223 40 3186 24 3079 458 1553 491 300 2802 215 39 3056 23 3022 487 1458 504 267 2716 241 40 2997 25 2913 434 1457 463 266 2620 227 38 2885 28 2832 470 1467 391 242 2570 198 39 2807 25 51219 estab. 3370 427 1690 530 294 2941 280 80 3301 69 3190 460 1559 493 305 2817 244 75 3136 54 3150 487 1460 508 271 2726 252 87 3065 85 3047 434 1460 463 271 2628 242 103 2973 74 2970 470 1468 391 248 2577 241 86 2904 66 51219 empl. 32591 0 3264 3348 3865 10477 7973 6215 24665 7926 32853 0 2990 3158 4125 10273 7665 6625 24563 8290 34220 0 2869 3225 3654 9748 8508 6540 24796 9424 34714 0 2787 2981 3643 9411 8262 5513 23186 11528 28353 0 2798 2482 3221 8501 6991 5531 21023 7330 51219 ann. pay. 1714060 47233 169887 135067 182243 534430 382736 331136 1248302 465758 1681782 46800 156712 124231 196273 524016 394424 329081 1247521 434261 1834228 50033 151991 137801 186961 526786 437450 335495 1299731 534497 1845589 43240 153967 118811 183048 499066 446522 286125 1231713 613876 1670540 52437 148567 112155 164425 477584 403565 324602 1205751 464789 51219 rec. 4915358 223691 456539 338359 457766 1476355 1045694 832543 3354592 1560766 51221 firms 279 57 162 33 18 270 8 0 278 1 271 63 151 32 14 260 9 0 269 2 268 54 157 34 9 254 12 0 266 2 262 52 152 30 9 243 17 0 260 2 356 74 217 29 14 334 17 2 353 3 51221 estab. 279 57 162 33 18 270 8 0 278 1 274 63 151 32 14 260 9 0 269 5 276 59 157 34 9 259 12 0 271 5 270 52 152 30 9 243 22 0 265 5 370 74 217 29 14 334 17 7 358 12 51221 empl. 1073 0 294 212 233 739 [e] 0 [g] [a] 1042 0 265 205 194 664 [e] 0 [g] [b] 1110 0 285 222 118 625 [e] 0 [g] [b] 1225 0 275 202 118 595 [f] 0 [g] [b] 1916 0 393 188 167 748 687 [c] [g] [e] 51221 ann. pay. 48686 3615 13603 6584 12320 36122 (D) 0 (D) (D) 53115 4310 17384 5933 7317 34944 (D) 0 (D) (D) 54576 8039 14129 7638 5025 34831 (D) 0 (D) (D) 73294 5722 12621 8717 9316 36376 (D) 0 (D) (D) 114852 6781 16593 10621 7428 41423 30112 (D) (D) (D) 51221 rec. 548637 24729 76695 49636 25737 176797 148539 (D) (D) (D) 51222 firms 264 42 128 36 24 230 21 5 256 8 263 45 133 35 19 232 20 4 256 7 267 42 140 34 19 235 21 5 261 6 261 37 140 31 24 232 16 7 255 6 247 34 126 36 23 219 18 3 240 7 51222 estab. 289 42 128 36 24 230 21 5 256 33 289 47 133 35 19 234 20 4 258 31 310 43 140 34 21 238 21 9 268 42 305 37 140 31 27 235 16 10 261 44 303 34 126 37 28 225 22 8 255 48 51222 empl. 6970 0 240 236 323 799 928 407 2134 4836 6705 0 260 217 260 737 875 581 2193 4512 9001 0 269 213 257 739 870 757 2366 6635 8794 0 256 203 331 790 615 852 2257 6537 8705 0 231 248 331 810 770 440 2020 6685 51222 ann. pay. 675618 1818 12513 10232 15202 39765 63976 38860 142601 533017 676563 5727 12138 7775 14180 39820 69188 59553 168561 508002 1100330 5405 11523 10545 10235 37708 75589 34816 148113 952217 1042538 2248 14357 9872 17673 44150 53562 39739 137451 905087 954729 1338 12042 13471 22520 49371 49749 21777 120897 833832 51222 rec. 7250889 10602 45034 73967 110718 240321 271452 83174 594947 6655942 51223 firms 692 143 381 74 33 631 40 10 681 11 671 140 362 72 39 613 37 9 659 12 637 115 362 68 40 585 32 9 626 11 613 105 348 72 37 562 31 9 602 11 674 132 389 75 35 631 27 7 665 9 51223 estab. 718 143 381 74 34 632 47 16 695 23 701 141 362 73 39 615 46 15 676 25 670 115 363 69 40 587 42 18 647 23 645 105 348 73 37 563 41 17 621 24 706 132 389 77 35 633 35 15 683 23 51223 empl. 5185 0 729 476 419 1624 [g] 1050 [h] [g] 5229 0 696 461 499 1656 1333 1085 4074 1155 5125 0 695 422 528 1645 1181 1053 3879 1246 5050 0 677 444 487 1608 1048 1105 3761 1289 4548 0 695 455 462 1612 904 1045 3561 987 51223 ann. pay. 232378 11183 24878 16812 12563 65436 (D) 33679 (D) (D) 251842 7625 24229 15820 19144 66818 62521 35739 165078 86764 282621 20009 25967 13797 19979 79752 60706 46694 187152 95469 277208 19106 27806 15983 22163 85058 49864 48243 183165 94043 288954 11123 31114 17455 30748 90440 53941 52056 196437 92517 51223 rec. 2026566 36876 121777 105461 122841 386955 336870 351647 1075472 951094 51224 firms 1410 246 820 191 89 1346 52 6 1404 6 1539 250 889 204 119 1462 66 6 1534 5 1494 208 884 219 102 1413 66 9 1488 6 1599 237 954 219 104 1514 68 11 1593 6 1491 244 904 206 78 1432 47 6 1485 6 51224 estab. 1422 246 820 193 93 1352 57 7 1416 6 1553 250 889 207 123 1469 72 7 1548 5 1516 208 884 222 107 1421 78 10 1509 7 1621 237 954 224 107 1522 77 15 1614 7 1517 244 904 208 82 1438 61 9 1508 9 51224 empl. 10699 0 1586 1200 1167 3953 [g] 347 [i] [h] 7250 0 1774 1270 1560 4604 2203 396 7203 47 8127 0 1758 1420 1360 4538 2465 1072 8075 52 8449 0 1871 1402 1381 4654 2564 1178 8396 53 6398 0 1728 1298 1035 4061 1549 464 6074 324 51224 ann. pay. 649352 14191 43566 35553 38726 132036 (D) 5909 (D) (D) 266792 14057 50231 39116 51893 155297 75849 33514 264660 2132 326506 13103 51872 46815 51206 162996 95947 65444 324387 2119 313418 11829 56238 45553 51257 164877 105584 40704 311165 2253 233808 10010 50635 43262 44574 148481 61188 13560 223229 10579 51224 rec. 784604 39907 200684 145845 112864 499300 175848 39016 714164 70440 51229 firms 345 72 194 39 17 322 14 4 340 5 343 41 206 51 21 319 14 5 338 5 326 34 191 49 25 299 17 3 319 7 347 41 210 40 30 321 17 5 343 4 394 64 232 40 29 365 21 5 391 3 51229 estab. 403 72 194 40 17 323 15 33 371 32 396 41 206 52 21 320 15 38 373 23 397 34 191 50 25 300 24 25 349 48 409 41 210 41 30 322 17 35 374 35 473 64 232 41 29 366 21 52 439 34 51229 empl. 2547 0 356 255 209 820 432 778 2030 517 2979 0 350 323 272 945 [e] 902 [g] [f] 4253 0 352 325 340 1017 [e] 761 [g] [g] 3488 0 387 255 401 1043 [e] 943 [g] [g] 3454 0 419 246 364 1029 658 [f] [h] [f] 51229 ann. pay. 102145 5360 15256 6679 5651 32946 12902 29891 75739 26406 108178 6535 12969 10803 5182 35489 (D) 21265 (D) (D) 166168 2547 13161 9337 10948 35993 (D) 18874 (D) (D) 123387 2094 12957 7577 10308 32936 (D) 36261 (D) (D) 121786 1873 14293 7535 10227 33928 24361 (D) (D) (D) 51229 rec. 371248 8985 59042 23487 29004 120518 67322 (D) (D) (D) 51311 firms 5293 542 1146 1098 1340 4126 958 128 5212 81 5086 518 1186 1081 1196 3981 904 120 5005 81 4925 479 1252 1050 1105 3886 843 112 4841 84 4606 433 1238 963 1044 3678 730 109 4517 89 4249 414 1099 893 959 3365 688 109 4162 87 51311 estab. 6573 542 1147 1115 1401 4205 1246 469 5920 653 6537 520 1190 1096 1243 4049 1160 489 5698 839 6442 487 1260 1066 1156 3969 1067 427 5463 979 7297 441 1252 981 1112 3786 902 395 5083 2214 7029 415 1104 898 1027 3444 946 456 4846 2183 51311 empl. 114255 0 2640 7656 18124 28420 32574 15613 76607 37648 123469 0 2691 7389 16199 26279 30688 15305 72272 51197 121492 0 2812 7285 15008 25105 28955 14725 68785 52707 142650 0 2778 6644 14192 23614 25638 13594 62846 79804 130848 0 2543 6139 12965 21647 23974 14089 59710 71138 51311 ann. pay. 3626997 36134 59764 120671 308297 524866 821503 497107 1843476 1783521 4540588 57205 64066 141103 290425 552799 789520 554563 1896882 2643706 4840722 46235 71425 153698 301362 572720 848154 523498 1944372 2896350 5381144 35129 76069 127188 291717 530103 740074 538906 1809083 3572061 5061669 23625 60019 123365 273493 480502 719794 587067 1787363 3274306 51311 rec. 17553818 90075 208469 330365 659538 1288447 1956926 1802605 5047978 12505840 51312 firms 1107 153 262 134 102 651 250 114 1015 92 1119 112 299 146 110 667 248 117 1032 87 1107 120 294 143 95 652 260 102 1014 93 1081 107 308 126 108 649 240 103 992 89 1071 110 313 130 111 664 226 97 987 84 51312 estab. 1945 153 264 138 103 658 300 214 1172 773 2009 112 304 147 111 674 296 210 1180 829 2050 120 296 148 100 664 298 186 1148 902 1937 107 312 129 112 660 281 182 1123 814 2009 110 314 130 111 665 276 200 1141 868 51312 empl. 128726 0 566 920 1382 2868 11386 15946 30200 98526 126802 0 640 995 1542 3177 10951 15977 30105 96697 132151 0 639 938 1316 2893 11356 14668 28917 103234 126734 0 670 810 1492 2972 10241 15699 28912 97822 123409 0 666 860 1539 3065 9804 15373 28242 95167 51312 ann. pay. 6654464 35766 23242 23490 38630 121128 326095 589055 1036278 5618186 6823680 30508 26192 25075 44241 126016 325669 610232 1061917 5761763 7451334 36866 26979 27102 36271 127218 378256 581006 1086480 6364854 7358528 27028 68221 22150 39893 157292 339909 634551 1131752 6226776 7153575 13910 34845 22677 47812 119244 345686 654039 1118969 6034606 51312 rec. 33558561 54336 114346 87924 171990 428596 1280386 2076094 3785076 29773485 51321 firms 349 47 117 44 33 241 44 25 310 39 373 52 129 48 35 264 49 22 335 38 382 55 118 52 40 265 52 24 341 41 361 32 102 58 41 233 60 25 318 43 454 60 157 72 47 336 54 22 412 42 51321 estab. 752 47 117 45 33 242 69 67 378 374 755 52 129 49 42 272 67 56 395 360 689 55 118 53 41 267 65 58 390 299 887 32 102 61 41 236 64 53 353 534 1292 60 158 74 52 344 64 54 462 830 51321 empl. 32480 0 259 290 457 1006 1628 4313 6947 25533 33171 0 278 319 493 1090 1857 4104 7051 26120 39147 0 239 343 539 1121 1987 4693 7801 31346 41022 0 209 382 550 1141 2565 5101 8807 32215 61796 0 323 498 630 1451 2074 4537 8062 53734 51321 ann. pay. 1902915 27078 9769 5533 18010 60390 63379 262479 386248 1516667 2057419 17049 11720 8806 16224 53799 77487 279844 411130 1646289 2654028 26489 11061 9646 17384 64580 102398 372248 539226 2114802 2963623 6289 10366 11743 17516 45914 110051 376299 532264 2431359 3445590 5016 14788 20693 23502 63999 86634 335253 485886 2959704 51321 rec. 25288176 22964 125233 141573 123301 413071 471676 1762517 2647264 22640912 51322 firms 1516 167 616 259 161 1203 168 73 1444 72 1513 149 643 268 165 1225 164 49 1438 75 1446 141 641 262 146 1190 142 49 1381 65 1379 143 590 250 140 1123 142 46 1311 68 1244 132 534 213 128 1007 128 46 1181 63 51322 estab. 4203 167 618 273 177 1235 277 323 1835 2368 4609 150 646 272 177 1245 247 213 1705 2904 4581 141 647 271 154 1213 170 230 1613 2968 5805 143 593 255 146 1137 205 139 1481 4324 5599 132 534 223 141 1030 185 193 1408 4191 51322 empl. 146241 0 1364 1651 2147 5162 6299 11594 23055 123186 148948 0 1380 1767 2168 5315 6048 6734 18097 130851 173563 0 1420 1724 1946 5090 5314 6578 16982 156581 204426 0 1286 1658 1816 4760 5730 5260 15750 188676 238347 0 1121 1400 1694 4215 4487 5232 13934 224413 51322 ann. pay. 5368564 11214 33705 44909 62276 152104 199407 394929 746440 4622124 6002429 14309 38231 52771 74759 180070 192787 290069 662926 5339503 7430397 14363 40913 60914 71590 187780 178537 246343 612660 6817737 8766780 53053 37144 53879 65852 209928 222669 193327 625924 8140856 9004908 6137 33960 42040 61170 143307 159011 192615 494933 8509975 51322 rec. 56637054 39243 176555 205003 272312 693113 792474 1105964 2591551 54045503 51331 firms 3037 582 952 447 382 2363 474 131 2968 69 3188 486 1109 463 410 2468 510 129 3107 81 3357 511 1113 511 432 2567 534 156 3257 100 3279 418 1101 511 423 2453 566 152 3171 108 3044 401 1028 456 390 2275 519 135 2929 115 51331 estab. 22275 595 954 456 409 2414 664 374 3452 18823 23461 487 1122 469 439 2517 668 371 3556 19905 26223 512 1115 514 455 2596 675 469 3740 22483 27509 418 1102 515 447 2482 684 350 3516 23993 26883 402 1029 462 419 2312 711 393 3416 23467 51331 empl. 818245 0 2037 2965 5127 10129 18704 20366 49199 769046 815662 0 2323 3064 5478 10865 19982 21246 52093 763569 870235 0 2361 3410 5844 11615 21671 26056 59342 810893 905518 0 2334 3381 5636 11351 22514 24539 58404 847114 848013 0 2137 3026 5251 10414 20712 20301 51427 796586 51331 ann. pay. 42099071 51735 71656 104397 204601 432389 762293 900790 2095472 40003599 44613615 54566 83155 125647 227683 491051 908793 960546 2360390 42253225 49010081 332452 100242 137978 284465 855137 1053919 1302156 3211212 45798869 50210483 38089 83759 131266 249507 502621 1045732 1181359 2729712 47480771 47962181 59864 94568 120441 228701 503574 986237 917526 2407337 45554844 51331 rec. 231169001 571031 620296 644764 1081039 2917130 4418517 4650375 11986022 219182979 51332 firms 3356 709 1404 517 323 2953 277 67 3297 59 3597 703 1543 570 339 3155 308 67 3530 67 3912 731 1686 594 404 3415 349 73 3837 75 3890 645 1644 632 424 3345 376 86 3807 83 3691 634 1683 529 356 3202 338 78 3618 73 51332 estab. 7867 711 1413 536 365 3025 450 256 3731 4136 9263 738 1552 578 377 3245 457 406 4108 5155 10424 750 1694 603 460 3507 493 365 4365 6059 11610 652 1648 651 470 3421 550 603 4574 7036 11079 634 1687 546 423 3290 627 517 4434 6645 51332 empl. 162430 0 2958 3445 4234 10637 10210 9875 30722 131708 186048 0 3192 3755 4461 11408 11164 10296 32868 153180 202476 0 3600 3843 5320 12763 13218 11380 37361 165115 256558 0 3462 4182 5726 13370 14560 11609 39539 217019 216769 0 3492 3477 4669 11638 12266 10474 34378 182391 51332 ann. pay. 7101135 48435 77765 82637 124313 333150 300506 466450 1100106 6001029 8101780 72686 103408 101155 137892 415141 428787 418727 1262655 6839125 11027145 93245 110123 134339 189648 527355 584231 682418 1794004 9233141 13367882 53294 101891 127751 188323 471259 636297 538732 1646288 11721594 10418015 57815 94243 100746 146587 399391 545930 587816 1533137 8884878 51332 rec. 88061331 249952 566612 510291 624958 1951813 2788942 2339540 7080295 80981036 51333 firms 1664 354 614 249 156 1373 192 65 1630 34 1709 351 665 242 164 1422 171 75 1668 41 1794 368 695 253 168 1484 186 67 1737 57 1791 332 705 248 202 1487 179 62 1728 63 2237 412 945 335 220 1912 208 55 2175 62 51333 estab. 2083 357 616 249 160 1382 253 167 1802 281 2208 352 665 245 167 1429 236 171 1836 372 2458 370 696 255 169 1490 244 139 1873 585 2475 339 706 248 206 1499 219 102 1820 655 3060 416 945 346 250 1957 296 89 2342 718 51333 empl. 41232 0 1254 1607 2134 4995 8022 10891 23908 17324 43600 0 1352 1617 2229 5198 7011 12234 24443 19157 54587 0 1470 1694 2224 5388 7870 10291 23549 31038 59941 0 1490 1635 2733 5858 7547 10671 24076 35865 49808 0 1988 2213 2982 7183 8169 8339 23691 26117 51333 ann. pay. 1698084 38338 39361 61447 95808 234954 312375 366517 913846 784238 2167477 36546 46946 80241 111042 274775 422135 615629 1312539 854938 3341749 72916 58493 70834 93416 295659 409856 934855 1640370 1701379 3217934 39262 52955 59335 118091 269643 352222 558851 1180716 2037218 2666336 32807 69939 79656 116265 298667 404605 404271 1107543 1558793 51333 rec. 15577521 195558 505146 636499 880247 2217450 2195267 2299749 6712466 8865055 51334 firms 418 59 139 55 66 319 55 20 394 24 474 100 161 67 48 376 48 22 446 28 512 92 187 68 53 400 56 22 478 34 528 95 185 68 70 418 51 25 494 34 567 84 236 75 54 449 67 23 539 28 51334 estab. 679 61 139 57 67 324 74 85 483 196 791 100 161 69 49 379 58 55 492 299 728 92 188 68 54 402 70 50 522 206 737 95 185 76 76 432 52 69 553 184 746 84 237 78 57 456 81 75 612 134 51334 empl. 11818 0 276 379 875 1530 2270 3725 7525 4293 17608 0 337 445 663 1445 2014 3592 7051 10557 21252 0 384 452 720 1556 2033 3714 7303 13949 21259 0 398 441 934 1773 1920 4342 8035 13224 16001 0 467 489 714 1670 2672 3646 7988 8013 51334 ann. pay. 781838 8016 10591 17666 38350 74623 132501 285616 492740 289098 1235099 9937 15610 23257 29612 78416 108849 242646 429911 805188 1680417 20908 14705 18112 30241 83966 133962 323080 541008 1139409 1491568 4642 15605 21281 37781 79309 110057 293143 482509 1009059 1052506 4752 19971 20844 27729 73296 167783 238063 479142 573364 51334 rec. 6419151 31896 123276 114679 329231 599082 822784 2034311 3456177 2962974 51339 firms 740 196 337 102 47 682 31 12 725 15 888 232 401 109 68 810 46 16 872 16 1044 232 472 148 84 936 63 21 1020 24 1074 217 476 155 93 941 79 28 1048 26 825 164 381 102 74 721 55 23 799 26 51339 estab. 863 196 337 102 49 684 35 25 744 119 1219 232 401 109 69 811 54 21 886 333 1376 232 472 148 85 937 70 27 1034 342 1418 217 476 155 96 944 84 33 1061 357 1015 164 381 102 75 722 60 39 821 194 51339 empl. 7274 0 659 673 579 1911 1247 1184 4342 2932 8934 0 795 717 870 2382 1667 2368 6417 2517 16929 0 946 987 1104 3037 2348 2923 8308 8621 18907 0 981 994 1212 3187 2953 4008 10148 8759 13417 0 770 686 978 2434 1792 2317 6543 6874 51339 ann. pay. 448344 13714 21762 23535 18798 77809 68875 56842 203526 244818 468507 17167 26841 28029 36437 108474 79387 90573 278434 190073 1330069 33280 37831 43778 53704 168593 147384 221054 537031 793038 1201951 53479 30913 38070 43489 165951 144866 229805 540622 661329 848062 9280 27813 24987 44692 106772 87825 115239 309836 538226 51339 rec. 3148731 43109 161262 101162 175665 481198 234041 595185 1310424 1838307 51411 firms 285 42 121 39 19 221 28 13 262 23 324 61 128 41 22 252 35 10 297 27 324 45 138 46 26 255 35 10 300 24 300 46 126 39 22 233 31 11 275 25 311 48 143 38 23 252 29 7 288 23 51411 estab. 516 42 122 41 26 231 48 60 339 177 564 61 129 43 28 261 54 56 371 193 567 45 139 47 36 267 68 45 380 187 540 46 129 39 28 242 51 19 312 228 543 48 143 39 26 256 55 38 349 194 51411 empl. 9920 0 219 269 231 719 937 2080 3736 6184 11363 0 255 266 264 785 1291 1700 3776 7587 11283 0 266 304 317 887 1393 1940 4220 7063 12205 0 249 254 290 793 1035 1517 3345 8860 10158 0 254 258 311 823 1015 1201 3039 7119 51411 ann. pay. 521746 2955 19474 9646 9233 41308 46563 138069 225940 295806 612001 2478 14454 10853 10015 37800 60572 119301 217673 394328 647566 3402 16210 14053 12258 45923 81064 158024 285011 362555 679652 11661 17286 9265 10959 49171 58719 75480 183370 496282 584239 1565 28025 8937 17960 56487 59137 62882 178506 405733 51411 rec. 1761716 8456 60980 24719 43672 137827 135836 185936 459599 1302117 51412 firms 2027 88 1081 396 229 1794 202 21 2017 10 2298 118 1145 476 274 2013 246 28 2287 11 2461 157 1207 475 318 2157 257 33 2447 14 2435 118 1181 503 326 2128 253 35 2416 19 2546 257 1140 505 324 2226 274 29 2529 17 51412 estab. 2320 92 1081 398 241 1812 315 77 2204 116 2590 122 1145 478 285 2030 358 84 2472 118 2754 161 1207 477 329 2174 369 89 2632 122 2725 122 1181 505 337 2145 365 90 2600 125 2875 257 1140 507 336 2240 428 84 2752 123 51412 empl. 24111 0 2293 2595 3015 7903 7281 3444 18628 5483 31031 0 2388 3122 3648 9158 9097 5271 23526 7505 33765 0 2596 3110 4205 9911 9686 6214 25811 7954 36129 0 2522 3269 4336 10127 9471 6244 25842 10287 33611 0 2504 3302 4304 10110 10379 5796 26285 7326 51412 ann. pay. 416271 1312 25469 30448 42072 99301 125804 70156 295261 121010 565849 10209 27333 38589 55169 131300 162951 107729 401980 163869 679348 8722 32321 43289 68893 153225 193235 130544 477004 202344 919946 5595 32682 45362 73041 156680 191731 152055 500466 419480 723830 10118 33673 44336 71669 159796 227099 129378 516273 207557 51412 rec. 1750414 35333 117225 118702 174874 446134 553378 299696 1299208 451206 51419 firms 5184 1300 1879 825 540 4544 431 98 5073 111 7397 2695 2298 956 644 6593 539 129 7261 136 9820 2709 3240 1448 1040 8437 971 236 9644 176 8934 1579 3505 1389 990 7463 1011 265 8739 195 8659 1599 3721 1324 871 7515 755 200 8470 189 51419 estab. 5647 1310 1879 833 546 4568 479 169 5216 431 8111 2715 2298 962 659 6634 573 278 7485 626 10818 2719 3245 1460 1058 8482 1018 346 9846 972 10172 1581 3508 1393 1008 7490 1070 425 8985 1187 9785 1601 3722 1329 910 7562 882 389 8833 952 51419 empl. 84943 0 4058 5439 7312 16809 15223 12176 44208 40735 106844 0 4895 6297 8580 19772 19652 17787 57211 49633 187405 0 7081 9483 13910 30474 38612 37866 106952 80453 213734 0 7399 9138 13161 29698 40057 42048 111803 101931 164412 0 7650 8669 11433 27752 27444 26976 82172 82240 51419 ann. pay. 5612744 113015 122598 156538 247565 639716 660150 965913 2265779 3346965 15294782 518520 200671 249811 343489 1312491 1230953 1510896 4054340 11240442 17696015 468978 346411 481625 754704 2051718 2570318 3562558 8184594 9511421 15109489 169731 273603 341070 583843 1368247 2114524 2679160 6161931 8947558 10363638 134094 278128 335679 510412 1258313 1587805 1812095 4658213 5705425 51419 rec. 36727663 543741 1246641 1150571 1617327 4558280 4472925 5324056 14355261 22372402 51421 firms 4756 787 1840 619 471 3717 633 204 4554 202 4879 710 2063 614 450 3837 628 207 4672 207 5057 827 2032 645 466 3970 671 209 4850 207 4667 600 1923 609 479 3611 638 212 4461 206 5679 843 2431 703 558 4535 689 236 5460 219 51421 estab. 8308 787 1842 624 483 3736 698 417 4851 3457 8914 714 2064 616 468 3862 687 371 4920 3994 9036 831 2036 649 479 3995 729 383 5107 3929 9288 602 1926 612 494 3634 705 358 4697 4591 11077 843 2432 706 590 4571 852 441 5864 5213 51421 empl. 267526 0 3546 4052 6294 13892 24366 27607 65865 201661 282984 0 4015 4011 6108 14134 24107 28176 66417 216567 296578 0 3947 4201 6258 14406 26839 28915 70160 226418 317541 0 3726 3992 6506 14224 25148 29996 69368 248173 331156 0 4712 4692 7537 16941 26142 26989 70072 261084 51421 ann. pay. 10690842 42503 128948 140691 214485 526627 834490 994154 2355271 8335571 12751228 53526 155072 147760 233879 590237 869429 1162706 2622372 10128856 14521219 140164 157997 159464 257690 715315 1128227 1649966 3493508 11027711 15488230 56087 143430 154258 278781 632556 1054752 1321715 3009023 12479207 16500827 74653 181320 194892 322047 772912 1153462 1258343 3184717 13316110 51421 rec. 50670642 299224 614805 566511 783618 2264158 2789656 3164202 8218016 42452626 52111 firms 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 17 4 0 1 0 5 0 0 5 12 23 5 2 1 0 8 0 2 10 13 27 2 6 1 4 13 1 1 15 12 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 52111 estab. 41 0 0 0 0 0 0 0 0 41 46 4 0 1 0 5 0 0 5 41 62 5 2 1 0 8 0 12 20 42 74 2 6 1 4 13 1 3 17 57 58 0 0 0 0 0 0 0 0 58 52111 empl. 21456 0 0 0 0 0 0 0 0 21456 22329 [a] 0 [a] 0 [a] 0 0 [a] [j] 22337 [a] [a] [a] 0 [a] 0 [e] [e] [j] 23552 [a] [a] [a] [b] [b] [b] [b] [c] [j] 23367 0 0 0 0 0 0 0 0 23367 52111 ann. pay. 963924 0 0 0 0 0 0 0 0 963924 1018731 (D) 0 (D) 0 (D) 0 0 (D) (D) 1083947 (D) (D) (D) 0 (D) 0 (D) (D) (D) 1234656 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 1304200 0 0 0 0 0 0 0 0 1304200 52111 rec. 28909454 0 0 0 0 0 0 0 0 28909454 52211 firms 7920 206 202 568 1660 2636 3995 998 7629 291 7717 189 214 554 1581 2538 3910 991 7439 278 7594 161 211 558 1531 2461 3855 1002 7318 276 7419 144 192 526 1460 2322 3799 1025 7146 273 7201 124 166 495 1385 2170 3601 1138 6909 292 52211 estab. 72956 206 205 601 2004 3016 10227 9610 22853 50103 72481 203 226 579 1916 2924 9745 9871 22540 49941 73938 161 226 580 1819 2786 9280 9897 21963 51975 75768 144 193 551 1740 2628 8943 10513 22084 53684 80417 144 167 522 1784 2617 10357 12195 25169 55248 52211 empl. 1483498 0 505 4186 23408 28099 172725 176927 377751 1105747 1493571 0 489 4094 22267 26850 171046 176261 374157 1119414 1492834 0 489 4094 21639 26222 169539 178800 374561 1118273 1603194 0 451 3899 20730 25080 167641 185271 377992 1225202 1630036 0 378 3681 19961 24020 157200 194969 376189 1253847 52211 ann. pay. 57390813 42902 30037 139209 698501 910649 5026962 6035609 11973220 45417593 61512400 38011 34535 144023 695182 911751 5136944 6061023 12109718 49402682 63623909 53724 30992 145524 713448 943688 5295141 6406335 12645164 50978745 69163105 24552 29659 141417 741412 937040 5496885 6955513 13389438 55773667 69817139 164161 26055 138698 713279 1042193 5475483 7417803 13935479 55881660 52211 rec. 474858616 1002263 175862 783334 3832721 5794180 30594479 46162461 82551120 392307496 52212 firms 1836 27 74 150 245 496 817 340 1653 183 1732 23 67 131 246 467 755 331 1553 179 1642 20 65 119 234 438 730 319 1487 155 1571 13 53 111 226 403 703 314 1420 151 1506 11 49 102 212 374 663 320 1357 149 52212 estab. 16861 27 74 154 327 582 2662 3733 6977 9884 15934 23 68 134 317 542 2410 3595 6547 9387 15881 20 65 122 301 508 2293 3409 6210 9671 15743 13 53 114 288 468 2167 3327 5962 9781 17342 11 49 105 282 447 2283 3389 6119 11223 52212 empl. 258906 0 192 [g] [h] [h] [k] [l] 100481 158425 253723 0 175 911 3492 4578 35545 57041 97164 156559 243586 [a] [c] 826 3291 4273 34853 54736 93862 149724 253111 [a] [c] 759 3231 4136 33098 52637 89871 163240 263257 0 130 683 3001 3814 31279 51894 86987 176270 52212 ann. pay. 9194476 5974 7176 (D) (D) (D) (D) (D) 3241783 5952693 9131548 3792 5637 28369 112026 149824 1120536 1893584 3163944 5967604 9178711 (D) (D) 27290 116308 155530 1137793 1883181 3176504 6002207 9820880 (D) (D) 27464 122251 157466 1143857 1960596 3261919 6558961 10657084 2772 5714 25258 114678 148422 1126055 2010241 3284718 7372366 52212 rec. 81369398 14430 40210 176594 728776 960010 7383428 12789857 21133295 60236103 52213 firms 9723 54 4606 1935 1251 7846 1505 345 9696 27 9528 61 4368 1897 1259 7585 1544 370 9499 29 9417 99 4179 1842 1297 7417 1568 395 9380 37 9165 89 3951 1791 1279 7110 1600 417 9127 38 8872 61 3703 1771 1252 6787 1601 441 8829 43 52213 estab. 15521 57 4615 2026 1721 8419 3993 2624 15036 485 15474 70 4377 1978 1695 8120 4006 2812 14938 536 15573 100 4184 1914 1701 7899 3966 3089 14954 619 15543 92 3956 1866 1644 7558 3947 3384 14889 654 16303 61 3705 1851 1718 7335 4530 3678 15543 760 52213 empl. 176166 0 10929 12678 17088 40695 63019 58154 161868 14298 184152 0 10403 12388 16995 39786 64466 64296 168548 15604 192277 0 10050 11976 17629 39655 65923 68844 174422 17855 200406 0 9538 11738 17332 38608 67362 74399 180369 20037 210780 0 8995 11657 17018 37670 68087 79944 185701 25079 52213 ann. pay. 4489743 3428 208748 290726 410308 913210 1609236 1579568 4102014 387729 4911741 6851 199314 291135 427004 924304 1701326 1832390 4458020 453721 5374744 11420 199352 292088 456292 959152 1808928 2060342 4828422 546322 5956780 3555 199607 294919 467402 965483 1965712 2402448 5333643 623137 6761758 4112 192552 301417 477344 975425 2038688 2978680 5992793 768965 52213 rec. 36523131 23038 982410 1564689 2542298 5112435 10641484 15649524 31403443 5119688 52219 firms 31 3 4 3 6 16 4 6 26 5 59 16 5 4 6 31 12 3 46 13 78 23 15 9 4 51 10 5 66 12 80 18 19 7 11 55 8 7 70 10 125 23 42 11 20 96 12 8 116 9 52219 estab. 49 3 4 3 6 16 7 19 42 7 156 16 5 4 6 31 48 18 97 59 176 23 15 9 4 51 13 47 111 65 177 18 19 7 11 55 8 52 115 62 224 23 42 11 22 98 29 41 168 56 52219 empl. 1865 0 11 [b] [b] [c] [c] [c] 461 1404 5745 0 [a] [b] 88 126 501 267 894 4851 5971 [a] [b] [b] 56 144 319 255 718 5253 5809 [a] [b] [b] 168 263 231 542 1036 4773 6020 0 82 69 276 427 433 546 1406 4614 52219 ann. pay. 132605 33 170 (D) (D) (D) (D) (D) 26610 105995 326442 1507 (D) (D) 5819 8603 22684 14283 45570 280872 372469 (D) (D) (D) 3239 7395 15053 9601 32049 340420 399595 (D) (D) (D) 8653 13454 9806 27700 50960 348635 425214 970 3184 1786 12071 18011 20231 29336 67578 357636 52219 rec. 1741074 7748 18070 6149 53989 85956 90189 115905 292050 1449024 52221 firms 154 20 28 16 9 73 24 12 109 45 170 17 37 12 12 78 22 15 115 55 186 22 46 12 15 95 20 19 134 52 190 27 50 18 7 102 21 12 135 55 216 29 61 23 13 126 24 18 168 48 52221 estab. 700 20 28 16 9 73 39 16 128 572 761 17 37 12 13 79 32 25 136 625 778 22 46 12 17 97 27 31 155 623 830 27 50 18 8 103 30 21 154 676 787 29 61 23 14 127 36 28 191 596 52221 empl. 45972 0 54 105 127 286 609 791 1686 44286 58877 0 90 75 162 327 560 1398 2285 56592 67950 0 102 75 196 373 580 1843 2796 65154 72133 0 107 102 93 302 663 1123 2088 70045 68936 0 128 137 160 425 740 1730 2895 66041 52221 ann. pay. 1449178 1341 1753 5722 5801 14617 26137 21058 61812 1387366 1949973 1155 2781 2375 6739 13050 22097 38478 73625 1876348 2530658 3237 4207 4033 6155 17632 22851 106236 146719 2383939 3186359 1065 3856 6043 4645 15609 25359 65128 106096 3080263 2645356 3656 4525 4940 4920 18041 30076 97922 146039 2499317 52221 rec. 35938169 46113 21077 18843 33580 119613 299292 1025557 1444462 34493707 52222 firms 3198 399 1448 455 242 2544 256 139 2939 259 3089 344 1445 434 233 2456 253 129 2838 251 3043 386 1423 420 216 2445 241 118 2804 239 2960 317 1432 405 227 2381 228 121 2730 230 3021 368 1464 393 207 2432 236 126 2794 227 52222 estab. 7610 399 1450 474 265 2588 368 324 3280 4330 7814 356 1452 445 255 2508 346 232 3086 4728 7429 388 1428 428 237 2481 317 249 3047 4382 7493 317 1439 414 247 2417 294 276 2987 4506 7395 368 1464 409 233 2474 347 372 3193 4202 52222 empl. 140247 0 2973 2923 3090 8986 7801 8925 25712 114535 153547 0 2987 2792 2956 8735 8020 8019 24774 128773 154144 0 2907 2696 2704 8307 7507 7365 23179 130965 160546 0 2928 2577 2918 8423 6743 8049 23215 137331 161273 0 3002 2514 2710 8226 6865 8557 23648 137625 52222 ann. pay. 6861074 24015 104858 120946 127692 377511 377126 376816 1131453 5729621 8171132 21268 109955 126617 135022 392862 406341 419936 1219139 6951993 8811694 45511 118648 130007 130994 425160 369396 403043 1197599 7614095 9375342 15397 122883 116511 157780 412571 375929 450502 1239002 8136340 8906253 18796 127866 124445 144920 416027 365918 462225 1244170 7662083 52222 rec. 107571581 164052 883060 744145 752706 2543963 2153602 4492458 9190023 98381558 52229 firms 17464 2855 8422 2729 1381 15387 1238 497 17122 342 18520 2536 9051 3042 1607 16236 1432 480 18148 372 18672 2673 9464 3005 1487 16629 1257 450 18336 336 19040 2802 9724 3021 1485 17032 1260 435 18727 313 20363 3250 10267 3104 1603 18224 1314 491 20029 334 52229 estab. 39740 2858 8457 2875 1812 16002 3058 2731 21791 17949 41036 2552 9093 3214 1997 16856 3142 2893 22891 18145 41080 2687 9540 3189 1871 17287 2796 2769 22852 18228 41510 2812 9765 3202 1833 17612 2796 2986 23394 18116 44844 3254 10313 3279 2146 18992 3354 3440 25786 19058 52229 empl. 379310 0 18362 17633 18174 54169 43812 50452 148433 230877 432377 0 19789 19603 21088 60480 52300 52557 165337 267040 398809 0 20292 19316 19457 59065 43737 47141 149943 248866 413690 0 20875 19373 19540 59788 44300 44777 148865 264825 431390 0 21825 20002 20811 62638 46184 49037 157859 273531 52229 ann. pay. 17316231 167454 510817 583177 715267 1976715 1924064 2415148 6315927 11000304 19050756 120928 526870 592188 743844 1983830 2096030 2256906 6336766 12713990 18249168 258913 561794 599910 712733 2133350 1725456 2041015 5899821 12349347 22649236 150937 660378 751147 882959 2445421 2239397 2485147 7169965 15479271 25570924 255114 774963 810283 1005211 2845571 2439193 2864116 8148880 17422044 52229 rec. 227689129 1131311 4005870 2987196 4121628 12246005 8720220 16620757 37586982 190102147 52231 firms 9535 1857 4280 1573 967 8677 693 91 9461 74 10191 2008 4626 1660 1008 9302 712 105 10119 72 10077 1831 5045 1602 879 9357 556 92 10005 72 11364 2495 5469 1752 951 10667 536 96 11299 65 13133 2743 6276 1994 1163 12176 755 119 13050 83 52231 estab. 10954 1862 4293 1628 1093 8876 1106 393 10375 579 11363 2015 4638 1693 1118 9464 1057 359 10880 483 11030 1863 5079 1656 988 9586 816 262 10664 366 12236 2500 5508 1800 1049 10857 705 311 11873 363 14774 2757 6295 2056 1379 12487 1316 568 14371 403 52231 empl. 70183 0 9184 10361 12751 32296 23556 7984 63836 6347 75954 0 9859 10693 13387 33939 24257 10111 68307 7647 66542 0 10387 10421 11479 32287 19517 7001 58805 7737 70314 0 11363 11358 12474 35195 19041 8211 62447 7867 87429 0 12779 13073 15194 41046 26584 12969 80599 6830 52231 ann. pay. 3338246 88927 386004 448722 581816 1505469 1099163 415147 3019779 318467 2953779 99048 326953 365527 487096 1278624 883975 411199 2573798 379981 2701524 79905 353833 362728 431035 1227501 762632 318380 2308513 393011 3978491 150271 505893 535059 671412 1862635 1060660 465734 3389029 589462 5067844 192114 578195 659632 854363 2284304 1484454 791064 4559822 508022 52231 rec. 13590879 695148 2196247 1836711 2024820 6752926 3596849 1796152 12145927 1444952 52232 firms 821 129 311 117 77 634 91 47 772 49 834 124 342 102 75 643 90 48 781 53 896 131 381 110 79 701 92 45 838 58 1028 145 447 140 89 821 104 47 972 56 1284 253 544 143 104 1044 119 61 1224 60 52232 estab. 1273 129 311 121 95 656 149 119 924 349 1294 124 342 106 87 659 134 143 936 358 1475 138 381 114 89 722 151 124 997 478 1570 146 451 144 101 842 173 155 1170 400 2083 253 545 146 148 1092 187 396 1675 408 52232 empl. 51171 [a] [f] 753 1062 2438 3435 7097 12970 38201 58293 0 708 650 1020 2378 3621 8005 14004 44289 62973 0 801 697 1078 2576 3545 7081 13202 49771 67064 0 917 911 1195 3023 4048 6923 13994 53070 70520 0 1097 936 1333 3366 4826 8312 16504 54016 52232 ann. pay. 1932085 (D) (D) 21492 37171 91912 109663 249266 450841 1481244 2361061 13831 21570 21348 41115 97864 134753 296808 529425 1831636 2929034 30086 25284 30699 42088 128157 153781 264518 546456 2382578 3404220 16050 29773 41186 38580 125589 154381 275758 555728 2848492 3421542 25728 33400 37924 50188 147240 202358 427348 776946 2644596 52232 rec. 35032666 103590 241179 166497 266158 777424 1038782 16892939 18709145 16323521 52239 firms 4441 680 2116 724 353 3873 324 114 4311 130 4115 432 2111 730 360 3633 290 92 4015 100 4084 448 2032 782 361 3623 277 94 3994 90 4208 475 2066 827 374 3742 277 100 4119 89 4153 426 2091 764 393 3674 284 97 4055 98 52239 estab. 7495 701 2139 772 541 4153 1067 744 5964 1531 7494 432 2127 790 493 3842 933 741 5516 1978 8919 455 2044 843 488 3830 797 685 5312 3607 9894 480 2080 877 505 3942 872 778 5592 4302 11991 440 2100 822 655 4017 1352 1144 6513 5478 52239 empl. 80952 [a] [h] 4632 4618 14106 12181 11507 37794 43158 64517 0 4756 4707 4696 14159 10720 8262 33141 31376 68104 0 4530 5007 4684 14221 10031 9405 33657 34447 71358 0 4671 5428 4918 15017 10112 10372 35501 35857 76443 0 4690 4993 5104 14787 10034 9578 34399 42044 52239 ann. pay. 2938445 (D) (D) 117667 133181 402802 403504 405659 1211965 1726480 2215580 17912 114156 120201 129371 381640 307428 266579 955647 1259933 2288052 18545 111055 136768 130555 396923 294449 308800 1000172 1287880 2513357 19694 120228 154264 149028 443214 340319 350422 1133955 1379402 2988167 26505 119855 145840 167479 459679 388234 366364 1214277 1773890 52239 rec. 15895439 162302 502237 463235 482829 1610603 1287978 2111783 5010364 10885075 52311 firms 2838 503 1282 291 214 2290 278 110 2678 160 2817 443 1378 307 196 2324 248 98 2670 147 2785 471 1322 326 181 2300 239 104 2643 142 2750 432 1337 319 192 2280 240 103 2623 127 2826 492 1381 303 192 2368 231 98 2697 129 52311 estab. 7105 504 1290 316 236 2346 412 267 3025 4080 5862 445 1385 326 217 2373 323 205 2901 2961 6304 473 1327 344 199 2343 300 214 2857 3447 6995 440 1341 332 212 2325 291 237 2853 4142 7056 492 1393 321 218 2424 318 253 2995 4061 52311 empl. 164073 0 2447 1872 2816 7135 10032 14200 31367 132706 129555 0 2633 2001 2627 7261 9221 12075 28557 100998 138487 0 2467 2104 2409 6980 8558 12900 28438 110049 172729 0 2546 2064 2536 7146 8484 13779 29409 143320 164887 0 2602 1953 2422 6977 7886 12126 26989 137898 52311 ann. pay. 26179962 135592 173448 181459 352972 843471 1264434 1813277 3921182 22258780 23698273 84235 196338 253452 297272 831297 1233220 1978310 4042827 19655446 31209402 110594 195006 225410 375004 906014 1252838 2352968 4511820 26697582 35168001 69385 192684 168989 321229 752287 1125739 2530182 4408208 30759793 27667148 71291 145137 166192 295856 678476 1046179 2325365 4050020 23617128 52311 rec. 90196247 400319 613347 562162 895765 2471593 2476696 6552971 11501260 78694987 52312 firms 8053 1001 4811 941 479 7232 459 164 7855 198 7930 880 4682 1040 503 7105 462 154 7721 209 7982 899 4547 1111 551 7108 516 160 7784 198 7768 745 4535 1117 539 6936 492 155 7583 185 7886 918 4637 1019 505 7079 439 179 7697 189 52312 estab. 23577 1001 4826 963 557 7347 689 560 8596 14981 26297 881 4695 1063 570 7209 699 547 8455 17842 29496 900 4567 1133 609 7209 753 552 8514 20982 30262 757 4548 1147 602 7054 715 447 8216 22046 32792 918 4652 1046 574 7190 706 638 8534 24258 52312 empl. 273692 0 9136 6016 6203 21355 16442 18097 55894 217798 340409 0 9076 6631 6710 22417 17155 16392 55964 284445 377665 0 8908 7116 7228 23252 19313 17147 59712 317953 381118 0 8890 7154 6965 23009 18395 14686 56090 325028 443173 0 9015 6482 6670 22167 15827 13790 51784 391389 52312 ann. pay. 29825689 73037 391775 379895 488277 1332984 1556023 1769340 4658347 25167342 37857014 111860 412839 471038 614552 1610289 1857442 1857919 5325650 32531364 47031272 130002 460913 519607 683801 1794323 2236163 2286529 6317015 40714257 47501487 128886 416508 466151 637693 1649238 1992737 1798178 5440153 42061334 47224938 63563 415842 438543 573056 1491004 1806129 1720296 5017429 42207509 52312 rec. 143492136 279836 1543047 1238645 1614074 4675602 4521394 4258265 13455261 130036875 52313 firms 618 113 301 77 39 530 42 17 589 29 609 115 327 56 32 530 41 12 583 26 634 106 349 70 35 560 36 14 610 24 706 122 382 77 38 619 48 16 683 23 848 209 437 82 40 768 39 14 821 27 52313 estab. 740 113 302 82 53 550 81 38 669 71 732 115 328 58 44 545 95 45 685 47 754 106 349 73 43 571 86 45 702 52 802 122 383 79 42 626 83 48 757 45 942 209 437 87 44 777 78 41 896 46 52313 empl. 6278 0 [f] [f] 520 1603 1390 1173 4166 2112 5641 0 [f] 350 [e] 1452 1274 1258 3984 1657 6332 0 [f] 449 [e] [g] [g] 1032 3783 2549 6603 0 757 [e] [e] 1739 1618 1505 4862 1741 7301 0 819 [f] [f] 1861 1235 1438 4534 2767 52313 ann. pay. 455366 8648 (D) (D) 26592 84347 72884 63777 221008 234358 436250 9528 (D) 14872 (D) 76954 65651 53487 196092 240158 582473 26302 (D) 15531 (D) (D) (D) 67645 231051 351422 640377 7778 29974 (D) (D) 91481 122632 78016 292129 348248 588284 17362 38938 (D) (D) 123091 85548 105189 313828 274456 52313 rec. 17855305 175881 319773 (D) (D) (D) 792485 839017 2456591 15398714 52314 firms 1340 215 697 200 89 1201 83 18 1302 38 1329 192 722 205 81 1200 73 20 1293 36 1311 212 700 193 80 1185 74 20 1279 32 1280 178 706 186 93 1163 71 17 1251 29 1371 223 773 179 78 1253 69 23 1345 26 52314 estab. 1444 216 698 203 100 1217 102 41 1360 84 1610 195 724 212 85 1216 93 51 1360 250 1589 212 702 197 86 1197 95 53 1345 244 1531 178 709 186 100 1173 95 52 1320 211 1543 223 773 187 93 1276 94 61 1431 112 52314 empl. 13400 0 1416 1246 1136 3798 3042 1899 8739 4661 15678 0 1461 1304 1082 3847 2397 2422 8666 7012 16494 0 1439 1241 1070 3750 2530 2558 8838 7656 14854 0 1420 1167 1150 3737 2623 2032 8392 6462 12521 0 1519 1139 987 3645 2338 2450 8433 4088 52314 ann. pay. 892468 20699 86864 65958 67495 241016 193436 130792 565244 327224 1187478 26932 88543 73327 72184 260986 159756 158417 579159 608319 1425250 21900 87492 68129 69608 247129 165621 174520 587270 837980 1351106 15649 85171 69122 78428 248370 225118 143341 616829 734277 1189702 20268 100345 87030 76244 283887 204965 194901 683753 505949 52314 rec. 3860293 134435 493859 264523 385791 1278608 584143 550385 2413136 1447157 52321 firms 68 33 11 2 3 49 4 5 58 10 104 43 30 8 4 85 6 5 96 8 18 3 1 0 1 5 3 3 11 7 74 26 29 3 2 60 4 4 68 6 151 35 80 11 3 129 6 8 143 8 52321 estab. 82 33 11 2 3 49 4 13 66 16 118 43 32 8 4 87 6 9 102 16 30 3 1 0 1 5 3 3 11 19 86 26 29 3 2 60 4 8 72 14 173 36 80 11 3 130 6 18 154 19 52321 empl. 6647 0 [a] [a] 49 78 192 1188 1458 5189 6952 0 [b] 57 [b] 170 166 1014 1350 5602 6808 0 [a] 0 [a] [a] [c] 725 853 5955 6531 0 51 [a] [b] 95 128 1035 1258 5273 7302 0 144 [b] [b] 251 157 1616 2024 5278 52321 ann. pay. 498989 25744 (D) (D) 5320 31868 10154 66779 108801 390188 507967 5342 (D) 3276 (D) 17335 7105 65948 90388 417579 515608 106 (D) 0 (D) (D) (D) 48274 54347 461261 580888 2530 2339 (D) (D) 6136 6641 75256 88033 492855 718873 4700 5991 (D) (D) 16298 8381 141160 165839 553034 52321 rec. 3555191 15165 30321 (D) (D) (D) 18969 478438 555155 3000036 52391 firms 6732 1224 4135 631 244 6234 196 96 6526 206 6545 1076 4056 641 253 6026 226 101 6353 192 6553 1089 4037 627 278 6031 243 99 6373 180 6381 885 4010 656 291 5842 262 104 6208 173 5756 786 3565 608 243 5202 235 111 5548 208 52391 estab. 6883 1224 4144 646 256 6270 215 117 6602 281 6704 1076 4063 659 267 6065 245 116 6426 278 6744 1098 4049 640 292 6079 266 109 6454 290 6575 885 4019 669 312 5885 284 114 6283 292 5972 786 3571 630 259 5246 263 125 5634 338 52391 empl. 25721 0 7141 3936 2865 13942 4375 3905 22222 3499 30986 0 7022 3991 3012 14025 5882 3900 23807 7179 34779 0 7156 3985 3467 14608 6333 5088 26029 8750 39454 0 7219 4143 3571 14933 7537 5713 28183 11271 33169 0 6471 3792 2854 13117 6145 3177 22439 10730 52391 ann. pay. 1796791 98095 330352 251113 199068 878628 263780 195492 1337900 458891 2249848 133812 339259 284417 228373 985861 378328 203465 1567654 682194 2950875 121309 354174 297541 312642 1085666 622970 248858 1957494 993381 3461220 78105 361335 304547 364193 1108180 716951 367147 2192278 1268942 3116559 53612 328130 278443 297857 958042 678655 363341 2000038 1116521 52391 rec. 12388956 328936 1730172 1061795 983926 4104829 2503309 1330671 7938809 4450147 52392 firms 10315 1711 5520 1424 706 9361 550 173 10084 231 10338 1437 5658 1504 751 9350 573 193 10116 222 10339 1420 5643 1501 784 9348 597 183 10128 211 10105 1217 5622 1477 809 9125 598 170 9893 212 9974 1262 5534 1405 755 8956 597 190 9743 231 52392 estab. 11334 1713 5544 1476 778 9511 671 269 10451 883 11378 1444 5681 1548 798 9471 705 292 10468 910 11625 1422 5665 1535 827 9449 727 265 10441 1184 11258 1217 5643 1510 860 9230 696 260 10186 1072 11307 1267 5552 1443 834 9096 769 296 10161 1146 52392 empl. 128676 0 10935 9106 9195 29236 17613 14117 60966 67710 140301 0 11212 9615 9673 30500 18194 15696 64390 75911 156178 0 11176 9677 10255 31108 19566 15574 66248 89930 171452 0 11076 9476 10557 31109 20316 15179 66604 104848 177502 0 10591 9148 9782 29521 19578 13255 62354 115148 52392 ann. pay. 16457265 134505 798895 1059654 1378907 3371961 2903813 2440615 8716389 7740876 18520613 149733 785093 1105514 1519396 3559736 3136737 2805749 9502222 9018391 24852708 303456 880354 1251248 1693202 4128260 3955249 4818136 12901645 11951063 23663148 88960 831214 1175330 1604375 3699879 4341724 3382379 11423982 12239166 20979756 105856 903721 1064615 1414335 3488527 3967127 3182074 10637728 10342028 52392 rec. 55531578 359575 2838270 2229232 3035049 8462126 8619444 5442074 22523644 33007934 52393 firms 8329 1907 4839 828 362 7936 225 54 8215 114 9480 2486 5229 899 404 9018 265 75 9358 122 11852 3241 6438 1121 470 11270 374 79 11723 129 15023 3668 8645 1390 617 14320 453 107 14880 143 17608 4314 10269 1533 635 16751 517 149 17417 191 52393 estab. 9185 1909 4848 860 382 7999 298 84 8381 804 10291 2491 5237 935 422 9085 319 119 9523 768 12794 3242 6450 1149 493 11334 437 127 11898 896 16023 3669 8660 1409 645 14383 545 161 15089 934 18840 4314 10284 1559 681 16838 641 232 17711 1129 52393 empl. 47218 0 8679 5243 4727 18649 7286 4046 29981 17237 53076 0 9406 5703 5276 20385 8060 5106 33551 19525 66166 0 11747 7146 6149 25042 12404 5794 43240 22926 83371 0 15509 8812 8071 32392 15197 7126 54715 28656 102956 0 18346 9693 8095 36134 15770 10164 62068 40888 52393 ann. pay. 4206377 149976 509758 383768 448371 1491873 843457 419863 2755193 1451184 5100765 210863 562711 448033 503362 1724969 863194 833301 3421464 1679301 6920489 417260 686089 505953 650287 2259589 1395769 1061315 4716673 2203816 8343278 305589 763306 593499 753387 2415781 1725817 1306542 5448140 2895138 9587391 320192 843998 651644 747701 2563535 1725956 1807641 6097132 3490259 52393 rec. 27100311 1098840 3119934 1673200 1794139 7686113 3996194 4944961 16627268 10473043 52399 firms 3062 550 1708 318 163 2739 134 56 2929 133 2856 399 1663 310 159 2531 139 59 2729 127 2841 386 1623 317 188 2514 139 65 2718 123 2753 347 1568 312 189 2416 148 66 2630 123 2402 289 1385 253 153 2080 139 68 2287 115 52399 estab. 3528 550 1713 325 177 2765 175 80 3020 508 3361 399 1670 314 166 2549 178 95 2822 539 3593 386 1627 321 196 2530 178 88 2796 797 3386 347 1573 314 195 2429 187 82 2698 688 3065 289 1387 255 163 2094 199 91 2384 681 52399 empl. 58542 0 3010 2025 2090 7125 4827 4112 16064 42478 57463 0 2950 1986 2028 6964 4823 4501 16288 41175 63313 0 2968 2037 2523 7528 4894 5228 17650 45663 70948 0 2865 2042 2535 7442 5147 4876 17465 53483 60056 0 2509 1636 2001 6146 4529 4980 15655 44401 52399 ann. pay. 3133007 51230 90216 69890 79260 290596 211548 232228 734372 2398635 3387354 30305 99373 90585 96470 316733 224391 236043 777167 2610187 4043279 32785 133624 101636 134422 402467 236459 320585 959511 3083768 4318581 24590 107112 103758 143604 379064 297581 284718 961363 3357218 4040479 28983 87034 78347 119796 314160 319863 415263 1049286 2991193 52399 rec. 13507312 181192 472680 264737 443398 1362007 1217572 964320 3543899 9963413 52411 firms 1846 181 470 183 152 986 307 217 1510 336 1923 152 561 180 168 1061 297 212 1570 353 1981 210 624 174 145 1153 264 230 1647 334 2001 198 668 187 146 1199 269 214 1682 319 1910 190 631 190 136 1147 253 198 1598 312 52411 estab. 14684 184 471 186 177 1018 401 647 2066 12618 14472 154 563 189 189 1095 358 547 2000 12472 13872 210 632 176 156 1174 312 611 2097 11775 13539 198 669 189 154 1210 331 478 2019 11520 12704 190 634 195 142 1161 327 703 2191 10513 52411 empl. 875544 0 959 1176 2023 4158 13676 38883 56717 818827 858647 0 1101 1144 2194 4439 13535 36154 54128 804519 813418 0 1242 1146 1937 4325 11463 39820 55608 757810 821869 0 1325 1206 2010 4541 11514 37609 53664 768205 798034 0 1226 1174 1814 4214 10849 33364 48427 749607 52411 ann. pay. 37179347 18889 29271 43388 72552 164100 536505 1565630 2266235 34913112 38711724 16436 39898 40591 88833 185758 532516 1513198 2231472 36480252 40016868 15286 54326 47063 78005 194680 462264 1750642 2407586 37609282 41819141 15915 46256 48152 81248 191571 489855 1668803 2350229 39468912 40939771 17136 43283 49744 81644 191807 503053 1537383 2232243 38707528 52411 rec. 751391520 326237 741542 707717 1055423 2830919 7317283 33824953 43973155 707418365 52412 firms 3097 346 1209 515 245 2315 339 221 2875 222 3337 356 1346 561 270 2533 367 213 3113 224 3428 312 1476 549 302 2639 362 216 3217 211 3802 356 1735 612 325 3028 346 213 3587 215 3882 398 1714 640 332 3084 353 221 3658 224 52412 estab. 24055 346 1213 527 264 2350 432 724 3506 20549 27221 361 1348 562 291 2562 480 691 3733 23488 22969 312 1479 556 311 2658 465 688 3811 19158 16751 356 1738 643 341 3078 451 663 4192 12559 18055 398 1718 649 360 3125 490 715 4330 13725 52412 empl. 648248 0 2783 3312 3227 9322 14119 35938 59379 588869 672191 0 3074 3630 3676 10380 15092 35731 61203 610988 660428 0 3400 3492 3952 10844 14576 36296 61716 598712 668620 0 3900 3885 4267 12052 13981 34362 60395 608225 688291 0 3811 4103 4381 12295 14148 34219 60662 627629 52412 ann. pay. 31479951 17035 74379 100061 119047 310522 619340 1627541 2557403 28922548 32475784 17150 83626 105047 138888 344711 680468 1573003 2598182 29877602 33459434 17014 96313 106973 143468 363768 670279 1723902 2757949 30701485 35421942 18430 114627 126825 173546 433428 701149 1706110 2840687 32581255 36252226 20186 116655 137924 178865 453630 711436 1720006 2885072 33367154 52412 rec. 403512559 97935 978433 856696 1261430 3194494 6456832 18090695 27742021 375770538 52413 firms 275 31 112 34 12 189 41 12 242 33 276 16 117 32 14 179 38 21 238 38 268 11 111 35 15 172 41 22 235 33 265 16 110 36 18 180 36 21 237 28 253 20 105 26 17 168 36 17 221 32 52413 estab. 403 31 112 35 13 191 48 31 270 133 593 16 117 32 14 179 48 78 305 288 596 11 111 35 15 172 54 67 293 303 562 16 110 36 18 180 44 48 272 290 512 20 105 26 17 168 46 38 252 260 52413 empl. 8767 0 220 219 166 605 1490 1718 3813 4954 18384 0 248 204 198 650 1448 3060 5158 13226 15337 0 235 215 205 655 1566 3468 5689 9648 14518 0 236 231 241 708 1291 3317 5316 9202 14489 0 217 160 229 606 1276 2783 4665 9824 52413 ann. pay. 500013 4362 8077 8019 14352 34810 84242 122921 241973 258040 1412468 3369 9891 9317 13129 35706 105904 271337 412947 999521 1257158 11159 10603 10190 13198 45150 105343 331135 481628 775530 1252549 2257 11166 16024 16342 45789 106100 296509 448398 804151 1297671 3906 10697 10929 9900 35432 92814 247936 376182 921489 52413 rec. 22676905 35395 83767 45175 57641 221978 3197587 6346396 9765961 12910944 52421 firms 113112 9695 77408 16246 5821 109170 3205 424 112799 313 112481 9321 76974 16331 5839 108465 3238 442 112145 336 113328 10973 76114 16436 5791 109314 3214 467 112995 333 112776 9854 76412 16657 5814 108737 3229 480 112446 330 115675 11231 77464 17026 5829 111550 3207 541 115298 377 52421 estab. 120837 9702 77521 16837 7068 111128 5503 1491 118122 2715 120287 9338 77108 16901 6971 110318 5379 1396 117093 3194 121450 10991 76298 16971 6898 111158 5193 1365 117716 3734 120891 9872 76557 17166 6833 110428 5098 1596 117122 3769 125241 11245 77548 17459 6849 113101 5476 2086 120663 4578 52421 empl. 583399 0 156630 102827 75741 335198 106550 41913 483661 99738 592887 0 156843 103411 75744 335998 108976 45609 490583 102304 596156 0 155497 103688 75169 334354 108747 47671 490772 105384 613024 0 156655 104907 75568 337130 109579 50947 497656 115368 641229 0 160061 107445 75663 343169 107571 54117 504857 136372 52421 ann. pay. 22360275 298515 3702809 3179239 2912481 10093044 4848106 1896691 16837841 5522434 23816724 363420 3834232 3269210 3016595 10483457 5036674 2087607 17607738 6208986 24710623 343399 3963081 3391801 3086947 10785228 5327411 2234795 18347434 6363189 27122135 320377 4166557 3561432 3274493 11322859 5779757 2538229 19640845 7481290 29984280 421317 4414593 3788796 3479708 12104414 6086321 3015139 21205874 8778406 52421 rec. 104189974 1759167 17767678 10948831 8723023 39198699 15213299 10016841 64428839 39761135 52429 firms 10089 1368 4675 1593 985 8621 967 273 9861 228 10078 1150 4947 1544 962 8603 972 276 9851 227 10117 1243 4914 1537 939 8633 975 277 9885 232 9750 1028 4841 1509 910 8288 961 282 9531 219 8892 942 4270 1340 856 7408 967 290 8665 227 52429 estab. 13679 1371 4703 1632 1145 8851 1530 973 11354 2325 13563 1176 4966 1587 1094 8823 1538 814 11175 2388 13308 1260 4942 1596 1057 8855 1453 821 11129 2179 13089 1032 4869 1552 1028 8481 1451 801 10733 2356 12464 944 4283 1378 971 7576 1587 1121 10284 2180 52429 empl. 196436 0 9467 10419 13149 33035 36275 37537 106847 89589 203843 0 9893 10123 12851 32867 36763 38541 108171 95672 204823 0 9849 10006 12482 32337 36433 37478 106248 98575 208102 0 9736 9870 12100 31706 36548 39320 107574 100528 199962 0 8643 8762 11374 28779 36488 40081 105348 94614 52429 ann. pay. 7818428 69998 317105 398577 498592 1284272 1444080 1427519 4155871 3662557 8399585 60525 320511 393809 522049 1296894 1478059 1512880 4287833 4111752 8629294 82404 333772 398309 526642 1341127 1508878 1492516 4342521 4286773 9143653 69783 363415 413739 529286 1376223 1584603 1752455 4713281 4430372 9151495 73503 318461 366429 514116 1272509 1675114 1853926 4801549 4349946 52429 rec. 30292860 286260 1044200 1028266 1367652 3726378 4272939 6167801 14167118 16125742 52591 firms 172 61 78 6 5 150 5 6 161 11 163 27 96 12 6 141 7 5 153 10 174 34 93 16 6 149 8 6 163 11 232 46 130 19 15 210 5 6 221 11 388 56 221 52 19 348 15 5 368 20 52591 estab. 196 61 78 6 5 150 7 6 163 33 185 27 96 12 6 141 9 5 155 30 207 34 93 16 6 149 10 6 165 42 266 46 130 19 15 210 7 6 223 43 435 56 221 55 22 354 22 5 381 54 52591 empl. 1246 0 127 [b] [b] 242 146 271 659 587 1520 [a] [c] [b] 75 [e] [c] [c] [f] [f] 1501 [a] [c] [c] 78 [e] 231 [e] [g] [f] 1768 [a] [c] [c] [c] [f] 142 332 [g] [f] 2343 0 393 349 231 973 [e] [c] 1513 830 52591 ann. pay. 113675 5964 6025 (D) (D) 35875 7668 32368 75911 37764 131768 (D) (D) (D) 6089 (D) (D) (D) (D) (D) 226472 (D) (D) (D) 5826 (D) 40442 (D) (D) (D) 234787 (D) (D) (D) (D) (D) 31012 54434 (D) (D) 264647 7913 30053 26979 34835 99780 (D) (D) 158772 105875 52591 rec. 919786 34253 134254 77869 99291 345667 (D) (D) 596333 323453 52593 firms 577 119 256 62 24 461 42 33 536 41 638 115 295 61 26 497 58 36 591 47 680 123 296 73 41 533 65 35 633 47 782 160 369 69 45 643 64 32 739 43 974 173 524 77 60 834 56 36 926 48 52593 estab. 1217 119 257 66 26 468 54 143 665 552 1347 117 296 65 26 504 72 184 760 587 1350 123 296 73 43 535 80 124 739 611 1507 160 371 69 48 648 72 151 871 636 1913 173 524 77 60 834 93 155 1082 831 52593 empl. 21730 0 478 361 357 1196 1548 4234 6978 14752 31789 0 569 368 339 1276 2273 5945 9494 22295 25726 0 581 435 544 1560 2575 5664 9799 15927 27739 0 698 442 571 1711 2679 5231 9621 18118 25464 0 956 476 780 2212 2337 5499 10048 15416 52593 ann. pay. 1036974 12123 17015 30696 30140 89974 137206 277594 504774 532200 1527312 7094 27130 28259 18301 80784 198181 380096 659061 868251 1436391 16431 29440 24729 46039 116639 219896 371288 707823 728568 1489938 14360 39230 37368 50215 141173 238800 353327 733300 756638 1574156 8083 43871 78165 93519 223638 237404 418869 879911 694245 52593 rec. 20689440 858782 804474 719453 1836953 4219662 3989921 5408711 13618294 7071146 52599 firms 264 116 105 20 5 246 8 4 258 6 461 215 176 34 14 439 10 6 455 6 694 253 329 52 25 659 21 7 687 7 644 192 337 48 37 614 15 10 639 5 1174 332 610 98 48 1088 45 24 1157 17 52599 estab. 267 116 105 21 5 247 10 4 261 6 463 216 176 35 14 441 10 6 457 6 705 253 329 54 25 661 21 7 689 16 656 192 337 50 37 616 15 10 641 15 1190 332 613 100 50 1095 46 26 1167 23 52599 empl. 996 0 202 [c] [b] 393 127 212 732 264 2767 0 331 210 204 745 [e] [f] 1557 1210 4288 0 586 325 338 1249 878 885 3012 1276 4121 0 583 306 492 1381 704 806 2891 1230 6453 0 1095 635 618 2348 [g] [g] 5306 1147 52599 ann. pay. 67446 15555 9055 (D) (D) 34415 8746 6518 49679 17767 221118 22637 14632 10655 13665 61589 (D) (D) 194566 26552 393946 24050 24138 20539 28604 97331 111851 41433 250615 143331 343464 12964 30120 19032 32742 94858 84410 16897 196165 147299 513419 40795 54751 41817 80585 217948 (D) (D) 381116 132303 52599 rec. 1672535 225673 256261 102717 202338 786989 (D) (D) 1225952 446583 53111 firms 54244 5279 35677 7677 3229 51862 1758 396 54016 228 53571 5177 35345 7570 3122 51214 1757 398 53369 202 53220 5223 34820 7638 3107 50788 1815 414 53017 203 52386 5061 34177 7604 3061 49903 1858 428 52189 197 52190 5260 33966 7468 3043 49737 1799 441 51977 213 53111 estab. 58913 5294 35744 7873 3661 52572 2855 1919 57346 1567 58238 5200 35431 7766 3504 51901 2871 1869 56641 1597 57946 5284 34913 7823 3487 51507 2851 2088 56446 1500 57342 5063 34261 7768 3387 50479 3012 2261 55752 1590 57748 5260 34022 7649 3433 50364 2992 2491 55847 1901 53111 empl. 276495 0 66357 49239 41085 156681 57766 30982 245429 31066 272368 0 65994 48489 39940 154423 57665 33360 245448 26920 276455 0 65412 49207 39799 154418 60575 36816 251809 24646 281375 0 64248 48721 39223 152192 61633 40638 254463 26912 281250 0 65449 48024 38877 152350 59796 42104 254250 27000 53111 ann. pay. 5363183 150124 1034320 868617 769501 2822562 1105955 700568 4629085 734098 5563175 150997 1108550 906337 787417 2953301 1185841 777245 4916387 646788 5936218 176510 1145567 970714 838617 3131408 1268004 888855 5288267 647951 6492068 177181 1210525 1026623 883253 3297582 1385298 1056616 5739496 752572 6625384 175305 1194427 1028398 895769 3293899 1394348 1174462 5862709 762675 53111 rec. 49772896 1530226 12750453 8533932 6764231 29578842 8626803 5947038 44152683 5620213 53112 firms 28523 3389 18436 3467 1503 26795 1095 319 28209 314 28441 3546 18247 3447 1518 26758 1091 292 28141 300 28591 3701 18190 3390 1568 26849 1162 292 28303 288 27806 3539 17654 3417 1532 26142 1113 288 27543 263 28241 4051 17741 3267 1501 26560 1077 329 27966 275 53112 estab. 29945 3393 18482 3519 1623 27017 1302 635 28954 991 29827 3552 18297 3500 1628 26977 1283 541 28801 1026 30177 3711 18238 3432 1665 27046 1361 531 28938 1239 30198 3544 17697 3465 1643 26349 1265 507 28121 2077 30777 4051 17776 3319 1611 26757 1313 597 28667 2110 53112 empl. 154459 0 34511 21820 18681 75012 32066 21867 128945 25514 150762 0 34203 21720 19011 74934 31239 19174 125347 25415 158490 0 34176 21416 19395 74987 34896 20671 130554 27936 160832 0 33276 21627 19305 74208 34145 20402 128755 32077 163501 0 33794 20664 18853 73311 32364 22319 127994 35507 53112 ann. pay. 4461976 121994 845283 552023 468992 1988292 820284 722033 3530609 931367 4579702 129415 877078 577306 510721 2094520 864101 634420 3593041 986661 5144253 143861 913562 613083 541696 2212202 998749 750027 3960978 1183275 5820382 156082 938439 634138 570481 2299140 1034246 783315 4116701 1703681 5966550 153314 946908 643269 572161 2315652 979138 883155 4177945 1788605 53112 rec. 45808372 1234737 8896983 5195073 4533410 19860203 7018857 5733858 32612918 13195454 53113 firms 4877 486 3566 551 139 4742 97 20 4859 18 5014 545 3588 578 161 4872 103 21 4996 18 5415 645 3879 560 167 5251 115 31 5397 18 5751 640 4099 632 196 5567 131 35 5733 18 6619 763 4728 749 218 6458 110 36 6604 15 53113 estab. 7268 486 3580 598 231 4895 306 26 5227 2041 7614 545 3598 631 228 5002 324 59 5385 2229 8154 645 3888 598 232 5363 329 96 5788 2366 8574 658 4115 672 262 5707 314 154 6175 2399 9739 764 4733 809 337 6643 333 265 7241 2498 53113 empl. 20184 0 7289 3335 1654 12278 2316 511 15105 5079 21782 0 7366 3484 1902 12752 2978 723 16453 5329 25163 0 8023 3383 1998 13404 3106 1347 17857 7306 29727 0 8440 3827 2381 14648 3753 2422 20823 8904 31959 0 9977 4602 2603 17182 3102 1994 22278 9681 53113 ann. pay. 386837 10019 102961 51491 37215 201686 46825 10891 259402 127435 425774 11975 110441 54425 39491 216332 72472 18352 307156 118618 551406 25544 126280 60579 43226 255629 67215 30790 353634 197772 604921 17239 138565 67304 55749 278857 88802 61453 429112 175809 642371 16135 166069 81163 57543 320910 84928 79617 485455 156916 53113 rec. 4101315 122528 1329746 526966 279316 2258556 443802 164289 2866647 1234668 53119 firms 10913 1282 7544 1390 399 10615 208 55 10878 35 11090 1347 7632 1419 388 10786 218 51 11055 35 11024 1348 7493 1418 453 10712 225 53 10990 34 10950 1214 7585 1389 439 10627 245 46 10918 32 9834 1188 6602 1313 409 9512 243 50 9805 29 53119 estab. 11629 1285 7562 1470 502 10819 438 139 11396 233 11795 1352 7642 1488 484 10966 409 150 11525 270 11927 1350 7517 1481 537 10885 382 224 11491 436 11884 1214 7611 1442 528 10795 449 189 11433 451 10814 1188 6621 1372 516 9697 452 225 10374 440 53119 empl. 39106 0 14602 8574 4702 27878 5746 2751 36375 2731 39161 0 14719 8827 4593 28139 5939 2596 36674 2487 41384 0 14495 8721 5423 28639 6718 3199 38556 2828 41278 0 14591 8601 5319 28511 7307 2611 38429 2849 38441 0 13122 8152 4940 26214 6910 2882 36006 2435 53119 ann. pay. 793057 33775 248102 160180 100135 542192 120945 59064 722201 70856 830204 37712 269015 171671 100526 578924 123460 63758 766142 64062 913215 38288 278295 181064 120539 618186 137942 74875 831003 82212 975949 39117 300115 194613 121881 655726 165964 66325 888015 87934 945070 64440 262109 191437 116014 634000 157461 83048 874509 70561 53119 rec. 6704227 420645 2200600 1208909 807577 4637731 807284 641919 6086934 617293 53121 firms 57708 10521 37591 5620 2214 55946 1300 293 57539 169 58096 9854 38240 5879 2338 56311 1329 290 57930 166 58954 10601 38191 5920 2370 57082 1393 306 58781 173 62670 11723 40519 6110 2386 60738 1449 315 62502 168 68781 15343 43184 6042 2378 66947 1377 277 68601 180 53121 estab. 63519 10557 37701 5932 2924 57114 2865 1647 61626 1893 64342 9877 38333 6162 2943 57315 2769 1524 61608 2734 65098 10622 38286 6151 2934 57993 2689 1641 62323 2775 68948 11730 40605 6343 2893 61571 2758 1605 65934 3014 76046 15346 43264 6407 3064 68081 3206 1617 72904 3142 53121 empl. 241101 0 67242 35528 28186 130956 43555 30981 205492 35609 259992 0 68794 37189 30010 135993 44469 32567 213029 46963 271145 0 69235 37683 30616 137534 47408 33752 218694 52451 283959 0 72561 38649 30692 141902 49508 34802 226212 57747 277561 0 77893 38203 30616 146712 45591 31395 223698 53863 53121 ann. pay. 8691590 371460 1741684 961174 866468 3940786 1577129 1196692 6714607 1976983 9560649 350564 1880282 1047361 935073 4213280 1624371 1308510 7146161 2414488 10562944 387318 1967950 1105870 1002154 4463292 1807290 1416737 7687319 2875625 11063932 404629 2104759 1172604 1029503 4711495 1868921 1472874 8053290 3010642 11258252 540619 2254990 1215411 1088997 5100017 1775483 1381475 8256975 3001277 53121 rec. 67944403 3249830 16051402 8417194 7274696 34993122 9788386 6536360 51317868 16626535 53131 firms 27348 3318 13560 4183 2667 23728 2698 672 27098 250 27856 3400 13879 4177 2701 24157 2730 721 27608 248 28522 3541 14087 4356 2786 24770 2771 732 28273 249 30506 3872 15241 4664 2876 26653 2847 757 30257 249 31655 3290 16608 4803 3026 27727 2879 790 31396 259 53131 estab. 33775 3336 13579 4238 2799 23952 3423 2066 29441 4334 35854 3410 13901 4223 2828 24362 3466 2005 29833 6021 36053 3551 14108 4401 2907 24967 3422 2112 30501 5552 39196 3909 15268 4712 2995 26884 3463 2436 32783 6413 40826 3291 16623 4832 3157 27903 3760 2779 34442 6384 53131 empl. 377239 0 26560 27207 35351 89118 101926 90907 281951 95288 385897 0 27083 27050 35853 89986 101685 101400 293071 92826 406692 0 27619 28390 36831 92840 105225 109710 307775 98917 437429 0 29749 30501 38106 98356 109281 114587 322224 115205 440782 0 32805 31494 39834 104133 109939 118383 332455 108327 53131 ann. pay. 10874996 178052 697712 759824 1026877 2662465 2786754 2424190 7873409 3001587 11679051 168702 747776 801957 1057800 2776235 3015557 2922721 8714513 2964538 13194972 175927 791280 845757 1120323 2933287 3343953 3326486 9603726 3591246 14946396 219426 873027 963531 1217634 3273618 3487824 3592548 10353990 4592406 14918670 160281 938012 1016236 1292129 3406658 3647925 3736251 10790834 4127836 53131 rec. 44465529 582844 3879865 3064342 3288347 10815398 7886358 7779172 26480928 17984601 53132 firms 11839 1780 8055 1337 452 11624 159 32 11815 24 12217 1505 8490 1484 506 11985 175 38 12198 19 12105 1552 8587 1298 443 11880 171 36 12087 18 12307 1757 8612 1298 414 12081 169 38 12288 19 13529 2188 9278 1424 426 13316 159 30 13505 24 53132 estab. 12048 1781 8064 1366 495 11706 254 52 12012 36 12425 1508 8503 1512 546 12069 254 75 12398 27 12311 1553 8603 1316 483 11955 248 85 12288 23 12478 1757 8626 1322 448 12153 232 67 12452 26 13731 2189 9284 1443 464 13380 253 51 13684 47 53132 empl. 38622 0 15175 8483 5724 29382 5356 2029 36767 1855 41923 0 16203 9377 6460 32040 5896 2684 40620 1303 39451 0 16054 8207 5607 29868 5708 3003 38579 872 38742 0 15775 8179 5298 29252 5694 2886 37832 910 40272 0 17323 9035 5555 31913 5218 1689 38820 1452 53132 ann. pay. 1347762 43357 419455 299973 223989 986774 213695 68129 1268598 79164 1386076 39855 420135 302893 235634 998517 218685 69146 1286348 99728 1277038 33709 417942 264691 214627 930969 198842 90034 1219845 57193 1448228 51776 483786 316767 231635 1083964 199531 101636 1385131 63097 1582620 65359 530152 362454 246866 1204831 229325 62003 1496159 86461 53132 rec. 4825380 272907 1922608 872536 516862 3584913 510244 199579 4294736 530644 53139 firms 9458 2601 4901 965 493 8960 310 98 9368 90 10544 3079 5304 1047 585 10015 352 96 10463 81 12597 3584 6532 1256 627 11999 420 101 12520 77 11705 2938 6339 1240 609 11126 403 99 11628 77 16646 5045 8346 1657 858 15906 547 110 16563 83 53139 estab. 10120 2609 4911 981 550 9051 452 269 9772 348 11242 3081 5315 1062 633 10091 472 289 10852 390 13283 3588 6542 1269 671 12070 533 341 12944 339 12495 2938 6351 1253 654 11196 506 360 12062 433 17514 5045 8355 1670 897 15967 708 341 17016 498 53139 empl. 50326 0 8985 6091 6382 21458 9553 7300 38311 12015 54110 0 9755 6660 7515 23930 11080 8642 43652 10458 60767 0 11970 8002 8081 28053 13719 9782 51554 9213 61956 0 11498 8027 7820 27345 12619 10217 50181 11775 78207 0 15482 10727 11175 37384 18443 10964 66791 11416 53139 ann. pay. 2473182 122719 343059 238055 311100 1014933 436479 311352 1762764 710418 2568805 144644 364719 262302 329620 1101285 500003 344091 1945379 623426 2813670 180576 431420 308602 362497 1283095 584952 459945 2327992 485678 3070265 142775 445017 346818 358172 1292782 639480 521284 2453546 616719 3833631 254968 589342 448771 510792 1803873 838655 517247 3159775 673856 53139 rec. 13035224 1279198 2656174 1617807 1540237 7093416 2347376 1495907 10936699 2098525 53211 firms 2999 347 1392 465 324 2528 324 107 2959 40 2981 384 1371 455 315 2525 304 111 2940 41 2968 341 1378 474 321 2514 313 100 2927 41 3075 405 1404 507 312 2628 316 94 3038 37 3024 397 1438 472 304 2611 276 98 2985 39 53211 estab. 5067 348 1396 479 392 2615 556 386 3557 1510 5453 389 1383 468 378 2618 498 403 3519 1934 5228 347 1386 489 378 2600 509 338 3447 1781 5487 410 1414 520 366 2710 494 323 3527 1960 5647 397 1448 491 380 2716 498 395 3609 2038 53211 empl. 120008 0 2993 3047 4139 10179 11246 9956 31381 88627 127364 0 2915 2941 4018 9874 10783 10704 31361 96003 128695 0 2908 3057 4225 10190 11423 9632 31245 97450 135921 0 2980 3257 4096 10333 11260 9609 31202 104719 131344 0 3075 2993 3919 9987 9165 9268 28420 102924 53211 ann. pay. 2847643 10822 63575 67719 96164 238280 249712 203947 691939 2155704 3242384 13927 67505 67573 97462 246467 256680 231025 734172 2508212 3373064 14142 67845 69530 108260 259777 259292 212383 731452 2641612 3575045 14495 70151 76067 106365 267078 254957 212255 734290 2840755 3614706 16242 71978 70000 100764 258984 222555 226142 707681 2907025 53211 rec. 23292438 127673 646732 536352 807311 2118068 1587166 1401777 5107011 18185427 53212 firms 2131 259 1103 277 175 1814 189 82 2085 46 2112 303 1040 300 179 1822 165 78 2065 47 2067 247 1056 293 184 1780 164 77 2021 46 2036 223 1043 320 174 1760 155 78 1993 43 2065 326 1018 275 178 1797 146 79 2022 43 53212 estab. 5768 259 1105 278 191 1833 311 274 2418 3350 5794 303 1042 302 203 1850 255 274 2379 3415 5839 247 1059 296 203 1805 255 256 2316 3523 6584 224 1045 327 190 1786 224 277 2287 4297 6297 326 1019 284 190 1819 231 250 2300 3997 53212 empl. 51133 0 2230 1771 2240 6241 5635 6169 18045 33088 51722 0 2114 1931 2331 6376 5119 6591 18086 33636 53268 0 2055 1913 2326 6294 5191 5980 17465 35803 53326 0 2061 2095 2243 6399 4574 6316 17289 36037 50608 0 2002 1817 2302 6121 3939 6230 16290 34318 53212 ann. pay. 1602214 18450 60245 49734 63972 192401 190477 192800 575678 1026536 1632093 10102 59348 59254 70255 198959 180472 223697 603128 1028965 1697940 11089 58950 59438 66779 196256 182571 211047 589874 1108066 1770050 8977 59267 64584 71424 204252 157540 225796 587588 1182462 1752181 11453 56047 58540 77090 203130 149436 222424 574990 1177191 53212 rec. 12433436 77156 360908 389943 390996 1219003 872455 1133242 3224700 9208736 53221 firms 1168 168 441 236 132 977 151 23 1151 17 1172 121 494 227 160 1002 134 18 1154 18 1114 116 446 219 153 934 137 23 1094 20 1101 109 445 215 157 926 133 20 1079 22 991 98 402 210 131 841 112 22 975 16 53221 estab. 2918 168 443 243 168 1022 517 152 1691 1227 2718 151 500 232 212 1095 447 147 1689 1029 2834 117 453 223 191 984 409 179 1572 1262 2771 109 448 221 194 972 361 176 1509 1262 2620 108 403 217 186 914 375 246 1535 1085 53221 empl. 18296 0 974 1534 1652 4160 5057 1646 10863 7433 16598 0 1047 1442 2031 4520 4744 1096 10360 6238 17701 0 974 1394 1933 4301 4843 1919 11063 6638 18777 0 964 1347 2056 4367 4517 1515 10399 8378 15959 0 877 1331 1733 3941 3655 1943 9539 6420 53221 ann. pay. 466126 6440 23057 39015 42231 110743 128638 47247 286628 179498 443195 23595 24453 36884 54748 139680 125620 25718 291018 152177 497927 5600 24714 34969 53383 118666 133171 65741 317578 180349 502823 5010 25379 32587 60139 123115 131054 37843 292012 210811 483395 4835 22344 34268 50092 111539 108073 51703 271315 212080 53221 rec. 2130847 21995 98373 139696 186724 446788 406518 214935 1068241 1062606 53222 firms 1537 220 761 268 135 1384 124 22 1530 7 1466 157 749 262 147 1315 122 24 1461 5 1387 141 696 252 147 1236 121 25 1382 5 1383 128 693 270 135 1226 123 29 1378 5 1230 113 608 254 133 1108 94 24 1226 4 53222 estab. 2746 220 762 283 191 1456 478 371 2305 441 2774 168 754 282 208 1412 431 422 2265 509 2685 152 696 275 198 1321 398 386 2105 580 2715 128 694 278 185 1285 394 471 2150 565 2553 119 608 274 180 1181 359 419 1959 594 53222 empl. 14589 0 1615 1739 1695 5049 4151 2756 11956 2633 15302 0 1600 1714 1882 5196 4361 3254 12811 2491 15530 0 1502 1685 1909 5096 4359 3215 12670 2860 16306 0 1501 1762 1741 5004 4187 3918 13109 3197 15269 0 1356 1669 1719 4744 3226 3334 11304 3965 53222 ann. pay. 226045 3361 21243 22250 24895 71749 67975 48140 187864 38181 246162 2572 23411 22678 29094 77755 70609 60331 208695 37467 256848 3122 22996 23112 28802 78032 71634 58596 208262 48586 270588 4998 24858 24427 28124 82407 69493 71115 223015 47573 266321 4979 20431 26094 28001 79505 56921 67942 204368 61953 53222 rec. 982902 22585 108000 95786 84959 311330 180062 261411 752803 230099 53223 firms 12340 1156 6116 2921 1346 11539 696 80 12315 25 11083 955 5605 2591 1189 10340 648 73 11061 22 9643 898 4828 2181 1049 8956 590 75 9621 22 8846 856 4392 1976 956 8180 573 72 8825 21 7785 759 3668 1842 940 7209 495 66 7770 15 53223 estab. 21700 1164 6140 3016 1667 11987 1910 1004 14901 6799 20851 970 5672 2724 1492 10858 1801 936 13595 7256 19609 907 4873 2309 1364 9453 1580 789 11822 7787 18590 879 4438 2105 1228 8650 1476 818 10944 7646 18431 770 3677 1895 1149 7491 1270 914 9675 8756 53223 empl. 157859 0 13974 18948 17228 50150 22117 11362 83629 74230 156138 0 12732 16817 15229 44778 21082 10468 76328 79810 151604 0 10757 14022 13557 38336 19757 10713 68806 82798 150330 0 9621 12836 12170 34627 19284 10830 64741 85589 151159 0 8304 11913 12174 32391 16595 10832 59818 91341 53223 ann. pay. 1438267 25042 116694 138015 142560 422311 208645 101834 732790 705477 1484422 37768 109850 126539 132558 406715 191905 112425 711045 773377 1565439 35090 103624 115490 129579 383783 189233 121408 694424 871015 1587730 30857 104136 115194 130067 380254 199806 127005 707065 880665 1715798 18948 82915 107971 116758 326592 166466 134188 627246 1088552 53223 rec. 9660756 86840 463778 521098 525816 1597532 804924 786011 3188467 6472289 53229 firms 4678 981 1713 803 576 4073 472 55 4600 78 4684 914 1760 825 543 4042 491 69 4602 82 4632 870 1729 822 583 4004 478 74 4556 76 4701 920 1748 806 583 4057 492 77 4626 75 4901 1023 1821 824 618 4286 464 81 4831 70 53229 estab. 6584 984 1717 821 650 4172 744 261 5177 1407 8130 918 1761 851 599 4129 736 334 5199 2931 8000 875 1741 833 645 4094 678 335 5107 2893 8223 925 1751 832 632 4140 722 324 5186 3037 8391 1023 1824 842 692 4381 734 306 5421 2970 53229 empl. 50813 0 3681 5304 7634 16619 14071 4522 35212 15601 67246 0 3727 5461 7227 16415 15377 5321 37113 30133 69881 0 3668 5473 7759 16900 14794 6529 38223 31658 70763 0 3707 5380 7707 16794 16004 6722 39520 31243 70184 0 3994 5454 8251 17699 14872 6800 39371 30813 53229 ann. pay. 1248752 26517 85799 107888 167587 387791 332907 104418 825116 423636 1805974 25383 89880 119330 159720 394313 383274 151786 929373 876601 1874323 32156 92835 122410 183947 431348 371808 203938 1007094 867229 2041119 31826 99791 127356 186744 445717 397254 213704 1056675 984444 2082090 34450 98604 135555 210877 479486 379378 210499 1069363 1012727 53229 rec. 7897168 173319 461089 480757 688440 1803605 1146810 714573 3664988 4232180 53231 firms 3870 352 1577 966 574 3469 316 46 3831 39 3732 287 1537 935 572 3331 324 43 3698 34 3552 274 1463 889 541 3167 309 44 3520 32 3427 261 1404 874 517 3056 298 42 3396 31 3597 316 1499 860 557 3232 289 45 3566 31 53231 estab. 6246 352 1584 984 650 3570 682 316 4568 1678 6428 287 1547 948 644 3426 609 347 4382 2046 6358 274 1469 907 617 3267 540 328 4135 2223 6406 261 1411 893 593 3158 527 325 4010 2396 6737 346 1501 873 662 3382 584 360 4326 2411 53231 empl. 40034 0 3675 6304 7155 17134 8651 4972 30757 9277 42138 0 3545 6141 7191 16877 8975 4563 30415 11723 41863 0 3396 5917 6864 16177 8811 3972 28960 12903 41355 0 3257 5822 6609 15688 8759 3445 27892 13463 40907 0 3476 5633 7110 16219 8311 3330 27860 13047 53231 ann. pay. 1039769 10857 86513 142505 174866 414741 241956 134648 791345 248424 1135420 7946 88126 148343 179830 424245 241944 119596 785785 349635 1189599 9707 87923 149903 180057 427590 251074 110934 789598 400001 1220593 9209 82599 150770 180156 422734 258759 104495 785988 434605 1262493 15725 88253 148324 193905 446207 242410 107519 796136 466357 53231 rec. 4971199 87427 413374 518717 635956 1655474 745152 444797 2845423 2125776 53241 firms 3392 480 1340 592 437 2849 341 102 3292 100 3354 481 1360 609 416 2866 311 85 3262 92 3375 491 1368 599 423 2881 307 93 3281 94 3472 475 1457 577 447 2956 338 86 3380 92 3395 526 1380 555 423 2884 329 83 3296 99 53241 estab. 4816 480 1342 603 474 2899 526 231 3656 1160 5213 486 1369 619 443 2917 450 179 3546 1667 5459 495 1370 608 454 2927 402 198 3527 1932 5696 476 1458 588 474 2996 444 205 3645 2051 5707 526 1382 564 443 2915 493 188 3596 2111 53241 empl. 51652 0 2834 3932 5624 12390 10844 7162 30396 21256 55821 0 2802 4048 5446 12296 10093 5609 27998 27823 64037 0 2800 3992 5441 12233 9359 6452 28044 35993 67902 0 3017 3824 5944 12785 11506 5690 29981 37921 70028 0 2872 3679 5526 12077 10824 6338 29239 40789 53241 ann. pay. 1970198 28993 91445 131039 183229 434706 376307 286282 1097295 872903 2277381 44384 98002 139448 184324 466158 391511 229691 1087360 1190021 2707689 39469 99713 141222 199956 480360 396229 256918 1133507 1574182 3014179 31515 106101 148059 231005 516680 523246 248238 1288164 1726015 3049403 30714 100599 140566 228741 500620 474634 283124 1258378 1791025 53241 rec. 19739454 146574 610978 670487 1036419 2464458 2779620 1242119 6486197 13253257 53242 firms 1052 156 470 161 104 891 102 21 1014 38 1019 158 455 160 98 871 91 20 982 37 1010 147 445 163 107 862 89 23 974 36 995 145 445 167 90 847 85 28 960 35 946 146 428 151 88 813 74 24 911 35 53242 estab. 1415 158 471 170 114 913 196 80 1189 226 1362 161 460 170 103 894 168 84 1146 216 1361 147 449 170 119 885 147 111 1143 218 1305 145 451 173 98 867 138 155 1160 145 1175 146 429 154 104 833 118 113 1064 111 53242 empl. 14178 0 920 1044 1349 3313 3521 2052 8886 5292 15012 0 884 1015 1300 3199 3412 2434 9045 5967 15872 0 894 1027 1418 3339 3057 2914 9310 6562 15211 0 891 1058 1150 3099 2941 3775 9815 5396 11299 0 870 944 1121 2935 2424 2879 8238 3061 53242 ann. pay. 867861 7127 37641 51865 55273 151906 169772 135019 456697 411164 1001732 17709 36533 51312 58135 163689 168622 142596 474907 526825 1123842 5610 37937 45992 70699 160238 165981 195337 521556 602286 890987 8486 36610 43385 55282 143763 132303 245108 521174 369813 613644 5568 35885 38494 51006 130953 115460 154946 401359 212285 53242 rec. 4595303 39509 245395 230334 290792 806030 505023 2092912 3403965 1191338 53249 firms 4281 621 1737 617 527 3502 488 145 4135 146 4152 613 1692 632 494 3431 452 121 4004 148 4056 575 1644 649 467 3335 447 126 3908 148 4011 550 1645 654 457 3306 451 121 3878 133 3942 579 1645 617 421 3262 435 120 3817 125 53249 estab. 5849 624 1742 630 584 3580 718 437 4735 1114 5921 618 1696 644 528 3486 680 323 4489 1432 5801 577 1650 659 500 3386 584 321 4291 1510 5982 553 1648 675 480 3356 597 340 4293 1689 6087 582 1646 628 470 3326 678 284 4288 1799 53249 empl. 74043 0 3592 4008 6989 14589 16634 13093 44316 29727 74575 0 3434 4068 6483 13985 15839 10604 40428 34147 77586 0 3383 4228 6159 13770 14772 11989 40531 37055 82823 0 3410 4278 6061 13749 14995 11929 40673 42150 84565 0 3404 4066 5676 13146 14783 10407 38336 46229 53249 ann. pay. 2640977 27971 112451 117497 250679 508598 598140 501301 1608039 1032938 2772973 28876 106977 121216 246503 503572 582962 428828 1515362 1257611 2906064 78697 108902 129863 229163 546625 586942 467228 1600795 1305269 3093233 21312 110062 138561 227025 496960 594550 484766 1576276 1516957 3181878 26636 108896 140436 219396 495364 613585 428309 1537258 1644620 53249 rec. 13294217 173524 622895 595055 844442 2235916 2288966 1604674 6129556 7164661 53311 firms 1991 300 899 248 168 1615 147 68 1830 161 1952 250 923 245 162 1580 150 69 1799 153 1907 224 917 217 172 1530 164 65 1759 148 2027 292 928 254 169 1643 179 64 1886 141 2077 342 885 227 190 1644 200 63 1907 170 53311 estab. 2124 300 900 259 179 1638 165 87 1890 234 2099 253 928 254 169 1604 165 101 1870 229 2054 224 923 224 181 1552 174 101 1827 227 2129 292 930 257 178 1657 190 82 1929 200 2184 342 887 233 199 1661 213 77 1951 233 53311 empl. 22591 0 1726 1630 2089 5445 4597 4200 14242 8349 25881 0 1804 1561 2081 5446 4972 5004 15422 10459 26462 0 1799 1368 2198 5365 5622 5178 16165 10297 25661 0 1820 1631 2142 5593 6173 5601 17367 8294 24052 0 1721 1466 2525 5712 6403 4208 16323 7729 53311 ann. pay. 1147607 23316 77722 68517 96194 265749 214922 205277 685948 461659 1460088 36976 86163 70166 91337 284642 307375 264572 856589 603499 1625641 21355 86047 71296 98307 277005 393236 301845 972086 653555 1621052 26011 91574 85108 93579 296272 350277 319848 966397 654655 1446754 36688 76241 68940 116192 298061 381167 259760 938988 507766 53311 rec. 14894889 208191 816023 267815 434543 1726572 2291438 1026755 5044765 9850124 54111 firms 163485 14770 108033 22910 10443 156156 6432 758 163346 139 162553 14302 107259 22984 10558 155103 6531 767 162401 152 162011 14847 105942 23262 10503 154554 6524 776 161854 157 161875 15055 105751 23223 10427 154456 6451 791 161698 177 162732 16118 104960 23527 10569 155174 6545 827 162546 186 54111 estab. 169399 14778 108122 23185 11145 157230 8842 2464 168536 863 168486 14320 107351 23255 11198 156124 8988 2387 167499 987 167936 14873 106058 23534 11151 155616 8814 2409 166839 1097 167852 15083 105893 23499 11030 155505 8608 2483 166596 1256 169205 16135 105021 23748 11208 156112 8987 2774 167873 1332 54111 empl. 988948 0 206153 147767 138402 492322 238163 148719 879204 109744 1014850 0 204979 147991 140003 492973 241290 150450 884713 130137 1023682 0 203393 149594 138929 491916 241453 150820 884189 139493 1045794 0 203939 149532 138246 491717 239223 151454 882394 163400 1063238 0 204470 151660 140530 496660 243126 156957 896743 166495 54111 ann. pay. 51535054 860675 6726194 5727195 6623780 19937844 14127341 9606611 43671796 7863258 54991274 902331 6932618 5840086 6903561 20578596 14704988 9972476 45256060 9735214 59940068 1036833 7154842 6197647 7138696 21528018 15236018 10850445 47614481 12325587 64738245 1034710 7561879 6457123 7535476 22589188 15916155 11641122 50146465 14591780 67295119 1185232 7513987 6692550 7831861 23223630 16510945 12159634 51894209 15400910 54111 rec. 173488212 3307854 26918108 18388114 18219606 66833682 35619759 27886682 130340123 43148089 54119 firms 7010 800 3459 1375 740 6374 514 79 6967 43 7087 835 3332 1389 856 6412 535 91 7038 49 7220 832 3548 1441 775 6596 497 75 7168 52 7390 856 3707 1474 752 6789 490 59 7338 52 7725 901 3836 1522 817 7076 516 80 7672 53 54119 estab. 8439 800 3465 1395 868 6528 927 379 7834 605 8551 836 3338 1410 960 6544 917 381 7842 709 8784 832 3552 1470 905 6759 894 330 7983 801 8919 856 3714 1511 856 6937 908 280 8125 794 9487 901 3836 1545 950 7232 1022 330 8584 903 54119 empl. 60425 0 7373 9045 9553 25971 17048 8576 51595 8830 67403 0 7190 9085 11266 27541 18478 11086 57105 10298 65281 0 7681 9345 10189 27215 16929 8195 52339 12942 64393 0 7891 9542 9880 27313 17437 6321 51071 13322 75213 0 8201 9956 10747 28904 17567 8327 54798 20415 54119 ann. pay. 2065925 27147 187713 267973 307128 789961 607841 329261 1727063 338862 2188276 33939 179970 248763 345167 807839 603524 374469 1785832 402444 2200681 28869 194265 256336 314426 793896 582222 322982 1699100 501581 2498303 29355 227544 303183 348154 908236 694150 269567 1871953 626350 3161784 44006 240021 322869 412958 1019854 700177 369036 2089067 1072717 54119 rec. 9340408 155885 836894 925401 1067073 2985253 1785498 1041769 5812520 3527888 54121 firms 93765 10532 56955 15333 6553 89373 3598 524 93495 270 93638 10550 56480 15356 6630 89016 3765 572 93353 285 94067 10882 55945 15671 6758 89256 3913 589 93758 309 95256 11123 56417 15817 6983 90340 3991 617 94948 308 99149 12407 58150 16174 7204 93935 4161 707 98803 346 54121 estab. 99083 10542 56986 15441 6968 89937 4940 1358 96235 2848 99422 10579 56511 15471 7029 89590 5050 1462 96102 3320 100363 10902 55980 15779 7154 89815 5180 1450 96445 3918 101826 11128 56456 15937 7349 90870 5178 1490 97538 4288 110844 12409 58165 16270 7585 94429 5728 1680 101837 9007 54121 empl. 1060647 0 113979 98588 85867 298434 129493 81009 508936 551711 1093608 0 113388 98740 86730 298858 136196 88433 523487 570121 1164194 0 112815 100762 88306 301883 142827 95199 539909 624285 1191356 0 113619 101783 91574 306976 147728 101854 556558 634798 1241269 0 118511 104193 94548 317252 152925 112846 583023 658246 54121 ann. pay. 30260516 357491 2431112 2587571 2691890 8068064 4440435 2408227 14916726 15343790 32697382 472411 2539486 2669606 2782312 8463815 4816529 2586325 15866669 16830713 37698071 355991 2672514 2780351 2905231 8714087 5360035 2988914 17063036 20635035 38302003 471094 2731000 2898282 3102457 9202833 5653830 3436303 18292966 20009037 38929976 495132 2875735 3060147 3265086 9696100 5832590 3693009 19221699 19708277 54121 rec. 86243925 1417956 8994564 7234539 6897948 24545007 11876599 6888427 43310033 42933892 54131 firms 20569 2467 10577 4042 2014 19100 1288 148 20536 33 20822 2262 10536 4241 2201 19240 1384 161 20785 37 21272 2340 10532 4409 2291 19572 1481 179 21232 40 21715 2283 10735 4578 2334 19930 1538 194 21662 53 22521 2601 11221 4555 2379 20756 1517 195 22468 53 54131 estab. 21188 2468 10584 4063 2097 19212 1500 334 21046 142 21453 2275 10543 4258 2268 19344 1589 348 21281 172 21951 2343 10538 4427 2346 19654 1674 414 21742 209 22468 2285 10741 4592 2385 20003 1711 448 22162 306 23486 2601 11225 4574 2456 20856 1863 499 23218 268 54131 empl. 157670 0 22368 26421 26496 75285 47253 21710 144248 13422 168337 0 22171 27764 28903 78838 51410 21873 152121 16216 179467 0 22377 28864 30238 81479 54814 25374 161667 17800 193406 0 22671 30076 31064 83811 57237 27572 168620 24786 185649 0 23570 29833 31178 84581 56025 26967 167573 18076 54131 ann. pay. 7550260 93006 751521 1039662 1188463 3072652 2500457 1204086 6777195 773065 8373796 107324 783240 1124158 1339971 3354693 2851701 1262009 7468403 905393 9441449 97972 827457 1217828 1483341 3626598 3157317 1557051 8340966 1100483 10298865 101913 843312 1291720 1536411 3773356 3309956 1737188 8820500 1478365 9997521 97535 874884 1300671 1573046 3846136 3313785 1704584 8864505 1133016 54131 rec. 25700888 422758 2994726 3333945 3857423 10608852 8083380 4033196 22725428 2975460 54132 firms 7584 1865 3500 1208 631 7204 338 34 7576 8 7653 1683 3605 1285 656 7229 374 41 7644 9 6390 1327 2998 1095 564 5984 365 33 6382 8 6447 1250 3087 1117 576 6030 370 38 6438 9 6729 1535 2916 1144 662 6257 418 44 6719 10 54132 estab. 7626 1865 3502 1212 636 7215 354 46 7615 11 7695 1683 3606 1289 661 7239 388 55 7682 13 6424 1327 2998 1098 568 5991 373 49 6413 11 6486 1250 3087 1121 580 6038 374 62 6474 12 6829 1535 2916 1148 678 6277 444 75 6796 33 54132 empl. 39510 0 7101 7844 8358 23303 11829 3949 39081 429 42691 0 7376 8450 8756 24582 13013 4617 42212 479 38271 0 6055 7191 7449 20695 13200 4082 37977 294 39628 0 6175 7231 7638 21044 13298 4906 39248 380 43711 0 6113 7531 8790 22434 14885 5345 42664 1047 54132 ann. pay. 1115885 51761 193559 196225 236376 677921 334374 92017 1104312 11573 1240426 53843 208192 226734 258460 747229 366527 109575 1223331 17095 1205902 46167 176736 206205 235103 664211 404265 123967 1192443 13459 1359344 38932 195504 227819 256953 719208 447107 178778 1345093 14251 1560413 60794 208452 255042 313296 837584 495118 182411 1515113 45300 54132 rec. 4429316 250974 704313 721884 794088 2471259 1210918 511322 4193499 235817 54133 firms 46182 6336 21519 7324 5256 40435 4465 870 45770 412 45812 5845 21176 7330 5495 39846 4631 894 45371 441 45579 5905 20641 7266 5506 39318 4861 971 45150 429 45540 5582 20655 7262 5587 39086 4994 1011 45091 449 45849 6551 20845 6974 5224 39594 4795 1001 45390 459 54133 estab. 53424 6339 21540 7367 5386 40632 5824 2955 49411 4013 53729 5849 21198 7378 5631 40056 5887 3085 49028 4701 53479 5916 20676 7310 5638 39540 6066 3287 48893 4586 53763 5592 20682 7306 5715 39295 6136 3355 48786 4977 54910 6569 20859 7022 5453 39903 6580 3579 50062 4848 54133 empl. 795629 0 42046 48665 70676 161387 167274 132456 461117 334512 826717 0 41252 48614 74111 163977 175348 136862 476187 350530 816031 0 40530 48392 74109 163031 184586 151683 499300 316731 859691 0 40652 48366 75472 164490 191693 161090 517273 342418 815541 0 40381 46323 70212 156916 182895 156801 496612 318929 54133 ann. pay. 40097774 320759 1705945 2061606 3243616 7331926 8400565 6891738 22624229 17473545 43916818 360881 1746016 2118635 3510053 7735585 9179005 7249614 24164204 19752614 47405254 462823 1751358 2250536 3687521 8152238 10050505 8851047 27053790 20351464 49388522 354717 1824991 2284957 3807080 8271745 10636433 9321595 28229773 21158749 47837768 411766 1760504 2237220 3618778 8028268 10437405 9296922 27762595 20075173 54133 rec. 118300133 1234427 5000247 5384479 7944348 19563501 22194248 20258842 62016591 56283542 54134 firms 2119 400 1251 245 136 2032 73 11 2116 3 2090 345 1271 248 132 1996 80 10 2086 4 2186 358 1335 251 151 2095 78 8 2181 5 2236 367 1374 260 146 2147 76 7 2230 6 2694 412 1752 311 146 2621 61 8 2690 4 54134 estab. 2133 400 1251 245 138 2034 80 16 2130 3 2103 345 1271 248 134 1998 87 11 2096 7 2200 358 1335 251 153 2097 87 8 2192 8 2253 367 1375 261 149 2152 84 7 2243 10 2713 412 1753 314 149 2628 71 9 2708 5 54134 empl. 9410 0 2332 1564 1722 5618 2465 1277 9360 50 9633 0 2377 1616 1763 5756 2603 [g] [i] [e] 10204 0 2464 1630 1986 6080 3013 696 9789 415 10335 0 2467 1722 1928 6117 2822 908 9847 488 10088 0 3118 2005 1892 7015 2083 871 9969 119 54134 ann. pay. 352730 10589 58903 47546 61518 178556 108396 64175 351127 1603 357404 7807 63190 53611 63186 187794 101605 (D) (D) (D) 399188 11588 64494 52959 73441 202482 130982 33502 366966 32222 412486 6860 65752 57288 68760 198660 122852 54659 376171 36315 373003 10125 84100 70027 70249 234501 95977 32568 363046 9957 54134 rec. 768166 35451 239792 140374 130985 546602 163221 52269 762092 6074 54135 firms 3077 588 1973 287 135 2983 79 7 3069 8 3210 565 2078 321 139 3103 92 8 3203 7 3280 549 2118 352 139 3158 98 16 3272 8 3520 597 2250 377 164 3388 107 16 3511 9 4099 739 2706 374 162 3981 98 11 4090 9 54135 estab. 3133 589 1973 290 138 2990 102 18 3110 23 3270 566 2078 321 145 3110 120 20 3250 20 3338 549 2119 352 145 3165 123 30 3318 20 3581 597 2251 380 168 3396 132 31 3559 22 4182 739 2707 379 171 3996 135 32 4163 19 54135 empl. 12223 0 3469 1866 1744 7079 3043 622 10744 1479 11940 0 3737 2067 1841 7645 3571 565 11781 159 13738 0 3814 2258 1832 7904 3569 1832 13305 433 15138 0 4015 2411 2119 8545 3676 1806 14027 1111 13897 0 4859 2399 2047 9305 3553 868 13726 171 54135 ann. pay. 337544 16585 87358 52043 51435 207421 97596 13939 318956 18588 391532 15742 98569 58932 57507 230750 131455 21536 383741 7791 474127 15112 99120 69426 60056 243714 129309 84244 457267 16860 539533 14650 110815 75490 67137 268092 157405 47600 473097 66436 495556 21631 131101 79318 78312 310362 143468 30978 484808 10748 54135 rec. 1334226 77111 407975 245438 177027 907551 303819 112620 1323990 10236 54136 firms 624 108 313 93 49 563 42 12 617 7 609 114 317 84 43 558 37 9 604 5 623 107 323 89 53 572 34 10 616 7 648 96 339 94 63 592 36 13 641 7 878 137 469 121 78 805 51 12 868 10 54136 estab. 668 108 313 96 51 568 51 15 634 34 644 114 317 85 45 561 49 11 621 23 663 107 324 90 55 576 45 18 639 24 691 96 339 95 65 595 47 22 664 27 966 137 469 124 85 815 69 16 900 66 54136 empl. 11798 0 583 616 646 1845 1656 1601 5102 6696 8773 0 606 531 558 1695 1489 [f] [h] [h] 7081 0 624 544 684 1852 1238 1117 4207 2874 9887 0 675 593 805 2073 1396 1716 5185 4702 7773 0 884 761 1041 2686 1837 1452 5975 1798 54136 ann. pay. 486638 4791 17737 23262 33077 78867 67272 43051 189190 297448 369974 3981 17186 21081 33302 75550 59316 (D) (D) (D) 296890 4299 20464 19086 37104 80953 61032 41317 183302 113588 445716 10995 26099 23681 35052 95827 68285 72386 236498 209218 364986 6138 29839 34833 43248 114058 93416 62160 269634 95352 54136 rec. 1090077 26161 92287 91337 113929 323714 288049 173195 784958 305119 54137 firms 8764 757 4704 1880 955 8296 403 42 8741 23 8780 677 4724 1863 1001 8265 446 43 8754 26 8720 686 4568 1927 987 8168 477 49 8694 26 8685 716 4535 1894 985 8130 484 48 8662 23 8767 751 4516 1920 1020 8207 492 46 8745 22 54137 estab. 8957 757 4705 1892 983 8337 498 70 8905 52 8979 679 4726 1873 1022 8300 551 74 8925 54 8919 688 4572 1935 1007 8202 576 80 8858 61 8881 716 4538 1908 1008 8170 563 89 8822 59 9013 751 4517 1929 1044 8241 630 82 8953 60 54137 empl. 55231 0 10386 12288 12391 35065 12353 3459 50877 4354 56733 0 10362 12248 13071 35681 14099 3912 53692 3041 58676 0 9978 12677 12857 35512 15018 4406 54936 3740 59420 0 9960 12552 12822 35334 15609 4375 55318 4102 59483 0 9947 12706 13369 36022 15908 4363 56293 3190 54137 ann. pay. 1649852 21354 224717 317540 369758 933369 432253 122267 1487889 161963 1784877 27191 234577 330500 400975 993243 506907 156722 1656872 128005 1940343 23437 229831 354318 408387 1015973 564793 201067 1781833 158510 2051931 25008 243121 362100 435368 1065597 602520 217931 1886048 165883 2095167 22367 248001 377857 464929 1113154 640458 206593 1960205 134962 54137 rec. 4311513 67146 690830 768615 867928 2394519 1212551 376918 3983988 327525 54138 firms 4224 391 1488 790 578 3247 721 160 4128 96 4115 295 1502 796 569 3162 703 147 4012 103 4040 303 1453 770 590 3116 684 145 3945 95 4244 344 1566 819 606 3335 666 142 4143 101 4708 440 1846 872 617 3775 680 148 4603 105 54138 estab. 5615 391 1491 798 603 3283 971 475 4729 886 5557 300 1506 806 590 3202 946 451 4599 958 5318 308 1456 777 615 3156 925 448 4529 789 5474 346 1571 826 628 3371 889 444 4704 770 5962 441 1847 881 643 3812 972 488 5272 690 54138 empl. 89998 0 3397 5242 7696 16335 25347 19498 61180 28818 88014 0 3330 5276 7643 16249 25060 17876 59185 28829 89887 0 3259 5114 7975 16348 25478 18159 59985 29902 98422 0 3467 5403 8314 17184 25411 19345 61940 36482 100797 0 4110 5833 8472 18415 25714 19918 64047 36750 54138 ann. pay. 3234837 18971 102637 164753 252670 539031 879949 692907 2111887 1122950 3345179 13956 105186 172800 253232 545174 902083 671529 2118786 1226393 3605567 15251 106130 174251 283388 579020 966164 719598 2264782 1340785 4216324 26191 124898 189584 304870 645543 1016432 780837 2442812 1773512 4403713 24899 145589 210351 326831 707670 1051528 836893 2596091 1807622 54138 rec. 10285091 80560 435621 528199 786993 1831373 2397111 1813906 6042390 4242701 54141 firms 10132 1844 6241 1260 514 9859 234 23 10116 16 10162 1586 6339 1363 562 9850 266 29 10145 17 10376 1671 6296 1463 603 10033 298 27 10358 18 10823 1726 6676 1472 592 10466 312 28 10806 17 11132 1939 7042 1391 501 10873 216 25 11114 18 54141 estab. 10195 1845 6242 1268 525 9880 249 45 10174 21 10220 1587 6340 1371 573 9871 281 49 10201 19 10440 1672 6297 1471 615 10055 311 50 10416 24 10889 1728 6678 1480 603 10489 324 54 10867 22 11217 1939 7042 1399 526 10906 235 53 11194 23 54141 empl. 36714 0 12083 8073 6664 26820 7269 1799 35888 826 40683 0 12400 8694 7345 28439 8556 2936 39931 752 44206 0 12490 9350 7936 29776 9884 2504 42164 2042 46486 0 13045 9416 7742 30203 10347 2829 43379 3107 39536 0 13576 8927 6578 29081 6846 2042 37969 1567 54141 ann. pay. 1263331 58656 318356 227473 244198 848683 283426 84801 1216910 46421 1451607 50014 346478 271815 270273 938580 326809 133484 1398873 52734 1669778 50714 369726 307096 317728 1045264 393237 144382 1582883 86895 1756820 55124 389610 308105 296476 1049315 414069 118292 1581676 175144 1485396 52440 394380 308611 273183 1028614 294831 99372 1422817 62579 54141 rec. 7035892 407646 2802981 1515095 1079114 5804836 869500 221318 6895654 140238 54142 firms 1453 288 729 184 113 1314 106 15 1435 18 1380 222 736 168 128 1254 95 15 1364 16 1388 257 691 191 116 1255 101 17 1373 15 1392 238 694 210 117 1259 97 20 1376 16 1605 289 866 213 115 1483 86 18 1587 18 54142 estab. 1489 288 731 185 115 1319 115 19 1453 36 1418 222 736 169 130 1257 103 19 1379 39 1427 257 691 192 118 1258 109 22 1389 38 1428 238 694 213 117 1262 105 25 1392 36 1644 289 866 216 118 1489 100 23 1612 32 54142 empl. 14366 0 1373 1227 1475 4075 3822 1355 9252 5114 14009 0 1401 1114 1681 4196 3467 [g] [i] [i] 13898 0 1338 1262 1537 4137 3819 [g] [i] [h] 14307 0 1349 1397 1564 4310 [h] [g] 10535 3772 12720 0 1605 1425 1543 4573 2972 1315 8860 3860 54142 ann. pay. 676874 17348 52522 51492 60185 181547 170758 66036 418341 258533 622551 8422 56492 49619 76399 190932 162491 (D) (D) (D) 689546 9820 58983 60095 73370 202268 184963 (D) (D) (D) 678356 10838 55540 62196 76514 205088 (D) (D) 481264 197092 657113 12556 67866 67216 73513 221151 156171 62739 440061 217052 54142 rec. 2055079 52375 235250 218740 169848 676213 398421 193624 1268258 786821 54143 firms 14952 2378 8914 2140 977 14409 460 44 14913 39 15208 2293 9118 2236 1005 14652 477 46 15175 33 15265 2413 8933 2271 1018 14635 549 48 15232 33 15576 2335 9177 2315 1121 14948 541 52 15541 35 15952 2661 9662 2148 964 15435 434 52 15921 31 54143 estab. 15063 2378 8919 2147 994 14438 499 62 14999 64 15329 2303 9120 2246 1019 14688 519 54 15261 68 15383 2413 8934 2280 1032 14659 592 64 15315 68 15705 2335 9179 2323 1139 14976 571 86 15633 72 16102 2661 9667 2154 981 15463 493 84 16040 62 54143 empl. 68785 0 17308 13779 12781 43868 15328 4343 63539 5246 69937 0 17419 14361 13332 45112 16353 4639 66104 3833 74882 0 17220 14711 13420 45351 19007 5515 69873 5009 78739 0 17568 14924 14756 47248 19206 6137 72591 6148 69597 0 18378 13899 12630 44907 14936 4242 64085 5512 54143 ann. pay. 2792839 76133 549114 512093 544088 1681428 694077 185347 2560852 231987 3075241 142885 575491 546117 598406 1862899 788814 198345 2850058 225183 3428453 81271 588109 600639 630186 1900205 980703 237427 3118335 310118 3359301 79127 574908 578341 639725 1872101 920127 301632 3093860 265441 3205643 80387 585580 563244 579875 1809086 755083 240557 2804726 400917 54143 rec. 9412475 352638 2240237 1684932 1607546 5885353 1928502 596492 8410347 1002128 54149 firms 1069 287 562 121 58 1028 32 4 1064 5 1130 222 653 153 52 1080 38 7 1125 5 1171 239 660 137 79 1115 47 3 1165 6 1282 259 711 155 98 1223 50 2 1275 7 1740 369 1043 175 88 1675 54 4 1733 7 54149 estab. 1070 287 562 121 58 1028 33 4 1065 5 1130 222 653 153 52 1080 38 7 1125 5 1172 239 660 137 79 1115 47 4 1166 6 1283 259 711 155 98 1223 50 2 1275 8 1748 369 1043 176 89 1677 59 4 1740 8 54149 empl. 4815 0 1015 787 791 2593 1154 1043 4790 25 6505 0 1175 1051 679 2905 1206 [g] [i] [g] 6740 0 1236 895 1036 3167 1470 [e] [i] [g] 8240 0 1307 1028 1304 3639 [g] [e] 5437 2803 9693 0 1862 1098 1171 4131 1666 127 5924 3769 54149 ann. pay. 164640 10967 35257 22297 29580 98101 35820 29064 162985 1655 212720 9030 39096 30700 25901 104727 38881 (D) (D) (D) 258580 10409 52985 25834 40021 129249 54895 (D) (D) (D) 293613 9726 43183 26419 34949 114277 (D) (D) 194728 98885 336954 17194 58683 33842 35193 144912 79068 5078 229058 107896 54149 rec. 1095124 86069 302635 143333 121900 653937 213382 7558 874877 220247 54151 firms 78806 19487 40872 7980 4641 72980 4320 995 78295 511 85437 18616 46116 8865 5161 78758 5037 1074 84869 568 90776 20154 47134 9778 5920 82986 5954 1243 90183 593 91329 17621 49373 9795 6225 83014 6298 1404 90716 613 92606 19363 50963 9245 5860 85431 5442 1151 92024 582 54151 estab. 85535 19494 40905 8047 4789 73235 5093 2175 80503 5032 93798 18665 46157 8927 5276 79025 5717 2223 86965 6833 100144 20169 47172 9859 6038 83238 6592 2536 92366 7778 100852 17628 49427 9861 6349 83265 6901 2673 92839 8013 102872 19378 50999 9324 6082 85783 6574 2615 94972 7900 54151 empl. 873455 0 71115 51933 62240 185288 169543 148219 503050 370405 1013049 0 80216 57884 69174 207274 197199 170401 574874 438175 1171236 0 82906 63924 79890 226720 235097 204851 666668 504568 1254805 0 87354 63748 84216 235318 250035 233818 719171 535634 1089497 0 89294 60844 79034 229172 209662 178305 617139 472358 54151 ann. pay. 54755626 1245583 3680592 2605362 3527753 11059290 10899080 9501034 31459404 23296222 66314054 1255503 4287669 3117209 4145182 12805563 13259046 11698519 37763128 28550926 85302825 1865174 4441154 3441860 4899863 14648051 16899789 16606593 48154433 37148392 84675882 1358280 4398639 3196610 4916504 13870033 16345995 16722741 46938769 37737113 73836091 1084507 4368145 3220214 4734362 13407228 14597226 13041457 41045911 32790180 54151 rec. 181779719 3235834 11861613 8046415 10969308 34113170 30648397 28278188 93039755 88739964 54161 firms 62629 14425 34761 6359 3285 58830 2620 676 62126 503 64657 15265 35640 6389 3370 60664 2790 671 64125 532 69271 17157 37504 6717 3672 65050 2932 727 68709 562 77269 18906 42551 7289 4005 72751 3231 722 76704 565 87694 21961 49435 7861 3956 83213 3120 770 87103 591 54161 estab. 65691 14437 34803 6421 3445 59106 3230 1131 63467 2224 68241 15293 35683 6445 3542 60963 3249 1173 65385 2856 73197 17194 37548 6777 3818 65337 3363 1274 69974 3223 81574 18937 42592 7348 4160 73037 3637 1262 77936 3638 92713 21966 49464 7970 4193 83593 3895 1641 89129 3584 54161 empl. 487590 0 62227 41038 43580 146845 95076 77029 318950 168640 539209 0 63523 41360 44574 149457 102037 76967 328461 210748 586056 0 66516 43154 48314 157984 109041 87419 354444 231612 669823 0 75209 47031 53016 175256 121871 89663 386790 283033 685341 0 87499 50607 52029 190135 111855 90345 392335 293006 54161 ann. pay. 28436637 838294 3177360 2197554 2438571 8651779 4927167 3668725 17247671 11188966 32717119 867827 3325708 2245017 2583449 9022001 5603747 3606573 18232321 14484798 37501811 1135900 3626506 2449476 2953033 10164915 6548993 4217342 20931250 16570561 40121050 1041965 3822437 2498922 2988094 10351418 6619019 4457054 21427491 18693559 42150278 1342102 4194566 2646980 2950293 11133941 6095771 4665732 21895444 20254834 54161 rec. 111798746 4418057 13254438 7187227 7755192 32614914 15217126 11128846 58960886 52837860 54162 firms 6285 890 3257 1014 631 5792 384 58 6234 51 6540 1131 3302 944 643 6020 407 61 6488 52 7002 1298 3518 1009 633 6458 428 66 6952 50 7463 1372 3751 1067 673 6863 478 71 7412 51 7853 1414 3961 1119 709 7203 522 73 7798 55 54162 estab. 6913 891 3261 1023 658 5833 532 248 6613 300 7239 1133 3305 959 667 6064 570 265 6899 340 7654 1299 3523 1018 666 6506 559 288 7353 301 8218 1372 3756 1081 691 6900 636 340 7876 342 8855 1414 3966 1134 789 7303 806 350 8459 396 54162 empl. 48627 0 6482 6576 8320 21378 12826 5925 40129 8498 51329 0 6451 6226 8593 21270 13464 6831 41565 9764 54230 0 6795 6635 8432 21862 14538 8400 44800 9430 59009 0 7238 6980 8899 23117 16864 10057 50038 8971 62554 0 7751 7356 9418 24525 18037 9654 52216 10338 54162 ann. pay. 2040495 31189 222987 242239 318773 815188 531380 294905 1641473 399022 2284608 78772 237341 231993 341453 889559 575640 317161 1782360 502248 2537341 65288 271276 267512 359306 963382 647163 402417 2012962 524379 2804661 55953 292254 298848 381877 1028932 781999 484453 2295384 509277 3063664 65695 303080 337448 424965 1131188 849865 504163 2485216 578448 54162 rec. 7791713 233474 997397 914831 1071677 3217379 2052658 1154166 6424203 1367510 54169 firms 14745 3840 8536 1240 561 14177 408 77 14662 83 14977 3660 8794 1328 614 14396 428 72 14896 81 15838 3983 9168 1390 680 15221 476 74 15771 67 17426 4477 9963 1558 738 16736 536 91 17363 63 14926 4438 7873 1299 671 14281 475 95 14851 75 54169 estab. 15127 3840 8541 1261 592 14234 536 162 14932 195 15397 3665 8802 1342 643 14452 552 152 15156 241 16258 3984 9177 1400 711 15272 589 137 15998 260 17867 4478 9972 1575 771 16796 648 166 17610 257 15440 4448 7880 1309 737 14374 611 205 15190 250 54169 empl. 65274 0 14638 7895 7424 29957 14040 9666 53663 11611 67949 0 15217 8533 8047 31797 14535 8335 54667 13282 71325 0 15974 8890 8960 33824 16196 9747 59767 11558 77272 0 17510 10093 9720 37323 19116 12523 68962 8310 72544 0 13924 8463 8834 31221 16299 11437 58957 13587 54169 ann. pay. 3364375 162168 619274 353072 354366 1488880 735879 475302 2700061 664314 3583370 205729 660644 410305 387900 1664578 740747 421221 2826546 756824 4170545 202212 794821 467329 473756 1938118 874429 633199 3445746 724799 4418944 195287 813691 496204 517497 2022679 1064355 766981 3854015 564929 4354309 222970 647827 442679 484938 1798414 940874 706991 3446279 908030 54169 rec. 11233294 728988 2035900 1158659 1191715 5115262 2278674 1557972 8951908 2281386 54171 firms 8049 1179 3142 1239 892 6452 1026 343 7821 228 8153 1083 3228 1256 870 6437 1122 344 7903 250 8524 1292 3220 1303 918 6733 1167 348 8248 276 9202 1293 3516 1408 1012 7229 1249 427 8905 297 9339 1392 3657 1271 979 7299 1234 457 8990 349 54171 estab. 9652 1182 3142 1248 917 6489 1252 672 8413 1239 9988 1097 3232 1268 892 6489 1328 706 8523 1465 10518 1301 3223 1316 956 6796 1358 729 8883 1635 11299 1296 3523 1429 1039 7287 1443 820 9550 1749 11605 1392 3666 1281 1038 7377 1522 852 9751 1854 54171 empl. 275141 0 6480 8193 11971 26644 41323 53604 121571 153570 301353 0 6816 8328 11689 26833 46048 54665 127546 173807 319453 0 6743 8660 12367 27770 49062 56611 133443 186010 343690 0 7279 9356 13645 30280 51010 70560 151850 191840 355085 0 7462 8318 13112 28892 51070 74234 154196 200889 54171 ann. pay. 15282308 103633 299809 402307 620512 1426261 2370431 3001877 6798569 8483739 18250780 88237 338208 416211 640485 1483141 2738470 3463585 7685196 10565584 23266511 157633 354449 468626 739456 1720164 3458129 5306485 10484778 12781733 22927878 142671 382015 517114 831200 1873000 3501475 5359910 10734385 12193493 23475312 156122 394305 458228 796413 1805068 3495476 5270714 10571258 12904054 54171 rec. 55779326 450139 1280900 1235530 2106331 5072900 8047974 12083404 25204278 30575048 54172 firms 1856 228 838 288 188 1542 207 77 1826 30 1883 216 832 296 206 1550 230 67 1847 36 1925 234 817 322 209 1582 234 71 1887 38 2015 211 882 342 213 1648 256 74 1978 37 2100 276 925 323 210 1734 249 80 2063 37 54172 estab. 2037 228 840 294 194 1556 257 151 1964 73 2100 216 835 298 214 1563 293 105 1961 139 2122 234 819 325 215 1593 275 119 1987 135 2215 211 886 344 221 1662 301 126 2089 126 2339 276 929 325 223 1753 314 144 2211 128 54172 empl. 34710 0 1703 1828 2499 6030 7536 10307 23873 10837 36993 0 1672 1923 2710 6305 8698 9337 24340 12653 39644 0 1644 2088 2736 6468 8719 10678 25865 13779 43377 0 1745 2278 2763 6786 10016 11018 27820 15557 44128 0 1862 2121 2794 6777 9881 10702 27360 16768 54172 ann. pay. 1520776 16509 62760 74795 114794 268858 317075 432943 1018876 501900 1667034 11421 72655 76019 122560 282655 381567 395145 1059367 607667 1994096 26374 66741 97658 121942 312715 404510 577166 1294391 699705 2162711 19423 72544 102924 130953 325844 493029 504067 1322940 839771 2216772 18767 77708 93365 139817 329657 488237 481532 1299426 917346 54172 rec. 6703036 67713 282143 271983 392924 1014763 1309228 1312203 3636194 3066842 54181 firms 12824 1935 6257 2224 1281 11697 938 117 12752 72 13017 1905 6452 2135 1351 11843 983 121 12947 70 12977 1914 6298 2160 1358 11730 1048 125 12903 74 13027 1807 6458 2177 1324 11766 1063 126 12955 72 10982 1862 5077 1786 1143 9868 934 112 10914 68 54181 estab. 13635 1935 6259 2229 1293 11716 1037 298 13051 584 13833 1910 6453 2142 1364 11869 1080 269 13218 615 13866 1916 6300 2170 1369 11755 1150 259 13164 702 13960 1807 6458 2185 1336 11786 1141 277 13204 756 12002 1862 5077 1791 1166 9896 1063 272 11231 771 54181 empl. 147108 0 12467 14626 17121 44214 34405 16603 95222 51886 153124 0 12936 14062 18042 45040 36745 17372 99157 53967 167215 0 12642 14297 17996 44935 39025 18825 102785 64430 172115 0 12901 14429 17825 45155 39763 19411 104329 67786 149054 0 10238 11842 15339 37419 34219 15373 87011 62043 54181 ann. pay. 8472136 103719 461061 603882 803843 1972505 1832351 966646 4771502 3700634 8992608 105615 489220 608027 861546 2064408 2059538 1041003 5164949 3827659 10473964 110868 489484 647670 925336 2173358 2265183 1177704 5616245 4857719 10167913 93804 498390 606542 938564 2137300 2210299 1067018 5414617 4753296 9310462 111040 396948 518583 805669 1832240 2022744 1004500 4859484 4450978 54181 rec. 20179500 329882 1115777 1439355 2064713 4949727 4464987 1841229 11255943 8923557 54182 firms 6253 817 3740 920 432 5909 276 43 6228 25 6084 696 3679 916 440 5731 292 35 6058 26 5923 695 3483 906 449 5533 317 46 5896 27 6038 719 3472 981 464 5636 336 39 6011 27 6130 816 3584 939 459 5798 264 37 6099 31 54182 estab. 6580 818 3745 930 460 5953 376 87 6416 164 6399 700 3683 924 463 5770 387 69 6226 173 6273 697 3488 917 468 5570 403 84 6057 216 6439 719 3475 988 485 5667 422 69 6158 281 6547 816 3585 954 499 5854 346 91 6291 256 54182 empl. 42377 0 7299 5956 5823 19078 9484 4555 33117 9260 44063 0 7189 5866 5800 18855 10339 3933 33127 10936 52253 0 6835 5881 5966 18682 11507 5561 35750 16503 52984 0 6732 6372 6175 19279 12365 4565 36209 16775 45853 0 6908 6098 6065 19071 9211 3685 31967 13886 54182 ann. pay. 2369622 31884 327510 286240 304263 949897 541570 254318 1745785 623837 2625643 31685 329721 288490 340981 990877 638704 238194 1867775 757868 3132646 33305 324188 321227 386167 1064887 755511 315400 2135798 996848 3188494 35738 320908 331486 376861 1064993 749085 262654 2076732 1111762 2968802 40383 327719 344302 380067 1092471 619455 216811 1928737 1040065 54182 rec. 6798910 135924 1034429 960045 827551 2957949 1307909 470232 4736090 2062820 54183 firms 766 98 389 126 65 678 57 19 754 12 785 104 406 120 61 691 60 22 773 12 813 109 422 131 64 726 54 22 802 11 808 116 408 124 74 722 57 17 796 12 895 125 473 151 74 823 47 12 882 13 54183 estab. 890 98 390 127 67 682 90 36 808 82 900 104 407 120 64 695 66 61 822 78 931 110 423 131 67 731 59 63 853 78 937 117 409 124 77 727 61 52 840 97 1002 125 473 154 77 829 54 35 918 84 54183 empl. 8957 0 793 817 843 2453 2266 1930 6649 2308 9238 0 860 790 814 2464 2477 1896 6837 2401 9780 0 835 850 839 2524 2142 2159 6825 2955 10507 0 817 811 960 2588 2265 1905 6758 3749 9963 0 964 981 978 2923 1900 1910 6733 3230 54183 ann. pay. 491977 5740 38536 50515 53321 148112 151805 97785 397702 94275 558915 5495 39376 49412 52565 146848 181591 123147 451586 107329 626943 8761 39764 47615 61204 157344 158246 144600 460190 166753 658212 8676 41864 49392 63826 163758 154223 133202 451183 207029 642630 8445 50953 58382 77064 194844 124196 149828 468868 173762 54183 rec. 1361024 28850 166369 158668 153358 507245 253538 316167 1076950 284074 54184 firms 2112 270 1033 358 227 1888 146 28 2062 50 2137 296 1048 361 194 1899 155 33 2087 50 2193 325 1044 355 221 1945 160 34 2139 54 2151 254 1089 360 191 1894 164 38 2096 55 2140 289 1081 349 196 1915 137 41 2093 47 54184 estab. 2731 270 1036 363 253 1922 214 76 2212 519 2715 298 1052 365 217 1932 196 76 2204 511 2758 325 1047 360 246 1978 200 77 2255 503 2798 254 1091 370 208 1923 199 98 2220 578 2810 289 1081 359 218 1947 187 115 2249 561 54184 empl. 30625 0 2075 2363 3037 7475 5310 2172 14957 15668 31339 0 2093 2380 2563 7036 5603 2862 15501 15838 35959 0 2026 2346 2859 7231 5700 4454 17385 18574 35816 0 2161 2426 2512 7099 5804 4595 17498 18318 33451 0 2162 2302 2553 7017 4975 3881 15873 17578 54184 ann. pay. 1277940 16982 98317 91953 108125 315377 217495 81777 614649 663291 1372935 33335 88507 107865 97340 327047 231074 160911 719032 653903 1782678 31937 96743 117144 124216 370040 251205 333978 955223 827455 1715560 15011 93830 113029 99827 321697 249346 248156 819199 896361 1655924 18843 90669 109491 109632 328635 201262 241738 771635 884289 54184 rec. 7318923 81464 408522 406546 325876 1222408 538947 606137 2367492 4951431 54185 firms 1862 248 966 279 188 1681 136 21 1838 24 1873 274 982 276 166 1698 128 22 1848 25 1870 302 933 273 192 1700 127 20 1847 23 1820 246 954 291 161 1652 124 23 1799 21 2012 291 1111 282 156 1840 132 19 1991 21 54185 estab. 2222 248 967 283 195 1693 165 62 1920 302 2276 274 982 281 175 1712 150 41 1903 373 2335 302 933 274 202 1711 144 40 1895 440 2210 246 955 295 170 1666 139 45 1850 360 2417 291 1112 286 166 1855 162 42 2059 358 54185 empl. 41804 0 1877 1840 2485 6202 4580 2648 13430 28374 43516 0 1904 1900 2151 5955 4379 3104 13438 30078 45148 0 1807 1805 2491 6103 4481 3065 13649 31499 32612 0 1879 1922 2118 5919 4265 3170 13354 19258 24223 0 2095 1891 2025 6011 4674 2473 13158 11065 54185 ann. pay. 949302 11964 57454 62683 90492 222593 164056 82607 469256 480046 1025612 15412 69608 64568 81442 231030 151480 98030 480540 545072 1126443 14351 66857 71926 97846 250980 181383 105925 538288 588155 952530 11129 68944 75873 95197 251143 179916 100572 531631 420899 894427 14162 74476 70573 82787 241998 185754 79764 507516 386911 54185 rec. 4315985 72987 410340 276764 292889 1052980 650483 322842 2026305 2289680 54186 firms 3566 453 1304 563 477 2797 577 133 3507 59 3669 313 1434 606 518 2871 605 128 3604 65 3270 301 1247 534 453 2535 550 121 3206 64 3132 270 1163 558 421 2412 538 115 3065 67 3357 248 1377 587 448 2660 532 101 3293 64 54186 estab. 3770 453 1305 565 483 2806 602 163 3571 199 3897 313 1434 608 526 2881 638 161 3680 217 3491 301 1247 534 458 2540 581 157 3278 213 3359 270 1163 558 427 2418 573 138 3129 230 3602 248 1378 590 455 2671 579 142 3392 210 54186 empl. 85988 0 2790 3704 6411 12905 22913 22613 58431 27557 90044 0 3063 4097 7067 14227 24312 21398 59937 30107 85472 0 2649 3559 6127 12335 21897 19676 53908 31564 84766 0 2399 3752 5838 11989 22019 19464 53472 31294 78619 0 2943 3878 5997 12818 21600 17089 51507 27112 54186 ann. pay. 2742321 22864 90487 110818 191931 416100 641098 608204 1665402 1076919 3070984 21331 101904 134644 238203 496082 717706 610532 1824320 1246664 3226674 27158 94238 123573 191454 436423 723481 586406 1746310 1480364 3035504 18626 84049 125815 193298 421788 748067 588881 1758736 1276768 2875814 24756 108877 138619 223281 495533 727457 548521 1771511 1104303 54186 rec. 10561103 108793 646961 686706 881236 2323696 2293903 1519698 6137297 4423806 54187 firms 500 79 241 62 50 432 38 14 484 16 513 73 263 73 40 449 34 16 499 14 499 77 255 65 37 434 35 16 485 14 583 92 305 73 49 519 36 13 568 15 647 119 340 80 38 577 39 15 631 16 54187 estab. 573 79 241 62 50 432 43 30 505 68 580 73 263 73 40 449 34 35 518 62 564 77 255 65 37 434 35 34 503 61 648 92 305 73 49 519 36 31 586 62 721 119 340 80 39 578 46 66 690 31 54187 empl. 9363 0 495 402 676 1573 1632 2252 5457 3906 6591 0 513 479 542 1534 1378 2308 5220 1371 6534 0 525 434 471 1430 1589 2117 5136 1398 7000 0 633 476 667 1776 1576 2055 5407 1593 6291 0 650 529 490 1669 1549 1750 4968 1323 54187 ann. pay. 222800 1982 13913 11813 16429 44137 40111 51947 136195 86605 192500 4969 14727 15029 15896 50621 33023 61403 145047 47453 199945 7462 14770 13444 17712 53388 35423 62485 151296 48649 210772 2374 20630 13633 19155 55792 40849 65583 162224 48548 238451 4399 19836 16195 17096 57526 49582 86499 193607 44844 54187 rec. 873559 30992 110739 71963 93935 307629 192447 257475 757551 116008 54189 firms 9175 1218 5368 1448 608 8642 416 70 9128 47 9114 1115 5319 1494 647 8575 429 67 9071 43 9012 1154 5112 1507 684 8457 444 59 8960 52 8675 1014 4973 1461 656 8104 464 64 8632 43 8430 926 5029 1342 642 7939 395 59 8393 37 54189 estab. 9510 1218 5368 1454 634 8674 496 160 9330 180 9452 1117 5319 1497 675 8608 505 165 9278 174 9314 1158 5112 1517 704 8491 509 124 9124 190 8939 1014 4976 1470 676 8136 523 118 8777 162 8829 926 5030 1351 667 7974 473 107 8554 275 54189 empl. 64447 0 11023 9273 7892 28188 14014 9255 51457 12990 65337 0 11067 9513 8391 28971 14693 8923 52587 12750 69951 0 10624 9711 8893 29228 15782 8769 53779 16172 68443 0 10312 9449 8471 28232 16085 9256 53573 14870 64365 0 10471 8619 8401 27491 13667 9315 50473 13892 54189 ann. pay. 1893459 42094 283612 259693 248249 833648 448280 230886 1512814 380645 2012187 39603 303662 278183 278284 899732 460511 258590 1618833 393354 2338146 53746 309504 299326 313102 975678 550094 309011 1834783 503363 2338129 44879 305773 282072 297867 930591 581092 291194 1802877 535252 1888600 29069 282347 261588 297276 870280 489490 227242 1587012 301588 54189 rec. 8991987 183363 1780206 1331805 1357334 4652708 2146218 891074 7690000 1301987 54191 firms 3408 479 1354 445 345 2623 566 147 3336 72 3446 492 1376 443 357 2668 564 148 3380 66 3542 524 1447 439 364 2774 551 155 3480 62 3516 485 1468 480 335 2768 537 153 3458 58 4365 770 1942 515 387 3614 537 149 4300 65 54191 estab. 4247 479 1356 448 357 2640 663 358 3661 586 4300 492 1378 448 365 2683 664 364 3711 589 4427 524 1449 445 383 2801 636 369 3806 621 4321 485 1470 491 353 2799 630 306 3735 586 5193 770 1945 530 409 3654 658 335 4647 546 54191 empl. 118328 0 2630 2951 4711 10292 25068 28429 63789 54539 120417 0 2634 2909 4933 10476 23918 27847 62241 58176 118400 0 2766 2901 4974 10641 23553 29407 63601 54799 113038 0 2790 3206 4611 10607 22623 27660 60890 52148 114827 0 3720 3395 5153 12268 22022 28656 62946 51881 54191 ann. pay. 3448761 32056 138301 127152 184185 481694 641310 571831 1694835 1753926 3673290 26546 147289 129795 186505 490135 667376 624987 1782498 1890792 4019141 33664 150429 139779 201318 525190 712842 732097 1970129 2049012 4438343 31131 151832 144073 194405 521441 747452 680058 1948951 2489392 4077541 43322 191944 201329 199379 635974 727726 707415 2071115 2006426 54191 rec. 11379034 169086 670297 503887 632995 1976265 1940318 1604317 5520900 5858134 54192 firms 13051 1862 8579 1600 571 12612 364 52 13028 23 13223 1905 8685 1610 589 12789 369 44 13202 21 13190 1833 8606 1715 601 12755 364 49 13168 22 13379 1927 8702 1681 648 12958 360 40 13358 21 12831 1856 8433 1552 599 12440 336 33 12809 22 54192 estab. 18328 1864 8592 1632 607 12695 570 354 13619 4709 18344 1908 8704 1636 635 12883 579 327 13789 4555 18426 1834 8621 1753 633 12841 518 514 13873 4553 18758 1928 8723 1709 697 13057 492 421 13970 4788 18186 1857 8440 1574 647 12518 487 170 13175 5011 54192 empl. 80955 0 16369 10133 7487 33989 12974 6752 53715 27240 75827 0 16627 10154 7626 34407 13191 [i] [l] [j] 77910 0 16590 10818 7800 35208 12858 6865 54931 22979 81903 0 16726 10642 8444 35812 13154 [i] [l] [k] 79315 0 16417 9829 7726 33972 12014 4906 50892 28423 54192 ann. pay. 1598665 41344 355906 220386 163169 780805 294320 136932 1212057 386608 1641363 52197 381894 213596 178250 825937 308816 (D) (D) (D) 1764055 53357 389289 241514 191827 875987 323651 182462 1382100 381955 1842995 53096 393628 232007 212221 890952 321176 (D) (D) (D) 1700844 46066 365738 223942 186306 822052 317229 103808 1243089 457755 54192 rec. 6575836 237952 1736274 796727 615166 3386119 942940 309707 4638766 1937070 54193 firms 1046 189 603 125 66 983 55 7 1045 1 1078 182 626 124 76 1008 62 7 1077 1 1146 198 669 123 80 1070 64 8 1142 4 1204 228 689 127 80 1124 67 9 1200 4 1506 309 883 154 88 1434 60 7 1501 5 54193 estab. 1049 189 604 125 67 985 55 8 1048 1 1081 182 627 124 77 1010 62 8 1080 1 1152 198 670 123 81 1072 64 9 1145 7 1220 228 689 128 81 1126 67 19 1212 8 1605 309 883 154 91 1437 62 11 1510 95 54193 empl. 5936 0 1129 819 894 2842 2051 [f] [i] [b] 6320 0 1148 810 993 2951 2332 [f] [i] [b] 6710 0 1226 776 1044 3046 2240 1104 6390 320 8298 0 1257 816 1070 3143 2689 [g] [i] [g] 8339 0 1533 1014 1150 3697 2188 716 6601 1738 54193 ann. pay. 184499 6034 27975 22619 27099 83727 68901 (D) (D) (D) 194986 4763 29546 23554 31487 89350 76353 (D) (D) (D) 241595 6776 33067 24311 37802 101956 90728 32341 225025 16570 278777 5560 34708 27651 33517 101436 92213 (D) (D) (D) 287531 7125 41137 33578 40000 121840 79369 30802 232011 55520 54193 rec. 900158 29578 169574 113071 128561 440784 214796 88796 744376 155782 54194 firms 23573 1331 7683 7574 5360 21948 1599 19 23566 7 23705 1218 7551 7521 5549 21839 1840 18 23697 8 23993 1383 7161 7537 5866 21947 2012 25 23984 9 24460 1356 7192 7494 6134 22176 2241 33 24450 10 24598 1352 7250 7291 6214 22107 2448 30 24585 13 54194 estab. 23970 1331 7684 7576 5365 21956 1631 34 23621 349 24125 1218 7554 7524 5551 21847 1869 31 23747 378 24510 1383 7163 7538 5874 21958 2047 38 24043 467 25000 1358 7194 7496 6145 22193 2279 46 24518 482 25601 1352 7251 7304 6302 22209 2756 70 25035 566 54194 empl. 195708 0 19054 51460 70621 141135 45382 3135 189652 6056 205537 0 18616 51190 73307 143113 53254 2755 199122 6415 219868 0 17561 51431 78134 147126 58871 3741 209738 10130 231862 0 17738 51161 81619 150518 66215 5088 221821 10041 241631 0 17939 49964 83131 151034 72388 4631 228053 13578 54194 ann. pay. 3977829 51405 334200 917315 1432849 2735769 993620 83309 3812698 165131 4320940 54480 347215 944416 1523004 2869115 1191335 77612 4138062 182878 4819590 65010 338324 979875 1673707 3056916 1387084 108061 4552061 267529 5288469 66825 369243 1015090 1821320 3272478 1588590 150596 5011664 276805 5773930 66827 406561 1028576 1936527 3438491 1809060 163584 5411135 362795 54194 rec. 16999832 269552 1936899 3617871 5331919 11156241 4247170 382881 15786292 1213540 54199 firms 7744 3213 3354 638 294 7499 189 33 7721 23 11624 4849 4972 1001 436 11258 296 41 11595 29 16452 6143 7634 1445 704 15926 429 59 16414 38 13832 4221 7015 1349 676 13261 462 65 13788 44 21193 7154 9287 2392 1262 20095 894 132 21121 72 54199 estab. 8050 3213 3354 638 302 7507 253 105 7865 185 12128 4849 4972 1001 442 11264 365 95 11724 404 16961 6145 7634 1445 710 15934 479 119 16532 429 14341 4224 7015 1349 690 13278 518 128 13924 417 21718 7154 9287 2392 1276 20109 1037 213 21359 359 54199 empl. 29803 0 6019 4086 3739 13844 6319 [h] [j] [i] 51354 0 8865 6459 5812 21136 10156 5891 37183 14171 72834 0 13825 9321 9361 32507 14996 7485 54988 17846 74017 0 12621 8653 8971 30245 16461 8959 55665 18352 132920 0 17922 15647 16670 50239 31852 20267 102358 30562 54199 ann. pay. 1062341 116553 176241 109354 104340 506488 214840 (D) (D) (D) 1720516 215378 277365 174544 153792 821079 308701 200606 1330386 390130 2829383 322662 460998 304155 306416 1394231 557832 293328 2245391 583992 2842894 158878 418318 278244 280282 1135722 597991 332082 2065795 777099 5166643 274522 652335 585777 591275 2103909 1165226 707115 3976250 1190393 54199 rec. 17833428 1165129 2817020 2058468 1949661 7990278 3201602 1587791 12779671 5053757 55111 firms 26419 1418 3223 774 1080 6495 5785 7577 19857 6562 26873 1394 3742 841 1149 7126 5527 7607 20260 6613 26762 1245 3988 877 1152 7262 5340 7489 20091 6671 26794 1197 3927 912 1151 7187 5258 7651 20096 6698 28229 1033 3906 899 1296 7134 6043 8328 21505 6724 55111 estab. 43681 1422 3231 792 1106 6551 6056 8616 21223 22458 46528 1398 3758 856 1162 7174 5740 8665 21579 24949 47387 1252 4004 887 1179 7322 5535 8487 21344 26043 47559 1199 3941 922 1171 7233 5479 8678 21390 26169 49383 1033 3925 924 1354 7236 6337 9401 22974 26409 55111 empl. 2703799 0 5276 3834 6961 16071 66261 221967 304299 2399500 2788276 0 5783 4262 7538 17583 66178 229905 313666 2474610 2873521 0 6314 4452 8114 18880 66768 221993 307641 2565880 2879223 0 6274 4542 8138 18954 69003 237516 325473 2553750 2913798 0 6458 4618 8981 20057 76984 280390 377431 2536367 55111 ann. pay. 175648657 290881 251821 221965 375672 1140339 2982466 10857683 14980488 160668169 192378035 422066 259826 291846 435004 1408742 3157343 11834393 16400478 175977557 211361063 519510 339608 386622 504106 1749846 3369774 11775224 16894844 194466219 213123787 446687 426315 346706 459269 1678977 3506076 12782834 17967887 195155900 204802311 167800 312772 292588 552850 1326010 3878867 14690143 19895020 184907291 55111 rec. 312884523 1773283 5082714 2084373 1871898 10812268 9473077 27879680 48165025 264719498 56111 firms 23118 3861 9533 3354 2217 18965 2407 1012 22384 734 23853 3865 9953 3332 2308 19458 2600 1026 23084 769 25021 4002 10301 3496 2473 20272 2866 1072 24210 811 27415 4849 11233 3818 2622 22522 3028 1091 26641 774 20118 4482 6584 2445 1962 15473 2659 1159 19291 827 56111 estab. 26238 3869 9544 3364 2253 19030 2673 1417 23120 3118 26293 3879 9962 3351 2335 19527 2861 1441 23829 2464 27359 4003 10310 3512 2499 20324 3095 1475 24894 2465 30147 4856 11248 3835 2644 22583 3242 1370 27195 2952 23680 4490 6591 2461 2003 15545 2938 1436 19919 3761 56111 empl. 383987 0 19031 21984 29123 70138 85249 99560 254947 129040 437967 0 20073 21869 30559 72501 95095 112698 280294 157673 472516 0 20889 22786 32780 76455 106261 120546 303262 169254 518112 0 22776 25099 34907 82782 113163 129474 325419 192693 492056 0 13423 15975 26170 55568 98218 127110 280896 211160 56111 ann. pay. 14810790 399577 978890 977169 1262366 3618002 3175397 3113396 9906795 4903995 17172711 593911 1051802 1071715 1352585 4070013 3636349 3652523 11358885 5813826 20021361 407977 1120279 1142896 1466297 4137449 4337520 4007034 12482003 7539358 22592484 698530 1214760 1239430 1619240 4771960 4685746 4542844 14000550 8591934 22516155 550826 729393 887151 1377031 3544401 4327745 4750327 12622473 9893682 56111 rec. 60040579 1488342 1791533 2161960 3394859 8836694 9811200 10128182 28776076 31264503 56121 firms 1252 114 214 136 170 634 317 160 1111 141 1254 131 247 130 153 661 296 153 1110 144 1292 155 278 145 153 731 262 160 1153 139 1172 100 275 126 131 632 252 152 1036 136 1600 193 564 161 129 1047 258 150 1455 145 56121 estab. 2523 114 214 143 180 651 445 274 1370 1153 2690 138 247 135 156 676 384 350 1410 1280 3023 158 280 151 159 748 345 361 1454 1569 2952 100 275 128 140 643 320 296 1259 1693 3416 193 564 161 140 1058 337 396 1791 1625 56121 empl. 109662 0 480 911 2249 3640 13264 23369 40273 69389 115780 0 503 839 2006 3348 12481 23953 39782 75998 115926 0 548 918 2045 3511 11087 25679 40277 75649 115606 0 538 831 1708 3077 10855 25225 39157 76449 125496 0 1079 1025 1725 3829 10795 23235 37859 87637 56121 ann. pay. 3520919 27065 22685 45573 91985 187308 437207 601369 1225884 2295035 3624788 26095 24187 39782 82513 172577 404286 639172 1216035 2408753 3754987 70362 26715 41146 81929 220152 387720 731258 1339130 2415857 3758242 31990 21620 38575 83349 175534 378476 728804 1282814 2475428 4397197 15137 48144 43615 72262 179158 424533 712011 1315702 3081495 56121 rec. 11191876 56859 145450 122216 159748 484273 955689 1610089 3050051 8141825 56131 firms 6841 1440 2422 896 621 5379 1012 346 6737 104 7618 1628 2783 982 682 6075 1039 377 7491 127 8506 1731 3108 1120 791 6750 1167 434 8351 155 9393 1701 3590 1211 913 7415 1307 510 9232 161 8708 1753 3119 1037 862 6771 1301 469 8541 167 56131 estab. 7447 1447 2428 898 644 5417 1087 459 6963 484 8477 1655 2787 988 710 6140 1092 494 7726 751 9343 1748 3115 1130 810 6803 1218 599 8620 723 10261 1703 3595 1219 934 7451 1385 692 9528 733 9692 1754 3124 1042 892 6812 1434 664 8910 782 56131 empl. 183243 0 4901 5908 8344 19153 43695 59096 121944 61299 257875 0 5681 6475 9209 21365 45496 64455 131316 126559 306465 0 6271 7391 10634 24296 53941 77118 155355 151110 348669 0 7320 7941 12493 27754 57492 90881 176127 172542 309174 0 6397 6856 11790 25043 56532 82959 164534 144640 56131 ann. pay. 3917012 175982 202251 236275 296611 911119 1040544 981632 2933295 983717 6044770 161069 248261 273518 352185 1035033 1148517 1138547 3322097 2722673 7507015 233021 283468 315875 443777 1276141 1485265 1430632 4192038 3314977 8527785 154194 286727 297328 486901 1225150 1476907 1611808 4313865 4213920 7345085 157416 238233 274406 395257 1065312 1463059 1574179 4102550 3242535 56131 rec. 11750905 355271 695700 685921 803998 2540890 2413079 2373108 7327077 4423828 56132 firms 11151 1403 2075 941 884 5303 2859 2208 10370 781 11376 1352 2284 976 1016 5628 2798 2148 10574 802 11490 1419 2274 963 989 5645 2837 2170 10652 838 11969 1556 2428 1064 1096 6144 2966 2067 11177 792 10092 1379 1615 771 956 4721 2791 1898 9410 682 56132 estab. 25114 1406 2083 946 919 5354 3112 3412 11878 13236 27272 1365 2288 982 1061 5696 3080 3261 12037 15235 28104 1449 2276 984 1044 5753 3069 3282 12104 16000 29637 1563 2435 1080 1154 6232 3202 3276 12710 16927 26383 1382 1623 788 1030 4823 3166 3444 11433 14950 56132 empl. 2549701 0 4277 6297 12228 22802 143766 473169 639737 1909964 2725800 0 4660 6528 14201 25389 140932 457969 624290 2101510 3012681 0 4631 6373 13695 24699 141163 474927 640789 2371892 2676010 0 4907 7117 15305 27329 145057 442912 615298 2060712 2390634 0 3472 5207 13489 22168 136614 396702 555484 1835150 56132 ann. pay. 46968885 287159 156709 199767 350315 993950 3132969 7791645 11918564 35050321 51286088 285801 194853 213223 445155 1139032 3275352 8191408 12605792 38680296 58713099 295844 232344 220636 441243 1190067 3400090 8630070 13220227 45492872 57262337 395290 213623 247273 457574 1313760 3425856 8164377 12903993 44358344 52969668 480466 190468 188357 437509 1296800 3361950 7661294 12320044 40649624 56132 rec. 72208487 664291 334206 378571 817283 2194351 4880366 10423759 17498476 54710011 56133 firms 4115 501 720 391 462 2074 1062 625 3761 354 4022 391 778 386 457 2012 1020 598 3630 392 3984 458 716 372 414 1960 996 631 3587 397 4058 409 780 402 402 1993 1002 626 3621 437 4360 507 825 429 489 2250 1034 649 3933 427 56133 estab. 4964 502 720 393 467 2082 1101 730 3913 1051 4965 395 778 389 462 2024 1048 689 3761 1204 4961 474 718 374 415 1981 1015 747 3743 1218 4998 414 782 405 405 2006 1020 714 3740 1258 5018 507 827 430 493 2257 1093 792 4142 876 56133 empl. 881175 0 1458 2634 6383 10475 49627 132786 192888 688287 1009768 0 1623 2599 6284 10506 48256 124160 182922 826846 1253808 0 1527 2448 5683 9658 46537 132382 188577 1065231 1338941 0 1658 2689 5628 9975 47178 130390 187543 1151398 1181080 0 1774 2843 6815 11432 47358 133070 191860 989220 56133 ann. pay. 20378962 136048 67883 87874 204860 496665 1437240 3288081 5221986 15156976 24133166 145911 62132 100482 204940 513465 1444643 3003445 4961553 19171613 32259380 1209440 66069 89356 211584 1576449 1451569 3412742 6440760 25818620 35133964 286080 83033 104659 244125 717897 1536941 3490197 5745035 29388929 32645243 329997 107660 109724 258904 806285 1571830 3622003 6000118 26645125 56133 rec. 41087052 487870 158855 194412 364189 1205326 2558413 4679325 8443064 32643988 56141 firms 4520 760 2716 493 266 4235 230 37 4502 18 4481 791 2672 465 270 4198 224 33 4455 26 4492 767 2687 474 283 4211 215 42 4468 24 4656 848 2793 459 261 4361 237 37 4635 21 5080 870 3148 477 275 4770 250 40 5060 20 56141 estab. 4794 760 2717 499 272 4248 266 88 4602 192 4748 791 2674 469 289 4223 242 85 4550 198 4721 767 2691 476 301 4235 235 95 4565 156 4857 848 2795 465 267 4375 261 80 4716 141 5272 870 3151 479 278 4778 286 72 5136 136 56141 empl. 34853 0 4746 3169 3525 11440 8225 4922 24587 10266 38481 0 4712 3033 3604 11349 8430 4703 24482 13999 37521 0 4695 3064 3802 11561 8308 5777 25646 11875 37916 0 4787 3012 3528 11327 9247 5417 25991 11925 37507 0 5479 3088 3710 12277 9053 4529 25859 11648 56141 ann. pay. 787837 15458 89966 66472 76954 248850 180987 119987 549824 238013 852056 23133 89788 67417 87280 267618 202310 112677 582605 269451 922846 29557 95912 74973 96412 296854 212963 138450 648267 274579 953436 23326 103882 75727 93210 296145 243574 147016 686735 266701 962929 32041 119419 89388 96277 337125 237018 111096 685239 277690 56141 rec. 2372753 103157 449925 261773 232663 1047518 502813 230593 1780924 591829 56142 firms 5298 797 1553 763 896 4009 918 235 5162 136 4928 562 1586 721 814 3683 855 246 4784 144 4604 512 1442 656 796 3406 817 235 4458 146 4443 493 1363 637 727 3220 831 235 4286 157 4079 417 1084 604 753 2858 810 251 3919 160 56142 estab. 6657 797 1554 768 907 4026 1052 436 5514 1143 6256 565 1588 727 831 3711 981 409 5101 1155 5826 515 1446 658 805 3424 934 471 4829 997 5633 499 1367 647 737 3250 928 392 4570 1063 5260 421 1086 608 767 2882 921 432 4235 1025 56142 empl. 314845 0 3225 5184 12379 20788 36120 41351 98259 216586 323553 0 3224 4916 11169 19309 34188 43823 97320 226233 344378 0 2906 4458 10941 18305 32319 42390 93014 251364 343419 0 2752 4333 10055 17140 32556 40136 89832 253587 338279 0 2263 4144 10478 16885 31152 45774 93811 244468 56142 ann. pay. 5295699 37955 79691 92540 182655 392841 607626 591614 1592081 3703618 5879949 35674 90889 95890 185610 408063 611105 720049 1739217 4140732 6621604 42140 84842 89404 207646 424032 615878 767771 1807681 4813923 6669644 33069 88815 84107 194288 400279 645324 741155 1786758 4882886 6959400 70353 60755 83101 195884 410093 595960 753835 1759888 5199512 56142 rec. 17189880 163634 233244 332240 471212 1200330 1514702 1810514 4525546 12664334 56143 firms 8758 1141 4570 1665 746 8122 522 79 8723 35 8544 968 4464 1700 756 7888 537 81 8506 38 8282 879 4240 1729 764 7612 548 78 8238 44 8222 866 4245 1646 793 7550 555 81 8186 36 8280 993 4314 1634 743 7684 487 67 8238 42 56143 estab. 10767 1144 4573 1673 792 8182 681 313 9176 1591 10721 971 4465 1713 794 7943 716 305 8964 1757 10610 913 4244 1745 796 7698 691 282 8671 1939 10643 871 4257 1659 842 7629 666 351 8646 1997 10667 994 4320 1650 812 7776 681 307 8764 1903 56143 empl. 110428 0 10273 10714 9604 30591 18549 10708 59848 50580 117525 0 10039 10914 9892 30845 18968 12198 62011 55514 113069 0 9479 11098 9841 30418 19542 12282 62242 50827 106915 0 9588 10614 10214 30416 19035 13518 62969 43946 94976 0 9887 10448 9629 29964 16836 11349 58149 36827 56143 ann. pay. 2542927 38053 167507 181022 198527 585109 425681 261860 1272650 1270277 2841507 38639 180618 197250 212738 629245 486632 299770 1415647 1425860 2854171 29633 179001 210897 239077 658608 507178 315587 1481373 1372798 2803706 47662 186866 201491 251906 687925 512838 352906 1553669 1250037 2498677 39030 186040 191439 239818 656327 451793 350127 1458247 1040430 56143 rec. 9001872 175342 1154020 866933 816893 3013188 1295582 1083489 5392259 3609613 56144 firms 4696 434 1692 934 721 3781 698 117 4596 100 4568 369 1670 929 703 3671 670 129 4470 98 4377 358 1572 859 715 3504 653 124 4281 96 4420 412 1554 857 693 3516 665 138 4319 101 4492 410 1575 887 671 3543 702 143 4388 104 56144 estab. 5272 438 1692 938 741 3809 821 265 4895 377 5086 369 1674 931 722 3696 790 254 4740 346 4976 358 1573 859 735 3525 762 256 4543 433 5051 425 1556 860 713 3554 798 242 4594 457 5161 413 1575 890 691 3569 850 309 4728 433 56144 empl. 88882 0 3783 6288 9671 19742 25690 17027 62459 26423 91556 0 3679 6200 9542 19421 24823 17892 62136 29420 100066 0 3498 5754 9667 18919 24798 19275 62992 37074 111822 0 3376 5725 9400 18501 25224 22373 66098 45724 119078 0 3547 5891 9029 18467 26939 24575 69981 49097 56144 ann. pay. 2334510 25320 83438 143042 245683 497483 726236 434371 1658090 676420 2523011 26433 88554 145887 263675 524549 728773 511009 1764331 758680 2987725 16603 86640 140978 273281 517502 774510 630054 1922066 1065659 3450492 47127 87084 150792 278661 563664 796758 764608 2125030 1325462 3627378 26477 85582 158158 266884 537101 898455 787201 2222757 1404621 56144 rec. 8494398 92459 276389 415319 646874 1431041 1990301 1670621 5091963 3402435 56145 firms 1102 101 405 213 178 897 158 28 1083 19 1047 75 417 205 146 843 160 26 1029 18 971 82 387 190 125 784 140 28 952 19 937 66 402 176 129 773 118 26 917 20 795 53 314 159 121 647 104 24 775 20 56145 estab. 1509 101 407 217 181 906 205 75 1186 323 1504 75 418 211 148 852 207 78 1137 367 1406 83 390 193 126 792 182 79 1053 353 1360 66 402 178 137 783 154 61 998 362 1177 53 315 161 125 654 146 54 854 323 56145 empl. 35613 0 898 1402 2408 4708 5414 3346 13468 22145 37837 0 911 1357 1938 4206 5567 2732 12505 25332 34048 0 825 1281 1666 3772 4781 3350 11903 22145 33890 0 871 1151 1744 3766 4154 3162 11082 22808 27256 0 661 1030 1600 3291 3754 3101 10146 17110 56145 ann. pay. 1340700 7014 21967 33305 63287 125573 168591 107418 401582 939118 1266714 13494 21145 35520 52888 123047 177372 114404 414823 851891 1438965 3787 19131 36220 50000 109138 163462 110527 383127 1055838 1789791 1820 22763 34721 52161 111465 143098 118950 373513 1416278 1255393 2094 17185 30924 53341 103544 141730 100440 345714 909679 56145 rec. 4801628 10698 65839 95444 150024 322005 450604 753591 1526200 3275428 56149 firms 5904 1265 3003 750 444 5462 326 71 5859 45 6251 1146 3426 805 447 5824 314 69 6207 44 6839 1425 3591 835 506 6357 348 83 6788 51 6551 1104 3621 836 495 6056 355 86 6497 54 5702 857 3123 757 468 5205 354 91 5650 52 56149 estab. 6229 1266 3012 763 465 5506 396 130 6032 197 6585 1146 3432 819 471 5868 361 120 6349 236 7189 1430 3603 850 533 6416 392 142 6950 239 6859 1104 3632 848 523 6107 397 152 6656 203 6166 857 3129 784 514 5284 435 202 5921 245 56149 empl. 57726 0 5577 4840 5865 16282 11701 9225 37208 20518 62083 0 6291 5209 5954 17454 11415 8840 37709 24374 73140 0 6694 5387 6648 18729 12853 10247 41829 31311 76850 0 6712 5426 6615 18753 12821 10959 42533 34317 75645 0 5824 4903 6310 17037 13007 10955 40999 34646 56149 ann. pay. 1489572 36106 142366 125977 172915 477364 313403 212149 1002916 486656 1698971 55411 169637 143654 164044 532746 307222 235565 1075533 623438 2193731 95753 191280 172657 213667 673357 416325 279024 1368706 825025 2208525 40864 188012 166842 208654 604372 412606 316040 1333018 875507 2519828 43366 163000 151763 199314 557443 410615 361040 1329098 1190730 56149 rec. 8159000 165647 844394 609358 900339 2519738 1123786 1058027 4701551 3457449 56151 firms 21896 1957 12345 4981 1602 20885 790 151 21826 70 20674 1572 11882 4648 1578 19680 763 158 20601 73 19362 1585 11098 4244 1441 18368 752 164 19284 78 18094 1438 10463 3806 1377 17084 765 158 18007 87 14838 1290 9004 2747 1024 14065 565 128 14758 80 56151 estab. 28782 1960 12360 5069 1896 21285 1822 972 24079 4703 27390 1602 11904 4762 1852 20120 1645 1001 22766 4624 25975 1595 11117 4368 1711 18791 1546 1019 21356 4619 24654 1439 10495 3921 1627 17482 1486 955 19923 4731 21079 1292 9023 2834 1220 14369 1244 969 16582 4497 56151 empl. 185391 0 28886 31542 20678 81106 28002 19060 128168 57223 184912 0 27638 29590 20297 77525 27695 20048 125268 59644 183143 0 25591 26961 18587 71139 27096 20791 119026 64117 182054 0 23717 24201 17970 65888 27362 19792 113042 69012 151770 0 20078 17477 13358 50913 19678 15730 86321 65449 56151 ann. pay. 4774773 54688 512993 591077 458915 1617673 752977 528582 2899232 1875541 4884583 51932 516524 575759 476114 1620329 750691 596931 2967951 1916632 5313269 52378 500426 568933 471231 1592968 808029 706131 3107128 2206141 5533357 51732 458357 503150 433359 1446598 792923 729311 2968832 2564525 4595040 38103 396512 375434 342699 1152748 612975 487324 2253047 2341993 56151 rec. 11117611 113440 1119369 979681 824160 3036650 1422296 1071279 5530225 5587386 56152 firms 3220 417 1504 591 347 2859 281 55 3195 25 3122 382 1453 569 358 2762 278 54 3094 28 2938 353 1347 551 332 2583 270 59 2912 26 2956 375 1394 499 334 2602 265 61 2928 28 2733 400 1326 443 262 2431 227 52 2710 23 56152 estab. 3514 417 1508 595 360 2880 340 139 3359 155 3434 385 1458 574 370 2787 328 140 3255 179 3229 353 1351 557 339 2600 324 136 3060 169 3235 375 1397 503 348 2623 317 128 3068 167 2975 400 1330 445 270 2445 285 105 2835 140 56152 empl. 39555 0 3241 3888 4570 11699 10283 8717 30699 8856 40638 0 3101 3727 4659 11487 10283 7831 29601 11037 40701 0 2856 3626 4354 10836 10014 8382 29232 11469 44645 0 2922 3263 4370 10555 9813 8620 28988 15657 34579 0 2788 2908 3415 9111 8079 7349 24539 10040 56152 ann. pay. 1159275 39783 84213 104662 123709 352367 289195 282718 924280 234995 1383040 20700 116409 105591 127888 370588 305606 267815 944009 439031 1484483 15773 85242 113374 119243 333632 322267 303962 959861 524622 1474543 15236 82526 95249 124651 317662 295072 310741 923475 551068 1342720 18026 77824 84139 105605 285594 275211 262716 823521 519199 56152 rec. 3685354 54742 221165 236261 309132 821300 842782 1007316 2671398 1013956 56159 firms 2756 346 1321 427 245 2339 254 102 2695 61 2675 265 1288 448 269 2270 248 95 2613 62 2600 251 1233 446 260 2190 257 89 2536 64 2613 238 1243 452 259 2192 277 87 2556 57 2482 293 1157 395 245 2090 251 85 2426 56 56159 estab. 3783 346 1323 429 268 2366 373 372 3111 672 3745 265 1289 451 294 2299 369 340 3008 737 3714 251 1234 448 287 2220 373 349 2942 772 3753 238 1244 455 278 2215 418 312 2945 808 3533 294 1158 397 271 2120 387 325 2832 701 56159 empl. 72584 0 2813 2758 3285 8856 9737 15896 34489 38095 75095 0 2734 2919 3575 9228 9138 14662 33028 42067 83822 0 2666 2909 3452 9027 9721 13566 32314 51508 86417 0 2676 2930 3442 9048 10593 14459 34100 52317 71735 0 2531 2554 3241 8326 9657 13087 31070 40665 56159 ann. pay. 2082654 17142 70484 71649 83582 242857 258138 389303 890298 1192356 2390416 12527 70705 80317 97642 261191 251423 382233 894847 1495569 2862281 14647 75622 84958 98143 273370 293788 373536 940694 1921587 3000149 16627 74149 84587 101166 276529 306368 439629 1022526 1977623 2532131 14164 68479 81203 104288 268134 285397 400138 953669 1578462 56159 rec. 9825248 95709 433130 522198 525893 1576930 1060578 1511252 4148760 5676488 56161 firms 10081 1352 3691 1364 1191 7598 1754 570 9922 159 9785 1220 3626 1338 1141 7325 1699 581 9605 180 9657 1271 3568 1302 1115 7256 1650 571 9477 180 9721 1270 3583 1387 1098 7338 1627 584 9549 172 9765 1334 3513 1350 1119 7316 1667 599 9582 183 56161 estab. 12506 1353 3693 1369 1207 7622 1847 834 10303 2203 12417 1237 3629 1342 1154 7362 1789 916 10067 2350 12382 1272 3571 1311 1128 7282 1737 809 9828 2554 12429 1277 3586 1399 1116 7378 1735 777 9890 2539 12736 1334 3515 1357 1129 7335 1789 923 10047 2689 56161 empl. 565924 0 7522 9114 16274 32910 77174 110171 220255 345669 571619 0 7264 8901 15624 31789 74646 110939 217374 354245 569949 0 7210 8758 15273 31241 73901 110623 215765 354184 572475 0 7187 9148 14996 31331 71790 112889 216010 356465 603415 0 7197 8969 15602 31768 71680 117254 220702 382713 56161 ann. pay. 8397176 62013 153512 159975 248410 623910 1018735 1546148 3188793 5208383 8949795 77557 153694 161191 246973 639415 1034236 1616873 3290524 5659271 9804744 74407 155512 169164 261348 660431 1080050 1743870 3484351 6320393 10330634 73123 167644 187410 274653 702830 1140859 1824660 3668349 6662285 11577541 113696 165214 179355 298112 756377 1145096 2008993 3910466 7667075 56161 rec. 18587014 223424 531051 430590 612405 1797470 1886547 2943400 6627417 11959597 56162 firms 7539 787 3999 1424 706 6916 499 74 7489 50 7661 816 3980 1437 779 7012 516 77 7605 56 7741 843 3972 1441 795 7051 553 83 7687 54 8014 854 4069 1529 806 7258 610 90 7958 56 8331 813 4343 1579 851 7586 601 97 8284 47 56162 estab. 9092 789 4004 1437 737 6967 599 237 7803 1289 9190 819 3980 1450 820 7069 616 221 7906 1284 9301 847 3974 1454 831 7106 659 247 8012 1289 9612 854 4070 1551 843 7318 714 222 8254 1358 9583 813 4345 1591 900 7649 776 281 8706 877 56162 empl. 128695 0 8463 9317 9312 27092 17976 9690 54758 73937 135568 0 8407 9341 10374 28122 19261 10918 58301 77267 141054 0 8404 9403 10668 28475 20299 11654 60428 80626 147990 0 8649 9987 10617 29253 23298 13148 65699 82291 128587 0 9320 10329 11344 30993 22343 13842 67178 61409 56162 ann. pay. 3458170 27699 177092 228534 246475 679800 514278 326450 1520528 1937642 3938409 33962 185739 237720 283107 740528 546446 475981 1762955 2175454 4224895 39151 193993 245944 296093 775181 630131 597642 2002954 2221941 4608611 34014 212339 279729 312977 839059 730821 434089 2003969 2604642 4257959 37099 220392 298115 347115 902721 744417 508578 2155716 2102243 56162 rec. 12073734 137511 854686 898928 998403 2889528 1835432 1312044 6037004 6036730 56171 firms 9409 1057 5137 1755 961 8910 439 39 9388 21 9358 909 5126 1796 977 8808 488 39 9335 23 9428 973 5040 1857 992 8862 504 39 9405 23 9468 985 5063 1833 1021 8902 502 43 9447 21 9513 1050 5091 1818 975 8934 508 51 9493 20 56171 estab. 11170 1057 5139 1757 1012 8965 643 370 9978 1192 11127 912 5128 1805 1022 8867 687 330 9884 1243 11111 985 5042 1867 1037 8931 702 311 9944 1167 11130 987 5066 1842 1058 8953 683 343 9979 1151 11230 1050 5093 1823 1017 8983 732 403 10118 1112 56171 empl. 83008 0 10573 11526 12764 34863 15571 6344 56778 26230 91330 0 10535 11778 12895 35208 17325 6348 58881 32449 91669 0 10360 12130 13193 35683 18066 5822 59571 32098 90361 0 10437 12098 13490 36025 17537 6442 60004 30357 89854 0 10738 11977 13023 35738 17259 7557 60554 29300 56171 ann. pay. 2134454 20333 204694 249034 312090 786151 416202 187708 1390061 744393 2362549 27132 215528 260068 329824 832552 473059 175486 1481097 881452 2439661 21763 215489 277281 346139 860672 510820 180411 1551903 887758 2520956 23339 228661 290655 362926 905581 518852 205465 1629898 891058 2669673 31327 238654 295665 363330 928976 523894 254930 1707800 961873 56171 rec. 6584134 119589 736292 746036 823824 2425741 1137006 566678 4129425 2454709 56172 firms 52887 8178 23928 9004 5938 47048 4647 975 52670 217 51527 6779 24068 8877 5977 45701 4638 963 51302 225 50957 7180 23179 8782 5852 44993 4767 968 50728 229 51466 7237 23393 8857 5895 45382 4868 962 51212 254 45824 7121 20150 7870 5122 40263 4402 913 45578 246 56172 estab. 55648 8182 23931 9014 5954 47081 4795 1342 53218 2430 54962 6785 24070 8885 5998 45738 4786 1291 51815 3147 54288 7185 23185 8793 5875 45038 4933 1323 51294 2994 54810 7247 23399 8865 5917 45428 5037 1309 51774 3036 49530 7122 20154 7878 5136 40290 4667 1335 46292 3238 56172 empl. 878966 0 49130 59530 79596 188256 179697 182049 550002 328964 903635 0 49056 58667 80224 187947 179929 177375 545251 358384 918552 0 47396 58043 78593 184032 185279 181938 551249 367303 931515 0 47426 58763 79168 185357 188669 177101 551127 380388 866175 0 42805 51715 68987 163507 172418 166409 502334 363841 56172 ann. pay. 11060638 185690 613678 665124 884114 2348606 1976270 2160004 6484880 4575758 12094901 179108 686920 714498 961988 2542514 2122713 2157172 6822399 5272502 12830126 186628 680833 745161 1007923 2620545 2357618 2332018 7310181 5519945 13669620 178027 709358 785382 1072429 2745196 2517226 2380044 7642466 6027154 12966950 251854 567199 649761 947539 2416353 2342229 2368275 7126857 5840093 56172 rec. 26937846 705686 2263609 1889085 2549520 7407900 4838315 4265978 16512193 10425653 56173 firms 64584 17606 30775 9207 4282 61870 2476 203 64549 35 64683 16399 31114 9593 4596 61702 2705 234 64641 42 66331 15521 31882 10428 5195 63026 3020 243 66289 42 71539 17773 34375 10568 5313 68029 3192 269 71490 49 72975 22417 32761 9726 4819 69723 2933 265 72921 54 56173 estab. 65377 17606 30776 9208 4284 61874 2514 285 64673 704 65490 16401 31115 9594 4598 61708 2738 285 64731 759 67053 15521 31883 10428 5198 63030 3055 290 66375 678 72504 17775 34376 10572 5316 68039 3233 326 71598 906 74208 22417 32761 9733 4838 69749 3074 411 73234 974 56173 empl. 363906 0 62361 59778 56323 178462 88819 31597 298878 65028 393575 0 63131 62387 60773 186291 97324 36466 320081 73494 415873 0 65786 67880 68886 202552 108550 38681 349783 66090 446111 0 69687 68754 70342 208783 115608 42396 366787 79324 423474 0 67797 62889 63837 194523 105556 40307 340386 83088 56173 ann. pay. 8082010 374365 1285297 1141380 1176099 3977141 1980459 673717 6631317 1450693 8935831 380073 1377011 1246489 1299589 4303162 2221986 792147 7317295 1618536 9770825 396259 1437923 1390248 1521339 4745769 2618096 858945 8222810 1548015 11258488 468108 1698757 1513577 1669097 5349539 2910727 1035195 9295461 1963027 11103071 643770 1575431 1430196 1577255 5226652 2740955 1020313 8987920 2115151 56173 rec. 33598503 3086201 6449085 4611333 4629720 18776339 7262903 2547814 28587056 5011447 56174 firms 9174 1422 5195 1508 670 8795 350 25 9170 4 8892 1072 5250 1497 693 8512 348 25 8885 7 8634 1142 4914 1516 691 8263 340 23 8626 8 8724 1118 5033 1478 716 8345 353 19 8717 7 8155 1114 4570 1396 650 7730 397 19 8146 9 56174 estab. 9342 1429 5196 1515 680 8820 401 81 9302 40 9050 1072 5251 1504 701 8528 397 72 8997 53 8789 1142 4915 1523 703 8283 379 51 8713 76 8872 1118 5035 1491 726 8370 388 56 8814 58 8307 1114 4570 1401 659 7744 444 53 8241 66 56174 empl. 45415 0 10289 9755 8829 28873 11370 [h] [k] [f] 45983 0 10395 9725 9054 29174 11467 3590 44231 1752 45814 0 9787 9849 9138 28774 11162 3447 43383 2431 45854 0 9916 9607 9449 28972 12003 3230 44205 1649 45685 0 9312 9142 8491 26945 13300 3315 43560 2125 56174 ann. pay. 801762 25748 151974 152339 146503 476564 207311 (D) (D) (D) 845081 17521 162139 160199 157883 497742 230466 62228 790436 54645 875399 18354 160943 172780 166323 518400 231174 58873 808447 66952 930240 20447 169827 181538 185204 557016 258599 66449 882064 48176 949830 23412 161318 175154 169319 529203 293273 67376 889852 59978 56174 rec. 2766671 111211 652925 514520 458471 1737127 696238 169845 2603210 163461 56179 firms 5873 1238 3103 848 444 5633 215 12 5860 13 6085 1153 3258 915 496 5822 240 11 6073 12 6352 1259 3328 960 522 6069 261 12 6342 10 7059 1364 3772 1036 563 6735 297 19 7051 8 9570 1974 5061 1434 712 9181 355 26 9562 8 56179 estab. 5919 1238 3105 851 450 5644 222 17 5883 36 6138 1153 3260 918 500 5831 253 20 6104 34 6407 1259 3329 962 528 6078 275 19 6372 35 7105 1364 3774 1038 567 6743 312 26 7081 24 9658 1974 5062 1437 714 9187 395 41 9623 35 56179 empl. 26788 0 5936 5491 5882 17309 6816 [g] [k] [g] 30229 0 6386 5936 6621 18943 8083 1525 28551 1678 31134 0 6693 6238 6862 19793 8710 1334 29837 1297 35445 0 7510 6733 7486 21729 10177 2204 34110 1335 45258 0 10289 9242 9422 28953 11676 2643 43272 1986 56179 ann. pay. 650295 38180 129065 113500 142185 422930 152670 (D) (D) (D) 731717 33283 145946 130516 156705 466450 188334 30295 685079 46638 805893 35363 153964 140101 177349 506777 215720 38294 760791 45102 959239 37615 183648 160781 203911 585955 271970 58723 916648 42591 1185184 65286 232586 211455 240341 749668 299356 66930 1115954 69230 56179 rec. 3659260 296424 963657 639100 652564 2551745 754715 165057 3471517 187743 56191 firms 2337 316 884 327 251 1778 386 123 2287 50 2224 212 865 342 268 1687 372 118 2177 47 2134 197 793 331 261 1582 385 115 2082 52 2141 179 810 352 259 1600 368 123 2091 50 1799 200 647 261 215 1323 328 108 1759 40 56191 estab. 2424 316 884 327 260 1787 404 158 2349 75 2312 212 865 342 276 1695 390 151 2236 76 2231 197 793 331 262 1583 411 142 2136 95 2249 179 810 352 261 1602 381 149 2132 117 1915 200 647 261 216 1324 346 142 1812 103 56191 empl. 58126 0 1824 2195 3521 7540 15756 18062 41358 16768 60707 0 1812 2272 3604 7688 15785 18225 41698 19009 57924 0 1717 2227 3566 7510 16478 18155 42143 15781 58005 0 1715 2347 3529 7591 15611 16691 39893 18112 50614 0 1448 1745 2935 6128 13767 14565 34460 16154 56191 ann. pay. 1256537 12450 47354 53441 74343 187588 323044 355538 866170 390367 1411877 11444 51137 58449 81856 202886 351424 388660 942970 468907 1337165 11778 47842 59781 84048 203449 389183 384957 977589 359576 1370361 12919 47703 62482 85578 208682 361398 375973 946053 424308 1245773 13772 40806 50967 78569 184114 339885 337786 861785 383988 56191 rec. 4776440 69342 232136 232687 366714 900879 1133097 1287344 3321320 1455120 56192 firms 3915 688 1765 603 382 3438 351 85 3874 41 3772 492 1794 599 397 3282 364 86 3732 40 3725 530 1687 611 390 3218 368 94 3680 45 3884 553 1787 625 390 3355 391 91 3837 47 4063 585 2012 589 389 3575 355 87 4017 46 56192 estab. 4186 690 1769 606 391 3456 390 151 3997 189 4031 493 1796 601 408 3298 410 143 3851 180 3997 530 1690 615 398 3233 400 159 3792 205 4154 554 1791 630 397 3372 416 154 3942 212 4354 586 2013 592 402 3593 395 189 4177 177 56192 empl. 70594 0 3587 3990 5129 12706 13645 12108 38459 32135 66346 0 3651 3916 5383 12950 14412 12467 39829 26517 69874 0 3351 3987 5311 12649 14648 12952 40249 29625 71676 0 3569 4040 5271 12880 15061 13291 41232 30444 67763 0 4091 3880 5118 13089 13560 13562 40211 27552 56192 ann. pay. 1816926 30451 126369 136875 178313 472008 422384 318579 1212971 603955 1961961 25893 133549 142775 200054 502271 477198 334334 1313803 648158 2211908 31406 131734 160083 193242 516465 523082 376974 1416521 795387 2214686 30421 132855 157173 184201 504650 520543 394229 1419422 795264 2156593 29026 150136 150350 194183 523695 473236 380721 1377652 778941 56192 rec. 8149850 169971 802042 737698 789316 2499027 1635623 1233087 5367737 2782113 56199 firms 19344 3274 9900 2843 1673 17690 1218 242 19150 194 18528 2114 10057 2878 1750 16799 1272 241 18312 216 17691 2169 9162 2846 1778 15955 1277 245 17477 214 17069 1956 8829 2809 1721 15315 1302 247 16864 205 12856 1883 6303 1903 1273 11362 1048 234 12644 212 56199 estab. 20917 3275 9906 2862 1723 17766 1420 457 19643 1274 20218 2121 10064 2896 1811 16892 1428 482 18802 1416 19520 2173 9172 2866 1841 16052 1444 463 17959 1561 19011 1956 8848 2831 1767 15402 1463 492 17357 1654 14846 1883 6306 1927 1326 11442 1290 430 13162 1684 56199 empl. 218566 0 19657 18519 21989 60165 43173 27072 130410 88156 261487 0 20082 18935 22981 61998 46648 28008 136654 124833 333490 0 18446 18600 23547 60593 46569 30415 137577 195913 340753 0 17755 18260 22912 58927 47936 31317 138180 202573 228547 0 12815 12387 16980 42182 37349 28548 108079 120468 56199 ann. pay. 5114035 154927 576289 486063 600945 1818224 1067612 714688 3600524 1513511 5902148 90716 608940 539973 684851 1924480 1259117 761118 3944715 1957433 6510725 138452 590426 553454 754159 2036491 1373793 815711 4225995 2284730 7050468 83550 570812 569645 735527 1959534 1510475 931793 4401802 2648666 6274942 102247 395298 399794 573764 1471103 1310470 873933 3655506 2619436 56199 rec. 21176966 480088 1999235 1649339 2097634 6226296 4868685 2770728 13865709 7311257 56211 firms 7047 665 3091 1386 995 6137 784 94 7015 32 6464 584 2872 1240 926 5622 722 87 6431 33 6041 574 2661 1188 843 5266 662 77 6005 36 6033 534 2695 1170 828 5227 697 73 5997 36 6253 590 2761 1243 850 5444 693 86 6223 30 56211 estab. 8368 665 3091 1391 1009 6156 877 213 7246 1122 7744 586 2872 1246 942 5646 795 209 6650 1094 7368 575 2662 1194 861 5292 708 165 6165 1203 7273 534 2696 1173 845 5248 738 158 6144 1129 7684 590 2762 1248 873 5473 759 186 6418 1266 56211 empl. 151562 0 6648 9228 13378 29254 28353 13270 70877 80685 149111 0 6169 8190 12494 26853 26402 11995 65250 83861 146032 0 5741 7847 11345 24933 23938 11447 60318 85714 139864 0 5784 7712 11118 24614 25921 10518 61053 78811 141892 0 6217 8114 11421 25752 24727 12621 63100 78792 56211 ann. pay. 4779795 22690 137748 212458 358008 730904 868000 468442 2067346 2712449 4854056 31285 135845 197953 331877 696960 821084 409639 1927683 2926373 5138999 21579 132886 194593 319571 668629 801168 423056 1892853 3246146 5103959 23345 133656 203349 324930 685280 873347 427249 1985876 3118083 5387420 37507 147674 219972 345919 751072 888183 508853 2148108 3239312 56211 rec. 23348275 197736 751314 892818 1309162 3151030 3370845 1920655 8442530 14905745 56221 firms 1663 247 594 292 198 1331 216 58 1605 58 1668 223 611 308 203 1345 206 59 1610 58 1639 161 623 322 205 1311 211 59 1581 58 1689 146 654 321 230 1351 214 67 1632 57 1627 146 634 307 221 1308 203 62 1573 54 56221 estab. 2459 247 594 292 210 1343 247 94 1684 775 2452 223 611 308 219 1361 234 92 1687 765 2678 161 626 324 214 1325 235 92 1652 1026 2933 146 654 321 233 1354 236 107 1697 1236 2917 147 634 307 227 1315 235 119 1669 1248 56221 empl. 52756 0 1340 1935 2659 5934 7919 7352 21205 31551 51801 0 1342 2052 2676 6070 7232 7967 21269 30532 56647 0 1401 2103 2779 6283 7602 8176 22061 34586 63598 0 1502 2114 3028 6644 7688 8100 22432 41166 59280 0 1459 2018 2861 6338 7089 8061 21488 37792 56221 ann. pay. 1967291 15865 35832 51216 74053 176966 260950 284935 722851 1244440 2043488 14486 35932 58404 88544 197366 238783 289863 726012 1317476 2224489 27549 37303 61148 81857 207857 261376 293313 762546 1461943 2553902 9209 42035 59936 100615 211795 256411 323226 791432 1762470 2485051 12293 41443 56038 96809 206583 260177 318917 785677 1699374 56221 rec. 12718921 71380 222200 247246 431391 972217 1095515 1167298 3235030 9483891 56291 firms 1586 183 440 213 245 1081 382 70 1533 53 1581 199 425 235 223 1082 375 74 1531 50 1559 168 399 260 242 1069 359 78 1506 53 1926 230 478 326 301 1335 443 93 1871 55 2296 303 667 379 347 1696 452 96 2244 52 56291 estab. 1850 185 445 213 249 1092 418 142 1652 198 1839 199 425 236 225 1085 417 149 1651 188 1790 168 399 262 244 1073 388 144 1605 185 2186 230 478 326 303 1337 470 175 1982 204 2647 303 668 379 351 1701 520 212 2433 214 56291 empl. 46328 0 934 1429 3372 5735 15499 8788 30022 16306 46693 0 934 1574 3064 5572 15591 8661 29824 16869 49580 0 844 1719 3400 5963 14974 9934 30871 18709 55618 0 1044 2197 4176 7417 17281 12276 36974 18644 57801 0 1504 2536 4761 8801 17358 12474 38633 19168 56291 ann. pay. 1700879 8862 31258 45529 113432 199081 533334 253927 986342 714537 1867466 12220 28812 50471 102425 193928 531246 286386 1011560 855906 1912726 9822 28704 53298 118955 210779 527689 318976 1057444 855282 2266361 17209 38345 80821 157923 294298 617660 431577 1343535 922826 2378880 28293 58033 88082 162677 337085 633100 467369 1437554 941326 56291 rec. 7228144 118604 213940 298674 521200 1152418 1806816 1493508 4452742 2775402 56292 firms 771 117 290 124 93 624 103 21 748 23 703 68 286 144 78 576 83 19 678 25 653 60 251 135 79 525 89 17 631 22 609 39 231 129 83 482 86 20 588 21 693 67 284 133 82 566 87 19 672 21 56292 estab. 874 117 290 126 96 629 109 25 763 111 837 68 288 144 80 580 87 20 687 150 777 61 251 136 79 527 94 19 640 137 736 39 231 129 86 485 93 20 598 138 831 67 284 133 89 573 100 21 694 137 56292 empl. 12485 0 632 846 1229 2707 3582 1130 7419 5066 13113 0 593 965 1042 2600 2812 1688 7100 6013 12185 0 534 907 1032 2473 2966 1170 6609 5576 12928 0 515 852 1124 2491 3060 1600 7151 5777 12744 0 626 884 1102 2612 3065 1280 6957 5787 56292 ann. pay. 347014 6289 12998 22762 29902 71951 83959 33643 189553 157461 400151 2485 13404 22624 25652 64165 76488 54748 195401 204750 379313 3839 14428 25469 23813 67549 81052 38408 187009 192304 415831 3020 14433 21700 30341 69494 81502 60438 211434 204397 398197 3197 17867 23575 29723 74362 85254 34933 194549 203648 56292 rec. 1826802 18863 99820 128530 130525 377738 326945 129175 833858 992944 56299 firms 3224 385 1722 627 287 3021 167 20 3208 16 3235 314 1780 643 296 3033 167 22 3222 13 3212 343 1694 641 314 2992 186 23 3201 11 3438 370 1814 681 331 3196 205 24 3425 13 3426 365 1774 683 363 3185 203 22 3410 16 56299 estab. 3409 385 1722 628 293 3028 185 88 3301 108 3428 314 1780 645 301 3040 179 89 3308 120 3400 343 1694 644 316 2997 198 86 3281 119 3621 370 1814 681 334 3199 218 77 3494 127 3619 365 1774 683 363 3185 225 74 3484 135 56299 empl. 24269 0 3561 4066 3821 11448 5528 2118 19094 5175 26456 0 3697 4251 3948 11896 5572 2358 19826 6630 27039 0 3585 4174 4239 11998 6293 2878 21169 5870 28528 0 3847 4461 4432 12740 7047 2862 22649 5879 28863 0 3760 4457 4809 13026 7006 3094 23126 5737 56299 ann. pay. 735912 8669 78468 104085 102740 293962 168920 114094 576976 158936 818991 7327 86096 105190 114624 313237 178971 87464 579672 239319 879278 9277 85790 106903 124778 326748 205108 110451 642307 236971 974145 14524 97485 118549 131796 362354 242027 122818 727199 246946 985469 16147 91865 123510 152771 384293 239826 132347 756466 229003 56299 rec. 3081602 77372 390854 393015 433824 1295065 658449 442800 2396314 685288 61111 firms 16416 760 2116 1790 2865 7531 7220 1533 16284 132 16646 625 2130 1819 2845 7419 7442 1645 16506 140 16823 645 2119 1788 2783 7335 7606 1741 16682 141 17256 707 2165 1794 2858 7524 7785 1803 17112 144 18547 868 2334 1943 3060 8205 8298 1883 18386 161 61111 estab. 18604 761 2117 1791 2881 7550 7610 2814 17974 630 18889 633 2130 1823 2872 7458 7778 2997 18233 656 19136 646 2119 1794 2801 7360 7940 3089 18389 747 19473 709 2165 1796 2887 7557 8024 3110 18691 782 20894 868 2334 1949 3068 8219 8637 3205 20061 833 61111 empl. 659427 0 5121 12263 40932 58316 314262 233178 605756 53671 694749 0 5034 12510 40454 57998 325658 252530 636186 58563 724354 0 5033 12401 39725 57159 334298 266395 657852 66502 747611 0 5070 12315 40815 58200 344523 280635 683358 64253 793638 0 5677 13277 43705 62659 364396 295675 722730 70908 61111 ann. pay. 12974811 59984 82795 164831 636442 944052 5731732 5189299 11865083 1109728 14279273 63292 96722 175935 647584 983533 6176771 5880706 13041010 1238263 15458594 63772 89564 181032 648957 983325 6583436 6466359 14033120 1425474 16952249 85374 105446 200364 701130 1092314 7192833 7175854 15461001 1491248 18892435 105714 113487 223493 803617 1246311 8013944 7909091 17169346 1723089 61111 rec. 41859655 280280 331487 514461 1784109 2910337 17268060 17797656 37976053 3883602 61121 firms 549 23 70 40 53 186 173 140 499 50 552 28 69 40 59 196 170 136 502 50 551 34 74 35 63 206 153 137 496 55 562 32 87 41 51 211 159 134 504 58 624 35 115 46 62 258 161 147 566 58 61121 estab. 818 23 70 40 53 186 198 230 614 204 816 28 69 40 59 196 192 225 613 203 809 34 74 35 63 206 172 216 594 215 848 32 90 41 51 214 179 202 595 253 931 35 115 46 62 258 174 232 664 267 61121 empl. 74788 0 156 280 732 1168 8411 30377 39956 34832 76511 0 145 252 822 1219 8490 30006 39715 36796 82760 0 155 235 870 1260 7679 30394 39333 43427 85964 0 185 290 715 1190 7960 29267 38417 47547 95015 0 230 319 861 1410 8068 32029 41507 53508 61121 ann. pay. 1854343 2360 3610 8248 19746 33964 190173 549682 773819 1080524 1995080 1936 3749 8137 21231 35053 201732 561873 798658 1196422 2195705 3209 4815 7465 22240 37729 194679 619426 851834 1343871 2378225 1794 5703 9293 20386 37176 204943 639026 881145 1497080 2657285 9158 7297 9224 27022 52701 211407 720859 984967 1672318 61121 rec. 3759090 6315 26716 29133 77769 139933 467486 1395150 2002569 1756521 61131 firms 2366 81 415 174 165 835 373 545 1753 613 2394 101 407 173 161 842 386 540 1768 626 2448 127 411 170 180 888 375 547 1810 638 2454 116 418 184 165 883 372 548 1803 651 2593 147 488 174 170 979 390 562 1931 662 61131 estab. 2946 81 415 174 175 845 389 592 1826 1120 3004 102 407 173 168 850 403 606 1859 1145 3105 127 411 170 184 892 396 599 1887 1218 3136 116 418 189 167 890 389 587 1866 1270 3377 147 488 176 170 981 411 598 1990 1387 61131 empl. 1260468 0 859 1133 2303 4295 19160 141803 165258 1095210 1301801 0 838 1140 2211 4189 19372 142705 166266 1135535 1332535 0 882 1133 2468 4483 18610 144619 167712 1164823 1357358 0 853 1221 2313 4387 18354 142406 165147 1192211 1403085 0 1049 1182 2291 4522 19162 144652 168336 1234749 61131 ann. pay. 30127844 16204 23528 26899 55317 121948 401633 2839864 3363445 26764399 32354264 19520 22393 27564 57452 126929 428201 2989597 3544727 28809537 34603977 25308 24005 30617 67004 146934 437995 3081118 3666047 30937930 37202837 12169 25903 32530 59812 130414 455759 3144340 3730513 33472324 40128148 11973 28836 31318 65194 137321 504961 3378238 4020520 36107628 61131 rec. 104059977 59843 150300 118280 196938 525361 1506890 9194734 11226985 92832992 61141 firms 478 50 152 65 59 326 122 23 471 7 458 50 143 60 55 308 121 22 451 7 442 40 133 72 58 303 110 21 434 8 418 31 137 70 44 282 109 18 409 9 385 31 142 51 42 266 91 20 377 8 61141 estab. 570 50 152 65 59 326 172 50 548 22 553 50 143 60 56 309 173 49 531 22 539 40 134 72 59 305 154 54 513 26 509 31 137 71 45 284 146 50 480 29 474 31 142 51 43 267 132 58 457 17 61141 empl. 10608 0 313 423 809 1545 4859 2730 9134 1474 10642 0 308 407 780 1495 4943 2740 9178 1464 11138 0 290 470 812 1572 4713 2699 8984 2154 10796 0 279 435 623 1337 4522 2533 8392 2404 8269 0 308 312 565 1185 3634 2750 7569 700 61141 ann. pay. 230650 2293 6664 9705 16919 35581 106509 54380 196470 34180 246036 3375 8752 10490 14549 37166 109853 52537 199556 46480 259016 2772 7750 11830 18555 40907 106962 54022 201891 57125 273898 598 9815 12581 16989 39983 108079 53916 201978 71920 202952 1066 8804 9117 14412 33399 90673 60400 184472 18480 61141 rec. 538904 4370 34478 27194 35088 101130 219287 166675 487092 51812 61142 firms 2589 428 1167 432 241 2268 236 47 2551 38 2632 463 1191 403 239 2296 247 52 2595 37 2750 517 1209 409 269 2404 257 54 2715 35 2793 485 1258 425 260 2428 287 52 2767 26 2626 492 1248 344 241 2325 230 52 2607 19 61142 estab. 2896 428 1167 438 252 2285 327 133 2745 151 2930 463 1191 408 243 2305 332 116 2753 177 3045 521 1213 413 276 2423 311 128 2862 183 3060 485 1260 429 264 2438 365 157 2960 100 2914 493 1248 348 265 2354 311 177 2842 72 61142 empl. 29603 0 2322 2817 3327 8466 9104 5714 23284 6319 31791 0 2390 2670 3271 8331 9339 6091 23761 8030 33684 0 2418 2718 3605 8741 9243 7336 25320 8364 32478 0 2440 2769 3500 8709 10648 8624 27981 4497 26749 0 2396 2285 3212 7893 8508 7274 23675 3074 61142 ann. pay. 1113783 20716 71445 82465 118377 293003 347192 212952 853147 260636 1207961 23576 81694 78904 107247 291421 366476 226935 884832 323129 1490566 40964 83092 76731 136130 336917 364582 321209 1022708 467858 1344630 33462 81733 79947 114674 309816 397563 379304 1086683 257947 1116838 17409 68852 69677 110478 266416 361290 328838 956544 160294 61142 rec. 2985150 59788 220729 197591 287880 765988 850273 691093 2307354 677796 61143 firms 3176 655 1727 399 202 2983 142 31 3156 20 3105 459 1761 431 239 2890 156 38 3084 21 3084 478 1697 417 255 2847 182 33 3062 22 3188 525 1743 426 265 2959 175 35 3169 19 3762 639 2241 445 212 3537 160 43 3740 22 61143 estab. 3299 655 1730 406 212 3003 187 59 3249 50 3218 459 1762 442 245 2908 185 76 3169 49 3203 478 1699 428 259 2864 223 64 3151 52 3294 526 1746 436 266 2974 192 82 3248 46 3897 639 2244 455 217 3555 198 100 3853 44 61143 empl. 18926 0 3232 2577 2680 8489 5003 2422 15914 3012 19630 0 3317 2843 3104 9264 4924 3167 17355 2275 20744 0 3284 2754 3287 9325 5738 2867 17930 2814 22228 0 3335 2795 3560 9690 6016 3877 19583 2645 23257 0 4255 2899 2794 9948 5204 4911 20063 3194 61143 ann. pay. 692042 23921 127530 95078 97433 343962 168089 107663 619714 72328 734692 19910 121614 98466 121148 361138 159789 138949 659876 74816 829678 29080 123263 100367 129249 381959 198007 146391 726357 103321 921471 27018 124781 103391 126127 381317 233910 199582 814809 106662 1055477 26830 152279 111385 130191 420685 211445 235989 868119 187358 61143 rec. 3125918 116796 576692 329750 371369 1394607 678012 588159 2660778 465140 61151 firms 5946 699 2541 1119 823 5182 590 122 5894 52 5993 714 2549 1138 802 5203 604 132 5939 54 6065 705 2503 1136 848 5192 670 145 6007 58 6251 708 2578 1211 871 5368 684 136 6188 63 6063 719 2415 1157 904 5195 670 139 6004 59 61151 estab. 6856 701 2546 1143 901 5291 902 422 6615 241 6901 716 2556 1163 867 5302 927 420 6649 252 7032 713 2512 1160 906 5291 952 445 6688 344 7234 708 2583 1238 941 5470 961 425 6856 378 7076 720 2419 1173 976 5288 1056 380 6724 352 61151 empl. 69077 0 5430 7334 10867 23631 20047 11621 55299 13778 74597 0 5423 7569 10665 23657 20831 12296 56784 17813 81175 0 5342 7469 11296 24107 23299 14468 61874 19301 87351 0 5425 7938 11569 24932 24554 14738 64224 23127 84048 0 5230 7708 12002 24940 23282 15494 63716 20332 61151 ann. pay. 1667611 19427 110417 132749 207423 470016 450638 288133 1208787 458824 1888540 25742 120735 150148 214286 510911 492964 298870 1302745 585795 2092789 26782 118097 153411 244171 542461 542912 346055 1431428 661361 2390615 28605 130474 170360 265656 595095 615412 361286 1571793 818822 2334620 30707 129892 172275 286886 619760 581633 362768 1564161 770459 61151 rec. 7162633 130516 565691 539802 851613 2087622 1857544 1044557 4989723 2172910 61161 firms 7285 846 3735 1623 752 6956 298 27 7281 4 7565 932 3802 1640 818 7192 337 32 7561 4 7930 1058 3891 1664 878 7491 394 40 7925 5 8355 1097 4035 1766 998 7896 408 44 8348 7 8707 1135 4085 1904 1092 8216 440 45 8701 6 61161 estab. 7448 848 3744 1643 792 7027 369 46 7442 6 7719 933 3810 1659 852 7254 411 49 7714 5 8079 1059 3902 1681 913 7555 447 71 8073 6 8508 1100 4042 1783 1034 7959 464 77 8500 8 8851 1135 4088 1909 1134 8266 497 81 8844 7 61161 empl. 42432 0 7796 10633 9679 28108 10663 3442 42213 219 45249 0 7962 10669 10550 29181 11680 4219 45080 169 49862 0 8198 10979 11351 30528 13909 5129 49566 296 53319 0 8544 11663 12917 33124 14588 5303 53015 304 57370 0 8791 12535 14263 35589 15488 5971 57048 322 61161 ann. pay. 455384 14672 82818 94333 95745 287568 126146 36618 450332 5052 530363 25671 91165 101238 113910 331984 145529 47868 525381 4982 648652 28405 104783 113364 134021 380573 202024 58640 641237 7415 710901 26555 117293 131062 153488 428398 209643 64330 702371 8530 746074 24103 116600 129075 158358 428136 217706 84173 730015 16059 61161 rec. 2299777 106294 551456 454343 441583 1553676 507704 198869 2260249 39528 61162 firms 6374 1480 2852 1020 602 5954 376 30 6360 14 6766 1632 2980 1045 646 6303 411 37 6751 15 7116 1618 3099 1140 731 6588 474 38 7100 16 7709 1727 3417 1183 810 7137 513 45 7695 14 8707 2054 3809 1362 844 8069 573 52 8694 13 61162 estab. 6527 1480 2859 1026 613 5978 450 77 6505 22 6961 1636 2987 1048 659 6330 489 114 6933 28 7312 1618 3106 1149 743 6616 544 124 7284 28 7911 1727 3421 1195 829 7172 572 142 7886 25 8940 2054 3812 1366 862 8094 674 149 8917 23 61162 empl. 33576 0 5661 6652 8085 20398 11129 1048 32575 1001 37892 0 5973 6814 8708 21495 12405 2595 36495 1397 41308 0 6166 7543 9862 23571 14280 2926 40777 531 45848 0 6728 7761 10915 25404 16372 3548 45324 524 50488 0 7662 8952 11312 27926 18077 3570 49573 915 61162 ann. pay. 453160 34016 90463 83129 81633 289241 130104 12266 431611 21549 539193 44073 98775 88696 101641 333185 151188 29186 513559 25634 694665 50596 110280 105730 124638 391244 193122 94600 678966 15699 710954 45245 127831 116530 137690 427296 218656 49132 695084 15870 747488 49032 140507 128046 133630 451215 216607 58474 726296 21192 61162 rec. 2451169 215019 628886 445430 376699 1666034 554072 190412 2410518 40651 61163 firms 754 106 278 122 118 624 109 15 748 6 792 122 281 138 111 652 120 15 787 5 816 113 307 128 123 671 122 18 811 5 832 106 321 130 124 681 125 22 828 4 882 125 306 145 152 728 135 15 878 4 61163 estab. 902 106 279 122 121 628 135 40 803 99 941 122 281 139 117 659 145 39 843 98 961 113 307 129 131 680 141 43 864 97 981 106 321 131 132 690 143 54 887 94 1032 125 308 147 157 737 166 39 942 90 61163 empl. 11525 0 590 834 1647 3071 3878 1769 8718 2807 11718 0 581 920 1523 3024 4206 1733 8963 2755 12351 0 675 838 1710 3223 4194 2170 9587 2764 12601 0 685 861 1714 3260 4387 2643 10290 2311 12195 0 626 952 2055 3633 4749 1655 10037 2158 61163 ann. pay. 163767 1949 8669 10107 17880 38605 55487 31056 125148 38619 173672 3096 9472 11062 18645 42275 64861 29956 137092 36580 192133 3487 11114 11603 22183 48387 64591 40485 153463 38670 216219 3822 13764 11687 25917 55190 66202 49425 170817 45402 200063 3777 10843 12784 29687 57091 57714 44436 159241 40822 61163 rec. 499750 11693 36729 37222 75576 161220 130388 79568 371176 128574 61169 firms 8830 1304 4100 1485 986 7875 791 115 8781 49 9032 1217 4206 1494 1049 7966 890 125 8981 51 9236 1227 4203 1576 1054 8060 995 128 9183 53 9824 1383 4397 1682 1157 8619 1013 140 9772 52 8726 1415 3619 1432 1090 7556 991 127 8674 52 61169 estab. 9862 1308 4101 1493 1028 7930 1092 397 9419 443 10381 1223 4209 1504 1086 8022 1167 366 9555 826 10609 1231 4209 1584 1087 8111 1262 372 9745 864 11256 1386 4406 1694 1187 8673 1233 441 10347 909 10165 1415 3621 1433 1131 7600 1293 405 9298 867 61169 empl. 79541 0 8287 9781 13182 31250 26786 12092 70128 9413 92501 0 8481 9847 14049 32377 30547 14135 77059 15442 102650 0 8533 10493 14387 33413 35298 15079 83790 18860 110234 0 8928 11117 15570 35615 36106 17050 88771 21463 96540 0 7626 9472 14810 31908 34931 12500 79339 17201 61169 ann. pay. 1512495 40566 154647 159628 204086 558927 445827 262071 1266825 245670 1774434 50002 167279 173828 234055 625164 525089 304465 1454718 319716 2077117 53057 186445 191938 259281 690721 659699 347420 1697840 379277 2265764 48475 195666 213376 294157 751674 668366 417141 1837181 428583 2011319 42947 149541 170605 279779 642872 649049 296906 1588827 422492 61169 rec. 5473204 172455 549247 495636 792405 2009743 1685411 760155 4455309 1017895 61171 firms 3937 836 2071 450 284 3641 212 56 3909 28 3906 687 2132 492 273 3584 238 52 3874 32 3897 641 2102 493 296 3532 267 66 3865 32 4272 743 2274 541 306 3864 302 70 4236 36 4541 988 2306 536 312 4142 286 74 4502 39 61171 estab. 4174 836 2073 453 299 3661 271 138 4070 104 4179 732 2134 495 285 3646 294 153 4093 86 4184 641 2104 501 302 3548 369 189 4106 78 4668 743 2275 551 313 3882 354 326 4562 106 5150 988 2308 542 329 4167 376 180 4723 427 61171 empl. 33846 0 3851 2945 3758 10554 7851 6147 24552 9294 34637 0 3891 3232 3720 10843 8716 6814 26373 8264 39763 0 3907 3226 3963 11096 10015 9372 30483 9280 46642 0 4217 3556 4093 11866 11204 9509 32579 14063 51021 0 4343 3520 4219 12082 10636 8791 31509 19512 61171 ann. pay. 1041475 29653 120626 83840 115144 349263 215874 217727 782864 258611 1147527 36685 124128 96195 117498 374506 245949 242698 863153 284374 1380455 27474 130972 105777 137044 401267 296814 335773 1033854 346601 1729778 25572 142939 120039 137804 426354 350808 336836 1113998 615780 1869153 37930 139791 118296 143163 439180 335451 314008 1088639 780514 61171 rec. 6063612 161817 549077 402589 419210 1532693 1041311 1043263 3617267 2446345 62111 firms 173066 14743 83375 40734 20353 159205 11984 1197 172386 680 171735 14629 81501 40356 20552 157038 12709 1276 171023 712 174006 16061 80227 40695 21463 158446 13477 1356 173279 727 177127 16058 80852 41559 22174 160643 14305 1426 176374 753 179583 17266 79875 42427 22836 162404 14778 1637 178819 764 62111 estab. 195167 14821 83651 41542 22053 162067 17597 5287 184951 10216 193967 14765 81770 41126 22048 159709 18124 5426 183259 10708 195655 16223 80505 41391 22886 161005 18576 5727 185308 10347 197892 16133 81144 42204 23518 162999 19109 5782 187890 10002 203669 17282 80036 43064 24464 164846 21659 7262 193767 9902 62111 empl. 1619363 0 187210 264583 270206 721999 410124 169099 1301222 318141 1692571 0 182911 262793 273120 718824 440982 182791 1342597 349974 1763793 0 180271 265457 285688 731416 475454 199479 1406349 357444 1848200 0 180950 271266 295294 747510 505100 211926 1464536 383664 1904325 0 181235 277350 303814 762399 524112 235320 1521831 382494 62111 ann. pay. 90403330 1626805 11536839 13268141 15514488 41946273 24971217 9260710 76178200 14225130 95058555 1518949 11421870 13362361 15847961 42151141 27005667 10122554 79279362 15779193 101252467 1520496 11490041 13591623 16826064 43428224 29700114 11182085 84310423 16942044 109542092 1504893 11961590 14159595 17679148 45305226 32615043 12632793 90553062 18989030 115081001 1720256 11733622 14557046 18210543 46221467 34051553 14526446 94799466 20281535 62111 rec. 253220236 4901895 31634445 33375783 36877190 106789313 66619982 31680237 205089532 48130704 62121 firms 111325 5335 46860 42100 14614 108909 2301 84 111294 31 111497 5413 45605 42600 15284 108902 2477 81 111460 37 112373 5869 44166 43027 16447 109509 2728 101 112338 35 112802 5784 43072 43523 17296 109675 2981 106 112762 40 113128 5983 41978 43592 18159 109712 3268 111 113091 37 62121 estab. 115060 5351 46966 42534 15588 110439 3322 610 114371 689 115268 5481 45721 43011 16229 110442 3479 507 114428 840 116494 5879 44273 43433 17325 110910 3734 648 115292 1202 117038 5804 43195 43907 18139 111045 3960 610 115615 1423 117812 5986 42037 43898 19148 111069 4733 838 116640 1172 62121 empl. 665498 0 120796 277184 183477 581457 66287 9727 657471 8027 683331 0 117731 281161 192735 591627 71172 8809 671608 11723 710858 0 114117 284325 207581 606023 78052 11635 695710 15148 733862 0 111266 288605 218898 618769 84344 12009 715122 18740 750129 0 109279 290007 230322 629608 93578 12674 735860 14269 62121 ann. pay. 19885297 286091 3029447 7813260 5897501 17026299 2313456 318388 19658143 227154 21471821 300124 3150122 8260852 6466857 18177955 2602158 332979 21113092 358729 23235125 320592 3192141 8698170 7184276 19395179 2980788 411252 22787219 447906 25196085 351977 3308382 9219008 7854470 20733837 3346446 493318 24573601 622484 26806179 384111 3350318 9602422 8552426 21889277 3814064 612796 26316137 490042 62121 rec. 71223564 1336829 12805173 26373130 19517851 60032983 7955975 1606511 69595469 1628095 62131 firms 30505 2906 21610 4922 920 30358 140 5 30503 2 30750 2832 21756 5033 958 30579 161 7 30747 3 31807 3401 21922 5243 1052 31618 172 13 31803 4 32682 3378 22385 5564 1137 32464 202 11 32677 5 33738 3569 22892 5778 1286 33525 193 11 33729 9 62131 estab. 30884 2911 21634 4981 1030 30556 288 38 30882 2 31131 2837 21784 5098 1069 30788 291 46 31125 6 32191 3406 21945 5299 1145 31795 302 86 32183 8 33078 3382 22419 5616 1234 32651 308 110 33069 9 34173 3572 22901 5830 1419 33722 383 57 34162 11 62131 empl. 92993 0 46087 30367 11523 87977 4213 [f] [l] [c] 95208 0 46515 31098 11994 89607 4813 [f] [l] [b] 99621 0 46993 32605 13138 92736 5181 1588 99505 116 111637 0 48400 34736 14172 97308 5903 1783 104994 6643 110134 0 50733 36106 16093 102932 5596 1056 109584 550 62131 ann. pay. 2003852 59498 842525 677228 295100 1874351 113138 (D) (D) (D) 2102138 62679 882800 710372 301509 1957360 124144 (D) (D) (D) 2309659 70930 937793 762655 343195 2114573 148558 40372 2303503 6156 2606520 73177 1011363 845843 382399 2312782 160989 60877 2534648 71872 2724415 79029 1067753 903172 430839 2480793 155369 32850 2669012 55403 62131 rec. 9318941 363158 4572863 2496896 1046617 8479534 386040 71955 8937529 381412 62132 firms 16163 964 9141 4203 1440 15748 366 25 16139 24 16246 1029 8943 4313 1511 15796 401 25 16222 24 16499 1180 8735 4446 1655 16016 436 27 16479 20 16582 1086 8683 4629 1675 16073 458 32 16563 19 17127 1164 8958 4655 1804 16581 490 36 17107 20 62132 estab. 17606 968 9191 4358 1821 16338 815 177 17330 276 17673 1051 8989 4472 1878 16390 837 176 17403 270 17948 1195 8788 4597 2032 16612 857 217 17686 262 17969 1093 8747 4794 2009 16643 874 239 17756 213 18759 1165 8992 4817 2205 17179 1082 323 18584 175 62132 empl. 82368 0 21599 27027 18212 66838 10578 2117 79533 2835 84604 0 21052 27561 19238 67851 11633 2074 81558 3046 88347 0 20674 28589 21232 70495 12906 2399 85800 2547 90971 0 20689 29910 21665 72264 14009 2942 89215 1756 95026 0 21555 30261 23167 74983 15241 3297 93521 1505 62132 ann. pay. 1917446 32864 426035 566949 458508 1484356 302616 63997 1850969 66477 2068350 39853 437216 609820 504278 1591167 345961 68733 2005861 62489 2261672 41272 448507 649388 560160 1699327 409611 91435 2200373 61299 2399511 38078 466382 702742 596287 1803489 452706 101741 2357936 41575 2578152 41664 485566 727709 654548 1909487 502479 118356 2530322 47830 62132 rec. 8464738 165886 2246648 2492433 1815366 6720333 1291143 329315 8340791 123947 62133 firms 11318 1345 8357 898 375 10975 221 80 11276 42 10916 1238 8059 908 389 10594 212 74 10880 36 10832 1320 7894 930 340 10484 237 76 10797 35 10933 1343 7944 929 374 10590 235 71 10896 37 12475 1806 8932 948 381 12067 254 95 12416 59 62133 estab. 11738 1347 8369 912 397 11025 329 186 11540 198 11330 1242 8075 918 416 10651 288 237 11176 154 11231 1320 7916 946 359 10541 310 254 11105 126 11303 1343 7965 943 393 10644 307 209 11160 143 12971 1807 8945 961 411 12124 417 244 12785 186 62133 empl. 41004 0 13779 5741 4824 24344 7096 [i] [k] [h] 39620 0 13318 5760 5083 24161 7082 [h] [k] [h] 40957 0 13186 5983 4430 23599 7776 4701 36076 4881 43648 0 13136 5972 4827 23935 8479 5041 37455 6193 48063 0 14884 5993 5096 25973 9443 7000 42416 5647 62133 ann. pay. 1059341 33391 345258 135829 120619 635097 168809 (D) (D) (D) 1014326 32473 348611 145856 125042 651982 177033 (D) (D) (D) 1082976 28712 364045 156320 118456 667533 205060 103198 975791 107185 1194382 32407 375311 161161 134343 703222 237484 116677 1057383 136999 1349154 44295 407279 165106 143185 759865 265176 169148 1194189 154965 62133 rec. 3420780 150852 1309625 412134 287752 2160363 504350 314978 2979691 441089 62134 firms 11862 1453 5313 2364 1529 10659 960 121 11740 122 11854 1516 5351 2318 1520 10705 904 118 11727 127 12299 1650 5465 2396 1578 11089 960 118 12167 132 13173 1864 5912 2459 1675 11910 1006 121 13037 136 14725 2218 6524 2726 1858 13326 1093 166 14585 140 62134 estab. 14455 1458 5329 2421 1721 10929 1580 489 12998 1457 14597 1531 5372 2383 1693 10979 1441 575 12995 1602 15048 1651 5483 2461 1753 11348 1491 663 13502 1546 16117 1868 5939 2521 1837 12165 1513 644 14322 1795 18690 2232 6540 2784 2100 13656 2046 801 16503 2187 62134 empl. 144201 0 10921 15567 20023 46511 33319 17506 97336 46865 135006 0 10862 15362 20274 46498 31477 14890 92865 42141 120512 0 11225 15912 20976 48113 33452 14473 96038 24474 131011 0 12009 16306 22331 50646 35756 14810 101212 29799 145356 0 13188 18201 24843 56232 38413 19775 114420 30936 62134 ann. pay. 4412727 55718 289680 416022 569997 1331417 948520 491752 2771689 1641038 4038525 57292 294481 421700 567165 1340638 879873 396964 2617475 1421050 3514483 59248 308137 457402 611911 1436698 963511 385224 2785433 729050 4048800 65000 357473 492696 672635 1587804 1078393 427007 3093204 955596 4575363 82860 382240 554598 771031 1790729 1197317 577756 3565802 1009561 62134 rec. 10128116 257128 1288740 1357495 1617775 4521138 2328548 1041274 7890960 2237156 62139 firms 14556 1651 9303 2459 746 14159 277 61 14497 59 14643 1640 9344 2437 813 14234 284 66 14584 59 15310 1927 9458 2608 877 14870 325 55 15250 60 15409 1849 9565 2598 938 14950 340 65 15355 54 18610 2576 11236 3057 1112 17981 478 82 18541 69 62139 estab. 15254 1655 9346 2568 921 14490 431 98 15019 235 15353 1643 9389 2537 985 14554 447 109 15110 243 16023 1932 9506 2700 1036 15174 519 85 15778 245 16088 1854 9612 2677 1100 15243 510 100 15853 235 19578 2576 11261 3131 1311 18279 763 151 19193 385 62139 empl. 60540 0 19251 15546 9442 44239 8671 4182 57092 3448 62529 0 19368 15459 10300 45127 9166 4937 59230 3299 67802 0 19680 16545 11098 47323 10834 4732 62889 4913 71212 0 19906 16539 11987 48432 11577 5780 65789 5423 87008 0 23109 19520 14138 56767 15734 7220 79721 7287 62139 ann. pay. 1676484 56163 461203 442784 296883 1257033 238525 77432 1572990 103494 1757876 55426 482348 440976 319582 1298332 259749 103533 1661614 96262 2004341 65486 512570 488191 367622 1433869 335811 88024 1857704 146637 2185405 55977 538486 513000 409468 1516931 359643 147665 2024239 161166 2798302 84904 649580 629644 492875 1857003 531893 186714 2575610 222692 62139 rec. 7610968 332632 2400472 1699250 1149780 5582134 1110964 484342 7177440 433528 62141 firms 1020 60 403 138 123 724 187 78 989 31 982 47 372 145 129 693 186 72 951 31 992 57 378 156 108 699 192 67 958 34 1013 52 396 157 120 725 184 74 983 30 1090 70 448 170 118 806 174 76 1056 34 62141 estab. 1845 60 403 139 155 757 481 505 1743 102 1820 48 372 163 153 736 473 508 1717 103 1801 58 379 159 128 724 481 498 1703 98 1808 52 399 162 131 744 461 513 1718 90 1905 70 448 170 138 826 473 513 1812 93 62141 empl. 18966 0 825 933 1664 3422 6685 6363 16470 2496 19148 0 790 925 1675 3390 6904 5898 16192 2956 19972 0 838 1021 1474 3333 7092 6022 16447 3525 20265 0 867 1048 1594 3509 6945 6585 17039 3226 18621 0 970 1112 1589 3671 6503 6387 16561 2060 62141 ann. pay. 440604 5813 14985 16775 34759 72332 150327 146956 369615 70989 465553 2968 14277 19165 34665 71075 165494 148298 384867 80686 510385 4379 15496 20476 31591 71942 179248 157563 408753 101632 523645 1859 17475 21754 32958 74046 186680 177679 438405 85240 502344 2405 18528 25199 40363 86495 163363 187027 436885 65459 62141 rec. 1330813 7641 69580 77827 101528 256576 388950 474698 1120224 210589 62142 firms 3709 311 1175 451 381 2318 664 544 3526 183 3608 209 1167 444 373 2193 644 583 3420 188 3486 216 1046 398 397 2057 647 590 3294 192 3482 215 1027 398 386 2026 657 606 3289 193 3919 326 1253 437 382 2398 686 622 3706 213 62142 estab. 6414 311 1175 460 410 2356 1117 1994 5467 947 6425 209 1181 447 408 2245 1063 2094 5402 1023 6371 216 1052 407 446 2121 1054 2115 5290 1081 6518 243 1035 399 435 2112 1074 2247 5433 1085 7216 328 1256 443 436 2463 1251 2332 6046 1170 62142 empl. 132460 0 2277 3045 5184 10506 25981 63198 99685 32775 140497 0 2237 2962 5081 10280 25540 68098 103918 36579 141937 0 2098 2652 5323 10073 26566 69697 106336 35601 149570 0 2095 2689 5220 10004 27011 74552 111567 38003 152596 0 2462 2911 5222 10595 27567 74867 113029 39567 62142 ann. pay. 3346652 26037 52983 69560 125203 273783 625437 1497854 2397074 949578 3594665 11498 58284 80390 127616 277788 629818 1662721 2570327 1024338 3747931 14520 54357 66005 136483 271365 671880 1796512 2739757 1008174 4053204 16365 56695 74425 140810 288295 718702 1964777 2971774 1081430 4232381 13641 63278 77407 138679 293005 745733 2020730 3059468 1172913 62142 rec. 10560971 34832 200614 197746 299841 733033 1538646 4054478 6326157 4234814 62149 firms 6607 560 1540 945 969 4014 1425 615 6054 553 6540 549 1567 942 924 3982 1364 627 5973 567 6610 544 1527 963 949 3983 1412 652 6047 563 6795 577 1531 992 995 4095 1456 676 6227 568 8076 752 2033 1251 1202 5238 1551 709 7498 578 62149 estab. 14117 574 1545 956 1031 4106 2053 1718 7877 6240 14474 565 1572 953 975 4065 1898 1826 7789 6685 14031 559 1535 979 982 4055 1962 1838 7855 6176 14586 582 1548 1003 1041 4174 1949 1983 8106 6480 16203 752 2068 1277 1259 5356 2246 2256 9858 6345 62149 empl. 390019 0 3322 6406 12983 22711 57142 67650 147503 242516 388684 0 3422 6409 12508 22339 54794 68402 145535 243149 392999 0 3299 6508 12946 22753 56168 74763 153684 239315 412395 0 3319 6725 13598 23642 58677 82210 164529 247866 422245 0 4457 8458 16372 29287 61295 87933 178515 243730 62149 ann. pay. 14014959 78908 137599 251630 483254 951391 1773296 2073146 4797833 9217126 14089759 62843 143184 257570 484585 948182 1787148 2158638 4893968 9195791 14530642 81076 137288 268171 511952 998487 1899291 2402043 5299821 9230821 15991776 89851 145269 282119 550885 1068124 2119970 2790431 5978525 10013251 17069456 78086 214827 324158 648983 1266054 2244823 3025588 6536465 10532991 62149 rec. 52561809 402908 817996 1041172 1872381 4134457 6319723 8148691 18602871 33958938 62151 firms 6006 590 2276 1165 795 4826 766 194 5786 220 5896 651 2136 1092 805 4684 788 204 5676 220 6039 700 2141 1158 801 4800 821 201 5822 217 6206 700 2280 1116 843 4939 847 203 5989 217 6445 742 2382 1108 867 5099 873 237 6209 236 62151 estab. 9671 598 2283 1187 851 4919 1084 765 6768 2903 9591 652 2143 1105 853 4753 1067 824 6644 2947 9750 703 2146 1184 833 4866 1083 752 6701 3049 11026 702 2285 1136 900 5023 1069 817 6909 4117 10357 757 2395 1124 943 5219 1323 891 7433 2924 62151 empl. 156328 0 4966 7746 10608 23320 28334 24687 76341 79987 152493 0 4576 7194 10737 22507 29156 25842 77505 74988 152059 0 4581 7611 10688 22880 31064 26395 80339 71720 169195 0 4885 7383 11251 23519 31745 27791 83055 86140 181314 0 5203 7333 11583 24119 33318 31924 89361 91953 62151 ann. pay. 5649627 68895 244879 376483 497305 1187562 1215071 879336 3281969 2367658 5982830 55728 247914 360727 524695 1189064 1334154 903967 3427185 2555645 6568039 67655 251144 383105 561682 1263586 1473672 1033587 3770845 2797194 7515374 62373 274363 385833 619730 1342299 1626079 1167467 4135845 3379529 8247536 72768 307837 415018 674937 1470560 1771574 1410523 4652657 3594879 62151 rec. 25546332 268498 944587 1215996 1973859 4402940 4779795 3960864 13143599 12402733 62161 firms 12310 1176 2472 1229 1582 6459 3861 1300 11620 690 11234 1215 2442 1176 1367 6200 3184 1170 10554 680 11022 1200 2494 1105 1217 6016 3153 1159 10328 694 11117 1247 2496 1135 1251 6129 3113 1188 10430 687 12791 1745 3166 1237 1368 7516 3274 1294 12084 707 62161 estab. 19439 1176 2474 1231 1593 6474 4296 2690 13460 5979 17451 1228 2448 1182 1409 6267 3575 2419 12261 5190 16092 1214 2500 1108 1246 6068 3466 2276 11810 4282 16284 1253 2498 1138 1285 6174 3403 2244 11821 4463 18298 1756 3166 1249 1376 7547 3722 2522 13791 4507 62161 empl. 901525 0 5129 8325 22393 35847 170632 215498 421977 479548 796814 0 5044 7906 19163 32113 142701 193600 368414 428400 786607 0 5109 7322 17273 29704 145267 194455 369426 417181 774381 0 5090 7524 17726 30340 144343 197408 372091 402290 804233 0 6406 8339 19284 34029 149958 215856 399843 404390 62161 ann. pay. 15245666 157698 119640 164224 416113 857675 2707579 3380185 6945439 8300227 14034345 131532 119647 165820 387786 804785 2359607 3153889 6318281 7716064 14245234 100716 122785 164763 355266 743530 2561810 3243588 6548928 7696306 14941576 94809 137398 172846 389724 794777 2729373 3481457 7005607 7935969 16211222 118287 151203 193041 425485 888016 3049788 3997712 7935516 8275706 62161 rec. 34312578 289651 484024 556902 1060856 2391433 6328669 7435563 16155665 18156913 62191 firms 2773 224 622 361 552 1759 832 121 2712 61 2773 259 594 377 525 1755 828 120 2703 70 2946 304 638 402 531 1875 867 134 2876 70 3015 296 640 388 580 1904 902 141 2947 68 2972 262 546 381 564 1753 976 169 2898 74 62191 estab. 3524 224 624 361 556 1765 1029 308 3102 422 3526 259 598 377 528 1762 1004 335 3101 425 3748 304 640 404 535 1883 1040 313 3236 512 3830 300 642 388 590 1920 1055 351 3326 504 3865 262 546 381 567 1756 1163 480 3399 466 62191 empl. 107312 0 1342 2490 7852 11684 33228 19040 63952 43360 103818 0 1283 2561 7450 11294 33450 19868 64612 39206 107951 0 1344 2730 7500 11574 34646 21573 67793 40158 101831 0 1414 2640 8253 12307 36269 22783 71359 30472 109064 0 1253 2639 7970 11862 38325 26967 77154 31910 62191 ann. pay. 2173076 10538 26059 36541 108816 181954 565057 443149 1190160 982916 2130582 14793 23695 38271 110523 187282 600443 462918 1250643 879939 2319228 25185 26319 44888 118595 214987 639588 516380 1370955 948273 2653785 21114 31060 45590 156389 254153 708460 592406 1555019 1098766 2883862 21557 30167 49470 135969 237163 761526 732683 1731372 1152490 62191 rec. 6800309 63059 111911 151141 326580 652691 1775617 1690305 4118613 2681696 62199 firms 1910 270 737 250 192 1449 218 142 1809 101 1823 185 744 252 184 1365 233 132 1730 93 1754 166 676 270 167 1279 259 131 1669 85 1816 172 739 287 160 1358 257 116 1731 85 2477 320 1185 316 199 2020 241 122 2383 94 62199 estab. 3222 270 739 252 208 1469 345 475 2289 933 3120 185 746 253 197 1381 363 476 2220 900 3031 166 678 276 171 1291 393 463 2147 884 3377 172 741 291 170 1374 371 466 2211 1166 4251 329 1185 321 218 2053 389 512 2954 1297 62199 empl. 69785 0 1541 1627 2550 5718 8727 24318 38763 31022 71810 0 1508 1673 2491 5672 9491 24456 39619 32191 72781 0 1458 1776 2255 5489 11025 25275 41789 30992 78453 0 1534 1881 2118 5533 10889 20687 37109 41344 89042 0 2403 2069 2617 7089 10272 21435 38796 50246 62199 ann. pay. 2080914 13182 44039 44352 71627 173200 263605 722532 1159337 921577 2178817 6391 44802 50614 69515 171322 302282 775695 1249299 929518 2269931 6577 42631 52438 64027 165673 346775 803947 1316395 953536 2588092 10354 48710 57342 62506 178912 343448 731416 1253776 1334316 3077166 19786 73315 67118 80928 241147 355422 743866 1340435 1736731 62199 rec. 11190489 76118 287221 348252 304566 1016157 1241288 2623898 4881343 6309146 62211 firms 3677 69 36 18 13 136 384 1439 1959 1718 3623 67 46 29 20 162 381 1393 1936 1687 3637 72 83 33 24 212 380 1389 1981 1656 3626 81 103 44 30 258 387 1338 1983 1643 3581 90 105 52 43 290 388 1289 1967 1614 62211 estab. 5648 74 36 18 13 141 392 1453 1986 3662 5621 69 46 29 20 164 389 1415 1968 3653 5756 72 85 33 24 214 391 1412 2017 3739 5765 81 105 44 30 260 388 1372 2020 3745 5971 90 105 57 51 303 399 1367 2069 3902 62211 empl. 4610069 0 67 107 182 356 26621 344985 371962 4238107 4599643 0 95 167 277 539 26138 337811 364488 4235155 4623686 0 166 218 332 716 25765 337403 363884 4259802 4680588 0 209 307 428 944 26027 321583 348554 4332034 4713450 0 204 349 577 1130 25092 311346 337568 4375882 62211 ann. pay. 147661362 428059 3602 7095 5594 444350 590741 8818977 9854068 137807294 150207196 111094 3337 11440 13561 139432 618368 8778275 9536075 140671121 156596031 368189 6914 12736 13439 401278 627752 9114598 10143628 146452403 166379184 103648 11097 19007 17169 150921 668447 9135537 9954905 156424279 179673489 106980 13220 25329 56744 202273 693192 9425929 10321394 169352095 62211 rec. 468007640 525446 268810 107783 213717 1115756 2131118 23737230 26984104 441023536 62221 firms 538 12 12 3 5 32 40 213 285 253 535 17 17 5 10 49 35 194 278 257 559 24 19 10 13 66 33 202 301 258 579 22 27 14 17 80 35 206 321 258 609 32 46 17 19 114 33 219 366 243 62221 estab. 848 12 13 3 5 33 44 228 305 543 838 17 17 6 10 50 36 209 295 543 832 28 19 10 13 70 34 236 340 492 758 22 27 14 17 80 36 229 345 413 797 32 46 17 19 114 40 250 404 393 62221 empl. 247775 [a] 35 [b] [b] 122 2467 52630 55219 192556 244652 0 36 39 135 210 2316 49559 52085 192567 240431 0 38 72 165 275 1997 51729 54001 186430 240512 0 51 98 215 364 1837 53489 55690 184822 235942 0 81 114 254 449 1815 58257 60521 175421 62221 ann. pay. 8131790 (D) 4973 (D) (D) 16194 61453 1690423 1768070 6363720 7956625 2274 1571 1897 4256 9998 57254 1618322 1685574 6271051 7975184 11990 1266 2782 3715 19753 55212 1736206 1811171 6164013 8332977 7079 1555 3275 7226 19135 57565 1870290 1946990 6385987 8787338 6557 3233 3260 8502 21552 57488 2176144 2255184 6532154 62221 rec. 15576265 25368 14347 10984 18664 69363 116463 3872251 4058077 11518188 62231 firms 306 28 12 3 3 46 40 77 163 143 331 41 21 4 15 81 30 74 185 146 352 32 28 12 15 87 35 78 200 152 404 44 48 22 13 127 52 69 248 156 548 88 74 42 30 234 69 88 391 157 62231 estab. 468 28 12 3 3 46 41 92 179 289 510 41 21 4 15 81 34 86 201 309 499 32 28 12 19 91 35 92 218 281 615 44 48 22 13 127 52 78 257 358 801 88 74 42 30 234 74 108 416 385 62231 empl. 153493 [a] 24 [b] [b] 82 2587 20710 23379 130114 156236 0 45 25 191 261 1953 19730 21944 134292 150524 0 69 75 193 337 2192 19741 22270 128254 163905 0 101 149 176 426 2933 16891 20250 143655 172192 0 148 258 389 795 3336 19898 24029 148163 62231 ann. pay. 5075960 (D) 1051 (D) (D) 45998 62521 616419 724938 4351022 5276779 6908 1877 1042 13643 23470 53148 592239 668857 4607922 5479550 22548 3520 1752 6050 33870 58602 640072 732544 4747006 6190546 9691 4942 4319 5875 24827 87177 530327 642331 5548215 6636532 12702 6711 10136 12636 42185 103751 651096 797032 5839500 62231 rec. 15561991 45740 22198 36847 39594 144379 261862 1503635 1909876 13652115 62311 firms 8383 518 554 238 274 1584 2928 3178 7690 693 8614 669 712 293 284 1958 2870 3112 7940 674 8631 601 792 357 330 2080 2842 3022 7944 687 8787 628 819 356 366 2169 2869 3031 8069 718 8672 661 717 288 347 2013 2769 3138 7920 752 62311 estab. 16065 520 554 239 284 1597 3034 3927 8558 7507 16561 680 713 296 306 1995 2982 3859 8836 7725 16891 661 795 361 339 2156 2966 3719 8841 8050 17046 644 821 367 376 2208 2964 3717 8889 8157 16779 668 717 294 359 2038 2890 3928 8856 7923 62311 empl. 1557105 0 1164 1558 3798 6520 183579 533760 723859 833246 1558806 0 1457 1936 3856 7249 179223 530563 717035 841771 1533714 0 1606 2402 4518 8526 177249 520215 705990 827724 1559457 0 1684 2403 4968 9055 178335 519629 707019 852438 1604222 0 1554 1958 4816 8328 172553 538795 719676 884546 62311 ann. pay. 28522345 152516 29057 30168 71454 283195 2884662 9899652 13067509 15454836 29672312 185065 39005 47569 76400 348039 2934312 10221328 13503679 16168633 30691284 202181 37221 47197 80688 367287 3099999 10515825 13983111 16708173 33343153 247981 43612 50905 92235 434733 3310169 11097758 14842660 18500493 35808394 316941 42538 40823 92814 493116 3319411 11958631 15771158 20037236 62311 rec. 74576571 784549 98870 87724 268883 1240026 6761935 24261876 32263837 42312734 62321 firms 4538 255 931 497 557 2240 1127 936 4303 235 4430 177 900 504 536 2117 1150 944 4211 219 4356 210 826 505 495 2036 1124 945 4105 251 4358 207 820 505 514 2046 1093 967 4106 252 4862 277 1088 539 567 2471 1111 986 4568 294 62321 estab. 14773 270 936 511 579 2296 2533 6667 11496 3277 15119 207 904 509 566 2186 2555 7017 11758 3361 15542 244 828 513 526 2111 2440 6960 11511 4031 16741 226 821 518 544 2109 2353 7339 11801 4940 19369 277 1088 544 609 2518 2686 8167 13371 5998 62321 empl. 277751 0 2049 3375 7635 13059 49402 120455 182916 94835 275603 0 2002 3410 7455 12867 51299 122451 186617 88986 284362 0 1885 3409 6838 12132 49589 124666 186387 97975 293254 0 1915 3395 7042 12352 48668 127486 188506 104748 317056 0 2457 3661 7771 13889 48041 131402 193332 123724 62321 ann. pay. 4493222 28030 29323 48314 110528 216195 766011 1959404 2941610 1551612 4671746 12780 34542 48078 108674 204074 834785 2112381 3151240 1520506 5065303 23483 32434 52670 108377 216964 837005 2226133 3280102 1785201 5462929 12190 31431 55828 115422 214871 848953 2404788 3468612 1994317 6179164 21516 36761 61506 125066 244849 859498 2495570 3599917 2579247 62321 rec. 11998659 61406 122017 151703 282897 618023 1671595 4742190 7031808 4966851 62322 firms 3539 261 748 451 491 1951 815 601 3367 172 3458 158 769 441 492 1860 796 627 3283 175 3431 166 747 422 480 1815 794 633 3242 189 3414 139 760 426 457 1782 808 632 3222 192 3231 117 645 364 433 1559 812 648 3019 212 62322 estab. 5922 262 749 459 499 1969 1269 1866 5104 818 6003 158 771 449 496 1874 1231 1969 5074 929 6185 166 750 428 487 1831 1201 1973 5005 1180 6296 144 763 433 470 1810 1178 2067 5055 1241 6368 121 645 373 454 1593 1320 2110 5023 1345 62322 empl. 104042 0 1668 3020 6744 11432 28788 41776 81996 22046 107236 0 1701 2901 6761 11363 28932 43093 83388 23848 111992 0 1672 2855 6591 11118 29107 44914 85139 26853 114100 0 1704 2887 6219 10810 29774 46419 87003 27097 123832 0 1515 2453 5962 9930 29480 48959 88369 35463 62322 ann. pay. 1974036 9731 22463 42561 104135 178890 536423 831669 1546982 427054 2125521 9005 24550 44054 107522 185131 558340 895771 1639242 486279 2304038 13142 26684 45514 106597 191937 582831 970247 1745015 559023 2466724 8462 28295 47232 105949 189938 613463 1041272 1844673 622051 2753485 8291 26233 42906 109790 187220 651918 1113346 1952484 801001 62322 rec. 5916927 24540 92760 115560 260536 493396 1408304 2233946 4135646 1781281 62331 firms 13837 1740 4222 2097 1825 9884 2449 1117 13450 387 13684 1218 4369 2182 1808 9577 2584 1109 13270 414 13693 1293 4225 2058 1884 9460 2665 1130 13255 438 13936 1230 4254 2058 1904 9446 2860 1185 13491 445 13995 1279 4150 2007 1871 9307 2995 1218 13520 475 62331 estab. 16791 1749 4225 2103 1869 9946 2742 1973 14661 2130 17674 1221 4377 2191 1849 9638 2876 2078 14592 3082 18076 1315 4235 2064 1926 9540 2939 2206 14685 3391 18535 1242 4260 2082 1949 9533 3134 2265 14932 3603 18764 1283 4156 2022 1912 9373 3320 2288 14981 3783 62331 empl. 434716 0 9228 13988 24941 48157 97181 151894 297232 137484 479349 0 9429 14621 24610 48660 103465 154730 306855 172494 510957 0 9184 13752 25706 48642 107764 161403 317809 193148 546928 0 9215 13823 26058 49096 117095 170910 337101 209827 565955 0 9245 13416 25759 48420 122562 179137 350119 215836 62331 ann. pay. 6904700 83142 112487 160034 291368 647031 1309554 2606737 4563322 2341378 8008194 107762 122513 176591 306672 713538 1465947 2753199 4932684 3075510 8842981 125429 131362 178740 332235 767766 1611538 2987140 5366444 3476537 9831877 96545 137214 191956 373175 798890 1838743 3324700 5962333 3869544 10502720 138910 139422 184493 355882 818707 1947264 3592643 6358614 4144106 62331 rec. 26130513 386989 555473 539024 913327 2394813 4806492 8236546 15437851 10692662 62399 firms 3684 293 743 447 533 2016 948 570 3534 150 3601 181 730 447 564 1922 933 589 3444 157 3591 161 706 457 535 1859 967 589 3415 176 3684 211 708 466 550 1935 975 591 3501 183 3587 210 684 416 527 1837 937 613 3387 200 62399 estab. 6191 293 746 449 550 2038 1469 1767 5274 917 6200 184 733 448 581 1946 1385 1891 5222 978 6311 161 710 458 552 1881 1454 1870 5205 1106 6470 211 713 469 575 1968 1398 1924 5290 1180 6620 210 685 419 547 1861 1485 2023 5369 1251 62399 empl. 137590 0 1596 3019 7415 12030 36618 59140 107788 29802 147018 0 1617 3017 7841 12475 36634 60539 109648 37370 151094 0 1535 3053 7450 12038 37643 62084 111765 39329 157718 0 1546 3173 7777 12496 38832 65081 116409 41309 159600 0 1481 2867 7359 11707 36368 66907 114982 44618 62399 ann. pay. 2725256 12057 22705 43874 115945 194581 662392 1248707 2105680 619576 2988695 7806 25933 44951 129131 207821 702983 1286162 2196966 791729 3255674 10640 24614 50238 126468 211960 744152 1402253 2358365 897309 3560413 9845 26560 54743 141963 233111 794214 1547969 2575294 985119 3706728 11002 28177 51151 144545 234875 768288 1620154 2623317 1083411 62399 rec. 7645076 28260 89949 119423 313540 551172 1589202 3327861 5468235 2176841 62411 firms 7277 569 2638 1071 884 5162 1341 629 7132 145 7053 388 2429 1160 899 4876 1345 677 6898 155 7007 400 2323 1119 921 4763 1389 688 6840 167 7219 415 2345 1144 989 4893 1444 701 7038 181 7711 570 2636 1210 1010 5426 1389 699 7514 197 62411 estab. 9361 574 2640 1083 942 5239 1851 1431 8521 840 9282 389 2431 1176 947 4943 1826 1607 8376 906 9393 400 2329 1131 948 4808 1842 1687 8337 1056 9722 415 2350 1169 1032 4966 1903 1718 8587 1135 10426 570 2638 1219 1039 5466 1975 1809 9250 1176 62411 empl. 139302 0 5741 7096 11905 24742 46704 45913 117359 21943 147235 0 5260 7668 12138 25066 47335 50829 123230 24005 160364 0 5123 7433 12632 25188 50348 55868 131404 28960 170848 0 5136 7581 13363 26080 53030 59885 138995 31853 169612 0 5747 8020 13671 27438 50438 59618 137494 32118 62411 ann. pay. 2790621 25497 114607 143144 226635 509883 902414 921667 2333964 456657 3075612 14601 113160 154594 242017 524372 975484 1042836 2542692 532920 3440468 11640 113574 163728 262064 551006 1061608 1172381 2784995 655473 3843944 14497 117569 180210 292335 604611 1164853 1315210 3084674 759270 3909639 15532 134967 188202 309479 648180 1154078 1332090 3134348 775291 62411 rec. 10114049 59581 462485 580065 857022 1959153 2893348 3454745 8307246 1806803 62412 firms 9674 653 3080 1450 1242 6425 1829 1170 9424 250 9597 525 3072 1462 1241 6300 1844 1194 9338 259 9686 519 2980 1491 1313 6303 1899 1200 9402 284 9949 616 2998 1530 1305 6449 1988 1226 9663 286 10791 816 3279 1597 1373 7065 2127 1271 10463 328 62412 estab. 13289 655 3085 1457 1289 6486 2724 3018 12228 1061 13257 528 3078 1472 1285 6363 2700 3046 12109 1148 13505 536 2990 1499 1352 6377 2725 3061 12163 1342 13906 623 3004 1548 1340 6515 2824 3118 12457 1449 15285 816 3287 1605 1418 7126 3096 3342 13564 1721 62412 empl. 279754 0 6402 9570 16623 32595 71499 121517 225611 54143 283444 0 6446 9752 16977 33175 71919 121873 226967 56477 298984 0 6318 9919 17831 34068 74843 128604 237515 61469 308365 0 6380 10242 17736 34358 79507 135090 248955 59410 336800 0 7156 10682 18822 36660 83780 142764 263204 73596 62412 ann. pay. 4063488 16626 97473 141363 253508 508970 1068178 1763528 3340676 722812 4365085 14883 102479 150491 270666 538519 1117335 1883002 3538856 826229 4765566 21329 103484 160354 290266 575433 1199049 2084990 3859472 906094 5199934 24292 109068 170985 307967 612312 1321876 2336793 4270981 928953 5732241 34365 118585 186684 334005 673639 1440207 2485495 4599341 1132900 62412 rec. 14431391 101026 366548 507894 805675 1781143 3446451 7035805 12263399 2167992 62419 firms 15093 967 6862 2219 1616 11664 2095 1114 14873 220 15108 905 6646 2252 1657 11460 2191 1203 14854 254 15247 1029 6408 2274 1690 11401 2278 1273 14952 295 16215 1165 6739 2433 1813 12150 2388 1358 15896 319 17561 1470 7516 2532 1819 13337 2493 1391 17221 340 62419 estab. 20647 968 6873 2227 1728 11796 3612 3895 19303 1344 20934 912 6655 2260 1759 11586 3628 4126 19340 1594 21304 1033 6413 2294 1773 11513 3671 4312 19496 1808 22672 1166 6743 2461 1901 12271 3749 4561 20581 2091 24984 1474 7519 2551 1912 13456 4232 5019 22707 2277 62419 empl. 285195 0 13492 14602 21864 49958 75486 104690 230134 55061 307160 0 13193 14911 22302 50406 80665 114422 245493 61667 331251 0 12948 15163 22643 50754 84539 122723 258016 73235 360689 0 13384 16129 24607 54120 90161 133882 278163 82526 377546 0 15036 16827 24389 56252 92569 140439 289260 88286 62419 ann. pay. 5349779 33096 248355 277900 424767 984118 1484339 1917579 4386036 963743 5977640 30683 253269 295421 442770 1022143 1629579 2196121 4847843 1129797 6656050 40506 257602 321407 462014 1081529 1776062 2425123 5282714 1373336 7586136 32994 293408 355158 522793 1204353 1981290 2809325 5994968 1591168 8204468 48293 320367 385103 541866 1295629 2125184 3001305 6422118 1782350 62419 rec. 20387854 176179 994183 1037996 1387349 3595707 5111225 7741514 16448446 3939408 62421 firms 2300 71 1109 410 239 1829 276 154 2259 41 2286 55 1098 414 244 1811 282 152 2245 41 2291 50 1092 406 245 1793 302 154 2249 42 2321 59 1084 398 261 1802 319 155 2276 45 2447 74 1150 398 269 1891 337 168 2396 51 62421 estab. 3119 72 1114 414 246 1846 616 546 3008 111 3128 55 1098 418 259 1830 679 512 3021 107 3135 54 1092 409 263 1818 718 484 3020 115 3153 59 1085 399 272 1815 727 499 3041 112 3455 74 1150 399 290 1913 800 624 3337 118 62421 empl. 24341 0 2325 2669 3187 8181 8964 5114 22259 2082 24980 0 2335 2725 3237 8297 9020 5738 23055 1925 26041 0 2372 2710 3251 8333 9971 5664 23968 2073 27156 0 2354 2645 3453 8452 10732 6005 25189 1967 28952 0 2494 2543 3476 8513 10983 7094 26590 2362 62421 ann. pay. 368870 1379 28455 37018 52176 119028 148671 73083 340782 28088 396655 1711 30205 39198 54653 125767 156753 86656 369176 27479 433130 1908 30901 40161 55296 128266 187712 87161 403139 29991 488598 1439 32517 41609 63735 139300 215343 103244 457887 30711 536613 2096 34323 40829 66062 143310 233985 115307 492602 44011 62421 rec. 3078384 15172 183632 212114 340958 751876 1812627 405222 2969725 108659 62422 firms 4422 227 1416 777 736 3156 883 313 4352 70 4442 134 1382 802 761 3079 965 324 4368 74 4497 146 1336 801 784 3067 1002 346 4415 82 4677 161 1392 832 784 3169 1053 364 4586 91 4942 173 1485 830 839 3327 1122 388 4837 105 62422 estab. 5111 227 1416 782 750 3175 1155 601 4931 180 5156 136 1382 807 774 3099 1211 628 4938 218 5263 150 1336 803 800 3089 1250 673 5012 251 5493 161 1394 836 800 3191 1297 726 5214 279 6085 175 1485 836 862 3358 1595 834 5787 298 62422 empl. 66069 0 3106 5280 10120 18506 27478 14854 60838 5231 71146 0 3025 5408 10384 18817 31669 15124 65610 5536 75273 0 2924 5412 10771 19107 33400 16856 69363 5910 79444 0 3088 5618 10851 19557 35564 17915 73036 6408 83353 0 3294 5637 11373 20304 37225 19468 76997 6356 62422 ann. pay. 1256046 5703 66672 103756 187277 363408 523904 275030 1162342 93704 1413057 4685 66252 114260 192875 378072 629439 295230 1302741 110316 1571587 5629 66532 121899 210926 404986 690804 346657 1442447 129140 1758834 6446 76191 128369 222877 433883 775349 403741 1612973 145861 1923134 15431 80825 133159 247718 477133 844529 451306 1772968 150166 62422 rec. 5214353 58769 400224 503585 705172 1667750 2087771 1132268 4887789 326564 62423 firms 1722 69 872 326 193 1460 185 63 1708 14 1658 40 843 310 196 1389 197 57 1643 15 1646 39 806 326 204 1375 190 67 1632 14 1626 50 730 352 213 1345 204 57 1606 20 1628 58 733 318 234 1343 203 62 1608 20 62423 estab. 1983 69 872 327 202 1470 276 140 1886 97 1905 40 843 311 198 1392 296 125 1813 92 1865 39 806 327 206 1378 265 144 1787 78 1843 50 730 353 215 1348 282 121 1751 92 1905 58 734 319 243 1354 331 134 1819 86 62423 empl. 18566 0 1828 2122 2518 6468 6747 3761 16976 1590 18208 0 1821 2049 2578 6448 7250 3496 17194 1014 19861 0 1780 2178 2676 6634 7064 4463 18161 1700 21783 0 1607 2346 2841 6794 7818 3698 18310 3473 21497 0 1642 2133 3053 6828 7810 3928 18566 2931 62423 ann. pay. 354864 1788 28054 32972 40242 103056 124137 97824 325017 29847 383097 810 29134 34300 44849 109093 144682 91311 345086 38011 431473 3577 29779 38379 49328 121063 146161 119630 386854 44619 493090 1229 29280 43065 54054 127628 175836 94716 398180 94910 532166 1005 30910 40987 62897 135799 185103 105577 426479 105687 62423 rec. 2586908 5084 122443 150807 211140 489474 1052705 350028 1892207 694701 62431 firms 5446 293 1348 664 586 2891 1290 1054 5235 211 5397 238 1289 629 594 2750 1315 1107 5172 225 5357 250 1233 604 607 2694 1316 1091 5101 256 5324 273 1203 614 587 2677 1259 1135 5071 253 5240 275 1205 578 535 2593 1266 1113 4972 268 62431 estab. 8106 295 1359 692 626 2972 1730 2323 7025 1081 8213 243 1304 639 638 2824 1788 2356 6968 1245 8288 261 1239 623 651 2774 1758 2331 6863 1425 8324 273 1212 630 631 2746 1666 2382 6794 1530 8451 276 1210 586 576 2648 1835 2434 6917 1534 62431 empl. 296154 0 2790 4377 7983 15150 54543 128050 197743 98411 313822 0 2741 4191 8158 15090 56380 133995 205465 108357 324336 0 2601 4030 8212 14843 58803 135032 208678 115658 326455 0 2528 4080 7980 14588 54349 143683 212620 113835 319609 0 2588 3829 7325 13742 54426 135856 204024 115585 62431 ann. pay. 3982781 12735 70369 110286 182268 375658 933670 1572177 2881505 1101276 4470954 14301 71630 107074 188811 381816 997353 1748318 3127487 1343467 4846777 16310 72911 103735 188816 381772 1037352 1831930 3251054 1595723 5184930 9981 74680 110316 192716 387693 1044427 2033160 3465280 1719650 5329584 13487 205328 108000 195241 522056 1056937 2064196 3643189 1686395 62431 rec. 11808900 40681 517886 270397 516338 1345302 2628956 4308307 8282565 3526335 62441 firms 51656 5076 18736 10249 9676 43737 6849 880 51466 190 51598 5069 18464 10029 9898 43460 7003 935 51398 200 53686 6147 18600 10091 10238 45076 7428 975 53479 207 54349 5639 19060 10263 10462 45424 7684 1018 54126 223 55828 6210 19261 10662 10559 46692 7848 1045 55585 243 62441 estab. 62963 5086 18745 10285 9958 44074 9474 4682 58230 4733 63719 5106 18551 10071 10180 43908 9464 4986 58358 5361 66300 6164 18632 10150 10487 45433 9781 5200 60414 5886 67117 5680 19097 10319 10724 45820 9921 5432 61173 5944 69733 6217 19266 10688 10748 46919 10427 6010 63356 6377 62441 empl. 644111 0 39672 69473 131554 240699 224966 85871 551536 92575 664343 0 39064 68169 135350 242583 231348 92495 566426 97917 699589 0 38952 68716 139961 247629 245549 101860 595038 104551 746893 0 40071 69603 142685 252359 254589 108005 614953 131940 753374 0 41707 71997 144184 257888 257775 113924 629587 123787 62441 ann. pay. 7513283 103804 371240 681958 1395397 2552399 2664586 1244299 6461284 1051999 8245850 119773 402532 701118 1502337 2725760 2866395 1401098 6993253 1252597 9223193 169551 419773 741940 1604859 2936123 3156050 1627534 7719707 1503486 10148513 137335 445587 785665 1715268 3083855 3408057 1852450 8344362 1804151 10824999 146894 449369 842426 1786472 3225161 3573310 2019798 8818269 2006730 62441 rec. 22557876 406684 1293991 1816334 3431890 6948899 6723125 4565696 18237720 4320156 71111 firms 3451 584 1487 470 325 2866 427 135 3428 23 3273 468 1397 490 303 2658 462 131 3251 22 3320 526 1355 475 333 2689 468 140 3297 23 3303 470 1371 465 346 2652 473 154 3279 24 3368 513 1429 426 339 2707 486 150 3343 25 71111 estab. 3505 584 1488 470 328 2870 447 158 3475 30 3322 469 1397 491 308 2665 481 146 3292 30 3367 526 1355 476 335 2692 488 153 3333 34 3354 473 1372 465 350 2660 487 173 3320 34 3449 513 1429 430 342 2714 517 177 3408 41 71111 empl. 59229 0 2961 3102 4374 10437 18056 22672 51165 8064 61710 0 2853 3249 4116 10218 20041 22189 52448 9262 63401 0 2810 3080 4565 10455 20146 23788 54389 9012 66438 0 2813 3071 4635 10519 19985 26258 56762 9676 66925 0 2981 2839 4692 10512 21281 25124 56917 10008 71111 ann. pay. 1289480 53723 94137 69378 78406 295644 330860 439307 1065811 223669 1349502 43546 91251 70554 79096 284447 384287 466303 1135037 214465 1468581 52472 110150 70413 106244 339279 397492 474757 1211528 257053 1516587 53407 113818 69098 89219 325542 390752 534930 1251224 265363 1602590 49918 106145 72761 88124 316948 421013 555589 1293550 309040 71111 rec. 5337276 181447 425091 239608 299972 1146118 1330175 1798805 4275098 1062178 71112 firms 576 79 251 77 67 474 84 16 574 2 586 86 247 79 71 483 80 21 584 2 579 70 248 84 73 475 79 23 577 2 599 82 253 91 76 502 73 22 597 2 644 104 267 96 76 543 77 23 643 1 71112 estab. 581 79 251 78 68 476 86 17 579 2 591 86 247 80 72 485 82 22 589 2 584 70 248 85 74 477 81 23 581 3 604 82 253 92 77 504 75 22 601 3 648 104 267 97 76 544 79 24 647 1 71112 empl. 9553 0 510 517 889 1916 3522 [h] [i] [f] 10217 0 508 514 944 1966 [h] 4354 [i] [f] 10688 0 525 574 973 2072 [h] 4405 [i] [f] 10904 0 513 605 1033 2151 [h] 4763 [j] [f] 9970 0 540 642 1001 2183 [h] [h] [i] [a] 71112 ann. pay. 177805 5359 10937 5731 12880 34907 58966 (D) (D) (D) 194730 9242 11727 6006 13930 40905 (D) 83974 (D) (D) 215867 2945 11071 8216 14225 36457 (D) 106028 (D) (D) 217841 7078 11134 8292 17758 44262 (D) 97644 (D) (D) 210335 6267 11639 10403 13454 41763 (D) (D) (D) (D) 71112 rec. 570020 23535 46896 33060 38334 141825 (D) (D) (D) (D) 71113 firms 4720 1058 2311 648 375 4392 228 93 4713 7 4594 852 2388 669 353 4262 231 89 4582 12 4486 821 2274 661 370 4126 257 94 4477 9 4554 871 2334 684 316 4205 244 97 4546 8 4532 880 2400 611 325 4216 222 84 4522 10 71113 estab. 4732 1058 2311 650 377 4396 229 98 4723 9 4604 852 2388 670 355 4265 233 92 4590 14 4497 822 2274 662 371 4129 259 98 4486 11 4562 871 2334 685 316 4206 247 101 4554 8 4552 881 2401 612 326 4220 229 90 4539 13 71113 empl. 40833 0 4530 4182 4954 13666 10220 15824 39710 1123 42616 0 4646 4364 4752 13762 [i] 14445 [k] [h] 43985 0 4427 4300 4958 13685 [j] 16207 [k] [h] 42957 0 4533 4484 4172 13189 [j] 16459 [k] [h] 48959 0 4676 3930 4314 12920 [j] 15173 [k] [j] 71113 ann. pay. 1228814 128827 156289 108529 177434 571079 232560 370979 1174618 54196 1289181 80152 195020 124780 190922 590874 (D) 366642 (D) (D) 1340707 75445 185147 137164 183402 581158 (D) 407542 (D) (D) 1349035 98039 236979 125267 181514 641799 (D) 414247 (D) (D) 1316162 90047 224095 126401 158903 599446 (D) 354548 (D) (D) 71113 rec. 4146826 308403 847121 500768 660513 2316805 (D) 755632 (D) (D) 71119 firms 914 246 414 97 69 826 74 9 909 5 802 184 386 91 59 720 71 8 799 3 783 203 341 82 66 692 81 7 780 3 784 192 365 84 56 697 77 7 781 3 702 182 321 68 61 632 60 7 699 3 71119 estab. 971 246 414 97 72 829 81 18 928 43 825 184 387 91 59 721 80 16 817 8 805 203 341 82 66 692 94 11 797 8 807 192 365 84 56 697 93 10 800 7 717 182 321 68 62 633 67 10 710 7 71119 empl. 8530 0 759 652 941 2352 2660 [g] [i] [g] 7427 0 722 598 844 2164 [h] 1163 [i] [g] 8300 0 632 536 923 2091 [h] 1166 [i] [g] 7507 0 676 542 749 1967 [h] 973 [i] [g] 6677 0 566 439 829 1834 [g] [g] [i] [g] 71119 ann. pay. 233270 20413 45352 13079 33560 112404 41741 (D) (D) (D) 219345 20783 41868 14751 16927 94329 (D) 25110 (D) (D) 226098 26274 35461 13085 15648 90468 (D) 23057 (D) (D) 260125 23353 42688 50332 15164 131537 (D) 25415 (D) (D) 202025 18399 32741 19891 16184 87215 (D) (D) (D) (D) 71119 rec. 776776 58611 100020 47624 58584 264839 (D) (D) (D) (D) 71121 firms 4177 962 1738 520 355 3575 375 162 4112 65 4201 932 1773 512 379 3596 377 169 4142 59 4292 925 1794 562 390 3671 402 154 4227 65 4422 916 1899 583 383 3781 408 174 4363 59 4250 941 1810 538 345 3634 385 168 4187 63 71121 estab. 4322 962 1746 526 361 3595 398 189 4182 140 4372 943 1784 523 380 3630 393 209 4232 140 4461 925 1800 573 395 3693 421 201 4315 146 4584 916 1901 592 386 3795 426 213 4434 150 4418 941 1811 548 348 3648 412 203 4263 155 71121 empl. 91075 0 3424 3429 4699 11552 14032 30851 56435 34640 91043 0 3457 3386 5150 11993 14271 32833 59097 31946 100196 0 3505 3657 5311 12473 15936 31062 59471 40725 104384 0 3675 3904 5139 12718 15958 35324 64000 40384 101504 0 3496 3550 4666 11712 15247 32251 59210 42294 71121 ann. pay. 7059658 80955 148737 81321 130771 441784 989599 4102504 5533887 1525771 8159178 71300 139004 104627 150436 465367 1161976 4828502 6455845 1703333 9214948 77489 140619 106375 147590 472073 1342912 4777821 6592806 2622142 9954591 53767 152350 128499 144573 479189 1058821 5884594 7422604 2531987 10515677 63253 149384 102956 180039 495632 766471 6015557 7277660 3238017 71121 rec. 21543250 283647 643735 425036 592108 1944526 2106360 9668719 13719605 7823645 71131 firms 908 165 348 120 89 722 121 39 882 26 956 187 343 119 92 741 128 60 929 27 1034 203 382 142 91 818 123 67 1008 26 1112 188 429 136 116 869 149 67 1085 27 1355 231 548 170 133 1082 169 70 1321 34 71131 estab. 976 166 348 121 92 727 131 53 911 65 1030 187 343 120 94 744 137 80 961 69 1107 203 383 142 94 822 131 85 1038 69 1184 188 430 137 118 873 158 86 1117 67 1451 233 548 171 133 1085 177 91 1353 98 71131 empl. 34481 0 685 798 1248 2731 5488 7951 16170 18311 41246 0 709 797 1255 2761 5461 12025 20247 20999 44268 0 808 969 1236 3013 5110 12897 21020 23248 48304 0 843 879 1581 3303 6635 14213 24151 24153 51137 0 1063 1114 1768 3945 7018 13230 24193 26944 71131 ann. pay. 570181 7586 18053 19027 25560 70226 88708 145738 304672 265509 782023 10487 20298 18707 28291 77783 100187 203437 381407 400616 787309 15663 25228 26992 25941 93824 90821 237460 422105 365204 941537 11021 32645 21605 44000 109271 125955 272146 507372 434165 1069285 14486 33512 29566 49255 126819 134452 290691 551962 517323 71131 rec. 3967111 134971 185194 187519 196870 704554 548267 1001082 2253903 1713208 71132 firms 3082 754 1500 382 222 2858 175 33 3066 16 3137 756 1533 388 220 2897 189 33 3119 18 3200 754 1564 402 216 2936 207 37 3180 20 3206 774 1535 429 222 2960 186 39 3185 21 3454 778 1770 441 210 3199 200 32 3431 23 71132 estab. 3127 755 1500 385 223 2863 181 46 3090 37 3194 757 1535 390 221 2903 198 39 3140 54 3287 755 1566 403 216 2940 216 40 3196 91 3272 774 1535 430 224 2963 194 56 3213 59 3557 778 1770 443 214 3205 224 59 3488 69 71132 empl. 23410 0 2891 2487 2956 8334 6616 5022 19972 3438 24167 0 3025 2561 2921 8507 7566 4058 20131 4036 27578 0 3065 2625 2894 8584 7964 5633 22181 5397 25624 0 3001 2812 2954 8767 7132 5480 21379 4245 28869 0 3408 2861 2705 8974 7310 4037 20321 8548 71132 ann. pay. 795335 47702 152546 77354 109755 387357 193712 107816 688885 106450 890764 49954 190850 76133 89641 406578 241228 124252 772058 118706 1129926 62278 210559 91288 87239 451364 227921 212414 891699 238227 1068338 75464 195432 94701 92810 458407 214544 208803 881754 186584 1139486 61406 195005 102360 92773 451544 235079 184531 871154 268332 71132 rec. 6551232 339130 925098 589257 429494 2282979 1084184 1004156 4371319 2179913 71141 firms 2729 509 1586 394 134 2623 89 8 2720 9 2784 578 1534 413 145 2670 94 9 2773 11 2992 613 1674 418 167 2872 98 12 2982 10 3048 612 1755 411 151 2929 97 13 3039 9 3476 711 2078 414 146 3349 100 17 3466 10 71141 estab. 2788 509 1587 397 145 2638 109 10 2757 31 2837 578 1535 416 156 2685 112 11 2808 29 3048 613 1675 422 177 2887 117 15 3019 29 3107 612 1757 417 158 2944 111 24 3079 28 3551 711 2080 418 158 3367 125 30 3522 29 71141 empl. 14253 0 3135 2494 1712 7341 3513 1503 12357 1896 15069 0 3026 2597 1900 7523 3629 1823 12975 2094 15979 0 3267 2675 2158 8100 3751 1896 13747 2232 16220 0 3410 2628 1903 7941 3953 2200 14094 2126 17052 0 3902 2619 1888 8409 3705 2317 14431 2621 71141 ann. pay. 954736 44996 170433 130063 84468 429960 196404 112000 738364 216372 1037071 69085 164942 149112 88694 471833 200514 139973 812320 224751 1117482 63353 168734 142897 112754 487738 218160 152828 858726 258756 1139323 74285 188508 139256 92512 494561 221167 168630 884358 254965 1281125 71990 204887 167792 127945 572614 272742 109572 954928 326197 71141 rec. 3521784 225594 832561 539047 336637 1933839 607576 237420 2778835 742949 71151 firms 11746 3701 6729 756 331 11517 197 23 11737 9 12108 3929 6748 758 359 11794 268 33 12095 13 12682 4241 6836 857 414 12348 290 33 12671 11 13344 4464 7298 891 386 13039 266 31 13336 8 15826 5794 8449 904 427 15574 211 29 15814 12 71151 estab. 11768 3701 6734 756 334 11525 201 27 11753 15 12131 3931 6751 758 360 11800 276 38 12114 17 12703 4243 6838 857 418 12356 296 35 12687 16 13366 4464 7300 891 391 13046 273 39 13358 8 15848 5795 8451 907 431 15584 217 34 15835 13 71151 empl. 30718 0 10616 4858 4341 19815 7175 2450 29440 1278 36886 0 10805 4919 4696 20420 9614 4133 34167 2719 37524 0 11066 5533 5431 22030 10793 3980 36803 721 39407 0 11790 5778 5049 22617 9897 4520 37034 2373 39236 0 13725 5766 5568 25059 7734 5239 38032 1204 71151 ann. pay. 3494555 688162 1865872 373980 164492 3092506 214501 164420 3471427 23128 3458716 738170 1837980 287516 168896 3032562 244919 91391 3368872 89844 3589333 788950 1736130 390273 239532 3154885 332673 75429 3562987 26346 3946090 880156 2085968 320184 225202 3511510 308487 91386 3911383 34707 4317954 1065728 2249299 389399 224889 3929315 226095 135836 4291246 26708 71151 rec. 9490621 2498201 4533098 964353 631162 8626814 557664 220944 9405422 85199 71211 firms 3714 312 1783 614 400 3109 454 132 3695 19 3749 259 1790 628 430 3107 481 138 3726 23 3789 298 1745 634 430 3107 501 155 3763 26 3936 339 1778 674 448 3239 519 151 3909 27 4224 420 1943 680 466 3509 537 153 4199 25 71211 estab. 3903 312 1785 618 421 3136 517 217 3870 33 3940 259 1792 631 451 3133 545 227 3905 35 3988 298 1747 636 447 3128 569 236 3933 55 4140 339 1780 676 463 3258 586 247 4091 49 4464 420 1944 685 488 3537 623 266 4426 38 71211 empl. 66057 0 3694 3995 5444 13133 18723 22204 54060 11997 71382 0 3713 4135 5736 13584 19972 24312 57868 13514 75400 0 3659 4191 5754 13604 19879 26514 59997 15403 76831 0 3673 4429 6021 14123 21164 24997 60284 16547 77952 0 4113 4447 6220 14780 22296 25502 62578 15374 71211 ann. pay. 1441234 5374 61915 67702 93662 228653 374620 504843 1108116 333118 1602612 4251 64511 72935 102967 244664 405591 562639 1212894 389718 1764538 6360 64968 78097 111677 261102 418383 645499 1324984 439554 1907012 6801 70559 85186 119300 281846 473071 633939 1388856 518156 1973092 7825 77045 92674 126325 303869 505356 687276 1496501 476591 71211 rec. 5920808 41062 356098 339718 440082 1176960 1568224 1847393 4592577 1328231 71212 firms 865 84 517 104 71 776 72 14 862 3 852 70 517 104 78 769 65 15 849 3 851 74 503 108 75 760 71 17 848 3 853 69 497 127 74 767 67 15 849 4 950 111 535 133 83 862 68 15 945 5 71212 estab. 903 84 518 105 74 781 79 39 899 4 891 70 517 106 81 774 71 42 887 4 892 74 503 110 79 766 76 46 888 4 893 69 498 128 78 773 72 28 873 20 1002 111 535 134 92 872 74 35 981 21 71212 empl. 8410 0 972 658 940 2570 2357 [g] [i] [g] 7965 0 984 657 1061 2702 2285 [g] [i] [g] 8300 [a] 970 670 983 [h] 2526 1997 [i] [g] 8439 0 969 784 970 2723 2486 1886 7095 1344 8893 0 1045 839 1055 2939 2572 1967 7478 1415 71212 ann. pay. 132442 752 14289 9920 12755 37716 42871 (D) (D) (D) 131411 821 14514 9686 17013 42034 39997 (D) (D) (D) 143178 (D) 14970 11392 14121 (D) 45604 36454 (D) (D) 154385 1147 15709 13181 16653 46690 47191 35324 129205 25180 163526 1545 17829 14701 18051 52126 53377 34065 139568 23958 71212 rec. 461088 7217 69202 46592 51393 174404 144307 94484 413195 47893 71213 firms 382 36 103 55 57 251 84 42 377 5 390 43 98 58 42 241 95 43 379 11 400 39 115 48 46 248 92 49 389 11 444 47 128 56 59 290 95 47 432 12 508 70 147 74 54 345 99 51 495 13 71213 estab. 395 36 103 55 57 251 89 44 384 11 404 43 98 58 42 241 100 45 386 18 414 39 115 48 46 248 96 52 396 18 459 47 128 56 59 290 99 50 439 20 525 70 147 74 54 345 101 59 505 20 71213 empl. 17472 0 227 369 792 1388 3837 8578 13803 3669 19566 0 201 394 579 1174 4298 8739 14211 5355 20505 0 247 334 629 1210 4189 10252 15651 4854 21775 0 279 365 821 1465 4513 10629 16607 5168 22257 0 329 480 727 1536 4569 10771 16876 5381 71213 ann. pay. 412160 886 3735 7247 16611 28479 83530 208006 320015 92145 468919 855 3646 7744 11512 23757 93488 211461 328706 140213 508771 3456 5069 6690 12097 27312 95660 256279 379251 129520 558407 1352 5801 7056 17825 32034 106013 280060 418107 140300 581700 2543 7292 9323 16601 35759 101238 284846 421843 159857 71213 rec. 1663809 11741 29325 29411 64217 134694 264676 816103 1215473 448336 71219 firms 355 61 125 64 45 295 44 12 351 4 352 45 130 57 48 280 55 11 346 6 350 45 122 56 50 273 59 12 344 6 407 67 140 60 59 326 64 12 402 5 490 84 194 79 50 407 65 13 485 5 71219 estab. 481 61 125 64 47 297 53 66 416 65 479 45 130 58 48 281 65 39 385 94 483 45 122 56 51 274 72 48 394 89 540 67 140 60 61 328 76 52 456 84 642 84 194 79 52 409 96 53 558 84 71219 empl. 4573 0 241 414 606 1261 1395 [g] [h] [f] 5694 0 265 374 651 1290 1806 [g] [h] [g] 6175 [a] 248 358 656 [g] 1940 1266 [h] [g] 6500 0 305 391 767 1463 2258 1249 4970 1530 7021 0 381 520 670 1571 2283 1663 5517 1504 71219 ann. pay. 100492 1020 5291 6894 11730 24935 27647 (D) (D) (D) 118209 1277 5841 6197 12657 25972 34951 (D) (D) (D) 132830 (D) 5916 6269 13271 (D) 40203 39357 (D) (D) 161604 8518 7333 7406 15903 39160 49862 44717 133739 27865 181963 1889 8249 11728 13971 35837 49283 54544 139664 42299 71219 rec. 609302 11306 41901 52977 43862 150046 128253 194080 472379 136923 71311 firms 846 256 190 106 86 638 154 32 824 22 608 175 134 70 76 455 107 27 589 19 633 182 130 82 75 469 117 29 615 18 611 145 153 76 80 454 115 26 595 16 675 209 160 74 70 513 118 27 658 17 71311 estab. 931 256 190 106 86 638 157 41 836 95 689 175 134 70 76 455 108 32 595 94 716 182 130 82 75 469 119 33 621 95 700 145 153 76 80 454 119 30 603 97 772 209 160 74 70 513 124 31 668 104 71311 empl. 114786 0 385 716 1144 2245 6036 4409 12690 102096 102099 0 294 478 1015 1787 4334 4377 10498 91601 102753 0 281 558 1076 1915 4887 4205 11007 91746 98816 0 322 529 1119 1970 4992 4252 11214 87602 94107 0 337 490 983 1810 5093 4218 11121 82986 71311 ann. pay. 1879963 12686 17626 22909 35840 89061 116039 80241 285341 1594622 1962744 18057 16243 20299 30864 85463 107231 87677 280371 1682373 2010721 13154 16856 16449 30239 76698 123725 89216 289639 1721082 2043643 7721 19770 15638 34554 77683 125672 98360 301715 1741928 1858356 16987 13865 17732 35192 83776 129041 92811 305628 1552728 71311 rec. 8101592 66408 57227 60297 122254 306186 407784 273008 986978 7114614 71312 firms 1561 299 514 299 206 1318 207 21 1546 15 1525 312 519 259 213 1303 189 18 1510 15 1434 274 507 242 193 1216 184 18 1418 16 1418 314 514 205 189 1222 162 19 1403 15 1582 367 558 245 189 1359 188 22 1569 13 71312 estab. 2581 299 516 299 219 1333 254 80 1667 914 2446 312 519 261 218 1310 242 81 1633 813 2163 274 507 246 200 1227 259 56 1542 621 2083 314 515 214 200 1243 200 56 1499 584 2220 367 560 249 194 1370 265 55 1690 530 71312 empl. 27817 0 1099 2019 2683 5801 7053 2609 15463 12354 25323 0 1155 1690 2908 5753 6801 2349 14903 10420 21256 0 1131 1612 2665 5408 6410 2245 14063 7193 20485 0 1126 1357 2478 4961 5970 2664 13595 6890 22437 0 1266 1616 2517 5399 6805 3071 15275 7162 71312 ann. pay. 276588 9365 20092 23408 26557 79422 66608 27418 173448 103140 303564 10841 20567 19781 30368 81557 85822 27202 194581 108983 266333 9613 21301 21272 28756 80942 59921 28987 169850 96483 270353 11335 21064 18774 29099 80272 59994 28181 168447 101906 291444 14895 24896 21600 26101 87492 70726 36507 194725 96719 71312 rec. 1202448 62253 110846 104549 112503 390151 237038 111993 739182 463266 71321 firms 520 76 75 69 40 260 95 100 455 65 472 62 60 56 44 222 89 95 406 66 460 38 63 56 38 195 96 99 390 70 486 54 69 46 45 214 93 106 413 73 465 39 58 45 43 185 92 112 389 76 71321 estab. 595 76 75 69 40 260 98 135 493 102 546 64 60 56 44 224 90 126 440 106 537 38 65 56 38 197 97 131 425 112 562 54 69 46 45 214 93 138 445 117 562 39 58 45 43 185 97 152 434 128 71321 empl. 119820 0 145 447 525 1117 4372 22649 28138 91682 128446 0 126 374 582 1082 4307 22169 27558 100888 150218 0 129 387 502 1018 4498 24093 29609 120609 156151 0 142 299 563 1004 4407 25420 30831 125320 163956 0 132 298 578 1008 4620 27185 32813 131143 71321 ann. pay. 2611157 8596 11378 11710 9707 41391 71551 422555 535497 2075660 3077079 20706 2830 5610 12903 42049 126601 451922 620572 2456507 3592162 15377 5014 5296 9080 34767 80645 538303 653715 2938447 4007402 29482 5911 6897 15416 57706 102815 599492 760013 3247389 4120898 26430 8189 5274 14590 54483 87772 607050 749305 3371593 71321 rec. 18687578 128219 50783 29654 49369 258025 462419 2675569 3396013 15291565 71329 firms 1665 194 501 348 288 1331 237 63 1631 34 1417 148 416 258 266 1088 215 77 1380 37 1366 148 412 232 259 1051 201 73 1325 41 1322 151 400 222 244 1017 196 68 1281 41 1372 151 401 248 270 1070 190 69 1329 43 71329 estab. 1931 194 503 355 290 1342 277 190 1809 122 1692 148 418 258 281 1105 254 198 1557 135 1654 148 414 238 269 1069 236 188 1493 161 1613 151 405 224 257 1037 228 180 1445 168 1662 153 403 249 275 1080 246 158 1484 178 71329 empl. 47101 0 1117 2368 3814 7299 8321 12009 27629 19472 50238 0 897 1746 3558 6201 7840 14113 28154 22084 52382 0 879 1540 3489 5908 7552 13726 27186 25196 59485 0 856 1480 3178 5514 7142 12778 25434 34051 57922 0 881 1647 3631 6159 6735 11747 24641 33281 71329 ann. pay. 862022 6031 17948 34759 40196 98934 123184 237870 459988 402034 1021464 5127 20552 28238 44666 98583 114919 295681 509183 512281 1164534 7186 16099 39310 41986 104581 109385 319809 533775 630759 1392224 5134 17841 20416 37656 81047 114920 311036 507003 885221 1383347 10862 20784 21254 41063 93963 121087 302056 517106 866241 71329 rec. 8220836 69924 142413 145893 331474 689704 755395 2222435 3667534 4553302 71391 firms 10986 1305 2745 1782 1607 7439 3043 413 10895 91 11003 1248 2778 1780 1613 7419 3065 428 10912 91 11058 1264 2622 1735 1677 7298 3187 484 10969 89 11020 1198 2864 1715 1596 7373 3077 480 10930 90 11011 1617 2554 1555 1558 7284 3165 471 10920 91 71391 estab. 11755 1305 2745 1786 1620 7456 3113 484 11053 702 11809 1252 2781 1784 1629 7446 3132 494 11072 737 11885 1265 2622 1738 1687 7312 3250 563 11125 760 11861 1198 2865 1719 1608 7390 3129 567 11086 775 11842 1618 2554 1562 1570 7304 3245 581 11130 712 71391 empl. 270260 0 6266 11989 22029 40284 138822 55296 234402 35858 280053 0 6286 12021 22157 40464 140228 57562 238254 41799 297876 0 5907 11697 23037 40641 145138 65439 251218 46658 295095 0 6343 11492 21849 39684 141803 66862 248349 46746 290041 0 5974 10421 21487 37882 146889 64260 249031 41010 71391 ann. pay. 5562133 70318 210220 281212 446843 1008593 2707417 1069820 4785830 776303 5816678 73085 226151 291239 460256 1050731 2825801 1177727 5054259 762419 6243095 64721 197748 270202 464157 996828 2965259 1361500 5323587 919508 6472021 72656 245117 303648 499401 1120822 3058883 1420629 5600334 871687 6590959 129425 226969 284080 499549 1140023 3273281 1396560 5809864 781095 71391 rec. 16857370 455115 733979 851738 1448114 3488946 7849824 3249565 14588335 2269035 71392 firms 367 32 54 42 40 168 71 95 334 33 365 31 64 33 34 162 76 94 332 33 358 31 66 37 39 173 70 85 328 30 372 38 63 35 41 177 72 90 339 33 344 24 68 34 35 161 66 84 311 33 71392 estab. 400 32 54 42 40 168 71 102 341 59 395 31 64 33 34 162 76 99 337 58 389 31 66 37 39 173 70 91 334 55 404 38 63 35 41 177 72 95 344 60 379 24 68 34 35 161 66 89 316 63 71392 empl. 55738 0 110 274 556 940 3117 20637 24694 31044 60097 0 129 227 473 829 3460 20229 24518 35579 56860 0 134 264 505 903 3233 19130 23266 33594 63906 0 116 245 581 942 3580 20281 24803 39103 63872 0 143 226 474 843 3152 18856 22851 41021 71392 ann. pay. 420948 675 1760 3038 3238 8711 18355 114977 142043 278905 425577 1451 1644 2401 3350 8846 19680 106616 135142 290435 452407 875 2108 3790 6831 13604 18837 119296 151737 300670 494642 1274 3151 2631 4772 11828 19868 119329 151025 343617 520891 616 2629 3057 5832 12134 20879 116060 149073 371818 71392 rec. 1675962 2174 12187 13262 19411 47034 60645 323551 431230 1244732 71393 firms 4136 676 2008 771 417 3872 215 31 4118 18 4076 606 1981 784 433 3804 225 28 4057 19 4038 603 1882 795 478 3758 239 22 4019 19 4021 595 1878 788 478 3739 236 24 3999 22 3906 710 1770 730 430 3640 215 31 3886 20 71393 estab. 4227 678 2008 772 427 3885 238 46 4169 58 4170 606 1982 786 444 3818 245 42 4105 65 4126 603 1883 797 490 3773 259 57 4089 37 4121 595 1882 790 487 3754 263 35 4052 69 4021 710 1773 736 441 3660 248 45 3953 68 71393 empl. 23167 0 4295 5043 5366 14704 6161 1363 22228 939 24016 0 4206 5146 5631 14983 6507 1158 22648 1368 24824 0 4137 5209 6254 15600 7392 1107 24099 725 24660 0 4046 5116 6229 15391 7030 1088 23509 1151 23047 0 3915 4722 5619 14256 6211 1462 21929 1118 71393 ann. pay. 564470 18299 105200 116901 127087 367487 150439 27685 545611 18859 599112 16818 106012 121624 136224 380678 164948 23480 569106 30006 640131 15042 103908 124982 159171 403103 191597 24034 618734 21397 674576 19538 108504 128953 159434 416429 188520 29927 634876 39700 675529 23841 109680 129822 157061 420404 178395 41049 639848 35681 71393 rec. 3289466 142109 589296 642458 743212 2117075 858349 161601 3137025 152441 71394 firms 20141 4310 6223 2955 2611 16099 3402 492 19993 148 20402 4245 6413 3062 2649 16369 3358 522 20249 153 20891 4405 6541 3074 2775 16795 3387 553 20735 156 21769 4690 6993 3122 2781 17586 3446 572 21604 165 22857 5313 6869 3481 2905 18568 3534 596 22698 159 71394 estab. 21942 4322 6228 2965 2639 16154 3735 917 20806 1136 22401 4253 6417 3070 2669 16409 3672 894 20975 1426 23003 4415 6544 3087 2802 16848 3673 960 21481 1522 24068 4699 7000 3137 2811 17647 3697 1043 22387 1681 25477 5313 6877 3490 2932 18612 3853 1103 23568 1909 71394 empl. 343556 0 13132 19907 35440 68479 132074 72153 272706 70850 357466 0 13467 20654 36430 70551 131875 75695 278121 79345 382808 0 13701 20584 38035 72320 134219 83638 290177 92631 399434 0 14734 20958 37837 73529 135928 85671 295128 104306 422294 0 14949 23101 39788 77838 137962 90146 305946 116348 71394 ann. pay. 3673968 117775 192888 207601 338533 856797 1236140 769068 2862005 811963 4035119 142033 221353 224536 366856 954778 1257202 860229 3072209 962910 4498973 125265 227745 244190 398490 995690 1335589 960845 3292124 1206849 4844349 139764 248443 252898 429608 1070713 1394436 1032628 3497777 1346572 5024407 144612 239145 276166 435014 1094937 1428453 1075656 3599046 1425361 71394 rec. 15036862 537334 998330 967585 1395179 3898428 3969112 2694755 10562295 4474567 71395 firms 4691 289 1082 847 1168 3386 1251 46 4683 8 4597 314 1091 835 1118 3358 1195 35 4588 9 4545 353 1060 769 1106 3288 1208 41 4537 8 4391 300 1021 764 1061 3146 1195 41 4382 9 4233 282 946 754 1035 3017 1163 43 4223 10 71395 estab. 5400 291 1083 849 1173 3396 1333 123 4852 548 5291 314 1092 835 1122 3363 1285 99 4747 544 5234 354 1060 770 1111 3295 1303 99 4697 537 5059 300 1021 765 1067 3153 1289 97 4539 520 4898 282 946 754 1040 3022 1251 108 4381 517 71395 empl. 86523 0 2555 5842 16168 24565 41288 5128 70981 15542 84241 0 2529 5695 15498 23722 39929 4376 68027 16214 87867 0 2415 5244 15146 22805 40662 5058 68525 19342 84562 0 2400 5208 14574 22182 39755 4587 66524 18038 81617 0 2230 5166 14347 21743 39288 4880 65911 15706 71395 ann. pay. 822107 8665 27483 48416 140935 225499 380573 51522 657594 164513 846650 10095 29966 52513 141857 234431 388859 50573 673863 172787 887757 12911 29335 49301 142095 233642 407582 59644 700868 186889 888712 8825 30248 52349 141233 232655 415881 60864 709400 179312 919348 10654 26414 50747 146187 234002 421831 69407 725240 194108 71395 rec. 3057184 48115 146369 207070 506020 907574 1320303 183000 2410877 646307 71399 firms 14151 3704 5982 2163 1313 13162 826 113 14101 50 14168 3323 6166 2232 1370 13091 899 121 14111 57 13894 3112 5972 2224 1417 12725 979 127 13831 63 14067 3163 6141 2177 1428 12909 979 122 14010 57 13207 3488 5244 2044 1335 12111 913 125 13149 58 71399 estab. 14656 3707 5987 2174 1343 13211 969 244 14424 232 14727 3325 6173 2245 1395 13138 1042 238 14418 309 14473 3115 5979 2238 1445 12777 1102 306 14185 288 14618 3166 6147 2193 1446 12952 1108 270 14330 288 13718 3490 5251 2052 1360 12153 1072 262 13487 231 71399 empl. 86474 0 12266 14223 17121 43610 26628 9999 80237 6237 93063 0 12612 14764 18039 45415 29526 10059 85000 8063 102354 0 12230 14651 18542 45423 33171 13449 92043 10311 102478 0 12587 14373 18924 45884 32834 12876 91594 10884 95246 0 10999 13468 17696 42163 30354 12122 84639 10607 71399 ann. pay. 1483276 107212 219676 215251 245998 788137 394114 190615 1372866 110410 1626207 104571 244213 233741 273382 855907 467228 171474 1494609 131598 1808225 94117 251131 231523 279296 856067 562716 205186 1623969 184256 1870067 91988 270841 231469 295308 889606 547492 241388 1678486 191581 1784278 103251 236608 238670 285570 864099 533263 208045 1605407 178871 71399 rec. 6865068 506553 1143621 1015817 1130381 3796372 1684981 663350 6144703 720365 72111 firms 35385 4839 10419 5220 6196 26674 6839 1449 34962 423 35408 4588 10581 5125 6460 26754 6846 1388 34988 420 35610 4589 10464 5201 6495 26749 7110 1344 35203 407 36185 4516 10753 5279 6758 27306 7167 1303 35776 409 36667 4832 10328 5756 6988 27904 7136 1246 36286 381 72111 estab. 44286 4843 10439 5267 6327 26876 7621 2526 37023 7263 44832 4597 10605 5167 6617 26986 7581 2444 37011 7821 45554 4599 10501 5248 6647 26995 7806 2488 37289 8265 45972 4535 10787 5335 6922 27579 7843 2419 37841 8131 46440 4833 10340 5794 7145 28112 7934 2608 38654 7786 72111 empl. 1343314 0 21934 35366 85548 142848 263736 248878 655462 687852 1364320 0 22330 34637 89847 146814 263242 237349 647405 716915 1378844 0 22230 35017 90241 147488 269873 232421 649782 729062 1377158 0 22990 35814 93832 152636 270785 226715 650136 727022 1312857 0 22658 38803 97685 159146 269124 214427 642697 670160 72111 ann. pay. 21906277 367087 300504 402049 939499 2009139 3275400 3809126 9093665 12812612 23289646 247914 340169 412764 1040732 2041579 3407579 3849856 9299014 13990632 25181023 484632 333401 434174 1064911 2317118 3623807 3978125 9919050 15261973 24806674 264135 357915 458697 1153514 2234261 3716942 3838552 9789755 15016919 24660984 266744 365535 504756 1224188 2361223 3862536 3870997 10094756 14566228 72111 rec. 89767226 1391154 2194249 2399614 5152622 11137639 14113189 11980741 37231569 52535657 72112 firms 201 14 12 6 11 43 36 39 118 83 188 12 9 7 12 40 26 42 108 80 185 13 11 11 6 41 32 40 113 72 194 10 16 15 13 54 34 41 129 65 218 20 28 15 15 78 31 41 150 68 72112 estab. 295 14 12 6 11 43 36 40 119 176 279 13 9 7 12 41 26 42 109 170 288 13 11 11 6 41 32 41 114 174 304 10 16 15 13 54 34 45 133 171 333 20 28 15 15 78 31 43 152 181 72112 empl. 291489 0 26 45 146 217 1815 10104 12136 279353 298890 0 18 50 161 229 1346 10591 12166 286724 311576 0 26 81 80 187 1541 10567 12295 299281 296839 0 34 101 182 317 1471 10317 12105 284734 301909 0 60 103 209 372 1511 9917 11800 290109 72112 ann. pay. 6928844 21138 1042 408 5208 27796 35212 169095 232103 6696741 7635321 5711 242 1724 1653 9330 27616 278793 315739 7319582 8142986 4674 561 2905 796 8936 28510 187490 224936 7918050 7837147 1004 9588 2654 5049 18295 34913 219176 272384 7564763 7886229 15003 1614 3885 2211 22713 22293 199422 244428 7641801 72112 rec. 26088854 59606 10855 9280 8439 88180 76872 608989 774041 25314813 72119 firms 3885 860 1817 603 371 3651 204 21 3876 9 3810 797 1779 588 396 3560 225 17 3802 8 3852 825 1752 610 396 3583 241 20 3844 8 3893 757 1847 599 415 3618 246 22 3886 7 4706 1085 2223 706 413 4427 242 29 4698 8 72119 estab. 3927 860 1819 603 377 3659 213 36 3908 19 3851 797 1779 588 402 3566 236 31 3833 18 3894 825 1752 610 402 3589 252 35 3876 18 3930 757 1847 600 418 3622 258 39 3919 11 4758 1085 2224 706 418 4433 258 55 4746 12 72119 empl. 21103 0 3576 3925 4795 12296 6353 1567 20216 887 22272 0 3568 3802 5185 12555 7304 1459 21318 954 23650 0 3467 3993 5201 12661 7868 2324 22853 797 24326 0 3653 3891 5485 13029 7922 2235 23186 1140 27301 0 4598 4512 5396 14506 7757 2849 25112 2189 72119 ann. pay. 273499 20808 41980 42959 55913 161660 75805 24126 261591 11908 295428 16154 45383 45429 59307 166273 94062 21557 281892 13536 336946 18578 45317 48235 64901 177031 108282 37303 322616 14330 342306 15375 50165 46452 69081 181073 108955 33793 323821 18485 421154 21450 64762 62803 70505 219520 109253 47514 376287 44867 72119 rec. 1558246 131771 351777 259220 254771 997539 328723 122970 1449232 109014 72121 firms 7013 1955 2946 973 527 6401 441 111 6953 60 6720 1764 2868 956 512 6100 458 103 6661 59 6567 1645 2803 962 519 5929 466 111 6506 61 6582 1607 2850 936 559 5952 449 116 6517 65 6779 1816 2795 982 520 6113 479 120 6712 67 72121 estab. 7430 1955 2952 979 560 6446 632 164 7242 188 7123 1765 2873 965 538 6141 635 148 6924 199 6975 1647 2807 971 547 5972 626 175 6773 202 7000 1607 2853 943 591 5994 617 175 6786 214 7280 1820 2800 991 549 6160 691 212 7063 217 72121 empl. 36130 0 5959 6225 6155 18339 9799 2937 31075 5055 37117 0 5862 6101 6131 18094 10272 3035 31401 5716 38107 0 5728 6184 6137 18049 10686 3560 32295 5812 38819 0 5808 6019 6697 18524 10516 4037 33077 5742 39053 0 5742 6295 6317 18354 10660 4316 33330 5723 72121 ann. pay. 752330 47832 147286 128871 112884 436873 166621 51247 654741 97589 796483 44690 151490 133735 117561 447476 194091 49001 690568 105915 842919 43396 153990 134486 124803 456675 202953 63612 723240 119679 900974 45279 167225 137464 143253 493221 203353 77757 774331 126643 940064 54544 159726 154435 141035 509740 215640 88038 813418 126646 72121 rec. 3595827 335155 757673 649710 488605 2231143 713417 272936 3217496 378331 72131 firms 3314 218 2153 546 271 3188 92 26 3306 8 3125 202 2007 537 261 3007 90 22 3119 6 3079 257 1876 533 277 2943 106 20 3069 10 2926 202 1788 527 261 2778 117 18 2913 13 2897 188 1796 505 266 2755 107 21 2883 14 72131 estab. 3393 218 2153 554 279 3204 110 60 3374 19 3193 202 2007 544 271 3024 97 55 3176 17 3140 257 1879 538 283 2957 116 39 3112 28 2990 213 1788 536 265 2802 127 44 2973 17 2984 188 1796 519 273 2776 143 44 2963 21 72131 empl. 15992 0 4094 3550 3426 11070 2934 1580 15584 408 15135 0 3815 3536 3369 10720 2859 1056 14635 500 15605 0 3467 3479 3565 10511 3324 1015 14850 755 15640 0 3347 3472 3367 10186 3733 1036 14955 685 15581 0 3367 3354 3410 10131 3476 1467 15074 507 72131 ann. pay. 177064 3948 44437 33409 30273 112067 36036 18488 166591 10473 183524 3100 43544 35598 31637 113879 40230 17920 172029 11495 204367 6312 41632 34778 39633 122355 48595 18369 189319 15048 209104 4278 41393 36651 35219 117541 57072 16366 190979 18125 217099 3919 44487 37346 35866 121618 54649 31322 207589 9510 72131 rec. 1495454 32265 308555 173023 134465 648308 743870 69903 1462081 33373 72211 firms 166666 23078 38247 32211 32112 125648 37795 2632 166075 591 163897 19513 39483 32001 31842 122839 37850 2603 163292 605 165128 20969 38982 31718 31672 123341 38427 2735 164503 625 165621 21195 39348 31920 31221 123684 38549 2751 164984 637 170651 22780 38325 33562 32820 127487 39791 2721 169999 652 72211 estab. 193140 23141 38277 32270 32313 126001 40004 6494 172499 20641 190788 19618 39514 32080 32091 123303 39917 6330 169550 21238 192342 21016 39024 31803 31883 123726 40466 6420 170612 21730 193262 21273 39386 32007 31470 124136 40416 6468 171020 22242 198531 22836 38348 33609 32967 127760 41869 6768 176397 22134 72211 empl. 3703453 0 93627 218349 442205 754181 1417597 392287 2564065 1139388 3788062 0 96084 217019 438976 752079 1429557 395446 2577082 1210980 3897123 0 94969 214724 436747 746440 1461631 420141 2628212 1268911 3963258 0 95555 216347 430583 742485 1470301 428304 2641090 1322168 4000075 0 96708 226163 453209 776080 1509540 420866 2706486 1293589 72211 ann. pay. 40642096 1056657 993656 1982432 4152089 8184834 15566671 4625575 28377080 12265016 43410899 987862 1106118 2077143 4325589 8496712 16309627 4782489 29588828 13822071 46707000 1041402 1099160 2159323 4491721 8791606 17308393 5353782 31453781 15253219 48702432 1079364 1198095 2263900 4595562 9136921 17814415 5556674 32508010 16194422 49674450 1253863 1190538 2408255 4975572 9828228 18701273 5293807 33823308 15851142 72211 rec. 148212500 4279151 5603984 9719326 16380041 35982502 49973387 14484571 100440460 47772040 72221 firms 139299 19371 43596 27381 23040 113388 21536 3699 138623 676 136414 18039 42674 26449 22920 110082 21894 3735 135711 703 135981 18716 41608 26170 22481 108975 22430 3835 135240 741 139074 20189 42550 26592 22512 111843 22608 3867 138318 756 143822 21502 43624 27881 23266 116273 22945 3825 143043 779 72221 estab. 213643 19651 43681 27572 24090 114994 31454 21419 167867 45776 210920 18317 42796 26709 24013 111835 31130 21455 164420 46500 210895 18938 41748 26474 23464 110624 31027 21342 162993 47902 215793 20348 42660 26894 23421 113323 30586 22276 166185 49608 222816 21624 43701 28045 23966 117336 32427 23409 173172 49644 72221 empl. 3277834 0 101487 184074 311751 597312 803806 654651 2055769 1222065 3318549 0 99599 177525 309959 587083 820081 664423 2071587 1246962 3385478 0 97228 176212 305014 578454 845401 684662 2108517 1276961 3407334 0 99594 178494 305506 583594 846939 701826 2132359 1274975 3463127 0 103654 186223 316241 606118 857192 694252 2157562 1305565 72221 ann. pay. 29871228 582044 1040239 1587257 2623085 5832625 7017857 5675722 18526204 11345024 31475084 541289 1073561 1591524 2735429 5941803 7485956 6088585 19516344 11958740 33454232 534947 1083404 1663983 2786340 6068674 7902688 6509706 20481068 12973164 34789292 593812 1165298 1755943 2906282 6421335 8207415 6776371 21405121 13384171 35932754 678586 1187180 1853866 3073469 6793101 8391363 6832626 22017090 13915664 72221 rec. 133821171 2912247 6163240 7982673 11498674 28556834 28972191 25417149 82946174 50874997 72231 firms 2590 479 801 405 305 1990 358 149 2497 93 2558 406 804 424 342 1976 350 138 2464 94 2506 343 773 444 340 1900 373 136 2409 97 2491 384 776 411 317 1888 380 128 2396 95 2202 373 695 373 228 1669 299 138 2106 96 72231 estab. 15905 480 814 410 342 2046 591 1233 3870 12035 16455 408 840 451 373 2072 533 1148 3753 12702 16894 348 790 474 353 1965 536 1185 3686 13208 17330 384 778 426 348 1936 565 1134 3635 13695 20004 383 695 386 264 1728 454 1072 3254 16750 72231 empl. 358851 0 1814 2718 4103 8635 13625 24814 47074 311777 356731 0 1860 2805 4602 9267 12650 23426 45343 311388 377485 0 1768 2950 4461 9179 13419 23070 45668 331817 384642 0 1759 2743 4250 8752 14017 21323 44092 340550 415991 0 1536 2499 3050 7085 10844 21397 39326 376665 72231 ann. pay. 4793388 12615 21272 30301 43183 107371 170503 336684 614558 4178830 5187039 13970 24309 31904 52931 123114 171769 340679 635562 4551477 5632030 10862 21523 36728 48716 117829 187524 338834 644187 4987843 5771381 11510 23115 35005 48425 118055 203414 335832 657301 5114080 5910258 18804 23411 34749 39455 116419 159719 367544 643682 5266576 72231 rec. 20650581 70668 142280 139913 150398 503259 476373 1272389 2252021 18398560 72232 firms 7244 1562 2425 1229 883 6099 956 155 7210 34 8017 1514 2682 1414 1045 6655 1151 171 7977 40 8574 1585 2903 1412 1216 7116 1227 189 8532 42 8927 1555 3119 1517 1218 7409 1290 185 8884 43 8461 1555 2844 1481 1110 6990 1243 186 8419 42 72232 estab. 7350 1563 2425 1230 887 6105 996 192 7293 57 8171 1514 2683 1417 1051 6665 1202 237 8104 67 8714 1585 2903 1415 1220 7123 1270 231 8624 90 9058 1556 3119 1518 1225 7418 1325 229 8972 86 8629 1556 2847 1482 1112 6997 1289 255 8541 88 72232 empl. 84724 0 5234 8194 11826 25254 36535 19544 81333 3391 99295 0 5708 9440 14346 29494 44175 22365 96034 3261 108616 0 6289 9427 16550 32266 46792 24810 103868 4748 113461 0 6799 10201 16478 33478 49840 23639 106957 6504 110988 0 6188 9891 15140 31219 48290 26115 105624 5364 72232 ann. pay. 1058085 41213 72784 92468 133894 340359 435767 241759 1017885 40200 1292951 47462 82268 109619 170701 410050 553508 280317 1243875 49076 1470192 46778 89527 119243 204549 460097 601410 339587 1401094 69098 1543126 43901 100523 127548 210662 482634 644538 338644 1465816 77310 1560690 46352 96483 129033 201634 473502 634236 360170 1467908 92782 72232 rec. 4923881 212787 492316 524835 703183 1933121 1781506 958414 4673041 250840 72233 firms 2399 702 1111 283 155 2251 122 16 2389 10 2662 970 1078 303 168 2519 119 15 2653 9 3006 994 1227 389 227 2837 147 14 2998 8 2845 877 1206 380 212 2675 147 16 2838 7 2574 847 1088 299 189 2423 128 17 2568 6 72233 estab. 2531 711 1112 283 163 2269 150 53 2472 59 2787 970 1078 311 181 2540 138 51 2729 58 3137 998 1227 393 232 2850 170 49 3069 68 2957 877 1206 382 234 2699 180 21 2900 57 2691 847 1088 304 196 2435 182 21 2638 53 72233 empl. 13540 0 2107 1819 2036 5962 4395 768 11125 2415 12812 0 2106 1972 2218 6296 4040 1359 11695 1117 15819 0 2426 2561 2996 7983 5129 1597 14709 1110 15659 0 2376 2455 2818 7649 4772 1164 13585 2074 14151 0 2125 1944 2416 6485 4154 1355 11994 2157 72233 ann. pay. 220733 11798 30595 21945 24504 88842 65509 12686 167037 53696 220520 18302 32019 25374 28014 103709 60337 25544 189590 30930 264837 21492 35162 30787 33701 121142 74570 30608 226320 38517 261939 17670 36947 30788 34851 120256 71881 22258 214395 47544 226690 15662 31505 23538 31357 102062 66474 22358 190894 35796 72233 rec. 1188332 91734 194220 120408 149465 555827 318617 124919 999363 188969 72241 firms 52230 5679 27967 10693 4677 49016 3009 158 52183 47 50714 5361 26620 10637 4779 47397 3111 166 50674 40 50091 5630 25685 10407 4939 46661 3235 153 50049 42 49483 5595 24849 10491 5003 45938 3338 163 49439 44 50195 5645 24732 10987 5072 46436 3556 160 50152 43 72241 estab. 52665 5681 27975 10727 4763 49146 3157 236 52539 126 51177 5365 26629 10673 4866 47533 3234 263 51030 147 50578 5635 25697 10442 5015 46789 3359 219 50367 211 49973 5596 24861 10533 5077 46067 3449 299 49815 158 50683 5647 24741 11005 5133 46526 3685 244 50455 228 72241 empl. 320230 0 63580 68825 61524 193929 101375 19009 314313 5917 324824 0 60468 68661 63328 192457 106916 20560 319933 4891 328620 0 58634 67347 65586 191567 110292 19167 321026 7594 335165 0 56885 67757 66785 191427 114791 21435 327653 7512 347842 0 57852 70595 67306 195753 121694 20134 337581 10261 72241 ann. pay. 2971730 132825 575070 566907 522123 1796925 943210 178770 2918905 52825 3138070 117934 578619 587637 555538 1839728 1033232 213964 3086924 51146 3345304 133999 576598 606797 607280 1924674 1121326 216875 3262875 82429 3485547 130801 585055 624374 633021 1973251 1197418 242759 3413428 72119 3680423 151526 589042 665181 651936 2057685 1289873 230087 3577645 102778 72241 rec. 15414170 771470 3596363 3106935 2593129 10067897 4302381 691553 15061831 352339 81111 firms 95369 9286 59578 19196 5440 93500 1585 184 95269 100 94420 8356 59030 19523 5609 92518 1627 179 94324 96 93661 8461 57900 19698 5683 91742 1641 184 93567 94 93725 8520 57771 19765 5757 91813 1632 187 93632 93 94448 8429 59000 19476 5676 92581 1591 187 94359 89 81111 estab. 100311 9303 59610 19363 5923 94199 2842 971 98012 2299 99295 8390 59082 19695 6082 93249 2859 1056 97164 2131 98299 8977 57947 19879 6117 92920 2810 1039 96769 1530 98361 8543 57838 19939 6183 92503 2673 1037 96213 2148 99305 8432 59027 19637 6242 93338 2852 966 97156 2149 81111 empl. 392728 0 130151 121659 68193 320003 44719 11732 376454 16274 397792 0 129188 123903 70160 323251 45810 12302 381363 16429 398825 0 128230 125253 71005 324488 47111 13392 384991 13834 402965 0 127187 125438 72311 324936 46939 14002 385877 17088 402913 0 131236 123686 71127 326049 45108 12972 384129 18784 81111 ann. pay. 9330626 197324 2570714 2823738 1725425 7317201 1209995 347393 8874589 456037 9724370 214565 2654845 2965616 1820386 7655412 1263264 369255 9287931 436439 10174747 245849 2689852 3089735 1887830 7913266 1330864 445372 9689502 485245 10570128 220137 2792861 3203305 1954922 8171225 1369610 448416 9989251 580877 10755772 218293 2911288 3267674 2001576 8398831 1341418 415140 10155389 600383 81111 rec. 40336745 1156961 13595859 11166639 6525143 32444602 4713510 1378661 38536773 1799972 81112 firms 38753 3379 19563 9041 4871 36854 1724 134 38712 41 37846 3026 19063 8870 4963 35922 1745 126 37793 53 38045 3293 18784 8890 5045 36012 1851 123 37986 59 37862 3196 18604 8753 5155 35708 1961 133 37802 60 38002 3305 18913 8369 5271 35858 1941 142 37941 61 81112 estab. 42004 3383 19565 9077 5007 37032 2269 650 39951 2053 40961 3031 19069 8906 5095 36101 2274 482 38857 2104 41081 3296 18788 8934 5185 36203 2296 514 39013 2068 40848 3198 18613 8788 5293 35892 2427 520 38839 2009 41398 3305 18920 8406 5457 36088 2585 634 39307 2091 81112 empl. 237179 0 42930 59734 63375 166039 48438 11110 225587 11592 239818 0 41935 58430 64837 165202 49513 9158 223873 15945 246537 0 41253 58465 66224 165942 53321 9302 228565 17972 252983 0 40656 57644 67244 165544 57426 10939 233909 19074 252560 0 41787 55388 69158 166333 56562 11432 234327 18233 81112 ann. pay. 6436951 100907 865295 1454144 1794463 4214809 1477251 376546 6068606 368345 6816572 89579 886851 1485358 1908735 4370523 1572149 317268 6259940 556632 7249979 97683 885809 1525238 2005903 4514633 1773700 328501 6616834 633145 7725757 101466 912796 1546606 2128847 4689715 1944532 394705 7028952 696805 7948021 115738 948342 1534100 2221508 4819688 1994067 442016 7255771 692250 81112 rec. 26238558 524849 4245501 5181264 6677911 16629525 5863305 1495889 23988719 2249839 81119 firms 19910 2834 8759 3735 2287 17615 2021 221 19857 53 19680 2608 8741 3707 2291 17347 2033 241 19621 59 19940 2660 8739 3735 2416 17550 2082 247 19879 61 19936 2564 8885 3682 2424 17555 2066 248 19869 67 19100 2497 8119 3637 2462 16715 2065 255 19035 65 81119 estab. 24586 2871 8783 3819 2549 18022 3068 1224 22314 2272 24642 2657 8776 3786 2540 17759 3056 1631 22446 2196 24736 2695 8777 3802 2629 17903 3044 1785 22732 2004 24742 2608 8932 3776 2657 17973 2988 1765 22726 2016 24346 2501 8139 3710 2779 17129 3268 1869 22266 2080 81119 empl. 198815 0 18618 24673 30106 73397 70734 23847 167978 30837 204996 0 18530 24502 30489 73521 71432 27171 172124 32872 210596 0 18573 24549 32030 75152 72934 29804 177890 32706 214933 0 18963 24184 32059 75206 73893 30927 180026 34907 213365 0 17781 23794 32570 74145 73409 31377 178931 34434 81119 ann. pay. 2608088 74444 257392 338092 405705 1075633 813662 296402 2185697 422391 2847074 73282 273193 350297 430584 1127356 844844 376530 2348730 498344 3087375 70152 284692 365797 456742 1177383 911031 439701 2528115 559260 3153207 73669 307033 381120 478703 1240525 947247 442706 2630478 522729 3249079 73000 285590 377393 504531 1240514 981187 475981 2697682 551397 81119 rec. 10903822 320980 1427480 1376529 1629750 4754739 2916102 1520951 9191792 1712030 81121 firms 14958 1471 8437 2516 1347 13771 874 160 14805 153 14237 1244 8114 2369 1312 13039 887 163 14089 148 13424 1216 7550 2255 1244 12265 855 159 13279 145 12924 1203 7263 2168 1190 11824 817 144 12785 139 12470 1306 7150 1947 1082 11485 711 141 12337 133 81121 estab. 17214 1474 8456 2549 1455 13934 1285 509 15728 1486 16218 1248 8133 2405 1396 13182 1262 511 14955 1263 15344 1218 7568 2281 1327 12394 1200 552 14146 1198 14633 1214 7278 2198 1278 11968 1164 432 13564 1069 14148 1307 7155 1962 1165 11589 1047 451 13087 1061 81121 empl. 138354 0 17187 16426 17480 51093 29341 16551 96985 41369 142210 0 16548 15397 17138 49083 30180 18171 97434 44776 143645 0 15528 14668 16243 46439 29503 18579 94521 49124 140624 0 14837 14116 15615 44568 28311 18310 91189 49435 137794 0 14571 12596 14328 41495 24415 16995 82905 54889 81121 ann. pay. 4820022 57488 363576 420892 534346 1376302 1001289 628839 3006430 1813592 5238955 51729 373118 404659 536699 1366205 1080329 716571 3163105 2075850 6608267 35823 358801 399711 519173 1313508 1111053 768338 3192899 3415368 6489709 57020 363691 399895 521297 1341903 1079641 727762 3149306 3340403 6016253 56631 359221 372746 485917 1274515 951912 708557 2934984 3081269 81121 rec. 18677153 225896 1425021 1221005 1451073 4322995 2750205 2107594 9180794 9496359 81131 firms 24137 2588 12493 4556 2554 22191 1515 249 23955 182 23682 2092 12528 4595 2526 21741 1515 245 23501 181 23426 2305 12103 4504 2546 21458 1551 244 23253 173 23499 2100 12314 4495 2617 21526 1563 230 23319 180 24480 2484 12943 4528 2622 22577 1496 235 24308 172 81131 estab. 25626 2588 12498 4574 2622 22282 1795 514 24591 1035 25149 2095 12529 4606 2596 21826 1788 484 24098 1051 24950 2306 12104 4518 2610 21538 1804 478 23820 1130 24977 2103 12319 4523 2668 21613 1800 460 23873 1104 25932 2484 12946 4543 2684 22657 1784 464 24905 1027 81131 empl. 191016 0 25790 29824 33499 89113 48384 20341 157838 33178 196181 0 25808 30073 33375 89256 49248 21057 159561 36620 197613 0 25146 29527 33442 88115 51149 21446 160710 36903 200954 0 25471 29222 34620 89313 50898 22546 162757 38197 196649 0 27040 29525 34746 91311 49256 20279 160846 35803 81131 ann. pay. 6261573 83859 572413 768567 1011296 2436135 1658782 752836 4847753 1413820 6543415 66078 587010 803087 1034266 2490441 1738723 787470 5016634 1526781 6756014 67099 584801 813454 1062055 2527409 1832249 814527 5174185 1581829 7015703 63873 609274 812758 1124791 2610696 1853539 916935 5381170 1634533 7009776 75054 656118 841034 1144463 2716669 1838463 815015 5370147 1639629 81131 rec. 23832512 429813 2963538 2914803 3593768 9901922 5612313 2548213 18062448 5770064 81141 firms 8876 1018 5751 1323 514 8606 192 32 8830 46 8601 907 5565 1305 549 8326 207 29 8562 39 8417 944 5328 1298 559 8129 222 30 8381 36 8273 837 5273 1290 581 7981 227 30 8238 35 7631 795 4887 1176 505 7363 207 28 7598 33 81141 estab. 9943 1021 5755 1326 530 8632 234 72 8938 1005 9512 907 5569 1310 565 8351 246 64 8661 851 9228 944 5331 1304 572 8151 271 76 8498 730 9085 838 5276 1297 592 8003 285 68 8356 729 8400 795 4888 1178 517 7378 251 61 7690 710 81141 empl. 69235 0 11079 8465 6524 26068 5245 2540 33853 35382 64130 0 10800 8359 6995 26154 5854 1531 33539 30591 61353 0 10335 8314 7207 25856 6202 2234 34292 27061 57998 0 10143 8195 7565 25903 6569 2222 34694 23304 54975 0 9608 7666 6600 23874 5822 1838 31534 23441 81141 ann. pay. 1834137 22524 196161 180621 169348 568654 155428 59376 783458 1050679 1651840 16773 201179 188643 183748 590343 175221 41045 806609 845231 1732903 20016 196478 189492 197925 603911 196995 68244 869150 863753 1631725 14093 199449 199994 212042 625578 216715 71457 913750 717975 1521305 15354 191443 191534 190168 588499 193144 56447 838090 683215 81141 rec. 4424565 106960 964937 693175 598822 2363894 548969 159678 3072541 1352024 81142 firms 6428 702 4368 962 297 6329 95 3 6427 1 6274 621 4303 937 310 6171 98 3 6272 2 6150 639 4127 930 334 6030 111 6 6147 3 5964 600 3991 938 316 5845 110 5 5960 4 5940 678 3928 923 304 5833 99 3 5935 5 81142 estab. 6441 702 4369 962 299 6332 105 3 6440 1 6285 621 4304 938 314 6177 103 3 6283 2 6161 639 4128 933 336 6036 116 6 6158 3 5972 600 3992 939 317 5848 115 5 5968 4 5947 678 3928 923 309 5838 101 3 5942 5 81142 empl. [j] 0 8550 6136 3752 18438 2940 [e] [j] [b] 22053 0 8470 5990 3977 18437 [h] [e] [j] [b] 22777 0 8202 5943 4252 18397 [h] 699 [j] [e] 22458 0 7937 5979 4111 18027 [h] [f] [j] [e] 21385 0 7979 5936 3923 17838 [h] [e] [j] [e] 81142 ann. pay. (D) 11648 133130 110705 80529 336012 64184 (D) (D) (D) 439702 10844 139427 113904 89668 353843 (D) (D) (D) (D) 477715 13712 139692 114975 95879 364258 (D) 16037 (D) (D) 474922 10968 139542 121176 92628 364314 (D) (D) (D) (D) 461627 11782 142849 122433 90269 367333 (D) (D) (D) (D) 81142 rec. 1457169 68458 561865 338914 221573 1190810 (D) (D) (D) (D) 81143 firms 1882 188 1481 142 46 1857 22 1 1880 2 1773 146 1435 135 34 1750 19 1 1770 3 1674 158 1325 142 30 1655 16 0 1671 3 1505 117 1219 122 27 1485 17 1 1503 2 1381 121 1114 106 26 1367 11 2 1380 1 81143 estab. 2027 189 1488 148 76 1901 99 25 2025 2 1993 146 1442 145 67 1800 51 139 1990 3 1886 159 1332 153 47 1691 48 0 1739 147 1714 117 1226 138 45 1526 43 143 1712 2 1578 121 1118 119 45 1403 39 135 1577 1 81143 empl. [i] 0 2603 856 579 4038 669 [e] [i] [a] 4793 0 2551 827 437 3815 [f] [e] [h] [a] 4627 0 2332 879 387 3598 [e] 0 [h] [f] 4246 0 2178 747 350 3275 [e] [e] [h] [a] 3751 0 1981 646 358 2985 [e] [e] [h] [a] 81143 ann. pay. (D) 1843 32416 12296 9067 55622 10206 (D) (D) (D) 70680 1529 32507 13122 7097 54255 (D) (D) (D) (D) 67157 1508 30653 14065 7177 53403 (D) 0 (D) (D) 64190 1159 30599 12054 6854 50666 (D) (D) (D) (D) 57674 1477 28142 11154 6811 47584 (D) (D) (D) (D) 81143 rec. 218306 9090 127052 32813 18344 187299 (D) (D) (D) (D) 81149 firms 10266 1484 6433 1339 581 9837 335 55 10227 39 10282 1525 6411 1385 581 9902 292 54 10248 34 10673 1649 6562 1487 593 10291 297 47 10635 38 10339 1427 6555 1407 580 9969 287 43 10299 40 11860 2030 7071 1652 715 11468 313 44 11825 35 81149 estab. 10588 1487 6440 1352 601 9880 414 166 10460 128 10500 1527 6416 1396 609 9948 356 78 10382 118 10882 1650 6571 1498 614 10333 358 72 10763 119 10535 1428 6561 1417 597 10003 334 75 10412 123 12180 2031 7076 1657 730 11494 363 89 11946 234 81149 empl. 48825 0 12565 8548 7444 28557 10450 4245 43252 5573 46494 0 12435 8857 7457 28749 9075 3735 41559 4935 48233 0 12653 9522 7635 29810 9285 3650 42745 5488 46019 0 12680 9030 7486 29196 8645 3374 41215 4804 51483 0 13844 10577 9178 33599 9460 3117 46176 5307 81149 ann. pay. 1040061 28688 206637 160509 169725 565559 247425 107134 920118 119943 1036932 26515 214079 183350 165839 589783 218092 121488 929363 107569 1133404 33132 221237 194254 178766 627389 270057 119982 1017428 115976 1117420 23347 231842 196819 185288 637296 234141 107705 979142 138278 1252244 36391 254382 227275 226546 744594 260488 103972 1109054 143190 81149 rec. 4521689 230083 1217135 793548 728034 2968800 750643 337830 4057273 464416 81211 firms 74562 7809 44497 13670 6051 72027 2344 169 74540 22 73140 7418 43686 13340 6014 70458 2486 173 73117 23 73342 8187 43001 13269 6102 70559 2580 180 73319 23 73240 8098 42860 13087 6308 70353 2674 190 73217 23 75385 9022 43898 12945 6489 72354 2820 183 75357 28 81211 estab. 84073 7857 44531 13779 6407 72574 4202 1994 78770 5303 83276 7447 43727 13457 6342 70973 4204 1932 77109 6167 83587 8227 43043 13405 6421 71096 4094 1965 77155 6432 83448 8112 42929 13210 6609 70860 4098 2012 76970 6478 86638 9030 43929 13003 6737 72699 4619 2046 79364 7274 81211 empl. 411580 0 91300 88658 79026 258984 77843 27572 364399 47181 421094 0 88959 86463 78897 254319 82518 28377 365214 55880 433378 0 87125 86289 80061 253475 87053 30200 370728 62650 438157 0 85872 85296 82758 253926 90319 31764 376009 62148 450025 0 89949 84518 85215 259682 95158 30316 385156 64869 81211 ann. pay. 5836594 139380 1019041 1117108 1169587 3445116 1291293 419911 5156320 680274 6237947 132069 1054408 1155243 1223087 3564807 1446856 455770 5467433 770514 6752585 149163 1078171 1209691 1300686 3737711 1608031 512264 5858006 894579 7129027 200613 1114975 1222928 1392677 3931193 1720153 542785 6194131 934896 7378763 170435 1154707 1231706 1452780 4009628 1830393 508336 6348357 1030406 81211 rec. 16608808 628870 3852946 2753936 2826703 10062455 3418983 1030779 14512217 2096591 81219 firms 9740 1803 5148 1777 655 9383 303 43 9729 11 10202 1830 5407 1819 778 9834 314 42 10190 12 10652 2040 5469 1854 843 10206 385 51 10642 10 11218 2086 5653 2059 913 10711 444 51 11206 12 10632 2000 4908 2250 963 10121 446 52 10619 13 81219 estab. 11617 1810 5164 1831 765 9570 617 303 10490 1127 11956 1837 5426 1867 873 10003 589 280 10872 1084 12323 2045 5493 1891 923 10352 615 318 11285 1038 13149 2088 5676 2085 1005 10854 685 305 11844 1305 12986 2000 4916 2271 1058 10245 914 377 11536 1450 81219 empl. 62018 0 10409 11389 8510 30308 10273 6484 47065 14953 64371 0 10981 11749 10181 32911 11074 7039 51024 13347 69831 0 11177 12070 11047 34294 13582 8283 56159 13672 78755 0 11370 13347 11789 36506 15439 8603 60548 18207 79568 0 10587 14606 12482 37675 15156 9200 62031 17537 81219 ann. pay. 747417 32448 116598 107506 94985 351537 157104 75809 584450 162967 799976 34228 129933 117500 115343 397004 172352 90348 659704 140272 879720 34440 138095 124997 134840 432372 195484 116545 744401 135319 1018187 38296 145017 141398 140706 465417 213735 115593 794745 223442 1052027 40746 127816 144592 146830 459984 221002 139248 820234 231793 81219 rec. 4095549 203481 600593 502048 462107 1768229 674075 426033 2868337 1227212 81221 firms 11519 558 5313 3419 1626 10916 567 27 11510 9 11414 580 5242 3310 1675 10807 570 25 11402 12 11353 573 5184 3257 1713 10727 583 33 11343 10 11435 643 5181 3252 1686 10762 621 42 11425 10 11427 593 5138 3200 1752 10683 690 43 11416 11 81221 estab. 16215 559 5453 3890 2197 12099 1260 154 13513 2702 16097 584 5378 3741 2232 11935 1233 135 13303 2794 16121 582 5318 3649 2289 11838 1246 225 13309 2812 16103 652 5326 3659 2218 11855 1287 295 13437 2666 16228 595 5208 3569 2401 11773 1574 232 13579 2649 81221 empl. 105776 0 12644 22526 20740 55910 17515 2349 75774 30002 104764 0 12461 21708 21404 55573 17655 2006 75234 29530 109157 0 12367 21364 21947 55678 18556 3174 77408 31749 112590 0 12367 21303 21607 55277 19299 4386 78962 33628 105050 0 12528 21138 22571 56237 21742 3980 81959 23091 81221 ann. pay. 2499299 14186 326565 569840 517368 1427959 456829 52616 1937404 561895 2571288 16288 341030 570898 550548 1478764 468377 52486 1999627 571661 2711245 16335 340550 572222 573260 1502367 488723 73693 2064783 646462 2773635 19604 355111 590224 576775 1541714 510085 108320 2160119 613516 2813190 16302 361825 587645 615337 1581109 576500 105585 2263194 549996 81221 rec. 10961391 121249 1963276 2309257 2084686 6478468 1794792 344861 8618121 2343270 81222 firms 5407 970 3048 726 360 5104 248 38 5390 17 5276 876 3051 717 331 4975 252 35 5262 14 5229 843 3009 742 341 4935 243 38 5216 13 5192 831 2962 743 346 4882 254 43 5179 13 4737 827 2541 736 335 4439 229 49 4717 20 81222 estab. 6878 970 3050 732 397 5149 358 168 5675 1203 6779 876 3052 725 357 5010 360 282 5652 1127 6757 843 3010 749 371 4973 335 278 5586 1171 6694 834 2963 746 376 4919 425 259 5603 1091 6249 827 2545 742 365 4479 445 259 5183 1066 81222 empl. 60906 0 5998 4562 4583 15143 7751 3564 26458 34448 55346 0 5923 4609 4246 14778 7885 3524 26187 29159 57001 0 5876 4769 4317 14962 7852 3873 26687 30314 57750 0 5742 4694 4383 14819 8101 3757 26677 31073 42082 0 5217 4686 4236 14139 7301 4202 25642 16440 81222 ann. pay. 1205700 20502 86464 93100 115007 315073 245621 104863 665557 540143 1186280 15401 90543 100698 114214 320856 255897 129055 705808 480472 1226112 12866 93477 104189 120263 330795 266435 119599 716829 509283 1304362 15386 94232 109233 128077 346928 289126 127605 763659 540703 1058189 7783 84990 106028 122504 321305 263838 150692 735835 322354 81222 rec. 3409005 33929 288112 305381 321563 948985 645035 503607 2097627 1311378 81231 firms 12264 1292 7513 2109 877 11791 416 48 12255 9 11804 1067 7475 2023 813 11378 376 39 11793 11 11301 987 7099 1977 816 10879 372 39 11290 11 10930 987 6922 1854 725 10488 391 37 10916 14 10996 1131 6892 1873 691 10587 362 35 10984 12 81231 estab. 13992 1295 7564 2216 1182 12257 925 550 13732 260 13487 1075 7527 2150 1090 11842 865 347 13054 433 12956 996 7145 2101 1098 11340 830 377 12547 409 12565 990 6979 1955 975 10899 837 348 12084 481 12521 1131 6928 1972 906 10937 821 311 12069 452 81231 empl. 56567 0 15872 13401 10687 39960 10220 3080 53260 3307 53588 0 15708 12795 9997 38500 8780 1579 48859 4729 53310 0 14965 12511 9908 37384 9046 2646 49076 4234 51528 0 14566 11774 8911 35251 9438 2288 46977 4551 49179 0 14657 11797 8507 34961 8563 1561 45085 4094 81231 ann. pay. 709894 18341 148650 126150 117690 410831 145434 57899 614164 95730 668672 15884 154305 127190 113377 410756 128465 24546 563767 104905 714956 14285 153188 123637 115514 406624 145463 50307 602394 112562 722076 13605 156161 119909 106294 395969 146342 50761 593072 129004 669971 15827 157284 123346 100854 397311 129701 27983 554995 114976 81231 rec. 3438898 112469 921646 489764 333000 1856879 484594 127632 2469105 969793 81232 firms 24174 2133 10982 5257 3474 21846 2157 155 24158 16 23786 2181 10757 5076 3400 21414 2191 161 23766 20 23753 2369 10770 4918 3367 21424 2152 157 23733 20 23572 2371 10796 4868 3267 21302 2090 159 23551 21 23714 2384 11245 4721 3216 21566 1983 143 23692 22 81232 estab. 27674 2145 11001 5334 3816 22296 3806 1141 27243 431 27382 2184 10781 5142 3730 21837 3754 1199 26790 592 27324 2381 10795 4988 3694 21858 3715 1149 26722 602 27026 2379 10828 4943 3565 21715 3584 1118 26417 609 27059 2386 11266 4795 3518 21965 3388 1099 26452 607 81232 empl. 203388 0 24234 34588 46107 104929 72379 21079 198387 5001 203807 0 23661 33520 45200 102381 73459 22130 197970 5837 201742 0 23685 32543 44999 101227 72425 22276 195928 5814 197888 0 23627 32251 43752 99630 69275 20931 189836 8052 190399 0 25164 31225 43243 99632 65782 17390 182804 7595 81232 ann. pay. 2683906 59776 285408 394726 560132 1300042 995943 327622 2623607 60299 2804853 51928 292939 400133 587093 1332093 1041141 343140 2716374 88479 2819649 54640 303271 395611 569922 1323444 1038624 362617 2724685 94964 2835945 55608 313850 405397 575233 1350088 1019632 330191 2699911 136034 2819867 54010 352373 412958 582748 1402089 993733 289219 2685041 134826 81232 rec. 7851550 258932 1622921 1268459 1465211 4615523 2221887 694772 7532182 319368 81233 firms 1676 107 412 238 241 998 473 151 1622 54 1595 91 422 233 212 958 442 143 1543 52 1522 93 372 233 197 895 437 145 1477 45 1454 67 361 238 189 855 406 146 1407 47 1320 70 318 198 183 769 374 131 1274 46 81233 estab. 2864 109 412 238 242 1001 503 291 1795 1069 2889 91 423 233 213 960 471 276 1707 1182 2771 93 373 233 200 899 461 282 1642 1129 2679 73 362 238 193 866 429 271 1566 1113 2530 70 318 198 185 771 406 263 1440 1090 81233 empl. 132827 0 938 1597 3287 5822 20932 23586 50340 82487 135685 0 921 1567 2979 5467 19871 22673 48011 87674 134441 0 822 1568 2690 5080 19460 23640 48180 86261 134306 0 809 1578 2574 4961 17957 23362 46280 88026 131662 0 736 1346 2486 4568 17431 21710 43709 87953 81233 ann. pay. 2971093 11824 12631 22912 55505 102872 419114 522201 1044187 1926906 3115082 3428 13293 26209 48439 91369 423242 532181 1046792 2068290 3208217 3564 13412 27442 44250 88668 417205 548712 1054585 2153632 3193346 3412 14287 32205 43999 93903 393510 565900 1053313 2140033 3312646 4042 13449 26309 50205 94005 399823 556210 1050038 2262608 81233 rec. 9188733 16507 66911 108293 136561 328272 995268 1392731 2716271 6472462 81291 firms 6742 1024 4244 1042 332 6642 92 5 6739 3 6857 901 4349 1140 363 6753 98 4 6855 2 7025 989 4330 1189 399 6907 110 4 7021 4 7436 1054 4496 1285 456 7291 138 4 7433 3 8130 1170 4832 1420 547 7969 151 6 8126 4 81291 estab. 6769 1024 4244 1042 332 6642 93 6 6741 28 6894 901 4351 1140 363 6755 99 4 6858 36 7061 991 4330 1189 399 6909 110 4 7023 38 7482 1054 4498 1292 458 7302 138 4 7444 38 8188 1170 4834 1426 549 7979 157 10 8146 42 81291 empl. 23449 0 8499 6646 4234 19379 2564 513 22456 993 24908 0 8754 7197 4662 20613 2772 [f] [j] [f] 26767 0 8777 7658 5108 21543 3165 584 25292 1475 28954 0 9183 8244 5841 23268 3945 [g] [k] [f] 32177 0 10102 9037 6982 26121 4136 [g] [k] [f] 81291 ann. pay. 314354 10847 100984 80034 53095 244960 40148 10954 296062 18292 337383 12419 108912 90844 62440 274615 44642 (D) (D) (D) 365318 11823 112181 97323 69803 291130 50828 10653 352611 12707 413219 14361 119440 109600 80933 324334 62958 (D) (D) (D) 472468 16163 132242 122983 99458 370846 67477 (D) (D) (D) 81291 rec. 1505152 84882 525925 359576 250784 1221167 165014 (D) (D) (D) 81292 firms 4571 384 2222 949 549 4104 406 43 4553 18 4309 313 2127 898 518 3856 390 47 4293 16 4016 273 1984 839 479 3575 377 49 4001 15 3713 280 1819 785 413 3297 356 46 3699 14 3281 201 1689 647 395 2932 303 37 3272 9 81292 estab. 6449 384 2228 982 639 4233 693 147 5073 1376 6269 315 2140 935 606 3996 661 146 4803 1466 5843 275 1995 877 554 3701 634 144 4479 1364 5357 280 1835 827 490 3432 563 148 4143 1214 4810 202 1701 670 446 3019 469 160 3648 1162 81292 empl. 72242 0 4970 6106 7233 18309 14661 6778 39748 32494 64831 0 4733 5924 6744 17401 14254 [i] [k] [k] 61530 0 4345 5535 6263 16143 13645 7801 37589 23941 60366 0 3959 5126 5485 14570 12864 [i] [k] [k] 49247 0 3672 4226 5138 13036 10463 [i] [k] [j] 81292 ann. pay. 1581788 23243 77035 104190 140219 344687 361098 165495 871280 710508 1497325 8530 79653 103923 134270 326376 361222 (D) (D) (D) 1483929 6874 72702 101242 136188 317006 361433 200561 879000 604929 1497337 5766 68623 96460 116942 287791 336659 (D) (D) (D) 1239594 8841 63945 79860 106871 259517 286904 (D) (D) (D) 81292 rec. 3894508 50040 298676 274143 304474 927333 759608 (D) (D) (D) 81293 firms 2070 190 831 420 209 1650 300 86 2036 34 1921 225 779 389 203 1596 220 70 1886 35 1954 221 783 413 201 1618 234 66 1918 36 1994 245 805 379 209 1638 255 68 1961 33 2289 257 961 454 242 1914 265 72 2251 38 81293 estab. 9613 205 844 454 293 1796 813 1363 3972 5641 9811 261 895 415 316 1887 636 1358 3881 5930 10934 249 808 432 305 1794 660 1212 3666 7268 10661 245 824 417 297 1783 729 1180 3692 6969 11775 257 972 476 339 2044 800 1247 4091 7684 81293 empl. 78538 0 1873 2779 2709 7361 11321 14579 33261 45277 80570 0 1709 2531 2717 6957 8460 11487 26904 53666 81049 0 1762 2693 2649 7104 8909 11389 27402 53647 88259 0 1808 2472 2817 7097 10049 12572 29718 58541 86176 0 2225 2936 3195 8356 10187 13401 31944 54232 81293 ann. pay. 1081268 9949 31226 48089 39476 128740 150254 200828 479822 601446 1189905 6489 33429 46850 42488 129256 124395 189157 442808 747097 1151860 7697 35197 48348 43223 134465 140749 183986 459200 692660 1356739 10352 34947 46588 47353 139240 156915 200168 496323 860416 1365243 9629 45578 57785 57123 170115 153958 209594 533667 831576 81293 rec. 6687864 49332 237803 252581 233040 772756 591760 891185 2255701 4432163 81299 firms 8007 2620 3627 974 430 7651 286 41 7978 29 9960 3404 4523 1088 502 9517 347 64 9928 32 13314 4348 6355 1395 670 12768 443 75 13286 28 11213 2946 5851 1308 611 10716 390 79 11185 28 17467 4588 8354 2385 1240 16567 780 94 17441 26 81299 estab. 8308 2622 3633 981 448 7684 357 110 8151 157 10267 3404 4529 1096 520 9549 409 176 10134 133 13743 4391 6363 1400 692 12846 510 233 13589 154 11646 2947 5856 1313 628 10744 477 276 11497 149 17900 4588 8359 2389 1257 16593 836 328 17757 143 81299 empl. 40560 0 7073 6267 5718 19058 10061 5390 34509 6051 52419 0 8701 6963 6674 22338 12559 9509 44406 8013 65009 0 12041 8927 8865 29833 16001 12164 57998 7011 62969 0 10972 8461 8051 27484 14487 13277 55248 7721 98755 0 16607 15580 16571 48758 27973 15488 92219 6536 81299 ann. pay. 899951 66453 140850 113941 102314 423558 186721 89208 699487 200464 1178663 91232 184583 129097 132879 537791 299790 154177 991758 186905 1468143 125013 262962 170160 187265 745400 303595 269793 1318788 149355 1385288 66034 242603 163104 169775 641516 271213 241730 1154459 230829 2037431 117026 345219 312334 321040 1095619 494308 303011 1892938 144493 81299 rec. 7486867 722746 1938159 1264030 1053436 4978371 1419560 776503 7174434 312433 81311 firms 161205 5581 85392 37075 17754 145802 14291 1002 161095 110 164446 6506 85840 37887 18229 148462 14807 1066 164335 111 166598 6705 85947 38542 18679 149873 15440 1169 166482 116 165859 6029 84980 38873 18943 148825 15712 1210 165747 112 172311 7532 87434 40589 19482 155037 15942 1213 172192 119 81311 estab. 161332 5581 85393 37076 17759 145809 14336 1048 161193 139 164574 6506 85841 37889 18233 148469 14854 1102 164425 149 166716 6707 85949 38543 18685 149884 15484 1202 166570 146 165984 6029 84983 38874 18951 148837 15761 1246 165844 140 172562 7532 87436 40589 19485 155042 16009 1272 172323 239 81311 empl. 1469479 0 192115 240091 236535 668741 539166 164597 1372504 96975 1517882 0 192299 245550 243445 681294 561687 175519 1418500 99382 1569353 0 192972 249912 249364 692248 587271 187485 1467004 102349 1595009 0 191539 252752 253292 697583 598202 196792 1492577 102432 1638915 0 200736 261971 259923 722630 607209 197037 1526876 112039 81311 ann. pay. 18855527 87838 2007913 2584394 2794289 7474434 6859178 2659056 16992668 1862859 20390610 122886 2124993 2772870 3019986 8040735 7410576 2918466 18369777 2020833 22089462 147168 2242849 2960284 3225583 8575884 8022148 3219807 19817839 2271623 23294649 108633 2347702 3102665 3425528 8984528 8515581 3535837 21035946 2258703 24843744 138677 2521215 3324490 3607367 9591749 9046341 3703308 22341398 2502346 81311 rec. 82910385 581781 8926690 11243940 11998419 32750830 29654114 12089227 74494171 8416214 81321 firms 10596 852 6188 1461 861 9362 788 240 10390 206 10760 678 6338 1524 911 9451 854 244 10549 211 11155 832 6367 1655 927 9781 917 249 10947 208 11835 824 6823 1757 994 10398 972 260 11630 205 12944 978 7564 1833 1070 11445 993 277 12715 229 81321 estab. 12349 852 6188 1480 926 9446 1122 567 11135 1214 12540 679 6339 1543 965 9526 1164 571 11261 1279 12925 837 6368 1668 991 9864 1217 556 11637 1288 13648 824 6827 1786 1046 10483 1275 556 12314 1334 14952 978 7565 1871 1176 11590 1357 737 13684 1268 81321 empl. 113658 0 11752 9527 11480 32759 29157 26674 88590 25068 121342 0 12295 9956 12009 34260 31682 29017 94959 26383 128873 0 12384 10861 12278 35523 34510 29616 99649 29224 135947 0 13339 11568 13282 38189 36861 32100 107150 28797 143800 0 14576 11922 14188 40686 38164 33322 112172 31628 81321 ann. pay. 3640553 61064 334373 309401 372380 1077218 924948 795073 2797239 843314 3959660 19571 369112 330073 399742 1118498 1059791 925498 3103787 855873 4388361 25734 383524 384265 423554 1217077 1183764 994848 3395689 992672 4951121 32143 437805 423450 468222 1361620 1343792 1151178 3856590 1094531 5415980 42543 489339 446046 527479 1505407 1453154 1221915 4180476 1235504 81321 rec. 46518426 816104 5938738 4939756 5549376 17243974 12823379 12080457 42147810 4370616 81331 firms 8840 771 4365 1610 1030 7776 791 213 8780 60 9053 531 4482 1752 1073 7838 937 221 8996 57 9266 628 4375 1807 1180 7990 990 223 9203 63 9954 614 4772 1979 1241 8606 1037 242 9885 69 11443 831 5794 2105 1355 10085 1045 243 11373 70 81331 estab. 10398 771 4368 1626 1088 7853 1159 916 9928 470 10741 533 4486 1767 1129 7915 1303 880 10098 643 11057 640 4378 1820 1243 8081 1352 1035 10468 589 11886 617 4778 1996 1312 8703 1387 1089 11179 707 13485 833 5802 2123 1417 10175 1518 996 12689 796 81331 empl. 89539 0 9094 10540 13715 33349 27646 18537 79532 10007 100107 0 9443 11531 14497 35471 32883 20581 88935 11172 107824 0 9309 11816 15582 36707 34920 22704 94331 13493 116907 0 10049 12975 16547 39571 36273 25372 101216 15691 124217 0 12078 13751 18146 43975 36314 26686 106975 17242 81331 ann. pay. 2220271 21156 201885 236269 321682 780992 665452 485767 1932211 288060 2533382 16334 222594 269518 347716 856162 795315 547823 2199300 334082 2836905 18431 227259 285619 384757 916066 885857 647462 2449385 387520 3239402 20874 264430 331877 436105 1053286 952658 748415 2754359 485043 3584777 25792 320956 368917 491614 1207279 994454 858105 3059838 524939 81331 rec. 12940150 171505 1336694 1291598 1595979 4395776 2949112 3378800 10723688 2216462 81341 firms 30183 1988 15650 6292 3480 27410 2268 425 30103 80 29762 1609 15691 6263 3411 26974 2260 446 29680 82 29739 1766 15323 6325 3452 26866 2331 452 29649 90 29742 1786 15253 6322 3439 26800 2378 467 29645 97 28975 1806 14475 6368 3338 25987 2422 468 28877 98 81341 estab. 32063 1988 15655 6325 3651 27619 2865 959 31443 620 31642 1609 15697 6299 3552 27157 2875 1021 31053 589 31628 1766 15333 6359 3590 27048 2926 1059 31033 595 31711 1786 15256 6355 3560 26957 2969 1148 31074 637 31176 1809 14476 6387 3470 26142 3268 1128 30538 638 81341 empl. 314725 0 31244 41313 45677 118234 83315 65174 266723 48002 320681 0 31569 41303 45280 118152 83702 67038 268892 51789 330697 0 30864 41646 45723 118233 85898 70549 274680 56017 339182 0 30807 41603 45286 117696 88498 72921 279115 60067 339933 0 30023 41692 44201 115916 90588 73707 280211 59722 81341 ann. pay. 3890204 30852 344984 411718 493086 1280640 1195262 856902 3332804 557400 4044190 24367 371147 421004 496141 1312659 1225263 920195 3458117 586073 4332728 33448 375416 438092 521189 1368145 1321915 988736 3678796 653932 4700999 33706 397264 452521 542519 1426010 1438597 1068628 3933235 767764 4789128 32818 384592 466461 524363 1408234 1505267 1123370 4036871 752257 81341 rec. 16117675 215275 2363440 2196555 2076162 6851432 4226702 2795465 13873599 2244076 81391 firms 16076 656 10641 2602 1088 14987 914 146 16047 29 16534 583 10747 2799 1253 15382 978 146 16506 28 16542 622 10639 2831 1277 15369 995 150 16514 28 16625 620 10657 2892 1264 15433 1010 151 16594 31 16355 683 10500 2762 1199 15144 1036 150 16330 25 81391 estab. 16641 660 10645 2623 1160 15088 1178 326 16592 49 17154 589 10750 2818 1331 15488 1300 328 17116 38 17144 624 10654 2856 1342 15476 1313 314 17103 41 17214 620 10673 2919 1329 15541 1301 318 17160 54 16937 683 10511 2788 1272 15254 1327 309 16890 47 81391 empl. 116928 0 22023 16746 14256 53025 32714 19348 105087 11841 121817 0 22366 17823 16384 56573 35048 19687 111308 10509 127217 0 22598 18133 16642 57373 35783 20781 113937 13280 129650 0 22694 18490 16502 57686 36598 20590 114874 14776 120671 0 22323 17664 15646 55633 36570 20324 112527 8144 81391 ann. pay. 4477273 28839 571805 528425 537278 1666347 1435856 964339 4066542 410731 4922933 26685 605359 596780 630609 1859433 1652858 1038604 4550895 372038 5288226 26606 637014 631298 674255 1969173 1708397 1136409 4813979 474247 5599951 26070 673383 659333 687984 2046770 1807166 1215255 5069191 530760 5581162 23194 684468 666795 682915 2057372 1843610 1261271 5162253 418909 81391 rec. 19049690 128064 2633399 2242121 2187491 7191075 5949349 3783386 16923810 2125880 81392 firms 7621 470 4496 1277 673 6916 568 118 7602 19 7140 444 4279 1132 574 6429 566 125 7120 20 7202 443 4276 1161 581 6461 583 138 7182 20 7328 461 4277 1207 624 6569 592 143 7304 24 7258 529 4261 1121 609 6520 581 135 7236 22 81392 estab. 7928 470 4498 1290 698 6956 711 224 7891 37 7429 444 4280 1137 593 6454 696 237 7387 42 7493 443 4278 1165 600 6486 704 257 7447 46 7653 461 4279 1212 637 6589 714 270 7573 80 7630 529 4263 1127 625 6544 725 273 7542 88 81392 empl. 69482 0 9196 8293 8788 26277 [j] [j] [l] [h] 75037 0 8668 7342 7584 23594 22254 [j] [l] [j] 78577 0 8631 7562 7681 23874 22348 [j] [l] [j] 82207 0 8670 7868 8349 24887 22696 [j] [l] [j] 77456 [a] 8613 7272 8119 [j] 23211 [j] [l] [i] 81392 ann. pay. 2703465 49958 264042 274879 315047 903926 (D) (D) (D) (D) 2832918 18193 254736 245810 282518 801257 904596 (D) (D) (D) 3047829 14595 264931 264644 300324 844494 928232 (D) (D) (D) 3436845 18485 277260 288192 348187 932124 997899 (D) (D) (D) 3536327 (D) 285315 285487 349004 (D) 1077774 (D) (D) (D) 81392 rec. 11409755 (D) 1298371 1039887 1171825 (D) 3532638 (D) (D) (D) 81393 firms 17952 803 8587 4397 2624 16411 1384 137 17932 20 17382 787 8347 4180 2513 15827 1394 141 17362 20 16963 883 7909 4075 2500 15367 1428 151 16946 17 16666 881 7840 4004 2377 15102 1399 147 16648 18 16689 881 7261 4101 2792 15035 1491 141 16667 22 81393 estab. 18697 811 8594 4414 2679 16498 1578 398 18474 223 18197 789 8350 4201 2554 15894 1596 372 17862 335 17811 883 7912 4099 2539 15433 1627 395 17455 356 17476 881 7842 4025 2423 15171 1597 389 17157 319 17520 881 7262 4115 2844 15102 1680 419 17201 319 81393 empl. 167206 0 18609 29158 34532 82299 48812 24604 155715 11491 166926 0 18005 27945 33570 79520 49826 25443 154789 12137 168175 0 17064 27219 33497 77780 51123 27836 156739 11436 163284 0 16749 26728 31607 75084 50238 26893 152215 11069 170894 0 16570 27509 36848 80927 53123 24307 158357 12537 81393 ann. pay. 3558338 16417 331710 411389 555662 1315178 1011873 815058 3142109 416229 3728856 12401 335113 422676 585132 1355322 1071312 844438 3271072 457784 3921562 15971 329780 433067 619787 1398605 1108336 982776 3489717 431845 4047683 20545 334009 456267 615371 1426192 1168104 996510 3590806 456877 4362340 19644 324702 471548 677182 1493076 1330876 977740 3801692 560648 81393 rec. 13997265 94712 1378220 1571443 2061000 5105375 4050999 3046628 12203002 1794263 81394 firms 2429 557 1404 261 121 2343 78 7 2428 1 1989 389 1245 186 86 1906 75 7 1988 1 2540 564 1511 257 118 2450 81 8 2539 1 2223 483 1363 213 87 2146 69 7 2222 1 2858 707 1650 269 141 2767 79 11 2857 1 81394 estab. 2435 557 1404 262 122 2345 82 7 2434 1 1995 389 1245 187 87 1908 79 7 1994 1 2546 564 1511 257 120 2452 85 8 2545 1 2229 483 1363 213 89 2148 73 7 2228 1 2864 707 1650 269 144 2770 81 12 2863 1 81394 empl. 9954 0 2628 1659 1608 5895 [h] [g] [i] [a] 8456 0 2211 1201 1109 4521 2853 [g] [i] [a] 10889 0 2698 1679 1505 5882 3262 [g] [j] [a] 8884 0 2434 1373 1143 4950 2510 [g] [i] [a] 11580 [a] 3105 1746 1837 [i] 2809 [g] [j] [a] 81394 ann. pay. 297652 21297 68798 52104 44089 186288 (D) (D) (D) (D) 249507 14873 53247 33031 30027 131178 82551 (D) (D) (D) 343605 20616 78635 48191 48366 195808 100064 (D) (D) (D) 288752 16101 62480 41122 34781 154484 88340 (D) (D) (D) 402376 (D) 89859 57587 66657 (D) 106757 (D) (D) (D) 81394 rec. 1432176 (D) 368828 188022 228485 (D) 340683 (D) (D) (D) 81399 firms 24033 2439 14701 3384 2128 22652 1244 103 23999 34 23704 2172 14597 3396 2164 22329 1234 107 23670 34 23757 2180 14491 3490 2182 22343 1270 109 23722 35 23664 2152 14437 3456 2203 22248 1265 117 23630 34 22580 2024 13685 3249 2197 21155 1261 134 22550 30 81399 estab. 24333 2439 14701 3388 2138 22666 1307 238 24211 122 23958 2172 14597 3402 2169 22340 1292 194 23826 132 24016 2180 14493 3494 2188 22355 1322 198 23875 141 23924 2152 14438 3461 2208 22259 1322 252 23833 91 22874 2024 13686 3252 2205 21167 1337 281 22785 89 81399 empl. 136787 0 26692 22579 28345 77616 41944 13543 133103 3684 139366 0 26524 22687 28813 78024 42494 14087 134605 4761 144373 0 26526 23311 29173 79010 44428 14867 138305 6068 144707 0 26622 22930 29395 78947 44236 16151 139334 5373 143426 0 25482 21636 29089 76207 43146 18306 137659 5767 81399 ann. pay. 3021439 43220 487901 480308 623420 1634849 912457 366963 2914269 107170 3334271 49861 501940 508935 649911 1710647 988253 479331 3178231 156040 3558797 38419 517973 539211 688806 1784409 1056974 484665 3326048 232749 3787007 39775 554308 553856 748097 1896036 1099542 585680 3581258 205749 3892929 33277 528653 540011 748715 1850656 1120480 669317 3640453 252476 81399 rec. 15985424 223152 2729872 2388153 3011058 8352235 4292022 2186333 14830590 1154834 113110 firms 358 72 163 58 18 311 22 4 337 21 381 81 180 51 23 335 22 5 362 19 418 89 194 60 27 370 24 7 401 17 392 71 185 67 27 350 19 7 376 16 633 108 318 112 41 579 33 6 618 15 113110 estab. 418 72 163 58 19 312 24 6 342 76 431 81 181 51 24 337 24 7 368 63 469 90 194 61 27 372 31 9 412 57 441 72 185 69 27 353 20 10 383 58 680 108 318 113 42 581 35 8 624 56 113110 empl. 3426 0 310 383 242 935 [f] [e] [g] [g] 3258 0 353 329 281 963 [f] [e] 1982 1276 3337 0 378 389 341 1108 [f] [e] 2116 1221 3203 0 363 439 354 1156 488 439 2083 1120 4203 0 652 729 528 1909 1004 250 3163 1040 113110 ann. pay. 132368 1233 7462 12207 7922 28824 (D) (D) (D) (D) 121920 2133 8612 9447 10023 30215 (D) (D) 58629 63291 132021 2989 10050 10760 12208 36007 (D) (D) 67560 64461 122992 1898 9281 14026 10895 36100 16940 11534 64574 58418 158214 1889 16880 22206 15346 56321 35500 6492 98313 59901 113110 rec. 1112163 24049 201641 152818 95088 473596 188002 29485 691083 421080 113210 firms 152 33 65 27 9 134 8 3 145 7 185 53 76 26 11 166 10 3 179 6 191 40 86 30 14 170 13 3 186 5 188 36 86 32 11 165 13 4 182 6 286 57 128 47 23 255 20 5 280 6 113210 estab. 221 33 65 27 9 134 8 3 145 76 252 53 76 26 11 166 10 3 179 73 258 40 86 30 14 170 13 3 186 72 256 36 86 32 11 165 14 4 183 73 352 57 128 47 23 255 21 5 281 71 113210 empl. 1387 0 139 167 106 412 [e] [b] [f] [f] 1380 0 163 170 156 489 [e] [b] 851 529 1677 0 182 192 168 542 [e] [b] 1005 672 2049 0 175 214 145 534 363 [c] [g] [g] 2657 0 243 306 303 852 822 320 1994 663 113210 ann. pay. 45919 1043 3214 3892 1890 10039 (D) (D) (D) (D) 49617 1533 3877 4176 2942 12528 (D) (D) 20571 29046 66968 1672 4719 4099 3613 14103 (D) (D) 25724 41244 70068 1137 4068 5450 2798 13453 7268 (D) (D) (D) 75806 1985 4902 7604 7249 21740 14218 5880 41838 33968 113210 rec. 313498 14411 33458 31717 28815 108401 43699 20925 173025 140473 113310 firms 13530 1872 6420 3007 1592 12891 570 35 13496 34 12931 1522 6237 2981 1561 12301 564 33 12898 33 12538 1538 5963 2872 1505 11878 598 32 12508 30 12027 1326 6059 2674 1372 11431 541 25 11997 30 11397 1462 5534 2473 1318 10787 557 24 11368 29 113310 estab. 13616 1872 6422 3008 1593 12895 587 39 13521 95 13011 1522 6237 2985 1563 12307 574 37 12918 93 12620 1539 5966 2873 1507 11885 608 35 12528 92 12098 1326 6062 2675 1374 11437 552 25 12014 84 11477 1462 5535 2476 1319 10792 574 25 11391 86 113310 empl. 79364 0 13838 19680 20657 54175 17211 2077 73463 5901 79195 0 13492 19535 20242 53269 17484 2435 73188 6007 78129 0 12795 18955 19620 51370 18831 2557 72758 5371 72732 0 12825 17763 17976 48564 17576 1967 68107 4625 68962 0 12034 16284 17315 45633 17019 1908 64560 4402 113310 ann. pay. 2070191 53603 290156 418739 494167 1256665 472853 78669 1808187 262004 2084891 44190 288731 427989 496102 1257012 476426 87189 1820627 264264 2057252 38974 271741 418989 472907 1202611 514450 92692 1809753 247499 1968788 33495 281658 408335 458074 1181562 484979 79664 1746205 222583 1973028 40070 272753 389633 457947 1160403 504357 71952 1736712 236316 113310 rec. 9809676 328186 1813654 1906342 1951169 5999351 2263968 351065 8614384 1195292 114111 firms 1269 481 619 88 38 1226 29 6 1261 8 1307 515 622 86 33 1256 33 10 1299 8 1350 531 639 104 31 1305 27 11 1343 7 1293 470 654 84 38 1246 32 9 1287 6 1100 397 580 43 38 1058 26 9 1093 7 114111 estab. 1275 481 619 88 38 1226 30 7 1263 12 1312 515 622 86 33 1256 33 11 1300 12 1357 531 639 104 31 1305 27 14 1346 11 1302 470 654 84 40 1248 32 12 1292 10 1113 397 580 43 38 1058 27 15 1100 13 114111 empl. 4630 0 944 [f] [e] 1978 1085 [e] [h] [g] 5088 0 970 545 417 1932 [g] [g] 4242 846 4833 0 1001 662 397 2060 1025 999 4084 749 4586 0 1035 544 500 2079 1065 838 3982 604 4301 0 912 278 507 1697 874 927 3498 803 114111 ann. pay. 182152 14457 27362 (D) (D) 76651 40334 (D) (D) (D) 191521 19511 26863 21317 13957 81648 (D) (D) 168431 23090 190500 16341 26174 16185 16399 75099 35592 54011 164702 25798 183490 12423 27551 16516 16796 73286 39120 49595 162001 21489 190657 13016 27094 7443 19590 67143 35325 44159 146627 44030 114111 rec. 1239527 115906 217322 37708 115367 486303 224636 287090 998029 241498 114112 firms 831 299 434 47 22 802 25 4 831 0 858 295 461 49 28 833 23 2 858 0 940 356 478 55 25 914 23 3 940 0 935 332 497 59 22 910 21 4 935 0 791 297 401 50 26 774 14 3 791 0 114112 estab. 832 299 434 47 22 802 26 4 832 0 859 295 461 49 28 833 24 2 859 0 941 356 478 55 25 914 24 3 941 0 936 332 497 59 22 910 22 4 936 0 793 297 401 50 26 774 16 3 793 0 114112 empl. [h] [a] [f] [e] [e] [g] [f] [e] [h] 0 [g] 0 [f] 305 [e] 1411 [f] [e] [g] 0 2628 0 775 344 [e] [g] [f] 397 2628 0 [h] 0 [f] [e] [e] 1500 [f] 461 [h] 0 2195 [a] [f] 305 [e] [g] [f] 377 2195 0 114112 ann. pay. (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) 8358 (D) 6703 (D) 45227 (D) (D) (D) 0 75414 8569 24371 9084 (D) (D) (D) 5569 75414 0 (D) 7332 (D) (D) (D) 49024 (D) 5848 (D) 0 60944 (D) (D) 7469 (D) (D) (D) 5932 60944 0 114112 rec. 408975 (D) (D) 50522 (D) (D) (D) 39808 408975 0 114119 firms 13 6 3 2 0 11 2 0 13 0 10 5 2 0 1 8 2 0 10 0 10 5 3 0 1 9 1 0 10 0 14 8 2 1 2 13 1 0 14 0 10 2 5 0 2 9 1 0 10 0 114119 estab. 13 6 3 2 0 11 2 0 13 0 10 5 2 0 1 8 2 0 10 0 10 5 3 0 1 9 1 0 10 0 14 8 2 1 2 13 1 0 14 0 10 2 5 0 2 9 1 0 10 0 114119 empl. [b] [a] [a] [a] 0 [a] [b] 0 [b] 0 [b] 0 [a] 0 [a] 16 [b] 0 [b] 0 16 0 3 0 [a] [a] [a] 0 16 0 [b] 0 [a] [a] [b] 36 [a] 0 [b] 0 41 [a] [a] 0 [b] [b] [a] 0 41 0 114119 ann. pay. (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) 0 (D) 0 (D) 64 (D) 0 (D) 424 (D) 0 (D) 0 781 343 38 0 (D) (D) (D) 0 781 0 (D) 133 (D) (D) (D) 1139 (D) 0 (D) 0 1034 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 0 1034 0 114119 rec. 6454 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 0 6454 0 114210 firms 345 94 175 29 30 328 13 3 344 1 360 84 184 47 22 337 17 3 357 3 363 85 185 40 33 343 13 4 360 3 384 75 205 56 30 366 12 4 382 2 469 136 226 52 35 449 14 4 467 2 114210 estab. 345 94 175 29 30 328 13 3 344 1 360 84 184 47 22 337 17 3 357 3 363 85 185 40 33 343 13 4 360 3 384 75 205 56 30 366 12 4 382 2 469 136 226 52 35 449 14 4 467 2 114210 empl. 2107 0 326 198 398 922 [e] [f] [g] [a] 2375 0 320 318 287 925 585 [e] [g] [f] 2511 0 339 264 472 1075 434 [e] [g] [f] 2604 0 375 363 422 1160 398 [e] [g] [f] 2707 0 414 364 471 1249 424 [e] [g] [f] 114210 ann. pay. 58552 1515 4980 3226 7536 17257 (D) (D) (D) (D) 68870 1538 5843 5303 5619 18303 12238 (D) (D) (D) 75764 1342 6374 4555 10941 23212 8910 (D) (D) (D) 82351 1479 7023 7140 7899 23541 10430 (D) (D) (D) 82792 2051 8373 6140 8183 24747 10811 (D) (D) (D) 114210 rec. 319345 15163 38372 21497 24978 100010 37144 (D) (D) (D) 115111 firms 316 33 106 68 53 260 46 4 310 6 313 30 121 73 42 266 37 5 308 5 277 31 83 75 47 236 34 4 274 3 302 33 94 80 47 254 41 4 299 3 283 21 86 67 53 227 49 4 280 3 115111 estab. 408 33 107 68 54 262 51 10 323 85 401 30 122 74 43 269 41 17 327 74 365 31 85 75 48 239 39 71 349 16 379 33 96 80 50 259 44 69 372 7 356 21 86 67 54 228 55 66 349 7 115111 empl. 3600 0 252 439 715 1406 1368 [c] [h] [f] 3143 0 274 484 522 1280 1064 272 2616 527 2594 0 198 492 625 1315 911 302 2528 66 2997 0 242 542 608 1392 1290 265 2947 50 3226 0 198 464 727 1389 1480 296 3165 61 115111 ann. pay. 90340 1319 8168 14281 16877 40645 30668 (D) (D) (D) 91953 1416 9869 16029 15900 43214 30331 7040 80585 11368 81387 1415 8228 16652 18794 45089 26221 8000 79310 2077 93899 2039 10486 19533 20530 52588 32870 7140 92598 1301 90151 1409 8715 16446 21215 47785 34790 6454 89029 1122 115111 rec. 629607 12697 77660 117453 130257 338067 237294 46410 621771 7836 115112 firms 2762 556 1430 428 212 2626 107 16 2749 13 2736 525 1417 420 211 2573 127 23 2723 13 2223 443 1137 381 157 2118 89 12 2219 4 2385 488 1252 367 174 2281 87 15 2383 2 2359 470 1246 377 157 2250 93 12 2355 4 115112 estab. 2812 556 1430 428 213 2627 118 39 2784 28 2785 530 1417 420 212 2579 139 44 2762 23 2254 443 1138 381 158 2120 90 38 2248 6 2435 488 1253 368 175 2284 90 57 2431 4 2425 470 1246 378 157 2251 97 12 2360 65 115112 empl. 14193 0 2945 2787 2691 8423 3651 1263 13337 856 15284 0 2907 2726 2705 8338 4266 1863 14467 817 11038 0 2329 2474 1984 6787 2925 1272 10984 54 12036 0 2578 2399 2264 7241 2964 [g] [j] [b] 11962 0 2567 2420 2056 7043 3081 [g] [j] [f] 115112 ann. pay. 389768 12506 69969 68745 69724 220944 90452 44187 355583 34185 421687 13390 69468 70809 65916 219583 112177 60739 392499 29188 302617 13829 58706 63830 47177 183542 75641 39462 298645 3972 358438 12920 71294 67482 65550 217246 74203 (D) (D) (D) 373344 11973 71328 71103 57219 211623 88096 (D) (D) (D) 115112 rec. 1949032 93853 517591 364965 266219 1242628 339040 (D) (D) (D) 115113 firms 379 118 165 35 35 353 18 7 378 1 365 96 153 57 33 339 18 5 362 3 338 86 142 52 26 306 20 5 331 7 374 78 179 59 27 343 22 5 370 4 347 80 163 47 24 314 22 7 343 4 115113 estab. 381 118 165 35 35 353 18 9 380 1 367 96 153 57 33 339 18 6 363 4 340 86 142 52 26 306 20 6 332 8 375 78 179 59 27 343 22 6 371 4 348 80 163 47 24 314 22 8 344 4 115113 empl. 3753 0 341 228 496 1065 644 [g] [h] [f] 4237 0 313 362 451 1126 653 [e] [g] [g] 5026 0 276 338 366 980 730 [c] [g] [h] 3940 0 370 379 370 1119 847 379 2345 1595 3677 0 339 307 327 973 868 353 2194 1483 115113 ann. pay. 64855 3197 6711 5635 12060 27603 14764 (D) (D) (D) 63101 2628 6340 9498 10853 29319 13898 (D) (D) (D) 68578 4072 6531 8185 9692 28480 15771 (D) (D) (D) 69781 1885 9064 9097 10390 30436 20351 3220 54007 15774 65132 1943 8146 8527 8908 27524 16906 7145 51575 13557 115113 rec. 385464 14677 72585 49689 49527 186478 99377 33852 319707 65757 115114 firms 1061 126 325 181 110 742 193 92 1027 34 1057 142 311 173 115 741 195 86 1022 35 876 109 246 139 114 608 160 79 847 29 946 129 276 157 98 660 184 79 923 23 925 105 273 160 104 642 184 73 899 26 115114 estab. 1218 126 325 181 110 742 218 115 1075 143 1223 142 311 173 116 742 222 111 1075 148 1028 109 246 139 118 612 187 107 906 122 1113 129 276 157 103 665 223 98 986 127 1124 105 273 160 122 660 224 97 981 143 115114 empl. 32611 0 668 1214 1450 3332 8720 13612 25664 6947 34384 0 675 1159 1492 3326 8420 12130 23876 10508 28492 0 535 945 1525 3005 7454 11900 22359 6133 29019 0 595 1047 1335 2977 8668 11261 22906 6113 28341 0 577 1057 1373 3007 8308 9599 20914 7427 115114 ann. pay. 728729 6900 19569 32141 37219 95829 182746 235822 514397 214332 758619 9454 17524 30718 41832 99528 192270 223792 515590 243029 666952 4161 13728 27748 41557 87194 173521 218671 479386 187566 699328 7701 19454 29986 36605 93746 211050 212043 516839 182489 749906 6179 19725 35385 42613 103902 212175 213427 529504 220402 115114 rec. 4835640 54165 149520 238577 299149 741411 1196150 1328551 3266112 1569528 115115 firms 482 136 173 85 35 429 43 9 481 1 574 189 206 92 39 526 37 10 573 1 517 172 196 66 31 465 36 15 516 1 564 155 238 74 34 501 48 13 562 2 470 135 163 74 41 413 37 17 467 3 115115 estab. 487 136 173 85 35 429 43 9 481 6 579 189 206 92 39 526 37 10 573 6 521 172 196 66 31 465 36 15 516 5 566 155 238 74 34 501 48 13 562 4 473 135 163 74 41 413 37 17 467 6 115115 empl. 5485 0 348 542 494 1384 1766 [g] [i] [e] 5367 0 418 600 560 1578 1647 [g] [i] [e] 5734 0 384 411 398 1193 1525 [h] [i] [e] 6643 0 447 484 486 1417 1929 [h] [i] [c] 6826 0 319 471 561 1351 1631 2724 5706 1120 115115 ann. pay. 99472 7181 10100 17228 11443 45952 24128 (D) (D) (D) 111661 13213 11269 16423 13878 54783 29751 (D) (D) (D) 101733 8275 12346 13874 7677 42172 25501 (D) (D) (D) 102632 8776 13409 13134 14860 50179 29608 (D) (D) (D) 112316 7123 10986 9991 14926 43026 25842 36611 105479 6837 115115 rec. 453570 40451 112426 61479 49172 263528 57947 107417 428892 24678 115116 firms 550 64 317 69 43 493 40 10 543 7 557 81 313 60 46 500 39 13 552 5 541 74 302 66 41 483 41 12 536 5 580 80 324 77 43 524 38 15 577 3 582 78 338 64 53 533 35 11 579 3 115116 estab. 566 64 317 69 45 495 41 20 556 10 574 81 313 60 47 501 41 23 565 9 553 74 302 66 41 483 42 22 547 6 596 80 325 77 43 525 39 28 592 4 598 78 340 64 53 535 36 24 595 3 115116 empl. 4926 0 612 441 599 1652 1369 831 3852 1074 5026 0 618 387 620 1625 1488 1094 4207 819 4703 0 599 424 539 1562 1461 1407 4430 273 4980 0 645 502 575 1722 1399 1707 4828 152 4509 0 642 419 727 1788 1229 [g] [h] [b] 115116 ann. pay. 133741 3370 14089 10991 16604 45054 24267 26637 95958 37783 130175 3050 15055 11363 17415 46883 30268 31731 108882 21293 126272 2857 14955 11873 15529 45214 31638 41637 118489 7783 139629 2398 16520 17569 17165 53652 31338 49432 134422 5207 124087 1951 17540 12240 20471 52202 36948 (D) (D) (D) 115116 rec. 428067 14211 74651 58377 71621 218860 93003 (D) (D) (D) 115210 firms 3198 477 1940 451 192 3060 110 21 3191 7 3222 494 1936 466 196 3092 103 18 3213 9 3403 533 1997 507 214 3251 122 22 3395 8 3946 525 2415 577 245 3762 154 21 3937 9 4478 649 2708 624 286 4267 180 23 4470 8 115210 estab. 3246 477 1940 451 192 3060 115 57 3232 14 3269 494 1936 466 196 3092 104 48 3244 25 3450 533 1997 507 214 3251 125 59 3435 15 3999 526 2416 579 246 3767 155 59 3981 18 4537 649 2709 625 288 4271 183 65 4519 18 115210 empl. 16047 0 3629 2924 2409 8962 3880 [g] [j] [f] 16747 0 3631 3031 2587 9249 3621 2365 15235 1512 18197 0 3786 3304 2812 9902 4166 3251 17319 878 20750 0 4588 3774 3210 11572 5097 2945 19614 1136 22876 0 5287 3997 3772 13056 5810 3034 21900 976 115210 ann. pay. 307237 7140 52075 43376 41376 143967 78315 (D) (D) (D) 326691 14518 55695 49935 45814 165962 78648 49690 294300 32391 383710 12081 60231 56134 55007 183453 84658 88383 356494 27216 452312 10351 76938 68914 60810 217013 105485 91063 413561 38751 495963 13341 89013 69620 76309 248283 112809 100193 461285 34678 115210 rec. 2558100 92369 580902 289628 300674 1263573 629935 485730 2379238 178862 115310 firms 1424 309 688 191 99 1287 111 15 1413 11 1456 293 740 182 104 1319 107 18 1444 12 1513 319 760 181 104 1364 116 25 1505 8 1516 272 782 217 100 1371 113 24 1508 8 1744 386 853 216 138 1593 120 20 1733 11 115310 estab. 1454 309 688 191 99 1287 130 24 1441 13 1493 293 740 182 104 1319 128 26 1473 20 1547 319 760 181 104 1364 138 31 1533 14 1553 272 782 217 100 1371 145 24 1540 13 1797 386 853 216 138 1593 151 27 1771 26 115310 empl. 13044 0 1384 1248 1361 3993 [h] [g] [j] [h] 14148 0 1437 1164 1397 3998 4531 [g] [j] [h] 14650 0 1503 1160 1404 4067 5052 [h] [j] [g] 15173 0 1506 1418 1343 4267 4929 3515 12711 2462 14679 0 1669 1412 1825 4906 5084 2403 12393 2286 115310 ann. pay. 280567 8673 33685 29376 31222 102956 (D) (D) (D) (D) 319781 8081 38278 30169 34022 110550 101031 (D) (D) (D) 352584 9844 39061 30154 40857 119916 111434 (D) (D) (D) 373066 6345 38847 39986 35641 120819 119660 60162 300641 72425 424917 15287 45087 41188 56078 157640 134861 58120 350621 74296 115310 rec. 1424020 72940 235671 145821 169003 623435 369679 181919 1175033 248987 211111 firms 6660 644 3985 1014 492 6135 357 78 6570 90 6286 671 3793 893 454 5811 305 78 6194 92 6417 800 3768 916 437 5921 334 72 6327 90 6377 735 3713 940 473 5861 351 80 6292 85 6238 591 3775 897 458 5721 348 85 6154 84 211111 estab. 7433 644 3996 1027 524 6191 470 207 6868 565 7088 671 3804 904 494 5873 401 215 6489 599 7273 800 3782 927 475 5984 443 226 6653 620 7254 735 3729 951 500 5915 446 212 6573 681 7135 591 3789 923 473 5776 449 254 6479 656 211111 empl. 86117 0 7692 6616 6484 20792 12445 11004 44241 41876 80013 0 7332 5784 5920 19036 10876 9971 39883 40130 73704 [a] [i] 5975 5679 19049 11870 9718 40637 33067 78394 0 7339 6104 6213 19656 12079 9889 41624 36770 76794 [a] [i] 5825 5926 19138 11882 11154 42174 34620 211111 ann. pay. 4699020 31756 216756 221605 262534 732651 634161 643120 2009932 2689088 4809688 29112 215690 210170 257830 712802 628477 555029 1896308 2913380 4809154 (D) (D) 248567 270312 805166 712978 690067 2208211 2600943 5493358 39219 263112 263376 295688 861395 728787 763900 2354082 3139276 5204465 (D) (D) 255954 286757 820303 750332 779553 2350188 2854277 211111 rec. 88388300 (D) (D) 2353181 2373702 (D) 6528144 8851853 22897060 65491240 211112 firms 102 10 15 11 4 40 12 11 63 39 92 8 10 11 4 33 10 11 54 38 84 7 11 12 4 34 10 6 50 34 84 6 21 7 6 40 7 8 55 29 113 6 41 9 4 60 7 10 77 36 211112 estab. 494 10 15 12 4 41 12 27 80 414 468 8 10 12 4 34 10 21 65 403 467 7 11 13 4 35 15 16 66 401 437 6 21 8 6 41 7 26 74 363 494 6 41 9 4 60 7 38 105 389 211112 empl. 10922 0 27 77 42 146 328 500 974 9948 9999 0 18 70 39 127 323 630 1080 8919 9308 [a] [a] 72 44 135 415 248 798 8510 9586 0 47 49 73 169 290 401 860 8726 11486 [a] [b] 65 54 198 231 502 931 10555 211112 ann. pay. 617285 2378 712 2343 2419 7852 17531 33181 58564 558721 567781 266 577 3744 2878 7465 15512 40187 63164 504617 583857 (D) (D) 4801 1417 9761 21356 13622 44739 539118 724419 172 1536 3056 4066 8830 14158 22995 45983 678436 1202010 (D) (D) 3027 4038 12332 12392 27789 52513 1149497 211112 rec. 72490930 (D) (D) 13862 15950 (D) 261728 757025 1075086 71415844 212111 firms 573 59 127 77 76 339 149 45 533 40 542 44 120 70 80 314 147 43 504 38 505 36 115 63 77 291 134 39 464 41 492 46 105 59 73 283 135 36 454 38 430 23 93 53 51 220 128 43 391 39 212111 estab. 792 59 128 77 76 340 168 72 580 212 741 44 120 70 80 314 173 67 554 187 699 36 115 63 80 294 147 77 518 181 694 46 105 60 76 287 152 65 504 190 630 23 93 53 53 222 149 78 449 181 212111 empl. 34514 [a] 323 507 [g] [g] [i] 5606 [j] [j] 33042 0 272 443 1082 1797 6074 [i] [j] [j] 31114 [a] 255 410 1028 [g] 5310 5181 [j] [j] 31439 [a] [c] 384 1020 1630 5726 [i] [j] [j] 32924 [a] [c] 359 686 1252 5473 6233 12958 19966 212111 ann. pay. 1677612 (D) 10982 14809 (D) (D) (D) 245315 (D) (D) 1606125 9165 9383 11666 30833 61047 214342 (D) (D) (D) 1570927 (D) 7005 9686 33005 (D) 202525 236549 (D) (D) 1680281 (D) (D) 10950 34590 66047 236532 (D) (D) (D) 1720242 (D) (D) 10545 23051 43722 224535 304755 573012 1147230 212111 rec. 10074142 (D) (D) 56836 90751 (D) 1346559 1575827 3123100 6951042 212112 firms 439 51 49 33 78 211 165 32 408 31 392 46 45 35 58 184 146 33 363 29 366 25 56 31 66 178 128 32 338 28 384 67 52 29 67 215 104 37 356 28 357 32 46 31 69 178 115 34 327 30 212112 estab. 588 51 50 33 78 212 167 45 424 164 531 46 45 35 58 184 147 49 380 151 496 25 56 31 66 178 129 54 361 135 514 67 52 29 67 215 104 58 377 137 499 32 46 31 69 178 117 56 351 148 212112 empl. 45705 0 [c] [c] 1113 1441 6767 4931 13139 32566 42366 [a] [b] 257 825 1172 5596 5142 11910 30456 38644 0 119 212 957 1288 5048 4815 11151 27493 38848 0 107 199 959 1265 3985 5979 11229 27619 41209 0 [b] 218 981 [g] 4401 [i] 10842 30367 212112 ann. pay. 2278102 9862 (D) (D) 29139 51847 228653 214544 495044 1783058 2060415 (D) (D) 9330 24571 51194 197233 207903 456330 1604085 1940981 3492 5442 8433 33805 51172 173137 202605 426914 1514067 2080613 24610 4441 12244 32506 73801 159947 267441 501189 1579424 2064659 10869 (D) 8405 32876 (D) 169607 (D) 481008 1583651 212112 rec. 9633243 40407 (D) 31025 135307 (D) 692499 (D) 2207315 7425928 212113 firms 52 3 16 11 8 38 9 3 50 2 54 2 18 13 9 42 8 2 52 2 48 3 15 11 7 36 8 3 47 1 47 2 15 11 9 37 7 2 46 1 57 3 22 13 10 48 7 2 57 0 212113 estab. 62 3 16 11 8 38 10 12 60 2 64 2 18 13 9 42 11 9 62 2 58 3 15 11 7 36 9 12 57 1 58 2 15 11 9 37 8 12 57 1 65 3 22 13 10 48 13 4 65 0 212113 empl. 1053 [a] [b] [b] [c] [c] [e] 513 [g] [b] 973 [a] [b] 82 120 239 330 [e] [f] [b] 908 [a] 39 67 86 [c] 331 356 [f] [b] 712 [a] [b] 69 113 220 295 [c] [f] [b] 782 [a] [b] 77 117 [e] 331 [c] 782 0 212113 ann. pay. 32963 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 16399 (D) (D) 31294 (D) (D) 2244 3227 6327 12364 (D) (D) (D) 30260 (D) 1014 1792 1947 (D) 9675 14601 (D) (D) 25270 (D) (D) 1895 2916 5723 11841 (D) (D) (D) 27870 (D) (D) 2325 3787 (D) 12874 (D) 27870 0 212113 rec. 138274 (D) (D) 12352 22375 (D) 56477 (D) 138274 0 212210 firms 32 4 9 4 6 23 3 1 27 5 31 5 6 5 6 22 2 1 25 6 31 4 8 5 2 19 4 4 27 4 34 3 12 3 7 25 1 2 28 6 32 3 9 7 4 23 3 2 28 4 212210 estab. 37 4 9 4 6 23 3 1 27 10 36 5 6 5 6 22 2 1 25 11 39 4 8 5 2 19 4 7 30 9 42 3 12 3 7 25 1 5 31 11 40 3 9 7 4 23 3 5 31 9 212210 empl. 8052 [a] [a] [b] [b] [c] [b] [c] 273 7779 7982 0 [a] 35 64 [c] [b] [c] 238 7744 7707 0 [a] 38 [b] 79 55 665 799 6908 7433 0 17 18 72 107 [b] [c] 319 7114 5403 [a] [b] 42 46 111 [c] [f] 746 4657 212210 ann. pay. 388133 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 10137 377996 382590 97 (D) 2371 2199 (D) (D) (D) 10298 372292 383872 43 (D) 2237 (D) 3277 1611 34419 39307 344565 357279 3 951 1308 1979 4241 (D) (D) 11131 346148 287281 (D) (D) 1580 1568 4975 (D) (D) 33518 253763 212210 rec. 1794384 (D) (D) 6836 6571 (D) (D) (D) 179430 1614954 212221 firms 247 54 100 29 20 203 20 12 235 12 254 61 100 33 20 214 19 10 243 11 261 54 118 35 19 226 13 10 249 12 231 46 116 23 15 200 10 11 221 10 148 26 71 17 9 123 10 9 142 6 212221 estab. 303 54 101 29 20 204 28 27 259 44 307 61 100 33 21 215 23 35 273 34 306 54 118 35 20 227 20 21 268 38 271 46 116 24 15 201 10 28 239 32 176 26 71 18 9 124 12 21 157 19 212221 empl. 15577 [a] [c] [c] [c] [f] 911 [g] [h] [j] [j] [a] [c] [c] 261 [f] [f] [g] [h] [j] 11508 [a] 243 [c] [c] [f] 380 [g] [h] [i] 10717 [a] 231 [c] [c] [f] [c] [g] 2452 8265 [i] [a] [c] 100 [c] [e] [c] [g] [g] [i] 212221 ann. pay. 750673 (D) (D) (D) (D) (D) 39416 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 11648 (D) (D) (D) (D) (D) 595462 (D) 9527 (D) (D) (D) 19616 (D) (D) (D) 574325 (D) 8620 (D) (D) (D) (D) (D) 106962 467363 (D) (D) (D) 4583 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 212221 rec. (D) (D) (D) 20575 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 212222 firms 12 2 6 1 0 9 0 1 10 2 12 3 5 1 0 9 1 1 11 1 13 3 4 1 2 10 0 2 12 1 16 6 5 1 1 13 1 2 16 0 10 3 4 0 1 8 0 1 9 1 212222 estab. 14 2 6 1 0 9 0 1 10 4 14 3 5 1 0 9 1 1 11 3 14 3 4 1 2 10 0 2 12 2 17 6 5 1 1 13 1 3 17 0 11 3 4 0 1 8 0 2 10 1 212222 empl. 965 [a] [a] [a] 0 [a] 0 [c] [c] [f] [f] [a] [a] [a] 0 [b] [a] [c] [e] [e] 770 [a] 10 [a] [b] [b] 0 [e] [e] [e] 505 [a] 7 [a] [a] [b] [b] [e] 505 0 [e] 0 [a] 0 [a] 16 0 [e] [e] [b] 212222 ann. pay. 49807 (D) (D) (D) 0 (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) 30093 (D) 166 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 26333 (D) 132 (D) (D) (D) (D) (D) 26333 0 (D) 18 (D) 0 (D) 595 0 (D) (D) (D) 212222 rec. (D) 244 (D) 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 212231 firms 18 1 6 1 3 11 1 0 12 6 21 6 5 1 1 13 2 1 16 5 20 1 8 3 1 13 1 1 15 5 19 3 7 1 2 13 0 3 16 3 15 3 4 1 2 10 0 2 12 3 212231 estab. 32 1 6 1 4 12 1 0 13 19 33 6 5 1 2 14 2 3 19 14 31 1 8 3 2 14 1 2 17 14 29 3 7 1 3 14 0 5 19 10 24 3 4 1 2 10 0 3 13 11 212231 empl. 2275 [a] [a] [a] [b] [b] [a] 0 72 2203 2088 [a] [a] [a] [a] 32 [b] [e] [e] [g] 2074 [a] [a] 21 [a] 54 [a] [e] [e] [g] 1994 0 11 [a] [a] [b] 0 [f] [f] [g] 1831 [a] 4 [a] [b] [b] 0 [f] 554 1277 212231 ann. pay. 101905 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 2317 99588 95270 (D) (D) (D) (D) 1495 (D) (D) (D) (D) 98906 (D) (D) 371 (D) 2024 (D) (D) (D) (D) 90448 48 286 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 83314 (D) 45 (D) (D) (D) 0 (D) 41463 41851 212231 rec. 493553 (D) 382 (D) (D) (D) 0 (D) 278240 215313 212234 firms 29 2 10 3 2 17 3 3 23 6 33 5 10 4 3 22 3 2 27 6 34 4 12 5 3 24 2 2 28 6 35 5 14 4 2 25 3 2 30 5 20 0 7 6 1 14 1 1 16 4 212234 estab. 51 2 10 3 2 17 3 5 25 26 57 5 10 4 3 22 5 2 29 28 55 4 12 7 3 26 2 2 30 25 55 5 16 4 2 27 3 2 32 23 32 0 7 8 1 16 2 1 19 13 212234 empl. 13199 [a] [b] [a] [b] [b] [b] 725 853 12346 12288 0 [b] [a] [b] 85 [c] [e] [f] [j] 9443 [a] [b] 31 [b] 98 [b] [e] [f] [i] 8685 0 35 [b] [b] [b] 62 [c] [e] [i] 5993 0 [a] [b] [a] [b] [b] [b] 123 5870 212234 ann. pay. 564456 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 29247 35573 528883 510195 52 (D) (D) (D) 4892 (D) (D) (D) (D) 416875 (D) (D) 1120 (D) 3438 (D) (D) (D) (D) 397717 78 1134 (D) (D) (D) 1929 (D) (D) (D) 276910 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 9509 267401 212234 rec. 2070372 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 45401 2024971 212291 firms 24 4 6 3 1 14 2 3 19 5 20 2 4 3 0 9 5 1 15 5 18 0 4 3 1 8 4 2 14 4 17 0 5 1 1 7 5 2 14 3 16 1 4 1 2 8 4 1 13 3 212291 estab. 33 4 6 3 1 14 2 7 23 10 29 2 4 3 0 9 9 1 19 10 26 0 4 3 1 8 8 3 19 7 26 0 5 1 1 7 10 5 22 4 25 1 4 1 6 12 4 2 18 7 212291 empl. 792 [a] [a] [a] [a] [b] [c] [c] [e] [e] 725 [a] 5 [a] 0 [b] 197 [b] 308 417 584 0 [a] 19 [a] [b] [c] [c] 352 232 426 0 [a] [a] [a] 32 [c] [c] [e] [c] [e] [a] [a] [a] [b] [b] [c] [b] [c] [c] 212291 ann. pay. 32423 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 27134 (D) 194 (D) 0 (D) 8105 (D) 11699 15435 30079 0 (D) 1092 (D) (D) (D) (D) 16180 13899 22274 0 (D) (D) (D) 1830 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 212291 rec. (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 212299 firms 63 7 27 7 3 44 5 6 55 8 50 10 21 4 5 40 3 2 45 5 48 8 21 5 5 39 1 3 43 5 41 4 18 5 5 32 1 2 35 6 39 8 14 6 3 31 0 3 34 5 212299 estab. 66 7 27 7 3 44 5 7 56 10 53 10 21 4 5 40 3 3 46 7 51 8 21 5 5 39 1 4 44 7 45 4 18 5 5 32 1 3 36 9 43 8 14 6 3 31 0 4 35 8 212299 empl. 3043 [a] [b] [b] [b] [c] [c] [f] 893 2150 3040 [a] 37 [b] 61 [c] [b] [e] 576 2464 2734 0 [b] 31 [b] [c] [b] [e] 567 2167 3050 0 [b] [b] [b] 123 [b] [e] [f] [g] [h] [a] [b] 44 [b] 107 0 [e] [e] [h] 212299 ann. pay. 150798 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 36090 114708 153933 (D) 1644 (D) 1326 (D) (D) (D) 22211 131722 163183 239 (D) 658 (D) (D) (D) (D) 23390 139793 181637 140 (D) (D) (D) 3452 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 1212 (D) 4038 0 (D) (D) (D) 212299 rec. (D) (D) (D) 4509 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 212311 firms 199 31 74 49 21 175 15 4 194 5 219 45 79 40 27 191 22 2 215 4 224 33 87 40 37 197 20 3 220 4 282 46 110 51 39 246 28 4 278 4 357 63 128 62 55 308 34 6 348 9 212311 estab. 224 31 74 49 21 175 17 4 196 28 246 45 79 40 27 191 22 2 215 31 255 33 87 40 37 197 23 4 224 31 315 46 110 51 39 246 30 7 283 32 390 63 128 62 55 308 40 8 356 34 212311 empl. 1967 [a] [c] 326 290 780 465 135 1380 587 2169 0 [c] 257 338 [f] 663 [c] 1555 614 2566 0 200 289 486 975 776 252 2003 563 2817 0 248 351 515 1114 984 181 2279 538 3711 0 292 419 749 1460 1161 529 3150 561 212311 ann. pay. 51345 (D) (D) 6738 7326 20193 11438 4084 35715 15630 64005 3906 (D) 5857 8178 (D) 16072 (D) 43766 20239 78269 1494 4771 6341 14610 27216 21983 6877 56076 22193 90555 3247 9156 9077 13649 35129 28434 8242 71805 18750 113713 3450 9046 10679 23262 46437 33815 13224 93476 20237 212311 rec. 440668 14947 34557 39287 83102 171893 152797 38300 362990 77678 212312 firms 682 32 96 93 149 370 188 63 621 61 645 27 105 93 133 358 167 56 581 64 629 28 100 92 126 346 166 57 569 60 596 30 96 89 114 329 160 51 540 56 580 24 106 80 114 324 146 55 525 55 212312 estab. 1365 32 96 93 151 372 264 187 823 542 1372 27 105 93 136 361 249 175 785 587 1381 28 100 92 129 349 248 166 763 618 1363 30 96 89 116 331 242 171 744 619 1354 24 106 83 117 330 231 191 752 602 212312 empl. 27442 0 215 623 2009 2847 6383 5661 14891 12551 28068 0 246 647 1829 2722 5920 5370 14012 14056 28417 0 217 628 1741 2586 5952 5393 13931 14486 26712 0 207 603 1552 2362 5335 4835 12532 14180 26234 0 243 545 1574 2362 4831 4775 11968 14266 212312 ann. pay. 1059780 2790 7535 17402 66769 94496 236992 218165 549653 510127 1106467 3064 9385 19953 62712 95114 220032 212980 528126 578341 1152534 2010 6521 21152 59529 89212 220700 225566 535478 617056 1132382 2443 8167 19669 58968 89247 214673 195627 499547 632835 1090137 2974 11681 18728 61381 94764 204689 192779 492232 597905 212312 rec. 5377368 12735 49229 76836 238545 377345 817630 929898 2124873 3252495 212313 firms 118 3 21 17 17 58 31 10 99 19 115 4 17 20 18 59 24 11 94 21 117 8 18 24 12 62 25 10 97 20 116 4 27 19 15 65 23 10 98 18 105 5 21 19 15 60 18 10 88 17 212313 estab. 283 3 21 17 17 58 34 16 108 175 287 4 17 20 18 59 27 17 103 184 297 8 18 24 12 62 26 17 105 192 295 4 27 19 15 65 24 18 107 188 273 5 21 19 15 60 18 19 97 176 212313 empl. 6668 [a] [b] 126 239 415 964 830 2209 4459 7188 0 [b] 132 254 [e] 855 [f] 1825 5363 7327 0 40 166 183 389 946 734 2069 5258 7138 0 51 131 202 384 955 548 1887 5251 6774 0 39 131 200 370 752 537 1659 5115 212313 ann. pay. 286153 (D) (D) 3682 8728 14298 37468 48460 100226 185927 323294 110 (D) 3522 8526 (D) 35622 (D) 73929 249365 333284 311 1344 5397 5880 12932 39788 47991 100711 232573 336429 180 1706 4986 6755 13627 37657 27120 78404 258025 286719 242 2422 5410 6541 14615 33640 24178 72433 214286 212313 rec. 1799430 2067 12360 30674 28772 73873 147319 129203 350395 1449035 212319 firms 384 24 88 67 72 251 76 26 353 31 391 25 98 68 67 258 77 24 359 32 379 22 90 67 71 250 70 23 343 36 374 17 96 64 65 242 77 19 338 36 378 33 100 62 68 263 63 21 347 31 212319 estab. 466 24 88 67 73 252 81 45 378 88 479 25 98 68 67 258 84 42 384 95 487 22 90 67 71 250 78 39 367 120 483 17 96 64 66 243 87 33 363 120 497 33 100 62 68 263 71 45 379 118 212319 empl. 8487 0 203 465 991 1659 2245 1580 5484 3003 8628 0 206 454 915 1575 2426 1449 5450 3178 8539 0 201 463 980 1644 2117 1553 5314 3225 8504 0 230 428 900 1558 2453 1208 5219 3285 8380 0 222 420 931 1573 2203 1335 5111 3269 212319 ann. pay. 327651 1353 5275 13075 35063 54766 79403 63064 197233 130418 336688 3667 5704 13487 33256 56114 85067 60605 201786 134902 350889 574 5502 14154 37918 58148 81700 62810 202658 148231 370502 1258 7642 15426 32786 57112 95227 57278 209617 160885 362657 2503 8586 14186 37825 63100 87735 60831 211666 150991 212319 rec. 1678361 8901 37495 52863 144602 243861 350623 225122 819606 858755 212321 firms 1843 160 607 338 305 1410 282 91 1783 60 1843 174 629 330 279 1412 289 81 1782 61 1843 193 585 339 299 1416 278 90 1784 59 1871 206 640 341 283 1470 262 82 1814 57 1884 204 663 324 283 1474 268 83 1825 59 212321 estab. 2344 160 607 339 310 1416 352 197 1965 379 2386 174 630 331 285 1420 352 192 1964 422 2387 193 586 339 302 1420 340 194 1954 433 2464 206 641 341 289 1477 324 184 1985 479 2509 204 663 324 287 1478 324 189 1991 518 212321 empl. 28400 0 1348 2247 3942 7537 8540 5177 21254 7146 27665 0 1389 2177 3713 7279 8706 4806 20791 6874 28348 0 1300 2233 4069 7602 8249 5356 21207 7141 27968 0 1423 2298 3798 7519 8210 4638 20367 7601 26751 0 1471 2174 3810 7455 7952 4432 19839 6912 212321 ann. pay. 1097378 9204 39026 69702 137853 255785 314804 208671 779260 318118 1098351 9980 44051 69599 136358 259988 341310 202461 803759 294592 1129374 12241 38842 70088 145403 266574 335291 209182 811047 318327 1180866 10499 45014 81249 149069 285831 327488 201936 815255 365611 1137034 12060 52294 72365 145336 282055 340079 197869 820003 317031 212321 rec. 4815579 51526 204209 274124 533948 1063807 1193402 856302 3113511 1702068 212322 firms 77 2 23 16 8 49 19 2 70 7 79 7 25 11 8 51 18 1 70 9 78 5 21 18 8 52 16 2 70 8 81 4 18 18 11 51 18 1 70 11 93 11 25 16 13 65 16 1 82 11 212322 estab. 130 2 23 16 8 49 25 10 84 46 143 7 25 11 8 51 23 5 79 64 144 5 21 18 8 52 21 12 85 59 148 4 18 18 11 51 23 6 80 68 151 11 25 16 13 65 20 3 88 63 212322 empl. 2578 [a] [b] [c] [b] [e] [f] [e] 1106 1472 2779 [a] 62 76 87 [c] [f] [c] 855 1924 2603 0 [b] 124 [b] [e] 475 [e] 1015 1588 2962 0 [b] 122 143 [e] 509 [c] 920 2042 2754 0 [b] 106 142 [e] 480 [b] 888 1866 212322 ann. pay. 90996 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 33802 57194 107385 (D) 2428 2020 2179 (D) (D) (D) 27587 79798 101104 185 (D) 2993 (D) (D) 16189 (D) 35687 65417 116430 90 (D) 2969 4035 (D) 17137 (D) 30023 86407 107705 126 (D) 3320 5892 (D) 17654 (D) 33091 74614 212322 rec. 638034 968 (D) 16622 28991 (D) 81390 (D) 163569 474465 212324 firms 20 0 1 0 0 1 6 1 8 12 23 2 1 0 1 4 5 0 9 14 21 0 2 0 1 3 6 1 10 11 21 0 2 0 1 3 6 2 11 10 20 0 1 1 2 4 6 1 11 9 212324 estab. 33 0 1 0 0 1 6 3 10 23 42 2 1 0 1 4 5 0 9 33 38 0 2 0 1 3 6 1 10 28 39 0 2 0 1 3 6 2 11 28 37 0 1 1 2 4 6 1 11 26 212324 empl. 3840 0 [a] 0 0 [a] [e] [c] 395 3445 3913 [a] [a] 0 [a] [a] [e] 0 273 3640 3366 0 [a] 0 [a] [b] 307 [b] 376 2990 3257 0 [a] 0 [a] [a] 306 [c] 502 2755 3203 0 [a] [a] [b] [b] 352 [b] 432 2771 212324 ann. pay. 195139 0 (D) 0 0 (D) (D) (D) 12890 182249 207327 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 0 9542 197785 159624 0 (D) 0 (D) (D) 10275 (D) 12491 147133 153261 0 (D) 0 (D) (D) 9409 (D) 16428 136833 149622 0 (D) (D) (D) (D) 14466 (D) 17042 132580 212324 rec. 878226 0 (D) (D) (D) (D) 44946 (D) 57571 820655 212325 firms 99 5 25 23 7 60 11 7 78 21 102 3 25 23 7 58 16 7 81 21 102 5 30 14 11 60 16 6 82 20 98 3 32 13 7 55 18 5 78 20 92 4 24 14 11 53 12 6 71 21 212325 estab. 129 5 25 23 7 60 12 14 86 43 131 3 25 23 7 58 21 10 89 42 129 5 30 14 11 60 22 9 91 38 128 3 32 13 7 55 27 7 89 39 122 4 24 14 11 53 19 10 82 40 212325 empl. 3666 [a] [b] [c] [b] 282 400 457 1139 2527 3628 [a] [b] 160 [b] [e] 592 [e] 1211 2417 3566 0 62 98 126 286 611 352 1249 2317 3516 0 [b] 86 [b] [c] 640 [e] 1173 2343 3673 0 [b] [b] [c] [e] 527 [e] 1160 2513 212325 ann. pay. 125621 (D) (D) (D) (D) 8269 11522 17204 36995 88626 132373 (D) (D) 4844 (D) (D) 17750 (D) 38711 93662 131223 78 1998 3169 3246 8491 20368 13357 42216 89007 129186 94 (D) 3121 (D) (D) 22645 (D) 41032 88154 133859 196 (D) (D) (D) (D) 15862 (D) 37752 96107 212325 rec. 1022823 842 (D) (D) (D) (D) 84554 (D) 184521 838302 212391 firms 18 1 4 1 0 6 1 1 8 10 17 0 5 0 0 5 1 2 8 9 17 1 4 1 0 6 1 2 9 8 19 1 5 0 1 7 4 1 12 7 21 0 8 0 0 8 5 0 13 8 212391 estab. 26 1 4 1 0 6 1 3 10 16 26 0 5 0 0 5 1 4 10 16 26 1 4 1 0 6 1 4 11 15 28 1 5 0 1 7 6 1 14 14 28 0 8 0 0 8 7 0 15 13 212391 empl. 4718 [a] [a] [a] 0 [a] [b] [b] 180 4538 5060 0 [a] 0 0 [a] [b] [c] 180 4880 5315 [a] [a] [a] 0 [a] [b] [f] 595 4720 4972 [a] [a] 0 [a] [b] [c] [e] 637 4335 2990 0 14 0 0 14 283 0 297 2693 212391 ann. pay. 245689 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 6311 239378 277064 0 (D) 0 0 (D) (D) (D) 6483 270581 280582 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 33139 247443 269585 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) 35705 233880 170257 0 588 0 0 588 12996 0 13584 156673 212391 rec. 1172358 0 3122 0 0 3122 84253 0 87375 1084983 212392 firms 14 0 1 2 1 4 0 1 5 9 13 0 1 1 0 2 1 2 5 8 13 0 1 1 0 2 2 1 5 8 12 0 1 1 0 2 1 1 4 8 14 2 1 1 0 4 1 1 6 8 212392 estab. 18 0 1 2 1 4 0 1 5 13 16 0 1 1 0 2 1 2 5 11 16 0 1 1 0 2 2 1 5 11 15 0 1 1 0 2 1 1 4 11 17 2 1 1 0 4 1 1 6 11 212392 empl. 5230 0 [a] [a] [a] [a] 0 [c] [c] [i] 3610 0 [a] [a] 0 [a] [a] [c] [c] [h] 1989 0 [a] [a] 0 [a] [a] [c] [c] [g] 2071 0 [a] [a] 0 [a] [a] [a] [b] [g] 2796 [a] [a] [a] 0 [a] [a] [a] 17 2779 212392 ann. pay. 238886 0 (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 161173 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) 97031 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) 94048 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) 147657 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 1125 146532 212392 rec. 936017 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 6465 929552 212393 firms 49 5 11 13 2 31 9 2 42 7 46 7 10 9 3 29 9 2 40 6 46 3 13 8 3 27 10 2 39 7 39 1 8 8 4 21 10 2 33 6 38 4 8 7 3 22 6 4 32 6 212393 estab. 57 5 11 13 2 31 13 3 47 10 54 7 10 9 3 29 13 3 45 9 54 3 13 8 3 27 14 3 44 10 46 1 8 8 4 21 14 2 37 9 45 4 8 7 3 22 6 8 36 9 212393 empl. 2181 [a] [b] [b] [b] [c] [e] [e] [f] [g] 2032 0 [b] [b] 36 114 [e] [e] [f] [g] 1992 [a] [b] [b] 34 [c] [e] [c] [f] [g] 2083 [a] [a] [b] [b] 114 [e] [b] [f] [g] 1860 [a] [b] [b] 45 [c] [e] [e] 674 1186 212393 ann. pay. 98569 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 94116 358 (D) (D) 917 4921 (D) (D) (D) (D) 92275 (D) (D) (D) 1029 (D) (D) (D) (D) (D) 93015 (D) (D) (D) (D) 4475 (D) (D) (D) (D) 77455 (D) (D) (D) 580 (D) (D) (D) 27956 49499 212393 rec. 284288 (D) (D) (D) 3389 (D) (D) (D) 144247 140041 212399 firms 218 19 61 34 34 148 33 15 196 22 203 24 62 28 19 133 32 15 180 23 215 26 64 28 31 149 30 13 192 23 220 24 67 34 25 150 38 12 200 20 210 25 68 27 29 149 30 13 192 18 212399 estab. 256 19 61 35 36 151 37 20 208 48 233 24 62 29 20 135 36 21 192 41 242 26 64 28 32 150 36 19 205 37 248 24 67 34 29 154 41 18 213 35 237 25 68 27 30 150 35 20 205 32 212399 empl. 4957 [a] [c] 231 [e] 821 1131 829 2781 2176 4900 0 132 199 265 596 1175 1016 2787 2113 4815 0 142 198 417 757 1165 1021 2943 1872 4926 [a] [c] 229 336 717 1338 1052 3107 1819 4441 0 145 179 391 715 909 1152 2776 1665 212399 ann. pay. 168861 (D) (D) 5523 (D) 23550 33208 28969 85727 83134 174203 692 4255 5946 7165 18058 36312 35669 90039 84164 177276 1791 4511 5031 12576 23909 38083 40473 102465 74811 181260 (D) (D) 6029 11037 22442 47477 36228 106147 75113 159061 671 5362 6134 14002 26169 32271 35563 94003 65058 212399 rec. 674514 2998 17960 26909 54476 102343 131428 106672 340443 334071 213111 firms 1332 133 598 177 143 1051 196 49 1296 36 1281 161 600 179 124 1064 152 36 1252 29 1295 171 575 174 139 1059 161 46 1266 29 1435 178 645 199 159 1181 169 51 1401 34 1504 164 754 176 154 1248 178 44 1470 34 213111 estab. 1608 133 605 193 158 1089 254 84 1427 181 1532 161 609 202 138 1110 199 74 1383 149 1532 173 580 191 153 1097 208 81 1386 146 1654 179 647 210 174 1210 206 85 1501 153 1813 164 755 186 177 1282 255 110 1647 166 213111 empl. 48471 0 1193 1127 1848 4168 8120 7760 20048 28423 37244 0 1150 1142 1652 3944 6186 4938 15068 22176 47197 0 1118 1108 1880 4106 6417 6904 17427 29770 58528 0 1276 1301 2190 4767 6925 8833 20525 38003 56022 0 1482 1137 2056 4675 7105 6708 18488 37534 213111 ann. pay. 1668629 7099 26516 32753 48601 114969 220021 255806 590796 1077833 1453822 5067 33622 35334 49138 123161 203475 189725 516361 937461 2123646 15149 30720 38671 68322 152862 236484 318092 707438 1416208 2647487 16713 37709 44937 78791 178150 288802 416158 883110 1764377 2493365 7847 40857 35504 74972 159180 281312 300820 741312 1752053 213111 rec. 9489609 36798 171706 130611 251748 590863 957281 995244 2543388 6946221 213112 firms 6407 669 3118 1052 712 5551 696 92 6339 68 5973 593 3077 913 673 5256 561 88 5905 68 5827 633 2854 906 662 5055 620 82 5757 70 6217 753 2885 926 751 5315 725 113 6153 64 5578 601 2534 898 730 4763 657 99 5519 59 213112 estab. 7135 677 3127 1101 790 5695 834 185 6714 421 6692 594 3100 948 752 5394 679 175 6248 444 6611 633 2874 941 723 5171 736 166 6073 538 6980 754 2898 950 790 5392 838 180 6410 570 6544 601 2548 917 816 4882 836 230 5948 596 213112 empl. 117214 0 6275 6866 9384 22525 25705 11713 59943 57271 103545 0 6103 5897 8770 20770 19431 10419 50620 52925 111731 0 5743 5943 8792 20478 22426 9389 52293 59438 127801 0 5864 6059 9875 21798 26938 15344 64080 63721 116943 0 5325 5930 9728 20983 24361 12964 58308 58635 213112 ann. pay. 4539714 38191 157292 176059 250173 621715 768796 451397 1841908 2697806 4091497 30017 157574 165453 263685 616729 622118 428165 1667012 2424485 4820010 38027 164408 182480 291489 676404 781262 438176 1895842 2924168 6065115 88439 186989 202570 346301 824299 1013120 733008 2570427 3494688 5469011 38115 167396 191626 332141 729278 896764 558432 2184474 3284537 213112 rec. 17403759 120263 622976 607801 993555 2344595 2619332 1989119 6953046 10450713 213113 firms 289 25 84 58 39 206 59 11 276 13 274 30 83 48 37 198 51 12 261 13 261 41 68 34 44 187 50 12 249 12 303 51 80 48 45 224 60 9 293 10 310 32 92 56 54 234 51 12 297 13 213113 estab. 325 25 84 59 43 211 70 27 308 17 300 30 83 49 40 202 57 21 280 20 284 41 68 35 46 190 56 20 266 18 326 51 80 49 48 228 65 17 310 16 346 32 92 58 58 240 63 23 326 20 213113 empl. 5763 0 184 392 503 1079 2496 1466 5041 722 5456 0 187 304 447 938 1925 1616 4479 977 5448 0 161 216 563 940 1851 1577 4368 1080 5568 0 185 339 593 1117 2235 1341 4693 875 6218 0 192 385 695 1272 1788 1389 4449 1769 213113 ann. pay. 221715 1963 4717 9837 15163 31680 86887 64473 183040 38675 213469 8468 6187 8300 13771 36726 57736 68091 162553 50916 210046 4318 4401 5922 16524 31165 63423 60016 154604 55442 242079 15420 6495 11506 19074 52495 82371 52836 187702 54377 271174 1999 6332 13468 22031 43830 66016 70012 179858 91316 213113 rec. 1387937 6075 22773 172360 100634 301842 208945 334234 845021 542916 213114 firms 162 38 62 17 12 129 19 8 156 6 148 24 62 18 15 119 17 5 141 7 162 35 74 15 10 134 17 7 158 4 165 37 73 21 10 141 13 6 160 5 90 12 24 22 13 71 7 6 84 6 213114 estab. 203 38 62 18 15 133 31 15 179 24 197 24 62 19 18 123 33 12 168 29 199 35 77 18 10 140 26 17 183 16 198 37 76 25 10 148 20 13 181 17 183 12 25 24 16 77 17 21 115 68 213114 empl. 2022 0 128 110 139 377 717 458 1552 470 2266 [a] 126 [c] 181 425 589 645 1659 607 2172 0 151 103 137 391 565 747 1703 469 2315 0 131 137 130 398 465 599 1462 853 2035 0 49 144 172 365 416 [e] [g] [f] 213114 ann. pay. 104229 858 5605 5508 5472 17443 29877 22464 69784 34445 130045 (D) 4103 (D) 8649 28433 29290 26757 84480 45565 113861 851 4494 4357 4657 14359 22585 43879 80823 33038 123150 2032 4850 4881 5293 17056 20990 35804 73850 49300 112979 483 1935 6394 5807 14619 23253 (D) (D) (D) 213114 rec. 405440 1727 5771 18507 15950 41955 71905 (D) (D) (D) 213115 firms 144 13 56 17 28 114 20 5 139 5 134 9 55 15 24 103 22 5 130 4 133 12 47 20 22 101 22 5 128 5 137 15 48 19 21 103 24 4 131 6 135 22 45 24 19 110 19 4 133 2 213115 estab. 152 13 56 17 31 117 24 6 147 5 142 9 55 15 27 106 26 6 138 4 141 12 47 20 24 103 27 6 136 5 147 15 48 19 21 103 31 5 139 8 151 22 45 24 22 113 29 7 149 2 213115 empl. 2031 0 125 113 351 589 647 442 1678 353 2173 [a] 111 [c] 302 517 739 471 1727 446 2239 0 100 138 295 533 774 469 1776 463 2638 0 94 131 275 500 937 362 1799 839 2103 0 107 161 247 515 722 [e] [g] [e] 213115 ann. pay. 78384 481 3969 3507 11854 19811 22285 16180 58276 20108 84485 (D) 4309 (D) 11221 19216 28402 14963 62581 21904 86569 349 3872 6130 10381 20732 26923 16139 63794 22775 135053 1129 2820 5866 12027 21842 33489 14830 70161 64892 86668 1093 4076 7617 9041 21827 26695 (D) (D) (D) 213115 rec. 273985 4864 12412 14588 27514 59378 99115 (D) (D) (D) 221111 firms 163 16 49 16 8 89 15 13 117 46 166 13 51 23 5 92 16 11 119 47 165 9 54 18 10 91 15 14 120 45 175 13 55 26 8 102 17 9 128 47 164 11 67 16 6 100 18 5 123 41 221111 estab. 456 16 49 16 8 89 23 51 163 293 461 13 51 23 5 92 24 46 162 299 463 9 54 18 10 91 23 68 182 281 462 13 55 26 8 102 25 58 185 277 428 11 67 16 6 100 22 54 176 252 221111 empl. 9870 [a] [c] [b] 108 [e] [e] [g] 1826 8044 10573 [a] [b] 142 68 [e] [e] [f] 1737 8836 9736 [a] [c] 99 [c] [e] [e] [f] 1700 8036 11650 [a] 113 [c] [b] [e] [f] [f] 1416 10234 7597 [a] 139 [b] [b] 311 [f] [e] 1197 6400 221111 ann. pay. 542697 (D) (D) (D) 4471 (D) (D) (D) 91114 451583 559442 (D) (D) 6196 3645 (D) (D) (D) 87067 472375 581739 (D) (D) 2928 (D) (D) (D) (D) 87689 494050 792528 (D) 4987 (D) (D) (D) (D) (D) 73851 718677 522492 (D) 4919 (D) (D) 45715 (D) (D) 89738 432754 221111 rec. 4229508 (D) 44063 (D) (D) (D) (D) (D) 389785 3839723 221112 firms 221 10 33 10 9 62 33 35 130 91 219 11 27 10 9 57 33 37 127 92 216 9 28 14 9 60 31 34 125 91 234 11 35 13 13 72 34 37 143 91 228 17 38 13 11 79 26 38 143 85 221112 estab. 1069 10 33 10 10 63 43 99 205 864 1072 11 27 10 10 58 43 90 191 881 1213 9 28 14 10 61 41 61 163 1050 1301 12 35 13 15 75 44 69 188 1113 1427 17 38 13 15 83 36 73 192 1235 221112 empl. 90538 0 75 57 136 268 1245 6478 7991 82547 87237 [a] [b] [b] 116 245 1154 6057 7456 79781 86936 0 71 98 112 281 1256 4977 6514 80422 80674 [a] [b] [b] 170 338 1268 5344 6950 73724 78790 [a] [b] [b] 160 324 1063 5190 6577 72213 221112 ann. pay. 5263862 6420 3398 3863 6222 19903 64570 354972 439445 4824417 5342951 (D) (D) (D) 7114 15084 65884 323518 404486 4938465 5848225 2006 2943 5713 5909 16571 77921 283147 377639 5470586 5683079 (D) (D) (D) 7066 18046 77250 323019 418315 5264764 5558361 (D) (D) (D) 10078 18854 68764 344294 431912 5126449 221112 rec. 60368880 (D) (D) (D) 67871 (D) 1132341 4902259 6253289 54115591 221113 firms 30 1 2 1 0 4 1 3 8 22 31 1 3 1 0 5 1 3 9 22 28 1 2 0 1 4 2 1 7 21 32 3 2 0 1 6 3 1 10 22 32 1 2 1 1 5 3 1 9 23 221113 estab. 67 1 2 1 0 4 1 3 8 59 73 1 3 1 0 5 1 3 9 64 68 1 2 0 1 4 2 1 7 61 72 3 2 0 1 6 3 1 10 62 80 1 2 1 1 5 3 1 9 71 221113 empl. 33649 [a] [a] [a] 0 [a] [b] [f] 571 33078 34901 [a] 5 [a] 0 [a] [b] [e] 491 34410 32876 [a] [a] 0 [a] [a] [b] [e] 449 32427 33064 [a] [a] 0 [a] [b] [c] [e] 468 32596 34904 [a] [a] [a] [a] 26 [c] [e] 472 34432 221113 ann. pay. 2348544 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 42167 2306377 2610880 (D) 199 (D) 0 (D) (D) (D) 129150 2481730 2652762 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) 33546 2619216 2791379 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) 41188 2750191 2769260 (D) (D) (D) (D) 1224 (D) (D) 34794 2734466 221113 rec. 13239076 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 428863 12810213 221119 firms 211 24 59 17 16 116 42 15 173 38 204 17 56 18 17 108 40 14 162 42 221 20 58 27 20 125 42 16 183 38 229 26 60 26 18 130 47 12 189 40 235 18 66 30 18 132 49 14 195 40 221119 estab. 344 24 59 17 19 119 62 23 204 140 385 17 56 18 20 111 60 25 196 189 374 20 58 27 23 128 62 30 220 154 373 26 60 26 21 133 68 15 216 157 414 18 66 33 21 138 71 35 244 170 221119 empl. 14915 0 123 117 233 473 1582 1681 3736 11179 14571 [a] 120 [c] 235 472 1605 1453 3530 11041 14379 0 115 168 278 561 1779 1515 3855 10524 13866 0 129 177 272 578 1978 1245 3801 10065 14230 [a] 135 [c] 264 601 2135 1573 4309 9921 221119 ann. pay. 923647 4895 5004 4897 13933 28729 69827 86375 184931 738716 940357 (D) 8620 (D) 15201 32805 78132 85209 196146 744211 961887 1130 5151 6388 21622 34291 86159 101183 221633 740254 921062 3133 6097 8980 20911 39121 115995 80251 235367 685695 915553 (D) 6639 (D) 19172 52802 114478 108900 276180 639373 221119 rec. 11642360 (D) 72341 (D) 2147194 (D) 2109000 1248675 5740728 5901632 221121 firms 57 7 11 4 6 28 5 8 41 16 63 11 11 5 6 33 6 7 46 17 66 6 17 8 4 35 8 6 49 17 77 8 22 6 6 42 9 7 58 19 88 9 27 4 8 48 11 13 72 16 221121 estab. 148 7 11 4 6 28 5 21 54 94 153 11 11 5 6 33 12 14 59 94 145 6 17 8 4 35 14 14 63 82 161 8 22 6 6 42 15 14 71 90 217 9 27 4 8 48 20 29 97 120 221121 empl. 4592 0 [b] [b] 71 119 186 1002 1307 3285 5107 0 24 33 67 124 254 1194 1572 3535 5420 0 36 52 51 139 335 1259 1733 3687 6233 0 56 40 78 174 379 1548 2101 4132 18590 0 57 24 96 177 548 2096 2821 15769 221121 ann. pay. 257840 1542 (D) (D) 2784 6364 7717 71059 85140 172700 322519 28969 1600 1479 2313 34361 10623 92153 137137 185382 343822 7824 2495 3180 2261 15760 17356 98094 131210 212612 365774 872 3520 879 5235 10506 24478 91463 126447 239327 1365272 1306 2877 652 7460 12295 26026 143477 181798 1183474 221121 rec. 13831440 4901 38116 7570 27854 78441 417105 1013283 1508829 12322611 221122 firms 1215 49 102 56 128 335 605 161 1101 114 1236 41 124 75 126 366 595 163 1124 112 1232 54 118 73 129 374 581 172 1127 105 1260 69 132 76 129 406 582 167 1155 105 1221 47 130 70 123 370 569 181 1120 101 221122 estab. 6221 49 103 58 142 352 967 552 1871 4350 6667 45 125 77 136 383 954 565 1902 4765 6887 54 118 74 141 387 921 586 1894 4993 6838 69 133 76 141 419 914 586 1919 4919 6927 47 131 70 138 386 923 627 1936 4991 221122 empl. 393132 0 [c] [e] 1891 2497 28822 24399 55718 337414 380825 0 272 490 1822 2584 28409 24881 55874 324951 371507 0 263 475 1873 2611 27910 26224 56745 314762 370501 0 298 499 1880 2677 27773 25642 56092 314409 361658 0 269 449 1829 2547 26802 27812 57161 304497 221122 ann. pay. 22310738 5813 (D) (D) 78859 107716 1162556 1045842 2316114 19994624 22666470 19644 10417 20005 76346 126412 1171978 1072772 2371162 20295308 23370465 6503 10795 18255 75794 111347 1171820 1181842 2465009 20905456 23783947 11501 12609 24434 79864 128408 1227179 1210998 2566585 21217362 23697498 7819 10145 18509 82618 119091 1222629 1335553 2677273 21020225 221122 rec. 217191406 37360 1119435 125732 626162 1908689 11653784 14036944 27599417 189591989 221210 firms 630 57 209 105 64 435 55 36 526 104 610 47 222 98 62 429 50 34 513 97 603 47 210 97 58 412 58 35 505 98 592 44 217 97 57 415 51 32 498 94 631 68 223 111 59 461 54 31 546 85 221210 estab. 2723 58 209 109 76 452 101 154 707 2016 2851 47 222 100 70 439 98 165 702 2149 2846 47 210 99 67 423 103 152 678 2168 2831 44 219 100 63 426 84 127 637 2194 2897 70 223 118 72 483 86 131 700 2197 221210 empl. 99962 0 476 716 775 1967 1890 5620 9477 90485 96953 0 464 660 773 1897 1658 5129 8684 88269 94821 0 478 641 750 1869 1789 4596 8254 86567 95348 0 492 644 712 1848 1831 4323 8002 87346 86890 0 519 721 716 1956 2066 4398 8420 78470 221210 ann. pay. 5282225 39923 19143 31650 35093 125809 99422 241408 466639 4815586 5657570 10866 19833 27523 36962 95184 87186 241539 423909 5233661 5529810 16524 19112 28813 37203 101652 94857 231833 428342 5101468 6001077 7422 25643 32563 34731 100359 110365 197485 408209 5592868 5342147 6940 21698 30211 41148 99997 131392 221794 453183 4888964 221210 rec. 67275310 79932 654470 478929 1310935 2524266 7724447 2878244 13126957 54148353 221310 firms 3789 205 2545 680 204 3634 89 30 3753 36 3836 257 2505 685 224 3671 105 23 3799 37 4184 347 2575 805 271 3998 121 27 4146 38 4323 323 2699 819 287 4128 130 26 4284 39 4562 340 2782 944 293 4359 140 26 4525 37 221310 estab. 4086 205 2546 683 217 3651 124 113 3888 198 4129 257 2506 686 239 3688 136 88 3912 217 4523 347 2576 806 285 4014 150 95 4259 264 4832 323 2700 820 299 4142 166 106 4414 418 5114 340 2783 947 308 4378 178 134 4690 424 221310 empl. 28623 0 5604 4318 2482 12404 2736 4066 19206 9417 29996 0 5554 4292 2711 12557 3348 3252 19157 10839 32786 0 5690 5048 3412 14150 3857 3356 21363 11423 35206 0 5982 5168 3596 14746 4167 3557 22470 12736 37041 0 6321 5863 3679 15863 4307 4198 24368 12673 221310 ann. pay. 936881 3927 79748 90600 69519 243794 85997 190157 519948 416933 1016102 7610 84018 93323 77457 262408 97712 152611 512731 503371 1120315 8907 88633 107635 91744 296919 120436 169836 587191 533124 1324944 10271 100393 114588 107371 332623 141071 191116 664810 660134 1356633 13699 107555 123621 111839 356714 144080 199917 700711 655922 221310 rec. 6522869 63563 560115 568543 514687 1706908 639328 847558 3193794 3329075 221320 firms 563 54 306 99 45 504 34 12 550 13 584 65 325 91 45 526 32 11 569 15 583 61 326 94 40 521 40 11 572 11 632 61 347 105 51 564 42 13 619 13 690 57 395 116 53 621 44 12 677 13 221320 estab. 700 54 306 102 48 510 55 19 584 116 715 65 325 91 49 530 49 18 597 118 708 61 326 94 45 526 55 20 601 107 748 61 347 105 56 569 57 23 649 99 831 57 395 116 60 628 70 40 738 93 221320 empl. 5307 [a] 660 [f] 559 1837 [f] [e] 3117 2190 5270 0 714 583 571 1868 [f] [f] 3278 1992 5141 [a] 726 [f] 506 [g] 1245 [e] 3527 1614 6312 0 761 [f] 671 [g] 1396 [f] 4057 2255 7022 [a] 879 680 667 [g] 1452 [f] 4677 2345 221320 ann. pay. 150714 (D) 12921 (D) 15808 42467 (D) (D) 84163 66551 161170 2546 13934 12503 17977 46960 (D) (D) 92627 68543 159909 (D) 14389 (D) 15480 (D) 40285 (D) 101432 58477 197818 3448 17426 (D) 17646 (D) 43278 (D) 115439 82379 233413 (D) 19397 15118 22276 (D) 52537 (D) 144841 88572 221320 rec. 1011069 (D) 106810 64003 89636 (D) 259334 (D) 630194 380875 221330 firms 57 2 20 3 8 33 10 2 45 12 54 4 14 3 6 27 12 2 41 13 57 6 14 2 7 29 12 2 43 14 62 3 18 4 9 34 11 2 47 15 70 10 19 5 12 46 8 2 56 14 221330 estab. 81 2 20 3 8 33 12 4 49 32 72 4 14 3 6 27 14 2 43 29 74 6 14 2 7 29 14 2 45 29 84 3 18 4 9 34 13 2 49 35 97 10 19 5 12 46 14 2 62 35 221330 empl. 1639 [a] 33 [b] 109 164 [e] [b] 561 1078 1629 0 24 22 80 126 [e] [b] 576 1053 1628 [a] 28 [a] 86 [c] 428 [b] 596 1032 1630 0 37 [b] 114 [c] 386 [b] 613 1017 1532 [a] 30 35 161 [c] 321 [b] 588 944 221330 ann. pay. 80079 (D) 848 (D) 4239 6373 (D) (D) 23410 56669 77529 66 696 940 3252 4954 (D) (D) 23025 54504 81902 (D) 841 (D) 3040 (D) 18162 (D) 25461 56441 80695 16 754 (D) 4291 (D) 18489 (D) 25889 54806 84116 (D) 964 1073 6264 (D) 16379 (D) 27121 56995 221330 rec. 764725 (D) 6235 4049 34680 (D) 97969 (D) 157758 606967 233110 firms 11192 2829 5871 1299 619 10618 388 95 11101 91 12189 3071 6224 1442 744 11481 507 107 12095 94 12902 2982 6657 1630 858 12127 567 117 12811 91 13175 2836 6655 1814 977 12282 664 130 13076 99 13860 2804 7303 1860 968 12935 693 138 13766 94 233110 estab. 11369 2832 5873 1301 622 10628 413 138 11179 190 12383 3072 6226 1443 750 11491 548 124 12163 220 13111 2984 6659 1632 866 12141 601 142 12884 227 13358 2837 6657 1817 980 12291 711 176 13178 180 14044 2804 7308 1864 976 12952 742 164 13858 186 233110 empl. 56326 0 11222 8311 8050 27583 13051 9385 50019 6307 68024 0 11962 9235 9842 31039 17582 11659 60280 7744 77885 0 12951 10535 11407 34893 20509 12478 67880 10005 88993 0 13163 11715 12915 37793 23692 13817 75302 13691 90669 0 14466 12018 12603 39087 23532 14669 77288 13381 233110 ann. pay. 2262825 166410 393302 293672 281877 1135261 461744 346824 1943829 318996 2814520 172339 437132 343608 354722 1307801 657849 419286 2384936 429584 3269158 164894 468769 377028 465833 1476524 756199 476151 2708874 560284 3990101 156215 484556 438707 513298 1592776 972272 579359 3144407 845694 4100107 141975 545793 473892 515979 1677639 1043208 670559 3391406 708701 233110 rec. 24460771 1412212 4716723 2654048 2784158 11567141 5133980 3239442 19940563 4520208 233210 firms 153029 29168 88281 23133 8658 149240 3440 257 152937 92 151354 24820 88532 24156 9545 147053 3937 274 151264 90 150685 24403 86967 24508 9986 145864 4426 304 150594 91 146056 24079 86030 22949 8759 141817 3846 296 145959 97 160917 31607 92161 23478 9281 156527 4007 287 160821 96 233210 estab. 153561 29168 88281 23138 8666 149253 3466 389 153108 453 151952 24820 88534 24157 9558 147069 3992 395 151456 496 151296 24403 86969 24508 10000 145880 4460 430 150770 526 146670 24080 86030 22952 8771 141833 3878 391 146102 568 161677 31607 92163 23481 9299 156550 4086 408 161044 633 233210 empl. 626161 0 178768 148002 112363 439133 114262 34946 588341 37820 677065 0 181121 154654 124421 460196 133136 38819 632151 44914 713339 0 179222 157360 130460 467042 150829 45577 663448 49891 661414 0 175524 147038 113719 436281 131713 42420 610414 51000 696886 0 188836 150275 120762 459873 136130 41020 637023 59863 233210 ann. pay. 18245529 841060 4276552 3524962 2960414 11602988 3556445 1358778 16518211 1727318 20956582 787495 4555966 3882441 3451910 12677812 4349212 1575404 18602428 2354154 23058337 760584 4605643 4095991 3737593 13199811 5226447 1905572 20331830 2726507 23160092 783248 4694110 3993667 3500990 12972015 5060011 1937368 19969394 3190698 25396809 1033760 5039096 4357778 3899888 14330522 5519878 2004518 21854918 3541891 233210 rec. 225893991 12571664 50162636 31013814 26833715 120581829 41394207 17009933 178985969 46908022 233220 firms 8054 1405 3930 1368 710 7413 538 76 8027 27 8186 1370 4042 1420 671 7503 580 73 8156 30 8208 1312 4119 1329 758 7518 583 76 8177 31 8730 1323 4292 1431 846 7892 729 77 8698 32 9007 1557 4212 1475 964 8208 693 74 8975 32 233220 estab. 8091 1405 3930 1369 710 7414 541 86 8041 50 8226 1370 4042 1420 671 7503 585 80 8168 58 8254 1312 4119 1329 758 7518 591 82 8191 63 8767 1323 4292 1431 846 7892 736 81 8709 58 9043 1557 4212 1475 964 8208 702 82 8992 51 233220 empl. 62334 0 8114 8821 9488 26423 19667 10459 56549 5785 64523 0 8258 9257 8909 26424 20734 10076 57234 7289 67673 0 8504 8698 10035 27237 20900 11188 59325 8348 73972 0 8879 9375 11163 29417 25543 10588 65548 8424 73965 0 8940 9680 12827 31447 25038 9506 65991 7974 233220 ann. pay. 2100157 51476 210129 235374 311742 808721 676169 386320 1871210 228947 2269214 60808 218769 261916 290049 831542 752252 382699 1966493 302721 2461328 46987 231952 256267 327247 862453 793580 448088 2104121 357207 2825815 51637 256841 283892 387593 979963 1002169 442368 2424500 401315 3013295 66323 292859 323997 435436 1118615 1009871 471195 2599681 413614 233220 rec. 24709438 721948 2613855 2264928 3093491 8694222 8542418 4003024 21239664 3469774 233310 firms 6842 720 2366 1283 1101 5470 1126 179 6775 67 6936 798 2372 1257 1078 5505 1188 175 6868 68 6984 723 2482 1263 1093 5561 1175 184 6920 64 5821 746 2410 1091 885 5132 539 84 5755 66 2342 477 672 386 323 1858 338 84 2280 62 233310 estab. 6904 720 2366 1283 1102 5471 1129 184 6784 120 6998 798 2372 1257 1079 5506 1192 183 6881 117 7039 723 2482 1263 1094 5562 1179 193 6934 105 5887 746 2410 1091 887 5134 541 92 5767 120 2406 477 672 388 324 1861 345 93 2299 107 233310 empl. 161159 0 5216 8576 14947 28739 42872 29401 101012 60147 166000 0 5255 8470 14610 28335 45794 30460 104589 61411 164858 0 5417 8414 14887 28718 45662 31828 106208 58650 114021 0 5220 7256 11826 24302 19715 13035 57052 56969 86859 0 1489 2559 4348 8396 12579 12859 33834 53025 233310 ann. pay. 6145133 56760 170830 271011 505289 1003890 1641905 1207662 3853457 2291676 6461894 41188 176499 271398 522937 1012022 1832626 1253744 4098392 2363502 6797251 54092 186109 267060 553447 1060708 1873363 1338163 4272234 2525017 4565607 48386 168424 237458 408325 862593 695142 524091 2081826 2483781 3828813 24182 50489 90371 163405 328447 540426 540503 1409376 2419437 233310 rec. 20501999 273576 339270 513843 921922 2048611 2551474 3040739 7640824 12861175 233320 firms 36355 4782 13267 6714 5477 30240 5240 678 36158 197 36170 4071 13469 6778 5527 29845 5414 710 35969 201 36022 4052 13266 6627 5604 29549 5514 752 35815 207 40490 4026 13858 7810 7039 32733 6719 833 40285 205 38452 3691 12712 7816 6841 31060 6434 765 38259 193 233320 estab. 36968 4782 13270 6715 5487 30254 5286 826 36366 602 36796 4071 13470 6780 5535 29856 5454 858 36168 628 36654 4052 13267 6629 5613 29561 5549 896 36006 648 41124 4027 13859 7814 7050 32750 6751 959 40460 664 39224 3691 12712 7818 6854 31075 6505 918 38498 726 233320 empl. 528358 0 28823 44939 74740 148502 196333 101787 446622 81736 562467 0 29302 44999 75383 149684 207849 111926 469459 93008 581158 0 28812 44263 76300 149375 212808 118083 480266 100892 678573 0 30485 52350 96027 178862 257190 132326 568378 110195 637338 0 28829 52543 92887 174259 243960 119996 538215 99123 233320 ann. pay. 21524488 242304 909359 1455450 2664813 5271926 7745798 4480955 17498679 4025809 23381582 217800 956468 1532924 2808835 5516027 8565472 4995792 19077291 4304291 25212012 222840 955032 1511788 2920882 5610542 9091270 5433299 20135111 5076901 30415370 287004 1091245 1917613 3795093 7090955 11141327 6305789 24538071 5877299 29391467 235562 1088311 1983716 3731064 7038653 10862569 5957949 23859171 5532296 233320 rec. 239425735 2199022 9460399 14077805 25587717 51324943 81142540 51209971 183677454 55748281 234110 firms 10884 1493 3113 1923 1736 8265 2122 418 10805 79 10606 1297 3062 1843 1688 7890 2170 464 10524 82 10434 1267 2927 1792 1645 7631 2212 496 10339 95 10837 1342 3090 1953 1692 8077 2156 511 10744 93 10507 1478 2956 1804 1636 7874 2027 504 10405 102 234110 estab. 11268 1493 3114 1924 1742 8273 2142 486 10901 367 11006 1297 3062 1843 1693 7895 2188 542 10625 381 10889 1267 2927 1793 1650 7637 2222 581 10440 449 11314 1342 3090 1954 1699 8085 2172 597 10854 460 10985 1478 2956 1805 1638 7877 2060 609 10546 439 234110 empl. 232811 0 6810 13009 23814 43633 85220 64991 193844 38967 248814 0 6772 12495 23099 42366 87907 72854 203127 45687 265678 0 6489 12041 22626 41156 90001 80710 211867 53811 275191 0 6778 13136 23118 43032 87479 84293 214804 60387 274144 0 6771 12139 22321 41231 83304 84505 209040 65104 234110 ann. pay. 10868266 106846 368564 590813 1123977 2190200 3786449 3029273 9005922 1862344 11706960 90995 356385 564357 1123477 2135214 4060570 3434156 9629940 2077020 12328611 93841 330221 523755 1013416 1961233 4095642 3727429 9784304 2544307 13758593 129318 375503 638399 1207890 2351110 4342130 4228769 10922009 2836584 13767501 130528 390044 613152 1136052 2269776 4290408 4162914 10723098 3044403 234110 rec. 72164772 783334 2050671 2736983 5031905 10602893 20196223 22407376 53206492 18958280 234120 firms 886 70 167 137 146 520 266 79 865 21 871 57 179 119 144 499 269 77 845 26 872 58 176 112 134 480 280 86 846 26 778 46 167 114 124 451 225 75 751 27 792 83 156 127 124 490 204 66 760 32 234120 estab. 925 70 168 137 146 521 272 87 880 45 905 57 180 119 144 500 275 80 855 50 906 58 177 112 134 481 286 94 861 45 819 46 167 114 124 451 232 80 763 56 833 83 156 127 124 490 211 72 773 60 234120 empl. 34331 0 378 966 2070 3414 11472 11324 26210 8121 35554 0 433 832 2020 3285 11782 11569 26636 8918 39258 0 405 768 1823 2996 12702 14565 30263 8995 35828 0 370 776 1651 2797 9766 11458 24021 11807 36671 0 341 847 1757 2945 8780 10340 22065 14606 234120 ann. pay. 1657496 16305 23232 48004 94547 182088 529280 567908 1279276 378220 1762450 5817 25076 43732 92561 167186 590099 618649 1375934 386516 1987490 8146 26884 39844 81773 156647 598227 765998 1520872 466618 1938957 8332 22016 40370 76374 147092 490932 643496 1281520 657437 1987630 15070 19810 46008 82818 163706 481403 589231 1234340 753290 234120 rec. 9964920 68159 104947 206870 355219 735195 2371154 2943417 6049766 3915154 234910 firms 7749 676 2195 1502 1413 5786 1700 218 7704 45 7523 597 2062 1430 1414 5503 1749 225 7477 46 7390 578 2026 1351 1361 5316 1792 236 7344 46 8987 550 2323 1904 1827 6604 2069 268 8941 46 10520 868 3356 2091 1826 8141 2065 262 10468 52 234910 estab. 7823 676 2195 1502 1414 5787 1705 234 7726 97 7597 597 2062 1430 1415 5504 1754 241 7499 98 7483 579 2026 1352 1362 5319 1798 254 7371 112 9090 550 2323 1904 1828 6605 2073 294 8972 118 10652 868 3356 2091 1826 8141 2086 297 10524 128 234910 empl. 156448 0 4932 10090 19416 34438 66813 35039 136290 20158 163751 0 4681 9612 19372 33665 69964 35646 139275 24476 165784 0 4554 9083 18789 32426 71994 39822 144242 21542 193347 0 5392 12898 25360 43650 81027 44811 169488 23859 198821 0 7782 14007 24981 46770 80799 42605 170174 28647 234910 ann. pay. 6355696 50331 189080 367098 729144 1335653 2713393 1348895 5397941 957755 6728813 84669 176164 359417 744182 1364432 2842752 1605561 5812745 916068 7033034 39053 171250 333645 740634 1284582 2997125 1663953 5945660 1087374 8484892 47170 231318 521624 1016876 1816988 3470124 1973553 7260665 1224227 8785618 68245 300265 529704 1041887 1940101 3570992 1871136 7382229 1403389 234910 rec. 35161006 354108 1518676 2252728 4207078 8332590 14647434 7694469 30674493 4486513 234920 firms 3170 404 974 605 481 2464 550 119 3133 37 3281 386 991 657 511 2545 564 126 3235 46 3411 469 1035 632 494 2630 623 111 3364 47 3837 368 1161 749 624 2902 734 151 3787 50 4077 488 1344 771 643 3246 671 114 4031 46 234920 estab. 3305 404 974 606 481 2465 555 137 3157 148 3436 386 991 658 511 2546 571 146 3263 173 3644 470 1035 633 494 2632 632 125 3389 255 4065 368 1161 750 625 2904 739 166 3809 256 4325 488 1344 771 646 3249 689 127 4065 260 234920 empl. 76411 0 2221 4062 6639 12922 20800 19347 53069 23342 85302 0 2243 4414 6955 13612 22340 18685 54637 30665 97545 0 2334 4206 6718 13258 24592 18312 56162 41383 114999 0 2607 5009 8480 16096 29451 24555 70102 44897 98465 [a] [h] 5184 8773 16991 27281 17678 61950 36515 234920 ann. pay. 2786378 28081 75603 133617 220635 457936 742158 645112 1845206 941172 3186979 36655 77586 146748 237910 498899 802137 668382 1969418 1217561 3815794 50678 82359 138151 227826 499014 910341 704194 2113549 1702245 4382043 44447 95299 164975 297654 602375 1080122 929945 2612442 1769601 3909650 (D) (D) 162646 293802 619090 990328 637060 2246478 1663172 234920 rec. 12463879 (D) (D) 538083 921759 (D) 3123895 1941707 7211838 5252041 234930 firms 641 52 195 89 75 411 109 55 575 66 626 43 192 92 68 395 113 56 564 62 631 51 195 85 76 407 109 52 568 63 582 35 194 79 66 374 92 55 521 61 470 56 118 62 49 285 88 41 414 56 234930 estab. 709 52 195 89 75 411 113 59 583 126 696 43 192 92 68 395 116 62 573 123 689 51 195 85 76 407 111 56 574 115 647 35 194 79 66 374 94 60 528 119 527 56 118 62 49 285 93 48 426 101 234930 empl. 100218 0 394 598 1026 2018 4683 9788 16489 83729 98580 0 421 613 939 1973 4852 10429 17254 81326 101745 0 431 581 1019 2031 4913 8952 15896 85849 105367 0 404 550 878 1832 3952 9584 15368 89999 91921 [a] [e] 408 680 1354 3720 6868 11942 79979 234930 ann. pay. 3784244 19057 12600 19803 32144 83604 177763 366318 627685 3156559 3844681 11505 11996 20847 31656 76004 190653 464671 731328 3113353 4137821 14477 11718 18748 33367 78310 200082 390785 669177 3468644 4036493 10343 15071 16749 34688 76851 139202 424958 641011 3395482 4087472 (D) (D) 14986 25910 245830 141045 330593 717468 3370004 234930 rec. 16078240 (D) (D) 61832 89920 (D) 434625 985357 2177457 13900783 234990 firms 15860 1894 6632 2972 2043 13541 1963 254 15758 102 15734 1774 6553 2908 2129 13364 1990 276 15630 104 15702 1820 6369 2904 2146 13239 2065 290 15594 108 14321 1737 6327 2715 1852 12631 1401 188 14220 101 12373 2606 5072 1906 1356 10940 1151 186 12277 96 234990 estab. 16061 1894 6632 2974 2053 13553 1989 309 15851 210 15916 1774 6553 2911 2135 13373 2013 329 15715 201 15905 1821 6371 2905 2151 13248 2083 354 15685 220 14541 1737 6330 2715 1858 12640 1418 253 14311 230 12627 2606 5073 1908 1363 10950 1171 262 12383 244 234990 empl. 203725 0 14128 19549 27707 61384 72587 37249 171220 32505 216372 0 14009 19197 28758 61964 76070 41650 179684 36688 230977 0 13660 19139 29066 61865 78239 46058 186162 44815 176475 0 13258 17855 24721 55834 50969 29288 136091 40384 156290 0 10826 12547 18261 41634 42913 29012 113559 42731 234990 ann. pay. 7894422 90194 416958 617420 971025 2095597 2808509 1599047 6503153 1391269 8577983 81877 425419 608860 1046759 2162915 2985883 1817413 6966211 1611772 9325256 92379 396911 609399 1060578 2159267 3135131 2060088 7354486 1970770 7200646 80126 410501 581578 910559 1982764 1989196 1396358 5368318 1832328 6783676 104730 330306 399388 672594 1507018 1823245 1372624 4702887 2080789 234990 rec. 28551191 698661 1663056 1599670 2560120 6521507 7464973 6383625 20370105 8181086 235110 firms 87653 9319 41925 17448 10808 79500 7343 703 87546 107 88195 9037 41718 17549 11196 79500 7846 733 88079 116 89523 9430 41627 17960 11411 80428 8220 748 89396 127 88519 9098 41850 17595 11063 79606 8034 755 88395 124 89223 10148 41788 17403 11078 80417 7934 743 89094 129 235110 estab. 88542 9319 41926 17450 10818 79513 7415 809 87737 805 89125 9042 41719 17551 11206 79518 7912 841 88271 854 90487 9430 41630 17963 11416 80439 8276 850 89565 922 89550 9098 41851 17598 11069 79616 8088 851 88555 995 90341 10148 41788 17405 11083 80424 8028 926 89378 963 235110 empl. 817297 0 89820 114986 144693 349499 269298 114766 733563 83734 862013 0 89977 115345 149653 354975 288498 118680 762153 99860 897912 0 90302 118344 153121 361767 300650 122189 784606 113306 898440 0 90400 115786 148993 355179 297562 124152 776893 121547 879908 0 90914 114854 148470 354238 292995 118367 765600 114308 235110 ann. pay. 28511597 331349 2120236 3113733 4521349 10086667 9915896 4760536 24763099 3748498 31044940 346678 2236736 3202938 4822837 10609189 10982751 5067474 26659414 4385526 33406016 376565 2293442 3339803 5015791 11025601 11678176 5408794 28112571 5293445 34507914 360885 2331273 3411773 5074568 11178499 12056634 5738807 28973940 5533974 34806094 426073 2421996 3512226 5215143 11575438 12201195 5484360 29260993 5545101 235110 rec. 115839498 2271644 10985237 11911150 16220810 41388841 37762067 16845561 95996469 19843029 235210 firms 39429 7590 20975 6129 2957 37651 1681 88 39420 9 39728 7104 21221 6324 3186 37835 1769 111 39715 13 40931 7644 21495 6432 3312 38883 1914 123 40920 11 40322 7191 21701 6274 3130 38296 1881 134 40311 11 40876 8264 21530 6055 3050 38899 1836 128 40863 13 235210 estab. 39475 7590 20975 6130 2958 37653 1692 104 39449 26 39767 7104 21221 6324 3187 37836 1780 126 39742 25 40973 7644 21495 6432 3316 38887 1921 142 40950 23 40364 7191 21701 6275 3133 38300 1891 145 40336 28 40935 8264 21530 6055 3055 38904 1850 144 40898 37 235210 empl. 198800 0 42237 39807 39134 121178 59649 13564 194391 4409 212050 0 43066 41120 42210 126396 62827 17255 206478 5572 221787 0 43635 41774 44210 129619 67977 19427 217023 4764 220433 0 43571 40640 41207 125418 67687 22266 215371 5062 218825 0 44181 39439 40768 124388 66428 20456 211272 7553 235210 ann. pay. 5227676 187957 893204 878419 954824 2914404 1772168 442661 5129233 98443 5684254 171999 933652 930600 1064253 3100504 1918146 523166 5541816 142438 6121419 204432 966946 961384 1136690 3269452 2096566 647000 6013018 108401 6300673 193084 1005293 975290 1111635 3285302 2162940 722376 6170618 130055 6459789 256518 1002672 991416 1146805 3397411 2159358 687781 6244550 215239 235210 rec. 18552961 1204714 4049668 2789023 2907978 10951383 5205365 1657915 17814663 738298 235310 firms 65093 7219 30177 12665 7929 57990 6214 769 64973 120 65567 6732 29974 12975 8252 57933 6635 865 65433 134 65890 6582 29662 13136 8498 57878 6951 896 65725 165 64890 6439 29585 12801 8245 57070 6745 900 64715 175 64730 7261 29752 12454 7964 57431 6339 801 64571 159 235310 estab. 65703 7219 30179 12669 7939 58006 6271 916 65193 510 66220 6732 29978 12977 8260 57947 6691 1008 65646 574 66802 6587 29662 13137 8503 57889 7000 1020 65909 893 65860 6441 29588 12803 8251 57083 6802 1027 64912 948 65858 7262 29754 12461 7974 57451 6422 1031 64904 954 235310 empl. 692603 0 64844 83534 106651 255029 233620 128970 617619 74984 742538 0 64771 85353 111084 261208 249444 148014 658666 83872 815056 0 64591 86331 114546 265468 264676 158177 688321 126735 831895 0 64314 84380 110883 259577 260247 159594 679418 152477 770632 0 64811 82055 106698 253564 242360 139413 635337 135295 235310 ann. pay. 25345173 331487 1608631 2316309 3378891 7635318 8779206 5454176 21868700 3476473 28361458 362116 1673032 2431662 3646996 8113806 9620898 6397401 24132105 4229353 32698001 301894 1712909 2520241 3873877 8408921 10497081 7218338 26124340 6573661 33480174 280875 1748516 2559963 3844188 8433542 10612221 7350987 26396750 7083424 31707131 329385 1797693 2553645 3807936 8488659 10155458 6804742 25448859 6258272 235310 rec. 89483864 1513571 7148651 7533578 10405409 26601209 27323333 18184169 72108711 17375153 235410 firms 24429 3888 11875 4618 2295 22676 1612 124 24412 17 24493 3697 11809 4740 2378 22624 1684 169 24477 16 24993 3769 11804 4843 2510 22926 1863 187 24976 17 23630 3828 11724 4200 2066 21818 1605 190 23613 17 21672 4314 9965 3727 1974 19980 1479 194 21653 19 235410 estab. 24471 3888 11875 4618 2295 22676 1623 144 24443 28 24532 3697 11809 4741 2379 22626 1690 192 24508 24 25030 3769 11804 4843 2511 22927 1876 202 25005 25 23664 3828 11725 4201 2066 21820 1611 205 23636 28 21720 4314 9966 3727 1974 19981 1485 227 21693 27 235410 empl. 169823 0 25564 29996 30249 85809 60010 18938 164757 5066 182702 0 25514 31030 31822 88366 64326 25681 178373 4329 197878 0 25619 31439 33486 90544 71281 [k] [m] [i] 178820 0 24868 27330 27346 79544 62149 [k] [m] [i] 170005 0 21876 24075 26391 72342 57936 32560 162838 7167 235410 ann. pay. 4710880 131777 592893 658098 757309 2140077 1827071 598864 4566012 144868 5208921 129670 612369 693983 847019 2283041 1999724 804323 5087088 121833 5667795 132519 594758 709626 858036 2294939 2194269 (D) (D) (D) 5605994 130385 608110 650112 760662 2149269 2152234 (D) (D) (D) 5460469 157260 548411 602470 739646 2047787 2047620 1154701 5250108 210361 235410 rec. 16264237 825910 2443972 1950597 2115794 7336273 5459644 2922554 15718471 545766 235420 firms 21294 2812 8609 3795 2784 18000 2859 395 21254 40 21164 2570 8623 3829 2778 17800 2872 444 21116 48 21408 2690 8731 3774 2821 18016 2872 470 21358 50 19940 2568 8755 3267 2384 16974 2437 475 19886 54 19404 2917 8129 3153 2291 16490 2421 434 19345 59 235420 estab. 21585 2812 8609 3795 2785 18001 2881 450 21332 253 21515 2570 8623 3829 2779 17801 2889 505 21195 320 21774 2690 8731 3774 2824 18019 2888 503 21410 364 20337 2568 8756 3267 2387 16978 2451 511 19940 397 19944 2917 8129 3154 2293 16493 2448 515 19456 488 235420 empl. 287445 0 18686 25002 37862 81550 113168 67319 262037 25408 312683 0 18690 25389 37623 81702 115122 77176 274000 38683 319342 0 18860 24951 38328 82139 113145 82269 277553 41789 300984 0 18514 21393 32588 72495 98566 85118 256179 44805 293849 0 17743 20802 31254 69799 96235 77349 243383 50466 235420 ann. pay. 8535448 117062 434048 581518 987196 2119824 3356148 2213462 7689434 846014 9454216 113014 452787 627677 1020770 2214248 3535537 2513807 8263592 1190624 10224375 111655 473593 631337 1046256 2262841 3639875 2925535 8828251 1396124 9973183 102566 468245 549931 955330 2076072 3305986 3082733 8464791 1508392 10054987 143151 461816 558994 932618 2096579 3293657 2817807 8208043 1846944 235420 rec. 31376116 799258 2652159 2230713 2994171 8676301 9101233 7247410 25024944 6351172 235430 firms 6481 851 3543 1058 601 6053 400 25 6478 3 6649 946 3566 1002 662 6176 441 28 6645 4 6814 915 3585 1108 681 6289 487 36 6812 2 6877 892 3653 1089 688 6322 510 43 6875 2 8349 1373 4527 1222 669 7791 516 39 8346 3 235430 estab. 6488 851 3543 1058 601 6053 400 28 6481 7 6657 946 3566 1002 662 6176 441 31 6648 9 6821 915 3585 1108 681 6289 487 41 6817 4 6884 892 3653 1089 688 6322 510 48 6880 4 8357 1373 4527 1222 669 7791 516 44 8351 6 235430 empl. 40332 0 6967 6881 7920 21768 14500 3004 39272 1060 43548 0 7111 6602 8816 22529 16072 3515 42116 1432 47774 0 7234 7310 9019 23563 17967 [i] [k] [f] 49717 0 7443 7207 9121 23771 19187 [i] [k] [f] 51510 0 9092 8020 8912 26024 19202 5506 50732 778 235430 ann. pay. 1162532 22368 145523 169128 221204 558223 473461 93848 1125532 37000 1332180 29248 155879 168568 253280 606975 544090 122314 1273379 58801 1497650 25545 167171 185893 263418 642027 631570 (D) (D) (D) 1609423 31488 175964 194416 282260 684128 685727 (D) (D) (D) 1693232 38577 206163 216589 280910 742239 707681 211762 1661682 31550 235430 rec. 5557821 233604 1045956 757410 863403 2900373 1922017 610880 5433270 124551 235510 firms 44088 7347 24899 6961 3006 42213 1642 211 44066 22 44282 6933 24889 7262 3158 42242 1770 243 44255 27 44857 7015 25156 7227 3276 42674 1893 258 44825 32 44239 6986 25227 7105 2882 42200 1723 280 44203 36 46774 8596 26029 7119 3011 44755 1716 265 46736 38 235510 estab. 44252 7347 24900 6961 3007 42215 1666 240 44121 131 44449 6934 24889 7263 3159 42245 1792 278 44315 134 45028 7016 25156 7228 3280 42680 1916 277 44873 155 44391 6986 25227 7109 2886 42208 1744 313 44265 126 46918 8596 26030 7120 3015 44761 1743 294 46798 120 235510 empl. 237285 0 50377 44895 39800 135072 59150 34782 229004 8281 256279 0 50347 46780 41671 138798 64059 41911 244768 11511 269786 0 51318 46587 42757 140662 68308 45121 254091 15695 262936 0 50912 45695 37905 134512 61696 48975 245183 17753 262569 0 53371 45735 39740 138846 61418 44258 244522 18047 235510 ann. pay. 6164620 180401 1030066 982094 998800 3191361 1734327 1008456 5934144 230476 6935370 216089 1078991 1081683 1087924 3464687 1922930 1242399 6630016 305354 7533333 199448 1123430 1087985 1175524 3586387 2137166 1349931 7073484 459849 7507081 187074 1174083 1115894 1061923 3538974 2000732 1469781 7009487 497594 7809913 256097 1231737 1163602 1134747 3786183 2065306 1420329 7271818 538095 235510 rec. 28846419 1582254 6300497 4071758 3664538 15619047 6909535 4413352 26941934 1904485 235520 firms 13016 1899 7587 1953 980 12419 556 32 13007 9 13246 1924 7644 1984 1015 12567 637 35 13239 7 13393 1928 7553 2118 1050 12649 692 46 13387 6 12953 1928 7530 1858 923 12239 652 54 12945 8 13714 2238 7845 1896 1025 13004 661 42 13707 7 235520 estab. 13101 1899 7587 1953 981 12420 563 43 13026 75 13352 1924 7644 1984 1018 12570 641 48 13259 93 13497 1928 7553 2118 1051 12650 696 68 13414 83 13050 1928 7530 1858 924 12240 657 71 12968 82 13836 2238 7845 1898 1029 13010 679 61 13750 86 235520 empl. 66621 0 14605 12623 13123 40351 20131 [h] [l] [g] 71493 0 14927 12905 13600 41432 22363 [i] [l] [h] 77517 0 14853 13760 14074 42687 24019 7600 74306 3211 74622 0 14681 11935 12392 39008 23002 8734 70744 3878 76215 0 15464 12272 13606 41342 23410 7428 72180 4035 235520 ann. pay. 1908821 39090 293761 298888 376112 1007851 674748 (D) (D) (D) 2169073 51493 315788 322571 391324 1081176 768527 (D) (D) (D) 2430310 53537 325308 360099 416957 1155901 854487 297478 2307866 122444 2444462 58827 317603 312166 386320 1074916 850271 383806 2308993 135469 2628954 58239 339843 323948 441233 1163263 864599 396579 2424441 204513 235520 rec. 10279837 388628 1856958 1299145 1625254 5169985 3201078 1085956 9457019 822818 235610 firms 30877 4736 14489 5408 3359 27992 2657 209 30858 19 30665 4402 14353 5555 3349 27659 2745 240 30644 21 30855 4526 14445 5484 3380 27835 2740 254 30829 26 30127 4470 14435 5207 3181 27293 2572 236 30101 26 31367 5628 14584 5262 3132 28606 2506 228 31340 27 235610 estab. 30980 4736 14489 5408 3368 28001 2692 257 30950 30 30767 4402 14354 5555 3349 27660 2768 307 30735 32 30966 4526 14447 5484 3380 27837 2766 319 30922 44 30247 4470 14440 5209 3182 27301 2595 306 30202 45 31538 5628 14586 5266 3133 28613 2545 312 31470 68 235610 empl. 246478 0 30553 35500 45062 111115 99188 29475 239778 6700 257629 0 30195 36524 44938 111657 103103 35010 249770 7859 260774 0 30355 36116 45440 111911 102650 37895 252456 8318 247408 0 30183 34126 42758 107067 97389 36088 240544 6864 244435 0 31050 34653 42198 107901 94101 33740 235742 8693 235610 ann. pay. 7087370 135344 672937 825866 1168330 2802477 3063448 997789 6863714 223656 7614393 135528 692200 873856 1216176 2917760 3224343 1210623 7352726 261667 7928821 153834 695745 856150 1250859 2956588 3367430 1305025 7629043 299778 7833919 148495 744568 854250 1211779 2959092 3319018 1296247 7574357 259562 7882266 206428 765748 894010 1234676 3100862 3243552 1205559 7549973 332293 235610 rec. 30607059 1451406 4775448 3764067 4331768 14322689 10806255 4035309 29164253 1442806 235710 firms 29474 5487 11858 5944 3540 26829 2390 222 29441 33 29763 5327 11690 6131 3690 26838 2618 272 29728 35 30136 5085 11794 6336 3847 27062 2738 295 30095 41 30639 5151 12457 6182 3720 27510 2793 291 30594 45 34680 7933 13088 6437 4016 31474 2871 288 34633 47 235710 estab. 29575 5487 11858 5944 3542 26831 2399 242 29472 103 29870 5327 11690 6132 3691 26840 2629 293 29762 108 30238 5085 11794 6336 3848 27063 2749 306 30118 120 30743 5151 12457 6183 3721 27512 2802 318 30632 111 34820 7933 13088 6437 4017 31475 2887 323 34685 135 235710 empl. 244553 0 26596 39191 47226 113013 85766 34136 232915 11638 269232 0 26263 40474 49050 115787 96365 42133 254285 14947 292569 0 26654 41888 51418 119960 101832 48265 270057 22512 295285 0 27577 40936 49900 118413 104096 48719 271228 24057 306585 0 29622 42381 53644 125647 105563 46682 277892 28693 235710 ann. pay. 7719874 239249 801354 1031041 1342315 3413959 2717258 1174471 7305688 414186 8718107 250685 832359 1105339 1392816 3581199 3118430 1504020 8203649 514458 9501215 234502 795617 1123089 1477693 3630901 3386918 1762387 8780206 721009 10419100 255961 913154 1182703 1561835 3913653 3627508 1839042 9380203 1038897 10993175 416073 994193 1256401 1681504 4348171 3729589 1828918 9906678 1086497 235710 rec. 40255179 2166648 4725941 4623139 5875644 17391372 12997236 6685570 37074178 3181001 235810 firms 3756 366 2132 820 303 3621 124 8 3753 3 3718 310 2095 863 299 3567 143 5 3715 3 3735 333 2017 866 361 3577 146 9 3732 3 3648 305 1972 837 353 3467 167 11 3645 3 3955 406 2089 885 403 3783 156 12 3951 4 235810 estab. 3830 366 2132 820 304 3622 131 18 3771 59 3789 310 2095 863 299 3567 151 13 3731 58 3797 333 2017 866 363 3579 152 17 3748 49 3722 305 1972 837 356 3470 172 27 3669 53 4028 406 2089 885 406 3786 164 32 3982 46 235810 empl. 19905 0 4648 5255 3895 13798 3720 [f] [j] [g] 20494 0 4569 5623 3897 14089 4407 [f] [j] [g] 21590 0 4443 5581 4745 14769 4570 790 20129 1461 22296 0 4361 5443 4604 14408 5249 1246 20903 1393 23692 0 4709 5774 5327 15810 4997 1507 22314 1378 235810 ann. pay. 594841 8578 103512 137252 117458 366800 137384 (D) (D) (D) 636779 10236 106840 151414 121709 390199 164725 (D) (D) (D) 688475 19071 107329 148805 150187 425392 176257 29109 630758 57717 758907 8260 106779 154725 157717 427481 210222 61175 698878 60029 841050 12850 123730 171589 188173 496342 209751 70363 776456 64594 235810 rec. 3216861 86344 648250 641635 641245 2017474 685535 271055 2974064 242797 235910 firms 4560 604 1238 868 829 3539 873 126 4538 22 4907 772 1323 872 828 3795 950 137 4882 25 5339 870 1520 963 872 4225 941 140 5306 33 4732 774 1576 772 659 3781 785 136 4702 30 3741 582 975 640 641 2838 756 119 3713 28 235910 estab. 4598 604 1238 868 830 3540 879 138 4557 41 4945 772 1323 872 829 3796 955 153 4904 41 5382 870 1520 963 873 4226 948 148 5322 60 4782 774 1576 772 660 3782 789 155 4726 56 3799 582 975 640 642 2839 767 143 3749 50 235910 empl. 79102 0 2833 5852 11169 19854 34165 18752 72771 6331 86642 0 2989 5858 11223 20070 37846 20427 78343 8299 93564 0 3383 6436 11945 21764 38381 21164 81309 12255 81995 0 3507 5115 8936 17558 32905 22035 72498 9497 76231 0 2275 4326 8760 15361 30804 19218 65383 10848 235910 ann. pay. 2846486 42709 85445 175129 355943 659226 1230497 705885 2595608 250878 3199771 46056 99314 177733 368539 691642 1379392 819782 2890816 308955 3585788 50166 98946 198536 409025 756673 1477727 862833 3097233 488555 3260927 42410 100500 162121 310817 615848 1313363 906425 2835636 425291 3130304 46757 82227 145687 323862 598533 1261753 825803 2686089 444215 235910 rec. 9798113 233357 450725 482149 963300 2129531 3522228 2668335 8320094 1478019 235920 firms 5233 550 2232 1258 770 4810 398 22 5230 3 5411 658 2225 1232 822 4937 445 26 5408 3 5693 750 2325 1267 833 5175 479 35 5689 4 5454 668 2379 1138 755 4940 469 41 5450 4 5112 490 2165 1173 748 4576 486 45 5107 5 235920 estab. 5275 557 2232 1260 774 4823 417 28 5268 7 5450 658 2225 1233 826 4942 463 39 5444 6 5772 750 2325 1269 836 5180 495 90 5765 7 5531 668 2379 1138 759 4944 485 98 5527 4 5205 490 2166 1173 752 4581 512 66 5159 46 235920 empl. 39584 0 5136 8296 10218 23650 13448 [g] [k] [e] 42259 0 5109 8128 11020 24257 15131 2779 42167 92 45837 0 5335 8383 11213 24931 16108 4073 45112 725 47125 0 5381 7617 10055 23053 17171 [i] [k] [g] 46220 0 5061 7854 10071 22986 17049 5725 45760 460 235920 ann. pay. 1247764 18103 115029 222134 316451 671717 480428 (D) (D) (D) 1409795 25110 125744 221578 359812 732244 554937 117423 1404604 5191 1570121 27805 133128 236997 378672 776602 614243 169271 1560116 10005 1756166 26847 134174 216720 360661 738402 706272 (D) (D) (D) 1773257 16954 127771 231136 374174 750035 727683 275898 1753616 19641 235920 rec. 6556872 108757 656758 845164 1260999 2871678 2568376 1032770 6472824 84048 235930 firms 23209 4310 12054 3892 1889 22145 987 69 23201 8 25031 4824 12692 4193 2107 23816 1127 76 25019 12 26980 4966 13554 4704 2346 25570 1303 94 26967 13 25383 4761 13660 3720 1814 23955 1293 122 25370 13 22763 4355 11438 3572 1899 21264 1363 120 22747 16 235930 estab. 23240 4310 12054 3892 1889 22145 989 89 23223 17 25060 4824 12692 4193 2107 23816 1129 89 25034 26 27005 4966 13554 4704 2346 25570 1305 107 26982 23 25409 4761 13660 3720 1814 23955 1295 135 25385 24 22812 4355 11440 3572 1899 21266 1371 146 22783 29 235930 empl. 118521 0 24866 25315 25156 75337 33345 8868 117550 971 133165 0 26305 27288 27776 81369 39099 10901 131369 1796 152542 0 28211 30468 31195 89874 45801 14256 149931 2611 144439 0 27683 23972 23800 75455 48741 17609 141805 2634 145838 0 23821 23351 25206 72378 51083 17902 141363 4475 235930 ann. pay. 3979861 128237 648785 693365 776101 2246488 1251713 410496 3908697 71164 4625680 177634 707280 781471 863026 2529411 1492910 493881 4516202 109478 5253631 182792 751347 855413 975278 2764830 1685502 635128 5085460 168171 5482190 163850 749504 694794 815478 2423626 2032079 885516 5341221 140969 5666394 140544 669875 725185 922695 2458299 2103654 858124 5420077 246317 235930 rec. 22944363 934190 3416727 2845798 3356524 10553239 7899638 3282170 21735047 1209316 235940 firms 1336 247 419 238 190 1094 203 32 1329 7 1509 332 467 266 193 1258 211 33 1502 7 1733 375 578 280 214 1447 235 45 1727 6 1895 346 652 303 278 1579 259 49 1887 8 1827 325 589 324 266 1504 275 41 1820 7 235940 estab. 1344 247 419 238 190 1094 205 33 1332 12 1519 332 467 266 193 1258 212 37 1507 12 1752 375 578 280 214 1447 237 49 1733 19 1923 346 652 303 278 1579 261 50 1890 33 1874 325 589 324 266 1504 277 63 1844 30 235940 empl. 18295 0 892 1608 2641 5141 7259 [h] [j] [f] 19447 0 970 1795 2652 5417 7750 5172 18339 1108 21896 0 1205 1840 2908 5953 8569 6289 20811 1085 27056 0 1350 2036 3840 7226 10057 [i] [j] [h] 26911 0 1307 2178 3655 7140 10559 5813 23512 3399 235940 ann. pay. 638416 14647 25204 44602 85942 170395 256074 (D) (D) (D) 702996 17206 29875 50084 91253 188418 280981 180491 649890 53106 808738 19178 35498 51907 97743 204326 308302 241776 754404 54334 953062 22468 39949 61714 131388 255519 394968 (D) (D) (D) 950062 21836 41550 66230 125301 254917 395478 225721 876116 73946 235940 rec. 3448827 128235 239915 253445 444550 1066145 1262895 876561 3205601 243226 235950 firms 3294 417 1094 599 563 2673 510 79 3262 32 3582 623 1143 633 543 2942 531 77 3550 32 4026 686 1372 686 613 3357 542 94 3993 33 3840 628 1441 710 502 3281 449 76 3806 34 3135 444 1095 619 459 2617 432 56 3105 30 235950 estab. 4065 417 1094 599 566 2676 531 86 3293 772 4374 623 1143 633 545 2944 557 82 3583 791 4820 686 1372 687 614 3359 566 98 4023 797 4600 628 1441 710 505 3284 472 80 3836 764 3912 444 1095 619 462 2620 465 67 3152 760 235950 empl. 72618 0 2453 3985 7626 14064 19871 10847 44782 27836 73371 0 2578 4258 7387 14223 20551 9684 44458 28913 80929 0 2951 4627 8413 15991 21041 12754 49786 31143 72616 0 3067 4723 6783 14573 16722 9488 40783 31833 66532 0 2469 4183 6183 12835 16569 6848 36252 30280 235950 ann. pay. 3198473 20557 75501 124068 273052 493178 827900 488215 1809293 1389180 3472586 27633 81084 140804 291665 541186 880928 472706 1894820 1577766 3859624 30798 88951 148159 330141 598049 915537 581157 2094743 1764881 3543120 31986 88232 159819 261397 541434 758824 449118 1749376 1793744 3448290 23617 78757 148242 245745 496361 790942 359906 1647209 1801081 235950 rec. 10416479 111882 342643 476337 767931 1698793 2142183 943817 4784793 5631686 235990 firms 29288 5151 13650 5291 3131 27223 1849 162 29234 54 31017 5739 13973 5661 3317 28690 2073 193 30956 61 33328 6227 14889 6089 3650 30855 2200 214 33269 59 31320 5716 15061 5451 3069 29297 1799 171 31267 53 27763 6290 11976 4561 2865 25692 1852 170 27714 49 235990 estab. 29510 5151 13650 5291 3142 27234 1889 192 29315 195 31239 5739 13974 5661 3319 28693 2120 229 31042 197 33576 6228 14890 6089 3652 30859 2254 257 33370 206 31559 5716 15063 5452 3073 29304 1837 247 31388 171 28085 6294 11977 4565 2873 25709 1939 259 27907 178 235990 empl. 211398 0 29097 34713 41821 105631 64305 22571 192507 18891 229629 0 29438 37166 44123 110727 72094 26440 209261 20368 250147 0 31517 39831 48599 119947 77067 31780 228794 21353 217747 0 31584 35939 40601 108124 64137 24698 196959 20788 205384 0 25332 30114 38474 93920 66972 25290 186182 19202 235990 ann. pay. 6042557 159606 677600 842520 1138013 2817739 1931450 750274 5499463 543094 6824911 236143 715926 943242 1222833 3118144 2194227 897845 6210216 614695 7708745 232729 784715 1032225 1412747 3462416 2448088 1077137 6987641 721104 7016571 201105 805393 936440 1196615 3139553 2161281 941139 6241973 774598 6945057 233258 651979 838500 1181279 2905016 2331171 1026221 6262408 682649 235990 rec. 24723239 1464203 3496563 3269729 3994243 12224738 7252011 2951671 22428420 2294819 311111 firms 131 9 33 15 15 72 27 16 115 16 136 20 32 15 13 80 27 13 120 16 138 17 33 18 14 82 27 14 123 15 150 19 44 20 14 97 25 13 135 15 157 18 52 14 17 101 28 15 144 13 311111 estab. 201 9 33 15 15 72 30 22 124 77 203 20 32 15 13 80 28 16 124 79 202 17 33 18 14 82 28 16 126 76 214 19 44 20 14 97 25 18 140 74 222 18 52 14 17 101 32 25 158 64 311111 empl. 15592 0 70 94 217 381 1133 2324 3838 11754 15525 0 65 103 185 353 1251 1786 3390 12135 15760 0 68 124 178 370 1334 1978 3682 12078 15042 0 103 138 213 454 1182 2068 3704 11338 13491 0 113 94 243 450 1219 2643 4312 9179 311111 ann. pay. 569139 664 1258 1664 4901 8487 36158 85376 130021 439118 583194 1442 1059 2280 3881 8662 37556 80687 126905 456289 611022 543 1017 2077 5015 8652 38124 91482 138258 472764 589683 3089 1947 3754 5347 14137 37357 99160 150654 439029 590354 895 2599 2077 7206 12777 42415 116389 171581 418773 311111 rec. 9894674 10387 31877 26451 77623 146338 397102 1148015 1691455 8203219 311119 firms 962 48 197 199 197 641 210 53 904 58 978 55 207 208 180 650 212 56 918 60 998 44 226 192 191 653 219 58 930 68 1031 49 251 188 192 680 226 65 971 60 1032 61 243 191 187 682 224 68 974 58 311119 estab. 1511 48 197 199 198 642 242 143 1027 484 1508 55 207 208 183 653 245 136 1034 474 1508 44 226 192 194 656 250 139 1045 463 1565 49 251 188 196 684 261 144 1089 476 1561 61 243 192 190 686 267 144 1097 464 311119 empl. 33492 0 485 1332 2599 4416 7312 4941 16669 16823 34859 0 507 1370 2370 4247 7596 5572 17415 17444 35041 0 540 1278 2525 4343 7702 5019 17064 17977 34193 0 587 1228 2532 4347 7988 5777 18112 16081 33521 0 595 1242 2530 4367 7914 5663 17944 15577 311119 ann. pay. 1050919 15314 10351 32225 68401 126291 225604 150698 502593 548326 1141602 8205 10588 32977 70875 122645 243823 188188 554656 586946 1125872 2300 11757 31626 71377 117060 256212 167154 540426 585446 1174397 3868 15919 31067 68692 119546 283571 207009 610126 564271 1197504 44622 15177 34189 75371 169359 271528 206979 647866 549638 311119 rec. 19196816 727417 195274 384854 877157 2184702 3119469 3182362 8486533 10710283 311211 firms 248 10 65 44 40 159 48 20 227 21 250 17 64 45 34 160 50 19 229 21 254 20 54 54 29 157 54 24 235 19 258 21 61 49 35 166 49 24 239 19 219 16 47 30 37 130 49 24 203 16 311211 estab. 373 10 65 44 40 159 53 45 257 116 377 17 64 45 34 160 54 48 262 115 393 20 54 54 29 157 59 58 274 119 395 21 61 49 35 166 53 58 277 118 346 16 47 30 38 131 51 59 241 105 311211 empl. 13333 [a] [c] 291 531 977 1673 2739 5389 7944 13741 0 164 300 481 945 1807 2971 5723 8018 13392 [a] [c] 349 392 873 1849 3409 6131 7261 13279 0 152 320 472 944 1744 3777 6465 6814 12267 [a] [c] 192 491 799 1776 3299 5874 6393 311211 ann. pay. 489610 (D) (D) 4633 13645 24040 48246 104448 176734 312876 485495 1463 3136 5046 12846 22491 53215 104100 179806 305689 486032 (D) (D) 6525 9582 20147 55981 130852 206980 279052 468844 1878 2792 7308 10940 22918 55418 135516 213852 254992 463015 (D) (D) 4066 12041 20047 59623 128623 208293 254722 311211 rec. 6722479 (D) (D) 59674 134767 (D) 630469 1404172 2279907 4442572 311212 firms 52 1 7 7 6 21 18 6 45 7 54 3 7 6 4 20 21 6 47 7 54 2 5 6 8 21 19 7 47 7 56 4 6 9 6 25 17 7 49 7 60 2 13 8 7 30 16 7 53 7 311212 estab. 64 1 7 7 6 21 20 7 48 16 64 3 7 6 4 20 23 8 51 13 64 2 5 6 8 21 20 10 51 13 65 4 6 9 6 25 18 10 53 12 72 2 13 10 7 32 17 10 59 13 311212 empl. 3986 [a] [a] [b] 74 [c] [f] [g] 1927 2059 4059 0 [a] [b] 55 116 [f] [f] 1871 2188 4086 [a] [a] [b] [c] [c] [f] 1110 2047 2039 3831 [a] [a] 62 [b] [c] [f] 920 1821 2010 4172 [a] [b] 62 103 [c] [f] [f] 1807 2365 311212 ann. pay. 125693 (D) (D) (D) 3284 (D) (D) (D) 60863 64830 119041 82 (D) (D) 1480 4434 (D) (D) 55042 63999 123910 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 31324 59034 64876 121465 (D) (D) 2109 (D) (D) (D) 28378 56742 64723 130336 (D) (D) 2237 4279 (D) (D) (D) 60185 70151 311212 rec. 1708084 (D) (D) 31584 42157 (D) (D) (D) 711747 996337 311213 firms 19 2 6 1 0 9 2 3 14 5 21 4 7 1 0 12 3 2 17 4 19 0 8 1 1 10 2 3 15 4 18 2 6 0 1 9 2 3 14 4 17 1 7 0 0 8 2 2 12 5 311213 estab. 32 2 6 1 0 9 2 7 18 14 36 4 7 1 0 12 3 8 23 13 34 0 8 1 1 10 2 9 21 13 32 2 6 0 1 9 2 5 16 16 29 1 7 0 0 8 2 4 14 15 311213 empl. 1041 [a] [a] [a] 0 [b] [b] [e] 504 537 1120 0 [a] [a] 0 18 [c] [e] 559 561 1134 0 [a] [a] [a] [b] [b] 444 578 556 1096 [a] [a] 0 [a] [b] [c] 205 339 757 893 [a] [a] 0 0 [a] [b] [c] 292 601 311213 ann. pay. 43453 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 21409 22044 47770 79 (D) (D) 0 344 (D) (D) 23295 24475 48404 0 (D) (D) (D) (D) (D) 20487 23908 24496 48987 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 10414 13818 35169 43411 (D) (D) 0 0 (D) (D) (D) 12712 30699 311213 rec. 481675 (D) (D) 0 0 (D) (D) (D) 133387 348288 311221 firms 33 2 6 4 3 15 3 3 21 12 31 1 6 3 1 11 6 2 19 12 33 0 6 5 1 12 7 3 22 11 33 0 5 6 1 12 7 3 22 11 30 1 6 5 1 13 5 2 20 10 311221 estab. 59 2 6 4 3 15 5 5 25 34 58 1 6 3 1 11 8 4 23 35 61 0 6 5 1 12 10 5 27 34 61 0 5 6 1 12 10 5 27 34 58 1 6 5 1 13 5 4 22 36 311221 empl. 9272 [a] [b] [b] [b] [b] 150 [f] 969 8303 9610 [a] [a] [a] [a] [b] 268 [f] 949 8661 9817 0 [a] 30 [a] 54 361 722 1137 8680 9394 0 [a] [b] [a] 68 376 715 1159 8235 9087 [a] [a] [b] [a] [b] 175 [f] 818 8269 311221 ann. pay. 421481 (D) (D) (D) (D) (D) 5233 (D) 41467 380014 437568 (D) (D) (D) (D) (D) 9795 (D) 42772 394796 470047 0 (D) 561 (D) 1419 12493 36530 50442 419605 465923 0 (D) (D) (D) 2031 12520 35822 50373 415550 499399 (D) (D) (D) (D) (D) 7554 (D) 40595 458804 311221 rec. 8216050 (D) (D) (D) (D) (D) 66451 (D) 353340 7862710 311222 firms 49 1 14 8 5 28 6 5 39 10 49 4 9 10 5 28 7 4 39 10 47 2 10 9 8 29 3 5 37 10 53 6 8 10 7 31 5 6 42 11 51 3 6 10 10 29 6 5 40 11 311222 estab. 96 1 14 8 5 28 6 7 41 55 102 4 9 10 5 28 7 6 41 61 105 2 10 9 8 29 3 9 41 64 109 6 8 10 7 31 5 10 46 63 109 3 6 10 10 29 6 9 44 65 311222 empl. 6017 [a] [b] [b] 64 154 252 522 928 5089 6497 [a] [b] 62 [b] [c] 316 463 [f] [i] 6381 [a] [b] 62 110 197 121 470 788 5593 6367 0 22 60 86 168 158 609 935 5432 6139 0 12 67 125 204 204 576 984 5155 311222 ann. pay. 221920 (D) (D) (D) 1784 3621 8605 15896 28122 193798 244920 (D) (D) 1471 (D) (D) 9512 15398 (D) (D) 249676 (D) (D) 1358 3792 6102 3447 18581 28130 221546 273731 7412 772 1603 1979 11766 5314 23928 41008 232723 247004 1762 556 1229 3552 7099 5161 20849 33109 213895 311222 rec. 12944245 60581 12465 43536 103235 219817 240098 560883 1020798 11923447 311223 firms 34 2 7 1 2 12 10 6 28 6 33 3 4 2 4 13 10 6 29 4 33 1 5 4 2 12 10 7 29 4 35 2 8 2 4 16 8 6 30 5 33 0 6 3 4 13 10 5 28 5 311223 estab. 59 2 7 1 2 12 10 11 33 26 56 3 4 2 4 13 12 9 34 22 52 1 5 4 2 12 11 10 33 19 50 2 8 2 4 16 8 8 32 18 43 0 6 3 4 13 11 6 30 13 311223 empl. 3083 [a] [a] [a] [b] [b] 500 [f] 1207 1876 2201 [a] 6 [a] [b] [b] 523 [f] [g] [g] 2296 [a] [a] 31 [b] 73 560 506 1139 1157 2069 [a] [a] [a] [b] 91 473 396 960 1109 1823 0 [a] [b] [b] [b] 567 [e] 1001 822 311223 ann. pay. 91871 (D) (D) (D) (D) (D) 15732 (D) 32812 59059 66550 (D) 218 (D) (D) (D) 17007 (D) (D) (D) 72625 (D) (D) 506 (D) 1704 18438 14787 34929 37696 70306 (D) (D) (D) (D) 3297 17560 13045 33902 36404 64433 0 (D) (D) (D) (D) 21577 (D) 35018 29415 311223 rec. 1355737 0 (D) (D) (D) (D) 353567 (D) 588646 767091 311225 firms 87 8 12 17 7 44 15 8 67 20 92 2 14 20 8 44 19 8 71 21 92 7 16 16 8 47 18 7 72 20 91 7 19 15 7 48 20 5 73 18 75 5 9 14 7 35 16 7 58 17 311225 estab. 140 8 12 17 7 44 19 8 71 69 136 2 14 20 8 44 23 8 75 61 139 7 16 16 8 47 24 7 78 61 140 7 19 15 7 48 26 5 79 61 114 5 9 14 7 35 20 7 62 52 311225 empl. 9526 [a] [b] 109 89 228 690 806 1724 7802 9388 [a] [b] 127 117 279 813 904 1996 7392 9163 [a] [b] 110 117 264 840 709 1813 7350 8735 [a] [b] 102 101 249 972 568 1789 6946 7201 0 18 95 101 214 757 703 1674 5527 311225 ann. pay. 342473 (D) (D) 2206 2120 6143 25380 24035 55558 286915 318600 (D) (D) 2529 2354 5627 30037 22022 57686 260914 318997 (D) (D) 2683 2145 6455 34406 21927 62788 256209 329119 (D) (D) 2222 2272 6933 37839 20630 65402 263717 273859 1325 375 2230 2574 6504 31395 29873 67772 206087 311225 rec. 6275014 21223 6040 32141 36532 95936 576455 464590 1136981 5138033 311230 firms 48 2 10 4 4 20 6 9 35 13 48 1 12 3 7 23 4 9 36 12 43 2 8 4 4 18 8 8 34 9 43 3 7 4 5 19 5 9 33 10 41 1 6 6 4 17 6 7 30 11 311230 estab. 67 2 10 4 4 20 6 9 35 32 68 1 12 3 7 23 4 9 36 32 65 2 8 4 4 18 8 8 34 31 64 3 7 4 5 19 5 9 33 31 61 1 6 6 4 17 6 7 30 31 311230 empl. 13040 [a] [b] 25 59 105 224 1725 2054 10986 14056 [a] [b] 21 104 155 155 1737 2047 12009 13584 [a] [a] 23 59 101 267 1662 2030 11554 12872 [a] [a] 23 83 121 189 1664 1974 10898 12949 [a] [a] 38 65 120 231 1396 1747 11202 311230 ann. pay. 633727 (D) (D) 398 2023 2891 6362 50037 59290 574437 711854 (D) (D) 577 4450 5769 4498 52930 63197 648657 690579 (D) (D) 481 1921 2833 8463 47082 58378 632201 690946 (D) (D) 906 3344 7088 6573 50533 64194 626752 701096 (D) (D) 1241 863 2428 8708 45328 56464 644632 311230 rec. 9405412 (D) (D) 17071 6910 (D) 170536 410422 609920 8795492 311311 firms 34 2 2 1 3 8 15 4 27 7 35 2 2 1 3 8 13 5 26 9 35 2 2 2 3 9 15 5 29 6 37 3 4 2 2 11 16 4 31 6 32 0 3 3 4 10 9 7 26 6 311311 estab. 40 2 2 1 3 8 16 6 30 10 40 2 2 1 3 8 13 7 28 12 40 2 2 2 3 9 15 7 31 9 41 3 4 2 2 11 16 6 33 8 36 0 3 3 4 10 9 9 28 8 311311 empl. 4779 [a] [a] [a] [b] [b] [f] [f] [g] [h] 6043 [a] [a] [a] [b] 52 [f] [f] [g] [h] 4801 [a] [a] [a] [b] 52 [f] [f] [g] [h] [h] [a] [a] [a] [b] [b] [f] [f] [g] [h] 5376 0 [a] [b] [b] [b] [e] [f] [g] [h] 311311 ann. pay. 156398 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 199157 (D) (D) (D) (D) 1240 (D) (D) (D) (D) 159392 (D) (D) (D) (D) 1053 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 203796 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 311311 rec. 1903451 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 311312 firms 11 0 3 1 0 4 1 2 7 4 12 1 2 1 1 5 2 1 8 4 10 1 1 1 2 5 1 1 7 3 9 2 2 0 1 5 2 0 7 2 8 0 4 0 1 5 0 1 6 2 311312 estab. 17 0 3 1 0 4 1 2 7 10 19 1 2 1 1 5 2 1 8 11 17 1 1 1 2 5 1 1 7 10 17 2 2 0 1 5 2 0 7 10 15 0 4 0 1 5 0 1 6 9 311312 empl. 4282 0 [a] [a] 0 12 [b] [e] [e] [h] 4383 [a] [a] [a] [a] [b] [b] [c] [e] [h] 3999 [a] [a] [a] [b] [b] [b] [e] [e] [h] [h] [a] [a] 0 [a] [b] [b] 0 [c] [h] 2876 0 [a] 0 [a] [a] 0 [e] [e] [h] 311312 ann. pay. 211389 0 (D) (D) 0 250 (D) (D) (D) (D) 234052 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 208518 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 0 (D) (D) 164468 0 (D) 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 311312 rec. 2531537 0 (D) 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 311313 firms 11 2 0 0 0 2 1 4 7 4 12 1 1 0 0 2 1 5 8 4 10 0 1 1 0 2 1 3 6 4 12 1 1 0 0 2 1 3 6 6 15 2 2 0 0 4 2 4 10 5 311313 estab. 38 2 0 0 0 2 1 4 7 31 39 1 1 0 0 2 1 5 8 31 37 0 1 1 0 2 1 3 6 31 36 1 1 0 0 2 1 3 6 30 39 2 2 0 0 4 2 8 14 25 311313 empl. 6937 [a] 0 0 0 [a] [b] [f] 931 6006 7273 [a] [a] 0 0 [a] [b] [g] 1255 6018 7272 0 [a] [a] 0 [a] [b] [g] 1119 6153 6534 [a] [a] 0 0 [a] [b] [f] [f] [i] 6132 [a] [a] 0 0 [a] [b] 1392 1462 4670 311313 ann. pay. 264865 (D) 0 0 0 (D) (D) (D) 42786 222079 266380 (D) (D) 0 0 (D) (D) (D) 43066 223314 271794 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 42076 229718 257302 (D) (D) 0 0 (D) (D) (D) (D) (D) 237739 (D) (D) 0 0 (D) (D) 44662 64999 172740 311313 rec. 2461180 (D) (D) 0 0 (D) (D) 478439 700205 1760975 311320 firms 145 14 34 47 19 114 15 11 140 5 141 9 39 36 28 112 15 9 136 5 146 17 39 39 23 118 14 8 140 6 155 14 47 40 30 131 12 6 149 6 120 8 44 26 17 95 12 5 112 8 311320 estab. 158 14 34 47 19 114 15 17 146 12 153 9 39 36 28 112 15 14 141 12 158 17 39 39 23 118 14 12 144 14 167 14 47 40 30 131 12 10 153 14 133 8 44 26 18 96 12 7 115 18 311320 empl. 10687 0 [b] [e] [e] [f] [f] 2277 3596 7091 9794 0 [c] [c] 366 701 627 2109 3437 6357 10012 0 96 256 321 673 543 1700 2916 7096 9908 0 [c] [e] 429 810 495 1323 2628 7280 9109 [a] [c] [c] [c] 528 522 1199 2249 6860 311320 ann. pay. 374161 115 (D) (D) (D) (D) (D) 68352 89007 285154 350487 72 (D) (D) 4635 9282 10404 68763 88449 262038 351961 743 1735 3380 4387 10245 9444 52896 72585 279376 361874 491 (D) (D) 5756 11658 9075 51857 72590 289284 367016 (D) (D) (D) (D) 10870 9813 46668 67351 299665 311320 rec. 3951877 (D) (D) (D) (D) (D) 57414 475523 639315 3312562 311330 firms 857 84 220 165 170 639 151 46 836 21 793 44 219 164 148 575 153 46 774 19 760 60 196 149 147 552 147 43 742 18 801 74 201 156 157 588 146 44 778 23 808 71 199 160 158 588 152 49 789 19 311330 estab. 935 85 222 165 177 649 176 63 888 47 874 45 220 164 153 582 179 66 827 47 837 62 196 149 154 561 163 64 788 49 873 75 201 157 163 596 159 66 821 52 873 71 199 161 164 595 164 69 828 45 311330 empl. 34286 0 510 1111 2222 3843 5349 7708 16900 17386 32903 0 494 1111 1906 3511 5441 6758 15710 17193 33222 0 476 1035 1931 3442 5189 5749 14380 18842 36005 0 458 1092 2056 3606 5161 5781 14548 21457 33429 0 468 1069 2034 3571 5378 6519 15468 17961 311330 ann. pay. 926140 1711 6762 14032 30023 52528 98589 177596 328713 597427 935217 1421 6686 13574 24190 45871 101466 165921 313258 621959 969845 7575 7943 13699 26394 55611 108485 151511 315607 654238 1013176 2348 7326 14172 29173 53019 114387 152931 320337 692839 970007 5464 7222 14449 29742 56877 113496 169840 340213 629794 311330 rec. 8975142 48556 70812 80144 154307 353819 603374 974233 1931426 7043716 311340 firms 583 62 204 122 71 459 73 34 566 17 571 67 203 103 76 449 71 35 555 16 559 70 179 108 77 434 73 37 544 15 575 64 197 106 75 442 80 34 556 19 586 54 195 124 80 453 84 32 569 17 311340 estab. 627 62 204 122 76 464 80 39 583 44 610 67 203 104 82 456 75 39 570 40 600 70 179 110 81 440 81 40 561 39 616 64 198 106 79 447 89 37 573 43 619 54 195 125 83 457 88 33 578 41 311340 empl. 25320 [a] [e] 808 887 2140 2553 6700 11393 13927 24834 0 469 692 991 2152 2705 6080 10937 13897 24800 0 396 715 1000 2111 2775 6720 11606 13194 26409 0 421 678 964 2063 2953 6736 11752 14657 24284 0 415 816 1048 2279 3185 5926 11390 12894 311340 ann. pay. 782664 (D) (D) 11733 11195 28718 60231 202097 291046 491618 781966 2144 5071 9200 13485 29900 69903 187426 287229 494737 823430 3107 7927 8737 15142 34913 75810 216100 326823 496607 875438 2773 5286 9217 16220 33496 84995 222209 340700 534738 791869 2080 6804 12338 17862 39084 86916 193175 319175 472694 311340 rec. 5642216 19548 41315 74763 76197 211823 489075 1206718 1907616 3734600 311411 firms 169 8 23 15 11 57 40 38 135 34 175 15 23 18 12 68 41 33 142 33 163 8 18 15 18 59 38 34 131 32 165 13 18 12 18 61 43 32 136 29 151 5 19 7 18 49 40 35 124 27 311411 estab. 255 8 23 15 11 57 42 52 151 104 261 15 23 19 12 69 45 44 158 103 251 8 18 15 18 59 40 47 146 105 257 13 18 12 18 61 45 46 152 105 243 5 19 7 18 49 41 52 142 101 311411 empl. 40284 [a] [b] 109 150 305 2149 7175 9629 30655 40099 0 52 124 161 337 2271 6562 9170 30929 37491 0 33 96 241 370 1902 6075 8347 29144 38941 0 32 79 249 360 2086 6961 9407 29534 35851 0 30 48 237 315 1721 6696 8732 27119 311411 ann. pay. 1027385 (D) (D) 4604 3752 11924 64001 173504 249429 777956 1048377 1120 1127 6983 3744 12974 70454 165483 248911 799466 1054166 434 798 4644 9020 14896 60832 165955 241683 812483 1097554 1444 932 3313 10202 15891 65043 188814 269748 827806 1064528 628 993 3308 9700 14629 55525 183844 253998 810530 311411 rec. 9490329 40076 9319 17694 59738 126827 449789 1503503 2080119 7410210 311412 firms 347 10 53 50 56 169 97 36 302 45 348 25 43 48 60 176 94 36 306 42 357 27 58 45 56 186 90 39 315 42 355 30 59 45 55 189 87 39 315 40 347 23 68 36 57 184 83 40 307 40 311412 estab. 401 10 54 50 56 170 97 43 310 91 401 25 44 48 60 177 94 44 315 86 409 27 59 45 56 187 90 45 322 87 408 30 60 45 55 190 87 45 322 86 401 23 68 36 57 184 83 49 316 85 311412 empl. 48184 [a] [c] 358 720 1213 3969 6721 11903 36281 50589 0 100 328 823 1251 4119 7672 13042 37547 48431 0 118 315 800 1233 3793 6902 11928 36503 47297 0 119 303 765 1187 3541 6753 11481 35816 46912 0 157 247 791 1195 3503 6601 11299 35613 311412 ann. pay. 1250581 (D) (D) 5270 13065 22856 93986 164448 281290 969291 1367259 6264 2053 4411 16622 29350 98107 187794 315251 1052008 1381358 6746 2847 6287 17634 33514 90024 189938 313476 1067882 1417519 3724 2649 5999 17618 29990 93516 199850 323356 1094163 1380140 1025 3036 5687 19271 29019 98464 199763 327246 1052894 311412 rec. 12003320 8463 23348 41811 118094 191716 705666 1319619 2217001 9786319 311421 firms 680 48 167 99 84 398 155 78 631 49 662 58 172 93 72 395 145 65 605 57 647 50 159 82 87 378 152 62 592 55 651 58 147 84 96 385 144 71 600 51 635 47 157 84 83 371 141 64 576 59 311421 estab. 845 48 167 99 84 398 160 103 661 184 829 58 172 93 72 395 149 92 636 193 813 50 159 82 87 378 158 87 623 190 810 58 147 84 96 385 150 102 637 173 781 47 157 84 83 371 144 96 611 170 311421 empl. 53037 0 355 673 1135 2163 6599 13659 22421 30616 50843 0 368 616 993 1977 6134 10601 18712 32131 51237 0 337 541 1182 2060 6386 11286 19732 31505 50637 0 332 557 1340 2229 5909 12350 20488 30149 48545 0 316 572 1191 2079 5878 11394 19351 29194 311421 ann. pay. 1839473 3636 6990 11552 31731 53909 208341 429895 692145 1147328 1880812 14836 6467 12911 27843 62057 198166 374349 634572 1246240 1998264 4268 6231 11426 35273 57198 206182 384127 647507 1350757 1955352 4810 5957 12573 38953 62293 206334 431937 700564 1254788 1989516 4084 8651 12628 36735 62098 201990 425478 689566 1299950 311421 rec. 18976193 32432 87428 105645 269219 494724 1525502 3296791 5317017 13659176 311422 firms 120 5 38 19 10 72 18 10 100 20 124 12 31 21 10 74 20 10 104 20 128 14 32 22 8 76 24 9 109 19 132 16 28 23 14 81 24 9 114 18 114 10 23 18 10 61 24 9 94 20 311422 estab. 138 5 38 19 10 72 18 11 101 37 140 12 31 21 10 74 20 11 105 35 142 14 32 22 8 76 24 10 110 32 148 16 28 23 14 81 24 11 116 32 128 10 23 18 10 61 24 11 96 32 311422 empl. 15746 0 85 123 151 359 834 1890 3083 12663 16789 0 70 145 146 361 905 1957 3223 13566 16778 0 72 143 111 326 1025 2055 3406 13372 16707 0 67 153 198 418 1016 1906 3340 13367 14767 0 59 114 128 301 1025 1998 3324 11443 311422 ann. pay. 535480 96 2353 1618 3149 7216 24545 57334 89095 446385 549236 1546 1476 2379 3364 8765 21871 55609 86245 462991 539773 7472 1438 2214 2151 13275 25582 60202 99059 440714 538438 1106 1549 2052 3362 8069 31115 57880 97064 441374 559573 1058 1200 1840 2714 6812 32623 73084 112519 447054 311422 rec. 9135795 17125 16013 25700 33688 92526 296976 587547 977049 8158746 311423 firms 140 14 28 16 15 73 26 25 124 16 145 12 29 13 20 74 30 22 126 19 150 21 31 8 22 82 29 23 134 16 149 13 35 13 18 79 32 22 133 16 131 10 25 13 18 66 30 16 112 19 311423 estab. 169 14 28 16 15 73 26 41 140 29 174 12 29 13 20 74 40 28 142 32 181 21 31 8 22 82 38 32 152 29 181 13 35 13 19 80 32 40 152 29 168 10 25 13 18 66 43 22 131 37 311423 empl. 13226 0 57 110 217 384 1225 4863 6472 6754 13183 0 68 89 292 449 1460 4181 6090 7093 12713 0 79 57 302 438 1436 4142 6016 6697 11813 0 86 90 245 421 1382 3792 5595 6218 12830 0 53 95 236 384 1470 2848 4702 8128 311423 ann. pay. 390658 6011 813 2123 5339 14286 31358 134752 180396 210262 403062 1220 1100 1343 6653 10316 41461 112111 163888 239174 406035 1245 1266 987 7519 11017 41730 116586 169333 236702 376612 3386 1652 1466 6251 12755 39106 114872 166733 209879 411984 932 1489 2174 5404 9999 43994 90270 144263 267721 311423 rec. 3941503 7515 12426 14140 41626 75707 334368 1139770 1549845 2391658 311511 firms 375 13 59 44 37 153 96 59 308 67 358 12 58 42 44 156 91 58 305 53 344 12 66 35 32 145 91 55 291 53 349 14 66 35 43 158 84 52 294 55 317 6 58 30 35 129 81 51 261 56 311511 estab. 608 13 59 44 37 153 99 72 324 284 598 12 58 42 44 156 95 70 321 277 576 12 66 35 32 145 92 70 307 269 578 14 66 35 43 158 89 62 309 269 537 6 58 30 35 129 85 59 273 264 311511 empl. 57520 0 [c] 312 [f] 957 4124 9771 14852 42668 57346 0 126 274 594 994 3931 9716 14641 42705 56944 0 152 235 424 811 3785 8843 13439 43505 57087 0 156 236 612 1004 3545 8611 13160 43927 56617 0 137 198 490 825 3256 8897 12978 43639 311511 ann. pay. 1948035 2677 (D) 5856 (D) 25164 117966 333504 476634 1471401 2049930 1056 2854 5256 13661 22827 119912 367847 510586 1539344 2175171 709 3323 4906 9649 18587 120121 338697 477405 1697766 2225826 705 3449 5110 14332 23596 111832 352005 487433 1738393 2267772 64 3968 4571 12062 20665 104606 363442 488713 1779059 311511 rec. 25566516 860 48350 52184 114772 216166 1138700 3194479 4549345 21017171 311512 firms 29 2 2 3 7 14 6 4 24 5 29 2 5 0 7 14 6 4 24 5 30 0 7 1 6 14 6 4 24 6 32 3 6 3 4 16 6 3 25 7 28 2 6 3 2 13 6 3 22 6 311512 estab. 33 2 2 3 7 14 6 4 24 9 32 2 5 0 7 14 6 4 24 8 33 0 7 1 6 14 6 5 25 8 36 3 6 3 4 16 6 3 25 11 30 2 6 3 2 13 6 3 22 8 311512 empl. 1617 [a] [a] [b] [b] 122 314 554 990 627 1597 [a] [a] 0 107 122 293 491 906 691 1649 0 [a] [a] 94 118 272 614 1004 645 1748 0 15 19 57 91 234 496 821 927 1604 [a] [a] 19 [b] 57 238 531 826 778 311512 ann. pay. 60131 (D) (D) (D) (D) 3366 15631 19067 38064 22067 58474 (D) (D) 0 2936 3161 12691 18678 34530 23944 62729 0 (D) (D) 2680 3098 7628 27340 38066 24663 64112 75 189 243 2740 3247 6096 20493 29836 34276 60143 (D) (D) 235 (D) 1751 7190 22381 31322 28821 311512 rec. 1361251 (D) (D) 8515 (D) (D) 141041 425112 609955 751296 311513 firms 405 21 66 62 60 209 128 36 373 32 398 21 64 57 59 201 131 37 369 29 392 21 62 55 59 197 126 40 363 29 404 24 70 54 63 211 119 43 373 31 386 20 65 57 57 199 119 38 356 30 311513 estab. 538 21 66 62 60 209 133 47 389 149 533 21 64 57 59 201 135 54 390 143 527 21 62 55 59 197 134 55 386 141 536 24 70 54 63 211 127 55 393 143 522 20 65 57 57 199 124 50 373 149 311513 empl. 36215 0 144 399 840 1383 5661 6131 13175 23040 36541 0 148 376 822 1346 6169 6681 14196 22345 37300 0 131 372 843 1346 5854 7253 14453 22847 38559 0 159 363 896 1418 5632 7344 14394 24165 37636 0 145 392 811 1348 5307 5926 12581 25055 311513 ann. pay. 1037347 2299 2640 8913 20724 34576 143415 187269 365260 672087 1132077 11661 2837 8021 22436 44955 154824 212695 412474 719603 1219318 893 2470 7901 21435 32699 158983 252656 444338 774980 1266821 8206 3576 6691 23755 42228 154400 245945 442573 824248 1265928 1100 3107 8498 21567 34272 161398 209283 404953 860975 311513 rec. 21853334 19849 51755 134598 309200 515402 2048432 3505340 6069174 15784160 311514 firms 170 10 31 17 26 84 39 23 146 24 172 12 30 17 21 80 43 23 146 26 169 14 33 14 19 80 42 19 141 28 171 12 33 17 23 85 37 19 141 30 160 20 19 18 16 73 35 19 127 33 311514 estab. 216 10 31 17 26 84 42 33 159 57 218 12 30 17 21 80 46 34 160 58 214 14 33 14 19 80 45 29 154 60 215 12 33 17 23 85 39 29 153 62 207 20 19 18 16 73 36 28 137 70 311514 empl. 15714 [a] [b] [c] 336 523 1553 2573 4649 11065 16253 [a] [b] 123 275 471 1773 2920 5164 11089 16108 0 [b] [b] 250 437 1783 2696 4916 11192 14899 0 77 114 288 479 1536 2696 4711 10188 14312 [a] [b] 131 [c] 383 1328 2136 3847 10465 311514 ann. pay. 616750 (D) (D) (D) 17260 23723 47930 84018 155671 461079 679703 (D) (D) 3637 12176 19200 54662 104142 178004 501699 713174 1827 (D) (D) 9468 16874 66267 94413 177554 535620 609491 731 2517 4399 13980 21627 57409 92189 171225 438266 623028 (D) (D) 4204 (D) 15748 51217 77207 144172 478856 311514 rec. 9678570 (D) (D) 33547 (D) (D) 520112 1062787 1697557 7981013 311520 firms 401 60 95 62 59 276 61 25 362 39 380 58 84 64 54 260 68 18 346 34 380 56 92 58 61 267 60 20 347 33 373 47 96 69 51 263 64 16 343 30 364 60 98 45 55 258 61 19 338 26 311520 estab. 444 60 95 62 59 276 64 27 367 77 425 58 84 64 54 260 71 18 349 76 419 56 92 58 61 267 63 20 350 69 409 47 96 69 51 263 67 17 347 62 401 60 98 45 55 258 64 21 343 58 311520 empl. 20415 0 206 421 783 1410 2197 3079 6686 13729 20374 0 188 417 734 1339 2418 2044 5801 14573 20016 0 192 382 772 1346 2233 2543 6122 13894 19506 0 233 464 673 1370 2539 2529 6438 13068 19105 0 207 303 765 1275 2269 3248 6792 12313 311520 ann. pay. 643615 7939 3790 7061 16341 35131 51181 89921 176233 467382 635448 2254 3008 6651 15768 27681 58581 59568 145830 489618 659263 5316 4282 6372 16551 32521 54324 73040 159885 499378 657282 2091 5570 9013 15061 31735 66600 78396 176731 480551 642921 2389 5355 5942 16280 29966 59310 86549 175825 467096 311520 rec. 7076979 25130 58350 56370 136972 276822 401921 615316 1294059 5782920 311611 firms 2061 160 879 417 276 1732 203 72 2007 54 2073 227 812 415 277 1731 215 74 2020 53 1990 200 808 413 251 1672 194 74 1940 50 2014 215 807 426 235 1683 210 77 1970 44 1728 164 666 389 197 1416 202 71 1689 39 311611 estab. 2151 160 879 417 276 1732 210 76 2018 133 2159 227 812 415 277 1731 219 79 2029 130 2079 200 808 414 251 1673 196 81 1950 129 2111 215 807 428 235 1685 212 86 1983 128 1816 164 666 390 198 1418 203 78 1699 117 311611 empl. 146305 0 2028 2729 3694 8451 8932 11135 28518 117787 150882 0 1884 2701 3649 8234 9113 11789 29136 121746 152454 0 1872 2688 3419 7979 8555 12692 29226 123228 155827 0 1898 2768 3200 7866 8935 13635 30436 125391 148551 0 1598 2542 2665 6805 8367 11894 27066 121485 311611 ann. pay. 3529468 6881 28081 36504 59912 131378 189868 274678 595924 2933544 3809887 22453 25848 35944 59970 144215 205029 303933 653177 3156710 4053398 36996 28398 36330 60075 161799 200126 329994 691919 3361479 4130212 12325 30607 45102 58186 146220 209408 368479 724107 3406105 4016002 6851 25014 40362 52193 124420 212843 353780 691043 3324959 311611 rec. 55774606 91417 308328 495826 539361 1434932 1913696 4120875 7469503 48305103 311612 firms 1147 57 224 166 178 625 313 137 1075 72 1128 61 218 168 171 618 305 136 1059 69 1108 46 227 165 164 602 304 135 1041 67 1108 67 224 154 161 606 302 132 1040 68 1142 59 254 173 157 643 301 129 1073 69 311612 estab. 1289 57 224 166 178 625 323 166 1114 175 1273 61 218 168 171 618 314 160 1092 181 1252 46 227 165 165 603 310 157 1070 182 1247 67 224 154 161 606 311 148 1065 182 1286 59 254 173 157 643 313 147 1103 183 311612 empl. 91138 0 534 1099 2514 4147 13542 23594 41283 49855 92561 0 514 1124 2361 3999 13219 22934 40152 52409 96713 0 514 1103 2286 3903 13370 22691 39964 56749 96738 0 515 1023 2177 3715 13296 20434 37445 59293 100273 0 571 1156 2137 3864 12388 21313 37565 62708 311612 ann. pay. 2599702 14601 10102 27544 58527 110774 389571 688002 1188347 1411355 2700790 9903 11236 22422 55199 98760 390421 681980 1171161 1529629 2844629 6046 10969 23840 57169 98024 386839 677979 1162842 1681787 2860850 8984 12388 23870 57053 102295 385080 614583 1101958 1758892 3026041 19283 12723 27074 57021 116101 387288 698647 1202036 1824005 311612 rec. 26974525 112912 119580 285655 519400 1037547 3305833 5594043 9937423 17037102 311613 firms 131 6 14 13 25 58 40 8 106 25 122 2 21 10 18 51 40 6 97 25 124 4 20 11 17 52 39 6 97 27 122 5 19 13 19 56 33 7 96 26 116 4 17 13 15 49 36 10 95 21 311613 estab. 237 6 14 14 25 59 46 20 125 112 223 2 21 10 18 51 49 17 117 106 227 4 20 11 17 52 50 16 118 109 228 5 19 13 19 56 43 14 113 115 222 4 17 13 15 49 48 16 113 109 311613 empl. 8886 0 31 87 321 439 1347 1095 2881 6005 8238 [a] [b] 73 249 374 1381 909 2664 5574 8556 0 43 76 235 354 1372 909 2635 5921 8304 0 51 92 280 423 1136 676 2235 6069 9093 0 39 88 219 346 1189 907 2442 6651 311613 ann. pay. 280192 162 647 2500 8704 12013 45202 34647 91862 188330 256889 (D) (D) 2316 6263 9549 45972 29095 84616 172273 275421 151 1345 2060 6610 10166 49098 28704 87968 187453 280144 116 1659 2423 8657 12855 42047 22663 77565 202579 316196 244 1368 2433 6306 10351 46638 36980 93969 222227 311613 rec. 2145863 2040 8800 15186 32662 58688 350340 262695 671723 1474140 311615 firms 252 16 29 21 21 87 49 57 193 59 255 22 27 26 17 92 49 50 191 64 257 18 35 21 20 94 44 49 187 70 271 21 42 21 28 112 47 46 205 66 270 25 43 19 25 112 50 46 208 62 311615 estab. 467 16 29 21 21 87 49 64 200 267 474 22 27 26 17 92 49 55 196 278 474 18 35 21 20 94 44 54 192 282 488 21 42 21 28 112 47 49 208 280 481 25 43 19 25 112 50 48 210 271 311615 empl. 222600 0 62 138 278 478 2164 11537 14179 208421 231456 [a] [b] 173 211 456 2317 10865 13638 217818 233388 0 74 134 257 465 1850 9084 11399 221989 235308 0 87 138 380 605 2031 9025 11661 223647 237813 0 87 126 321 534 2151 9598 12283 225530 311615 ann. pay. 4304158 415 1401 1789 6542 10147 41785 234331 286263 4017895 4663532 (D) (D) 2982 7424 22752 44895 242370 310017 4353515 4655791 2220 2186 2271 7507 14184 38223 206702 259109 4396682 4901202 3810 2859 2393 13233 22295 47302 204413 274010 4627192 5032901 958 2135 2696 11143 16932 44920 228199 290051 4742850 311615 rec. 36628858 6946 15993 19255 86606 128800 414450 1420292 1963542 34665316 311711 firms 153 20 42 23 24 109 25 9 143 10 159 24 45 27 22 118 22 12 152 7 167 31 47 27 15 120 30 10 160 7 157 16 53 28 17 114 25 9 148 9 131 23 31 20 15 89 21 14 124 7 311711 estab. 168 20 42 23 24 109 26 13 148 20 172 24 45 27 22 118 22 18 158 14 181 31 47 27 15 120 30 16 166 15 170 16 53 28 17 114 25 10 149 21 140 23 31 20 15 89 21 17 127 13 311711 empl. 5109 [a] [b] 151 328 575 1120 1582 3277 1832 4270 0 98 190 300 588 909 1821 3318 952 4827 0 90 179 191 460 1212 1751 3423 1404 4281 0 113 183 232 528 1039 1117 2684 1597 3888 0 75 131 189 395 873 1761 3029 859 311711 ann. pay. 132462 (D) (D) 4559 8450 16726 25283 45038 87047 45415 133026 1426 4578 3827 8715 18546 20540 60813 99899 33127 146094 2046 4320 4340 4244 14950 29055 60872 104877 41217 143108 1585 4724 4652 8107 19068 39077 39631 97776 45332 131492 1676 2472 4372 4633 13153 22661 63101 98915 32577 311711 rec. 1178688 14974 31277 28589 39652 114492 155019 402029 671540 507148 311712 firms 572 57 107 82 76 322 168 53 543 29 578 60 108 83 72 323 164 66 553 25 582 63 127 83 67 340 152 66 558 24 561 60 116 92 65 333 143 61 537 24 520 62 95 73 73 303 131 64 498 22 311712 estab. 671 57 107 82 76 322 184 77 583 88 670 60 108 83 72 323 176 94 593 77 673 63 127 83 68 341 163 98 602 71 653 60 116 93 65 334 153 100 587 66 614 62 95 78 74 309 142 99 550 64 311712 empl. 38700 [a] [c] 518 1025 1774 7638 8371 17783 20917 38264 0 244 544 934 1722 7520 11763 21005 17259 36943 0 283 554 898 1735 7034 11647 20416 16527 35574 0 270 607 893 1770 6487 12175 20432 15142 34775 0 206 466 1010 1682 5876 12428 19986 14789 311712 ann. pay. 823938 (D) (D) 16998 25682 59609 164494 187894 411997 411941 855775 5988 10346 13905 21427 51666 166930 284542 503138 352637 924479 5124 9632 13501 28974 57231 169028 312768 539027 385452 914629 7063 10394 16690 28480 62627 162625 352712 577964 336665 961008 5206 11587 15616 28533 60942 160335 350325 571602 389406 311712 rec. 7668467 38989 115427 122906 316465 593787 1240966 2698939 4533692 3134775 311811 firms 7384 753 2939 1662 1275 6629 683 55 7367 17 6578 608 2802 1471 1071 5952 566 50 6568 10 6288 565 2590 1419 1056 5630 593 53 6276 12 6232 554 2596 1369 1044 5563 605 53 6221 11 6349 607 2569 1403 1078 5657 624 53 6334 15 311811 estab. 7673 758 2942 1667 1305 6672 816 134 7622 51 6780 609 2805 1478 1089 5981 638 122 6741 39 6499 565 2594 1426 1080 5665 654 134 6453 46 6445 554 2600 1378 1062 5594 688 115 6397 48 6562 608 2573 1408 1099 5688 703 140 6531 31 311811 empl. 58638 0 6686 11018 17132 34836 20164 2991 57991 647 50929 0 6423 9766 14196 30385 16446 3245 50076 853 53133 0 5910 9430 14134 29474 18097 4709 52280 853 54001 0 5994 9122 14047 29163 18750 4983 52896 1105 54723 0 6009 9266 14619 29894 19547 4248 53689 1034 311811 ann. pay. 694167 16289 72230 114882 188845 392246 247936 43834 684016 10151 643974 32368 73835 106858 160605 373666 206404 49790 629860 14114 758786 25447 76203 116059 175057 392766 263933 90014 746713 12073 870147 57998 83880 118677 188018 448573 293491 109032 851096 19051 927358 40347 79724 118542 207394 446007 345581 88713 880301 47057 311811 rec. 3267038 221017 279440 388269 681510 1570236 1105874 303286 2979396 287642 311812 firms 2391 212 599 392 414 1617 533 145 2295 96 2358 241 582 394 379 1596 533 143 2272 86 2445 287 627 411 373 1698 526 136 2360 85 2641 374 683 442 383 1882 544 129 2555 86 2298 288 574 377 338 1577 504 138 2219 79 311812 estab. 2765 212 599 393 415 1619 556 165 2340 425 2729 242 582 395 382 1601 545 175 2321 408 2809 288 628 412 373 1701 534 176 2411 398 3003 375 683 444 383 1885 551 167 2603 400 2652 288 574 379 338 1579 523 179 2281 371 311812 empl. 156451 [a] [g] 2645 5663 9718 21462 22487 53667 102784 150148 0 1422 2655 5206 9283 20983 23326 53592 96556 153551 0 1474 2802 5152 9428 21111 23675 54214 99337 159480 0 1567 2963 5258 9788 21875 22025 53688 105792 149818 0 1370 2476 4682 8528 20262 23130 51920 97898 311812 ann. pay. 4564534 (D) (D) 35286 83710 148477 415444 623096 1187017 3377517 4650857 15741 24318 53380 77226 170665 431942 666208 1268815 3382042 5093022 17430 25438 43603 79800 166271 477085 692085 1335441 3757581 5184560 21449 27394 48991 91380 189214 489070 686870 1365154 3819406 4995786 31138 22662 43140 82685 179625 483295 725324 1388244 3607542 311812 rec. 23991833 205942 95888 172602 316046 790478 1765498 2696568 5252544 18739289 311813 firms 221 15 37 22 40 114 56 26 196 25 216 13 45 21 36 115 50 28 193 23 216 11 45 27 23 106 53 31 190 26 212 13 44 24 26 107 55 26 188 24 185 9 30 22 21 82 50 27 159 26 311813 estab. 242 15 37 22 40 114 56 31 201 41 233 13 45 21 36 115 50 31 196 37 232 11 45 27 23 106 53 33 192 40 231 13 44 24 26 107 55 29 191 40 206 9 30 22 21 82 51 30 163 43 311813 empl. 15488 [a] [b] 144 586 814 2430 3681 6925 8563 15473 0 88 134 509 731 2301 4322 7354 8119 16737 0 102 183 334 619 2237 4873 7729 9008 15945 0 96 169 334 599 2442 4472 7513 8432 15755 0 72 147 305 524 2112 4850 7486 8269 311813 ann. pay. 425852 (D) (D) 2306 11620 17329 51410 95669 164408 261444 450746 816 2447 2767 11505 17535 54343 112314 184192 266554 492600 450 2289 3916 8176 14831 47744 144664 207239 285361 505650 3364 1938 4080 7735 17117 57587 129578 204282 301368 498646 268 2411 4679 5983 13341 58017 142063 213421 285225 311813 rec. 3083688 2078 13961 25795 43759 85593 302552 802191 1190336 1893352 311821 firms 349 34 92 43 51 220 72 28 320 29 345 39 74 47 53 213 74 29 316 29 337 24 83 52 50 209 74 27 310 27 339 37 86 46 49 218 69 25 312 27 302 30 77 35 42 184 67 26 277 25 311821 estab. 411 34 92 43 51 220 77 33 330 81 401 39 74 47 53 213 75 30 318 83 389 24 83 52 50 209 75 28 312 77 395 37 86 46 49 218 70 26 314 81 356 30 77 35 42 184 68 27 279 77 311821 empl. 41505 0 186 298 745 1229 3010 4182 8421 33084 37857 0 165 313 739 1217 3030 4571 8818 29039 36723 0 192 354 711 1257 3168 4567 8992 27731 35736 0 185 313 679 1177 2997 4491 8665 27071 35681 0 182 237 587 1006 2995 4609 8610 27071 311821 ann. pay. 1341619 1615 2821 3982 10451 18869 73872 117036 209777 1131842 1269192 873 2320 4163 11476 18832 73888 140090 232810 1036382 1274771 698 3045 5161 11594 20498 78844 132990 232332 1042439 1245383 3049 4298 4851 10936 23134 73348 133849 230331 1015052 1242975 1453 3415 3799 11585 20252 82871 133678 236801 1006174 311821 rec. 10723038 12463 29481 34576 84724 161244 389198 614239 1164681 9558357 311822 firms 204 16 42 26 24 108 49 19 176 28 198 11 47 25 24 107 45 16 168 30 187 15 36 27 23 101 41 16 158 29 194 12 44 21 27 104 47 14 165 29 173 9 39 16 21 85 45 17 147 26 311822 estab. 250 16 42 26 24 108 51 25 184 66 247 11 47 25 24 107 47 24 178 69 237 15 36 27 23 101 41 26 168 69 242 12 44 21 27 104 49 23 176 66 225 9 39 16 21 85 47 29 161 64 311822 empl. 15423 0 107 183 358 648 1852 2415 4915 10508 15854 0 106 175 329 610 1747 2433 4790 11064 15790 0 80 199 341 620 1549 2117 4286 11504 15406 0 100 162 369 631 1935 2115 4681 10725 15621 0 96 109 282 487 1841 2082 4410 11211 311822 ann. pay. 494338 925 2319 3626 8172 15042 46607 79458 141107 353231 518809 186 2645 4015 8597 15443 47278 73248 135969 382840 555302 556 1991 4722 7043 14312 51320 66243 131875 423427 552465 861 2248 3678 8915 15702 61299 63490 140491 411974 586474 300 2222 3522 9073 15117 61630 68811 145558 440916 311822 rec. 5959367 3671 19541 27649 59046 109907 345787 524564 980258 4979109 311823 firms 237 10 86 70 40 206 14 10 230 7 228 21 73 64 39 197 14 7 218 10 222 10 72 58 47 187 18 7 212 10 222 16 73 55 40 184 21 9 214 8 226 15 74 59 38 186 26 8 220 6 311823 estab. 248 10 86 70 40 206 14 13 233 15 239 21 73 64 39 197 14 10 221 18 231 10 72 58 47 187 18 10 215 16 233 16 73 55 40 184 21 15 220 13 236 15 74 59 38 186 26 11 223 13 311823 empl. 5359 0 200 474 500 1174 546 1473 3193 2166 5231 0 180 428 509 1117 564 727 2408 2823 5612 0 176 392 625 1193 618 1135 2946 2666 5116 0 168 369 548 1085 770 1354 3209 1907 4918 0 169 396 524 1089 798 1293 3180 1738 311823 ann. pay. 155591 310 2748 6404 8193 17655 16453 59465 93573 62018 149571 637 2365 6360 8322 17684 14010 24166 55860 93711 156140 318 2673 5847 10472 19310 16331 41807 77448 78692 158225 483 2956 5982 10280 19701 19793 52999 92493 65732 155071 889 3064 6825 10535 21313 23139 40050 84502 70569 311823 rec. 1446804 7516 29346 56453 75448 168763 135823 315634 620220 826584 311830 firms 230 26 47 38 31 142 59 25 226 4 227 14 52 33 36 135 64 24 223 4 226 16 54 33 26 129 69 24 222 4 246 18 68 36 30 152 65 24 241 5 272 28 76 35 38 177 66 24 267 5 311830 estab. 249 26 47 38 31 142 61 28 231 18 247 14 52 33 36 135 67 27 229 18 247 16 54 33 26 129 73 27 229 18 268 18 68 36 30 152 69 26 247 21 297 28 76 35 38 177 72 29 278 19 311830 empl. 11185 0 124 256 441 821 2621 2874 6316 4869 11785 0 140 216 502 858 2918 2800 6576 5209 11785 0 132 222 349 703 3154 2847 6704 5081 12333 0 173 245 424 842 2994 2884 6720 5613 12061 0 178 236 510 924 2997 3112 7033 5028 311830 ann. pay. 235439 1447 1829 2647 5882 11805 47632 58660 118097 117342 253601 570 1832 2843 7866 13111 51589 59921 124621 128980 264750 233 2212 3403 4527 10375 56306 64306 130987 133763 294741 999 2677 3634 6188 13498 61181 66975 141654 153087 296011 1201 3288 3262 8943 16694 63100 69128 148922 147089 311830 rec. 1465053 5879 14999 13627 38874 73379 255350 271648 600377 864676 311911 firms 134 13 23 16 13 65 36 12 113 21 138 12 28 16 12 68 36 13 117 21 140 13 29 18 15 75 35 11 121 19 144 11 35 14 14 74 38 15 127 17 125 12 24 11 10 57 37 17 111 14 311911 estab. 151 13 23 16 13 65 38 12 115 36 153 12 28 16 12 68 37 13 118 35 156 13 29 18 15 75 36 11 122 34 159 11 35 14 14 74 39 15 128 31 141 12 24 11 10 57 38 18 113 28 311911 empl. 10191 0 51 114 199 364 1655 1466 3485 6706 10872 0 62 113 161 336 1562 1643 3541 7331 10190 0 56 129 236 421 1668 1168 3257 6933 9980 0 76 101 196 373 1621 1829 3823 6157 10183 0 50 67 145 262 1545 2338 4145 6038 311911 ann. pay. 292785 435 1494 3153 4861 9943 44225 41637 95805 196980 297386 189 2907 2758 4034 9888 44623 36718 91229 206157 315939 287 2373 3444 6040 12144 48638 29938 90720 225219 329745 1397 2954 2173 5003 11527 44220 49602 105349 224396 328370 1452 3238 1703 3470 9863 45378 69777 125018 203352 311911 rec. 4261567 16126 36630 17672 26741 97169 499338 614827 1211334 3050233 311919 firms 329 29 70 50 50 199 84 27 310 19 339 25 88 47 50 210 81 27 318 21 340 30 73 52 46 201 89 27 317 23 320 40 69 46 41 196 77 26 299 21 272 21 52 40 36 149 78 27 254 18 311919 estab. 402 29 70 50 50 199 86 39 324 78 412 25 88 47 50 210 83 39 332 80 412 30 73 52 46 201 93 36 330 82 389 40 69 46 41 196 80 38 314 75 339 21 52 41 36 150 81 37 268 71 311919 empl. 35146 0 171 346 700 1217 3502 5178 9897 25249 34948 0 210 324 697 1231 3499 5215 9945 25003 32595 0 175 342 642 1159 3754 5020 9933 22662 28374 0 154 315 554 1023 3396 4629 9048 19326 35447 0 115 266 502 883 3150 5341 9374 26073 311919 ann. pay. 1105349 1671 3329 4851 12604 22455 79556 144624 246635 858714 1141262 2189 4772 4922 13494 25377 81997 145707 253081 888181 1311827 1047 5756 6206 11567 24576 85693 141973 252242 1059585 833259 3519 3011 5949 13320 25799 89657 143855 259311 573948 1058483 1004 2636 5056 10892 19588 88865 162294 270747 787736 311919 rec. 12406099 11534 31549 51925 103686 198694 505078 940620 1644392 10761707 311920 firms 224 15 54 29 36 134 49 19 202 22 232 20 56 39 25 140 54 18 212 20 261 34 62 49 27 172 52 15 239 22 263 26 56 60 34 176 51 16 243 20 276 36 68 50 32 186 54 18 258 18 311920 estab. 255 15 54 29 36 134 51 23 208 47 259 20 56 39 25 140 55 22 217 42 289 34 62 50 27 173 53 19 245 44 291 26 56 60 34 176 52 22 250 41 297 36 69 50 32 187 56 22 265 32 311920 empl. 12931 [a] [c] 197 490 825 1860 2477 5162 7769 12260 0 131 266 346 743 2000 2406 5149 7111 12523 0 152 345 376 873 2129 2109 5111 7412 12130 0 123 405 471 999 2095 2405 5499 6631 11423 0 149 337 413 899 1926 2612 5437 5986 311920 ann. pay. 450966 (D) (D) 4510 10547 19067 61826 90202 171095 279871 461426 659 2992 5873 9033 18557 72213 94000 184770 276656 486390 1318 3278 10092 9530 24218 81589 80305 186112 300278 478850 1037 3083 10057 12123 26300 74503 87614 188417 290433 467170 8483 3136 9911 10752 32282 75252 97950 205484 261686 311920 rec. 5443286 50573 148998 100016 76171 375758 464368 671115 1511241 3932045 311930 firms 143 4 32 29 23 88 33 9 130 13 142 10 32 24 26 92 32 4 128 14 153 15 39 25 22 101 33 5 139 14 154 13 37 27 19 96 38 7 141 13 135 6 34 22 23 85 33 7 125 10 311930 estab. 165 4 32 29 23 88 37 12 137 28 165 10 32 24 26 92 36 7 135 30 177 15 39 25 22 101 36 10 147 30 180 13 37 27 19 96 41 11 148 32 159 6 34 22 23 85 36 11 132 27 311930 empl. 5664 [a] [b] 196 309 585 1383 1069 3037 2627 5388 0 74 154 347 575 1395 740 2710 2678 5375 0 89 174 291 554 1452 756 2762 2613 5894 0 85 182 261 528 1618 939 3085 2809 5625 0 86 153 313 552 1365 1026 2943 2682 311930 ann. pay. 246984 (D) (D) 7100 12706 22273 70490 30418 123181 123803 238904 963 2404 4476 13202 21045 70758 22738 114541 124363 234611 1676 3150 5446 12663 22935 63777 25557 112269 122342 276365 1053 3143 7429 10968 22593 71791 44550 138934 137431 253610 459 4644 4395 14686 24184 68043 44584 136811 116799 311930 rec. 8701902 4838 48318 50139 126982 230277 465345 443196 1138818 7563084 311941 firms 304 29 87 51 48 215 45 22 282 22 312 38 84 43 39 204 67 18 289 23 303 28 76 48 38 190 77 18 285 18 316 40 78 56 42 216 65 18 299 17 265 29 60 44 36 169 61 17 247 18 311941 estab. 340 29 87 51 48 215 47 33 295 45 349 38 84 43 39 204 69 29 302 47 342 28 76 48 38 190 81 27 298 44 353 40 78 56 42 216 68 30 314 39 306 29 60 44 38 171 63 29 263 43 311941 empl. 13907 0 178 359 651 1188 1777 2788 5753 8154 14526 0 177 278 528 983 2735 3081 6799 7727 14257 0 163 317 527 1007 3364 3127 7498 6759 13819 0 165 393 620 1178 2895 3157 7230 6589 13886 0 133 299 533 965 2665 2607 6237 7649 311941 ann. pay. 449261 2455 3442 6730 24571 37198 46493 90024 173715 275546 499576 7442 3356 6306 17576 34680 82423 106265 223368 276208 493077 757 3507 7058 16009 27331 98040 115279 240650 252427 510834 3306 4186 9565 18707 35764 98478 127022 261264 249570 520334 2542 3897 7534 18941 32914 86709 96329 215952 304382 311941 rec. 5910332 24128 39703 73913 179541 317285 736464 931960 1985709 3924623 311942 firms 241 11 55 32 29 127 60 23 210 31 254 18 49 37 27 131 66 22 219 35 254 16 55 43 26 140 63 19 222 32 266 17 59 44 33 153 67 20 240 26 257 24 58 31 35 148 58 25 231 26 311942 estab. 269 11 55 32 29 127 61 27 215 54 280 18 49 37 27 131 67 27 225 55 278 16 55 43 26 140 64 24 228 50 292 17 59 44 33 153 69 25 247 45 284 24 58 31 36 149 62 30 241 43 311942 empl. 11449 0 130 208 425 763 2609 2298 5670 5779 12354 0 119 245 368 732 2702 2551 5985 6369 12345 0 128 293 374 795 2698 2656 6149 6196 12759 0 129 296 447 872 2860 2731 6463 6296 13445 0 126 194 499 819 2525 3588 6932 6513 311942 ann. pay. 456004 263 3472 5263 14548 23546 107518 96493 227557 228447 544297 753 2838 5756 13369 22716 117838 117487 258041 286256 562391 677 4137 6691 15944 27449 131377 114734 273560 288831 569281 773 2882 7968 17643 29266 134245 123651 287162 282119 600335 2106 3854 6671 24553 37184 116074 164824 318082 282253 311942 rec. 5139042 16897 29649 59401 194548 300495 611833 1043274 1955602 3183440 311991 firms 446 28 83 72 71 254 117 49 420 26 441 35 89 60 74 258 103 52 413 28 441 36 79 66 76 257 107 50 414 27 466 39 90 72 76 277 110 50 437 29 498 45 105 72 83 305 115 52 472 26 311991 estab. 474 28 83 72 71 254 122 55 431 43 474 35 89 60 74 258 108 61 427 47 478 36 79 66 76 257 109 61 427 51 502 39 90 75 76 280 112 59 451 51 544 45 105 72 86 308 123 62 493 51 311991 empl. 22063 0 189 482 999 1670 4746 7308 13724 8339 22372 0 215 388 1051 1654 4139 7390 13183 9189 23445 0 183 437 1028 1648 4202 7749 13599 9846 24368 0 209 468 1065 1742 4458 7714 13914 10454 23967 0 247 484 1221 1952 4932 7559 14443 9524 311991 ann. pay. 492908 955 2366 7009 17772 28102 99597 164925 292624 200284 523817 7279 3949 6272 19369 36869 87267 171283 295419 228398 584135 1886 4004 6945 20233 33068 91160 187745 311973 272162 637054 2536 4851 20015 19807 47209 99384 194055 340648 296406 653178 5832 7234 8396 22773 44235 112600 197499 354334 298844 311991 rec. 3933290 20947 59853 59832 97233 237865 582773 1147850 1968488 1964802 311999 firms 747 68 163 94 123 448 179 70 697 50 767 74 169 101 121 465 184 73 722 45 789 96 167 108 120 491 177 76 744 45 806 73 197 116 118 504 183 74 761 45 688 64 132 87 99 382 176 72 630 58 311999 estab. 820 68 163 94 123 448 188 89 725 95 841 74 169 101 121 465 194 93 752 89 862 96 167 108 120 491 187 97 775 87 882 73 197 116 118 504 190 97 791 91 787 64 132 87 100 383 186 99 668 119 311999 empl. 39670 0 366 635 1681 2682 7797 8834 19313 20357 38786 0 399 693 1665 2757 8044 9511 20312 18474 37885 0 381 741 1653 2775 7668 10237 20680 17205 37785 0 455 791 1632 2878 8089 9771 20738 17047 35892 0 322 604 1358 2284 7408 8810 18502 17390 311999 ann. pay. 1078063 7045 6554 12651 35374 61624 197821 248276 507721 570342 1066411 8580 8161 14179 36066 66986 203178 262184 532348 534063 1098324 5386 8280 14809 40007 68482 210297 286694 565473 532851 1146900 8094 10979 16290 42123 77486 223469 307801 608756 538144 1201785 3800 7448 14356 39101 64705 221467 281272 567444 634341 311999 rec. 10668572 34778 65733 115089 264618 480218 1930308 2202109 4612635 6055937 312111 firms 355 14 54 32 28 128 100 68 296 59 348 18 52 30 35 135 88 63 286 62 342 19 57 27 37 140 79 63 282 60 344 19 61 32 33 145 80 65 290 54 317 13 55 20 44 132 73 62 267 50 312111 estab. 588 14 54 32 28 128 101 82 311 277 585 18 52 30 35 135 91 76 302 283 584 19 57 27 37 140 81 73 294 290 577 19 61 32 33 145 82 72 299 278 551 13 55 20 44 132 74 73 279 272 312111 empl. 71219 [a] [c] 234 408 761 4684 11327 16772 54447 73221 0 107 214 504 825 4398 9636 14859 58362 69874 0 118 192 475 785 3924 9491 14200 55674 69909 0 126 224 455 805 3884 10187 14876 55033 63889 0 132 138 643 913 3347 8690 12950 50939 312111 ann. pay. 2425969 (D) (D) 5586 9702 18779 138638 379969 537386 1888583 2551965 16263 2060 7218 13270 38811 138219 316013 493043 2058922 2682734 1884 2981 5969 12547 23381 123646 333860 480887 2201847 2637063 565 3807 5426 12356 22154 115062 343141 480357 2156706 2441660 298 3092 5500 19391 28281 118760 301137 448178 1993482 312111 rec. 33116813 3875 32344 50998 171779 258996 1023969 2791012 4073977 29042836 312112 firms 122 9 33 25 20 87 23 5 115 7 125 16 40 21 18 95 17 6 118 7 137 16 45 20 19 100 23 7 130 7 167 21 52 30 21 124 28 8 160 7 229 27 98 31 25 181 33 8 222 7 312112 estab. 169 9 33 25 20 87 23 11 121 48 175 16 40 21 18 95 17 11 123 52 191 16 45 20 19 100 23 12 135 56 218 21 52 30 21 124 31 10 165 53 285 27 98 31 25 181 38 11 230 55 312112 empl. 5274 [a] [b] 168 265 511 [f] [e] 1741 3533 5081 0 95 140 253 488 591 [f] [g] [h] 5396 0 108 131 224 463 850 [g] [g] [h] 5855 0 120 193 261 574 989 [g] [h] [h] 6435 0 201 209 332 742 1076 [g] [h] [h] 312112 ann. pay. 162924 (D) (D) 3414 6395 11744 (D) (D) 47591 115333 162686 2949 2029 2832 5378 13188 22441 (D) (D) (D) 192626 2480 2379 2780 7365 15004 25954 (D) (D) (D) 219928 5450 3685 4034 5824 18993 31805 (D) (D) (D) 217278 827 4884 5157 8451 19319 39250 (D) (D) (D) 312112 rec. 1824211 7709 38379 30016 49007 125111 277177 (D) (D) (D) 312113 firms 482 62 200 95 72 429 48 2 479 3 460 58 183 94 73 408 41 9 458 2 452 65 161 100 75 401 45 5 451 1 452 70 162 93 78 403 44 4 451 1 422 67 151 86 65 369 44 6 419 3 312113 estab. 543 62 200 96 74 432 55 3 490 53 525 58 183 94 75 410 49 24 483 42 514 65 161 100 78 404 55 19 478 36 522 70 162 93 81 406 61 19 486 36 488 67 151 86 66 370 55 11 436 52 312113 empl. 4825 0 452 635 919 2006 [g] [b] 3473 1352 4841 0 399 615 924 1938 1281 [f] [h] [f] 5032 0 363 661 991 2015 1400 [f] [h] [f] 5055 0 355 625 1029 2009 1561 [f] [h] [f] 5416 0 346 564 844 1754 1484 [f] [h] [g] 312113 ann. pay. 118196 4071 11736 13393 22337 51537 (D) (D) 93245 24951 129800 2390 8246 12873 24457 47966 36874 (D) (D) (D) 146070 2382 11205 14783 25778 54148 43389 (D) (D) (D) 149111 4968 8100 14545 26928 54541 49746 (D) (D) (D) 158927 1899 7918 14541 23657 48015 49034 (D) (D) (D) 312113 rec. 653759 9733 37415 52543 89853 189544 168987 (D) (D) (D) 312120 firms 478 49 164 73 46 332 119 17 468 10 500 73 173 63 51 360 114 15 489 11 508 72 162 76 48 358 124 16 498 10 500 66 153 77 50 346 127 18 491 9 415 66 125 51 50 292 95 18 405 10 312120 estab. 514 49 164 73 46 332 120 21 473 41 533 73 173 63 51 360 115 19 494 39 538 72 162 76 48 358 125 20 503 35 526 66 153 77 50 346 128 22 496 30 446 66 125 51 50 292 98 24 414 32 312120 empl. 32038 [a] [e] 496 600 1483 4725 2348 8556 23482 30650 0 410 402 671 1483 4681 2084 8248 22402 32122 [a] [e] 511 649 1525 5054 2068 8647 23475 32931 0 [e] [f] 677 1527 5382 2729 9638 23293 30761 0 258 350 668 1276 4014 2391 7681 23080 312120 ann. pay. 1620892 (D) (D) 9890 10865 29459 88368 87378 205205 1415687 1568844 12296 8752 6646 13149 40843 92489 66005 199337 1369507 1591318 (D) (D) 10058 17090 38108 106254 68478 212840 1378478 1573687 2668 (D) (D) 13612 33650 121557 115721 270928 1302759 1585176 3529 6225 7254 15510 32518 109937 89016 231471 1353705 312120 rec. 18659524 28865 73054 69501 118543 289963 577770 701247 1568980 17090544 312130 firms 672 75 196 125 101 497 129 30 656 16 732 92 205 135 110 542 143 29 714 18 798 89 236 145 130 600 149 32 781 17 1064 120 354 183 161 818 197 31 1046 18 1175 147 427 192 159 925 198 33 1156 19 312130 estab. 727 75 196 125 101 497 132 48 677 50 788 92 205 135 110 542 145 46 733 55 856 89 236 145 130 600 150 49 799 57 1125 120 354 183 162 819 199 47 1065 60 1239 147 427 193 159 926 203 49 1178 61 312130 empl. 20325 0 466 846 1411 2723 4845 4745 12313 8012 22218 0 467 903 1521 2891 5279 4727 12897 9321 21814 0 496 953 1751 3200 5333 4683 13216 8598 26060 0 778 1202 2142 4122 7202 4323 15647 10413 26832 0 937 1281 2167 4385 7242 4592 16219 10613 312130 ann. pay. 741722 5182 10949 18819 37972 72922 129166 160405 362493 379229 811705 5041 11386 22536 37641 76604 147876 156788 381268 430437 876638 8958 13112 23717 45048 90835 162200 169121 422156 454482 1000810 5564 20444 30430 55473 111911 232105 167747 511763 489047 1087093 5778 26082 34026 60972 126858 224581 189842 541281 545812 312130 rec. 9717671 48216 202973 228871 348516 828576 1286857 1715392 3830825 5886846 312140 firms 45 4 6 4 3 17 6 14 37 8 49 8 6 4 4 22 7 12 41 8 50 2 13 3 4 22 8 13 43 7 49 6 10 2 3 21 9 13 43 6 75 11 20 5 9 45 13 11 69 6 312140 estab. 60 4 6 4 3 17 6 15 38 22 65 8 6 4 4 22 7 13 42 23 65 2 13 3 4 22 8 13 43 22 65 6 10 2 3 21 9 13 43 22 90 11 20 5 9 45 13 12 70 20 312140 empl. 6575 [a] [a] [b] [b] 85 199 2366 2650 3925 6128 0 15 28 54 97 289 2097 2483 3645 5699 [a] [b] 19 51 99 259 2192 2550 3149 5817 0 [b] [a] 35 72 299 2181 2552 3265 6031 0 43 33 119 195 496 2126 2817 3214 312140 ann. pay. 274223 (D) (D) (D) (D) 2633 7543 86610 96786 177437 253404 198 188 823 1395 2604 10162 83023 95789 157615 268543 (D) (D) 725 1326 2916 10054 97457 110427 158116 278402 134 (D) (D) 1713 3488 14239 99782 117509 160893 284289 80 969 1793 3245 6087 26203 95227 127517 156772 312140 rec. 4547608 910 8580 14784 27410 51684 239699 746355 1037738 3509870 312210 firms 22 4 3 1 1 9 2 3 14 8 18 3 3 0 0 6 1 5 12 6 24 8 5 0 0 13 0 3 16 8 24 2 8 1 0 11 2 3 16 8 16 3 2 0 0 5 3 3 11 5 312210 estab. 32 4 3 1 1 9 2 3 14 18 27 3 3 0 0 6 1 6 13 14 33 8 5 0 0 13 0 3 16 17 32 2 8 1 0 11 2 4 17 15 20 3 2 0 0 5 3 4 12 8 312210 empl. 5067 [a] [a] [a] [a] [b] [b] [e] 493 4574 5141 0 [a] 0 0 [a] [b] [g] 1206 3935 5024 0 10 0 0 10 0 503 513 4511 3597 [a] 20 [a] 0 [b] [b] 322 404 3193 2264 0 [a] 0 0 [a] [c] 365 592 1672 312210 ann. pay. 135945 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 21492 114453 154811 22 (D) 0 0 (D) (D) (D) 75073 79738 123477 710 237 0 0 947 0 6696 7643 115834 110158 (D) 439 (D) 0 (D) (D) 6342 7841 102317 69658 28 (D) 0 0 (D) (D) 7488 14417 55241 312210 rec. 1141540 1124 (D) 0 0 (D) (D) 128387 223371 918169 312221 firms 13 2 2 0 0 4 2 2 8 5 14 3 1 1 0 5 2 2 9 5 13 1 1 1 0 3 2 2 7 6 13 1 0 2 1 4 1 2 7 6 21 6 2 1 3 12 1 2 15 6 312221 estab. 16 2 2 0 0 4 2 2 8 8 17 3 1 1 0 5 2 2 9 8 16 1 1 1 0 3 2 2 7 9 16 1 0 2 1 4 1 2 7 9 23 6 2 1 3 12 1 2 15 8 312221 empl. 20943 [a] [a] 0 0 [a] [b] [c] 200 20743 18381 0 [a] [a] 0 [a] [c] [c] 272 18109 17886 [a] [a] [a] 0 [a] [b] [c] 318 17568 14973 [a] 0 [a] [a] [b] [b] [c] 279 14694 15099 [a] [a] [a] 37 [b] [b] [e] 400 14699 312221 ann. pay. 1157741 (D) (D) 0 0 (D) (D) (D) 7947 1149794 1121201 794 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 16369 1104832 1187142 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 12846 1174296 1022234 (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) 13465 1008769 1032686 (D) (D) (D) 1018 (D) (D) (D) 18111 1014575 312221 rec. 34627538 (D) (D) (D) 27542 (D) (D) (D) 359113 34268425 312229 firms 68 12 12 8 5 37 16 6 59 9 63 5 18 6 5 34 12 7 53 10 59 7 16 6 5 34 10 7 51 8 117 19 54 9 7 89 13 7 109 8 77 10 26 7 8 51 12 4 67 10 312229 estab. 80 12 12 8 5 37 16 7 60 20 74 5 18 6 5 34 12 7 53 21 72 7 16 6 5 34 10 12 56 16 131 19 54 9 7 89 14 13 116 15 90 10 26 7 8 51 12 9 72 18 312229 empl. 6626 [a] [b] [b] [b] [c] [f] [f] 1826 4800 6688 0 43 [b] 64 [c] [f] [f] 1629 5059 6383 [a] [b] [b] 64 [c] [e] [g] 1824 4559 6667 0 105 [b] [b] 257 [f] [g] 1949 4718 6668 [a] 46 [b] 94 [c] [e] [f] 1376 5292 312229 ann. pay. 239873 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 54616 185257 237146 128 926 (D) 900 (D) (D) (D) 52646 184500 249069 (D) (D) (D) 1318 (D) (D) (D) 63390 185679 266400 551 2326 (D) (D) 9517 (D) (D) 76042 190358 277372 (D) 1090 (D) 4031 (D) (D) (D) 48872 228500 312229 rec. 3657687 (D) 9180 (D) 26581 (D) (D) (D) 420920 3236767 313111 firms 225 19 38 19 24 100 41 33 174 51 228 19 40 31 19 109 42 29 180 48 224 15 39 25 20 99 46 30 175 49 230 16 49 20 32 117 42 28 187 43 210 20 42 24 23 109 40 24 173 37 313111 estab. 412 19 38 19 24 100 42 45 187 225 412 19 40 31 19 109 42 43 194 218 405 15 39 25 20 99 48 47 194 211 395 16 49 21 32 118 43 41 202 193 342 20 42 24 23 109 41 32 182 160 313111 empl. 58674 0 96 136 320 552 1954 6723 9229 49445 57428 0 104 226 269 599 2060 6351 9010 48418 52959 0 90 164 287 541 2073 6469 9083 43876 44174 0 124 128 459 711 1952 4665 7328 36846 36918 0 102 160 342 604 1954 4293 6851 30067 313111 ann. pay. 1382645 1211 4049 2410 6161 13831 58139 162045 234015 1148630 1374717 4419 2967 4840 4704 16930 65398 151179 233507 1141210 1329753 543 3149 3574 5257 12523 58176 157989 228688 1101065 1086755 26019 3637 4683 11130 45469 55340 122231 223040 863715 952523 1266 2660 3987 7146 15059 49316 119429 183804 768719 313111 rec. 5363659 6712 13658 17331 52092 89793 237792 500344 827929 4535730 313112 firms 99 7 11 9 11 38 27 20 85 14 96 4 12 13 10 39 22 22 83 13 97 6 13 7 14 40 22 20 82 15 101 15 11 7 14 47 22 19 88 13 95 6 14 10 13 43 24 12 79 16 313112 estab. 139 7 11 9 11 38 27 22 87 52 134 4 12 13 10 39 22 24 85 49 128 6 13 7 14 40 22 21 83 45 134 15 11 7 14 47 22 20 89 45 131 6 14 10 13 43 25 13 81 50 313112 empl. 22959 [a] [b] 63 163 248 1256 4062 5566 17393 20299 0 [b] [b] 135 [c] 1001 4278 [i] [j] 20247 0 [b] [b] 202 [e] 1020 3575 [h] [j] 18909 0 [b] 44 207 [e] 1080 3673 [i] [j] 20713 [a] [b] 72 179 [e] 1197 2774 [h] [j] 313112 ann. pay. 609625 (D) (D) 1510 3200 6126 34414 95974 136514 473111 496245 116 (D) (D) 3545 (D) 29155 102743 (D) (D) 517604 531 (D) (D) 4967 (D) 28170 88558 (D) (D) 461927 706 (D) 674 5926 (D) 29959 89688 (D) (D) 573741 (D) (D) 1911 5890 (D) 39236 76868 (D) (D) 313112 rec. 4485253 (D) (D) 12034 39724 (D) 214566 522140 (D) (D) 313113 firms 46 6 5 3 7 21 16 5 42 4 59 11 11 7 6 35 14 7 56 3 65 5 16 11 10 42 13 7 62 3 68 5 22 12 9 48 10 7 65 3 91 10 42 11 6 69 15 5 89 2 313113 estab. 52 6 5 3 7 21 16 6 43 9 67 11 11 7 6 35 14 9 58 9 74 5 16 11 10 42 13 8 63 11 76 5 22 12 9 48 10 8 66 10 96 10 42 11 6 69 15 6 90 6 313113 empl. 3232 [a] [a] 18 99 128 645 668 1441 1791 3301 0 [b] [b] 81 [c] 586 996 [g] [g] 3403 0 [b] [b] 139 [c] 568 731 [g] [g] 3238 0 [b] 89 129 [e] 471 949 [g] [g] 2612 [a] [b] 69 74 [c] 652 662 [g] [g] 313113 ann. pay. 70747 (D) (D) 187 1760 2792 14271 16337 33400 37347 82192 630 (D) (D) 1670 (D) 13066 30034 (D) (D) 83122 203 (D) (D) 2559 (D) 12024 20833 (D) (D) 65978 91 (D) 1718 1690 (D) 9735 22607 (D) (D) 63110 (D) (D) 1289 1308 (D) 14612 18067 (D) (D) 313113 rec. 379614 (D) (D) 6573 7710 (D) 77276 107825 (D) (D) 313210 firms 748 57 235 125 83 500 105 63 668 80 730 43 230 114 85 472 110 65 647 83 712 40 217 120 94 471 99 61 631 81 728 47 221 123 89 480 104 71 655 73 663 47 191 111 79 428 107 65 600 63 313210 estab. 924 57 235 125 83 500 107 73 680 244 899 43 230 114 85 472 112 72 656 243 874 40 218 120 94 472 100 68 640 234 880 47 221 124 89 481 105 77 663 217 792 47 191 112 79 429 110 72 611 181 313210 empl. 130441 0 511 823 1063 2397 4777 13155 20329 110112 124188 0 503 750 1102 2355 4788 12494 19637 104551 113249 0 419 780 1279 2478 4581 10750 17809 95440 105590 0 498 820 1230 2548 4520 12347 19415 86175 87391 0 432 743 1067 2242 4501 11192 17935 69456 313210 ann. pay. 3422150 25171 9593 16545 21228 72537 114511 337438 524486 2897664 3220720 3236 9612 15322 21827 49997 125110 333947 509054 2711666 3138544 1559 9585 17620 26884 55648 133722 298733 488103 2650441 2808970 3665 10773 18422 29454 62314 123954 336630 522898 2286072 2444690 7844 9599 18333 31545 67321 121849 333379 522549 1922141 313210 rec. 12198829 40301 50340 90657 164073 345371 624919 1715605 2685895 9512934 313221 firms 250 18 50 36 43 147 49 33 229 21 233 10 54 29 36 129 53 30 212 21 233 18 51 35 30 134 47 32 213 20 237 14 58 30 37 139 50 31 220 17 224 16 58 27 33 134 52 22 208 16 313221 estab. 288 18 50 36 43 147 50 49 246 42 272 10 54 29 36 129 55 46 230 42 271 18 51 35 31 135 48 48 231 40 274 14 58 30 37 139 56 44 239 35 251 16 58 27 34 135 52 32 219 32 313221 empl. 16615 [a] 116 243 614 [f] 1988 5467 [i] [i] 16086 [a] 116 194 474 [f] 2307 5393 [i] [i] 16036 [a] 115 241 413 [f] 1917 5824 [i] [i] 15246 0 [c] 205 525 [f] 2085 5710 [i] [i] 12742 0 140 201 482 823 2215 4099 7137 5605 313221 ann. pay. 418489 (D) 2362 4745 13245 (D) 48926 143279 (D) (D) 405112 (D) 2209 4003 11102 (D) 55849 136406 (D) (D) 412579 (D) 2702 6430 9992 (D) 44338 157139 (D) (D) 385821 747 (D) 3946 12547 (D) 47522 151853 (D) (D) 357874 1940 3001 5893 12487 23321 60618 117039 200978 156896 313221 rec. 1385541 8158 10648 22189 43680 84675 235012 440267 759954 625587 313222 firms 213 14 90 45 33 182 22 8 212 1 214 17 92 40 33 182 24 7 213 1 192 8 88 42 28 166 19 6 191 1 183 8 85 47 18 158 19 5 182 1 148 13 69 33 14 129 14 5 148 0 313222 estab. 215 14 90 45 33 182 23 9 214 1 216 17 92 40 33 182 24 9 215 1 194 8 88 42 28 166 20 7 193 1 185 8 85 47 18 158 20 6 184 1 150 13 69 33 14 129 15 6 150 0 313222 empl. 3229 [a] 218 297 422 [f] 925 1299 [h] [b] 3020 [a] 211 268 416 [f] 959 1064 [h] [c] 2647 [a] 196 268 360 [f] 801 931 [h] [b] 2220 0 [c] 317 235 [f] 755 662 [g] [b] 2004 0 138 216 189 543 702 759 2004 0 313222 ann. pay. 63658 (D) 3805 4835 9167 (D) 19857 23677 (D) (D) 61219 (D) 3627 4777 7163 (D) 20103 22622 (D) (D) 52402 (D) 3256 5059 5518 (D) 19333 16363 (D) (D) 47798 65 (D) 5557 5253 (D) 16187 14811 (D) (D) 52871 2741 2535 5593 5265 16134 19847 16890 52871 0 313222 rec. 210806 14761 15625 15770 23447 69603 84351 56852 210806 0 313230 firms 202 9 30 27 22 88 51 30 169 33 202 15 27 22 29 93 47 28 168 34 199 16 30 21 28 95 43 23 161 38 194 7 39 17 30 93 43 24 160 34 194 11 32 20 31 94 45 22 161 33 313230 estab. 245 9 30 27 22 88 54 38 180 65 248 15 27 22 29 93 49 38 180 68 249 16 30 21 28 95 46 33 174 75 242 7 39 17 30 93 45 35 173 69 234 11 32 20 31 94 48 28 170 64 313230 empl. 20002 0 58 185 312 555 2432 4435 7422 12580 20851 [a] [b] 140 383 576 2099 3851 6526 14325 20650 0 71 147 380 598 2040 3074 5712 14938 19925 0 85 125 427 637 1871 3239 5747 14178 17934 0 69 130 422 621 2038 2541 5200 12734 313230 ann. pay. 736740 793 2922 6055 8902 18672 62942 142369 223983 512757 769800 (D) (D) 4578 12291 30171 60076 115602 205849 563951 786306 1516 4104 4426 11526 21572 59584 96951 178107 608199 744849 264 4202 3634 12675 20775 56260 89232 166267 578582 689565 2524 2810 3789 14843 23966 64321 88458 176745 512820 313230 rec. 4337555 13628 13964 20593 80090 128275 355913 415018 899206 3438349 313241 firms 224 9 20 28 36 93 69 34 196 28 229 11 24 31 33 99 69 35 203 26 206 5 31 21 32 89 62 33 184 22 197 10 30 22 32 94 57 28 179 18 180 12 28 24 28 92 56 22 170 10 313241 estab. 242 9 20 28 36 93 70 39 202 40 247 11 24 31 33 99 71 39 209 38 220 5 31 21 32 89 64 38 191 29 211 10 30 22 32 94 58 33 185 26 191 12 28 24 28 92 60 25 177 14 313241 empl. 21481 0 38 200 477 715 2961 4903 8579 12902 19902 [a] [b] 221 467 738 3186 5829 9753 10149 17559 0 79 151 454 684 2858 6103 9645 7914 13662 0 77 160 458 695 2490 4363 7548 6114 10163 0 61 166 389 616 2622 3628 6866 3297 313241 ann. pay. 484637 706 1300 6042 10404 18452 71156 115773 205381 279256 474638 (D) (D) 6100 11940 20817 79734 139662 240213 234425 423353 154 1892 5201 12503 19750 64493 152350 236593 186760 324199 6433 2572 3766 11165 23936 62909 112080 198925 125274 280167 4769 2277 4682 10870 22598 64044 107780 194422 85745 313241 rec. 1393450 26069 15068 24816 60468 126421 250717 460676 837814 555636 313249 firms 171 5 21 20 24 70 55 26 151 20 173 9 28 15 32 84 41 26 151 22 162 5 31 16 25 77 43 21 141 21 160 6 34 13 27 80 38 24 142 18 158 7 31 18 24 80 43 18 141 17 313249 estab. 186 5 21 20 24 70 55 29 154 32 190 9 28 15 32 84 41 31 156 34 179 5 31 16 25 77 44 25 146 33 179 6 34 13 27 80 38 30 148 31 173 7 31 18 24 80 44 26 150 23 313249 empl. 16261 0 44 137 334 515 2497 3798 6810 9451 15735 0 78 101 436 615 1847 4397 6859 8876 15337 0 81 115 352 548 1977 3719 6244 9093 13798 0 88 91 392 571 1565 3584 5720 8078 9623 0 79 113 339 531 1795 2765 5091 4532 313249 ann. pay. 417073 64 876 3611 12016 16567 66172 99305 182044 235029 429676 1559 2843 2898 12468 19768 53374 109068 182210 247466 420288 95 1477 3225 11222 16019 56812 93218 166049 254239 386656 592 1824 1969 14176 18561 41735 104094 164390 222266 284205 2281 1705 2918 12782 19686 55312 81155 156153 128052 313249 rec. 1517295 24443 10688 14451 73018 122600 213665 426950 763215 754080 313311 firms 1265 122 459 228 144 953 185 80 1218 47 1216 91 440 238 150 919 182 68 1169 47 1195 94 428 239 147 908 180 66 1154 41 1168 100 428 225 152 905 167 60 1132 36 1016 83 345 203 141 772 151 63 986 30 313311 estab. 1341 122 459 228 146 955 196 98 1249 92 1283 91 440 238 156 925 190 80 1195 88 1252 94 428 239 150 911 189 82 1182 70 1226 100 429 226 155 910 174 74 1158 68 1066 83 345 203 141 772 158 77 1007 59 313311 empl. 48738 0 1013 1492 1876 4381 7823 12013 24217 24521 45094 0 966 1543 1935 4444 7875 10418 22737 22357 42576 0 973 1585 1900 4458 7702 10403 22563 20013 39058 0 983 1460 2035 4478 6653 8756 19887 19171 32701 0 802 1349 1904 4055 5910 8980 18945 13756 313311 ann. pay. 1417805 16619 29070 44960 69798 160447 260854 340149 761450 656355 1326237 10674 27911 51362 74943 164890 271022 282828 718740 607497 1289873 9469 29489 51178 73551 163687 272992 287524 724203 565670 1145868 6800 26630 45993 75409 154832 231864 238954 625650 520218 1020221 6582 21905 38272 75112 141871 217994 245683 605548 414673 313311 rec. 6900279 37944 144864 262535 547137 992480 1209312 1233056 3434848 3465431 313312 firms 359 21 59 38 43 161 107 55 323 36 334 35 60 31 35 161 97 48 306 28 327 18 68 40 38 164 90 46 300 27 374 44 97 46 34 221 83 44 348 26 379 36 117 48 30 231 88 37 356 23 313312 estab. 390 21 59 38 43 161 109 60 330 60 361 35 60 31 35 161 99 50 310 51 350 18 68 40 38 164 92 47 303 47 398 44 97 46 34 221 86 47 354 44 401 36 117 48 30 231 91 40 362 39 313312 empl. 32052 0 146 255 547 948 4999 10290 16237 15815 25117 0 151 204 484 839 4216 8230 13285 11832 23689 0 154 256 517 927 4076 7053 12056 11633 22408 0 215 314 451 980 3772 6994 11746 10662 20301 0 248 326 376 950 4155 6096 11201 9100 313312 ann. pay. 804482 2667 4165 6816 18220 31868 134434 239881 406183 398299 666593 4431 3561 5249 12804 26045 122016 194925 342986 323607 625114 2079 3965 6139 14000 26183 122862 162293 311338 313776 561584 5271 5795 7578 12059 30703 112936 167129 310768 250816 557947 3830 7556 9484 10089 30959 129940 155163 316062 241885 313312 rec. 3177062 19302 54518 60503 53370 187693 577477 807254 1572424 1604638 313320 firms 243 11 46 34 30 121 66 33 220 23 242 19 39 44 24 126 62 28 216 26 234 11 46 45 22 124 59 23 206 28 232 15 49 41 20 125 57 26 208 24 199 10 38 36 20 104 51 27 182 17 313320 estab. 260 11 46 34 30 121 68 43 232 28 258 19 39 44 24 126 64 35 225 33 253 11 46 45 22 124 62 30 216 37 252 15 49 41 20 125 58 36 219 33 218 10 38 36 20 104 52 38 194 24 313320 empl. 11771 0 106 219 405 730 2962 4719 8411 3360 11265 0 95 282 308 685 2542 3582 6809 4456 11042 0 97 301 298 696 2614 3490 6800 4242 10262 0 107 286 280 673 2313 3561 6547 3715 8553 0 88 234 273 595 2127 3386 6108 2445 313320 ann. pay. 393588 390 2691 5754 10236 19071 86426 187371 292868 100720 387219 1155 2432 7855 7923 19365 80319 148310 247994 139225 412182 443 2578 8766 10031 21818 92560 141474 255852 156330 382569 466 3128 8708 7118 19420 84713 135925 240058 142511 331283 668 2558 6739 7609 17574 81669 137765 237008 94275 313320 rec. 1886867 7042 14702 36123 36168 94035 380197 800135 1274367 612500 314110 firms 412 35 134 66 48 283 72 31 386 26 413 37 135 65 45 282 76 33 391 22 375 14 122 57 50 243 82 27 352 23 373 22 120 51 56 249 78 22 349 24 361 24 114 56 52 246 66 26 338 23 314110 estab. 483 35 134 66 49 284 76 41 401 82 478 37 135 65 45 282 79 43 404 74 441 14 122 57 50 243 85 35 363 78 437 22 120 51 57 250 81 26 357 80 422 24 114 56 53 247 67 29 343 79 314110 empl. 51458 0 321 421 640 1382 3043 5801 10226 41232 51153 0 330 420 609 1359 3135 7061 11555 39598 46742 0 306 379 691 1376 3636 5812 10824 35918 45188 0 304 346 741 1391 3457 5127 9975 35213 44438 [a] [e] 377 734 1366 2698 5021 9085 35353 314110 ann. pay. 1420311 5761 7008 9027 13407 35203 80748 155498 271449 1148862 1418035 2596 6815 10138 13776 33325 81928 191216 306469 1111566 1323961 2191 7029 9556 16329 35105 96831 173547 305483 1018478 1284917 2683 7746 7927 20370 38726 91907 138466 269099 1015818 1409503 (D) (D) 9503 21945 146731 77804 146525 371060 1038443 314110 rec. 14962557 (D) (D) 77729 162005 (D) 449381 772802 2685503 12277054 314121 firms 1930 132 1104 377 156 1769 114 37 1920 10 1821 106 1023 377 150 1656 122 34 1812 9 1724 103 930 355 173 1561 122 30 1713 11 1688 119 886 323 198 1526 126 24 1676 12 1661 102 925 302 179 1508 118 23 1649 12 314121 estab. 1998 132 1104 381 165 1782 140 53 1975 23 1889 106 1024 380 158 1668 145 55 1868 21 1790 103 931 357 180 1571 144 51 1766 24 1753 119 889 324 204 1536 149 42 1727 26 1712 102 925 305 181 1513 134 34 1681 31 314121 empl. 24553 0 2274 2422 2012 6708 4190 6460 17358 7195 24064 0 2069 2436 1979 6484 4659 6339 17482 6582 24966 0 1925 2277 2319 6521 4898 5257 16676 8290 22617 0 1817 2035 2551 6403 4959 4594 15956 6661 20281 [a] [g] 2004 2369 6317 4270 3482 14069 6212 314121 ann. pay. 470340 3485 32704 40068 39497 115754 82327 122052 320133 150207 492059 9390 33711 43026 41452 127579 91045 129299 347923 144136 539326 3999 34743 44364 51002 134108 107867 100777 342752 196574 504957 6545 30587 39908 61183 138223 115984 92392 346599 158358 485544 (D) (D) 42423 57753 151997 100495 78741 331233 154311 314121 rec. 2062835 (D) (D) 162186 193270 (D) 437488 355768 1367187 695648 314129 firms 640 47 162 95 84 388 151 68 607 33 643 53 158 101 66 378 163 69 610 33 621 50 156 86 68 360 163 64 587 34 654 55 178 94 72 399 160 59 618 36 636 65 178 76 78 397 150 57 604 32 314129 estab. 735 47 162 95 84 388 156 87 631 104 738 54 158 101 66 379 169 84 632 106 718 50 156 86 68 360 169 80 609 109 738 55 178 94 72 399 166 68 633 105 725 65 178 76 78 397 154 71 622 103 314129 empl. 47273 0 370 617 1172 2159 6842 12064 21065 26208 48159 0 382 668 963 2013 7101 12035 21149 27010 46638 0 363 570 919 1852 6955 10692 19499 27139 43648 0 392 613 1005 2010 6775 9198 17983 25665 40429 0 386 537 1062 1985 6465 8494 16944 23485 314129 ann. pay. 1002393 4412 6130 10430 22792 43764 130195 238537 412496 589897 1079080 3302 6401 12061 20884 42648 150230 263663 456541 622539 1055960 4677 7157 10054 20347 42235 144810 238407 425452 630508 975230 3162 9025 12750 22001 46938 144940 200687 392565 582665 961658 3963 7679 12188 24824 48654 165355 201615 415624 546034 314129 rec. 7415728 26602 63063 89358 133832 312855 854274 1220684 2387813 5027915 314911 firms 403 34 109 57 65 265 97 30 392 11 381 25 99 57 63 244 101 26 371 10 361 27 103 47 51 228 98 28 354 7 354 25 98 43 64 230 85 32 347 7 321 27 73 54 53 207 83 25 315 6 314911 estab. 418 34 109 57 65 265 99 38 402 16 396 25 99 57 63 244 104 33 381 15 376 27 103 47 51 228 101 38 367 9 365 25 98 43 64 230 88 40 358 7 335 27 73 54 53 207 90 32 329 6 314911 empl. 12986 0 230 364 901 1495 4286 3772 9553 3433 12194 0 222 379 857 1458 4378 3496 9332 2862 10749 0 220 321 681 1222 4224 3764 9210 1539 9954 0 221 284 845 1350 3695 3768 8813 1141 8716 0 165 373 722 1260 3627 3072 7959 757 314911 ann. pay. 245656 6624 2975 5281 15659 30539 74514 75422 180475 65181 238916 802 2962 5834 14970 24568 83247 70611 178426 60490 230973 1260 3287 5085 12115 21747 86922 87454 196123 34850 224898 2264 4739 4681 17155 28839 83473 84574 196886 28012 205476 2188 3047 8059 16235 29529 84807 71459 185795 19681 314911 rec. 854132 8850 10252 27870 56518 103490 337638 266124 707252 146880 314912 firms 1599 132 661 353 229 1375 190 23 1588 11 1586 118 652 350 237 1357 194 24 1575 11 1528 109 596 351 234 1290 198 27 1515 13 1533 117 610 341 236 1304 188 27 1519 14 1603 136 695 323 242 1396 171 25 1592 11 314912 estab. 1614 132 661 353 229 1375 198 24 1597 17 1603 118 652 350 237 1357 201 27 1585 18 1549 109 596 351 234 1290 205 31 1526 23 1557 117 610 341 236 1304 195 31 1530 27 1627 136 695 323 243 1397 176 30 1603 24 314912 empl. 18255 0 1513 2343 3095 6951 6863 2974 16788 1467 19582 0 1478 2345 3210 7033 7075 3717 17825 1757 20607 0 1330 2366 3161 6857 7335 4002 18194 2413 20303 0 1371 2287 3219 6877 6767 3664 17308 2995 17921 0 1592 2148 3235 6975 6038 3367 16380 1541 314912 ann. pay. 433643 4620 26449 48217 70135 149421 178269 65537 393227 40416 492613 4540 27878 51122 74336 157876 189854 99806 447536 45077 531999 5574 26759 49705 80536 162574 196497 103723 462794 69205 542884 7144 30282 51436 80763 169625 187789 95365 452779 90105 512588 8443 32676 49824 85427 176370 192593 90412 459375 53213 314912 rec. 1978507 42229 124713 156508 270971 594421 647719 388037 1630177 348330 314991 firms 185 8 50 38 29 125 37 15 177 8 173 4 45 33 29 111 42 13 166 7 177 18 35 32 25 110 42 17 169 8 174 8 43 34 23 108 46 11 165 9 166 8 42 26 27 103 43 13 159 7 314991 estab. 195 8 50 38 29 125 37 18 180 15 186 4 45 33 29 111 42 16 169 17 191 18 35 32 25 110 42 22 174 17 189 8 43 34 23 108 46 14 168 21 179 8 42 26 27 103 45 14 162 17 314991 empl. 6484 [a] 108 [c] [e] [f] [g] 1575 3774 2710 6624 [a] [c] 223 [e] [f] [g] [g] 4322 2302 6704 [a] [b] [c] [e] [f] [g] [g] 4286 2418 6329 0 [c] [c] [e] [f] [g] [g] 3825 2504 5613 0 91 [c] [e] [f] [g] [g] 3399 2214 314991 ann. pay. 169332 (D) 2243 (D) (D) (D) (D) 42677 97870 71462 171483 (D) (D) 4415 (D) (D) (D) (D) 109538 61945 187014 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 119741 67273 171629 640 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 104625 67004 162741 536 2466 (D) (D) (D) (D) (D) 98977 63764 314991 rec. 791656 2929 12927 (D) (D) (D) (D) (D) 464577 327079 314992 firms 17 1 0 1 2 4 2 4 10 7 17 3 1 0 1 5 2 2 9 8 18 1 3 2 1 7 2 2 11 7 16 0 2 2 1 5 2 2 9 7 20 0 4 2 1 7 2 1 10 10 314992 estab. 22 1 0 1 2 4 2 5 11 11 23 3 1 0 1 5 2 3 10 13 25 1 3 2 1 7 2 3 12 13 22 0 2 2 1 5 2 2 9 13 30 0 4 2 1 7 2 1 10 20 314992 empl. 5690 [a] 0 [a] [b] [b] [b] 1140 1251 4439 5127 [a] [a] 0 [a] [a] [b] [f] 677 4450 5097 [a] [a] [a] [a] [b] [b] [f] 695 4402 4958 0 [a] [a] [a] [b] [b] [f] 684 4274 4486 0 7 [a] [a] [b] [b] [c] 349 4137 314992 ann. pay. 166991 (D) 0 (D) (D) (D) (D) 31394 34071 132920 158278 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) 20058 138220 167694 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 21659 146035 160291 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 20208 140083 146890 0 296 (D) (D) (D) (D) (D) 10490 136400 314992 rec. 1152849 0 2877 (D) (D) (D) (D) (D) 65275 1087574 314999 firms 1547 144 373 247 287 1051 348 91 1490 57 1760 128 426 304 323 1181 424 94 1699 61 1717 130 422 285 311 1148 423 91 1662 55 1834 147 558 295 301 1301 395 83 1779 55 2226 211 843 342 324 1720 370 88 2178 48 314999 estab. 1631 144 373 247 287 1051 356 111 1518 113 1839 128 426 304 323 1181 432 117 1730 109 1791 130 422 285 311 1148 433 110 1691 100 1905 147 558 295 302 1302 405 94 1801 104 2302 211 843 342 325 1721 382 106 2209 93 314999 empl. 50656 0 869 1693 3917 6479 14104 11891 32474 18182 55068 0 963 2091 4464 7518 16546 12476 36540 18528 54166 0 970 1922 4260 7152 16165 12432 35749 18417 49025 0 1250 2020 4163 7433 15165 11345 33943 15082 48325 0 1786 2322 4507 8615 13970 12026 34611 13714 314999 ann. pay. 1171996 16124 15367 34988 79346 145825 295165 265444 706434 465562 1262991 7527 17588 43368 94277 162760 352366 292881 808007 454984 1327417 7321 19720 41323 87729 156093 362601 319238 837932 489485 1194609 11458 27796 43967 89409 172630 344610 287770 805010 389599 1228449 11228 33275 49953 102703 197159 354277 316653 868089 360360 314999 rec. 5794378 60309 166277 195530 436877 858993 1387465 1450053 3696511 2097867 315111 firms 129 9 22 23 22 76 27 15 118 11 123 10 23 19 17 69 28 16 113 10 111 8 18 17 19 62 24 17 103 8 110 5 19 22 18 64 21 17 102 8 85 5 17 8 16 46 18 14 78 7 315111 estab. 146 9 22 23 22 76 27 19 122 24 139 10 23 19 17 69 28 19 116 23 126 8 18 17 19 62 24 20 106 20 124 5 19 22 18 64 21 20 105 19 99 5 17 8 16 46 18 17 81 18 315111 empl. 17223 0 52 150 299 501 1144 3772 5417 11806 16340 0 56 125 241 422 1152 3996 5570 10770 14242 0 52 112 267 431 1010 4077 5518 8724 12712 0 49 148 257 454 934 3769 5157 7555 9770 0 40 53 226 319 637 2759 3715 6055 315111 ann. pay. 337272 1317 1192 2212 5043 9764 18796 68443 97003 240269 331505 3491 1293 1765 3371 9920 21158 75126 106204 225301 280573 500 848 3543 3810 8701 17398 79875 105974 174599 256410 198 777 2866 3353 7194 17284 68997 93475 162935 203881 175 1203 777 4984 7139 12278 58128 77545 126336 315111 rec. 946142 757 5835 3677 20097 30366 40755 239446 310567 635575 315119 firms 389 22 59 45 53 179 144 49 372 17 369 23 58 29 58 168 140 45 353 16 381 30 62 38 49 179 138 47 364 17 367 31 60 32 66 189 121 41 351 16 312 20 48 28 48 144 118 36 298 14 315119 estab. 427 22 59 45 53 179 146 57 382 45 412 23 59 29 58 169 143 55 367 45 420 30 62 38 49 179 139 57 375 45 404 31 60 32 66 189 122 49 360 44 343 20 48 28 48 144 121 43 308 35 315119 empl. 34148 0 120 305 776 1201 6109 9621 16931 17217 32889 0 142 196 840 1178 5972 9107 16257 16632 31558 0 136 263 701 1100 5682 8929 15711 15847 29839 0 126 217 938 1281 5361 7641 14283 15556 25350 0 109 196 673 978 5060 6587 12625 12725 315119 ann. pay. 673553 5682 2981 6641 12645 27949 102508 175981 306438 367115 671163 1493 2775 3250 14748 22266 106867 187635 316768 354395 679415 4353 2787 4138 13763 25041 105988 189989 321018 358397 622698 2409 2462 3694 17135 25700 104245 159282 289227 333471 594149 2803 2124 5150 12861 22938 108426 160030 291394 302755 315119 rec. 2633209 16640 8326 21137 51920 98023 393017 728247 1219287 1413922 315191 firms 635 49 126 95 97 367 199 50 616 19 608 66 139 77 92 374 168 46 588 20 570 67 123 81 87 358 150 45 553 17 534 53 137 79 72 341 135 46 522 12 390 30 94 56 62 242 109 28 379 11 315191 estab. 662 49 126 95 98 368 203 58 629 33 631 66 139 77 93 375 171 54 600 31 592 67 123 81 88 359 152 50 561 31 549 53 137 79 72 341 136 49 526 23 400 30 94 56 62 242 110 32 384 16 315191 empl. 36145 [a] [e] [f] [g] 2236 8938 8375 19549 16596 33321 [a] [e] 534 [g] 2079 7163 7367 16609 16712 30128 [a] [e] 559 [g] 2051 6049 7227 15327 14801 24192 [a] [e] [f] [f] 1804 5517 7363 14684 9508 17313 0 221 407 869 1497 4850 5140 11487 5826 315191 ann. pay. 771798 (D) (D) (D) (D) 59139 173719 157457 390315 381483 745827 (D) (D) 13484 (D) 60730 148443 142205 351378 394449 681644 (D) (D) 13819 (D) 57253 136256 130734 324243 357401 538971 (D) (D) (D) (D) 50475 122986 146660 320121 218850 426565 2543 7670 12334 21814 44361 114821 115120 274302 152263 315191 rec. 2278356 7584 38382 67673 93006 206645 544953 499018 1250616 1027740 315192 firms 46 3 10 6 1 20 9 8 37 9 39 3 11 3 1 18 6 8 32 7 37 2 11 3 1 17 7 8 32 5 31 1 11 2 1 15 5 7 27 4 33 5 8 3 3 19 7 4 30 3 315192 estab. 57 3 10 6 1 20 9 11 40 17 48 3 11 3 1 18 6 10 34 14 44 2 11 3 1 17 7 12 36 8 36 1 11 2 1 15 5 10 30 6 37 5 8 3 3 19 7 5 31 6 315192 empl. 6512 [a] [b] [b] [a] 72 420 1276 1768 4744 5604 [a] [b] 19 [a] 58 224 1393 1675 3929 4594 [a] [b] 20 [a] 57 336 1421 1814 2780 3736 [a] [b] [a] [a] 48 214 1042 1304 2432 3463 0 11 20 32 63 244 468 775 2688 315192 ann. pay. 125362 (D) (D) (D) (D) 1439 5718 21032 28189 97173 116756 (D) (D) 273 (D) 857 3135 25030 29022 87734 97477 (D) (D) 253 (D) 892 4250 32413 37555 59922 85302 (D) (D) (D) (D) 818 2941 24504 28263 57039 92166 101 143 400 426 1070 9862 13082 24014 68152 315192 rec. 689209 735 1185 2950 2694 7564 45579 72118 125261 563948 315211 firms 878 68 108 74 104 354 336 136 826 52 762 142 111 82 81 416 228 86 730 32 846 146 146 94 108 494 247 77 818 28 902 144 199 128 113 584 228 64 876 26 870 105 255 154 120 634 182 39 855 15 315211 estab. 980 68 108 74 104 354 338 164 856 124 829 142 111 82 81 416 228 104 748 81 904 146 148 94 108 496 249 95 840 64 947 144 199 128 113 584 230 75 889 58 902 105 255 156 120 636 187 47 870 32 315211 empl. 66341 0 260 505 1470 2235 15961 22529 40725 25616 41466 0 232 566 1197 1995 10548 12978 25521 15945 37160 0 338 620 1491 2449 10910 11636 24995 12165 32761 0 443 875 1567 2885 9697 8981 21563 11198 20849 0 566 1027 1601 3194 7401 5726 16321 4528 315211 ann. pay. 946258 6323 5414 8142 20923 40802 211963 310828 563593 382665 626367 10001 7338 8897 17518 43754 143240 189017 376011 250356 565052 8153 6043 10138 20136 44470 149761 160943 355174 209878 475651 15818 8674 12509 22106 59107 127582 114294 300983 174668 351202 8276 14171 20924 25091 68462 126822 80884 276168 75034 315211 rec. 1014313 26521 41980 48588 51347 168436 272725 264293 705454 308859 315212 firms 7286 718 1675 1268 1399 5060 1947 225 7232 54 6308 1188 1496 1067 1026 4777 1324 175 6276 32 6275 1067 1557 1077 1104 4805 1286 163 6254 21 6579 1202 1816 1207 977 5202 1217 144 6563 16 6323 1085 1858 1224 1019 5186 1028 96 6310 13 315212 estab. 7379 718 1675 1268 1399 5060 1957 260 7277 102 6362 1188 1496 1067 1026 4777 1330 201 6308 54 6318 1067 1557 1077 1104 4805 1294 187 6286 32 6616 1202 1816 1207 978 5203 1224 165 6592 24 6349 1085 1858 1224 1019 5186 1033 112 6331 18 315212 empl. 165425 0 3838 8563 19474 31875 77512 35886 145273 20152 114913 0 3405 7146 14198 24749 53001 27059 104809 10104 108870 0 3534 7301 15160 25995 50412 26106 102513 6357 100564 0 4072 8144 13313 25529 47307 22519 95355 5209 81797 0 4211 8325 14004 26540 38458 14193 79191 2606 315212 ann. pay. 2243858 41839 60059 105158 227942 434998 939593 489047 1863638 380220 1612863 77533 61542 92771 166794 398640 643174 375207 1417021 195842 1585862 57814 62398 96397 189146 405755 639044 406600 1451399 134463 1531229 68313 72857 109512 160692 411374 592658 370508 1374540 156689 1301257 63846 76996 128693 187637 457172 536961 252302 1246435 54822 315212 rec. 3932360 250270 184966 387150 539575 1361961 1501506 757477 3620944 311416 315221 firms 52 3 3 5 6 17 17 8 42 10 43 1 3 5 5 14 14 8 36 7 43 4 3 4 4 15 15 7 37 6 36 3 6 2 5 16 9 7 32 4 33 2 2 4 4 12 12 4 28 5 315221 estab. 61 3 3 5 6 17 17 10 44 17 52 1 3 5 5 14 14 11 39 13 47 4 3 4 4 15 15 7 37 10 40 3 6 2 5 16 9 7 32 8 35 2 2 4 4 12 12 6 30 5 315221 empl. 7165 0 8 35 77 120 819 866 1805 5360 5804 [a] [a] [b] 63 104 605 1006 1715 4089 3929 0 [a] [b] 57 87 704 677 1468 2461 2859 [a] [a] [a] 64 92 445 889 1426 1433 2455 [a] [a] [b] 54 80 494 641 1215 1240 315221 ann. pay. 137233 22 144 489 1445 2100 14506 18274 34880 102353 93859 (D) (D) (D) 1553 3718 11385 15854 30957 62902 84728 126 (D) (D) 1934 3110 10607 13228 26945 57783 74702 (D) (D) (D) 1765 2855 7600 23411 33866 40836 70011 (D) (D) (D) 1360 2241 10179 20229 32649 37362 315221 rec. 664846 (D) (D) (D) 7527 (D) 45996 80424 138688 526158 315222 firms 165 9 26 14 24 73 43 29 145 20 174 7 40 17 24 88 45 24 157 17 167 11 39 19 17 86 39 29 154 13 172 14 54 16 18 102 32 26 160 12 166 15 55 16 16 102 29 25 156 10 315222 estab. 189 9 26 14 24 73 44 32 149 40 194 7 40 17 24 88 46 26 160 34 182 11 39 19 17 86 40 32 158 24 186 14 54 16 18 102 32 30 164 22 180 15 55 16 16 102 29 31 162 18 315222 empl. 20859 [a] [b] 90 338 487 1884 4976 7347 13512 17890 0 96 117 338 551 1894 4100 6545 11345 14477 0 92 128 233 453 1527 5142 7122 7355 12506 0 107 109 236 452 1205 4311 5968 6538 11347 0 105 106 200 411 1303 4057 5771 5576 315222 ann. pay. 428050 (D) (D) 1880 6449 9631 37163 109374 156168 271882 391378 701 3018 2034 8577 14330 35245 101397 150972 240406 331198 450 1914 3155 5891 11410 33197 120147 164754 166444 287537 1663 2194 2198 5459 11514 27449 106866 145829 141708 272127 564 3032 2395 6392 12383 29566 113746 155695 116432 315222 rec. 1321932 2952 12615 16937 27311 59815 130666 595886 786367 535565 315223 firms 289 18 52 31 28 129 83 43 255 34 310 32 50 36 34 152 83 46 281 29 286 28 62 23 31 144 82 37 263 23 254 20 64 22 33 139 62 33 234 20 197 21 40 18 26 105 58 22 185 12 315223 estab. 352 18 52 31 29 130 85 49 264 88 369 32 50 36 35 153 84 55 292 77 324 28 62 24 31 145 83 47 275 49 273 20 64 22 33 139 62 40 241 32 212 21 40 18 26 105 60 27 192 20 315223 empl. 35299 [a] [c] 212 398 727 3940 7535 12202 23097 31063 0 110 251 488 849 4031 8420 13300 17763 22787 0 145 157 441 743 3758 6426 10927 11860 16293 0 140 141 472 753 2966 4770 8489 7804 12635 0 87 122 360 569 2813 2713 6095 6540 315223 ann. pay. 614069 (D) (D) 4281 7013 14679 80709 154742 250130 363939 566664 933 2158 5707 12439 21237 78370 166868 266475 300189 459177 3347 2769 3855 11723 21694 80522 114420 216636 242541 371998 5841 2939 5074 14617 28471 66095 85462 180028 191970 315422 727 3339 2581 16652 23299 69730 53063 146092 169330 315223 rec. 2606309 4890 31230 19001 103066 158187 453373 361949 973509 1632800 315224 firms 141 9 15 11 15 50 30 31 111 30 172 12 25 14 14 65 46 32 143 29 163 12 21 23 19 75 34 29 138 25 147 13 28 12 19 72 30 24 126 21 106 9 11 8 13 41 27 22 90 16 315224 estab. 202 9 15 11 15 50 34 38 122 80 228 12 25 19 14 70 46 35 151 77 203 12 21 27 19 79 34 33 146 57 184 14 28 12 31 85 31 27 143 41 135 9 11 8 17 45 28 27 100 35 315224 empl. 37479 [a] [b] 75 201 305 1362 5354 7021 30458 33384 0 57 93 184 334 2196 4863 7393 25991 26693 0 42 144 274 460 1513 4700 6673 20020 22083 0 65 79 262 406 1230 4194 5830 16253 21003 0 18 58 177 253 1230 3344 4827 16176 315224 ann. pay. 783854 (D) (D) 2412 4247 7735 30988 105212 143935 639919 628229 430 2147 2168 4946 9691 43780 93146 146617 481612 550236 274 3205 3238 6819 13536 36530 88644 138710 411526 458191 2069 3143 2680 7694 15586 29576 73924 119086 339105 485102 3600 2065 1917 5426 13008 34313 73049 120370 364732 315224 rec. 4040565 34730 5079 14416 29731 83956 285585 547300 916841 3123724 315225 firms 126 11 24 14 16 65 24 15 104 22 142 10 31 17 15 73 26 21 120 22 139 9 30 22 15 76 23 21 120 19 136 8 34 21 12 75 23 20 118 18 103 10 20 9 8 47 23 16 86 17 315225 estab. 175 11 24 14 16 65 24 18 107 68 195 10 31 17 15 73 26 25 124 71 190 9 30 22 15 76 24 25 125 65 181 8 34 21 12 75 24 23 122 59 136 10 20 9 8 47 23 20 90 46 315225 empl. 20413 [a] [b] 96 204 352 977 2480 3809 16604 20107 [a] [b] [c] 188 372 1098 3556 5026 15081 17756 0 [b] [c] 197 411 966 3764 5141 12615 16386 [a] [b] [c] 142 363 940 3527 4830 11556 12032 [a] [b] [b] 96 202 979 3314 4495 7537 315225 ann. pay. 309466 (D) (D) 1430 2310 4781 15317 45232 65330 244136 322243 (D) (D) (D) 3122 7175 17253 63625 88053 234190 298504 358 (D) (D) 3075 7636 18241 75065 100942 197562 267633 (D) (D) (D) 2222 6428 18499 70560 95487 172146 217679 (D) (D) (D) 1936 6179 20834 70114 97127 120552 315225 rec. 1762788 (D) (D) (D) 7555 (D) 117538 305940 455396 1307392 315228 firms 327 34 81 37 38 190 81 30 301 26 360 32 91 44 44 211 97 28 336 24 354 38 83 43 55 219 88 26 333 21 331 29 93 46 47 215 76 25 316 15 227 21 40 28 44 133 66 21 220 7 315228 estab. 366 34 81 37 38 190 83 38 311 55 396 32 91 44 44 211 100 39 350 46 389 38 84 43 55 220 92 36 348 41 357 29 93 46 47 215 79 35 329 28 246 21 40 28 44 133 68 31 232 14 315228 empl. 23347 [a] [c] 232 537 949 3536 5528 10013 13334 20770 0 201 292 646 1139 4174 4949 10262 10508 16831 0 196 273 757 1226 4099 4168 9493 7338 14012 0 200 309 639 1148 3569 3834 8551 5461 11317 0 88 203 595 886 3035 3194 7115 4202 315228 ann. pay. 395172 (D) (D) 4907 8409 17637 55460 100633 173730 221442 365132 4360 3790 5095 13070 26315 73180 84811 184306 180826 337368 1419 3725 4989 16881 27014 81108 82629 190751 146617 296460 1829 5677 6133 13126 26765 61721 88480 176966 119494 251928 817 3083 7236 14980 26116 66137 78436 170689 81239 315228 rec. 1559974 4453 21752 36289 66944 129438 322498 448939 900875 659099 315231 firms 203 13 33 29 35 110 39 41 190 13 217 13 37 41 31 122 47 36 205 12 211 24 41 32 26 123 45 34 202 9 196 15 51 27 22 115 44 28 187 9 132 13 22 13 19 67 34 23 124 8 315231 estab. 224 13 33 29 36 111 41 47 199 25 243 13 38 41 31 123 50 43 216 27 231 24 42 32 26 124 46 39 209 22 213 15 51 27 22 115 45 32 192 21 148 13 22 13 19 67 35 28 130 18 315231 empl. 19477 0 80 196 481 757 1814 6735 9306 10171 18475 0 76 286 410 772 2124 5798 8694 9781 15032 0 88 208 342 638 2038 5708 8384 6648 12320 0 113 167 303 583 1824 4503 6910 5410 10629 0 53 87 266 406 1583 3931 5920 4709 315231 ann. pay. 377198 289 2285 4899 10791 18264 34017 131494 183775 193423 378316 1624 2165 6285 8577 18651 35976 122218 176845 201471 350960 1802 1784 5158 9189 17933 36927 123476 178336 172624 293683 1445 2568 3873 9869 17755 35819 98925 152499 141184 271806 2023 2983 2534 9150 16690 46851 83131 146672 125134 315231 rec. 2775346 30375 31128 25463 69393 156359 315125 575755 1047239 1728107 315232 firms 574 70 92 76 118 356 158 44 558 16 672 89 97 91 120 397 215 45 657 15 649 100 112 96 124 432 160 43 635 14 566 84 133 99 82 398 121 34 553 13 396 55 63 62 68 248 105 32 385 11 315232 estab. 586 70 92 76 118 356 158 46 560 26 683 89 97 91 120 397 215 50 662 21 659 100 112 96 124 432 161 47 640 19 574 84 133 99 82 398 122 37 557 17 400 55 63 62 68 248 106 34 388 12 315232 empl. 20111 0 215 535 1668 2418 6333 6248 14999 5112 24146 0 218 608 1681 2507 8491 6329 17327 6819 21871 0 260 654 1744 2658 6629 5833 15120 6751 15629 0 303 683 1129 2115 4791 4328 11234 4395 11386 0 152 420 924 1496 3975 4019 9490 1896 315232 ann. pay. 491021 4153 4787 11322 36261 56523 153669 170099 380291 110730 560663 4355 7835 11064 33240 56494 190448 179009 425951 134712 543278 3713 6262 12420 38003 60398 158488 179780 398666 144612 418877 5966 8907 16064 25732 56669 127191 134593 318453 100424 393103 13868 5119 14003 27309 60299 121489 161308 343096 50007 315232 rec. 3591353 117036 48245 92251 184205 441737 823782 1375563 2641082 950271 315233 firms 727 116 147 110 124 497 178 44 719 8 822 134 176 118 138 566 204 41 811 11 805 100 204 127 138 569 192 33 794 11 730 110 186 121 119 536 155 28 719 11 565 75 138 72 93 378 159 18 555 10 315233 estab. 751 116 147 110 124 497 185 55 737 14 844 134 176 118 138 566 211 47 824 20 821 100 204 127 138 569 193 41 803 18 745 110 186 121 119 536 157 34 727 18 575 75 138 72 93 378 161 23 562 13 315233 empl. 20987 0 332 737 1717 2786 7172 6582 16540 4447 23344 0 379 780 1873 3032 8248 6435 17715 5629 22150 0 427 849 1955 3231 8021 5728 16980 5170 18875 0 380 801 1612 2793 6477 4298 13568 5307 14115 0 309 471 1297 2077 6097 2230 10404 3711 315233 ann. pay. 641883 6179 8100 13366 49629 77274 211579 202781 491634 150249 702591 7117 7294 13555 35089 63055 226585 215496 505136 197455 689370 7359 9873 18646 39276 75154 221815 176133 473102 216268 597785 5314 10082 14832 36452 66680 193122 137814 397616 200169 516267 5110 9477 12120 40906 67613 198905 93336 359854 156413 315233 rec. 3479201 36956 108668 80000 234269 459893 1384079 856199 2700171 779030 315234 firms 357 45 63 53 70 231 91 26 348 9 419 48 81 65 79 273 116 23 412 7 377 30 88 82 60 260 90 18 368 9 353 35 89 66 68 258 68 19 345 8 226 23 41 37 46 147 59 15 221 5 315234 estab. 364 45 63 53 70 231 91 28 350 14 428 48 81 65 79 273 116 27 416 12 386 30 88 82 60 260 91 21 372 14 362 35 89 66 68 258 68 24 350 12 230 23 41 37 46 147 59 18 224 6 315234 empl. 15662 0 142 385 939 1466 3945 4134 9545 6117 14416 0 187 447 1074 1708 4657 3215 9580 4836 11450 0 209 574 865 1648 3792 2474 7914 3536 9807 0 194 449 965 1608 2738 2497 6843 2964 6668 0 90 272 672 1034 2293 2004 5331 1337 315234 ann. pay. 455933 1926 3844 9119 27408 42297 127683 121811 291791 164142 440432 4151 4898 10807 31832 51688 136276 112804 300768 139664 386930 3527 5156 15734 28699 53116 120526 106253 279895 107035 355727 1085 6338 12568 26012 46003 88506 111304 245813 109914 275518 1256 3359 12213 24548 41376 87966 100181 229523 45995 315234 rec. 2021445 7349 22928 114122 159756 304155 603807 742802 1650764 370681 315239 firms 1521 435 310 221 232 1198 237 57 1492 29 1580 321 357 264 233 1175 321 59 1555 25 1598 307 399 290 222 1218 298 63 1579 19 1525 278 438 278 206 1200 250 58 1508 17 906 183 165 107 159 614 218 56 888 18 315239 estab. 1561 435 310 221 232 1198 242 65 1505 56 1615 321 357 265 233 1176 326 69 1571 44 1622 307 401 291 222 1221 299 69 1589 33 1544 278 438 278 206 1200 251 64 1515 29 919 183 165 107 159 614 220 59 893 26 315239 empl. 49564 0 707 1485 3205 5397 8979 10060 24436 25128 49057 0 840 1862 3217 5919 12370 11788 30077 18980 44347 0 882 1965 3075 5922 11756 11728 29406 14941 37284 0 998 1887 2750 5635 10099 9579 25313 11971 29621 0 378 740 2194 3312 8416 9531 21259 8362 315239 ann. pay. 1141112 28991 12798 25576 39356 106721 173166 264278 544165 596947 1192311 35706 17437 31244 48653 133040 216532 311646 661218 531093 1067615 24441 19429 36031 49502 129403 230251 344672 704326 363289 979064 32064 24203 32837 53479 142583 216172 331082 689837 289227 905216 26730 9074 20374 60667 116845 222265 296921 636031 269185 315239 rec. 7624352 201536 60089 121525 424126 807276 1410179 2234743 4452198 3172154 315291 firms 43 9 7 3 2 21 9 3 33 10 45 4 6 3 6 19 13 3 35 10 35 3 4 3 5 15 8 3 26 9 40 6 10 2 3 21 8 3 32 8 32 3 9 4 5 21 5 5 31 1 315291 estab. 56 9 7 3 2 21 10 4 35 21 57 4 6 3 6 19 14 4 37 20 47 3 4 3 5 15 9 4 28 19 47 6 10 2 3 21 9 3 33 14 32 3 9 4 5 21 5 5 31 1 315291 empl. 8229 [a] [a] [a] [b] 60 414 701 1175 7054 7143 0 15 20 80 115 530 590 1235 5908 6312 0 9 20 61 90 273 407 770 5542 4553 0 [a] [a] 37 64 273 348 685 3868 1236 0 [a] 25 71 [c] 144 808 [g] [c] 315291 ann. pay. 141630 (D) (D) (D) (D) 1633 6823 12335 20791 120839 118506 234 351 323 757 1665 7725 11717 21107 97399 117663 33 133 436 914 1516 4316 6265 12097 105566 90776 671 (D) (D) 395 2232 3740 4735 10707 80069 21811 10 (D) 639 1784 (D) 2218 14373 (D) (D) 315291 rec. 152417 77 (D) 4908 8952 (D) 11202 113149 (D) (D) 315292 firms 237 46 106 40 24 216 16 5 237 0 262 57 118 39 20 234 22 6 262 0 266 36 127 44 29 236 25 5 266 0 257 32 119 39 32 222 31 4 257 0 174 18 87 21 25 151 19 4 174 0 315292 estab. 238 46 106 40 24 216 16 6 238 0 264 57 118 39 20 234 22 8 264 0 268 36 127 44 29 236 25 7 268 0 259 32 119 39 32 222 32 5 259 0 176 18 87 21 25 151 20 5 176 0 315292 empl. 2355 0 231 269 324 824 672 859 2355 0 2349 0 251 258 255 764 753 832 2349 0 2489 0 243 283 400 926 965 598 2489 0 2650 0 239 249 425 913 1249 488 2650 0 1794 0 179 137 315 631 726 437 1794 0 315292 ann. pay. 59631 2583 5813 4370 7359 20125 13795 25711 59631 0 54656 2239 6305 4965 6542 20051 15703 18902 54656 0 60178 2296 7187 5502 8898 23883 21055 15240 60178 0 61761 1108 6319 5908 10137 23472 28189 10100 61761 0 51799 1352 4897 4733 6497 17479 25328 8992 51799 0 315292 rec. 269097 10508 30558 31491 21890 94447 142198 32452 269097 0 315299 firms 199 54 20 29 26 129 43 21 193 6 335 55 71 41 46 213 85 29 327 8 367 63 76 50 58 247 83 29 359 8 384 49 96 57 61 263 86 28 377 7 353 42 78 48 57 225 91 31 347 6 315299 estab. 201 54 20 29 26 129 43 22 194 7 341 55 71 41 46 213 85 32 330 11 372 63 76 50 58 247 84 32 363 9 387 49 96 57 61 263 86 30 379 8 364 42 78 48 57 225 93 36 354 10 315299 empl. 7628 [a] [b] [c] [e] 642 1855 3290 5787 1841 12047 0 158 290 656 1104 3730 3986 8820 3227 11046 0 178 331 766 1275 3515 4185 8975 2071 10392 0 [c] [e] 820 1409 3446 3904 8759 1633 11532 0 [c] 332 781 [g] 3551 4540 [i] [g] 315299 ann. pay. 155362 (D) (D) (D) (D) 15115 32967 73872 121954 33408 236278 5067 3098 4521 11670 24356 67200 79524 171080 65198 223026 2286 3597 5406 16557 27846 71142 83792 182780 40246 230304 2713 (D) (D) 17909 30634 69584 84636 184854 45450 287070 2452 (D) 7034 22641 (D) 84683 100008 (D) (D) 315299 rec. 1090158 7563 (D) 23021 68949 (D) 317059 376590 (D) (D) 315991 firms 361 41 95 43 51 230 91 28 349 12 358 46 94 50 40 230 94 24 348 10 361 52 107 46 41 246 88 18 352 9 339 48 99 45 35 227 84 21 332 7 264 24 80 32 33 169 72 16 257 7 315991 estab. 387 41 95 43 51 230 95 33 358 29 378 46 94 50 40 230 97 28 355 23 377 52 107 46 41 246 89 19 354 23 350 48 99 45 35 227 85 22 334 16 273 24 80 32 33 169 73 17 259 14 315991 empl. 17065 [a] [c] [e] 693 1169 4140 4185 9494 7571 14904 0 204 339 528 1071 4462 3240 8773 6131 13171 0 226 303 539 1068 4116 2234 7418 5753 11304 0 213 306 487 1006 3671 2350 7027 4277 9933 0 166 224 482 872 3231 1613 5716 4217 315991 ann. pay. 313672 (D) (D) (D) 11454 21223 76381 68483 166087 147585 279624 2192 3807 5283 8160 19442 77246 55336 152024 127600 273298 1946 5894 6219 7761 21820 79746 40437 142003 131295 234163 5436 5284 5821 8608 25149 76513 40484 142146 92017 224786 2045 3576 5875 9078 20574 67946 31867 120387 104399 315991 rec. 881256 7764 20625 22040 30294 80723 223629 114957 419309 461947 315992 firms 107 8 18 11 16 53 32 18 103 4 115 16 21 12 17 66 31 15 112 3 102 15 20 11 15 61 25 12 98 4 96 10 22 11 9 52 29 11 92 4 77 3 14 7 14 38 23 12 73 4 315992 estab. 141 8 18 11 16 53 39 37 129 12 147 16 21 12 17 66 42 30 138 9 131 15 20 11 16 62 31 29 122 9 122 10 24 11 10 55 34 25 114 8 100 3 14 7 15 39 30 24 93 7 315992 empl. 5849 0 36 72 216 324 1432 2448 4204 1645 5494 0 47 76 239 362 1456 2380 4198 1296 4498 0 40 [b] 211 [e] 1070 1718 [h] [g] 4108 0 [b] 74 113 [c] 1121 1581 [h] [g] 3762 0 [b] 52 180 [e] 961 1676 [h] [f] 315992 ann. pay. 94599 181 687 842 4296 6006 22568 35902 64476 30123 104690 565 631 857 3839 5892 24606 42905 73403 31287 102958 1008 662 (D) 4382 (D) 20500 38050 (D) (D) 95841 1180 (D) 1112 2762 (D) 20881 34690 (D) (D) 80174 363 (D) 1372 4424 (D) 18014 34500 (D) (D) 315992 rec. 361318 1948 (D) 4160 23349 (D) 72539 190443 (D) (D) 315993 firms 118 8 21 14 17 60 44 9 113 5 118 15 21 14 20 70 36 7 113 5 107 9 23 16 21 69 28 8 105 2 91 4 23 14 18 59 25 5 89 2 72 3 19 18 8 48 18 4 70 2 315993 estab. 122 8 21 14 17 60 46 10 116 6 121 15 21 14 20 70 38 7 115 6 109 9 23 16 21 69 29 9 107 2 93 4 23 14 18 59 26 6 91 2 73 3 19 18 8 48 18 5 71 2 315993 empl. 5004 [a] [b] [b] 219 361 1804 1361 3526 1478 4317 0 55 93 271 419 1557 1012 2988 1329 3802 0 53 [c] 315 [e] 1225 1361 [h] [f] 3320 0 [b] 93 244 [e] 1063 1012 [g] [f] 2399 0 [b] 120 105 [e] 713 666 [g] [f] 315993 ann. pay. 126644 (D) (D) (D) 4055 11321 40773 35432 87526 39118 122491 1647 1207 4072 5089 12015 34986 41623 88624 33867 103467 241 1296 (D) 6161 (D) 25217 42349 (D) (D) 90991 152 (D) 3341 5363 (D) 17936 40163 (D) (D) 79286 55 (D) 4152 2084 (D) 15859 33308 (D) (D) 315993 rec. 392891 256 (D) 20175 9074 (D) 73426 190924 (D) (D) 315999 firms 1792 272 761 267 196 1496 225 47 1768 24 1719 233 752 273 184 1442 222 36 1700 19 1711 245 743 270 183 1441 217 36 1694 17 1542 177 695 264 163 1299 192 35 1526 16 980 76 442 155 107 780 151 35 966 14 315999 estab. 1826 272 761 269 198 1500 233 67 1800 26 1745 233 754 273 185 1445 224 57 1726 19 1743 245 743 272 184 1444 219 61 1724 19 1559 177 695 266 164 1302 195 43 1540 19 995 76 442 157 108 783 155 40 978 17 315999 empl. 28954 0 1531 1763 2591 5885 8867 6697 21449 7505 25665 0 1551 1777 2481 5809 8491 5239 19539 6126 25289 0 1528 1773 2478 5779 8578 5171 19528 5761 23557 0 1419 1727 2223 5369 7884 5158 18411 5146 18033 0 933 1021 1474 3428 6143 4703 14274 3759 315999 ann. pay. 601433 11961 23541 30834 44598 110934 166421 143956 421311 180122 543100 16810 26552 28332 44009 115703 162369 124991 403063 140037 556202 14940 29034 33043 45137 122154 167368 120267 409789 146413 546509 8115 28676 33328 41641 111760 173975 117700 403435 143074 463300 8526 17784 23556 37325 87191 155245 119418 361854 101446 315999 rec. 2310539 40024 85736 98151 162712 386623 617977 711471 1716071 594468 316110 firms 290 25 99 48 34 206 55 13 274 16 329 41 103 50 42 236 63 15 314 15 330 28 103 56 46 233 69 13 315 15 342 34 117 60 39 250 66 13 329 13 274 25 98 45 32 200 53 11 264 10 316110 estab. 315 25 99 48 34 206 57 14 277 38 354 41 103 50 42 236 65 16 317 37 354 28 103 56 46 233 72 14 319 35 358 34 117 60 39 250 69 13 332 26 286 25 98 45 32 200 54 14 268 18 316110 empl. 13427 [a] [c] 295 482 991 2499 1719 5209 8218 14891 0 235 324 537 1096 2582 2258 5936 8955 13834 0 221 377 601 1199 2898 1828 5925 7909 11660 0 253 413 519 1185 2802 1838 5825 5835 9274 0 213 302 429 944 2141 1670 4755 4519 316110 ann. pay. 384198 (D) (D) 5931 10334 22406 63787 48794 134987 249211 426501 7564 4558 7317 14684 34123 71255 61840 167218 259283 406554 1634 5334 8568 14508 30044 78424 55573 164041 242513 353873 1091 5943 9761 11879 28674 76597 45579 150850 203023 315147 964 4667 8361 12461 26453 66719 47456 140628 174519 316110 rec. 2343202 6877 26770 41745 73966 149358 458337 401938 1009633 1333569 316211 firms 49 3 10 3 6 22 5 15 42 7 51 5 11 4 3 23 11 11 45 6 48 3 9 5 10 27 4 12 43 5 46 1 11 5 8 25 4 12 41 5 54 2 19 5 7 33 6 10 49 5 316211 estab. 60 3 10 3 6 22 5 19 46 14 64 5 11 4 3 23 15 12 50 14 57 3 9 5 10 27 4 13 44 13 54 1 11 5 8 25 4 13 42 12 61 2 19 5 7 33 6 12 51 10 316211 empl. 7836 [a] [b] [a] [b] [c] [e] 3144 3580 4256 6828 0 26 24 41 91 453 2367 2911 3917 6874 [a] 16 [b] 134 181 140 2391 2712 4162 6642 [a] [b] [b] [b] 151 170 2114 2435 4207 5095 [a] [b] 34 92 168 220 1462 1850 3245 316211 ann. pay. 164241 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 63525 70353 93888 143167 226 579 523 1545 2873 11471 44103 58447 84720 199801 (D) 435 (D) 3434 5305 2834 56515 64654 135147 169471 (D) (D) (D) (D) 3324 4834 50460 58618 110853 150289 (D) (D) 977 2004 4042 7684 26790 38516 111773 316211 rec. 1301992 (D) (D) 3837 6040 (D) 42943 153435 211110 1090882 316212 firms 23 2 10 1 2 15 2 4 21 2 17 2 5 1 2 10 1 5 16 1 15 0 4 1 1 6 4 4 14 1 15 1 4 1 1 7 3 4 14 1 14 0 3 2 1 6 3 4 13 1 316212 estab. 26 2 10 1 2 15 2 4 21 5 20 2 5 1 2 10 1 7 18 2 18 0 4 1 1 6 4 6 16 2 17 1 4 1 1 7 3 6 16 1 16 0 3 2 1 6 3 6 15 1 316212 empl. 2024 [a] [b] [a] [b] [b] [b] 830 [f] [g] 1948 [a] 10 [a] [b] [b] [b] 1301 [g] [f] 1719 0 4 [a] [a] [b] 166 1149 [g] [e] 1282 [a] [a] [a] [a] 29 118 [g] [g] [b] 1060 0 3 [a] [a] 28 59 [f] [f] [b] 316212 ann. pay. 45811 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 21170 (D) (D) 43663 (D) 189 (D) (D) (D) (D) 33741 (D) (D) 45957 0 21 (D) (D) (D) 4492 31619 (D) (D) 35607 (D) (D) (D) (D) 1233 3094 (D) (D) (D) 28306 0 20 (D) (D) 345 2027 (D) (D) (D) 316212 rec. 173650 0 415 (D) (D) (D) 20700 (D) (D) (D) 316213 firms 121 11 34 12 13 70 20 10 100 21 116 11 37 13 11 72 19 8 99 17 118 14 36 16 12 78 15 8 101 17 113 10 37 18 12 77 14 9 100 13 92 10 33 10 9 62 12 8 82 10 316213 estab. 141 11 34 12 13 70 21 11 102 39 135 11 37 13 11 72 20 9 101 34 136 14 36 16 12 78 16 9 103 33 130 10 37 18 12 77 15 10 102 28 108 10 33 10 9 62 12 11 85 23 316213 empl. 16694 [a] [b] [b] 188 337 899 1839 3075 13619 14997 0 86 78 144 308 824 1449 2581 12416 13388 0 84 104 164 352 564 1496 2412 10976 12116 0 83 120 148 351 595 1676 2622 9494 9459 0 76 67 107 250 419 1243 1912 7547 316213 ann. pay. 350117 (D) (D) (D) 3157 5837 17039 38867 61743 288374 340319 2717 1674 1309 2851 8551 14716 32133 55400 284919 326032 2271 2074 1886 2809 9040 11432 32562 53034 272998 274354 809 1756 2350 3342 8257 12029 40846 61132 213222 235270 588 1750 1200 2703 6241 12382 29958 48581 186689 316213 rec. 1180628 3544 10090 6527 23371 43532 76200 161401 281133 899495 316214 firms 98 9 24 9 13 55 23 13 91 7 95 11 26 11 8 56 21 13 90 5 94 8 27 13 9 57 20 13 90 4 99 10 29 16 12 67 22 7 96 3 78 6 28 8 10 52 17 7 76 2 316214 estab. 104 9 24 9 13 55 23 13 91 13 100 11 26 11 8 56 21 13 90 10 97 8 27 13 9 57 20 13 90 7 102 10 29 16 12 67 22 7 96 6 81 6 28 8 10 52 17 7 76 5 316214 empl. 8514 0 53 61 180 294 874 2237 3405 5109 7287 0 56 78 99 233 729 2573 3535 3752 6589 0 60 80 128 268 760 2361 3389 3200 4996 0 64 107 179 350 842 1223 2415 2581 4453 [a] [b] [b] [c] [e] 535 1274 [g] [g] 316214 ann. pay. 156190 390 962 997 2395 4744 15888 38952 59584 96606 146691 647 1214 1582 1900 5343 11680 46301 63324 83367 130011 95 1523 1586 2813 6017 15221 43379 64617 65394 109342 376 1510 2182 2668 6736 16838 27846 51420 57922 97473 (D) (D) (D) (D) (D) 10655 29108 (D) (D) 316214 rec. 233470 (D) (D) (D) (D) (D) 26223 93452 (D) (D) 316219 firms 84 7 30 9 8 54 21 4 79 5 80 9 29 8 6 52 17 5 74 6 80 9 33 7 9 58 12 5 75 5 78 9 35 8 7 59 12 2 73 5 73 9 28 10 9 56 13 2 71 2 316219 estab. 86 7 30 9 8 54 21 4 79 7 81 9 29 8 6 52 17 5 74 7 81 9 33 7 9 58 12 6 76 5 78 9 35 8 7 59 12 2 73 5 73 9 28 10 9 56 13 2 71 2 316219 empl. 3139 [a] 75 [b] 109 [c] 1129 751 [g] [g] 2588 [a] 68 [b] [b] [c] [f] 628 [g] [f] 1867 [a] 72 [b] [c] [c] 508 509 [g] [f] 1976 [a] [b] 55 85 206 439 [c] [f] [g] 1042 0 [b] [b] 114 [c] 433 [c] [f] [c] 316219 ann. pay. 58089 (D) 1108 (D) 2100 (D) 22781 15564 (D) (D) 52451 (D) 1253 (D) (D) (D) (D) 20360 (D) (D) 33475 (D) 1295 (D) (D) (D) 9003 9896 (D) (D) 37760 (D) (D) 1426 1815 4540 7244 (D) (D) (D) 24692 3364 (D) (D) 1929 (D) 8227 (D) (D) (D) 316219 rec. 74717 11122 (D) (D) 5562 (D) 22581 (D) (D) (D) 316991 firms 273 24 70 39 36 169 77 18 264 9 277 28 76 42 33 179 75 15 269 8 265 21 70 42 36 169 75 13 257 8 264 16 84 42 37 179 66 11 256 8 233 13 74 36 36 159 58 10 227 6 316991 estab. 281 24 70 39 36 169 79 22 270 11 284 29 76 42 33 180 77 17 274 10 271 21 71 42 36 170 77 14 261 10 268 16 84 42 37 179 66 14 259 9 236 13 74 36 36 159 58 12 229 7 316991 empl. 9649 0 162 266 506 934 3474 2901 7309 2340 8749 0 186 287 467 940 3358 2247 6545 2204 7989 0 164 273 475 912 3173 1991 6076 1913 7550 0 194 283 526 1003 2945 1806 5754 1796 5894 0 173 249 491 913 2521 1396 4830 1064 316991 ann. pay. 226442 1836 2957 4378 10057 19228 67013 65476 151717 74725 205504 1724 3689 4505 10001 19919 65307 54232 139458 66046 204984 659 3223 4791 9569 18242 68789 57758 144789 60195 183441 463 4210 6290 9817 20780 64181 43318 128279 55162 139692 1328 3950 5395 9655 20328 58635 36182 115145 24547 316991 rec. 589775 6537 20260 21933 35582 84312 204092 209167 497571 92204 316992 firms 145 10 71 27 9 117 18 7 142 3 125 8 62 22 9 101 16 5 122 3 114 12 49 24 6 91 15 4 110 4 111 13 47 16 13 89 13 5 107 4 110 16 52 17 12 97 7 3 107 3 316992 estab. 146 10 71 27 9 117 18 7 142 4 126 8 62 22 9 101 16 5 122 4 115 12 49 24 6 91 15 4 110 5 112 13 47 16 13 89 13 5 107 5 111 16 52 17 12 97 7 3 107 4 316992 empl. 3775 0 [c] 171 119 [e] 713 1203 [g] [g] 3262 [a] 145 149 119 [e] 596 749 [g] [g] 3297 [a] 99 160 76 [e] 592 728 [g] [g] 3028 0 95 110 159 364 504 545 1413 1615 2384 0 95 111 166 372 236 460 1068 1316 316992 ann. pay. 106129 397 (D) 2167 2884 (D) 16872 35525 (D) (D) 95734 (D) 1747 1987 2320 (D) 17202 26703 (D) (D) 94027 (D) 1813 2974 1095 (D) 15343 29712 (D) (D) 83070 615 1733 1818 3230 7396 11503 27086 45985 37085 65670 263 1857 1989 5260 9369 7422 23257 40048 25622 316992 rec. 271423 1585 7753 6801 18105 34244 30217 138289 202750 68673 316993 firms 175 21 56 34 23 134 26 14 174 1 176 30 61 27 16 134 26 15 175 1 182 24 72 27 21 144 23 14 181 1 165 13 60 30 24 127 27 11 165 0 157 15 57 29 25 126 23 8 157 0 316993 estab. 177 21 56 34 23 134 26 16 176 1 178 30 61 27 16 134 26 17 177 1 184 24 72 27 21 144 23 16 183 1 167 13 60 30 24 127 27 13 167 0 160 15 57 29 25 126 23 11 160 0 316993 empl. 4725 0 [c] 230 292 [f] 1124 2560 [h] [e] 4190 [a] 144 182 188 [f] 1064 2599 [h] [a] 3935 [a] 155 188 283 [f] 1018 2278 [h] [a] 3332 0 110 191 306 607 1068 1657 3332 0 2807 0 111 186 328 625 929 1253 2807 0 316993 ann. pay. 83891 477 (D) 3762 4687 (D) 20475 48549 (D) (D) 87986 (D) 2466 3329 3014 (D) 19071 59321 (D) (D) 78738 (D) 3230 3587 4534 (D) 22230 43947 (D) (D) 69419 320 2692 4762 5482 13256 22477 33686 69419 0 65518 1805 2840 4581 8793 18019 20137 27362 65518 0 316993 rec. 231556 8064 9162 14637 37105 68968 65661 96927 231556 0 316999 firms 451 30 187 77 60 354 73 14 441 10 451 45 176 83 51 355 72 14 441 10 457 49 183 82 53 367 67 13 447 10 464 45 198 77 58 378 67 12 457 7 408 35 175 64 58 332 60 12 404 4 316999 estab. 465 30 187 77 60 354 74 26 454 11 465 45 176 83 51 355 73 26 454 11 470 49 183 82 53 367 68 24 459 11 477 45 198 77 58 378 68 23 469 8 417 35 175 64 58 332 62 19 413 4 316999 empl. 9542 0 426 511 800 1737 2749 2506 6992 2550 9226 0 390 556 700 1646 2745 2704 7095 2131 9020 0 392 562 726 1680 2708 2406 6794 2226 7985 0 398 520 771 1689 2804 2415 6908 1077 6327 0 384 443 730 1557 2290 2074 5921 406 316999 ann. pay. 197956 2293 6705 7776 13306 30080 55447 52153 137680 60276 195917 1754 5825 8931 12688 29198 60082 60660 149940 45977 190929 2174 5855 11884 15037 34950 57136 47828 139914 51015 179330 1539 6619 9090 15801 33049 56671 53520 143240 36090 147310 3359 6576 9445 15654 35034 54515 49292 138841 8469 316999 rec. 705753 15577 34390 36924 68769 155660 208732 268131 632523 73230 321113 firms 4036 303 1077 727 775 2882 880 208 3970 66 4020 310 1049 751 778 2888 859 198 3945 75 3901 278 1015 702 766 2761 865 205 3831 70 3785 257 1023 721 711 2712 831 178 3721 64 3507 256 940 643 645 2484 776 188 3448 59 321113 estab. 4397 303 1077 727 776 2883 916 301 4100 297 4385 310 1049 751 781 2891 898 284 4073 312 4255 278 1016 702 768 2764 900 294 3958 297 4127 258 1025 721 713 2717 862 266 3845 282 3852 256 940 643 650 2489 812 288 3589 263 321113 empl. 118996 0 2495 4926 10588 18009 35991 30053 84053 34943 119513 0 2377 5082 10651 18110 35366 28238 81714 37799 118974 0 2279 4704 10392 17375 35509 30340 83224 35750 110118 0 2252 4872 9733 16857 34753 25914 77524 32594 104062 0 2182 4371 8888 15441 31415 27263 74119 29943 321113 ann. pay. 3247528 16156 39085 84245 208012 347498 863105 866983 2077586 1169942 3397983 51047 40556 87951 212363 391917 866020 854782 2112719 1285264 3422740 10121 36900 82421 214785 344227 882657 900488 2127372 1295368 3158380 12519 40885 89260 196743 339407 870673 788394 1998474 1159906 3166829 13536 42948 83581 193179 333244 826295 858337 2017876 1148953 321113 rec. 21781440 117728 324991 557663 1214197 2214579 5162805 5754964 13132348 8649092 321114 firms 366 25 82 66 51 224 93 34 351 15 356 13 74 72 59 218 85 36 339 17 342 16 73 64 51 204 89 34 327 15 364 16 90 67 58 231 82 36 349 15 409 33 111 70 57 271 86 37 394 15 321114 estab. 462 25 82 66 51 224 101 80 405 57 454 13 74 72 59 218 92 84 394 60 440 16 73 64 51 204 95 86 385 55 467 16 90 67 58 231 89 90 410 57 516 33 111 70 57 271 95 91 457 59 321114 empl. 11377 0 200 441 703 1344 3536 4397 9277 2100 12403 0 172 492 818 1482 3280 5118 9880 2523 12379 0 174 448 705 1327 3496 5223 10046 2333 12070 0 216 446 839 1501 3149 4999 9649 2421 11936 0 230 468 759 1457 3255 4660 9372 2564 321114 ann. pay. 314491 2429 4095 10140 16084 32748 99992 119291 252031 62460 352524 331 3918 10630 19227 34106 94723 152741 281570 70954 359943 2342 3625 9411 17858 33236 98962 159591 291789 68154 361926 3953 5167 9494 21589 40203 91031 157938 289172 72754 382843 2150 5958 10733 22625 41466 100726 154282 296474 86369 321114 rec. 4383318 25637 73331 104604 267534 471106 1151924 1597353 3220383 1162935 321211 firms 303 17 47 16 34 114 116 54 284 19 311 15 46 25 33 119 115 55 289 22 307 11 47 20 36 114 114 59 287 20 320 9 56 30 36 131 116 51 298 22 300 8 52 25 48 133 100 47 280 20 321211 estab. 334 17 47 16 34 114 119 65 298 36 345 15 46 25 33 119 118 68 305 40 344 11 47 20 36 114 117 73 304 40 356 9 56 30 36 131 118 61 310 46 333 8 52 25 48 133 102 56 291 42 321211 empl. 23120 [a] [c] [b] 486 694 5457 9840 15991 7129 [j] 0 [b] 176 479 [f] 5391 9506 [j] [i] 24050 [a] [c] [c] 511 [f] 5318 10248 [j] [i] 23446 [a] [c] 208 519 [f] 5242 8890 [j] [i] 20946 0 108 171 677 956 4566 8310 13832 7114 321211 ann. pay. 572209 (D) (D) (D) 11617 19970 124851 232062 376883 195326 (D) 250 (D) 4393 11457 (D) 124640 240589 (D) (D) 625112 (D) (D) (D) 13458 (D) 125976 255028 (D) (D) 595895 (D) (D) 5699 14216 (D) 124773 216044 (D) (D) 575498 1466 2879 3986 19477 27808 119215 218166 365189 210309 321211 rec. 3110076 7420 14880 19152 92226 133678 497503 1159240 1790421 1319655 321212 firms 97 5 14 3 13 35 20 19 74 23 87 3 12 4 9 28 19 16 63 24 87 2 16 3 7 28 19 17 64 23 82 3 13 7 5 28 18 16 62 20 76 1 14 2 8 25 18 15 58 18 321212 estab. 159 5 14 3 13 35 21 24 80 79 150 3 12 4 9 28 19 20 67 83 152 2 16 3 7 28 20 20 68 84 147 3 13 7 5 28 19 20 67 80 135 1 14 2 8 25 18 18 61 74 321212 empl. 26744 [a] [b] [a] 196 [c] [g] 3225 4468 22276 26685 0 [b] [b] 123 [c] 778 [h] 3838 22847 27180 [a] [b] [b] 100 [c] 812 [h] 4131 23049 24894 0 [b] 44 73 [c] [f] [h] 3663 21231 23635 [a] [b] [a] 103 148 714 2771 3633 20002 321212 ann. pay. 857458 (D) (D) (D) 3350 (D) (D) 88779 119051 738407 917194 15 (D) (D) 2945 (D) 21149 (D) 113231 803963 933728 (D) (D) (D) 2568 (D) 20632 (D) 117724 816004 866376 25 (D) 697 1957 (D) (D) (D) 114722 751654 853790 (D) (D) (D) 3893 5460 21726 101004 128190 725600 321212 rec. 4694956 (D) (D) (D) 18110 (D) 147253 565454 739374 3955582 321213 firms 12 2 1 0 0 3 2 3 8 4 7 4 0 1 0 5 0 1 6 1 12 4 1 5 0 10 0 1 11 1 28 5 9 5 5 24 2 1 27 1 59 3 19 10 11 43 6 4 53 6 321213 estab. 20 2 1 0 0 3 2 4 9 11 8 4 0 1 0 5 0 1 6 2 13 4 1 5 0 10 0 1 11 2 29 5 9 5 5 24 2 1 27 2 79 3 19 10 11 43 7 6 56 23 321213 empl. 1658 [a] [a] 0 0 [a] [b] 572 630 1028 [f] 0 0 [a] 0 [a] 0 [e] [e] [e] 742 [a] [a] [b] 0 [b] 0 [e] [e] [e] 889 [a] [b] 33 56 [c] [c] [e] [e] [e] 5181 [a] [b] [b] 154 256 301 493 1050 4131 321213 ann. pay. 56618 (D) (D) 0 0 (D) (D) 19506 20518 36100 (D) 270 0 (D) 0 (D) 0 (D) (D) (D) 24439 (D) (D) (D) 0 (D) 0 (D) (D) (D) 30525 (D) (D) 733 1414 (D) (D) (D) (D) (D) 183463 (D) (D) (D) 3764 7554 10286 18020 35860 147603 321213 rec. 1688083 (D) (D) (D) 29164 (D) 54116 81925 198770 1489313 321214 firms 937 56 108 128 207 499 329 86 914 23 927 52 107 123 186 468 330 101 899 28 926 44 113 117 182 456 339 100 895 31 937 45 122 118 190 475 326 105 906 31 873 27 97 118 177 419 324 101 844 29 321214 estab. 1067 56 108 129 208 501 335 124 960 107 1077 52 107 124 187 470 339 141 950 127 1084 44 113 117 183 457 345 137 939 145 1103 45 122 118 191 476 331 143 950 153 1025 27 97 118 177 419 335 138 892 133 321214 empl. 36841 0 252 865 2820 3937 13789 10222 27948 8893 41488 0 250 850 2580 3680 14024 11945 29649 11839 43454 0 252 805 2553 3610 14934 11860 30404 13050 42792 0 274 845 2634 3753 13997 12307 30057 12735 39133 0 223 831 2460 3514 13643 11604 28761 10372 321214 ann. pay. 1051090 7241 7412 18450 64513 97616 377097 297054 771767 279323 1220366 8417 6872 18456 61941 95686 400700 353374 849760 370606 1282578 5982 6439 18783 60165 91369 417200 369514 878083 404495 1329362 1897 8838 18796 68205 97736 417726 386462 901924 427438 1238452 4766 7765 22270 63568 98369 432769 377821 908959 329493 321214 rec. 5046533 21729 50566 88438 255368 416101 1683268 1503181 3602550 1443983 321219 firms 207 10 33 23 30 96 54 21 171 36 198 11 32 19 32 94 48 21 163 35 201 11 30 24 27 92 52 22 166 35 203 6 38 26 26 96 46 25 167 36 176 6 23 25 25 79 39 21 139 37 321219 estab. 313 10 33 23 31 97 54 28 179 134 306 11 32 19 32 94 48 29 171 135 311 11 30 24 27 92 52 32 176 135 309 6 38 26 26 96 46 37 179 130 272 6 23 25 25 79 42 30 151 121 321219 empl. 25055 0 76 154 424 654 2490 3027 6171 18884 25259 0 81 124 452 657 2335 3063 6055 19204 25152 0 83 164 354 601 2160 3019 5780 19372 24424 0 97 186 369 652 1862 3704 6218 18206 22114 0 64 170 333 567 1780 2906 5253 16861 321219 ann. pay. 821468 194 2031 3788 11219 17232 71011 93288 181531 639937 868106 900 2461 3296 11567 18224 60964 106669 185857 682249 883929 484 2008 4377 9512 16381 64019 99411 179811 704118 874327 364 2639 5377 12567 20947 57516 114282 192745 681582 818873 162 2122 5609 10179 18072 57048 106823 181943 636930 321219 rec. 5557839 1084 15212 44230 63495 124021 331226 638991 1094238 4463601 321911 firms 1343 125 320 236 228 909 298 87 1294 49 1337 121 325 217 227 890 303 98 1291 46 1324 109 337 194 222 862 317 96 1275 49 1371 127 338 220 227 912 325 85 1322 49 1320 79 324 228 240 871 305 96 1272 48 321911 estab. 1444 125 320 236 229 910 304 105 1319 125 1441 121 325 218 227 891 309 121 1321 120 1438 109 337 195 222 863 324 117 1304 134 1491 127 338 221 227 913 328 105 1346 145 1443 79 324 229 240 872 310 116 1298 145 321911 empl. 64358 0 732 1640 3146 5518 11574 11440 28532 35826 69317 0 743 1489 3054 5286 12140 12543 29969 39348 72999 0 761 1342 3056 5159 12699 12561 30419 42580 70739 0 744 1530 3120 5394 13397 11389 30180 40559 69060 0 777 1556 3263 5596 12143 12007 29746 39314 321911 ann. pay. 1892389 6789 17164 36131 77997 138081 309584 295309 742974 1149415 2116682 9105 17494 35766 82272 144637 337089 331685 813411 1303271 2217215 7036 18041 34201 82483 141761 364998 335482 842241 1374974 2250359 14818 18678 41098 87380 161974 391485 332780 886239 1364120 2276794 11212 18624 43130 91628 164594 381696 370419 916709 1360085 321911 rec. 10891658 51931 111919 199617 385412 748879 1556661 1753694 4059234 6832424 321912 firms 1284 88 338 208 216 850 294 82 1226 58 1225 72 321 180 223 796 294 82 1172 53 1222 89 312 176 211 788 289 86 1163 59 1151 68 307 174 203 752 263 86 1101 50 1200 69 359 184 199 811 264 78 1153 47 321912 estab. 1385 88 338 208 216 850 305 111 1266 119 1324 72 321 180 224 797 303 112 1212 112 1322 89 312 176 211 788 299 117 1204 118 1249 68 307 174 207 756 271 120 1147 102 1294 71 359 184 200 814 278 106 1198 96 321912 empl. 39961 0 763 1432 2988 5183 12230 9131 26544 13417 40227 0 674 1234 3055 4963 11972 9515 26450 13777 41653 0 677 1195 2857 4729 11577 10718 27024 14629 37905 0 654 1186 2776 4616 10292 9611 24519 13386 36349 0 770 1282 2677 4729 10784 8227 23740 12609 321912 ann. pay. 920355 2321 14113 27513 57386 101333 258018 223165 582516 337839 956356 2144 12417 23929 61923 100413 254368 246806 601587 354769 1019612 4936 12305 22396 55699 95336 249806 280794 625936 393676 944463 2439 13171 22311 59144 97065 227650 259497 584212 360251 946481 4829 16139 25178 62624 108770 249295 231185 589250 357231 321912 rec. 5856687 30119 130348 116966 374409 651842 1521110 1358886 3531838 2324849 321918 firms 1569 171 460 299 246 1176 289 74 1539 30 1583 161 456 296 267 1180 292 80 1552 31 1670 168 481 317 273 1239 318 79 1636 34 1833 214 538 347 310 1409 316 77 1802 31 2099 233 710 405 327 1675 319 76 2070 29 321918 estab. 1616 171 460 299 246 1176 300 92 1568 48 1634 161 456 296 269 1182 299 100 1581 53 1725 168 481 317 275 1241 326 101 1668 57 1891 214 538 347 312 1411 325 98 1834 57 2150 233 710 405 327 1675 333 91 2099 51 321918 empl. 38814 0 1063 2001 3399 6463 11642 10593 28698 10116 40631 0 1037 1957 3583 6577 11795 10853 29225 11406 43033 0 1071 2130 3743 6944 12909 10744 30597 12436 42583 0 1136 2384 4279 7799 12633 10167 30599 11984 42336 0 1557 2739 4519 8815 12527 10225 31567 10769 321918 ann. pay. 957627 10413 23405 44261 82333 160412 290643 246364 697419 260208 1048118 8777 23125 44868 90786 167556 306026 273464 747046 301072 1127142 8475 24660 50757 99366 183258 334838 283369 801465 325677 1165935 11770 27161 61583 113257 213771 341943 274973 830687 335248 1209948 16865 37245 68670 129002 251782 367983 284724 904489 305459 321918 rec. 5908811 92334 202331 302117 546734 1143516 1602557 1439234 4185307 1723504 321920 firms 2884 212 756 555 586 2109 692 68 2869 15 2823 201 738 534 605 2078 656 70 2804 19 2799 208 714 534 584 2040 665 76 2781 18 2755 172 746 565 564 2047 619 73 2739 16 2763 181 811 569 538 2099 588 61 2748 15 321920 estab. 3024 212 756 555 587 2110 726 128 2964 60 2968 201 738 534 606 2079 686 136 2901 67 2947 208 714 534 584 2040 687 152 2879 68 2915 172 746 565 564 2047 658 150 2855 60 2921 181 812 570 542 2105 640 104 2849 72 321920 empl. 52953 0 1755 3756 8011 13522 25710 9009 48241 4712 53043 0 1737 3597 8322 13656 24766 9327 47749 5294 53504 0 1675 3622 7982 13279 24813 9468 47560 5944 51239 0 1711 3828 7690 13229 23375 9490 46094 5145 47509 0 1981 3870 7397 13248 21534 7355 42137 5372 321920 ann. pay. 1045438 11246 32040 61800 145423 250509 508988 176540 936037 109401 1090077 23406 30826 63299 157619 275150 501746 194638 971534 118543 1153302 9585 31767 67142 152959 261453 519100 231068 1011621 141681 1098859 13416 32246 68799 151389 265850 491621 222025 979496 119363 1111775 39419 39106 74876 158535 311936 486741 182723 981400 130375 321920 rec. 5036797 245350 203507 362054 776833 1587744 2119054 830013 4536811 499986 321991 firms 179 22 27 11 12 72 32 46 150 29 196 23 39 15 11 88 37 44 169 27 200 19 45 16 15 95 36 45 176 24 222 26 55 20 18 119 39 40 198 24 234 34 57 31 14 136 38 36 210 24 321991 estab. 364 22 27 11 12 72 32 49 153 211 389 23 39 15 11 88 38 46 172 217 387 19 45 16 15 95 37 48 180 207 397 26 55 20 18 119 40 45 204 193 404 34 57 31 14 136 38 42 216 188 321991 empl. 71336 0 55 64 169 288 1729 9481 11498 59838 74778 0 82 100 162 344 1972 9158 11474 63304 64568 0 76 110 217 403 1987 9477 11867 52701 50338 0 112 139 251 502 2037 7225 9764 40574 51023 0 119 213 199 531 1940 6718 9189 41834 321991 ann. pay. 2059897 3008 1425 1102 4812 10347 52091 239412 301850 1758047 2084114 3006 3789 2201 12773 21769 50357 228212 300338 1783776 1690976 592 1671 2500 5013 9776 57106 210649 277531 1413445 1415467 3924 2208 3120 6042 15294 59697 193354 268345 1147122 1405210 3142 2666 7879 6045 19732 63795 191691 275218 1129992 321991 rec. 6698040 17066 17024 36587 28577 99254 284487 908416 1292157 5405883 321992 firms 676 75 184 101 97 457 142 59 658 18 672 53 188 96 110 447 153 53 653 19 674 62 182 93 100 437 160 58 655 19 670 52 177 111 93 433 163 58 654 16 697 55 200 120 105 480 152 49 681 16 321992 estab. 726 75 184 101 97 457 144 89 690 36 730 53 188 96 110 447 157 82 686 44 738 62 182 93 100 437 163 89 689 49 741 52 177 111 93 433 169 88 690 51 771 55 202 120 105 482 159 80 721 50 321992 empl. 23632 0 419 683 1317 2419 6166 9977 18562 5070 25316 0 427 652 1513 2592 6945 8867 18404 6912 27325 0 401 610 1343 2354 7070 9776 19200 8125 25570 0 392 715 1247 2354 6870 9334 18558 7012 24047 0 459 810 1410 2679 6585 8194 17458 6589 321992 ann. pay. 652755 7565 9502 19043 35898 72008 164700 268470 505178 147577 720955 2884 9972 16599 40532 69987 201242 259776 531005 189950 764528 8624 9513 13842 35191 67170 204716 276506 548392 216136 773336 7362 9905 18539 33172 68978 206887 281423 557288 216048 776122 7527 15346 21299 41728 85900 214263 268490 568653 207469 321992 rec. 3629489 39367 64218 99077 196049 398711 929626 1083929 2412266 1217223 321999 firms 2240 185 784 442 327 1738 371 95 2204 36 2164 204 775 368 347 1694 343 92 2129 35 2074 179 723 384 330 1616 331 91 2038 36 1969 130 722 381 306 1539 315 79 1933 36 1760 162 573 339 288 1362 296 70 1728 32 321999 estab. 2345 185 784 442 328 1739 390 126 2255 90 2262 204 775 368 348 1695 360 118 2173 89 2172 179 724 384 331 1618 345 121 2084 88 2067 130 722 381 310 1543 329 113 1985 82 1857 164 573 340 289 1366 313 105 1784 73 321999 empl. 45489 0 1682 2957 4458 9097 13468 11493 34058 11431 42406 0 1665 2458 4657 8780 12782 10572 32134 10272 42671 0 1573 2584 4551 8708 12326 10476 31510 11161 40500 0 1509 2570 4175 8254 12053 9643 29950 10550 36680 0 1290 2282 3914 7486 11425 8177 27088 9592 321999 ann. pay. 990873 7961 27344 52477 88418 176200 280551 245977 702728 288145 980409 8689 32234 48149 96277 185349 280461 236574 702384 278025 1006152 6085 30093 52120 99454 187752 274022 241541 703315 302837 964190 4577 28005 55784 93389 181755 280889 234146 696790 267400 976288 8106 28453 50538 96800 183897 282452 229073 695422 280866 321999 rec. 4365314 43056 131071 237444 408275 819846 1234758 1041616 3096220 1269094 322110 firms 32 4 3 0 1 8 7 4 19 13 33 1 3 2 3 9 6 4 19 14 36 1 4 0 2 7 10 5 22 14 40 1 5 1 4 11 8 7 26 14 27 0 2 4 2 8 4 5 17 10 322110 estab. 44 4 3 0 1 8 7 6 21 23 45 1 3 2 3 9 6 6 21 24 48 1 4 0 2 7 10 7 24 24 51 1 5 1 4 11 8 9 28 23 44 0 2 4 2 8 4 7 19 25 322110 empl. 10475 [a] [a] 0 [a] [b] [e] 386 678 9797 9793 [a] [a] [a] 51 67 255 362 684 9109 9963 [a] [a] 0 [b] 35 455 607 1097 8866 9813 [a] [a] [a] 56 72 326 933 1331 8482 8373 0 [a] 22 [b] 59 151 729 939 7434 322110 ann. pay. 536329 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 10738 26207 510122 532294 (D) (D) (D) 2282 2623 11088 13638 27349 504945 583593 (D) (D) 0 (D) 2403 20138 25236 47777 535816 551593 (D) (D) (D) 2355 3286 12939 45568 61793 489800 505399 0 (D) 1178 (D) 1666 6162 39591 47419 457980 322110 rec. 3790816 0 (D) 10046 (D) (D) 53747 348921 415885 3374931 322121 firms 133 8 6 4 4 22 24 38 84 49 141 8 12 2 4 26 25 38 89 52 145 7 15 3 8 33 26 36 95 50 152 7 12 8 10 37 26 39 102 50 197 15 35 14 7 71 32 44 147 50 322121 estab. 276 8 6 4 4 22 24 46 92 184 282 8 12 2 4 26 25 45 96 186 280 7 15 3 8 33 26 40 99 181 276 7 12 8 10 37 26 46 109 167 322 15 35 14 7 71 32 57 160 162 322121 empl. 110722 0 [a] [b] [b] 100 1438 8531 10069 100653 111964 [a] 30 [a] [b] [c] [g] [i] 10020 101944 102728 [a] 37 21 111 [c] [g] 7655 9263 93465 97966 [a] 26 49 148 [c] [g] 8633 10421 87545 97102 [a] [b] [b] [c] 273 1445 8099 9817 87285 322121 ann. pay. 5531682 250 (D) (D) (D) 3536 62812 386480 452828 5078854 5762554 (D) 913 (D) (D) (D) (D) (D) 459308 5303246 5365339 (D) 1058 636 2954 (D) (D) 372205 444908 4920431 5192926 (D) 484 1537 4069 (D) (D) 417871 494873 4698053 5327694 (D) (D) (D) (D) 9132 66761 382488 458381 4869313 322121 rec. 42659944 (D) (D) (D) (D) (D) 357632 2587521 3031985 39627959 322122 firms 25 0 0 0 0 0 0 10 10 15 28 2 3 0 0 5 1 9 15 13 26 1 3 0 0 4 2 7 13 13 27 2 2 2 0 6 1 9 16 11 27 2 2 2 0 6 3 7 16 11 322122 estab. 29 0 0 0 0 0 0 10 10 19 32 2 3 0 0 5 1 9 15 17 31 1 3 0 0 4 2 7 13 18 32 2 2 2 0 6 1 9 16 16 31 2 2 2 0 6 3 7 16 15 322122 empl. 12534 0 0 0 0 0 0 2297 2297 10237 11732 [a] 4 0 0 [a] [b] [g] 2184 9548 11100 [a] 7 0 0 [a] [b] 1811 1917 9183 10569 [a] [a] [a] 0 [b] [b] 2557 2606 7963 8727 [a] [a] [a] 0 15 70 1882 1967 6760 322122 ann. pay. 742348 0 0 0 0 0 0 141593 141593 600755 672550 (D) 27 0 0 (D) (D) (D) 159252 513298 658567 (D) 98 0 0 (D) (D) 119239 125054 533513 658160 (D) (D) (D) 0 (D) (D) 142033 146772 511388 545526 (D) (D) (D) 0 476 1577 114606 116659 428867 322122 rec. 3114731 (D) (D) (D) 0 (D) 8361 929566 941662 2173069 322130 firms 95 8 3 3 2 16 13 23 52 43 95 6 4 7 2 19 14 21 54 41 105 7 5 6 5 23 14 27 64 41 116 12 7 8 7 34 16 27 77 39 107 9 9 11 8 37 16 16 69 38 322130 estab. 232 8 3 3 2 16 13 24 53 179 233 6 4 7 2 19 14 23 56 177 238 7 5 6 5 23 14 29 66 172 247 12 7 8 7 34 16 29 79 168 231 9 9 11 9 38 16 17 71 160 322130 empl. 53910 [a] [a] [b] [b] [b] [f] 2912 3592 50318 51709 0 [a] 55 [b] 84 709 2576 3369 48340 53350 [a] [a] 44 [b] 127 820 3567 4514 48836 51685 [a] [a] 57 85 153 994 3838 4985 46700 48786 0 21 70 99 190 843 1844 2877 45909 322130 ann. pay. 2704763 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 125936 149470 2555293 2775250 1380 (D) 1793 (D) 3973 26343 120824 151140 2624110 2867717 (D) (D) 1507 (D) 4475 33112 170848 208435 2659282 2792728 (D) (D) 1686 1659 5781 37103 181877 224761 2567967 2727651 1252 739 1595 3120 6706 35862 103656 146224 2581427 322130 rec. 21378614 6918 4159 10861 20055 41993 257118 705768 1004879 20373735 322211 firms 983 29 81 82 162 354 425 151 930 53 973 32 84 77 156 349 429 146 924 49 955 22 91 82 149 344 405 156 905 50 954 25 96 81 147 349 409 146 904 50 926 30 102 77 162 371 381 134 886 40 322211 estab. 1751 29 81 82 162 354 445 253 1052 699 1750 32 84 77 156 349 448 255 1052 698 1743 22 91 82 149 344 421 266 1031 712 1737 25 96 81 147 349 431 244 1024 713 1708 30 102 77 164 373 409 248 1030 678 322211 empl. 125343 0 204 566 2315 3085 19420 24593 47098 78245 125175 0 211 544 2224 2979 19262 24215 46456 78719 128244 0 227 578 2170 2975 18388 25488 46851 81393 126976 0 226 555 2093 2874 18286 23663 44823 82153 117404 0 230 526 2243 2999 16739 22138 41876 75528 322211 ann. pay. 4484512 4593 7522 15654 71210 98979 620189 887750 1606918 2877594 4680095 17506 9519 13869 65276 106170 634261 915150 1655581 3024514 4851379 5843 11056 15613 63801 96313 616092 972091 1684496 3166883 4801308 2784 10873 14427 57721 85805 598779 911162 1595746 3205562 4634804 4071 11442 16663 70964 103140 591061 892099 1586300 3048504 322211 rec. 29754718 48946 80731 114648 482018 726343 3302554 4610848 8639745 21114973 322212 firms 411 10 34 25 55 124 170 77 371 40 405 9 42 26 50 127 166 73 366 39 383 9 32 26 52 119 151 76 346 37 378 9 38 24 55 126 145 72 343 35 374 9 47 26 43 125 145 69 339 35 322212 estab. 568 10 34 25 55 124 172 101 397 171 562 9 42 26 50 127 168 92 387 175 554 9 32 26 52 119 153 97 369 185 535 9 38 24 55 126 148 91 365 170 517 9 48 26 43 126 148 87 361 156 322212 empl. 50394 [a] [b] 174 774 1024 8372 12291 21687 28707 49342 0 95 193 712 1000 8417 11644 21061 28281 50182 0 81 173 753 1007 7544 12225 20776 29406 46384 0 96 164 791 1051 7178 11557 19786 26598 42384 0 104 175 618 897 6783 10676 18356 24028 322212 ann. pay. 1766429 (D) (D) 6272 21640 32816 271699 447607 752122 1014307 1805791 1024 3739 5273 21861 31897 291032 425503 748432 1057359 1915919 621 3328 6739 22893 33581 259789 449188 742558 1173361 1729138 3024 3661 5704 23392 35781 246107 429792 711680 1017458 1681839 3276 6853 6414 19409 35952 249453 406374 691779 990060 322212 rec. 8714853 55510 35701 35618 93309 220138 1037949 1737909 2995996 5718857 322213 firms 144 6 19 18 15 58 66 17 141 3 134 3 16 9 18 46 65 19 130 4 134 5 15 11 17 48 58 24 130 4 122 0 20 9 13 42 56 18 116 6 115 0 14 11 11 36 56 16 108 7 322213 estab. 155 6 19 18 15 58 68 25 151 4 145 3 16 9 18 46 67 26 139 6 146 5 15 11 17 48 58 32 138 8 131 0 20 9 13 42 56 24 122 9 123 0 14 11 11 36 56 21 113 10 322213 empl. 5363 [a] [b] [c] 229 397 3010 1641 5048 315 5669 0 [b] 63 [e] 353 2797 2084 5234 435 6736 [a] [b] [b] 239 346 2570 2701 5617 1119 6170 0 53 59 165 277 2324 1617 4218 1952 4971 0 [b] [b] 136 [c] 2274 [g] 3790 1181 322213 ann. pay. 148895 (D) (D) (D) 6547 17489 80859 40375 138723 10172 157747 120 (D) 1308 (D) 8081 75384 55761 139226 18521 192830 (D) (D) (D) 5612 8682 69997 81610 160289 32541 166407 0 2440 1558 3638 7636 69585 39933 117154 49253 138388 0 (D) (D) 2823 (D) 65842 (D) 108380 30008 322213 rec. 484839 0 (D) (D) 12060 (D) 221934 (D) 377742 107097 322214 firms 149 4 17 22 21 64 51 16 131 18 143 6 17 19 21 63 53 13 129 14 138 4 15 25 17 61 49 13 123 15 145 9 20 22 22 73 48 12 133 12 136 9 18 18 21 66 50 10 126 10 322214 estab. 290 4 17 22 21 64 51 23 138 152 289 6 17 19 21 63 53 22 138 151 279 4 15 25 17 61 49 22 132 147 284 9 20 22 22 73 51 18 142 142 275 9 18 18 21 66 54 14 134 141 322214 empl. 12148 [a] [b] 152 270 471 1815 1556 3842 8306 11677 0 [b] 124 294 [e] 2070 [g] 3752 7925 11425 [a] [b] 166 243 447 1904 1287 3638 7787 10741 [a] 48 [c] 305 [f] 1870 [f] 3263 7478 9790 0 46 126 286 458 1778 931 3167 6623 322214 ann. pay. 406478 (D) (D) 3886 6845 11866 57507 65848 135221 271257 387101 469 (D) 3393 7996 (D) 64406 (D) 121722 265379 381594 (D) (D) 4667 7716 14971 59219 46224 120414 261180 349182 (D) 1987 (D) 8377 (D) 58253 (D) 101695 247487 341358 1636 2407 3453 9245 16741 60041 29343 106125 235233 322214 rec. 2109248 11097 14658 21479 48424 95658 249890 135683 481231 1628017 322215 firms 47 2 9 2 4 17 11 3 31 16 44 3 4 3 2 12 13 1 26 18 45 3 6 2 4 15 9 3 27 18 41 2 4 3 4 13 9 2 24 17 37 0 5 2 3 10 9 2 21 16 322215 estab. 82 2 9 2 4 17 11 3 31 51 82 3 4 3 2 12 13 1 26 56 87 3 6 2 4 15 9 3 27 60 79 2 4 3 4 13 9 2 24 55 76 0 5 2 3 10 9 2 21 55 322215 empl. 13471 [a] [a] [a] 66 95 489 626 1210 12261 14850 0 [a] 17 [b] [b] 504 [c] 673 14177 15235 0 [a] [a] 66 94 383 386 863 14372 13745 [a] 8 [a] 51 [b] 332 [e] 678 13067 14088 0 [a] [a] 41 [b] 323 [e] 659 13429 322215 ann. pay. 394964 (D) (D) (D) 1031 2074 12864 17342 32280 362684 466147 31 (D) 500 (D) (D) 13441 (D) 19226 446921 470316 69 (D) (D) 1682 2436 8933 8816 20185 450131 424214 (D) 126 (D) 1589 (D) 8679 (D) 19430 404784 443444 0 (D) (D) 1316 (D) 8613 (D) 18790 424654 322215 rec. 3240495 0 (D) (D) 7899 (D) 46331 (D) 84344 3156151 322221 firms 85 2 13 11 12 38 15 12 65 20 85 6 13 10 8 37 15 11 63 22 90 6 12 11 10 39 16 13 68 22 96 5 13 13 11 42 19 13 74 22 101 4 17 18 8 47 23 11 81 20 322221 estab. 100 2 13 11 12 38 16 17 71 29 101 6 13 10 8 37 16 16 69 32 107 6 12 11 10 39 18 18 75 32 114 5 13 13 11 42 21 19 82 32 117 4 17 18 8 47 24 18 89 28 322221 empl. 6253 [a] [b] 75 152 258 619 1330 2207 4046 6360 [a] 34 [b] 100 205 660 1386 2251 4109 6577 [a] [b] 73 152 252 704 1634 2590 3987 6603 0 34 92 148 274 826 2002 3102 3501 5950 [a] [b] 116 104 259 998 1461 2718 3232 322221 ann. pay. 220661 (D) (D) 2233 3917 6898 22135 40901 69934 150727 227163 (D) 883 (D) 3661 8145 24137 42022 74304 152859 243564 (D) (D) 1984 7611 12098 27473 52412 91983 151581 243875 545 2112 3126 3676 9459 32853 66501 108813 135062 241913 (D) (D) 4038 4644 10820 44307 55634 110761 131152 322221 rec. 1714510 (D) (D) 28588 31848 (D) 326905 358362 760060 954450 322222 firms 514 25 82 73 72 252 131 71 454 60 505 22 77 76 72 247 131 71 449 56 489 19 76 60 70 225 136 76 437 52 494 16 87 62 73 238 124 80 442 52 460 17 88 55 61 221 113 74 408 52 322222 estab. 591 25 82 73 72 252 132 90 474 117 588 24 77 76 72 249 132 94 475 113 576 19 76 60 70 225 139 96 460 116 576 16 87 62 73 238 127 101 466 110 540 17 88 55 62 222 118 96 436 104 322222 empl. 41367 0 199 469 1046 1714 5623 9117 16454 24913 39682 0 175 503 1006 1684 5611 8961 16256 23426 40326 0 173 411 1023 1607 5740 9672 17019 23307 38966 [a] [c] 405 1047 1649 5130 10059 16838 22128 36573 0 192 357 835 1384 4452 9294 15130 21443 322222 ann. pay. 1632448 5747 5778 13098 35210 59833 192655 346395 598883 1033565 1628514 25873 4778 14964 35527 81142 199699 352898 633739 994775 1653842 4233 4395 14101 38832 61561 204366 378008 643935 1009907 1607436 (D) (D) 13348 36566 78271 184439 400243 662953 944483 1583829 1062 6402 13487 31048 51999 173240 376505 601744 982085 322222 rec. 11503155 8351 44648 87305 172753 313057 815229 2226788 3355074 8148081 322223 firms 40 1 6 4 3 14 12 7 33 7 43 3 6 3 6 18 11 7 36 7 43 1 7 3 5 16 14 6 36 7 44 2 6 4 7 19 13 6 38 6 47 2 8 8 6 24 13 4 41 6 322223 estab. 41 1 6 4 3 14 12 7 33 8 43 3 6 3 6 18 11 7 36 7 45 1 7 3 5 16 15 7 38 7 46 2 6 4 7 19 14 7 40 6 47 2 8 8 6 24 13 4 41 6 322223 empl. 3007 [a] [a] [b] 32 77 573 865 1515 1492 3037 [a] [b] [b] [b] 122 575 909 1606 1431 3092 [a] 22 [b] 70 118 719 872 1709 1383 3002 [a] [a] 27 95 133 726 887 1746 1256 2229 [a] [b] 58 87 [c] 561 [e] 1108 1121 322223 ann. pay. 104767 (D) (D) (D) 840 2234 16949 26384 45567 59200 139561 (D) (D) (D) (D) 39854 16855 27874 84583 54978 105339 (D) 631 (D) 1883 3074 22269 29342 54685 50654 105691 (D) (D) 558 2525 3809 23193 30521 57523 48168 80233 (D) (D) 1954 2428 (D) 17641 (D) 38350 41883 322223 rec. 438556 (D) (D) 13702 12958 (D) 86184 (D) 206004 232552 322224 firms 97 5 11 11 7 34 27 14 75 22 92 4 5 15 9 33 27 14 74 18 85 2 4 13 7 26 28 12 66 19 85 3 7 10 7 27 27 11 65 20 83 3 9 3 10 25 28 11 64 19 322224 estab. 147 5 11 11 7 34 28 16 78 69 137 4 5 15 9 33 28 16 77 60 127 2 4 13 7 26 29 13 68 59 127 3 7 10 7 27 27 13 67 60 124 3 9 3 10 25 28 12 65 59 322224 empl. 16830 0 26 77 102 205 1274 2210 3689 13141 14382 [a] 13 [b] [c] 232 1246 1870 3348 11034 13731 [a] [a] [b] [c] 194 1327 1653 3174 10557 13539 [a] [b] 66 100 187 1237 1487 2911 10628 13545 [a] [b] 21 152 194 1303 1631 3128 10417 322224 ann. pay. 495758 100 668 1816 2553 5137 32260 70138 107535 388223 425535 (D) 225 (D) (D) 10108 34776 44988 89872 335663 420936 (D) (D) (D) (D) 5632 36119 44274 86025 334911 412321 (D) (D) 2022 2291 5027 35721 45115 85863 326458 441031 (D) (D) 282 4211 5629 41395 54850 101874 339157 322224 rec. 2196177 (D) (D) 1613 26807 (D) 222928 244475 503555 1692622 322225 firms 34 0 3 1 5 9 9 5 23 11 40 3 2 3 3 11 11 5 27 13 37 1 4 1 4 10 12 4 26 11 37 1 2 2 4 9 12 5 26 11 33 1 0 4 4 9 11 2 22 11 322225 estab. 41 0 3 1 5 9 9 5 23 18 47 3 2 3 3 11 11 5 27 20 45 1 4 1 4 10 12 5 27 18 45 1 2 2 4 9 12 6 27 18 41 1 0 4 4 9 11 2 22 19 322225 empl. 4556 0 [a] [a] 68 77 462 602 1141 3415 4767 0 [a] [b] 48 74 559 507 1140 3627 4879 [a] [a] [a] 51 67 595 343 1005 3874 4797 [a] [a] [a] 59 79 605 418 1102 3695 5174 [a] 0 [b] 55 [b] 584 [c] 837 4337 322225 ann. pay. 192919 0 (D) (D) 2138 2696 17303 25455 45454 147465 214882 59 (D) (D) 1770 2275 21508 21462 45245 169637 223633 (D) (D) (D) 2047 2708 21620 23594 47922 175711 225753 (D) (D) (D) 2494 3174 23943 21901 49018 176735 222980 (D) 0 (D) 2203 (D) 24078 (D) 35936 187044 322225 rec. 1446046 (D) 0 (D) 8324 (D) 138453 (D) 197536 1248510 322226 firms 45 1 2 2 5 10 12 10 32 13 44 1 2 0 7 10 13 8 31 13 41 1 2 0 6 9 13 7 29 12 41 2 3 2 5 12 11 9 32 9 47 4 9 3 7 23 9 8 40 7 322226 estab. 57 1 2 2 5 10 13 12 35 22 56 1 2 0 7 10 14 10 34 22 55 1 2 0 6 9 14 9 32 23 56 2 3 2 5 12 11 12 35 21 60 4 9 3 7 23 9 10 42 18 322226 empl. 3377 [a] [a] [a] 73 93 340 968 1401 1976 3317 [a] [a] 0 [b] 99 365 727 1191 2126 3998 [a] [a] 0 [b] 81 407 728 1216 2782 3239 [a] [a] [a] 62 78 373 952 1403 1836 2607 [a] [a] [a] 99 128 307 762 1197 1410 322226 ann. pay. 121115 (D) (D) (D) 2095 3163 11336 40766 55265 65850 126796 (D) (D) 0 (D) 3313 12445 33530 49288 77508 141607 (D) (D) 0 (D) 2793 12336 25634 40763 100844 114589 (D) (D) (D) 2422 2702 10444 33916 47062 67527 98620 (D) (D) (D) 4112 4945 12113 29713 46771 51849 322226 rec. 746463 (D) (D) (D) 30704 (D) 46665 170101 255342 491121 322231 firms 322 12 70 60 63 205 86 16 307 15 315 12 64 73 48 197 85 17 299 16 298 9 70 57 49 185 80 19 284 14 295 10 77 54 43 184 79 18 281 14 247 8 49 44 46 147 68 18 233 14 322231 estab. 342 12 70 60 63 205 89 21 315 27 338 12 64 73 48 197 88 21 306 32 322 9 70 57 49 185 83 22 290 32 316 10 77 54 43 184 82 22 288 28 264 8 49 44 46 147 70 19 236 28 322231 empl. 12411 0 195 427 826 1448 3503 1544 6495 5916 12857 0 158 496 627 1281 3442 1858 6581 6276 12475 [a] [c] 403 704 1285 3476 1906 6667 5808 11663 0 183 381 578 1142 3205 1605 5952 5711 10657 0 116 308 626 1050 2654 1859 5563 5094 322231 ann. pay. 337515 716 5181 9607 20169 35673 87773 49052 172498 165017 370572 702 3685 12577 13965 30929 92784 59591 183304 187268 364194 (D) (D) 10194 16613 31309 93853 58993 184155 180039 345732 560 4936 9595 15625 30716 88251 48027 166994 178738 332787 812 3496 8873 19427 32608 76720 61485 170813 161974 322231 rec. 2656057 5132 24665 44121 98897 172815 338458 404030 915303 1740754 322232 firms 180 5 17 23 24 69 64 28 161 19 177 9 14 26 25 74 60 27 161 16 175 5 17 25 28 75 51 33 159 16 172 5 16 18 30 69 54 34 157 15 169 6 20 17 30 73 51 29 153 16 322232 estab. 268 5 17 23 24 69 66 35 170 98 267 9 14 26 25 74 63 32 169 98 259 5 17 25 28 75 52 41 168 91 257 5 16 18 30 69 55 41 165 92 243 6 20 17 30 73 53 35 161 82 322232 empl. 25532 0 43 156 340 539 3150 4703 8392 17140 24729 0 30 176 367 573 3082 4552 8207 16522 24041 0 36 175 413 624 2511 5473 8608 15433 24305 0 36 119 425 580 2638 5806 9024 15281 22040 0 48 112 414 574 2508 4471 7553 14487 322232 ann. pay. 783553 221 1376 4302 8773 14672 106393 161226 282291 501262 803709 763 750 5596 11553 18662 104955 161247 284864 518845 832367 5145 1182 4678 13229 24234 84523 207295 316052 516315 835352 442 956 2949 12150 16497 86928 216066 319491 515861 782296 439 1458 3062 12388 17347 91160 172673 281180 501116 322232 rec. 3560789 2104 7014 15863 63355 88336 358841 684052 1131229 2429560 322233 firms 152 5 44 23 23 95 33 17 145 7 147 6 38 23 27 94 28 16 138 9 141 5 35 23 22 85 32 15 132 9 130 3 34 20 21 78 28 17 123 7 129 7 30 27 22 86 23 15 124 5 322233 estab. 164 5 44 23 23 95 33 18 146 18 170 6 38 23 27 94 28 17 139 31 160 5 35 23 22 85 32 16 133 27 141 3 34 20 21 78 28 17 123 18 137 7 30 27 22 86 23 16 125 12 322233 empl. 9112 0 103 162 294 559 1325 2755 4639 4473 8510 0 82 157 352 591 1264 2074 3929 4581 7907 [a] [b] 158 264 500 1426 2060 3986 3921 7282 0 80 143 268 491 1050 2372 3913 3369 6380 0 72 193 294 559 1063 2661 4283 2097 322233 ann. pay. 245691 45 1816 4595 6287 12743 32214 77387 122344 123347 242880 133 1560 3949 7535 13177 33981 61713 108871 134009 246166 (D) (D) 5164 6148 14795 45020 60491 120306 125860 227405 229 1299 4216 5856 11600 29870 76160 117630 109775 198345 1126 1821 5458 7881 16286 32508 79519 128313 70032 322233 rec. 1708812 9351 13518 40124 52977 115970 194183 579514 889667 819145 322291 firms 96 6 14 8 12 40 22 13 75 21 103 8 15 9 13 45 18 20 83 20 95 1 12 7 19 39 21 16 76 19 96 4 13 7 10 34 25 17 76 20 96 4 14 12 9 39 23 17 79 17 322291 estab. 142 6 14 8 12 40 24 16 80 62 150 8 15 9 13 45 20 24 89 61 131 1 12 7 19 39 23 20 82 49 129 4 13 7 10 34 27 18 79 50 131 4 14 12 9 39 26 22 87 44 322291 empl. 26322 [a] [b] 56 174 267 1095 2262 3624 22698 26524 0 37 62 184 283 718 3484 4485 22039 25132 [a] [b] 47 274 350 1006 2986 4342 20790 23986 [a] [b] 52 140 216 1172 2802 4190 19796 19186 [a] [b] 82 127 238 1104 2899 4241 14945 322291 ann. pay. 1080590 (D) (D) 1721 5319 9081 29420 69548 108049 972541 1092502 724 1978 1760 4775 9237 21704 108243 139184 953318 1045883 (D) (D) 1431 8836 11402 27423 91875 130700 915183 1021473 (D) (D) 1396 4683 8443 34222 90296 132961 888512 811608 (D) (D) 1972 4026 13610 33879 108583 156072 655536 322291 rec. 9316995 (D) (D) 16536 32990 (D) 250988 817827 1189558 8127437 322299 firms 528 37 77 58 77 249 191 49 489 39 497 24 78 50 78 230 181 48 459 38 485 26 77 47 73 223 177 47 447 38 489 35 73 47 81 236 170 49 455 34 449 25 73 46 69 213 154 45 412 37 322299 estab. 607 37 78 58 77 250 210 67 527 80 566 24 78 50 78 230 193 70 493 73 557 26 77 47 73 223 189 70 482 75 560 35 73 47 82 237 182 71 490 70 515 25 73 46 70 214 165 61 440 75 322299 empl. 24764 [a] [c] 407 1056 1650 7985 5867 15502 9262 22944 0 181 353 1098 1632 7742 5796 15170 7774 22822 [a] [c] 327 1036 1529 7722 6004 15255 7567 21820 [a] [c] 326 1145 1621 7311 5744 14676 7144 20024 [a] [c] 332 995 1484 6394 4977 12855 7169 322299 ann. pay. 754314 (D) (D) 10556 32291 50729 223446 167421 441596 312718 715080 1689 5163 9421 33966 50239 226569 178328 455136 259944 726110 (D) (D) 11392 33793 53134 237493 188517 479144 246966 695551 (D) (D) 11909 31561 49887 222061 171085 443033 252518 672998 (D) (D) 9723 30710 47181 211988 164301 423470 249528 322299 rec. 4210268 (D) (D) 50727 134008 (D) 1168739 787128 2185093 2025175 323110 firms 17457 942 5717 3995 3015 13669 3006 573 17248 209 16816 814 5704 3777 2816 13111 2936 560 16607 209 16094 798 5422 3665 2691 12576 2782 532 15890 204 15038 646 5142 3416 2507 11711 2620 519 14850 188 14019 669 4929 3083 2271 10952 2440 453 13845 174 323110 estab. 18093 942 5719 3999 3023 13683 3083 688 17454 639 17469 814 5708 3781 2826 13129 3006 672 16807 662 16720 798 5426 3665 2701 12590 2848 643 16081 639 15662 647 5144 3418 2520 11729 2674 639 15042 620 14640 669 4929 3086 2282 10966 2512 557 14035 605 323110 empl. 416758 0 13355 26651 40549 80555 120125 87826 288506 128252 416963 0 13326 25282 38031 76639 117887 87882 282408 134555 405125 0 12710 24497 36335 73542 112808 82619 268969 136156 387500 0 11949 22790 33842 68581 105486 82415 256482 131018 350922 0 11611 20607 30635 62853 97625 69923 230401 120521 323110 ann. pay. 14528910 54210 297902 651930 1157386 2161428 4253479 3340530 9755437 4773473 14926754 54918 317993 641849 1126229 2140989 4252937 3432552 9826478 5100276 14997809 46626 304103 637631 1107172 2095532 4189525 3450162 9735219 5262590 14161097 36876 291157 600327 1033359 1961719 3891042 3386829 9239590 4921507 13163828 46133 283558 563655 965057 1858403 3714256 2847726 8420385 4743443 323110 rec. 47353136 172106 1050674 1923037 3109572 6255389 11811938 9407796 27475123 19878013 323111 firms 425 34 194 77 38 343 43 22 408 17 414 30 196 62 42 330 44 19 393 21 396 35 176 71 27 309 48 21 378 18 390 30 189 59 33 311 44 17 372 18 311 18 138 60 26 242 35 16 293 18 323111 estab. 455 34 194 77 38 343 44 28 415 40 442 30 196 62 43 331 45 24 400 42 421 35 176 71 28 310 49 26 385 36 415 30 189 59 34 312 45 22 379 36 333 18 138 60 27 243 36 20 299 34 323111 empl. 20718 0 417 494 516 1427 1745 3132 6304 14414 22402 0 419 394 529 1342 1698 2600 5640 16762 21757 [a] [e] 441 351 1176 1695 2695 5566 16191 21813 0 424 385 470 1279 1611 2550 5440 16373 17199 0 299 393 352 1044 1302 2039 4385 12814 323111 ann. pay. 809158 3044 8391 12170 15398 39003 56399 126402 221804 587354 835896 2491 9245 9760 14708 36204 57434 112163 205801 630095 824238 (D) (D) 12028 10545 34282 61424 115158 210864 613374 793569 1158 10762 10878 12104 34902 57652 109800 202354 591215 665839 4894 7272 11358 9913 33437 47464 87615 168516 497323 323111 rec. 3559870 26769 38674 51706 39057 156206 189137 445124 790467 2769403 323112 firms 857 34 169 149 168 520 244 48 812 45 850 35 165 151 153 504 240 57 801 49 837 40 157 152 148 497 238 56 791 46 880 40 197 143 167 547 229 62 838 42 845 52 159 141 176 528 222 53 803 42 323112 estab. 901 34 169 149 169 521 245 60 826 75 899 35 165 151 154 505 243 71 819 80 889 40 157 152 149 498 241 71 810 79 930 40 197 143 168 548 232 79 859 71 893 52 159 141 177 529 228 65 822 71 323112 empl. 30204 0 398 1010 2357 3765 9081 6577 19423 10781 32039 0 417 1031 2117 3565 8962 7879 20406 11633 32088 0 360 1051 2104 3515 9168 7501 20184 11904 31177 0 446 958 2375 3779 8973 7672 20424 10753 28983 0 378 951 2434 3763 8872 6779 19414 9569 323112 ann. pay. 1063942 2580 11504 29757 76895 120736 323255 241342 685333 378609 1143091 3994 10989 30243 74030 119256 326342 270358 715956 427135 1213162 4200 11699 33810 75412 125121 347598 269161 741880 471282 1183348 3714 13481 31692 86721 135608 340237 285868 761713 421635 1149686 3420 12614 34131 92413 142578 359662 266661 768901 380785 323112 rec. 5191063 14803 58886 132510 363203 569402 1375299 1184645 3129346 2061717 323113 firms 4118 372 1571 843 593 3379 590 105 4074 44 4029 303 1527 854 591 3275 587 117 3979 50 3958 309 1445 869 550 3173 628 114 3915 43 4018 307 1535 861 575 3278 582 118 3978 40 4310 392 1735 925 590 3642 519 116 4277 33 323113 estab. 4168 372 1571 843 593 3379 600 126 4105 63 4084 304 1527 854 591 3276 599 144 4019 65 4003 309 1445 869 551 3174 637 138 3949 54 4061 307 1536 861 575 3279 593 139 4011 50 4340 392 1735 926 590 3643 528 132 4303 37 323113 empl. 69412 0 3543 5575 7967 17085 24110 16312 57507 11905 70459 0 3397 5649 8050 17096 23525 18159 58780 11679 70685 0 3227 5779 7388 16394 24688 17922 59004 11681 69166 0 3411 5729 7812 16952 23170 18611 58733 10433 63620 0 3900 6119 7929 17948 20137 17685 55770 7850 323113 ann. pay. 1728840 14385 61340 110133 181291 367149 613993 420398 1401540 327300 1857478 43139 64296 120522 188502 416459 629246 479880 1525585 331893 1931485 14992 66597 131822 175140 388551 665065 500809 1554425 377060 1902853 10718 68537 128659 187851 395765 641285 543337 1580387 322466 1866068 25030 78609 137051 201211 441901 601069 546157 1589127 276941 323113 rec. 6728431 91075 269127 456025 653304 1469531 1989508 1971889 5430928 1297503 323114 firms 7921 450 4140 2069 792 7451 406 41 7898 23 7566 399 3922 1985 812 7118 383 45 7546 20 7146 428 3591 1882 797 6698 389 39 7126 20 7223 458 3654 1855 794 6761 398 44 7203 20 7949 498 4328 1877 824 7527 370 37 7934 15 323114 estab. 8169 450 4142 2074 802 7468 517 110 8095 74 7818 400 3928 1988 823 7139 474 108 7721 97 7394 431 3593 1885 808 6717 471 105 7293 101 7458 458 3656 1859 802 6775 492 93 7360 98 8167 498 4329 1881 843 7551 474 71 8096 71 323114 empl. 55153 0 9992 13304 10223 33519 13416 3323 50258 4895 54582 0 9405 12828 10520 32753 12693 3760 49206 5376 54070 0 8631 12159 10415 31205 12767 3324 47296 6774 54989 0 8691 12064 10338 31093 13263 4390 48746 6243 52119 0 10097 12069 10730 32896 12177 3187 48260 3859 323114 ann. pay. 1363455 21738 197892 283955 252254 755839 386180 86236 1228255 135200 1431168 26904 191869 285893 277205 781871 373509 111696 1267076 164092 1469692 15315 183429 284722 281837 765303 404810 97460 1267573 202119 1542019 20237 189526 287954 284298 782015 418226 154612 1354853 187166 1503556 21439 227087 296993 299645 845164 401333 119972 1366469 137087 323114 rec. 4786665 78054 759053 967081 921601 2725789 1218056 358741 4302586 484079 323115 firms 437 54 132 101 72 359 60 13 432 5 434 46 149 92 67 354 67 10 431 3 456 50 159 96 68 373 71 7 451 5 588 90 208 126 72 496 79 6 581 7 760 123 294 151 88 656 85 11 752 8 323115 estab. 441 54 132 101 72 359 60 14 433 8 435 46 149 92 67 354 67 10 431 4 456 50 159 96 68 373 71 7 451 5 589 90 208 126 73 497 79 6 582 7 775 123 294 152 88 657 89 20 766 9 323115 empl. 5958 0 324 678 954 1956 2305 1046 5307 651 5449 0 362 597 897 1856 2472 824 5152 297 5443 0 365 651 896 1912 2577 657 5146 297 6123 0 466 834 984 2284 2869 576 5729 394 7699 0 614 991 1176 2781 3150 997 6928 771 323115 ann. pay. 185496 5257 8510 18551 29383 61701 67705 32176 161582 23914 189260 4098 9491 16476 27533 57598 84400 34031 176029 13231 191979 3295 10364 17842 28333 59834 87703 25894 173431 18548 220139 4736 13000 23984 27974 69694 101211 23383 194288 25851 281208 11556 18401 30264 38575 98796 117698 32657 249151 32057 323115 rec. 871288 39478 62440 100329 122610 324857 356198 106593 787648 83640 323116 firms 680 31 142 109 109 391 185 66 642 38 691 38 161 91 123 413 180 63 656 35 688 39 173 104 98 414 178 60 652 36 680 30 196 108 93 427 165 53 645 35 586 28 146 89 91 354 157 44 555 31 323116 estab. 977 31 142 109 109 391 193 147 731 246 953 38 161 91 123 413 189 145 747 206 935 39 173 104 98 414 188 134 736 199 914 30 196 108 93 427 180 117 724 190 793 28 146 89 91 354 167 106 627 166 323116 empl. 53115 0 330 731 1537 2598 7984 9818 20400 32715 51389 0 376 577 1653 2606 7881 10116 20603 30786 46285 0 387 691 1343 2421 7759 9678 19858 26427 42593 0 414 724 1300 2438 7381 8392 18211 24382 36176 0 324 583 1245 2152 6894 6579 15625 20551 323116 ann. pay. 1602689 1291 9362 18237 41937 70827 256022 311744 638593 964096 1568031 1297 10163 14675 48198 74333 257601 318867 650801 917230 1540449 11955 10551 17380 42329 82215 253649 311321 647185 893264 1457805 1219 13889 20947 40244 76299 247955 275140 599394 858411 1231740 3682 11112 18984 40089 73867 238164 239069 551100 680640 323116 rec. 7618275 21638 76908 107229 207650 413425 979305 1120446 2513176 5105099 323117 firms 676 37 152 104 94 387 193 61 641 35 665 48 158 104 87 397 181 56 634 31 649 42 150 105 94 391 176 51 618 31 620 38 132 114 88 372 167 50 589 31 596 49 144 99 73 365 154 47 566 30 323117 estab. 726 37 152 104 94 387 194 65 646 80 718 48 158 104 87 397 183 62 642 76 698 42 150 105 94 391 176 56 623 75 667 38 132 114 88 372 167 53 592 75 642 49 144 99 73 365 155 53 573 69 323117 empl. 51513 [a] [e] 691 1302 2312 8252 10004 20568 30945 49117 [a] [e] 713 1192 2243 7672 8963 18878 30239 48708 0 328 699 1359 2386 7803 8264 18453 30255 47894 0 275 735 1165 2175 7314 8406 17895 29999 44245 0 320 680 1001 2001 6621 7764 16386 27859 323117 ann. pay. 1617428 (D) (D) 20016 39441 69018 272063 339724 680805 936623 1592630 (D) (D) 20229 39092 70509 267982 293864 632355 960275 1657729 9265 10643 17765 43509 81182 281070 294856 657108 1000621 1622818 33711 9467 19934 37198 100310 271229 291181 662720 960098 1577232 5318 9485 20428 31867 67098 252587 294004 613689 963543 323117 rec. 5681333 21036 38678 74703 107087 241504 827091 1106124 2174719 3506614 323118 firms 274 8 35 34 37 114 111 36 261 13 254 4 34 31 36 105 106 30 241 13 241 7 31 22 38 98 103 28 229 12 225 5 27 22 39 93 95 27 215 10 236 10 33 34 35 112 88 22 222 14 323118 estab. 287 8 35 34 37 114 111 41 266 21 269 4 34 31 36 105 106 35 246 23 256 7 31 22 38 98 103 33 234 22 239 5 27 22 39 93 97 29 219 20 253 10 33 36 35 114 88 24 226 27 323118 empl. 18234 [a] [b] 235 488 811 4783 6237 11831 6403 16215 [a] [b] 210 497 792 4872 4675 10339 5876 15532 [a] [b] 134 501 718 4789 4379 9886 5646 14174 0 75 139 516 730 4338 4441 9509 4665 13345 0 80 231 513 824 3776 3300 7900 5445 323118 ann. pay. 483763 (D) (D) 8056 11348 22316 124605 163083 310004 173759 449714 (D) (D) 4627 12685 20533 134755 125064 280352 169362 446747 (D) (D) 3243 11050 18262 135190 120553 274005 172742 401337 587 2715 2714 12215 18231 121463 118138 257832 143505 404289 692 2193 5939 12657 21481 111833 94772 228086 176203 323118 rec. 1876931 4052 9381 25983 52836 92252 383863 306551 782666 1094265 323119 firms 3437 324 1650 723 354 3051 285 50 3386 51 3303 287 1613 694 357 2951 266 47 3264 39 3194 254 1551 648 387 2840 264 50 3154 40 3188 235 1591 636 370 2832 270 49 3151 37 2612 187 1211 560 335 2293 244 43 2580 32 323119 estab. 3471 324 1650 723 355 3052 288 60 3400 71 3345 287 1613 694 358 2952 267 60 3279 66 3244 254 1551 649 387 2841 267 69 3177 67 3237 235 1591 637 370 2833 273 67 3173 64 2646 187 1211 560 335 2293 249 52 2594 52 323119 empl. 41376 0 3733 4655 4766 13154 10489 6553 30196 11180 36401 0 3629 4550 4757 12936 9617 6047 28600 7801 37841 0 3498 4251 5167 12916 9772 6475 29163 8678 38426 0 3535 4240 4858 12633 10365 6645 29643 8783 30948 0 2797 3656 4445 10898 9320 5020 25238 5710 323119 ann. pay. 1188527 11602 75317 103942 124676 315537 308124 235321 858982 329545 1092345 17228 77277 106329 132474 333308 312938 196362 842608 249737 1222965 11202 79478 105646 140198 336524 332511 244977 914012 308953 1254060 11199 83078 104656 139377 338310 336790 244004 919104 334956 1018981 7721 68023 99051 132722 307517 314806 197618 819941 199040 323119 rec. 3732402 29033 260272 352604 435677 1077586 1006440 764418 2848444 883958 323121 firms 1279 94 313 250 224 881 328 55 1264 15 1266 65 316 259 234 874 324 52 1250 16 1216 64 313 228 230 835 310 54 1199 17 1174 67 295 218 221 801 305 54 1160 14 1142 56 335 203 204 798 284 50 1132 10 323121 estab. 1301 94 313 250 227 884 331 55 1270 31 1289 65 316 260 236 877 326 66 1269 20 1242 64 313 228 232 837 314 68 1219 23 1197 67 295 218 223 803 309 65 1177 20 1170 56 335 203 206 800 293 64 1157 13 323121 empl. 32167 0 703 1653 3060 5416 14231 8647 28294 3873 32544 0 738 1745 3215 5698 14498 8663 28859 3685 31788 0 719 1565 3166 5450 13706 8847 28003 3785 30137 0 669 1456 2973 5098 13229 8511 26838 3299 27029 0 742 1361 2727 4830 12268 7929 25027 2002 323121 ann. pay. 810354 5469 14613 37975 71273 129330 367762 203224 700316 110038 827615 6304 15348 40964 76648 139264 378433 200672 718369 109246 854880 10233 16532 37333 78380 142478 377066 222063 741607 113273 778123 3212 14908 34254 70497 122871 350146 210379 683396 94727 742508 2912 17313 36011 66791 123027 337702 205784 666513 75995 323121 rec. 2013459 12109 52045 86308 164827 315289 768874 576696 1660859 352600 323122 firms 2984 175 1267 584 395 2421 449 74 2944 40 2801 169 1190 572 338 2269 423 70 2762 39 2607 165 1114 500 336 2115 385 63 2563 44 2365 119 1020 464 315 1918 340 64 2322 43 2108 110 939 407 271 1727 285 55 2067 41 323122 estab. 3144 175 1268 585 395 2423 462 118 3003 141 2950 169 1190 572 339 2270 440 110 2820 130 2777 165 1114 500 337 2116 399 104 2619 158 2526 119 1020 464 315 1918 359 103 2380 146 2250 110 939 407 271 1727 311 91 2129 121 323122 empl. 50456 0 2736 3846 5449 12031 16533 8098 36662 13794 46089 0 2566 3809 4640 11015 15034 7325 33374 12715 44067 0 2448 3311 4579 10338 13620 6907 30865 13202 40528 0 2276 3045 4261 9582 12278 6801 28661 11867 34134 0 2026 2684 3705 8415 10282 5150 23847 10287 323122 ann. pay. 2090193 7968 66898 115978 192718 383562 716352 349425 1449339 640854 2026084 7358 65598 117262 168462 358680 692526 336442 1387648 638436 1967398 18364 65685 104385 165682 354116 626296 321824 1302236 665162 1733739 9819 60760 93096 149370 313045 545186 312116 1170347 563392 1457426 5081 54031 84536 138248 281896 471096 230035 983027 474399 323122 rec. 3692402 15929 151303 225747 348496 741475 1159746 540227 2441448 1250954 324110 firms 155 18 23 9 7 57 24 19 100 55 145 10 20 11 13 54 21 21 96 49 162 20 22 15 12 69 21 19 109 53 165 15 29 15 12 71 22 23 116 49 202 22 44 27 13 106 24 23 153 49 324110 estab. 304 18 23 9 7 57 25 24 106 198 292 10 20 11 13 54 21 24 99 193 298 20 22 15 12 69 22 21 112 186 302 15 29 15 12 71 23 28 122 180 349 22 44 28 13 107 29 28 164 185 324110 empl. 69491 0 45 62 85 192 1091 2716 3999 65492 65813 0 52 70 190 312 1026 3217 4555 61258 66422 0 49 94 165 308 994 2697 3999 62423 63165 0 62 94 151 307 1039 3404 4750 58415 62132 0 89 177 188 454 1100 2870 4424 57708 324110 ann. pay. 4202766 16147 2108 1870 2988 23113 56077 140299 219489 3983277 4141531 828 1620 3785 6463 12696 56769 166797 236262 3905269 4461494 8245 1471 4941 10757 25414 51607 152449 229470 4232024 4414025 4408 1926 3160 5350 14844 53462 210278 278584 4135441 4569613 4211 2940 6044 8119 21314 60542 170845 252701 4316912 324110 rec. 195751999 54361 139722 155120 172047 521250 2782031 4499806 7803087 187948912 324121 firms 517 17 89 97 82 285 120 68 473 44 507 19 86 99 74 278 121 59 458 49 495 24 91 78 72 265 116 61 442 53 498 30 95 76 71 272 117 59 448 50 494 25 101 84 69 279 109 58 446 48 324121 estab. 1202 17 89 98 87 291 184 210 685 517 1242 19 86 100 78 283 179 186 648 594 1231 24 91 79 73 267 180 183 630 601 1272 30 95 78 73 276 188 176 640 632 1303 25 101 84 77 287 184 174 645 658 324121 empl. 13612 0 210 668 1077 1955 3334 2445 7734 5878 15406 0 204 677 918 1799 3460 2250 7509 7897 14752 0 204 553 920 1677 3166 3006 7849 6903 14013 0 226 520 907 1653 3218 3120 7991 6022 12664 0 237 562 861 1660 3155 2822 7637 5027 324121 ann. pay. 642887 993 11567 33429 57727 103716 167860 108186 379762 263125 712416 1574 11537 38456 43996 95563 176967 109863 382393 330023 683438 2050 12115 27672 46683 88520 154611 126944 370075 313363 684896 1134 16250 28951 53623 99958 160033 142824 402815 282081 653327 1662 20398 32996 51834 106890 167287 139326 413503 239824 324121 rec. 7327950 15499 181207 296013 379557 872276 1349175 1256521 3477972 3849978 324122 firms 154 7 39 23 12 81 38 17 136 18 148 8 28 22 14 72 41 15 128 20 131 5 23 23 12 63 31 19 113 18 141 10 28 19 17 74 35 15 124 17 132 6 30 17 15 68 30 14 112 20 324122 estab. 250 7 39 23 12 81 43 41 165 85 241 8 28 22 14 72 45 31 148 93 232 5 23 23 12 63 35 36 134 98 248 10 28 19 17 74 41 44 159 89 234 6 30 17 15 68 33 40 141 93 324122 empl. 13335 0 107 153 157 417 1721 2060 4198 9137 13635 0 61 149 176 386 1806 1802 3994 9641 13758 0 62 152 150 364 1396 2150 3910 9848 13235 0 69 131 218 418 1759 1986 4163 9072 13142 0 74 120 193 387 1402 1942 3731 9411 324122 ann. pay. 537524 829 5028 4916 6907 17680 64710 90247 172637 364887 580724 262 3398 5041 7287 15988 62073 83170 161231 419493 592650 143 3492 5700 6918 16253 49647 92573 158473 434177 611204 898 4437 5671 9532 20538 64586 103702 188826 422378 619079 211 5607 5024 7762 18604 52851 110808 182263 436816 324122 rec. 6483151 2355 61788 52078 78428 194649 430282 643732 1268663 5214488 324191 firms 319 21 86 42 50 199 66 24 289 30 313 15 91 45 45 196 66 25 287 26 313 20 89 38 51 198 62 23 283 30 293 10 81 47 43 181 60 21 262 31 275 11 74 36 46 167 59 20 246 29 324191 estab. 382 21 86 42 50 199 73 48 320 62 372 15 91 45 45 196 73 48 317 55 366 20 89 38 51 198 66 39 303 63 347 10 81 47 43 181 64 38 283 64 330 11 74 36 46 167 63 36 266 64 324191 empl. 10720 0 186 283 725 1194 2473 2809 6476 4244 10801 0 182 287 635 1104 2467 2888 6459 4342 10851 0 173 240 702 1115 2362 2482 5959 4892 10084 0 154 301 585 1040 2157 2207 5404 4680 9605 [a] [c] 239 619 1023 2119 2062 5204 4401 324191 ann. pay. 457619 17765 6756 10485 36458 71464 105812 107068 284344 173275 478934 387 6192 11749 29997 48325 110577 136550 295452 183482 493473 490 6201 8856 36369 51916 103115 114069 269100 224373 477667 515 6070 11080 32429 50094 96868 110356 257318 220349 481534 (D) (D) 10530 33332 51486 105358 101453 258297 223237 324191 rec. 5659274 (D) (D) 59847 168273 (D) 777935 852050 1912869 3746405 324199 firms 71 8 16 7 4 35 12 6 53 18 68 5 20 4 6 35 11 5 51 17 72 5 18 8 7 38 11 6 55 17 74 8 17 9 6 40 10 7 57 17 68 2 13 10 8 33 14 8 55 13 324199 estab. 83 8 16 7 4 35 13 12 60 23 79 5 20 4 6 35 12 11 58 21 83 5 18 8 7 38 11 11 60 23 84 8 17 9 6 40 10 12 62 22 80 2 13 10 8 33 14 14 61 19 324199 empl. 3842 0 37 46 46 129 602 596 1327 2515 3449 0 52 32 64 148 527 489 1164 2285 3440 0 38 43 90 171 497 583 1251 2189 3073 0 38 57 77 172 399 535 1106 1967 2860 [a] [b] 63 94 185 543 641 1369 1491 324199 ann. pay. 156403 201 1135 1507 1477 4320 20537 21345 46202 110201 144619 1923 1568 1935 1993 7419 17252 20210 44881 99738 154670 700 1726 1896 3707 8029 15545 23075 46649 108021 148132 720 1218 1718 2727 6383 20874 23980 51237 96895 132868 (D) (D) 2206 3459 6612 23524 27326 57462 75406 324199 rec. 1402010 (D) (D) 15239 24109 (D) 188165 501786 737624 664386 325110 firms 41 1 4 4 2 11 4 6 21 20 37 0 1 1 4 6 4 7 17 20 37 0 2 1 3 6 3 9 18 19 37 1 1 0 4 6 4 8 18 19 39 2 6 2 3 13 3 8 24 15 325110 estab. 58 1 4 4 2 11 6 8 25 33 53 0 1 1 4 6 5 9 20 33 56 0 2 1 3 6 3 14 23 33 53 1 1 0 4 6 4 11 21 32 58 2 6 2 3 13 3 13 29 29 325110 empl. 11259 [a] [a] 31 [b] 72 170 878 1120 10139 10826 0 [a] [a] [b] 59 131 842 1032 9794 10689 0 [a] [a] 42 56 91 934 1081 9608 9961 [a] [a] 0 [b] 57 190 873 1120 8841 10449 [a] [a] [a] 43 70 94 662 826 9623 325110 ann. pay. 702422 (D) (D) 1001 (D) 2568 7659 58726 68953 633469 688004 0 (D) (D) (D) 3363 6532 59164 69059 618945 670788 0 (D) (D) 4295 4460 4761 71384 80605 590183 696167 (D) (D) 0 (D) 4018 12445 59145 75608 620559 763357 (D) (D) (D) 2534 3422 6264 30764 40450 722907 325110 rec. 20967769 (D) (D) (D) 15031 (D) 90163 415600 550518 20417251 325120 firms 118 6 45 13 9 73 15 8 96 22 112 9 33 17 9 68 15 6 89 23 116 10 41 15 6 72 14 9 95 21 112 9 36 13 8 66 20 6 92 20 87 4 25 13 7 49 12 8 69 18 325120 estab. 647 6 45 13 9 73 18 13 104 543 637 9 33 17 9 68 18 17 103 534 623 10 41 15 6 72 14 26 112 511 586 9 36 13 8 66 26 13 105 481 551 4 25 13 7 49 20 20 89 462 325120 empl. 12881 [a] [c] 80 [b] 278 356 221 855 12026 11562 0 [b] 111 [c] 285 317 571 1173 10389 12032 0 90 106 68 264 349 652 1265 10767 11212 [a] [b] 91 [c] 278 633 246 1157 10055 9557 [a] [b] 88 89 240 394 709 1343 8214 325120 ann. pay. 603967 (D) (D) 3140 (D) 8765 11106 7301 27172 576795 571509 365 (D) 3694 (D) 9774 10483 23020 43277 528232 611550 1328 2695 3768 1494 9285 11139 24619 45043 566507 612718 (D) (D) 2553 (D) 10244 25266 7380 42890 569828 569743 (D) (D) 3612 3261 9124 25184 31509 65817 503926 325120 rec. 5780466 (D) (D) 21904 34187 (D) 331165 107920 514022 5266444 325131 firms 63 3 8 5 7 23 15 10 48 15 58 3 7 3 9 22 13 9 44 14 59 3 8 5 6 22 14 9 45 14 56 1 10 4 10 25 10 9 44 12 59 6 8 7 6 27 12 7 46 13 325131 estab. 79 3 8 5 7 23 15 12 50 29 75 3 7 3 9 22 13 12 47 28 79 3 8 5 6 22 16 13 51 28 76 1 10 4 10 25 12 12 49 27 78 6 8 7 6 27 14 11 52 26 325131 empl. 8809 [a] [a] [b] 97 147 553 2042 2742 6067 8531 0 [a] [b] 129 168 498 2045 2711 5820 8510 [a] [a] [b] 87 137 574 2097 2808 5702 7981 [a] [b] 28 139 191 464 1668 2323 5658 7649 [a] [a] [b] 74 141 519 1771 2431 5218 325131 ann. pay. 427087 (D) (D) (D) 3569 5403 22327 99153 126883 300204 430288 123 (D) (D) 4691 6270 21351 104484 132105 298183 470533 (D) (D) (D) 2607 6258 24189 112125 142572 327961 443895 (D) (D) 1448 4738 7083 22236 85594 114913 328982 409222 (D) (D) (D) 3312 6282 21667 85203 113152 296070 325131 rec. 3642670 (D) (D) (D) 27600 (D) 122508 546282 718861 2923809 325132 firms 93 5 16 8 11 40 24 8 72 21 95 5 15 8 14 42 24 9 75 20 94 7 15 10 9 41 28 7 76 18 95 5 14 16 9 44 25 10 79 16 94 5 14 13 12 44 28 8 80 14 325132 estab. 125 5 16 8 11 40 28 13 81 44 126 5 15 8 14 42 29 13 84 42 125 7 15 10 9 41 33 11 85 40 126 5 14 16 9 44 29 15 88 38 120 5 14 13 12 44 31 13 88 32 325132 empl. 8624 [a] [b] [b] 155 248 853 1192 2293 6331 8272 0 37 52 199 288 852 1317 2457 5815 7826 [a] [b] 65 109 206 1011 1023 2240 5586 7502 [a] [b] 117 110 255 926 1223 2404 5098 6983 0 30 87 164 281 964 1075 2320 4663 325132 ann. pay. 396758 (D) (D) (D) 5962 10379 33790 55050 99219 297539 374582 331 1135 2242 8234 11942 33319 64047 109308 265274 382661 (D) (D) 3414 4966 9955 42410 52711 105076 277585 357409 (D) (D) 4668 4678 10526 37013 61651 109190 248219 352734 507 1483 3444 7858 13292 45670 54904 113866 238868 325132 rec. 2419490 3361 9710 17876 41047 71994 341034 316829 729857 1689633 325181 firms 29 1 4 5 4 14 2 1 17 12 29 0 4 3 5 12 4 1 17 12 26 0 2 3 6 11 5 1 17 9 29 0 3 6 4 13 5 3 21 8 25 1 2 4 4 11 5 2 18 7 325181 estab. 42 1 4 5 4 14 2 2 18 24 43 0 4 3 5 12 4 2 18 25 40 0 2 3 6 11 5 2 18 22 43 0 3 6 4 13 6 5 24 19 38 1 2 4 4 11 5 4 20 18 325181 empl. 5082 [a] [a] 37 [b] [c] [c] [c] 397 4685 4978 0 8 19 [b] [b] 145 [c] 395 4583 4664 0 [a] [a] [b] [c] 246 [c] 511 4153 4517 0 4 37 [b] [c] 199 [f] 914 3603 4483 [a] [a] [b] [b] [c] 255 [e] 776 3707 325181 ann. pay. 282405 (D) (D) 1093 (D) (D) (D) (D) 12894 269511 261198 0 267 771 (D) (D) 6562 (D) 14419 246779 289622 0 (D) (D) (D) (D) 13517 (D) 24899 264723 266916 0 22 991 (D) (D) 8526 (D) 47428 219488 285057 (D) (D) (D) (D) (D) 17247 (D) 38925 246132 325181 rec. 2070537 (D) (D) (D) (D) (D) 108338 (D) 303120 1767417 325182 firms 8 0 0 0 2 2 0 2 4 4 9 0 0 0 2 2 0 2 4 5 9 0 0 0 2 2 0 2 4 5 9 0 0 0 2 2 0 2 4 5 11 2 0 0 2 4 0 2 6 5 325182 estab. 22 0 0 0 2 2 0 6 8 14 23 0 0 0 2 2 0 6 8 15 23 0 0 0 2 2 0 6 8 15 23 0 0 0 2 2 0 6 8 15 25 2 0 0 2 4 0 6 10 15 325182 empl. 1787 0 0 0 [b] [b] 0 [e] 487 1300 1819 0 0 0 [b] [b] 0 [f] 526 1293 1839 0 0 0 [b] [b] 0 [f] 535 1304 1799 0 0 0 [b] [b] 0 [f] 548 1251 1708 [a] 0 0 [b] [b] 0 [e] 469 1239 325182 ann. pay. 91822 0 0 0 (D) (D) 0 (D) 25325 66497 96905 0 0 0 (D) (D) 0 (D) 27460 69445 99057 0 0 0 (D) (D) 0 (D) 28428 70629 98441 0 0 0 (D) (D) 0 (D) 27389 71052 99506 (D) 0 0 (D) (D) 0 (D) 26417 73089 325182 rec. 1015512 (D) 0 0 (D) (D) 0 (D) 282574 732938 325188 firms 401 26 71 47 34 178 87 46 311 90 401 27 71 46 40 184 82 49 315 86 401 15 84 35 47 181 88 44 313 88 398 15 78 43 43 179 91 44 314 84 367 11 57 39 43 150 92 43 285 82 325188 estab. 660 26 71 49 34 180 99 86 365 295 668 27 71 46 42 186 96 83 365 303 667 15 84 35 49 183 107 71 361 306 661 15 78 43 45 181 116 72 369 292 611 11 57 39 45 152 111 69 332 279 325188 empl. 56803 [a] [c] 309 444 [f] [h] 4183 8582 48221 55405 0 186 291 531 1008 3273 4753 9034 46371 53449 0 [c] [c] 618 1037 3466 4389 8892 44557 51289 0 186 279 589 1054 3615 4340 9009 42280 49845 0 [c] [e] 566 956 3420 4173 8549 41296 325188 ann. pay. 2919377 (D) (D) 12330 18738 (D) (D) 200749 409608 2509769 2938265 1121 6240 11045 24991 43397 143640 235656 422693 2515572 2920336 1422 (D) (D) 24560 41970 155609 226929 424508 2495828 2974067 2868 7174 14716 23046 47804 169812 230830 448446 2525621 2966318 1307 (D) (D) 26688 45681 165758 221719 433158 2533160 325188 rec. 16313991 8094 (D) (D) 173084 (D) 1240497 1482779 3019999 13293992 325191 firms 44 1 18 7 7 33 2 2 37 7 42 3 13 9 5 30 3 2 35 7 47 5 17 8 5 35 4 1 40 7 44 0 18 8 4 30 6 1 37 7 41 1 16 4 7 28 5 3 36 5 325191 estab. 65 1 18 7 7 33 2 3 38 27 62 3 13 9 5 30 3 3 36 26 66 5 17 8 5 35 4 2 41 25 60 0 18 8 4 30 7 2 39 21 54 1 16 4 7 28 6 10 44 10 325191 empl. 2591 [a] 40 [b] 99 [c] [b] [b] 294 2297 2417 0 [b] 65 67 [c] 73 [b] 300 2117 2457 [a] 41 [b] [b] [c] 117 [b] 345 2112 2530 0 36 59 [b] [c] 210 [b] 416 2114 2139 [a] 38 [b] [b] [c] 179 [e] 774 1365 325191 ann. pay. 91158 (D) 909 (D) 2475 (D) (D) (D) 8268 82890 90350 55 (D) 1533 1094 (D) 2211 (D) 8999 81351 91399 (D) 1176 (D) (D) (D) 4966 (D) 11836 79563 89514 0 1119 1322 (D) (D) 5929 (D) 12228 77286 88083 (D) 1024 (D) (D) (D) 5368 (D) 21652 66431 325191 rec. 1003423 (D) 12738 (D) (D) (D) 67573 (D) 201257 802166 325192 firms 38 2 2 2 0 6 8 3 17 21 42 2 3 1 1 7 8 5 20 22 44 1 5 1 1 8 10 4 22 22 44 1 5 3 1 10 10 3 23 21 37 0 3 1 1 5 11 2 18 19 325192 estab. 53 2 2 2 0 6 9 4 19 34 57 2 3 1 1 7 9 6 22 35 59 1 5 1 1 8 11 4 23 36 57 1 5 3 1 10 11 4 25 32 46 0 3 1 1 5 11 2 18 28 325192 empl. 7498 [a] [a] [a] 0 [a] [e] [c] 584 6914 7830 [a] [a] [a] [a] [b] 462 [e] 837 6993 7380 [a] 9 [a] [a] [b] 449 [e] 810 6570 6313 [a] [a] [a] [a] [b] 445 [e] 750 5563 5074 0 [a] [a] [a] [b] 375 [b] 467 4607 325192 ann. pay. 420086 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) 29685 390401 475997 (D) (D) (D) (D) (D) 22320 (D) 40778 435219 451865 (D) 498 (D) (D) (D) 19240 (D) 39513 412352 382667 (D) (D) (D) (D) (D) 19772 (D) 37219 345448 318936 0 (D) (D) (D) (D) 15716 (D) 18993 299943 325192 rec. 4833694 0 (D) (D) (D) (D) 138866 (D) 162434 4671260 325193 firms 35 1 4 5 3 13 10 5 28 7 33 2 2 6 2 12 11 3 26 7 38 6 4 5 3 18 10 3 31 7 45 5 10 2 5 22 12 3 37 8 60 15 10 1 8 34 16 3 53 7 325193 estab. 41 1 4 5 3 13 10 8 31 10 39 2 2 6 3 13 11 5 29 10 45 6 4 5 4 19 11 5 35 10 52 5 11 2 5 23 13 5 41 11 66 15 10 1 9 35 16 5 56 10 325193 empl. 1975 [a] [a] [b] 30 [b] [e] 819 1189 786 1625 [a] [a] [b] [b] 74 297 444 815 810 1602 0 11 38 39 88 285 433 806 796 1837 [a] [a] [a] 62 99 379 428 906 931 1735 [a] [b] [a] 127 154 502 417 1073 662 325193 ann. pay. 87438 (D) (D) (D) 1917 (D) (D) 40694 53162 34276 65193 (D) (D) (D) (D) 3516 9636 17552 30704 34489 67629 895 557 1310 2910 5672 9780 17642 33094 34535 77370 (D) (D) (D) 4237 6413 14337 18256 39006 38364 77018 (D) (D) (D) 7015 11766 17825 18355 47946 29072 325193 rec. 2096502 (D) (D) (D) 383077 (D) 483724 345185 1302769 793733 325199 firms 484 26 74 45 44 189 103 68 360 124 459 15 71 42 53 181 101 57 339 120 451 20 76 34 47 177 101 55 333 118 453 15 86 34 48 183 102 55 340 113 443 19 76 38 43 176 95 59 330 113 325199 estab. 671 26 74 45 44 189 108 85 382 289 659 15 71 42 53 181 106 77 364 295 648 20 76 34 47 177 104 73 354 294 646 15 86 34 48 183 107 74 364 282 640 19 76 38 43 176 99 78 353 287 325199 empl. 89554 [a] [c] 299 609 1075 4036 7247 12358 77196 83689 0 163 284 730 1177 3909 6663 11749 71940 81531 0 178 229 638 1045 3994 6425 11464 70067 78308 0 200 212 673 1085 3995 6336 11416 66892 73342 0 172 260 591 1023 3690 6347 11060 62282 325199 ann. pay. 5080004 (D) (D) 11132 30312 51573 187543 381253 620369 4459635 4781041 942 7955 11830 33188 53915 191267 350645 595827 4185214 4822903 1587 8995 10360 27892 48834 210355 365474 624663 4198240 4771871 1037 8763 12476 33420 55696 207938 364622 628256 4143615 4587048 2731 9113 12038 27804 51686 195741 360829 608256 3978792 325199 rec. 46874101 30213 77526 90052 211596 409387 1173240 3147130 4729757 42144344 325211 firms 322 28 20 18 27 93 101 42 236 86 337 31 31 21 38 121 93 42 256 81 352 23 42 35 31 131 101 40 272 80 375 28 50 37 41 156 97 46 299 76 443 24 90 46 48 208 110 46 364 79 325211 estab. 565 28 20 18 27 93 103 65 261 304 586 31 31 21 38 121 97 64 282 304 597 23 42 35 31 131 104 63 298 299 621 28 50 37 41 156 101 73 330 291 695 24 91 46 49 210 122 74 406 289 325211 empl. 63089 0 41 119 395 555 4318 5415 10288 52801 62919 0 61 131 476 668 4060 5459 10187 52732 64899 0 91 228 408 727 4508 5890 11125 53774 61065 0 94 236 533 863 4236 6461 11560 49505 59840 0 197 304 619 1120 4592 6898 12610 47230 325211 ann. pay. 3359350 6036 1766 5415 14711 27928 158489 215196 401613 2957737 3521720 6070 1638 5494 15806 29008 222320 228582 479910 3041810 3791255 2379 2432 7919 15029 27759 178503 274906 481168 3310087 3613242 22835 2886 8986 19514 54221 166345 308893 529459 3083783 3572499 8395 7445 12924 22927 51691 187009 333032 571732 3000767 325211 rec. 48215976 83708 83820 112405 187592 467525 1686215 4997684 7151424 41064552 325212 firms 120 9 26 20 20 75 13 6 94 26 129 13 34 18 17 82 14 6 102 27 127 6 33 18 19 76 17 7 100 27 138 11 33 18 21 83 19 6 108 30 137 13 36 17 15 81 22 6 109 28 325212 estab. 143 9 26 20 20 75 13 9 97 46 151 13 34 18 17 82 14 9 105 46 149 6 33 18 19 76 17 10 103 46 162 11 33 18 21 83 20 8 111 51 163 13 36 17 15 81 26 9 116 47 325212 empl. 12250 0 57 142 284 483 527 839 1849 10401 11944 0 81 126 248 455 579 844 1878 10066 11618 0 77 121 249 447 622 867 1936 9682 11500 [a] [b] 124 284 483 694 880 2057 9443 10389 [a] [b] 118 223 418 852 1461 2731 7658 325212 ann. pay. 687710 263 1468 3766 9191 14688 21271 37521 73480 614230 643739 1340 1711 3841 9958 16850 24886 41357 83093 560646 642357 771 1732 3685 8841 15029 26569 40954 82552 559805 641827 (D) (D) 3551 9762 18550 28834 49370 96754 545073 582827 (D) (D) 3108 8227 14933 33990 86413 135336 447491 325212 rec. 5637687 (D) (D) 17976 48879 (D) 256469 826864 1175810 4461877 325221 firms 6 1 0 0 0 1 1 2 4 2 7 0 0 0 0 0 2 2 4 3 7 0 0 0 1 1 1 3 5 2 8 0 2 0 0 2 1 2 5 3 10 0 2 0 1 3 2 3 8 2 325221 estab. 9 1 0 0 0 1 2 2 5 4 10 0 0 0 0 0 4 2 6 4 11 0 0 0 3 3 1 3 7 4 17 0 2 0 0 2 1 9 12 5 19 0 2 0 1 3 2 10 15 4 325221 empl. 4275 [a] 0 0 0 [a] [b] [e] [e] [h] 3381 0 0 0 0 0 [b] [e] 470 2911 2868 0 0 0 [a] [a] [b] [e] [e] [g] 3043 0 [a] 0 0 [a] [b] [f] [f] [g] 2365 0 [a] 0 [a] [b] [c] [f] [f] [g] 325221 ann. pay. 151228 (D) 0 0 0 (D) (D) (D) (D) (D) 139439 0 0 0 0 0 (D) (D) 16305 123134 111881 0 0 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 122449 0 (D) 0 0 (D) (D) (D) (D) (D) 100094 0 (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 325221 rec. 637425 0 (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 325222 firms 67 4 9 5 4 22 12 7 41 26 67 5 9 4 5 23 7 10 40 27 70 3 15 4 3 25 9 8 42 28 73 7 11 4 3 25 15 9 49 24 65 5 7 5 7 24 13 7 44 21 325222 estab. 103 4 9 5 4 22 12 9 43 60 104 5 9 4 5 23 7 12 42 62 106 3 15 4 3 25 11 8 44 62 106 7 11 4 3 25 15 12 52 54 92 5 7 5 7 24 13 12 49 43 325222 empl. 34583 [a] 20 36 64 [c] [f] [g] [g] [k] 35423 0 21 24 70 115 [c] [g] 1762 33661 34188 0 26 28 [b] [b] [e] [g] [g] [k] 32255 [a] [b] 28 36 [b] [f] [g] [g] [k] 24214 [a] [a] 34 [b] [c] [f] [g] [g] [j] 325222 ann. pay. 1397198 (D) 396 745 1667 (D) (D) (D) (D) (D) 1497594 253 526 544 1603 2926 (D) (D) 56118 1441476 1431933 155 1623 551 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 1282559 (D) (D) 1292 1145 (D) (D) (D) (D) (D) 1040760 (D) (D) 1261 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 325222 rec. 8839294 (D) (D) 7296 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 325311 firms 128 9 42 23 13 87 22 4 113 15 126 8 45 23 13 89 17 4 110 16 124 12 38 26 14 90 13 5 108 16 129 9 41 25 19 94 11 5 110 19 130 9 37 25 16 87 18 6 111 19 325311 estab. 158 9 42 23 13 87 22 11 120 38 156 8 45 23 13 89 17 11 117 39 154 12 38 26 14 90 13 12 115 39 159 9 41 25 19 94 11 13 118 41 157 9 37 25 16 87 18 15 120 37 325311 empl. 5923 [a] [b] 154 160 413 713 373 1499 4424 5600 [a] [b] 154 [c] 425 546 329 1300 4300 5278 [a] [b] 179 [c] 464 456 308 1228 4050 5320 [a] [b] 164 [e] 525 404 195 1124 4196 4949 [a] [b] 160 203 451 579 278 1308 3641 325311 ann. pay. 293162 (D) (D) 4553 4532 11958 20947 14365 47270 245892 289298 (D) (D) 5314 (D) 16025 17876 13969 47870 241428 276853 (D) (D) 6697 (D) 14391 16095 11370 41856 234997 281759 (D) (D) 4518 (D) 16430 15450 9998 41878 239881 273673 (D) (D) 5410 6026 15413 22525 11944 49882 223791 325311 rec. 3335111 (D) (D) 48640 83377 (D) 194049 84139 458772 2876339 325312 firms 45 1 10 6 4 21 6 7 34 11 49 2 9 8 2 21 5 8 34 15 50 2 12 7 2 23 6 7 36 14 49 2 9 9 1 21 6 7 34 15 35 1 8 4 0 13 5 6 24 11 325312 estab. 63 1 10 6 4 21 6 7 34 29 66 2 9 8 2 21 5 9 35 31 68 2 12 7 2 23 7 8 38 30 64 2 9 9 1 21 6 8 35 29 50 1 8 4 0 13 5 6 24 26 325312 empl. 8263 [a] [b] 48 51 125 304 843 1272 6991 8268 [a] [b] 58 [b] 102 262 989 1353 6915 7524 [a] [b] 53 [b] 104 334 765 1203 6321 7184 [a] [b] 52 [a] 86 214 827 1127 6057 6288 [a] [a] 27 0 46 191 401 638 5650 325312 ann. pay. 380307 (D) (D) 1482 1982 4197 10899 36984 52080 328227 390373 (D) (D) 1997 (D) 3295 7845 49129 60269 330104 372784 (D) (D) 1496 (D) 3277 11915 37466 52658 320126 352116 (D) (D) 1247 (D) 2864 6843 35708 45415 306701 353986 (D) (D) 553 0 1579 6915 21656 30150 323836 325312 rec. 3997496 (D) (D) 6192 0 (D) 48913 145229 205946 3791550 325314 firms 344 27 83 69 48 227 68 24 319 25 334 24 87 67 40 218 66 27 311 23 319 13 83 67 45 208 66 27 301 18 331 25 80 69 47 221 66 28 315 16 362 25 91 78 44 238 76 30 344 18 325314 estab. 461 27 83 69 48 227 77 49 353 108 462 26 87 67 40 220 73 62 355 107 443 13 83 67 45 208 79 58 345 98 481 25 80 69 48 222 82 62 366 115 520 25 91 79 45 240 99 61 400 120 325314 empl. 9357 [a] [c] 466 645 1322 2424 2157 5903 3454 9038 [a] [c] 439 526 1181 2063 2200 5444 3594 8871 0 182 438 594 1214 2253 2157 5624 3247 8825 0 181 445 634 1260 2399 2002 5661 3164 9009 0 211 521 535 1267 2484 2404 6155 2854 325314 ann. pay. 295164 (D) (D) 11518 16559 34379 68068 67301 169748 125416 298035 (D) (D) 12205 15269 35505 59693 68082 163280 134755 292375 605 4881 12198 16129 33813 65828 69375 169016 123359 307365 1618 5373 13587 18598 39176 74173 67817 181166 126199 322649 625 6701 18403 15381 41110 81971 90124 213205 109444 325314 rec. 3070891 6059 51229 138733 103059 299080 622960 962384 1884424 1186467 325320 firms 228 20 57 35 29 141 30 23 194 34 217 12 61 32 25 130 36 22 188 29 206 12 55 25 31 123 31 22 176 30 212 13 54 29 28 124 37 21 182 30 198 14 44 30 26 114 33 19 166 32 325320 estab. 266 20 57 35 29 141 32 30 203 63 256 12 61 32 25 130 39 28 197 59 250 12 55 25 31 123 32 28 183 67 246 13 54 29 28 124 38 27 189 57 235 14 44 30 26 114 34 25 173 62 325320 empl. 14709 [a] [c] 240 401 762 1109 2351 4222 10487 14443 0 142 220 340 702 1349 1901 3952 10491 14609 0 110 153 418 681 967 2308 3956 10653 14319 0 123 186 380 689 1219 2107 4015 10304 14021 0 98 195 363 656 1102 2127 3885 10136 325320 ann. pay. 711929 (D) (D) 8178 12998 40237 34901 91062 166200 545729 710109 376 3598 8202 11958 24134 50253 74490 148877 561232 757800 650 4157 5520 14610 24937 35567 80448 140952 616848 719040 3611 3743 7220 14262 28836 47231 75877 151944 567096 699252 451 3634 8095 13570 25750 47274 75889 148913 550339 325320 rec. 10402745 5559 47803 89559 155998 298919 425414 950999 1675332 8727413 325411 firms 343 35 91 52 36 214 62 32 308 35 327 13 84 67 33 197 66 30 293 34 321 14 77 62 38 191 64 30 285 36 324 15 90 52 46 203 60 30 293 31 326 12 87 57 52 208 55 29 292 34 325411 estab. 370 35 91 52 36 214 65 39 318 52 351 13 84 67 33 197 70 35 302 49 345 14 77 62 38 191 69 32 292 53 346 15 90 52 46 203 63 32 298 48 353 12 87 57 52 208 61 31 300 53 325411 empl. 25612 [a] [c] 335 489 1034 2790 4675 8499 17113 28661 0 202 432 426 1060 2929 4197 8186 20475 28133 0 178 400 505 1083 2784 3958 7825 20308 27479 0 215 357 637 1209 2906 4405 8520 18959 22496 0 199 372 677 1248 2422 3585 7255 15241 325411 ann. pay. 1325129 (D) (D) 11208 19528 43356 97693 200546 341595 983534 1705978 1076 6975 12205 16108 36364 105435 177521 319320 1386658 1577983 3082 6514 11800 18469 39865 108502 159363 307730 1270253 1612555 1374 9437 11834 24653 47298 117378 193610 358286 1254269 1351168 835 16016 12438 29009 58298 108771 156752 323821 1027347 325411 rec. 12650827 5635 104540 73306 161687 345168 481171 867508 1693847 10956980 325412 firms 730 48 153 85 97 383 160 93 636 94 749 50 175 80 87 392 171 90 653 96 752 62 166 91 86 405 166 85 656 96 750 52 171 94 87 404 166 91 661 89 727 57 148 88 97 390 148 97 635 92 325412 estab. 871 48 153 85 97 383 164 113 660 211 898 50 175 80 87 392 174 107 673 225 906 62 166 91 86 405 168 98 671 235 911 53 171 94 87 405 167 106 678 233 891 57 149 88 97 391 149 116 656 235 325412 empl. 132883 0 330 589 1325 2244 6914 14692 23850 109033 129022 0 386 557 1169 2112 7222 15792 25126 103896 135954 0 362 617 1153 2132 6957 15494 24583 111371 139828 0 390 634 1156 2180 7235 16583 25998 113830 144577 0 339 592 1281 2212 6581 17459 26252 118325 325412 ann. pay. 8080893 8428 13568 24317 49704 96017 265928 649094 1011039 7069854 7837789 31524 19049 26233 38438 115244 296789 725208 1137241 6700548 7682041 8106 18961 29778 56465 113310 283916 692590 1089816 6592225 8785571 5065 22729 31719 45294 104807 322637 825917 1253361 7532210 9675741 18434 21485 26862 51674 118455 302843 989904 1411202 8264539 325412 rec. 104772298 136095 198037 200975 403606 938713 1820610 6817235 9576558 95195740 325413 firms 198 8 32 28 26 94 56 20 170 28 198 4 38 31 27 100 47 21 168 30 190 11 36 26 22 95 43 24 162 28 181 11 37 21 20 89 40 22 151 30 175 8 36 21 23 88 30 27 145 30 325413 estab. 224 8 32 28 26 94 57 23 174 50 223 4 38 31 27 100 47 26 173 50 216 11 36 26 22 95 43 30 168 48 210 11 37 21 20 89 40 29 158 52 205 8 36 21 23 88 31 29 148 57 325413 empl. 36453 0 65 197 366 628 2839 3097 6564 29889 39039 0 75 211 355 641 2408 3437 6486 32553 39884 0 78 183 295 556 1931 3393 5880 34004 40594 0 94 143 268 505 1925 3315 5745 34849 42239 0 82 147 310 539 1607 3704 5850 36389 325413 ann. pay. 2039525 364 2788 8133 14175 25460 120620 139885 285965 1753560 2257934 265 3238 7330 16265 27098 101297 193141 321536 1936398 2503144 952 6077 6322 11128 24479 100577 167450 292506 2210638 2571015 561 6897 4939 10579 22976 92673 172387 288036 2282979 2823549 190 3503 5184 14700 23577 76576 203923 304076 2519473 325413 rec. 13942412 1104 13567 19280 52969 86920 276069 753091 1116080 12826332 325414 firms 254 16 63 45 33 157 51 21 229 25 265 15 67 39 43 164 50 26 240 25 273 18 54 53 35 160 60 25 245 28 273 14 56 52 31 153 66 25 244 29 242 12 41 39 35 127 63 25 215 27 325414 estab. 347 16 63 45 33 157 53 26 236 111 358 15 67 39 43 164 53 34 251 107 356 18 54 53 35 160 63 32 255 101 358 14 56 52 32 154 69 30 253 105 330 12 41 39 36 128 68 32 228 102 325414 empl. 22163 [a] [c] 314 441 894 1962 3114 5970 16193 22082 0 154 264 610 1028 2034 3647 6709 15373 23490 0 118 355 483 956 2274 3568 6798 16692 25602 0 112 349 424 885 2656 3521 7062 18540 28593 0 85 274 460 819 2604 2999 6422 22171 325414 ann. pay. 1144829 (D) (D) 13244 20924 44567 84164 125838 254569 890260 1207994 1932 4887 11643 28719 47181 99233 187056 333470 874524 1513094 2461 5395 17683 23121 48660 112511 191927 353098 1159996 1616192 885 5276 17426 18408 41995 143575 172370 357940 1258252 2027698 1957 4490 11776 22022 40245 129623 154928 324796 1702902 325414 rec. 11958433 11529 27085 57182 114347 210143 446721 627436 1284300 10674133 325510 firms 1140 44 290 204 216 754 250 72 1076 64 1155 68 290 195 220 773 247 72 1092 63 1156 72 284 202 219 777 251 69 1097 59 1192 60 320 199 220 799 263 71 1133 59 1107 70 285 185 217 757 223 72 1052 55 325510 estab. 1428 44 290 204 216 754 282 118 1154 274 1448 68 290 195 220 773 277 114 1164 284 1441 72 284 202 220 778 285 112 1175 266 1463 60 320 199 221 800 292 119 1211 252 1363 70 285 185 218 758 258 113 1129 234 325510 empl. 52935 0 694 1363 2921 4978 9143 8957 23078 29857 53048 0 669 1285 2983 4937 9008 8652 22597 30451 53235 0 662 1349 3023 5034 9441 7921 22396 30839 50727 0 697 1324 2967 4988 9344 8301 22633 28094 47329 0 665 1211 2986 4862 8170 7782 20814 26515 325510 ann. pay. 2184193 2201 19832 48896 98096 169025 338780 348245 856050 1328143 2245750 4144 20427 42063 101147 167781 361307 337507 866595 1379155 2289601 3419 20812 45530 103013 172774 377280 313940 863994 1425607 2202951 3285 21304 43109 107015 174713 370225 331363 876301 1326650 2104491 7663 24531 44321 107660 184175 337149 323879 845203 1259288 325510 rec. 20395969 76416 162634 276905 585905 1101860 1852047 2346525 5300432 15095537 325520 firms 528 29 137 102 76 344 91 39 474 54 515 25 144 87 69 325 101 38 464 51 511 22 118 99 83 322 103 39 464 47 491 18 124 97 73 312 93 37 442 49 468 14 117 96 62 289 93 41 423 45 325520 estab. 682 29 137 102 76 344 101 78 523 159 671 27 144 87 69 327 112 75 514 157 664 22 118 99 83 322 115 74 511 153 635 18 124 97 73 312 103 64 479 156 603 14 117 96 62 289 106 74 469 134 325520 empl. 21968 0 325 691 1065 2081 3835 4694 10610 11358 22034 0 339 562 887 1788 4029 4637 10454 11580 22450 0 265 659 1083 2007 4249 4585 10841 11609 22208 0 301 657 984 1942 3824 4326 10092 12116 21058 0 281 645 827 1753 3705 5311 10769 10289 325520 ann. pay. 912912 1317 9582 24477 44081 79457 151563 186913 417933 494979 969861 13444 12587 20349 35460 81840 171724 193405 446969 522892 1039339 1087 10735 24982 45823 82627 185056 218866 486549 552790 988106 979 10287 26499 41753 79518 173804 191878 445200 542906 954969 2400 10984 27167 41936 82487 168697 230849 482033 472936 325520 rec. 7361310 15464 66925 166929 205152 454470 943060 1454582 2852112 4509198 325611 firms 739 45 244 142 117 548 126 32 706 33 709 37 229 149 123 538 107 35 680 29 704 46 224 138 116 524 122 31 677 27 692 39 236 130 113 518 118 31 667 25 671 32 240 133 95 500 115 30 645 26 325611 estab. 808 45 244 142 117 548 137 43 728 80 775 37 229 149 123 538 113 49 700 75 770 46 224 138 116 524 129 44 697 73 754 39 236 130 113 518 129 43 690 64 735 32 240 133 95 500 130 40 670 65 325611 empl. 31526 0 570 990 1528 3088 4503 4102 11693 19833 30418 0 533 1039 1712 3284 3909 4422 11615 18803 30004 0 501 930 1598 3029 4495 4573 12097 17907 27332 0 553 869 1487 2909 4341 3931 11181 16151 25983 [a] [f] 885 1329 2758 4195 3988 10941 15042 325611 ann. pay. 1313824 11314 14176 31160 49613 106263 158413 167574 432250 881574 1316313 2848 14082 33179 59810 109919 145472 168916 424307 892006 1343097 7439 15004 28118 62305 112866 162615 169373 444854 898243 1226475 4019 15057 28809 53201 101086 169945 166733 437764 788711 1314816 (D) (D) 27197 49908 173290 168105 157703 499098 815718 325611 rec. 17928741 (D) (D) 328985 439809 (D) 1112417 848591 4030303 13898438 325612 firms 689 52 230 129 90 501 113 44 658 31 664 37 209 144 84 474 112 47 633 31 653 45 210 131 85 471 107 44 622 31 618 43 200 123 82 448 98 44 590 28 591 41 191 114 74 420 103 39 562 29 325612 estab. 745 52 230 129 90 501 123 64 688 57 719 37 209 144 85 475 118 70 663 56 711 45 210 131 87 473 112 61 646 65 679 43 200 123 83 449 103 61 613 66 647 41 191 114 74 420 107 56 583 64 325612 empl. 22516 0 557 863 1253 2673 4575 6744 13992 8524 22561 0 452 932 1127 2511 4430 6460 13401 9160 22421 0 471 895 1203 2569 4454 6443 13466 8955 23020 0 463 802 1138 2403 4149 6123 12675 10345 20751 [a] [e] 759 991 2170 4165 5508 11843 8908 325612 ann. pay. 796346 6515 14476 22709 32727 76427 161704 191026 429157 367189 819532 5057 13664 25923 35067 79711 160901 197974 438586 380946 890262 2342 13897 25977 37189 79405 167158 220302 466865 423397 950587 3117 12417 23285 35355 74174 164308 215659 454141 496446 889941 (D) (D) 25481 36501 76884 193986 180751 451621 438320 325612 rec. 10054392 (D) (D) 172217 191127 (D) 872699 1216383 2558341 7496051 325613 firms 182 6 35 29 28 98 41 8 147 35 177 10 35 21 29 95 38 8 141 36 174 6 38 21 27 92 39 8 139 35 162 5 34 26 27 92 32 7 131 31 149 3 35 21 24 83 32 9 124 25 325613 estab. 212 6 35 30 28 99 43 12 154 58 207 10 35 22 29 96 41 12 149 58 203 6 39 21 27 93 42 12 147 56 191 5 35 26 28 94 34 11 139 52 178 3 35 21 25 84 35 13 132 46 325613 empl. 9113 0 75 191 393 659 1555 1216 3430 5683 9194 0 73 138 396 607 1444 1078 3129 6065 8697 0 71 134 378 583 1510 946 3039 5658 8005 0 61 170 377 608 1249 982 2839 5166 7301 [a] [b] 148 331 554 1209 1212 2975 4326 325613 ann. pay. 455152 344 4234 6862 16022 27462 79814 48485 155761 299391 469008 217 3007 5402 17923 26549 77584 50749 154882 314126 471454 144 2002 5786 15422 23354 84748 47792 155894 315560 441527 131 1853 6921 16227 25132 64859 52791 142782 298745 400435 (D) (D) 5883 17847 27159 63772 55522 146453 253982 325613 rec. 5731687 (D) (D) 54549 113223 (D) 426938 506791 1137822 4593865 325620 firms 712 82 178 96 97 453 139 67 659 53 708 58 188 111 96 453 137 64 654 54 700 55 178 118 97 448 135 63 646 54 697 45 184 107 98 434 149 61 644 53 726 54 214 110 90 468 149 60 677 49 325620 estab. 763 82 178 96 97 453 139 77 669 94 761 58 188 111 96 453 139 76 668 93 755 55 178 118 97 448 136 74 658 97 759 45 184 107 98 434 149 74 657 102 794 54 214 110 90 468 150 71 689 105 325620 empl. 65041 0 395 653 1340 2388 6072 12946 21406 43635 63031 0 451 765 1315 2531 6060 11653 20244 42787 63475 0 402 807 1349 2558 5745 11271 19574 43901 60705 0 417 713 1319 2449 6510 10543 19502 41203 56647 0 476 743 1229 2448 6595 10253 19296 37351 325620 ann. pay. 2344859 4768 20927 20234 35957 81886 208868 401811 692565 1652294 2299115 6363 13665 22737 40304 83069 208145 377430 668644 1630471 2443832 5359 12356 29769 43555 91039 202051 395387 688477 1755355 2422135 9147 14471 43562 45371 112551 230043 393069 735663 1686472 2289864 4253 16737 30871 42047 93908 251625 392815 738348 1551516 325620 rec. 31679852 55992 139839 225609 268840 690280 1684379 2617304 4991963 26687889 325910 firms 254 11 45 54 41 151 61 22 234 20 244 12 45 42 42 141 60 23 224 20 245 10 54 39 48 151 51 24 226 19 230 8 41 41 47 137 52 23 212 18 226 6 48 36 48 138 51 20 209 17 325910 estab. 564 11 45 54 41 151 85 108 344 220 541 12 45 42 42 141 77 116 334 207 533 10 54 39 48 151 63 123 337 196 505 8 41 41 48 138 66 117 321 184 501 16 48 36 50 150 75 115 340 161 325910 empl. 13494 [a] [c] 363 [f] 1059 2421 2585 6065 7429 13311 [a] [c] 276 567 950 2184 2836 5970 7341 13050 [a] [c] 262 696 1089 1924 2981 5994 7056 12886 0 95 255 633 983 2127 3082 6192 6694 12001 [a] [c] 244 [f] 991 2033 3013 6037 5964 325910 ann. pay. 554750 (D) (D) 12584 (D) 37879 101796 102315 241990 312760 591828 (D) (D) 9686 21044 35531 99015 120261 254807 337021 553991 (D) (D) 8910 29189 44932 83416 129378 257726 296265 587216 1191 4422 8736 26478 40827 103984 135158 279969 307247 556363 (D) (D) 9470 (D) 43275 102681 134577 280533 275830 325910 rec. 4174624 (D) (D) 54828 (D) (D) 485943 925764 1683276 2491348 325920 firms 62 4 13 7 2 26 15 11 52 10 59 1 13 6 3 23 13 12 48 11 57 2 11 4 3 20 13 12 45 12 63 8 10 3 3 24 17 11 52 11 61 2 11 9 2 24 14 11 49 12 325920 estab. 99 4 13 7 2 26 15 18 59 40 95 1 13 6 3 23 13 20 56 39 92 2 11 4 3 20 13 17 50 42 100 8 10 3 3 24 17 18 59 41 92 2 11 9 2 24 14 17 55 37 325920 empl. 7773 [a] [b] 50 [b] 111 627 1617 2355 5418 7806 [a] [b] 39 35 101 449 1698 2248 5558 7504 [a] [b] 28 41 92 484 1322 1898 5606 7325 0 23 20 39 82 617 1038 1737 5588 6304 [a] [b] 64 [b] 111 474 1094 1679 4625 325920 ann. pay. 278163 (D) (D) 1760 (D) 4916 19022 56531 80469 197694 289511 (D) (D) 1781 836 4457 16352 60223 81032 208479 288003 (D) (D) 1337 1436 4725 17356 42826 64907 223096 276290 993 775 1083 1015 3866 21424 35933 61223 215067 262041 (D) (D) 2391 (D) 4626 16308 41985 62919 199122 325920 rec. 1111244 (D) (D) 8792 (D) (D) 83100 224320 323543 787701 325991 firms 688 32 155 134 115 436 148 45 629 59 660 36 130 133 102 401 156 44 601 59 659 42 148 111 104 405 155 43 603 56 612 29 138 101 96 364 156 39 559 53 563 31 123 88 95 337 133 40 510 53 325991 estab. 797 32 155 134 116 437 153 58 648 149 771 36 130 133 103 402 161 58 621 150 764 42 148 111 105 406 158 62 626 138 715 29 138 101 97 365 159 53 577 138 660 31 123 89 95 338 135 54 527 133 325991 empl. 27696 0 373 905 1581 2859 5843 4711 13413 14283 27297 0 318 913 1415 2646 5928 4488 13062 14235 27449 0 351 758 1415 2524 5806 5388 13718 13731 25557 0 322 680 1283 2285 6187 4096 12568 12989 22909 0 281 566 1294 2141 5180 4231 11552 11357 325991 ann. pay. 999175 1986 10791 23638 49485 85900 195053 156035 436988 562187 1036698 1627 9801 24382 48915 84725 204529 162857 452111 584587 1077821 7108 11487 21704 45911 86210 212089 202227 500526 577295 1008878 1932 10779 20845 40373 73929 240529 158965 473423 535455 958619 853 10374 18816 46554 76597 219190 168503 464290 494329 325991 rec. 7431222 7586 71398 108599 232735 420318 1377142 1355888 3153348 4277874 325992 firms 295 29 100 38 41 208 41 15 264 31 302 36 88 45 40 209 48 13 270 32 303 25 98 45 37 205 51 16 272 31 314 27 108 51 30 216 46 21 283 31 348 29 122 68 33 252 50 17 319 29 325992 estab. 326 29 100 38 41 208 42 20 270 56 336 36 88 45 40 209 50 18 277 59 337 25 98 45 37 205 53 27 285 52 344 27 108 51 30 216 47 32 295 49 379 29 122 68 33 252 56 25 333 46 325992 empl. 36942 0 224 253 564 1041 1638 2297 4976 31966 34129 0 184 310 564 1058 1926 1867 4851 29278 30908 0 219 286 469 974 1872 2150 4996 25912 33726 0 228 329 409 966 1630 2636 5232 28494 30322 0 257 439 428 1124 1784 2342 5250 25072 325992 ann. pay. 1811090 4080 4499 6767 14944 30290 59579 80986 170855 1640235 1778089 2395 4328 9583 15698 32004 73964 66308 172276 1605813 1656859 1177 6031 7990 15153 30351 75960 73867 180178 1476681 1853420 2722 5724 10006 14374 32826 61821 109427 204074 1649346 1691918 2263 5877 11916 14122 34178 66312 93666 194156 1497762 325992 rec. 14261839 14376 45005 69795 69967 199143 375868 541363 1116374 13145465 325998 firms 970 63 206 145 173 587 218 71 876 94 983 62 223 147 163 595 211 77 883 100 959 56 217 134 174 581 201 79 861 98 987 67 232 132 165 596 211 87 894 93 986 63 237 150 166 616 189 90 895 91 325998 estab. 1130 63 206 146 175 590 231 102 923 207 1147 62 224 147 165 598 224 105 927 220 1124 56 218 134 176 584 211 105 900 224 1152 67 233 132 167 599 219 116 934 218 1147 63 238 151 168 620 198 123 941 206 325998 empl. 35279 0 498 999 2345 3842 7932 6843 18617 16662 36751 0 503 1014 2232 3749 7519 6922 18190 18561 37360 0 489 894 2347 3730 7307 7964 19001 18359 38007 0 514 877 2231 3622 7530 9110 20262 17745 34881 0 529 1013 2274 3816 6374 8667 18857 16024 325998 ann. pay. 1504115 7763 17538 37861 92553 155715 298541 294841 749097 755018 1649234 20676 18052 38702 91024 168454 314095 288944 771493 877741 1723447 8231 18055 33092 100117 159495 309965 347855 817315 906132 1760476 2251 19152 34940 99775 156118 319926 416388 892432 868044 1666190 6233 21791 42724 104848 175596 287648 398451 861695 804495 325998 rec. 13601631 40221 117475 250617 607517 1015830 1638931 2725303 5380064 8221567 326111 firms 431 11 54 46 55 166 157 73 396 35 424 10 51 49 56 166 147 76 389 35 426 19 54 53 58 184 137 69 390 36 411 13 54 54 55 176 135 63 374 37 381 18 50 37 61 166 131 52 349 32 326111 estab. 493 11 54 46 55 166 158 97 421 72 491 10 51 49 56 166 149 106 421 70 499 19 54 53 58 184 138 91 413 86 491 13 54 54 55 176 135 89 400 91 457 18 50 37 61 166 133 72 371 86 326111 empl. 42212 0 128 323 756 1207 7344 13943 22494 19718 40608 0 116 349 766 1231 6852 13988 22071 18537 40860 0 125 357 824 1306 6363 12157 19826 21034 39680 0 132 355 773 1260 6335 10848 18443 21237 35891 0 125 245 838 1208 5753 9282 16243 19648 326111 ann. pay. 1257226 2703 3521 7202 16825 30251 199766 408194 638211 619015 1308899 5078 4016 7415 18367 34876 194333 474946 704155 604744 1326932 4113 3742 8142 22060 38057 181848 374051 593956 732976 1328302 1144 3786 8977 19303 33210 187816 345912 566938 761364 1268501 3403 4016 6530 25178 39127 191802 302236 533165 735336 326111 rec. 7536049 29037 26878 40540 156392 252847 1016172 1668365 2937384 4598665 326112 firms 117 6 7 9 11 33 39 23 95 22 120 9 8 10 14 41 35 23 99 21 118 5 7 8 16 36 38 25 99 19 120 8 14 9 12 43 30 29 102 18 122 7 13 17 8 45 31 25 101 21 326112 estab. 152 6 7 9 11 33 39 26 98 54 159 9 8 10 14 41 36 26 103 56 160 5 7 8 16 36 40 28 104 56 162 8 14 9 12 43 32 33 108 54 171 7 13 17 8 45 33 27 105 66 326112 empl. 15528 0 20 67 151 238 1693 3188 5119 10409 15098 0 14 70 189 273 1577 2916 4766 10332 15614 0 12 54 215 281 1839 3206 5326 10288 15399 0 34 62 163 259 1447 3349 5055 10344 15190 0 28 115 106 249 1547 2631 4427 10763 326112 ann. pay. 582935 587 486 1814 4631 7518 53280 117052 177850 405085 600798 1384 729 1643 5468 9224 51227 110357 170808 429990 622134 350 457 1361 6628 8796 60711 123580 193087 429047 628810 1300 1217 1521 4797 8835 50174 120810 179819 448991 643046 453 763 3685 3646 8547 58648 104961 172156 470890 326112 rec. 4370385 3137 6021 26160 23587 58905 318719 531075 908699 3461686 326113 firms 717 32 115 104 112 363 195 70 628 89 679 19 120 89 103 331 192 69 592 87 657 21 108 74 110 313 188 71 572 85 643 21 117 58 107 303 187 63 553 90 619 19 121 70 92 302 173 59 534 85 326113 estab. 836 32 115 104 112 363 203 79 645 191 810 19 120 89 103 331 198 76 605 205 801 21 108 74 110 313 193 82 588 213 787 21 117 58 108 304 194 74 572 215 767 19 121 70 93 303 179 72 554 213 326113 empl. 54414 0 284 709 1559 2552 9172 9069 20793 33621 53281 0 293 615 1422 2330 8981 8707 20018 33263 55230 0 260 514 1530 2304 8604 9480 20388 34842 53385 0 286 408 1473 2167 8649 8571 19387 33998 49304 0 303 494 1253 2050 8020 7283 17353 31951 326113 ann. pay. 2018448 1773 7947 20678 52175 82573 319177 289720 691470 1326978 2048367 2766 9412 18832 47842 78852 317425 316225 712502 1335865 2154025 2049 9070 14831 48827 74777 301841 342078 718696 1435329 2092790 1623 8880 11589 47151 69243 302024 304962 676229 1416561 2005632 1526 9546 14451 43924 69447 307807 273241 650495 1355137 326113 rec. 13697389 10823 66222 85092 218203 380340 1767319 1652982 3800641 9896748 326121 firms 700 18 165 121 113 417 169 64 650 50 660 18 160 102 105 385 161 64 610 50 635 23 147 94 97 361 168 64 593 42 626 21 133 109 95 358 166 62 586 40 598 14 125 119 88 346 149 66 561 37 326121 estab. 755 18 165 121 113 417 181 78 676 79 721 18 160 102 105 385 170 84 639 82 695 23 147 94 97 361 176 89 626 69 683 21 133 109 95 358 173 86 617 66 653 15 125 119 88 347 158 89 594 59 326121 empl. 28572 0 391 815 1548 2754 7601 7559 17914 10658 28093 0 371 668 1410 2449 7045 7954 17448 10645 27331 0 363 624 1330 2317 7488 8103 17908 9423 26482 [a] [e] 728 1312 2369 7381 7805 17555 8927 25514 0 291 802 1214 2307 6302 7394 16003 9511 326121 ann. pay. 899725 731 10997 17546 41488 70762 216656 230755 518173 381552 951799 2557 12219 16182 36797 67755 216262 248722 532739 419060 947106 1329 12598 16639 42662 73228 230882 250239 554349 392757 904328 (D) (D) 19631 36718 67553 221547 240244 529344 374984 962630 458 8885 23170 40285 72798 232134 241756 546688 415942 326121 rec. 4445935 3056 44708 89103 147150 284017 748741 1013996 2046754 2399181 326122 firms 318 18 59 45 41 163 86 31 280 38 321 15 52 41 51 159 86 35 280 41 311 13 47 43 41 144 88 37 269 42 303 8 46 41 47 142 81 36 259 44 311 17 48 42 51 158 83 29 270 41 326122 estab. 448 18 59 45 41 163 95 49 307 141 455 18 52 41 51 162 93 51 306 149 446 13 47 43 41 144 96 53 293 153 442 8 46 41 47 142 87 59 288 154 439 17 48 42 51 158 94 46 298 141 326122 empl. 19864 0 135 299 574 1008 3856 4155 9019 10845 21403 0 125 270 668 1063 3786 4656 9505 11898 22869 0 120 276 562 958 3766 5102 9826 13043 22601 [a] [c] 258 668 1027 3396 5120 9543 13058 19944 0 101 278 688 1067 3922 3640 8629 11315 326122 ann. pay. 619399 2402 4592 8338 15502 30834 106793 121543 259170 360229 684410 3571 2857 9140 21838 37406 110096 144435 291937 392473 733661 2460 5078 9343 15297 32178 115900 163213 311291 422370 704508 (D) (D) 6895 19132 30084 104193 153392 287669 416839 671827 868 4225 9183 22830 37106 125859 128196 291161 380666 326122 rec. 5377972 8389 29808 61365 155654 255216 782915 981453 2019584 3358388 326130 firms 434 28 137 96 75 336 61 12 409 25 418 25 128 96 68 317 60 15 392 26 409 22 107 90 72 291 76 16 383 26 400 20 109 87 64 280 73 19 372 28 362 19 99 80 57 255 69 17 341 21 326130 estab. 448 28 137 96 75 336 63 15 414 34 432 25 128 96 68 317 62 18 397 35 426 22 107 90 72 291 78 19 388 38 417 20 109 87 64 280 74 22 376 41 377 19 99 80 57 255 70 23 348 29 326130 empl. 15691 0 343 614 991 1948 2291 1959 6198 9493 16012 0 310 624 916 1850 2283 2485 6618 9394 17239 0 255 589 985 1829 2912 2346 7087 10152 16695 0 254 574 860 1688 2814 2893 7395 9300 12910 0 234 537 773 1544 2694 2103 6341 6569 326130 ann. pay. 535563 3966 9321 14712 23612 51611 69459 68109 189179 346384 551110 1433 8930 16632 24844 51839 74793 82096 208728 342382 596112 2918 7810 15126 25574 51428 96233 79104 226765 369347 615983 8480 9517 14983 21442 54422 94299 96363 245084 370899 530698 2376 11148 16114 22581 52219 93693 83214 229126 301572 326130 rec. 2622467 7379 63060 81969 128082 280490 530828 446678 1257996 1364471 326140 firms 566 21 118 97 103 339 138 45 522 44 402 35 58 68 59 220 102 42 364 38 397 29 63 62 49 203 112 42 357 40 390 17 75 59 45 196 121 38 355 35 380 17 71 51 54 193 114 37 344 36 326140 estab. 774 21 118 97 103 339 147 111 597 177 575 35 58 68 60 221 106 95 422 153 569 29 63 62 49 203 115 99 417 152 566 17 75 59 45 196 124 98 418 148 551 17 71 51 54 193 123 85 401 150 326140 empl. 37070 0 294 650 1377 2321 5475 6756 14552 22518 31748 0 116 447 830 1393 4172 6172 11737 20011 33394 0 165 433 678 1276 4637 6612 12525 20869 31503 0 169 412 605 1186 4854 5653 11693 19810 30520 0 174 339 741 1254 4412 4735 10401 20119 326140 ann. pay. 1069200 1388 7873 15137 32739 57137 149281 197699 404117 665083 955269 4123 4955 11514 19098 39690 123485 185949 349124 606145 974221 2484 4687 10989 17871 36031 133253 201136 370420 603801 939688 4346 5807 11403 15166 36722 141413 169577 347712 591976 948640 3913 5760 10989 21566 42228 139251 151753 333232 615408 326140 rec. 6329984 29928 36249 59605 113053 238835 623209 832688 1694732 4635252 326150 firms 257 14 19 13 30 76 99 48 223 34 426 15 65 53 68 201 125 67 393 33 404 16 52 52 67 187 117 60 364 40 406 15 52 53 64 184 136 50 370 36 409 18 68 50 73 209 118 49 376 33 326150 estab. 416 14 19 13 30 76 102 69 247 169 630 15 65 53 68 201 133 101 435 195 608 16 52 52 67 187 125 88 400 208 610 15 52 53 64 184 149 76 409 201 610 18 69 50 73 210 133 73 416 194 326150 empl. 29820 0 43 89 425 557 4729 5922 11208 18612 37456 0 160 367 931 1458 5357 9462 16277 21179 37940 0 129 352 944 1425 5148 9009 15582 22358 35645 0 114 356 877 1347 6356 7534 15237 20408 33653 0 165 346 1010 1521 5446 6656 13623 20030 326150 ann. pay. 863862 5740 1075 2512 15434 24761 135460 178672 338893 524969 1105125 1182 4392 10508 26809 42891 148954 292387 484232 620893 1141000 922 4329 10602 28555 44408 149960 271759 466127 674873 1070156 1841 3071 10020 26281 41213 180925 234170 456308 613848 1094919 1305 5581 11636 32410 50932 164414 225401 440747 654172 326150 rec. 7169556 16013 46770 87272 172488 322543 771543 1063323 2157409 5012147 326160 firms 218 14 35 20 19 88 72 24 184 34 199 8 25 16 20 69 69 26 164 35 199 9 22 15 29 75 61 30 166 33 186 8 30 14 18 70 59 26 155 31 173 8 25 14 18 65 57 22 144 29 326160 estab. 486 14 35 20 19 88 73 59 220 266 489 8 25 16 20 69 71 55 195 294 481 9 22 15 29 75 61 62 198 283 459 8 30 14 18 70 61 46 177 282 459 8 25 14 18 65 59 42 166 293 326160 empl. 34874 0 77 133 280 490 3458 3957 7905 26969 37955 0 55 112 286 453 3339 4153 7945 30010 37488 0 46 95 412 553 2993 4820 8366 29122 35655 0 59 94 267 420 3009 3342 6771 28884 35168 0 58 89 243 390 3045 3058 6493 28675 326160 ann. pay. 1037326 1347 1378 3911 7529 14165 83813 105151 203129 834197 1177798 588 1828 3458 8581 14455 91416 123605 229476 948322 1164689 873 1399 2020 11057 15349 79798 135378 230525 934164 1188673 842 2967 2377 7211 13397 83921 91550 188868 999805 1222519 1308 1669 2206 7380 12563 91071 91488 195122 1027397 326160 rec. 8454314 8358 9394 13953 44974 76679 457894 455127 989700 7464614 326191 firms 483 28 100 107 92 327 120 20 467 16 531 41 97 104 106 348 146 23 517 14 512 27 105 93 102 327 139 28 494 18 500 30 102 98 94 324 136 21 481 19 494 19 106 98 95 318 135 22 475 19 326191 estab. 519 28 100 107 92 327 122 27 476 43 573 41 97 104 106 348 148 29 525 48 552 27 105 93 102 327 140 34 501 51 535 30 102 98 94 324 138 22 484 51 529 19 106 98 95 318 136 24 478 51 326191 empl. 17948 0 [c] 722 1250 [g] [h] [h] 10083 7865 21771 0 [c] 699 1444 [g] [i] [h] 11733 10038 22508 [a] [c] 624 1401 [g] 5712 [h] 11906 10602 20732 0 [c] 657 1298 [g] 5553 [h] 10778 9954 21348 [a] 246 662 1293 [g] 5706 [h] 10762 10586 326191 ann. pay. 461625 2035 (D) 15236 27081 (D) (D) (D) 247837 213788 576279 3331 (D) 16783 32069 (D) (D) (D) 306792 269487 584043 (D) (D) 14734 31729 (D) 153086 (D) 308042 276001 577639 4403 (D) 14600 29542 (D) 156867 (D) 292099 285540 632800 (D) 8066 14950 34628 (D) 181203 (D) 328653 304147 326191 rec. 2844041 (D) 41462 58734 122197 (D) 658924 (D) 1191128 1652913 326192 firms 27 5 6 4 3 18 2 1 21 6 35 4 9 6 5 24 2 2 28 7 33 2 10 5 4 21 5 1 27 6 34 0 9 5 10 24 3 1 28 6 44 4 17 6 10 37 0 2 39 5 326192 estab. 35 5 6 4 3 18 2 1 21 14 43 4 9 6 5 24 2 2 28 15 40 2 10 5 4 21 5 1 27 13 41 0 9 5 10 24 3 1 28 13 51 4 17 6 10 37 0 2 39 12 326192 empl. 6150 0 [a] 31 52 [b] [c] [c] 435 5715 5586 0 [a] 42 75 [c] [b] [e] 476 5110 5267 [a] [b] 40 53 [c] 181 [c] 496 4771 5060 0 [b] 36 137 [c] 97 [c] 495 4565 4845 [a] 36 43 133 [c] 0 [e] 657 4188 326192 ann. pay. 261179 125 (D) 1368 1176 (D) (D) (D) 11688 249491 222675 178 (D) 1540 2072 (D) (D) (D) 14636 208039 241802 (D) (D) 1656 1677 (D) 3482 (D) 15091 226711 234613 0 (D) 1006 6327 (D) 2151 (D) 17285 217328 232371 (D) 1154 1340 6822 (D) 0 (D) 25997 206374 326192 rec. 1496186 (D) 8147 8043 29323 (D) 0 (D) 98140 1398046 326199 firms 7494 495 1233 887 1142 3757 2422 867 7046 448 7382 382 1280 914 1118 3694 2353 878 6925 457 7167 360 1184 924 1093 3561 2279 885 6725 442 7051 356 1247 852 1120 3575 2223 819 6617 434 6799 323 1225 949 1098 3595 2053 743 6391 408 326199 estab. 8604 495 1233 888 1143 3759 2479 1151 7389 1215 8514 384 1280 915 1120 3699 2394 1157 7250 1264 8311 364 1184 926 1095 3569 2313 1165 7047 1264 8174 358 1248 853 1121 3580 2265 1092 6937 1237 7940 323 1225 949 1101 3598 2126 1036 6760 1180 326199 empl. 521712 0 2814 6091 16122 25027 106282 145501 276810 244902 529361 0 2948 6243 15742 24933 103910 145806 274649 254712 529507 0 2716 6296 15326 24338 99959 146837 271134 258373 501009 0 2904 5848 15556 24308 96277 132838 253423 247586 460386 0 2938 6509 15298 24745 89002 119602 233349 227037 326199 ann. pay. 14861084 54478 77350 165449 456774 754051 2875391 3993381 7622823 7238261 15684014 52697 85877 183165 458332 780071 2911837 4152093 7844001 7840013 15917880 52446 73035 178016 472204 775701 2847031 4336835 7959567 7958313 15219355 53525 82398 173645 452916 762484 2789894 3948029 7500407 7718948 14874072 30334 87669 196188 465877 780068 2753306 3822648 7356022 7518050 326199 rec. 71647216 165033 552063 883459 1969648 3570203 11225244 17145259 31940706 39706510 326211 firms 108 6 24 16 17 63 15 14 92 16 106 6 22 15 16 59 17 14 90 16 105 9 21 14 17 61 13 15 89 16 103 4 27 13 14 58 15 14 87 16 93 2 29 13 8 52 12 15 79 14 326211 estab. 160 6 24 16 17 63 15 20 98 62 162 6 22 15 16 59 17 22 98 64 160 9 21 14 17 61 13 23 97 63 161 4 27 13 14 58 15 22 95 66 149 2 29 13 8 52 12 22 86 63 326211 empl. 65298 0 63 107 231 401 470 2616 3487 61811 64810 0 60 100 218 378 557 2904 3839 60971 66133 [a] [b] 92 242 383 446 2836 3665 62468 63931 0 71 83 204 358 532 2303 3193 60738 60905 [a] [b] 86 109 266 353 2214 2833 58072 326211 ann. pay. 2822163 41 1894 2393 5381 9709 12454 64668 86831 2735332 2917777 96 1529 1925 6213 9763 20131 77453 107347 2810430 3021192 (D) (D) 2802 6179 11166 15896 76436 103498 2917694 2866794 90 2418 1994 4865 9367 17775 63481 90623 2776171 2900383 (D) (D) 2240 3661 7981 13553 74819 96353 2804030 326211 rec. 13227471 (D) (D) 10700 13325 (D) 103574 351598 489129 12738342 326212 firms 596 37 278 86 72 473 77 33 583 13 564 38 255 82 60 435 77 38 550 14 535 34 234 82 58 408 75 38 521 14 500 29 215 77 60 381 66 41 488 12 406 20 144 64 53 281 77 37 395 11 326212 estab. 714 37 278 87 73 475 85 58 618 96 705 38 255 83 60 436 84 64 584 121 708 34 234 83 58 409 79 65 553 155 677 29 215 78 60 382 72 73 527 150 558 20 144 65 53 282 87 68 437 121 326212 empl. 7486 0 570 571 965 2106 1677 2020 5803 1683 7798 0 538 536 781 1855 1808 2197 5860 1938 8192 0 491 546 732 1769 1819 2175 5763 2429 8550 0 452 499 747 1698 1553 2274 5525 3025 7957 [a] [e] 437 660 1396 2003 1946 5345 2612 326212 ann. pay. 194608 1390 9973 10671 23284 45318 45830 57056 148204 46404 207564 1419 9200 11001 19192 40812 48577 60003 149392 58172 224259 2136 9518 11257 18244 41155 48491 64195 153841 70418 250291 2731 10671 11139 17519 42060 44150 66991 153201 97090 239712 (D) (D) 10476 17216 36696 58776 59156 154628 85084 326212 rec. 1322755 (D) (D) 56147 73665 (D) 348756 339589 862424 460331 326220 firms 155 5 29 14 25 73 38 16 127 28 155 5 26 12 21 64 38 21 123 32 151 3 26 11 19 59 41 19 119 32 162 7 27 18 20 72 39 19 130 32 184 10 38 18 23 89 44 18 151 33 326220 estab. 222 5 29 14 27 75 44 26 145 77 225 5 26 12 23 66 43 35 144 81 217 3 26 11 21 61 46 30 137 80 228 7 27 18 22 74 43 26 143 85 257 10 38 19 24 91 52 25 168 89 326220 empl. 23454 0 67 94 345 506 1767 2436 4709 18745 24803 0 58 85 309 452 1549 2977 4978 19825 24502 [a] [b] 73 258 391 1644 2557 4592 19910 23553 0 60 119 265 444 1598 2371 4413 19140 22201 0 91 110 301 502 1915 2124 4541 17660 326220 ann. pay. 755288 1292 1941 2837 11613 17683 54958 83824 156465 598823 813891 375 1496 2860 10316 15047 50394 92671 158112 655779 807403 (D) (D) 2254 8301 11976 56815 83431 152222 655181 758799 572 1315 3566 8217 13670 53568 78940 146178 612621 772799 1529 1957 3765 9902 17153 67734 72561 157448 615351 326220 rec. 3973031 7145 10360 19321 50237 87063 337814 388733 813610 3159421 326291 firms 603 16 99 82 88 285 179 73 537 66 600 17 107 81 90 295 169 71 535 65 579 12 99 73 89 273 173 67 513 66 548 10 88 73 79 250 172 61 483 65 528 14 90 73 69 246 164 55 465 63 326291 estab. 714 16 99 82 88 285 188 104 577 137 725 17 107 81 90 295 177 101 573 152 705 12 99 73 89 273 184 93 550 155 666 10 88 73 80 251 179 86 516 150 644 14 90 73 69 246 173 79 498 146 326291 empl. 55622 0 221 546 1191 1958 7870 13153 22981 32641 58944 0 251 561 1207 2019 7467 12052 21538 37406 61186 0 234 492 1197 1923 7962 11742 21627 39559 55000 0 199 497 1067 1763 7569 10629 19961 35039 49038 0 210 506 926 1642 6739 8809 17190 31848 326291 ann. pay. 1715444 1893 5968 14935 31921 54717 234350 380248 669315 1046129 1917518 2125 7723 14530 36669 61047 224763 372302 658112 1259406 2013538 1207 7079 14295 36330 58911 244192 364732 667835 1345703 1764036 1319 7581 14139 30756 53795 232800 321346 607941 1156095 1658749 6759 7541 15381 29423 59104 221310 279679 560093 1098656 326291 rec. 7529957 26693 38720 66954 105750 238117 763889 1204973 2206979 5322978 326299 firms 835 49 142 109 131 431 234 86 751 84 796 37 138 104 134 413 216 86 715 81 775 33 129 103 109 374 234 86 694 81 748 19 125 107 111 362 217 88 667 81 744 38 126 114 113 391 202 81 674 70 326299 estab. 976 49 142 109 131 431 249 123 803 173 937 37 138 104 134 413 229 120 762 175 914 33 129 103 110 375 246 128 749 165 882 19 125 108 111 363 230 126 719 163 850 38 126 114 113 391 217 116 724 126 326299 empl. 54670 0 332 763 1838 2933 9175 11800 23908 30762 52208 0 319 704 1847 2870 8439 12505 23814 28394 51247 0 307 706 1485 2498 9284 12251 24033 27214 47623 0 311 726 1537 2574 8726 12578 23878 23745 40833 0 284 799 1529 2612 8055 11164 21831 19002 326299 ann. pay. 1608251 2200 7851 18980 46367 75398 266988 335407 677793 930458 1627315 5226 8727 18972 47938 80863 260537 352787 694187 933128 1640101 7086 7287 19702 42169 76244 289018 359146 724408 915693 1496591 708 7125 20272 41312 69417 274632 365257 709306 787285 1376753 6985 15091 22249 48511 92836 275102 339644 707582 669171 326299 rec. 7333039 53147 62206 96023 188081 399457 1174366 1631743 3205566 4127473 327111 firms 44 3 9 6 5 23 6 6 35 9 42 0 14 5 3 22 3 7 32 10 37 0 11 4 2 17 4 6 27 10 40 1 10 5 3 19 4 6 29 11 36 1 12 5 2 20 3 4 27 9 327111 estab. 61 3 9 6 5 23 6 7 36 25 58 0 14 5 3 22 3 8 33 25 52 0 11 4 2 17 4 7 28 24 54 1 10 5 3 19 4 6 29 25 50 1 12 5 2 20 3 4 27 23 327111 empl. 9528 [a] [a] 39 71 125 351 866 1342 8186 9648 0 33 36 42 111 160 894 1165 8483 8984 0 [b] 30 [b] 79 154 792 1025 7959 8708 [a] [a] 37 34 87 152 471 710 7998 8437 [a] [b] 28 [b] 75 123 421 619 7818 327111 ann. pay. 314372 (D) (D) 1012 1324 2657 9130 22099 33886 280486 306745 0 653 914 1022 2589 5109 23846 31544 275201 299470 0 (D) 713 (D) 1751 5275 22301 29327 270143 295305 (D) (D) 876 643 1964 4943 12104 19011 276294 294734 (D) (D) 565 (D) 1965 4512 10251 16728 278006 327111 rec. 1148874 (D) (D) 2137 (D) (D) 13446 28166 49823 1099051 327112 firms 967 107 449 139 103 798 118 33 949 18 958 96 435 152 96 779 127 33 939 19 904 96 394 146 86 722 132 30 884 20 894 91 406 143 88 728 117 29 874 20 818 104 339 155 76 674 96 25 795 23 327112 estab. 979 109 449 139 103 800 119 35 954 25 971 96 437 152 96 781 127 37 945 26 916 96 396 146 86 724 132 33 889 27 902 91 406 143 88 728 117 30 875 27 824 104 339 155 76 674 97 26 797 27 327112 empl. 20033 0 902 933 1396 3231 4920 4893 13044 6989 20000 [a] [f] 1008 1330 3204 5005 5265 13474 6526 20054 0 769 959 1165 2893 5112 4720 12725 7329 18858 0 813 907 1187 2907 4531 4471 11909 6949 16997 0 688 1030 1004 2722 3657 4041 10420 6577 327112 ann. pay. 476546 5548 10884 12506 19958 48896 101796 106123 256815 219731 502740 (D) (D) 15605 22036 52174 105953 131578 289705 213035 510501 2014 9847 15790 22099 49750 108548 119320 277618 232883 488538 9431 11811 14289 21322 56853 91867 115888 264608 223930 419199 1755 9126 18459 21062 50402 85862 102365 238629 180570 327112 rec. 1392246 8206 29964 63498 56873 158541 219943 408885 787369 604877 327113 firms 135 4 23 19 18 64 36 19 119 16 128 2 19 24 13 58 37 17 112 16 123 3 17 20 16 56 35 19 110 13 120 2 13 18 18 51 38 16 105 15 115 3 20 19 12 54 32 13 99 16 327113 estab. 151 4 23 19 18 64 38 27 129 22 144 2 19 24 13 58 39 25 122 22 139 3 17 20 16 56 39 27 122 17 136 2 13 18 18 51 42 23 116 20 132 3 20 19 12 54 35 20 109 23 327113 empl. 10049 [a] [b] 130 247 434 1509 4059 6002 4047 8866 [a] [b] 156 205 403 1480 3581 5464 3402 9603 0 [b] 129 [c] 408 1579 4253 6240 3363 9378 [a] [b] 114 239 392 1813 3238 5443 3935 8432 [a] [b] 134 [c] 357 1469 2551 4377 4055 327113 ann. pay. 322748 (D) (D) 4082 7842 14150 51166 113315 178631 144117 316777 (D) (D) 5117 7186 13794 54709 114205 182708 134069 356896 8 (D) 5053 (D) 14660 59227 141722 215609 141287 309006 (D) (D) 3934 6924 12446 59293 100270 172009 136997 320808 (D) (D) 4662 (D) 12897 54252 86141 153290 167518 327113 rec. 1132510 (D) (D) 14350 (D) (D) 150106 308368 496853 635657 327121 firms 132 3 26 11 8 48 46 21 115 17 131 5 24 10 9 48 45 23 116 15 123 5 26 6 9 46 37 27 110 13 117 8 23 10 4 45 37 24 106 11 103 4 19 7 4 34 38 21 93 10 327121 estab. 225 3 26 11 8 48 50 31 129 96 228 5 24 10 9 48 49 35 132 96 224 5 26 6 9 46 41 39 126 98 216 8 23 10 4 45 43 34 122 94 197 4 19 7 4 34 42 28 104 93 327121 empl. 13631 [a] [b] 76 103 232 2456 3081 5769 7862 14199 [a] [b] 69 116 238 2364 3276 5878 8321 14591 [a] [b] 42 108 203 1846 3587 5636 8955 14172 0 49 77 49 175 1881 3426 5482 8690 12933 0 40 54 52 146 2031 2954 5131 7802 327121 ann. pay. 380542 (D) (D) 2004 2358 5979 70181 83302 159462 221080 430550 (D) (D) 1675 2665 5402 71966 100013 177381 253169 449190 (D) (D) 983 2489 4710 56551 115336 176597 272593 451653 484 1137 2046 2164 5831 59647 113316 178794 272859 434375 201 974 1699 1203 4077 72495 103127 179699 254676 327121 rec. 1853104 934 4493 6235 5939 17601 251935 414656 684192 1168912 327122 firms 164 17 52 33 21 123 23 11 157 7 167 17 48 37 21 123 24 11 158 9 174 17 45 40 28 130 23 13 166 8 187 17 49 47 26 139 28 12 179 8 197 18 69 40 27 154 27 9 190 7 327122 estab. 175 17 52 33 21 123 23 11 157 18 178 17 48 37 21 123 24 11 158 20 185 17 45 40 28 130 23 14 167 18 200 17 49 47 26 139 28 14 181 19 211 18 69 40 27 154 29 11 194 17 327122 empl. 8253 0 125 213 294 632 989 2185 3806 4447 7647 0 117 236 255 608 1066 1655 3329 4318 8194 0 105 259 387 751 1037 2463 4251 3943 8215 0 114 294 348 756 1127 1957 3840 4375 6584 0 162 251 354 767 1003 1501 3271 3313 327122 ann. pay. 211015 599 2446 4018 6009 13072 22602 65311 100985 110030 213932 2670 2939 4119 5586 15314 23667 58929 97910 116022 224849 319 2362 4748 8592 16021 25246 80360 121627 103222 230541 634 1966 6451 8551 17602 27047 56585 101234 129307 204633 668 3221 5040 9044 17973 25842 50339 94154 110479 327122 rec. 1002517 3361 17318 23971 40391 85041 108095 240574 433710 568807 327123 firms 50 3 15 6 5 29 12 3 44 6 49 0 16 8 4 28 11 4 43 6 45 1 13 6 3 23 10 4 37 8 50 2 12 6 8 28 12 2 42 8 48 2 11 7 7 27 10 3 40 8 327123 estab. 54 3 15 6 5 29 12 6 47 7 53 0 16 8 4 28 11 7 46 7 49 1 13 6 3 23 10 7 40 9 54 2 12 6 8 28 12 5 45 9 52 2 11 7 7 27 11 3 41 11 327123 empl. 1477 [a] [b] 39 67 138 593 320 1051 426 1456 0 [b] 51 56 [c] 488 [e] 917 539 1649 [a] [b] 43 38 111 486 396 993 656 1840 [a] [b] 37 105 [c] 585 [e] 1051 789 1682 [a] [b] 39 108 171 460 250 881 801 327123 ann. pay. 41808 (D) (D) 694 1182 2848 14098 8603 25549 16259 43544 0 (D) 754 1527 (D) 13473 (D) 25336 18208 47374 (D) (D) 763 715 2303 12876 10825 26004 21370 56148 (D) (D) 782 2005 (D) 17925 (D) 30483 25665 54973 (D) (D) 829 3328 4909 14924 7490 27323 27650 327123 rec. 200500 (D) (D) 2195 11191 (D) 56434 17640 90300 110200 327124 firms 121 7 24 9 16 56 35 15 106 15 110 4 20 11 15 50 32 15 97 13 114 3 21 11 16 51 35 14 100 14 114 3 23 13 12 51 37 13 101 13 108 5 15 13 14 47 37 13 97 11 327124 estab. 159 7 24 9 16 56 36 24 116 43 142 4 20 11 15 50 32 23 105 37 145 3 21 11 16 51 35 23 109 36 141 3 23 13 12 51 38 20 109 32 130 5 15 13 14 47 41 19 107 23 327124 empl. 6235 [a] [b] 67 210 334 1308 1134 2776 3459 5790 [a] [b] 79 213 [e] 1166 [g] 2711 3079 5626 [a] [b] 83 246 375 1335 1176 2886 2740 5048 [a] [b] 94 177 [e] 1418 [f] 2656 2392 3797 [a] [b] 88 203 327 1289 767 2383 1414 327124 ann. pay. 223105 (D) (D) 1709 8475 12070 40851 36509 89430 133675 209351 (D) (D) 1984 9851 (D) 37369 (D) 92183 117168 202643 (D) (D) 2184 10165 13796 46129 35206 95131 107512 185427 (D) (D) 3032 6020 (D) 46232 (D) 92626 92801 149872 (D) (D) 2564 10832 15031 49685 28287 93003 56869 327124 rec. 804329 (D) (D) 10895 46862 (D) 240794 151127 458197 346132 327125 firms 99 12 17 14 9 52 17 12 81 18 95 6 16 17 7 46 22 10 78 17 91 2 14 15 13 44 20 10 74 17 91 3 14 15 12 44 22 10 76 15 87 2 18 14 10 44 20 10 74 13 327125 estab. 136 12 17 14 9 52 18 20 90 46 136 6 16 17 7 46 24 18 88 48 129 2 14 15 13 44 22 18 84 45 130 3 14 15 12 44 26 17 87 43 118 2 18 14 10 44 22 16 82 36 327125 empl. 8059 0 49 99 123 271 658 1560 2489 5570 8066 0 39 113 105 257 883 1427 2567 5499 7563 [a] [b] 96 171 305 782 1453 2540 5023 7320 [a] [b] 97 144 274 1005 1269 2548 4772 6984 [a] [b] 98 131 266 885 1248 2399 4585 327125 ann. pay. 312125 1562 1655 3129 5200 11546 26597 54153 92296 219829 322351 446 1384 3866 3730 9426 36891 53173 99490 222861 320849 (D) (D) 3318 6630 11810 31868 56572 100250 220599 299903 (D) (D) 3441 3931 9095 33422 50548 93065 206838 285026 (D) (D) 4300 4320 10340 33687 51607 95634 189392 327125 rec. 1500246 (D) (D) 17273 33596 (D) 142351 284132 484967 1015279 327211 firms 31 11 4 1 1 17 6 2 25 6 31 3 8 3 1 15 6 4 25 6 39 3 12 3 2 20 6 5 31 8 55 3 19 8 5 35 7 5 47 8 68 8 25 9 6 48 7 4 59 9 327211 estab. 54 11 4 1 1 17 6 2 25 29 54 3 8 3 1 15 6 4 25 29 64 3 12 3 2 20 6 5 31 33 80 3 19 8 5 35 7 5 47 33 92 8 25 9 6 48 7 4 59 33 327211 empl. 11582 [a] [a] [a] [a] [b] 250 [e] [f] [j] 11533 [a] [a] [a] [a] 49 277 407 733 10800 12202 [a] [b] 17 [b] 62 292 438 792 11410 11628 [a] [b] 53 66 [c] [e] 608 1084 10544 9901 0 52 [b] [b] [c] [e] 567 1013 8888 327211 ann. pay. 546145 (D) (D) (D) (D) (D) 6038 (D) (D) (D) 569244 (D) (D) (D) (D) 1018 7885 11467 20370 548874 542630 (D) (D) 255 (D) 1301 8276 13342 22919 519711 582045 (D) (D) 901 1914 (D) (D) 14888 28254 553791 400868 455 1357 (D) (D) (D) (D) 15592 28239 372629 327211 rec. 2926040 2426 12763 (D) (D) (D) (D) 64455 128874 2797166 327212 firms 492 48 210 95 57 410 38 12 460 32 495 50 208 100 59 417 35 14 466 29 478 39 191 103 64 397 36 15 448 30 485 52 191 92 59 394 42 14 450 35 456 51 189 85 47 372 38 14 424 32 327212 estab. 540 48 210 95 57 410 38 15 463 77 546 50 208 100 59 417 35 18 470 76 529 39 191 103 64 397 36 17 450 79 538 52 191 92 59 394 42 15 451 87 508 51 189 85 47 372 39 17 428 80 327212 empl. 37157 [a] [e] [f] [f] 1848 1389 2091 5328 31829 36024 0 [e] 678 [f] 1937 1391 2247 5575 30449 37007 0 422 696 833 1951 1459 2448 5858 31149 37843 0 436 630 769 1835 1557 2099 5491 32352 30909 0 395 588 605 1588 1312 2190 5090 25819 327212 ann. pay. 1281040 (D) (D) (D) (D) 46678 36028 56006 138712 1142328 1285679 2932 (D) 16830 (D) 49333 42551 59908 151792 1133887 1446125 4588 10514 17210 21304 53616 55857 85647 195120 1251005 1361012 1803 10154 16543 20184 48684 42756 75619 167059 1193953 1208622 1935 10230 14910 17157 44232 38845 71530 154607 1054015 327212 rec. 4849878 10070 45440 62692 67625 185827 144199 212900 542926 4306952 327213 firms 16 2 1 0 1 4 0 2 6 10 22 5 4 1 0 10 0 4 14 8 22 4 4 0 2 10 0 4 14 8 22 1 4 4 0 9 1 4 14 8 24 0 5 2 3 10 1 5 16 8 327213 estab. 66 2 1 0 1 4 0 2 6 60 71 5 4 1 0 10 0 4 14 57 69 4 4 0 2 10 0 4 14 55 67 1 4 4 0 9 1 4 14 53 69 0 5 2 3 10 1 5 16 53 327213 empl. 20061 [a] [a] 0 [a] [a] 0 [e] [e] [j] 19680 [a] [a] [a] 0 17 0 1028 1045 18635 17182 [a] [a] 0 [b] 29 0 1023 1052 16130 15958 [a] [a] 26 0 [b] [b] 886 993 14965 16487 0 6 [a] [b] [b] [a] 918 986 15501 327213 ann. pay. 821075 (D) (D) 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 818480 (D) (D) (D) 0 2964 0 37987 40951 777529 768893 (D) (D) 0 (D) 1303 0 35264 36567 732326 720198 (D) (D) 355 0 (D) (D) 35101 38093 682105 776230 0 143 (D) (D) (D) (D) 41266 42638 733592 327213 rec. 4423342 0 2854 (D) (D) (D) (D) 226428 232924 4190418 327215 firms 1458 122 555 244 165 1086 238 68 1392 66 1545 159 593 263 173 1188 235 69 1492 53 1528 121 600 261 181 1163 246 60 1469 59 1501 109 582 286 160 1137 240 61 1438 63 1352 96 534 247 138 1015 216 68 1299 53 327215 estab. 1598 122 555 244 165 1086 246 84 1416 182 1699 159 593 263 175 1190 245 87 1522 177 1678 121 600 262 181 1164 257 70 1491 187 1663 109 582 286 161 1138 249 76 1463 200 1521 96 534 247 138 1015 229 87 1331 190 327215 empl. 65826 0 1259 1604 2274 5137 9764 10246 25147 40679 62573 0 1296 1717 2373 5386 9674 10099 25159 37414 64846 0 1334 1704 2501 5539 10490 9315 25344 39502 64542 0 1234 1880 2251 5365 10070 8914 24349 40193 57497 0 1158 1639 1930 4727 8991 9511 23229 34268 327215 ann. pay. 2094940 11633 24968 34777 57760 129138 265782 286878 681798 1413142 2090509 11457 28863 38300 64415 143035 273572 295574 712181 1378328 2235293 4506 28902 42907 67909 144224 313799 301114 759137 1476156 2163463 6206 28483 46414 62568 143671 293268 264507 701446 1462017 2018879 4535 24889 40394 54358 124176 287321 297462 708959 1309920 327215 rec. 9980503 21390 110669 166884 200600 499543 1073588 1282355 2855486 7125017 327310 firms 153 7 28 28 25 88 20 15 123 30 175 11 41 28 27 107 23 15 145 30 170 12 32 32 25 101 25 15 141 29 159 4 33 29 24 90 27 14 131 28 136 5 22 25 20 72 21 12 105 31 327310 estab. 257 7 28 28 25 88 26 22 136 121 273 11 41 28 27 107 27 22 156 117 268 12 32 32 25 101 29 21 151 117 260 4 33 29 24 90 31 20 141 119 253 5 22 25 20 72 29 22 123 130 327310 empl. 16775 0 59 201 325 585 549 1993 3127 13648 16915 0 91 207 350 648 642 1985 3275 13640 17076 0 70 228 334 632 861 1647 3140 13936 17227 0 69 205 315 589 834 1586 3009 14218 16905 0 47 178 268 493 735 1535 2763 14142 327310 ann. pay. 754211 1231 3770 7729 11942 24672 15408 95724 135804 618407 799451 1068 4083 7775 12288 25214 21597 88394 135205 664246 833287 903 4162 7575 12744 25384 31318 86390 143092 690195 877532 245 3393 6710 12722 23070 27151 104805 155026 722506 849855 234 2823 6704 10829 20590 26274 79705 126569 723286 327310 rec. 7251839 2721 22411 54339 103086 182557 172557 584059 939173 6312666 327320 firms 2809 139 520 477 568 1704 882 155 2741 68 2743 123 534 433 546 1636 879 155 2670 73 2645 106 510 398 523 1537 867 166 2570 75 2551 95 500 411 490 1496 829 153 2478 73 2522 143 457 400 493 1493 807 153 2453 69 327320 estab. 5242 139 521 480 597 1737 1330 954 4021 1221 5364 123 537 438 566 1664 1350 852 3866 1498 5414 106 513 405 536 1560 1298 837 3695 1719 5398 99 503 419 505 1526 1305 842 3673 1725 5471 145 459 405 517 1526 1322 887 3735 1736 327320 empl. 90691 0 1215 3228 7828 12271 32371 20904 65546 25145 95866 0 1251 2929 7564 11744 32349 20351 64444 31422 100239 0 1219 2722 7253 11194 32912 20360 64466 35773 101483 0 1182 2762 6778 10722 31749 19757 62228 39255 92497 0 1094 2712 6640 10446 31148 19564 61158 31339 327320 ann. pay. 3309854 13026 42360 93387 259779 408552 1177639 808058 2394249 915605 3617119 10779 43342 85998 258598 398717 1236926 812604 2448247 1168872 3739776 9145 39411 80015 235393 363964 1216387 771475 2351826 1387950 3917192 9032 38510 89590 237443 374575 1239182 808865 2422622 1494570 3735056 14967 36409 90023 236988 378387 1228744 800567 2407698 1327358 327320 rec. 21598968 80718 229231 486352 1204304 2000605 6297378 4370245 12668228 8930740 327331 firms 685 19 115 104 133 371 227 54 652 33 668 28 107 99 134 368 210 53 631 37 665 33 102 94 131 360 213 55 628 37 666 30 114 99 130 373 204 52 629 37 671 35 122 90 143 390 191 56 637 34 327331 estab. 924 19 115 104 135 373 279 114 766 158 921 28 107 99 137 371 251 118 740 181 933 33 102 97 132 364 260 112 736 197 940 31 114 101 131 377 247 114 738 202 959 35 122 90 144 391 249 122 762 197 327331 empl. 19307 0 264 741 1833 2838 8317 3774 14929 4378 19927 0 241 700 1884 2825 7540 4195 14560 5367 21431 0 241 665 1809 2715 7797 4485 14997 6434 21234 0 255 680 1873 2808 7619 4143 14570 6664 19642 0 285 620 1982 2887 7003 4141 14031 5611 327331 ann. pay. 659066 4653 7153 22287 57657 91750 283520 135017 510287 148779 701332 2187 6493 22764 62457 93901 269275 150669 513845 187487 762132 4105 6460 21061 58449 90075 283010 165937 539022 223110 787959 2882 8077 20008 65263 96230 283671 168188 548089 239870 780697 4232 9381 21412 67664 102689 278906 169144 550739 229958 327331 rec. 4095163 23517 47749 101112 335968 508346 1303456 879800 2691602 1403561 327332 firms 262 9 39 23 43 114 95 36 245 17 254 9 37 25 37 108 96 32 236 18 243 8 37 25 32 102 95 29 226 17 233 10 37 21 34 102 86 29 217 16 206 7 22 25 32 86 79 29 194 12 327332 estab. 414 9 39 23 43 114 103 68 285 129 413 9 37 25 37 108 102 58 268 145 439 8 37 26 33 104 100 53 257 182 422 10 37 21 35 103 92 54 249 173 391 7 22 25 32 86 90 55 231 160 327332 empl. 13349 0 80 156 634 870 3635 3988 8493 4856 14037 0 85 166 524 775 3815 3508 8098 5939 15424 0 92 161 470 723 3903 3281 7907 7517 14928 0 87 134 465 686 3367 3015 7068 7860 12606 0 51 173 461 685 3057 2841 6583 6023 327332 ann. pay. 471971 120 2598 4907 21200 28825 141246 130556 300627 171344 511960 664 2685 6003 21756 31108 138051 116962 286121 225839 535887 847 2001 6326 16337 25511 137761 115656 278928 256959 562446 3281 2288 5722 16284 27575 133970 115829 277374 285072 506273 342 2470 7526 18283 28621 132198 105911 266730 239543 327332 rec. 2426994 1999 12611 27484 84898 126992 517353 489832 1134177 1292817 327390 firms 2092 139 555 403 406 1503 423 111 2037 55 2064 100 547 409 386 1442 438 122 2002 62 2035 104 527 383 395 1409 453 104 1966 69 2052 117 531 381 382 1411 449 125 1985 67 1974 122 493 368 365 1348 447 117 1912 62 327390 estab. 2353 139 555 405 408 1507 455 211 2173 180 2337 101 547 410 388 1446 472 228 2146 191 2331 104 527 384 398 1413 489 177 2079 252 2366 117 531 382 385 1415 482 227 2124 242 2291 122 493 369 369 1353 484 219 2056 235 327390 empl. 55232 0 1301 2774 5446 9521 15799 14722 40042 15190 59490 0 1298 2779 5200 9277 16240 18213 43730 15760 62573 0 1263 2604 5394 9261 17511 15970 42742 19831 65742 0 1219 2598 5226 9043 16814 18124 43981 21761 61032 0 1192 2542 4992 8726 16567 15745 41038 19994 327390 ann. pay. 1742057 10523 30015 64830 150522 255890 482612 481875 1220377 521680 1916442 7081 33805 63669 152364 256919 508512 596701 1362132 554310 2089779 9354 32878 65734 155505 263471 541940 555339 1360750 729029 2203903 8911 34857 67577 159371 270716 557315 617604 1445635 758268 2122222 7868 31065 68338 159254 266525 558056 566679 1391260 730962 327390 rec. 8575184 39417 126493 264351 578314 1008575 2034467 2113669 5156711 3418473 327410 firms 45 1 4 5 3 13 11 8 32 13 42 0 5 4 4 13 9 7 29 13 39 0 2 3 3 8 11 7 26 13 41 2 2 2 4 10 10 7 27 14 41 2 7 5 4 18 10 4 32 9 327410 estab. 84 1 4 5 3 13 16 17 46 38 84 0 5 4 4 13 13 19 45 39 80 0 2 3 3 8 15 19 42 38 82 2 2 2 4 10 13 19 42 40 77 2 7 5 6 20 13 6 39 38 327410 empl. 5201 [a] [a] 31 36 78 472 1089 1639 3562 5360 0 11 27 58 96 399 1227 1722 3638 5167 0 [a] [a] 45 68 503 1247 1818 3349 4533 [a] [a] [a] 63 77 378 1158 1613 2920 4393 [a] [a] 33 56 100 480 345 925 3468 327410 ann. pay. 216172 (D) (D) 727 1299 2538 18676 48276 69490 146682 214502 0 395 625 2036 3056 16912 52381 72349 142153 209683 0 (D) (D) 1474 2052 17831 51456 71339 138344 192225 (D) (D) (D) 1514 2158 15273 51815 69246 122979 182836 (D) (D) 1409 2099 4558 19422 16352 40332 142504 327410 rec. 1017852 (D) (D) 5668 12467 (D) 109251 72854 205164 812688 327420 firms 189 11 55 31 34 131 34 9 174 15 177 9 50 31 28 118 36 9 163 14 177 13 47 36 22 118 36 9 163 14 174 13 44 30 31 118 34 7 159 15 207 23 72 35 27 157 31 5 193 14 327420 estab. 288 11 55 31 34 131 34 17 182 106 280 9 50 31 28 118 36 11 165 115 282 13 47 36 22 118 36 19 173 109 280 13 44 30 31 118 36 8 162 118 301 23 72 35 27 157 33 6 196 105 327420 empl. 14377 [a] [c] 214 460 778 1140 1552 3470 10907 14953 0 95 209 391 695 1239 1275 3209 11744 15092 0 [b] [c] 323 661 1315 1581 3557 11535 14464 [a] [b] [c] 411 699 1132 986 2817 11647 12611 [a] [c] 243 348 735 997 696 2428 10183 327420 ann. pay. 534040 (D) (D) 4261 11638 19277 28480 48214 95971 438069 579118 266 1913 5203 10180 17562 32215 44530 94307 484811 572212 982 (D) (D) 8001 17580 30882 56842 105304 466908 566113 (D) (D) (D) 10383 18547 29576 35696 83819 482294 520107 (D) (D) 6385 8872 19653 26220 26220 72093 448014 327420 rec. 4209325 (D) (D) 46970 69254 (D) 169599 155151 475895 3733430 327910 firms 319 13 43 41 57 154 115 33 302 17 313 10 50 42 55 157 109 31 297 16 299 12 43 39 60 154 99 32 285 14 300 9 49 41 57 156 98 30 284 16 299 8 58 39 64 169 94 25 288 11 327910 estab. 363 13 43 41 57 154 118 46 318 45 365 10 50 43 55 158 111 45 314 51 348 12 43 40 60 155 101 50 306 42 352 9 50 41 57 157 101 43 301 51 347 8 58 39 64 169 100 42 311 36 327910 empl. 20695 0 108 301 790 1199 4640 5416 11255 9440 19532 0 125 302 753 1180 4298 5017 10495 9037 18900 0 106 280 837 1223 4022 5406 10651 8249 19598 0 116 281 775 1172 3899 5059 10130 9468 16079 0 114 269 854 1237 3637 4652 9526 6553 327910 ann. pay. 804486 3351 3045 10065 23886 40347 156589 173053 369989 434497 764762 5150 4027 9503 24255 42935 142614 176566 362115 402647 776185 1718 3071 9943 28350 43082 140602 217160 400844 375341 837878 517 3606 9119 25726 38968 127346 215166 381480 456398 651973 1023 3490 8854 30664 44031 130915 197042 371988 279985 327910 rec. 3349835 6234 16821 36636 125703 185394 486403 817983 1489780 1860055 327991 firms 1081 86 353 229 207 875 178 15 1068 13 1022 88 304 243 191 826 168 15 1009 13 1064 103 298 241 213 855 179 19 1053 11 1239 108 341 288 249 986 214 26 1226 13 1498 144 455 345 298 1242 223 22 1487 11 327991 estab. 1102 86 353 229 208 876 187 18 1081 21 1045 88 304 243 193 828 178 17 1023 22 1101 103 298 241 215 857 188 35 1080 21 1269 108 341 288 251 988 220 39 1247 22 1532 144 455 345 304 1248 231 35 1514 18 327991 empl. 15159 0 847 1504 2790 5141 6296 1579 13016 2143 15255 0 752 1622 2619 4993 5797 1704 12494 2761 16230 0 724 1600 2897 5221 6430 2183 13834 2396 18587 0 820 1941 3401 6162 7333 2784 16279 2308 19843 0 1094 2368 4080 7542 7697 2656 17895 1948 327991 ann. pay. 410398 5337 19848 34194 73709 133088 167402 47688 348178 62220 441985 4991 18518 37364 74488 135361 170060 57188 362609 79376 492704 7977 17392 40817 84001 150187 193699 70035 413921 78783 569931 8654 22827 50190 96334 178005 226046 82664 486715 83216 636813 7111 30054 61885 127540 226590 254906 82011 563507 73306 327991 rec. 2107037 25240 97486 222106 442115 786947 806038 240105 1833090 273947 327992 firms 265 16 50 38 34 138 53 24 215 50 246 12 45 36 40 133 43 23 199 47 233 10 42 32 33 117 46 25 188 45 229 11 36 33 34 114 49 23 186 43 207 9 33 20 31 93 44 26 163 44 327992 estab. 404 16 50 38 34 138 56 66 260 144 387 12 45 36 40 133 46 56 235 152 381 10 42 32 33 117 49 65 231 150 370 11 36 33 34 114 56 57 227 143 345 9 33 20 31 93 52 57 202 143 327992 empl. 10894 0 115 267 446 828 1723 2538 5089 5805 9710 [a] [c] 255 536 896 1427 2431 4754 4956 10050 0 91 225 466 782 1623 2501 4906 5144 9948 0 93 219 467 779 1691 2424 4894 5054 8745 0 73 118 431 622 1424 2105 4151 4594 327992 ann. pay. 406945 1336 3587 7966 13587 26476 57868 84830 169174 237771 367355 (D) (D) 8059 17478 28560 50541 82253 161354 206001 395464 254 3411 5897 15281 24843 57074 84982 166899 228565 383761 202 2599 6613 15754 25168 60651 74470 160289 223472 353119 528 2790 4393 16269 23980 51815 76505 152300 200819 327992 rec. 2337445 3618 14614 24941 83961 127134 257653 442630 827417 1510028 327993 firms 195 5 47 30 36 118 37 17 172 23 186 1 50 25 33 109 37 17 163 23 181 6 42 26 33 107 35 18 160 21 185 9 37 23 31 100 45 18 163 22 195 10 37 35 31 113 40 19 172 23 327993 estab. 293 5 47 30 36 118 43 38 199 94 293 1 50 25 33 109 50 39 198 95 292 6 42 26 33 107 37 59 203 89 290 9 37 23 31 100 46 57 203 87 298 10 37 35 32 114 41 60 215 83 327993 empl. 21780 0 108 203 489 800 1648 1854 4302 17478 21413 [a] [c] 169 451 745 1665 1914 4324 17089 21650 0 102 175 456 733 1444 2372 4549 17101 21209 0 87 143 419 649 1700 2083 4432 16777 19486 0 86 209 428 723 1571 2313 4607 14879 327993 ann. pay. 850796 372 3016 6025 12647 22060 51224 54699 127983 722813 857541 (D) (D) 5118 13495 22484 52024 58257 132765 724776 920323 747 3522 5725 12367 22361 50556 79142 152059 768264 904974 464 3034 3754 13280 20532 52505 75553 148590 756384 797165 324 3336 6836 14958 25454 51440 83762 160656 636509 327993 rec. 4812495 2182 17836 35249 75002 130269 257300 466524 854093 3958402 327999 firms 458 41 90 65 87 283 109 35 427 31 408 27 87 59 79 252 87 35 374 34 396 26 87 55 72 240 90 31 361 35 422 19 104 67 80 270 89 28 387 35 395 17 89 65 81 252 88 26 366 29 327999 estab. 552 41 91 65 88 285 124 61 470 82 499 27 87 60 79 253 100 60 413 86 489 26 87 56 72 241 101 45 387 102 522 19 105 67 80 271 103 43 417 105 505 17 89 65 83 254 102 37 393 112 327999 empl. 12921 0 198 448 1188 1834 3821 3409 9064 3857 12376 0 206 403 1106 1715 2997 3446 8158 4218 12365 0 199 371 994 1564 3140 2750 7454 4911 11767 0 242 464 1073 1779 3070 2297 7146 4621 10997 0 206 453 1066 1725 2835 2057 6617 4380 327999 ann. pay. 405444 2277 4875 11977 31172 50301 116055 120653 287009 118435 391113 2481 5935 10221 30770 49407 110323 102704 262434 128679 390489 2522 5846 10638 27553 46559 105331 83383 235273 155216 402794 2104 6795 14788 31844 55531 110030 82105 247666 155128 415321 2181 6818 13960 34535 57494 105222 79082 241798 173523 327999 rec. 2446535 12334 44502 74290 179342 310468 511169 449160 1270797 1175738 331111 firms 299 66 47 27 16 156 32 37 225 74 582 246 95 43 36 420 47 42 509 73 876 225 218 123 91 657 95 47 799 77 1248 264 343 216 136 959 153 57 1169 79 1135 157 295 208 184 844 166 53 1063 72 331111 estab. 381 66 47 27 16 156 32 40 228 153 672 246 95 43 36 420 47 46 513 159 970 225 218 123 91 657 96 49 802 168 1345 264 343 216 136 959 153 64 1176 169 1242 157 295 208 187 847 169 62 1078 164 331111 empl. 145386 [a] 98 [c] [c] [e] [g] 7090 8941 136445 140417 [a] [c] 284 529 [g] [g] 8051 11227 129190 145232 [a] [e] [f] [g] 2477 3654 8648 14779 130453 144938 0 761 1470 1889 4120 5705 9957 19782 125156 124703 0 [f] 1434 [g] 4520 6235 9173 19928 104775 331111 ann. pay. 7560109 (D) 2676 (D) (D) (D) (D) 338837 417245 7142864 7372314 (D) (D) 8300 15905 (D) (D) 347248 512395 6859919 7619818 (D) (D) (D) (D) 102824 137225 401671 641720 6978098 7054895 35456 23561 40320 56821 156158 192118 406467 754743 6300152 6404975 97771 (D) 45663 (D) 239478 223665 395611 858754 5546221 331111 rec. 47168039 847316 (D) 238213 (D) (D) 1073344 2477051 5168701 41999338 331112 firms 21 1 0 1 1 3 2 7 12 9 21 1 1 0 0 2 4 5 11 10 24 2 1 1 2 6 3 6 15 9 21 0 3 0 0 3 4 6 13 8 14 0 1 0 2 3 0 5 8 6 331112 estab. 29 1 0 1 1 3 3 8 14 15 30 1 1 0 0 2 5 6 13 17 33 2 1 1 2 6 4 8 18 15 29 0 3 0 0 3 4 8 15 14 17 0 1 0 2 3 0 7 10 7 331112 empl. 3583 [a] 0 [a] [a] [a] [b] 1134 1214 2369 3777 [a] [a] 0 0 [a] [c] 623 744 3033 3896 [a] [a] [a] [b] 41 106 889 1036 2860 3443 0 9 0 0 9 106 831 946 2497 2266 0 [a] 0 [b] 32 0 929 961 1305 331112 ann. pay. 155688 (D) 0 (D) (D) (D) (D) 47641 49783 105905 170677 (D) (D) 0 0 (D) (D) 29309 33962 136715 183684 (D) (D) (D) (D) 1715 3446 42263 47424 136260 161147 0 220 0 0 220 2840 40141 43201 117946 114304 0 (D) 0 (D) 1369 0 47042 48411 65893 331112 rec. 874985 0 (D) 0 (D) (D) 0 341960 347739 527246 331210 firms 179 17 13 13 11 54 45 35 134 45 188 16 22 17 12 67 46 31 144 44 209 21 32 15 19 87 43 35 165 44 197 7 31 18 20 76 41 36 153 44 205 18 33 20 18 89 39 35 163 42 331210 estab. 253 18 13 13 11 55 46 48 149 104 265 16 22 17 12 67 48 43 158 107 290 21 32 15 19 87 45 45 177 113 281 7 31 18 20 76 43 49 168 113 281 18 33 20 18 89 40 47 176 105 331210 empl. 27759 0 29 93 145 267 2116 6277 8660 19099 26759 0 48 122 170 340 2311 5985 8636 18123 27681 0 71 107 254 432 2122 6635 9189 18492 27490 [a] [b] 128 276 463 2018 7202 9683 17807 25191 0 64 135 259 458 1743 6433 8634 16557 331210 ann. pay. 1018269 5321 917 2524 4934 13696 75956 238235 327887 690382 999807 1763 2427 3947 5439 13576 84831 226596 325003 674804 1069255 734 2932 2671 8396 14733 82670 263848 361251 708004 1057736 (D) (D) 3721 10300 20735 77101 272978 370814 686922 1013373 5970 2130 4420 8261 20781 72647 251346 344774 668599 331210 rec. 6866376 54877 14920 29102 41217 140116 498028 1546392 2184536 4681840 331221 firms 177 22 39 24 25 110 27 18 155 22 203 31 46 28 22 127 33 19 179 24 247 50 58 36 24 168 37 19 224 23 255 41 70 40 30 181 36 17 234 21 195 12 47 35 21 115 35 21 171 24 331221 estab. 217 22 39 24 25 110 33 24 167 50 242 31 46 28 22 127 38 26 191 51 286 50 58 36 24 168 41 24 233 53 295 41 70 40 30 181 40 25 246 49 230 12 47 35 21 115 38 29 182 48 331221 empl. 14171 0 83 154 308 545 1247 2745 4537 9634 13268 0 109 190 294 593 1479 2553 4625 8643 15521 0 125 240 329 694 1666 3048 5408 10113 14349 0 154 275 413 842 1638 2550 5030 9319 13962 0 111 244 298 653 1337 3006 4996 8966 331221 ann. pay. 652955 626 2629 3769 9778 16802 43834 114213 174849 478106 664301 11124 3764 5068 10280 30236 56023 103464 189723 474578 753152 9735 3719 6750 9779 29983 57643 127695 215321 537831 616458 10285 4720 7490 12870 35365 58995 91515 185875 430583 651890 1987 5369 7254 10604 25214 56502 133339 215055 436835 331221 rec. 5478408 13462 52995 43162 64471 174090 428386 1025366 1627842 3850566 331222 firms 221 19 29 15 17 80 54 51 185 36 237 29 27 20 19 95 52 48 195 42 269 29 50 25 21 125 55 48 228 41 277 28 55 28 19 130 65 46 241 36 281 32 72 27 24 155 52 45 252 29 331222 estab. 299 19 29 15 17 80 56 74 210 89 317 29 27 20 19 95 54 67 216 101 357 29 50 25 21 125 58 70 253 104 363 28 55 28 19 130 71 66 267 96 359 32 72 27 24 155 56 70 281 78 331222 empl. 23903 0 66 100 241 407 2427 7796 10630 13273 24772 0 63 134 244 441 2281 7315 10037 14735 24828 0 103 164 277 544 2224 7503 10271 14557 23758 [a] [c] 193 261 581 2578 7543 10702 13056 19546 0 153 176 320 649 2033 7501 10183 9363 331222 ann. pay. 771862 8686 1532 3213 8551 21982 81691 240330 344003 427859 807019 1098 1517 3973 8248 14836 71353 245170 331359 475660 845890 1419 2285 4649 8016 16369 77614 244799 338782 507108 773666 (D) (D) 5344 9901 19480 77417 233828 330725 442941 680949 1645 3973 4709 9822 20149 66383 254929 341461 339488 331222 rec. 4032548 18775 22452 26291 48517 116035 344004 1329263 1789302 2243246 331311 firms 8 0 0 0 0 0 1 2 3 5 9 3 0 0 0 3 1 1 5 4 10 3 1 0 1 5 1 0 6 4 10 2 2 0 0 4 2 1 7 3 7 0 0 0 1 1 2 0 3 4 331311 estab. 9 0 0 0 0 0 1 2 3 6 10 3 0 0 0 3 1 1 5 5 12 3 1 0 1 5 1 0 6 6 11 2 2 0 0 4 2 1 7 4 7 0 0 0 1 1 2 0 3 4 331311 empl. 3324 0 0 0 0 0 [a] [c] [c] [h] 2800 [a] 0 0 0 [a] [a] [a] [b] [h] 2902 0 [a] 0 [a] [a] [a] 0 26 2876 2177 [a] [a] 0 0 [a] [b] [a] 48 2129 632 0 0 0 [a] [a] [b] 0 111 521 331311 ann. pay. 156720 0 0 0 0 0 (D) (D) (D) (D) 132174 (D) 0 0 0 (D) (D) (D) (D) (D) 151866 10 (D) 0 (D) (D) (D) 0 1090 150776 115023 (D) (D) 0 0 (D) (D) (D) 1846 113177 30379 0 0 0 (D) (D) (D) 0 1634 28745 331311 rec. 264293 0 0 0 (D) (D) (D) 0 10167 254126 331312 firms 19 4 3 0 0 7 0 0 7 12 20 3 4 0 0 7 1 0 8 12 22 0 6 3 1 10 1 0 11 11 28 2 5 5 1 13 4 1 18 10 43 2 16 6 6 30 2 3 35 8 331312 estab. 28 4 3 0 0 7 0 0 7 21 29 3 4 0 0 7 1 0 8 21 32 0 6 3 1 10 1 0 11 21 38 2 5 5 1 13 4 1 18 20 50 2 16 6 6 30 2 4 36 14 331312 empl. 16091 [a] [a] 0 0 [a] 0 0 [a] [j] 16363 [a] 12 0 0 [a] [b] 0 [b] [j] 15271 0 19 20 [a] [b] [b] 0 111 15160 13208 [a] [a] [b] [a] 56 [c] [c] 405 12803 10158 [a] [b] 38 [b] [c] [b] 1059 1299 8859 331312 ann. pay. 754707 (D) (D) 0 0 (D) 0 0 (D) (D) 739617 (D) 241 0 0 (D) (D) 0 (D) (D) 735243 0 267 459 (D) (D) (D) 0 2487 732756 687525 (D) (D) (D) (D) 20118 (D) (D) 40785 646740 506732 (D) (D) 1152 (D) (D) (D) 40588 46968 459764 331312 rec. 3613575 (D) (D) 5937 (D) (D) (D) 308753 357483 3256092 331314 firms 126 9 25 9 16 59 39 13 111 15 133 14 26 11 18 69 35 14 118 15 152 17 34 16 15 82 36 21 139 13 157 12 38 23 15 88 35 21 144 13 116 5 19 13 12 49 33 22 104 12 331314 estab. 147 9 25 9 16 59 40 16 115 32 154 14 26 11 18 69 36 18 123 31 173 17 34 16 15 82 37 26 145 28 178 12 38 23 15 88 36 26 150 28 141 5 19 13 12 49 35 27 111 30 331314 empl. 6756 0 66 59 218 343 1582 1644 3569 3187 6490 0 60 67 242 369 1522 1626 3517 2973 6774 0 76 118 217 411 1378 2160 3949 2825 6807 0 78 160 203 441 1385 2268 4094 2713 8364 [a] [b] 82 168 290 1334 2328 3952 4412 331314 ann. pay. 241865 359 3032 2045 7656 13092 60200 59893 133185 108680 239042 2887 1921 2874 7533 15215 53568 61763 130546 108496 265845 1762 1539 3920 7118 14339 54145 91759 160243 105602 255190 358 1779 4845 6516 13498 52105 81944 147547 107643 367162 (D) (D) 2054 5982 11958 53103 97769 162830 204332 331314 rec. 4285332 (D) (D) 24442 54249 (D) 592351 1233908 1927555 2357777 331315 firms 56 1 7 9 6 23 8 6 37 19 66 6 9 9 7 31 10 5 46 20 73 4 9 13 9 35 14 8 57 16 82 6 15 13 8 42 16 9 67 15 74 2 15 11 11 39 15 8 62 12 331315 estab. 79 1 7 9 6 23 8 6 37 42 93 6 9 9 8 32 10 6 48 45 103 4 9 13 10 36 14 9 59 44 111 6 15 13 9 43 16 10 69 42 95 2 15 11 11 39 15 9 63 32 331315 empl. 22976 [a] [a] 64 80 [c] [e] 909 1374 21602 23521 0 24 61 96 181 448 865 1494 22027 23384 0 22 88 111 221 605 1568 2394 20990 22016 [a] [b] [b] [c] [c] [f] 1275 2071 19945 13715 [a] [b] 66 160 262 733 1277 2272 11443 331315 ann. pay. 1082817 (D) (D) 1428 2248 (D) (D) 45034 59119 1023698 1113262 581 882 1383 2956 5802 15267 44939 66008 1047254 1180555 793 831 2237 3683 7544 23707 81156 112407 1068148 1098625 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 51898 80986 1017639 652139 (D) (D) 1916 7134 11084 28497 50994 90575 561564 331315 rec. 9295069 (D) (D) 16458 45668 (D) 243670 597639 924473 8370596 331316 firms 144 6 20 6 11 43 31 30 104 40 139 5 15 12 11 43 29 31 103 36 140 7 18 14 11 50 26 34 110 30 150 10 23 12 16 61 25 34 120 30 129 4 11 10 12 37 29 34 100 29 331316 estab. 207 6 20 6 11 43 31 37 111 96 201 5 15 12 11 43 29 39 111 90 205 7 18 14 11 50 26 41 117 88 214 10 23 12 16 61 25 41 127 87 190 4 11 10 12 37 29 44 110 80 331316 empl. 31145 0 48 35 155 238 1623 5590 7451 23694 31717 0 32 79 157 268 1539 6034 7841 23876 32969 0 39 89 161 289 1424 6654 8367 24602 29336 [a] 57 [b] 230 371 1337 6667 8375 20961 25005 [a] [b] 72 152 249 1480 6277 8006 16999 331316 ann. pay. 1036244 246 1061 714 4142 6163 56877 184132 247172 789072 1055111 234 590 1796 4212 6832 56778 203696 267306 787805 1130980 964 828 2259 3960 8011 54259 227334 289604 841376 1018320 (D) 1043 (D) 6137 9171 46632 221205 277008 741312 870120 (D) (D) 1946 4278 7851 51879 217685 277415 592705 331316 rec. 5177418 (D) (D) 13139 20346 (D) 285201 1153362 1481011 3696407 331319 firms 63 8 8 7 11 34 8 10 52 11 68 6 16 9 9 40 7 9 56 12 71 8 14 10 10 42 10 10 62 9 90 13 17 16 9 55 17 9 81 9 89 5 25 17 11 58 12 9 79 10 331319 estab. 81 8 8 7 11 34 8 14 56 25 86 6 16 9 9 40 7 12 59 27 88 8 14 10 10 42 10 12 64 24 107 13 17 16 9 55 17 11 83 24 101 5 25 17 11 58 13 10 81 20 331319 empl. 5072 [a] [a] 49 122 [c] [e] [g] [g] [h] 4745 [a] 40 62 111 [c] [c] [f] 1380 3365 4699 0 [b] 77 [c] [c] [e] 1016 1624 3075 4674 0 [b] 111 117 [e] [f] [f] 1873 2801 10661 0 51 119 133 303 448 680 1431 9230 331319 ann. pay. 165901 (D) (D) 1278 3019 (D) (D) (D) (D) (D) 168193 (D) 1358 1842 2593 (D) (D) (D) 47819 120374 173020 882 (D) 1724 (D) (D) (D) 35344 55550 117470 153728 2232 (D) 2683 3475 (D) (D) (D) 56034 97694 527321 266 1169 3136 3487 8058 14018 24092 46168 481153 331319 rec. 4178355 2882 21393 32125 29846 86246 97414 195196 378856 3799499 331411 firms 7 1 0 1 0 2 1 0 3 4 9 1 1 1 0 3 2 0 5 4 9 0 1 1 1 3 2 0 5 4 9 0 1 1 0 2 4 0 6 3 10 1 1 0 0 2 5 0 7 3 331411 estab. 13 1 0 1 0 2 1 0 3 10 16 1 1 1 0 3 2 0 5 11 14 0 1 1 1 3 2 0 5 9 13 0 1 1 0 2 4 0 6 7 14 1 1 0 0 2 5 0 7 7 331411 empl. 5507 [a] 0 [a] 0 [a] [b] 0 [b] [i] 5337 [a] [a] [a] 0 [a] [b] 0 101 5236 2947 0 [a] [a] [a] [a] [c] 0 120 2827 3268 0 [a] [a] 0 [a] [c] 0 130 3138 2865 [a] [a] 0 0 [a] [b] 0 99 2766 331411 ann. pay. 229614 (D) 0 (D) 0 (D) (D) 0 (D) (D) 215070 (D) (D) (D) 0 (D) (D) 0 3230 211840 129755 0 (D) (D) (D) (D) (D) 0 3698 126057 133686 0 (D) (D) 0 (D) (D) 0 3636 130050 117183 (D) (D) 0 0 (D) (D) 0 3995 113188 331411 rec. 2618157 (D) (D) 0 0 (D) (D) 0 35021 2583136 331419 firms 142 13 36 22 10 81 26 11 118 24 149 17 39 23 13 92 24 8 124 25 146 6 43 22 14 85 21 14 120 26 140 8 40 19 16 83 23 10 116 24 133 9 43 15 11 78 20 13 111 22 331419 estab. 158 13 37 22 10 82 27 14 123 35 166 17 40 23 13 93 26 11 130 36 164 6 43 22 15 86 23 19 128 36 158 8 40 19 17 84 25 13 122 36 150 9 43 15 11 78 23 17 118 32 331419 empl. 10350 [a] 81 [c] 141 [e] [g] 1739 [h] [i] 9557 [a] [b] [c] 186 [e] [g] 1327 2865 6692 9601 0 [b] [c] [c] [e] [f] 1714 2958 6643 8808 0 [b] [c] 227 [e] [g] 1208 2725 6083 8408 [a] [c] 106 162 [e] [f] 1634 2919 5489 331419 ann. pay. 458997 (D) 2538 (D) 6792 (D) (D) 66878 (D) (D) 408731 (D) (D) (D) 10694 (D) (D) 46864 110542 298189 403027 332 (D) (D) (D) (D) (D) 55367 105578 297449 394108 873 (D) (D) 8110 (D) (D) 43408 104253 289855 387658 (D) (D) 4214 7602 (D) (D) 65709 124430 263228 331419 rec. 2305832 (D) (D) 24738 56295 (D) (D) 310297 744380 1561452 331421 firms 95 6 16 9 8 39 17 14 70 25 91 7 17 5 7 36 18 12 66 25 97 11 15 9 9 44 17 12 73 24 99 7 23 8 11 49 17 9 75 24 87 4 18 8 11 41 15 11 67 20 331421 estab. 135 6 16 9 8 39 17 16 72 63 133 7 17 5 7 36 18 15 69 64 144 11 15 9 9 44 17 18 79 65 146 7 23 8 11 49 17 13 79 67 130 4 18 8 11 41 15 18 74 56 331421 empl. 21713 0 [b] [b] 110 204 754 2234 3192 18521 19775 [a] [b] 33 [b] 158 834 2255 3247 16528 20126 [a] [b] [b] [c] 209 860 2291 3360 16766 18792 [a] [b] 52 147 246 835 1982 3063 15729 16127 [a] [b] [b] 157 242 667 2616 3525 12602 331421 ann. pay. 814643 77 (D) (D) 2366 4666 25360 88075 118101 696542 800294 (D) (D) 683 (D) 4292 36408 90327 131027 669267 838421 (D) (D) (D) (D) 6850 32248 100368 139466 698955 726596 (D) (D) 1494 5422 8210 27406 74265 109881 616715 650526 (D) (D) (D) 3675 5928 24806 107289 138023 512503 331421 rec. 6209755 (D) (D) (D) 23539 (D) 145959 741885 928948 5280807 331422 firms 61 6 8 8 6 28 15 5 48 13 62 4 8 11 8 31 12 5 48 14 63 4 10 10 6 30 12 8 50 13 56 3 8 6 7 24 13 8 45 11 57 2 7 9 9 27 13 5 45 12 331422 estab. 66 6 8 8 6 28 15 6 49 17 67 4 8 11 8 31 12 5 48 19 71 4 10 12 6 32 12 8 52 19 61 3 8 6 7 24 13 9 46 15 65 2 7 9 9 27 13 5 45 20 331422 empl. 4676 0 14 54 76 144 609 947 1700 2976 4376 [a] [a] 71 106 195 524 851 1570 2806 4266 [a] [b] 75 85 189 533 1087 1809 2457 4264 [a] [a] 35 90 140 613 1111 1864 2400 4136 [a] [a] 63 118 198 562 505 1265 2871 331422 ann. pay. 137862 359 408 2634 1992 5393 21761 24702 51856 86006 145435 (D) (D) 3192 2950 8889 19840 26966 55695 89740 152421 (D) (D) 3876 3497 8324 19920 40460 68704 83717 146575 (D) (D) 867 4609 6327 20393 35954 62674 83901 154243 (D) (D) 2010 4050 13719 20064 21510 55293 98950 331422 rec. 1070023 (D) (D) 11042 24910 (D) 128383 100269 306222 763801 331423 firms 43 0 2 3 5 10 11 15 36 7 35 1 1 3 2 7 12 9 28 7 35 0 1 4 2 7 10 12 29 6 35 0 0 4 4 8 9 12 29 6 35 3 2 2 4 11 10 9 30 5 331423 estab. 46 0 2 3 5 10 11 18 39 7 36 1 1 3 2 7 12 10 29 7 37 0 1 4 2 7 10 14 31 6 37 0 0 4 4 8 9 14 31 6 37 3 2 2 4 11 10 10 31 6 331423 empl. 2435 0 [a] [a] 62 84 498 1502 2084 351 2054 [a] [a] 23 [b] 47 553 1054 1654 400 2177 0 [a] [b] [b] 54 435 1283 1772 405 2094 0 0 28 54 82 399 1255 1736 358 1613 [a] [a] [a] 48 70 428 857 1355 258 331423 ann. pay. 97142 0 (D) (D) 2566 3309 20008 61469 84786 12356 88642 (D) (D) 1231 (D) 2185 23158 45114 70457 18185 90432 0 (D) (D) (D) 2835 17871 52866 73572 16860 84908 0 0 808 1781 2589 16508 52180 71277 13631 71262 (D) (D) (D) 1654 2733 16545 40824 60102 11160 331423 rec. 628060 (D) (D) (D) 10661 (D) 96483 295235 412791 215269 331491 firms 221 10 34 25 27 96 60 20 176 45 222 6 25 34 27 92 60 25 177 45 222 7 32 25 33 97 59 21 177 45 217 6 35 23 34 98 55 18 171 46 280 18 70 46 33 167 52 17 236 44 331491 estab. 267 10 34 25 27 96 64 25 185 82 273 6 25 34 27 92 64 33 189 84 273 7 32 25 33 97 64 25 186 87 268 6 35 23 34 98 62 22 182 86 332 18 70 46 35 169 59 18 246 86 331491 empl. 25820 0 92 180 366 638 2968 2211 5817 20003 26262 0 52 232 373 657 2804 2807 6268 19994 23985 0 68 171 471 710 2751 2401 5862 18123 23176 0 75 149 475 699 2520 2389 5608 17568 20708 0 171 293 434 898 2145 2117 5160 15548 331491 ann. pay. 1037576 2958 2632 5011 10334 20935 105298 91850 218083 819493 1042541 113 1657 7115 12952 21837 106483 113807 242127 800414 1004309 297 1776 5063 14972 22108 105848 96950 224906 779403 999320 443 2373 3931 14232 20979 93731 98029 212739 786581 911917 6834 4225 9371 14492 34922 83657 90021 208600 703317 331491 rec. 5501141 59303 28204 54822 78950 221279 567765 597620 1386664 4114477 331492 firms 233 13 57 23 28 121 55 25 201 32 249 16 66 29 29 140 53 28 221 28 247 17 57 34 33 141 50 29 220 27 239 14 55 35 28 132 52 28 212 27 203 15 44 26 25 110 48 23 181 22 331492 estab. 256 13 57 23 28 121 63 32 216 40 267 16 66 29 29 140 58 35 233 34 266 17 57 34 33 141 51 41 233 33 256 14 55 35 29 133 53 36 222 34 230 15 44 26 25 110 49 40 199 31 331492 empl. 13149 0 117 147 375 639 2219 3441 6299 6850 11929 0 142 180 392 714 2176 3607 6497 5432 11398 0 109 205 425 739 2086 3865 6690 4708 11893 0 130 247 388 765 2115 3603 6483 5410 10346 0 104 176 357 637 1870 2678 5185 5161 331492 ann. pay. 510602 335 2405 3924 12209 18873 81682 131972 232527 278075 488293 1239 5230 4523 12561 23553 90786 147429 261768 226525 483646 1895 4232 6007 14755 26889 83398 167897 278184 205462 481630 529 4144 6372 11658 22703 89068 136492 248263 233367 461249 708 4041 6040 13326 24115 86118 107791 218024 243225 331492 rec. 2996910 5944 27379 36551 79161 149035 774208 563430 1486673 1510237 331511 firms 583 27 86 50 55 218 196 101 515 68 624 50 105 55 74 284 181 94 559 65 635 46 117 62 79 304 178 91 573 62 649 36 130 76 78 320 190 77 587 62 566 26 103 59 70 258 179 73 510 56 331511 estab. 683 27 86 50 55 218 198 115 531 152 731 50 105 55 74 284 184 108 576 155 739 46 117 62 79 304 181 106 591 148 747 36 130 76 79 321 191 96 608 139 655 26 103 59 71 259 186 92 537 118 331511 empl. 85684 0 202 336 764 1302 9193 16808 27303 58381 83760 0 238 357 1084 1679 8704 15303 25686 58074 82106 0 277 421 1145 1843 8322 15662 25827 56279 75053 [a] [e] 498 1077 1875 8759 13463 24097 50956 66380 0 252 398 996 1646 8269 11043 20958 45422 331511 ann. pay. 3324777 3162 6615 7951 17876 35604 269603 521761 826968 2497809 3491997 2070 7221 9335 29807 48433 257773 482480 788686 2703311 3537989 4088 8942 11086 31430 55546 256144 529063 840753 2697236 3099509 (D) (D) 14830 32367 60304 258011 420404 738719 2360790 2905993 1908 8731 11344 35528 57511 264239 382957 704707 2201286 331511 rec. 10227560 7403 41533 45162 110379 204477 784205 1372099 2360781 7866779 331512 firms 148 8 15 6 12 41 58 29 128 20 144 4 17 7 11 39 60 28 127 17 146 4 18 10 12 44 58 26 128 18 142 2 19 10 13 44 53 27 124 18 130 2 17 5 14 38 55 24 117 13 331512 estab. 162 8 15 6 12 41 59 31 131 31 159 4 17 7 11 39 61 30 130 29 160 4 18 10 12 44 59 27 130 30 156 2 19 10 13 44 54 28 126 30 143 2 17 5 14 38 56 26 120 23 331512 empl. 24251 0 45 40 176 261 3003 5205 8469 15782 22315 0 36 47 158 241 2929 4557 7727 14588 21166 0 41 64 172 277 2956 3858 7091 14075 20260 [a] [b] 65 194 309 2815 3982 7106 13154 17252 [a] [b] 37 192 268 2753 3977 6998 10254 331512 ann. pay. 749683 1372 1088 839 5322 8621 76496 150025 235142 514541 708422 104 1253 1152 4805 7314 78785 139739 225838 482584 722150 48 1980 1368 5498 8894 85030 123451 217375 504775 729168 (D) (D) 2108 5867 9139 78170 119496 206805 522363 600919 (D) (D) 1386 6242 9056 84109 123392 216557 384362 331512 rec. 2096197 (D) (D) 6388 28923 (D) 278106 417564 738242 1357955 331513 firms 277 15 50 26 39 130 82 38 250 27 281 16 51 30 39 136 86 31 253 28 269 13 48 31 36 128 84 31 243 26 283 15 59 32 38 144 81 34 259 24 256 13 47 29 39 128 67 41 236 20 331513 estab. 304 15 50 26 39 130 84 41 255 49 310 16 51 30 39 136 88 34 258 52 299 13 48 31 36 128 88 33 249 50 309 15 59 32 39 145 81 39 265 44 278 13 47 29 40 129 67 51 247 31 331513 empl. 25008 0 115 177 541 833 3431 7193 11457 13551 23441 0 110 203 566 879 3598 5768 10245 13196 22869 0 106 197 501 804 3649 5778 10231 12638 21205 [a] [c] 222 548 906 3351 6221 10478 10727 17905 [a] [b] 184 575 853 2690 7210 10753 7152 331513 ann. pay. 849202 1110 3730 6236 15848 26924 107124 242526 376574 472628 804187 2320 3586 5190 15926 27022 108925 203908 339855 464332 799555 1810 3243 5162 15800 26015 117194 211817 355026 444529 751936 (D) (D) 6479 16669 41489 103768 229018 374275 377661 662808 (D) (D) 7021 17691 35004 87264 256844 379112 283696 331513 rec. 3043311 (D) (D) 35280 55352 (D) 298216 1383804 1808575 1234736 331521 firms 294 11 28 23 52 114 91 57 262 32 278 7 23 28 48 106 85 57 248 30 267 9 23 27 38 97 83 56 236 31 258 3 28 23 49 103 72 54 229 29 239 10 27 24 37 98 70 42 210 29 331521 estab. 328 11 28 23 53 115 92 64 271 57 312 7 23 28 48 106 86 65 257 55 301 9 23 27 38 97 85 62 244 57 294 3 28 23 49 103 72 61 236 58 272 10 27 24 37 98 73 47 218 54 331521 empl. 29669 [a] [b] 147 728 944 4199 9640 14783 14886 28910 [a] [b] 187 681 930 4051 9792 14773 14137 30361 0 54 184 552 790 3916 10243 14949 15412 28149 [a] [b] 149 688 909 3454 8875 13238 14911 25864 0 71 168 525 764 3637 6914 11315 14549 331521 ann. pay. 968416 (D) (D) 3903 23637 31960 115653 288922 436535 531881 1035530 (D) (D) 5208 18765 31874 119859 314155 465888 569642 1063794 2637 1792 5248 14382 24059 110897 305637 440593 623201 1004261 (D) (D) 3457 18086 24102 99372 270758 394232 610029 991873 7074 2047 4392 15304 28817 120098 234907 383822 608051 331521 rec. 4414879 29700 11290 19109 67247 127346 574396 1018750 1720492 2694387 331522 firms 253 5 32 37 33 107 85 43 235 18 248 5 33 39 30 107 81 41 229 19 237 8 29 31 28 96 82 40 218 19 230 12 29 25 36 102 68 43 213 17 221 9 31 26 35 101 64 38 203 18 331522 estab. 268 5 32 37 33 107 85 45 237 31 264 5 33 39 30 107 81 43 231 33 254 8 29 31 28 96 82 42 220 34 250 12 29 25 36 102 68 50 220 30 243 9 31 26 35 101 64 46 211 32 331522 empl. 17014 0 67 254 473 794 3653 6696 11143 5871 16620 [a] [b] 268 405 745 3390 6280 10415 6205 17275 [a] [b] 210 372 647 3415 6894 10956 6319 15432 0 71 169 503 743 2742 6903 10388 5044 13833 0 63 183 516 762 2517 5607 8886 4947 331522 ann. pay. 499499 235 1237 7498 13379 22349 105734 196400 324483 175016 511482 (D) (D) 7914 10597 20127 97855 203775 321757 189725 535979 (D) (D) 6215 10030 18855 105117 221200 345172 190807 473125 1334 1232 5098 12643 20307 82142 227458 329907 143218 455507 299 1900 7088 17390 26677 79442 192581 298700 156807 331522 rec. 1804083 1419 7445 23617 59729 92210 277042 786330 1155582 648501 331524 firms 584 27 105 95 108 335 166 45 546 38 580 20 107 97 105 329 171 48 548 32 558 18 100 89 105 312 164 50 526 32 549 20 100 96 89 305 164 50 519 30 515 14 85 98 102 299 139 46 484 31 331524 estab. 620 27 105 96 108 336 170 51 557 63 619 20 107 98 105 330 175 56 561 58 597 18 100 90 105 313 167 59 539 58 590 20 101 96 89 306 168 62 536 54 555 14 85 98 102 299 144 56 499 56 331524 empl. 34270 0 255 662 1525 2442 7180 7450 17072 17198 33790 0 253 663 1466 2382 7092 8833 18307 15483 34968 0 245 618 1437 2300 6956 8641 17897 17071 32426 0 239 663 1226 2128 7085 9560 18773 13653 28391 0 197 654 1436 2287 5829 7807 15923 12468 331524 ann. pay. 1052024 4179 6486 15411 39488 65564 217154 232459 515177 536847 1071054 2683 6057 17122 37697 63559 221609 274687 559855 511199 1155268 2987 6842 15262 39511 64602 218108 288272 570982 584286 1050320 2348 6291 14900 33072 56611 209529 311161 577301 473019 985649 1373 5418 16055 41051 63897 186845 256740 507482 478167 331524 rec. 3702998 4858 18343 50413 124364 197978 581914 824114 1604006 2098992 331525 firms 304 15 61 50 58 184 83 23 290 14 300 15 60 52 51 178 88 23 289 11 291 6 59 52 48 165 95 20 280 11 289 9 61 42 51 163 95 22 280 9 283 10 56 42 61 169 86 20 275 8 331525 estab. 314 15 61 50 58 184 86 29 299 15 309 15 61 52 51 179 90 28 297 12 299 6 59 52 49 166 97 23 286 13 296 9 61 42 51 163 97 25 285 11 288 10 56 42 61 169 88 21 278 10 331525 empl. 8788 0 130 344 799 1273 3343 2462 7078 1710 8456 0 134 360 702 1196 3416 2364 6976 1480 8514 0 136 364 663 1163 3881 2182 7226 1288 7945 0 139 294 689 1122 3772 1856 6750 1195 6967 0 121 280 824 1225 3379 1648 6252 715 331525 ann. pay. 261969 995 3518 7773 20777 33063 99580 78373 211016 50953 255866 2628 3787 9069 18966 34450 102561 72599 209610 46256 261949 464 3778 8725 19534 32501 120110 66988 219599 42350 274443 1767 3455 7653 19006 31881 144764 57701 234346 40097 213874 2424 3272 7525 24171 37392 103392 51652 192436 21438 331525 rec. 730913 7786 11661 23612 79837 122896 333764 187721 644381 86532 331528 firms 142 7 37 28 19 91 33 9 133 9 134 7 31 27 20 85 31 10 126 8 128 5 33 23 19 80 32 8 120 8 126 2 34 19 21 76 35 7 118 8 119 6 29 22 20 77 27 9 113 6 331528 estab. 147 7 37 28 19 91 33 9 133 14 139 7 31 27 20 85 31 10 126 13 133 5 33 23 19 80 32 8 120 13 131 2 34 19 21 76 35 7 118 13 124 6 29 22 20 77 27 9 113 11 331528 empl. 6677 [a] [b] 193 263 555 1250 813 2618 4059 6412 [a] [b] 175 266 517 1132 880 2529 3883 6711 [a] [b] 147 254 478 1232 803 2513 4198 7551 [a] [b] 129 302 517 1276 672 2465 5086 6040 0 65 151 278 494 957 764 2215 3825 331528 ann. pay. 238336 (D) (D) 4529 6970 15086 35909 26604 77599 160737 236576 (D) (D) 3895 6721 14555 34265 28031 76851 159725 256616 (D) (D) 3611 7970 14612 35838 26862 77312 179304 300006 (D) (D) 3724 9971 15489 38148 24565 78202 221804 233201 425 2029 3774 8125 14353 31371 26956 72680 160521 331528 rec. 876796 1769 9153 17042 36796 64760 136450 95755 296965 579831 332111 firms 388 17 81 56 40 194 93 53 340 48 384 20 78 51 43 192 93 51 336 48 366 12 74 52 43 181 89 49 319 47 359 11 76 45 52 184 79 52 315 44 356 15 84 49 42 190 78 45 313 43 332111 estab. 419 17 81 56 40 194 94 60 348 71 416 20 78 51 43 192 94 56 342 74 399 12 74 52 43 181 90 54 325 74 395 11 76 45 52 184 80 57 321 74 389 15 84 49 42 190 79 54 323 66 332111 empl. 30518 0 181 378 556 1115 4005 8551 13671 16847 29774 0 173 357 568 1098 4073 8873 14044 15730 26811 0 162 360 599 1121 3940 8307 13368 13443 26970 0 168 291 746 1205 3333 8498 13036 13934 25367 0 187 327 596 1110 3577 6906 11593 13774 332111 ann. pay. 1198359 7454 5793 11087 17037 41371 128764 330335 500470 697889 1174690 2968 4513 10109 17835 35425 133168 332965 501558 673132 1096720 1056 5080 12669 20305 39110 133722 339391 512223 584497 1094666 230 4923 9524 22060 36737 112360 335620 484717 609949 1060911 1158 5562 12811 19784 39315 133648 275361 448324 612587 332111 rec. 4856740 5456 25752 58201 96146 185555 550586 1374582 2110723 2746017 332112 firms 72 1 10 10 8 29 20 9 58 14 74 1 12 8 7 28 22 10 60 14 70 1 10 11 5 27 21 8 56 14 67 1 9 9 7 26 19 8 53 14 64 1 9 5 7 22 19 10 51 13 332112 estab. 79 1 10 10 8 29 22 11 62 17 81 1 12 8 7 28 24 12 64 17 78 1 10 11 5 27 23 8 58 20 74 1 9 9 7 26 20 8 54 20 71 1 9 5 7 22 20 12 54 17 332112 empl. 9223 [a] [b] [b] 112 201 966 2370 3537 5686 9313 [a] [b] 56 88 175 1032 2348 3555 5758 9236 [a] [b] 76 64 164 923 1685 2772 6464 9149 [a] [b] 57 89 170 741 1741 2652 6497 7186 [a] [b] 35 92 147 725 2228 3100 4086 332112 ann. pay. 365476 (D) (D) (D) 3589 6004 39905 111384 157293 208183 362477 (D) (D) 1260 2982 5200 37646 95633 138479 223998 386995 (D) (D) 1871 2445 5097 37807 69828 112732 274263 383136 (D) (D) 1843 3549 6030 31486 75512 113028 270108 290363 (D) (D) 1327 2753 4719 30334 99411 134464 155899 332112 rec. 1286448 (D) (D) 6321 12112 (D) 139923 526254 687838 598610 332114 firms 342 14 28 42 78 162 120 32 314 28 345 13 28 44 83 168 117 29 314 31 338 13 34 46 68 161 119 26 306 32 327 8 39 47 68 162 108 25 295 32 316 13 31 47 72 163 98 21 282 34 332114 estab. 388 14 28 42 78 162 123 45 330 58 392 13 28 44 83 168 120 42 330 62 390 13 34 46 68 161 121 40 322 68 377 8 39 47 68 162 111 39 312 65 369 13 31 47 72 163 101 34 298 71 332114 empl. 15385 [a] [b] 294 1093 1456 4550 4772 10778 4607 16129 0 62 293 1201 1556 4519 4455 10530 5599 16696 0 73 333 943 1349 4570 4395 10314 6382 16180 0 95 337 1011 1443 4167 4598 10208 5972 14369 0 83 327 1067 1477 3762 3755 8994 5375 332114 ann. pay. 527497 (D) (D) 9903 37262 51563 149593 167008 368164 159333 554527 1141 2667 10683 41930 56421 152541 154403 363365 191162 583963 3381 2878 12679 33594 52532 152288 157188 362008 221955 570171 629 3759 12975 36107 53470 146684 163035 363189 206982 545399 2000 3314 11640 40350 57304 138359 149666 345329 200070 332114 rec. 3545468 8917 22502 53480 151040 235939 637615 1082745 1956299 1589169 332115 firms 56 2 7 7 4 20 20 6 46 10 56 3 8 9 7 27 14 6 47 9 53 1 9 7 5 22 18 6 46 7 51 3 7 10 4 24 13 7 44 7 60 5 10 9 7 31 16 6 53 7 332115 estab. 65 2 7 7 4 20 20 6 46 19 63 3 8 9 7 27 14 6 47 16 60 1 9 7 5 22 18 6 46 14 62 3 7 10 4 24 13 9 46 16 72 5 10 9 7 31 17 7 55 17 332115 empl. 4407 [a] [a] [b] 56 122 783 670 1575 2832 4105 [a] [a] 68 105 189 509 861 1559 2546 4066 [a] [b] 51 55 131 720 746 1597 2469 4077 [a] [a] 71 45 135 549 912 1596 2481 3928 0 26 61 82 169 740 648 1557 2371 332115 ann. pay. 167551 (D) (D) (D) 1879 3612 25901 24524 54037 113514 162398 (D) (D) 1598 3831 6121 17832 31528 55481 106917 150460 (D) (D) 1562 1601 3720 23745 27636 55101 95359 160206 (D) (D) 1904 1083 3942 18719 32927 55588 104618 162757 2222 621 1758 2949 7550 27695 26579 61824 100933 332115 rec. 991044 22737 5219 10978 12317 51251 126757 125531 303539 687505 332116 firms 2053 84 295 282 361 1022 706 231 1959 94 2054 67 336 283 341 1027 713 220 1960 94 1986 62 298 271 334 965 694 234 1893 93 1923 50 295 259 343 947 664 218 1829 94 1826 45 274 278 343 940 624 181 1745 81 332116 estab. 2155 84 295 282 361 1022 719 275 2016 139 2170 67 336 283 341 1027 725 262 2014 156 2098 62 298 271 334 965 705 279 1949 149 2030 50 295 260 343 948 674 256 1878 152 1926 45 274 278 343 940 635 223 1798 128 332116 empl. 95129 0 696 1962 5010 7668 31088 33506 72262 22867 96198 0 787 1919 4761 7467 31274 32220 70961 25237 96811 0 703 1825 4601 7129 30069 34273 71471 25340 91643 0 690 1786 4787 7263 28866 31607 67736 23907 76938 0 668 1858 4797 7323 26656 25259 59238 17700 332116 ann. pay. 3246407 11488 21797 61128 165123 259536 1060244 1142252 2462032 784375 3377473 3706 24051 64902 162635 255294 1106397 1112761 2474452 903021 3544816 6347 26450 60587 164409 257793 1085870 1245081 2588744 956072 3133575 11397 21399 58470 173298 264564 986072 1063905 2314541 819034 2815874 5088 22650 61910 172563 262211 987265 929944 2179420 636454 332116 rec. 11011769 23791 87606 214389 602107 927893 3463256 3593314 7984463 3027306 332117 firms 163 11 21 22 30 84 37 23 144 19 154 9 22 20 32 83 35 17 135 19 152 8 18 22 27 75 41 17 133 19 155 8 25 23 25 81 39 17 137 18 128 4 18 20 26 68 32 13 113 15 332117 estab. 179 11 21 22 30 84 37 27 148 31 175 9 22 20 32 83 35 20 138 37 170 8 18 22 27 75 42 17 134 36 172 8 25 23 25 81 39 17 137 35 146 4 18 20 26 68 32 17 117 29 332117 empl. 11432 [a] [b] 149 399 596 1829 4391 6816 4616 10903 0 51 138 423 612 1643 3225 5480 5423 10815 [a] [b] 145 363 541 1766 3229 5536 5279 10014 0 55 167 333 555 1678 2873 5106 4908 8094 [a] [b] 138 354 541 1413 1987 3941 4153 332117 ann. pay. 408241 (D) (D) 5895 11653 28009 56513 143246 227768 180473 428019 460 2280 5505 15684 23929 51564 125622 201115 226904 433357 (D) (D) 6160 14183 22145 54340 125843 202328 231029 396214 2907 1207 6720 10167 21001 47954 112703 181658 214556 311924 (D) (D) 5854 12507 20244 53127 72405 145776 166148 332117 rec. 1122673 (D) (D) 17364 46425 (D) 204066 280817 555713 566960 332211 firms 168 15 49 27 22 113 24 15 152 16 169 13 48 26 26 113 25 15 153 16 160 6 48 20 30 104 26 15 145 15 154 11 41 17 26 95 29 16 140 14 139 11 42 18 16 87 26 14 127 12 332211 estab. 173 15 49 27 22 113 25 17 155 18 175 13 48 26 26 113 26 17 156 19 166 6 48 20 30 104 27 17 148 18 159 11 41 17 26 95 30 17 142 17 144 11 42 18 16 87 27 15 129 15 332211 empl. 11392 0 118 177 297 592 947 2168 3707 7685 11848 [a] [c] 169 354 628 1080 2042 3750 8098 10574 0 106 121 410 637 1165 2049 3851 6723 9847 [a] [b] 115 367 570 1258 2062 3890 5957 8118 0 94 127 248 469 1023 1793 3285 4833 332211 ann. pay. 368959 528 2446 4080 8014 15068 26382 53520 94970 273989 388438 (D) (D) 4340 10263 17034 30999 59018 107051 281387 488681 325 2295 3201 11399 17220 30868 63142 111230 377451 360103 (D) (D) 3300 10123 15845 34203 59983 110031 250072 354343 1039 1740 3926 8128 14833 32163 63716 110712 243631 332211 rec. 1566181 4016 7449 12967 24231 48663 122612 281079 452354 1113827 332212 firms 1172 72 317 207 189 785 264 74 1123 49 1154 69 314 209 173 765 267 75 1107 47 1129 63 307 202 167 739 276 69 1084 45 1096 53 303 204 172 732 252 69 1053 43 1065 58 301 205 179 743 228 59 1030 35 332212 estab. 1282 72 317 207 189 785 280 105 1170 112 1267 69 314 209 173 765 282 118 1165 102 1238 63 307 202 167 739 292 101 1132 106 1204 53 303 204 172 732 268 110 1110 94 1174 58 301 205 179 743 252 98 1093 81 332212 empl. 51086 0 718 1387 2592 4697 10348 10344 25389 25697 52018 0 719 1381 2358 4458 10932 10881 26271 25747 50828 0 720 1365 2250 4335 11418 10746 26499 24329 46479 0 675 1363 2329 4367 10232 11180 25779 20700 41712 0 664 1368 2486 4518 9490 9222 23230 18482 332212 ann. pay. 1730708 5538 18283 37234 76558 137613 352511 371436 861560 869148 1750675 5797 18676 39712 72327 136512 370861 388642 896015 854660 1809150 3230 19779 38642 73863 135514 402830 410244 948588 860562 1627253 3152 20829 43645 74192 141818 355845 419250 916913 710340 1492574 10551 20750 41445 78870 151616 343374 362490 857480 635094 332212 rec. 6173315 50078 94805 138458 248322 531663 1093412 1545716 3170791 3002524 332213 firms 158 2 38 32 27 99 33 10 142 16 159 8 31 38 25 102 33 8 143 16 158 8 33 34 28 103 32 9 144 14 153 7 35 33 24 99 32 9 140 13 138 7 37 26 16 86 32 10 128 10 332213 estab. 167 2 38 32 27 99 34 11 144 23 167 8 31 38 25 102 34 9 145 22 167 8 33 34 28 103 33 10 146 21 161 7 35 33 24 99 33 10 142 19 147 7 37 26 16 86 33 13 132 15 332213 empl. 8927 [a] [b] 210 357 659 1354 1488 3501 5426 8637 0 76 252 344 672 1355 1369 3396 5241 9027 [a] [b] 229 372 683 1374 1583 3640 5387 8422 0 87 221 325 633 1351 1490 3474 4948 7674 0 86 173 228 487 1235 1761 3483 4191 332213 ann. pay. 306498 (D) (D) 5191 11807 19410 42120 53879 115409 191089 299291 1227 2253 7156 10636 21272 45269 45031 111572 187719 319462 (D) (D) 6518 12598 21386 49008 53016 123410 196052 296815 270 2291 7117 10070 19748 46777 48083 114608 182207 302897 281 2098 6400 7922 16701 45853 65675 128229 174668 332213 rec. 1389626 1483 10441 27340 34588 73852 166765 312600 553217 836409 332214 firms 71 3 8 7 10 28 21 13 62 9 69 2 10 8 8 28 20 13 61 8 66 2 11 7 4 24 22 14 60 6 68 3 9 7 7 26 23 13 62 6 67 4 14 4 7 29 22 10 61 6 332214 estab. 78 3 8 7 10 28 21 15 64 14 78 2 10 8 8 28 20 16 64 14 72 2 11 7 4 24 22 16 62 10 74 3 9 7 7 26 23 15 64 10 72 4 14 4 7 29 22 13 64 8 332214 empl. 8000 [a] [a] 44 130 188 976 1848 3012 4988 7485 [a] [b] 53 102 176 880 1724 2780 4705 6413 [a] [b] 50 51 123 1012 2009 3144 3269 6307 [a] [a] 47 104 167 1035 1907 3109 3198 5220 0 30 26 89 145 941 1609 2695 2525 332214 ann. pay. 251214 (D) (D) 986 3441 4670 26983 57985 89638 161576 258821 (D) (D) 1100 2810 4474 25582 57684 87740 171081 229075 (D) (D) 1637 2274 4878 27345 72005 104228 124847 214263 (D) (D) 1217 4071 7039 29726 67957 104722 109541 183898 132 660 891 2878 4561 29136 55157 88854 95044 332214 rec. 1373852 723 5348 5242 14818 26131 132119 452959 611209 762643 332311 firms 587 57 133 102 84 376 147 40 563 24 579 38 136 105 87 366 148 38 552 27 543 27 127 91 79 324 152 41 517 26 570 36 129 105 82 352 145 48 545 25 658 49 180 124 97 450 140 42 632 26 332311 estab. 641 57 133 103 84 377 151 51 579 62 631 38 136 106 87 367 153 48 568 63 598 27 127 92 79 325 157 48 530 68 628 36 129 106 82 353 152 56 561 67 729 49 180 124 98 451 150 50 651 78 332311 empl. 27397 0 302 686 1168 2156 6083 5929 14168 13229 27863 0 305 718 1193 2216 6248 5434 13898 13965 28989 0 282 597 1055 1934 6488 6131 14553 14436 28203 0 320 705 1097 2122 5938 7137 15197 13006 26297 0 415 833 1312 2560 5956 5574 14090 12207 332311 ann. pay. 878796 3800 6818 15901 31692 58211 185455 190574 434240 444556 928285 2710 7455 17116 34835 62116 197870 186137 446123 482162 953632 1252 7475 14176 32888 55791 201495 208591 465877 487755 914996 2655 8390 17441 34346 62832 191428 232195 486455 428541 899359 2327 10186 23226 38297 74036 199385 187989 461410 437949 332311 rec. 4918197 18416 55910 118817 187849 380992 914946 1038426 2334364 2583833 332312 firms 2881 148 582 479 566 1775 854 167 2796 85 2771 92 539 462 552 1645 869 170 2684 87 2640 77 488 422 535 1522 858 170 2550 90 2833 87 545 414 581 1627 928 178 2733 100 3592 179 1092 588 586 2445 873 180 3498 94 332312 estab. 3062 148 582 480 566 1776 879 200 2855 207 2953 92 539 463 553 1647 890 211 2748 205 2833 77 488 423 536 1524 877 215 2616 217 3033 87 545 416 581 1629 945 231 2805 228 3804 179 1092 590 586 2447 902 225 3574 230 332312 empl. 96166 0 1370 3220 7996 12586 34597 19163 66346 29820 98676 0 1305 3135 7705 12145 35160 20369 67674 31002 97955 0 1189 2879 7367 11435 35073 21012 67520 30435 106161 0 1282 2855 8095 12232 38134 23000 73366 32795 102229 0 2481 3915 8133 14529 35349 22357 72235 29994 332312 ann. pay. 3414638 54587 34912 93846 260292 443637 1223021 674836 2341494 1073144 3545699 9867 36906 99198 251383 397354 1285514 727889 2410757 1134942 3642663 15797 35130 92543 251986 395456 1310066 795355 2500877 1141786 3975751 7868 39122 93342 283085 423417 1463890 874145 2761452 1214299 3839660 25284 68381 124968 288093 506726 1323277 850144 2680147 1159513 332312 rec. 18784825 155526 362288 586506 1200255 2304575 6001269 4342688 12648532 6136293 332313 firms 1020 51 189 208 198 646 295 55 996 24 988 35 197 198 202 632 264 66 962 26 933 24 174 185 182 565 282 57 904 29 961 43 188 179 205 615 265 52 932 29 999 61 203 191 209 664 262 48 974 25 332313 estab. 1041 51 189 208 198 646 296 71 1013 28 1011 35 197 198 202 632 265 83 980 31 958 24 174 185 182 565 283 70 918 40 987 43 188 179 205 615 267 66 948 39 1023 61 203 191 209 664 264 60 988 35 332313 empl. 26824 0 447 1418 2722 4587 11546 6505 22638 4186 26761 0 476 1320 2819 4615 10150 7945 22710 4051 25945 0 419 1243 2521 4183 11083 6566 21832 4113 25460 0 450 1203 2817 4470 10629 6374 21473 3987 23894 0 494 1305 2870 4669 10262 5271 20202 3692 332313 ann. pay. 848997 5689 12997 40053 79219 137958 372280 211657 721895 127102 873896 1706 14465 39379 85899 141449 343811 263500 748760 125136 923147 1419 12353 41756 76983 132511 387351 239414 759276 163871 910759 6087 12719 37292 92184 148282 359509 246621 754412 156347 846333 4904 15534 38867 97204 156509 362792 195361 714662 131671 332313 rec. 3051089 23926 52498 130796 300682 507902 1175373 816804 2500079 551010 332321 firms 1238 71 301 217 162 751 310 110 1171 67 1188 44 316 179 155 694 300 127 1121 67 1136 52 266 173 166 657 292 121 1070 66 1177 53 286 190 165 694 310 110 1114 63 1180 67 285 188 165 705 290 120 1115 65 332321 estab. 1412 71 301 217 163 752 321 140 1213 199 1376 44 316 179 157 696 313 160 1169 207 1322 52 266 173 167 658 303 152 1113 209 1367 53 286 190 166 695 321 144 1160 207 1366 67 285 188 166 706 302 167 1175 191 332321 empl. 73278 0 688 1427 2172 4287 13774 16482 34543 38735 81183 0 736 1207 2039 3982 12999 18520 35501 45682 81717 0 619 1140 2220 3979 12410 18510 34899 46818 78479 0 664 1243 2256 4163 13323 16372 33858 44621 75778 0 689 1267 2274 4230 12613 16233 33076 42702 332321 ann. pay. 2109230 8055 15752 33653 62434 119894 402422 450542 972858 1136372 2358457 2674 18143 30640 59346 110803 388841 554502 1054146 1304311 2399500 5322 15880 27923 65294 114419 378820 527177 1020416 1379084 2420833 7231 19737 32961 70218 130147 410652 496078 1036877 1383956 2420375 5731 18658 37716 70787 132892 405851 509630 1048373 1372002 332321 rec. 12187282 25985 91870 166307 283381 567543 1615509 2231723 4414775 7772507 332322 firms 4188 175 700 719 915 2509 1337 247 4093 95 4128 156 741 714 878 2489 1294 247 4030 98 4020 141 711 674 847 2373 1296 254 3923 97 4139 159 746 706 865 2476 1326 234 4036 103 4381 213 1014 821 903 2951 1136 207 4294 87 332322 estab. 4456 175 700 719 917 2511 1367 328 4206 250 4431 156 742 714 880 2492 1320 332 4144 287 4351 141 711 674 847 2373 1329 352 4054 297 4479 159 746 706 865 2476 1362 325 4163 316 4703 213 1014 821 903 2951 1176 291 4418 285 332322 empl. 132636 0 1698 4881 12812 19391 54245 34596 108232 24404 133617 0 1805 4889 12254 18948 52488 33351 104787 28830 138741 0 1785 4620 11695 18100 53148 36629 107877 30864 142604 0 1790 4830 11891 18511 54472 35006 107989 34615 119472 0 2436 5497 12493 20426 44924 28251 93601 25871 332322 ann. pay. 4334591 14385 45941 149031 435128 644485 1795223 1115435 3555143 779448 4522590 11114 51315 154711 419328 636468 1806016 1152544 3595028 927562 4883040 9772 47959 148294 427079 633104 1904041 1294484 3831629 1051411 4704414 18412 52792 157139 406588 634931 1839807 1155881 3630619 1073795 4302346 21450 68539 184162 446578 720729 1656190 1024934 3401853 900493 332322 rec. 16885611 93503 251300 606831 1429967 2381601 5267968 4212952 11862521 5023090 332323 firms 1838 119 618 396 326 1459 305 47 1811 27 1801 102 586 390 323 1401 317 55 1773 28 1741 106 561 359 303 1329 326 56 1711 30 1815 89 569 401 331 1390 333 58 1781 34 2294 166 886 478 351 1881 321 64 2266 28 332323 estab. 1880 119 618 397 326 1460 312 55 1827 53 1847 102 586 390 323 1401 324 64 1789 58 1792 106 561 359 305 1331 333 64 1728 64 1869 89 569 402 332 1392 339 72 1803 66 2349 166 886 478 351 1881 330 79 2290 59 332323 empl. 34298 0 1384 2655 4387 8426 11263 5453 25142 9156 36056 0 1359 2571 4397 8327 12198 6417 26942 9114 36222 0 1314 2465 4081 7860 12685 6615 27160 9062 37226 0 1287 2691 4441 8419 12714 6679 27812 9414 37999 0 1946 3175 4735 9856 12364 7238 29458 8541 332323 ann. pay. 1043752 4138 29535 66050 128470 228193 381497 170710 780400 263352 1135333 4794 30882 62892 135629 234197 424447 211922 870566 264767 1186137 4842 29799 68180 129039 231860 453259 224757 909876 276261 1249808 4174 32714 70469 146438 253795 469254 234743 957792 292016 1311293 8848 44614 89669 157425 300556 456019 280429 1037004 274289 332323 rec. 5614952 43226 193927 321702 558515 1117370 1785402 1157350 4060122 1554830 332410 firms 427 29 53 49 59 190 138 61 389 38 426 24 64 45 56 189 137 63 389 37 405 14 66 51 54 185 126 57 368 37 375 12 47 41 62 162 127 48 337 38 334 9 29 48 52 138 111 48 297 37 332410 estab. 474 29 53 49 59 190 139 71 400 74 467 24 64 45 56 189 139 70 398 69 447 14 66 51 54 185 129 61 375 72 413 12 47 41 62 162 131 51 344 69 375 9 29 48 52 138 115 53 306 69 332410 empl. 26505 0 127 343 800 1270 5984 8332 15586 10919 24661 0 148 330 717 1195 5681 8000 14876 9785 23942 0 153 363 737 1253 5413 7072 13738 10204 23298 0 107 287 807 1201 5457 6289 12947 10351 21278 0 70 342 734 1146 4526 5597 11269 10009 332410 ann. pay. 928139 2575 4786 11792 24934 44087 199871 300084 544042 384097 883516 1508 4549 9073 22664 37794 189146 296870 523810 359706 891229 1660 7227 11645 25585 46117 188930 266977 502024 389205 900847 941 6081 9554 27588 44164 207401 240380 491945 408902 803930 1192 5167 12971 24455 43785 170003 214823 428611 375319 332410 rec. 3560654 48777 22251 53283 82647 206958 630366 805223 1642547 1918107 332420 firms 558 14 52 57 94 217 227 60 504 54 557 15 51 59 94 219 224 59 502 55 536 15 45 64 92 216 210 61 487 49 531 15 55 54 98 222 208 56 486 45 514 22 67 61 91 241 182 48 471 43 332420 estab. 631 14 52 57 94 217 234 72 523 108 633 15 51 59 94 219 232 72 523 110 613 15 45 64 92 216 219 74 509 104 608 15 55 54 98 222 217 70 509 99 578 22 67 61 91 241 190 63 494 84 332420 empl. 33853 0 118 401 1315 1834 9260 6980 18074 15779 32410 0 113 411 1250 1774 9134 7329 18237 14173 32537 0 101 452 1201 1754 8289 7179 17222 15315 31781 0 135 381 1342 1858 8456 6888 17202 14579 28862 0 160 422 1273 1855 7614 6035 15504 13358 332420 ann. pay. 1232102 768 4228 13320 39723 58039 325294 253022 636355 595747 1175664 1697 4372 12849 38963 57881 316764 258830 633475 542189 1209886 693 3712 13812 38873 57090 299505 265473 622068 587818 1198384 2397 4944 11344 42352 61037 311262 274413 646712 551672 1108277 1390 5871 14840 43801 65902 288080 249098 603080 505197 332420 rec. 4329560 6061 24078 60536 223199 313874 998888 824139 2136901 2192659 332431 firms 103 11 26 11 9 57 17 11 85 18 100 6 28 13 9 56 16 10 82 18 91 3 22 17 4 46 18 10 74 17 92 7 19 18 7 51 16 6 73 19 83 3 19 10 7 39 17 10 66 17 332431 estab. 268 11 26 11 9 57 19 13 89 179 257 6 28 13 9 56 17 12 85 172 242 3 22 17 4 46 19 14 79 163 240 7 19 18 7 51 17 8 76 164 217 3 19 10 7 39 18 15 72 145 332431 empl. 25956 0 56 78 122 256 700 1261 2217 23739 24328 0 55 86 118 259 663 1207 2129 22199 23625 [a] [b] 114 52 208 706 1626 2540 21085 22770 0 35 122 102 259 565 775 1599 21171 21209 [a] [b] 63 86 197 546 1468 2211 18998 332431 ann. pay. 1148871 880 1017 1543 3636 7076 22450 48664 78190 1070681 1109802 214 843 2327 3114 6498 22091 49047 77636 1032166 1056038 (D) (D) 2994 1606 6155 24937 56767 87859 968179 1032541 743 1078 2675 2883 7379 17883 30022 55284 977257 1019704 (D) (D) 1454 5080 8260 18790 70164 97214 922490 332431 rec. 11967504 (D) (D) 14104 41933 (D) 131533 546760 754963 11212541 332439 firms 442 31 117 76 64 288 105 34 427 15 411 13 123 71 56 263 100 30 393 18 397 11 115 67 55 248 101 27 376 21 400 18 102 78 57 255 96 31 382 18 367 15 94 72 42 223 99 31 353 14 332439 estab. 483 31 117 76 64 288 107 49 444 39 448 13 123 71 56 263 102 44 409 39 437 11 115 67 55 248 103 40 391 46 441 18 102 78 57 255 98 46 399 42 402 15 94 72 42 223 101 47 371 31 332439 empl. 14162 0 279 504 835 1618 4608 4058 10284 3878 13694 0 302 475 774 1551 4477 3523 9551 4143 13849 [a] [e] 456 743 1480 4393 3619 9492 4357 13327 0 226 499 780 1505 4001 4048 9554 3773 13317 [a] [c] 479 569 1270 4130 3359 8759 4558 332439 ann. pay. 442429 5357 7443 11635 23075 47510 142955 121535 312000 130429 448839 2242 8403 11752 22932 45329 143843 120507 309679 139160 465080 (D) (D) 11731 22202 42252 142576 126616 311444 153636 440501 791 6367 15485 23352 45995 134805 131288 312088 128413 468362 (D) (D) 12486 16827 37462 154463 119590 311515 156847 332439 rec. 2285237 (D) (D) 58076 67245 (D) 634061 571908 1372987 912250 332510 firms 894 41 198 125 128 492 233 94 819 75 877 46 197 119 121 483 233 87 803 74 855 35 195 119 112 461 237 83 781 74 840 40 192 122 105 459 223 81 763 77 867 42 208 118 116 484 238 76 798 69 332510 estab. 992 41 198 125 128 492 235 109 836 156 981 46 197 119 121 483 235 101 819 162 955 35 195 119 112 461 239 94 794 161 939 40 192 122 105 459 223 93 775 164 959 42 208 118 116 484 242 90 816 143 332510 empl. 73162 0 465 841 1726 3032 10116 12871 26019 47143 73601 0 475 795 1641 2911 10567 12678 26156 47445 74686 0 463 794 1503 2760 10477 12685 25922 48764 68884 0 467 830 1427 2724 9880 12204 24808 44076 65577 0 467 790 1537 2794 10690 11218 24702 40875 332510 ann. pay. 2341590 3350 11236 20638 49018 84242 307139 401418 792799 1548791 2431543 10423 12212 21091 48656 92382 333338 437474 863194 1568349 2494438 6475 11261 22235 47400 87371 335688 427695 850754 1643684 2316036 5776 12488 22573 45003 85840 323638 426086 835564 1480472 2251202 3860 13561 22840 48747 89008 364718 408688 862414 1388788 332510 rec. 11606840 18628 76151 99814 206319 400912 1460041 1708430 3569383 8037457 332611 firms 123 7 19 23 19 68 30 14 112 11 131 7 22 19 27 75 30 15 120 11 129 4 22 16 29 71 33 15 119 10 122 4 23 17 20 64 33 16 113 9 125 3 30 24 16 73 32 14 119 6 332611 estab. 130 7 19 23 19 68 30 19 117 13 137 7 22 19 27 75 30 20 125 12 136 4 22 16 29 71 33 21 125 11 128 4 23 17 20 64 33 22 119 9 131 3 30 24 16 73 33 19 125 6 332611 empl. 5280 0 48 154 253 455 1464 1623 3542 1738 5185 0 56 128 371 555 1417 1701 3673 1512 5557 0 58 106 381 545 1697 1745 3987 1570 5466 [a] [b] 120 261 440 1643 1812 3895 1571 4351 0 68 172 224 464 1517 1543 3524 827 332611 ann. pay. 177002 1325 1473 4212 8123 15133 51180 50723 117036 59966 181614 1569 1602 3806 10867 17844 47985 58964 124793 56821 212744 656 1727 3250 13495 19128 58938 71885 149951 62793 205546 (D) (D) 3350 10043 16040 58389 63828 138257 67289 170194 350 2297 5440 11791 19878 59980 58942 138800 31394 332611 rec. 861278 1371 11973 24327 68585 106256 201100 362138 669494 191784 332612 firms 318 11 58 41 59 169 103 34 306 12 318 8 60 48 54 170 103 32 305 13 310 13 58 45 54 170 95 34 299 11 317 13 69 40 60 182 95 28 305 12 289 5 57 45 60 167 79 32 278 11 332612 estab. 389 11 58 41 59 169 109 55 333 56 392 8 60 48 54 170 109 50 329 63 382 13 58 45 54 170 100 54 324 58 385 13 69 40 61 183 101 45 329 56 354 5 57 45 61 168 85 53 306 48 332612 empl. 19133 0 128 285 848 1261 4675 5309 11245 7888 18459 0 127 337 800 1264 4482 4739 10485 7974 18752 0 129 308 774 1211 4129 4848 10188 8564 18584 [a] [c] 270 836 1260 4336 4193 9789 8795 17895 0 110 314 834 1258 3399 4109 8766 9129 332612 ann. pay. 599786 1545 3314 9899 24380 39138 160276 168279 367693 232093 608055 1486 3605 11925 23167 40183 161537 152011 353731 254324 633525 245 4407 10322 24347 39321 153729 170864 363914 269611 593691 (D) (D) 8528 28475 42934 150788 145259 338981 254710 571547 307 3956 11262 28187 43712 128084 149737 321533 250014 332612 rec. 2511377 1280 15211 37427 91019 144937 396267 518765 1059969 1451408 332618 firms 1264 70 339 207 208 824 288 93 1205 59 1242 66 331 198 207 802 283 95 1180 62 1207 57 306 197 198 758 295 100 1153 54 1159 49 283 193 197 722 285 101 1108 51 1072 47 242 186 182 657 284 84 1025 47 332618 estab. 1369 70 339 207 208 824 300 126 1250 119 1348 66 331 198 209 804 292 131 1227 121 1321 57 306 197 198 758 309 138 1205 116 1262 49 283 193 197 722 297 134 1153 109 1171 47 242 186 182 657 301 114 1072 99 332618 empl. 47081 0 763 1406 2862 5031 12546 13667 31244 15837 47179 0 753 1337 2839 4929 12040 13441 30410 16769 48086 0 705 1334 2716 4755 12740 14966 32461 15625 46234 0 672 1301 2770 4743 11967 15047 31757 14477 39921 0 551 1258 2551 4360 11927 11416 27703 12218 332618 ann. pay. 1323864 10714 19213 33212 79564 142703 339440 419776 901919 421945 1359921 15897 20223 32465 83208 151793 340913 410664 903370 456551 1441003 5923 20092 33380 83993 143388 373015 473310 989713 451290 1358634 2086 18960 32240 82587 135873 347067 467977 950917 407717 1288030 4924 17142 34638 81776 138480 371680 390597 900757 387273 332618 rec. 5794341 28380 68781 126025 302117 525303 1518824 1416994 3461121 2333220 332710 firms 23787 1719 8750 5150 4134 19753 3500 399 23652 135 23032 1420 8750 5061 4001 19232 3296 366 22894 138 22627 1457 8401 5041 3918 18817 3306 360 22483 144 22544 1339 8488 5011 3882 18720 3330 345 22395 149 22878 1531 9484 4980 3572 19567 2874 295 22736 142 332710 estab. 23967 1719 8750 5150 4138 19757 3562 466 23785 182 23233 1420 8752 5061 4006 19239 3355 445 23039 194 22830 1457 8401 5042 3923 18823 3365 430 22618 212 22756 1339 8489 5013 3885 18726 3391 409 22526 230 23107 1532 9484 4981 3579 19576 2961 369 22906 201 332710 empl. 304052 0 19802 34680 55746 110228 129014 46618 285860 18192 286833 0 19752 33933 53754 107439 119290 41039 267768 19065 291642 0 19165 33738 52798 105701 121119 42049 268869 22773 292720 0 19368 33559 52387 105314 123312 41325 269951 22769 261423 0 21309 33239 48014 102562 103570 34104 240236 21187 332710 ann. pay. 10085350 74699 473753 929727 1739678 3217857 4522377 1628186 9368420 716930 9901950 62771 488650 945192 1730194 3226807 4309693 1524775 9061275 840675 10687168 84693 502402 985465 1814947 3387507 4626185 1660747 9674439 1012729 10232161 71089 482748 964096 1701673 3219606 4500670 1565849 9286125 946036 9396977 80491 538379 990351 1626903 3236124 3962188 1291243 8489555 907422 332710 rec. 27994126 312943 1623558 2832154 4467831 9236486 11327367 4269179 24833032 3161094 332721 firms 2644 34 311 459 684 1488 955 165 2608 36 2566 34 341 447 647 1469 904 152 2525 41 2500 36 321 455 621 1433 884 144 2461 39 2434 20 331 440 585 1376 877 144 2397 37 2308 29 364 472 538 1403 763 110 2276 32 332721 estab. 2689 34 311 459 684 1488 964 192 2644 45 2616 34 341 447 647 1469 913 178 2560 56 2555 36 321 455 621 1433 892 174 2499 56 2487 20 331 440 585 1376 887 171 2434 53 2364 29 364 472 539 1404 779 135 2318 46 332721 empl. 82508 0 801 3205 9510 13516 38258 24467 76241 6267 79020 0 875 3105 8939 12919 35932 22330 71181 7839 76339 0 800 3125 8622 12547 35423 21198 69168 7171 74358 0 824 3054 8069 11947 35249 21173 68369 5989 63068 0 900 3293 7399 11592 30323 15456 57371 5697 332721 ann. pay. 2787200 1436 29627 100634 303768 435465 1276289 868687 2580441 206759 2730283 5592 31239 99479 287339 423649 1235656 804153 2463458 266825 2824107 4014 27898 114405 301033 447350 1314806 795697 2557853 266254 2595238 2057 28878 102707 264310 397952 1214452 753399 2365803 229435 2319607 3570 31038 111342 257190 403140 1110970 572546 2086656 232951 332721 rec. 7098804 16278 95147 316543 688689 1116657 3195363 1900309 6212329 886475 332722 firms 887 24 122 130 173 449 296 97 842 45 849 16 125 123 169 433 286 82 801 48 826 20 122 125 157 424 276 86 786 40 803 10 125 131 145 411 269 85 765 38 768 14 131 137 127 409 245 74 728 40 332722 estab. 1034 24 122 130 173 449 301 145 895 139 1009 16 125 123 169 433 294 120 847 162 993 20 122 125 157 424 282 136 842 151 973 10 125 134 145 414 279 127 820 153 906 14 131 137 127 409 249 106 764 142 332722 empl. 55971 0 305 898 2414 3617 12538 14867 31022 24949 54793 0 315 847 2391 3553 12164 12414 28131 26662 52965 0 299 833 2192 3324 11905 13694 28923 24042 51124 0 299 904 2006 3209 11144 12327 26680 24444 45574 0 307 951 1767 3025 10054 10407 23486 22088 332722 ann. pay. 2068100 4178 9354 25097 73775 112404 439947 521931 1074282 993818 2089006 3020 9983 24454 72963 110420 434855 454799 1000074 1088932 2102511 1734 9465 26650 71039 108888 444765 528843 1082496 1020015 1973078 5288 8993 27676 61844 103801 388887 455009 947697 1025381 1771229 900 10287 29808 61675 102670 376223 397337 876230 894999 332722 rec. 7393945 3668 42969 122524 215586 384747 1372989 1660103 3417839 3976106 332811 firms 651 20 89 107 130 346 216 55 617 34 628 18 92 106 115 331 218 43 592 36 607 13 95 109 115 332 203 40 575 32 593 16 90 105 126 337 188 38 563 30 591 24 104 103 129 360 170 40 570 21 332811 estab. 794 20 89 107 132 348 231 103 682 112 783 18 92 106 115 331 234 82 647 136 770 13 95 109 116 333 221 77 631 139 748 16 90 105 128 339 206 74 619 129 735 24 104 103 130 361 187 78 626 109 332811 empl. 23645 0 218 736 1820 2774 8546 6928 18248 5397 23158 0 224 722 1577 2523 8568 5340 16431 6727 22251 0 238 761 1624 2623 8236 5290 16149 6102 20966 0 219 712 1750 2681 7449 5175 15305 5661 19796 0 243 705 1813 2761 6589 5057 14407 5389 332811 ann. pay. 847670 5231 8527 23434 60572 97764 296463 266033 660260 187410 857035 744 10012 24719 51770 87245 302304 209925 599474 257561 856033 1282 8910 26995 57112 94299 303740 222156 620195 235838 806336 2093 7749 29348 57297 96487 273841 211156 581484 224852 780575 3737 8882 24027 64769 101415 246492 210901 558808 221767 332811 rec. 3642522 10780 27425 67052 201601 306858 709538 884917 1901313 1741209 332812 firms 2008 126 448 310 382 1266 542 119 1927 81 1940 83 445 309 379 1216 523 122 1861 79 1865 77 407 296 362 1142 519 126 1787 78 1908 95 413 305 374 1187 521 122 1830 78 2043 119 516 380 380 1395 461 112 1968 75 332812 estab. 2205 126 448 311 384 1269 562 175 2006 199 2154 83 446 309 379 1217 543 185 1945 209 2082 77 408 296 362 1143 539 191 1873 209 2127 95 414 305 374 1188 540 190 1918 209 2266 119 516 380 383 1398 485 171 2054 212 332812 empl. 60133 0 1001 2117 5292 8410 20671 13791 42872 17261 58856 0 997 2083 5228 8308 20342 13610 42260 16596 58206 0 915 1995 4973 7883 20132 14223 42238 15968 58442 0 941 2045 5111 8097 19711 13819 41627 16815 53232 0 1200 2559 5186 8945 17044 11632 37621 15611 332812 ann. pay. 1797548 9657 23075 53337 138554 224623 584599 407378 1216600 580948 1826909 7396 26350 52290 143775 229811 589262 396012 1215085 611824 1899595 10485 26262 52968 143127 232842 606024 435584 1274450 625145 1884165 7690 24902 55669 142046 230307 570493 436732 1237532 646633 1800332 11102 31871 73700 151358 268031 522730 400589 1191350 608982 332812 rec. 9346787 37509 95688 217304 444485 794986 1588339 2954476 5337801 4008986 332813 firms 3272 180 777 643 613 2213 869 151 3233 39 3206 145 830 604 631 2210 809 145 3164 42 3161 172 752 630 614 2168 789 161 3118 43 3098 130 759 610 620 2119 788 151 3058 40 3041 167 776 652 619 2214 665 125 3004 37 332813 estab. 3402 180 777 644 614 2215 907 221 3343 59 3341 145 830 604 631 2210 851 211 3272 69 3309 172 752 630 615 2169 830 237 3236 73 3241 130 759 610 621 2120 827 226 3173 68 3199 167 776 652 623 2218 721 201 3140 59 332813 empl. 75323 0 1865 4382 8453 14700 35239 19469 69408 5915 73067 0 1977 4111 8693 14781 32679 18632 66092 6975 74886 0 1737 4285 8532 14554 32384 20541 67479 7407 73536 0 1796 4124 8648 14568 32161 19424 66153 7383 63674 0 1896 4380 8479 14755 27161 15139 57055 6619 332813 ann. pay. 2144465 8839 45627 114105 240533 409104 984996 573847 1967947 176518 2180784 7743 50568 119088 255408 432807 952094 588308 1973209 207575 2322809 7547 44917 116069 258050 426583 1003008 660854 2090445 232364 2122276 7054 46064 108207 242139 403464 915905 579133 1898502 223774 1998153 15555 46436 126145 255256 443392 857257 483594 1784243 213910 332813 rec. 5984483 50847 133760 330704 619369 1134680 2399765 1615254 5149699 834784 332911 firms 447 21 62 66 58 207 119 56 382 65 461 27 81 55 59 222 112 64 398 63 447 24 75 69 56 224 107 53 384 63 426 16 73 63 62 214 103 50 367 59 384 19 70 45 53 187 96 45 328 56 332911 estab. 560 21 62 66 58 207 121 65 393 167 585 27 81 55 60 223 115 73 411 174 566 24 75 69 57 225 108 62 395 171 544 16 73 63 63 215 104 59 378 166 512 19 70 45 53 187 102 55 344 168 332911 empl. 50079 0 155 458 801 1414 5042 8271 14727 35352 51143 0 208 371 789 1368 4571 9078 15017 36126 49147 0 180 491 762 1433 4473 7293 13199 35948 47905 0 162 425 885 1472 4457 7426 13355 34550 45625 0 155 297 727 1179 4310 6582 12071 33554 332911 ann. pay. 1853815 1135 4563 13937 27356 46991 182488 299395 528874 1324941 1933477 1487 7151 10613 27983 47234 169069 322614 538917 1394560 1937475 2980 5854 16161 27470 52465 171758 278658 502881 1434594 1901216 483 4779 13988 33173 52423 173240 281759 507422 1393794 1910014 4456 8716 12117 29463 54752 171128 260033 485913 1424101 332911 rec. 9021807 18315 69077 50138 125301 262831 636513 1119587 2018931 7002876 332912 firms 399 34 85 48 67 234 70 43 347 52 398 31 87 59 59 236 72 43 351 47 415 37 98 57 63 255 76 41 372 43 384 14 94 61 52 221 77 40 338 46 342 17 63 62 44 186 71 42 299 43 332912 estab. 480 34 85 48 67 234 72 47 353 127 480 31 87 59 59 236 74 48 358 122 501 38 98 57 63 256 79 45 380 121 464 14 94 61 52 221 80 45 346 118 421 17 63 62 44 186 73 53 312 109 332912 empl. 40544 0 213 328 908 1449 3014 4819 9282 31262 39900 0 212 407 801 1420 3178 5417 10015 29885 38717 0 239 390 827 1456 3324 5312 10092 28625 38353 0 224 432 724 1380 3269 5156 9805 28548 33353 0 151 425 607 1183 3053 4967 9203 24150 332912 ann. pay. 1533817 22948 6418 10391 28536 68293 105035 169533 342861 1190956 1516300 4383 5497 11719 26769 48368 117482 182085 347935 1168365 1562383 5516 6114 11326 29547 52503 131767 184248 368518 1193865 1554366 308 5848 12217 24887 43260 129368 189815 362443 1191923 1363941 526 4278 13481 22144 40429 116338 193559 350326 1013615 332912 rec. 6347008 2550 22841 49395 76584 151370 413367 706352 1271089 5075919 332913 firms 148 12 31 12 16 71 38 19 128 20 153 10 30 16 20 76 35 20 131 22 156 10 31 21 14 76 36 19 131 25 153 7 34 19 20 80 32 18 130 23 144 4 34 17 13 68 36 21 125 19 332913 estab. 168 12 31 12 16 71 39 21 131 37 173 10 30 16 20 76 35 22 133 40 178 10 31 21 14 76 36 22 134 44 172 7 34 19 20 80 32 21 133 39 163 4 34 17 13 68 36 24 128 35 332913 empl. 16017 0 69 78 230 377 1596 3859 5832 10185 16787 0 59 102 288 449 1447 4033 5929 10858 16890 0 67 152 203 422 1451 3461 5334 11556 16252 0 77 121 288 486 1440 3969 5895 10357 15325 0 81 107 175 363 1508 4556 6427 8898 332913 ann. pay. 546359 3093 1909 2686 6354 14042 48589 151804 214435 331924 576625 816 2010 3299 7535 13660 46321 169176 229157 347468 614592 311 1962 5255 5234 12762 49559 129749 192070 422522 590196 681 2479 5077 19875 28112 48961 142255 219328 370868 568765 136 3013 3216 5940 12305 54991 168090 235386 333379 332913 rec. 3851499 814 15842 14209 29248 60113 286734 821058 1167905 2683594 332919 firms 221 8 37 18 29 92 73 29 194 27 216 12 35 25 27 99 67 28 194 22 219 16 36 26 25 103 68 25 196 23 217 12 40 23 25 100 69 22 191 26 214 12 44 25 25 106 65 21 192 22 332919 estab. 246 8 37 18 29 92 74 33 199 47 243 12 35 25 27 99 68 32 199 44 242 16 36 26 25 103 69 29 201 41 239 12 40 23 25 100 70 26 196 43 234 12 44 25 25 106 68 26 200 34 332919 empl. 18406 0 82 115 372 569 3229 4411 8209 10197 16585 0 71 163 359 593 2759 3942 7294 9291 15979 0 84 181 333 598 2875 3545 7018 8961 16421 0 85 150 345 580 2813 3390 6783 9638 13593 0 95 165 368 628 2756 2945 6329 7264 332919 ann. pay. 634368 279 2049 2879 11918 17125 109330 179897 306352 328016 577504 1263 2035 4773 10319 18390 93980 159580 271950 305554 585336 957 2680 5210 10643 19490 102335 152502 274327 311009 583109 470 2265 6554 11803 21092 103115 139912 264119 318990 508160 4552 3920 6334 14550 29356 101722 130145 261223 246937 332919 rec. 2391390 37901 18946 23577 63596 144020 419759 612797 1176576 1214814 332991 firms 119 4 19 16 14 53 23 14 90 29 117 3 21 16 11 51 25 12 88 29 124 2 26 16 15 59 26 11 96 28 121 2 27 13 13 55 29 8 92 29 123 6 21 20 11 58 28 9 95 28 332991 estab. 198 4 19 16 14 53 24 18 95 103 192 3 21 16 11 51 26 15 92 100 198 2 26 16 15 59 27 14 100 98 198 2 27 13 13 55 30 11 96 102 199 6 21 20 11 58 29 12 99 100 332991 empl. 37935 [a] [b] 107 186 339 1055 2087 3481 34454 35860 0 51 105 120 276 1095 1758 3129 32731 34837 [a] [b] 112 182 357 1312 1680 3349 31488 33416 [a] [b] 86 171 325 1461 1462 3248 30168 29531 0 56 130 146 332 1285 1384 3001 26530 332991 ann. pay. 1454582 (D) (D) 3280 5157 11957 36636 75436 124029 1330553 1415804 200 1593 3044 3300 8137 39532 62363 110032 1305772 1461513 (D) (D) 3492 5234 10648 49098 59348 119094 1342419 1353832 (D) (D) 2694 5214 10027 52571 47454 110052 1243780 1194956 7738 1170 4142 5211 18261 49382 49752 117395 1077561 332991 rec. 5976068 29911 5105 16532 20610 72158 150419 220963 443540 5532528 332992 firms 113 13 43 23 16 95 10 2 107 6 111 21 40 14 16 91 13 2 106 5 116 15 43 21 14 93 14 4 111 5 105 10 36 17 19 82 14 3 99 6 109 16 37 20 14 87 12 4 103 6 332992 estab. 118 13 43 23 16 95 12 2 109 9 117 23 40 14 16 93 13 2 108 9 122 15 43 21 14 93 16 4 113 9 111 10 38 17 19 84 14 3 101 10 112 16 37 20 14 87 12 4 103 9 332992 empl. 6867 0 [b] 151 225 [e] 408 [c] 1019 5848 6913 0 [b] 94 215 [e] 552 [c] 1085 5828 7225 0 104 143 204 451 511 352 1314 5911 6717 0 77 112 250 439 512 268 1219 5498 6727 0 87 135 212 434 451 273 1158 5569 332992 ann. pay. 244199 2102 (D) 2669 6576 (D) 9557 (D) 26759 217440 268219 1521 (D) 1701 7119 (D) 15408 (D) 32288 235931 282045 347 1994 3528 6306 12175 14453 13142 39770 242275 254121 94 1403 2719 5828 10044 12911 9467 32422 221699 268163 426 1868 3592 4865 10751 12597 8288 31636 236527 332992 rec. 1170548 2206 9003 12610 23497 47316 47720 49568 144604 1025944 332993 firms 51 6 11 4 1 22 6 9 37 14 46 1 11 5 2 19 6 9 34 12 47 3 9 5 2 19 7 10 36 11 51 3 17 3 3 26 5 11 42 9 46 0 17 4 4 25 6 6 37 9 332993 estab. 59 6 11 4 1 22 6 10 38 21 55 1 11 5 2 19 6 11 36 19 55 3 9 5 2 19 7 12 38 17 56 3 17 3 3 26 5 12 43 13 52 0 17 4 4 25 7 6 38 14 332993 empl. 9712 [a] [a] 27 [a] 61 276 1185 1522 8190 8876 [a] [b] 31 [b] 77 232 1101 1410 7466 7683 [a] [a] 30 [b] 71 223 1395 1689 5994 6385 [a] [b] 20 42 93 143 1371 1607 4778 5984 0 29 26 52 107 165 700 972 5012 332993 ann. pay. 410674 (D) (D) 553 (D) 2024 6440 42940 51404 359270 369374 (D) (D) 596 (D) 1799 7278 42320 51397 317977 325069 (D) (D) 879 (D) 2248 6224 52203 60675 264394 287249 (D) (D) 463 1105 3947 3591 50172 57710 229539 259483 0 1121 888 1026 3035 5938 23578 32551 226932 332993 rec. 874799 0 3475 2762 4031 10268 17053 101417 128738 746061 332994 firms 204 20 68 36 28 152 36 7 195 9 213 17 74 38 31 160 37 7 204 9 210 19 66 35 36 156 35 9 200 10 205 15 69 42 29 155 35 5 195 10 188 17 52 41 27 137 32 10 179 9 332994 estab. 211 20 68 36 28 152 36 8 196 15 220 17 74 38 31 160 37 8 205 15 218 19 66 35 36 156 35 10 201 17 213 15 69 42 29 155 35 6 196 17 195 17 52 41 27 137 32 11 180 15 332994 empl. 9942 0 162 240 405 807 1354 2103 4264 5678 10099 0 176 246 469 891 1436 2084 4411 5688 10187 0 155 225 522 902 1387 1950 4239 5948 9643 0 165 265 416 846 1478 1299 3623 6020 9746 0 117 271 370 758 1349 2314 4421 5325 332994 ann. pay. 330366 1041 4147 4866 10292 20346 35090 69505 124941 205425 343869 710 3969 5505 12286 22470 42107 70138 134715 209154 348280 1085 3448 4935 13105 22573 39954 63803 126330 221950 344388 377 5357 5828 10357 21919 47272 46062 115253 229135 423286 3744 2682 7552 13261 27239 45164 87051 159454 263832 332994 rec. 1672839 20083 12662 29650 41997 104392 194154 510761 809307 863532 332995 firms 66 3 15 11 6 35 13 6 54 12 62 3 13 11 6 33 11 7 51 11 58 3 11 11 7 32 9 5 46 12 56 5 9 8 9 31 9 4 44 12 54 7 7 5 11 30 11 4 45 9 332995 estab. 68 3 15 11 6 35 13 6 54 14 65 3 13 11 6 33 11 7 51 14 59 3 11 11 7 32 9 5 46 13 57 5 9 8 9 31 9 4 44 13 58 7 7 5 12 31 11 4 46 12 332995 empl. 10926 [a] [b] 73 [b] [c] 464 [e] 970 9956 7526 [a] [b] 78 [b] [c] 360 [e] 930 6596 7345 [a] [a] 78 [b] 191 311 291 793 6552 7434 [a] [a] 54 132 203 294 212 709 6725 5094 0 14 32 144 190 350 658 1198 3896 332995 ann. pay. 520364 (D) (D) 1706 (D) (D) 13663 (D) 29656 490708 363907 (D) (D) 1996 (D) (D) 10999 (D) 28877 335030 390156 (D) (D) 2332 (D) 5429 11105 7247 23781 366375 396677 (D) (D) 1461 4139 6037 11299 6174 23510 373167 275230 266 240 998 5280 6784 12857 28528 48169 227061 332995 rec. 1241189 1104 1217 3302 19622 25245 37281 127401 189927 1051262 332996 firms 886 55 172 165 173 565 213 68 846 40 893 62 184 155 172 573 217 61 851 42 917 59 199 155 167 580 227 64 871 46 864 34 190 155 155 534 225 62 821 43 812 27 183 144 153 507 207 58 772 40 332996 estab. 939 55 172 165 173 565 219 88 872 67 957 62 184 155 172 573 224 78 875 82 978 59 199 155 167 580 232 79 891 87 934 34 190 155 155 534 234 79 847 87 879 27 183 144 153 507 216 74 797 82 332996 empl. 30876 0 394 1097 2376 3867 8602 8491 20960 9916 30802 0 414 1030 2339 3783 8694 8425 20902 9900 32656 0 444 1054 2281 3779 9145 8353 21277 11379 33248 0 445 1060 2168 3673 9408 8319 21400 11848 29638 0 429 953 2045 3427 8392 7172 18991 10647 332996 ann. pay. 953862 4339 11177 28595 63156 107267 280156 254600 642023 311839 1006667 7936 11307 30489 68258 117990 289806 274561 682357 324310 1082527 8044 13823 30418 64054 116339 309515 265459 691313 391214 1110938 1879 13801 32180 66172 114032 320383 278441 712856 398082 1002496 1662 13743 30672 65893 111970 295558 240936 648464 354032 332996 rec. 4423588 7746 59498 115992 277930 461166 1135799 941995 2538960 1884628 332997 firms 676 39 249 174 111 573 82 14 669 7 673 38 258 180 97 573 78 15 666 7 681 59 244 188 93 584 73 17 674 7 644 36 265 171 71 543 79 15 637 7 581 37 235 147 77 496 67 14 577 4 332997 estab. 680 39 249 174 111 573 84 15 672 8 677 38 258 180 97 573 80 16 669 8 684 59 244 188 93 584 75 18 677 7 647 36 265 171 71 543 81 16 640 7 585 37 235 148 77 497 70 14 581 4 332997 empl. 7888 0 587 1184 1462 3233 2811 1186 7230 658 7871 0 569 1224 1338 3131 2731 1271 7133 738 7838 0 553 1275 1263 3091 2518 1573 7182 656 7866 0 633 1129 950 2712 2663 1343 6718 1148 6138 0 549 978 1066 2593 2341 1127 6061 77 332997 ann. pay. 300748 1708 16991 36683 53024 108406 124372 45807 278585 22163 303224 2193 18347 40486 47737 108763 124156 50180 283099 20125 305023 1646 16498 42322 49472 109938 118504 59822 288264 16759 310797 1394 19418 35517 36695 93024 115202 52005 260231 50566 259508 741 16069 32274 43847 92931 104258 58276 255465 4043 332997 rec. 588963 2118 39499 76008 103423 221048 231107 128898 581053 7910 332998 firms 89 11 20 14 10 55 15 4 74 15 84 3 23 14 9 49 16 5 70 14 87 6 27 13 7 53 12 6 71 16 93 8 22 16 10 56 15 6 77 16 92 8 27 11 11 57 15 7 79 13 332998 estab. 95 11 20 14 10 55 15 4 74 21 89 3 23 14 9 49 16 5 70 19 92 6 27 13 7 53 12 6 71 21 97 8 22 16 10 56 15 6 77 20 97 8 27 11 11 57 15 7 79 18 332998 empl. 9093 0 51 94 141 286 678 504 1468 7625 9741 0 54 85 118 257 655 674 1586 8155 10291 0 68 85 99 252 491 778 1521 8770 9945 0 46 105 129 280 627 661 1568 8377 9712 0 58 78 140 276 830 702 1808 7904 332998 ann. pay. 311447 365 1230 2285 3752 7632 23855 22689 54176 257271 350399 106 1324 2158 2889 6477 24023 26762 57262 293137 376417 806 1591 2450 3124 7971 16210 31398 55579 320838 381796 4023 1339 2615 3809 11786 21990 31845 65621 316175 378672 467 1562 3033 4391 9453 32313 31001 72767 305905 332998 rec. 1618115 2060 8421 16301 23295 50077 119198 112274 281549 1336566 332999 firms 3272 373 809 586 598 2366 647 154 3167 105 3296 296 907 608 594 2405 654 147 3206 90 3417 353 921 650 592 2516 664 147 3327 90 3171 215 923 596 558 2292 651 145 3088 83 2828 201 744 549 523 2017 603 127 2747 81 332999 estab. 3340 373 809 586 599 2367 658 171 3196 144 3357 296 907 608 595 2406 663 167 3236 121 3487 353 921 650 593 2517 675 165 3357 130 3240 215 923 596 559 2293 663 167 3123 117 2897 201 744 549 523 2017 620 147 2784 113 332999 empl. 85076 0 1844 3990 8153 13987 24404 20609 59000 26076 80571 0 2029 4142 8157 14328 24764 19863 58955 21616 83853 0 2018 4396 8145 14559 25383 20675 60617 23236 79062 0 2098 3992 7733 13823 25293 19230 58346 20716 68481 0 1692 3734 7229 12655 23124 15783 51562 16919 332999 ann. pay. 2710418 24917 47382 109226 234146 415671 752750 676079 1844500 865918 2672398 23406 54497 116546 247446 441895 789598 658888 1890381 782017 2846670 19642 55497 130777 249840 455756 831285 709211 1996252 850418 2662267 23285 53595 115051 233708 425639 816642 691893 1934174 728093 2380443 17539 51398 112393 228656 409986 771415 566332 1747733 632710 332999 rec. 10658714 90163 224783 398762 840666 1554374 2780132 2323015 6657521 4001193 333111 firms 1280 82 300 220 238 840 295 96 1231 49 1235 63 314 204 245 826 280 91 1197 38 1193 67 285 205 226 783 283 91 1157 36 1166 54 290 214 205 763 285 84 1132 34 1141 68 288 194 208 758 273 77 1108 33 333111 estab. 1360 82 300 220 238 840 304 114 1258 102 1318 63 314 204 246 827 291 112 1230 88 1274 67 285 205 226 783 294 111 1188 86 1243 54 290 214 205 763 295 109 1167 76 1217 68 288 194 209 759 286 97 1142 75 333111 empl. 70963 0 687 1510 3232 5429 12209 13806 31444 39519 63149 [a] [f] 1379 3297 5401 11229 13700 30330 32819 60901 0 629 1389 3057 5075 11651 13619 30345 30556 59091 0 653 1492 2765 4910 11339 13527 29776 29315 55742 0 692 1346 2780 4818 10856 11464 27138 28604 333111 ann. pay. 2437365 6068 13300 30487 75442 125297 337443 407811 870551 1566814 2168191 (D) (D) 29423 80770 130609 314495 433599 878703 1289488 2206810 4163 13390 33133 75797 126483 327750 448102 902335 1304475 2182398 2450 14333 35698 72224 124705 322688 466109 913502 1268896 2076147 7370 14471 33996 72715 128552 329458 395316 853326 1222821 333111 rec. 14539271 39701 75187 160284 317812 592984 1412686 1741779 3747449 10791822 333112 firms 124 7 28 15 16 66 26 11 103 21 118 7 28 13 14 62 23 10 95 23 115 4 26 10 19 59 23 12 94 21 117 11 22 12 18 63 22 12 97 20 131 10 33 23 15 81 23 7 111 20 333112 estab. 142 7 28 15 16 66 26 11 103 39 136 7 28 13 14 62 23 10 95 41 132 4 26 10 19 59 23 12 94 38 134 11 22 12 18 63 22 12 97 37 150 10 33 23 17 83 23 7 113 37 333112 empl. 30054 0 61 108 218 387 1208 2161 3756 26298 27318 [a] [b] 83 205 361 957 1399 2717 24601 27650 0 54 66 268 388 1018 1902 3308 24342 26704 0 48 83 265 396 896 1925 3217 23487 23263 0 75 166 208 449 1007 1293 2749 20514 333112 ann. pay. 790516 97 869 2698 4895 8559 32675 64896 106130 684386 749030 (D) (D) 2192 5429 11253 24012 41619 76884 672146 764766 64 1150 1888 7073 10175 25801 64185 100161 664605 690048 835 1398 2346 5584 10163 22953 53763 86879 603169 679079 1565 2169 4928 6610 15272 30880 39846 85998 593081 333112 rec. 6520600 130040 21368 44697 58847 254952 145474 286317 686743 5833857 333120 firms 734 63 125 100 102 390 197 86 673 61 740 62 119 109 97 387 205 82 674 66 734 49 138 105 97 389 201 80 670 64 715 42 146 95 98 381 197 73 651 64 698 46 138 105 99 388 176 72 636 62 333120 estab. 804 63 125 100 102 390 200 100 690 114 814 62 119 109 97 387 208 95 690 124 813 49 138 105 97 389 205 93 687 126 793 42 146 95 98 381 198 86 665 128 783 46 138 106 100 390 186 92 668 115 333120 empl. 73978 0 312 696 1440 2448 8683 12735 23866 50112 75800 0 274 727 1361 2362 9031 12355 23748 52052 74127 0 318 689 1336 2343 8737 11357 22437 51690 70016 0 325 644 1322 2291 8479 10629 21399 48617 59627 0 318 718 1407 2443 7445 9949 19837 39790 333120 ann. pay. 3076878 6959 8096 19745 42843 77643 299382 425368 802393 2274485 3094555 5715 8699 21353 45129 80896 324828 427062 832786 2261769 3063130 7983 10085 20159 44912 83139 323747 409620 816506 2246624 2848536 2086 10914 20196 42116 75312 309184 381077 765573 2082963 2543705 4628 11535 26907 46514 89584 284503 379241 753328 1790377 333120 rec. 19261747 50666 66410 127268 235961 480305 1230849 2087938 3799092 15462655 333131 firms 267 14 65 39 43 161 67 23 251 16 253 14 59 38 44 155 64 19 238 15 259 20 62 44 36 162 63 18 243 16 254 8 61 42 46 157 61 20 238 16 242 12 63 34 40 149 61 17 227 15 333131 estab. 299 14 65 39 43 161 71 33 265 34 287 14 59 38 44 155 67 29 251 36 292 20 62 44 36 162 68 26 256 36 284 8 61 42 46 157 65 28 250 34 274 12 63 34 40 149 65 24 238 36 333131 empl. 13525 0 158 264 584 1006 2839 3417 7262 6263 13571 0 140 242 599 981 2634 3022 6637 6934 12046 0 139 301 531 971 2557 2685 6213 5833 11613 0 141 276 644 1061 2470 2713 6244 5369 9938 0 154 233 566 953 2256 1981 5190 4748 333131 ann. pay. 499965 2143 3607 8912 17663 32325 92467 133840 258632 241333 480886 1126 3290 7334 18487 30237 86820 112569 229626 251260 472839 1463 4035 10203 16532 32233 89895 104011 226139 246700 471596 714 4090 8505 21150 34459 86989 114408 235856 235740 392939 1116 5342 8121 19926 34505 84649 75363 194517 198422 333131 rec. 1847914 4641 24782 31505 65022 125950 349435 287085 762470 1085444 333132 firms 501 25 113 89 91 318 121 24 463 38 471 17 118 98 74 307 105 23 435 36 445 22 106 85 71 284 103 24 411 34 429 22 98 76 68 264 108 24 396 33 442 16 110 78 74 278 98 32 408 34 333132 estab. 576 25 113 89 91 318 124 28 470 106 555 17 118 98 74 307 109 31 447 108 533 22 106 85 71 284 107 28 419 114 510 22 98 76 68 264 111 27 402 108 513 16 110 78 74 278 101 35 414 99 333132 empl. 32418 0 249 578 1192 2019 4784 3843 10646 21772 27490 0 269 653 1005 1927 3860 3362 9149 18341 24773 0 259 594 954 1807 3891 3431 9129 15644 26460 0 234 526 909 1669 4230 3672 9571 16889 27888 0 252 536 970 1758 3651 4842 10251 17637 333132 ann. pay. 1353239 2740 6929 20725 39880 70274 187886 149243 407403 945836 1104994 3733 7916 19817 32088 63554 142322 127645 333521 771473 1155686 2690 7470 21352 30222 61734 158599 136097 356430 799256 1250049 4128 8908 20722 31338 65096 168211 150856 384163 865886 1287010 2064 8287 19338 34250 63939 147885 195719 407543 879467 333132 rec. 5340569 19097 44160 76715 151417 291389 594008 639981 1525378 3815191 333210 firms 304 26 88 55 46 215 70 12 297 7 316 29 99 52 50 230 64 14 308 8 307 22 95 50 52 219 63 15 297 10 292 13 96 45 52 206 64 13 283 9 280 19 91 53 47 210 54 8 272 8 333210 estab. 316 26 88 56 46 216 72 16 304 12 327 29 99 53 50 231 66 18 315 12 318 22 95 51 52 220 65 19 304 14 302 13 96 45 52 206 67 17 290 12 292 19 91 53 47 210 59 12 281 11 333210 empl. 8570 0 212 355 642 1209 2900 2220 6329 2241 8341 0 238 336 697 1271 2623 2064 5958 2383 8764 0 221 327 703 1251 2567 2415 6233 2531 8208 0 235 301 716 1252 2575 2046 5873 2335 6720 0 218 359 641 1218 2216 1272 4706 2014 333210 ann. pay. 306407 944 6017 8615 20185 35761 110564 79769 226094 80313 309088 2657 5345 8508 23231 39741 101125 78740 219606 89482 330972 1543 5347 9145 22207 38242 108440 91701 238383 92589 287461 484 5877 8166 20217 34744 96509 71401 202654 84807 257040 498 5976 10252 21135 37861 89739 48896 176496 80544 333210 rec. 915980 2830 22111 39042 79991 143974 287545 189103 620622 295358 333220 firms 434 29 110 66 69 274 97 30 401 33 476 53 103 71 72 299 104 33 436 40 492 46 106 89 71 312 111 31 454 38 496 34 123 71 85 313 113 34 460 36 537 47 167 75 75 364 112 25 501 36 333220 estab. 463 29 110 66 69 274 99 34 407 56 503 53 103 71 72 299 106 37 442 61 518 46 106 89 71 312 113 35 460 58 524 34 123 71 85 313 117 38 468 56 558 48 167 76 75 366 113 27 506 52 333220 empl. 19293 0 267 449 945 1661 4049 4424 10134 9159 19981 0 238 488 939 1665 4266 4846 10777 9204 21235 0 237 590 1017 1844 4891 4860 11595 9640 20820 0 259 454 1142 1855 4852 5154 11861 8959 16820 0 369 495 1056 1920 4575 3254 9749 7071 333220 ann. pay. 774805 5402 8371 14955 31736 60464 154553 179816 394833 379972 833208 17196 8754 15770 30711 72431 162663 188973 424067 409141 896960 8189 8290 18463 36140 71082 197775 223148 492005 404955 826086 5936 8989 12718 36674 64317 172381 215517 452215 373871 708349 6834 13031 16397 37213 73475 173866 139996 387337 321012 333220 rec. 3190795 28253 49301 55375 150333 283262 695561 606031 1584854 1605941 333291 firms 314 4 56 47 61 168 98 27 293 21 320 16 56 48 52 172 102 26 300 20 306 11 53 46 58 168 97 22 287 19 293 12 51 48 64 175 83 21 279 14 272 10 59 46 57 172 70 19 261 11 333291 estab. 345 4 56 47 61 168 100 31 299 46 351 16 56 48 52 172 104 30 306 45 335 11 53 46 58 168 99 27 294 41 319 12 51 48 65 176 84 27 287 32 298 10 59 46 57 172 73 24 269 29 333291 empl. 17728 [a] [c] 332 858 1339 3992 3657 8988 8740 16755 0 137 341 745 1223 4035 3487 8745 8010 14195 [a] [c] 315 810 1246 3870 3130 8246 5949 13169 0 124 319 882 1325 3326 3138 7789 5380 11484 0 143 318 789 1250 2813 3147 7210 4274 333291 ann. pay. 772861 (D) (D) 12088 31941 48332 158856 167233 374421 398440 749882 1505 4102 12210 27404 45221 153791 167287 366299 383583 641338 (D) (D) 11391 33723 50892 159826 150078 360796 280542 580645 683 3842 10708 36005 51238 137031 147505 335774 244871 531444 603 4491 12286 32655 50035 115687 148029 313751 217693 333291 rec. 2046700 2665 18547 44735 117375 183322 400425 606231 1189978 856722 333292 firms 440 21 121 92 68 302 103 25 430 10 447 30 137 78 76 321 91 25 437 10 434 22 135 74 84 315 85 25 425 9 427 13 152 70 81 316 78 23 417 10 408 22 153 66 65 306 77 16 399 9 333292 estab. 461 21 121 92 69 303 108 37 448 13 466 30 137 78 76 321 95 37 453 13 451 22 135 74 84 315 90 35 440 11 440 13 152 70 81 316 82 31 429 11 423 23 153 66 65 307 81 23 411 12 333292 empl. 13260 [a] [e] 621 974 1873 4240 4135 10248 3012 12202 0 306 510 1101 1917 3709 4114 9740 2462 11463 0 306 464 1160 1930 3463 4156 9549 1914 10635 0 339 459 1124 1922 3094 3836 8852 1783 8758 0 326 430 832 1588 2954 2675 7217 1541 333292 ann. pay. 459644 (D) (D) 18505 31410 58120 144400 147341 349861 109783 415218 1720 8180 13645 33987 57532 134524 144583 336639 78579 402089 592 7333 13411 36717 58053 128117 147844 334014 68075 349983 1559 8936 12931 31595 55021 105274 123503 283798 66185 317485 3181 8579 11889 27592 51241 105539 95222 252002 65483 333292 rec. 1066206 22741 34104 38968 85616 181429 357408 297735 836572 229634 333293 firms 492 31 125 87 83 326 104 40 470 22 484 30 118 80 90 318 112 32 462 22 486 27 124 91 76 318 113 34 465 21 464 18 125 80 82 305 111 29 445 19 420 22 104 81 77 284 93 24 401 19 333293 estab. 534 31 125 87 83 326 109 43 478 56 523 30 118 80 90 318 117 33 468 55 520 27 124 91 76 318 118 39 475 45 499 18 125 80 82 305 115 35 455 44 456 22 104 81 78 285 97 27 409 47 333293 empl. 21146 0 281 603 1123 2007 4445 4611 11063 10083 19504 0 267 519 1216 2002 4880 3416 10298 9206 18640 0 294 608 1039 1941 4929 4144 11014 7626 18204 0 285 534 1110 1929 4884 3743 10556 7648 14266 0 217 546 1048 1811 3934 3093 8838 5428 333293 ann. pay. 933687 13957 8416 19481 43752 85606 175570 203177 464353 469334 848236 2822 9101 19013 43186 74122 194679 158635 427436 420800 865747 4553 9278 23247 39377 76455 195503 200266 472224 393523 838949 885 10736 14733 39530 65884 188594 179838 434316 404633 655675 2723 9279 20317 39042 71361 166701 137166 375228 280447 333293 rec. 2469416 10354 37002 80809 128613 256778 553607 627332 1437717 1031699 333294 firms 573 27 124 103 92 346 156 42 544 29 598 47 133 100 94 374 152 44 570 28 570 34 144 93 86 357 149 40 546 24 551 33 132 97 80 342 148 43 533 18 535 33 122 95 78 328 147 46 521 14 333294 estab. 592 27 124 103 92 346 161 46 553 39 622 47 133 100 94 374 158 51 583 39 595 34 144 93 86 357 156 47 560 35 577 33 132 97 80 342 155 50 547 30 560 33 122 95 78 328 156 57 541 19 333294 empl. 18566 0 299 687 1304 2290 6364 5136 13790 4776 18729 0 315 669 1327 2311 6167 5400 13878 4851 18210 0 344 659 1190 2193 6020 5405 13618 4592 17939 0 306 670 1120 2096 5927 5681 13704 4235 17009 0 283 645 1048 1976 5597 6201 13774 3235 333294 ann. pay. 720877 1620 10364 19746 46343 78073 226794 228134 533001 187876 749047 2760 12019 20257 45511 80547 227728 243659 551934 197113 759323 4457 12602 20101 43356 80516 230945 251543 563004 196319 726745 2065 12521 21614 41737 77937 227977 254756 560670 166075 746366 6125 11780 21422 40798 80125 228158 304980 613263 133103 333294 rec. 2895853 23560 65109 73889 140684 303242 810853 1059693 2173788 722065 333295 firms 252 15 40 24 27 106 62 48 216 36 250 10 39 31 33 113 64 37 214 36 233 13 42 22 27 104 62 30 196 37 230 8 40 25 26 99 57 34 190 40 227 15 38 23 26 102 61 27 190 37 333295 estab. 269 15 40 24 27 106 62 52 220 49 269 11 39 31 33 114 64 42 220 49 259 13 42 22 27 104 62 36 202 57 257 8 40 25 26 99 57 39 195 62 259 15 38 23 28 104 62 33 199 60 333295 empl. 42324 0 98 167 389 654 2666 8918 12238 30086 34594 0 92 219 441 752 2861 6867 10480 24114 40009 [a] [b] 143 377 616 2951 5185 8752 31257 40049 0 83 179 358 620 2683 5962 9265 30784 30445 0 72 165 357 594 2699 4739 8032 22413 333295 ann. pay. 2275086 5988 4119 7617 18475 36199 122720 444667 603586 1671500 2246360 16499 3316 9607 19190 48612 147076 398267 593955 1652405 3511159 (D) (D) 6332 17474 54816 172839 307709 535364 2975795 2751081 2026 2455 7790 19984 32255 132519 308131 472905 2278176 2271839 3155 5015 7931 17778 33879 139613 297932 471424 1800415 333295 rec. 9341513 53428 27092 31589 66664 178773 479975 1189355 1848103 7493410 333298 firms 1619 93 414 241 267 1015 398 130 1543 76 1563 86 408 224 272 990 384 124 1498 65 1505 77 379 241 256 953 363 119 1435 70 1443 79 344 236 247 906 364 105 1375 68 1336 70 307 240 239 856 317 99 1272 64 333298 estab. 1669 93 414 241 269 1017 408 144 1569 100 1613 86 408 225 273 992 394 138 1524 89 1548 77 379 242 257 955 371 130 1456 92 1490 79 344 237 248 908 373 113 1394 96 1380 70 307 240 239 856 327 114 1297 83 333298 empl. 57009 0 960 1594 3707 6261 15798 16836 38895 18114 50906 0 947 1477 3753 6177 15304 16588 38069 12837 50882 0 869 1643 3643 6155 14701 15299 36155 14727 48411 0 783 1608 3461 5852 14325 13581 33758 14653 40767 0 721 1627 3334 5682 11863 12076 29621 11146 333298 ann. pay. 2224777 16970 27613 49741 129982 224306 584792 687077 1496175 728602 2066730 11058 27482 49207 137228 224975 595830 707916 1528721 538009 2139305 5570 26624 56950 138182 227326 588592 670494 1486412 652893 2006984 6034 23213 54975 125017 209239 548068 586228 1343535 663449 1803140 5609 23981 58972 129064 217626 492788 532639 1243053 560087 333298 rec. 7137576 25240 95606 228149 454921 803916 1744526 2221740 4770182 2367394 333311 firms 111 6 26 18 22 72 25 6 103 8 107 6 30 14 22 72 21 6 99 8 108 11 28 16 19 74 19 7 100 8 102 3 33 15 16 67 22 5 94 8 94 7 24 16 19 66 15 7 88 6 333311 estab. 116 6 26 18 22 72 25 7 104 12 112 6 30 14 22 72 21 7 100 12 113 11 28 16 19 74 19 9 102 11 106 3 33 15 16 67 22 6 95 11 98 7 24 16 19 66 15 8 89 9 333311 empl. 8082 0 64 121 305 490 809 406 1705 6377 8951 0 60 93 298 451 773 357 1581 7370 8406 [a] [b] 112 270 443 705 931 2079 6327 7361 0 78 96 215 389 803 803 1995 5366 6853 0 46 105 246 397 551 1387 2335 4518 333311 ann. pay. 227215 441 1469 2870 8012 12792 24305 14651 51748 175467 238925 250 1443 2006 8211 11910 24296 12795 49001 189924 223988 (D) (D) 2730 6566 11167 20788 26855 58810 165178 218113 29 2337 2273 5778 10417 26663 24309 61389 156724 235902 135 1138 3007 8080 12360 19139 41888 73387 162515 333311 rec. 1150299 829 5387 13924 32404 52544 75998 211178 339720 810579 333312 firms 64 6 14 10 7 37 12 11 60 4 62 5 18 9 6 38 9 11 58 4 61 2 20 9 5 36 10 10 56 5 61 3 19 9 6 37 10 10 57 4 55 3 17 5 8 33 9 9 51 4 333312 estab. 68 6 14 10 7 37 12 13 62 6 65 5 18 9 6 38 9 13 60 5 65 2 20 9 5 36 10 12 58 7 63 3 19 9 6 37 11 11 59 4 57 3 17 5 8 33 10 10 53 4 333312 empl. 4236 0 35 72 94 201 438 1624 2263 1973 3882 0 45 67 91 203 344 1575 2122 1760 3876 [a] [b] 64 69 179 359 1378 1916 1960 3246 0 41 65 81 187 383 1358 1928 1318 3281 0 33 32 121 186 391 1211 1788 1493 333312 ann. pay. 131246 395 659 1841 2493 5388 16013 57601 79002 52244 126561 71 1123 1329 3617 6140 12069 59758 77967 48594 124716 (D) (D) 1419 3078 5453 12323 51989 69765 54951 114034 199 1117 1603 3633 6552 14563 53930 75045 38989 117354 566 533 1040 5124 7263 15804 45805 68872 48482 333312 rec. 605947 5413 3381 4443 19856 33093 96133 200282 329508 276439 333313 firms 131 13 26 12 13 64 33 15 112 19 149 11 31 14 14 70 40 18 128 21 139 8 30 15 12 65 36 18 119 20 134 4 28 15 14 61 37 17 115 19 110 4 20 12 8 44 33 13 90 20 333313 estab. 137 13 26 12 13 64 36 16 116 21 157 11 33 14 14 72 41 19 132 25 150 8 30 15 12 65 37 20 122 28 144 4 28 15 14 61 38 19 118 26 119 4 20 12 8 44 35 15 94 25 333313 empl. 13874 0 48 79 190 317 1401 1607 3325 10549 16743 0 66 90 183 339 1768 2295 4402 12341 15791 0 74 105 179 358 1607 2365 4330 11461 19134 0 61 98 190 349 1711 2502 4562 14572 16602 0 40 75 119 234 1418 1290 2942 13660 333313 ann. pay. 538828 558 1618 1840 4366 8382 50702 56623 115707 423121 619869 1435 4058 2502 5647 13642 68074 80660 162376 457493 590289 690 2215 3781 6013 12699 64461 86594 163754 426535 788410 53 1864 3730 5477 11124 71064 90529 172717 615693 797314 184 1673 3668 5258 10783 61580 53777 126140 671174 333313 rec. 3087288 1155 11605 18584 24604 55948 218086 247517 521551 2565737 333314 firms 476 26 123 71 68 288 117 31 436 40 471 22 130 68 70 290 110 27 427 44 465 27 117 72 68 284 104 36 424 41 469 26 120 78 66 290 102 35 427 42 449 27 108 73 59 267 108 31 406 43 333314 estab. 497 26 123 71 68 288 121 38 447 50 490 22 130 68 71 291 114 33 438 52 490 27 117 72 68 284 106 43 433 57 496 26 120 78 66 290 107 39 436 60 474 27 108 73 59 267 113 35 415 59 333314 empl. 21765 0 281 473 942 1696 4925 4253 10874 10891 18593 0 284 454 973 1711 4500 3837 10048 8545 20489 0 276 478 911 1665 4209 4762 10636 9853 22840 0 266 542 914 1722 4225 5412 11359 11481 20723 0 235 485 817 1537 4248 3746 9531 11192 333314 ann. pay. 917693 1048 10456 16654 39403 67561 196649 177623 441833 475860 831378 964 10666 17070 42760 71460 192102 178256 441818 389560 1300415 1873 10105 19555 41047 72580 189841 297451 559872 740543 1133837 5914 11769 23315 44166 85164 201783 257675 544622 589215 986009 6425 9305 21290 38147 75167 208250 195830 479247 506762 333314 rec. 3462449 32241 35772 67920 108158 244091 573344 627947 1445382 2017067 333315 firms 407 30 115 61 64 270 87 27 384 23 401 26 130 59 61 276 75 25 376 25 393 26 121 69 53 269 77 23 369 24 370 21 117 60 48 246 80 19 345 25 305 21 87 55 47 210 59 20 289 16 333315 estab. 415 30 115 61 64 270 89 29 388 27 410 26 130 59 61 276 77 27 380 30 401 26 121 69 53 269 78 25 372 29 377 21 117 60 48 246 81 21 348 29 316 21 87 55 47 210 60 25 295 21 333315 empl. 24566 0 269 381 859 1509 3528 3570 8607 15959 21767 0 308 389 823 1520 2880 3435 7835 13932 21295 0 270 467 736 1473 2718 3921 8112 13183 15533 0 262 394 667 1323 2900 3350 7573 7960 13182 0 190 357 650 1197 2133 3147 6477 6705 333315 ann. pay. 1110086 3573 8634 10441 30635 53283 123221 151668 328172 781914 966373 4916 8869 13337 27826 54948 102325 148431 305704 660669 940155 2649 9620 14330 24825 51424 98567 173870 323861 616294 664665 2507 7489 13241 25763 49000 106880 150200 306080 358585 603795 2037 6877 11213 29214 49341 90778 156632 296751 307044 333315 rec. 2992582 9810 31434 49389 107244 197877 496663 653335 1347875 1644707 333319 firms 1257 70 352 208 174 804 287 95 1186 71 1221 70 344 204 154 772 280 98 1150 71 1167 59 324 198 153 734 263 97 1094 73 1165 65 331 200 156 752 263 83 1098 67 1192 65 332 224 165 786 267 75 1128 64 333319 estab. 1345 70 352 208 174 804 294 115 1213 132 1316 70 344 204 154 772 284 119 1175 141 1271 59 324 198 153 734 270 114 1118 153 1271 65 331 200 156 752 272 103 1127 144 1294 65 332 224 166 787 278 94 1159 135 333319 empl. 56056 0 814 1392 2345 4551 11704 13880 30135 25921 60815 0 796 1363 2099 4258 11403 13974 29635 31180 59220 0 750 1329 2165 4244 11104 13872 29220 30000 57198 0 784 1355 2126 4265 11362 12908 28535 28663 50969 0 757 1485 2226 4468 11025 11533 27026 23943 333319 ann. pay. 2078706 13602 22741 41576 88706 166625 394825 473335 1034785 1043921 2338258 10118 23947 42874 67091 144030 390076 521091 1055197 1283061 2307528 5697 24061 42522 73208 145488 400224 515718 1061430 1246098 2229932 4599 25672 43949 73777 147997 401480 505314 1054791 1175141 2107085 8502 24732 50401 79586 163221 422757 469500 1055478 1051607 333319 rec. 10918320 38161 121778 223961 347002 730902 1855213 2171624 4757739 6160581 333411 firms 343 27 81 53 50 211 78 25 314 29 318 12 69 61 52 194 75 26 295 23 306 14 64 69 35 182 80 21 283 23 308 18 64 61 46 189 77 21 287 21 312 17 73 54 52 196 76 23 295 17 333411 estab. 387 27 81 53 51 212 83 31 326 61 371 12 69 62 52 195 82 32 309 62 368 14 64 69 36 183 85 28 296 72 370 18 64 61 47 190 82 31 303 67 360 17 73 54 52 196 81 29 306 54 333411 empl. 15629 0 182 367 647 1196 3220 3194 7610 8019 16101 0 146 421 697 1264 3189 3523 7976 8125 17245 0 133 477 461 1071 3315 2958 7344 9901 16948 [a] [c] 406 600 1144 3283 3305 7732 9216 13597 [a] [c] 360 673 1188 3280 2691 7159 6438 333411 ann. pay. 487076 3242 4999 10348 19805 38394 103726 101195 243315 243761 494105 585 4665 10229 21287 36766 104667 116493 257926 236179 536973 901 3967 12509 15740 33117 120301 88957 242375 294598 522933 (D) (D) 11547 19755 36582 120601 96214 253397 269536 425383 (D) (D) 10931 21592 39139 115185 89583 243907 181476 333411 rec. 1913968 (D) (D) 43118 81059 (D) 421168 342259 917279 996689 333412 firms 172 6 28 23 21 78 54 16 148 24 153 6 22 20 20 68 52 13 133 20 150 4 24 18 16 62 54 14 130 20 150 4 21 23 18 66 52 11 129 21 153 6 20 22 16 64 51 16 131 22 333412 estab. 202 6 28 23 21 78 54 21 153 49 186 6 22 20 20 68 52 18 138 48 181 4 24 18 16 62 54 19 135 46 177 4 21 23 18 66 52 16 134 43 182 6 20 22 16 64 51 24 139 43 333412 empl. 12836 0 64 157 312 533 2253 2081 4867 7969 12293 0 53 125 284 462 2165 1719 4346 7947 11976 0 57 122 236 415 2165 1784 4364 7612 11854 [a] [b] 147 267 466 2208 1984 4658 7196 11281 [a] [b] 139 226 407 2053 2660 5120 6161 333412 ann. pay. 433794 233 2927 4788 9406 17354 83014 76931 177299 256495 414541 997 2088 3085 9596 15766 77994 59167 152927 261614 426448 77 2497 3476 8264 14314 83169 64343 161826 264622 411979 (D) (D) 4837 10195 16819 86387 73293 176499 235480 414674 (D) (D) 4371 8573 17077 81836 105226 204139 210535 333412 rec. 1905456 (D) (D) 19578 35687 (D) 384088 455579 912744 992712 333414 firms 431 36 93 74 63 266 81 45 392 39 418 25 105 72 57 259 76 46 381 37 393 21 91 75 53 240 73 43 356 37 390 25 89 66 54 234 78 43 355 35 395 29 100 56 59 244 77 40 361 34 333414 estab. 467 36 93 74 63 266 82 55 403 64 452 25 105 72 57 259 77 57 393 59 424 21 91 75 53 240 74 52 366 58 419 25 89 66 54 234 80 50 364 55 418 29 100 56 59 244 78 46 368 50 333414 empl. 23201 0 199 521 827 1547 3400 6775 11722 11479 23013 0 250 499 755 1504 3193 6817 11514 11499 23545 0 211 506 738 1455 3163 6552 11170 12375 23061 0 205 454 742 1401 3420 7111 11932 11129 21484 0 226 378 751 1355 3495 6609 11459 10025 333414 ann. pay. 762227 913 5232 12932 23447 42524 104366 223567 370457 391770 778245 672 6676 12092 21030 40470 107336 236992 384798 393447 808509 983 5539 13903 22536 42961 111598 233641 388200 420309 813202 1583 5774 13555 23522 44434 122858 257734 425026 388176 786580 1493 7175 10746 23897 43311 124673 243633 411617 374963 333414 rec. 4139485 8554 33137 48089 97014 186794 580104 1053889 1820787 2318698 333415 firms 649 31 107 80 78 296 185 89 570 79 637 30 104 80 75 289 183 87 559 78 631 29 115 84 69 297 177 83 557 74 665 35 130 92 72 329 187 74 590 75 646 28 129 85 89 331 172 70 573 73 333415 estab. 812 31 107 80 78 296 192 100 588 224 810 30 104 80 75 289 190 97 576 234 806 29 115 84 70 298 183 93 574 232 848 35 130 92 73 330 193 85 608 240 840 28 129 85 89 331 187 87 605 235 333415 empl. 119197 0 260 555 1087 1902 8231 13961 24094 95103 126113 0 241 567 1021 1829 7888 13909 23626 102487 125860 0 265 581 983 1829 7663 13398 22890 102970 127348 0 287 623 969 1879 8024 12221 22124 105224 110459 0 280 570 1193 2043 7100 11547 20690 89769 333415 ann. pay. 3936904 5909 7105 18499 36876 68389 252536 452218 773143 3163761 4245429 1498 7513 16666 35473 61150 265575 466697 793422 3452007 4361946 4055 8985 18087 37569 68696 272238 456394 797328 3564618 4164603 9284 10017 21302 32516 73119 272352 379833 725304 3439299 3929656 4762 9912 22348 45016 82038 268985 371175 722198 3207458 333415 rec. 24698756 28317 53792 122240 232711 437060 1459683 1812674 3709417 20989339 333511 firms 2536 121 587 518 544 1770 599 112 2481 55 2414 88 605 484 524 1701 551 108 2360 54 2281 86 551 473 482 1592 538 102 2232 49 2208 84 540 473 472 1569 508 86 2163 45 2217 123 625 461 443 1652 435 83 2170 47 333511 estab. 2592 121 587 518 545 1771 611 135 2517 75 2465 88 605 484 526 1703 565 129 2397 68 2336 86 551 473 483 1593 552 127 2272 64 2263 84 540 473 473 1570 522 113 2205 58 2270 123 625 462 444 1654 450 107 2211 59 333511 empl. 55166 0 1363 3572 7386 12321 22881 13346 48548 6618 49277 0 1387 3335 7161 11883 21316 11267 44466 4811 47760 0 1261 3212 6654 11127 20803 11223 43153 4607 44499 0 1232 3225 6394 10851 20088 9256 40195 4304 41760 0 1407 3098 5987 10492 16625 8760 35877 5883 333511 ann. pay. 2286710 6337 43384 126288 291136 467145 1006005 552667 2025817 260893 2166061 12116 44734 124199 283665 464714 947372 504308 1916394 249667 2146147 6052 42684 120745 274790 444271 950873 517421 1912565 233582 1903963 5177 41162 113626 258924 418889 860219 417695 1696803 207160 1811397 6823 47471 115955 243161 413410 753252 397487 1564149 247248 333511 rec. 4867901 23041 123842 297679 572073 1016635 1830411 1149145 3996191 871710 333512 firms 424 30 43 38 67 178 164 46 388 36 423 20 49 48 65 182 161 49 392 31 454 29 66 46 84 225 150 47 422 32 485 27 81 66 82 256 151 48 455 30 509 42 86 96 84 308 134 40 482 27 333512 estab. 460 30 43 38 67 178 168 50 396 64 456 20 49 48 65 182 165 55 402 54 487 29 66 46 84 225 157 53 435 52 519 27 81 66 82 256 157 55 468 51 540 42 86 96 84 308 139 49 496 44 333512 empl. 30072 0 95 278 949 1322 6818 6981 15121 14951 27504 0 112 325 874 1311 6526 7373 15210 12294 25672 0 152 319 1164 1635 6295 6945 14875 10797 24888 [a] [c] 451 1113 1728 6099 6726 14553 10335 19820 0 195 642 1183 2020 5334 4481 11835 7985 333512 ann. pay. 1424631 9384 2931 9923 39974 62212 281484 318345 662041 762590 1224662 3377 2782 11751 35715 53625 276543 344530 674698 549964 1230949 3940 4359 11936 50136 70371 279030 340435 689836 541113 1158821 (D) (D) 14047 42030 63254 261274 292062 616590 542231 953607 3994 6363 23409 47995 81761 227132 203870 512763 440844 333512 rec. 3234368 16038 22136 64024 143914 246112 758262 677275 1681649 1552719 333513 firms 248 19 17 18 34 88 95 39 222 26 245 7 21 21 33 82 96 43 221 24 253 15 25 18 39 97 97 35 229 24 275 16 41 26 48 131 87 33 251 24 305 16 60 38 65 179 79 28 286 19 333513 estab. 257 19 17 18 34 88 96 41 225 32 257 10 21 21 33 85 97 47 229 28 269 15 25 18 39 97 100 43 240 29 287 16 41 26 48 131 90 39 260 27 316 16 60 38 65 179 84 32 295 21 333513 empl. 14995 [a] [b] 129 509 675 3724 5166 9565 5430 14011 [a] [b] 145 460 658 3583 5361 9602 4409 13975 [a] [b] 127 564 763 4063 4628 9454 4521 12126 0 99 179 685 963 3503 4076 8542 3584 9285 [a] [c] 259 911 1310 3006 3108 7424 1861 333513 ann. pay. 644838 (D) (D) 5247 23667 32693 149964 223180 405837 239001 621587 (D) (D) 5250 19860 30626 147409 234816 412851 208736 642737 (D) (D) 4735 23472 32726 169355 214918 416999 225738 496787 4011 4571 5629 28962 43173 130870 173192 347235 149552 427236 (D) (D) 10323 37374 59983 124660 150871 335514 91722 333513 rec. 1370265 (D) (D) 35206 123405 (D) 360808 497524 1056105 314160 333514 firms 4665 289 1329 999 915 3532 929 136 4597 68 4460 168 1373 943 902 3386 880 133 4399 61 4300 169 1282 901 870 3222 890 125 4237 63 4169 119 1284 890 871 3164 830 115 4109 60 4008 165 1332 885 793 3175 675 107 3957 51 333514 estab. 4742 289 1329 999 916 3533 947 159 4639 103 4532 168 1373 943 902 3386 897 164 4447 85 4368 169 1282 901 871 3223 905 157 4285 83 4237 119 1284 890 873 3166 843 145 4154 83 4079 166 1332 885 793 3176 689 140 4005 74 333514 empl. 83073 0 3054 6690 12484 22228 34598 15746 72572 10501 79722 0 3170 6345 12325 21840 32938 14833 69611 10111 77983 0 3051 6127 11843 21021 32973 14476 68470 9513 73670 0 2980 6041 11890 20911 30596 13369 64876 8794 62426 0 3169 5992 10902 20063 24320 11137 55520 6906 333514 ann. pay. 3355694 15022 86839 216263 472558 790682 1425922 655257 2871861 483833 3285606 6220 95467 216273 472790 790750 1379024 643633 2813407 472199 3307985 9361 100107 211287 455063 775818 1428415 641990 2846223 461762 2933850 6296 90205 197276 429810 723587 1250878 556261 2530726 403124 2687788 9377 97839 213280 422465 742961 1086964 503022 2332947 354841 333514 rec. 7038863 27094 250893 525185 1010678 1813850 2810148 1337920 5961918 1076945 333515 firms 1819 99 537 384 342 1362 344 71 1777 42 1793 101 544 394 317 1356 329 65 1750 43 1770 95 531 383 321 1330 330 68 1728 42 1738 82 563 364 297 1306 329 62 1697 41 1546 74 497 324 276 1171 281 52 1504 42 333515 estab. 1912 99 537 384 342 1362 352 88 1802 110 1892 101 544 394 317 1356 339 83 1778 114 1872 95 531 383 321 1330 339 86 1755 117 1837 82 563 364 297 1306 340 80 1726 111 1630 74 497 324 277 1172 292 65 1529 101 333515 empl. 49496 0 1302 2547 4626 8475 13342 9872 31689 17807 47118 0 1257 2646 4286 8189 12521 8833 29543 17575 45517 0 1250 2570 4227 8047 12036 8460 28543 16974 44165 0 1325 2494 3991 7810 12082 8010 27902 16263 37240 0 1166 2193 3743 7102 10202 6241 23545 13695 333515 ann. pay. 1737560 5159 37663 74839 149590 267251 482797 368559 1118607 618953 1686271 10546 37675 80930 142485 271636 462194 326440 1060270 626001 1738790 4378 38291 81355 146155 270179 475880 328159 1074218 664572 1595720 4971 39765 75709 130804 251249 437230 293573 982052 613668 1432484 3287 37750 71174 136297 248508 397680 248254 894442 538042 333515 rec. 4630749 13386 134978 209573 394585 752522 1187831 726793 2667146 1963603 333516 firms 97 4 20 17 20 61 23 9 93 4 92 5 19 18 18 60 20 9 89 3 79 2 17 15 16 50 18 6 74 5 81 2 17 17 16 52 18 8 78 3 69 2 16 10 17 45 14 7 66 3 333516 estab. 100 4 20 17 20 61 23 10 94 6 95 5 19 18 18 60 20 10 90 5 81 2 17 15 16 50 18 6 74 7 88 2 17 17 16 52 18 8 78 10 77 2 16 10 17 45 15 9 69 8 333516 empl. 3670 [a] [b] 118 254 419 960 1276 2655 1015 3291 [a] [b] 129 242 415 813 1136 2364 927 2818 [a] [b] 111 216 370 638 781 1789 1029 2934 [a] [b] 118 214 372 732 1221 2325 609 2361 [a] [b] 74 217 330 493 1025 1848 513 333516 ann. pay. 172749 (D) (D) 3839 7641 13699 40123 72385 126207 46542 145404 (D) (D) 4956 7963 16040 32243 54439 102722 42682 137255 (D) (D) 4359 7111 13171 31346 43370 87887 49368 137464 (D) (D) 4882 7782 14145 30956 66052 111153 26311 116795 (D) (D) 3021 9288 13444 22566 55917 91927 24868 333516 rec. 442959 (D) (D) 10267 35221 (D) 123368 161807 335357 107602 333518 firms 448 25 78 63 67 233 151 43 427 21 440 9 94 62 62 227 149 43 419 21 424 13 82 57 66 218 139 44 401 23 421 10 89 58 65 222 140 40 402 19 403 19 85 59 70 233 118 35 386 17 333518 estab. 476 25 78 63 67 233 159 54 446 30 471 9 94 62 62 227 158 48 433 38 460 13 82 57 66 218 147 53 418 42 460 10 89 58 65 222 154 48 424 36 434 19 85 59 70 233 127 46 406 28 333518 empl. 18879 0 188 425 931 1544 6372 5978 13894 4985 18561 0 224 428 872 1524 6228 5595 13347 5214 18970 0 189 379 940 1508 5763 5769 13040 5930 17924 0 218 383 906 1507 5924 4866 12297 5627 14469 0 216 390 956 1562 4964 4164 10690 3779 333518 ann. pay. 889279 9761 6003 17559 34675 67998 274181 276277 618456 270823 905146 371 10013 15632 33372 59388 280929 276332 616649 288497 960794 660 8041 14377 41063 64141 263987 285089 613217 347577 844720 931 9013 12921 32660 55525 264213 231024 550762 293958 707315 1130 6821 13189 36146 57286 230387 216771 504444 202871 333518 rec. 2751987 3825 26991 46217 121587 198620 758820 978359 1935799 816188 333611 firms 81 11 15 5 8 39 19 6 64 17 89 6 19 9 7 41 19 11 71 18 87 3 18 8 9 38 22 10 70 17 94 6 20 8 10 44 21 13 78 16 99 10 20 9 12 51 20 13 84 15 333611 estab. 98 11 15 5 8 39 20 8 67 31 103 6 19 9 7 41 19 13 73 30 104 3 18 8 9 38 22 14 74 30 110 6 20 8 10 44 21 16 81 29 116 10 20 9 12 51 20 16 87 29 333611 empl. 18063 0 42 36 123 201 740 793 1734 16329 18124 [a] [b] 63 118 229 744 1614 2587 15537 17156 0 42 47 133 222 970 1340 2532 14624 17721 0 41 54 136 231 1003 1960 3194 14527 19560 [a] [b] 59 150 252 866 2084 3202 16358 333611 ann. pay. 869891 381 1482 1166 6755 9784 33053 38227 81064 788827 922439 (D) (D) 2617 3907 9809 31680 72625 114114 808325 948755 93 1739 1784 4404 8020 46350 67166 121536 827219 1080891 311 1130 2635 4116 8192 47500 118133 173825 907066 1125497 (D) (D) 2352 4796 9451 39041 98604 147096 978401 333611 rec. 14985364 (D) (D) 7074 17257 (D) 144394 425958 604151 14381213 333612 firms 230 7 30 26 41 104 82 25 211 19 235 3 35 27 49 114 81 21 216 19 227 6 34 27 42 109 81 19 209 18 219 8 32 23 43 106 79 15 200 19 218 6 31 34 39 110 71 18 199 19 333612 estab. 262 7 30 26 41 104 86 35 225 37 265 3 35 27 49 114 88 27 229 36 256 6 34 27 42 109 87 26 222 34 248 8 32 23 43 106 85 21 212 36 246 6 31 34 39 110 76 26 212 34 333612 empl. 16404 0 59 183 598 840 3434 3391 7665 8739 15555 0 65 188 673 926 3489 2709 7124 8431 14680 0 69 198 581 848 3467 2872 7187 7493 13991 0 66 170 560 796 3542 2296 6634 7357 13180 0 73 245 533 851 3067 2128 6046 7134 333612 ann. pay. 628755 500 2345 6565 23231 32641 132570 128794 294005 334750 576364 76 4281 5581 24980 34918 131987 107641 274546 301818 577010 185 2238 8312 22668 33403 136233 123244 292880 284130 539514 562 2358 6754 20710 30384 139679 99203 269266 270248 528986 161 2469 9207 21097 32934 120631 92111 245676 283310 333612 rec. 1944135 569 10207 31485 69512 111773 369448 384030 865251 1078884 333613 firms 256 7 49 36 42 134 60 28 222 34 254 12 51 29 43 135 58 31 224 30 258 15 47 35 34 131 65 28 224 34 245 7 43 32 39 121 60 28 209 36 235 5 44 29 35 113 64 27 204 31 333613 estab. 293 7 49 36 42 134 60 33 227 66 293 12 51 29 43 135 58 36 229 64 295 15 47 35 34 131 65 33 229 66 292 7 43 32 39 121 60 33 214 78 279 5 44 29 35 113 66 31 210 69 333613 empl. 22237 0 107 245 602 954 2306 4102 7362 14875 21931 0 121 201 611 933 2274 4895 8102 13829 20732 0 111 250 486 847 2549 4463 7859 12873 21103 0 109 228 559 896 2323 4463 7682 13421 17021 [a] [c] 209 486 804 2526 4410 7740 9281 333613 ann. pay. 810439 207 3829 7322 18938 30296 89931 160854 281081 529358 790761 2129 4147 6109 18043 30428 94006 186735 311169 479592 805033 1944 3976 8275 16580 30775 108712 182049 321536 483497 779730 302 3498 8590 19334 31724 85104 174338 291166 488564 698467 (D) (D) 7691 16332 31592 99480 185303 316375 382092 333613 rec. 3014130 (D) (D) 27656 53447 (D) 449483 736141 1362289 1651841 333618 firms 255 18 64 29 29 140 49 22 211 44 260 14 63 36 30 143 50 22 215 45 252 16 59 36 33 144 48 18 210 42 245 9 60 35 31 135 52 16 203 42 231 8 54 32 36 130 43 19 192 39 333618 estab. 307 18 64 29 29 140 51 22 213 94 310 14 63 36 30 143 50 26 219 91 306 16 59 36 33 144 48 21 213 93 299 9 60 35 31 135 54 17 206 93 281 8 54 32 36 130 46 21 197 84 333618 empl. 56222 0 145 192 405 742 1869 3183 5794 50428 56950 [a] [c] 237 408 777 2038 3017 5832 51118 59838 0 135 242 460 837 1931 2359 5127 54711 51710 0 135 245 433 813 2052 2073 4938 46772 46740 0 114 220 487 821 1692 2568 5081 41659 333618 ann. pay. 2500387 1526 4497 5615 13233 24871 59255 110162 194288 2306099 2669185 (D) (D) 7612 13588 24456 66297 103459 194212 2474973 2755840 1052 3254 7284 18136 29726 65810 91422 186958 2568882 2484873 396 4906 5957 14557 25816 75696 84065 185577 2299296 2284445 337 3897 7494 19165 30893 63725 110528 205146 2079299 333618 rec. 17757530 2231 26950 53521 109734 192436 362668 520568 1075672 16681858 333911 firms 396 19 71 64 62 216 109 25 350 46 382 9 69 68 73 219 91 26 336 46 374 15 63 69 63 210 89 28 327 47 365 10 67 67 61 205 90 24 319 46 370 16 73 73 52 214 84 28 326 44 333911 estab. 487 19 71 64 62 216 112 31 359 128 475 9 69 68 73 219 94 32 345 130 466 15 63 69 63 210 92 39 341 125 458 10 67 67 61 205 93 30 328 130 452 16 73 73 52 214 88 35 337 115 333911 empl. 37510 [a] [c] 428 842 1438 4518 4018 9974 27536 36070 0 182 464 1021 1667 3640 4234 9541 26529 34181 0 163 486 838 1487 3424 4613 9524 24657 34073 [a] [c] 469 826 1453 3547 3915 8915 25158 30623 0 178 507 708 1393 3275 4064 8732 21891 333911 ann. pay. 1488891 (D) (D) 14263 27789 47547 167524 154859 369930 1118961 1476006 787 4857 16124 34873 56641 140452 155436 352529 1123477 1495915 835 4328 19150 29805 54118 135936 198037 388091 1107824 1523324 (D) (D) 17366 32302 59253 142196 173805 375254 1148070 1378716 800 5637 19015 27574 53026 138175 180891 372092 1006624 333911 rec. 6670095 5688 28230 92656 125144 251718 562180 1010770 1824668 4845427 333912 firms 281 22 66 39 45 172 49 27 248 33 278 17 61 47 44 169 51 23 243 35 260 16 62 40 34 152 53 20 225 35 259 11 67 37 39 154 50 19 223 36 251 14 72 33 32 151 48 17 216 35 333912 estab. 330 22 66 39 45 172 53 33 258 72 325 17 61 47 44 169 56 26 251 74 312 16 62 40 34 152 57 23 232 80 312 11 67 37 39 154 54 21 229 83 295 14 72 33 32 151 51 20 222 73 333912 empl. 25465 0 167 272 613 1052 2086 3984 7122 18343 23592 [a] 149 323 581 [g] 2141 [h] 6346 17246 23013 [a] [c] 282 450 [f] 2181 [h] 5881 17132 23093 0 [c] 261 516 [f] 2002 [h] 5456 17637 19823 [a] 158 236 430 [f] 1897 [g] 4821 15002 333912 ann. pay. 973543 3720 4101 9393 20556 37770 69414 159742 266926 706617 950419 (D) 3789 10408 19864 (D) 76121 (D) 234774 715645 989432 (D) (D) 10745 17179 (D) 76665 (D) 237768 751664 1020484 1542 (D) 8673 18547 (D) 76822 (D) 225751 794733 919225 (D) 5014 8808 15185 (D) 78333 (D) 204391 714834 333912 rec. 5100092 (D) 28657 46858 80651 (D) 351596 (D) 1120016 3980076 333913 firms 66 4 13 10 6 33 16 4 53 13 60 4 10 13 6 33 14 1 48 12 59 3 11 11 7 32 13 2 47 12 62 3 15 8 9 35 13 2 50 12 65 5 15 11 9 40 11 1 52 13 333913 estab. 72 4 13 10 6 33 16 5 54 18 67 4 10 13 6 33 15 1 49 18 66 3 11 11 7 32 13 3 48 18 67 3 15 8 9 35 13 2 50 17 71 5 15 11 9 40 11 1 52 19 333913 empl. 6878 [a] [b] 66 87 188 750 604 1542 5336 6261 [a] 27 86 80 [c] 693 [c] 1023 5238 6161 [a] [b] 66 105 [c] 496 [c] 940 5221 5827 [a] [b] 58 121 [c] 496 [c] 948 4879 4792 [a] 31 72 129 [c] 503 [c] 929 3863 333913 ann. pay. 261588 (D) (D) 2343 2123 7168 26111 19376 52655 208933 247446 (D) 821 3211 1943 (D) 20661 (D) 32054 215392 228509 (D) (D) 1920 3783 (D) 15322 (D) 30301 198208 240048 (D) (D) 1864 4277 (D) 15435 (D) 31785 208263 218300 (D) 1174 2412 5143 (D) 15845 (D) 41181 177119 333913 rec. 1019652 (D) 12647 19367 18107 (D) 65475 (D) 199824 819828 333921 firms 169 8 27 30 28 93 51 15 159 10 162 9 26 25 30 90 47 15 152 10 161 10 24 22 33 89 46 16 151 10 181 11 30 24 41 106 49 16 171 10 171 8 31 29 34 102 46 15 163 8 333921 estab. 184 8 27 30 28 93 52 18 163 21 175 9 26 25 30 90 47 19 156 19 175 10 24 22 33 89 46 21 156 19 197 11 30 24 41 106 49 20 175 22 187 8 31 29 34 102 46 19 167 20 333921 empl. 9593 0 69 210 361 640 2100 1857 4597 4996 9136 0 62 164 383 609 1992 1824 4425 4711 9377 0 62 159 442 663 2051 1911 4625 4752 10921 0 72 157 544 773 2032 2126 4931 5990 9359 0 75 209 454 738 1927 1905 4570 4789 333921 ann. pay. 356595 305 1700 6298 11922 20225 70071 58988 149284 207311 341887 2892 2091 5356 14756 25095 69373 60382 154850 187037 365359 696 1662 5981 15999 24338 74448 70826 169612 195747 387552 1721 2496 5293 22889 32399 82580 77101 192080 195472 355530 1333 2604 7811 20384 32132 76173 74734 183039 172491 333921 rec. 1906567 3432 11314 28562 66570 109878 275363 299739 684980 1221587 333922 firms 854 36 134 136 154 460 260 97 817 37 829 35 152 115 149 451 254 89 794 35 820 43 139 117 148 447 243 89 779 41 801 29 136 116 147 428 253 80 761 40 753 35 136 110 128 409 232 74 715 38 333922 estab. 884 36 134 136 154 460 265 106 831 53 867 35 152 115 150 452 257 108 817 50 857 43 139 117 148 447 248 102 797 60 841 29 136 116 147 428 260 94 782 59 795 35 136 110 128 409 242 87 738 57 333922 empl. 41971 0 305 923 2134 3362 11140 14759 29261 12710 39829 0 362 798 2120 3280 10980 14340 28600 11229 39817 0 327 773 2086 3186 10158 13399 26743 13074 38126 0 321 793 2054 3168 10652 11700 25520 12606 33077 0 323 761 1790 2874 9084 10210 22168 10909 333922 ann. pay. 1726114 9289 10293 28314 74102 121998 435994 577703 1135695 590419 1720049 907 11737 23977 77775 114396 465091 565447 1144934 575115 1806709 4080 11187 23465 75105 113837 446073 590244 1150154 656555 1654296 1491 10811 27053 81938 121293 433706 496344 1051343 602953 1521477 7463 12965 28306 72340 121074 397200 424000 942274 579203 333922 rec. 5994957 32028 53017 113360 258926 457331 1378684 1676207 3512222 2482735 333923 firms 277 13 52 49 35 149 85 20 254 23 276 12 51 48 38 149 83 20 252 24 277 13 51 41 45 150 81 20 251 26 280 11 57 43 46 157 79 18 254 26 267 13 54 48 45 160 69 17 246 21 333923 estab. 304 13 52 49 35 149 90 28 267 37 303 12 51 48 38 149 87 28 264 39 306 13 51 41 46 151 85 23 259 47 307 11 57 44 46 158 83 21 262 45 294 13 54 49 45 161 73 20 254 40 333923 empl. 18976 [a] [c] 335 462 925 3250 2946 7121 11855 19883 0 121 348 531 1000 3358 3009 7367 12516 20306 0 107 288 584 979 3238 2634 6851 13455 18292 0 126 292 649 1067 3148 2221 6436 11856 14189 0 127 330 641 1098 2805 2218 6121 8068 333923 ann. pay. 690718 (D) (D) 10064 15939 30699 111128 121284 263111 427607 717322 482 3404 10799 18694 33379 121534 123009 277922 439400 722207 267 3007 9750 21428 34452 122336 92728 249516 472691 653769 1796 3636 9545 21942 36919 117357 79563 233839 419930 547592 1400 3737 12993 27267 45397 113584 81121 240102 307490 333923 rec. 2648338 5893 17231 54947 116653 194724 451190 299390 945304 1703034 333924 firms 433 30 96 50 62 238 121 43 402 31 442 23 90 67 72 252 109 48 409 33 441 27 102 49 67 245 116 48 409 32 424 15 102 54 69 240 106 48 394 30 396 24 74 66 58 222 103 41 366 30 333924 estab. 462 30 96 50 62 238 125 51 414 48 471 23 90 67 72 252 113 56 421 50 471 27 102 49 67 245 120 59 424 47 454 15 102 54 69 240 110 59 409 45 424 24 74 66 58 222 108 51 381 43 333924 empl. 27721 [a] [c] 340 909 1478 5061 6081 12620 15101 27902 0 201 449 1037 1687 4784 7131 13602 14300 27592 0 230 334 922 1486 4986 7135 13607 13985 26193 0 241 355 968 1564 4409 7202 13175 13018 21433 0 176 457 803 1436 3936 5413 10785 10648 333924 ann. pay. 959472 (D) (D) 9517 26172 46782 169257 196392 412431 547041 1016500 1481 6230 13565 31899 53175 158557 240525 452257 564243 1027235 2894 6120 9922 30575 49511 159275 249664 458450 568785 960781 539 6826 10858 31013 49236 140959 256824 447019 513762 841269 2190 7044 13697 23487 46418 137413 188104 371935 469334 333924 rec. 5144859 9200 52176 54957 100535 216868 513924 1076327 1807119 3337740 333991 firms 194 8 61 39 30 138 28 8 174 20 191 6 63 36 30 135 28 8 171 20 196 13 62 38 30 143 27 6 176 20 199 3 65 39 35 142 31 6 179 20 198 10 67 37 33 147 28 5 180 18 333991 estab. 214 8 61 39 30 138 28 10 176 38 218 6 63 36 30 135 28 9 172 46 218 13 62 38 30 143 28 6 177 41 220 3 65 39 35 142 31 6 179 41 217 10 67 37 33 147 28 5 180 37 333991 empl. 16642 [a] [c] 252 421 805 898 906 2609 14033 16698 0 156 231 431 818 1038 950 2806 13892 16551 0 144 244 423 811 1116 752 2679 13872 16025 [a] [c] 249 490 889 1190 736 2815 13210 13153 0 152 240 449 841 1025 815 2681 10472 333991 ann. pay. 540225 (D) (D) 8258 13161 25795 32201 30076 88072 452153 559070 455 5202 7959 12119 25735 36925 33869 96529 462541 564440 1190 4580 7631 14641 28042 38808 32391 99241 465199 536042 (D) (D) 7542 15013 27153 43671 31854 102678 433364 486606 6546 4650 7735 14891 33822 38430 27746 99998 386608 333991 rec. 3930038 56357 36108 57719 77763 227947 162384 153125 543456 3386582 333992 firms 231 17 33 37 30 117 61 29 207 24 253 31 44 30 34 139 69 22 230 23 256 26 49 37 30 142 71 21 234 22 263 17 73 32 32 154 70 20 244 19 237 15 47 40 43 145 58 18 221 16 333992 estab. 266 17 33 37 30 117 63 35 215 51 289 32 44 30 34 140 74 24 238 51 283 26 49 37 30 142 76 21 239 44 291 17 73 32 32 154 75 21 250 41 268 15 47 40 43 145 60 23 228 40 333992 empl. 20375 0 70 246 437 753 2384 4378 7515 12860 21411 0 108 188 483 779 2854 3519 7152 14259 20128 0 100 229 434 763 2753 3362 6878 13250 18484 0 150 208 446 804 2688 3375 6867 11617 17621 0 100 272 589 961 2258 2972 6191 11430 333992 ann. pay. 836151 413 1907 7414 17769 27503 93395 179605 300503 535648 892278 1415 2799 6143 18675 29032 112339 153010 294381 597897 914637 4119 2546 6932 17372 30969 112640 162089 305698 608939 857415 2528 4703 7235 17133 31599 106399 155644 293642 563773 856747 3519 3561 11013 25338 43431 95606 136024 275061 581686 333992 rec. 4211578 20622 16054 48637 107980 193293 379301 649354 1221948 2989630 333993 firms 637 22 133 106 104 365 176 55 596 41 609 18 135 96 100 349 160 58 567 42 598 17 137 89 100 343 158 55 556 42 595 26 136 91 101 354 157 47 558 37 600 24 157 104 91 376 147 41 564 36 333993 estab. 684 22 133 106 105 366 176 66 608 76 655 18 135 96 101 350 160 70 580 75 646 17 137 89 101 344 158 63 565 81 643 26 136 91 102 355 160 52 567 76 640 24 157 104 91 376 148 47 571 69 333993 empl. 30620 0 307 709 1351 2367 7706 8646 18719 11901 29589 0 325 636 1316 2277 7125 8387 17789 11800 28124 0 328 593 1342 2263 6956 8144 17363 10761 26673 0 305 612 1400 2317 7056 7296 16669 10004 23680 0 394 697 1209 2300 6398 5700 14398 9282 333993 ann. pay. 1268660 642 10615 21264 47108 79629 299079 362814 741522 527138 1291850 1783 12049 20470 49569 83871 283776 382516 750163 541687 1247061 689 12557 19342 45289 77877 287451 395784 761112 485949 1184356 4955 12279 20825 49189 87248 284056 371542 742846 441510 1141454 2293 13926 24127 44168 84514 286742 288443 659699 481755 333993 rec. 4273933 9387 45792 76815 144620 276614 890193 1020516 2187323 2086610 333994 firms 386 20 77 46 78 221 114 33 368 18 378 27 68 51 69 215 113 32 360 18 360 22 66 57 63 208 101 33 342 18 351 16 73 48 64 201 104 31 336 15 333 7 70 52 66 195 100 24 319 14 333994 estab. 411 20 77 46 78 221 117 39 377 34 402 27 68 51 69 215 116 37 368 34 385 22 66 57 63 208 103 38 349 36 378 16 73 48 64 201 109 39 349 29 355 7 71 52 66 196 105 28 329 26 333994 empl. 17218 0 168 308 1116 1592 4933 5546 12071 5147 15663 0 159 344 949 1452 4774 4844 11070 4593 15157 0 145 396 853 1394 4355 4634 10383 4774 14716 0 166 328 852 1346 4617 4878 10841 3875 11998 0 154 353 862 1369 3989 3443 8801 3197 333994 ann. pay. 655612 761 5265 10986 38162 55174 191086 218774 465034 190578 603053 817 5835 13721 31298 51671 197614 176330 425615 177438 613666 1304 9878 15057 32494 58733 179358 182808 420899 192767 585104 1541 6056 12896 32222 52715 178963 192928 424606 160498 490022 288 5930 13342 34257 53817 170975 145179 369971 120051 333994 rec. 1621901 1226 26104 49098 137200 213628 554504 402309 1170441 451460 333995 firms 274 7 55 46 45 153 68 28 249 25 265 10 55 45 41 151 60 29 240 25 261 6 59 42 37 144 65 30 239 22 261 9 62 44 31 146 66 28 240 21 258 5 62 37 34 138 66 30 234 24 333995 estab. 312 7 55 46 45 153 68 38 259 53 306 10 55 45 41 151 60 38 249 57 303 6 59 42 37 144 66 38 248 55 303 9 62 44 31 146 67 36 249 54 305 5 62 37 34 138 67 45 250 55 333995 empl. 23861 0 141 299 594 1034 2861 4525 8420 15441 23886 0 129 307 598 1034 2541 4653 8228 15658 22943 0 150 275 503 928 2784 5563 9275 13668 22908 0 140 306 415 861 2905 4873 8639 14269 20765 0 145 244 474 863 2624 4704 8191 12574 333995 ann. pay. 1072660 960 4352 8799 19485 33596 104999 158675 297270 775390 1033312 1136 4148 9229 19253 33766 99677 152767 286210 747102 1047035 75 4601 8595 18709 31980 106802 201952 340734 706301 1013707 383 3908 9285 14696 28272 108017 166524 302813 710894 883520 222 5249 8641 16436 30548 99811 172959 303318 580202 333995 rec. 3466811 890 18606 31409 59930 110835 300789 755373 1166997 2299814 333996 firms 155 7 24 34 30 95 28 15 138 17 145 2 22 36 26 86 25 13 124 21 141 6 25 33 19 83 27 11 121 20 141 7 26 33 25 91 20 12 123 18 140 2 32 35 26 95 19 11 125 15 333996 estab. 177 7 24 34 30 95 29 16 140 37 169 2 22 36 26 86 26 14 126 43 167 6 25 33 19 83 29 11 123 44 164 7 26 33 25 91 22 12 125 39 169 2 32 35 26 95 20 15 130 39 333996 empl. 16770 0 63 226 429 718 1140 2418 4276 12494 16465 [a] [b] 240 371 659 975 2177 3811 12654 16433 [a] [b] 222 251 540 1033 1708 3281 13152 15156 0 64 227 360 651 875 2000 3526 11630 12391 [a] [b] 239 350 664 650 1586 2900 9491 333996 ann. pay. 673865 777 1743 6730 14371 23621 36251 110233 170105 503760 696934 (D) (D) 6266 13445 21983 33714 120072 175769 521165 766644 (D) (D) 6813 9510 18836 37753 67829 124418 642226 802425 925 3065 7141 13487 24618 33357 86359 144334 658091 530365 (D) (D) 7579 13620 24412 24383 69044 117839 412526 333996 rec. 2387100 (D) (D) 33131 48294 (D) 94982 234698 425627 1961473 333997 firms 114 6 24 20 21 71 29 7 107 7 110 3 25 15 21 64 30 10 104 6 109 2 24 18 20 64 27 12 103 6 107 6 25 20 11 62 28 9 99 8 102 6 23 16 23 68 21 9 98 4 333997 estab. 124 6 24 20 21 71 31 7 109 15 119 3 25 15 21 64 32 12 108 11 117 2 24 18 20 64 29 13 106 11 121 6 25 20 11 62 30 10 102 19 109 6 23 16 24 69 21 11 101 8 333997 empl. 4871 [a] [b] 135 296 478 1100 577 2155 2716 4851 [a] [b] 96 281 432 1103 1391 2926 1925 4858 [a] [b] 124 270 451 991 1569 3011 1847 5012 [a] [b] 140 148 352 971 686 2009 3003 3469 [a] [b] 110 313 477 711 1336 2524 945 333997 ann. pay. 161721 (D) (D) 4253 9646 15624 45994 16334 77952 83769 169463 (D) (D) 2643 10026 14667 40606 43561 98834 70629 176394 (D) (D) 3794 8850 14665 38142 59334 112141 64253 196421 (D) (D) 4652 5025 12383 35890 19304 67577 128844 130127 (D) (D) 3932 11196 19086 29040 42371 90497 39630 333997 rec. 548124 (D) (D) 15939 35686 (D) 95956 173325 340746 207378 333999 firms 2059 164 634 382 300 1480 372 112 1964 95 1958 105 598 390 284 1377 375 111 1863 95 1888 108 565 378 271 1322 366 110 1798 90 1789 89 546 348 259 1242 363 101 1706 83 1683 89 515 295 262 1161 358 84 1603 80 333999 estab. 2143 164 634 382 300 1480 382 137 1999 144 2044 105 598 390 285 1378 385 134 1897 147 1979 108 565 378 272 1323 375 135 1833 146 1883 89 546 348 260 1243 368 124 1735 148 1771 89 515 295 262 1161 365 101 1627 144 333999 empl. 59428 0 1445 2570 4101 8116 14360 13518 35994 23434 58335 0 1327 2629 3828 7784 14553 13479 35816 22519 57610 0 1254 2538 3713 7505 14217 13343 35065 22545 56782 0 1231 2392 3597 7220 14207 12771 34198 22584 54828 0 1201 1983 3528 6712 13930 9559 30201 24627 333999 ann. pay. 2296188 11273 42819 75951 130577 260620 538085 506984 1305689 990499 2295934 11269 39956 75768 135257 262250 549939 508709 1320898 975036 2339062 9381 38351 83832 132290 263854 563969 520052 1347875 991187 2269323 4530 37688 75586 122759 240563 556218 489746 1286527 982796 2352420 3349 38081 65549 129036 236015 566224 379523 1181762 1170658 333999 rec. 8897547 18659 159886 241586 430115 850246 1972855 1490931 4314032 4583515 334111 firms 542 69 138 75 73 355 102 36 493 49 558 101 162 74 65 402 78 33 513 45 580 91 171 90 74 426 77 32 535 45 514 56 151 86 66 359 80 28 467 47 462 59 134 75 48 316 81 32 429 33 334111 estab. 570 69 138 75 73 355 105 36 496 74 590 101 162 74 65 402 80 33 515 75 617 92 171 90 74 427 79 32 538 79 546 56 151 86 66 359 84 28 471 75 486 59 134 75 48 316 84 36 436 50 334111 empl. 98556 0 312 497 973 1782 4153 5223 11158 87398 87448 0 365 476 882 1723 3005 4881 9609 77839 73968 0 383 588 978 1949 3175 4108 9232 64736 72507 0 319 583 859 1761 3443 4218 9422 63085 61660 0 322 502 625 1449 3432 4109 8990 52670 334111 ann. pay. 5372714 4345 10593 17518 37695 70151 189964 224830 484945 4887769 5331959 7890 15514 17404 37194 78002 150472 260594 489068 4842891 4844898 28516 16734 27271 43109 115630 154111 344381 614122 4230776 4316960 13556 15393 25030 42989 96968 213358 263142 573468 3743492 4011518 9270 11976 23564 29373 74183 209632 257354 541169 3470349 334111 rec. 47806467 34842 55137 103067 114183 307229 884167 1552307 2743703 45062764 334112 firms 196 20 42 22 22 106 47 19 172 24 199 22 45 30 23 120 42 17 179 20 193 17 49 28 28 122 34 15 171 22 184 19 45 24 23 111 40 15 166 18 157 18 38 15 17 88 38 16 142 15 334112 estab. 207 20 42 22 22 106 49 19 174 33 210 22 46 31 23 122 42 18 182 28 202 17 49 29 28 123 34 15 172 30 193 19 45 25 23 112 40 15 167 26 167 18 38 16 17 89 39 18 146 21 334112 empl. 43529 0 104 142 300 546 1722 3375 5643 37886 43402 0 111 193 321 625 1726 2676 5027 38375 34785 [a] [c] 204 409 732 1398 1652 3782 31003 33357 0 100 164 321 585 1567 2682 4834 28523 24336 0 98 97 218 413 1405 2901 4719 19617 334112 ann. pay. 2125803 9470 3944 6268 12084 31766 86408 164412 282586 1843217 2065431 1645 4036 9335 11372 26388 88760 194107 309255 1756176 1717014 (D) (D) 9726 22896 96865 80436 105880 283181 1433833 1806202 4786 4808 5863 18649 34106 70759 193626 298491 1507711 1424788 2351 4971 3802 11027 22151 90991 185675 298817 1125971 334112 rec. 9020439 16149 32215 26444 56486 131294 395358 752916 1279568 7740871 334113 firms 153 23 53 16 19 111 29 6 146 7 134 15 39 21 23 98 25 5 128 6 131 15 43 16 21 95 25 5 125 6 130 10 34 22 24 90 26 7 123 7 98 8 23 14 17 62 25 7 94 4 334113 estab. 154 23 53 16 19 111 29 6 146 8 134 15 39 21 23 98 25 5 128 6 132 15 43 16 21 95 25 5 125 7 133 10 34 22 24 90 26 7 123 10 100 8 23 14 17 62 25 8 95 5 334113 empl. 5023 0 117 100 249 466 1190 1202 2858 2165 4163 0 87 126 313 526 1042 844 2412 1751 3417 [a] [c] 109 294 503 1183 699 2385 1032 10411 0 67 146 350 563 1153 886 2602 7809 4434 0 56 99 222 377 932 1147 2456 1978 334113 ann. pay. 225702 3759 4457 3325 9619 21160 53188 65139 139487 86215 160079 4792 3585 4260 11672 24309 40650 38660 103619 56460 162567 (D) (D) 4616 12792 25265 54912 28544 108721 53846 425507 219 3622 6422 18491 28754 53225 36455 118434 307073 210355 410 2917 3888 10582 17797 53176 52206 123179 87176 334113 rec. 4589828 1389 15372 13754 32267 62782 324491 263288 650561 3939267 334119 firms 1069 135 301 127 172 735 180 72 987 82 1047 115 267 158 153 693 203 71 967 80 1082 132 307 151 141 731 205 70 1006 76 1005 83 280 140 149 652 197 73 922 83 772 63 176 125 110 474 165 71 710 62 334119 estab. 1119 135 301 127 172 735 187 75 997 122 1108 115 267 158 153 693 210 80 983 125 1126 132 307 151 141 731 209 80 1020 106 1044 83 280 140 150 653 200 81 934 110 815 63 176 125 110 474 169 85 728 87 334119 empl. 96056 0 708 864 2383 3955 7178 10993 22126 73930 89802 0 592 1058 2047 3697 8078 10795 22570 67232 81727 0 658 1033 1908 3599 8637 10561 22797 58930 83362 0 610 925 2048 3583 8465 11237 23285 60077 64707 0 360 845 1537 2742 6885 10092 19719 44988 334119 ann. pay. 4904229 38966 28771 30824 102511 201072 307179 459099 967350 3936879 4782825 8158 24679 39813 97915 170565 410307 516517 1097389 3685436 5088490 40793 26963 47133 100562 215451 454857 926659 1596967 3491523 4823668 7674 24824 35243 102468 170209 401433 663796 1235438 3588230 3902551 4688 15031 33384 70607 123710 347986 668914 1140610 2761941 334119 rec. 18135194 25944 83284 184614 373704 667546 1680450 2711946 5059942 13075252 334210 firms 561 46 94 71 63 274 134 80 488 73 549 40 104 66 61 271 133 76 480 69 556 55 101 74 60 290 123 75 488 68 525 27 109 72 57 265 110 81 456 69 423 35 69 55 45 204 107 55 366 57 334210 estab. 615 46 94 71 63 274 135 94 503 112 609 40 104 66 61 271 135 86 492 117 616 56 101 74 60 291 125 82 498 118 574 27 109 72 57 265 112 85 462 112 485 35 71 56 45 207 110 57 374 111 334210 empl. 97046 0 210 467 898 1575 5951 13097 20623 76423 98373 0 236 448 843 1527 6183 12373 20083 78290 83117 0 230 496 823 1549 5847 12290 19686 63431 86964 0 237 493 810 1540 5116 14609 21265 65699 65176 0 155 367 594 1116 5021 8187 14324 50852 334210 ann. pay. 7545310 13345 13215 19914 45290 91764 356211 737451 1185426 6359884 8429599 50994 10045 16369 41955 119363 409088 845967 1374418 7055181 7252927 48915 14607 23109 40752 127383 441411 1089959 1658753 5594174 5789793 7468 14061 23646 50343 95518 310951 1156798 1563267 4226526 4591461 16073 6711 17042 29482 69308 330759 535799 935866 3655595 334210 rec. 29785834 60067 43640 66418 116360 286485 1109319 2400168 3795972 25989862 334220 firms 1088 80 192 124 158 554 299 116 969 119 1057 78 196 131 149 554 287 106 947 110 1067 115 200 123 137 575 276 115 966 101 1023 60 202 128 140 530 279 111 920 103 937 62 145 126 136 469 270 99 838 99 334220 estab. 1216 80 192 124 158 554 306 135 995 221 1182 78 196 131 149 554 292 129 975 207 1200 115 200 123 137 575 280 141 996 204 1158 60 202 128 140 530 296 123 949 209 1069 62 145 126 136 469 281 110 860 209 334220 empl. 155223 0 435 847 2229 3511 12431 19037 34979 120244 147123 0 441 897 2032 3370 12069 17490 32929 114194 148347 0 432 822 1931 3185 11526 20672 35383 112964 153962 0 420 864 1960 3244 12062 19656 34962 119000 117229 0 310 849 1892 3051 11735 17554 32340 84889 334220 ann. pay. 7680288 14834 14173 33499 91948 154454 538155 834970 1527579 6152709 7831204 8170 18752 35261 89577 151760 551228 928414 1631402 6199802 8937337 40947 18736 33333 87838 180854 588944 1248455 2018253 6919084 8859028 11101 16054 38486 83777 149418 574157 1075379 1798954 7060074 7487693 6269 12857 36015 79036 134177 583201 1001879 1719257 5768436 334220 rec. 38513924 26380 56203 143055 299297 524935 1995757 3581934 6102626 32411298 334290 firms 463 32 148 92 54 326 71 35 432 31 445 26 143 78 57 304 72 36 412 33 455 41 142 69 62 314 71 38 423 32 431 26 141 64 58 289 69 42 400 31 428 31 143 67 60 301 66 32 399 29 334290 estab. 496 32 148 92 55 327 73 41 441 55 475 26 143 78 57 304 73 40 417 58 489 41 142 69 62 314 72 42 428 61 468 26 141 64 58 289 69 48 406 62 454 31 143 67 60 301 68 35 404 50 334290 empl. 24660 0 331 611 714 1656 3060 4766 9482 15178 24896 0 331 511 742 1584 2976 4913 9473 15423 25037 0 298 454 835 1587 3099 5118 9804 15233 28572 0 311 429 803 1543 2757 6905 11205 17367 23850 0 292 459 799 1550 2799 4313 8662 15188 334290 ann. pay. 924167 9011 11583 20524 20600 61718 114096 163795 339609 584558 964860 3834 13279 17305 23924 58342 129040 174599 361981 602879 1242981 7203 9149 19800 33029 69181 154726 327364 551271 691710 1526328 2842 11598 19074 31970 65484 116951 372286 554721 971607 1267281 5164 12670 19491 35791 73116 136327 211080 420523 846758 334290 rec. 5511238 23066 53266 78981 146674 301987 602995 858076 1763058 3748180 334310 firms 531 63 153 71 77 364 97 45 506 25 506 57 143 79 74 353 89 39 481 25 533 60 154 86 68 368 99 45 512 21 537 59 166 83 64 372 98 43 513 24 598 58 183 104 88 433 101 42 576 22 334310 estab. 572 63 153 71 77 364 101 54 519 53 539 57 143 79 74 353 94 47 494 45 560 60 154 86 68 368 99 53 520 40 561 59 166 83 64 372 98 48 518 43 623 58 183 104 88 433 103 47 583 40 334310 empl. 32829 0 357 470 1020 1847 4145 7597 13589 19240 28188 0 325 540 1034 1899 3899 6619 12417 15771 30127 0 347 568 914 1829 4148 8212 14189 15938 28686 0 379 564 873 1816 4382 6785 12983 15703 25344 0 413 691 1164 2268 4441 5763 12472 12872 334310 ann. pay. 1019089 6020 8944 12598 28655 56217 120742 238929 415888 603201 977934 12339 9397 15830 33809 71375 124441 221606 417422 560512 1001995 9396 11903 20089 34388 75776 135993 267657 479426 522569 1005565 4281 12639 22450 30478 69848 164743 221567 456158 549407 1043741 3757 14333 27283 47460 92833 209585 208884 511302 532439 334310 rec. 9393398 23187 75617 122512 209684 431000 913555 1447223 2791778 6601620 334411 firms 134 12 24 23 22 81 22 12 115 19 132 11 26 25 19 81 20 15 116 16 132 8 27 29 16 80 19 17 116 16 131 11 29 17 21 78 18 20 116 15 105 6 22 15 14 57 20 15 92 13 334411 estab. 151 12 24 23 22 81 22 15 118 33 151 11 26 25 19 81 21 18 120 31 150 8 27 29 16 80 20 19 119 31 147 11 29 17 21 78 19 22 119 28 120 6 22 15 14 57 21 25 103 17 334411 empl. 19665 [a] [b] 153 291 501 1032 2085 3618 16047 18000 0 67 174 249 490 921 2704 4115 13885 17073 0 61 201 223 485 834 2758 4077 12996 16524 0 69 109 282 460 756 3351 4567 11957 13604 0 52 96 174 322 947 2120 3389 10215 334411 ann. pay. 741410 (D) (D) 4759 8413 17795 32048 73386 123229 618181 696089 2058 1769 6346 7365 17538 32833 100658 151029 545060 661746 5985 1687 7694 8156 23522 36305 99477 159304 502442 644533 1141 2301 3903 10046 17391 26273 111013 154677 489856 605500 854 5322 3593 6691 16460 35122 84971 136553 468947 334411 rec. 2818846 5080 31220 20356 31760 88416 110220 267507 466143 2352703 334412 firms 1311 108 275 187 204 774 360 121 1255 56 1293 82 287 194 222 785 338 117 1240 53 1269 93 264 197 191 745 357 106 1208 61 1223 61 259 185 193 698 353 106 1157 66 1053 65 198 173 175 611 309 80 1000 53 334412 estab. 1391 108 275 187 205 775 364 143 1282 109 1374 82 287 195 223 787 342 142 1271 103 1362 93 264 198 192 747 360 131 1238 124 1314 61 259 186 194 700 355 128 1183 131 1127 65 199 173 175 612 319 102 1033 94 334412 empl. 81432 0 622 1289 2787 4698 15927 20346 40971 40461 76413 0 635 1284 3055 4974 15198 18577 38749 37664 77389 0 585 1340 2706 4631 15676 17363 37670 39719 80070 0 537 1240 2746 4523 15960 16863 37346 42724 54117 0 429 1171 2457 4057 12868 11966 28891 25226 334412 ann. pay. 2585656 15910 18265 32818 70477 137470 449254 619403 1206127 1379529 2701963 22535 22609 36387 83443 164974 488002 595081 1248057 1453906 3046224 20120 20425 41971 85974 168490 545502 656961 1370953 1675271 2583134 16291 20840 38977 77217 153325 469800 555876 1179001 1404133 1905932 21146 14160 41798 74885 151989 437225 418592 1007806 898126 334412 rec. 7881262 374096 58958 145684 306450 885188 1463905 1540163 3889256 3992006 334413 firms 1023 96 226 149 135 606 194 101 901 122 1020 74 233 160 129 596 206 91 893 127 1036 89 230 144 127 590 222 102 914 122 1040 72 237 132 126 567 234 117 918 122 953 71 211 121 126 529 215 105 849 104 334413 estab. 1154 96 227 149 135 607 197 113 917 237 1155 74 233 160 129 596 211 108 915 240 1190 89 230 144 127 590 228 117 935 255 1177 73 237 132 126 568 237 137 942 235 1098 71 211 121 126 529 220 138 887 211 334413 empl. 208174 0 498 1021 1876 3395 7738 19002 30135 178039 205596 0 493 1083 1835 3411 8739 16716 28866 176730 207211 0 490 966 1729 3185 9378 18470 31033 176178 225078 0 500 907 1654 3061 10228 20938 34227 190851 170775 0 448 795 1754 2997 8766 17513 29276 141499 334413 ann. pay. 11431592 40548 24953 52251 85058 202810 374000 1031841 1608651 9822941 13120879 26625 23941 55483 99749 205798 500600 1130397 1836795 11284084 17931732 22622 25063 54133 96853 198671 581525 1805241 2585437 15346295 15016106 7690 22539 45087 103143 178459 595141 1283924 2057524 12958582 11113930 9854 19776 39725 98743 168098 502924 1149372 1820394 9293536 334413 rec. 63779094 41818 85495 186420 428927 742660 1754849 3710683 6208192 57570902 334414 firms 107 5 18 8 11 42 35 14 91 16 110 6 20 11 10 47 31 16 94 16 101 2 13 11 12 38 30 14 82 19 101 3 11 8 13 35 34 14 83 18 98 5 16 8 13 42 28 14 84 14 334414 estab. 125 5 18 8 11 42 36 16 94 31 128 6 20 11 10 47 32 21 100 28 120 2 13 11 12 38 30 15 83 37 119 3 11 8 13 35 34 15 84 35 118 5 16 8 14 43 28 14 85 33 334414 empl. 18267 0 47 55 163 265 1591 2659 4515 13752 15602 0 43 70 150 263 1305 3234 4802 10800 16880 [a] [b] 71 180 285 1314 2011 3610 13270 18236 [a] [b] 52 181 257 1603 2107 3967 14269 11326 [a] [b] 50 187 277 1228 1717 3222 8104 334414 ann. pay. 498888 273 1304 1150 4861 7588 47260 75121 129969 368919 476886 915 1233 1796 5490 9434 38514 92818 140766 336120 594353 (D) (D) 1898 10674 14143 43391 64956 122490 471863 559341 (D) (D) 1225 7510 10458 46863 68106 125427 433914 395420 (D) (D) 1269 7648 10695 35929 57335 103959 291461 334414 rec. 1711484 (D) (D) 4459 22755 (D) 139024 288329 462534 1248950 334415 firms 88 6 8 9 5 28 28 16 72 16 88 5 12 12 5 34 25 14 73 15 80 4 10 8 6 28 25 11 64 16 77 1 7 10 6 24 22 14 60 17 63 2 3 7 5 17 24 10 51 12 334415 estab. 111 6 8 9 5 28 28 24 80 31 109 5 12 12 5 34 25 21 80 29 102 4 10 8 6 28 26 16 70 32 99 1 7 10 6 24 23 18 65 34 86 2 3 7 5 17 24 17 58 28 334415 empl. 11483 [a] [b] 58 75 154 1433 2728 4315 7168 10196 0 24 84 83 191 1356 2153 3700 6496 9863 [a] [b] 60 90 173 1389 1629 3191 6672 10629 [a] [a] 72 87 178 1134 2128 3440 7189 7168 [a] [a] 48 77 131 1179 1375 2685 4483 334415 ann. pay. 301869 (D) (D) 1588 2996 6249 39304 57527 103080 198789 299350 158 692 2461 3072 6383 43537 57863 107783 191567 338715 (D) (D) 1492 3790 7962 46210 63387 117559 221156 314016 (D) (D) 1625 4041 6199 34294 57703 98196 215820 241704 (D) (D) 1124 3143 4626 40331 49071 94028 147676 334415 rec. 964154 (D) (D) 3820 11111 (D) 112080 139489 267830 696324 334416 firms 431 33 65 63 63 224 138 42 404 27 417 16 81 60 55 212 137 43 392 25 405 21 77 51 57 206 136 38 380 25 380 11 70 48 58 187 134 37 358 22 374 20 79 49 58 206 121 28 355 19 334416 estab. 456 33 65 63 63 224 146 50 420 36 447 16 81 61 55 213 142 56 411 36 435 21 77 51 57 206 141 49 396 39 408 11 70 48 58 187 138 49 374 34 400 20 79 49 58 206 128 37 371 29 334416 empl. 19925 0 142 434 896 1472 6372 6309 14153 5772 18454 0 167 406 781 1354 5933 5853 13140 5314 18004 0 164 363 814 1341 6058 5528 12927 5077 17278 0 145 328 860 1333 6001 5362 12696 4582 13488 0 176 337 804 1317 5331 3416 10064 3424 334416 ann. pay. 470162 3570 3563 10929 25443 43505 148877 142425 334807 135355 476013 1425 5245 11582 22962 41214 152276 146290 339780 136233 514853 4083 4579 11507 31029 51198 165708 148266 365172 149681 459695 817 5256 10034 25644 41751 150532 138285 330568 129127 400293 13933 6396 11633 26054 58016 153942 99580 311538 88755 334416 rec. 1463922 89740 19800 43914 79706 233160 453989 272739 959888 504034 334417 firms 283 20 49 31 34 134 70 41 245 38 274 11 51 32 34 128 72 36 236 38 280 19 49 31 31 130 72 40 242 38 285 17 49 29 38 133 78 36 247 38 266 12 44 34 39 129 68 34 231 35 334417 estab. 344 20 49 31 34 134 72 45 251 93 333 11 51 32 34 128 73 44 245 88 322 19 49 31 31 130 73 45 248 74 330 17 49 29 38 133 79 40 252 78 308 12 44 34 39 129 69 38 236 72 334417 empl. 39196 0 110 209 510 829 3067 6572 10468 28728 34477 0 118 208 464 790 3253 6223 10266 24211 34209 0 119 213 436 768 3014 6375 10157 24052 37235 0 124 207 541 872 3492 6278 10642 26593 33919 0 96 222 533 851 2890 5584 9325 24594 334417 ann. pay. 1190781 3645 3517 6981 16516 30659 95894 213763 340316 850465 1189392 3171 4039 5825 13713 26748 105677 227622 360047 829345 1359929 13877 4593 6997 13523 38990 119400 263433 421823 938106 1340390 1175 5179 10064 19258 35676 141060 238579 415315 925075 1135372 3912 3724 10568 21448 39652 113958 216784 370394 764978 334417 rec. 4599633 16164 16088 114695 79753 226700 328292 771365 1326357 3273276 334418 firms 665 27 54 31 74 186 284 120 590 75 668 44 65 38 67 214 270 110 594 74 638 37 77 39 60 213 242 112 567 71 644 44 68 61 69 242 227 107 576 68 652 38 88 63 74 263 235 94 592 60 334418 estab. 719 27 54 31 74 186 285 127 598 121 730 44 65 38 67 214 272 115 601 129 708 38 77 39 60 214 242 122 578 130 716 44 68 61 69 242 230 114 586 130 720 38 88 63 74 263 242 103 608 112 334418 empl. 96388 0 125 200 1049 1374 13398 21280 36052 60336 94665 0 137 259 933 1329 12524 17716 31569 63096 101263 0 189 268 873 1330 11427 19479 32236 69027 105810 0 146 401 975 1522 10821 17704 30047 75763 80021 0 207 439 1057 1703 10248 13806 25757 54264 334418 ann. pay. 3385690 7720 6287 7913 36569 58489 453863 757045 1269397 2116293 3677090 5228 7960 10922 39552 63662 427379 718409 1209450 2467640 4034656 6858 9800 11899 39355 67912 428528 780967 1277407 2757249 4005786 6445 7375 18584 43036 75440 406325 621313 1103078 2902708 3350122 11389 10021 18899 41289 81598 423366 502540 1007504 2342618 334418 rec. 21762837 80240 81025 109744 255791 526800 1831550 2396470 4754820 17008017 334419 firms 1696 104 405 256 245 1010 397 161 1568 128 1652 102 414 251 229 996 379 152 1527 125 1614 108 379 230 233 950 385 156 1491 123 1550 73 353 250 207 883 399 146 1428 122 1489 75 357 234 239 905 355 125 1385 104 334419 estab. 1793 104 405 257 245 1011 406 178 1595 198 1754 103 414 251 229 997 385 173 1555 199 1715 108 379 230 233 950 389 176 1515 200 1663 74 353 250 207 884 405 162 1451 212 1583 75 357 234 240 906 366 146 1418 165 334419 empl. 93509 0 899 1755 3364 6018 17183 25416 48617 44892 88808 0 961 1694 3087 5742 16395 23312 45449 43359 89485 0 842 1528 3190 5560 16703 23811 46074 43411 92300 0 782 1712 2909 5403 18160 23225 46788 45512 74527 0 797 1583 3271 5651 15473 18257 39381 35146 334419 ann. pay. 2975289 9782 24271 55029 96670 185752 495418 743279 1424449 1550840 3058366 11428 30635 57674 99097 198834 547730 772537 1519101 1539265 3458475 10950 29710 54763 113445 208868 626671 786530 1622069 1836406 3373970 22206 26743 57853 101557 208359 638356 780400 1627115 1746855 2784396 6508 29884 56719 112121 205232 557680 674829 1437741 1346655 334419 rec. 9912004 38085 122061 243391 405963 809500 1875370 2303055 4987925 4924079 334510 firms 486 40 94 55 64 253 108 59 420 66 452 23 77 76 59 235 105 52 392 60 442 33 72 61 69 235 95 54 384 58 417 16 89 59 59 223 85 55 363 54 456 40 110 57 59 266 86 53 405 51 334510 estab. 546 40 94 55 64 253 110 64 427 119 512 23 77 76 59 235 107 56 398 114 510 33 72 61 69 235 96 60 391 119 475 16 89 59 59 223 86 57 366 109 516 40 110 57 59 266 90 55 411 105 334510 empl. 53825 0 221 394 848 1463 4630 8892 14985 38840 55695 0 173 514 810 1497 4749 8585 14831 40864 54548 0 173 402 968 1543 3959 8434 13936 40612 50808 0 198 404 824 1426 3718 8502 13646 37162 50049 0 243 390 798 1431 3971 8110 13512 36537 334510 ann. pay. 2763771 10261 8171 13316 31002 62750 201766 445212 709728 2054043 2884929 2514 6488 18858 33200 61060 218593 568549 848202 2036727 2867364 6692 8135 18460 39646 72933 188731 477000 738664 2128700 2812578 858 9659 15619 31953 58089 193467 487401 738957 2073621 2866615 4324 11189 17347 38818 71678 225712 461170 758560 2108055 334510 rec. 14445656 22726 47711 59490 133253 263180 703218 1672908 2639306 11806350 334511 firms 570 26 146 91 82 345 108 52 505 65 549 28 131 84 85 328 105 49 482 67 529 30 137 80 79 326 93 51 470 59 540 26 143 77 79 325 102 53 480 60 519 39 135 69 76 319 94 47 460 59 334511 estab. 704 26 147 91 82 346 110 60 516 188 678 28 132 84 85 329 106 54 489 189 665 30 138 80 79 327 94 60 481 184 668 26 144 77 79 326 103 60 489 179 673 39 136 69 76 320 97 54 471 202 334511 empl. 188186 0 352 607 1161 2120 4305 7420 13845 174341 190991 0 302 545 1141 1988 4308 7821 14117 176874 176083 0 334 529 1071 1934 3731 7735 13400 162683 176444 0 339 511 1054 1904 4165 7336 13405 163039 163424 0 320 449 1043 1812 3918 7177 12907 150517 334511 ann. pay. 10370006 6873 11157 21548 44836 84414 154557 367456 606427 9763579 10966792 1265 10813 22267 42153 76498 150242 353956 580696 10386096 10678606 4856 11175 20127 43621 79779 144483 388075 612337 10066269 11054301 2855 14495 18665 48246 84261 170465 410804 665530 10388771 10289590 7630 14482 17223 45249 84584 172038 423672 680294 9609296 334511 rec. 34536938 24126 47039 52677 207281 331123 514682 1723678 2569483 31967455 334512 firms 311 16 80 50 42 188 75 17 280 31 310 27 81 47 40 195 78 15 288 22 300 27 80 39 45 191 77 10 278 22 307 24 81 46 55 206 66 13 285 22 320 23 106 45 47 221 64 13 298 22 334512 estab. 339 16 80 51 42 189 75 20 284 55 331 27 81 48 40 196 78 16 290 41 319 27 80 39 45 191 78 11 280 39 329 24 81 46 55 206 67 14 287 42 337 23 106 45 47 221 65 14 300 37 334512 empl. 24966 0 182 317 613 1112 3072 2675 6859 18107 21051 0 186 314 558 1058 2961 1862 5881 15170 20061 0 185 266 621 1072 3090 1539 5701 14360 19781 0 201 302 760 1263 2675 1913 5851 13930 16717 0 233 286 669 1188 2575 1746 5509 11208 334512 ann. pay. 870775 692 5763 9690 21424 37569 107465 85238 230272 640503 751601 964 5408 10650 18083 35105 105845 66761 207711 543890 740849 4483 5678 8792 23013 41966 111331 46400 199697 541152 691772 597 6167 9057 28719 44540 109001 57478 211019 480753 655187 5084 7577 11239 25479 49379 103241 60069 212689 442498 334512 rec. 3133515 24396 37753 52801 95123 210073 362729 239563 812365 2321150 334513 firms 939 68 234 155 122 579 221 60 860 79 911 44 256 140 132 572 206 62 840 71 882 53 221 147 141 562 188 59 809 73 908 37 266 133 151 587 185 65 837 71 929 60 277 142 146 625 176 61 862 67 334513 estab. 1025 68 234 155 122 579 225 71 875 150 1000 44 256 140 132 572 208 77 857 143 968 53 221 147 141 562 192 72 826 142 994 37 266 133 151 587 187 81 855 139 1011 60 277 142 146 625 181 72 878 133 334513 empl. 48838 0 544 1030 1660 3234 9079 7436 19749 29089 45612 0 625 911 1795 3331 8574 7019 18924 26688 41476 0 520 952 1930 3402 7714 6783 17899 23577 41114 0 629 877 2017 3523 7523 8146 19192 21922 37731 0 646 939 2010 3595 6775 7572 17942 19789 334513 ann. pay. 2086142 6014 20101 35817 62414 124346 380902 320859 826107 1260035 2053741 2186 23708 34226 68934 129054 366252 317246 812552 1241189 2010448 11061 20219 37434 80605 149319 349739 301764 800822 1209626 1935477 2443 25379 33944 86259 148025 349443 395727 893195 1042282 1797342 8350 22581 39784 91306 162021 311227 359412 832660 964682 334513 rec. 6736185 31826 85326 170879 302695 590726 999008 1238769 2828503 3907682 334514 firms 214 6 54 37 32 129 50 15 194 20 199 9 46 29 37 121 45 13 179 20 190 6 50 26 31 113 43 11 167 23 189 6 45 32 27 110 47 10 167 22 217 15 54 36 31 136 47 10 193 24 334514 estab. 225 6 54 37 32 129 50 17 196 29 212 9 46 29 37 121 45 15 181 31 205 6 50 26 31 113 43 12 168 37 203 6 45 32 27 110 47 13 170 33 230 15 54 36 31 136 47 11 194 36 334514 empl. 15929 0 127 241 484 852 1872 2147 4871 11058 16183 [a] [c] 190 516 818 1702 2196 4716 11467 16288 0 127 190 444 761 1686 1504 3951 12337 15561 0 108 213 381 702 1793 1680 4175 11386 12068 0 125 235 458 818 1745 1375 3938 8130 334514 ann. pay. 665184 276 3521 8104 14565 26466 62726 62417 151609 513575 722000 (D) (D) 7643 16904 28519 56950 65941 151410 570590 797360 181 4571 7893 16664 29309 59265 44687 133261 664099 629088 215 4574 8032 13582 26403 63081 49889 139373 489715 503017 735 4614 9135 18265 32749 62691 52570 148010 355007 334514 rec. 4661945 3260 19392 35744 64031 122427 212139 371850 706416 3955529 334515 firms 764 50 171 132 102 455 182 62 699 65 742 42 169 127 103 441 173 67 681 61 711 48 148 123 96 415 161 76 652 59 695 32 163 109 97 401 159 79 639 56 717 41 184 116 100 441 153 67 661 56 334515 estab. 838 50 171 132 102 455 188 74 717 121 824 42 169 127 103 441 178 85 704 120 791 48 148 123 96 415 166 98 679 112 769 32 163 109 97 401 163 99 663 106 783 41 184 116 100 441 160 86 687 96 334515 empl. 62827 0 379 874 1444 2697 7639 9585 19921 42906 60722 0 387 858 1445 2690 7170 10454 20314 40408 58992 0 354 816 1376 2546 6680 12256 21482 37510 62447 0 379 735 1355 2469 6483 12958 21910 40537 56816 0 449 759 1429 2637 6577 9852 19066 37750 334515 ann. pay. 3283624 15755 13966 34083 63162 126966 345320 454087 926373 2357251 3652266 5485 15054 39010 66779 126328 350796 538095 1015219 2637047 4464706 3505 15640 32705 71363 123213 383761 800801 1307775 3156931 4267812 5952 16892 28306 58596 109746 332105 767094 1208945 3058867 3572073 9532 18849 28731 69646 126758 330779 577192 1034729 2537344 334515 rec. 10963741 30676 71390 100844 218829 421739 908423 1801744 3131906 7831835 334516 firms 605 36 171 99 82 388 126 48 562 43 578 35 170 82 79 366 127 40 533 45 556 38 155 81 76 350 120 43 513 43 545 25 159 85 66 335 117 46 498 47 542 33 145 87 70 335 117 42 494 48 334516 estab. 655 36 171 99 82 388 126 59 573 82 633 35 170 82 79 366 128 51 545 88 612 38 155 81 76 350 122 51 523 89 595 25 159 85 66 335 118 54 507 88 591 34 145 87 70 336 118 50 504 87 334516 empl. 36758 0 387 664 1141 2192 5076 7460 14728 22030 35320 [a] [e] 531 1045 1968 5231 5913 13112 22208 34620 0 361 518 1038 1917 4877 6298 13092 21528 34877 0 348 564 926 1838 4535 6219 12592 22285 34350 0 307 589 986 1882 4808 5267 11957 22393 334516 ann. pay. 1870076 2236 14079 24227 46154 86696 219702 354103 660501 1209575 1900515 (D) (D) 22464 43897 127125 237059 298061 662245 1238270 1973128 9758 13580 19912 49979 93229 249219 319879 662327 1310801 2037237 981 13077 25902 40565 80525 226963 339622 647110 1390127 2060242 3549 11544 27626 47134 89853 266152 296199 652204 1408038 334516 rec. 8364061 17430 48881 93616 158418 318345 860768 1060550 2239663 6124398 334517 firms 145 14 28 22 25 89 32 10 131 14 142 11 30 20 26 87 29 13 129 13 138 8 34 14 26 82 28 13 123 15 142 6 37 19 25 87 29 12 128 14 144 13 34 17 22 86 29 11 126 18 334517 estab. 164 14 28 22 25 89 32 13 134 30 163 11 30 20 26 87 29 18 134 29 155 8 34 14 26 82 28 17 127 28 160 6 37 19 25 87 29 15 131 29 161 13 34 17 22 86 30 13 129 32 334517 empl. 13026 0 62 135 357 554 1380 1626 3560 9466 14460 [a] [b] 119 361 538 1188 2273 3999 10461 12748 0 79 98 365 542 1102 1655 3299 9449 12572 0 77 137 364 578 1146 1589 3313 9259 11801 0 72 121 288 481 1123 1335 2939 8862 334517 ann. pay. 690321 616 2398 5215 14426 22655 68140 79441 170236 520085 779304 (D) (D) 3988 14899 22599 51893 122114 196606 582698 778186 861 2808 3648 16222 23539 53074 92621 169234 608952 829657 920 3632 5225 14898 24675 72095 84517 181287 648370 847937 1358 5329 4527 14999 26213 56220 89292 171725 676212 334517 rec. 4608871 4983 26071 21172 58797 111023 212285 301753 625061 3983810 334518 firms 170 12 55 27 5 99 41 13 153 17 137 6 54 20 7 87 30 10 127 10 131 12 49 14 13 88 26 8 122 9 126 9 49 13 12 83 25 11 119 7 111 6 40 16 9 71 24 10 105 6 334518 estab. 172 12 55 27 5 99 41 14 154 18 139 6 54 20 7 87 30 12 129 10 133 12 49 14 13 88 26 10 124 9 128 9 49 13 12 83 25 13 121 7 114 6 40 16 9 71 24 12 107 7 334518 empl. 9512 0 123 187 72 382 1740 1715 3837 5675 6518 [a] [c] 133 78 323 1204 998 2525 3993 5844 0 95 89 160 344 1208 770 2322 3522 5393 0 101 83 135 319 1114 1265 2698 2695 3704 0 68 108 116 292 854 1038 2184 1520 334518 ann. pay. 275518 3275 2853 4453 1808 12389 62663 43337 118389 157129 201851 (D) (D) 2267 1337 6357 40370 31462 78189 123662 188165 1009 2209 1527 3591 8336 40863 24929 74128 114037 175997 488 2102 1755 3833 8178 38200 32591 78969 97028 125692 42 1513 2362 3509 7426 31408 28439 67273 58419 334518 rec. 702297 449 5860 7390 13851 27550 133509 189486 350545 351752 334519 firms 850 54 206 116 141 517 196 77 790 60 831 51 216 114 131 512 184 68 764 67 809 42 209 111 127 489 191 63 743 66 796 39 209 118 127 493 183 62 738 58 770 38 196 123 131 488 173 57 718 52 334519 estab. 873 54 206 116 142 518 198 83 799 74 859 51 216 114 132 513 186 74 773 86 843 42 209 111 128 490 193 69 752 91 830 39 210 118 127 494 184 69 747 83 812 38 196 123 131 488 180 64 732 80 334519 empl. 34915 0 450 792 1949 3191 8186 10504 21881 13034 35930 0 482 780 1851 3113 7793 9088 19994 15936 40856 0 493 761 1754 3008 8034 8214 19256 21600 34499 0 477 794 1737 3008 7894 8487 19389 15110 30892 0 445 802 1750 2997 6891 6894 16782 14110 334519 ann. pay. 1506537 9008 16997 29117 82518 137640 349516 416378 903534 603003 1880673 12364 17804 29879 80539 140586 343198 359695 843479 1037194 1996826 2729 18256 32716 77636 131337 360047 395584 886968 1109858 1638072 4933 23001 33826 73611 135371 359057 375857 870285 767787 1538100 4601 15408 31824 77075 128908 318706 331891 779505 758595 334519 rec. 5478274 21315 75972 106558 231320 435165 1015435 1050486 2501086 2977188 334611 firms 81 7 18 9 11 45 19 9 73 8 97 9 24 9 14 56 22 12 90 7 91 8 22 10 15 55 20 9 84 7 139 16 47 25 16 104 25 5 134 5 197 31 89 25 22 167 22 7 196 1 334611 estab. 93 7 18 9 11 45 19 13 77 16 104 9 24 9 14 56 22 16 94 10 98 8 22 10 15 55 20 13 88 10 143 16 47 25 16 104 27 7 138 5 203 31 89 25 22 167 24 11 202 1 334611 empl. 4528 0 49 49 161 259 841 834 1934 2594 4301 0 58 55 164 277 939 1602 2818 1483 3599 0 48 58 191 297 802 1187 2286 1313 2859 0 108 167 206 481 865 501 1847 1012 2995 [a] 189 168 309 [f] 779 759 [g] [f] 334611 ann. pay. 240429 3825 1972 2240 6612 14649 42361 34620 91630 148799 194186 1037 2159 1902 6101 11199 43686 57857 112742 81444 184921 517 1700 1615 7286 11118 29940 57125 98183 86738 148205 970 4664 6595 6732 18961 56089 28302 103352 44853 146556 (D) 8822 7795 11303 (D) 39252 41652 (D) (D) 334611 rec. 506398 (D) 46966 52582 45379 (D) 119138 183441 (D) (D) 334612 firms 505 47 175 83 74 379 74 38 491 14 487 57 161 83 64 365 76 34 475 12 497 59 173 83 61 376 79 27 482 15 504 57 184 76 71 388 73 29 490 14 448 35 165 72 53 325 83 23 431 17 334612 estab. 553 47 175 83 77 382 78 56 516 37 534 57 161 83 65 366 82 51 499 35 547 59 173 83 63 378 82 47 507 40 567 57 184 76 73 390 76 58 524 43 497 35 165 72 53 325 97 28 450 47 334612 empl. 26109 0 371 550 1026 1947 2923 6649 11519 14590 26269 0 366 550 862 1778 3073 6218 11069 15200 25871 0 383 548 838 1769 3070 5545 10384 15487 24483 0 403 504 914 1821 3021 5770 10612 13871 24049 0 371 476 719 1566 3169 4019 8754 15295 334612 ann. pay. 874511 4947 10751 15792 30944 62434 83732 223326 369492 505019 900843 11259 11700 14859 30579 68397 95063 218883 382343 518500 891310 6086 12012 18051 30407 66556 101518 177064 345138 546172 867360 4108 14671 17510 36410 72699 111517 187865 372081 495279 863573 10583 14483 16348 26277 67691 114523 140358 322572 541001 334612 rec. 4122870 44406 59505 60642 89179 253732 420643 523228 1197603 2925267 334613 firms 239 27 85 35 25 172 32 16 220 19 252 42 81 34 33 190 35 14 239 13 247 30 87 44 29 190 35 6 231 16 245 27 107 30 23 187 36 9 232 13 189 25 66 24 27 142 26 10 178 11 334613 estab. 252 27 85 36 25 173 32 19 224 28 262 42 81 34 33 190 36 16 242 20 256 30 87 44 29 190 35 6 231 25 253 27 107 30 23 187 36 10 233 20 196 25 66 24 27 142 26 11 179 17 334613 empl. 20476 0 192 231 378 801 1107 3046 4954 15522 16519 0 171 214 447 832 1358 2487 4677 11842 14199 0 181 297 396 874 1557 861 3292 10907 11488 0 209 204 314 727 1634 1641 4002 7486 10134 [a] 132 153 357 [f] 1201 1808 [h] [i] 334613 ann. pay. 809774 2310 8863 12488 16976 40637 48120 145473 234230 575544 713365 10052 8151 11197 29941 59341 67762 127437 254540 458825 636710 2569 8737 14178 25729 51213 94091 51652 196956 439754 584639 3560 10856 10599 18479 43494 91464 120167 255125 329514 560457 (D) 6050 7636 15509 (D) 70716 124961 (D) (D) 334613 rec. 4020918 (D) 36680 40305 78454 (D) 353738 524651 (D) (D) 335110 firms 61 4 14 4 9 31 15 6 52 9 67 9 14 5 8 36 17 5 58 9 68 4 13 12 9 38 16 6 60 8 72 11 13 11 8 43 15 6 64 8 96 5 32 18 9 64 20 7 91 5 335110 estab. 90 4 14 4 9 31 16 6 53 37 94 9 14 5 8 36 18 5 59 35 92 4 13 12 9 38 17 6 61 31 95 11 13 11 8 43 16 6 65 30 121 5 32 19 9 65 21 7 93 28 335110 empl. 16156 0 29 25 126 180 695 1208 2083 14073 15026 0 29 32 111 172 709 860 1741 13285 14153 0 28 82 124 234 743 1055 2032 12121 13220 0 26 77 107 210 672 959 1841 11379 11961 0 68 121 135 324 814 1061 2199 9762 335110 ann. pay. 556421 264 610 559 3449 4882 21080 29169 55131 501290 542393 1502 745 1030 1512 4789 23240 23117 51146 491247 618966 48 469 2681 3958 7156 26218 29868 63242 555724 516267 596 536 2249 2561 5942 26469 30139 62550 453717 496981 249 1419 3466 4456 9590 28919 33579 72088 424893 335110 rec. 2712869 1154 7008 21261 22168 51591 157367 110900 319858 2393011 335121 firms 558 45 156 93 83 377 127 41 545 13 539 36 165 85 76 362 125 41 528 11 522 30 174 77 74 355 113 41 509 13 513 36 148 91 79 354 107 39 500 13 474 29 136 94 67 326 110 27 463 11 335121 estab. 572 45 156 93 83 377 130 46 553 19 551 36 165 85 76 362 127 45 534 17 532 30 174 77 74 355 115 44 514 18 520 36 148 91 79 354 109 41 504 16 482 29 136 94 68 327 113 29 469 13 335121 empl. 18184 0 345 632 1121 2098 5241 6888 14227 3957 17841 0 358 585 1071 2014 5105 6762 13881 3960 17467 0 396 519 1050 1965 4638 6603 13206 4261 16204 0 320 598 1111 2029 4701 5993 12723 3481 13087 0 275 626 920 1821 4784 4091 10696 2391 335121 ann. pay. 483589 2785 6954 13792 24942 48473 116724 180248 345445 138144 488748 7784 8480 13189 22349 51802 116626 177558 345986 142762 493793 1210 8841 12038 24099 46188 116657 177406 340251 153542 415598 2565 7089 14643 26334 50631 109146 158730 318507 97091 388352 4225 5931 16178 23064 49398 124026 140759 314183 74169 335121 rec. 1789496 15698 59923 77090 103490 256201 547526 596424 1400151 389345 335122 firms 324 18 55 54 58 185 87 36 308 16 328 19 60 53 58 190 89 33 312 16 330 16 69 57 55 197 83 33 313 17 335 15 67 58 57 197 90 31 318 17 305 14 61 42 53 170 95 25 290 15 335122 estab. 355 18 55 54 58 185 88 39 312 43 362 19 60 53 58 190 90 37 317 45 366 16 69 57 55 197 83 37 317 49 370 15 67 58 57 197 90 35 322 48 341 14 61 42 53 170 95 29 294 47 335122 empl. 22324 0 128 356 799 1283 3731 4802 9816 12508 22842 0 132 351 791 1274 3965 4491 9730 13112 23290 0 166 414 808 1388 3859 4840 10087 13203 22503 0 142 390 780 1312 4100 4538 9950 12553 20337 0 124 288 719 1131 4148 3728 9007 11330 335122 ann. pay. 681695 6451 3240 11174 23040 43905 120313 162593 326811 354884 716220 2655 3805 9831 24785 41076 128426 159413 328915 387305 737040 2424 4798 11904 23923 43049 132276 163446 338771 398269 722886 2365 3998 10668 23067 40098 141847 156841 338786 384100 666405 1032 4706 8751 23890 38379 153178 123127 314684 351721 335122 rec. 3863349 4340 19321 36896 105431 165988 658042 514629 1338659 2524690 335129 firms 313 16 79 47 39 181 79 30 290 23 302 22 69 46 40 177 74 27 278 24 291 14 66 45 43 168 70 25 263 28 298 18 71 43 46 178 67 24 269 29 265 11 60 40 42 153 60 26 239 26 335129 estab. 338 16 79 47 39 181 80 37 298 40 326 22 69 46 40 177 75 31 283 43 317 14 66 45 43 168 71 29 268 49 322 18 71 43 46 178 68 27 273 49 290 11 60 40 42 153 61 28 242 48 335129 empl. 17870 0 200 338 543 1081 3235 4710 9026 8844 18642 0 165 336 564 1065 3232 4342 8639 10003 19367 0 160 306 617 1083 2992 3799 7874 11493 20125 0 164 293 642 1099 2873 3860 7832 12293 18463 0 144 273 556 973 2430 3683 7086 11377 335129 ann. pay. 577585 2429 6573 9782 15892 34676 107973 150023 292672 284913 623122 1589 4394 9725 17580 33288 113843 146668 293799 329323 696721 457 4788 8705 18708 32658 108393 123259 264310 432411 691215 2380 4747 9959 20073 37159 99321 126946 263426 427789 660297 430 4328 8132 19177 32067 89729 140394 262190 398107 335129 rec. 3940944 1819 20541 43295 109227 174882 411805 815534 1402221 2538723 335211 firms 126 14 28 20 16 78 17 10 105 21 130 15 34 17 17 83 17 12 112 18 133 11 33 19 20 83 21 11 115 18 133 8 39 15 18 80 24 14 118 15 136 11 43 15 19 88 26 8 122 14 335211 estab. 151 14 28 20 16 78 17 11 106 45 152 15 34 17 17 83 17 14 114 38 153 11 33 19 20 83 21 13 117 36 149 8 39 15 18 80 25 20 125 24 150 11 43 15 19 88 26 9 123 27 335211 empl. 17698 [a] [b] [c] 217 [e] 852 [g] 3154 14544 14212 [a] [b] [c] 244 [e] [f] 2337 3632 10580 13301 [a] [b] 120 254 [e] 966 [g] 3142 10159 10990 [a] 94 [b] 236 [e] 1069 [g] 3613 7377 10172 [a] [c] 102 247 [e] [g] 1126 2661 7511 335211 ann. pay. 454505 (D) (D) (D) 6276 (D) 17556 (D) 84126 370379 351097 (D) (D) (D) 7310 (D) (D) 72739 110712 240385 365908 (D) (D) 4850 8081 (D) 25761 (D) 93425 272483 326990 (D) 3186 (D) 7844 (D) 22918 (D) 103447 223543 316331 (D) (D) 3159 8272 (D) (D) 32937 77552 238779 335211 rec. 2380872 (D) (D) 20559 60001 (D) (D) 265348 557904 1822968 335212 firms 30 4 3 0 5 12 5 2 19 11 31 1 6 2 5 14 3 3 20 11 35 1 8 3 5 17 5 2 24 11 34 1 6 4 5 16 4 2 22 12 35 8 2 4 5 19 2 4 25 10 335212 estab. 38 4 3 0 5 12 5 2 19 19 39 1 6 2 5 14 3 3 20 19 41 1 8 3 5 17 5 2 24 17 41 1 6 4 5 16 4 2 22 19 41 8 2 4 5 19 2 4 25 16 335212 empl. 11323 [a] [a] 0 69 [b] 206 [e] 552 10771 11319 [a] [a] [a] 77 [b] [b] 351 538 10781 11137 [a] [a] 18 69 [c] 244 [c] 550 10587 10301 [a] [a] [b] 64 [c] 149 [c] 473 9828 10196 [a] [a] 24 66 [b] [b] 486 671 9525 335212 ann. pay. 451403 (D) (D) 0 2694 (D) 5461 (D) 87829 363574 391329 (D) (D) (D) 2167 (D) (D) 13633 19992 371337 359784 (D) (D) 503 1852 (D) 8118 (D) 19931 339853 339671 (D) (D) (D) 1567 (D) 4582 (D) 15159 324512 341344 (D) (D) 762 2177 (D) (D) 13843 19971 321373 335212 rec. 2835640 (D) (D) 3677 16031 (D) (D) 59059 97789 2737851 335221 firms 86 5 22 6 8 41 17 6 64 22 91 12 22 7 9 50 14 8 72 19 81 8 20 8 5 41 14 7 62 19 91 8 22 11 11 52 13 8 73 18 98 8 27 13 11 59 16 9 84 14 335221 estab. 96 5 22 6 8 41 17 8 66 30 100 12 22 7 9 50 14 9 73 27 91 8 20 8 5 41 14 8 63 28 100 8 22 11 11 52 13 8 73 27 109 8 27 13 11 59 16 10 85 24 335221 empl. 18775 [a] 52 [b] [c] [c] 759 [g] 2209 16566 18667 [a] [b] 45 118 208 476 1763 2447 16220 17880 [a] [b] 54 65 163 495 1351 2009 15871 17164 [a] 47 [b] 158 273 568 1295 2136 15028 17983 0 66 90 153 309 710 1918 2937 15046 335221 ann. pay. 525322 (D) 800 (D) (D) (D) 19784 (D) 61215 464107 535360 (D) (D) 968 3696 6159 14695 49164 70018 465342 501860 (D) (D) 2190 1279 4969 16617 34135 55721 446139 453188 (D) 1150 (D) 4687 8985 17917 34280 61182 392006 497481 315 1554 2387 3955 8211 22239 68298 98748 398733 335221 rec. 4406726 2574 109799 16863 24001 153237 120826 736898 1010961 3395765 335222 firms 20 0 2 1 3 6 1 4 11 9 21 1 1 2 1 5 3 4 12 9 22 2 2 2 0 6 2 6 14 8 26 4 1 2 2 9 2 7 18 8 25 1 5 2 2 10 1 6 17 8 335222 estab. 26 0 2 1 3 6 1 4 11 15 27 1 1 2 1 5 3 4 12 15 29 2 2 2 0 6 2 6 14 15 33 4 1 2 2 9 2 7 18 15 32 1 5 2 2 10 1 6 17 15 335222 empl. 25263 0 [a] [a] [b] [b] [b] [f] 978 24285 25222 [a] [a] [a] [a] [b] 115 [f] 1130 24092 27068 [a] [a] [a] 0 [a] [b] 1263 1329 25739 26797 [a] [a] [a] [b] [b] [c] 1191 1354 25443 24173 [a] 14 [a] [b] [b] [b] [g] 1477 22696 335222 ann. pay. 868385 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 28064 840321 892786 (D) (D) (D) (D) (D) 2758 (D) 32573 860213 996064 (D) (D) (D) 0 (D) (D) 32041 36078 959986 988293 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 35698 76338 911955 837881 (D) 337 (D) (D) (D) (D) (D) 48870 789011 335222 rec. 5531103 (D) 2410 (D) (D) (D) (D) (D) 377114 5153989 335224 firms 15 2 3 0 2 7 0 0 7 8 16 0 7 0 1 8 0 0 8 8 17 1 5 1 2 9 0 1 10 7 18 2 4 1 2 9 1 1 11 7 19 2 5 1 3 11 1 1 13 6 335224 estab. 21 2 3 0 3 8 0 0 8 13 23 0 8 0 1 9 0 0 9 14 23 1 5 1 2 9 0 1 10 13 24 2 4 1 2 9 1 1 11 13 24 2 5 1 3 11 1 1 13 11 335224 empl. 16201 [a] 9 0 [b] [b] 0 0 [b] [j] 17644 0 [a] 0 [a] 27 0 0 27 17617 17830 [a] [a] [a] [b] [b] 0 [b] 85 17745 16721 [a] 8 [a] [b] [b] [b] [b] 125 16596 16551 [a] [a] [a] [b] [b] [b] [e] 553 15998 335224 ann. pay. 500889 (D) 41 0 (D) (D) 0 0 (D) (D) 541951 0 (D) 0 (D) 350 0 0 350 541601 614623 (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) 2314 612309 591866 (D) 155 (D) (D) (D) (D) (D) 3632 588234 622026 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 16722 605304 335224 rec. 4638182 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 124748 4513434 335228 firms 36 3 3 2 3 11 9 2 22 14 37 1 7 3 2 13 8 2 23 14 38 2 7 3 1 13 8 2 23 15 38 2 6 5 0 13 9 2 24 14 40 2 8 5 1 16 8 2 26 14 335228 estab. 38 3 3 2 3 11 9 2 22 16 40 1 7 3 2 13 8 3 24 16 40 2 7 3 1 13 8 3 24 16 41 2 6 5 0 13 9 3 25 16 42 2 8 5 1 16 8 2 26 16 335228 empl. 13524 [a] [a] [a] [b] [b] [e] [e] [f] [j] 12769 [a] [a] [b] [b] [b] 481 [c] 769 12000 13619 [a] 18 [b] [a] [b] [e] [c] 756 12863 12437 [a] 10 [b] 0 [b] [e] [c] 639 11798 12049 [a] [a] [b] [a] [b] [e] [c] 645 11404 335228 ann. pay. 441400 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 436584 (D) (D) (D) (D) (D) 17586 (D) 25768 410816 444360 (D) 263 (D) (D) (D) (D) (D) 20697 423663 448504 (D) 155 (D) 0 (D) (D) (D) 20261 428243 458659 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 22203 436456 335228 rec. 3737488 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 166143 3571345 335311 firms 280 10 57 41 48 156 63 33 252 28 271 8 58 49 32 147 65 34 246 25 263 9 51 43 39 142 60 34 236 27 265 19 43 45 32 139 66 34 239 26 257 10 54 48 28 140 64 25 229 28 335311 estab. 315 10 57 41 49 157 65 38 260 55 306 8 58 49 33 148 67 40 255 51 296 9 52 43 39 143 62 39 244 52 296 19 43 46 32 140 69 38 247 49 289 10 55 48 31 144 67 29 240 49 335311 empl. 25852 0 133 274 652 1059 2790 5570 9419 16433 26281 0 146 341 437 924 2873 6048 9845 16436 26609 0 126 295 558 979 2519 5689 9187 17422 25893 [a] [c] 303 458 882 2932 5805 9619 16274 23627 0 125 327 388 840 2861 4667 8368 15259 335311 ann. pay. 834140 897 4522 6818 19251 31488 72989 173140 277617 556523 878807 587 5059 9696 14462 29804 84607 181845 296256 582551 940421 1414 4034 7052 20725 33225 90431 188879 312535 627886 892212 (D) (D) 7358 17050 30334 93785 174299 298418 593794 848340 1140 5606 9414 15927 32087 94774 157454 284315 564025 335311 rec. 4404993 7435 56413 49859 71367 185074 366165 735167 1286406 3118587 335312 firms 556 27 114 106 69 316 111 53 480 76 532 25 118 87 68 298 109 52 459 73 510 18 118 82 75 293 102 50 445 65 490 13 99 85 72 269 114 52 435 55 488 23 100 80 68 271 111 49 431 57 335312 estab. 734 27 114 106 69 316 116 79 511 223 704 25 118 87 68 298 111 83 492 212 684 18 118 82 75 293 106 77 476 208 659 13 99 85 72 269 118 83 470 189 623 23 100 80 68 271 117 80 468 155 335312 empl. 74833 0 253 740 899 1892 4543 7442 13877 60956 68713 0 265 595 906 1766 4244 8187 14197 54516 67354 0 279 568 1035 1882 4321 7465 13668 53686 62164 0 240 570 927 1737 5046 9209 15992 46172 54485 0 241 552 922 1715 4539 7526 13780 40705 335312 ann. pay. 2256701 12384 6776 20701 26066 65927 143248 228761 437936 1818765 2176452 1464 7183 18289 29460 56396 138013 260785 455194 1721258 2123449 1744 7754 17880 34610 61988 144779 254716 461483 1661966 2005414 476 8398 16660 34394 59928 167616 330214 557758 1447656 1875839 2103 8189 17760 32282 60334 165300 271194 496828 1379011 335312 rec. 9826876 16000 49447 83681 154792 303920 610333 1083904 1998157 7828719 335313 firms 508 31 102 90 91 314 115 42 471 37 505 28 113 83 90 314 110 46 470 35 498 20 109 78 85 292 122 47 461 37 496 26 104 72 88 290 124 42 456 40 473 20 114 84 75 293 103 40 436 37 335313 estab. 591 31 102 90 91 314 117 47 478 113 587 28 113 83 90 314 113 52 479 108 578 20 109 78 85 292 124 54 470 108 580 26 104 72 88 290 125 49 464 116 563 20 114 84 75 293 105 46 444 119 335313 empl. 41901 0 260 607 1254 2121 4520 5825 12466 29435 41547 0 276 550 1238 2064 4355 5834 12253 29294 43508 0 248 528 1160 1936 4730 6468 13134 30374 44506 [a] [c] 504 1183 1925 4912 6241 13078 31428 39392 0 257 574 1005 1836 4057 5419 11312 28080 335313 ann. pay. 1534669 1429 7192 18606 43992 71219 173457 199115 443791 1090878 1600627 6758 7792 19809 50289 84648 182921 199689 467258 1133369 1759030 1488 8001 16470 43737 69696 204138 244876 518710 1240320 1784286 (D) (D) 17436 41561 94873 219725 238229 552827 1231459 1611125 2200 9306 22096 40047 73649 177747 231046 482442 1128683 335313 rec. 8592542 11538 52838 118105 176178 358659 713429 825664 1897752 6694790 335314 firms 1228 59 349 207 177 792 273 78 1143 85 1184 57 328 215 165 765 259 81 1105 79 1142 58 305 212 163 738 243 84 1065 77 1116 52 302 214 143 711 242 88 1041 75 1086 57 311 208 134 710 225 80 1015 71 335314 estab. 1324 59 349 207 179 794 282 86 1162 162 1285 57 328 215 168 768 266 89 1123 162 1243 58 305 212 165 740 248 94 1082 161 1216 52 302 214 145 713 249 96 1058 158 1176 57 311 209 136 713 233 91 1037 139 335314 empl. 67680 0 818 1368 2437 4623 10385 10037 25045 42635 63714 0 771 1446 2236 4453 10068 9969 24490 39224 61518 0 685 1408 2236 4329 9718 10665 24712 36806 60675 0 697 1438 1979 4114 9590 10706 24410 36265 50848 0 719 1378 1850 3947 8529 9607 22083 28765 335314 ann. pay. 2586500 4321 25851 44212 85524 159908 400426 349876 910210 1676290 2550143 2912 25431 49730 82977 161050 404300 365293 930643 1619500 2591696 8393 25562 53580 90143 177678 406570 421898 1006146 1585550 2554408 6048 26656 51547 74633 158884 395964 404595 959443 1594965 2182779 4152 26730 51498 68918 151298 375792 370828 897918 1284861 335314 rec. 10386795 19888 107383 182201 227632 537104 1222435 1451388 3210927 7175868 335911 firms 92 3 15 15 11 44 19 12 75 17 98 6 20 13 8 47 24 12 83 15 100 7 19 13 10 49 25 11 85 15 100 6 20 17 9 52 20 14 86 14 89 3 15 15 15 48 15 15 78 11 335911 estab. 132 3 15 15 11 44 19 14 77 55 137 6 20 13 8 47 24 14 85 52 138 7 19 13 10 49 25 12 86 52 138 6 20 17 9 52 20 15 87 51 128 3 15 15 15 48 16 18 82 46 335911 empl. 22745 [a] [b] 96 [c] [e] [f] 2147 3373 19372 23057 [a] [b] 77 [c] [c] [f] 2189 3396 19661 22837 [a] [b] 78 125 [e] 1063 [g] 3053 19784 22995 0 49 119 109 277 941 2291 3509 19486 18337 [a] [b] 101 200 333 650 2102 3085 15252 335911 ann. pay. 792005 (D) (D) 2837 (D) (D) (D) 64764 102095 689910 852829 (D) (D) 2000 (D) (D) (D) 69412 114953 737876 859672 (D) (D) 2547 4604 (D) 43101 (D) 108087 751585 837254 1234 2267 4171 3890 11562 38448 75475 125485 711769 680220 (D) (D) 3115 7326 12456 22203 75908 110567 569653 335911 rec. 3687555 (D) (D) 17460 45478 (D) 121434 400111 609147 3078408 335912 firms 34 1 11 7 2 21 2 3 26 8 35 2 9 9 2 22 2 3 27 8 34 2 11 5 4 22 3 2 27 7 36 4 11 6 3 24 3 3 30 6 36 5 7 6 4 22 3 4 29 7 335912 estab. 45 1 11 7 2 21 2 3 26 19 44 2 9 9 2 22 2 3 27 17 44 2 11 5 4 22 3 2 27 17 46 4 11 6 3 24 3 3 30 16 47 5 7 6 4 22 3 5 30 17 335912 empl. 8575 [a] [b] 48 [b] [c] [c] 839 1052 7523 8188 [a] [a] 54 [b] [c] [c] 784 1001 7187 8554 [a] [b] 35 54 [c] 142 [f] 964 7590 7929 0 19 42 41 102 71 756 929 7000 7730 [a] [a] 37 63 112 155 858 1125 6605 335912 ann. pay. 296653 (D) (D) 1353 (D) (D) (D) 26101 30531 266122 309578 (D) (D) 1552 (D) (D) (D) 27241 34240 275338 323025 (D) (D) 1563 1382 (D) 4326 (D) 35306 287719 307346 46 631 1205 1191 3073 3334 29334 35741 271605 290280 (D) (D) 1267 1534 4199 4451 26241 34891 255389 335912 rec. 2884136 (D) (D) 15198 5531 (D) 18321 151264 197106 2687030 335921 firms 32 5 5 1 3 14 5 4 23 9 54 8 8 3 3 22 10 7 39 15 65 14 7 6 8 35 10 6 51 14 73 7 7 13 10 37 12 9 58 15 83 5 11 15 17 48 16 7 71 12 335921 estab. 35 5 5 1 3 14 5 4 23 12 61 8 8 3 3 22 10 7 39 22 75 14 7 6 8 35 10 6 51 24 84 7 7 13 10 37 12 9 58 26 91 5 11 15 17 48 16 7 71 20 335921 empl. 6728 [a] [a] [a] 36 52 172 448 672 6056 9739 0 18 23 36 77 321 949 1347 8392 11898 0 17 42 109 168 336 733 1237 10661 13560 0 19 81 135 235 471 1426 2132 11428 8559 0 22 96 230 348 753 1070 2171 6388 335921 ann. pay. 317226 (D) (D) (D) 875 2656 7372 16263 26291 290935 452311 556 1266 989 1292 4103 17154 38262 59519 392792 667653 18435 667 1384 4335 24821 20612 46975 92408 575245 645167 273 1778 5361 5377 12789 26928 71069 110786 534381 385675 425 658 3384 11492 15959 43609 48067 107635 278040 335921 rec. 1735333 4462 7738 32992 97357 142549 209465 171220 523234 1212099 335929 firms 271 16 20 14 24 74 92 48 214 57 257 16 27 15 20 78 84 42 204 53 259 17 31 12 27 87 80 37 204 55 252 14 26 20 24 84 77 34 195 57 235 11 22 19 27 79 67 38 184 51 335929 estab. 378 16 20 14 24 74 94 58 226 152 360 16 27 15 20 78 86 50 214 146 372 17 32 12 27 88 83 45 216 156 363 14 26 21 24 85 80 40 205 158 329 11 22 19 27 79 69 45 193 136 335929 empl. 51271 [a] [b] [b] 330 475 4456 7929 12860 38411 49732 0 62 100 276 438 3979 7017 11434 38298 50044 0 68 81 368 517 3734 6411 10662 39382 52429 0 70 128 328 526 3668 5995 10189 42240 41042 0 54 137 360 551 3151 5076 8778 32264 335929 ann. pay. 1807951 (D) (D) (D) 9540 15785 143160 246765 405710 1402241 1883782 2180 2807 3540 10037 18564 139234 246001 403799 1479983 2085111 2040 4299 2360 13504 22203 137206 274611 434020 1651091 1920552 1422 2492 5212 10048 19174 126384 168575 314133 1606419 1619810 5781 2005 4036 12787 24609 119627 167539 311775 1308035 335929 rec. 11704126 38105 11463 26012 73741 149321 649381 912457 1711159 9992967 335931 firms 446 23 78 59 64 224 114 50 388 58 442 26 81 63 66 236 97 53 386 56 452 36 92 52 58 238 109 51 398 54 434 31 83 56 56 226 101 55 382 52 414 14 92 58 59 223 99 46 368 46 335931 estab. 518 23 79 59 65 226 118 55 399 119 515 27 81 63 66 237 100 59 396 119 527 37 92 52 58 239 115 57 411 116 508 31 84 56 56 227 104 67 398 110 474 14 93 59 59 225 100 57 382 92 335931 empl. 45401 0 185 404 871 1460 4731 7742 13933 31468 45196 0 192 426 928 1546 4183 8429 14158 31038 44971 0 217 345 805 1367 4682 7738 13787 31184 43665 0 185 378 772 1335 4460 8910 14705 28960 37384 0 209 393 798 1400 4222 7376 12998 24386 335931 ann. pay. 1404693 2903 4971 12184 26740 46798 143349 209769 399916 1004777 1449441 1849 5875 12896 26676 47296 133149 241233 421678 1027763 1529016 3467 8273 11254 26682 49676 153464 220232 423372 1105644 1457096 1536 6647 12422 23272 43877 134754 262557 441188 1015908 1385101 2656 6707 13797 24873 48033 146220 231766 426019 959082 335931 rec. 6588178 12126 29060 59051 99991 200228 549271 890448 1639947 4948231 335932 firms 181 16 41 25 17 99 34 20 153 28 181 16 40 26 21 103 35 15 153 28 180 15 43 23 21 102 33 18 153 27 180 14 46 19 26 105 32 20 157 23 161 12 32 22 21 87 36 13 136 25 335932 estab. 234 16 41 25 17 99 34 22 155 79 235 16 40 26 21 103 35 17 155 80 238 15 43 23 21 102 33 20 155 83 235 14 46 19 26 105 32 22 159 76 216 12 32 22 21 87 36 16 139 77 335932 empl. 22847 0 83 167 260 510 1464 2806 4780 18067 22089 0 83 167 306 556 1680 2153 4389 17700 23120 0 96 144 312 552 1488 2541 4581 18539 22680 0 101 131 365 597 1520 2993 5110 17570 21206 0 62 142 281 485 1589 2181 4255 16951 335932 ann. pay. 769929 525 2115 5359 8579 16578 46369 86650 149597 620332 796075 564 2114 4214 10887 17779 56196 66878 140853 655222 831798 854 2844 3724 10096 17518 53248 83869 154635 677163 809724 810 3144 4239 10197 18390 53592 96607 168589 641135 776076 2825 1846 3796 8609 17076 56279 77892 151247 624829 335932 rec. 4723238 59891 9525 18301 40841 128558 240742 417430 786730 3936508 335991 firms 100 6 15 9 12 42 27 16 85 15 108 12 19 11 8 50 24 17 91 17 111 6 28 10 8 52 26 16 94 17 110 8 26 9 10 53 23 16 92 18 103 9 18 16 8 51 23 17 91 12 335991 estab. 130 6 15 9 12 42 28 20 90 40 140 12 19 11 8 50 25 21 96 44 143 6 28 10 9 53 26 21 100 43 141 8 26 9 10 53 23 21 97 44 129 9 18 16 8 51 23 20 94 35 335991 empl. 11358 0 38 65 155 258 1011 2274 3543 7815 10783 0 41 76 106 223 841 2349 3413 7370 10442 0 62 69 107 238 944 2676 3858 6584 9909 0 58 55 138 251 864 2520 3635 6274 7878 0 44 105 96 245 904 2560 3709 4169 335991 ann. pay. 432384 361 1029 4651 4934 10975 31088 83752 125815 306569 423585 2719 1092 2898 3597 10306 29064 88008 127378 296207 418217 201 1713 2637 3534 8085 36994 101743 146822 271395 385204 1278 2357 2548 4498 10681 31513 96984 139178 246026 325418 422 3184 4523 4048 12177 34234 111692 158103 167315 335991 rec. 1680742 965 25629 19762 17578 63934 190153 499449 753536 927206 335999 firms 949 76 195 123 118 512 261 99 872 77 972 86 221 119 127 553 255 85 893 79 981 83 232 132 131 578 238 90 906 75 941 77 208 122 128 535 248 84 867 74 860 55 196 123 123 497 224 79 800 60 335999 estab. 992 76 195 123 118 512 265 116 893 99 1016 86 221 119 127 553 260 102 915 101 1019 83 232 132 131 578 243 102 923 96 979 77 208 122 128 535 253 97 885 94 904 55 196 123 123 497 232 89 818 86 335999 empl. 45891 0 435 825 1601 2861 10558 12392 25811 20080 43198 0 479 809 1701 2989 10285 10376 23650 19548 43439 0 485 892 1818 3195 9985 11452 24632 18807 42546 0 441 830 1728 2999 10536 10409 23944 18602 36940 0 410 824 1687 2921 9539 8833 21293 15647 335999 ann. pay. 1655514 8631 14212 26065 52228 101136 374563 394274 869973 785541 1706415 7469 16861 26454 57475 108259 371501 367510 847270 859145 1894784 13150 16305 34512 68079 132046 380831 449418 962295 932489 1780246 9642 14161 30129 67922 121854 401579 401344 924777 855469 1582947 3624 18864 36221 69197 127906 381204 332703 841813 741134 335999 rec. 6472084 18469 75998 185937 241335 521739 1418910 1265438 3206087 3265997 336111 firms 189 26 65 23 13 127 31 14 172 17 195 27 73 16 25 141 27 9 177 18 197 23 78 18 20 139 27 13 179 18 197 28 69 23 24 144 23 11 178 19 173 17 71 16 19 123 22 7 152 21 336111 estab. 216 26 65 23 13 127 32 14 173 43 218 27 73 16 25 141 28 9 178 40 217 23 78 18 20 139 27 14 180 37 221 28 69 23 24 144 24 12 180 41 207 17 71 16 19 123 22 8 153 54 336111 empl. 123172 [a] 118 [c] 160 445 1615 2410 4470 118702 105855 [a] 140 103 337 [f] 1324 [g] 3166 102689 101962 0 152 [c] 278 [f] 1220 [g] 3669 98293 97321 [a] [c] 157 333 622 [g] [g] 3404 93917 112453 0 [c] 103 258 [e] 960 [g] 2996 109457 336111 ann. pay. 6933020 (D) 3614 (D) 3641 11870 53575 84960 150405 6782615 6695257 (D) 3366 2569 8422 (D) 50367 (D) 117695 6577562 6499335 1632 3303 (D) 8092 (D) 59973 (D) 147094 6352241 5760987 (D) (D) 6053 7450 24291 (D) (D) 125034 5635953 7126988 4520 (D) 3764 6857 (D) 36737 (D) 113286 7013702 336111 rec. 113899507 78733 (D) 58885 111443 (D) 384499 (D) 1732786 112166721 336112 firms 84 10 31 12 13 66 7 0 73 11 85 12 26 14 12 64 11 1 76 9 81 9 31 11 11 62 8 2 72 9 74 2 27 17 10 56 9 2 67 7 79 6 25 15 12 58 12 1 71 8 336112 estab. 108 10 31 12 13 66 7 0 73 35 111 12 26 14 12 64 11 1 76 35 107 9 31 11 11 62 8 2 72 35 100 2 27 17 10 56 9 2 67 33 101 6 25 15 12 58 12 1 71 30 336112 empl. 80882 [a] [b] [b] 174 318 240 0 558 80324 94069 [a] 58 92 157 [e] 354 [e] 927 93142 98012 0 73 [b] 158 [e] 273 [e] 930 97082 90392 [a] [b] 105 152 325 [e] [e] 965 89427 83744 [a] [b] 97 154 [e] 390 [c] 935 82809 336112 ann. pay. 4663657 (D) (D) (D) 4402 7998 6590 0 14588 4649069 6720455 (D) 1065 1750 4574 (D) 9139 (D) 21939 6698516 6687344 246 1645 (D) 4211 (D) 7658 (D) 26796 6660548 5652142 (D) (D) 2133 3934 17312 (D) (D) 38915 5613227 5864538 (D) (D) 2064 4326 (D) 12844 (D) 29124 5835414 336112 rec. 112740879 (D) (D) 28077 51559 (D) 121040 (D) 286817 112454062 336120 firms 77 5 12 19 7 43 12 6 61 16 78 9 15 13 6 43 10 9 62 16 75 7 14 11 6 38 12 9 59 16 76 4 15 12 9 40 9 11 60 16 76 2 15 11 9 37 13 11 61 15 336120 estab. 87 5 12 19 7 43 12 7 62 25 89 9 15 13 6 43 10 10 63 26 86 7 14 11 6 38 12 10 60 26 89 4 15 12 9 40 9 12 61 28 87 2 15 11 9 37 13 12 62 25 336120 empl. 31429 [a] [b] [c] 92 236 494 1028 1758 29671 33993 0 40 84 80 204 470 1589 2263 31730 35439 0 35 72 81 188 485 1918 2591 32848 27419 [a] [b] 74 131 245 344 2153 2742 24677 20689 [a] [b] 73 140 248 681 2501 3430 17259 336120 ann. pay. 1420477 (D) (D) (D) 3253 9042 9615 32750 51407 1369070 1689896 2604 978 2228 2624 8434 13298 59188 80920 1608976 1637023 263 888 1898 2401 5450 13830 63748 83028 1553995 1193807 (D) (D) 1929 4229 7670 8950 75132 91752 1102055 918950 (D) (D) 2339 4100 7340 20866 83177 111383 807567 336120 rec. 10358703 (D) (D) 26593 43152 (D) 141858 772558 995266 9363437 336211 firms 746 40 129 131 128 428 220 62 710 36 759 53 134 122 138 447 211 61 719 40 743 43 134 112 141 430 205 64 699 44 728 32 141 109 133 415 219 50 684 44 669 30 116 104 142 392 193 42 627 42 336211 estab. 814 40 129 131 128 428 228 68 724 90 832 53 134 122 138 447 219 68 734 98 822 43 134 112 141 430 212 70 712 110 811 32 141 109 134 416 224 58 698 113 753 30 116 104 142 392 203 57 652 101 336211 empl. 44387 0 300 881 1759 2940 9396 9800 22136 22251 48322 0 305 838 1897 3040 9292 10630 22962 25360 51428 0 310 777 1919 3006 9152 11465 23623 27805 48089 0 323 744 1841 2908 9628 8899 21435 26654 39280 [a] [e] 699 1953 2923 8240 6663 17826 21454 336211 ann. pay. 1397343 2455 6495 20936 43436 73322 264754 311579 649655 747688 1533537 19117 7150 20713 49835 96815 285325 308524 690664 842873 1630388 3307 7967 18366 50522 80162 273500 343768 697430 932958 1535467 2787 8149 18422 48899 78257 290766 285237 654260 881207 1359034 (D) (D) 19743 58388 88545 267587 224960 581092 777942 336211 rec. 8561791 (D) (D) 97950 309966 (D) 1202760 1165929 2840156 5721635 336212 firms 374 30 69 65 56 220 90 41 351 23 350 17 63 60 64 204 81 39 324 26 352 23 63 55 57 198 86 40 324 28 349 20 68 63 53 204 91 30 325 24 355 20 73 74 48 215 95 26 336 19 336212 estab. 410 30 69 65 56 220 90 49 359 51 392 17 63 60 64 204 81 45 330 62 394 23 63 55 57 198 86 46 330 64 393 20 68 63 53 204 92 33 329 64 388 20 73 74 48 215 95 34 344 44 336212 empl. 32656 0 169 437 746 1352 4142 7394 12888 19768 35975 0 140 395 865 1400 3659 6032 11091 24884 38396 [a] [c] 371 783 1291 3889 6648 11828 26568 28261 0 160 433 703 1296 4329 4969 10594 17667 22008 0 169 501 644 1314 4440 4867 10621 11387 336212 ann. pay. 953620 3049 4162 8924 17997 34132 116281 227421 377834 575786 1062708 3678 3280 8990 21515 37463 106348 193296 337107 725601 1063431 (D) (D) 8109 20527 32911 107930 188490 329331 734100 783438 1495 3478 10466 18612 34051 121080 152148 307279 476159 711174 4040 9484 12845 20187 46556 136374 155166 338096 373078 336212 rec. 4004088 22746 100812 74999 105025 303582 672026 794681 1770289 2233799 336213 firms 71 5 11 12 11 39 11 9 59 12 74 8 14 9 11 42 7 12 61 13 78 5 13 12 14 44 11 10 65 13 78 5 22 12 8 47 11 10 68 10 66 2 19 8 9 38 11 9 58 8 336213 estab. 85 5 11 12 11 39 11 9 59 26 88 8 14 9 11 42 7 12 61 27 92 5 13 12 14 44 11 10 65 27 93 5 22 12 8 47 11 11 69 24 75 2 19 8 9 38 11 9 58 17 336213 empl. 18406 0 24 79 159 262 552 2070 2884 15522 20374 0 37 65 145 247 336 2661 3244 17130 20960 [a] [b] 81 205 313 563 2417 3293 17667 18301 0 49 82 125 256 482 2211 2949 15352 16637 [a] [b] 50 115 209 512 2306 3027 13610 336213 ann. pay. 573561 733 433 2160 3798 7124 15365 59472 81961 491600 680298 1272 707 1772 4008 7759 9180 82549 99488 580810 611659 (D) (D) 1847 5661 9777 11530 71113 92420 519239 570598 229 1603 1913 4662 8407 12046 65227 85680 484918 619022 (D) (D) 2673 6381 10248 16949 89478 116675 502347 336213 rec. 4641208 (D) (D) 18581 32498 (D) 111211 684543 855357 3785851 336214 firms 748 55 213 114 97 479 196 50 725 23 731 58 186 114 89 447 205 54 706 25 709 52 163 105 105 425 197 60 682 27 703 47 168 107 101 423 200 54 677 26 715 52 154 118 122 446 190 55 691 24 336214 estab. 807 55 213 114 97 479 201 64 744 63 791 58 186 114 89 447 212 66 725 66 773 52 163 105 105 425 200 73 698 75 765 47 168 107 101 423 203 65 691 74 785 52 154 118 122 446 194 71 711 74 336214 empl. 33238 0 497 767 1381 2645 7915 8103 18663 14575 36939 0 417 752 1225 2394 8199 9552 20145 16794 39677 0 334 696 1484 2514 8307 10984 21805 17872 38114 0 354 719 1378 2451 8454 10833 21738 16376 36485 0 373 792 1681 2846 7687 10624 21157 15328 336214 ann. pay. 891474 2973 10451 15792 29447 58663 200357 220000 479020 412454 1070206 5252 8929 15353 27638 57172 223313 279838 560323 509883 1154563 10334 6813 15541 32271 64959 217425 327885 610269 544294 1069733 2038 7149 15384 36578 61149 216693 300704 578546 491187 1175260 7978 10454 20430 39347 78209 215356 341740 635305 539955 336214 rec. 6028261 41668 50968 107198 185092 384926 1033859 1737615 3156400 2871861 336311 firms 123 5 31 16 20 72 23 10 105 18 122 3 26 24 16 69 20 13 102 20 114 0 25 22 14 61 22 10 93 21 116 5 20 23 16 64 23 10 97 19 106 8 24 17 16 65 18 7 90 16 336311 estab. 148 5 31 16 20 72 23 11 106 42 145 3 26 24 16 69 20 14 103 42 135 0 25 22 14 61 22 11 94 41 138 5 20 23 16 64 23 11 98 40 127 8 24 17 16 65 19 7 91 36 336311 empl. 18579 0 77 105 275 457 967 1913 3337 15242 18689 [a] [b] 163 201 429 737 2013 3179 15510 20242 0 66 149 188 403 888 1640 2931 17311 18345 0 52 158 212 422 894 1596 2912 15433 14511 0 51 117 208 376 787 1060 2223 12288 336311 ann. pay. 754468 347 2644 2458 6631 12080 31566 52626 96272 658196 795126 (D) (D) 5484 4572 12776 24908 62137 99821 695305 800294 0 2994 4343 5001 12338 31140 50343 93821 706473 803011 101 1409 4574 5179 11263 31541 47367 90171 712840 596319 6617 1909 3310 5521 17357 28900 28916 75173 521146 336311 rec. 3181629 23185 7947 15367 22914 69413 113540 82333 265286 2916343 336312 firms 823 53 321 148 91 613 92 56 761 62 783 32 298 150 91 571 94 56 721 62 767 53 277 129 87 546 103 59 708 59 764 48 291 129 85 553 97 54 704 60 777 43 324 131 82 580 90 53 723 54 336312 estab. 900 53 321 149 91 614 92 65 771 129 858 32 298 151 91 572 94 66 732 126 847 53 277 130 87 547 103 65 715 132 846 48 291 132 85 556 97 61 714 132 844 43 324 132 82 581 92 59 732 112 336312 empl. 85618 0 720 963 1245 2928 4060 10284 17272 68346 85159 [a] [f] 994 1234 2878 4166 10586 17630 67529 85014 0 625 850 1165 2640 4497 11033 18170 66844 79837 0 658 827 1154 2639 4198 9730 16567 63270 65996 0 725 834 1120 2679 3867 9101 15647 50349 336312 ann. pay. 3736770 15208 14714 24404 31021 85347 118927 356163 560437 3176333 4207191 (D) (D) 27895 31267 81284 129068 336950 547302 3659889 4376839 7090 14137 21095 34296 76618 151656 367287 595561 3781278 4113027 35083 14275 21714 32577 103649 144972 313500 562121 3550906 3509987 5022 17005 26421 32544 80992 146599 303166 530757 2979230 336312 rec. 29562583 44424 108438 145690 186610 485162 735582 1719170 2939914 26622669 336321 firms 97 5 22 12 9 48 21 9 78 19 100 6 24 8 9 47 22 9 78 22 99 3 23 10 9 45 25 8 78 21 92 4 22 5 10 41 20 10 71 21 91 2 21 9 9 41 22 8 71 20 336321 estab. 104 5 22 12 9 48 21 9 78 26 111 6 24 8 9 47 22 10 79 32 109 3 23 10 9 45 25 8 78 31 100 4 22 5 10 41 20 10 71 29 100 2 21 9 9 41 22 8 71 29 336321 empl. 16343 [a] [b] 73 126 240 1062 1115 2417 13926 16780 [a] [b] 52 127 235 1215 1111 2561 14219 16501 [a] [b] 71 124 242 1321 1104 2667 13834 16126 0 49 34 134 217 1058 1280 2555 13571 13752 [a] [b] 59 110 218 1019 1262 2499 11253 336321 ann. pay. 734136 (D) (D) 1606 4259 8784 38269 33985 81038 653098 713562 (D) (D) 1175 4442 11225 39508 32251 82984 630578 704320 (D) (D) 1564 4519 7554 45552 33477 86583 617737 713806 275 1191 940 4167 6573 37517 39047 83137 630669 576547 (D) (D) 1938 3471 7085 36561 39951 83597 492950 336321 rec. 3100943 (D) (D) 9863 17596 (D) 130867 199485 365969 2734974 336322 firms 942 59 229 144 101 533 230 81 844 98 918 44 255 127 95 521 210 88 819 99 887 44 231 124 100 499 202 91 792 95 859 32 228 116 101 477 205 79 761 98 751 26 206 91 99 422 175 73 670 81 336322 estab. 1031 59 229 144 101 533 231 92 856 175 998 44 255 127 95 521 210 104 835 163 963 44 231 124 100 499 202 107 808 155 934 32 228 116 101 477 206 95 778 156 822 26 206 91 99 422 178 89 689 133 336322 empl. 101786 [a] [f] 948 1388 2839 9996 13535 26370 75416 95209 [a] [f] 853 1286 2711 8891 14865 26467 68742 96530 [a] [f] 828 1351 2709 8787 15256 26752 69778 88643 0 518 749 1338 2605 8735 13571 24911 63732 69682 [a] [e] 590 1321 2384 7396 12762 22542 47140 336322 ann. pay. 3360028 (D) (D) 23214 42763 80794 255993 303863 640650 2719378 3497130 (D) (D) 23397 35960 84722 250318 375947 710987 2786143 3559673 (D) (D) 45160 44767 111729 243604 397193 752526 2807147 3302806 2116 14291 21687 41608 79702 253294 357962 690958 2611848 2593148 (D) (D) 17349 42045 73817 236454 352777 663048 1930100 336322 rec. 21036383 (D) (D) 165306 213744 (D) 1081757 1968151 3520672 17515711 336330 firms 179 11 36 27 21 95 31 20 146 33 177 8 34 26 25 93 31 20 144 33 171 6 34 25 23 88 32 18 138 33 168 6 34 23 26 89 30 15 134 34 185 12 40 20 28 100 33 18 151 34 336330 estab. 211 11 36 27 21 95 32 21 148 63 212 8 34 26 25 93 32 21 146 66 207 6 34 25 23 88 33 19 140 67 204 6 34 23 26 89 31 17 137 67 221 12 40 20 28 100 33 22 155 66 336330 empl. 48499 0 87 189 286 562 1171 5112 6845 41654 47467 0 91 171 326 588 1258 5456 7302 40165 50001 0 74 160 302 536 1314 5150 7000 43001 44251 0 81 145 334 560 1199 3754 5513 38738 36109 [a] [b] 130 396 612 1361 4225 6198 29911 336330 ann. pay. 2294232 207 2072 6134 6868 15281 34391 165106 214778 2079454 2452249 699 2360 4041 8248 15348 41193 181206 237747 2214502 2390938 443 2054 4042 7039 13578 42220 163038 218836 2172102 2091211 880 2580 3386 9389 16235 39852 133397 189484 1901727 1788109 (D) (D) 8475 11475 29031 48673 151341 229045 1559064 336330 rec. 10103427 (D) (D) 72323 41780 (D) 214578 900773 1264271 8839156 336340 firms 207 11 36 24 31 102 49 27 178 29 201 6 45 20 32 103 42 25 170 31 198 10 41 23 25 99 43 25 167 31 193 10 42 22 25 99 38 29 166 27 194 11 51 17 21 100 40 23 163 31 336340 estab. 282 11 36 24 31 102 51 32 185 97 278 6 45 20 32 103 43 30 176 102 266 10 41 23 25 99 44 31 174 92 260 10 42 22 25 99 39 35 173 87 253 11 51 17 21 100 41 29 170 83 336340 empl. 41357 0 92 149 405 646 2181 4796 7623 33734 43812 0 108 130 432 670 1779 4635 7084 36728 43115 0 100 156 345 601 1859 4379 6839 36276 39484 0 103 144 383 630 1731 4824 7185 32299 36478 0 121 103 280 504 1897 3523 5924 30554 336340 ann. pay. 1478517 1212 2147 3317 9153 15829 63940 139004 218773 1259744 1675180 1221 3102 3253 13978 21554 56059 129241 206854 1468326 1584230 286 3133 4086 9820 17325 65240 119126 201691 1382539 1477891 4119 4021 3624 10870 22634 54305 130095 207034 1270857 1394536 2699 5489 3777 7282 19247 61836 108547 189630 1204906 336340 rec. 12523497 26151 35173 23001 42270 126595 387408 524302 1038305 11485192 336350 firms 453 36 126 65 53 280 71 43 394 59 431 27 109 68 51 255 80 38 373 58 411 24 110 54 51 239 77 40 356 55 410 21 109 64 52 246 69 40 355 55 413 20 120 66 51 257 67 40 364 49 336350 estab. 550 36 126 65 53 280 73 49 402 148 532 27 110 68 51 256 82 45 383 149 509 24 110 54 52 240 78 44 362 147 507 21 109 64 52 246 71 45 362 145 513 20 120 66 52 258 70 45 373 140 336350 empl. 115906 0 294 427 751 1472 2914 6148 10534 105372 113184 0 252 434 677 1363 3410 5462 10235 102949 118268 0 278 351 699 1328 3101 6188 10617 107651 105316 0 271 420 724 1415 2899 6145 10459 94857 92395 0 291 442 700 1433 2812 6451 10696 81699 336350 ann. pay. 6013521 6507 6501 10448 19616 43072 86244 189267 318583 5694938 6450096 687 6096 11249 17378 35410 99246 175724 310380 6139716 6684394 1735 7220 10565 26600 46120 93245 205292 344657 6339737 5889799 2018 7583 11589 21790 42980 83264 218669 344913 5544886 5353543 1624 7711 13287 22774 45396 98056 240174 383626 4969917 336350 rec. 34296275 14508 39617 63148 112367 229640 548680 1527297 2305617 31990658 336360 firms 276 23 64 34 26 147 62 32 241 35 259 22 56 34 25 137 56 33 226 33 242 16 50 34 25 125 58 28 211 31 247 15 53 38 24 130 61 28 219 28 245 22 45 37 28 132 58 30 220 25 336360 estab. 366 23 64 34 27 148 63 44 255 111 350 22 56 34 25 137 57 40 234 116 335 16 50 34 25 125 58 36 219 116 338 15 53 38 24 130 61 37 228 110 332 22 45 37 28 132 58 35 225 107 336360 empl. 46977 0 148 217 352 717 2356 6229 9302 37675 50847 0 152 222 328 702 2240 6583 9525 41322 53783 0 117 210 348 675 2231 5846 8752 45031 50433 0 130 254 333 717 2320 5699 8736 41697 47931 0 108 246 359 713 2171 6003 8887 39044 336360 ann. pay. 1687217 1037 2309 4790 7290 15426 51146 166194 232766 1454451 1861304 978 3490 4737 7116 16321 48165 177081 241567 1619737 1959934 3917 2660 4375 9480 20432 57584 162257 240273 1719661 1774288 2536 2704 5691 9422 20353 86044 164911 271308 1502980 1871255 12047 2432 6286 10120 30885 66030 186670 283585 1587670 336360 rec. 17773782 174164 16589 91277 60965 342995 366385 1016293 1725673 16048109 336370 firms 638 15 56 45 75 191 226 141 558 80 635 25 53 49 72 199 220 132 551 84 612 13 48 46 69 176 220 133 529 83 603 15 59 48 70 192 206 126 524 79 584 21 49 56 62 188 201 118 507 77 336370 estab. 789 15 56 45 75 191 232 169 592 197 784 25 53 49 73 200 225 155 580 204 754 13 48 46 70 177 224 167 568 186 740 15 60 48 70 193 210 153 556 184 719 21 49 56 64 190 206 144 540 179 336370 empl. 126060 0 135 306 1083 1524 10133 26673 38330 87730 127248 0 116 326 1032 1474 10321 24892 36687 90561 129416 0 109 309 984 1402 10369 26700 38471 90945 115931 0 135 327 1060 1522 9545 24062 35129 80802 111908 [a] [c] 394 934 1433 8846 23252 33531 78377 336370 ann. pay. 5549720 3196 3683 8321 36042 51242 369956 878221 1299419 4250301 6233803 5546 3330 11391 38440 58707 396598 894823 1350128 4883675 6282397 1414 3021 9018 35012 48465 393751 962096 1404312 4878085 5304947 9805 4925 9392 37151 61273 360778 812668 1234719 4070228 5379524 (D) (D) 13961 34536 55280 359989 872185 1287454 4092070 336370 rec. 24428350 (D) (D) 78857 144440 (D) 1499474 4170964 5930308 18498042 336391 firms 59 2 8 8 6 24 14 4 42 17 66 5 8 10 7 30 13 5 48 18 64 0 13 7 8 28 15 5 48 16 64 1 7 9 12 29 13 7 49 15 65 2 10 11 12 35 15 7 57 8 336391 estab. 62 2 8 8 6 24 14 4 42 20 70 5 8 10 7 30 13 5 48 22 69 0 13 7 8 28 15 6 49 20 69 1 7 9 12 29 13 7 49 20 72 2 10 11 13 36 17 8 61 11 336391 empl. 22168 [a] [a] 47 82 147 550 681 1378 20790 22210 0 22 65 95 182 561 951 1694 20516 21894 0 34 42 107 183 596 1018 1797 20097 19406 [a] [b] 56 155 231 558 1236 2025 17381 12985 [a] [b] 71 152 248 771 1019 2038 10947 336391 ann. pay. 1017781 (D) (D) 1041 2153 4159 15743 25765 45667 972114 1224513 245 463 1504 2755 4967 15038 31221 51226 1173287 1099536 0 524 1263 2700 4487 17309 34355 56151 1043385 990743 (D) (D) 1753 5193 9450 15402 38972 63824 926919 710555 (D) (D) 2218 4252 7208 23159 36470 66837 643718 336391 rec. 3396145 (D) (D) 6953 24047 (D) 96412 151884 282667 3113478 336399 firms 1233 79 252 157 143 631 309 145 1085 148 1210 63 258 161 147 629 304 142 1075 135 1163 45 254 156 146 601 290 133 1024 139 1133 61 246 163 136 606 270 119 995 138 1145 62 229 173 148 612 246 134 992 153 336399 estab. 1490 79 252 157 143 631 334 173 1138 352 1478 68 258 161 148 635 325 164 1124 354 1427 45 254 156 151 606 308 150 1064 363 1390 61 246 164 138 609 276 143 1028 362 1434 63 229 173 150 615 260 165 1040 394 336399 empl. 178168 [a] [f] 1056 1984 3625 13044 26772 43441 134727 173918 0 583 1085 2083 3751 13269 26673 43693 130225 177427 0 577 1068 1960 3605 12932 25716 42253 135174 161895 [a] [f] 1098 1874 3511 12182 21402 37095 124800 155355 [a] [f] 1204 2151 3878 10927 22783 37588 117767 336399 ann. pay. 6097950 (D) (D) 24407 58340 105561 371707 814818 1292086 4805864 6319241 8147 16204 27094 64356 115801 403135 827920 1346856 4972385 6548513 2493 14410 29692 62660 109255 384506 798794 1292555 5255958 5926573 (D) (D) 30171 59115 117359 368996 667629 1153984 4772589 5960123 (D) (D) 38515 71242 136628 344660 778941 1260229 4699894 336399 rec. 44560019 (D) (D) 203196 393869 (D) 1659513 4597217 7078773 37481246 336411 firms 191 24 45 29 15 113 35 14 162 29 193 18 52 31 19 120 27 20 167 26 211 30 60 31 16 137 27 20 184 27 229 29 57 41 23 150 30 22 202 27 243 23 89 32 22 166 33 18 217 26 336411 estab. 228 24 45 29 15 113 35 14 162 66 229 18 52 31 19 120 27 20 167 62 244 31 60 31 16 138 27 20 185 59 259 29 57 41 23 150 31 23 204 55 273 23 89 32 22 166 33 19 218 55 336411 empl. 216145 [a] [c] 182 190 480 1832 1565 3877 212268 215746 0 109 200 256 565 1215 2866 4646 211100 177589 0 150 206 218 574 1243 2878 4695 172894 182564 0 129 256 313 698 1342 3166 5206 177358 152438 0 199 207 296 702 1504 2714 4920 147518 336411 ann. pay. 11337190 (D) (D) 4703 5755 16671 58976 70602 146249 11190941 11834721 8461 2912 4824 8196 24393 40407 102037 166837 11667884 9692195 12047 5036 6212 7899 31194 42843 110572 184609 9507586 10368403 3027 3737 7970 9490 24224 52814 127697 204735 10163668 9152278 13150 5840 6015 11084 36089 56040 112775 204904 8947374 336411 rec. 63239105 46799 31006 24525 60475 162805 308274 408238 879317 62359788 336412 firms 269 19 34 30 26 109 64 61 234 35 272 18 33 31 26 108 65 60 233 39 259 8 38 28 27 101 66 54 221 38 268 12 38 32 23 105 69 53 227 41 270 9 46 37 25 117 61 52 230 40 336412 estab. 371 19 34 30 26 109 67 68 244 127 382 18 33 31 26 108 68 74 250 132 388 8 38 28 27 101 69 61 231 157 392 12 38 32 23 105 71 62 238 154 392 9 46 37 25 117 63 60 240 152 336412 empl. 85360 [a] [b] 210 370 656 3210 9613 13479 71881 88284 [a] [b] 209 359 636 3124 9661 13421 74863 84173 0 74 198 378 650 3353 8426 12429 71744 80242 [a] [b] 229 324 631 3297 8143 12071 68171 73979 [a] [b] 263 347 698 2946 7833 11477 62502 336412 ann. pay. 4345250 (D) (D) 7311 16938 34468 134110 379487 548065 3797185 4728233 (D) (D) 6780 15441 29071 128782 388639 546492 4181741 4678962 827 2227 6569 15516 25139 147469 343635 516243 4162719 4882217 (D) (D) 8174 14038 25231 154414 333490 513135 4369082 4233223 (D) (D) 9332 15092 29343 125197 320411 474951 3758272 336412 rec. 23973286 (D) (D) 41431 60686 (D) 460785 1131314 1717719 22255567 336413 firms 1034 70 251 154 171 646 258 59 963 71 1033 75 255 162 164 656 241 64 961 72 1003 59 247 169 164 639 237 63 939 64 962 54 216 167 153 590 247 58 895 67 771 41 121 117 159 438 217 54 709 62 336413 estab. 1130 70 251 154 171 646 261 63 970 160 1134 75 255 162 164 656 244 66 966 168 1106 59 247 169 164 639 239 66 944 162 1058 54 216 167 153 590 249 64 903 155 868 41 121 117 159 438 220 61 719 149 336413 empl. 137369 0 571 1021 2338 3930 10500 10169 24599 112770 130163 0 589 1083 2237 3909 9696 10456 24061 106102 114862 0 554 1161 2214 3929 9317 9586 22832 92030 118205 0 482 1149 2097 3728 9785 10027 23540 94665 103119 0 306 825 2184 3315 8941 9007 21263 81856 336413 ann. pay. 6343477 15760 19687 30932 79471 145850 387868 407847 941565 5401912 6119828 10762 21441 36744 71194 140141 354700 418742 913583 5206245 5904951 7080 19371 35818 74513 136782 359528 422134 918444 4986507 6169999 7712 16720 35475 77448 137355 384636 443170 965161 5204838 5453695 4628 12477 28552 86674 132331 370900 379657 882888 4570807 336413 rec. 21156031 19021 44433 94232 279185 436871 1167308 1295968 2900147 18255884 336414 firms 13 1 1 0 2 4 1 2 7 6 12 0 1 0 2 3 1 1 5 7 11 0 1 0 2 3 0 1 4 7 12 1 2 0 1 4 0 1 5 7 10 0 2 0 1 3 0 0 3 7 336414 estab. 22 1 1 0 2 4 1 2 7 15 21 0 1 0 2 3 1 1 5 16 17 0 1 0 2 3 0 1 4 13 18 1 2 0 1 4 0 1 5 13 15 0 2 0 1 3 0 0 3 12 336414 empl. 55415 [a] [a] 0 [b] [b] [b] [e] [e] [l] 50398 0 [a] 0 [b] [b] [b] [c] 180 50218 47500 0 [a] 0 [b] [b] 0 [b] 120 47380 47207 [a] [a] 0 [a] [a] 0 [b] [c] [k] 41731 0 [a] 0 [a] [a] 0 0 [a] [k] 336414 ann. pay. 3496383 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 3604475 0 (D) 0 (D) (D) (D) (D) 12217 3592258 3429887 0 (D) 0 (D) (D) 0 (D) 7864 3422023 3460606 (D) (D) 0 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 3159505 0 (D) 0 (D) (D) 0 0 (D) (D) 336414 rec. 11638733 0 (D) 0 (D) (D) 0 0 (D) (D) 336415 firms 20 0 2 2 1 5 4 0 9 11 20 0 1 2 0 3 5 0 8 12 15 0 0 2 2 4 2 0 6 9 17 0 2 2 1 5 3 0 8 9 15 0 2 1 4 7 1 0 8 7 336415 estab. 29 0 2 2 1 5 4 0 9 20 29 0 1 2 0 3 6 0 9 20 22 0 0 2 2 4 2 0 6 16 24 0 2 2 1 5 3 0 8 16 23 0 2 1 4 7 1 0 8 15 336415 empl. 18780 0 [a] [a] [a] [b] [b] 0 126 18654 18533 0 [a] [a] 0 [a] [c] 0 169 18364 15515 0 0 [a] [b] [b] [b] 0 96 15419 15405 0 [a] [a] [a] [b] 77 0 [c] [j] 13616 0 [a] [a] 55 [b] [b] 0 [c] [j] 336415 ann. pay. 1078605 0 (D) (D) (D) (D) (D) 0 7718 1070887 1104349 0 (D) (D) 0 (D) (D) 0 8794 1095555 988794 0 0 (D) (D) (D) (D) 0 3690 985104 1007405 0 (D) (D) (D) (D) 2894 0 (D) (D) 915942 0 (D) (D) 3496 (D) (D) 0 (D) (D) 336415 rec. 2439105 0 (D) (D) 5407 (D) (D) 0 (D) (D) 336419 firms 44 2 7 8 7 24 11 2 37 7 47 1 8 7 6 22 12 2 36 11 43 0 5 9 6 20 10 2 32 11 38 0 5 7 6 18 8 2 28 10 43 2 9 6 6 23 7 3 33 10 336419 estab. 47 2 7 8 7 24 11 2 37 10 50 1 8 7 6 22 12 2 36 14 46 0 5 9 6 20 10 2 32 14 41 0 5 7 6 18 8 2 28 13 48 2 9 6 6 23 7 3 33 15 336419 empl. 5812 [a] [b] [b] [c] [c] [e] [c] [f] [h] 6447 [a] [a] [b] [b] [c] 404 [c] 761 5686 6604 0 [a] [b] [b] [c] [e] [c] 753 5851 5760 0 [a] [b] [b] [c] 354 [c] [f] [i] 6390 [a] [a] [b] [b] [c] [e] 326 781 5609 336419 ann. pay. 271889 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 326445 (D) (D) (D) (D) (D) 14610 (D) 28982 297463 331582 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 27750 303832 316219 0 (D) (D) (D) (D) 20763 (D) (D) (D) 335427 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 16137 38432 296995 336419 rec. 2000222 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 59770 116301 1883921 336510 firms 176 11 24 15 22 72 49 26 147 29 174 11 23 17 26 77 45 23 145 29 159 10 17 18 27 72 39 23 134 25 153 12 17 20 16 65 40 23 128 25 143 8 18 14 21 61 37 21 119 24 336510 estab. 237 11 24 15 22 72 52 34 158 79 241 11 23 17 26 77 48 30 155 86 227 10 17 18 27 72 44 29 145 82 218 12 17 20 16 65 44 28 137 81 197 8 18 14 21 61 38 29 128 69 336510 empl. 37676 [a] [b] 108 289 449 2111 3648 6208 31468 38815 0 54 118 352 524 2114 3124 5762 33053 38724 0 39 109 383 531 1998 3375 5904 32820 35423 [a] [b] 142 240 423 1897 3483 5803 29620 28199 0 40 95 292 427 1623 3024 5074 23125 336510 ann. pay. 1522233 (D) (D) 3203 8772 15374 77741 138741 231856 1290377 1612483 1036 1598 3557 13971 20162 76794 116320 213276 1399207 1633472 3604 2176 3159 11074 20013 74603 125588 220204 1413268 1486943 (D) (D) 4035 7006 24715 69008 126076 219799 1267144 1277714 265 1607 3265 11515 16652 70907 117790 205349 1072365 336510 rec. 8307047 1703 9234 18002 54546 83485 306427 434333 824245 7482802 336611 firms 651 54 153 97 95 399 148 65 612 39 631 47 176 91 97 411 128 56 595 36 622 45 169 91 91 396 131 60 587 35 613 45 166 95 85 391 130 60 581 32 560 42 151 88 69 350 122 61 533 27 336611 estab. 699 54 153 97 95 399 151 75 625 74 681 47 176 91 97 411 131 63 605 76 682 45 169 91 91 396 133 74 603 79 675 45 166 95 85 391 135 76 602 73 623 42 151 88 69 350 129 78 557 66 336611 empl. 97472 [a] [e] 656 1289 2294 6691 12048 21033 76439 96374 0 381 602 1311 2294 6029 10778 19101 77273 92685 0 363 612 1215 2190 5912 10939 19041 73644 88578 0 349 652 1189 2190 6100 10092 18382 70196 86361 0 315 613 924 1852 5173 10805 17830 68531 336611 ann. pay. 3529875 (D) (D) 18580 41387 76487 214396 376194 667077 2862798 3420621 3578 11784 16762 45946 78070 201650 327472 607192 2813429 3484032 5825 12234 15566 42508 76133 183980 393526 653639 2830393 3718951 3466 12086 18115 42747 76414 231779 375700 683893 3035058 3726103 7307 11717 20953 31332 71309 197832 431588 700729 3025374 336611 rec. 13445997 25124 41562 76713 102875 246274 837214 1377593 2461081 10984916 336612 firms 1080 131 318 190 157 796 204 61 1061 19 1037 132 305 177 152 766 184 66 1016 21 1018 100 304 167 165 736 189 70 995 23 1075 108 342 181 161 792 193 70 1055 20 1055 104 339 187 153 783 193 63 1039 16 336612 estab. 1136 131 318 190 158 797 205 70 1072 64 1098 132 305 177 154 768 184 72 1024 74 1081 100 304 167 166 737 190 76 1003 78 1140 108 342 181 162 793 194 80 1067 73 1113 104 339 187 154 784 195 73 1052 61 336612 empl. 45212 [a] [f] 1300 2139 4145 8921 11175 24241 20971 48691 0 671 1196 2085 3952 7992 12140 24084 24607 54284 0 681 1125 2270 4076 8237 13515 25828 28456 50384 0 749 1171 2244 4164 8410 13459 26033 24351 44931 0 704 1204 2070 3978 8381 12553 24912 20019 336612 ann. pay. 1231977 (D) (D) 28447 49171 104957 215594 324596 645147 586830 1383784 12573 15334 26527 54228 108662 217916 354885 681463 702321 1560238 3444 16164 25141 55020 99769 231072 390081 720922 839316 1375135 5683 17835 26953 55245 105716 231067 377879 714662 660473 1385605 12052 17228 30036 60180 119496 250595 402023 772114 613491 336612 rec. 7669426 89950 112833 150992 263719 617494 1110005 2231473 3958972 3710454 336991 firms 380 43 129 67 51 290 62 15 367 13 393 50 121 71 56 298 64 16 378 15 403 54 123 71 55 303 69 16 388 15 383 35 127 72 49 283 69 21 373 10 346 45 110 57 49 261 60 15 336 10 336991 estab. 391 43 129 67 51 290 64 16 370 21 402 50 121 71 56 298 65 18 381 21 410 54 123 71 55 303 70 16 389 21 390 35 128 72 49 284 69 22 375 15 355 45 110 58 49 262 60 18 340 15 336991 empl. 16986 [a] 295 [e] 691 1454 2634 1841 5929 11057 16193 0 275 468 763 1506 2792 2694 6992 9201 15008 0 250 460 753 1463 2941 2689 7093 7915 14960 0 280 492 671 1443 2871 3461 7775 7185 14202 0 250 383 693 1326 2571 2385 6282 7920 336991 ann. pay. 605704 (D) 7029 (D) 16618 36824 77559 55443 169826 435878 630894 2771 5870 11299 21089 41029 80688 94775 216492 414402 622046 3309 4671 11398 22662 42040 90083 87052 219175 402871 658317 1193 7265 12098 20458 41014 80625 123216 244855 413462 616227 6475 6531 11497 19279 43782 89629 100064 233475 382752 336991 rec. 4799448 38843 36289 60860 94029 230021 361395 515088 1106504 3692944 336992 firms 45 6 9 5 6 26 9 4 39 6 43 1 8 7 6 22 12 3 37 6 45 6 8 4 8 26 8 3 37 8 40 1 8 4 8 21 8 2 31 9 33 1 5 4 5 15 6 3 24 9 336992 estab. 52 6 9 5 6 26 9 4 39 13 52 1 8 7 6 22 13 4 39 13 53 6 8 4 8 26 9 3 38 15 48 1 8 4 8 21 9 2 32 16 39 1 5 4 5 15 7 3 25 14 336992 empl. 7481 [a] 20 [b] 85 142 347 549 1038 6443 5840 [a] [a] 48 80 144 550 528 1222 4618 6096 0 18 27 122 167 396 370 933 5163 5804 [a] [a] 23 110 [c] 348 [e] 774 5030 5403 [a] [a] 26 73 111 170 322 603 4800 336992 ann. pay. 395513 (D) 438 (D) 3199 7209 16935 21327 45471 350042 295152 (D) (D) 1100 3389 4897 20576 22220 47693 247459 308795 321 239 897 4488 5945 17673 13123 36741 272054 308578 (D) (D) 522 3370 (D) 12640 (D) 31282 277296 307920 (D) (D) 1105 2657 4266 8398 16367 29031 278889 336992 rec. 1871367 (D) (D) 3403 9065 (D) 28946 79091 124799 1746568 336999 firms 376 30 84 61 64 239 89 26 354 22 368 32 87 60 57 236 87 24 347 21 360 31 85 53 54 223 93 25 341 19 347 15 94 56 55 220 85 23 328 19 403 44 126 58 52 280 79 23 382 21 336999 estab. 400 30 84 61 64 239 99 28 366 34 386 32 87 60 57 236 90 26 352 34 378 31 85 53 54 223 96 27 346 32 366 15 94 56 55 220 88 25 333 33 423 44 126 58 52 280 84 25 389 34 336999 empl. 22007 0 187 425 845 1457 3667 3786 8910 13097 20682 [a] [c] 407 782 1384 3399 3717 8500 12182 21525 0 196 355 749 1300 3703 3925 8928 12597 21349 [a] [c] 376 779 [g] 3308 [h] 7789 13560 19940 [a] [e] 379 695 1368 2990 2871 7229 12711 336999 ann. pay. 663148 2304 4814 11735 21426 40279 107597 96439 244315 418833 666245 (D) (D) 9240 18993 35172 105243 106387 246802 419443 721967 801 4244 8431 20977 34453 115588 112745 262786 459181 732844 (D) (D) 9516 21629 (D) 107555 (D) 235116 497728 699222 (D) (D) 9446 20688 40912 102917 90067 233896 465326 336999 rec. 7264154 (D) (D) 56981 107421 (D) 526274 435572 1187497 6076657 337110 firms 7797 618 3465 1760 1109 6952 723 98 7773 24 7633 567 3337 1727 1105 6736 766 104 7606 27 7475 550 3154 1694 1123 6521 809 117 7447 28 8071 588 3410 1802 1252 7052 880 112 8044 27 9560 711 4455 2086 1312 8564 858 110 9532 28 337110 estab. 7904 618 3466 1760 1111 6955 748 118 7821 83 7749 567 3338 1727 1108 6740 789 126 7655 94 7585 551 3155 1694 1127 6527 817 141 7485 100 8176 588 3410 1803 1256 7057 890 130 8077 99 9670 711 4456 2087 1317 8571 869 124 9564 106 337110 empl. 101442 0 7729 11550 14858 34137 26980 15975 77092 24350 110070 0 7478 11421 14853 33752 28401 17419 79572 30498 116420 0 7152 11189 15175 33516 30328 20361 84205 32215 122015 0 7728 12013 16869 36610 32681 19972 89263 32752 127541 0 10036 13732 17567 41335 31690 18889 91914 35627 337110 ann. pay. 2582130 54432 151572 247961 350628 804593 700515 417810 1922918 659212 2882244 20745 156005 255010 365515 797275 779487 478657 2055419 826825 3122805 23844 152802 256872 382962 816480 850976 567633 2235089 887716 3370054 28456 175475 287768 443001 934700 950791 571548 2457039 913015 3656587 26256 227720 342557 485679 1082212 949449 570177 2601838 1054749 337110 rec. 14688148 100114 779398 1106399 1535485 3521396 2916730 2284004 8722130 5966018 337121 firms 1590 134 547 282 213 1176 278 101 1555 35 1524 103 542 270 191 1106 278 107 1491 33 1473 93 505 261 208 1067 252 117 1436 37 1445 104 502 256 197 1059 245 103 1407 38 1473 92 515 274 210 1091 246 98 1435 38 337121 estab. 1749 134 548 285 216 1183 295 128 1606 143 1675 103 544 273 193 1113 296 136 1545 130 1621 93 506 264 212 1075 268 143 1486 135 1585 104 503 259 202 1068 262 126 1456 129 1630 92 517 277 220 1106 264 131 1501 129 337121 empl. 89513 0 1249 1871 2831 5951 12702 19728 38381 51132 89958 0 1205 1811 2574 5590 12493 21544 39627 50331 93209 0 1090 1727 2879 5696 11606 22269 39571 53638 87444 0 1101 1720 2713 5534 11258 19803 36595 50849 84748 0 1167 1825 2784 5776 10977 18473 35226 49522 337121 ann. pay. 2128442 9171 24973 33749 59718 127611 263082 464753 855446 1272996 2254557 17841 24276 34577 58859 135553 275305 520437 931295 1323262 2359297 4729 22366 34348 64608 126051 260287 538995 925333 1433964 2196891 7756 23161 35327 57778 124022 257506 483654 865182 1331709 2249186 9036 25788 39103 68437 142364 266862 478140 887366 1361820 337121 rec. 9913758 66097 117387 164649 250742 598875 1017083 2191224 3807182 6106576 337122 firms 3696 422 1585 617 424 3048 444 144 3636 60 3674 432 1547 595 447 3021 460 134 3615 59 3673 384 1559 610 466 3019 462 131 3612 61 3776 396 1656 629 474 3155 444 122 3721 55 3985 400 1802 732 472 3406 418 110 3934 51 337122 estab. 3889 422 1586 619 428 3055 473 162 3690 199 3839 432 1547 598 450 3027 486 149 3662 177 3826 384 1560 612 467 3023 482 144 3649 177 3913 396 1657 630 476 3159 457 141 3757 156 4112 400 1802 736 478 3416 436 126 3978 134 337122 empl. 128128 0 3407 4093 5688 13188 18416 24743 56347 71781 131832 0 3285 3941 5964 13190 19413 22256 54859 76973 133247 0 3353 3988 6196 13537 19330 21733 54600 78647 123706 0 3453 4149 6348 13950 18431 20468 52849 70857 110045 0 3817 4840 6273 14930 17427 18434 50791 59254 337122 ann. pay. 2901639 15170 58632 74410 111533 259745 381521 527438 1168704 1732935 3085186 18976 60928 71338 122477 273719 428082 496512 1198313 1886873 3132418 10824 63530 75131 131565 281050 436317 494229 1211596 1920822 2872567 15701 67994 85748 137242 306685 419583 464637 1190905 1681662 2745375 12613 75357 105705 140969 334644 426217 441480 1202341 1543034 337122 rec. 11707560 51016 342219 401718 504883 1299836 1676047 1872031 4847914 6859646 337124 firms 375 19 104 66 60 249 77 27 353 22 378 36 97 54 63 250 81 27 358 20 375 28 105 57 59 249 78 28 355 20 387 27 109 63 63 262 80 29 371 16 364 35 98 62 50 245 74 30 349 15 337124 estab. 407 19 104 66 60 249 80 32 361 46 411 36 97 54 63 250 84 34 368 43 407 28 105 57 59 249 80 34 363 44 419 27 109 63 63 262 82 35 379 40 394 35 98 62 50 245 76 37 358 36 337124 empl. 23281 0 231 448 812 1491 3250 4980 9721 13560 23074 0 233 365 864 1462 3444 5472 10378 12696 23807 0 250 392 831 1473 3552 5405 10430 13377 23388 0 254 418 824 1496 3719 6208 11423 11965 19889 0 215 422 652 1289 3126 5864 10279 9610 337124 ann. pay. 541425 3324 4165 10010 17870 35369 81285 131774 248428 292997 555931 10529 4288 7868 21182 43867 88042 137685 269594 286337 579269 1077 5086 8960 20426 35549 90420 138710 264679 314590 564478 1877 5048 9109 19474 35508 94295 149983 279786 284692 530367 3961 4876 8339 18023 35199 83143 162581 280923 249444 337124 rec. 2917746 18285 24497 33098 89908 165788 315481 655219 1136488 1781258 337125 firms 207 30 75 36 23 164 27 7 198 9 204 22 73 33 25 153 32 10 195 9 217 19 81 35 28 163 36 8 207 10 212 16 81 40 21 158 38 8 204 8 195 20 74 27 24 145 35 8 188 7 337125 estab. 211 30 75 36 23 164 28 8 200 11 209 22 73 33 25 153 34 11 198 11 220 19 81 35 28 163 38 9 210 10 214 16 81 40 21 158 39 9 206 8 197 20 74 27 24 145 36 9 190 7 337125 empl. 4272 0 151 248 324 723 1011 1100 2834 1438 4707 0 136 221 338 695 1072 1272 3039 1668 5006 0 149 230 391 770 1586 1449 3805 1201 4464 0 166 272 305 743 1638 1213 3594 870 3947 0 147 189 306 642 1414 943 2999 948 337125 ann. pay. 104439 1658 2344 4643 7272 15917 21132 28784 65833 38606 115263 652 2050 4769 8469 15940 22401 34876 73217 42046 121190 920 2203 4525 10976 18624 33497 35834 87955 33235 104568 632 3478 5837 6014 15961 35562 27899 79422 25146 101089 369 3193 4509 6137 14208 32704 26828 73740 27349 337125 rec. 529281 2264 16449 19067 25082 62862 142060 191533 396455 132826 337127 firms 956 88 229 150 145 612 241 74 927 29 955 65 232 156 151 604 250 69 923 32 894 60 222 135 138 555 233 77 865 29 881 56 217 148 129 550 232 67 849 32 739 32 144 138 126 440 203 68 711 28 337127 estab. 986 88 229 150 147 614 242 86 942 44 987 65 232 156 153 606 250 80 936 51 925 60 222 135 139 556 234 88 878 47 912 56 217 149 129 551 233 79 863 49 771 32 144 138 128 442 206 82 730 41 337127 empl. 36262 0 538 1012 1982 3532 10366 11758 25656 10606 40136 0 514 1037 2099 3650 10970 11901 26521 13615 39243 0 492 898 1915 3305 10183 12649 26137 13106 36978 0 489 1008 1808 3305 9986 11358 24649 12329 33833 0 314 918 1764 2996 8801 11139 22936 10897 337127 ann. pay. 1022633 4567 10551 22336 50096 87550 284102 349621 721273 301360 1149284 1746 10701 23659 56279 92385 309110 361286 762781 386503 1190350 1879 11509 21854 54943 90185 295584 397115 782884 407466 1127653 7952 10888 23559 48795 91194 288890 353842 733926 393727 1085180 1364 9478 25044 54275 90161 272226 376935 739322 345858 337127 rec. 4693328 6410 41445 95744 188359 331958 1062269 1569889 2964116 1729212 337129 firms 105 13 33 15 19 80 18 4 102 3 107 8 34 25 12 79 19 5 103 4 100 7 36 15 16 74 17 4 95 5 152 26 63 22 15 126 17 4 147 5 189 28 98 23 22 171 11 3 185 4 337129 estab. 105 13 33 15 19 80 18 4 102 3 107 8 34 25 12 79 19 5 103 4 100 7 36 15 16 74 17 4 95 5 152 26 63 22 15 126 17 4 147 5 189 28 98 23 22 171 11 3 185 4 337129 empl. 3420 0 73 96 247 416 835 786 2037 1383 3824 0 61 167 156 384 712 1061 2157 1667 3641 0 67 104 208 379 589 1068 2036 1605 3546 0 134 147 200 481 526 902 1909 1637 2762 0 209 145 300 654 331 491 1476 1286 337129 ann. pay. 71977 635 1409 1627 5010 8681 16393 16014 41088 30889 81800 754 1182 2842 3926 8704 14483 22067 45254 36546 87525 836 1721 2048 4549 9154 13265 19283 41702 45823 93368 852 3195 2626 4072 10745 13222 19146 43113 50255 76900 715 4299 3096 7393 15503 8042 14203 37748 39152 337129 rec. 304515 2555 17013 11204 27362 58134 54770 40782 153686 150829 337211 firms 622 48 178 102 72 400 163 40 603 19 596 26 171 108 69 374 160 40 574 22 562 30 153 89 77 349 154 39 542 20 572 20 149 95 81 345 167 40 552 20 585 32 155 95 94 376 154 35 565 20 337211 estab. 658 48 178 102 72 400 166 44 610 48 632 26 171 108 69 374 163 46 583 49 596 30 153 89 77 349 155 46 550 46 603 20 149 95 81 345 169 44 558 45 610 32 155 95 94 376 157 37 570 40 337211 empl. 29880 0 427 671 997 2095 7691 6476 16262 13618 30118 0 386 713 975 2074 7344 5547 14965 15153 30029 0 329 576 1072 1977 7274 6120 15371 14658 29255 0 310 651 1107 2068 7506 6373 15947 13308 25597 0 360 650 1324 2334 6809 5385 14528 11069 337211 ann. pay. 834296 1821 9530 15151 27817 54319 209587 170816 434722 399574 849286 1431 9145 16299 28417 55292 204437 152322 412051 437235 911681 1935 7199 13315 31257 53706 214986 177180 445872 465809 844918 1330 7334 15675 29096 53435 222029 168083 443547 401371 769162 3014 11226 17199 37790 69229 214123 154727 438079 331083 337211 rec. 3105193 12893 50286 66883 127233 257295 720951 553673 1531919 1573274 337212 firms 1060 53 226 195 214 688 325 43 1056 4 1046 59 220 177 220 676 325 41 1042 4 1026 56 205 187 202 650 325 47 1022 4 1155 65 268 217 224 774 336 42 1152 3 1224 72 343 234 203 852 324 41 1217 7 337212 estab. 1069 53 226 195 214 688 326 48 1062 7 1054 59 220 177 220 676 326 46 1048 6 1035 56 205 187 202 650 327 51 1028 7 1165 65 268 217 224 774 338 47 1159 6 1233 72 343 234 203 852 325 46 1223 10 337212 empl. 23642 0 515 1360 2939 4814 12432 5099 22345 1297 23931 0 500 1202 3027 4729 12709 5395 22833 1098 24073 0 477 1257 2748 4482 12616 5780 22878 1195 24867 0 617 1508 3118 5243 13409 5213 23865 1002 23317 0 763 1600 2695 5058 12396 4821 22275 1042 337212 ann. pay. 777684 3423 11787 39012 90413 144635 424967 172726 742328 35356 811763 3880 13165 33994 99633 150672 441296 187943 779911 31852 835598 5060 12418 34914 90776 143168 461924 198893 803985 31613 872968 3667 16399 45568 105612 171246 483815 184132 839193 33775 854744 6766 23766 50017 91670 172219 465910 183282 821411 33333 337212 rec. 2607038 21182 81041 145654 271618 519495 1375183 576396 2471074 135964 337214 firms 300 14 59 41 56 170 70 38 278 22 289 16 63 38 40 157 71 40 268 21 275 10 56 44 38 148 69 37 254 21 265 13 54 38 38 143 60 42 245 20 272 18 62 40 41 161 65 28 254 18 337214 estab. 363 14 59 41 56 170 71 48 289 74 350 16 63 38 40 157 71 48 276 74 329 10 56 44 38 148 70 42 260 69 317 13 54 38 38 143 61 47 251 66 319 18 62 40 41 161 67 31 259 60 337214 empl. 45177 0 135 288 760 1183 3219 5131 9533 35644 44500 0 141 260 553 954 3073 5479 9506 34994 45111 0 125 282 535 942 3048 5342 9332 35779 44742 0 116 266 566 948 2565 5682 9195 35547 35038 0 135 262 591 988 2950 3053 6991 28047 337214 ann. pay. 1808623 404 3523 7069 17832 28828 90344 146973 266145 1542478 1840476 1327 4063 6870 14909 27169 88475 161096 276740 1563736 1915238 414 3422 6585 16614 27035 92383 172551 291969 1623269 1854963 1736 3468 6327 16611 28142 78964 166447 273553 1581410 1372621 957 4208 7495 15988 28648 92744 94702 216094 1156527 337214 rec. 7619993 4871 26472 44342 80094 155779 363982 540543 1060304 6559689 337215 firms 2042 137 397 358 380 1272 585 132 1989 53 2019 124 416 345 372 1257 570 135 1962 57 1978 120 397 353 352 1222 564 136 1922 56 1925 106 391 363 341 1201 539 128 1868 57 1788 96 359 334 327 1116 509 119 1744 44 337215 estab. 2116 137 397 358 381 1273 595 159 2027 89 2105 124 416 345 373 1258 578 166 2002 103 2076 120 397 353 353 1223 571 175 1969 107 2028 106 391 363 342 1202 546 168 1916 112 1882 96 359 334 328 1117 516 165 1798 84 337215 empl. 74414 0 944 2384 5220 8548 25242 20565 54355 20059 76040 0 996 2325 5128 8449 24413 20359 53221 22819 77987 0 912 2395 4860 8167 23890 21546 53603 24384 72293 0 892 2451 4608 7951 21578 19790 49319 22974 64371 0 844 2280 4500 7624 20421 18368 46413 17958 337215 ann. pay. 2161737 11365 26785 57914 135633 231697 736573 609628 1577898 583839 2267803 8558 25499 56351 136298 226706 738686 610081 1575473 692330 2389945 7251 22411 60108 129103 218873 712623 685275 1616771 773174 2200068 5635 21561 64684 125962 217842 662925 642335 1523102 676966 2077002 8723 22571 63288 129046 223628 652701 634167 1510496 566506 337215 rec. 7984314 54376 84346 225683 454078 818483 2180212 2425659 5424354 2559960 337910 firms 620 46 140 101 100 387 180 40 607 13 604 30 145 100 90 365 183 44 592 12 575 31 130 95 90 346 177 40 563 12 557 27 128 97 89 341 168 36 545 12 522 17 117 87 95 316 159 35 510 12 337910 estab. 696 46 141 101 100 388 183 60 631 65 685 32 146 100 90 368 183 69 620 65 661 33 130 95 90 348 179 66 593 68 639 27 128 102 89 346 170 57 573 66 607 17 117 87 95 316 164 63 543 64 337910 empl. 24452 0 335 685 1362 2382 8116 6108 16606 7846 25264 0 345 665 1171 2181 8152 6384 16717 8547 26207 0 314 633 1193 2140 7996 6140 16276 9931 25500 0 308 645 1173 2126 7684 5467 15277 10223 24138 0 286 588 1315 2189 7298 5675 15162 8976 337910 ann. pay. 671147 5161 5798 12114 26191 49264 208171 171878 429313 241834 737740 4433 7145 11898 23504 46980 211880 194919 453779 283961 776111 1474 6465 10958 24929 43826 209070 168653 421549 354562 770601 987 6817 12489 26183 46476 208787 166731 421994 348607 762839 1268 6184 11436 29309 48197 206599 182527 437323 325516 337910 rec. 5020164 8889 41070 77964 156245 284168 1144512 1089276 2517956 2502208 337920 firms 428 27 157 65 61 310 86 24 420 8 424 25 147 78 54 304 84 28 416 8 427 27 135 88 63 313 71 35 419 8 430 28 149 76 65 318 71 33 422 8 433 24 161 64 75 324 67 33 424 9 337920 estab. 470 27 157 65 61 310 91 34 435 35 463 25 147 78 54 304 90 36 430 33 467 27 135 88 63 313 76 45 434 33 470 28 149 76 65 318 76 44 438 32 469 24 161 64 75 324 74 41 439 30 337920 empl. 19978 0 380 436 809 1625 3564 3765 8954 11024 19699 0 341 517 737 1595 3793 4467 9855 9844 22464 0 306 592 902 1800 3425 5950 11175 11289 20999 0 340 510 885 1735 3334 5773 10842 10157 19902 0 371 427 1030 1828 2779 5422 10029 9873 337920 ann. pay. 476119 2036 8064 7969 18131 36200 84095 86386 206681 269438 496500 3145 8343 10482 18422 40392 92473 108335 241200 255300 542204 583 7014 12503 20793 40893 81971 140132 262996 279208 560552 1372 8369 11026 20911 41678 80488 146336 268502 292050 525007 822 9000 9568 24624 44014 76288 148302 268604 256403 337920 rec. 2406049 6043 51592 51057 107069 215761 350863 595974 1162598 1243451 339111 firms 365 13 79 58 71 221 92 26 339 26 367 13 84 56 64 217 92 28 337 30 360 19 65 62 61 207 97 27 331 29 351 14 83 43 63 203 94 25 322 29 354 20 79 48 65 212 92 28 332 22 339111 estab. 378 13 79 58 71 221 94 28 343 35 382 13 84 56 64 217 93 32 342 40 377 19 65 62 61 207 98 31 336 41 369 14 83 43 63 203 96 28 327 42 372 20 79 48 65 212 93 33 338 34 339111 empl. 16838 0 184 391 1000 1575 3286 3884 8745 8093 18557 0 197 390 906 1493 3433 3627 8553 10004 19348 0 146 419 834 1399 3661 3923 8983 10365 20185 0 196 305 856 1357 3520 3351 8228 11957 17916 0 197 326 881 1404 3507 3672 8583 9333 339111 ann. pay. 709526 1038 6615 12597 37562 57812 133756 151976 343544 365982 806825 2225 7640 12670 34221 56756 148482 161892 367130 439695 955207 1894 5032 14278 34477 55681 176556 179848 412085 543122 899643 929 6902 11297 32906 52034 162997 149708 364739 534904 820156 1344 6456 13309 34045 55154 170985 166479 392618 427538 339111 rec. 2963574 5974 23991 55759 110529 196253 609955 591413 1397621 1565953 339112 firms 1431 98 351 263 230 942 310 92 1344 87 1394 83 364 245 217 909 310 97 1316 78 1317 73 337 220 213 843 306 93 1242 75 1285 64 323 228 196 811 293 102 1206 79 1167 54 274 208 166 702 280 100 1082 85 339112 estab. 1587 98 351 263 230 942 320 100 1362 225 1568 83 364 246 217 910 318 104 1332 236 1480 73 337 221 214 845 313 103 1261 219 1433 64 323 228 197 812 299 109 1220 213 1302 54 274 208 166 702 287 109 1098 204 339112 empl. 101977 0 777 1771 3004 5552 13214 13157 31923 70054 107519 0 820 1640 2904 5364 13345 13784 32493 75026 104325 0 758 1459 2832 5049 13239 14143 32431 71894 104167 0 736 1552 2728 5016 12588 15310 32914 71253 102891 0 629 1421 2229 4279 11673 15056 31008 71883 339112 ann. pay. 4161838 13396 27428 67383 110718 218925 548428 583192 1350545 2811293 4500211 9492 31805 62581 109137 213015 615624 587440 1416079 3084132 4588232 8628 27250 60147 113628 209653 636455 698576 1544684 3043548 5002724 4182 32192 64099 117436 217909 578334 857522 1653765 3348959 5055036 9941 28122 58114 108296 204473 539874 910488 1654835 3400201 339112 rec. 24809706 39841 107720 238047 388305 773913 1724407 3074465 5572785 19236921 339113 firms 1492 102 400 257 219 978 325 109 1412 80 1457 104 376 255 226 961 315 103 1379 78 1448 85 401 250 216 952 309 102 1363 85 1438 93 403 239 208 943 311 102 1356 82 1497 78 447 249 234 1008 300 104 1412 85 339113 estab. 1639 102 400 257 222 981 335 139 1455 184 1611 104 376 255 228 963 325 130 1418 193 1612 85 401 251 217 954 323 125 1402 210 1599 93 403 240 209 945 324 129 1398 201 1714 78 447 251 238 1014 329 187 1530 184 339113 empl. 89773 0 947 1686 3031 5664 13503 17138 36305 53468 88218 0 891 1691 3176 5758 13262 15791 34811 53407 90191 0 950 1654 2989 5593 12853 15276 33722 56469 90045 0 918 1604 2932 5454 12680 15824 33958 56087 87148 0 1031 1694 3209 5934 11821 17453 35208 51940 339113 ann. pay. 3316252 7821 34400 53463 98721 194405 407643 506084 1108132 2208120 3476251 22618 29322 55251 105931 213122 418030 528243 1159395 2316856 3756636 93247 32986 59384 104278 289895 421367 521003 1232265 2524371 3786809 14550 31100 62263 104029 211942 441303 548767 1202012 2584797 3941819 8205 36895 69203 120825 235128 440191 671329 1346648 2595171 339113 rec. 20281487 37945 158459 255867 508577 960848 1678234 2927497 5566579 14714908 339114 firms 867 88 362 170 120 740 85 27 852 15 855 58 384 164 125 731 80 29 840 15 819 56 346 174 123 699 76 32 807 12 804 45 352 176 108 681 83 29 793 11 694 43 289 135 104 571 80 31 682 12 339114 estab. 891 88 362 170 120 740 85 35 860 31 879 58 384 164 125 731 80 38 849 30 842 56 346 174 123 699 76 41 816 26 831 45 352 176 108 681 83 38 802 29 719 43 289 135 104 571 80 40 691 28 339114 empl. 18371 0 802 1126 1517 3445 3494 4389 11328 7043 18439 0 845 1084 1626 3555 3167 5205 11927 6512 18163 0 750 1150 1686 3586 2946 5743 12275 5888 17989 0 772 1174 1428 3374 2997 5363 11734 6255 17171 0 643 906 1383 2932 2806 5279 11017 6154 339114 ann. pay. 649799 5814 19487 30338 42731 98370 111068 159608 369046 280753 672854 8576 21919 29335 48786 108616 109352 198051 416019 256835 698314 3154 19428 32382 54690 109654 95086 236620 441360 256954 715454 3338 20396 35513 47086 106333 99347 232961 438641 276813 717848 6744 17659 28142 46406 98951 101966 237518 438435 279413 339114 rec. 3360110 69031 65787 90113 148078 373009 329210 1074411 1776630 1583480 339115 firms 494 26 192 83 69 370 71 27 468 26 480 23 177 93 62 355 71 29 455 25 466 23 181 77 65 346 66 30 442 24 458 19 175 85 61 340 67 26 433 25 428 27 159 78 51 315 67 23 405 23 339115 estab. 553 26 192 83 69 370 77 30 477 76 542 23 177 93 62 355 79 32 466 76 520 23 181 77 65 346 73 34 453 67 515 19 175 85 61 340 74 27 441 74 491 27 159 78 52 316 71 24 411 80 339115 empl. 27874 0 407 544 950 1901 2852 3835 8588 19286 27158 0 387 611 791 1789 2515 4003 8307 18851 27913 0 403 502 895 1800 2303 4307 8410 19503 26753 0 374 542 802 1718 2442 3474 7634 19119 24311 0 344 508 659 1511 2561 2839 6911 17400 339115 ann. pay. 917280 2935 10872 13860 22891 50558 71495 112244 234297 682983 955608 679 12551 17913 22022 53165 64290 118789 236244 719364 1030311 493 14487 13451 25782 54213 67460 129608 251281 779030 1070062 1613 12257 14580 26197 54647 75830 129009 259486 810576 980019 1682 10130 13904 22588 48304 77490 112484 238278 741741 339115 rec. 5160014 9223 49164 61265 83757 203409 349546 589154 1142109 4017905 339116 firms 7264 468 4565 1352 563 6948 293 16 7257 7 7176 503 4402 1372 559 6836 314 19 7169 7 7172 539 4277 1398 599 6813 328 24 7165 7 7232 542 4344 1376 598 6860 342 21 7223 9 6810 559 3995 1270 604 6428 353 22 6803 7 339116 estab. 7426 468 4566 1354 565 6953 317 91 7361 65 7345 503 4402 1375 561 6841 337 99 7277 68 7332 539 4277 1399 602 6817 346 101 7264 68 7404 542 4344 1377 601 6864 357 111 7332 72 6977 559 3995 1271 606 6431 368 109 6908 69 339116 empl. 41090 0 9454 8657 7493 25604 10741 1907 38252 2838 42336 0 9134 8814 7352 25300 11426 2462 39188 3148 44615 0 9023 8993 7880 25896 12012 3192 41100 3515 45296 0 9178 8875 7902 25955 12443 3013 41411 3885 44717 0 8551 8230 8055 24836 12676 3540 41052 3665 339116 ann. pay. 1076108 13289 205570 204052 197042 619953 313134 59347 992434 83674 1158812 18044 208134 215077 200844 642099 346024 77372 1065495 93317 1286861 30342 213764 228742 225227 698075 376182 107236 1181493 105368 1368674 33457 223900 239678 234162 731197 403005 99022 1233224 135450 1393736 14313 210965 229012 247244 701534 439981 125158 1266673 127063 339116 rec. 3146228 45803 530931 522898 573306 1672938 927229 270012 2870179 276049 339911 firms 2285 223 1061 435 262 1981 247 47 2275 10 2272 225 1039 434 257 1955 256 49 2260 12 2249 212 1028 418 271 1929 262 48 2239 10 2151 178 991 414 256 1839 252 46 2137 14 1875 167 853 378 209 1607 217 40 1864 11 339911 estab. 2300 223 1061 435 262 1981 250 50 2281 19 2287 225 1039 434 257 1955 260 50 2265 22 2266 212 1029 418 271 1930 264 50 2244 22 2168 178 991 414 256 1839 254 48 2141 27 1892 168 853 378 209 1608 219 41 1868 24 339911 empl. 33646 0 2309 2881 3453 8643 9859 8310 26812 6834 34550 0 2277 2858 3458 8593 10302 8031 26926 7624 35114 0 2217 2718 3646 8581 10493 8034 27108 8006 34686 0 2154 2705 3424 8283 9924 8020 26227 8459 29833 0 1823 2568 2817 7208 8654 6759 22621 7212 339911 ann. pay. 943318 6982 49989 67897 88475 213343 285498 257350 756191 187127 1027413 12076 54110 70501 88330 225017 313930 260260 799207 228206 1075732 10886 53272 68793 101934 234885 325808 279904 840597 235135 1056319 8307 51294 66258 86362 212221 294676 288490 795387 260932 996483 6616 43970 69545 87351 207482 285367 272243 765092 231391 339911 rec. 6548530 37069 247612 334851 412859 1032391 1507683 2040625 4580699 1967831 339912 firms 162 15 46 31 23 115 34 8 157 5 158 13 47 27 24 111 35 7 153 5 157 11 48 33 19 111 33 8 152 5 149 8 52 24 19 103 32 8 143 6 158 16 58 23 18 115 31 7 153 5 339912 estab. 166 15 46 31 23 115 36 9 160 6 161 13 47 27 24 111 38 7 156 5 160 11 48 33 19 111 34 10 155 5 152 8 52 24 19 103 33 10 146 6 159 16 58 23 18 115 32 7 154 5 339912 empl. 6772 0 [b] 198 320 [f] 1339 1461 [h] [h] 6524 0 [c] 166 322 [f] 1456 1241 [h] [h] 6153 0 [c] 221 268 [f] 1303 1310 [h] [h] 5750 0 [c] 161 249 [f] 1253 899 [h] [h] 4561 [a] 117 156 213 [e] 1077 1084 [h] [g] 339912 ann. pay. 214828 508 (D) 3641 6739 (D) 37245 37754 (D) (D) 199667 292 (D) 3101 7224 (D) 40193 33038 (D) (D) 199286 262 (D) 4679 5982 (D) 37957 35787 (D) (D) 182842 421 (D) 3664 5836 (D) 36069 24355 (D) (D) 134439 (D) 2488 3695 5803 (D) 33506 34983 (D) (D) 339912 rec. 532648 (D) 10355 13688 24999 (D) 138305 136309 (D) (D) 339913 firms 409 39 219 58 36 352 50 6 408 1 391 42 190 70 35 337 45 8 390 1 392 39 193 69 34 335 46 10 391 1 370 28 177 77 33 315 43 11 369 1 313 27 151 53 33 264 37 10 311 2 339913 estab. 410 39 219 58 36 352 51 6 409 1 392 42 190 70 35 337 46 8 391 1 393 39 193 69 34 335 47 10 392 1 371 28 177 77 33 315 44 11 370 1 314 27 151 53 33 264 37 11 312 2 339913 empl. 5190 0 [e] 370 479 [g] 2095 1371 [h] [e] 5338 0 [e] 469 464 [g] 1795 1742 [h] [f] 6135 0 [e] 468 471 [g] 1986 2309 [i] [f] 5377 0 [e] 516 420 [g] 1641 1935 [h] [f] 4662 [a] 295 355 445 [g] 1439 1601 [h] [f] 339913 ann. pay. 140332 772 (D) 9337 10338 (D) 56898 39698 (D) (D) 151404 2771 (D) 9709 10275 (D) 51788 49371 (D) (D) 173732 1323 (D) 11979 11419 (D) 51726 67516 (D) (D) 149644 912 (D) 12328 11736 (D) 45350 58329 (D) (D) 145827 (D) 8104 8295 12320 (D) 45613 58095 (D) (D) 339913 rec. 781552 (D) 42105 46996 108546 (D) 185552 271085 (D) (D) 339914 firms 922 93 425 152 102 772 125 16 913 9 874 97 380 159 96 732 119 14 865 9 871 97 405 140 97 739 113 13 865 6 811 83 378 136 100 697 95 12 804 7 662 60 312 114 83 569 77 10 656 6 339914 estab. 926 93 425 152 102 772 127 16 915 11 878 97 380 159 96 732 121 14 867 11 874 97 405 140 97 739 115 13 867 7 814 83 378 136 101 698 96 12 806 8 666 60 312 114 85 571 78 10 659 7 339914 empl. 14382 0 866 990 1385 3241 4723 2645 10609 3773 13511 0 776 1048 1343 3167 4505 1957 9629 3882 10598 0 838 937 1327 3102 4027 1995 9124 1474 9540 0 765 863 1384 3012 3420 1320 7752 1788 8139 0 676 768 1174 2618 2928 1221 6767 1372 339914 ann. pay. 330361 4156 13385 17706 29371 64618 101827 63029 229474 100887 332374 3083 13037 21195 25792 63107 104703 52021 219831 112543 268514 3025 15154 20326 29483 67988 99368 51543 218899 49615 248593 2793 13944 16827 29508 63072 90835 40411 194318 54275 235020 2145 13523 16915 29375 61958 83944 38255 184157 50863 339914 rec. 842299 13279 55751 58619 105979 233628 329750 157159 720537 121762 339920 firms 2485 272 900 449 328 1949 374 120 2443 42 2411 259 878 445 318 1900 356 109 2365 46 2410 264 898 425 313 1900 349 110 2359 51 2365 241 887 442 300 1870 347 103 2320 45 2185 218 839 384 285 1726 317 98 2141 44 339920 estab. 2572 273 901 449 328 1951 379 153 2483 89 2496 259 878 446 318 1901 362 137 2400 96 2486 264 898 425 313 1900 355 135 2390 96 2433 241 887 442 300 1870 353 132 2355 78 2256 218 839 384 285 1726 327 124 2177 79 339920 empl. 74252 0 1944 2962 4497 9403 15201 20372 44976 29276 66910 0 1887 2923 4354 9164 14455 17720 41339 25571 68072 0 1921 2827 4203 8951 14405 17733 41089 26983 66132 0 1935 2981 4109 9025 14544 17526 41095 25037 60456 0 1792 2518 3855 8165 12701 16616 37482 22974 339920 ann. pay. 2013094 13402 36986 56103 96988 203479 361539 561711 1126729 886365 1968222 22625 37755 60805 98947 220132 362040 525587 1107759 860463 2065608 9432 42065 67417 96011 214925 402966 494636 1112527 953081 2051571 14003 44307 66342 97363 222015 398129 509795 1129939 921632 2040221 15589 37822 60180 92689 206280 406072 509626 1121978 918243 339920 rec. 11579141 86686 223428 280002 438675 1028791 1968042 2880830 5877663 5701478 339931 firms 243 37 113 28 29 207 27 8 242 1 217 30 95 35 25 185 24 8 217 0 205 29 94 31 26 180 18 7 205 0 178 23 76 30 21 150 22 5 177 1 138 17 53 26 18 114 19 4 137 1 339931 estab. 243 37 113 28 29 207 27 8 242 1 217 30 95 35 25 185 24 8 217 0 206 29 94 31 26 180 18 8 206 0 179 23 76 30 21 150 22 6 178 1 141 17 53 26 18 114 19 7 140 1 339931 empl. 3357 [a] 211 188 379 [f] 883 1570 [h] [c] 3194 0 183 238 329 750 828 1616 3194 0 2707 0 174 219 357 750 609 1348 2707 0 2271 [a] 144 199 285 [f] 756 885 [g] [a] 1863 [a] 111 171 253 [f] 584 740 [g] [a] 339931 ann. pay. 62900 (D) 3192 2479 5218 (D) 18684 29359 (D) (D) 61021 665 3181 3037 4689 11572 17239 32210 61021 0 59681 605 3530 3178 6510 13823 14716 31142 59681 0 51519 (D) 3034 3475 4820 (D) 18941 20378 (D) (D) 47439 (D) 1786 4386 6302 (D) 14432 20000 (D) (D) 339931 rec. 268422 (D) 13875 30377 34346 (D) 68486 117209 (D) (D) 339932 firms 754 98 251 115 96 560 124 52 736 18 780 108 288 107 95 598 120 45 763 17 787 96 297 128 93 614 117 42 773 14 768 75 294 132 97 598 116 40 754 14 727 68 285 126 96 575 105 32 712 15 339932 estab. 779 98 251 115 96 560 124 63 747 32 800 108 288 107 95 598 120 53 771 29 801 96 297 128 93 614 117 47 778 23 779 75 294 132 97 598 116 45 759 20 737 68 285 126 97 576 105 35 716 21 339932 empl. 27333 [a] 510 766 1292 [h] 5006 8231 [j] [j] 25660 0 604 712 1316 2632 5106 7960 15698 9962 23984 0 655 854 1295 2804 4931 7625 15360 8624 21644 [a] 628 877 1317 [h] 4575 6518 [j] [i] 18300 [a] 612 828 1288 [h] 4282 4741 [j] [i] 339932 ann. pay. 739495 (D) 11666 20014 32761 (D) 125183 206455 (D) (D) 713537 5566 12143 20312 34379 72400 136887 220174 429461 284076 693077 3256 13947 22748 33475 73426 144826 224466 442718 250359 629966 (D) 13790 22222 33527 (D) 123846 217566 (D) (D) 608710 (D) 12573 22063 37092 (D) 118719 152244 (D) (D) 339932 rec. 3746726 (D) 70175 115022 142467 (D) 589514 912623 (D) (D) 339941 firms 109 8 28 10 14 60 30 12 102 7 108 7 30 11 13 61 28 11 100 8 105 6 29 11 9 55 28 15 98 7 102 7 24 14 12 57 25 14 96 6 89 3 19 15 6 43 30 11 84 5 339941 estab. 115 8 28 10 14 60 30 13 103 12 114 7 30 11 13 61 28 12 101 13 112 6 29 11 9 55 28 16 99 13 108 7 24 14 12 57 25 15 97 11 93 3 19 15 6 43 30 12 85 8 339941 empl. 8471 [a] [b] 64 190 319 1435 1632 3386 5085 8173 [a] 69 [b] 177 324 1318 1495 3137 5036 8685 0 68 75 113 256 1261 2052 3569 5116 7969 [a] [b] 102 161 317 1229 2049 3595 4374 6406 [a] [b] 101 78 222 1344 1602 3168 3238 339941 ann. pay. 264475 (D) (D) 1256 5154 8798 40735 36259 85792 178683 261671 (D) 2163 (D) 6055 10109 35387 37399 82895 178776 274049 619 2070 1572 3660 7921 33930 50278 92129 181920 252301 (D) (D) 2508 5270 9247 30930 49483 89660 162641 221136 (D) (D) 2928 3426 7601 37310 43813 88724 132412 339941 rec. 1088065 (D) (D) 11321 15040 (D) 138149 168975 338773 749292 339942 firms 177 24 48 20 24 116 40 14 170 7 178 15 62 21 22 120 39 11 170 8 171 17 50 24 25 116 37 9 162 9 165 12 54 24 27 117 32 10 159 6 148 12 40 27 28 107 29 6 142 6 339942 estab. 179 24 48 20 24 116 40 14 170 9 181 15 62 21 22 120 39 11 170 11 172 17 50 24 25 116 37 9 162 10 166 12 54 24 27 117 32 11 160 6 150 12 40 27 28 107 29 7 143 7 339942 empl. 7223 0 107 126 328 561 1638 1562 3761 3462 7273 0 142 137 302 581 1577 1395 3553 3720 6551 0 109 160 314 583 1453 1264 3300 3251 5926 0 126 152 369 647 1341 1451 3439 2487 5912 [a] [b] 165 378 640 1259 1034 2933 2979 339942 ann. pay. 200056 483 2670 2227 8203 13583 40905 50070 104558 95498 200379 1326 3565 2553 7854 15298 40681 44359 100338 100041 181951 1143 2351 4846 9209 17549 42012 40887 100448 81503 165737 1441 2734 4403 11001 19579 36658 50372 106609 59128 160305 (D) (D) 4493 10998 18743 39916 37391 96050 64255 339942 rec. 1276543 (D) (D) 25530 59376 (D) 176483 172925 462517 814026 339943 firms 583 38 249 131 81 499 69 11 579 4 570 39 255 118 78 490 63 12 565 5 569 50 241 120 79 490 66 8 564 5 535 39 237 108 75 459 63 9 531 4 470 25 217 103 62 407 54 8 469 1 339943 estab. 597 38 249 131 81 499 77 15 591 6 586 39 255 118 78 490 71 14 575 11 587 50 241 120 79 490 77 10 577 10 551 39 237 108 75 459 75 12 546 5 487 25 217 103 64 409 65 12 486 1 339943 empl. 7674 0 574 865 1038 2477 2666 1999 7142 532 7646 0 592 794 1023 2409 2387 1974 6770 876 7239 0 543 781 1034 2358 2629 1527 6514 725 6444 0 531 709 1006 2246 2359 1091 5696 748 5177 [a] 493 695 839 [g] 2030 1102 [i] [a] 339943 ann. pay. 195751 1349 10695 17672 25453 55169 70912 57531 183612 12139 200800 2172 12664 17144 25575 57555 67745 53373 178673 22127 193704 2519 11465 16142 27752 57878 70567 46537 174982 18722 173234 976 10909 14628 25046 51559 67173 29421 148153 25081 143915 (D) 10505 16450 23297 (D) 62578 29521 (D) (D) 339943 rec. 495151 (D) 37751 52759 78640 (D) 206472 113350 (D) (D) 339944 firms 104 3 22 17 18 60 22 13 95 9 98 3 27 8 18 56 21 14 91 7 93 5 20 14 12 51 23 13 87 6 84 2 22 9 13 46 20 11 77 7 76 1 19 6 15 41 18 12 71 5 339944 estab. 115 3 22 17 18 60 22 19 101 14 107 3 27 8 18 56 26 14 96 11 101 5 20 14 12 51 28 14 93 8 93 2 22 9 13 46 25 13 84 9 81 1 19 6 15 41 19 14 74 7 339944 empl. 5369 [a] [b] 118 246 406 919 1451 2776 2593 4745 [a] 65 [b] 235 349 847 1793 2989 1756 4474 0 44 97 156 297 988 1891 3176 1298 4196 [a] [b] 57 174 289 851 1649 2789 1407 3833 [a] [b] 34 203 [e] 683 1727 [h] [g] 339944 ann. pay. 145522 (D) (D) 2351 6036 9483 22567 35904 67954 77568 133287 (D) 1415 (D) 6164 9124 22495 47601 79220 54067 135165 63 882 2648 4798 8391 25243 50026 83660 51505 131499 (D) (D) 1378 5633 8700 23211 48781 80692 50807 115712 (D) (D) 1015 5903 (D) 21526 43447 (D) (D) 339944 rec. 691829 (D) (D) 4438 29707 (D) 98727 250264 (D) (D) 339950 firms 5800 587 2348 1133 820 4888 750 131 5769 31 5854 594 2386 1138 799 4917 755 147 5819 35 5965 596 2429 1181 805 5011 765 150 5926 39 5905 493 2471 1168 822 4954 772 140 5866 39 6102 578 2644 1151 834 5207 730 129 6066 36 339950 estab. 5932 587 2349 1135 827 4898 771 188 5857 75 6007 595 2386 1139 806 4926 781 208 5915 92 6105 596 2429 1181 810 5016 793 198 6007 98 6041 493 2471 1168 827 4959 802 185 5946 95 6231 578 2644 1152 837 5211 761 174 6146 85 339950 empl. 84503 0 5258 7476 11189 23923 29493 20428 73844 10659 87487 0 5382 7527 10914 23823 28974 21722 74519 12968 88427 0 5400 7770 11027 24197 29109 21527 74833 13594 88034 0 5519 7661 11235 24415 29593 21659 75667 12367 81993 0 5939 7515 11305 24759 27785 18699 71243 10750 339950 ann. pay. 2572760 21609 104160 167737 297592 591098 949511 667936 2208545 364215 2761188 27141 113651 179812 299819 620423 962064 731758 2314245 446943 2897013 35111 119693 186091 311353 652248 998159 776712 2427119 469894 2871694 23114 123261 186801 324344 657520 1019585 767468 2444573 427121 2771658 20741 129453 195869 335747 681810 979454 718533 2379797 391861 339950 rec. 9360435 81387 471553 624627 981362 2158929 3084276 2772584 8015789 1344646 339991 firms 558 25 90 77 111 303 170 42 515 43 538 22 89 78 105 294 166 37 497 41 527 24 83 78 102 287 160 44 491 36 513 19 85 72 101 277 156 44 477 36 494 13 83 71 99 266 149 41 456 38 339991 estab. 664 25 90 77 111 303 180 55 538 126 650 22 89 78 106 295 175 51 521 129 642 24 83 78 103 288 168 61 517 125 616 19 85 72 101 277 167 56 500 116 587 13 83 71 99 266 161 55 482 105 339991 empl. 42682 0 205 538 1562 2305 7044 5929 15278 27404 40268 0 195 556 1474 2225 6815 5159 14199 26069 40221 0 187 531 1419 2137 6607 6743 15487 24734 37889 0 197 496 1426 2119 6369 6247 14735 23154 35092 0 188 506 1439 2133 5761 5372 13266 21826 339991 ann. pay. 1340140 2547 5129 16695 48447 72818 217754 180705 471277 868863 1353193 1035 6082 19023 48189 74329 219444 166368 460141 893052 1423881 1008 5694 17957 51271 75930 215918 226273 518121 905760 1344233 2705 5630 16920 48340 73595 209482 211638 494715 849518 1312390 435 5880 19674 49584 75573 203630 192817 472020 840370 339991 rec. 5251080 1717 22371 75208 168997 268293 735273 769809 1773375 3477705 339992 firms 557 51 256 96 57 460 66 21 547 10 593 71 269 100 61 501 64 17 582 11 609 71 259 117 63 510 68 20 598 11 596 61 254 120 60 495 68 21 584 12 557 49 243 117 52 461 65 20 546 11 339992 estab. 583 51 256 96 57 460 66 26 552 31 618 71 269 100 61 501 64 23 588 30 636 71 259 117 63 510 69 26 605 31 622 61 254 120 60 495 69 27 591 31 581 49 243 117 52 461 67 27 555 26 339992 empl. 14159 0 529 635 752 1916 2738 3837 8491 5668 14287 0 577 677 840 2094 2971 3198 8263 6024 14996 0 533 760 861 2154 2872 3364 8390 6606 15838 0 538 795 855 2188 2788 3609 8585 7253 13939 0 523 770 743 2036 2457 3575 8068 5871 339992 ann. pay. 404321 2178 11488 12818 17735 44219 67164 125399 236782 167539 436460 12484 11933 14477 21683 60577 84858 101046 246481 189979 475992 2114 11854 16552 22281 52801 83137 117182 253120 222872 493284 2358 11963 19196 21838 55355 77634 125735 258724 234560 453547 2897 11361 19998 21538 55794 70686 123027 249507 204040 339992 rec. 1724732 21371 43573 61781 63362 190087 224997 450801 865885 858847 339993 firms 231 17 84 42 22 165 45 13 223 8 233 21 90 44 16 171 44 10 225 8 226 24 88 37 19 168 40 12 220 6 207 14 74 46 17 151 39 11 201 6 195 13 70 38 22 143 39 10 192 3 339993 estab. 243 17 84 42 23 166 46 19 231 12 244 21 90 45 16 172 47 12 231 13 237 24 88 37 20 169 41 17 227 10 216 14 74 47 17 152 39 15 206 10 203 13 70 39 22 144 41 12 197 6 339993 empl. 8347 0 200 278 317 795 2117 2367 5279 3068 7627 0 193 297 235 725 2002 1556 4283 3344 6954 0 184 241 233 658 1829 2219 4706 2248 5967 0 166 303 234 703 1692 1434 3829 2138 5199 0 [c] 258 316 [f] 1673 1287 [h] [g] 339993 ann. pay. 229201 503 3961 7146 6335 17945 54652 62533 135130 94071 211535 500 3657 8206 4413 16776 52770 44166 113712 97823 216880 1193 4369 6421 6279 18262 54599 65061 137922 78958 185768 312 4304 8050 6019 18685 49915 39888 108488 77280 171587 280 (D) 7836 8627 (D) 54396 39128 (D) (D) 339993 rec. 683219 1321 (D) 30731 31367 (D) 199428 176164 (D) (D) 339994 firms 330 27 71 51 44 193 90 26 309 21 324 18 66 58 47 189 89 25 303 21 315 13 79 45 42 179 86 26 291 24 305 14 81 50 39 184 77 22 283 22 262 7 58 46 39 150 75 19 244 18 339994 estab. 357 27 71 51 44 193 92 34 319 38 354 18 66 58 47 189 90 32 311 43 344 13 79 45 42 179 87 30 296 48 334 14 81 50 39 184 79 27 290 44 282 7 58 46 39 150 76 25 251 31 339994 empl. 17329 0 175 348 627 1150 3917 4077 9144 8185 18766 0 152 397 678 1227 3982 4252 9461 9305 17931 0 178 302 597 1077 3603 3806 8486 9445 16520 [a] [c] 324 535 1052 3472 3439 7963 8557 14781 0 138 294 517 949 3346 3449 7744 7037 339994 ann. pay. 467140 3900 3433 6652 23102 37087 99504 111498 248089 219051 509075 401 2508 8958 17926 29793 103891 121039 254723 254352 493812 388 3895 7883 16695 28861 95093 107389 231343 262469 465071 (D) (D) 9340 14997 28452 93682 89606 211740 253331 456600 422 3065 7775 16921 28183 98101 107662 233946 222654 339994 rec. 2325304 1836 16120 35893 71731 125580 426412 488638 1040630 1284674 339995 firms 157 5 47 29 26 107 38 8 153 4 158 5 50 27 30 112 32 9 153 5 149 5 47 28 28 108 28 8 144 5 144 1 50 24 28 103 28 8 139 5 145 5 53 24 26 108 24 9 141 4 339995 estab. 171 5 47 29 26 107 39 10 156 15 172 5 50 27 30 112 32 13 157 15 164 5 47 28 28 108 28 13 149 15 160 1 50 24 28 103 28 13 144 16 161 5 53 24 26 108 24 15 147 14 339995 empl. 7569 0 109 196 346 651 1623 1415 3689 3880 7249 0 115 182 410 707 1197 1336 3240 4009 6913 0 111 196 382 689 1172 1138 2999 3914 6856 [a] [c] 168 388 659 1193 938 2790 4066 5866 0 [c] 162 372 [f] 990 1094 [h] [h] 339995 ann. pay. 217235 328 1639 3919 7543 13429 35889 35102 84420 132815 215374 128 2367 3518 9383 15396 26238 35426 77060 138314 206044 344 2372 4340 8627 15683 27519 32976 76178 129866 209106 (D) (D) 3811 9903 16285 28175 26900 71360 137746 180474 49 (D) 4294 9495 (D) 23831 31228 (D) (D) 339995 rec. 1232751 487 (D) 29820 42810 (D) 112651 177634 (D) (D) 339999 firms 2861 425 919 471 385 2200 482 128 2810 51 2819 297 954 511 380 2142 493 137 2772 47 2785 298 960 492 354 2104 495 134 2733 52 2698 274 963 471 345 2053 480 114 2647 51 2863 348 1084 472 353 2257 444 108 2809 54 339999 estab. 2921 425 919 471 387 2202 499 139 2840 81 2879 298 956 511 380 2145 508 152 2805 74 2854 298 960 493 354 2105 510 148 2763 91 2764 274 964 471 347 2056 490 127 2673 91 2911 348 1085 473 353 2259 454 115 2828 83 339999 empl. 73287 0 1996 3130 5172 10298 20279 17657 48234 25053 72807 0 2050 3376 5209 10635 20340 18985 49960 22847 72491 0 2071 3285 4775 10131 20489 18096 48716 23775 67691 0 2126 3142 4706 9974 20061 15791 45826 21865 64544 0 2293 3109 4685 10087 17794 13066 40947 23597 339999 ann. pay. 1962750 20933 39361 67672 123444 251410 519328 454323 1225061 737689 2046727 15986 42827 76504 122281 257598 531155 532719 1321472 725255 2150701 22256 47326 74527 119111 263220 575760 511898 1350878 799823 2098820 15022 52971 75572 129140 272705 573355 463840 1309900 788920 2104081 17199 58123 71479 123751 270552 530462 414716 1215730 888351 339999 rec. 9940878 93182 274478 278133 541538 1187331 2220787 1845725 5253843 4687035 421110 firms 6572 729 2914 922 643 5208 1030 250 6488 84 6566 738 2829 949 648 5164 1051 269 6484 82 6590 698 2843 968 698 5207 1035 260 6502 88 6398 642 2739 988 678 5047 1017 248 6312 86 6086 605 2672 878 620 4775 967 263 6005 81 421110 estab. 7701 729 2915 924 662 5230 1233 501 6964 737 7708 739 2830 951 671 5191 1230 543 6964 744 7805 703 2844 971 721 5239 1209 536 6984 821 7617 642 2742 992 700 5076 1187 528 6791 826 7404 606 2674 885 639 4804 1175 612 6591 813 421110 empl. 156084 0 5999 6103 8710 20812 42996 34204 98012 58072 161232 0 5825 6278 8752 20855 43532 38312 102699 58533 166023 0 5801 6313 9376 21490 43269 36963 101722 64301 153814 0 5612 6408 9149 21169 41674 35570 98413 55401 162224 0 5458 5752 8365 19575 39016 38050 96641 65583 421110 ann. pay. 5190224 33161 181765 175852 264992 655770 1438055 1162962 3256787 1933437 5641423 37109 169741 193797 281035 681682 1490814 1407267 3579763 2061660 5870126 36405 173854 193360 309029 712648 1501431 1324846 3538925 2331201 5826606 33504 172350 199886 312887 718627 1448751 1252830 3420208 2406398 5737828 24417 176746 190522 278525 670210 1358397 1346157 3374764 2363064 421110 rec. 565189710 611745 4928794 4305641 4435656 14281836 18093768 32225897 64601501 500588209 421120 firms 9140 746 4017 1664 1133 7560 1089 280 8929 211 9022 871 3895 1594 1103 7463 1087 275 8825 197 8961 865 3801 1659 1103 7428 1063 264 8755 206 8736 781 3729 1639 1113 7262 1003 263 8528 208 9022 937 3926 1578 1111 7552 1005 260 8817 205 421120 estab. 12159 754 4029 1696 1239 7718 1794 880 10392 1767 12101 873 3908 1626 1195 7602 1683 945 10230 1871 12285 878 3819 1694 1192 7583 1604 1024 10211 2074 12083 787 3745 1674 1199 7405 1507 949 9861 2222 12659 939 3940 1618 1214 7711 1656 1162 10529 2130 421120 empl. 161154 0 8427 10974 14876 34277 35487 25878 95642 65512 162304 0 8181 10523 14479 33183 36099 26115 95397 66907 166430 0 8053 10923 14410 33386 35623 27081 96090 70340 165975 0 7775 10729 14751 33255 34033 26315 93603 72372 165149 0 8197 10467 14790 33454 34337 27311 95102 70047 421120 ann. pay. 5662166 43175 281183 329943 458895 1113196 1111737 802938 3027871 2634295 6010078 46788 269593 352420 447741 1116542 1172648 858056 3147246 2862832 6231853 33564 262700 354828 470183 1121275 1201377 904762 3227414 3004439 6269721 40305 258415 351489 471349 1121558 1184298 886952 3192808 3076913 6390137 38596 276846 339374 501860 1156676 1232244 973982 3362902 3027235 421120 rec. 90907472 560281 5552443 4865665 5650145 16628534 11909396 9825731 38363661 52543811 421130 firms 1315 74 502 254 172 1002 219 66 1287 28 1336 107 482 245 178 1012 225 73 1310 26 1322 110 480 242 184 1016 209 70 1295 27 1302 94 489 235 171 989 210 74 1273 29 1268 90 468 239 166 963 207 69 1239 29 421130 estab. 1872 77 503 262 183 1025 315 234 1574 298 1925 109 484 251 187 1031 330 259 1620 305 2036 110 481 247 193 1031 310 251 1592 444 2005 95 491 240 176 1002 319 249 1570 435 1928 90 470 243 186 989 340 252 1581 347 421130 empl. 22195 0 1057 1666 2254 4977 6338 4582 15897 6298 24090 0 1058 1605 2311 4974 7149 5323 17446 6644 25752 0 1043 1623 2373 5039 7065 4842 16946 8806 24907 0 1069 1573 2215 4857 7143 4920 16920 7987 23069 0 990 1584 2189 4763 6745 4754 16262 6807 421130 ann. pay. 806004 5451 26590 47261 67406 146708 204550 146063 497321 308683 883412 4409 27871 46547 68827 147654 234914 171505 554073 329339 957037 8331 28253 46073 74716 157373 243542 167599 568514 388523 971151 6613 29593 48644 69677 154527 260387 185932 600846 370305 860796 4034 29022 50215 72141 155412 243995 183972 583379 277417 421130 rec. 12740937 47462 402621 491217 625366 1566666 2787439 2263772 6617877 6123060 421140 firms 6757 446 3285 1700 925 6356 369 24 6749 8 6361 312 3167 1612 883 5974 350 31 6355 6 6007 349 2897 1520 851 5617 350 31 5998 9 5612 296 2691 1437 799 5223 350 26 5599 13 5135 239 2499 1244 761 4743 357 22 5122 13 421140 estab. 6979 450 3287 1709 967 6413 460 87 6960 19 6594 317 3170 1621 930 6038 432 106 6576 18 6259 353 2899 1530 889 5671 430 105 6206 53 5867 297 2695 1440 849 5281 423 91 5795 72 5379 239 2503 1250 794 4786 437 79 5302 77 421140 empl. 44772 0 7422 11108 11926 30456 11147 2575 44178 594 44223 0 7157 10550 11314 29021 10850 3650 43521 702 43846 0 6523 10032 11033 27588 10467 4255 42310 1536 42600 0 6134 9489 10396 26019 10436 3591 40046 2554 39996 0 5718 8120 9834 23672 10736 3066 37474 2522 421140 ann. pay. 999395 15026 123570 214514 267562 620672 290653 72721 984046 15349 1033442 15859 126287 216064 262699 620909 289015 105507 1015431 18011 1070435 10711 121959 211479 263133 607282 284814 127604 1019700 50735 1075934 10720 119979 206036 258447 595182 293195 103799 992176 83758 1047247 6895 113933 183927 255666 560421 306790 95029 962240 85007 421140 rec. 6104953 71557 802228 917353 1158141 2949279 1436791 633798 5019868 1085085 421210 firms 6095 631 3057 947 627 5262 658 131 6051 44 6088 680 3024 916 624 5244 672 128 6044 44 6071 644 3011 951 610 5216 670 138 6024 47 5962 583 2969 936 611 5099 680 135 5914 48 5939 735 2956 876 580 5147 633 115 5895 44 421210 estab. 6730 632 3064 954 656 5306 851 258 6415 315 6704 680 3026 926 649 5281 851 268 6400 304 6673 644 3014 960 628 5246 844 275 6365 308 6521 584 2976 944 645 5149 847 265 6261 260 6566 735 2960 888 615 5198 871 255 6324 242 421210 empl. 67806 0 6139 6198 8343 20680 23893 15576 60149 7657 70291 0 6076 5997 8329 20402 24329 17202 61933 8358 72457 0 6112 6293 8244 20649 24198 17684 62531 9926 72519 0 5957 6177 8130 20264 24926 17163 62353 10166 64675 0 5855 5698 7704 19257 23358 13716 56331 8344 421210 ann. pay. 2684905 28904 223596 207339 295721 755560 874423 670784 2300767 384138 2845880 32120 230887 210493 300442 773942 917519 734472 2425933 419947 3095204 28930 246022 229574 320566 825092 962444 841095 2628631 466573 3026744 25709 238037 216178 323882 803806 956100 782052 2541958 484786 2715893 38251 228699 210757 306072 783779 931229 617934 2332942 382951 421210 rec. 31826576 470854 5017144 2856186 2884638 11228822 7496689 5091350 23816861 8009715 421220 firms 7570 724 3643 1356 818 6541 781 161 7483 87 7563 769 3635 1281 849 6534 777 177 7488 75 7466 702 3577 1276 858 6413 799 179 7391 75 7254 687 3426 1271 840 6224 784 172 7180 74 7090 779 3346 1224 770 6119 743 154 7016 74 421220 estab. 8291 725 3652 1374 858 6609 1000 310 7919 372 8304 769 3645 1298 892 6604 970 373 7947 357 8232 702 3586 1304 888 6480 1016 373 7869 363 8024 688 3433 1294 873 6288 990 406 7684 340 7921 780 3349 1260 820 6209 969 397 7575 346 421220 empl. 89409 0 7484 8943 10803 27230 27748 18894 73872 15537 91396 0 7576 8414 11285 27275 28409 20663 76347 15049 94946 0 7429 8345 11438 27212 29627 22644 79483 15463 93616 0 7097 8373 11219 26689 28580 22585 77854 15762 90537 0 6927 8180 10244 25351 26899 20429 72679 17858 421220 ann. pay. 3039605 31203 239625 280103 345938 896869 922014 592564 2411447 628158 3277934 31854 256251 273719 375853 937677 1007244 692890 2637811 640123 3504471 31352 269831 283600 394339 979122 1078267 791749 2849138 655333 3596046 32008 265809 294633 386069 978519 1079219 825273 2883011 713035 3723801 34081 251166 305112 387635 977994 1081806 815060 2874860 848941 421220 rec. 46968793 457768 4377010 3741989 3901602 12478369 9102473 7473949 29054791 17914002 421310 firms 5639 586 2296 950 723 4555 763 215 5533 106 5746 604 2289 985 727 4605 819 213 5637 109 5739 526 2279 996 758 4559 852 214 5625 114 5818 589 2313 980 765 4647 844 209 5700 118 5887 647 2368 966 745 4726 830 220 5776 111 421310 estab. 6898 586 2304 963 759 4612 927 549 6088 810 7019 606 2296 993 770 4665 979 566 6210 809 7105 526 2288 1010 799 4623 1002 570 6195 910 7220 589 2322 997 800 4708 1002 563 6273 947 7322 647 2380 975 804 4806 1045 635 6486 836 421310 empl. 91465 0 4871 6212 9719 20802 26531 19664 66997 24468 96929 0 4894 6480 9902 21276 29319 20461 71056 25873 104798 0 4940 6586 10292 21818 30374 22059 74251 30547 101631 0 4953 6413 10323 21689 30038 20616 72343 29288 97926 0 5023 6383 10130 21536 29765 21622 72923 25003 421310 ann. pay. 3406634 36120 178678 220219 333195 768212 922822 693162 2384196 1022438 3783173 52912 189458 238747 366613 847730 1061029 748740 2657499 1125674 4119890 27257 195385 243695 378509 844846 1119865 861085 2825796 1294094 4097033 33889 194831 249074 394397 872191 1144342 803000 2819533 1277500 4075326 26648 200743 246753 396585 870729 1185592 876729 2933050 1142276 421310 rec. 74088907 434243 4290695 4253842 5672215 14650995 14428349 11656426 40735770 33353137 421320 firms 2284 333 918 404 241 1896 242 75 2213 71 2400 311 983 418 259 1971 274 80 2325 75 2487 312 993 428 306 2039 292 82 2413 74 2561 316 1024 442 306 2088 314 83 2485 76 2749 366 1114 461 339 2280 313 84 2677 72 421320 estab. 3104 333 919 406 250 1908 307 217 2432 672 3236 311 985 426 266 1988 346 230 2564 672 3351 312 993 430 313 2048 368 238 2654 697 3502 316 1026 446 320 2108 384 261 2753 749 3819 366 1116 465 367 2314 440 303 3057 762 421320 empl. 23428 0 1949 2671 3156 7776 7143 3151 18070 5358 25998 0 2059 2820 3406 8285 8274 3939 20498 5500 29196 0 2144 2861 4113 9118 9231 4498 22847 6349 31621 0 2168 2926 4193 9287 9995 4887 24169 7452 31848 0 2427 3043 4539 10009 10192 4409 24610 7238 421320 ann. pay. 858347 15613 62251 79762 107395 265021 255775 113219 634015 224332 996464 16469 69817 90595 119235 296116 310749 150152 757017 239447 1141362 18686 71442 93188 139787 323103 352069 173584 848756 292606 1280658 15377 76936 95339 147645 335297 400662 198761 934720 345938 1317628 16949 88226 103625 161807 370607 437530 187130 995267 322361 421320 rec. 14433747 183358 997760 984984 1153958 3320060 2530645 1670232 7520937 6912810 421330 firms 1032 115 460 156 105 836 108 53 997 35 1095 129 476 168 115 888 114 56 1058 37 1082 115 455 177 115 862 118 62 1042 40 1122 130 463 187 118 898 125 61 1084 38 1138 124 460 195 131 910 130 62 1102 36 421330 estab. 1658 117 462 158 115 852 166 183 1201 457 1777 129 478 171 123 901 170 203 1274 503 1766 115 457 179 123 874 171 221 1266 500 1835 130 465 190 123 908 186 242 1336 499 1906 124 464 200 158 946 216 282 1444 462 421330 empl. 17413 0 911 1040 1352 3303 3523 4033 10859 6554 19343 0 981 1113 1530 3624 3607 4862 12093 7250 20899 0 939 1171 1498 3608 3845 5818 13271 7628 22287 0 962 1240 1501 3703 3946 6082 13731 8556 21912 0 950 1304 1728 3982 4240 6313 14535 7377 421330 ann. pay. 679567 9412 38989 39121 53817 141339 125729 150412 417480 262087 773664 5127 42206 44270 61641 153244 138833 174298 466375 307289 874543 6069 40037 47367 58811 152284 141901 227536 521721 352822 1003709 17342 40700 47821 63775 169638 158253 249725 577616 426093 964685 5776 40336 54649 70303 171064 172424 248590 592078 372607 421330 rec. 11834441 60997 1078693 704929 894599 2739218 2285918 2577999 7603135 4231306 421390 firms 2468 309 1137 425 245 2116 210 74 2400 68 2469 305 1109 439 263 2116 213 73 2402 67 2466 270 1102 450 272 2094 232 76 2402 64 2472 264 1084 464 286 2098 237 75 2410 62 2568 251 1157 474 284 2166 264 79 2509 59 421390 estab. 2904 309 1138 430 254 2131 250 240 2621 283 2869 305 1109 443 270 2127 251 208 2586 283 2887 271 1102 454 278 2105 278 199 2582 305 2922 270 1085 464 292 2111 285 230 2626 296 3067 251 1157 477 297 2182 383 230 2795 272 421390 empl. 25278 0 2455 2788 3182 8425 6238 4495 19158 6120 26743 0 2370 2830 3380 8580 6431 4868 19879 6864 29044 0 2375 2953 3449 8777 7596 4875 21248 7796 29852 0 2336 3030 3696 9062 7677 5281 22020 7832 30985 0 2428 3098 3715 9241 8754 5450 23445 7540 421390 ann. pay. 843971 10865 73001 76569 99527 259962 214754 159296 634012 209959 949695 13535 77281 87275 107972 286063 233305 168886 688254 261441 1043947 15555 78160 92524 109649 295888 279943 175712 751543 292404 1128675 16889 82383 99727 120941 319940 292715 202368 815023 313652 1184151 9820 82664 104210 130418 327112 344924 201064 873100 311051 421390 rec. 10413905 101875 1156363 884674 1093422 3236334 2400906 1677653 7314893 3099012 421410 firms 1129 93 460 195 137 885 174 39 1098 31 1105 78 447 192 133 850 188 32 1070 35 1066 69 431 177 137 814 184 33 1031 35 1027 69 415 175 130 789 175 27 991 36 987 70 395 162 143 770 154 31 955 32 421410 estab. 1374 93 460 197 143 893 228 117 1238 136 1358 78 447 194 138 857 244 91 1192 166 1350 70 433 179 144 826 240 81 1147 203 1293 69 415 178 140 802 224 58 1084 209 1214 70 395 167 151 783 197 62 1042 172 421410 empl. 21787 0 1027 1299 1858 4184 6123 3848 14155 7632 22003 0 961 1249 1775 3985 6718 2590 13293 8710 23606 0 919 1164 1783 3866 6819 2775 13460 10146 22533 0 891 1146 1735 3772 6233 2080 12085 10448 22481 0 836 1085 1873 3794 5244 2757 11795 10686 421410 ann. pay. 1067047 3887 35694 47077 69791 156449 261754 159586 577789 489258 1095821 9267 33364 42798 67912 153341 305507 108474 567322 528499 1246329 3991 33115 39783 70943 147832 312286 111330 571448 674881 1219970 4238 30450 41208 72830 148726 284105 86801 519632 700338 1254236 3072 28972 42194 79661 153899 252423 126268 532590 721646 421410 rec. 19763430 26317 381688 497457 591055 1496517 2028681 920423 4445621 15317809 421420 firms 5136 401 2034 1107 772 4314 677 89 5080 56 4942 318 2001 1048 752 4119 671 97 4887 55 4771 272 1917 999 775 3963 651 95 4709 62 4617 292 1851 973 702 3818 652 84 4554 63 4300 284 1708 880 654 3526 630 87 4243 57 421420 estab. 7235 402 2038 1120 813 4373 958 296 5627 1608 7120 322 2003 1062 798 4185 935 321 5441 1679 7023 272 1921 1011 830 4034 916 300 5250 1773 6779 297 1857 985 738 3877 914 305 5096 1683 6462 284 1713 896 708 3601 927 289 4817 1645 421420 empl. 140372 0 4644 7354 10196 22194 24408 10918 57520 82852 141388 0 4512 6972 10001 21485 23847 12938 58270 83118 134340 0 4314 6694 10334 21342 23275 12844 57461 76879 147160 0 4176 6525 9272 19973 22842 12203 55018 92142 136619 0 3837 5896 8626 18359 22804 11048 52211 84408 421420 ann. pay. 5943666 16688 123248 202203 312292 654431 867787 456041 1978259 3965407 6058195 24137 124534 212164 318098 678933 873012 535211 2087156 3971039 6172834 22370 126680 205200 350615 704865 874060 565136 2144061 4028773 6456525 82939 123800 209013 325373 741125 888436 525414 2154975 4301550 5786409 13471 111459 194602 311487 631019 952789 489148 2072956 3713453 421420 rec. 42815313 89994 889266 1201393 2052725 4233378 4010825 2712288 10956491 31858822 421430 firms 13741 1956 5364 2450 1768 11538 1650 330 13518 223 13863 1942 5409 2509 1780 11640 1673 316 13629 234 13571 1629 5419 2487 1792 11327 1680 335 13342 229 13082 1616 5319 2358 1659 10952 1584 332 12868 214 11589 1361 4934 2003 1452 9750 1373 283 11406 183 421430 estab. 17315 1957 5374 2480 1857 11668 2106 895 14669 2646 17511 1944 5432 2538 1869 11783 2051 848 14682 2829 17235 1631 5433 2508 1880 11452 2031 811 14294 2941 16524 1617 5337 2385 1754 11093 1891 713 13697 2827 14807 1367 4943 2034 1568 9912 1790 702 12404 2403 421430 empl. 326097 0 11786 16227 23621 51634 61932 46635 160201 165896 346049 0 11644 16583 23939 52166 63558 43790 159514 186535 356853 0 11546 16464 24075 52085 63835 48802 164722 192131 347834 0 11260 15669 22479 49408 59442 50250 159100 188734 313055 0 10398 13326 19551 43275 49544 39888 132707 180348 421430 ann. pay. 20454371 135288 457334 640825 1031655 2265102 3083283 2663174 8011559 12442812 23187287 192383 484871 677202 1150574 2505030 3346313 2574158 8425501 14761786 24989921 137777 517017 729895 1202883 2587572 3652088 3314725 9554385 15435536 24339672 147965 474690 681502 1117913 2422070 3374440 3205996 9002506 15337166 21613170 99766 428908 595900 983014 2107588 2914491 2643953 7666032 13947138 421430 rec. 205000739 1023388 4166906 5569619 7622859 18382772 22965762 20703398 62051932 142948807 421440 firms 5006 382 2180 1050 724 4336 539 84 4959 47 4834 344 2061 1026 725 4156 549 86 4791 43 4756 356 2001 976 743 4076 547 88 4711 45 4671 349 1969 996 705 4019 522 86 4627 44 4704 409 2043 966 687 4105 487 76 4668 36 421440 estab. 5404 383 2186 1064 761 4394 662 189 5245 159 5239 344 2068 1038 759 4209 681 171 5061 178 5152 357 2005 994 775 4131 664 196 4991 161 5071 349 1973 1013 743 4078 640 198 4916 155 5134 411 2045 984 735 4175 614 191 4980 154 421440 empl. 52516 0 4904 6891 9687 21482 18362 6913 46757 5759 53097 0 4539 6795 9608 20942 18537 7773 47252 5845 52991 0 4494 6444 9784 20722 18472 8095 47289 5702 53002 0 4377 6584 9356 20317 17876 8969 47162 5840 50442 0 4520 6361 9187 20068 17076 7428 44572 5870 421440 ann. pay. 1899852 17300 139666 222719 320716 700401 679001 281402 1660804 239048 2013749 14843 137151 230957 327071 710022 719665 324135 1753822 259927 2037692 13403 136802 223308 346281 719794 721525 348506 1789825 247867 2060032 18259 142008 227732 333438 721437 710339 363714 1795490 264542 2010224 21586 143316 228991 343133 737026 716126 313283 1766435 243789 421440 rec. 17295695 184298 1764971 2351326 2701288 7001883 4787175 2861522 14650580 2645115 421450 firms 8281 989 4251 1302 799 7341 647 152 8140 141 8067 964 4142 1250 783 7139 647 146 7932 135 7853 870 3964 1268 811 6913 661 146 7720 133 7804 927 3818 1260 848 6853 651 164 7668 136 8349 1088 4137 1312 854 7391 649 174 8214 135 421450 estab. 9829 990 4254 1312 829 7385 870 402 8657 1172 9489 967 4149 1258 812 7186 848 377 8411 1078 9287 870 3970 1278 839 6957 839 380 8176 1111 9212 928 3824 1270 871 6893 810 389 8092 1120 9826 1088 4140 1328 901 7457 875 369 8701 1125 421450 empl. 124557 0 8558 8593 10627 27778 24100 17917 69795 54762 126334 0 8456 8203 10480 27139 23314 17038 67491 58843 130855 0 8068 8323 10820 27211 24421 16788 68420 62435 139657 0 7808 8318 11235 27361 24030 20118 71509 68148 139054 0 8422 8664 11430 28516 23514 21420 73450 65604 421450 ann. pay. 6358123 54600 356413 333163 456503 1200679 1057118 835186 3092983 3265140 6980103 61149 350334 342374 464947 1218804 1079267 846802 3144873 3835230 7494290 47329 343158 352473 491146 1234106 1198866 852606 3285578 4208712 8228509 62070 350007 365507 533313 1310897 1249706 1000228 3560831 4667678 8534099 80550 370579 384155 583866 1419150 1291453 1195854 3906457 4627642 421450 rec. 88619859 709034 3892838 3184259 4024972 11811103 8380488 8053994 28245585 60374274 421460 firms 1504 129 657 245 178 1209 222 48 1479 25 1442 100 651 224 165 1140 232 49 1421 21 1410 120 619 211 165 1115 225 50 1390 20 1372 119 600 210 158 1087 212 51 1350 22 1352 124 591 218 149 1082 206 42 1330 22 421460 estab. 1755 129 658 245 180 1212 287 131 1630 125 1712 100 652 224 166 1142 306 108 1556 156 1632 120 620 212 167 1119 271 124 1514 118 1582 119 601 211 161 1092 251 118 1461 121 1547 124 593 222 152 1091 246 94 1431 116 421460 empl. 28755 0 1311 1623 2414 5348 9034 6909 21291 7464 30353 0 1323 1504 2245 5072 9271 7643 21986 8367 28452 0 1276 1414 2220 4910 9016 6891 20817 7635 27990 0 1248 1436 2114 4798 8293 7020 20111 7879 28554 0 1234 1462 2002 4698 8066 6558 19322 9232 421460 ann. pay. 947256 8087 44637 52229 75523 180476 305006 237290 722772 224484 1019651 5333 45950 47544 72466 171293 312937 270619 754849 264802 1011119 12859 46152 48805 79040 186856 330288 256937 774081 237038 1012469 8537 49685 49583 78850 186655 303689 273685 764029 248440 981093 7055 39997 54736 81688 183476 307627 252586 743689 237404 421460 rec. 7482457 74434 444567 427690 561484 1508175 1799028 1920414 5227617 2254840 421490 firms 2410 206 1041 484 312 2043 247 60 2350 60 2366 174 1030 474 321 1999 253 60 2312 54 2290 161 980 468 316 1925 245 62 2232 58 2213 174 924 436 308 1842 252 60 2154 59 2242 192 957 433 307 1889 251 55 2195 47 421490 estab. 2769 206 1044 507 345 2102 333 125 2560 209 2728 174 1034 499 350 2057 334 145 2536 192 2699 161 990 486 346 1983 321 164 2468 231 2615 176 934 453 339 1902 329 161 2392 223 2640 192 964 455 338 1949 368 147 2464 176 421490 empl. 32699 0 2232 3218 4171 9621 8453 4834 22908 9791 31976 0 2227 3154 4297 9678 8694 4936 23308 8668 36045 0 2103 3092 4339 9534 8399 5618 23551 12494 38536 0 1997 2898 4090 8985 8598 6242 23825 14711 32672 0 2015 2895 4085 8995 8322 5126 22443 10229 421490 ann. pay. 1439787 7727 81783 119826 163917 373253 328477 223549 925279 514508 1452682 11733 80712 126647 163720 382812 352469 239097 974378 478304 1908592 8225 80234 128056 174384 390899 364681 293498 1049078 859514 1824551 9406 80226 121128 179261 390021 391259 320554 1101834 722717 1636478 8632 77910 123992 178297 388831 363641 275904 1028376 608102 421490 rec. 14636091 166354 740286 835012 1284636 3026288 2241813 1884873 7152974 7483117 421510 firms 9124 678 3800 1568 1225 7271 1307 340 8918 206 8942 671 3687 1616 1189 7163 1248 320 8731 211 8723 661 3516 1573 1187 6937 1266 309 8512 211 8510 629 3416 1528 1201 6774 1228 306 8308 202 8303 696 3292 1535 1123 6646 1186 284 8116 187 421510 estab. 11744 684 3815 1593 1273 7365 1754 987 10106 1638 11631 677 3698 1642 1240 7257 1692 870 9819 1812 11465 665 3528 1607 1236 7036 1672 908 9616 1849 11250 629 3431 1552 1251 6863 1621 936 9420 1830 10997 697 3304 1567 1186 6754 1680 932 9366 1631 421510 empl. 166137 0 8273 10393 16227 34893 47437 35398 117728 48409 165112 0 7894 10664 15867 34425 46305 32673 113403 51709 168576 0 7442 10354 15839 33635 46665 34896 115196 53380 162222 0 7320 10051 16193 33564 45399 35074 114037 48185 150064 0 7037 10097 15012 32146 43338 30780 106264 43800 421510 ann. pay. 6762552 43897 363039 421374 627473 1455783 1871549 1387504 4714836 2047716 6886938 42318 355429 454104 648986 1500837 1850519 1284791 4636147 2250791 7275017 50083 349238 452615 661665 1513601 1923542 1432407 4869550 2405467 6967047 31304 336494 440848 674841 1483487 1830134 1413050 4726671 2240376 6641621 50287 322651 452454 653012 1478404 1853869 1302272 4634545 2007076 421510 rec. 108063473 656286 6992932 6723706 8023129 22396053 18552930 16646178 57595161 50468312 421520 firms 627 56 311 103 68 538 48 11 597 30 602 65 286 97 66 514 47 12 573 29 575 53 279 101 61 494 37 13 544 31 565 64 277 89 55 485 36 15 536 29 518 43 272 84 39 438 37 11 486 32 421520 estab. 729 56 313 109 77 555 76 26 657 72 695 65 287 104 75 531 67 26 624 71 661 53 280 108 71 512 53 27 592 69 649 64 279 99 61 503 52 29 584 65 600 44 273 88 51 456 54 25 535 65 421520 empl. 4791 0 612 667 867 2146 1262 237 3645 1146 4616 0 581 629 820 2030 1127 216 3373 1243 4602 0 574 659 758 1991 1065 391 3447 1155 4143 0 559 560 712 1831 946 452 3229 914 3874 0 566 552 509 1627 1076 204 2907 967 421520 ann. pay. 270840 5506 31220 37283 49345 123354 46004 18419 187777 83063 265864 4198 30733 33091 44692 112714 45182 17804 175700 90164 289874 5236 29948 37955 35819 108958 50875 31578 191411 98463 256346 3978 32863 38057 34878 109776 52032 25822 187630 68716 249918 3213 31577 41093 28484 104367 52212 17858 174437 75481 421520 rec. 10184781 83875 1076839 1523581 835834 3520129 1965154 1102840 6588123 3596658 421610 firms 9531 750 4144 1929 1295 8118 1016 225 9359 172 9471 790 4060 1894 1344 8088 1005 209 9302 169 9357 731 4010 1873 1326 7940 1038 225 9203 154 9223 738 3809 1926 1280 7753 1082 238 9073 150 9595 955 3997 1946 1266 8164 1053 232 9449 146 421610 estab. 13773 759 4162 1988 1431 8340 1553 750 10643 3130 13873 791 4072 1966 1475 8304 1506 776 10586 3287 13904 736 4026 1949 1445 8156 1524 927 10607 3297 13878 739 3825 2002 1412 7978 1572 909 10459 3419 14337 960 4009 2028 1421 8418 1679 1016 11113 3224 421610 empl. 154975 0 9159 12726 17210 39095 34407 19722 93224 61751 155489 0 8958 12559 18110 39627 35010 19672 94309 61180 165955 0 8887 12449 17619 38955 36504 22220 97679 68276 168091 0 8411 12779 16955 38145 37586 24424 100155 67936 166242 0 8722 12835 16685 38242 36385 23842 98469 67773 421610 ann. pay. 6601753 43165 351978 510167 733112 1638422 1493067 795905 3927394 2674359 7105745 49151 365251 533452 779629 1727483 1572750 818900 4119133 2986612 8250900 57889 381823 550206 817194 1807112 1737247 965363 4509722 3741178 8098979 47145 366278 571522 773828 1758773 1776667 1081829 4617269 3481710 7768540 47987 359431 556168 777509 1741095 1750128 1033081 4524304 3244236 421610 rec. 93524189 499017 5569832 7212916 9067251 22349016 16228732 9689782 48267530 45256659 421620 firms 3211 247 1347 675 427 2696 378 76 3150 61 3115 255 1300 628 420 2603 375 74 3052 63 3023 249 1218 636 409 2512 378 75 2965 58 2955 243 1177 632 396 2448 372 83 2903 52 2882 274 1184 598 322 2378 374 78 2830 52 421620 estab. 3785 247 1355 690 456 2748 547 156 3451 334 3711 257 1303 650 445 2655 543 160 3358 353 3595 250 1221 653 438 2562 542 202 3306 289 3541 243 1180 647 421 2491 526 172 3189 352 3510 275 1186 624 346 2431 554 189 3174 336 421620 empl. 51016 0 3066 4435 5614 13115 13315 7090 33520 17496 54202 0 2968 4107 5495 12570 13442 8008 34020 20182 52676 0 2742 4219 5407 12368 14007 9068 35443 17233 52655 0 2669 4147 5219 12035 13397 10583 36015 16640 52580 0 2631 3938 4233 10802 13366 9287 33455 19125 421620 ann. pay. 2192995 15910 95371 153403 205721 470405 522481 266484 1259370 933625 2516213 22033 104907 150542 220364 497846 539103 317987 1354936 1161277 2509102 15077 102964 175709 226884 520634 593824 371818 1486276 1022826 2647494 46794 98845 168242 225506 539387 573140 454669 1567196 1080298 2509101 13709 91784 168671 190548 464712 595570 372728 1433010 1076091 421620 rec. 68254948 171344 1892421 4597171 3150708 9811644 10387657 10576745 30776046 37478902 421690 firms 15014 1481 6389 2956 1979 12805 1635 314 14754 260 14652 1331 6300 2868 1967 12466 1601 316 14383 269 14429 1312 6048 2876 1925 12161 1664 341 14166 263 14028 1218 5821 2746 1915 11700 1707 346 13753 275 13535 1245 5822 2597 1779 11443 1549 303 13295 240 421690 estab. 21088 1482 6427 3074 2248 13231 2384 834 16449 4639 20928 1341 6336 2994 2222 12893 2330 851 16074 4854 20787 1318 6096 2990 2162 12566 2352 864 15782 5005 20397 1230 5866 2851 2145 12092 2363 819 15274 5123 18732 1248 5858 2721 2020 11847 2291 831 14969 3763 421690 empl. 293835 0 13852 19450 26327 59629 58464 36173 154266 139569 297606 0 13755 18919 26341 59015 57623 35625 152263 145343 316173 0 13214 18968 25869 58051 60817 40188 159056 157117 338488 0 12791 18237 25432 56460 63236 43820 163516 174972 293420 0 12652 17087 23777 53516 55619 34929 144064 149356 421690 ann. pay. 16540651 152713 561445 805811 1236116 2756085 2650606 1763772 7170463 9370188 19601533 90644 572583 829471 1310544 2803242 2845671 1853128 7502041 12099492 23149100 104458 603382 931442 1414325 3053607 3506442 2546919 9106968 14042132 24032181 103828 566512 842151 1276170 2788661 3224755 2534261 8547677 15484504 19908832 73220 530357 749970 1136297 2489844 2853022 2060912 7403778 12505054 421690 rec. 193979697 873655 7649957 10306284 13421512 32251408 26119610 18223605 76594623 117385074 421710 firms 7250 440 3050 1387 1084 5961 1008 169 7138 112 7032 412 2926 1374 1077 5789 968 162 6919 113 6866 448 2782 1346 1039 5615 977 166 6758 108 6710 457 2703 1290 1021 5471 979 160 6610 100 6457 487 2625 1218 981 5311 904 149 6364 93 421710 estab. 9533 441 3064 1409 1141 6055 1470 651 8176 1357 9436 413 2937 1394 1131 5875 1401 656 7932 1504 9457 448 2790 1367 1092 5697 1358 685 7740 1717 9387 466 2713 1310 1070 5559 1369 665 7593 1794 9373 487 2632 1236 1059 5414 1399 725 7538 1835 421710 empl. 112859 0 6570 9130 14408 30108 35936 20384 86428 26431 117224 0 6317 9074 14448 29839 35136 20484 85459 31765 124860 0 6015 8926 13970 28911 35364 21287 85562 39298 122386 0 5873 8543 13660 28076 35727 20902 84705 37681 111066 0 5677 8013 13194 26884 32353 20624 79861 31205 421710 ann. pay. 4194475 24922 222327 322887 536944 1107080 1347249 704772 3159101 1035374 4536231 18349 218987 339454 547308 1124098 1376208 726119 3226425 1309806 5014707 25735 219043 349225 546041 1140044 1470663 802959 3413666 1601041 5073216 24847 215751 320010 539895 1100503 1553405 757749 3411657 1661559 4439761 39328 208946 303569 527749 1079592 1353468 736704 3169764 1269997 421710 rec. 45771182 358520 2753685 2834931 4412372 10359508 10588339 6938776 27886623 17884559 421720 firms 3669 337 1543 756 483 3119 393 97 3609 60 3653 297 1538 772 514 3121 376 96 3593 60 3585 256 1504 776 489 3025 394 105 3524 61 3556 238 1451 791 496 2976 407 107 3490 66 3715 323 1463 818 504 3108 436 108 3652 63 421720 estab. 4801 337 1547 766 532 3182 622 334 4138 663 4839 297 1542 788 558 3185 571 374 4130 709 4756 256 1509 783 535 3083 582 384 4049 707 4912 243 1454 805 537 3039 605 424 4068 844 5144 323 1465 833 573 3194 720 455 4369 775 421720 empl. 47331 0 3385 4977 6306 14668 12967 8949 36584 10747 49740 0 3389 5063 6764 15216 12632 9470 37318 12422 52669 0 3326 5130 6484 14940 13458 10373 38771 13898 54353 0 3224 5202 6561 14987 13600 11806 40393 13960 54879 0 3301 5327 6665 15293 14813 11074 41180 13699 421720 ann. pay. 1801565 11846 120851 184305 246991 563993 524330 321856 1410179 391386 1971444 14532 125705 186291 274567 601095 539117 355384 1495596 475848 2131807 14258 127776 203731 266165 611930 580325 410499 1602754 529053 2270478 14249 125533 208073 280349 628204 603684 469753 1701641 568837 2361259 20386 129729 219536 293095 662746 674703 479496 1816945 544314 421720 rec. 31668105 246003 1859958 2722929 3720994 8549884 12321533 4156016 25027433 6640672 421730 firms 3247 194 1279 702 526 2701 407 90 3198 49 3146 195 1205 687 502 2589 414 91 3094 52 3077 174 1176 682 486 2518 408 99 3025 52 3022 179 1149 653 481 2462 413 98 2973 49 3001 173 1127 689 464 2453 407 95 2955 46 421730 estab. 5589 197 1288 726 637 2848 906 613 4367 1222 5651 195 1215 707 604 2721 910 659 4290 1361 5710 176 1184 707 566 2633 867 711 4211 1499 5579 181 1159 674 541 2555 880 653 4088 1491 5598 173 1131 723 540 2567 929 654 4150 1448 421730 empl. 52121 0 2928 4639 7054 14621 14350 10498 39469 12652 57424 0 2803 4569 6695 14067 14556 10890 39513 17911 57696 0 2714 4564 6532 13810 14371 12186 40367 17329 57478 0 2646 4339 6411 13396 14213 12251 39860 17618 57267 0 2602 4579 6109 13290 14335 10369 37994 19273 421730 ann. pay. 2210840 9746 108955 189357 303449 611507 612026 432220 1655753 555087 2481839 8057 109540 194006 294930 606533 644598 463075 1714206 767633 2674106 6673 111161 205808 310963 634605 648959 538973 1822537 851569 2705747 13963 113064 194542 304274 625843 693781 562098 1881722 824025 2693297 17320 107742 201026 303445 629533 695071 472466 1797070 896227 421730 rec. 25599100 120328 1243799 2004288 2178350 5546765 5075241 4351473 14973479 10625621 421740 firms 995 70 413 173 145 801 142 30 973 22 985 69 405 183 137 794 137 30 961 24 951 63 383 190 127 763 136 32 931 20 918 53 372 185 128 738 126 33 897 21 936 57 364 196 132 749 132 34 915 21 421740 estab. 1541 72 413 182 158 825 302 158 1285 256 1546 69 411 195 146 821 280 184 1285 261 1501 63 385 199 143 790 269 188 1247 254 1445 53 373 195 139 760 254 190 1204 241 1482 57 364 203 157 781 271 193 1245 237 421740 empl. 13091 0 931 1133 1861 3925 4989 1925 10839 2252 13566 0 909 1196 1811 3916 4870 2233 11019 2547 13670 0 857 1237 1690 3784 4908 2523 11215 2455 13742 0 848 1219 1693 3760 4820 2360 10940 2802 14249 0 801 1301 1761 3863 4679 2480 11022 3227 421740 ann. pay. 526359 2630 31521 44091 69024 147266 195201 77319 419786 106573 561034 3098 32190 44280 69120 148688 201427 87731 437846 123188 583358 4824 30068 48438 66594 149924 204446 108761 463131 120227 612389 2253 30749 50409 69194 152605 207678 108447 468730 143659 620606 5505 29177 54486 69065 158233 208566 96443 463242 157364 421740 rec. 5013797 55720 405806 537439 389828 1388793 1791225 735033 3915051 1098746 421810 firms 3681 271 1411 618 512 2812 594 172 3578 103 3564 255 1363 599 505 2722 573 155 3450 114 3464 268 1316 594 471 2649 540 157 3346 118 3331 215 1272 585 461 2533 526 150 3209 122 3387 279 1309 595 443 2626 502 141 3269 118 421810 estab. 5267 290 1412 626 571 2899 1003 728 4630 637 5214 274 1370 604 555 2803 967 671 4441 773 5152 275 1327 597 512 2711 895 676 4282 870 5050 231 1281 589 509 2610 866 624 4100 950 5112 280 1313 615 499 2707 896 638 4241 871 421810 empl. 91431 0 3090 4063 6864 14017 21389 26486 61892 29539 95928 0 3023 3974 6783 13780 21597 24402 59779 36149 93450 0 2844 3948 6306 13098 20028 24316 57442 36008 93168 0 2740 3868 6134 12742 19636 22689 55067 38101 89608 0 2820 3938 5995 12753 18233 20181 51167 38441 421810 ann. pay. 3945761 11717 112549 142846 261041 528153 901021 1175219 2604393 1341368 4274322 13292 108073 149401 266867 537633 922072 1087997 2547702 1726620 4285046 14988 106616 148335 255883 525822 881649 1106165 2513636 1771410 4304186 20043 102816 149317 251263 523439 858334 1041192 2422965 1881221 4029157 25952 104695 151565 246427 528639 797207 926830 2252676 1776481 421810 rec. 47308673 213378 1317346 1534140 2026007 5090871 6695514 8453571 20239956 27068717 421820 firms 8329 473 2750 1804 1763 6790 1366 125 8281 48 8110 450 2671 1790 1683 6594 1342 119 8055 55 7888 433 2608 1723 1645 6409 1313 114 7836 52 7628 434 2540 1633 1566 6173 1290 116 7579 49 7377 455 2459 1519 1542 5975 1237 114 7326 51 421820 estab. 9583 473 2758 1814 1859 6904 2018 488 9410 173 9448 452 2681 1805 1761 6699 1998 445 9142 306 9206 437 2617 1737 1726 6517 1940 401 8858 348 9086 439 2554 1652 1653 6298 1870 527 8695 391 9008 461 2463 1532 1639 6095 1971 542 8608 400 421820 empl. 102538 0 6109 12234 24199 42542 44134 10667 97343 5195 102044 0 5994 12101 22932 41027 43515 10945 95487 6557 101374 0 5869 11704 22487 40060 43014 10273 93347 8027 99387 0 5658 11022 21236 37916 42785 10793 91494 7893 95610 0 5430 10272 21060 36762 41452 10100 88314 7296 421820 ann. pay. 2999045 22090 136670 281930 644045 1084735 1356675 337053 2778463 220582 3099342 24911 142476 288996 630745 1087128 1382866 355469 2825463 273879 3199447 16745 142234 290277 634890 1084146 1448138 344292 2876576 322871 3250385 19076 142747 286397 626342 1074562 1474114 367797 2916473 333912 3166621 32049 137565 267952 640039 1077605 1414703 354970 2847278 319343 421820 rec. 40444575 551934 1792279 2690436 6589425 11624074 14455879 3551335 29631288 10813287 421830 firms 29095 2256 12938 5853 3857 24904 3122 662 28688 407 28545 2142 12862 5704 3764 24472 3040 638 28150 395 27764 2063 12440 5498 3742 23743 3019 604 27366 398 26796 1915 11831 5403 3652 22801 3022 583 26406 390 26219 2162 11758 5143 3453 22516 2782 549 25847 372 421830 estab. 35488 2260 12972 5999 4298 25529 4782 2070 32381 3107 34947 2151 12906 5855 4221 25133 4693 2024 31850 3097 34089 2076 12496 5641 4169 24382 4569 1972 30923 3166 33098 1918 11886 5547 4047 23398 4499 1949 29846 3252 32437 2169 11807 5313 3875 23164 4362 1888 29414 3023 421830 empl. 353234 0 27877 38618 51269 117764 106787 61607 286158 67076 347881 0 27679 37655 50212 115546 106048 60752 282346 65535 349093 0 26857 36389 49841 113087 105679 60501 279267 69826 352561 0 25586 35650 48845 110081 105215 61333 276629 75932 324366 0 25608 33966 46106 105680 95159 53380 254219 70147 421830 ann. pay. 15377738 107785 1067069 1531169 2117444 4823467 4657245 2685633 12166345 3211393 15534301 113772 1080992 1505589 2138758 4839111 4693941 2774838 12307890 3226411 16406251 105551 1099629 1511237 2231924 4948341 4888177 2868852 12705370 3700881 16364269 101689 1033229 1471122 2123870 4729910 4774505 2865026 12369441 3994828 15286055 162815 999667 1432877 2018709 4614068 4363928 2551662 11529658 3756397 421830 rec. 122659567 1489579 11522338 12027749 14423154 39462820 28455195 17993088 85911103 36748464 421840 firms 9882 674 4075 1980 1418 8147 1302 265 9714 168 9743 678 4046 1909 1402 8035 1279 257 9571 172 9572 647 3916 1911 1366 7840 1310 250 9400 172 9358 609 3851 1856 1370 7686 1257 251 9194 164 9256 709 3854 1846 1256 7665 1217 229 9111 145 421840 estab. 14984 676 4086 2011 1575 8348 2325 1289 11962 3022 15152 680 4058 1948 1574 8260 2262 1272 11794 3358 14880 650 3936 1949 1526 8061 2262 1169 11492 3388 14723 621 3865 1884 1551 7921 2172 1192 11285 3438 14479 710 3871 1902 1451 7934 2287 1171 11392 3087 421840 empl. 144708 0 9024 13151 18898 41073 43633 23191 107897 36811 146666 0 8986 12682 18766 40434 43181 22716 106331 40335 145730 0 8597 12682 18122 39401 44450 22365 106216 39514 144668 0 8481 12270 18434 39185 43153 23061 105399 39269 137162 0 8394 12181 16843 37418 41180 20721 99319 37843 421840 ann. pay. 5627905 36944 319424 479068 722773 1558209 1721032 895933 4175174 1452731 5859420 38089 329504 471863 730120 1569576 1727996 902458 4200030 1659390 6047589 35706 327956 475593 728667 1567922 1866731 934355 4369008 1678581 5931115 28526 317784 463721 739614 1549645 1783038 952345 4285028 1646087 5706129 33736 311004 460772 696537 1502049 1756519 870159 4128727 1577402 421840 rec. 58876765 372146 3739294 3845655 5133035 13090130 12233095 7148386 32471611 26405154 421850 firms 5664 409 2472 1255 792 4928 585 109 5622 42 5570 431 2387 1220 795 4833 584 112 5529 41 5382 365 2293 1195 761 4614 618 102 5334 48 5183 376 2205 1104 759 4444 590 103 5137 46 5152 395 2207 1089 738 4429 586 91 5106 46 421850 estab. 6768 410 2473 1276 849 5008 858 488 6354 414 6738 433 2389 1233 868 4923 819 540 6282 456 6548 365 2298 1207 812 4682 849 412 5943 605 6426 376 2208 1120 812 4516 809 452 5777 649 6573 395 2211 1105 811 4522 885 396 5803 770 421850 empl. 60566 0 5628 8279 10335 24242 20122 10433 54797 5769 61153 0 5325 8095 10332 23752 19646 11452 54850 6303 61407 0 5135 7884 9756 22775 20749 10024 53548 7859 61700 0 4971 7377 9895 22243 19838 11462 53543 8157 60212 0 4962 7308 9603 21873 19932 8944 50749 9463 421850 ann. pay. 1944730 18767 156617 225636 312003 713023 663903 333167 1710093 234637 2056176 22589 161210 228508 319562 731869 671792 367439 1771100 285076 2159614 14137 181150 228352 313183 736822 756608 339668 1833098 326516 2283248 17320 146349 230531 333760 727960 734798 470248 1933006 350242 2293056 66970 144806 233448 330833 776057 752454 364525 1893036 400020 421850 rec. 19696370 559900 1410146 2048756 2253826 6272628 4695250 2723469 13691347 6005023 421860 firms 3646 364 1718 632 433 3147 341 81 3569 77 3578 346 1678 626 429 3079 342 79 3500 78 3524 333 1648 635 427 3043 330 76 3449 75 3397 286 1575 615 427 2903 349 71 3323 74 3364 342 1531 608 432 2913 312 64 3289 75 421860 estab. 3992 364 1725 643 446 3178 415 160 3753 239 3924 346 1683 637 443 3109 408 162 3679 245 3867 333 1656 645 442 3076 393 153 3622 245 3730 286 1583 623 439 2931 417 146 3494 236 3731 342 1536 620 462 2960 402 146 3508 223 421860 empl. 45901 0 3656 4114 5689 13459 11680 7626 32765 13136 49660 0 3647 4097 5726 13470 12274 7935 33679 15981 45159 0 3577 4198 5783 13558 11749 8322 33629 11530 45520 0 3355 4035 5731 13121 12054 7841 33016 12504 40986 0 3234 3957 5805 12996 10553 7102 30651 10335 421860 ann. pay. 2150843 22716 164014 181223 247516 615469 481854 322676 1419999 730844 2338261 22350 156860 184232 251303 614745 508939 340851 1464535 873726 2080413 21976 156189 192718 260328 631211 504923 389151 1525285 555128 2126306 15173 145935 190768 259244 611120 526008 365662 1502790 623516 1898290 21411 135592 180168 264563 601734 469467 309985 1381186 517104 421860 rec. 27396608 250589 2333932 2066764 2769841 7421126 4579420 2965942 14966488 12430120 421910 firms 5725 613 2718 997 693 5021 566 90 5677 48 5699 700 2665 989 641 4995 573 83 5651 48 5749 696 2671 988 657 5012 603 86 5701 48 5613 643 2612 976 645 4876 603 88 5567 46 6158 853 2967 979 657 5456 568 87 6111 47 421910 estab. 6200 613 2728 1007 749 5097 666 182 5945 255 6179 700 2675 1003 685 5063 698 157 5918 261 6221 697 2691 1002 699 5089 698 174 5961 260 6085 643 2616 995 679 4933 696 181 5810 275 6707 853 2972 998 697 5520 671 181 6372 335 421910 empl. 57676 0 5601 6538 9177 21316 19275 9638 50229 7447 55508 0 5390 6427 8583 20400 19497 8829 48726 6782 57625 0 5442 6415 8693 20550 21161 9687 51398 6227 57716 0 5303 6417 8577 20297 21250 10101 51648 6068 57587 0 6019 6413 8853 21285 19847 9541 50673 6914 421910 ann. pay. 1919239 24067 176162 194944 306115 701288 583488 328791 1613567 305672 1959883 28481 174580 211750 293820 708631 649109 310251 1667991 291892 2139652 27163 185050 216000 310118 738331 728461 359852 1826644 313008 2204681 24061 178380 223797 301473 727711 783730 374983 1886424 318257 2294568 32549 211584 229880 321675 795688 773912 394723 1964323 330245 421910 rec. 28972284 409065 3805658 3398167 3541613 11154503 7836498 4985257 23976258 4996026 421920 firms 3055 308 1522 526 329 2685 288 52 3025 30 3028 371 1482 506 289 2648 306 46 3000 28 3008 363 1452 498 299 2612 313 52 2977 31 2890 312 1395 497 298 2502 306 57 2865 25 3012 352 1495 475 300 2622 310 52 2984 28 421920 estab. 3190 309 1522 531 347 2709 339 92 3140 50 3158 375 1483 511 300 2669 349 95 3113 45 3140 367 1457 503 311 2638 342 110 3090 50 3025 312 1399 502 310 2523 338 127 2988 37 3181 352 1499 484 314 2649 365 110 3124 57 421920 empl. 35626 0 3215 3385 4334 10934 10315 6174 27423 8203 35505 0 3108 3281 3948 10337 11267 6409 28013 7492 38325 0 3030 3219 3965 10214 11532 7277 29023 9302 36890 0 2917 3239 4014 10170 11648 7761 29579 7311 35313 0 3079 3066 4001 10146 11418 6471 28035 7278 421920 ann. pay. 1328107 12204 99445 102402 144511 358562 370887 221515 950964 377143 1329045 23270 102298 109686 138715 373969 426598 237782 1038349 290696 1477673 15567 107833 106831 145974 376205 460926 271292 1108423 369250 1483239 13502 102523 107707 144135 367867 459969 295452 1123288 359951 1467009 15433 106467 107375 154057 383332 463963 291664 1138959 328050 421920 rec. 18323292 201000 1910146 1596563 2340889 6048598 4672425 3238901 13959924 4363368 421930 firms 7790 688 2996 1485 1208 6377 1157 163 7697 93 7289 629 2980 1326 1117 6052 999 148 7199 90 7102 593 2807 1317 1135 5852 1027 136 7015 87 6847 541 2737 1270 1097 5645 989 130 6764 83 6710 587 2692 1272 1009 5560 941 126 6627 83 421930 estab. 8974 689 2999 1504 1256 6448 1444 383 8275 699 8459 634 2993 1348 1176 6151 1247 368 7766 693 8267 594 2823 1337 1185 5939 1269 359 7567 700 8002 544 2752 1296 1140 5732 1222 347 7301 701 7870 588 2700 1292 1064 5644 1202 331 7177 693 421930 empl. 113246 0 6543 9922 16526 32991 41797 18707 93495 19751 102260 0 6522 8789 15214 30525 35274 16162 81961 20299 103108 0 6124 8764 15532 30420 36705 14614 81739 21369 99109 0 5960 8381 14928 29269 35777 14081 79127 19982 93060 0 5891 8459 13685 28035 33034 13753 74822 18238 421930 ann. pay. 3185572 30755 165145 230139 428714 854753 1144336 521347 2520436 665136 3040080 35157 169748 232000 411528 848433 1040278 479436 2368147 671933 3302669 27546 175810 231457 463169 897982 1159315 477246 2534543 768126 3132047 25629 169825 226068 424102 845624 1135958 441726 2423308 708739 3045028 30847 167254 243837 412796 854734 1060242 465094 2380070 664958 421930 rec. 31616739 313662 2237690 2191370 3378624 8121346 8480552 5324534 21926432 9690307 421940 firms 7858 907 4689 1217 606 7419 364 53 7836 22 7989 945 4753 1229 578 7505 404 62 7971 18 8226 1038 4820 1269 604 7731 415 58 8204 22 8083 896 4829 1257 618 7600 401 57 8058 25 8607 1055 5190 1319 592 8156 377 52 8585 22 421940 estab. 7992 908 4693 1228 624 7453 416 73 7942 50 8126 946 4758 1239 595 7538 444 96 8078 48 8355 1039 4823 1278 628 7768 445 93 8306 49 8215 897 4835 1265 642 7639 428 96 8163 52 8745 1055 5194 1327 614 8190 431 77 8698 47 421940 empl. 49800 0 9635 7839 7962 25436 12926 7364 45726 4074 51289 0 9834 7849 7576 25259 13982 8054 47295 3994 55854 0 10018 8116 8016 26150 14780 8009 48939 6915 54408 0 10065 8014 8180 26259 13974 7816 48049 6359 54205 0 10613 8461 7903 26977 13792 7114 47883 6322 421940 ann. pay. 1765354 33882 308425 252245 267734 862286 454935 319024 1636245 129109 1890128 26869 313561 266541 270868 877839 496261 378277 1752377 137751 2102777 38167 328488 284566 298577 949798 567850 366621 1884269 218508 2080304 29331 332791 278487 299224 939833 540961 365344 1846138 234166 2209461 39680 355767 306922 304910 1007279 583644 335209 1926132 283329 421940 rec. 36002379 741128 7373991 5833788 4691319 18640226 6930699 6805028 32375953 3626426 421990 firms 11487 1829 6161 1761 907 10658 621 117 11396 91 12411 2451 6396 1802 913 11562 646 111 12319 92 13665 2665 7195 1936 979 12775 678 117 13570 95 13730 2325 7489 2012 1006 12832 684 124 13640 90 15192 2599 8374 2176 1101 14250 725 126 15101 91 421990 estab. 12101 1829 6165 1782 957 10733 743 230 11706 395 13004 2451 6400 1819 972 11642 746 237 12625 379 14246 2665 7199 1953 1032 12849 781 245 13875 371 14285 2326 7494 2027 1048 12895 801 251 13947 338 15742 2600 8381 2204 1163 14348 860 244 15452 290 421990 empl. 90039 0 12164 11353 11927 35444 20837 11180 67461 22578 91291 0 12550 11780 12007 36337 21945 11632 69914 21377 100082 0 14340 12614 12856 39810 23133 12291 75234 24848 99261 0 14776 13053 13132 40961 23572 12294 76827 22434 100749 0 16601 14134 14523 45258 24602 14241 84101 16648 421990 ann. pay. 3272749 70575 327560 328512 359876 1086523 741926 476822 2305271 967478 3473046 90480 359871 361498 382103 1193952 781854 470354 2446160 1026886 3903717 104344 436072 402254 420051 1362721 854571 495749 2713041 1190676 3954785 82640 459455 416639 448756 1407490 860095 498542 2766127 1188658 3974914 87530 519986 465361 519114 1591991 932935 560952 3085878 889036 421990 rec. 58705306 1050637 8013972 5436963 4904713 19406285 8494998 7207770 35109053 23596253 422110 firms 1489 82 768 259 169 1278 129 46 1453 36 1413 84 739 228 146 1197 138 45 1380 33 1345 75 684 219 149 1127 140 46 1313 32 1279 82 645 214 131 1072 132 45 1249 30 1228 96 601 207 130 1034 118 51 1203 25 422110 estab. 2263 82 769 264 180 1295 173 173 1641 622 2215 84 740 234 154 1212 179 174 1565 650 2104 75 685 224 156 1140 187 166 1493 611 2018 82 646 217 139 1084 178 153 1415 603 1986 96 601 213 139 1049 178 187 1414 572 422110 empl. 32427 0 1566 1670 2297 5533 4512 5341 15386 17041 32512 0 1567 1503 1988 5058 4781 5272 15111 17401 31475 0 1409 1421 1974 4804 4824 5636 15264 16211 31024 0 1353 1421 1762 4536 4631 5745 14912 16112 28644 0 1227 1329 1715 4271 4231 5370 13872 14772 422110 ann. pay. 1630580 3946 62057 63207 109059 238269 216563 266632 721464 909116 1610883 3624 60827 62877 89914 217242 248889 284388 750519 860364 1717166 2150 55636 59083 98986 215855 259419 294077 769351 947815 1712310 2510 55701 64719 89113 212043 249991 305111 767145 945165 1620785 3619 49903 60159 84523 198204 235746 291064 725014 895771 422110 rec. 40972544 66098 620819 878800 1313063 2878780 4426092 4838774 12143646 28828898 422120 firms 6049 380 2921 1181 797 5279 606 93 5978 71 5970 454 2845 1147 753 5199 609 93 5901 69 5862 432 2786 1143 728 5089 605 98 5792 70 5641 425 2641 1107 715 4888 580 97 5565 76 5602 483 2671 1041 671 4866 567 102 5535 67 422120 estab. 8104 380 2926 1191 869 5366 792 335 6493 1611 7864 455 2849 1160 812 5276 797 307 6380 1484 7623 432 2790 1158 783 5163 765 307 6235 1388 7323 425 2646 1125 776 4972 776 281 6029 1294 6813 483 2675 1064 719 4941 717 295 5953 860 422120 empl. 124413 0 6150 7831 10566 24547 20103 7516 52166 72247 127087 0 5984 7588 10034 23606 20553 8501 52660 74427 129198 0 5822 7579 9712 23113 20825 9083 53021 76177 123458 0 5526 7249 9565 22340 20222 8666 51228 72230 113722 0 5518 6875 8911 21304 19166 9032 49502 64220 422120 ann. pay. 3680634 15464 193156 252006 373730 834356 675153 298038 1807547 1873087 3733252 22362 194553 251662 366873 835450 743729 333688 1912867 1820385 3919206 17109 197269 262141 355529 832048 771066 375153 1978267 1940939 3877471 19538 187621 249569 350508 807236 756668 355837 1919741 1957730 3504712 22857 186950 238815 329652 778274 717483 346211 1841968 1662744 422120 rec. 34522503 182626 1997919 1961487 2264463 6406495 4647244 2686589 13740328 20782175 422130 firms 4794 400 2125 843 618 3986 620 116 4722 72 4630 312 2048 847 607 3814 629 123 4566 64 4525 339 1933 864 577 3713 616 129 4458 67 4374 314 1864 810 576 3564 621 126 4311 63 4193 329 1812 769 518 3428 579 121 4128 65 422130 estab. 5505 410 2126 853 645 4034 770 248 5052 453 5289 314 2052 857 639 3862 754 266 4882 407 5193 341 1939 872 603 3755 737 313 4805 388 5089 314 1868 820 597 3599 749 321 4669 420 4871 329 1814 786 547 3476 714 302 4492 379 422130 empl. 70681 0 4490 5529 8355 18374 23393 12064 53831 16850 68989 0 4351 5576 8164 18091 23315 12859 54265 14724 70862 0 4129 5755 7793 17677 23158 13772 54607 16255 71412 0 4018 5365 7845 17228 23107 14080 54415 16997 66415 0 3873 5078 6991 15942 21260 13418 50620 15795 422130 ann. pay. 2993175 20702 177088 201345 306416 705551 903996 544405 2153952 839223 2987716 25222 184142 211955 310067 731386 918191 573204 2222781 764935 3232207 15500 181591 229161 296372 722624 948018 627954 2298596 933611 3290429 14348 171096 214806 292129 692379 955524 637258 2285161 1005268 3102208 15765 167086 210459 282021 675331 894259 642380 2211970 890238 422130 rec. 44842195 244975 2918687 3040806 3121698 9326166 7896230 6910903 24133299 20708896 422210 firms 6382 723 2907 1021 659 5310 706 194 6210 172 6115 671 2757 975 651 5054 701 188 5943 172 5948 627 2649 954 661 4891 699 176 5766 182 5755 588 2559 943 612 4702 699 174 5575 180 5936 750 2628 952 597 4927 651 167 5745 191 422210 estab. 8124 723 2910 1027 675 5335 785 349 6469 1655 7510 672 2758 981 664 5075 767 297 6139 1371 7418 628 2651 958 671 4908 774 275 5957 1461 7189 589 2559 953 620 4721 755 289 5765 1424 7243 751 2630 956 617 4954 716 273 5943 1300 422210 empl. 194864 0 5994 6796 8793 21583 26407 25298 73288 121576 199759 0 5655 6409 8606 20670 26034 26470 73174 126585 210418 0 5408 6341 8673 20422 26504 25533 72459 137959 234917 0 5296 6207 8077 19580 27215 26161 72956 161961 218150 0 5366 6295 7871 19532 24067 23304 66903 151247 422210 ann. pay. 9320121 53335 217033 243646 322343 836357 1007456 1088959 2932772 6387349 10054870 57924 218172 236311 355451 867858 1082697 1109368 3059923 6994947 11979927 138141 217170 264101 348565 967977 1134676 1237040 3339693 8640234 13695588 50176 225652 258156 364941 898925 1204193 1309523 3412641 10282947 12776342 189890 221052 280284 381168 1072394 1095193 1337255 3504842 9271500 422210 rec. 366325768 2389055 3554125 3441497 4059931 13444608 12749125 24459480 50653213 315672555 422310 firms 5263 700 2517 948 535 4700 406 92 5198 65 5366 675 2669 918 524 4786 420 92 5298 68 5316 641 2639 909 553 4742 424 90 5256 60 5183 605 2625 826 562 4618 415 91 5124 59 4808 648 2391 782 496 4317 360 75 4752 56 422310 estab. 5743 704 2520 952 554 4730 492 307 5529 214 5853 676 2673 921 539 4809 514 281 5604 249 5802 656 2642 914 569 4781 505 283 5569 233 5668 605 2628 830 579 4642 516 284 5442 226 5275 648 2392 790 514 4344 479 251 5074 201 422310 empl. 46315 0 5317 6202 7142 18661 13974 8385 41020 5295 46711 0 5617 5958 6898 18473 14496 7797 40766 5945 47544 0 5445 5899 7361 18705 14985 7746 41436 6108 46755 0 5484 5331 7463 18278 14473 7807 40558 6197 40493 0 5030 5095 6579 16704 12494 6221 35419 5074 422310 ann. pay. 1721969 34912 186617 205945 255454 682928 492772 302294 1477994 243975 1788850 44361 197213 206154 255188 702916 516890 289022 1508828 280022 1879619 28645 202527 216024 262134 709330 579310 303467 1592107 287512 1861183 24551 203198 191534 264195 683478 575239 303509 1562226 298957 1775392 44058 187894 192457 259644 684053 517644 284536 1486233 289159 422310 rec. 21896968 545247 3133344 2726545 2751792 9156928 5049030 2483382 16689340 5207628 422320 firms 4586 507 2196 734 494 3931 471 112 4514 72 4472 544 2112 719 463 3838 464 104 4406 66 4339 476 2078 690 469 3713 459 111 4283 56 4181 487 1988 618 470 3563 451 113 4127 54 3980 453 1950 601 425 3429 393 111 3933 47 422320 estab. 4899 508 2199 739 509 3955 521 178 4654 245 4769 547 2117 728 477 3869 507 159 4535 234 4628 476 2086 699 481 3742 495 167 4404 224 4465 488 1993 623 484 3588 495 162 4245 220 4273 454 1955 610 439 3458 445 160 4063 210 422320 empl. 61105 0 4478 4791 6630 15899 17120 11097 44116 16989 58641 0 4385 4731 6194 15310 16889 10489 42688 15953 60632 0 4333 4513 6318 15164 16762 11739 43665 16967 59912 0 4171 4077 6352 14600 16395 12048 43043 16869 59145 0 4082 3939 5740 13761 14166 12477 40404 18741 422320 ann. pay. 2249678 26581 148319 150444 199064 524408 565055 357571 1447034 802644 2172820 28025 155781 150922 195481 530209 575691 372138 1478038 694782 2383007 25130 160674 148814 211327 545945 634502 427857 1608304 774703 2330159 30349 154307 142280 222535 549471 624831 439875 1614177 715982 2384278 35944 140830 147536 221354 545664 640101 472109 1657874 726404 422320 rec. 32858037 447142 2460784 2045660 2313810 7267396 7047592 5247156 19562144 13295893 422330 firms 7883 1081 4054 1175 683 6993 681 138 7812 71 7548 1028 3872 1132 684 6716 629 141 7486 62 7462 1045 3810 1069 688 6612 658 135 7405 57 7213 915 3697 1047 672 6331 696 130 7157 56 7220 1058 3679 1002 653 6392 648 126 7166 54 422330 estab. 8273 1081 4060 1182 699 7022 789 176 7987 286 7912 1037 3877 1142 701 6757 716 186 7659 253 7824 1045 3820 1079 704 6648 747 185 7580 244 7583 915 3707 1054 685 6361 783 196 7340 243 7608 1058 3685 1013 681 6437 781 191 7409 199 422330 empl. 78130 0 8163 7677 9032 24872 24675 17899 67446 10684 77609 0 7799 7352 9047 24198 23002 18375 65575 12034 79373 0 7750 7014 9178 23942 24927 17375 66244 13129 79595 0 7547 6854 8965 23366 26108 16986 66460 13135 76252 0 7473 6507 8732 22712 24348 14678 61738 14514 422330 ann. pay. 2954221 50570 253160 227529 296610 827869 896508 730449 2454826 499395 2989586 48114 249692 229649 309957 837412 891714 756504 2485630 503956 3212906 50259 261210 228350 335546 875365 1008178 750798 2634341 578565 3348318 43938 256805 218366 326408 845517 1081967 740343 2667827 680491 3554955 62866 268421 233589 362296 927172 1089575 785333 2802080 752875 422330 rec. 46070771 867731 5159273 3094333 3767450 12888787 11763289 8339224 32991300 13079471 422340 firms 1650 202 827 262 149 1440 149 31 1620 30 1652 212 833 261 147 1453 135 36 1624 28 1642 213 810 250 164 1437 140 38 1615 27 1621 224 801 234 143 1402 155 40 1597 24 1738 239 913 251 132 1535 142 37 1714 24 422340 estab. 1746 202 827 264 152 1445 171 49 1665 81 1750 212 833 263 151 1459 156 56 1671 79 1773 213 810 252 169 1444 160 93 1697 76 1755 224 802 235 146 1407 173 102 1682 73 1875 239 913 258 136 1546 154 66 1766 109 422340 empl. 23751 0 1621 1677 1893 5191 5101 3492 13784 9967 25688 0 1613 1694 1897 5204 4850 3763 13817 11871 26592 0 1633 1628 2105 5366 5213 4407 14986 11606 26170 0 1620 1570 1842 5032 5789 4694 15515 10655 24948 0 1853 1662 1761 5276 5525 4100 14901 10047 422340 ann. pay. 1339772 8621 65602 59870 75532 209625 243114 196938 649677 690095 1409696 9399 67077 69369 74368 220213 254735 202645 677593 732103 1472969 13700 68141 63120 91597 236558 274791 245058 756407 716562 1498730 10807 69587 63338 84136 227868 301154 265491 794513 704217 1567086 17823 73639 74934 80913 247309 365496 274386 887191 679895 422340 rec. 21826129 267662 1433606 1362974 971732 4035974 3781895 3481203 11299072 10527057 422410 firms 3438 442 1396 605 375 2818 397 120 3335 103 3285 306 1403 597 388 2694 380 109 3183 102 3183 312 1351 566 389 2618 365 110 3093 90 3094 292 1318 534 393 2537 363 104 3004 90 3385 385 1452 580 410 2827 371 97 3295 90 422410 estab. 4300 442 1397 608 380 2827 448 196 3471 829 4163 306 1406 600 391 2703 415 163 3281 882 4036 312 1354 569 394 2629 392 174 3195 841 3993 296 1323 537 398 2554 387 155 3096 897 4334 385 1452 584 431 2852 422 178 3452 882 422410 empl. 169776 0 2899 4072 4955 11926 15250 18167 45343 124433 173722 0 2916 3921 5075 11912 14719 15159 41790 131932 171229 0 2819 3770 5163 11752 14460 17133 43345 127884 172432 0 2769 3603 5168 11540 14055 16285 41880 130552 172514 0 3018 3855 5510 12383 13971 15103 41457 131057 422410 ann. pay. 5892475 18469 78277 101217 124133 322096 467090 585836 1375022 4517453 6284408 17026 86507 106267 128567 338367 472931 523605 1334903 4949505 6480920 14841 89493 105113 143307 352754 480234 570125 1403113 5077807 7149010 20500 88456 107356 145613 361925 477151 572237 1411313 5737697 6850228 22291 95391 123643 161909 403234 497332 570659 1471225 5379003 422410 rec. 173346910 571625 2397683 2733091 4239451 9941850 11268181 16901821 38111852 135235058 422420 firms 3124 210 1199 581 416 2406 489 141 3036 88 3035 236 1146 529 419 2330 483 127 2940 95 2946 234 1071 504 427 2236 476 143 2855 91 2834 231 1029 469 410 2139 473 137 2749 85 2704 254 992 451 359 2056 451 124 2631 73 422420 estab. 3683 210 1200 592 437 2439 564 221 3224 459 3588 240 1150 536 446 2372 570 190 3132 456 3509 234 1073 515 451 2273 542 238 3053 456 3390 231 1033 480 436 2180 539 225 2944 446 3232 257 993 461 380 2091 517 218 2826 406 422420 empl. 85495 0 2611 3799 5606 12016 18779 19075 49870 35625 82915 0 2484 3514 5687 11685 19168 17535 48388 34527 85680 0 2302 3321 5863 11486 18217 19945 49648 36032 87251 0 2218 3082 5573 10873 18150 18675 47698 39553 81855 0 2136 3002 4872 10010 17947 16713 44670 37185 422420 ann. pay. 3015156 11905 83627 132563 190729 418824 586349 659584 1664757 1350399 2989142 13909 84757 133557 203397 435620 621903 608067 1665590 1323552 3224290 14905 77970 130708 202127 425710 646128 715826 1787664 1436626 3328726 9601 84676 117179 213727 425183 647414 687410 1760007 1568719 3251504 10807 85252 118584 180254 394897 673800 634310 1703007 1548497 422420 rec. 67080683 292969 2437428 3256349 4703460 10690206 15263034 11321397 37274637 29806046 422430 firms 2191 195 952 375 267 1789 276 68 2133 58 2157 197 913 374 261 1745 293 68 2106 51 2137 191 888 388 269 1736 274 73 2083 54 2109 204 876 371 259 1710 269 75 2054 55 1990 197 852 317 248 1614 245 76 1935 55 422430 estab. 2795 195 954 376 272 1797 327 200 2324 471 2769 197 915 375 265 1752 343 206 2301 468 2741 191 890 389 273 1743 312 216 2271 470 2741 204 877 374 265 1720 303 200 2223 518 2565 198 852 318 256 1624 296 189 2109 456 422430 empl. 48096 0 1973 2515 3508 7996 10851 7788 26635 21461 48499 0 1874 2497 3394 7765 11511 7687 26963 21536 49578 0 1850 2523 3588 7961 10889 8515 27365 22213 50239 0 1820 2438 3429 7687 10719 9021 27427 22812 47529 0 1792 2118 3358 7268 9589 8579 25436 22093 422430 ann. pay. 1764862 6232 58786 76433 110264 251715 356333 285646 893694 871168 1832198 8776 54115 83534 108731 255156 379417 286542 921115 911083 1890884 6314 56375 81683 118506 262878 380036 318456 961370 929514 2001136 14909 61168 83152 120974 280203 379904 345053 1005160 995976 1951801 8747 66043 72374 119274 266438 352965 340218 959621 992180 422430 rec. 32081043 154745 1580511 1734377 2092201 5561834 4737078 6130933 16429845 15651198 422440 firms 942 48 327 165 164 704 178 43 925 17 904 56 321 156 146 679 168 38 885 19 867 57 311 139 144 651 164 39 854 13 881 57 318 147 140 662 169 37 868 13 830 50 301 137 135 623 159 35 817 13 422440 estab. 1016 48 327 165 168 708 204 59 971 45 975 56 322 156 152 686 186 58 930 45 937 58 311 139 151 659 180 60 899 38 960 57 318 148 150 673 185 57 915 45 912 50 302 137 148 637 173 57 867 45 422440 empl. 18661 0 724 1078 2213 4015 7019 6048 17082 1579 18352 0 721 1037 2029 3787 6827 4917 15531 2821 17612 0 700 904 1964 3568 6759 5782 16109 1503 17975 0 684 975 1917 3576 7058 5139 15773 2202 17306 0 661 884 1825 3370 6574 4792 14736 2570 422440 ann. pay. 533414 1786 23412 30376 66637 122211 191118 169982 483311 50103 541960 3623 26538 28619 72379 131159 195559 137546 464264 77696 537811 2438 24687 32001 69978 129104 200003 162357 491464 46347 577276 2102 25172 31282 79251 137807 219824 155451 513082 64194 574472 1973 24122 32145 77873 136113 224656 137631 498400 76072 422440 rec. 11119192 51173 943251 982996 1801207 3778627 4294512 1999753 10072892 1046300 422450 firms 2134 205 981 343 288 1817 236 44 2097 37 2104 209 963 334 279 1785 241 41 2067 37 2027 192 921 333 259 1705 236 46 1987 40 2009 222 877 355 231 1685 243 42 1970 39 2047 236 958 312 231 1737 224 49 2010 37 422450 estab. 2500 205 984 348 301 1838 275 79 2192 308 2473 209 965 335 300 1809 277 78 2164 309 2397 192 923 335 279 1729 269 86 2084 313 2381 223 878 357 244 1702 279 94 2075 306 2369 236 959 317 246 1758 267 96 2121 248 422450 empl. 54639 0 1950 2290 3830 8070 8325 4486 20881 33758 54870 0 1919 2189 3672 7780 8541 4501 20822 34048 51332 0 1818 2230 3449 7497 8689 5065 21251 30081 46929 0 1712 2354 3076 7142 9081 4835 21058 25871 63680 0 1860 2064 3110 7034 8213 5282 20529 43151 422450 ann. pay. 1464086 7538 47198 63218 99144 217098 234437 122767 574302 889784 1540093 15838 49150 60162 98852 224002 246271 123456 593729 946364 1735398 5211 50581 63229 94417 213438 251641 130615 595694 1139704 1680843 7593 48240 66824 89554 212211 279444 130625 622280 1058563 2302495 11686 54328 61382 92439 219835 261291 172384 653510 1648985 422450 rec. 54284362 191008 1057633 1369579 1339428 3957648 3803461 1727891 9489000 44795362 422460 firms 2978 454 1301 506 351 2612 310 43 2965 13 2943 433 1275 507 348 2563 330 38 2931 12 2897 404 1269 486 360 2519 318 49 2886 11 2879 410 1244 493 360 2507 314 46 2867 12 2775 454 1189 452 323 2418 303 42 2763 12 422460 estab. 3072 454 1303 509 361 2627 345 66 3038 34 3048 433 1275 512 358 2578 363 68 3009 39 2992 404 1269 491 364 2528 354 73 2955 37 2980 410 1246 497 362 2515 354 73 2942 38 2883 454 1190 458 332 2434 339 69 2842 41 422460 empl. 27239 0 2835 3282 4672 10789 11419 3851 26059 1180 27706 0 2706 3295 4678 10679 12228 3604 26511 1195 28710 0 2727 3187 4817 10731 11613 5023 27367 1343 28405 0 2638 3214 4815 10667 11325 5066 27058 1347 26719 0 2554 2968 4254 9776 10964 4462 25202 1517 422460 ann. pay. 736211 15756 81220 84689 120193 301858 291993 102674 696525 39686 797304 14009 79883 89594 132114 315600 334555 104721 754876 42428 854649 14977 78002 93981 140483 327443 346274 136364 810081 44568 882232 16426 78710 99085 136272 330493 353489 149217 833199 49033 895718 17940 79411 100329 138904 336584 351870 146736 835190 60528 422460 rec. 15760715 411941 2086497 2297036 2678700 7474174 5438135 1642247 14554556 1206159 422470 firms 3315 213 1366 640 490 2709 482 76 3267 48 3262 243 1304 607 493 2647 485 78 3210 52 3185 229 1283 575 488 2575 482 79 3136 49 3133 249 1257 562 472 2540 475 79 3094 39 3004 263 1204 535 423 2425 459 79 2963 41 422470 estab. 3483 213 1367 646 497 2723 512 94 3329 154 3423 243 1305 613 500 2661 508 102 3271 152 3353 232 1283 579 496 2590 507 100 3197 156 3305 249 1260 566 479 2554 500 99 3153 152 3182 263 1208 539 435 2445 485 106 3036 146 422470 empl. 51002 0 2953 4221 6733 13907 18428 9319 41654 9348 57172 0 2823 4032 6721 13576 18295 10541 42412 14760 57312 0 2763 3808 6732 13303 18586 10798 42687 14625 53407 0 2631 3705 6524 12860 18490 11347 42697 10710 51207 0 2634 3531 5760 11925 17746 11533 41204 10003 422470 ann. pay. 1601235 7919 82430 118706 181506 390561 549475 315185 1255221 346014 1850329 12845 78546 118219 193403 403013 561714 360621 1325348 524981 1885818 15318 82412 112694 191833 402257 580294 385201 1367752 518066 1811481 15339 84287 112491 204156 416273 603113 411381 1430767 380714 1833556 12244 83256 109552 183782 388834 598435 434308 1421577 411979 422470 rec. 39597608 242568 2475065 2582220 3576895 8876748 9912757 7207434 25996939 13600669 422480 firms 5546 428 2069 1005 831 4333 987 184 5504 42 5403 470 1983 965 809 4227 941 191 5359 44 5355 459 1995 947 769 4170 943 194 5307 48 5294 412 1974 944 743 4073 965 215 5253 41 5165 522 1838 900 730 3990 923 208 5121 44 422480 estab. 5984 428 2078 1022 858 4386 1061 295 5742 242 5880 470 1990 984 836 4280 1016 333 5629 251 5829 461 2002 965 799 4227 1009 286 5522 307 5753 412 1981 962 768 4123 1035 309 5467 286 5659 522 1844 921 752 4039 1012 350 5401 258 422480 empl. 105047 0 4645 6613 11263 22521 40216 28632 91369 13678 106582 0 4346 6442 10938 21726 38785 31686 92197 14385 108650 0 4441 6268 10375 21084 37766 31359 90209 18441 113100 0 4339 6261 10134 20734 38512 36376 95622 17478 111470 0 3912 6008 9939 19859 37001 33220 90080 21390 422480 ann. pay. 3190105 26237 166613 236787 351628 781265 1208051 756958 2746274 443831 3285058 24012 158836 230356 364249 777453 1166625 847681 2791759 493299 3539862 30512 163800 232324 365883 792519 1190535 895412 2878466 661396 3753290 28490 164378 246283 375328 814479 1225864 1023357 3063700 689590 3771433 31013 156147 241414 370011 798585 1243046 1049951 3091582 679851 422480 rec. 54232789 520018 3694902 5112235 6608941 15936096 16639404 12286329 44861829 9370960 422490 firms 11436 1257 5216 1827 1281 9581 1307 313 11201 235 11023 1042 5105 1769 1267 9183 1308 292 10783 240 10718 1009 4887 1739 1245 8880 1327 279 10486 232 10415 1069 4673 1683 1218 8643 1273 285 10201 214 10289 1110 4718 1578 1181 8587 1195 295 10077 212 422490 estab. 14615 1257 5220 1844 1323 9644 1500 629 11773 2842 14249 1047 5109 1785 1309 9250 1484 550 11284 2965 13927 1014 4894 1755 1280 8943 1490 548 10981 2946 13703 1069 4683 1695 1251 8698 1431 556 10685 3018 13414 1110 4718 1593 1213 8634 1382 609 10625 2789 422490 empl. 295821 0 10343 12041 17458 39842 46992 35448 122282 173539 306357 0 10183 11638 17261 39082 47344 32209 118635 187722 304421 0 9864 11471 16747 38082 48129 33067 119278 185143 301333 0 9449 11160 16521 37130 46071 34088 117289 184044 289147 0 9479 10403 15989 35871 44053 35394 115318 173829 422490 ann. pay. 10127934 44795 287955 337076 494292 1164118 1399537 1145741 3709396 6418538 10950311 65634 300947 344465 500230 1211276 1447897 1068810 3727983 7222328 11418746 46462 298503 353074 509920 1207959 1535302 1170779 3914040 7504706 11771579 44509 302316 360937 522162 1229924 1509008 1233848 3972780 7798799 11241990 47169 299403 346468 554366 1247406 1507009 1255738 4010153 7231837 422490 rec. 207550074 661939 6468504 6049168 9330772 22510383 19092833 17431036 59034252 148515822 422510 firms 3636 145 1083 949 699 2876 611 104 3591 45 3552 185 1061 895 652 2793 608 109 3510 42 3474 187 1038 882 629 2736 574 120 3430 44 3350 168 1026 831 603 2628 562 122 3312 38 3130 150 993 742 569 2454 523 116 3093 37 422510 estab. 6305 145 1092 1012 922 3171 1514 537 5222 1083 6197 189 1070 953 878 3090 1476 572 5138 1059 6077 188 1050 939 837 3014 1378 642 5034 1043 5890 182 1040 892 809 2923 1354 671 4948 942 5653 161 1000 796 753 2710 1396 682 4788 865 422510 empl. 57139 0 2664 6253 9045 17962 18752 7537 44251 12888 56523 0 2598 5907 8420 16925 19233 8279 44437 12086 56407 0 2520 5806 8204 16530 18560 9009 44099 12308 54945 0 2530 5520 7766 15816 18003 9766 43585 11360 51249 0 2393 4920 7518 14831 16947 8898 40676 10573 422510 ann. pay. 1715682 6527 67716 163206 241484 478933 531664 245195 1255792 459890 1750490 12026 66543 158874 227535 464978 567053 277302 1309333 441157 1783106 10430 67164 153341 232835 463770 551908 305148 1320826 462280 1812100 7831 69479 155380 235684 468374 561219 333996 1363589 448511 1725744 5579 68756 144473 228995 447803 551105 329342 1328250 397494 422510 rec. 82846759 247743 3228240 4689361 8150931 16316275 17179419 15553668 49049362 33797397 422520 firms 1694 113 590 242 259 1204 468 13 1685 9 1633 129 581 228 230 1168 441 15 1624 9 1604 134 578 226 209 1147 433 15 1595 9 1584 123 568 227 221 1139 421 14 1574 10 1479 125 499 192 220 1036 420 14 1470 9 422520 estab. 2046 113 592 243 268 1216 501 139 1856 190 1960 129 582 232 234 1177 474 140 1791 169 1905 134 578 230 215 1157 468 128 1753 152 1879 123 568 231 229 1151 445 82 1678 201 1751 125 499 198 222 1044 442 79 1565 186 422520 empl. 25116 0 1237 1586 3635 6458 16334 1633 24425 691 23453 0 1232 1492 3204 5928 15471 1570 22969 484 23170 0 1202 1473 2960 5635 15174 1879 22688 482 22736 0 1203 1518 3150 5871 14555 1282 21708 1028 21976 0 1065 1284 3113 5462 14221 1424 21107 869 422520 ann. pay. 255721 3285 23501 24419 32236 83441 134311 20476 238228 17493 254584 3531 25607 23979 32435 85552 135454 21359 242365 12219 280843 4108 28387 27699 31878 92072 139031 36249 267352 13491 277999 8379 30320 28037 34816 101552 135831 21012 258395 19604 252169 3904 23345 22714 31282 81245 134769 16890 232904 19265 422520 rec. 20436855 124753 2191425 1556966 2512959 6386103 10889762 1204726 18480591 1956264 422590 firms 1539 215 774 249 134 1372 123 18 1513 26 1452 209 701 253 135 1298 109 21 1428 24 1416 203 680 238 142 1263 111 22 1396 20 1358 184 668 233 129 1214 107 18 1339 19 1242 162 618 204 115 1099 104 22 1225 17 422590 estab. 1693 215 777 257 147 1396 160 43 1599 94 1603 209 704 261 148 1322 135 56 1513 90 1564 203 690 246 148 1287 140 57 1484 80 1517 184 673 246 135 1238 140 64 1442 75 1365 162 621 209 120 1112 137 61 1310 55 422590 empl. 13139 0 1678 1617 1687 4982 4167 1187 10336 2803 12243 0 1468 1641 1730 4839 3681 1117 9637 2606 12410 0 1421 1550 1773 4744 3728 1270 9742 2668 12866 0 1402 1498 1671 4571 3528 1829 9928 2938 10779 0 1316 1322 1541 4179 3494 1553 9226 1553 422590 ann. pay. 405726 9792 55064 46924 40270 152050 104876 48336 305262 100464 390851 8395 50091 47203 37883 143572 91704 50805 286081 104770 419444 7831 51200 45398 44254 148683 89546 55299 293528 125916 463805 6813 50112 47655 44157 148737 96851 73267 318855 144950 384089 5464 48629 40430 42108 136631 107107 70085 313823 70266 422590 rec. 14557898 201618 2242746 1235983 1149006 4829353 2983783 3095128 10908264 3649634 422610 firms 3351 251 1572 550 397 2770 400 94 3264 87 3286 247 1554 488 414 2703 399 92 3194 92 3209 283 1459 484 397 2623 393 106 3122 87 3108 263 1414 484 384 2545 378 100 3023 85 2997 286 1359 473 356 2474 352 92 2918 79 422610 estab. 4258 251 1576 563 446 2836 576 308 3720 538 4158 247 1559 499 464 2769 564 289 3622 536 4038 283 1467 494 444 2688 543 304 3535 503 3908 264 1421 493 424 2602 518 308 3428 480 3717 286 1362 483 393 2524 518 281 3323 394 422610 empl. 43497 0 3235 3591 5484 12310 14208 7613 34131 9366 41990 0 3212 3170 5670 12052 14292 6977 33321 8669 44576 0 3039 3141 5429 11609 13795 9267 34671 9905 43116 0 2930 3231 5222 11383 13729 8133 33245 9871 40079 0 2855 3120 4820 10795 12566 6993 30354 9725 422610 ann. pay. 1832737 13096 162985 157704 234732 568517 542280 275767 1386564 446173 1838062 12926 169353 139775 250687 572741 570416 274264 1417421 420641 2054561 16242 167519 148854 241578 574193 600024 349345 1523562 530999 1951502 17817 154687 154290 227477 554271 558088 311640 1423999 527503 1941899 14459 146547 153582 219283 533871 565302 309250 1408423 533476 422610 rec. 32648096 243856 2530203 2495455 2319258 7588772 5785189 4090777 17464738 15183358 422690 firms 8304 717 3995 1457 956 7125 791 174 8090 214 8062 648 3887 1417 935 6887 792 177 7856 206 7845 628 3683 1410 937 6658 808 178 7644 201 7618 609 3557 1355 899 6420 822 186 7428 190 7622 687 3571 1333 874 6465 803 186 7454 168 422690 estab. 11532 717 4005 1484 1021 7227 1146 557 8930 2602 11252 653 3903 1446 987 6989 1133 564 8686 2566 11255 628 3699 1436 993 6756 1138 596 8490 2765 11911 610 3572 1376 949 6507 1172 615 8294 3617 11853 687 3585 1360 942 6574 1231 593 8398 3455 422690 empl. 120930 0 8229 9505 12612 30346 25038 12366 67750 53180 117834 0 8067 9260 12353 29680 25525 12956 68161 49673 121824 0 7755 9205 12392 29352 26433 13652 69437 52387 121143 0 7418 8779 11882 28079 27115 13782 68976 52167 116749 0 7414 8740 11493 27647 26224 13293 67164 49585 422690 ann. pay. 5727847 35028 326408 384359 537066 1282861 1133657 532663 2949181 2778666 5859859 43104 334681 388437 549379 1315601 1184935 602788 3103324 2756535 6196654 31211 327159 399814 571086 1329270 1239004 671996 3240270 2956384 6300357 32794 324038 382422 553443 1292697 1333686 676095 3302478 2997879 6083441 44015 311839 397244 554820 1307918 1300706 649645 3258269 2825172 422690 rec. 85335297 555021 4312593 4076311 4820371 13764296 11114298 8220317 33098911 52236386 422710 firms 5124 85 1095 1079 1016 3275 1368 343 4986 138 4990 144 1078 1005 956 3183 1327 350 4860 130 4830 128 1065 961 951 3105 1243 355 4703 127 4646 128 1011 930 905 2974 1207 349 4530 116 4332 110 952 849 834 2745 1136 339 4220 112 422710 estab. 7503 85 1101 1115 1138 3439 1818 690 5947 1556 7500 146 1086 1042 1062 3336 1763 723 5822 1678 7203 128 1072 992 1062 3254 1649 735 5638 1565 7020 133 1019 964 1021 3137 1604 759 5500 1520 6532 115 958 875 951 2899 1547 709 5155 1377 422710 empl. 99466 0 2657 7095 12575 22327 35440 19022 76789 22677 99286 0 2662 6683 11698 21043 34574 19770 75387 23899 97236 0 2576 6225 11762 20563 32795 20066 73424 23812 94034 0 2475 6064 11194 19733 32489 19670 71892 22142 87956 0 2367 5654 10321 18342 29416 18734 66492 21464 422710 ann. pay. 3305423 4372 67465 194573 360756 627166 1040305 576567 2244038 1061385 3448623 9442 70744 190527 343564 614277 1059083 592848 2266208 1182415 3600020 7266 72914 183797 362169 626146 1051141 628329 2305616 1294404 3731903 6826 73763 184533 365844 630966 1112860 664546 2408372 1323531 3485137 5281 69265 173312 331836 579694 1072800 636237 2288731 1196406 422710 rec. 214437460 147539 2063044 4951394 8290039 15452016 36004164 17830297 69286477 145150983 422720 firms 2927 249 1265 473 310 2297 375 153 2825 102 2863 207 1202 517 321 2247 360 158 2765 98 2775 184 1158 508 330 2180 348 152 2680 95 2684 202 1108 486 307 2103 344 147 2594 90 2720 226 1109 481 330 2146 344 140 2630 90 422720 estab. 3748 249 1269 480 321 2319 453 217 2989 759 3660 207 1205 523 333 2268 426 230 2924 736 3459 186 1161 517 340 2204 406 233 2843 616 3355 202 1110 492 321 2125 410 239 2774 581 3274 226 1111 490 353 2180 417 242 2839 435 422720 empl. 34598 0 2745 3021 3832 9598 8750 5308 23656 10942 34766 0 2548 3311 3942 9801 8771 6085 24657 10109 34754 0 2444 3219 4082 9745 8967 6120 24832 9922 34866 0 2346 3051 3874 9271 9001 5812 24084 10782 34028 0 2351 3059 4074 9484 8875 6673 25032 8996 422720 ann. pay. 1452080 14985 111034 101932 138057 366008 280869 198014 844891 607189 1469482 10498 90721 111000 160808 373027 298163 223640 894830 574652 1622839 9234 89476 121653 163163 383526 345127 220664 949317 673522 1847251 15478 97898 119798 185592 418766 391307 214079 1024152 823099 1728871 14094 97905 114524 185722 412245 431811 228886 1072942 655929 422720 rec. 103062107 502601 5027712 3747589 8935473 18213375 26793752 6758139 51765266 51296841 422810 firms 2504 101 487 306 434 1328 915 237 2480 24 2426 121 462 282 420 1285 869 240 2394 32 2355 133 473 240 367 1213 849 263 2325 30 2287 129 473 234 342 1178 816 262 2256 31 2142 109 417 261 274 1061 788 259 2108 34 422810 estab. 2958 102 487 319 450 1358 1069 430 2857 101 2876 127 464 285 435 1311 1019 432 2762 114 2788 133 475 243 381 1232 995 459 2686 102 2713 133 476 237 356 1202 949 456 2607 106 2545 109 417 266 285 1077 896 464 2437 108 422810 empl. 95440 0 1101 2098 6082 9281 40337 37969 87587 7853 96252 0 1022 1903 5867 8792 38555 38695 86042 10210 97379 0 1056 1633 5125 7814 37555 41691 87060 10319 97580 0 1078 1608 4796 7482 36657 42804 86943 10637 99754 0 927 1758 3888 6573 35699 43429 85701 14053 422810 ann. pay. 3449998 13173 23643 54235 192360 283411 1421042 1442591 3147044 302954 3574807 19799 25831 50588 191028 287246 1405461 1473320 3166027 408780 3741072 15220 27988 45019 163936 252163 1399580 1653833 3305576 435496 3867074 41355 31332 53581 158904 285172 1390589 1720243 3396004 471070 3981868 9458 29237 56756 133725 229176 1404562 1771262 3405000 576868 422810 rec. 43239043 134608 405306 641194 1319067 2500175 13436928 19228064 35165167 8073876 422820 firms 1363 151 476 209 169 1005 235 82 1322 41 1393 145 514 211 165 1035 236 84 1355 38 1407 149 500 225 158 1032 250 87 1369 38 1428 160 510 208 176 1054 245 88 1387 41 1440 167 534 222 168 1091 228 79 1398 42 422820 estab. 1837 151 477 210 186 1024 286 173 1483 354 1844 145 517 212 176 1050 267 183 1500 344 1842 150 501 225 168 1044 287 177 1508 334 1853 160 512 209 179 1060 287 162 1509 344 1832 167 537 224 172 1100 257 169 1526 306 422820 empl. 55568 0 985 1408 2346 4739 9506 13506 27751 27817 56717 0 1075 1427 2247 4749 9565 14807 29121 27596 59880 0 1033 1520 2117 4670 10280 15492 30442 29438 63050 0 1098 1389 2329 4816 10175 15010 30001 33049 63485 0 1156 1454 2306 4916 9455 14403 28774 34711 422820 ann. pay. 2490136 5808 35948 55525 92467 189748 388761 612218 1190727 1299409 2755074 12400 43564 54417 98983 209364 403971 726225 1339560 1415514 3020981 17305 40551 59660 96782 214298 463909 752904 1431111 1589870 3263313 11162 44158 55447 109764 220531 453448 774048 1448027 1815286 3366457 34289 44066 63089 112708 254152 460577 783917 1498646 1867811 422820 rec. 44749627 500509 653274 809018 1642946 3605747 4992583 11019403 19617733 25131894 422910 firms 5176 512 2317 948 573 4350 576 155 5081 95 5018 448 2216 946 577 4187 583 161 4931 87 4933 426 2145 939 594 4104 570 175 4849 84 4800 400 2037 938 617 3992 551 179 4722 78 4825 421 2071 935 586 4013 569 167 4749 76 422910 estab. 7427 512 2323 957 633 4425 1007 494 5926 1501 7313 451 2221 957 633 4262 962 487 5711 1602 7158 432 2151 948 639 4170 922 520 5612 1546 6885 402 2043 949 660 4054 877 584 5515 1370 7052 429 2078 948 653 4108 958 606 5672 1380 422910 empl. 76223 0 4934 6156 7424 18514 17239 11604 47357 28866 75012 0 4669 6152 7381 18202 17600 11737 47539 27473 75258 0 4520 6146 7646 18312 17462 12239 48013 27245 74868 0 4339 6139 7903 18381 17357 12777 48515 26353 72542 0 4525 6157 7617 18299 17456 11676 47431 25111 422910 ann. pay. 2595981 22525 121722 158426 213277 515950 514866 410117 1440933 1155048 2611494 16329 123130 163899 214680 518038 554666 415147 1487851 1123643 2732370 17287 120354 168787 235374 541802 567859 438314 1547975 1184395 2798245 17486 119822 167308 255020 559636 570465 475132 1605233 1193012 2711113 20605 117915 180956 246631 566107 614999 446706 1627812 1083301 422910 rec. 46870897 360386 2342571 2558263 3065849 8327069 7967961 7340453 23635483 23235414 422920 firms 3237 274 1509 501 298 2582 380 169 3131 106 3124 266 1458 481 292 2497 358 155 3010 114 3007 262 1384 469 288 2403 350 145 2898 109 2885 272 1311 458 278 2319 325 137 2781 104 2854 283 1353 405 275 2316 322 123 2761 93 422920 estab. 4202 274 1509 501 307 2591 469 392 3452 750 4105 266 1460 482 304 2512 429 341 3282 823 3998 262 1385 474 298 2419 409 340 3168 830 3883 272 1311 461 287 2331 379 300 3010 873 3776 283 1353 406 288 2330 390 287 3007 769 422920 empl. 88779 0 3103 3270 3903 10276 13574 15731 39581 49198 92201 0 2989 3120 3826 9935 13401 14674 38010 54191 96303 0 2856 3059 3711 9626 13092 14514 37232 59071 95795 0 2730 3002 3639 9371 12107 14385 35863 59932 80385 0 2811 2675 3586 9072 11918 12480 33470 46915 422920 ann. pay. 2835261 11762 94863 100341 137224 344190 399888 426469 1170547 1664714 3287832 11367 96938 98636 139704 346645 411241 406823 1164709 2123123 3624914 15828 98305 101093 136073 351299 427673 470314 1249286 2375628 3428154 12381 93908 107599 137573 351461 382281 443078 1176820 2251334 2780791 11395 89738 104820 128009 333962 382799 389936 1106697 1674094 422920 rec. 35146741 105178 957562 776670 875372 2714782 3284463 3708980 9708225 25438516 422930 firms 3538 394 1417 706 473 2990 454 72 3516 22 3630 429 1435 693 531 3088 447 70 3605 25 3712 448 1451 727 522 3148 475 63 3686 26 4181 468 1613 787 626 3494 562 100 4156 25 4309 478 1753 805 615 3651 544 91 4286 23 422930 estab. 3938 401 1423 713 488 3025 577 255 3857 81 4034 429 1440 697 556 3122 553 257 3932 102 4104 454 1455 734 540 3183 579 253 4015 89 4598 468 1617 797 652 3534 676 324 4534 64 4751 478 1753 819 641 3691 698 286 4675 76 422930 empl. 46748 0 3029 4615 6404 14048 16869 10755 41672 5076 48621 0 3075 4507 7104 14686 16836 10225 41747 6874 49657 0 3080 4770 7119 14969 18101 10123 43193 6464 60890 0 3452 5150 8342 16944 20640 15247 52831 8059 59335 0 3788 5408 8232 17428 21345 13251 52024 7311 422930 ann. pay. 1126205 16180 67735 103834 148741 336490 409416 260159 1006065 120140 1227443 12572 69519 106511 170112 358714 423524 272590 1054828 172615 1333397 27805 78166 115419 172901 394291 476925 290544 1161760 171637 1607701 23184 89020 127712 201515 441431 548401 388696 1378528 229173 1632166 16859 95669 133713 208380 454621 577484 369680 1401785 230381 422930 rec. 10761904 169103 972236 1158298 1353969 3653606 3571532 2242515 9467653 1294251 422940 firms 1343 107 389 227 215 938 300 70 1308 35 1313 120 361 226 206 913 297 71 1281 32 1300 116 380 216 204 916 281 72 1269 31 1277 124 374 212 193 903 270 69 1242 35 1354 150 426 218 190 984 268 67 1319 35 422940 estab. 1573 107 389 230 220 946 339 93 1378 195 1548 120 361 230 208 919 334 98 1351 197 1539 116 380 220 209 925 315 99 1339 200 1520 124 374 216 197 911 307 92 1310 210 1597 150 426 228 199 1003 296 94 1393 204 422940 empl. 55531 0 860 1531 3007 5398 11731 10852 27981 27550 56328 0 808 1534 2838 5180 11818 11635 28633 27695 57802 0 831 1445 2788 5064 11294 12059 28417 29385 57261 0 782 1406 2640 4828 10899 11569 27296 29965 55571 0 914 1419 2525 4858 10741 11300 26899 28672 422940 ann. pay. 1656342 5202 21774 37431 78635 143042 304337 324254 771633 884709 1763990 4698 22067 38886 77097 142748 334136 358594 835478 928512 1898880 4558 23439 38867 79812 146676 329098 372456 848230 1050650 1951011 3434 23449 38922 78483 144288 331241 375769 851298 1099713 2072610 6088 28098 41106 75347 150639 332342 493939 976920 1095690 422940 rec. 83827872 256760 886747 1509700 2549384 5202591 10389891 16345660 31938142 51889730 422950 firms 1527 139 564 335 225 1263 184 47 1494 33 1497 123 562 330 206 1221 195 53 1469 28 1477 117 556 314 214 1201 198 47 1446 31 1420 103 532 314 209 1158 191 41 1390 30 1457 131 571 303 195 1200 193 38 1431 26 422950 estab. 2219 139 568 340 272 1319 328 188 1835 384 2186 123 568 334 248 1273 335 206 1814 372 2179 117 563 316 251 1247 342 205 1794 385 2093 106 535 320 242 1203 330 199 1732 361 2110 132 574 311 235 1252 340 185 1777 333 422950 empl. 20466 0 1218 2214 2946 6378 4976 3067 14421 6045 20470 0 1208 2177 2692 6077 5410 3436 14923 5547 20619 0 1220 2052 2817 6089 5639 3454 15182 5437 19970 0 1157 2056 2784 5997 5616 3064 14677 5293 20224 0 1236 1996 2618 5850 5855 2537 14242 5982 422950 ann. pay. 749368 7084 38228 67106 99205 211623 170173 108253 490049 259319 758519 6786 41216 66197 89768 203967 190583 127275 521825 236694 810233 6029 39043 63948 98494 207514 208118 133211 548843 261390 798344 4549 38061 68670 95954 207234 208483 122848 538565 259779 824718 4178 43071 64779 96420 208448 225721 111849 546018 278700 422950 rec. 9335797 35412 506738 682717 755443 1980310 1726110 1048742 4755162 4580635 422990 firms 15243 2863 8268 2038 1037 14206 766 157 15129 114 15674 2773 8633 2150 1039 14595 811 161 15567 107 16103 2768 8763 2259 1165 14955 856 181 15992 111 15788 2485 8693 2274 1193 14645 864 174 15683 105 17259 2921 9575 2365 1211 16072 925 156 17153 106 422990 estab. 15544 2866 8273 2053 1051 14243 858 262 15363 181 16011 2773 8640 2164 1056 14633 913 275 15821 190 16458 2770 8769 2277 1183 14999 934 324 16257 201 16168 2486 8702 2291 1206 14685 958 329 15972 196 17639 2921 9582 2381 1233 16117 1036 246 17399 240 422990 empl. 98420 0 16118 13227 13528 42873 25692 15038 83603 14817 99242 0 16687 13957 13344 43988 27724 15635 87347 11895 109519 0 17175 14641 15102 46918 29793 19500 96211 13308 111175 0 16946 14662 15461 47069 29588 19714 96371 14804 113251 0 18807 15221 15797 49825 31781 15653 97259 15992 422990 ann. pay. 3210325 92369 449682 355000 381443 1278494 770920 539100 2588514 621811 3404514 105840 487281 398872 391427 1383420 877219 581629 2842268 562246 3885043 112533 520345 436090 460159 1529127 998002 723581 3250710 634333 4034449 107458 517455 454427 475810 1555150 1022761 748142 3326053 708396 4201325 103123 583795 492188 531287 1710393 1154856 651579 3516828 684497 422990 rec. 66256576 1189829 8992299 6314632 5608192 22104952 10602571 17915068 50622591 15633985 441110 firms 23762 1187 2714 1777 3442 9120 12523 2010 23653 109 23415 1220 2769 1755 3239 8983 12222 2102 23307 108 23412 1299 2897 1677 3125 8998 12023 2280 23301 111 23576 1345 3151 1715 3097 9308 11868 2293 23469 107 22478 1171 2746 1501 2883 8301 11618 2433 22352 126 441110 estab. 26219 1191 2716 1779 3463 9149 13075 2961 25185 1034 26117 1236 2773 1759 3264 9032 12751 3089 24872 1245 26225 1304 2902 1682 3140 9028 12519 3266 24813 1412 26444 1350 3157 1721 3110 9338 12346 3313 24997 1447 25625 1174 2750 1509 2906 8339 12224 3521 24084 1541 441110 empl. 1049621 0 5848 12265 49818 67931 574603 314265 956799 92822 1070428 0 5983 12115 46739 64837 566664 327879 959380 111048 1111848 0 6204 11405 45150 62759 563812 357708 984279 127569 1112471 0 6751 11720 44422 62893 554443 360785 978121 134350 1138977 0 5940 10339 41813 58092 548959 387150 994201 144776 441110 ann. pay. 38856502 268043 148907 312350 1342197 2071497 20652681 12403489 35127667 3728835 42321667 351857 163674 322111 1364039 2201681 21484382 13868481 37554544 4767123 44768288 340847 168093 294536 1299461 2102937 21655930 15382612 39141479 5626809 46915520 370787 206644 325607 1353289 2256327 22461345 16432840 41150512 5765008 47866732 357917 183973 307278 1292144 2141312 22287787 17276598 41705697 6161035 441110 rec. 638732031 6702896 2907504 5042380 20106899 34759679 298277650 216261817 549299146 89432885 441120 firms 23079 2885 14198 3838 1378 22299 664 94 23057 22 23365 3259 14046 3839 1417 22561 672 110 23343 22 24014 3199 14240 4084 1594 23117 759 115 23991 23 24570 3317 14546 4141 1610 23614 810 121 24545 25 25640 3386 15298 4200 1756 24640 842 130 25612 28 441120 estab. 23674 2888 14208 3877 1477 22450 863 201 23514 160 23998 3269 14062 3885 1501 22717 845 246 23808 190 24653 3203 14260 4127 1690 23280 910 231 24421 232 25188 3322 14563 4185 1696 23766 964 228 24958 230 26424 3386 15312 4280 1876 24854 1086 241 26181 243 441120 empl. 101776 0 29201 24276 17481 70958 17776 5062 93796 7980 104753 0 29033 24501 17975 71509 18021 5703 95233 9520 110256 0 29645 26106 20397 76148 21710 6473 104331 5925 112948 0 30173 26521 20716 77410 23358 6375 107143 5805 120236 0 32056 26871 22666 81593 24521 6918 113032 7204 441120 ann. pay. 2579048 77011 568153 538841 443053 1627058 506916 172713 2306687 272361 2859620 100446 598300 582903 490625 1772274 555688 193849 2521811 337809 3068423 93522 621084 633313 549413 1897332 692290 210509 2800131 268292 3246036 115313 653709 660603 578679 2008304 761146 238954 3008404 237632 3463726 123063 702263 697296 643981 2166603 802694 255673 3224970 238756 441120 rec. 54330822 2777945 15505797 10298252 8429643 37011637 9574666 3298402 49884705 4446117 441210 firms 2789 202 1013 668 525 2408 338 33 2779 10 2817 283 948 652 534 2417 352 36 2805 12 2884 258 980 652 552 2442 389 43 2874 10 2905 266 998 681 521 2466 389 42 2897 8 2909 241 1055 649 518 2463 401 37 2901 8 441210 estab. 3015 202 1014 671 560 2447 432 82 2961 54 3039 284 949 656 562 2451 440 82 2973 66 3114 258 981 654 580 2473 477 84 3034 80 3134 267 1000 685 546 2498 476 108 3082 52 3145 241 1055 653 539 2488 503 102 3093 52 441210 empl. 31000 0 2356 4449 7051 13856 11483 4043 29382 1618 33272 0 2251 4361 7268 13880 12334 3825 30039 3233 36376 0 2275 4309 7392 13976 13545 5198 32719 3657 34829 0 2273 4485 6974 13732 13674 4667 32073 2756 35662 0 2538 4333 6994 13865 14252 4607 32724 2938 441210 ann. pay. 962793 10563 49664 102849 193208 356284 396709 158383 911376 51417 1090022 14848 48954 107720 203676 375198 453332 140155 968685 121337 1146545 11844 48552 100966 211035 372397 455857 183673 1011927 134618 1142979 10069 53494 110340 198672 372575 479143 179777 1031495 111484 1274148 12014 62249 112419 217063 403745 541769 189745 1135259 138889 441210 rec. 15878887 210042 826317 1220674 2298515 4555548 5980440 2353858 12889846 2989041 441221 firms 3644 340 1342 823 731 3236 398 9 3643 1 3718 368 1322 822 734 3246 461 10 3717 1 3865 387 1310 817 770 3284 566 15 3865 0 4168 473 1411 831 783 3498 650 19 4167 1 4488 503 1575 860 773 3711 754 21 4486 2 441221 estab. 3737 341 1342 829 752 3264 461 11 3736 1 3814 368 1323 823 756 3270 525 18 3813 1 3968 387 1312 820 785 3304 637 27 3968 0 4271 475 1412 832 794 3513 716 41 4270 1 4673 503 1576 863 790 3732 875 64 4671 2 441221 empl. 30401 0 3033 5516 9841 18390 11499 [e] [k] [b] 33050 0 3031 5509 9945 18485 13648 [f] [k] [b] 38005 0 2944 5471 10546 18961 17279 1765 38005 0 43249 0 3177 5563 10776 19516 20840 [g] [k] [f] 48037 0 3552 5850 10640 20042 25259 [g] [k] [f] 441221 ann. pay. 835026 15246 57274 126770 271465 470755 351607 (D) (D) (D) 975725 17364 59829 134652 295496 507341 440314 (D) (D) (D) 1175508 19952 59422 130203 321317 530894 589645 54969 1175508 0 1366174 19169 65102 136982 339010 560263 713990 (D) (D) (D) 1587021 25773 77210 142680 324042 569705 922387 (D) (D) (D) 441221 rec. 15253753 327525 962211 1699019 3390765 6379520 8075705 (D) (D) (D) 441222 firms 4690 456 2087 1121 665 4329 326 29 4684 6 4686 476 2029 1090 703 4298 354 25 4677 9 4660 447 2012 1056 745 4260 364 29 4653 7 4668 478 2062 1038 695 4273 358 28 4659 9 4721 561 2073 1044 650 4328 358 24 4710 11 441222 estab. 5221 456 2090 1144 703 4393 460 93 4946 275 5284 476 2034 1109 743 4362 483 58 4903 381 5289 448 2014 1071 784 4317 492 82 4891 398 5301 479 2065 1049 734 4327 460 66 4853 448 5482 561 2075 1065 709 4410 510 88 5008 474 441222 empl. 35577 0 4652 7449 8624 20725 9683 [g] [k] [h] 37560 0 4503 7178 9099 20780 10671 [g] [k] [h] 39772 0 4512 7028 9727 21267 11348 [g] [k] [i] 39405 0 4651 6821 9169 20641 11168 [g] [k] [i] 38341 0 4645 6826 8515 19986 10869 1470 32325 6016 441222 ann. pay. 930730 12828 108395 177135 229220 527578 296615 (D) (D) (D) 1036672 15641 111466 176770 253430 557307 342877 (D) (D) (D) 1138903 13493 117580 177939 283518 592530 374272 (D) (D) (D) 1128865 18820 120581 183303 265128 587832 358514 (D) (D) (D) 1146597 19592 124041 192318 271370 607321 367477 56467 1031265 115332 441222 rec. 11750074 236406 1478386 2000400 2535286 6250478 3557701 531162 10339341 1410733 441229 firms 1871 275 922 376 215 1788 76 7 1871 0 1910 278 895 414 227 1814 88 8 1910 0 2094 340 984 411 240 1975 108 10 2093 1 2173 328 1002 453 258 2041 119 12 2172 1 2872 383 1421 582 309 2695 158 15 2868 4 441229 estab. 1901 275 923 381 229 1808 84 9 1901 0 1944 278 896 420 240 1834 96 14 1944 0 2143 344 989 416 254 2003 115 24 2142 1 2216 328 1006 457 268 2059 130 26 2215 1 2924 383 1422 586 328 2719 171 30 2920 4 441229 empl. 10095 0 2028 2421 2747 7196 2085 814 10095 0 10945 0 1952 2620 2883 7455 2506 984 10945 0 12780 0 2155 2663 3159 7977 3171 [g] [j] [a] 13951 0 2186 2970 3406 8562 3388 [g] [j] [a] 18256 0 3085 3821 4045 10951 4780 [g] [j] [e] 441229 ann. pay. 241934 10076 42883 48920 67160 169039 57163 15732 241934 0 292079 12225 45381 57130 74400 189136 72125 30818 292079 0 371469 16631 49758 62327 84190 212906 104986 (D) (D) (D) 388178 17404 52045 69468 92172 231089 102673 (D) (D) (D) 515573 14397 73138 95675 113930 297140 144729 (D) (D) (D) 441229 rec. 5856359 324007 1135630 1057548 1187122 3704307 1493296 (D) (D) (D) 441310 firms 26068 1769 11818 6683 3475 23745 1921 306 25972 96 25287 1852 11468 6316 3372 23008 1884 296 25188 99 24753 1880 11147 6195 3318 22540 1832 281 24653 100 24339 1888 11230 5936 3191 22245 1732 267 24244 95 23482 1981 10860 5695 2939 21475 1652 267 23394 88 441310 estab. 41890 1783 11840 6839 4035 24497 4063 2079 30639 11251 41869 1871 11513 6482 3911 23777 3896 2305 29978 11891 41084 1896 11200 6381 3774 23251 3718 1652 28621 12463 40766 1898 11293 6144 3661 22996 3585 1520 28101 12665 39834 1984 10883 5837 3424 22128 3410 1601 27139 12695 441310 empl. 345427 0 27470 43694 44822 115986 60993 30277 207256 138171 353602 0 26836 41222 43561 111619 61009 27193 199821 153781 355342 0 25966 40316 42779 109061 60042 24389 193492 161850 328832 0 26043 38808 41194 106045 57223 23599 186867 141965 329751 0 25306 37036 37829 100171 52793 22857 175821 153930 441310 ann. pay. 7228735 53566 498749 853656 972104 2378075 1488680 794500 4661255 2567480 7446988 54509 513137 839619 968968 2376233 1518055 681737 4576025 2870963 7828007 126094 495164 840716 966281 2428255 1528762 646833 4603850 3224157 7870635 57658 520039 842264 956169 2376130 1521115 630547 4527792 3342843 7582925 51620 515584 829316 907374 2303894 1412190 619802 4335886 3247039 441310 rec. 46934715 415083 3740413 4821753 4769335 13746584 8209304 3827571 25783459 21151256 441320 firms 10528 652 3672 3036 2055 9415 940 132 10487 41 10461 729 3585 2982 2049 9345 941 136 10422 39 10535 831 3626 2908 2089 9454 906 138 10498 37 10721 857 3791 2947 2022 9617 928 139 10684 37 10714 781 3967 2943 1993 9684 858 136 10678 36 441320 estab. 17762 659 3684 3072 2259 9674 1976 1259 12909 4853 17790 734 3599 3030 2237 9600 1880 1273 12753 5037 17988 835 3643 2947 2275 9700 1791 1286 12777 5211 18408 860 3801 2995 2223 9879 1746 1265 12890 5518 18537 787 3978 2989 2203 9957 1744 1377 13078 5459 441320 empl. 153351 0 8738 20550 26309 55597 28794 13380 97771 55580 160055 0 8484 20175 26232 54891 28990 13660 97541 62514 161914 0 8469 19536 26832 54837 28589 14537 97963 63951 164533 0 8763 19886 26030 54679 28960 14819 98458 66075 161656 0 9298 19803 25828 54929 26706 13763 95398 66258 441320 ann. pay. 3917622 23911 158760 454951 619500 1257122 788639 383011 2428772 1488850 4194650 26973 156273 450323 630865 1264434 795410 399324 2459168 1735482 4376738 27435 162915 442310 659534 1292194 802869 441593 2536656 1840082 4561017 31095 174030 463904 658131 1327160 847612 462976 2637748 1923269 4560110 29482 186160 481803 680663 1378108 813550 446080 2637738 1922372 441320 rec. 24472266 190267 1352918 2465110 3291701 7299996 4587746 2652635 14540377 9931889 442110 firms 21728 1984 8754 5411 3318 19467 1903 262 21632 96 21591 1848 8781 5271 3331 19231 2005 262 21498 93 21682 1954 8620 5232 3460 19266 2045 281 21592 90 22091 2015 8788 5348 3470 19621 2088 286 21995 96 21464 2188 8403 5148 3371 19110 1994 264 21368 96 442110 estab. 29723 1995 8789 5579 3859 20222 3721 1782 25725 3998 29574 1869 8828 5429 3829 19955 3772 1867 25594 3980 29720 1970 8679 5396 3927 19972 3658 1947 25577 4143 29920 2025 8841 5509 3927 20302 3602 1922 25826 4094 29478 2194 8426 5312 3944 19876 3777 2113 25766 3712 442110 empl. 267041 0 20150 35719 43299 99168 61541 31970 192679 74362 270455 0 20298 34920 43594 98812 65686 34085 198583 71872 284060 0 19988 34667 45581 100236 68555 36992 205783 78277 278231 0 20153 35165 45601 100919 69628 38284 208831 69400 262634 0 19672 34134 44471 98277 65528 35072 198877 63757 442110 ann. pay. 6395872 55975 369734 726108 1001650 2153467 1615844 913043 4682354 1713518 6966887 62571 402672 745964 1054681 2265888 1801660 1073605 5141153 1825734 7472696 64226 402525 752643 1134876 2354270 1948857 1188656 5491783 1980913 7467822 66712 414856 772162 1140770 2394500 1972966 1180778 5548244 1919578 7382786 79106 405627 784100 1160788 2429621 1918830 1097345 5445796 1936990 442110 rec. 52532504 709426 3570140 5317758 6989671 16586995 11589212 8203168 36379375 16153129 442210 firms 14277 1245 7124 3271 1702 13342 848 65 14255 22 14086 1228 6920 3247 1714 13109 889 73 14071 15 14253 1310 6875 3257 1789 13231 934 75 14240 13 14800 1388 7133 3398 1849 13768 937 82 14787 13 14231 1333 6828 3248 1812 13221 913 82 14216 15 442210 estab. 15967 1247 7139 3330 1931 13647 1611 349 15607 360 15720 1230 6933 3312 1947 13422 1598 319 15339 381 15845 1322 6891 3316 1981 13510 1689 353 15552 293 16127 1390 7153 3463 2059 14065 1621 400 16086 41 15765 1335 6836 3331 2080 13582 1675 476 15733 32 442210 empl. 99924 0 16043 21315 22086 59444 28039 5258 92741 7183 99683 0 15625 21240 22403 59268 29322 5929 94519 5164 103479 0 15621 21430 23344 60395 31370 6683 98448 5031 105106 0 16152 22299 24008 62459 31323 8295 102077 3029 100882 0 15771 21388 23538 60697 29567 9081 99345 1537 442210 ann. pay. 2740273 33730 348273 518207 612851 1513061 876052 167547 2556660 183613 2969946 37719 356968 539939 660491 1595117 971152 216812 2783081 186865 3171891 38126 364997 570257 703402 1676782 1087037 247652 3011471 160420 3294078 46830 390836 594668 749612 1781946 1103072 290431 3175449 118629 3294332 54677 380827 609989 760826 1806319 1064948 358226 3229493 64839 442210 rec. 20408847 429936 3358420 3987453 4373542 12149351 5743296 2225397 20118044 290803 442291 firms 1814 218 1059 332 132 1741 50 14 1805 9 1886 271 1090 334 123 1818 48 13 1879 7 1945 251 1143 349 135 1878 47 13 1938 7 2020 258 1202 353 131 1944 58 10 2012 8 2277 330 1351 379 136 2196 62 12 2270 7 442291 estab. 2206 218 1062 342 172 1794 103 109 2006 200 2292 271 1093 347 148 1859 99 116 2074 218 2318 253 1146 364 154 1917 90 97 2104 214 2335 258 1204 372 143 1977 116 49 2142 193 2663 330 1353 388 153 2224 127 114 2465 198 442291 empl. 9337 0 2184 2089 1611 5884 1330 924 8138 1199 9894 0 2251 2166 1543 5960 1232 1386 8578 1316 9689 0 2349 2239 1734 6322 1268 760 8350 1339 9955 0 2489 2236 1638 6363 1521 910 8794 1161 10656 0 2837 2424 1690 6951 1640 878 9469 1187 442291 ann. pay. 176924 3570 36332 36340 33001 109243 28889 16133 154265 22659 210035 5644 41171 39951 33444 120210 28296 32238 180744 29291 204507 4996 43788 45241 38925 132950 32380 12958 178288 26219 226198 5877 48153 48798 37118 139946 39495 23364 202805 23393 245522 7096 55202 55034 40427 157759 44471 23867 226097 19425 442291 rec. 1537668 59171 394034 271558 191650 916413 282960 163681 1363054 174614 442299 firms 10553 1001 5655 2272 963 9891 495 90 10476 77 10525 1132 5483 2229 991 9835 519 95 10449 76 10584 1173 5432 2319 982 9906 512 90 10508 76 10839 1208 5710 2293 1006 10217 464 80 10761 78 11944 1396 6461 2473 1004 11334 463 78 11875 69 442299 estab. 16549 1011 5670 2314 1101 10096 1060 635 11791 4758 16672 1138 5495 2266 1115 10014 1049 767 11830 4842 16959 1275 5444 2360 1102 10181 970 702 11853 5106 17384 1212 5725 2344 1151 10432 861 526 11819 5565 18454 1396 6466 2522 1178 11562 930 490 12982 5472 442299 empl. 133436 0 12207 14613 12190 39010 13944 7840 60794 72642 145310 0 11968 14363 12487 38818 14793 9437 63048 82262 151956 0 11901 14840 12366 39107 14956 7820 61883 90073 174026 0 12505 14908 12642 40055 13539 7471 61065 112961 177395 0 14447 15902 12577 42926 13203 6957 63086 114309 442299 ann. pay. 1965400 20503 179311 229686 190587 620087 232981 130384 983452 981948 2260855 27452 189152 241179 217754 675537 260659 165460 1101656 1159199 2507018 27795 198114 260436 236751 723096 313749 143105 1179950 1327068 2656034 39571 208931 263764 242293 754559 276084 152447 1183090 1472944 2842114 32187 247289 289809 257129 826414 286848 148942 1262204 1579910 442299 rec. 22594107 370002 1760997 1585037 1260137 4976173 1495055 902638 7373866 15220241 443111 firms 9101 682 4734 2197 997 8610 425 40 9075 26 8795 618 4571 2081 1020 8290 438 39 8767 28 8604 615 4376 2055 1043 8089 444 44 8577 27 8652 715 4339 2061 994 8109 473 44 8626 26 8471 654 4273 1986 1024 7937 463 49 8449 22 443111 estab. 10326 684 4766 2287 1214 8951 757 200 9908 418 10044 624 4595 2166 1223 8608 766 267 9641 403 9828 625 4406 2130 1234 8395 747 254 9396 432 9872 717 4370 2152 1174 8413 758 293 9464 408 10002 654 4291 2093 1244 8282 806 312 9400 602 443111 empl. 61698 0 10695 14234 12786 37715 12709 3282 53706 7992 63350 0 10245 13575 12922 36742 13037 3354 53133 10217 62186 0 9811 13448 13235 36494 13362 4172 54028 8158 62372 0 9724 13467 12537 35728 14149 3908 53785 8587 63574 0 9806 13057 13180 36043 14009 4726 54778 8796 443111 ann. pay. 1333928 15476 174499 247834 268516 706325 328758 103896 1138979 194949 1424620 15481 173865 250742 282923 723011 358218 98371 1179600 245020 1481747 15517 172341 255387 296922 740167 379274 117970 1237411 244336 1542679 19600 177046 265153 293112 754911 402410 126259 1283580 259099 1640701 17115 180334 273911 313317 784677 412261 167243 1364181 276520 443111 rec. 12618824 151546 1445625 1857705 2129031 5583907 2801020 1505858 9890785 2728039 443112 firms 10456 1308 5214 2128 1071 9721 594 81 10396 60 10664 1339 5248 2232 1063 9882 640 91 10613 51 11270 1626 5323 2327 1185 10461 655 102 11218 52 12778 2144 5987 2470 1289 11890 727 103 12720 58 13976 2313 6907 2514 1339 13073 742 112 13927 49 443112 estab. 18505 1312 5231 2196 1251 9990 1286 436 11712 6793 18997 1362 5274 2282 1225 10143 1270 555 11968 7029 19787 1638 5348 2392 1365 10743 1173 615 12531 7256 21724 2158 6012 2554 1485 12209 1275 873 14357 7367 24226 2336 6947 2595 1639 13517 1760 1230 16507 7719 443112 empl. 176747 0 11645 13791 13610 39046 18471 7746 65263 111484 195092 0 11677 14581 13467 39725 19868 8713 68306 126786 216693 0 11789 15102 15317 42208 20457 11171 73836 142857 232233 0 13291 16057 16705 46053 23251 11804 81108 151125 241207 0 15245 16325 17345 48915 23753 11351 84019 157188 443112 ann. pay. 3800461 35812 214876 290116 335114 875918 498743 215682 1590343 2210118 4510135 47635 223131 311258 353810 935834 583452 240904 1760190 2749945 5131384 47727 233491 335978 408994 1026190 627812 373357 2027359 3104025 5736558 60038 257778 349235 434827 1101878 689052 378604 2169534 3567024 6257033 72938 289456 375693 459517 1197604 748951 333199 2279754 3977279 443112 rec. 53557438 527860 2016532 2043161 2265196 6852749 3509922 2379641 12742312 40815126 443120 firms 11431 2114 5046 2351 1174 10685 616 79 11380 51 11265 1837 5146 2393 1157 10533 616 62 11211 54 10996 1665 5194 2238 1139 10236 629 69 10934 62 10990 1627 5491 2131 1036 10285 570 77 10932 58 10214 1610 5107 1945 920 9582 522 63 10167 47 443120 estab. 13248 2114 5049 2366 1237 10766 805 287 11858 1390 13046 1841 5149 2406 1218 10614 750 185 11549 1497 12889 1674 5204 2263 1195 10336 733 178 11247 1642 13069 1629 5508 2152 1084 10373 670 187 11230 1839 12469 1610 5117 1962 969 9658 635 195 10488 1981 443120 empl. 103453 0 11517 15310 15237 42064 19506 6347 67917 35536 105061 0 11496 15522 15186 42204 20534 [i] [l] [k] 106213 0 11581 14593 15006 41180 21704 7344 70228 35985 109025 0 11982 13804 13702 39488 19590 [i] [l] [k] 94370 0 11282 12634 12097 36013 17285 [i] [l] [k] 443120 ann. pay. 3050799 88207 256208 356670 435708 1136793 735284 297685 2169762 881037 3238118 84303 274967 407878 452178 1219326 825326 (D) (D) (D) 4187431 76209 273137 387598 473551 1210495 945816 568699 2725010 1462421 3866907 67684 297071 372585 481967 1219307 895700 (D) (D) (D) 3297181 74372 278788 353132 422754 1129046 839213 (D) (D) (D) 443120 rec. 23413796 692463 2031131 2074354 2195454 6993402 4468448 (D) (D) (D) 443130 firms 1450 78 696 319 206 1299 133 12 1444 6 1431 110 681 298 200 1289 123 15 1427 4 1421 107 648 323 195 1273 128 15 1416 5 1378 99 642 300 196 1237 117 19 1373 5 1379 111 663 283 193 1250 113 14 1377 2 443130 estab. 3156 78 700 333 251 1362 291 75 1728 1428 3080 110 686 311 241 1348 282 81 1711 1369 3088 107 650 338 226 1321 280 49 1650 1438 3082 99 643 313 233 1288 231 99 1618 1464 2903 111 665 293 224 1293 234 90 1617 1286 443130 empl. 20009 0 1542 2096 2679 6317 3968 1005 11290 8719 20761 0 1539 1970 2630 6139 3679 [g] [j] [i] 22229 0 1407 2070 2582 6059 4083 1032 11174 11055 22106 0 1417 1962 2572 5951 3535 [g] [j] [j] 19574 0 1497 1860 2536 5893 3550 [g] [j] [i] 443130 ann. pay. 390025 3153 26361 40904 55610 126028 91786 19119 236933 153092 400131 3680 28419 40072 58309 130480 84813 (D) (D) (D) 436068 3102 27647 39653 57491 127893 97282 31571 256746 179322 447080 3941 26838 39029 62621 132429 86958 (D) (D) (D) 413876 3791 27747 40098 59874 131510 92907 (D) (D) (D) 443130 rec. 2690698 36675 197922 249637 357425 841659 712094 (D) (D) (D) 444110 firms 1510 136 401 335 266 1138 273 69 1480 30 1672 161 451 357 294 1263 304 75 1642 30 1783 213 485 363 318 1379 294 75 1748 35 1949 214 629 380 332 1555 288 80 1923 26 2195 216 758 436 366 1776 310 85 2171 24 444110 estab. 3929 136 402 335 269 1142 362 206 1710 2219 4377 161 451 359 299 1270 397 215 1882 2495 4366 213 485 364 323 1385 379 220 1984 2382 4841 214 629 382 336 1561 377 321 2259 2582 5280 252 758 440 380 1830 417 244 2491 2789 444110 empl. 284442 0 940 2252 3458 6650 9387 6639 22676 261766 324645 0 1065 2428 3930 7423 10684 7206 25313 299332 350901 0 1133 2422 4229 7784 10586 7514 25884 325017 368798 0 1446 2518 4378 8342 10191 8089 26622 342176 416450 0 1750 2901 4914 9565 10952 8749 29266 387184 444110 ann. pay. 5610906 3647 19537 44567 70099 137850 200657 141053 479560 5131346 6760644 5103 25402 50384 82474 163363 227653 162495 553511 6207133 7576968 7000 23548 49542 92064 172154 230371 165187 567712 7009256 8844884 7197 32279 54595 100590 194661 242674 176384 613719 8231165 9417957 7159 38640 69758 118717 234274 273121 209669 717064 8700893 444110 rec. 92813043 64261 326448 543884 839799 1774392 1852345 1686205 5312942 87500101 444120 firms 3648 261 1809 880 434 3384 200 46 3630 18 3490 254 1729 839 406 3228 199 45 3472 18 3427 275 1657 818 406 3156 208 43 3407 20 3361 245 1622 832 405 3104 198 41 3343 18 3176 251 1543 763 374 2931 190 37 3158 18 444120 estab. 8376 262 1814 908 572 3556 610 558 4724 3652 8380 257 1732 878 525 3392 602 616 4610 3770 8396 276 1661 867 512 3316 544 476 4336 4060 8445 245 1625 875 511 3256 518 492 4266 4179 8302 253 1544 795 495 3087 543 405 4035 4267 444120 empl. 43799 0 4239 5694 5296 15229 5922 3780 24931 18868 43130 0 4109 5430 5018 14557 5701 3508 23766 19364 46060 0 3853 5333 5070 14256 5911 2944 23111 22949 44442 0 3701 5334 5087 14122 5613 3090 22825 21617 45339 0 3670 5024 4707 13401 5166 2809 21376 23963 444120 ann. pay. 1049969 5754 77651 116164 124833 324402 154240 96006 574648 475321 1082866 7350 80254 115866 124110 327580 153739 97880 579199 503667 1200810 7436 78336 118615 121459 325846 169498 81309 576653 624157 1223178 4794 76463 119997 131365 332619 163807 93503 589929 633249 1281144 11997 74211 118585 125168 329961 155312 87939 573212 707932 444120 rec. 8839227 122022 550834 697977 670957 2041790 851820 507131 3400741 5438486 444130 firms 13445 666 5361 3537 2384 11948 1344 118 13410 35 13231 726 5193 3399 2376 11694 1375 126 13195 36 12994 743 5073 3269 2375 11460 1368 128 12956 38 12902 777 5034 3237 2335 11383 1357 125 12865 37 12838 809 5020 3144 2331 11304 1382 119 12805 33 444130 estab. 15431 666 5366 3561 2501 12094 1841 469 14404 1027 15259 733 5200 3422 2494 11849 1831 505 14185 1074 15026 774 5080 3296 2486 11636 1777 531 13944 1082 14837 795 5043 3276 2437 11551 1753 486 13790 1047 14755 809 5023 3163 2443 11438 1838 519 13795 960 444130 empl. 138849 0 12575 23480 31452 67507 40500 10813 118820 20029 145112 0 12135 22621 31332 66088 41336 12369 119793 25319 146086 0 11801 21709 31431 64941 42352 12663 119956 26130 139468 0 11568 21560 30984 64112 41842 12565 118519 20949 140075 0 11640 21011 30906 63557 42380 12578 118515 21560 444130 ann. pay. 2198684 16969 187243 354730 491079 1050021 689957 174461 1914439 284245 2302302 21020 190023 348688 503431 1063162 722852 205601 1991615 310687 2484323 107644 186876 348264 515512 1158296 743555 219989 2121840 362483 2428392 24347 195245 359214 528587 1107393 763469 222392 2093254 335138 2564410 23623 199111 363663 550101 1136498 804232 258955 2199685 364725 444130 rec. 16737413 200199 1552594 2242604 3086517 7081914 4399710 1509238 12990862 3746551 444190 firms 32622 2125 11190 7737 5838 26890 4845 690 32425 197 32315 2273 11036 7573 5681 26563 4832 724 32119 196 32284 2390 10903 7442 5696 26431 4922 730 32083 201 32878 2421 11398 7534 5755 27108 4853 717 32678 200 32307 2435 11293 7468 5567 26763 4658 700 32121 186 444190 estab. 43770 2127 11206 7827 6310 27470 7891 3192 38553 5217 43222 2279 11053 7667 6124 27123 7707 3196 38026 5196 43143 2395 10931 7539 6067 26932 7608 3148 37688 5455 43728 2428 11419 7651 6144 27642 7411 3210 38263 5465 43410 2439 11311 7590 6023 27363 7362 3325 38050 5360 444190 empl. 496484 0 26390 51680 77558 155628 169799 78823 404250 92234 499303 0 25621 50480 75903 152004 169386 85374 406764 92539 512195 0 25324 49581 76107 151012 173791 85092 409895 102300 509692 0 26371 50211 76905 153487 169748 84658 407893 101799 489698 0 26674 49728 74546 150948 161703 81578 394229 95469 444190 ann. pay. 15397125 118628 639441 1338863 2226581 4323513 5545038 2592585 12461136 2935989 16230344 85545 660802 1384280 2280294 4410921 5792539 2924670 13128130 3102214 17159625 92686 663217 1369636 2327267 4452806 6051464 3018081 13522351 3637274 17840272 94520 704105 1462463 2454451 4715539 6076010 3157922 13949471 3890801 17572903 106528 723174 1479567 2453678 4762947 5958568 3095537 13817052 3755851 444190 rec. 133818495 950159 5651139 9845344 15738267 32184909 39861206 24399363 96445478 37373017 444210 firms 4527 397 2308 1078 482 4265 227 26 4518 9 4403 349 2179 1076 518 4122 240 33 4395 8 4297 340 2046 1063 556 4005 251 33 4289 8 4288 318 2106 1027 542 3993 258 31 4282 6 4295 348 2078 1075 508 4009 247 32 4288 7 444210 estab. 4769 397 2308 1094 511 4310 302 75 4687 82 4624 351 2179 1089 550 4169 313 83 4565 59 4558 340 2048 1073 595 4056 322 108 4486 72 4514 318 2110 1038 573 4039 337 82 4458 56 4579 348 2079 1088 540 4055 373 128 4556 23 444210 empl. 26580 0 5265 7026 5989 18280 5575 1156 25011 1569 27032 0 4939 7026 6549 18514 6204 1557 26275 757 28606 0 4663 6935 7125 18723 6888 2007 27618 988 28436 0 4762 6714 6935 18411 7250 1997 27658 778 27775 0 4769 6931 6599 18299 6955 2128 27382 393 444210 ann. pay. 582641 10916 94362 140059 137234 382571 146028 37542 566141 16500 627463 8876 91891 141888 155393 398048 164291 49767 612106 15357 678266 8828 87352 141197 174296 411673 186288 63186 661147 17119 711663 8601 97987 143957 171792 422337 202769 70738 695844 15819 728625 10499 98691 152533 173262 434985 205492 74182 714659 13966 444210 rec. 5586529 104355 837546 1090101 1269954 3301956 1519962 625710 5447628 138901 444220 firms 13014 1317 5183 2932 1920 11352 1413 192 12957 57 12871 1311 5077 2845 1939 11172 1441 197 12810 61 12947 1309 4961 2869 2015 11154 1508 223 12885 62 14324 1593 5565 3115 2159 12432 1620 217 14269 55 14307 1869 5435 3036 2142 12482 1563 208 14253 54 444220 estab. 16514 1318 5195 2986 2094 11593 2209 711 14513 2001 16431 1313 5088 2903 2111 11415 2196 751 14362 2069 16459 1311 4976 2917 2170 11374 2242 829 14445 2014 17770 1615 5586 3189 2298 12688 2338 840 15866 1904 17783 1870 5444 3090 2354 12758 2366 856 15980 1803 444220 empl. 141046 0 11755 19485 24882 56122 44086 14458 114666 26380 144474 0 11491 18945 25262 55698 45774 15663 117135 27339 151539 0 11218 19187 26406 56811 48130 18031 122972 28567 158290 0 12418 20584 28289 61291 51898 18613 131802 26488 151399 0 12347 19926 28103 60376 49291 18168 127835 23564 444220 ann. pay. 2937569 38809 222565 370500 524657 1156531 945951 327165 2429647 507922 3176150 36478 222835 377798 551882 1188993 1026655 361839 2577487 598663 3350291 39016 219444 374625 568311 1201396 1080286 436142 2717824 632467 3652750 51485 256923 416198 637616 1362222 1201388 450208 3013818 638932 3584433 59234 247734 416210 636433 1359611 1199537 438469 2997617 586816 444220 rec. 30640588 464848 2241317 3222818 4429368 10358351 8536812 4269433 23164596 7475992 445110 firms 45597 4918 18696 7212 5734 36560 7321 1353 45234 363 45563 5347 18907 7028 5574 36856 7038 1321 45215 348 45767 5401 19199 7113 5517 37230 6914 1290 45434 333 46050 5655 19580 7058 5444 37737 6766 1209 45712 338 40176 5192 16664 5678 4712 32246 6438 1157 39841 335 445110 estab. 68553 4926 18713 7239 5857 36735 8276 3705 48716 19837 69004 5362 18923 7060 5687 37032 7947 3420 48399 20605 68779 5422 19223 7164 5632 37441 7784 3308 48533 20246 68797 5657 19600 7093 5570 37920 7628 3112 48660 20137 62934 5193 16677 5703 4801 32374 7212 3171 42757 20177 445110 empl. 2533012 0 39862 47994 77600 165456 293572 225733 684761 1848251 2583957 0 40149 46723 75905 162777 283065 221620 667462 1916495 2543527 0 40839 47264 74863 162966 279012 217267 659245 1884282 2487338 0 41647 46694 74081 162422 274120 204812 641354 1845984 2387828 0 36051 37343 64482 137876 264232 199136 601244 1786584 445110 ann. pay. 37986296 133745 458268 515088 882217 1989318 3756014 3173976 8919308 29066988 39938737 180439 487239 529192 883664 2080534 3717373 3157952 8955859 30982878 41795041 166192 515464 550686 905924 2138266 3735679 3234533 9108478 32686563 42341542 177886 544628 570550 918294 2211358 3841078 3150874 9203310 33138232 42470977 161411 475685 478797 833731 1949624 3820852 3184456 8954932 33516045 445110 rec. 389913474 1817409 6098816 5264379 8107081 21287685 32422029 26918361 80628075 309285399 445120 firms 22657 3030 11702 4614 2282 21628 790 149 22567 90 23233 3469 11741 4690 2284 22184 820 150 23154 79 24553 3804 12006 4959 2586 23355 959 158 24472 81 25730 4088 12736 5047 2652 24523 963 154 25640 90 29616 4578 15355 5634 2897 28464 923 141 29528 88 445120 estab. 27707 3030 11713 4646 2396 21785 1265 733 23783 3924 28427 3472 11790 4735 2410 22407 1218 847 24472 3955 29496 3824 12020 5031 2690 23565 1338 674 25577 3919 30560 4091 12748 5107 2756 24702 1306 643 26651 3909 34232 4581 15371 5673 3032 28657 1264 741 30662 3570 445120 empl. 156064 0 25534 30219 28807 84560 20099 7877 112536 43528 159280 0 25744 30732 29298 85774 21771 8859 116404 42876 173341 0 26360 32522 33063 91945 26724 8866 127535 45806 178466 0 27904 33265 34293 95462 27156 9887 132505 45961 181523 0 33833 36877 37071 107781 24455 7839 140075 41448 445120 ann. pay. 1762465 55521 273562 300161 283396 912640 207577 101062 1221279 541186 1929671 70283 295313 326509 301009 993114 239040 119302 1351456 578215 2176948 81700 315552 348241 340873 1086366 290546 128222 1505134 671814 2291568 83855 352636 367759 376364 1180614 299892 146367 1626873 664695 2408389 87054 442547 421732 417370 1368703 296516 112895 1778114 630275 445120 rec. 28120030 1336378 6923345 5222357 4304185 17786265 2531965 1093625 21411855 6708175 445210 firms 6188 591 3173 1391 693 5848 305 26 6179 9 6070 646 3003 1358 694 5701 327 35 6063 7 5960 600 2951 1327 698 5576 341 31 5948 12 6042 674 2950 1342 691 5657 339 35 6031 11 5913 683 2803 1282 730 5498 367 40 5905 8 445210 estab. 6619 592 3184 1404 720 5900 411 123 6434 185 6516 647 3010 1374 719 5750 416 172 6338 178 6517 602 2965 1339 720 5626 426 162 6214 303 6599 674 2960 1358 717 5709 399 193 6301 298 6467 684 2809 1293 759 5545 447 184 6176 291 445210 empl. 38887 0 7222 9068 9030 25320 9143 2186 36649 2238 39664 0 6902 8879 9117 24898 9675 3417 37990 1674 41010 0 6862 8635 9228 24725 10167 [h] [k] [h] 41924 0 6803 8751 9052 24606 10249 3637 38492 3432 41765 0 6609 8409 9487 24505 10766 3826 39097 2668 445210 ann. pay. 564455 11633 95681 121735 125896 354945 139109 39284 533338 31117 593936 13235 95837 122013 129672 360757 142493 62892 566142 27794 643337 13238 97923 125444 140687 377292 157382 (D) (D) (D) 695646 14649 102571 134085 139576 390881 168267 74659 633807 61839 714230 32362 101691 135185 154622 423860 183089 71496 678445 35785 445210 rec. 5648059 390581 1069229 1121842 980856 3562508 1229485 563821 5355814 292245 445220 firms 1727 254 965 303 131 1653 69 3 1725 2 1761 272 960 310 140 1682 73 4 1759 2 1809 280 965 335 149 1729 75 3 1807 2 1896 274 1040 350 142 1806 86 2 1894 2 2197 349 1204 385 177 2115 78 2 2195 2 445220 estab. 1776 254 965 310 146 1675 89 7 1771 5 1807 272 964 316 152 1704 93 5 1802 5 1853 280 967 343 159 1749 95 4 1848 5 1940 274 1046 358 151 1829 103 3 1935 5 2238 349 1209 390 186 2134 97 2 2233 5 445220 empl. 7857 0 2043 1962 1596 5601 2140 [b] [i] [b] 8299 0 2061 1992 1692 5745 2162 [e] [i] [b] 8458 0 2055 2149 1855 6059 2178 [c] [i] [b] 8990 0 2179 2282 1786 6247 2610 [b] [i] [b] 9771 0 2674 2489 2289 7452 2206 [b] [i] [b] 445220 ann. pay. 121554 5966 27993 26854 23163 83976 35481 (D) (D) (D) 137701 5352 29098 27979 28984 91413 32851 (D) (D) (D) 137306 5880 31042 31299 29230 97451 35806 (D) (D) (D) 149310 6031 32751 35485 30640 104907 42267 (D) (D) (D) 167634 8372 43579 38682 38246 128879 36170 (D) (D) (D) 445220 rec. 1560631 89353 527275 359082 294576 1270286 230195 (D) (D) (D) 445230 firms 3094 676 1526 432 262 2896 179 19 3094 0 3050 664 1477 450 259 2850 178 19 3047 3 3092 670 1497 454 258 2879 195 18 3092 0 3268 685 1587 486 287 3045 203 19 3267 1 3458 761 1650 512 281 3204 232 21 3457 1 445230 estab. 3209 677 1528 438 277 2920 234 55 3209 0 3166 664 1483 459 275 2881 225 57 3163 3 3204 670 1503 458 275 2906 229 69 3204 0 3382 685 1594 490 304 3073 235 73 3381 1 3569 764 1650 518 296 3228 267 73 3568 1 445230 empl. 17533 0 3207 2780 3397 9384 5874 2275 17533 0 18011 0 3050 2891 3402 9343 6086 [g] [j] [e] 18451 0 3084 2961 3373 9418 6812 2221 18451 0 20615 0 3341 3172 3862 10375 7397 [h] [j] [a] 21580 0 3469 3292 3700 10461 8320 [h] [j] [a] 445230 ann. pay. 256153 14041 44639 35522 42493 136695 85049 34409 256153 0 273196 14036 45389 38776 45685 143886 89118 (D) (D) (D) 295007 16396 47632 40391 46770 151189 102173 41645 295007 0 374488 15345 55230 48793 53980 173348 121570 (D) (D) (D) 412580 20220 58183 52881 58591 189875 138362 (D) (D) (D) 445230 rec. 3583146 232947 756916 581659 616837 2188359 1039332 (D) (D) (D) 445291 firms 2167 595 763 354 217 1929 176 43 2148 19 2781 825 987 405 295 2512 212 36 2760 21 3350 817 1278 571 376 3042 249 40 3331 19 3663 889 1398 667 422 3376 228 42 3646 17 3990 762 1613 764 507 3646 295 29 3970 20 445291 estab. 3342 595 766 372 252 1985 296 278 2559 783 4924 840 994 418 309 2561 322 294 3177 1747 5451 817 1283 584 387 3071 365 260 3696 1755 5728 894 1398 671 442 3405 323 250 3978 1750 6082 762 1614 765 528 3669 408 187 4264 1818 445291 empl. 17267 0 1671 2356 2634 6661 3915 2405 12981 4286 29001 0 2148 2651 3676 8475 5311 1962 15748 13253 32736 0 2847 3751 4760 11358 6142 2639 20139 12597 34380 0 3093 4310 5361 12764 5848 2371 20983 13397 41800 0 3766 4996 6670 15432 7668 1622 24722 17078 445291 ann. pay. 249968 13751 16738 21664 24698 76851 42804 32042 151697 98271 548515 20138 22951 25162 37773 106024 57980 23090 187094 361421 609818 18504 31916 37880 50064 138364 72142 31605 242111 367707 644992 21747 37189 42933 58991 160860 72430 28724 262014 382978 893519 17191 44573 55373 77854 194991 103047 20736 318774 574745 445291 rec. 2104721 88563 266010 253164 280722 888459 341519 109217 1339195 765526 445292 firms 2138 384 930 415 219 1948 154 25 2127 11 2156 399 927 415 225 1966 152 27 2145 11 2276 447 989 420 227 2083 155 24 2262 14 2272 437 985 443 215 2080 155 24 2259 13 2319 459 956 461 249 2125 155 26 2306 13 445292 estab. 3831 386 943 430 263 2022 389 234 2645 1186 3885 399 932 436 271 2038 364 270 2672 1213 3961 452 997 432 275 2156 362 136 2654 1307 3839 437 992 459 267 2155 365 107 2627 1212 3782 459 960 476 274 2169 336 309 2814 968 445292 empl. 20650 0 2028 2697 2685 7410 4154 [g] [j] [i] 21079 0 1997 2699 2807 7503 4146 2006 13655 7424 20938 0 2106 2742 2830 7678 4451 1322 13451 7487 22140 0 2103 2915 2690 7708 4440 1265 13413 8727 20653 0 2106 2999 3085 8190 4287 1966 14443 6210 445292 ann. pay. 213356 5913 19734 22912 23472 72031 42911 (D) (D) (D) 225677 7589 21030 22705 26331 77655 44914 18771 141340 84337 248592 7866 22651 23456 28773 82746 55315 14692 152753 95839 253213 7686 23192 28299 26947 86124 52424 13880 152428 100785 254144 7256 24202 30658 30480 92596 50215 25558 168369 85775 445292 rec. 1605122 53221 187866 180371 144609 566067 246195 207548 1019810 585312 445299 firms 3732 921 1557 663 365 3506 189 17 3712 20 4489 1367 1722 741 403 4233 211 22 4466 23 5702 1646 2181 981 565 5373 286 22 5681 21 5602 1364 2331 1024 557 5276 281 22 5579 23 6091 1506 2333 1095 725 5659 382 24 6065 26 445299 estab. 4870 921 1561 671 388 3541 298 55 3894 976 5628 1382 1728 748 429 4287 305 73 4665 963 6767 1650 2202 987 587 5426 375 804 6605 162 6721 1367 2340 1034 584 5325 367 793 6485 236 7207 1509 2335 1103 755 5702 469 56 6227 980 445299 empl. 23422 0 3357 4401 4726 12484 5575 1182 19241 4181 24804 0 3718 4884 5227 13829 6134 1377 21340 3464 32262 0 4646 6467 7490 18603 8597 1492 28692 3570 33736 0 4976 6812 7185 18973 8542 1630 29145 4591 41276 0 5126 7229 9571 21926 11532 2292 35750 5526 445299 ann. pay. 281792 16675 36295 42562 45347 140879 63309 18234 222422 59370 331446 29113 44666 49925 52951 176655 73123 15992 265770 65676 424000 36421 56357 64339 74610 231727 94557 24984 351268 72732 432107 27509 64353 70817 74139 236818 94314 26008 357140 74967 545283 33561 71085 82447 106429 293522 133807 32380 459709 85574 445299 rec. 3322541 241719 644542 516533 614534 2017328 565797 160546 2743671 578870 445310 firms 24830 2107 14314 5473 2074 23968 721 91 24780 50 24945 2306 14261 5454 2043 24064 740 92 24896 49 25305 2595 14214 5474 2105 24388 787 85 25260 45 25563 2666 14253 5539 2185 24643 782 96 25521 42 25985 2748 14468 5706 2178 25100 746 92 25938 47 445310 estab. 27880 2121 14343 5573 2325 24362 1401 622 26385 1495 28149 2320 14288 5570 2265 24443 1445 690 26578 1571 28463 2611 14250 5571 2332 24764 1475 692 26931 1532 28695 2668 14306 5638 2380 24992 1456 737 27185 1510 29166 2748 14494 5828 2438 25508 1389 665 27562 1604 445310 empl. 129129 0 31753 35178 25900 92831 20672 7455 120958 8171 130568 0 31635 35142 25582 92359 21446 8018 121823 8745 133687 0 31264 35340 26412 93016 23439 8524 124979 8708 136212 0 31522 35792 27459 94773 23166 9663 127602 8610 137801 0 32994 36773 27397 97164 22058 8268 127490 10311 445310 ann. pay. 1820912 30064 406227 418489 337653 1192433 325318 138815 1656566 164346 1941068 39269 424395 450899 346125 1260688 353415 152622 1766725 174343 2065456 42484 444011 470365 371911 1328771 394245 164126 1887142 178314 2153921 46916 464563 488083 401917 1401479 393422 181480 1976381 177540 2197746 60768 481806 521042 405583 1469199 376692 140388 1986279 211467 445310 rec. 28554782 874215 7891121 6215491 4394104 19374931 3884285 1912626 25171842 3382940 446110 firms 22073 1005 6658 7238 4798 19699 1988 146 21833 240 21353 1140 6385 6863 4560 18948 2037 136 21121 232 20874 1117 6174 6542 4621 18454 2049 144 20647 227 20493 1151 5972 6258 4637 18018 2100 147 20265 228 19488 1037 5458 5901 4559 16955 2169 141 19265 223 446110 estab. 42565 1008 6671 7317 5138 20134 3076 611 23821 18744 41846 1147 6404 6947 4852 19350 3029 558 22937 18909 40617 1132 6195 6630 4897 18854 3002 519 22375 18242 40026 1153 5996 6343 4918 18410 2981 571 21962 18064 40152 1041 5465 5959 4768 17233 3094 604 20931 19221 446110 empl. 722779 0 17252 48763 63200 129215 61250 14318 204783 517996 709175 0 16406 46284 59932 122622 62684 12454 197760 511415 680251 0 15797 44179 60892 120868 63890 12256 197014 483237 699160 0 15126 42507 61255 118888 66309 13333 198530 500630 730557 0 14295 40045 60149 114489 68337 14601 197427 533130 446110 ann. pay. 12010871 46092 374471 945437 1170349 2536349 1157710 274554 3968613 8042258 13395865 62208 376964 964520 1187874 2591566 1285730 252069 4129365 9266500 14542974 43101 386356 977258 1306362 2713077 1383897 308740 4405714 10137260 15484007 61367 397507 1014054 1397893 2870821 1551717 333465 4756003 10728004 16752617 60918 398005 1050410 1491244 3000577 1692196 401478 5094251 11658366 446110 rec. 159070305 719024 5266749 11132931 14173172 31291876 13388574 3139069 47819519 111250786 446120 firms 4197 655 2398 680 289 4022 129 25 4176 21 4247 657 2472 665 278 4072 130 25 4227 20 4493 747 2573 695 301 4316 129 27 4472 21 5072 905 2865 820 293 4883 140 26 5049 23 5636 1023 3213 892 309 5437 153 24 5614 22 446120 estab. 9526 655 2408 727 385 4175 420 333 4928 4598 9587 661 2483 701 387 4232 377 275 4884 4703 9615 748 2594 728 414 4484 309 245 5038 4577 10630 905 2880 859 387 5031 292 244 5567 5063 11255 1023 3225 933 368 5549 340 194 6083 5172 446120 empl. 58182 0 4846 4383 3608 12837 3784 3158 19779 38403 61771 0 5175 4255 3475 12905 3886 2575 19366 42405 61237 0 5301 4449 3748 13498 3742 2935 20175 41062 75658 0 5844 5212 3695 14751 4105 3362 22218 53440 83323 0 6692 5747 3972 16411 4606 2814 23831 59492 446120 ann. pay. 695306 11851 58747 55346 51300 177244 63427 61825 302496 392810 759045 23064 68685 60415 53027 205191 69552 65241 339984 419061 842413 25375 72547 67179 58403 223504 78238 77272 379014 463399 1054136 43371 83325 83489 59650 269835 91775 73622 435232 618904 1201877 20451 91506 89894 65767 267618 107133 75829 450580 751297 446120 rec. 7402954 162385 777917 588329 378789 1907420 595946 323595 2826961 4575993 446130 firms 6683 484 3978 1419 499 6380 235 42 6657 26 6645 502 3911 1435 516 6364 219 36 6619 26 6532 469 3828 1416 549 6262 212 31 6505 27 6485 523 3734 1410 550 6217 207 33 6457 28 5809 433 3359 1276 488 5556 205 24 5785 24 446130 estab. 14724 488 4016 1535 726 6765 941 757 8463 6261 14673 624 3952 1554 758 6888 843 502 8233 6440 14281 481 3872 1523 767 6643 795 544 7982 6299 14006 533 3788 1529 769 6619 714 531 7864 6142 13006 433 3378 1384 708 5903 831 381 7115 5891 446130 empl. 74368 0 8880 8996 6213 24089 7053 4840 35982 38386 76074 0 8817 9085 6423 24325 6712 3782 34819 41255 74426 0 8651 9057 6799 24507 6626 3397 34530 39896 74617 0 8398 9054 6875 24327 6301 3318 33946 40671 72544 0 7619 8122 6061 21802 6074 2448 30324 42220 446130 ann. pay. 1600739 10652 194320 198374 143834 547180 153871 110709 811760 788979 1632553 26944 197462 207278 157319 589003 152821 103235 845059 787494 1696648 14117 202741 213055 170236 600149 168983 87052 856184 840464 1679079 14406 202434 215506 173041 605387 161504 90424 857315 821764 1723345 14211 187008 203968 159988 565175 154740 66597 786512 936833 446130 rec. 6868663 84573 872542 775925 557296 2290336 543605 198974 3032915 3835748 446191 firms 5334 878 2623 1086 443 5030 274 20 5324 10 5501 806 2760 1123 487 5176 298 19 5493 8 5581 731 2886 1095 525 5237 315 24 5576 5 5788 763 3063 1115 509 5450 302 29 5781 7 5621 689 3115 1007 494 5305 282 25 5612 9 446191 estab. 7939 882 2628 1106 547 5163 456 142 5761 2178 8384 811 2764 1148 580 5303 474 139 5916 2468 8655 732 2900 1114 615 5361 466 135 5962 2693 9027 763 3077 1149 589 5578 430 165 6173 2854 9687 689 3119 1062 599 5469 501 146 6116 3571 446191 empl. 40942 0 5762 7028 5889 18679 9161 2391 30231 10711 45149 0 6048 7309 6339 19696 10189 2775 32660 12489 48547 0 6414 7086 6841 20341 11380 3689 35410 13137 58868 0 6620 7224 6572 20416 10806 4408 35630 23238 50509 0 6789 6475 6484 19748 10138 3968 33854 16655 446191 ann. pay. 560205 19867 78844 90621 80754 270086 132179 38422 440687 119518 601617 17770 85174 99991 84601 287536 147817 39953 475306 126311 705357 15291 92084 99672 95935 302982 172893 55812 531687 173670 790585 19118 101573 102622 97725 321038 185131 84038 590207 200378 804542 16366 105738 97333 99108 318545 186592 70280 575417 229125 446191 rec. 5356050 164925 870663 631482 572702 2239772 1052474 609440 3901686 1454364 446199 firms 5982 758 2859 1236 614 5467 375 54 5896 86 5972 722 2900 1187 643 5452 370 59 5881 91 6061 755 2860 1226 653 5494 411 58 5963 98 6210 775 2970 1239 678 5662 391 60 6113 97 6203 682 3035 1269 652 5638 405 68 6111 92 446199 estab. 7995 775 2897 1394 894 5960 910 246 7116 879 7902 729 2939 1320 898 5886 840 391 7117 785 8021 759 2905 1363 869 5896 880 322 7098 923 8209 783 3011 1369 895 6058 868 370 7296 913 8474 683 3068 1413 1012 6176 1050 495 7721 753 446199 empl. 43977 0 6329 8016 7865 22210 11345 3291 36846 7131 46076 0 6338 7719 8178 22235 11444 4765 38444 7632 49435 0 6325 8014 8486 22825 12531 4235 39591 9844 49769 0 6611 8191 8790 23592 11900 4394 39886 9883 51414 0 6773 8326 8436 23535 12885 5327 41747 9667 446199 ann. pay. 1259224 24118 142259 202758 213091 582226 315554 109781 1007561 251663 1371142 38586 149270 194638 231624 614118 331552 165352 1111022 260120 1493760 26577 154864 207307 246367 635115 368263 135958 1139336 354424 1626859 26791 167032 224095 266518 684436 392377 155679 1232492 394367 1735381 22964 184427 257235 270413 735039 446036 196338 1377413 357968 446199 rec. 7750834 157731 1090019 1131109 1115584 3494443 1815241 751439 6061123 1689711 447110 firms 38342 3160 13167 9969 7084 33380 3938 831 38149 193 36865 2831 12803 9492 6870 31996 3851 822 36669 196 35866 2985 12455 9018 6629 31087 3742 846 35675 191 36255 3335 12863 8897 6458 31553 3672 827 36052 203 39598 4148 14484 9685 6645 34962 3665 764 39391 207 447110 estab. 82207 3190 13200 10107 7713 34210 9816 10762 54788 27419 81486 2926 12873 9695 7496 32990 9354 10640 52984 28502 80512 3043 12540 9252 7251 32086 8736 10966 51788 28724 81171 3364 12945 9141 7064 32514 8726 10883 52123 29048 84701 4189 14559 9827 7423 35998 9043 10843 55884 28817 447110 empl. 647007 0 32153 67199 90257 189609 117457 97724 404790 242217 645931 0 30936 63820 88024 182780 115453 96933 395166 250765 653279 0 30130 60293 85577 176000 114017 102211 392228 261051 655433 0 31034 59409 82919 173362 111340 98416 383118 272315 652765 0 36220 64428 85645 186293 111176 94062 391531 261234 447110 ann. pay. 7990907 86570 365603 751974 1038753 2242900 1408417 1232469 4883786 3107121 8446220 78488 380120 753865 1039669 2252142 1431805 1274793 4958740 3487480 8925782 79039 388115 734243 1037839 2239236 1428105 1376329 5043670 3882112 9018452 84048 422813 743132 1027608 2277601 1434271 1364229 5076101 3942351 9357008 110631 492510 835522 1085127 2523790 1439917 1342812 5306519 4050489 447110 rec. 169759197 2407020 12797665 16094396 16538434 47837515 21800665 22551298 92189478 77569719 447190 firms 33441 2406 15405 8415 4151 30377 2343 568 33288 153 32463 2569 14858 7922 4134 29483 2265 563 32311 152 31895 2724 14567 7832 3856 28979 2188 578 31745 150 30494 2625 14148 7313 3599 27685 2118 539 30342 152 25583 2031 11993 6003 3050 23077 1869 489 25435 148 447190 estab. 41730 2420 15420 8526 4508 30874 3645 2313 36832 4898 39609 2580 14903 8064 4466 30013 3450 2180 35643 3966 39136 2752 14628 7979 4124 29483 3249 2217 34949 4187 37721 2627 14196 7450 3880 28153 3158 2091 33402 4319 32399 2035 12036 6084 3322 23477 2924 1879 28280 4119 447190 empl. 299456 0 35997 54931 51264 142192 62136 30947 235275 64181 284103 0 34538 51511 51040 137089 60732 31381 229202 54901 283804 0 33992 51011 47809 132812 58571 33223 224606 59198 271851 0 32762 47572 44713 125047 57500 29957 212504 59347 243218 0 28886 39149 37749 105784 49850 24861 180495 62723 447190 ann. pay. 4340031 61328 533153 774023 743673 2112177 889547 434935 3436659 903372 4379138 74696 542447 768115 769840 2155098 904248 455758 3515104 864034 4395982 67087 537162 773734 729387 2107370 888475 489284 3485129 910853 4437205 69627 549439 756937 707509 2083512 893997 454478 3431987 1005218 4114476 62582 488719 665555 640158 1857014 783564 389053 3029631 1084845 447190 rec. 68323877 1067872 9031938 9992848 8190331 28282989 9886694 6855508 45025191 23298686 448110 firms 6218 379 3122 1518 670 5689 388 79 6156 62 5902 422 2956 1373 661 5412 356 74 5842 60 5706 422 2851 1325 625 5223 353 75 5651 55 5616 471 2765 1298 604 5138 357 68 5563 53 5465 478 2786 1205 560 5029 327 61 5417 48 448110 estab. 11863 391 3134 1564 813 5902 889 572 7363 4500 11445 431 2972 1422 831 5656 805 558 7019 4426 10670 423 2870 1379 785 5457 762 519 6738 3932 10732 471 2787 1337 713 5308 784 487 6579 4153 10416 478 2796 1235 637 5146 674 464 6284 4132 448110 empl. 87451 0 7052 9848 8258 25158 11123 7237 43518 43933 84890 0 6625 8880 8210 23715 10195 6453 40363 44527 84973 0 6441 8609 7783 22833 10465 6521 39819 45154 86192 0 6176 8375 7507 22058 10363 6685 39106 47086 83175 0 6351 7795 7078 21224 9230 5845 36299 46876 448110 ann. pay. 1434785 7378 116594 170124 163985 458081 221054 138265 817400 617385 1481019 10140 115338 164109 169789 459376 211567 137438 808381 672638 1594760 7088 115612 165269 174622 462591 227290 168420 858301 736459 1551278 10578 114680 159346 169087 453691 220892 164199 838782 712496 1580023 11535 117202 156623 159356 444716 202735 124744 772195 807828 448110 rec. 9957974 123435 885274 890607 828680 2727996 1072894 709732 4510622 5447352 448120 firms 16723 1502 9428 3494 1432 15856 623 128 16607 116 15977 1577 8833 3341 1390 15141 605 126 15872 105 15296 1617 8239 3232 1385 14473 599 123 15195 101 14750 1626 7883 3054 1357 13920 615 115 14650 100 13778 1727 7207 2844 1215 12993 578 111 13682 96 448120 estab. 37451 1516 9609 3582 1693 16400 1414 1478 19292 18159 36154 1591 8926 3394 1574 15485 1268 1811 18564 17590 35633 1617 8289 3327 1559 14792 1209 1326 17327 18306 35564 1629 7931 3130 1498 14188 1213 1073 16474 19090 34559 1735 7244 2891 1355 13225 1182 1153 15560 18999 448120 empl. 294306 0 20651 22483 18046 61180 18758 14223 94161 200145 283872 0 19326 21582 17598 58506 18293 15885 92684 191188 302491 0 18119 20817 17723 56659 18727 13478 88864 213627 304645 0 17421 19729 17296 54446 19547 13345 87338 217307 299652 0 16128 18176 15643 49947 18076 13680 81703 217949 448120 ann. pay. 3516459 25280 236390 270257 256025 787952 285825 191005 1264782 2251677 3734851 31896 237595 279788 259113 808392 306312 214311 1329015 2405836 3893314 30615 239375 279843 269732 819565 321966 211416 1352947 2540367 4044792 30956 239126 269900 269237 809219 329644 210200 1349063 2695729 4091544 34181 219652 261581 253445 768859 307288 197065 1273212 2818332 448120 rec. 31679581 338867 1962533 1730062 1442608 5474070 1769199 1407388 8650657 23028924 448130 firms 2857 378 1569 541 206 2694 114 31 2839 18 2796 414 1477 541 203 2635 114 26 2775 21 2832 421 1463 560 214 2658 131 23 2812 20 2922 441 1460 613 230 2744 138 22 2904 18 2993 448 1509 624 242 2823 131 22 2976 17 448130 estab. 5168 378 1574 556 231 2739 182 187 3108 2060 5333 414 1480 559 221 2674 177 176 3027 2306 5647 425 1469 574 240 2708 198 195 3101 2546 5724 441 1466 626 255 2788 197 184 3169 2555 6119 448 1512 631 262 2853 197 197 3247 2872 448130 empl. 47442 0 3425 3435 2619 9479 3406 2858 15743 31699 50686 0 3242 3471 2712 9425 3569 2579 15573 35113 58608 0 3229 3577 2751 9557 4258 2541 16356 42252 57076 0 3187 3897 2946 10030 4399 2954 17383 39693 62411 0 3371 4011 3100 10482 4411 2747 17640 44771 448130 ann. pay. 533654 5751 32025 34045 31444 103265 45829 35243 184337 349317 582653 6421 33920 36377 34580 111298 50467 35432 197197 385456 675358 6196 34977 39738 37450 118361 62828 34779 215968 459390 726189 6931 34941 42944 39791 124607 67150 44173 235930 490259 731544 6803 38975 44984 38897 129659 73031 43163 245853 485691 448130 rec. 6528762 61725 359754 312770 237486 971735 411270 261093 1644098 4884664 448140 firms 7911 832 3665 1634 926 7057 590 133 7780 131 7489 769 3523 1526 887 6705 550 117 7372 117 7332 794 3425 1506 848 6573 533 117 7223 109 7590 904 3558 1522 846 6830 529 120 7479 111 8025 1100 3792 1537 840 7269 516 121 7906 119 448140 estab. 20838 835 3680 1668 1047 7230 1077 732 9039 11799 20901 793 3548 1558 984 6883 997 635 8515 12386 20627 810 3453 1558 914 6735 951 607 8293 12334 21774 904 3580 1577 926 6987 873 579 8439 13335 22897 1102 3802 1559 921 7384 853 632 8869 14028 448140 empl. 393745 0 7863 10780 11733 30376 17729 12386 60491 333254 419754 0 7560 10011 11238 28809 16898 11743 57450 362304 453088 0 7487 9774 10746 28007 16319 12394 56720 396368 469949 0 7560 9920 10723 28203 16110 11531 55844 414105 473934 0 8252 9955 10709 28916 15090 11702 55708 418226 448140 ann. pay. 5195951 15510 95001 134440 161957 406908 274019 186440 867367 4328584 5654479 14775 97949 131938 161870 406532 275823 202762 885117 4769362 5918257 16564 99424 136811 162170 414969 278075 223009 916053 5002204 6452283 22614 106178 142716 168054 439562 265430 206146 911138 5541145 7046497 29590 119455 148344 164078 461467 272071 198525 932063 6114434 448140 rec. 61064919 263670 1048875 1060894 1026477 3399916 1631342 1553112 6584370 54480549 448150 firms 2325 355 1366 345 131 2197 86 22 2305 20 2323 371 1354 364 109 2198 84 21 2303 20 2404 399 1376 382 122 2279 87 20 2386 18 2559 413 1437 440 146 2436 84 21 2541 18 2955 603 1600 453 169 2825 93 19 2937 18 448150 estab. 5790 357 1374 373 158 2262 237 215 2714 3076 5529 375 1365 387 136 2263 217 250 2730 2799 5661 403 1390 397 145 2335 191 214 2740 2921 5860 417 1447 457 163 2484 189 216 2889 2971 6388 603 1607 462 198 2870 238 256 3364 3024 448150 empl. 29089 0 2770 2197 1592 6559 2203 2162 10924 18165 28628 0 2734 2286 1334 6354 2211 2385 10950 17678 28463 0 2848 2449 1494 6791 2240 1815 10846 17617 28860 0 2927 2771 1784 7482 2450 1845 11777 17083 30993 0 3321 2878 2058 8257 2734 1736 12727 18266 448150 ann. pay. 368638 9246 33201 29643 22951 95041 35254 41210 171505 197133 391493 5526 36911 31531 20469 94437 39859 46153 180449 211044 400245 7134 40972 35355 22997 106458 38012 40647 185117 215128 420105 6752 43406 41486 27935 119579 44501 37459 201539 218566 528736 9715 51132 43409 29798 134054 49240 39616 222910 305826 448150 rec. 3214324 94426 440350 278675 156906 970357 263640 274303 1508300 1706024 448190 firms 7733 1200 3931 1446 641 7218 386 74 7678 55 7654 1118 3964 1389 674 7145 382 74 7601 53 7811 1141 3934 1501 720 7296 397 74 7767 44 8130 1170 4128 1549 740 7587 430 71 8088 42 8662 1359 4273 1720 767 8119 432 67 8618 44 448190 estab. 11761 1201 3950 1516 749 7416 799 391 8606 3155 11677 1118 3988 1446 810 7362 735 391 8488 3189 11751 1151 3951 1557 863 7522 707 425 8654 3097 12057 1171 4152 1605 841 7769 817 409 8995 3062 12704 1363 4293 1765 861 8282 867 473 9622 3082 448190 empl. 76912 0 8369 9262 8012 25643 10370 4244 40257 36655 75994 0 8460 9008 8545 26013 10593 4313 40919 35075 87776 0 8470 9657 9087 27214 11398 5056 43668 44108 86530 0 8871 10114 9422 28407 12578 5179 46164 40366 95445 0 9599 11132 9766 30497 12586 5544 48627 46818 448190 ann. pay. 1068347 23530 104025 122526 117731 367812 159051 63874 590737 477610 1129504 32197 113024 125048 130690 400959 167861 70910 639730 489774 1235604 30624 117224 139996 142955 430799 194973 86177 711949 523655 1324328 25730 131188 146544 157723 461185 215125 106095 782405 541923 1419037 28760 139568 167275 165588 501191 211636 91766 804593 614444 448190 rec. 9719704 239008 1112170 977211 922048 3250437 1128730 519820 4898987 4820717 448210 firms 7289 476 3633 1747 815 6671 471 87 7229 60 7012 526 3470 1646 780 6422 456 72 6950 62 6845 527 3351 1608 771 6257 466 71 6794 51 6761 562 3249 1610 768 6189 459 63 6711 50 7074 678 3495 1645 710 6528 435 62 7025 49 448210 estab. 29603 478 3660 1851 1086 7075 1480 1318 9873 19730 30042 546 3507 1751 1029 6833 1385 1237 9455 20587 29664 531 3403 1718 1047 6699 1378 1080 9157 20507 28175 564 3298 1736 1034 6632 1224 915 8771 19404 27961 682 3512 1763 964 6921 1140 955 9016 18945 448210 empl. 195504 0 8363 11318 10279 29960 14677 10860 55497 140007 188875 0 8033 10682 9912 28627 14435 9950 53012 135863 185076 0 7759 10476 9644 27879 14908 9647 52434 132642 187624 0 7490 10456 9677 27623 14944 8829 51396 136228 201150 0 8370 10759 9107 28236 13838 8866 50940 150210 448210 ann. pay. 2472505 15260 120893 168006 165821 469980 244423 168380 882783 1589722 2608531 10703 121953 166425 162839 461920 256209 157799 875928 1732603 2611208 10893 126740 169896 170030 477559 275212 156865 909636 1701572 2698873 11909 124434 175797 166911 479051 293720 139482 912253 1786620 2732096 12988 132856 183446 170848 500138 270222 147566 917926 1814170 448210 rec. 22555189 118355 1097879 1180049 993292 3389575 1608500 1071456 6069531 16485658 448310 firms 19306 1754 11337 4106 1461 18658 527 83 19268 38 19403 1835 11363 4090 1474 18762 533 70 19365 38 19639 1978 11241 4223 1544 18986 550 65 19601 38 19925 2024 11478 4218 1573 19293 537 55 19885 40 19700 2138 11472 4009 1484 19103 503 58 19664 36 448310 estab. 28104 1768 11387 4243 1730 19128 1224 1107 21459 6645 28552 1848 11404 4240 1739 19231 1187 1051 21469 7083 29303 1991 11330 4354 1819 19494 1134 986 21614 7689 29780 2035 11530 4357 1825 19747 1132 852 21731 8049 28914 2141 11493 4099 1770 19503 1133 946 21582 7332 448310 empl. 144380 0 24874 26384 18372 69630 16395 10736 96761 47619 148849 0 24988 26330 18626 69944 17011 9944 96899 51950 156383 0 24592 27266 19371 71229 17716 8241 97186 59197 159314 0 24988 27257 19940 72185 17664 7564 97413 61901 150915 0 25345 25956 18779 70080 15699 7811 93590 57325 448310 ann. pay. 3030158 32181 433316 519687 426332 1411516 418893 261800 2092209 937949 3325994 36645 453371 549784 456670 1496470 470153 239499 2206122 1119872 3637708 42017 455634 588816 492968 1579435 515858 207923 2303216 1334492 3651427 41754 481384 589111 502969 1615218 510540 188531 2314289 1337138 3583339 42015 493438 599615 501439 1636507 487323 211761 2335591 1247748 448310 rec. 23829905 395721 3796145 3580118 2881123 10653107 2822966 1356534 14832607 8997298 448320 firms 841 97 420 141 91 749 62 18 829 12 848 105 425 145 86 761 60 15 836 12 853 92 419 167 82 760 65 18 843 10 855 98 418 163 84 763 62 20 845 10 885 117 447 153 80 797 60 17 874 11 448320 estab. 2082 97 422 148 119 786 218 320 1324 758 2041 105 429 155 112 801 207 299 1307 734 1990 96 423 177 99 795 209 386 1390 600 2002 98 421 172 100 791 209 360 1360 642 1937 117 449 163 96 825 213 342 1380 557 448320 empl. 11562 0 921 917 1133 2971 2396 2023 7390 4172 11891 0 916 941 1096 2953 2292 1768 7013 4878 11807 0 898 1085 1005 2988 2413 1977 7378 4429 12436 0 928 1077 1050 3055 2231 1978 7264 5172 11273 0 982 1010 1025 3017 1928 1858 6803 4470 448320 ann. pay. 191947 1321 15222 14501 19923 50967 39069 28453 118489 73458 225644 3086 15868 16519 22199 57672 39895 30381 127948 97696 233986 1796 15754 19350 19157 56057 45058 36057 137172 96814 248250 2029 15826 20188 22156 60199 40304 32929 133432 114818 227116 2569 17465 18277 20325 58636 38419 29066 126121 100995 448320 rec. 1846125 202232 142777 113597 112325 570931 211280 176381 958592 887533 451110 firms 19882 2663 10145 3926 1922 18656 1066 100 19822 60 19029 2212 9852 3849 1888 17801 1058 113 18972 57 18535 2247 9197 3864 1965 17273 1093 112 18478 57 18374 2214 9146 3775 1965 17100 1116 100 18316 58 18775 2614 9068 3853 1986 17521 1100 100 18721 54 451110 estab. 24146 2677 10169 4020 2232 19098 2072 518 21688 2458 23140 2225 9887 3945 2175 18232 1977 697 20906 2234 22611 2260 9232 3955 2255 17702 1928 725 20355 2256 22468 2231 9185 3920 2231 17567 1960 544 20071 2397 23018 2619 9092 3960 2297 17968 2073 507 20548 2470 451110 empl. 181428 0 21959 25508 24806 72273 34707 9230 116210 65218 181739 0 21382 25137 24428 70947 35021 10634 116602 65137 184964 0 20010 25130 25409 70549 36559 12506 119614 65350 189494 0 19921 24506 25669 70096 37566 11050 118712 70782 190543 0 20256 25171 26047 71474 35896 9977 117347 73196 451110 ann. pay. 2653013 50307 328969 360402 370467 1110145 562554 143778 1816477 836536 2752938 46931 336684 374882 387562 1146059 592498 180375 1918932 834006 2948289 49632 330518 389153 411977 1181280 654827 217815 2053922 894367 3062098 47824 340687 399959 418656 1207126 690080 197035 2094241 967857 3191861 58959 347411 421760 447054 1275184 693919 177044 2146147 1045714 451110 rec. 26169189 537500 3154769 2940113 2827675 9460057 4261568 1251259 14972884 11196305 451120 firms 6529 894 3421 1207 585 6107 339 56 6502 27 6338 803 3322 1166 605 5896 365 53 6314 24 6208 752 3186 1218 610 5766 370 50 6186 22 6076 737 3100 1191 628 5656 358 39 6053 23 6217 849 3075 1220 667 5811 339 43 6193 24 451120 estab. 10934 897 3425 1221 658 6201 567 457 7225 3709 10789 804 3328 1182 670 5984 620 449 7053 3736 10911 753 3193 1236 677 5859 617 381 6857 4054 10783 744 3105 1236 692 5777 573 217 6567 4216 11021 849 3081 1234 721 5885 550 265 6700 4321 451120 empl. 118603 0 7010 7782 7576 22368 9835 7477 39680 78923 124806 0 6961 7627 7861 22449 11235 7060 40744 84062 131456 0 6825 7978 7980 22783 11323 6761 40867 90589 137147 0 6491 7741 7998 22230 11022 5119 38371 98776 139748 0 6674 7959 8615 23248 10327 5134 38709 101039 451120 ann. pay. 1582076 20692 74709 82836 87843 266080 129920 91006 487006 1095070 1686001 17066 79694 84087 94798 275645 167301 91938 534884 1151117 1775316 16651 81261 90072 98416 286400 149062 109125 544587 1230729 1893986 11714 82102 90492 104952 289260 151339 82204 522803 1371183 1968363 14519 81251 95002 108167 298939 148756 85489 533184 1435179 451120 rec. 17129724 144842 750591 650446 671638 2217517 869222 528780 3615519 13514205 451130 firms 4040 374 2373 829 303 3879 130 16 4025 15 3926 349 2285 813 316 3763 135 17 3915 11 3783 364 2127 773 346 3610 144 17 3771 12 3710 313 2090 782 351 3536 147 16 3699 11 3922 384 2111 869 395 3759 139 15 3913 9 451130 estab. 6223 376 2381 846 351 3954 275 82 4311 1912 5888 351 2296 829 357 3833 275 85 4193 1695 5695 364 2138 788 390 3680 266 81 4027 1668 5543 313 2101 798 391 3603 253 73 3929 1614 5642 384 2120 877 439 3820 233 68 4121 1521 451130 empl. 47828 0 5005 5345 3872 14222 3971 1465 19658 28170 44797 0 4795 5277 4044 14116 4184 1799 20099 24698 38952 0 4541 5009 4374 13924 4420 1881 20225 18727 47960 0 4532 5095 4436 14063 4605 1813 20481 27479 40984 0 4638 5613 5047 15298 4472 1831 21601 19383 451130 ann. pay. 499594 5921 49608 55277 51137 161943 68816 17660 248419 251175 521205 9545 51784 57470 52518 171317 76217 22591 270125 251080 507166 4504 52700 53769 60881 171854 85462 26110 283426 223740 602251 7179 52237 58981 61456 179853 88144 24706 292703 309548 567035 5100 54668 66507 72479 198754 87634 29887 316275 250760 451130 rec. 4124080 37720 427483 414745 372882 1252830 399938 137448 1790216 2333864 451140 firms 3818 281 1897 877 478 3533 254 22 3809 9 3698 242 1817 877 472 3408 260 19 3687 11 3639 254 1745 876 452 3327 282 19 3628 11 3556 230 1703 860 451 3244 283 18 3545 11 3739 293 1871 829 450 3443 272 14 3729 10 451140 estab. 4512 281 1904 906 612 3703 538 162 4403 109 4429 242 1826 919 588 3575 520 121 4216 213 4391 254 1757 914 541 3466 538 146 4150 241 4358 234 1712 892 541 3379 539 152 4070 288 4598 297 1878 868 571 3614 562 107 4283 315 451140 empl. 30499 0 4275 5662 6347 16284 8718 2903 27905 2594 31761 0 4055 5714 6261 16030 8708 1914 26652 5109 33211 0 3968 5735 5952 15655 9379 2197 27231 5980 34142 0 3848 5604 5881 15333 9371 2224 26928 7214 33898 0 4307 5441 5840 15588 8947 1792 26327 7571 451140 ann. pay. 655975 6606 71390 97392 130696 306084 210390 70414 586888 69087 700118 6201 69339 104569 137164 317273 211710 52226 581209 118909 752726 5893 69741 108726 132852 317212 231059 64637 612908 139818 765910 6401 68229 104712 130859 310201 236643 59942 606786 159124 770183 8324 78421 106934 129068 322747 227852 52467 603066 167117 451140 rec. 5090353 77676 645783 675867 736041 2135367 1145769 212083 3493219 1597134 451211 firms 6585 669 3166 1429 721 5985 457 97 6539 46 6269 545 3062 1347 713 5667 451 105 6223 46 6042 574 2905 1311 672 5462 440 97 5999 43 5903 516 2882 1212 717 5327 447 85 5859 44 5790 597 2718 1209 713 5237 433 77 5747 43 451211 estab. 12153 669 3172 1463 824 6128 918 670 7716 4437 11957 549 3071 1379 811 5810 873 657 7340 4617 11662 576 2918 1347 773 5614 813 659 7086 4576 11559 516 2892 1251 802 5461 808 655 6924 4635 12178 597 2729 1240 787 5353 834 646 6833 5345 451211 empl. 127184 0 7135 9333 9285 25753 15645 11317 52715 74469 130396 0 6782 8802 9147 24731 15492 12267 52490 77906 141515 0 6448 8617 8749 23814 15236 11894 50944 90571 134432 0 6439 7973 9179 23591 15238 10489 49318 85114 138140 0 6294 7865 9233 23392 14514 9357 47263 90877 451211 ann. pay. 1566198 14561 77090 96207 116106 303964 219125 155811 678900 887298 1641653 8840 76836 98877 114584 299137 216971 172984 689092 952561 1743261 11837 75729 106634 114544 308744 216917 168884 694545 1048716 1838038 11802 78659 94645 128356 313462 221554 158907 693923 1144115 1888347 12063 75318 96532 122296 306209 218243 139382 663834 1224513 451211 rec. 15704149 129846 611314 606466 732388 2080014 1278587 972811 4331412 11372737 451212 firms 1970 191 1305 252 119 1867 76 20 1963 7 1876 163 1252 254 103 1772 82 15 1869 7 1807 151 1188 261 109 1709 74 17 1800 7 1762 141 1195 237 101 1674 69 13 1756 6 1763 169 1202 210 91 1672 73 11 1756 7 451212 estab. 2232 193 1307 269 155 1924 157 107 2188 44 2108 170 1258 272 126 1826 163 78 2067 41 2031 163 1193 271 138 1765 141 91 1997 34 2040 141 1198 261 128 1728 137 144 2009 31 2020 172 1204 225 114 1715 144 131 1990 30 451212 empl. 9965 0 2543 1581 1417 5541 2237 1322 9100 865 9194 0 2431 1605 1240 5276 2281 858 8415 779 10151 0 2324 1656 1332 5312 2108 923 8343 1808 9553 0 2389 1525 1257 5171 1884 967 8022 1531 8578 0 2387 1347 1099 4833 1951 865 7649 929 451212 ann. pay. 137326 8847 32397 19102 16448 76794 31236 17634 125664 11662 123753 2764 31522 20670 15755 70711 31019 11345 113075 10678 153221 2382 30012 20012 17584 69990 31735 13469 115194 38027 152228 3062 32771 19523 17343 72699 25479 16475 114653 37575 129295 3185 33023 18432 15616 70256 30410 15811 116477 12818 451212 rec. 919349 32094 321959 119871 85145 559069 177242 99916 836227 83122 451220 firms 3640 451 1973 690 286 3400 187 36 3623 17 3481 389 1894 667 288 3238 196 33 3467 14 3494 389 1866 697 307 3259 183 37 3479 15 3513 403 1891 679 306 3279 182 36 3497 16 3738 448 2010 743 316 3517 172 32 3721 17 451220 estab. 7956 451 1978 713 343 3485 430 419 4334 3622 7763 395 1903 700 321 3319 426 390 4135 3628 7720 393 1873 732 344 3342 385 402 4129 3591 7702 403 1907 702 346 3358 389 458 4205 3497 7456 448 2015 755 357 3575 373 275 4223 3233 451220 empl. 64353 0 4230 4434 3726 12390 6290 4458 23138 41215 67180 0 4071 4256 3644 11971 6690 4125 22786 44394 75988 0 4033 4491 3899 12423 6678 4731 23832 52156 69533 0 4045 4414 3918 12377 6755 4910 24042 45491 65835 0 4339 4823 4071 13233 6126 4307 23666 42169 451220 ann. pay. 801054 9927 54132 59990 55245 179294 98290 61412 338996 462058 821659 8709 55058 60535 55761 180063 103214 55127 338404 483255 884868 9712 54364 62400 61466 187942 115478 69627 373047 511821 907069 8272 57673 64682 60903 191530 127057 67783 386370 520699 811057 8827 59885 63791 60023 192526 97009 57852 347387 463670 451220 rec. 7550585 69588 449819 396884 334343 1250634 569995 452501 2273130 5277455 452110 firms 167 49 18 8 3 78 15 24 117 50 141 65 1 1 0 67 10 17 94 47 103 31 0 3 0 34 11 15 60 43 95 19 6 2 0 27 13 15 55 40 406 77 148 66 26 317 32 17 366 40 452110 estab. 10526 49 18 8 3 78 18 29 125 10401 10538 65 1 1 0 67 13 24 104 10434 10428 33 0 3 0 36 14 20 70 10358 10374 19 6 2 0 27 16 125 168 10206 10418 77 148 66 30 321 47 36 404 10014 452110 empl. 1783556 [a] 37 48 [b] [c] [f] [h] 4722 1778834 1730991 0 [a] [a] 0 [a] [f] [h] 3771 1727220 1765852 0 0 23 0 23 658 2899 3580 1762272 1727333 0 [a] [a] 0 29 691 3110 3830 1723503 1742136 0 314 437 337 1088 1343 2771 5202 1736934 452110 ann. pay. 23494257 (D) 487 417 (D) (D) (D) (D) 62723 23431534 25321148 5101 (D) (D) 0 (D) (D) (D) 64043 25257105 27204111 945 0 514 0 1459 16667 49293 67419 27136692 28631374 547 (D) (D) 0 1130 8645 89438 99213 28532161 29172508 2168 7687 5683 5030 20568 25387 63734 109689 29062819 452110 rec. 274073931 15129 72234 44020 29731 161114 198752 327190 687056 273386875 452910 firms 138 70 32 14 3 119 2 6 127 11 118 12 60 24 5 101 1 3 105 13 102 8 50 22 4 84 4 3 91 11 142 17 64 32 9 122 5 4 131 11 204 13 110 39 17 179 10 4 193 11 452910 estab. 1788 70 32 14 3 119 2 16 137 1651 1840 12 60 24 5 101 1 3 105 1735 1968 8 50 22 4 84 4 4 92 1876 2051 17 64 32 9 122 5 5 132 1919 2241 13 110 39 17 179 11 28 218 2023 452910 empl. 449645 [a] 73 97 [b] [c] [b] [g] 1364 448281 461992 0 [c] [c] 67 [e] [a] [f] 1103 460889 477521 0 99 139 53 291 165 1128 1584 475937 495230 0 [c] [c] 114 458 139 722 1319 493911 497947 0 240 254 239 733 376 720 1829 496118 452910 ann. pay. 7021711 (D) 915 1018 (D) (D) (D) (D) 17971 7003740 7915156 253 (D) (D) 864 (D) (D) (D) 14827 7900329 8736584 203 795 1368 1127 3493 2010 18920 24423 8712161 9330882 178 (D) (D) 1086 5589 1566 8557 15712 9315170 10094387 348 3318 3403 3472 10541 7616 10060 28217 10066170 452910 rec. 129762125 3376 44024 39420 20188 107008 70156 106304 283468 129478657 452990 firms 10374 1380 5171 1978 1036 9565 606 112 10283 91 10474 1250 5348 2020 1016 9634 645 112 10391 83 10533 1314 5327 1980 1048 9669 663 116 10448 85 10230 1156 5236 1970 1037 9399 633 109 10141 89 9114 1322 4406 1646 974 8348 568 115 9031 83 452990 estab. 24443 1381 5182 1995 1122 9680 999 589 11268 13175 25756 1287 5359 2037 1108 9791 998 553 11342 14414 27243 1329 5337 2005 1123 9794 983 635 11412 15831 28744 1158 5248 1990 1110 9506 955 724 11185 17559 28410 1324 4409 1664 1054 8451 899 654 10004 18406 452990 empl. 245960 0 11111 12788 13463 37362 19933 14166 71461 174499 251555 0 11603 13119 13336 38058 21936 14850 74844 176711 282734 0 11624 12885 13623 38132 22245 15950 76327 206407 303411 0 11287 12824 13475 37586 21573 16321 75480 227931 306011 0 9791 10699 12677 33167 19420 16046 68633 237378 452990 ann. pay. 3142383 22150 126229 141921 171859 462159 285268 210319 957746 2184637 3322893 20902 141808 157350 174438 494498 321174 220226 1035898 2286995 3828704 26285 148596 154214 178364 507459 329549 241125 1078133 2750571 4276206 26228 146739 156975 180733 510675 336052 245945 1092672 3183534 4441615 24329 126533 135004 171477 457343 306088 271281 1034712 3406903 452990 rec. 40768795 249416 1264861 1116565 1178721 3809563 2079037 2004653 7893253 32875542 453110 firms 24471 2269 13484 5715 2240 23708 706 42 24456 15 23658 2001 13053 5638 2214 22906 698 35 23639 19 23087 2161 12409 5450 2312 22332 701 38 23071 16 22724 2077 12058 5493 2352 21980 687 41 22708 16 22101 1966 11825 5317 2245 21353 682 49 22084 17 453110 estab. 25634 2270 13492 5802 2482 24046 1147 286 25479 155 24798 2004 13064 5716 2456 23240 1086 182 24508 290 24197 2175 12424 5523 2519 22641 1054 187 23882 315 23870 2095 12070 5573 2559 22297 1015 201 23513 357 23094 1967 11833 5375 2412 21587 1018 249 22854 240 453110 empl. 123263 0 30438 36836 28484 95758 21722 4082 121562 1701 121783 0 29233 36382 28324 93939 21606 3201 118746 3037 122224 0 28175 35365 29468 93008 21707 3590 118305 3919 125116 0 27321 35588 30379 93288 21539 4504 119331 5785 119117 0 27627 34573 28586 90786 21208 5431 117425 1692 453110 ann. pay. 1469027 31535 320694 393526 340904 1086659 295887 59695 1442241 26786 1537594 30262 322758 413784 361737 1128541 305483 48459 1482483 55111 1584096 32318 320586 415308 374573 1142785 314976 63458 1521219 62877 1643813 43369 317338 427109 393934 1181750 311132 75948 1568830 74983 1597080 31925 312614 420179 380186 1144904 317964 101495 1564363 32717 453110 rec. 7314208 199884 1945811 1818846 1431713 5396254 1105077 432935 6934266 379942 453210 firms 4688 439 2148 1068 595 4250 364 43 4657 31 4766 464 2195 1078 582 4319 375 44 4738 28 4721 414 2181 1078 599 4272 373 48 4693 28 4790 425 2236 1104 582 4347 366 50 4763 27 5327 542 2490 1215 628 4875 376 48 5299 28 453210 estab. 7730 439 2148 1090 667 4344 617 118 5079 2651 8415 464 2199 1101 652 4416 605 112 5133 3282 8617 417 2186 1095 664 4362 597 129 5088 3529 8787 429 2241 1118 652 4440 579 148 5167 3620 9267 543 2493 1231 730 4997 633 176 5806 3461 453210 empl. 110228 0 4789 7012 7569 19370 11175 2523 33068 77160 124063 0 4954 7113 7361 19428 11296 2684 33408 90655 134941 0 4898 7133 7593 19624 11371 3904 34899 100042 127922 0 5006 7351 7419 19776 11436 3711 34923 92999 125670 0 5695 7993 8049 21737 11594 3555 36886 88784 453210 ann. pay. 1990633 12253 71839 115753 142203 342048 243107 57913 643068 1347565 2415455 19911 81089 125177 137942 364119 260776 80153 705048 1710407 2702087 15885 82274 125320 151257 374736 270754 109073 754563 1947524 2685698 12662 90825 136766 148730 388983 288149 83105 760237 1925461 2799686 14297 99206 154821 177048 445372 300205 106676 852253 1947433 453210 rec. 25073489 132225 760519 991744 950286 2834774 1549560 718893 5103227 19970262 453220 firms 28370 3794 14749 5566 2541 26650 1414 197 28261 109 27205 3266 14116 5496 2647 25525 1380 194 27099 106 26293 3141 13410 5417 2637 24605 1382 207 26194 99 25550 2947 13264 5168 2474 23853 1384 212 25449 101 28180 4129 14279 5575 2537 26520 1347 211 28078 102 453220 estab. 36643 3799 14803 5712 2900 27214 3081 1097 31392 5251 35167 3274 14174 5620 3056 26124 2868 1231 30223 4944 34399 3157 13484 5531 3024 25196 2763 1200 29159 5240 33678 2954 13326 5310 2827 24417 2718 1160 28295 5383 36047 4138 14303 5683 2896 27020 2831 1340 31191 4856 453220 empl. 213984 0 31408 36161 32386 99955 42530 14579 157064 56920 214739 0 30326 35614 33637 99577 42939 15604 158120 56619 214613 0 28728 35075 33710 97513 43146 18385 159044 55569 210627 0 28443 33489 31330 93262 43161 17991 154414 56213 209064 0 30801 36226 32201 99228 41065 17254 157547 51517 453220 ann. pay. 2281711 53028 331258 361266 349114 1094666 495002 189486 1779154 502557 2426225 55138 346142 364782 375605 1141667 516821 213882 1872370 553855 2544108 51236 333887 372930 384892 1142945 531199 232024 1906168 637940 2541621 50487 342318 368655 360786 1122246 537162 267705 1927113 614508 2639647 74148 367694 400803 382095 1224740 530719 266626 2022085 617562 453220 rec. 17061866 626568 2902502 2428298 2100417 8057785 2899746 1708457 12665988 4395878 453310 firms 14705 1888 9038 2061 796 13783 569 273 14625 80 14379 1462 9066 2106 820 13454 568 266 14288 91 13703 1326 8558 2082 781 12747 591 272 13610 93 13565 1347 8373 2100 794 12614 570 287 13471 94 13967 1570 8481 2112 815 12978 619 284 13881 86 453310 estab. 18220 1889 9053 2103 905 13950 989 1477 16416 1804 18037 1466 9087 2156 913 13622 980 1480 16082 1955 17480 1332 8581 2119 876 12908 970 1525 15403 2077 17436 1348 8394 2147 888 12777 919 1636 15332 2104 17997 1570 8493 2151 918 13132 1096 1657 15885 2112 453310 empl. 105357 0 17811 13046 9950 40807 17029 22630 80466 24891 110496 0 18070 13430 10204 41704 17295 23429 82428 28068 113837 0 17144 13332 9759 40235 17949 24056 82240 31597 115719 0 16668 13328 9970 39966 17709 26028 83703 32016 117587 0 17394 13525 10174 41093 18593 26082 85768 31819 453310 ann. pay. 1387460 25192 209356 164658 146434 545640 239744 278211 1063595 323865 1524819 19983 230760 180185 156259 587187 256605 296861 1140653 384166 1625138 18637 226860 203491 151659 600647 277267 314661 1192575 432563 1698721 18634 230868 200639 163435 613576 271700 347445 1232721 466000 1789399 25359 233918 204305 160795 624377 295350 349363 1269090 520309 453310 rec. 7910526 227149 1872646 1216253 791893 4107941 1129432 1152177 6389550 1520976 453910 firms 6768 952 3251 1462 751 6416 312 26 6754 14 6370 673 3182 1414 752 6021 305 33 6359 11 6223 703 3030 1363 767 5863 316 33 6212 11 6009 597 2891 1396 748 5632 335 32 5999 10 5833 649 2671 1357 788 5465 335 23 5823 10 453910 estab. 8462 953 3265 1479 834 6531 604 287 7422 1040 8213 674 3187 1448 830 6139 576 274 6989 1224 8138 704 3042 1383 841 5970 584 268 6822 1316 7945 597 2899 1434 798 5728 581 265 6574 1371 7903 649 2675 1379 859 5562 643 243 6448 1455 453910 empl. 63650 0 7108 9582 9803 26493 10126 [h] [k] [j] 66075 0 6935 9216 9701 25852 9896 4070 39818 26257 67967 0 6659 8911 9974 25544 10614 3940 40098 27869 72120 0 6358 9175 9785 25318 10724 3730 39772 32348 75782 0 6141 8949 10399 25489 10986 2610 39085 36697 453910 ann. pay. 801523 18825 83042 108360 113616 323843 126348 (D) (D) (D) 880010 15644 88217 109602 123279 336742 130019 63988 530749 349261 947780 14855 90416 112968 128411 346650 145495 57323 549468 398312 1010849 13796 88718 118297 135536 356347 154949 54272 565568 445281 1127287 12240 82628 114143 142955 351966 156894 40676 549536 577751 453910 rec. 7883142 112881 717267 732081 800445 2362674 933287 303334 3599295 4283847 453920 firms 5614 924 3437 845 266 5472 112 24 5608 6 5583 762 3481 876 302 5421 128 24 5573 10 5636 806 3427 907 327 5467 137 22 5626 10 5837 795 3610 923 333 5661 145 21 5827 10 6294 974 3956 906 308 6144 119 21 6284 10 453920 estab. 5953 926 3447 875 328 5576 207 160 5943 10 5921 763 3492 910 357 5522 229 121 5872 49 5971 806 3442 941 376 5565 235 125 5925 46 6162 796 3626 953 387 5762 253 133 6148 14 6651 974 3966 953 371 6264 239 135 6638 13 453920 empl. 21509 0 7058 5369 3277 15704 2725 [g] [j] [g] 24707 0 7172 5637 3700 16509 3138 1490 21137 3570 22284 0 7167 5811 3972 16950 3420 1694 22064 220 22988 0 7521 5856 4086 17463 3766 1625 22854 134 22853 0 8173 5724 3815 17712 3161 1673 22546 307 453920 ann. pay. 521298 19485 136468 113405 79903 349261 71755 (D) (D) (D) 598372 19254 146865 122324 102901 391344 83755 50315 525414 72958 601996 17897 158359 143513 113833 433602 105440 58177 597219 4777 602422 20366 159700 134495 127276 441837 118739 39435 600011 2411 602791 22983 176587 137867 103744 441181 103233 50602 595016 7775 453920 rec. 4260451 186363 1548905 926092 619747 3281107 647602 280055 4208764 51687 453930 firms 4050 462 1429 984 720 3595 416 27 4038 12 3984 416 1437 952 744 3549 393 27 3969 15 3844 378 1446 935 679 3438 365 25 3828 16 3757 362 1611 867 622 3462 267 14 3743 14 3755 312 1707 914 549 3482 237 21 3740 15 453930 estab. 5724 464 1440 1019 889 3812 809 319 4940 784 5951 418 1449 990 905 3762 743 354 4859 1092 6156 385 1455 975 839 3654 643 367 4664 1492 5865 382 1632 913 762 3689 545 277 4511 1354 5611 312 1716 960 710 3698 588 104 4390 1221 453930 empl. 43234 0 3326 6540 9468 19334 13485 3330 36149 7085 46195 0 3300 6336 9913 19549 13120 3923 36592 9603 43101 0 3306 6249 8972 18527 11448 3142 33117 9984 35519 0 3651 5719 8151 17521 8257 1609 27387 8132 32738 0 3894 6011 7275 17180 7194 1376 25750 6988 453930 ann. pay. 1342157 22497 84991 173792 265335 546615 409179 94670 1050464 291693 1370487 18108 81556 166944 283850 550458 372519 95399 1018376 352111 1270613 13765 77227 153792 240183 484967 306908 72689 864564 406049 1043750 16212 91283 145570 228033 481098 239541 32077 752716 291034 925770 9086 89581 157291 205195 461153 198783 34595 694531 231239 453930 rec. 9604491 180810 1331028 1675959 1943421 5131218 1733432 317434 7182084 2422407 453991 firms 3408 536 1749 656 252 3193 158 40 3391 17 3535 611 1821 645 254 3331 147 40 3518 17 3891 697 1997 661 314 3669 158 47 3874 17 3777 575 2035 630 296 3536 175 48 3759 18 3674 523 2016 607 282 3428 180 47 3655 19 453991 estab. 4525 541 1761 687 336 3325 439 274 4038 487 4775 615 1833 675 332 3455 406 281 4142 633 5483 706 2006 692 395 3799 380 305 4484 999 5313 576 2045 657 359 3637 465 289 4391 922 5577 547 2026 659 454 3686 718 366 4770 807 453991 empl. 18506 0 3803 4235 3179 11217 4034 1788 17039 1467 19178 0 3920 4145 3234 11299 4157 1708 17164 2014 22357 0 4169 4244 4001 12414 4492 2231 19137 3220 23713 0 4306 4089 3760 12155 5134 2875 20164 3549 22638 0 4357 3902 3573 11832 5242 2697 19771 2867 453991 ann. pay. 269549 8402 52674 60539 44874 166489 58725 23124 248338 21211 293488 11065 54588 61181 47918 174752 63524 21046 259322 34166 352333 16246 62493 65086 60025 203850 72602 28693 305145 47188 357986 9122 66434 62005 61399 198960 82150 31281 312391 45595 362859 10904 65128 62201 55150 193383 84771 41488 319642 43217 453991 rec. 6129092 234157 1322852 939288 843250 3339547 1350509 646747 5336803 792289 453998 firms 17092 3015 8763 3056 1427 16261 686 95 17042 50 17335 2768 9120 3144 1456 16488 709 93 17290 45 18084 2855 9433 3301 1574 17163 776 92 18031 53 17799 2491 9457 3333 1581 16862 797 91 17750 49 15517 2183 7936 2990 1533 14642 736 93 15471 46 453998 estab. 19678 3022 8790 3177 1706 16695 1176 430 18301 1377 19969 2773 9146 3254 1706 16879 1186 486 18551 1418 20602 2859 9468 3412 1786 17525 1218 405 19148 1454 20255 2493 9489 3440 1793 17215 1234 410 18859 1396 17850 2192 7948 3119 1807 15066 1183 386 16635 1215 453998 empl. 96313 0 18437 19790 17975 56202 18950 6941 82093 14220 101588 0 19096 20306 18645 58047 20847 7745 86639 14949 108337 0 19958 21349 20335 61642 23205 7852 92699 15638 107870 0 19858 21455 20404 61717 24108 7625 93450 14420 97543 0 17309 19418 19556 56283 21351 7927 85561 11982 453998 ann. pay. 1795168 66515 308800 333080 337914 1046309 355566 122300 1524175 270993 1986706 67197 339323 363504 366030 1136054 418286 146258 1700598 286108 2199230 69188 363715 398999 401657 1233559 483846 156643 1874048 325182 2292965 56466 379591 409371 422131 1267559 535408 164967 1967934 325031 2267610 64587 338516 400074 436617 1239794 517139 193159 1950092 317518 453998 rec. 12669946 493497 2553761 2237422 2266339 7551019 2448955 1104996 11104970 1564976 454110 firms 8956 961 4331 1447 946 7685 816 238 8739 217 9646 1845 4121 1506 886 8358 809 249 9416 230 10628 1780 4545 1741 1075 9141 952 274 10367 261 9900 1280 4451 1631 1048 8410 943 260 9613 287 10800 1747 5083 1602 1007 9439 849 232 10520 280 454110 estab. 9792 961 4333 1455 968 7717 929 301 8947 845 10634 1852 4127 1517 900 8396 918 326 9640 994 11802 1784 4547 1749 1095 9175 1060 346 10581 1221 11086 1285 4455 1642 1075 8457 1042 325 9824 1262 11923 1747 5086 1627 1029 9489 955 337 10781 1142 454110 empl. 229954 0 8900 9473 12476 30849 29542 34594 94985 134969 255296 0 8583 9858 11737 30178 29449 35858 95485 159811 276698 0 9403 11446 14342 35191 35070 42672 112933 163765 280912 0 9306 10625 14001 33932 34580 37593 106105 174807 250003 0 10451 10426 13418 34295 30608 32997 97900 152103 454110 ann. pay. 7267653 44512 200271 234561 327357 806701 826889 1012985 2646575 4621078 8854120 194124 208232 267357 339592 1009305 977591 1063665 3050561 5803559 10433028 135445 271581 364576 500592 1272194 1224304 1566411 4062909 6370119 10421271 70418 241110 299448 439903 1050879 1199469 1266222 3516570 6904701 9526329 76162 277679 305946 446151 1105938 1153277 1050575 3309790 6216539 454110 rec. 114234620 815725 2423739 2307951 3370018 8917433 7849758 9873541 26640732 87593888 454210 firms 5791 696 3178 851 520 5245 420 90 5755 36 5651 645 3109 817 556 5127 397 92 5616 35 5555 641 3058 816 516 5031 406 85 5522 33 5397 566 3059 761 521 4907 376 85 5368 29 5278 582 3053 704 479 4818 353 80 5251 27 454210 estab. 6389 698 3178 854 531 5261 476 231 5968 421 6251 645 3109 819 569 5142 449 232 5823 428 6155 641 3058 818 530 5047 456 209 5712 443 6004 566 3059 764 529 4918 427 214 5559 445 5860 583 3054 704 487 4828 436 220 5484 376 454210 empl. 66330 0 6119 5599 6982 18700 15478 13587 47765 18565 66614 0 5936 5322 7490 18748 14694 13311 46753 19861 66657 0 5843 5329 6868 18040 14978 12815 45833 20824 64266 0 5944 5011 6986 17941 13266 13032 44239 20027 57940 0 5984 4669 6388 17041 13017 11217 41275 16665 454210 ann. pay. 1428097 18178 108740 108329 148777 384024 348636 311846 1044506 383591 1479907 14637 105413 103427 163507 386984 345945 302777 1035706 444201 1510238 12890 105211 109176 158785 386062 353444 295609 1035115 475123 1500955 10528 108888 105568 159093 384077 336598 313376 1034051 466904 1350338 13858 107329 101422 146047 368656 324221 291177 984054 366284 454210 rec. 6767287 109338 769706 582685 726826 2188555 1521420 1200322 4910297 1856990 454311 firms 4889 187 1886 1190 794 4057 671 131 4859 30 4730 175 1792 1164 777 3908 660 125 4693 37 4587 168 1752 1114 767 3801 621 129 4551 36 4457 178 1662 1101 744 3685 612 129 4426 31 4349 169 1641 1076 720 3606 595 115 4316 33 454311 estab. 5578 187 1886 1202 815 4090 859 310 5259 319 5422 175 1793 1177 802 3947 828 302 5077 345 5248 168 1754 1122 791 3835 790 300 4925 323 5110 179 1664 1112 775 3730 750 314 4794 316 4977 169 1643 1086 750 3648 756 241 4645 332 454311 empl. 55588 0 4547 7766 10035 22348 17130 7605 47083 8505 55196 0 4323 7592 9719 21634 17038 7406 46078 9118 53936 0 4191 7269 9710 21170 16896 6985 45051 8885 53761 0 3977 7100 9515 20592 16774 7507 44873 8888 51746 0 3903 7024 9135 20062 16025 5936 42023 9723 454311 ann. pay. 1618847 5273 104167 196255 286740 592435 517816 240845 1351096 267751 1665036 6360 100378 193278 290286 590302 527771 243387 1361460 303576 1722812 7076 100705 196731 299766 604278 543106 249494 1396878 325934 1818621 6542 103135 202947 310769 623393 572006 277360 1472759 345862 1782896 5797 95355 198442 300577 600171 565546 226525 1392242 390654 454311 rec. 15087983 86182 1114713 1741336 2378016 5320247 4790900 2277952 12389099 2698884 454312 firms 2931 146 928 803 558 2435 381 70 2886 45 2837 118 914 779 532 2343 381 69 2793 44 2720 127 871 737 508 2243 367 65 2675 45 2653 93 848 718 530 2189 359 61 2609 44 2467 84 772 650 496 2002 362 59 2423 44 454312 estab. 6630 146 931 833 645 2555 809 515 3879 2751 6497 118 930 801 609 2458 800 508 3766 2731 6274 135 875 769 577 2356 758 544 3658 2616 6210 100 850 733 632 2315 742 552 3609 2601 5956 87 772 669 610 2138 748 511 3397 2559 454312 empl. 49543 0 2260 5325 7174 14759 9943 [h] [k] [j] 51023 0 2231 5227 6821 14279 10269 5061 29609 21414 51382 0 2203 4917 6606 13726 [j] 5227 [k] [j] 50593 0 2110 4755 6871 13736 [j] 5413 [k] [j] 48666 0 1939 4342 6308 12589 [j] [h] 27404 21262 454312 ann. pay. 1297604 5235 45854 120794 188928 360811 268459 (D) (D) (D) 1314693 3544 44426 122008 186281 356259 280465 138398 775122 539571 1394415 6244 45462 118623 178532 348861 (D) 141673 (D) (D) 1465679 5910 46522 123396 198807 374635 (D) 159232 (D) (D) 1466621 5632 42478 114807 188103 351020 (D) (D) 799774 666847 454312 rec. 9803181 58075 400661 771249 1186967 2416952 (D) (D) 5493636 4309545 454319 firms 304 50 199 36 12 297 5 1 303 1 283 44 176 44 11 275 5 0 280 3 297 50 186 43 10 289 5 0 294 3 278 42 173 42 15 272 3 0 275 3 380 48 221 69 31 369 6 2 377 3 454319 estab. 304 50 199 36 12 297 5 1 303 1 285 44 176 44 11 275 5 0 280 5 298 50 186 43 10 289 5 0 294 4 280 42 173 42 15 272 3 0 275 5 384 48 221 69 33 371 6 2 379 5 454319 empl. 913 0 369 219 141 729 178 [a] [f] [a] 1015 0 312 265 152 729 220 0 949 66 1042 0 358 280 112 750 [c] 0 [f] [c] 997 0 332 265 189 786 [c] 0 [f] [b] 1760 0 445 438 398 1281 [c] [c] 1647 113 454319 ann. pay. 17595 1249 5624 3520 1869 12262 5117 (D) (D) (D) 19492 1012 5165 4457 3111 13745 3616 0 17361 2131 26039 1692 6434 4542 2377 15045 (D) 0 (D) (D) 27390 1051 5975 5483 5083 17592 (D) 0 (D) (D) 49379 806 14809 11029 9189 35833 (D) (D) 44399 4980 454319 rec. 1072976 14682 435590 131919 190486 772677 (D) (D) 946295 126681 454390 firms 12857 1822 7076 1884 1088 11870 790 115 12775 82 12705 2091 6774 1816 1053 11734 784 119 12637 68 13152 2314 6937 1898 1011 12160 803 115 13078 74 12477 1967 6736 1801 1002 11506 787 115 12408 69 13936 2657 7440 1862 1018 12977 764 125 13866 70 454390 estab. 14655 1825 7096 1906 1208 12035 998 233 13266 1389 14477 2098 6787 1844 1132 11861 960 233 13054 1423 14973 2337 6949 1922 1085 12293 1005 206 13504 1469 14232 1968 6749 1832 1078 11627 984 202 12813 1419 15635 2657 7447 1884 1078 13066 1005 261 14332 1303 454390 empl. 113103 0 13593 12270 14135 39998 25363 11729 77090 36013 110901 0 12871 11808 13681 38360 25506 11880 75746 35155 116816 0 13286 12247 13182 38715 26706 11295 76716 40100 115750 0 12782 11684 13170 37636 26332 14101 78069 37681 113758 0 14269 12249 13306 39824 25081 13962 78867 34891 454390 ann. pay. 2598163 41927 262225 255126 317685 876963 588273 308640 1773876 824287 2755774 68254 267668 273673 315285 924880 598457 358426 1881763 874011 2988580 76524 284606 280160 344543 985833 668852 332229 1986914 1001666 3082644 60770 282240 267889 346538 957437 684468 377363 2019268 1063376 3171154 69245 310047 294791 364284 1038367 679734 412399 2130500 1040654 454390 rec. 17948206 693991 2541207 1745517 1763948 6744663 3353746 2246080 12344489 5603717 481111 firms 518 117 141 44 28 330 80 57 467 51 499 90 150 37 40 317 73 56 446 53 500 87 149 51 30 317 78 53 448 52 460 54 152 44 37 287 68 54 409 51 450 52 162 42 30 286 66 47 399 51 481111 estab. 2827 118 141 44 30 333 173 360 866 1961 2698 90 150 37 44 321 156 353 830 1868 2740 91 149 52 33 325 168 352 845 1895 2825 54 152 44 45 295 172 363 830 1995 2739 68 162 43 41 314 165 364 843 1896 481111 empl. 490036 0 272 292 360 924 3590 10064 14578 475458 506076 0 304 250 532 1086 3270 10245 14601 491475 536156 0 273 340 406 1019 3511 10536 15066 521090 533467 0 297 290 492 1079 3146 10637 14862 518605 486666 0 307 281 402 990 2913 8306 12209 474457 481111 ann. pay. 19985463 5420 9950 9962 9013 34345 112602 331406 478353 19507110 21434388 4153 9951 8058 16842 39004 110326 365591 514921 20919467 23470711 5009 10578 10517 11743 37847 120470 394958 553275 22917436 25672091 3073 10041 9926 13512 36552 112351 381352 530255 25141836 24889786 10359 11597 10079 15611 47646 112467 294012 454125 24435661 481111 rec. 93724262 247376 95947 62857 122527 528707 652144 2124745 3305596 90418666 481112 firms 293 46 68 48 36 198 42 26 266 27 291 28 75 43 36 182 49 31 262 29 308 28 84 51 38 201 42 35 278 30 292 35 83 44 28 190 42 34 266 26 330 41 113 42 37 233 36 35 304 26 481112 estab. 550 46 68 49 39 202 60 60 322 228 539 28 75 44 38 185 74 79 338 201 584 28 84 57 45 214 54 89 357 227 506 35 84 49 31 199 52 90 341 165 558 41 114 42 45 242 50 107 399 159 481112 empl. 30720 0 141 323 477 941 1868 3662 6471 24249 33918 0 172 286 468 926 1782 3817 6525 27393 34746 0 184 337 529 1050 1532 3930 6512 28234 28636 0 178 283 388 849 1493 3304 5646 22990 26949 0 202 279 479 960 1480 3457 5897 21052 481112 ann. pay. 931895 1627 4369 11066 15682 32744 55383 140695 228822 703073 1071772 1254 6602 9599 14607 32062 53749 158567 244378 827394 1013801 1910 6457 11827 15176 35370 45299 152319 232988 780813 917637 1837 6454 10228 12831 31350 51089 131604 214043 703594 849330 2707 6872 10217 15430 35226 51260 155022 241508 607822 481112 rec. 4727221 39142 68569 41449 77922 227082 267210 833488 1327780 3399441 481211 firms 1242 135 571 180 127 1013 139 30 1182 60 1279 184 557 165 132 1038 153 30 1221 58 1346 204 573 179 146 1102 157 32 1291 55 1329 177 577 199 127 1080 159 33 1272 57 1344 181 589 187 107 1064 173 42 1279 65 481211 estab. 1346 135 571 181 135 1022 174 36 1232 114 1372 184 557 166 139 1046 189 37 1272 100 1445 204 574 180 152 1110 194 42 1346 99 1425 177 577 200 132 1086 196 43 1325 100 1466 181 590 187 113 1071 219 57 1347 119 481211 empl. 17836 [a] 1118 [g] 1652 3937 4634 2058 10629 7207 18663 0 1041 1083 1708 3832 5437 2506 11775 6888 20329 0 1143 1159 1965 4267 5680 2274 12221 8108 21115 0 1146 1296 1757 4199 5538 3817 13554 7561 22736 0 1179 1177 1399 3755 5921 3711 13387 9349 481211 ann. pay. 655564 (D) 44173 (D) 57055 144858 155188 78282 378328 277236 763293 11277 44731 40247 57565 153820 193846 87681 435347 327946 859057 14320 48403 41129 71104 174956 205382 99398 479736 379321 944512 11679 49886 49774 67617 178956 213462 166260 558678 385834 1155289 40613 58893 49823 57238 206567 247703 171020 625290 529999 481211 rec. 6871278 208620 370477 241551 293361 1114009 1265075 853823 3232907 3638371 481212 firms 159 20 44 23 20 107 33 11 151 8 172 31 48 20 16 115 33 14 162 10 190 43 52 22 21 138 27 13 178 12 275 56 90 42 22 210 37 18 265 10 305 57 113 39 30 239 41 13 293 12 481212 estab. 183 20 44 23 20 107 35 24 166 17 225 31 48 20 16 115 35 31 181 44 217 43 52 22 21 138 28 30 196 21 304 56 90 42 22 210 38 35 283 21 342 57 113 39 32 241 45 35 321 21 481212 empl. 16666 [a] 89 [c] 271 505 1256 1274 3035 13631 19236 0 98 137 215 450 1378 1752 3580 15656 19592 0 112 140 317 569 1215 1808 3592 16000 21481 0 184 269 307 760 1543 2913 5216 16265 7890 0 210 246 406 862 1682 1734 4278 3612 481212 ann. pay. 838729 (D) 4060 (D) 8730 20465 47599 44703 112767 725962 952642 941 3355 3847 6785 14928 51584 61468 127980 824662 1022543 2896 4393 3708 11020 22017 41530 61077 124624 897919 1061660 3617 6634 8986 9733 28970 47209 122722 198901 862759 394918 4668 8584 7821 15421 36494 60783 72136 169413 225505 481212 rec. 1633654 20672 52457 59737 84811 217677 269748 296308 783733 849921 481219 firms 416 60 202 70 32 364 24 19 407 9 424 81 190 64 40 375 28 14 417 7 420 81 196 48 40 365 36 12 413 7 371 54 176 54 43 327 27 11 365 6 390 66 184 41 52 343 27 12 382 8 481219 estab. 442 60 202 70 33 365 29 36 430 12 451 81 191 64 40 376 38 27 441 10 443 81 197 48 40 366 49 18 433 10 391 54 176 55 43 328 36 18 382 9 407 66 184 41 53 344 28 24 396 11 481219 empl. 4768 0 399 431 395 1225 661 1417 3303 1465 4945 0 373 417 534 1324 925 1344 3593 1352 4782 0 362 291 521 1174 1258 1354 3786 996 4287 0 324 343 578 1245 1043 1080 3368 919 4017 0 348 257 663 1268 859 824 2951 1066 481219 ann. pay. 179567 2304 12157 10712 11813 36986 22659 56459 116104 63463 192262 3067 11008 12608 15793 42476 35261 56176 133913 58349 203175 4347 12613 8849 18187 43996 46927 65092 156015 47160 184771 3628 11222 12225 20808 47883 42926 48313 139122 45649 181543 2026 11944 10466 27007 51443 37879 34963 124285 57258 481219 rec. 743236 17913 62114 41752 118050 239829 171084 130542 541455 201781 483111 firms 223 21 70 28 27 146 32 22 200 23 248 39 81 26 28 174 34 18 226 22 241 31 89 22 24 166 33 20 219 22 223 26 84 29 19 158 25 17 200 23 229 34 84 20 18 156 33 17 206 23 483111 estab. 513 21 70 29 28 148 38 120 306 207 535 39 81 27 29 176 48 99 323 212 485 31 89 23 25 168 39 94 301 184 456 26 84 30 20 160 31 43 234 222 471 34 85 20 25 164 44 56 264 207 483111 empl. 19754 0 142 185 390 717 1196 2739 4652 15102 14784 0 161 171 393 725 1298 2311 4334 10450 13014 0 183 145 329 657 1137 2611 4405 8609 11964 0 179 205 293 677 797 2191 3665 8299 12916 0 169 130 242 541 992 2084 3617 9299 483111 ann. pay. 960259 5177 7939 8579 23986 45681 55799 155499 256979 703280 714701 1359 8087 9405 22495 41346 71031 111584 223961 490740 650148 1030 6903 6219 19635 33787 61733 134979 230499 419649 697266 3516 8054 10437 13248 35255 48408 106257 189920 507346 784149 2576 7364 5828 14206 29974 98545 112689 241208 542941 483111 rec. 6431377 22928 78642 68066 275135 444771 777001 857693 2079465 4351912 483112 firms 67 9 20 8 6 43 10 3 56 11 79 17 24 10 2 53 10 6 69 10 86 21 25 8 9 63 8 4 75 11 90 23 28 7 8 66 11 3 80 10 94 18 36 10 7 71 9 5 85 9 483112 estab. 71 9 20 8 6 43 10 3 56 15 83 17 24 10 2 53 10 6 69 14 90 21 25 8 9 63 8 4 75 15 95 23 28 7 8 66 11 3 80 15 98 18 36 10 7 71 10 5 86 12 483112 empl. 10975 0 [b] [b] [b] [c] 505 520 [g] [i] 12491 0 39 71 [b] [c] 399 1309 [g] [j] 12929 0 [b] 52 121 [c] 422 947 [g] [j] 13101 [a] 62 49 98 [c] 444 626 [g] [j] 10858 [a] 75 66 89 [c] 259 693 [g] [i] 483112 ann. pay. 376332 10098 (D) (D) (D) (D) 21372 15974 (D) (D) 439587 3501 1550 3810 (D) (D) 12776 63178 (D) (D) 479157 4608 (D) 3752 3209 (D) 12801 45727 (D) (D) 544082 (D) 1930 1803 2044 (D) 15502 28196 (D) (D) 417515 (D) 2336 2263 2361 (D) 11649 28276 (D) (D) 483112 rec. 6938467 (D) 27206 9188 9327 (D) 127029 280610 (D) (D) 483113 firms 437 36 119 58 71 284 86 38 408 29 436 42 127 65 64 298 80 29 407 29 425 39 120 69 66 294 73 30 397 28 410 46 114 49 64 273 77 30 380 30 377 29 105 64 44 242 75 32 349 28 483113 estab. 559 36 119 58 72 285 98 84 467 92 554 42 127 65 68 302 87 73 462 92 546 39 120 70 66 295 83 71 449 97 544 53 114 49 65 281 85 71 437 107 520 29 105 64 44 242 92 89 423 97 483113 empl. 22035 0 276 393 936 1605 3513 5809 10927 11108 23256 0 262 443 860 1565 3361 5468 10394 12862 20240 0 254 460 872 1586 2993 5916 10495 9745 24126 0 240 337 869 1446 3139 6755 11340 12786 20149 0 227 425 605 1257 3148 5094 9499 10650 483113 ann. pay. 993491 5726 9967 11800 27579 55072 138069 251394 444535 548956 1095499 2533 9538 14669 27822 54562 140536 238961 434059 661440 1027497 7735 8445 15449 26744 58373 148636 294518 501527 525970 1188800 2785 8058 9483 34134 54460 153001 345166 552627 636173 1096771 1531 7824 15443 23291 48089 159868 283124 491081 605690 483113 rec. 4920729 7633 40652 59731 77129 185145 592717 1322309 2100171 2820558 483114 firms 120 19 42 20 14 95 15 8 118 2 128 31 37 20 17 105 16 6 127 1 125 24 31 27 15 97 19 8 124 1 124 21 41 21 16 99 17 7 123 1 124 24 40 22 11 97 18 8 123 1 483114 estab. 129 19 42 20 15 96 17 14 127 2 135 31 37 20 18 106 19 9 134 1 133 24 31 27 15 97 21 14 132 1 132 21 41 21 16 99 19 13 131 1 133 24 40 22 11 97 20 15 132 1 483114 empl. 1916 0 [b] [c] [c] [e] 456 962 [g] [b] 2001 0 69 129 [c] [e] 639 933 [g] [a] 1655 0 [b] 172 194 [e] 626 592 [g] [a] 1526 [a] 82 141 200 [e] 603 496 [g] [a] 1600 [a] 86 144 139 [e] 648 579 [g] [a] 483114 ann. pay. 53222 802 (D) (D) (D) (D) 13049 23415 (D) (D) 62621 2872 3352 4219 (D) (D) 18346 27449 (D) (D) 57349 2094 (D) 5654 6353 (D) 19105 21603 (D) (D) 60983 (D) 4362 5569 6746 (D) 19818 22972 (D) (D) 61911 (D) 4620 5159 4238 (D) 22231 24767 (D) (D) 483114 rec. 209474 (D) 15701 15922 24225 (D) 57220 92726 (D) (D) 483211 firms 351 40 100 56 47 243 52 30 325 26 367 43 101 52 49 245 67 26 338 29 368 39 110 58 47 254 59 30 343 25 362 35 108 60 45 248 62 26 336 26 386 59 115 53 45 272 59 28 359 27 483211 estab. 387 40 100 56 47 243 55 37 335 52 396 43 101 52 49 245 69 33 347 49 402 39 110 58 47 254 60 38 352 50 395 35 108 60 45 248 63 34 345 50 419 59 115 53 45 272 60 36 368 51 483211 empl. 15050 [a] 224 367 662 [g] 1952 4110 [i] [i] 15914 0 235 337 622 1194 2661 4417 8272 7642 16277 [a] 219 404 667 [g] 2522 4995 [i] [i] 15994 [a] 220 399 593 [g] 2576 4569 [i] [i] 15117 [a] 241 369 604 [g] 2337 4479 [i] [i] 483211 ann. pay. 622492 (D) 8086 11822 20803 (D) 66104 166321 (D) (D) 626391 2760 8256 11917 19930 42863 96724 175155 314742 311649 673920 (D) 8623 15625 22061 (D) 84312 213806 (D) (D) 729295 (D) 9620 17169 24158 (D) 102137 211853 (D) (D) 681179 (D) 13311 16026 20367 (D) 88101 197459 (D) (D) 483211 rec. 3184065 (D) 91450 102660 94887 (D) 340849 826336 (D) (D) 483212 firms 244 52 94 41 24 211 24 7 242 2 239 60 92 29 22 203 27 5 235 4 234 51 84 34 23 192 32 7 231 3 237 43 92 33 24 192 36 6 234 3 245 63 85 30 23 201 31 10 242 3 483212 estab. 252 52 94 41 24 211 27 12 250 2 247 60 92 29 22 203 27 8 238 9 244 51 84 34 23 192 32 17 241 3 249 43 92 33 24 192 36 18 246 3 261 63 85 30 23 201 35 22 258 3 483212 empl. 3024 [a] 204 266 349 [f] 947 1101 [h] [c] 3398 0 194 183 305 682 974 550 2206 1192 3459 [a] 178 218 335 [f] 1131 833 [h] [f] 3751 [a] 193 210 340 [f] 1331 910 [h] [f] 3628 [a] 179 192 315 [f] 1099 1229 [h] [f] 483212 ann. pay. 97955 (D) 5978 5532 9051 (D) 29901 42156 (D) (D) 100711 2800 7087 5010 8480 23377 27580 19772 70729 29982 115102 (D) 6307 5592 8067 (D) 34852 33175 (D) (D) 121635 (D) 6547 6019 8502 (D) 39162 33120 (D) (D) 123177 (D) 4868 6332 8138 (D) 36159 41952 (D) (D) 483212 rec. 404584 (D) 18118 38175 19796 (D) 81790 163615 (D) (D) 484110 firms 16802 3548 7976 2244 1531 15299 1235 195 16729 73 17955 3488 8944 2417 1533 16382 1314 184 17880 75 19454 3840 9761 2574 1656 17831 1346 199 19376 78 19922 3544 10506 2604 1690 18344 1311 198 19853 69 20058 4222 9900 2523 1714 18359 1401 210 19970 88 484110 estab. 17532 3548 7980 2251 1550 15329 1396 385 17110 422 18737 3488 8946 2424 1557 16415 1475 416 18306 431 20329 3844 9764 2579 1683 17870 1477 365 19712 617 20726 3546 10509 2609 1711 18375 1424 427 20226 500 21172 4227 9903 2527 1743 18400 1656 506 20562 610 484110 empl. 136007 0 14976 14826 20623 50425 44871 21598 116894 19113 141575 0 16573 15897 20657 53127 47878 20622 121627 19948 153280 0 17974 16794 22352 57120 49416 23290 129826 23454 149788 0 19305 17060 22804 59169 48059 22209 129437 20351 156098 0 18374 16593 23053 58020 50814 24169 133003 23095 484110 ann. pay. 3866921 88552 330404 355791 536122 1310869 1270087 660970 3241926 624995 4087463 102050 370157 395089 551002 1418298 1394320 654269 3466887 620576 4529759 99482 402131 422384 602874 1526871 1484231 704533 3715635 814124 4434046 103461 435550 437989 614720 1591720 1439713 693963 3725396 708650 4903477 112142 423224 444662 658088 1638116 1613229 817454 4068799 834678 484110 rec. 17614449 641693 2220660 1951856 2639393 7453602 5399474 2409443 15262519 2351930 484121 firms 22897 4564 10439 2611 1954 19568 2501 563 22632 265 24185 4438 11683 2731 1985 20837 2503 570 23910 275 25439 4585 12576 2884 2026 22071 2509 580 25160 279 25148 4089 12978 2823 2010 21900 2406 574 24880 268 24481 3445 13338 2661 1958 21402 2271 544 24217 264 484121 estab. 25994 4566 10444 2628 1985 19623 2821 1027 23471 2523 27311 4448 11689 2748 2019 20904 2796 1026 24726 2585 28798 4585 12580 2893 2060 22118 2773 1043 25934 2864 29073 4092 12983 2830 2032 21937 2644 1080 25661 3412 28882 3446 13341 2673 1987 21447 2561 1070 25078 3804 484121 empl. 437964 0 18988 17233 26464 62685 99394 81686 243765 194199 472013 0 21119 18064 26906 66089 100550 84969 251608 220405 498570 0 22602 19025 27418 69045 100273 87780 257098 241472 499153 0 23114 18515 27238 68867 96116 88415 253398 245755 472484 0 24108 17569 26753 68430 91723 83720 243873 228611 484121 ann. pay. 13630082 118188 400748 410274 683940 1613150 2887978 2527522 7028650 6601432 14668998 186164 453724 441164 722123 1803175 3015831 2704997 7524003 7144995 16166594 137914 485706 467132 731285 1822037 3033604 2870164 7725805 8440789 16011499 129113 508874 462298 746310 1846595 2934260 2973304 7754159 8257340 15450337 147223 544547 465779 751497 1909046 2870001 2852782 7631829 7818508 484121 rec. 64733762 776248 3373262 2494214 3695429 10339153 12451540 10710354 33501047 31232715 484122 firms 2681 544 1010 292 225 2071 369 159 2599 82 2845 521 1200 303 227 2251 364 151 2766 79 3046 561 1355 324 218 2458 356 152 2966 80 2898 428 1368 314 232 2342 344 138 2824 74 3031 510 1454 344 199 2507 323 123 2953 78 484122 estab. 6369 544 1010 293 230 2077 480 548 3105 3264 6676 521 1200 303 232 2256 449 568 3273 3403 6747 562 1355 324 225 2466 421 495 3382 3365 6579 429 1368 315 250 2362 419 456 3237 3342 6692 532 1455 344 206 2537 374 435 3346 3346 484122 empl. 266272 0 1845 1927 3043 6815 15010 25722 47547 218725 284021 0 2178 1994 3146 7318 15216 24173 46707 237314 270890 0 2455 2143 3013 7611 14620 24648 46879 224011 266028 0 2391 2070 3161 7622 14225 23571 45418 220610 253454 0 2679 2281 2701 7661 12697 18837 39195 214259 484122 ann. pay. 9752747 13211 39716 49068 85563 187558 461738 831350 1480646 8272101 10586975 15028 46423 48258 87989 197698 491853 830720 1520271 9066704 10917624 14248 57354 60330 81653 213585 478729 857308 1549622 9368002 10778345 15156 55616 53530 83943 208245 461601 828092 1497938 9280407 10512913 18782 61790 58895 81098 220565 439486 691188 1351239 9161674 484122 rec. 26831409 86967 341829 256629 298310 983735 1447173 2201634 4632542 22198867 484210 firms 8260 860 3257 1402 1284 6803 1273 145 8221 39 8232 879 3225 1358 1298 6760 1274 158 8192 40 8226 908 3208 1381 1256 6753 1276 159 8188 38 7987 883 3118 1296 1223 6520 1262 166 7948 39 7768 850 3065 1286 1231 6432 1161 143 7736 32 484210 estab. 9278 860 3260 1409 1316 6845 1527 456 8828 450 9219 880 3230 1361 1331 6802 1515 462 8779 440 9147 917 3213 1395 1280 6805 1508 451 8764 383 8913 886 3125 1301 1253 6565 1489 456 8510 403 8781 851 3069 1295 1263 6478 1427 446 8351 430 484210 empl. 124055 0 6708 9377 17590 33675 47638 23107 104420 19635 126960 0 6616 9106 17822 33544 48065 24133 105742 21218 128905 0 6569 9222 17143 32934 47587 24985 105506 23399 128222 0 6537 8628 16577 31742 47277 26201 105220 23002 114558 0 6461 8581 16921 31963 42930 22176 97069 17489 484210 ann. pay. 3273377 30783 127175 178906 368855 705719 1209143 711886 2626748 646629 3453693 33337 134218 181498 386710 735763 1255053 731258 2722074 731619 3661367 36685 138498 189451 394198 758832 1323446 798641 2880919 780448 3657921 34938 146575 178648 381043 741204 1312720 820108 2874032 783889 3314099 34221 137648 181872 405503 759244 1226194 711912 2697350 616749 484210 rec. 13548866 157863 625783 587820 1194574 2566040 3693881 2588124 8848045 4700821 484220 firms 34020 5035 19408 5035 2592 32070 1651 193 33914 106 32715 4302 18701 5043 2694 30740 1693 169 32602 113 31771 4419 17601 4928 2749 29697 1792 171 31660 111 31420 4336 17640 4724 2674 29374 1763 176 31313 107 32519 5337 17931 4708 2541 30517 1718 166 32401 118 484220 estab. 34732 5036 19413 5052 2617 32118 1784 354 34256 476 33459 4303 18703 5051 2722 30779 1831 313 32923 536 32493 4420 17604 4935 2770 29729 1928 264 31921 572 32099 4339 17641 4729 2700 29409 1876 278 31563 536 33326 5337 17933 4716 2559 30545 1912 323 32780 546 484220 empl. 194961 0 37426 32549 34288 104263 56124 19132 179519 15442 197529 0 36076 32635 35913 104624 58853 16703 180180 17349 200437 0 34387 31962 36546 102895 62141 17761 182797 17640 196163 0 34041 30720 35538 100299 61109 18251 179659 16504 189612 0 34802 30525 33564 98891 58397 16083 173371 16241 484220 ann. pay. 5181558 129279 816113 741782 864256 2551430 1575378 566943 4693751 487807 5457150 112574 813187 774024 937654 2637439 1695312 501003 4833754 623396 5692418 117892 779859 768597 958947 2625295 1834844 566028 5026167 666251 5800444 115581 814102 783966 988291 2701940 1874070 599161 5175171 625273 5650453 161236 830819 799257 936483 2727795 1812015 531011 5070821 579632 484220 rec. 23396513 911726 4431246 3518858 3689370 12551200 6672297 1729426 20952923 2443590 484230 firms 12671 1458 6420 1907 1328 11113 1175 250 12538 133 11997 1178 6100 1902 1308 10488 1135 229 11852 145 11561 1264 5686 1789 1296 10035 1169 218 11422 139 11103 1135 5469 1728 1280 9612 1132 223 10967 136 11239 1300 5747 1622 1172 9841 1042 222 11105 134 484230 estab. 14089 1458 6423 1914 1346 11141 1369 615 13125 964 13347 1178 6101 1911 1321 10511 1316 577 12404 943 12902 1266 5692 1796 1305 10059 1323 574 11956 946 12424 1135 5473 1735 1297 9640 1282 536 11458 966 12455 1300 5750 1626 1196 9872 1213 537 11622 833 484230 empl. 167899 0 12554 12497 17841 42892 42901 30239 116032 51867 162080 0 11828 12435 17469 41732 41253 27498 110483 51597 163712 0 10971 11817 17387 40175 42924 26586 109685 54027 158511 0 10357 11429 17167 38953 41807 28007 108767 49744 147136 0 10938 10756 15748 37442 38360 26186 101988 45148 484230 ann. pay. 5313952 41919 271065 307474 472932 1093390 1287823 987069 3368282 1945670 5371889 36450 264818 313484 493279 1108031 1303876 956830 3368737 2003152 5483716 32995 248152 298113 488835 1068095 1388112 941418 3397625 2086091 5398694 32737 246704 293363 501516 1074320 1361835 1013423 3449578 1949116 5236111 54942 257497 288486 464055 1064980 1306159 951762 3322901 1913210 484230 rec. 20597009 300630 1604255 1406200 2153298 5464383 5108683 3446444 14019510 6577499 485111 firms 35 3 16 3 2 24 4 4 32 3 35 2 13 5 3 23 5 2 30 5 37 5 14 0 5 24 6 2 32 5 55 6 20 9 4 39 9 2 50 5 65 9 22 8 6 45 11 4 60 5 485111 estab. 45 3 16 3 2 24 4 11 39 6 163 2 13 5 3 23 6 3 32 131 152 5 14 0 5 24 7 3 34 118 164 6 20 9 4 39 16 3 58 106 151 9 22 8 6 45 18 7 70 81 485111 empl. 1154 [a] [b] [b] [a] [b] [c] [f] [f] [e] 6108 [a] [b] [b] [b] [b] [c] [e] [f] [i] 6208 [a] [b] 0 [b] [b] [c] [e] [f] [i] 5523 [a] [b] [b] [b] [c] [e] [e] [f] [h] 5216 [a] [b] [b] [b] [c] [e] [f] [g] [h] 485111 ann. pay. 32435 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 144724 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 146894 (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 137375 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 129305 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 485111 rec. 304362 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 485112 firms 17 4 1 3 3 11 2 1 14 3 12 1 0 3 3 7 1 1 9 3 14 0 1 5 2 8 2 2 12 2 14 0 1 4 3 8 2 2 12 2 15 2 2 1 2 7 5 0 12 3 485112 estab. 18 4 1 3 3 11 2 1 14 4 13 1 0 3 3 7 1 1 9 4 15 0 1 5 2 8 2 2 12 3 15 0 1 4 3 8 2 2 12 3 16 2 2 1 2 7 5 0 12 4 485112 empl. [h] [a] [a] [a] [b] [b] [b] [b] 197 [h] [h] [a] 0 [b] [b] [b] [b] [b] [c] [h] [h] 0 [a] [b] [b] [b] [b] [c] [e] [h] [h] 0 [a] [b] [b] [b] [b] [b] [c] [h] [h] [a] [a] [a] [b] [b] [b] 0 [c] [h] 485112 ann. pay. (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 5507 (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) 485112 rec. (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) 485113 firms 414 42 139 46 53 280 78 36 394 20 386 31 127 47 38 243 88 33 364 22 369 33 106 53 37 229 85 32 346 23 369 32 104 46 34 216 93 36 345 24 365 36 97 38 40 211 87 43 341 24 485113 estab. 526 42 139 46 53 280 81 46 407 119 520 31 127 47 38 243 93 48 384 136 505 33 106 53 37 229 89 39 357 148 496 32 104 46 34 216 95 48 359 137 542 36 97 39 40 212 97 66 375 167 485113 empl. 26448 [a] [e] [e] [f] [g] [h] 5788 [j] [j] 29317 [a] [e] [e] 551 [g] 3587 6288 [j] [j] 31382 [a] [c] [e] [f] [g] [h] 5529 [j] [j] 31635 [a] [c] 311 [e] [g] 3801 6695 [j] [j] 35578 [a] [c] 256 [f] [f] 3834 7551 [j] [j] 485113 ann. pay. 740480 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 167158 (D) (D) 853736 (D) (D) (D) 8269 (D) 66094 182543 (D) (D) 925144 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 163828 (D) (D) 952639 (D) (D) 5962 (D) (D) 76204 190550 (D) (D) 1074448 (D) (D) 4458 (D) (D) 81413 224551 (D) (D) 485113 rec. 1730398 (D) (D) 12204 (D) (D) 170659 367365 (D) (D) 485119 firms 26 6 9 4 2 21 3 2 26 0 27 5 9 5 2 21 5 1 27 0 33 2 14 6 2 24 5 2 31 2 40 10 11 7 1 29 8 1 38 2 42 11 9 11 1 32 7 2 41 1 485119 estab. 26 6 9 4 2 21 3 2 26 0 27 5 9 5 2 21 5 1 27 0 33 2 14 6 2 24 5 2 31 2 40 10 11 7 1 29 8 1 38 2 42 11 9 11 1 32 7 2 41 1 485119 empl. [f] [a] [a] [b] [b] [b] [b] [e] [f] 0 [f] [a] [b] [b] [b] [b] [c] [e] [f] 0 [g] [a] [b] [b] [b] [c] [c] [f] 1171 [b] [f] [a] [b] [b] [a] [b] 274 [e] 779 [b] [f] [a] [a] [b] [a] [c] 267 [f] [f] [b] 485119 ann. pay. (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 0 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 36035 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 8174 (D) 26771 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 6478 (D) (D) (D) 485119 rec. (D) (D) (D) (D) (D) (D) 29087 (D) (D) (D) 485210 firms 229 24 70 37 19 150 40 31 221 8 236 32 73 28 25 158 42 26 226 10 250 38 77 36 26 177 39 25 241 9 242 31 69 39 27 166 42 25 233 9 323 44 102 51 34 231 53 29 313 10 485210 estab. 415 24 70 37 19 150 55 67 272 143 440 32 73 28 29 162 56 50 268 172 444 38 77 36 26 177 53 51 281 163 460 31 69 39 27 166 53 49 268 192 579 44 102 51 34 231 66 61 358 221 485210 empl. 23374 0 151 248 247 646 1480 3218 5344 18030 21800 [a] [c] 182 310 644 1782 2384 4810 16990 26805 0 179 261 366 806 1753 2161 4720 22085 24672 0 149 253 357 759 1945 2740 5444 19228 20705 0 215 335 450 1000 2396 3130 6526 14179 485210 ann. pay. 650834 935 1771 3026 3219 8951 28961 76219 114131 536703 654375 (D) (D) 2309 3833 15191 33180 66398 114769 539606 709684 4331 3920 3677 5363 17291 33291 64646 115228 594456 810974 1391 3321 4003 6320 15035 38776 76311 130122 680852 730794 8832 5096 4665 6541 25134 47182 85512 157828 572966 485210 rec. 1712361 32443 22191 20011 39493 114138 120772 235657 470567 1241794 485310 firms 3160 371 1763 449 294 2877 246 29 3152 8 3069 367 1676 424 310 2777 255 29 3061 8 3085 377 1683 437 293 2790 256 32 3078 7 3049 363 1650 436 311 2760 255 27 3042 7 3084 383 1688 425 311 2807 249 21 3077 7 485310 estab. 3194 371 1763 452 298 2884 253 38 3175 19 3102 367 1676 426 315 2784 261 37 3082 20 3116 377 1683 439 297 2796 262 40 3098 18 3086 363 1650 437 316 2766 261 33 3060 26 3164 383 1688 425 315 2811 264 63 3138 26 485310 empl. 27586 0 3036 3001 4034 10071 9155 4525 23751 3835 28601 0 2849 2795 4231 9875 9472 4621 23968 4633 30355 0 2934 2914 4024 9872 9685 5289 24846 5509 30281 0 2859 2860 4214 9933 9113 5037 24083 6198 29114 0 2994 2776 4189 9959 9277 3798 23034 6080 485310 ann. pay. 412601 7730 33976 35232 52183 129121 138273 75612 343006 69595 459288 13439 34496 34905 53714 136554 147714 88636 372904 86384 485190 12586 36450 40812 55038 144886 152434 103527 400847 84343 488704 12452 37169 38187 59352 147160 146387 92333 385880 102824 492776 11849 41226 38134 61123 152332 156825 84010 393167 99609 485310 rec. 1661854 76000 236288 151530 190967 654785 474817 221869 1351471 310383 485320 firms 3395 527 1608 525 347 3007 344 33 3384 11 3462 583 1572 524 368 3047 364 37 3448 14 3650 629 1650 544 400 3223 374 39 3636 14 3717 588 1712 572 392 3264 399 43 3706 11 3947 660 1875 571 420 3526 372 38 3936 11 485320 estab. 3437 527 1608 526 348 3009 356 40 3405 32 3503 583 1573 524 370 3050 373 41 3464 39 3690 629 1650 545 402 3226 381 42 3649 41 3756 588 1712 573 395 3268 403 46 3717 39 3982 660 1875 571 420 3526 379 42 3947 35 485320 empl. 32898 0 3022 3501 4717 11240 12714 4627 28581 4317 34774 0 2977 3519 5042 11538 13770 4688 29996 4778 37463 0 3081 3583 5382 12046 14047 5812 31905 5558 39165 0 3213 3795 5280 12288 15211 5958 33457 5708 36461 0 3642 3784 5652 13078 13957 4738 31773 4688 485320 ann. pay. 605564 10329 44014 47230 66958 168531 223731 102993 495255 110309 671942 14614 49252 48457 73803 186126 246443 113734 546303 125639 759124 15026 51840 53400 88808 209074 262173 146374 617621 141503 768953 15004 54017 52118 80741 201880 271990 151673 625543 143410 776459 18107 62194 57629 91067 228997 280111 128203 637311 139148 485320 rec. 2712435 107814 387713 292382 327869 1115778 858078 381627 2355483 356952 485410 firms 3346 182 1177 493 466 2318 788 201 3307 39 3263 175 1127 481 474 2257 760 205 3222 41 3165 169 1060 464 471 2164 758 211 3133 32 3129 161 1043 483 453 2140 742 215 3097 32 3180 208 1088 479 431 2206 721 220 3147 33 485410 estab. 4400 182 1177 493 472 2324 851 322 3497 903 4341 176 1127 481 481 2265 814 322 3401 940 4217 169 1060 465 473 2167 815 321 3303 914 4287 161 1043 484 460 2148 787 326 3261 1026 4352 208 1088 479 434 2209 759 351 3319 1033 485410 empl. 152621 0 2399 3295 6431 12125 33428 34356 79909 72712 161890 0 2293 3155 6615 12063 32590 34436 79089 82801 162877 0 2147 3073 6622 11842 32308 37974 82124 80753 168940 0 2139 3203 6258 11600 31398 37660 80658 88282 171599 0 2200 3141 6025 11366 30381 39800 81547 90052 485410 ann. pay. 1950914 10363 20352 30138 63876 124729 397741 484715 1007185 943729 2178747 8998 22130 29206 71509 131843 417784 501039 1050666 1128081 2322642 5122 20793 29852 76672 132439 431001 563653 1127093 1195549 2471790 7494 22535 33279 71256 134564 425981 595036 1155581 1316209 2612166 10291 25031 32427 68747 136496 430178 653863 1220537 1391629 485410 rec. 5922742 34121 93936 106398 188133 422588 985995 1361821 2770404 3152338 485510 firms 1382 125 397 231 227 980 335 52 1367 15 1341 128 381 204 216 929 344 53 1326 15 1312 129 382 186 208 905 344 50 1299 13 1257 115 343 186 219 863 331 50 1244 13 1336 140 386 186 232 944 327 50 1321 15 485510 estab. 1532 126 397 231 229 983 370 94 1447 85 1480 129 382 204 219 934 372 92 1398 82 1451 129 384 186 210 909 372 93 1374 77 1395 117 344 187 221 869 358 88 1315 80 1473 140 387 186 232 945 359 86 1390 83 485510 empl. 32328 0 826 1552 3105 5483 13022 6908 25413 6915 33589 0 789 1364 2963 5116 13457 7722 26295 7294 34057 0 814 1265 2882 4961 14021 7662 26644 7413 33406 0 718 1257 3001 4976 13570 7408 25954 7452 32162 0 803 1260 3230 5293 13282 6405 24980 7182 485510 ann. pay. 594388 4849 12077 22151 46058 85135 223604 135612 444351 150037 651402 4458 12549 19502 44811 81320 248967 146239 476526 174876 668710 3788 13931 18764 44302 80785 262711 155123 498619 170091 659518 3443 12344 19148 46080 81015 258347 146074 485436 174082 666966 16149 14390 20858 53310 104707 267568 136105 508380 158586 485510 rec. 2025376 58542 79064 106421 218914 462941 784265 374375 1621581 403795 485991 firms 1776 213 581 349 273 1416 279 63 1758 18 1703 182 520 339 272 1313 294 73 1680 23 1747 210 540 300 288 1338 303 76 1717 30 1714 207 540 291 257 1295 305 81 1681 33 1688 176 533 279 284 1272 306 78 1656 32 485991 estab. 1914 213 581 349 274 1417 310 93 1820 94 1860 183 520 339 273 1315 324 117 1756 104 1914 211 540 300 288 1339 332 125 1796 118 1887 207 540 291 258 1296 334 125 1755 132 1886 176 533 283 285 1277 335 120 1732 154 485991 empl. 32023 0 1275 2365 3708 7348 10856 7534 25738 6285 33351 0 1106 2267 3725 7098 11247 8933 27278 6073 34779 0 1149 1983 3889 7021 11418 8758 27197 7582 35862 0 1145 2001 3512 6658 11872 8937 27467 8395 34990 0 1139 1863 3895 6897 11381 8933 27211 7779 485991 ann. pay. 536223 8861 20766 33938 55858 119423 178929 120209 418561 117662 585812 10657 19140 31859 59882 121538 186715 148744 456997 128815 648907 16453 18257 30568 60528 125806 203975 166818 496599 152308 697419 7255 22282 30197 61725 121459 208693 184734 514886 182533 703952 13405 22013 31311 66569 133298 220289 182675 536262 167690 485991 rec. 1734098 39003 80174 96497 170810 386484 548255 379851 1314590 419508 485999 firms 816 136 317 109 90 652 125 28 805 11 774 121 301 111 79 612 123 28 763 11 812 130 290 121 105 646 127 29 802 10 848 126 310 126 106 668 138 30 836 12 831 105 330 125 103 663 131 22 816 15 485999 estab. 851 137 317 109 91 654 131 30 815 36 805 121 301 111 79 612 131 30 773 32 846 130 290 121 105 646 132 34 812 34 880 126 310 126 106 668 145 31 844 36 886 105 330 125 103 663 134 49 846 40 485999 empl. 16433 0 611 721 1198 2530 5428 4250 12208 4225 15893 0 594 733 1055 2382 5047 4290 11719 4174 17390 0 573 805 1393 2771 5162 4305 12238 5152 17019 0 647 855 1429 2931 5827 4034 12792 4227 16100 0 661 824 1400 2885 5443 2868 11196 4904 485999 ann. pay. 285685 3516 9049 9499 16145 38209 83193 75777 197179 88506 301647 3641 10710 9211 14376 37938 88196 83622 209756 91891 324645 4535 10603 12419 19704 47261 91066 76799 215126 109519 315827 6595 11467 14536 20440 53038 92726 72017 217781 98046 314231 4956 13893 12790 22555 54194 98721 60751 213666 100565 485999 rec. 812018 16140 62728 45989 62589 187446 236969 154667 579082 232936 486110 firms 54 5 4 1 2 12 5 2 19 35 49 4 7 0 1 12 3 5 20 29 48 5 5 1 1 12 4 3 19 29 48 6 7 2 1 16 4 4 24 24 52 2 12 4 3 21 3 2 26 26 486110 estab. 358 5 4 1 4 14 8 12 34 324 327 4 7 0 1 12 6 16 34 293 307 5 5 1 1 12 7 4 23 284 229 6 7 2 1 16 12 14 42 187 261 2 12 4 3 21 7 6 34 227 486110 empl. 7333 [a] [a] [a] [b] [b] [c] [e] 651 6682 7137 0 12 0 [a] [b] 116 [f] 1097 6040 6709 0 [a] [a] [a] [b] 162 [e] 579 6130 5995 [a] 13 [a] [a] [b] 156 [f] 716 5279 6030 [a] 22 [b] 41 84 [b] [c] 291 5739 486110 ann. pay. 442039 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 35025 407014 453446 18 407 0 (D) (D) 4345 (D) 42344 411102 425645 131 (D) (D) (D) (D) 5573 (D) 20961 404684 430919 (D) 1028 (D) (D) (D) 10607 (D) 35750 395169 472339 (D) 1453 (D) 983 3665 (D) (D) 15255 457084 486110 rec. 3783097 (D) 82606 (D) 3542 (D) (D) (D) 171938 3611159 486210 firms 141 11 43 12 13 79 11 8 98 43 139 7 41 17 9 74 10 7 91 48 140 10 42 13 10 75 12 8 95 45 153 15 45 16 12 88 9 13 110 43 154 15 39 15 12 81 13 12 106 48 486210 estab. 1561 11 43 12 13 79 24 13 116 1445 1683 7 41 17 9 74 23 7 104 1579 1938 10 42 13 10 75 27 11 113 1825 2017 15 45 16 12 88 19 20 127 1890 1936 15 39 15 12 81 27 61 169 1767 486210 empl. 35092 [a] 92 [b] 171 [e] 379 [e] 1019 34073 34511 0 79 102 125 306 285 428 1019 33492 39214 0 91 77 134 302 415 382 1099 38115 38189 0 92 105 159 356 282 899 1537 36652 37450 0 87 92 168 347 353 1234 1934 35516 486210 ann. pay. 1993819 (D) 3552 (D) 9500 (D) 26366 (D) 59767 1934052 2205385 5865 3395 4877 6638 20775 18057 19881 58713 2146672 2961066 4523 4334 5270 8567 22694 25450 19048 67192 2893874 2981259 1462 4993 6162 11008 23625 16907 46732 87264 2893995 2994108 10804 5195 4843 9666 30508 29800 76510 136818 2857290 486210 rec. 35896535 166885 33658 110424 724389 1035356 844907 686050 2566313 33330222 486910 firms 47 4 8 1 2 15 2 4 21 26 53 3 7 2 3 15 4 3 22 31 51 5 6 2 3 16 3 3 22 29 52 3 9 3 2 17 5 3 25 27 60 3 11 4 4 22 5 3 30 30 486910 estab. 490 4 8 1 5 18 16 34 68 422 482 3 7 2 6 18 20 27 65 417 497 5 6 2 3 16 16 30 62 435 482 3 9 3 2 17 18 30 65 417 429 3 11 4 4 22 20 11 53 376 486910 empl. 5935 [a] [a] [a] [b] [b] [b] 596 735 5200 5940 [a] 15 [a] [b] [b] [c] [e] 705 5235 6276 0 [a] [a] [b] [b] 97 [e] 595 5681 6004 [a] [b] [b] [b] [b] [c] [e] 604 5400 5871 [a] [b] [b] 53 [c] 201 [c] 472 5399 486910 ann. pay. 347012 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 31121 37581 309431 339036 (D) 171 (D) (D) (D) (D) (D) 35873 303163 393122 210 (D) (D) (D) (D) 4573 (D) 32447 360675 416575 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 24966 391609 383845 (D) (D) (D) 2908 (D) 9834 (D) 28601 355244 486910 rec. 4535869 (D) (D) (D) 11245 (D) 63724 (D) 271904 4263965 486990 firms 15 0 2 1 0 3 2 0 5 10 14 2 0 2 0 4 2 0 6 8 15 0 2 1 0 3 3 0 6 9 16 0 1 2 1 4 2 0 6 10 25 2 1 1 4 8 1 1 10 15 486990 estab. 86 0 2 1 0 3 7 0 10 76 58 2 0 2 0 4 7 0 11 47 60 0 2 1 0 3 8 0 11 49 57 0 1 2 1 4 6 0 10 47 75 2 1 1 4 8 5 1 14 61 486990 empl. 1046 0 [a] [a] 0 [a] [b] 0 88 958 561 [a] 0 [a] 0 [a] [b] 0 98 463 761 0 [a] [a] 0 14 104 0 118 643 735 0 [a] [a] [a] [b] [b] 0 105 630 1011 [a] [a] [a] 45 [b] [b] [a] 114 897 486990 ann. pay. 64972 0 (D) (D) 0 (D) (D) 0 4366 60606 34822 (D) 0 (D) 0 (D) (D) 0 5586 29236 48750 0 (D) (D) 0 517 5440 0 5957 42793 51553 0 (D) (D) (D) (D) (D) 0 5348 46205 65179 (D) (D) (D) 2032 (D) (D) (D) 6855 58324 486990 rec. 837788 (D) (D) (D) 6517 (D) (D) (D) 38881 798907 487110 firms 431 102 148 50 44 344 56 18 418 13 420 73 163 51 49 336 55 15 406 14 414 77 173 42 41 333 52 16 401 13 484 99 189 53 61 402 55 14 471 13 500 118 193 49 58 418 60 12 490 10 487110 estab. 472 102 148 50 44 344 60 25 429 43 458 73 163 51 49 336 61 19 416 42 454 77 173 42 43 335 57 22 414 40 521 99 189 53 64 405 60 18 483 38 538 118 194 49 62 423 66 18 507 31 487110 empl. 9033 [a] 305 336 637 [g] 2014 2412 [i] [h] 8704 [a] 300 331 683 [g] 2000 2093 [i] [h] 8658 [a] 349 274 575 [g] 1916 2410 [i] [h] 8605 [a] 365 327 865 [g] 1966 1899 [i] [h] 7162 [a] 378 320 782 [g] 2158 1504 [i] [g] 487110 ann. pay. 187007 (D) 5341 5782 11291 (D) 34639 50623 (D) (D) 188320 (D) 5369 6427 11759 (D) 36425 48715 (D) (D) 192844 (D) 6114 5887 8232 (D) 35625 52999 (D) (D) 188107 (D) 8643 6289 15584 (D) 35400 36443 (D) (D) 164355 (D) 8060 6613 12874 (D) 40830 34572 (D) (D) 487110 rec. 516114 (D) 38994 24583 45263 (D) 137637 103023 (D) (D) 487210 firms 1688 509 725 206 127 1567 92 18 1677 11 1619 436 737 197 126 1496 94 20 1610 9 1612 432 715 183 142 1472 111 18 1601 11 1670 449 759 191 137 1536 104 20 1660 10 1756 584 768 164 116 1632 97 19 1748 8 487210 estab. 1718 509 725 208 129 1571 96 25 1692 26 1649 436 737 199 128 1500 100 28 1628 21 1642 432 715 185 143 1475 118 24 1617 25 1699 449 759 193 137 1538 111 26 1675 24 1784 584 768 164 117 1633 106 24 1763 21 487210 empl. 12296 0 1264 1338 1660 4262 3214 2622 10098 2198 12262 0 1368 1300 1641 4309 3446 2534 10289 1973 12964 0 1338 1192 1880 4410 3986 1958 10354 2610 12921 0 1407 1223 1816 4446 3778 2556 10780 2141 10478 0 1431 1088 1505 4024 3431 1760 9215 1263 487210 ann. pay. 273728 14876 32059 28157 37746 112838 63388 50927 227153 46575 295530 15028 35164 31044 30149 111385 75230 59494 246109 49421 331164 19979 38113 27460 36487 122039 91131 50658 263828 67336 313306 13223 38829 28742 37716 118510 85492 52248 256250 57056 281631 21692 39120 27918 38457 127187 87969 41781 256937 24694 487210 rec. 987696 105118 165570 93133 123355 487176 292320 122782 902278 85418 487990 firms 159 26 62 23 22 133 20 4 157 2 155 25 67 19 18 129 19 6 154 1 152 24 63 20 20 127 20 4 151 1 154 33 65 16 19 133 15 5 153 1 177 45 70 20 16 151 20 4 175 2 487990 estab. 163 26 63 23 22 134 21 6 161 2 160 25 67 20 19 131 20 8 159 1 158 24 65 20 21 130 21 6 157 1 160 33 67 16 20 136 16 7 159 1 181 45 71 20 16 152 21 6 179 2 487990 empl. 1747 [a] [c] [c] 302 [f] 750 377 [g] [b] 1911 [a] 146 132 255 [f] 835 538 [g] [a] 1990 [a] 130 133 269 [f] 863 593 [g] [a] 1888 [a] 132 109 269 [f] 686 690 [g] [a] 1693 [a] 134 131 210 [e] 730 481 [g] [a] 487990 ann. pay. 51256 (D) (D) (D) 7577 (D) 21542 13471 (D) (D) 56852 (D) 3534 3865 7069 (D) 23361 17402 (D) (D) 59456 (D) 3466 4289 7134 (D) 24035 19528 (D) (D) 55393 (D) 4097 2796 8301 (D) 19007 20032 (D) (D) 51495 (D) 4034 3709 5657 (D) 23319 12967 (D) (D) 487990 rec. 258450 (D) 22870 17382 24130 (D) 114789 70523 (D) (D) 488111 firms 16 3 4 1 1 9 1 4 14 2 14 2 4 0 2 8 1 4 13 1 14 3 4 0 1 8 2 3 13 1 25 7 9 1 2 19 2 2 23 2 30 6 10 3 3 22 4 2 28 2 488111 estab. 127 3 4 1 1 9 1 109 119 8 135 2 4 0 2 8 1 119 128 7 137 3 4 0 1 8 2 120 130 7 151 7 9 1 2 19 2 77 98 53 156 6 10 3 3 22 5 76 103 53 488111 empl. 665 [a] 8 [a] [a] [b] [a] 617 [f] [b] 672 [a] 8 0 [b] [b] [a] 588 [f] [b] 755 0 [a] 0 [a] 28 [b] [f] [f] [b] 796 0 [b] [a] [b] 60 [b] [e] [f] [e] 1039 0 25 19 35 79 210 [e] [f] [e] 488111 ann. pay. 24800 (D) 210 (D) (D) (D) (D) 22885 (D) (D) 27346 (D) 305 0 (D) (D) (D) 23626 (D) (D) 29898 138 (D) 0 (D) 804 (D) (D) (D) (D) 35862 444 (D) (D) (D) 1874 (D) (D) (D) (D) 45881 85 1293 477 440 2295 8634 (D) (D) (D) 488111 rec. 73348 554 4188 757 790 6289 11611 (D) (D) (D) 488119 firms 1249 121 467 199 183 970 196 43 1209 40 1216 114 449 205 169 937 199 39 1175 41 1217 115 445 208 159 927 206 40 1173 44 1175 103 436 201 155 895 195 44 1134 41 1198 106 432 203 157 898 203 55 1156 42 488119 estab. 1699 121 467 201 189 978 216 68 1262 437 1699 114 450 205 174 943 223 49 1215 484 1697 115 445 210 161 931 226 49 1206 491 1660 103 436 203 156 898 220 58 1176 484 1786 106 433 203 160 902 238 168 1308 478 488119 empl. 59603 [a] 976 [g] [g] [h] [i] 5331 [j] [k] 62272 [a] 913 1351 [g] [h] [i] 4874 [j] [k] 67177 0 [f] 1383 [g] 4425 [i] [i] [j] [k] 65080 0 [f] [g] [g] 4317 [i] [i] [j] [k] 66533 0 902 1319 2087 4308 7202 [i] [j] [k] 488119 ann. pay. 1191067 (D) 16622 (D) (D) (D) (D) 123454 (D) (D) 1403739 (D) 18023 27239 (D) (D) (D) 126557 (D) (D) 1539568 8807 (D) 33228 (D) 109830 (D) (D) (D) (D) 1479479 9369 (D) (D) (D) 117466 (D) (D) (D) (D) 1716819 71992 19195 29595 50025 170807 209069 (D) (D) (D) 488119 rec. 5528711 461348 105444 131082 212650 910524 849378 (D) (D) (D) 488190 firms 2184 247 996 383 244 1870 209 57 2136 48 2148 207 935 437 239 1818 220 61 2099 49 2174 236 913 430 251 1830 231 66 2127 47 2259 244 923 484 242 1893 253 64 2210 49 2403 292 1052 486 251 2081 222 45 2348 55 488190 estab. 2526 247 996 383 254 1880 226 89 2195 331 2471 207 935 437 249 1828 236 90 2154 317 2534 236 913 431 260 1840 245 102 2187 347 2606 244 923 484 247 1898 270 94 2262 344 2984 292 1052 486 255 2085 244 88 2417 567 488190 empl. 54453 0 2212 2526 3300 8038 7644 8460 24142 30311 55894 0 2061 2891 3203 8155 7991 8671 24817 31077 58769 0 2043 2865 3345 8253 8375 8879 25507 33262 61709 0 2007 3167 3174 8348 9126 9867 27341 34368 58777 0 2252 3201 3384 8837 8099 6596 23532 35245 488190 ann. pay. 1860616 33061 53320 65106 91352 242839 236432 244575 723846 1136770 2023066 13023 59112 76617 100918 249670 254508 299945 804123 1218943 2064563 20582 52459 77509 101947 252497 257502 272405 782404 1282159 2198082 30136 53652 82859 99709 266356 301801 279586 847743 1350339 2136713 20991 66723 92700 116491 296905 285806 214974 797685 1339028 488190 rec. 7145451 73659 304435 352675 389583 1120352 920752 672500 2713604 4431847 488210 firms 472 53 120 81 72 326 71 35 432 40 476 35 134 82 69 320 82 33 435 41 451 37 120 77 66 300 76 38 414 37 454 41 120 86 55 302 78 35 415 39 489 59 149 82 55 345 73 31 449 40 488210 estab. 821 53 122 83 81 339 95 104 538 283 837 35 138 83 77 333 107 94 534 303 821 37 120 78 74 309 98 98 505 316 831 41 121 88 59 309 100 89 498 333 924 59 150 84 59 352 104 89 545 379 488210 empl. 18704 0 257 552 977 1786 2513 4876 9175 9529 20972 0 273 574 892 1739 3400 4899 10038 10934 21427 0 258 488 879 1625 2877 5262 9764 11663 22954 0 273 571 802 1646 3010 5477 10133 12821 20667 0 317 553 761 1631 2589 4108 8328 12339 488210 ann. pay. 572485 7294 6431 15887 26635 56247 65580 154029 275856 296629 672460 1244 6954 17230 22778 48206 84001 152766 284973 387487 714434 1377 6983 13873 24896 47129 76391 163090 286610 427824 738994 1694 7785 15068 21510 46057 82153 170691 298901 440093 733877 11174 10948 18561 23841 64524 83710 141836 290070 443807 488210 rec. 2324028 37907 74164 76010 98036 286117 256912 341860 884889 1439139 488310 firms 145 11 36 13 17 77 27 16 120 25 148 8 32 21 17 78 26 16 120 28 145 13 27 18 18 76 27 16 119 26 157 15 37 19 23 94 23 14 131 26 169 18 41 21 20 100 27 16 143 26 488310 estab. 196 11 36 13 20 80 31 22 133 63 199 8 33 21 20 82 29 21 132 67 196 13 27 18 19 77 30 22 129 67 201 15 37 19 24 95 26 20 141 60 212 18 41 21 22 102 32 22 156 56 488310 empl. 7471 0 67 93 247 407 887 1506 2800 4671 7427 0 65 146 230 441 843 1207 2491 4936 7445 0 56 118 243 417 882 1715 3014 4431 7304 0 82 136 340 558 855 1097 2510 4794 6304 0 76 143 270 489 718 1205 2412 3892 488310 ann. pay. 277692 800 1950 3570 9506 15826 32157 57342 105325 172367 264651 189 1531 5580 9212 16512 29417 46260 92189 172462 265766 366 1423 5229 9111 16129 27065 56376 99570 166196 254864 1648 2555 5578 11800 21581 26344 48634 96559 158305 245979 2249 1962 6273 9652 20136 24473 52113 96722 149257 488310 rec. 1082342 10158 9178 23750 71536 114622 102661 331359 548642 533700 488320 firms 400 41 93 38 59 231 77 46 354 46 383 27 97 32 51 207 79 49 335 48 371 23 85 39 52 199 76 50 325 46 385 37 95 30 55 217 69 54 340 45 380 40 90 42 50 222 66 49 337 43 488320 estab. 619 41 96 38 64 239 106 91 436 183 601 27 100 33 52 212 95 101 408 193 607 23 88 40 52 203 97 92 392 215 612 37 98 30 57 222 85 113 420 192 595 40 90 42 55 227 89 88 404 191 488320 empl. 44967 0 216 240 849 1305 3201 6952 11458 33509 43785 0 225 218 660 1103 2823 7182 11108 32677 53496 0 182 259 715 1156 2804 6914 10874 42622 50273 0 221 205 775 1201 2596 8711 12508 37765 50428 0 200 287 711 1198 2620 6450 10268 40160 488320 ann. pay. 2029910 10788 7212 6285 27276 51561 114350 258947 424858 1605052 2016081 17267 7901 6597 22821 54586 93030 243894 391510 1624571 2194692 1252 6515 8475 25626 41868 106962 255348 404178 1790514 2249516 3793 10705 8762 27224 50484 93761 316750 460995 1788521 2425187 20444 15700 12835 26300 75279 93672 278464 447415 1977772 488320 rec. 5647484 54288 44911 71648 105197 276044 381472 872072 1529588 4117896 488330 firms 826 150 356 99 85 690 91 25 806 20 815 119 362 106 89 676 95 19 790 25 784 96 360 105 84 645 96 21 762 22 756 90 339 101 81 611 104 17 732 24 753 113 332 90 83 618 93 20 731 22 488330 estab. 906 150 356 101 90 697 107 38 842 64 891 119 362 108 94 683 111 30 824 67 863 96 360 107 89 652 113 28 793 70 830 90 339 103 87 619 120 23 762 68 828 113 332 90 91 626 108 27 761 67 488330 empl. 11535 0 579 687 1109 2375 3577 2894 8846 2689 11393 0 593 729 1206 2528 3885 2006 8419 2974 11775 0 582 715 1117 2414 3578 2544 8536 3239 11957 0 552 706 1077 2335 3945 2117 8397 3560 11224 0 514 615 1112 2241 3463 2434 8138 3086 488330 ann. pay. 429598 15449 40981 21404 37694 115528 125950 82209 323687 105911 430114 10243 41929 22772 41270 116214 137674 63897 317785 112329 478748 13489 41590 25178 37990 118247 135085 88548 341880 136868 507806 7917 41092 25164 37734 111907 152563 85943 350413 157393 509953 13883 40438 25781 40715 120817 150301 96441 367559 142394 488330 rec. 1818193 52962 109763 87111 183794 433630 584291 302437 1320358 497835 488390 firms 817 135 423 115 50 723 62 20 805 12 755 98 413 93 65 669 62 13 744 11 732 106 382 94 62 644 61 15 720 12 726 100 389 101 43 633 68 17 718 8 693 98 351 104 46 599 67 15 681 12 488390 estab. 963 135 425 120 67 747 90 61 898 65 902 99 415 97 75 686 100 51 837 65 877 106 391 100 71 668 82 60 810 67 853 100 392 106 59 657 81 58 796 57 818 98 353 107 58 616 84 54 754 64 488390 empl. 8480 0 793 775 671 2239 1984 1776 5999 2481 8838 0 784 611 917 2312 2288 1388 5988 2850 8915 0 714 615 867 2196 2203 1586 5985 2930 9168 0 725 660 597 1982 2567 2112 6661 2507 9249 0 662 676 599 1937 2547 2218 6702 2547 488390 ann. pay. 286379 6061 24343 23575 24873 78852 67378 72052 218282 68097 284484 8241 23432 18544 29109 79326 73437 68926 221689 62795 311540 4369 22776 20211 28928 76284 69813 77370 223467 88073 337802 4073 25997 22534 23647 76251 89774 88987 255012 82790 395886 3058 22654 28600 20652 74964 101233 115366 291563 104323 488390 rec. 1044091 12707 69756 83687 57130 223280 269197 284333 776810 267281 488410 firms 5851 695 2696 1292 793 5476 357 14 5847 4 5948 634 2778 1320 847 5579 346 16 5941 7 5902 608 2752 1282 848 5490 385 18 5893 9 6105 673 2780 1343 864 5660 421 14 6095 10 6632 850 3082 1384 864 6180 429 14 6623 9 488410 estab. 6045 695 2758 1295 833 5581 386 22 5989 56 6145 635 2781 1323 876 5615 372 41 6028 117 6078 608 2755 1287 872 5522 414 47 5983 95 6294 673 2783 1347 893 5696 444 51 6191 103 6813 850 3085 1388 893 6216 470 52 6738 75 488410 empl. 37271 0 5801 8414 10320 24535 10139 [f] [k] [g] 39934 0 5902 8660 11127 25689 9493 1522 36704 3230 41753 0 5991 8442 11070 25503 10930 1682 38115 3638 43742 0 6015 8847 11359 26221 11986 1321 39528 4214 43344 0 6674 9120 11468 27262 12091 1130 40483 2861 488410 ann. pay. 809073 27033 122798 156240 212083 518154 228491 (D) (D) (D) 878687 19977 107702 164518 235358 527555 232296 37047 796898 81789 961739 14402 111078 169911 245949 541340 274544 42417 858301 103438 1030781 20679 115325 179977 253016 568997 309266 32555 910818 119963 1064803 26336 131241 192551 266338 616466 310977 37696 965139 99664 488410 rec. 3162921 111819 551820 608294 743284 2015217 794288 95855 2905360 257561 488490 firms 577 121 219 78 52 470 66 21 557 20 661 154 236 91 54 535 82 21 638 23 769 171 288 120 54 633 84 30 747 22 810 156 320 122 77 675 79 32 786 24 1120 199 473 168 116 956 103 33 1092 28 488490 estab. 705 121 219 79 53 472 73 35 580 125 798 155 236 92 54 537 87 39 663 135 932 171 289 121 54 635 89 52 776 156 1031 156 321 123 77 677 87 62 826 205 1425 199 473 169 116 957 139 93 1189 236 488490 empl. 9471 0 442 505 705 1652 2719 [g] [i] [h] 10609 0 468 564 713 1745 3295 2006 7046 3563 14454 0 573 772 729 2074 3275 3538 8887 5567 17541 0 635 772 1015 2422 2995 4580 9997 7544 18616 0 972 1078 1544 3594 4122 3074 10790 7826 488490 ann. pay. 232196 9067 9168 9938 16334 44507 54559 (D) (D) (D) 269990 10156 11378 11640 15304 48478 72942 51382 172802 97188 347081 10499 12886 17901 18781 60067 76724 88363 225154 121927 452508 8762 15943 19486 22483 66674 72181 119174 258029 194479 511137 7598 23683 24796 37495 93572 109117 85021 287710 223427 488490 rec. 1560202 38281 118613 124667 116175 397736 353129 220580 971445 588757 488510 firms 12204 1287 5826 2477 1338 10928 960 215 12103 101 11884 1014 5820 2390 1354 10578 991 207 11776 108 11700 1092 5555 2384 1323 10354 1031 208 11593 107 11716 1060 5607 2356 1353 10376 1027 200 11603 113 11574 1137 5573 2306 1283 10299 977 188 11464 110 488510 estab. 15806 1291 5847 2562 1570 11270 1751 1369 14390 1416 15464 1017 5850 2468 1573 10908 1719 1360 13987 1477 15177 1093 5578 2463 1526 10660 1763 1249 13672 1505 15334 1071 5634 2455 1518 10678 1692 1118 13488 1846 15476 1137 5591 2398 1484 10610 1791 1233 13634 1842 488510 empl. 148394 0 12920 16213 17522 46655 35205 30366 112226 36168 157548 0 13021 15655 17818 46494 36674 31266 114434 43114 161662 0 12436 15533 17492 45461 37960 30786 114207 47455 168159 0 12407 15246 17929 45582 38761 28680 113023 55136 164374 0 12286 14907 16893 44086 36201 25047 105334 59040 488510 ann. pay. 5445908 53268 412119 562122 638895 1666404 1275518 1092884 4034806 1411102 5885937 43313 429627 562157 666306 1701403 1336958 1188478 4226839 1659098 6620349 62039 444988 577680 671912 1756619 1476563 1210154 4443336 2177013 6829426 59225 427417 571973 703102 1761717 1521629 1085208 4368554 2460872 6809918 84371 430213 570449 696359 1781392 1482404 1043322 4307118 2502800 488510 rec. 27687080 536210 2609369 2514853 2616741 8277173 4844266 3000006 16121445 11565635 488991 firms 888 156 409 139 71 775 79 26 880 8 1040 258 444 139 92 933 82 19 1034 6 1275 290 571 181 103 1145 97 24 1266 9 1205 211 582 176 108 1077 97 23 1197 8 1041 141 533 156 99 929 80 23 1032 9 488991 estab. 927 156 409 139 73 777 84 45 906 21 1076 258 444 139 94 935 86 35 1056 20 1315 290 571 181 104 1146 108 35 1289 26 1246 213 582 176 109 1080 108 34 1222 24 1088 141 533 156 99 929 91 43 1063 25 488991 empl. [j] [a] 867 907 957 [h] 3145 [h] 8564 [g] [j] [a] [f] [f] 1213 [h] [h] [h] [i] [g] 13420 0 1196 1146 1338 3680 [h] [h] [j] [h] 13187 [a] [g] [g] [g] [h] [h] 3408 [j] [g] [j] 0 [g] [f] 1304 [h] 3147 [h] [i] [g] 488991 ann. pay. (D) (D) 14731 17100 19472 (D) 80560 (D) 196556 (D) (D) (D) (D) (D) 27765 (D) (D) (D) (D) (D) 364790 18302 25852 24126 29869 98149 (D) (D) (D) (D) 344609 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 90988 (D) (D) (D) 5455 (D) (D) 36394 (D) 89834 (D) (D) (D) 488991 rec. (D) 28651 (D) (D) 136744 (D) 298783 (D) (D) (D) 488999 firms 103 25 50 11 6 92 6 2 100 3 124 27 64 12 8 111 7 2 120 4 130 26 58 21 9 114 9 3 126 4 145 25 72 21 10 128 8 6 142 3 164 24 77 28 16 145 9 6 160 4 488999 estab. 124 25 50 11 6 92 7 7 106 18 174 27 64 12 8 111 8 7 126 48 206 26 58 21 9 114 10 15 139 67 227 25 72 21 10 128 9 42 179 48 237 24 77 28 17 146 18 24 188 49 488999 empl. [j] [a] 97 71 78 [c] 223 [c] 711 [i] [j] [a] [c] [b] 106 [e] [e] [c] [f] [i] 11324 0 114 122 104 340 [e] [e] [g] [j] 12741 [a] [c] [c] [c] [e] [e] 985 [g] [j] [j] 0 [c] [c] 200 [f] 351 [g] [g] [j] 488999 ann. pay. (D) (D) 2460 1319 1984 (D) 7086 (D) 19580 (D) (D) (D) (D) (D) 2121 (D) (D) (D) (D) (D) 613799 1238 2549 2864 3751 10402 (D) (D) (D) (D) 638441 (D) (D) (D) (D) (D) (D) 46271 (D) (D) (D) 1374 (D) (D) 5410 (D) 14871 (D) (D) (D) 488999 rec. (D) 4809 (D) (D) 18521 (D) 41748 (D) (D) (D) 492110 firms 2464 490 1054 347 222 2113 252 70 2435 29 2616 459 1209 355 223 2246 274 64 2584 32 2762 479 1284 381 255 2399 266 66 2731 31 2996 506 1432 420 273 2631 275 61 2967 29 3152 545 1564 413 268 2790 278 58 3126 26 492110 estab. 6096 490 1057 348 230 2125 318 196 2639 3457 6309 459 1214 355 230 2258 330 204 2792 3517 6667 479 1289 382 267 2417 318 217 2952 3715 7105 506 1436 426 280 2648 343 186 3177 3928 7447 545 1567 414 286 2812 396 191 3399 4048 492110 empl. 468988 0 2033 2261 3055 7349 9721 11564 28634 440354 508558 0 2325 2323 3001 7649 10321 10840 28810 479748 548858 0 2437 2481 3490 8408 10268 10897 29573 519285 513567 0 2714 2735 3799 9248 10691 9776 29715 483852 497358 0 2975 2669 3564 9208 10699 8341 28248 469110 492110 ann. pay. 13928686 15204 42222 50272 62878 170576 200517 256370 627463 13301223 15289462 11504 52954 51699 67592 183749 220547 241618 645914 14643548 15890525 19055 55065 57904 74314 206338 226527 267181 700046 15190479 16455540 21067 61852 65766 84572 233257 227055 251013 711325 15744215 15936070 17291 65983 65975 83355 232604 249857 214795 697256 15238814 492110 rec. 54757288 87353 385472 332111 341835 1146771 921741 802573 2871085 51886203 492210 firms 5160 723 2470 754 527 4474 568 100 5142 18 5155 711 2565 681 527 4484 549 101 5134 21 5172 762 2493 746 523 4524 533 97 5154 18 5298 786 2633 725 515 4659 534 90 5283 15 5251 886 2587 705 486 4664 496 72 5232 19 492210 estab. 5627 723 2473 755 530 4481 649 210 5340 287 5629 711 2565 681 534 4491 612 215 5318 311 5630 762 2493 750 531 4536 605 187 5328 302 5750 786 2635 733 524 4678 593 195 5466 284 5726 886 2587 707 500 4680 571 147 5398 328 492210 empl. 70579 0 4663 4933 7142 16738 21850 14405 52993 17586 69810 0 4803 4451 7006 16260 20480 14560 51300 18510 70455 0 4634 4845 7205 16684 20572 14499 51755 18700 64008 0 4937 4735 6971 16643 20496 13329 50468 13540 55892 0 4849 4643 6587 16079 18626 9456 44161 11731 492210 ann. pay. 1363570 20498 92112 92336 134215 339161 390304 258795 988260 375310 1436498 31874 96548 90689 142750 361861 388496 280621 1030978 405520 1508906 30106 97164 106920 156123 390313 419881 276364 1086558 422348 1359792 26256 103757 100378 157027 387418 408579 273536 1069533 290259 1253249 25033 101801 106859 147821 381514 382337 200019 963870 289379 492210 rec. 4124355 108245 512740 419917 536458 1577360 1100416 558285 3236061 888294 493110 firms 2675 248 899 433 365 1945 482 179 2606 69 2741 259 962 411 371 2003 478 189 2670 71 2838 274 983 452 377 2086 483 191 2760 78 3004 260 1138 476 373 2247 494 188 2929 75 3152 333 1096 470 439 2338 514 199 3051 101 493110 estab. 3868 249 901 447 396 1993 665 527 3185 683 4246 261 963 421 407 2052 645 524 3221 1025 4415 276 984 465 403 2128 654 500 3282 1133 4500 261 1141 490 404 2296 670 531 3497 1003 4893 340 1097 482 478 2397 805 529 3731 1162 493110 empl. 65890 0 1993 2784 4732 9509 17196 20166 46871 19019 75946 0 2109 2692 4850 9651 16154 21708 47513 28433 80704 0 2130 2985 5063 10178 17247 22007 49432 31272 89356 0 2463 3160 5017 10640 17966 23980 52586 36770 94316 0 2406 3073 5815 11294 18392 21859 51545 42771 493110 ann. pay. 1804429 18696 45560 70824 122686 257766 463179 552603 1273548 530881 2121153 20773 46798 69216 133699 270486 461751 632140 1364377 756776 2359205 25220 49147 79818 143632 297817 495519 633305 1426641 932564 2656539 28967 61751 83179 145245 319142 533628 683268 1536038 1120501 2876318 28754 59084 88793 166274 342905 560806 658044 1561755 1314563 493110 rec. 9288010 115702 344075 361293 635718 1456788 1907776 1978856 5343420 3944590 493120 firms 558 36 146 94 102 378 120 34 532 26 583 62 145 104 87 398 122 37 557 26 612 48 161 118 87 414 138 36 588 24 607 45 156 122 86 409 139 34 582 25 608 53 158 117 83 411 138 34 583 25 493120 estab. 864 38 146 97 107 388 180 78 646 218 911 62 145 106 94 407 172 88 667 244 945 48 161 121 93 423 184 88 695 250 942 45 159 124 91 419 195 76 690 252 970 53 160 119 88 420 204 96 720 250 493120 empl. 22692 0 365 625 1392 2382 4995 5572 12949 9743 25404 0 335 720 1170 2225 4930 5401 12556 12848 27096 0 372 805 1123 2300 5326 5208 12834 14262 28231 0 367 820 1167 2354 5528 4800 12682 15549 28100 0 361 771 1106 2238 5427 5010 12675 15425 493120 ann. pay. 647103 3843 9580 18699 39801 71923 140469 142748 355140 291963 699395 5297 8521 20716 36313 70847 148051 139079 357977 341418 805809 3219 8625 21944 34441 68229 166630 154403 389262 416547 853705 6408 10990 22222 34294 73914 168075 142276 384265 469440 866540 3623 9831 22788 37139 73381 181854 151164 406399 460141 493120 rec. 4241802 19278 49500 98748 133510 301036 663428 508298 1472762 2769040 493130 firms 360 58 105 48 59 270 55 16 341 19 361 52 103 64 48 267 56 17 340 21 357 40 111 64 53 268 48 21 337 20 358 34 121 58 52 265 55 18 338 20 363 39 121 60 56 276 48 18 342 21 493130 estab. 509 58 105 48 69 280 100 59 439 70 516 54 103 65 54 276 99 63 438 78 516 42 112 66 54 274 91 69 434 82 552 34 124 58 60 276 100 76 452 100 539 39 122 64 64 289 78 73 440 99 493130 empl. 4511 0 237 304 693 1234 1482 950 3666 845 5143 0 224 425 612 1261 1386 1071 3718 1425 4891 0 241 419 698 1358 1215 1136 3709 1182 5459 0 279 366 665 1310 1310 1351 3971 1488 4798 0 268 364 693 1325 1233 1007 3565 1233 493130 ann. pay. 110249 4302 5776 6211 15136 31425 31381 20055 82861 27388 128232 2464 6573 8839 15081 32957 31001 27566 91524 36708 127052 2901 5802 9439 16091 34233 28324 31016 93573 33479 147543 1660 6843 8582 18235 35320 32761 35692 103773 43770 139954 2964 6988 8086 18850 36888 35481 29111 101480 38474 493130 rec. 1715364 27904 66053 95745 163416 353118 195602 274020 822740 892624 493190 firms 841 78 303 136 107 624 111 66 801 40 857 70 347 133 87 637 120 61 818 39 808 67 318 130 95 610 117 43 770 38 831 66 331 134 90 621 121 50 792 39 846 100 313 136 98 647 98 49 794 52 493190 estab. 1477 78 303 137 117 635 153 144 932 545 1281 71 347 134 95 647 158 127 932 349 1247 67 318 133 101 619 169 106 894 353 1191 66 331 137 97 631 162 142 935 256 1227 100 313 139 119 671 127 105 903 324 493190 empl. 26407 0 631 892 1367 2890 3339 4254 10483 15924 22113 0 722 912 1141 2775 3544 4053 10372 11741 23207 0 654 860 1228 2742 3928 2723 9393 13814 22220 0 711 880 1147 2738 3827 3118 9683 12537 22195 0 671 906 1292 2869 3434 3133 9436 12759 493190 ann. pay. 810943 3169 14010 22744 35409 75332 106867 133271 315470 495473 709091 3775 17561 24284 35664 81284 105094 123175 309553 399538 743271 2265 16834 24004 33698 76801 126305 92418 295524 447747 735353 3346 18112 25814 32580 79852 119438 114687 313977 421376 730372 3863 17325 26736 42778 90702 103914 121301 315917 414455 493190 rec. 2563165 22421 92707 156042 162639 433809 379022 499425 1312256 1250909 511110 firms 6616 501 2294 1462 1035 5292 957 244 6493 123 6415 456 2244 1407 1041 5148 919 222 6289 126 6172 366 2133 1390 988 4877 935 230 6042 130 6055 390 2122 1324 937 4773 938 214 5925 130 6023 410 2210 1297 873 4790 895 214 5899 124 511110 estab. 8686 501 2294 1463 1042 5300 1066 644 7010 1676 8625 466 2244 1408 1050 5168 1026 648 6842 1783 8586 370 2133 1393 998 4894 1050 691 6635 1951 8540 391 2122 1327 946 4786 1064 683 6533 2007 8728 410 2211 1303 897 4821 1166 791 6778 1950 511110 empl. 401373 0 5244 9743 13840 28827 36748 44072 109647 291726 393543 0 5080 9444 13909 28433 36017 40665 105115 288428 412627 0 4831 9304 13333 27468 36375 41895 105738 306889 413951 0 4767 8816 12673 26256 36761 40497 103514 310437 387993 0 5093 8658 11785 25536 35066 41439 102041 285952 511110 ann. pay. 12244525 22950 88594 159827 256270 527641 790723 1106015 2424379 9820146 12739812 38746 88842 166617 275365 569570 827742 1082473 2479785 10260027 14216000 26621 89005 174334 273104 563064 871866 1150097 2585027 11630973 14747105 21471 93887 176069 264425 555852 881372 1125874 2563098 12184007 14039848 21255 116570 174189 251838 563852 895733 1176228 2635813 11404035 511110 rec. 46477469 70262 453913 541918 702718 1768811 2407082 3286824 7462717 39014752 511120 firms 5719 616 2529 1008 673 4826 602 172 5600 119 5465 549 2434 971 642 4596 580 171 5347 118 5257 477 2301 954 632 4364 603 173 5140 117 5185 498 2235 953 632 4318 588 163 5069 116 5589 680 2461 945 624 4710 598 171 5479 110 511120 estab. 6250 616 2529 1008 676 4829 632 282 5743 507 5984 549 2434 971 645 4599 603 279 5481 503 6252 477 2301 955 640 4373 638 318 5329 923 6248 498 2236 956 637 4327 621 365 5313 935 6912 681 2461 953 640 4735 715 318 5768 1144 511120 empl. 131949 0 5463 6564 9065 21092 23571 24149 68812 63137 126824 0 5226 6288 8769 20283 22322 24112 66717 60107 135586 0 4912 6266 8613 19791 22916 26777 69484 66102 133245 0 4777 6317 8598 19692 23126 26174 68992 64253 127161 0 5310 6227 8437 19974 22476 25465 67915 59246 511120 ann. pay. 6247801 39976 153360 205659 339485 738480 1019264 1140052 2897796 3350005 6412418 42292 162428 213692 333103 751515 1019847 1214511 2985873 3426545 7676311 32330 162828 225186 348445 768789 1139334 1452317 3360440 4315871 7544103 39556 146904 222658 337819 746937 1091777 1365629 3204343 4339760 7190913 51959 164913 226361 350820 794053 1103771 1367926 3265750 3925163 511120 rec. 32824021 221339 673017 779818 1133571 2807745 3571329 5425415 11804489 21019532 511130 firms 2552 304 1205 379 222 2110 285 86 2481 71 2495 288 1199 344 235 2066 272 86 2424 71 2490 275 1180 340 230 2025 289 90 2404 86 2522 293 1193 329 248 2063 287 92 2442 80 2408 230 1201 326 217 1974 261 97 2332 76 511130 estab. 2683 304 1207 381 222 2114 293 96 2503 180 2646 288 1201 346 235 2070 279 101 2450 196 2661 275 1183 341 231 2030 296 103 2429 232 2698 294 1196 330 249 2069 296 108 2473 225 2713 230 1203 329 221 1983 291 116 2390 323 511130 empl. 90454 0 2441 2494 3010 7945 11487 11874 31306 59148 81391 0 2406 2287 3140 7833 10854 12316 31003 50388 87242 0 2390 2232 3113 7735 11517 12793 32045 55197 89676 0 2410 2137 3350 7897 11955 13270 33122 56554 90017 0 2375 2111 2939 7425 10495 13411 31331 58686 511130 ann. pay. 3781501 14994 68943 77194 103274 264405 413586 472242 1150233 2631268 3767370 14401 75211 79400 115177 284189 398323 534732 1217244 2550126 4309858 13809 73325 74379 116203 277716 451967 567701 1297384 3012474 4803151 38354 73190 74008 127556 313108 468958 640521 1422587 3380564 4863261 12932 75020 73168 118956 280076 430391 647285 1357752 3505509 511130 rec. 27937864 44301 320958 319902 479787 1164948 1716349 2653717 5535014 22402850 511140 firms 1139 101 464 202 147 914 138 44 1096 43 849 97 335 136 98 666 94 45 805 44 1146 108 456 197 150 911 136 43 1090 56 1164 107 467 201 151 926 146 37 1109 55 1136 143 485 199 109 936 118 30 1084 52 511140 estab. 1277 103 464 209 150 926 141 65 1132 145 970 97 335 136 101 669 97 63 829 141 1370 109 456 197 154 916 138 61 1115 255 1394 107 467 203 153 930 148 47 1125 269 1566 143 486 203 120 952 136 47 1135 431 511140 empl. 38024 0 1052 1365 1958 4375 5364 6693 16432 21592 31665 0 746 903 1327 2976 3491 7122 13589 18076 46240 0 1023 1299 2057 4379 5370 7187 16936 29304 45096 0 1016 1294 2070 4380 5585 6160 16125 28971 46913 0 1042 1328 1527 3897 4469 5107 13473 33440 511140 ann. pay. 1642916 3822 36324 50662 90101 180909 215022 274959 670890 972026 1454873 4536 27833 33821 58146 124336 156974 293182 574492 880381 2418061 6695 37223 63324 115385 222627 258105 334022 814754 1603307 2327697 11868 37047 50979 94976 194870 275488 325673 796031 1531666 2275843 9317 40438 55141 57982 162878 234596 266051 663525 1612318 511140 rec. 11989265 32293 170902 186540 204131 593866 766847 858116 2218829 9770436 511191 firms 93 10 29 15 7 61 15 10 86 7 95 10 35 13 9 67 15 9 91 4 98 10 36 14 10 70 14 8 92 6 88 7 31 17 9 64 12 9 85 3 88 10 33 13 9 65 11 7 83 5 511191 estab. 107 10 29 15 7 61 15 11 87 20 108 10 35 13 9 67 15 10 92 16 112 10 36 14 10 70 14 9 93 19 102 7 31 17 9 64 12 10 86 16 106 10 33 13 9 65 12 8 85 21 511191 empl. 19764 0 66 106 101 273 628 2164 3065 16699 18158 0 84 85 120 289 642 2089 3020 15138 17759 0 92 88 136 316 652 2000 2968 14791 17432 0 71 109 124 304 [f] 2272 [h] [j] 16090 0 68 86 115 269 495 1925 2689 13401 511191 ann. pay. 669375 620 1585 2288 2662 7155 21632 70280 99067 570308 626764 206 2348 1832 3960 8346 21018 73828 103192 523572 631240 450 3849 2081 3120 9500 20824 70349 100673 530567 688446 70 2030 3136 3001 8237 (D) 78655 (D) (D) 642028 1720 1806 2097 3215 8838 17238 81792 107868 534160 511191 rec. 5375254 4427 8121 8492 10102 31142 88642 344695 464479 4910775 511199 firms 2443 393 951 379 292 2015 281 68 2364 79 2438 382 985 378 278 2023 273 69 2365 73 2494 394 1024 375 274 2067 280 64 2411 83 2294 290 963 346 275 1874 273 65 2212 82 2069 308 848 296 243 1695 233 72 2000 69 511199 estab. 2732 393 951 383 296 2023 289 109 2421 311 2912 382 985 381 279 2027 281 120 2428 484 2965 396 1024 378 276 2074 288 113 2475 490 2776 290 966 346 290 1892 284 93 2269 507 2463 308 849 296 259 1712 246 105 2063 400 511199 empl. 46354 0 1939 2493 3904 8336 10283 7218 25837 20517 48453 0 1994 2457 3771 8222 10268 7903 26393 22060 49725 0 2134 2471 3782 8387 10894 8658 27939 21786 48187 0 1955 2306 3766 8027 [j] 8714 [k] [j] 39700 0 1709 2012 3286 7007 8779 8310 24096 15604 511199 ann. pay. 1562275 28049 57022 79737 130522 295330 316148 235073 846551 715724 1819533 25324 63685 85688 128543 303240 330749 303527 937516 882017 2006098 39889 68202 84925 129923 322939 394708 381461 1099108 906990 1915580 21980 69327 81983 133062 306352 (D) 359322 (D) (D) 1649328 15639 56214 72434 125168 269455 325543 392731 987729 661599 511199 rec. 7521839 67602 218765 230441 377937 894745 1041444 1887786 3823975 3697864 511210 firms 9426 933 3789 1537 1252 7511 1339 341 9191 235 8961 878 3514 1386 1228 7006 1365 339 8710 251 8382 881 3168 1263 1080 6392 1379 357 8128 254 8057 770 3106 1192 1031 6099 1329 368 7796 261 7699 879 2948 1212 925 5964 1179 307 7450 249 511210 estab. 11694 933 3800 1558 1296 7587 1612 884 10083 1611 11132 881 3527 1406 1258 7072 1604 752 9428 1704 10599 893 3183 1281 1103 6460 1580 662 8702 1897 10353 772 3107 1220 1058 6157 1489 699 8345 2008 10089 880 2961 1233 979 6053 1482 693 8228 1861 511210 empl. 283192 0 7939 10280 17068 35287 52744 54348 142379 140813 304663 0 7274 9139 16699 33112 55682 53877 142671 161992 331485 0 6597 8376 14683 29656 57215 61461 148332 183153 353344 0 6479 7970 14102 28551 55343 64087 147981 205363 312102 0 6033 8105 12749 26887 47423 50870 125180 186922 511210 ann. pay. 23615784 54417 395910 511009 931234 1892570 3303612 4203993 9400175 14215609 27695721 81849 371936 480768 974374 1908927 3790747 4926913 10626587 17069134 44090006 122077 319166 441076 880121 1762440 4109229 6392219 12263888 31826118 36954665 81433 332937 439169 840152 1693691 3728816 5065146 10487653 26467012 29930377 113171 318668 449253 807859 1688951 3485966 4103042 9277959 20652418 511210 rec. 96373815 292496 894492 1091038 1845517 4123543 7619505 9019867 20762915 75610900 512110 firms 9529 2881 4772 943 464 9060 343 60 9463 66 9581 2696 4923 951 512 9082 379 59 9520 61 9786 2709 5009 999 554 9271 392 69 9732 54 10226 2840 5284 1042 515 9681 428 66 10175 51 10563 3084 5625 927 473 10109 346 58 10513 50 512110 estab. 9703 2884 4777 953 479 9093 366 68 9527 176 9796 2698 4928 961 526 9113 405 66 9584 212 10018 2710 5017 1006 566 9299 419 76 9794 224 10595 2843 5295 1048 525 9711 454 81 10246 349 10943 3084 5634 938 493 10149 391 68 10608 335 512110 empl. 63336 0 8578 6173 6093 20844 12356 7785 40985 22351 72505 0 8853 6086 6817 21756 14852 7486 44094 28411 84549 0 9015 6500 7471 22986 14670 10299 47955 36594 96892 0 9472 6733 6824 23029 15834 9048 47911 48981 85659 0 10020 5980 6206 22206 12502 8099 42807 42852 512110 ann. pay. 4742149 443982 863510 347165 329054 1983711 552682 464944 3001337 1740812 5301296 449606 877075 288511 401325 2016517 688986 404291 3109794 2191502 5722993 433305 867393 312973 403641 2017312 811555 501056 3329923 2393070 6815633 444811 904641 333462 362571 2045485 979830 386463 3411778 3403855 6662753 466879 939946 312427 434582 2153834 776017 435034 3364885 3297868 512110 rec. 44832326 1363213 2643733 1466381 1663063 7136390 3048133 1066226 11250749 33581577 512120 firms 629 82 303 94 69 548 49 10 607 22 579 74 291 78 58 501 44 12 557 22 562 83 281 72 48 484 46 11 541 21 512 62 264 70 50 446 48 10 504 8 508 69 255 68 53 445 44 11 500 8 512120 estab. 711 83 303 94 72 552 59 14 625 86 706 75 291 78 61 505 48 18 571 135 678 83 283 72 51 489 50 17 556 122 537 62 266 71 52 451 53 13 517 20 541 69 258 69 59 455 52 14 521 20 512120 empl. 26900 0 637 589 888 2114 1970 974 5058 21842 27669 0 607 509 806 1922 1492 1148 4562 23107 13861 0 610 461 682 1753 1713 1096 4562 9299 5870 0 559 456 679 1694 1556 944 4194 1676 5311 0 536 447 729 1712 1588 925 4225 1086 512120 ann. pay. 889219 3873 42492 22906 45195 114466 94187 36805 245458 643761 1058311 4344 27821 32577 41108 105850 65120 48910 219880 838431 1118723 6616 34147 34074 37231 112068 86245 48041 246354 872369 306638 6758 28095 32697 38556 106106 86099 43485 235690 70948 311907 8849 27269 37291 35513 108922 91837 43264 244023 67884 512120 rec. 1544022 29257 131342 165690 334574 660863 470427 216237 1347527 196495 512131 firms 2044 228 483 453 423 1587 365 59 2011 33 1999 221 474 456 419 1570 334 63 1967 32 1932 230 503 372 413 1518 321 60 1899 33 1907 219 465 406 375 1465 350 58 1873 34 1899 215 408 371 429 1423 371 71 1865 34 512131 estab. 5962 230 486 469 458 1643 594 524 2761 3201 5885 227 478 473 457 1635 539 466 2640 3245 5593 230 522 379 461 1592 518 440 2550 3043 5050 219 474 424 416 1533 508 420 2461 2589 4895 215 411 379 445 1450 557 455 2462 2433 512131 empl. 130511 0 1173 3098 5563 9834 [j] [j] 33710 96801 135208 0 1123 3073 5493 9689 11471 11512 32672 102536 142282 0 1183 2522 5514 9219 11293 10906 31418 110864 130938 0 1040 2748 5140 8928 12666 11510 33104 97834 132368 0 989 2568 5880 9437 13113 14211 36761 95607 512131 ann. pay. 1060956 24937 13090 26154 44455 108636 (D) (D) 302727 758229 1111222 18280 17357 27669 46871 110177 98197 103994 312368 798854 1106632 20101 18993 25368 47966 112428 104066 90345 306839 799793 1162472 30117 19769 27479 44643 122008 114361 101644 338013 824459 1314719 16770 16746 25407 51790 110713 115667 147392 373772 940947 512131 rec. 10883858 85178 81735 122249 278139 567301 712223 958345 2237869 8645989 512132 firms 284 139 72 23 19 253 17 6 276 8 271 118 78 21 20 237 21 7 265 6 251 115 61 25 20 221 17 8 246 5 263 126 65 22 18 231 22 6 259 4 265 124 59 24 21 228 24 8 260 5 512132 estab. 318 139 72 26 19 256 22 12 290 28 312 118 78 22 20 238 29 19 286 26 291 115 61 26 20 222 25 21 268 23 303 126 65 22 19 232 30 19 281 22 303 124 61 26 21 232 29 20 281 22 512132 empl. 1901 0 145 151 222 518 [e] [c] 1045 856 1929 0 153 124 228 505 401 152 1058 871 1676 0 132 159 199 490 418 254 1162 514 1723 0 139 131 183 453 470 341 1264 459 1687 0 118 150 173 441 413 312 1166 521 512132 ann. pay. 22934 3303 3006 1591 2128 10028 (D) (D) 15889 7045 22310 2429 3385 1339 2070 9223 4736 2165 16124 6186 23359 2842 2874 1958 2301 9975 4718 3401 18094 5265 26092 3193 3400 1957 1905 10455 5836 3543 19834 6258 25977 3278 2941 2177 1365 9761 5055 3751 18567 7410 512132 rec. 123469 21576 14990 10072 9732 56370 20619 14573 91562 31907 512191 firms 2882 383 1523 466 254 2626 201 35 2862 20 2757 398 1411 433 271 2513 190 36 2739 18 2707 438 1314 450 239 2441 214 34 2689 18 2585 380 1310 403 236 2329 201 34 2564 21 2475 416 1287 335 211 2249 172 35 2456 19 512191 estab. 2992 384 1526 471 260 2641 225 68 2934 58 2851 400 1415 435 276 2526 215 69 2810 41 2816 438 1315 453 243 2449 221 77 2747 69 2702 380 1311 403 241 2335 213 94 2642 60 2594 416 1287 335 217 2255 207 78 2540 54 512191 empl. 28266 0 2928 2975 3444 9347 7237 5332 21916 6350 28490 0 2688 2794 3765 9247 6903 6234 22384 6106 29724 0 2533 2876 3267 8676 7744 5913 22333 7391 30161 0 2458 2614 3216 8288 7481 4987 20756 9405 23800 0 2446 2120 2805 7371 6200 5165 18736 5064 512191 ann. pay. 1489588 35490 155953 123351 166781 481575 355368 288502 1125445 364143 1467829 42421 143005 111735 179608 476769 364758 316708 1158235 309594 1591459 47637 136376 125801 169610 479424 408783 302307 1190514 400945 1588680 37785 140388 105014 169149 452336 412389 253243 1117968 470712 1413884 41352 131802 93747 147233 414134 362169 297226 1073529 340355 512191 rec. 3761020 107421 406814 286647 406930 1207812 917654 710174 2835640 925380 512199 firms 338 43 162 59 33 297 23 10 330 8 330 60 142 58 29 289 27 6 322 8 324 49 144 54 28 275 29 9 313 11 337 54 147 60 30 291 27 9 327 10 363 54 180 56 31 321 26 7 354 9 512199 estab. 378 43 164 59 34 300 55 12 367 11 339 60 144 58 29 291 29 6 326 13 334 49 145 55 28 277 31 10 318 16 345 54 149 60 30 293 29 9 331 14 376 54 181 56 31 322 34 8 364 12 512199 empl. 4325 0 336 373 421 1130 736 883 2749 1576 4363 0 302 364 360 1026 762 391 2179 2184 4496 0 336 349 387 1072 764 627 2463 2033 4553 0 329 367 427 1123 781 526 2430 2123 4553 0 352 362 416 1130 791 366 2287 2266 512199 ann. pay. 224472 11743 13934 11716 15462 52855 27368 42634 122857 101615 213953 4379 13707 12496 16665 47247 29666 12373 89286 124667 242769 2396 15615 12000 17351 47362 28667 33188 109217 133552 256909 5455 13579 13797 13899 46730 34133 32882 113745 143164 256656 11085 16765 18408 17192 63450 41396 27376 132222 124434 512199 rec. 1154338 116270 49725 51712 50836 268543 128040 122369 518952 635386 512210 firms 279 57 162 33 18 270 8 0 278 1 271 63 151 32 14 260 9 0 269 2 268 54 157 34 9 254 12 0 266 2 262 52 152 30 9 243 17 0 260 2 356 74 217 29 14 334 17 2 353 3 512210 estab. 279 57 162 33 18 270 8 0 278 1 274 63 151 32 14 260 9 0 269 5 276 59 157 34 9 259 12 0 271 5 270 52 152 30 9 243 22 0 265 5 370 74 217 29 14 334 17 7 358 12 512210 empl. 1073 0 294 212 233 739 [e] 0 [g] [a] 1042 0 265 205 194 664 [e] 0 [g] [b] 1110 0 285 222 118 625 [e] 0 [g] [b] 1225 0 275 202 118 595 [f] 0 [g] [b] 1916 0 393 188 167 748 687 [c] [g] [e] 512210 ann. pay. 48686 3615 13603 6584 12320 36122 (D) 0 (D) (D) 53115 4310 17384 5933 7317 34944 (D) 0 (D) (D) 54576 8039 14129 7638 5025 34831 (D) 0 (D) (D) 73294 5722 12621 8717 9316 36376 (D) 0 (D) (D) 114852 6781 16593 10621 7428 41423 30112 (D) (D) (D) 512210 rec. 548637 24729 76695 49636 25737 176797 148539 (D) (D) (D) 512220 firms 264 42 128 36 24 230 21 5 256 8 263 45 133 35 19 232 20 4 256 7 267 42 140 34 19 235 21 5 261 6 261 37 140 31 24 232 16 7 255 6 247 34 126 36 23 219 18 3 240 7 512220 estab. 289 42 128 36 24 230 21 5 256 33 289 47 133 35 19 234 20 4 258 31 310 43 140 34 21 238 21 9 268 42 305 37 140 31 27 235 16 10 261 44 303 34 126 37 28 225 22 8 255 48 512220 empl. 6970 0 240 236 323 799 928 407 2134 4836 6705 0 260 217 260 737 875 581 2193 4512 9001 0 269 213 257 739 870 757 2366 6635 8794 0 256 203 331 790 615 852 2257 6537 8705 0 231 248 331 810 770 440 2020 6685 512220 ann. pay. 675618 1818 12513 10232 15202 39765 63976 38860 142601 533017 676563 5727 12138 7775 14180 39820 69188 59553 168561 508002 1100330 5405 11523 10545 10235 37708 75589 34816 148113 952217 1042538 2248 14357 9872 17673 44150 53562 39739 137451 905087 954729 1338 12042 13471 22520 49371 49749 21777 120897 833832 512220 rec. 7250889 10602 45034 73967 110718 240321 271452 83174 594947 6655942 512230 firms 692 143 381 74 33 631 40 10 681 11 671 140 362 72 39 613 37 9 659 12 637 115 362 68 40 585 32 9 626 11 613 105 348 72 37 562 31 9 602 11 674 132 389 75 35 631 27 7 665 9 512230 estab. 718 143 381 74 34 632 47 16 695 23 701 141 362 73 39 615 46 15 676 25 670 115 363 69 40 587 42 18 647 23 645 105 348 73 37 563 41 17 621 24 706 132 389 77 35 633 35 15 683 23 512230 empl. 5185 0 729 476 419 1624 [g] 1050 [h] [g] 5229 0 696 461 499 1656 1333 1085 4074 1155 5125 0 695 422 528 1645 1181 1053 3879 1246 5050 0 677 444 487 1608 1048 1105 3761 1289 4548 0 695 455 462 1612 904 1045 3561 987 512230 ann. pay. 232378 11183 24878 16812 12563 65436 (D) 33679 (D) (D) 251842 7625 24229 15820 19144 66818 62521 35739 165078 86764 282621 20009 25967 13797 19979 79752 60706 46694 187152 95469 277208 19106 27806 15983 22163 85058 49864 48243 183165 94043 288954 11123 31114 17455 30748 90440 53941 52056 196437 92517 512230 rec. 2026566 36876 121777 105461 122841 386955 336870 351647 1075472 951094 512240 firms 1410 246 820 191 89 1346 52 6 1404 6 1539 250 889 204 119 1462 66 6 1534 5 1494 208 884 219 102 1413 66 9 1488 6 1599 237 954 219 104 1514 68 11 1593 6 1491 244 904 206 78 1432 47 6 1485 6 512240 estab. 1422 246 820 193 93 1352 57 7 1416 6 1553 250 889 207 123 1469 72 7 1548 5 1516 208 884 222 107 1421 78 10 1509 7 1621 237 954 224 107 1522 77 15 1614 7 1517 244 904 208 82 1438 61 9 1508 9 512240 empl. 10699 0 1586 1200 1167 3953 [g] 347 [i] [h] 7250 0 1774 1270 1560 4604 2203 396 7203 47 8127 0 1758 1420 1360 4538 2465 1072 8075 52 8449 0 1871 1402 1381 4654 2564 1178 8396 53 6398 0 1728 1298 1035 4061 1549 464 6074 324 512240 ann. pay. 649352 14191 43566 35553 38726 132036 (D) 5909 (D) (D) 266792 14057 50231 39116 51893 155297 75849 33514 264660 2132 326506 13103 51872 46815 51206 162996 95947 65444 324387 2119 313418 11829 56238 45553 51257 164877 105584 40704 311165 2253 233808 10010 50635 43262 44574 148481 61188 13560 223229 10579 512240 rec. 784604 39907 200684 145845 112864 499300 175848 39016 714164 70440 512290 firms 345 72 194 39 17 322 14 4 340 5 343 41 206 51 21 319 14 5 338 5 326 34 191 49 25 299 17 3 319 7 347 41 210 40 30 321 17 5 343 4 394 64 232 40 29 365 21 5 391 3 512290 estab. 403 72 194 40 17 323 15 33 371 32 396 41 206 52 21 320 15 38 373 23 397 34 191 50 25 300 24 25 349 48 409 41 210 41 30 322 17 35 374 35 473 64 232 41 29 366 21 52 439 34 512290 empl. 2547 0 356 255 209 820 432 778 2030 517 2979 0 350 323 272 945 [e] 902 [g] [f] 4253 0 352 325 340 1017 [e] 761 [g] [g] 3488 0 387 255 401 1043 [e] 943 [g] [g] 3454 0 419 246 364 1029 658 [f] [h] [f] 512290 ann. pay. 102145 5360 15256 6679 5651 32946 12902 29891 75739 26406 108178 6535 12969 10803 5182 35489 (D) 21265 (D) (D) 166168 2547 13161 9337 10948 35993 (D) 18874 (D) (D) 123387 2094 12957 7577 10308 32936 (D) 36261 (D) (D) 121786 1873 14293 7535 10227 33928 24361 (D) (D) (D) 512290 rec. 371248 8985 59042 23487 29004 120518 67322 (D) (D) (D) 513111 firms 247 38 61 44 35 178 41 13 232 15 268 46 69 42 29 186 49 16 251 17 264 36 68 50 32 186 42 16 244 20 286 48 78 45 32 203 44 18 265 21 362 47 118 55 48 268 52 23 343 19 513111 estab. 320 38 61 44 37 180 68 32 280 40 339 46 69 42 32 189 65 51 305 34 334 39 68 50 35 192 54 39 285 49 359 48 81 45 35 209 52 58 319 40 475 47 118 55 50 270 80 79 429 46 513111 empl. 6376 0 126 293 492 911 1355 944 3210 3166 8644 0 143 277 389 809 1490 1430 3729 4915 9349 0 143 331 415 889 1353 1866 4108 5241 12168 0 167 304 428 899 1578 1840 4317 7851 8973 0 217 354 630 1201 2009 2390 5600 3373 513111 ann. pay. 255367 4108 3609 5223 8928 21868 47565 31983 101416 153951 454049 5142 3935 6815 9226 25118 46651 77584 149353 304696 516188 6621 3991 9878 11456 31946 50020 83963 165929 350259 374895 10973 5950 7916 11353 36192 64671 92790 193653 181242 513836 3385 7774 13644 16327 41130 78355 159890 279375 234461 513111 rec. 1600908 15099 28493 35286 43489 122367 265247 469173 856787 744121 513112 firms 5069 504 1085 1054 1306 3949 922 121 4992 77 4842 472 1117 1039 1167 3795 862 111 4768 74 4687 443 1184 1001 1074 3702 803 105 4610 77 4343 385 1160 919 1013 3477 689 97 4263 80 3915 367 981 838 914 3100 644 92 3836 79 513112 estab. 6253 504 1086 1071 1364 4025 1178 437 5640 613 6198 474 1121 1054 1211 3860 1095 438 5393 805 6108 448 1192 1016 1121 3777 1013 388 5178 930 6938 393 1171 936 1077 3577 850 337 4764 2174 6554 368 986 843 977 3174 866 377 4417 2137 513112 empl. 107879 0 2514 7363 17632 27509 31219 14669 73397 34482 114825 0 2548 7112 15810 25470 29198 13875 68543 46282 112143 0 2669 6954 14593 24216 27602 12859 64677 47466 130482 0 2611 6340 13764 22715 24060 11754 58529 71953 121875 0 2326 5785 12335 20446 21965 11699 54110 67765 513112 ann. pay. 3371630 32026 56155 115448 299369 502998 773938 465124 1742060 1629570 4086539 52063 60131 134288 281199 527681 742869 476979 1747529 2339010 4324534 39614 67434 143820 289906 540774 798134 439535 1778443 2546091 5006249 24156 70119 119272 280364 493911 675403 446116 1615430 3390819 4547833 20240 52245 109721 257166 439372 641439 427177 1507988 3039845 513112 rec. 15952910 74976 179976 295079 616049 1166080 1691679 1333432 4191191 11761719 513120 firms 1107 153 262 134 102 651 250 114 1015 92 1119 112 299 146 110 667 248 117 1032 87 1107 120 294 143 95 652 260 102 1014 93 1081 107 308 126 108 649 240 103 992 89 1071 110 313 130 111 664 226 97 987 84 513120 estab. 1945 153 264 138 103 658 300 214 1172 773 2009 112 304 147 111 674 296 210 1180 829 2050 120 296 148 100 664 298 186 1148 902 1937 107 312 129 112 660 281 182 1123 814 2009 110 314 130 111 665 276 200 1141 868 513120 empl. 128726 0 566 920 1382 2868 11386 15946 30200 98526 126802 0 640 995 1542 3177 10951 15977 30105 96697 132151 0 639 938 1316 2893 11356 14668 28917 103234 126734 0 670 810 1492 2972 10241 15699 28912 97822 123409 0 666 860 1539 3065 9804 15373 28242 95167 513120 ann. pay. 6654464 35766 23242 23490 38630 121128 326095 589055 1036278 5618186 6823680 30508 26192 25075 44241 126016 325669 610232 1061917 5761763 7451334 36866 26979 27102 36271 127218 378256 581006 1086480 6364854 7358528 27028 68221 22150 39893 157292 339909 634551 1131752 6226776 7153575 13910 34845 22677 47812 119244 345686 654039 1118969 6034606 513120 rec. 33558561 54336 114346 87924 171990 428596 1280386 2076094 3785076 29773485 513210 firms 349 47 117 44 33 241 44 25 310 39 373 52 129 48 35 264 49 22 335 38 382 55 118 52 40 265 52 24 341 41 361 32 102 58 41 233 60 25 318 43 454 60 157 72 47 336 54 22 412 42 513210 estab. 752 47 117 45 33 242 69 67 378 374 755 52 129 49 42 272 67 56 395 360 689 55 118 53 41 267 65 58 390 299 887 32 102 61 41 236 64 53 353 534 1292 60 158 74 52 344 64 54 462 830 513210 empl. 32480 0 259 290 457 1006 1628 4313 6947 25533 33171 0 278 319 493 1090 1857 4104 7051 26120 39147 0 239 343 539 1121 1987 4693 7801 31346 41022 0 209 382 550 1141 2565 5101 8807 32215 61796 0 323 498 630 1451 2074 4537 8062 53734 513210 ann. pay. 1902915 27078 9769 5533 18010 60390 63379 262479 386248 1516667 2057419 17049 11720 8806 16224 53799 77487 279844 411130 1646289 2654028 26489 11061 9646 17384 64580 102398 372248 539226 2114802 2963623 6289 10366 11743 17516 45914 110051 376299 532264 2431359 3445590 5016 14788 20693 23502 63999 86634 335253 485886 2959704 513210 rec. 25288176 22964 125233 141573 123301 413071 471676 1762517 2647264 22640912 513220 firms 1516 167 616 259 161 1203 168 73 1444 72 1513 149 643 268 165 1225 164 49 1438 75 1446 141 641 262 146 1190 142 49 1381 65 1379 143 590 250 140 1123 142 46 1311 68 1244 132 534 213 128 1007 128 46 1181 63 513220 estab. 4203 167 618 273 177 1235 277 323 1835 2368 4609 150 646 272 177 1245 247 213 1705 2904 4581 141 647 271 154 1213 170 230 1613 2968 5805 143 593 255 146 1137 205 139 1481 4324 5599 132 534 223 141 1030 185 193 1408 4191 513220 empl. 146241 0 1364 1651 2147 5162 6299 11594 23055 123186 148948 0 1380 1767 2168 5315 6048 6734 18097 130851 173563 0 1420 1724 1946 5090 5314 6578 16982 156581 204426 0 1286 1658 1816 4760 5730 5260 15750 188676 238347 0 1121 1400 1694 4215 4487 5232 13934 224413 513220 ann. pay. 5368564 11214 33705 44909 62276 152104 199407 394929 746440 4622124 6002429 14309 38231 52771 74759 180070 192787 290069 662926 5339503 7430397 14363 40913 60914 71590 187780 178537 246343 612660 6817737 8766780 53053 37144 53879 65852 209928 222669 193327 625924 8140856 9004908 6137 33960 42040 61170 143307 159011 192615 494933 8509975 513220 rec. 56637054 39243 176555 205003 272312 693113 792474 1105964 2591551 54045503 513310 firms 3037 582 952 447 382 2363 474 131 2968 69 3188 486 1109 463 410 2468 510 129 3107 81 3357 511 1113 511 432 2567 534 156 3257 100 3279 418 1101 511 423 2453 566 152 3171 108 3044 401 1028 456 390 2275 519 135 2929 115 513310 estab. 22275 595 954 456 409 2414 664 374 3452 18823 23461 487 1122 469 439 2517 668 371 3556 19905 26223 512 1115 514 455 2596 675 469 3740 22483 27509 418 1102 515 447 2482 684 350 3516 23993 26883 402 1029 462 419 2312 711 393 3416 23467 513310 empl. 818245 0 2037 2965 5127 10129 18704 20366 49199 769046 815662 0 2323 3064 5478 10865 19982 21246 52093 763569 870235 0 2361 3410 5844 11615 21671 26056 59342 810893 905518 0 2334 3381 5636 11351 22514 24539 58404 847114 848013 0 2137 3026 5251 10414 20712 20301 51427 796586 513310 ann. pay. 42099071 51735 71656 104397 204601 432389 762293 900790 2095472 40003599 44613615 54566 83155 125647 227683 491051 908793 960546 2360390 42253225 49010081 332452 100242 137978 284465 855137 1053919 1302156 3211212 45798869 50210483 38089 83759 131266 249507 502621 1045732 1181359 2729712 47480771 47962181 59864 94568 120441 228701 503574 986237 917526 2407337 45554844 513310 rec. 231169001 571031 620296 644764 1081039 2917130 4418517 4650375 11986022 219182979 513321 firms 1914 422 825 280 176 1703 141 29 1873 41 2042 404 918 312 184 1818 155 31 2004 38 2113 360 987 323 213 1883 157 35 2075 38 2023 322 929 320 207 1778 177 33 1988 35 1540 217 795 214 157 1383 114 20 1517 23 513321 estab. 3947 422 834 298 196 1750 258 132 2140 1807 4099 422 925 316 211 1874 251 135 2260 1839 4098 364 993 329 245 1931 246 81 2258 1840 3900 322 931 332 238 1823 274 153 2250 1650 2832 217 798 218 186 1419 202 141 1762 1070 513321 empl. 70043 0 1744 1873 2292 5909 5242 3336 14487 55556 71248 0 1940 2028 2401 6369 5481 4101 15951 55297 72396 0 2100 2071 2823 6994 5854 4539 17387 55009 72452 0 1952 2101 2752 6805 6727 4421 17953 54499 42604 0 1627 1400 2051 5078 3917 3504 12499 30105 513321 ann. pay. 2727393 21173 40183 41537 62685 165578 145459 120287 431324 2296069 3058935 28088 65997 52723 64752 211560 187864 141305 540729 2518206 3396040 42801 62742 63930 104923 274396 225399 231258 731053 2664987 3487646 20641 51902 57908 90488 220939 290532 202150 713621 2774025 1709268 36243 41700 37257 59980 175180 147636 227490 550306 1158962 513321 rec. 15273836 114219 242110 172440 241017 769786 482661 525938 1778385 13495451 513322 firms 1475 287 579 237 147 1250 138 46 1434 41 1583 299 625 258 155 1337 154 44 1535 48 1828 371 699 271 191 1532 193 45 1770 58 1892 324 715 312 217 1568 201 58 1827 65 2169 417 888 315 201 1821 227 61 2109 60 513322 estab. 3920 289 579 238 169 1275 192 124 1591 2329 5164 316 627 262 166 1371 206 271 1848 3316 6326 386 701 274 215 1576 247 284 2107 4219 7710 330 717 319 232 1598 276 450 2324 5386 8247 417 889 328 237 1871 425 376 2672 5575 513322 empl. 92387 0 1214 1572 1942 4728 4968 6539 16235 76152 114800 0 1252 1727 2060 5039 5683 6195 16917 97883 130080 0 1500 1772 2497 5769 7364 6841 19974 110106 184106 0 1510 2081 2974 6565 7833 7188 21586 162520 174165 0 1865 2077 2618 6560 8349 6970 21879 152286 513322 ann. pay. 4373742 27262 37582 41100 61628 167572 155047 346163 668782 3704960 5042845 44598 37411 48432 73140 203581 240923 277422 721926 4320919 7631105 50444 47381 70409 84725 252959 358832 451160 1062951 6568154 9880236 32653 49989 69843 97835 250320 345765 336582 932667 8947569 8708747 21572 52543 63489 86607 224211 398294 360326 982831 7725916 513322 rec. 72787495 135733 324502 337851 383941 1182027 2306281 1813602 5301910 67485585 513330 firms 1664 354 614 249 156 1373 192 65 1630 34 1709 351 665 242 164 1422 171 75 1668 41 1794 368 695 253 168 1484 186 67 1737 57 1791 332 705 248 202 1487 179 62 1728 63 2237 412 945 335 220 1912 208 55 2175 62 513330 estab. 2083 357 616 249 160 1382 253 167 1802 281 2208 352 665 245 167 1429 236 171 1836 372 2458 370 696 255 169 1490 244 139 1873 585 2475 339 706 248 206 1499 219 102 1820 655 3060 416 945 346 250 1957 296 89 2342 718 513330 empl. 41232 0 1254 1607 2134 4995 8022 10891 23908 17324 43600 0 1352 1617 2229 5198 7011 12234 24443 19157 54587 0 1470 1694 2224 5388 7870 10291 23549 31038 59941 0 1490 1635 2733 5858 7547 10671 24076 35865 49808 0 1988 2213 2982 7183 8169 8339 23691 26117 513330 ann. pay. 1698084 38338 39361 61447 95808 234954 312375 366517 913846 784238 2167477 36546 46946 80241 111042 274775 422135 615629 1312539 854938 3341749 72916 58493 70834 93416 295659 409856 934855 1640370 1701379 3217934 39262 52955 59335 118091 269643 352222 558851 1180716 2037218 2666336 32807 69939 79656 116265 298667 404605 404271 1107543 1558793 513330 rec. 15577521 195558 505146 636499 880247 2217450 2195267 2299749 6712466 8865055 513340 firms 418 59 139 55 66 319 55 20 394 24 474 100 161 67 48 376 48 22 446 28 512 92 187 68 53 400 56 22 478 34 528 95 185 68 70 418 51 25 494 34 567 84 236 75 54 449 67 23 539 28 513340 estab. 679 61 139 57 67 324 74 85 483 196 791 100 161 69 49 379 58 55 492 299 728 92 188 68 54 402 70 50 522 206 737 95 185 76 76 432 52 69 553 184 746 84 237 78 57 456 81 75 612 134 513340 empl. 11818 0 276 379 875 1530 2270 3725 7525 4293 17608 0 337 445 663 1445 2014 3592 7051 10557 21252 0 384 452 720 1556 2033 3714 7303 13949 21259 0 398 441 934 1773 1920 4342 8035 13224 16001 0 467 489 714 1670 2672 3646 7988 8013 513340 ann. pay. 781838 8016 10591 17666 38350 74623 132501 285616 492740 289098 1235099 9937 15610 23257 29612 78416 108849 242646 429911 805188 1680417 20908 14705 18112 30241 83966 133962 323080 541008 1139409 1491568 4642 15605 21281 37781 79309 110057 293143 482509 1009059 1052506 4752 19971 20844 27729 73296 167783 238063 479142 573364 513340 rec. 6419151 31896 123276 114679 329231 599082 822784 2034311 3456177 2962974 513390 firms 740 196 337 102 47 682 31 12 725 15 888 232 401 109 68 810 46 16 872 16 1044 232 472 148 84 936 63 21 1020 24 1074 217 476 155 93 941 79 28 1048 26 825 164 381 102 74 721 55 23 799 26 513390 estab. 863 196 337 102 49 684 35 25 744 119 1219 232 401 109 69 811 54 21 886 333 1376 232 472 148 85 937 70 27 1034 342 1418 217 476 155 96 944 84 33 1061 357 1015 164 381 102 75 722 60 39 821 194 513390 empl. 7274 0 659 673 579 1911 1247 1184 4342 2932 8934 0 795 717 870 2382 1667 2368 6417 2517 16929 0 946 987 1104 3037 2348 2923 8308 8621 18907 0 981 994 1212 3187 2953 4008 10148 8759 13417 0 770 686 978 2434 1792 2317 6543 6874 513390 ann. pay. 448344 13714 21762 23535 18798 77809 68875 56842 203526 244818 468507 17167 26841 28029 36437 108474 79387 90573 278434 190073 1330069 33280 37831 43778 53704 168593 147384 221054 537031 793038 1201951 53479 30913 38070 43489 165951 144866 229805 540622 661329 848062 9280 27813 24987 44692 106772 87825 115239 309836 538226 513390 rec. 3148731 43109 161262 101162 175665 481198 234041 595185 1310424 1838307 514110 firms 285 42 121 39 19 221 28 13 262 23 324 61 128 41 22 252 35 10 297 27 324 45 138 46 26 255 35 10 300 24 300 46 126 39 22 233 31 11 275 25 311 48 143 38 23 252 29 7 288 23 514110 estab. 516 42 122 41 26 231 48 60 339 177 564 61 129 43 28 261 54 56 371 193 567 45 139 47 36 267 68 45 380 187 540 46 129 39 28 242 51 19 312 228 543 48 143 39 26 256 55 38 349 194 514110 empl. 9920 0 219 269 231 719 937 2080 3736 6184 11363 0 255 266 264 785 1291 1700 3776 7587 11283 0 266 304 317 887 1393 1940 4220 7063 12205 0 249 254 290 793 1035 1517 3345 8860 10158 0 254 258 311 823 1015 1201 3039 7119 514110 ann. pay. 521746 2955 19474 9646 9233 41308 46563 138069 225940 295806 612001 2478 14454 10853 10015 37800 60572 119301 217673 394328 647566 3402 16210 14053 12258 45923 81064 158024 285011 362555 679652 11661 17286 9265 10959 49171 58719 75480 183370 496282 584239 1565 28025 8937 17960 56487 59137 62882 178506 405733 514110 rec. 1761716 8456 60980 24719 43672 137827 135836 185936 459599 1302117 514120 firms 2027 88 1081 396 229 1794 202 21 2017 10 2298 118 1145 476 274 2013 246 28 2287 11 2461 157 1207 475 318 2157 257 33 2447 14 2435 118 1181 503 326 2128 253 35 2416 19 2546 257 1140 505 324 2226 274 29 2529 17 514120 estab. 2320 92 1081 398 241 1812 315 77 2204 116 2590 122 1145 478 285 2030 358 84 2472 118 2754 161 1207 477 329 2174 369 89 2632 122 2725 122 1181 505 337 2145 365 90 2600 125 2875 257 1140 507 336 2240 428 84 2752 123 514120 empl. 24111 0 2293 2595 3015 7903 7281 3444 18628 5483 31031 0 2388 3122 3648 9158 9097 5271 23526 7505 33765 0 2596 3110 4205 9911 9686 6214 25811 7954 36129 0 2522 3269 4336 10127 9471 6244 25842 10287 33611 0 2504 3302 4304 10110 10379 5796 26285 7326 514120 ann. pay. 416271 1312 25469 30448 42072 99301 125804 70156 295261 121010 565849 10209 27333 38589 55169 131300 162951 107729 401980 163869 679348 8722 32321 43289 68893 153225 193235 130544 477004 202344 919946 5595 32682 45362 73041 156680 191731 152055 500466 419480 723830 10118 33673 44336 71669 159796 227099 129378 516273 207557 514120 rec. 1750414 35333 117225 118702 174874 446134 553378 299696 1299208 451206 514191 firms 4915 1252 1762 793 517 4324 406 82 4812 103 7099 2631 2170 919 620 6340 521 114 6975 124 9335 2564 3070 1397 981 8012 940 220 9172 163 8450 1516 3307 1322 933 7078 942 245 8265 185 7627 1384 3250 1187 791 6612 673 165 7450 177 514191 estab. 5289 1262 1762 798 522 4344 446 118 4908 381 7714 2651 2170 921 632 6374 549 225 7148 566 10257 2566 3075 1404 996 8041 978 319 9338 919 9608 1517 3310 1326 943 7096 989 387 8472 1136 8594 1384 3251 1191 817 6643 760 290 7693 901 514191 empl. 78792 0 3845 5239 6992 16076 14352 10447 40875 37917 98875 0 4649 6059 8288 18996 18793 16238 54027 44848 177284 0 6711 9142 13131 28984 37296 35686 101966 75318 202142 0 6980 8691 12422 28093 37327 39515 104935 97207 149083 0 6744 7785 10380 24909 24368 22142 71419 77664 514191 ann. pay. 5005347 110895 115309 149077 235646 610927 613577 524996 1749500 3255847 12815807 514089 192909 238739 333008 1278745 1060043 1352510 3691298 9124509 15690136 407729 330566 457460 704091 1899846 2514239 3351589 7765674 7924462 14409578 155677 252515 322121 545975 1276288 1959516 2524360 5760164 8649414 9255507 122589 245448 297396 458520 1123953 1409374 1480513 4013840 5241667 514191 rec. 33431245 489513 1122804 1025103 1388984 4026404 4058581 4068592 12153577 21277668 514199 firms 277 48 117 32 23 220 26 17 263 14 309 64 128 37 24 253 19 17 289 20 499 145 170 51 59 425 33 17 475 24 502 63 198 67 57 385 72 21 478 24 1048 215 471 137 80 903 85 36 1024 24 514199 estab. 358 48 117 35 24 224 33 51 308 50 397 64 128 41 27 260 24 53 337 60 561 153 170 56 62 441 40 27 508 53 564 64 198 67 65 394 81 38 513 51 1191 217 471 138 93 919 122 99 1140 51 514199 empl. 6151 0 213 200 320 733 871 1729 3333 2818 7969 0 246 238 292 776 859 1549 3184 4785 10121 0 370 341 779 1490 1316 2180 4986 5135 11592 0 419 447 739 1605 2730 2533 6868 4724 15329 0 906 884 1053 2843 3076 4834 10753 4576 514199 ann. pay. 607397 2120 7289 7461 11919 28789 46573 440917 516279 91118 2478975 4431 7762 11072 10481 33746 170910 158386 363042 2115933 2005879 61249 15845 24165 50613 151872 56079 210969 418920 1586959 699911 14054 21088 18949 37868 91959 155008 154800 401767 298144 1108131 11505 32680 38283 51892 134360 178431 331582 644373 463758 514199 rec. 3296418 54228 123837 125468 228343 531876 414344 1255464 2201684 1094734 514210 firms 4756 787 1840 619 471 3717 633 204 4554 202 4879 710 2063 614 450 3837 628 207 4672 207 5057 827 2032 645 466 3970 671 209 4850 207 4667 600 1923 609 479 3611 638 212 4461 206 5679 843 2431 703 558 4535 689 236 5460 219 514210 estab. 8308 787 1842 624 483 3736 698 417 4851 3457 8914 714 2064 616 468 3862 687 371 4920 3994 9036 831 2036 649 479 3995 729 383 5107 3929 9288 602 1926 612 494 3634 705 358 4697 4591 11077 843 2432 706 590 4571 852 441 5864 5213 514210 empl. 267526 0 3546 4052 6294 13892 24366 27607 65865 201661 282984 0 4015 4011 6108 14134 24107 28176 66417 216567 296578 0 3947 4201 6258 14406 26839 28915 70160 226418 317541 0 3726 3992 6506 14224 25148 29996 69368 248173 331156 0 4712 4692 7537 16941 26142 26989 70072 261084 514210 ann. pay. 10690842 42503 128948 140691 214485 526627 834490 994154 2355271 8335571 12751228 53526 155072 147760 233879 590237 869429 1162706 2622372 10128856 14521219 140164 157997 159464 257690 715315 1128227 1649966 3493508 11027711 15488230 56087 143430 154258 278781 632556 1054752 1321715 3009023 12479207 16500827 74653 181320 194892 322047 772912 1153462 1258343 3184717 13316110 514210 rec. 50670642 299224 614805 566511 783618 2264158 2789656 3164202 8218016 42452626 521110 firms 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 17 4 0 1 0 5 0 0 5 12 23 5 2 1 0 8 0 2 10 13 27 2 6 1 4 13 1 1 15 12 12 0 0 0 0 0 0 0 0 12 521110 estab. 41 0 0 0 0 0 0 0 0 41 46 4 0 1 0 5 0 0 5 41 62 5 2 1 0 8 0 12 20 42 74 2 6 1 4 13 1 3 17 57 58 0 0 0 0 0 0 0 0 58 521110 empl. 21456 0 0 0 0 0 0 0 0 21456 22329 [a] 0 [a] 0 [a] 0 0 [a] [j] 22337 [a] [a] [a] 0 [a] 0 [e] [e] [j] 23552 [a] [a] [a] [b] [b] [b] [b] [c] [j] 23367 0 0 0 0 0 0 0 0 23367 521110 ann. pay. 963924 0 0 0 0 0 0 0 0 963924 1018731 (D) 0 (D) 0 (D) 0 0 (D) (D) 1083947 (D) (D) (D) 0 (D) 0 (D) (D) (D) 1234656 (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) (D) 1304200 0 0 0 0 0 0 0 0 1304200 521110 rec. 28909454 0 0 0 0 0 0 0 0 28909454 522110 firms 7920 206 202 568 1660 2636 3995 998 7629 291 7717 189 214 554 1581 2538 3910 991 7439 278 7594 161 211 558 1531 2461 3855 1002 7318 276 7419 144 192 526 1460 2322 3799 1025 7146 273 7201 124 166 495 1385 2170 3601 1138 6909 292 522110 estab. 72956 206 205 601 2004 3016 10227 9610 22853 50103 72481 203 226 579 1916 2924 9745 9871 22540 49941 73938 161 226 580 1819 2786 9280 9897 21963 51975 75768 144 193 551 1740 2628 8943 10513 22084 53684 80417 144 167 522 1784 2617 10357 12195 25169 55248 522110 empl. 1483498 0 505 4186 23408 28099 172725 176927 377751 1105747 1493571 0 489 4094 22267 26850 171046 176261 374157 1119414 1492834 0 489 4094 21639 26222 169539 178800 374561 1118273 1603194 0 451 3899 20730 25080 167641 185271 377992 1225202 1630036 0 378 3681 19961 24020 157200 194969 376189 1253847 522110 ann. pay. 57390813 42902 30037 139209 698501 910649 5026962 6035609 11973220 45417593 61512400 38011 34535 144023 695182 911751 5136944 6061023 12109718 49402682 63623909 53724 30992 145524 713448 943688 5295141 6406335 12645164 50978745 69163105 24552 29659 141417 741412 937040 5496885 6955513 13389438 55773667 69817139 164161 26055 138698 713279 1042193 5475483 7417803 13935479 55881660 522110 rec. 474858616 1002263 175862 783334 3832721 5794180 30594479 46162461 82551120 392307496 522120 firms 1836 27 74 150 245 496 817 340 1653 183 1732 23 67 131 246 467 755 331 1553 179 1642 20 65 119 234 438 730 319 1487 155 1571 13 53 111 226 403 703 314 1420 151 1506 11 49 102 212 374 663 320 1357 149 522120 estab. 16861 27 74 154 327 582 2662 3733 6977 9884 15934 23 68 134 317 542 2410 3595 6547 9387 15881 20 65 122 301 508 2293 3409 6210 9671 15743 13 53 114 288 468 2167 3327 5962 9781 17342 11 49 105 282 447 2283 3389 6119 11223 522120 empl. 258906 0 192 [g] [h] [h] [k] [l] 100481 158425 253723 0 175 911 3492 4578 35545 57041 97164 156559 243586 [a] [c] 826 3291 4273 34853 54736 93862 149724 253111 [a] [c] 759 3231 4136 33098 52637 89871 163240 263257 0 130 683 3001 3814 31279 51894 86987 176270 522120 ann. pay. 9194476 5974 7176 (D) (D) (D) (D) (D) 3241783 5952693 9131548 3792 5637 28369 112026 149824 1120536 1893584 3163944 5967604 9178711 (D) (D) 27290 116308 155530 1137793 1883181 3176504 6002207 9820880 (D) (D) 27464 122251 157466 1143857 1960596 3261919 6558961 10657084 2772 5714 25258 114678 148422 1126055 2010241 3284718 7372366 522120 rec. 81369398 14430 40210 176594 728776 960010 7383428 12789857 21133295 60236103 522130 firms 9723 54 4606 1935 1251 7846 1505 345 9696 27 9528 61 4368 1897 1259 7585 1544 370 9499 29 9417 99 4179 1842 1297 7417 1568 395 9380 37 9165 89 3951 1791 1279 7110 1600 417 9127 38 8872 61 3703 1771 1252 6787 1601 441 8829 43 522130 estab. 15521 57 4615 2026 1721 8419 3993 2624 15036 485 15474 70 4377 1978 1695 8120 4006 2812 14938 536 15573 100 4184 1914 1701 7899 3966 3089 14954 619 15543 92 3956 1866 1644 7558 3947 3384 14889 654 16303 61 3705 1851 1718 7335 4530 3678 15543 760 522130 empl. 176166 0 10929 12678 17088 40695 63019 58154 161868 14298 184152 0 10403 12388 16995 39786 64466 64296 168548 15604 192277 0 10050 11976 17629 39655 65923 68844 174422 17855 200406 0 9538 11738 17332 38608 67362 74399 180369 20037 210780 0 8995 11657 17018 37670 68087 79944 185701 25079 522130 ann. pay. 4489743 3428 208748 290726 410308 913210 1609236 1579568 4102014 387729 4911741 6851 199314 291135 427004 924304 1701326 1832390 4458020 453721 5374744 11420 199352 292088 456292 959152 1808928 2060342 4828422 546322 5956780 3555 199607 294919 467402 965483 1965712 2402448 5333643 623137 6761758 4112 192552 301417 477344 975425 2038688 2978680 5992793 768965 522130 rec. 36523131 23038 982410 1564689 2542298 5112435 10641484 15649524 31403443 5119688 522190 firms 31 3 4 3 6 16 4 6 26 5 59 16 5 4 6 31 12 3 46 13 78 23 15 9 4 51 10 5 66 12 80 18 19 7 11 55 8 7 70 10 125 23 42 11 20 96 12 8 116 9 522190 estab. 49 3 4 3 6 16 7 19 42 7 156 16 5 4 6 31 48 18 97 59 176 23 15 9 4 51 13 47 111 65 177 18 19 7 11 55 8 52 115 62 224 23 42 11 22 98 29 41 168 56 522190 empl. 1865 0 11 [b] [b] [c] [c] [c] 461 1404 5745 0 [a] [b] 88 126 501 267 894 4851 5971 [a] [b] [b] 56 144 319 255 718 5253 5809 [a] [b] [b] 168 263 231 542 1036 4773 6020 0 82 69 276 427 433 546 1406 4614 522190 ann. pay. 132605 33 170 (D) (D) (D) (D) (D) 26610 105995 326442 1507 (D) (D) 5819 8603 22684 14283 45570 280872 372469 (D) (D) (D) 3239 7395 15053 9601 32049 340420 399595 (D) (D) (D) 8653 13454 9806 27700 50960 348635 425214 970 3184 1786 12071 18011 20231 29336 67578 357636 522190 rec. 1741074 7748 18070 6149 53989 85956 90189 115905 292050 1449024 522210 firms 154 20 28 16 9 73 24 12 109 45 170 17 37 12 12 78 22 15 115 55 186 22 46 12 15 95 20 19 134 52 190 27 50 18 7 102 21 12 135 55 216 29 61 23 13 126 24 18 168 48 522210 estab. 700 20 28 16 9 73 39 16 128 572 761 17 37 12 13 79 32 25 136 625 778 22 46 12 17 97 27 31 155 623 830 27 50 18 8 103 30 21 154 676 787 29 61 23 14 127 36 28 191 596 522210 empl. 45972 0 54 105 127 286 609 791 1686 44286 58877 0 90 75 162 327 560 1398 2285 56592 67950 0 102 75 196 373 580 1843 2796 65154 72133 0 107 102 93 302 663 1123 2088 70045 68936 0 128 137 160 425 740 1730 2895 66041 522210 ann. pay. 1449178 1341 1753 5722 5801 14617 26137 21058 61812 1387366 1949973 1155 2781 2375 6739 13050 22097 38478 73625 1876348 2530658 3237 4207 4033 6155 17632 22851 106236 146719 2383939 3186359 1065 3856 6043 4645 15609 25359 65128 106096 3080263 2645356 3656 4525 4940 4920 18041 30076 97922 146039 2499317 522210 rec. 35938169 46113 21077 18843 33580 119613 299292 1025557 1444462 34493707 522220 firms 3198 399 1448 455 242 2544 256 139 2939 259 3089 344 1445 434 233 2456 253 129 2838 251 3043 386 1423 420 216 2445 241 118 2804 239 2960 317 1432 405 227 2381 228 121 2730 230 3021 368 1464 393 207 2432 236 126 2794 227 522220 estab. 7610 399 1450 474 265 2588 368 324 3280 4330 7814 356 1452 445 255 2508 346 232 3086 4728 7429 388 1428 428 237 2481 317 249 3047 4382 7493 317 1439 414 247 2417 294 276 2987 4506 7395 368 1464 409 233 2474 347 372 3193 4202 522220 empl. 140247 0 2973 2923 3090 8986 7801 8925 25712 114535 153547 0 2987 2792 2956 8735 8020 8019 24774 128773 154144 0 2907 2696 2704 8307 7507 7365 23179 130965 160546 0 2928 2577 2918 8423 6743 8049 23215 137331 161273 0 3002 2514 2710 8226 6865 8557 23648 137625 522220 ann. pay. 6861074 24015 104858 120946 127692 377511 377126 376816 1131453 5729621 8171132 21268 109955 126617 135022 392862 406341 419936 1219139 6951993 8811694 45511 118648 130007 130994 425160 369396 403043 1197599 7614095 9375342 15397 122883 116511 157780 412571 375929 450502 1239002 8136340 8906253 18796 127866 124445 144920 416027 365918 462225 1244170 7662083 522220 rec. 107571581 164052 883060 744145 752706 2543963 2153602 4492458 9190023 98381558 522291 firms 3981 458 2254 610 232 3554 210 104 3868 113 3946 483 2160 644 238 3525 220 93 3838 108 4094 556 2206 656 255 3673 224 96 3993 101 4157 454 2365 625 276 3720 243 100 4063 94 4409 626 2373 648 294 3941 246 113 4300 109 522291 estab. 15165 460 2263 688 432 3843 998 876 5717 9448 12375 484 2171 712 418 3785 922 1014 5721 6654 13055 556 2215 725 419 3915 952 1000 5867 7188 13399 455 2375 693 419 3942 988 1201 6131 7268 14180 626 2389 718 577 4310 1224 1372 6906 7274 522291 empl. 106255 0 5169 3793 3012 11974 6441 7060 25475 80780 89756 0 4987 4076 3118 12181 7176 7252 26609 63147 93272 0 5021 4140 3326 12487 7572 8766 28825 64447 95462 0 5362 3932 3688 12982 8200 9279 30461 65001 98480 0 5261 4098 3781 13140 7986 8874 30000 68480 522291 ann. pay. 3525041 27754 120878 98352 87458 334442 180189 228583 743214 2781827 3223839 19236 119441 100426 93472 332575 229870 232374 794819 2429020 3762150 112788 127688 105868 99686 446030 212981 296452 955463 2806687 4133623 19242 140168 114413 123044 396867 229449 308832 935148 3198475 4094820 42857 168409 119546 132617 463429 256104 269722 989255 3105565 522291 rec. 30518128 233492 892264 469535 479504 2074795 1260429 1347851 4683075 25835053 522292 firms 7699 1748 2732 1126 777 6383 787 311 7481 218 8892 1374 3542 1441 988 7345 978 321 8644 248 8794 1457 3799 1378 853 7487 790 296 8573 221 9005 1627 3881 1405 843 7756 767 277 8800 205 9804 1939 4127 1467 905 8438 840 322 9600 204 522292 estab. 16207 1749 2741 1150 873 6513 1361 1436 9310 6897 20501 1378 3552 1490 1089 7509 1608 1528 10645 9856 19805 1471 3841 1437 965 7714 1253 1470 10437 9368 19799 1633 3893 1468 929 7923 1236 1476 10635 9164 21938 1943 4136 1515 1005 8599 1557 1700 11856 10082 522292 empl. 203863 0 5832 7476 10296 23604 28335 32648 84587 119276 274561 0 7581 9450 13086 30117 36404 36461 102982 171579 237675 0 7881 8978 11234 28093 27245 29813 85151 152524 251485 0 8079 9139 11184 28402 26685 26330 81417 170068 267346 0 8665 9606 11861 30132 30229 31989 92350 174996 522292 ann. pay. 10486251 119428 237670 319372 480840 1157310 1381595 1657153 4196058 6290193 12495647 76178 256398 335146 504080 1171802 1491204 1585724 4248730 8246917 10840819 114763 269403 330295 469037 1183498 1150500 1295101 3629099 7211720 14800815 105509 346524 462340 621469 1535842 1555027 1674532 4765401 10035414 17653080 157497 404894 502353 694829 1759573 1824626 2108325 5692524 11960556 522292 rec. 77049174 708475 1646592 1487075 1981867 5824009 5115155 6928297 17867461 59181713 522293 firms 138 19 35 17 15 86 22 10 118 20 174 60 41 18 10 129 18 7 154 20 233 67 95 23 11 196 14 8 218 15 319 87 147 31 15 280 17 6 303 16 407 75 239 43 19 376 10 5 391 16 522293 estab. 193 19 35 17 15 86 24 11 121 72 225 60 41 18 10 129 20 7 156 69 292 67 95 24 11 197 15 8 220 72 376 87 147 31 15 280 18 6 304 72 464 75 239 43 19 376 11 5 392 72 522293 empl. 4538 0 78 109 192 379 604 860 1843 2695 3968 0 76 110 127 313 563 380 1256 2712 3957 0 184 147 148 479 448 384 1311 2646 4537 0 272 183 184 639 542 469 1650 2887 4889 0 458 240 240 938 264 518 1720 3169 522293 ann. pay. 333381 1008 5161 8096 11841 26106 42895 56414 125415 207966 322299 1445 3719 7003 9888 22055 34182 29886 86123 236176 357364 3078 7129 8161 10305 28673 24471 33881 87025 270339 419919 2666 11100 7492 12064 33322 30259 49450 113031 306888 456255 1779 17357 14454 14011 47601 13844 49825 111270 344985 522293 rec. 4656038 38788 239268 232095 677230 1187381 131535 214112 1533028 3123010 522294 firms 185 36 77 19 14 146 10 14 170 15 214 72 89 16 10 187 8 10 205 9 241 68 114 17 12 211 14 8 233 8 216 56 109 13 10 188 14 8 210 6 302 64 149 33 14 260 19 8 287 15 522294 estab. 286 36 77 19 16 148 17 55 220 66 307 72 89 16 11 188 15 47 250 57 302 68 114 17 12 211 22 41 274 28 277 56 109 13 10 188 22 42 252 25 425 64 149 34 14 261 24 45 330 95 522294 empl. 13043 0 144 137 205 486 389 1789 2664 10379 10803 0 172 110 133 415 386 1580 2381 8422 11572 0 221 115 155 491 592 1277 2360 9212 10846 0 216 84 135 435 620 1498 2553 8293 12548 0 277 221 192 690 778 1217 2685 9863 522294 ann. pay. 1063096 2548 4482 5670 7627 20327 23832 86102 130261 932835 1004515 4676 6763 4842 6423 22704 23444 79068 125216 879299 1145980 3813 6605 5692 6218 22328 39491 66921 128740 1017240 1182316 5347 7161 4436 6877 23821 50996 75598 150415 1031901 1327023 3295 9424 10596 14179 37494 53917 87413 178824 1148199 522294 rec. 96922695 46633 88420 167294 317698 620045 625502 478398 1723945 95198750 522298 firms 5608 594 3325 958 345 5222 234 76 5532 76 5440 547 3220 924 362 5053 234 69 5356 84 5446 525 3250 932 358 5065 232 64 5361 85 5469 578 3222 948 342 5090 236 63 5389 80 5580 546 3380 914 374 5214 216 64 5494 86 522298 estab. 7889 594 3341 1001 476 5412 658 353 6423 1466 7628 558 3240 978 469 5245 577 297 6119 1509 7626 525 3275 986 464 5250 554 250 6054 1572 7659 581 3241 997 460 5279 532 261 6072 1587 7837 546 3400 969 531 5446 538 318 6302 1535 522298 empl. 51611 0 7139 6118 4469 17726 8043 8095 33864 17747 53289 0 6973 5857 4624 17454 7771 6884 32109 21180 52333 0 6985 5936 4594 17515 7880 6901 32296 20037 51360 0 6946 6035 4349 17330 8253 7201 32784 18576 48127 0 7164 5837 4737 17738 6927 6439 31104 17023 522298 ann. pay. 1908462 16716 142626 151687 127501 438530 295553 386896 1120979 787483 2004456 19393 140549 144771 129981 434694 317330 329854 1081878 922578 2142855 24471 150969 149894 127487 452821 298013 348660 1099494 1043361 2112563 18173 155425 162466 119505 455569 373666 376735 1205970 906593 2039746 49686 174879 163334 149575 537474 290702 348831 1177007 862739 522298 rec. 18543094 103923 1139326 631197 665329 2539775 1587599 7652099 11779473 6763621 522310 firms 9535 1857 4280 1573 967 8677 693 91 9461 74 10191 2008 4626 1660 1008 9302 712 105 10119 72 10077 1831 5045 1602 879 9357 556 92 10005 72 11364 2495 5469 1752 951 10667 536 96 11299 65 13133 2743 6276 1994 1163 12176 755 119 13050 83 522310 estab. 10954 1862 4293 1628 1093 8876 1106 393 10375 579 11363 2015 4638 1693 1118 9464 1057 359 10880 483 11030 1863 5079 1656 988 9586 816 262 10664 366 12236 2500 5508 1800 1049 10857 705 311 11873 363 14774 2757 6295 2056 1379 12487 1316 568 14371 403 522310 empl. 70183 0 9184 10361 12751 32296 23556 7984 63836 6347 75954 0 9859 10693 13387 33939 24257 10111 68307 7647 66542 0 10387 10421 11479 32287 19517 7001 58805 7737 70314 0 11363 11358 12474 35195 19041 8211 62447 7867 87429 0 12779 13073 15194 41046 26584 12969 80599 6830 522310 ann. pay. 3338246 88927 386004 448722 581816 1505469 1099163 415147 3019779 318467 2953779 99048 326953 365527 487096 1278624 883975 411199 2573798 379981 2701524 79905 353833 362728 431035 1227501 762632 318380 2308513 393011 3978491 150271 505893 535059 671412 1862635 1060660 465734 3389029 589462 5067844 192114 578195 659632 854363 2284304 1484454 791064 4559822 508022 522310 rec. 13590879 695148 2196247 1836711 2024820 6752926 3596849 1796152 12145927 1444952 522320 firms 821 129 311 117 77 634 91 47 772 49 834 124 342 102 75 643 90 48 781 53 896 131 381 110 79 701 92 45 838 58 1028 145 447 140 89 821 104 47 972 56 1284 253 544 143 104 1044 119 61 1224 60 522320 estab. 1273 129 311 121 95 656 149 119 924 349 1294 124 342 106 87 659 134 143 936 358 1475 138 381 114 89 722 151 124 997 478 1570 146 451 144 101 842 173 155 1170 400 2083 253 545 146 148 1092 187 396 1675 408 522320 empl. 51171 [a] [f] 753 1062 2438 3435 7097 12970 38201 58293 0 708 650 1020 2378 3621 8005 14004 44289 62973 0 801 697 1078 2576 3545 7081 13202 49771 67064 0 917 911 1195 3023 4048 6923 13994 53070 70520 0 1097 936 1333 3366 4826 8312 16504 54016 522320 ann. pay. 1932085 (D) (D) 21492 37171 91912 109663 249266 450841 1481244 2361061 13831 21570 21348 41115 97864 134753 296808 529425 1831636 2929034 30086 25284 30699 42088 128157 153781 264518 546456 2382578 3404220 16050 29773 41186 38580 125589 154381 275758 555728 2848492 3421542 25728 33400 37924 50188 147240 202358 427348 776946 2644596 522320 rec. 35032666 103590 241179 166497 266158 777424 1038782 16892939 18709145 16323521 522390 firms 4441 680 2116 724 353 3873 324 114 4311 130 4115 432 2111 730 360 3633 290 92 4015 100 4084 448 2032 782 361 3623 277 94 3994 90 4208 475 2066 827 374 3742 277 100 4119 89 4153 426 2091 764 393 3674 284 97 4055 98 522390 estab. 7495 701 2139 772 541 4153 1067 744 5964 1531 7494 432 2127 790 493 3842 933 741 5516 1978 8919 455 2044 843 488 3830 797 685 5312 3607 9894 480 2080 877 505 3942 872 778 5592 4302 11991 440 2100 822 655 4017 1352 1144 6513 5478 522390 empl. 80952 [a] [h] 4632 4618 14106 12181 11507 37794 43158 64517 0 4756 4707 4696 14159 10720 8262 33141 31376 68104 0 4530 5007 4684 14221 10031 9405 33657 34447 71358 0 4671 5428 4918 15017 10112 10372 35501 35857 76443 0 4690 4993 5104 14787 10034 9578 34399 42044 522390 ann. pay. 2938445 (D) (D) 117667 133181 402802 403504 405659 1211965 1726480 2215580 17912 114156 120201 129371 381640 307428 266579 955647 1259933 2288052 18545 111055 136768 130555 396923 294449 308800 1000172 1287880 2513357 19694 120228 154264 149028 443214 340319 350422 1133955 1379402 2988167 26505 119855 145840 167479 459679 388234 366364 1214277 1773890 522390 rec. 15895439 162302 502237 463235 482829 1610603 1287978 2111783 5010364 10885075 523110 firms 2838 503 1282 291 214 2290 278 110 2678 160 2817 443 1378 307 196 2324 248 98 2670 147 2785 471 1322 326 181 2300 239 104 2643 142 2750 432 1337 319 192 2280 240 103 2623 127 2826 492 1381 303 192 2368 231 98 2697 129 523110 estab. 7105 504 1290 316 236 2346 412 267 3025 4080 5862 445 1385 326 217 2373 323 205 2901 2961 6304 473 1327 344 199 2343 300 214 2857 3447 6995 440 1341 332 212 2325 291 237 2853 4142 7056 492 1393 321 218 2424 318 253 2995 4061 523110 empl. 164073 0 2447 1872 2816 7135 10032 14200 31367 132706 129555 0 2633 2001 2627 7261 9221 12075 28557 100998 138487 0 2467 2104 2409 6980 8558 12900 28438 110049 172729 0 2546 2064 2536 7146 8484 13779 29409 143320 164887 0 2602 1953 2422 6977 7886 12126 26989 137898 523110 ann. pay. 26179962 135592 173448 181459 352972 843471 1264434 1813277 3921182 22258780 23698273 84235 196338 253452 297272 831297 1233220 1978310 4042827 19655446 31209402 110594 195006 225410 375004 906014 1252838 2352968 4511820 26697582 35168001 69385 192684 168989 321229 752287 1125739 2530182 4408208 30759793 27667148 71291 145137 166192 295856 678476 1046179 2325365 4050020 23617128 523110 rec. 90196247 400319 613347 562162 895765 2471593 2476696 6552971 11501260 78694987 523120 firms 8053 1001 4811 941 479 7232 459 164 7855 198 7930 880 4682 1040 503 7105 462 154 7721 209 7982 899 4547 1111 551 7108 516 160 7784 198 7768 745 4535 1117 539 6936 492 155 7583 185 7886 918 4637 1019 505 7079 439 179 7697 189 523120 estab. 23577 1001 4826 963 557 7347 689 560 8596 14981 26297 881 4695 1063 570 7209 699 547 8455 17842 29496 900 4567 1133 609 7209 753 552 8514 20982 30262 757 4548 1147 602 7054 715 447 8216 22046 32792 918 4652 1046 574 7190 706 638 8534 24258 523120 empl. 273692 0 9136 6016 6203 21355 16442 18097 55894 217798 340409 0 9076 6631 6710 22417 17155 16392 55964 284445 377665 0 8908 7116 7228 23252 19313 17147 59712 317953 381118 0 8890 7154 6965 23009 18395 14686 56090 325028 443173 0 9015 6482 6670 22167 15827 13790 51784 391389 523120 ann. pay. 29825689 73037 391775 379895 488277 1332984 1556023 1769340 4658347 25167342 37857014 111860 412839 471038 614552 1610289 1857442 1857919 5325650 32531364 47031272 130002 460913 519607 683801 1794323 2236163 2286529 6317015 40714257 47501487 128886 416508 466151 637693 1649238 1992737 1798178 5440153 42061334 47224938 63563 415842 438543 573056 1491004 1806129 1720296 5017429 42207509 523120 rec. 143492136 279836 1543047 1238645 1614074 4675602 4521394 4258265 13455261 130036875 523130 firms 618 113 301 77 39 530 42 17 589 29 609 115 327 56 32 530 41 12 583 26 634 106 349 70 35 560 36 14 610 24 706 122 382 77 38 619 48 16 683 23 848 209 437 82 40 768 39 14 821 27 523130 estab. 740 113 302 82 53 550 81 38 669 71 732 115 328 58 44 545 95 45 685 47 754 106 349 73 43 571 86 45 702 52 802 122 383 79 42 626 83 48 757 45 942 209 437 87 44 777 78 41 896 46 523130 empl. 6278 0 [f] [f] 520 1603 1390 1173 4166 2112 5641 0 [f] 350 [e] 1452 1274 1258 3984 1657 6332 0 [f] 449 [e] [g] [g] 1032 3783 2549 6603 0 757 [e] [e] 1739 1618 1505 4862 1741 7301 0 819 [f] [f] 1861 1235 1438 4534 2767 523130 ann. pay. 455366 8648 (D) (D) 26592 84347 72884 63777 221008 234358 436250 9528 (D) 14872 (D) 76954 65651 53487 196092 240158 582473 26302 (D) 15531 (D) (D) (D) 67645 231051 351422 640377 7778 29974 (D) (D) 91481 122632 78016 292129 348248 588284 17362 38938 (D) (D) 123091 85548 105189 313828 274456 523130 rec. 17855305 175881 319773 (D) (D) (D) 792485 839017 2456591 15398714 523140 firms 1340 215 697 200 89 1201 83 18 1302 38 1329 192 722 205 81 1200 73 20 1293 36 1311 212 700 193 80 1185 74 20 1279 32 1280 178 706 186 93 1163 71 17 1251 29 1371 223 773 179 78 1253 69 23 1345 26 523140 estab. 1444 216 698 203 100 1217 102 41 1360 84 1610 195 724 212 85 1216 93 51 1360 250 1589 212 702 197 86 1197 95 53 1345 244 1531 178 709 186 100 1173 95 52 1320 211 1543 223 773 187 93 1276 94 61 1431 112 523140 empl. 13400 0 1416 1246 1136 3798 3042 1899 8739 4661 15678 0 1461 1304 1082 3847 2397 2422 8666 7012 16494 0 1439 1241 1070 3750 2530 2558 8838 7656 14854 0 1420 1167 1150 3737 2623 2032 8392 6462 12521 0 1519 1139 987 3645 2338 2450 8433 4088 523140 ann. pay. 892468 20699 86864 65958 67495 241016 193436 130792 565244 327224 1187478 26932 88543 73327 72184 260986 159756 158417 579159 608319 1425250 21900 87492 68129 69608 247129 165621 174520 587270 837980 1351106 15649 85171 69122 78428 248370 225118 143341 616829 734277 1189702 20268 100345 87030 76244 283887 204965 194901 683753 505949 523140 rec. 3860293 134435 493859 264523 385791 1278608 584143 550385 2413136 1447157 523210 firms 68 33 11 2 3 49 4 5 58 10 104 43 30 8 4 85 6 5 96 8 18 3 1 0 1 5 3 3 11 7 74 26 29 3 2 60 4 4 68 6 151 35 80 11 3 129 6 8 143 8 523210 estab. 82 33 11 2 3 49 4 13 66 16 118 43 32 8 4 87 6 9 102 16 30 3 1 0 1 5 3 3 11 19 86 26 29 3 2 60 4 8 72 14 173 36 80 11 3 130 6 18 154 19 523210 empl. 6647 0 [a] [a] 49 78 192 1188 1458 5189 6952 0 [b] 57 [b] 170 166 1014 1350 5602 6808 0 [a] 0 [a] [a] [c] 725 853 5955 6531 0 51 [a] [b] 95 128 1035 1258 5273 7302 0 144 [b] [b] 251 157 1616 2024 5278 523210 ann. pay. 498989 25744 (D) (D) 5320 31868 10154 66779 108801 390188 507967 5342 (D) 3276 (D) 17335 7105 65948 90388 417579 515608 106 (D) 0 (D) (D) (D) 48274 54347 461261 580888 2530 2339 (D) (D) 6136 6641 75256 88033 492855 718873 4700 5991 (D) (D) 16298 8381 141160 165839 553034 523210 rec. 3555191 15165 30321 (D) (D) (D) 18969 478438 555155 3000036 523910 firms 6732 1224 4135 631 244 6234 196 96 6526 206 6545 1076 4056 641 253 6026 226 101 6353 192 6553 1089 4037 627 278 6031 243 99 6373 180 6381 885 4010 656 291 5842 262 104 6208 173 5756 786 3565 608 243 5202 235 111 5548 208 523910 estab. 6883 1224 4144 646 256 6270 215 117 6602 281 6704 1076 4063 659 267 6065 245 116 6426 278 6744 1098 4049 640 292 6079 266 109 6454 290 6575 885 4019 669 312 5885 284 114 6283 292 5972 786 3571 630 259 5246 263 125 5634 338 523910 empl. 25721 0 7141 3936 2865 13942 4375 3905 22222 3499 30986 0 7022 3991 3012 14025 5882 3900 23807 7179 34779 0 7156 3985 3467 14608 6333 5088 26029 8750 39454 0 7219 4143 3571 14933 7537 5713 28183 11271 33169 0 6471 3792 2854 13117 6145 3177 22439 10730 523910 ann. pay. 1796791 98095 330352 251113 199068 878628 263780 195492 1337900 458891 2249848 133812 339259 284417 228373 985861 378328 203465 1567654 682194 2950875 121309 354174 297541 312642 1085666 622970 248858 1957494 993381 3461220 78105 361335 304547 364193 1108180 716951 367147 2192278 1268942 3116559 53612 328130 278443 297857 958042 678655 363341 2000038 1116521 523910 rec. 12388956 328936 1730172 1061795 983926 4104829 2503309 1330671 7938809 4450147 523920 firms 10315 1711 5520 1424 706 9361 550 173 10084 231 10338 1437 5658 1504 751 9350 573 193 10116 222 10339 1420 5643 1501 784 9348 597 183 10128 211 10105 1217 5622 1477 809 9125 598 170 9893 212 9974 1262 5534 1405 755 8956 597 190 9743 231 523920 estab. 11334 1713 5544 1476 778 9511 671 269 10451 883 11378 1444 5681 1548 798 9471 705 292 10468 910 11625 1422 5665 1535 827 9449 727 265 10441 1184 11258 1217 5643 1510 860 9230 696 260 10186 1072 11307 1267 5552 1443 834 9096 769 296 10161 1146 523920 empl. 128676 0 10935 9106 9195 29236 17613 14117 60966 67710 140301 0 11212 9615 9673 30500 18194 15696 64390 75911 156178 0 11176 9677 10255 31108 19566 15574 66248 89930 171452 0 11076 9476 10557 31109 20316 15179 66604 104848 177502 0 10591 9148 9782 29521 19578 13255 62354 115148 523920 ann. pay. 16457265 134505 798895 1059654 1378907 3371961 2903813 2440615 8716389 7740876 18520613 149733 785093 1105514 1519396 3559736 3136737 2805749 9502222 9018391 24852708 303456 880354 1251248 1693202 4128260 3955249 4818136 12901645 11951063 23663148 88960 831214 1175330 1604375 3699879 4341724 3382379 11423982 12239166 20979756 105856 903721 1064615 1414335 3488527 3967127 3182074 10637728 10342028 523920 rec. 55531578 359575 2838270 2229232 3035049 8462126 8619444 5442074 22523644 33007934 523930 firms 8329 1907 4839 828 362 7936 225 54 8215 114 9480 2486 5229 899 404 9018 265 75 9358 122 11852 3241 6438 1121 470 11270 374 79 11723 129 15023 3668 8645 1390 617 14320 453 107 14880 143 17608 4314 10269 1533 635 16751 517 149 17417 191 523930 estab. 9185 1909 4848 860 382 7999 298 84 8381 804 10291 2491 5237 935 422 9085 319 119 9523 768 12794 3242 6450 1149 493 11334 437 127 11898 896 16023 3669 8660 1409 645 14383 545 161 15089 934 18840 4314 10284 1559 681 16838 641 232 17711 1129 523930 empl. 47218 0 8679 5243 4727 18649 7286 4046 29981 17237 53076 0 9406 5703 5276 20385 8060 5106 33551 19525 66166 0 11747 7146 6149 25042 12404 5794 43240 22926 83371 0 15509 8812 8071 32392 15197 7126 54715 28656 102956 0 18346 9693 8095 36134 15770 10164 62068 40888 523930 ann. pay. 4206377 149976 509758 383768 448371 1491873 843457 419863 2755193 1451184 5100765 210863 562711 448033 503362 1724969 863194 833301 3421464 1679301 6920489 417260 686089 505953 650287 2259589 1395769 1061315 4716673 2203816 8343278 305589 763306 593499 753387 2415781 1725817 1306542 5448140 2895138 9587391 320192 843998 651644 747701 2563535 1725956 1807641 6097132 3490259 523930 rec. 27100311 1098840 3119934 1673200 1794139 7686113 3996194 4944961 16627268 10473043 523991 firms 2647 451 1473 279 148 2351 122 48 2521 126 2512 350 1445 273 146 2214 130 51 2395 117 2485 343 1404 278 168 2193 126 55 2374 111 2327 271 1332 262 166 2031 131 50 2212 115 1944 228 1088 214 138 1668 120 49 1837 107 523991 estab. 3064 451 1477 285 162 2375 162 65 2602 462 2957 350 1451 277 153 2231 168 80 2479 478 3175 343 1407 282 176 2208 165 74 2447 728 2906 271 1336 264 172 2043 170 62 2275 631 2539 228 1088 216 147 1679 176 66 1921 618 523991 empl. 52997 0 2571 1795 1909 6275 4465 3180 13920 39077 50219 0 2556 1744 1864 6164 4518 3068 13750 36469 57433 0 2547 1787 2264 6598 4410 3968 14976 42457 64776 0 2427 1728 2220 6375 4568 3092 14035 50741 54004 0 1955 1374 1783 5112 3971 2666 11749 42255 523991 ann. pay. 2735001 40815 72876 59270 63655 236616 168422 155386 560424 2174577 2774198 28407 78711 68792 79368 255278 184296 115759 555333 2218865 3488442 29794 111408 80634 104601 326437 174587 191466 692490 2795952 3760086 16641 85589 84628 100406 287264 201131 133013 621408 3138678 3477320 17236 63479 57882 104286 242883 176512 239742 659137 2818183 523991 rec. 12093668 150231 347864 202618 363952 1064665 1072046 478517 2615228 9478440 523999 firms 428 99 235 39 15 388 13 11 412 16 357 49 218 37 13 317 10 10 337 20 368 43 219 39 20 321 13 12 346 22 437 76 236 50 23 385 17 17 419 18 469 61 297 39 15 412 19 21 452 17 523999 estab. 464 99 236 40 15 390 13 15 418 46 404 49 219 37 13 318 10 15 343 61 418 43 220 39 20 322 13 14 349 69 480 76 237 50 23 386 17 20 423 57 526 61 299 39 16 415 23 25 463 63 523999 empl. 5545 0 439 230 181 850 362 932 2144 3401 7244 0 394 242 164 800 305 1433 2538 4706 5880 0 421 250 259 930 484 1260 2674 3206 6172 0 438 314 315 1067 579 1784 3430 2742 6052 0 554 262 218 1034 558 2314 3906 2146 523999 ann. pay. 398006 10415 17340 10620 15605 53980 43126 76842 173948 224058 613156 1898 20662 21793 17102 61455 40095 120284 221834 391322 554837 2991 22216 21002 29821 76030 61872 129119 267021 287816 558495 7949 21523 19130 43198 91800 96450 151705 339955 218540 563159 11747 23555 20465 15510 71277 143351 175521 390149 173010 523999 rec. 1413644 30961 124816 62119 79446 297342 145526 485803 928671 484973 524113 firms 993 107 274 84 78 543 152 95 790 203 1038 71 330 96 85 582 149 93 824 214 1042 88 360 91 76 615 132 102 849 193 1030 69 379 101 77 626 135 94 855 175 1027 82 389 88 75 634 128 93 855 172 524113 estab. 11297 110 275 86 101 572 211 400 1183 10114 11234 72 332 105 104 613 185 319 1117 10117 10744 88 368 92 87 635 155 406 1196 9548 10563 69 380 103 85 637 176 284 1097 9466 9814 82 392 93 79 646 159 526 1331 8483 524113 empl. 550102 0 558 524 1039 2121 6172 14688 22981 527121 541331 0 639 598 1092 2329 6265 13510 22104 519227 491081 0 706 585 1003 2294 5200 14733 22227 468854 500045 0 738 646 1064 2448 5369 14017 21834 478211 478433 0 747 537 987 2271 5402 12940 20613 457820 524113 ann. pay. 24045031 10589 13768 15077 36666 76100 228055 636999 941154 23103877 25342368 1538 20727 18285 43558 84108 256344 627590 968042 24374326 25695398 3819 30664 20775 34857 90115 213566 716396 1020077 24675321 26858173 2428 21997 22695 41851 88971 232657 680974 1002602 25855571 24934806 2347 24699 23783 44569 95398 246443 640803 982644 23952162 524113 rec. 496749807 30318 234167 456644 489642 1210771 3746433 16441026 21398230 475351577 524114 firms 920 74 196 99 74 443 158 127 728 192 941 81 231 84 83 479 148 121 748 193 994 122 264 83 69 538 133 130 801 193 1019 129 289 86 69 573 135 121 829 190 934 108 242 102 61 513 126 109 748 186 524114 estab. 3387 74 196 100 76 446 190 247 883 2504 3238 82 231 84 85 482 173 228 883 2355 3128 122 264 84 69 539 157 205 901 2227 2976 129 289 86 69 573 155 194 922 2054 2890 108 242 102 63 515 168 177 860 2030 524114 empl. 325442 0 401 652 984 2037 7504 24195 33736 291706 317316 0 462 546 1102 2110 7270 22644 32024 285292 322337 0 536 561 934 2031 6263 25087 33381 288956 321824 0 587 560 946 2093 6145 23592 31830 289994 319601 0 479 637 827 1943 5447 20424 27814 291787 524114 ann. pay. 13134316 8300 15503 28311 35886 88000 308450 928631 1325081 11809235 13369356 14898 19171 22306 45275 101650 276172 885608 1263430 12105926 14321470 11467 23662 26288 43148 104565 248698 1034246 1387509 12933961 14960968 13487 24259 25457 39397 102600 257198 987829 1347627 13613341 16004965 14789 18584 25961 37075 96409 256610 896580 1249599 14755366 524114 rec. 254641713 295919 507375 251073 565781 1620148 3570850 17383927 22574925 232066788 524126 firms 2284 176 898 373 171 1618 272 197 2087 197 2312 142 957 383 171 1653 281 186 2120 192 2293 147 946 354 193 1640 274 193 2107 186 2341 115 1021 374 195 1705 258 189 2152 189 2236 131 940 361 185 1617 245 185 2047 189 524126 estab. 21097 176 902 381 185 1644 335 573 2552 18545 23973 142 959 384 185 1670 362 550 2582 21391 19807 147 948 358 199 1652 343 554 2549 17258 12194 115 1023 405 202 1745 321 547 2613 9581 13025 131 943 366 199 1639 331 575 2545 10480 524126 empl. 601780 0 2112 2400 2262 6774 11676 33613 52063 549717 621317 0 2237 2447 2290 6974 11912 33554 52440 568877 609431 0 2249 2225 2487 6961 11357 34065 52383 557048 592629 0 2389 2364 2542 7295 10714 32624 50633 541996 602491 0 2166 2294 2429 6889 10358 32280 49527 552964 524126 ann. pay. 29197481 6180 52579 71401 79785 209945 522691 1526543 2259179 26938302 30239092 3540 59034 70540 91136 224250 555022 1491122 2270394 27968698 31087509 6701 59438 66694 96047 228880 537051 1624711 2390642 28696867 31326467 4835 63495 74716 103432 246478 551301 1613208 2410987 28915480 31442970 8451 62471 68595 100832 240349 534392 1641820 2416561 29026409 524126 rec. 380959531 51756 744247 591430 1011152 2398585 5796700 17687509 25882794 355076737 524127 firms 679 146 251 122 62 581 51 23 655 24 866 191 318 155 85 749 64 24 837 29 962 146 441 171 99 857 60 21 938 24 1229 209 591 212 115 1127 58 20 1205 24 1372 227 627 244 132 1230 80 32 1342 30 524127 estab. 2810 146 251 126 67 590 81 150 821 1989 3075 196 318 155 92 761 94 138 993 2082 2968 146 442 174 102 864 92 132 1088 1880 4309 209 592 212 124 1137 100 110 1347 2962 4731 227 628 248 146 1249 131 135 1515 3216 524127 empl. 44739 0 539 784 819 2142 [g] [g] 6123 38616 48307 0 696 1037 1214 2947 2307 2038 7292 41015 47465 0 972 1105 1339 3416 [g] [g] 7647 39818 72001 0 1257 1362 1516 4135 [g] [g] 7625 64376 79836 0 1352 1592 1736 4680 [g] [g] 8830 71006 524127 ann. pay. 2212775 9291 16158 23895 30851 80195 (D) (D) 246142 1966633 2127990 11956 18826 28301 37584 96667 84341 79419 260427 1867563 2224301 7188 28560 33736 40156 109640 (D) (D) 279574 1944727 3918484 11676 40640 45783 58825 156924 (D) (D) 312063 3606421 4507432 9824 43598 57754 66996 178172 (D) (D) 354397 4153035 524127 rec. 19761040 33072 162990 186209 213881 596152 (D) (D) 1216512 18544528 524128 firms 144 24 60 20 12 116 16 1 133 11 167 23 71 23 14 131 22 3 156 11 184 19 89 24 10 142 28 2 172 12 241 32 123 26 15 196 30 4 230 11 284 40 147 35 15 237 28 4 269 15 524128 estab. 148 24 60 20 12 116 16 1 133 15 173 23 71 23 14 131 24 3 158 15 194 19 89 24 10 142 30 2 174 20 248 32 123 26 15 196 30 6 232 16 299 40 147 35 15 237 28 5 270 29 524128 empl. 1729 0 132 128 146 406 [f] [a] 1193 536 2567 0 141 146 172 459 873 139 1471 1096 3532 0 179 162 126 467 [g] [c] 1686 1846 3990 0 254 159 209 622 [g] [e] 2137 1853 5964 0 293 217 216 726 [g] [c] 2305 3659 524128 ann. pay. 69695 1564 5642 4765 8411 20382 (D) (D) 52082 17613 108702 1654 5766 6206 10168 23794 41105 2462 67361 41341 147624 3125 8315 6543 7265 25248 (D) (D) 87733 59891 176991 1919 10492 6326 11289 30026 (D) (D) 117637 59354 301824 1911 10586 11575 11037 35109 (D) (D) 114114 187710 524128 rec. 2791988 13107 71196 79057 36397 199757 (D) (D) 642715 2149273 524130 firms 275 31 112 34 12 189 41 12 242 33 276 16 117 32 14 179 38 21 238 38 268 11 111 35 15 172 41 22 235 33 265 16 110 36 18 180 36 21 237 28 253 20 105 26 17 168 36 17 221 32 524130 estab. 403 31 112 35 13 191 48 31 270 133 593 16 117 32 14 179 48 78 305 288 596 11 111 35 15 172 54 67 293 303 562 16 110 36 18 180 44 48 272 290 512 20 105 26 17 168 46 38 252 260 524130 empl. 8767 0 220 219 166 605 1490 1718 3813 4954 18384 0 248 204 198 650 1448 3060 5158 13226 15337 0 235 215 205 655 1566 3468 5689 9648 14518 0 236 231 241 708 1291 3317 5316 9202 14489 0 217 160 229 606 1276 2783 4665 9824 524130 ann. pay. 500013 4362 8077 8019 14352 34810 84242 122921 241973 258040 1412468 3369 9891 9317 13129 35706 105904 271337 412947 999521 1257158 11159 10603 10190 13198 45150 105343 331135 481628 775530 1252549 2257 11166 16024 16342 45789 106100 296509 448398 804151 1297671 3906 10697 10929 9900 35432 92814 247936 376182 921489 524130 rec. 22676905 35395 83767 45175 57641 221978 3197587 6346396 9765961 12910944 524210 firms 113112 9695 77408 16246 5821 109170 3205 424 112799 313 112481 9321 76974 16331 5839 108465 3238 442 112145 336 113328 10973 76114 16436 5791 109314 3214 467 112995 333 112776 9854 76412 16657 5814 108737 3229 480 112446 330 115675 11231 77464 17026 5829 111550 3207 541 115298 377 524210 estab. 120837 9702 77521 16837 7068 111128 5503 1491 118122 2715 120287 9338 77108 16901 6971 110318 5379 1396 117093 3194 121450 10991 76298 16971 6898 111158 5193 1365 117716 3734 120891 9872 76557 17166 6833 110428 5098 1596 117122 3769 125241 11245 77548 17459 6849 113101 5476 2086 120663 4578 524210 empl. 583399 0 156630 102827 75741 335198 106550 41913 483661 99738 592887 0 156843 103411 75744 335998 108976 45609 490583 102304 596156 0 155497 103688 75169 334354 108747 47671 490772 105384 613024 0 156655 104907 75568 337130 109579 50947 497656 115368 641229 0 160061 107445 75663 343169 107571 54117 504857 136372 524210 ann. pay. 22360275 298515 3702809 3179239 2912481 10093044 4848106 1896691 16837841 5522434 23816724 363420 3834232 3269210 3016595 10483457 5036674 2087607 17607738 6208986 24710623 343399 3963081 3391801 3086947 10785228 5327411 2234795 18347434 6363189 27122135 320377 4166557 3561432 3274493 11322859 5779757 2538229 19640845 7481290 29984280 421317 4414593 3788796 3479708 12104414 6086321 3015139 21205874 8778406 524210 rec. 104189974 1759167 17767678 10948831 8723023 39198699 15213299 10016841 64428839 39761135 524291 firms 3011 391 1609 422 260 2682 213 62 2957 54 2991 378 1638 432 229 2677 211 53 2941 50 3012 398 1648 432 234 2712 203 51 2966 46 2944 334 1648 446 219 2647 199 57 2903 41 2908 326 1618 418 231 2593 216 53 2862 46 524291 estab. 4802 391 1622 442 367 2822 550 488 3860 942 4603 386 1648 452 319 2805 557 322 3684 919 4490 405 1664 466 316 2851 479 351 3681 809 4447 334 1660 469 312 2775 482 321 3578 869 4487 326 1623 441 315 2705 597 537 3839 648 524291 empl. 51020 0 3234 2736 3390 9360 7428 8085 24873 26147 45558 0 3203 2818 2946 8967 7414 6905 23286 22272 44117 0 3291 2826 3054 9171 7117 6971 23259 20858 44995 0 3258 2940 2871 9069 7157 7126 23352 21643 39438 0 3212 2720 2951 8883 7597 6533 23013 16425 524291 ann. pay. 2115437 18425 88841 85802 130121 323189 300855 339876 963920 1151517 1863583 16884 85269 93130 112472 307755 294373 330529 932657 930926 1851639 14930 94900 94929 119710 324469 300578 340417 965464 886175 2117057 19059 101751 107977 125262 354049 340464 418867 1113380 1003677 1974298 23908 100189 96884 124340 345321 366462 380367 1092150 882148 524291 rec. 6687175 64610 325801 243940 312222 946573 833238 757830 2537641 4149534 524292 firms 5386 645 2197 939 603 4384 644 183 5211 175 5198 491 2266 862 585 4204 635 191 5030 168 5143 521 2200 868 545 4134 647 187 4968 175 4798 431 2042 800 546 3819 630 183 4632 166 4188 314 1688 697 501 3200 625 192 4017 171 524292 estab. 6530 648 2202 950 638 4438 796 388 5622 908 6357 496 2269 873 607 4245 778 386 5409 948 6224 524 2200 884 566 4174 770 363 5307 917 5882 431 2045 809 559 3844 760 375 4979 903 5491 315 1691 704 520 3230 793 484 4507 984 524292 empl. 114799 0 4593 6153 8032 18778 24014 24945 67737 47062 125150 0 4658 5678 7869 18205 24113 26500 68818 56332 123082 0 4500 5670 7279 17449 24277 24467 66193 56889 118941 0 4262 5237 7283 16782 24190 25892 66864 52077 118085 0 3575 4594 6781 14950 23731 27153 65834 52251 524292 ann. pay. 4446192 34249 162040 239044 300191 735524 929091 882239 2546854 1899338 5031045 31586 155247 226770 310251 723854 950591 956348 2630793 2400252 5095306 54887 157268 232777 297331 742263 976967 909749 2628979 2466327 5057412 32404 178284 222315 305529 738532 997741 1064477 2800750 2256662 5194818 31325 139293 196906 295322 662846 1042754 1188857 2894457 2300361 524292 rec. 17617345 157719 472476 520932 797847 1948974 2759663 4755894 9464531 8152814 524298 firms 1790 332 871 234 129 1566 124 48 1738 52 1989 282 1044 251 154 1731 141 50 1922 67 2066 324 1067 241 165 1797 143 54 1994 72 2106 263 1153 265 149 1830 148 55 2033 73 1891 302 965 226 126 1619 145 58 1822 69 524298 estab. 2347 332 879 240 140 1591 184 97 1872 475 2603 294 1049 262 168 1773 203 106 2082 521 2594 331 1078 246 175 1830 204 107 2141 453 2760 267 1164 274 157 1862 209 105 2176 584 2486 303 969 233 136 1641 197 100 1938 548 524298 empl. 30617 0 1640 1530 1727 4897 4833 4507 14237 16380 33135 0 2032 1627 2036 5695 5236 5136 16067 17068 37624 0 2058 1510 2149 5717 5039 6040 16796 20828 44166 0 2216 1693 1946 5855 5201 6302 17358 26808 42439 0 1856 1448 1642 4946 5160 6395 16501 25938 524298 ann. pay. 1256799 17324 66224 73731 68280 225559 214134 205404 645097 611702 1504957 12055 79995 73909 99326 265285 233095 226003 724383 780574 1682349 12587 81604 70603 109601 274395 231333 242350 748078 934271 1969184 18320 83380 83447 98495 283642 246398 269111 799151 1170033 1982379 18270 78979 72639 94454 264342 265898 284702 814942 1167437 524298 rec. 5988340 63931 245923 263394 257583 830831 680038 654077 2164946 3823394 525910 firms 172 61 78 6 5 150 5 6 161 11 163 27 96 12 6 141 7 5 153 10 174 34 93 16 6 149 8 6 163 11 232 46 130 19 15 210 5 6 221 11 388 56 221 52 19 348 15 5 368 20 525910 estab. 196 61 78 6 5 150 7 6 163 33 185 27 96 12 6 141 9 5 155 30 207 34 93 16 6 149 10 6 165 42 266 46 130 19 15 210 7 6 223 43 435 56 221 55 22 354 22 5 381 54 525910 empl. 1246 0 127 [b] [b] 242 146 271 659 587 1520 [a] [c] [b] 75 [e] [c] [c] [f] [f] 1501 [a] [c] [c] 78 [e] 231 [e] [g] [f] 1768 [a] [c] [c] [c] [f] 142 332 [g] [f] 2343 0 393 349 231 973 [e] [c] 1513 830 525910 ann. pay. 113675 5964 6025 (D) (D) 35875 7668 32368 75911 37764 131768 (D) (D) (D) 6089 (D) (D) (D) (D) (D) 226472 (D) (D) (D) 5826 (D) 40442 (D) (D) (D) 234787 (D) (D) (D) (D) (D) 31012 54434 (D) (D) 264647 7913 30053 26979 34835 99780 (D) (D) 158772 105875 525910 rec. 919786 34253 134254 77869 99291 345667 (D) (D) 596333 323453 525930 firms 577 119 256 62 24 461 42 33 536 41 638 115 295 61 26 497 58 36 591 47 680 123 296 73 41 533 65 35 633 47 782 160 369 69 45 643 64 32 739 43 974 173 524 77 60 834 56 36 926 48 525930 estab. 1217 119 257 66 26 468 54 143 665 552 1347 117 296 65 26 504 72 184 760 587 1350 123 296 73 43 535 80 124 739 611 1507 160 371 69 48 648 72 151 871 636 1913 173 524 77 60 834 93 155 1082 831 525930 empl. 21730 0 478 361 357 1196 1548 4234 6978 14752 31789 0 569 368 339 1276 2273 5945 9494 22295 25726 0 581 435 544 1560 2575 5664 9799 15927 27739 0 698 442 571 1711 2679 5231 9621 18118 25464 0 956 476 780 2212 2337 5499 10048 15416 525930 ann. pay. 1036974 12123 17015 30696 30140 89974 137206 277594 504774 532200 1527312 7094 27130 28259 18301 80784 198181 380096 659061 868251 1436391 16431 29440 24729 46039 116639 219896 371288 707823 728568 1489938 14360 39230 37368 50215 141173 238800 353327 733300 756638 1574156 8083 43871 78165 93519 223638 237404 418869 879911 694245 525930 rec. 20689440 858782 804474 719453 1836953 4219662 3989921 5408711 13618294 7071146 525990 firms 264 116 105 20 5 246 8 4 258 6 461 215 176 34 14 439 10 6 455 6 694 253 329 52 25 659 21 7 687 7 644 192 337 48 37 614 15 10 639 5 1174 332 610 98 48 1088 45 24 1157 17 525990 estab. 267 116 105 21 5 247 10 4 261 6 463 216 176 35 14 441 10 6 457 6 705 253 329 54 25 661 21 7 689 16 656 192 337 50 37 616 15 10 641 15 1190 332 613 100 50 1095 46 26 1167 23 525990 empl. 996 0 202 [c] [b] 393 127 212 732 264 2767 0 331 210 204 745 [e] [f] 1557 1210 4288 0 586 325 338 1249 878 885 3012 1276 4121 0 583 306 492 1381 704 806 2891 1230 6453 0 1095 635 618 2348 [g] [g] 5306 1147 525990 ann. pay. 67446 15555 9055 (D) (D) 34415 8746 6518 49679 17767 221118 22637 14632 10655 13665 61589 (D) (D) 194566 26552 393946 24050 24138 20539 28604 97331 111851 41433 250615 143331 343464 12964 30120 19032 32742 94858 84410 16897 196165 147299 513419 40795 54751 41817 80585 217948 (D) (D) 381116 132303 525990 rec. 1672535 225673 256261 102717 202338 786989 (D) (D) 1225952 446583 531110 firms 54244 5279 35677 7677 3229 51862 1758 396 54016 228 53571 5177 35345 7570 3122 51214 1757 398 53369 202 53220 5223 34820 7638 3107 50788 1815 414 53017 203 52386 5061 34177 7604 3061 49903 1858 428 52189 197 52190 5260 33966 7468 3043 49737 1799 441 51977 213 531110 estab. 58913 5294 35744 7873 3661 52572 2855 1919 57346 1567 58238 5200 35431 7766 3504 51901 2871 1869 56641 1597 57946 5284 34913 7823 3487 51507 2851 2088 56446 1500 57342 5063 34261 7768 3387 50479 3012 2261 55752 1590 57748 5260 34022 7649 3433 50364 2992 2491 55847 1901 531110 empl. 276495 0 66357 49239 41085 156681 57766 30982 245429 31066 272368 0 65994 48489 39940 154423 57665 33360 245448 26920 276455 0 65412 49207 39799 154418 60575 36816 251809 24646 281375 0 64248 48721 39223 152192 61633 40638 254463 26912 281250 0 65449 48024 38877 152350 59796 42104 254250 27000 531110 ann. pay. 5363183 150124 1034320 868617 769501 2822562 1105955 700568 4629085 734098 5563175 150997 1108550 906337 787417 2953301 1185841 777245 4916387 646788 5936218 176510 1145567 970714 838617 3131408 1268004 888855 5288267 647951 6492068 177181 1210525 1026623 883253 3297582 1385298 1056616 5739496 752572 6625384 175305 1194427 1028398 895769 3293899 1394348 1174462 5862709 762675 531110 rec. 49772896 1530226 12750453 8533932 6764231 29578842 8626803 5947038 44152683 5620213 531120 firms 28523 3389 18436 3467 1503 26795 1095 319 28209 314 28441 3546 18247 3447 1518 26758 1091 292 28141 300 28591 3701 18190 3390 1568 26849 1162 292 28303 288 27806 3539 17654 3417 1532 26142 1113 288 27543 263 28241 4051 17741 3267 1501 26560 1077 329 27966 275 531120 estab. 29945 3393 18482 3519 1623 27017 1302 635 28954 991 29827 3552 18297 3500 1628 26977 1283 541 28801 1026 30177 3711 18238 3432 1665 27046 1361 531 28938 1239 30198 3544 17697 3465 1643 26349 1265 507 28121 2077 30777 4051 17776 3319 1611 26757 1313 597 28667 2110 531120 empl. 154459 0 34511 21820 18681 75012 32066 21867 128945 25514 150762 0 34203 21720 19011 74934 31239 19174 125347 25415 158490 0 34176 21416 19395 74987 34896 20671 130554 27936 160832 0 33276 21627 19305 74208 34145 20402 128755 32077 163501 0 33794 20664 18853 73311 32364 22319 127994 35507 531120 ann. pay. 4461976 121994 845283 552023 468992 1988292 820284 722033 3530609 931367 4579702 129415 877078 577306 510721 2094520 864101 634420 3593041 986661 5144253 143861 913562 613083 541696 2212202 998749 750027 3960978 1183275 5820382 156082 938439 634138 570481 2299140 1034246 783315 4116701 1703681 5966550 153314 946908 643269 572161 2315652 979138 883155 4177945 1788605 531120 rec. 45808372 1234737 8896983 5195073 4533410 19860203 7018857 5733858 32612918 13195454 531130 firms 4877 486 3566 551 139 4742 97 20 4859 18 5014 545 3588 578 161 4872 103 21 4996 18 5415 645 3879 560 167 5251 115 31 5397 18 5751 640 4099 632 196 5567 131 35 5733 18 6619 763 4728 749 218 6458 110 36 6604 15 531130 estab. 7268 486 3580 598 231 4895 306 26 5227 2041 7614 545 3598 631 228 5002 324 59 5385 2229 8154 645 3888 598 232 5363 329 96 5788 2366 8574 658 4115 672 262 5707 314 154 6175 2399 9739 764 4733 809 337 6643 333 265 7241 2498 531130 empl. 20184 0 7289 3335 1654 12278 2316 511 15105 5079 21782 0 7366 3484 1902 12752 2978 723 16453 5329 25163 0 8023 3383 1998 13404 3106 1347 17857 7306 29727 0 8440 3827 2381 14648 3753 2422 20823 8904 31959 0 9977 4602 2603 17182 3102 1994 22278 9681 531130 ann. pay. 386837 10019 102961 51491 37215 201686 46825 10891 259402 127435 425774 11975 110441 54425 39491 216332 72472 18352 307156 118618 551406 25544 126280 60579 43226 255629 67215 30790 353634 197772 604921 17239 138565 67304 55749 278857 88802 61453 429112 175809 642371 16135 166069 81163 57543 320910 84928 79617 485455 156916 531130 rec. 4101315 122528 1329746 526966 279316 2258556 443802 164289 2866647 1234668 531190 firms 10913 1282 7544 1390 399 10615 208 55 10878 35 11090 1347 7632 1419 388 10786 218 51 11055 35 11024 1348 7493 1418 453 10712 225 53 10990 34 10950 1214 7585 1389 439 10627 245 46 10918 32 9834 1188 6602 1313 409 9512 243 50 9805 29 531190 estab. 11629 1285 7562 1470 502 10819 438 139 11396 233 11795 1352 7642 1488 484 10966 409 150 11525 270 11927 1350 7517 1481 537 10885 382 224 11491 436 11884 1214 7611 1442 528 10795 449 189 11433 451 10814 1188 6621 1372 516 9697 452 225 10374 440 531190 empl. 39106 0 14602 8574 4702 27878 5746 2751 36375 2731 39161 0 14719 8827 4593 28139 5939 2596 36674 2487 41384 0 14495 8721 5423 28639 6718 3199 38556 2828 41278 0 14591 8601 5319 28511 7307 2611 38429 2849 38441 0 13122 8152 4940 26214 6910 2882 36006 2435 531190 ann. pay. 793057 33775 248102 160180 100135 542192 120945 59064 722201 70856 830204 37712 269015 171671 100526 578924 123460 63758 766142 64062 913215 38288 278295 181064 120539 618186 137942 74875 831003 82212 975949 39117 300115 194613 121881 655726 165964 66325 888015 87934 945070 64440 262109 191437 116014 634000 157461 83048 874509 70561 531190 rec. 6704227 420645 2200600 1208909 807577 4637731 807284 641919 6086934 617293 531210 firms 57708 10521 37591 5620 2214 55946 1300 293 57539 169 58096 9854 38240 5879 2338 56311 1329 290 57930 166 58954 10601 38191 5920 2370 57082 1393 306 58781 173 62670 11723 40519 6110 2386 60738 1449 315 62502 168 68781 15343 43184 6042 2378 66947 1377 277 68601 180 531210 estab. 63519 10557 37701 5932 2924 57114 2865 1647 61626 1893 64342 9877 38333 6162 2943 57315 2769 1524 61608 2734 65098 10622 38286 6151 2934 57993 2689 1641 62323 2775 68948 11730 40605 6343 2893 61571 2758 1605 65934 3014 76046 15346 43264 6407 3064 68081 3206 1617 72904 3142 531210 empl. 241101 0 67242 35528 28186 130956 43555 30981 205492 35609 259992 0 68794 37189 30010 135993 44469 32567 213029 46963 271145 0 69235 37683 30616 137534 47408 33752 218694 52451 283959 0 72561 38649 30692 141902 49508 34802 226212 57747 277561 0 77893 38203 30616 146712 45591 31395 223698 53863 531210 ann. pay. 8691590 371460 1741684 961174 866468 3940786 1577129 1196692 6714607 1976983 9560649 350564 1880282 1047361 935073 4213280 1624371 1308510 7146161 2414488 10562944 387318 1967950 1105870 1002154 4463292 1807290 1416737 7687319 2875625 11063932 404629 2104759 1172604 1029503 4711495 1868921 1472874 8053290 3010642 11258252 540619 2254990 1215411 1088997 5100017 1775483 1381475 8256975 3001277 531210 rec. 67944403 3249830 16051402 8417194 7274696 34993122 9788386 6536360 51317868 16626535 531311 firms 18787 2382 9272 2816 1802 16272 1886 493 18651 136 19236 2444 9562 2810 1835 16651 1922 527 19100 136 19783 2530 9741 3009 1873 17153 1949 542 19644 139 20960 2671 10482 3166 1933 18252 2006 563 20821 139 21911 2210 11538 3298 2120 19166 2022 583 21771 140 531311 estab. 23739 2399 9279 2850 1873 16401 2353 1523 20277 3462 25734 2448 9573 2833 1905 16759 2376 1532 20667 5067 25495 2538 9752 3031 1936 17257 2314 1675 21246 4249 27586 2705 10498 3192 2000 18395 2352 1961 22708 4878 28926 2211 11548 3313 2201 19273 2588 2210 24071 4855 531311 empl. 260927 0 18042 18276 23848 60166 72908 68395 201469 59458 271072 0 18535 18133 24364 61032 73388 76758 211178 59894 291440 0 18999 19574 24730 63303 75831 84886 224020 67420 308898 0 20382 20732 25674 66788 78505 88036 233329 75569 310725 0 22860 21598 28077 72535 78420 91067 242022 68703 531311 ann. pay. 6577394 133587 417081 443802 583314 1577784 1733030 1577924 4888738 1688656 7250832 120318 464114 463252 619917 1667601 1876219 1952853 5496673 1754159 8406295 121230 492192 514054 658540 1786016 2070292 2307875 6164183 2242112 9516607 149543 552151 583276 710513 1995483 2192894 2506769 6695146 2821461 9263145 107246 594773 621299 797583 2120901 2248653 2606105 6975659 2287486 531311 rec. 26833966 376692 2453477 1951790 2105976 6887935 4426280 5113101 16427316 10406650 531312 firms 8651 936 4290 1371 868 7465 837 206 8508 143 8701 956 4317 1371 869 7513 834 216 8563 138 8822 1012 4348 1349 917 7626 846 210 8682 140 9630 1201 4760 1500 947 8408 866 219 9493 137 9833 1080 5071 1506 911 8568 880 239 9687 146 531312 estab. 10036 937 4300 1388 926 7551 1070 543 9164 872 10120 962 4328 1390 923 7603 1090 473 9166 954 10558 1013 4356 1370 971 7710 1108 437 9255 1303 11610 1204 4770 1520 995 8489 1111 475 10075 1535 11900 1080 5075 1519 956 8630 1172 569 10371 1529 531312 empl. 116312 0 8518 8931 11503 28952 29018 22512 80482 35830 114825 0 8548 8917 11489 28954 28297 24642 81893 32932 115252 0 8620 8816 12101 29537 29394 24824 83755 31497 128531 0 9367 9769 12432 31568 30776 26551 88895 39636 130057 0 9945 9896 11757 31598 31519 27316 90433 39624 531312 ann. pay. 4297602 44465 280631 316022 443563 1084681 1053724 846266 2984671 1312931 4428219 48384 283662 338705 437883 1108634 1139338 969868 3217840 1210379 4788677 54697 299088 331703 461783 1147271 1273661 1018611 3439543 1349134 5429789 69883 320876 380255 507121 1278135 1294930 1085779 3658844 1770945 5655525 53035 343239 394937 494546 1285757 1399272 1130146 3815175 1840350 531312 rec. 17631563 206152 1426388 1112552 1182371 3927463 3460078 2666071 10053612 7577951 531320 firms 11839 1780 8055 1337 452 11624 159 32 11815 24 12217 1505 8490 1484 506 11985 175 38 12198 19 12105 1552 8587 1298 443 11880 171 36 12087 18 12307 1757 8612 1298 414 12081 169 38 12288 19 13529 2188 9278 1424 426 13316 159 30 13505 24 531320 estab. 12048 1781 8064 1366 495 11706 254 52 12012 36 12425 1508 8503 1512 546 12069 254 75 12398 27 12311 1553 8603 1316 483 11955 248 85 12288 23 12478 1757 8626 1322 448 12153 232 67 12452 26 13731 2189 9284 1443 464 13380 253 51 13684 47 531320 empl. 38622 0 15175 8483 5724 29382 5356 2029 36767 1855 41923 0 16203 9377 6460 32040 5896 2684 40620 1303 39451 0 16054 8207 5607 29868 5708 3003 38579 872 38742 0 15775 8179 5298 29252 5694 2886 37832 910 40272 0 17323 9035 5555 31913 5218 1689 38820 1452 531320 ann. pay. 1347762 43357 419455 299973 223989 986774 213695 68129 1268598 79164 1386076 39855 420135 302893 235634 998517 218685 69146 1286348 99728 1277038 33709 417942 264691 214627 930969 198842 90034 1219845 57193 1448228 51776 483786 316767 231635 1083964 199531 101636 1385131 63097 1582620 65359 530152 362454 246866 1204831 229325 62003 1496159 86461 531320 rec. 4825380 272907 1922608 872536 516862 3584913 510244 199579 4294736 530644 531390 firms 9458 2601 4901 965 493 8960 310 98 9368 90 10544 3079 5304 1047 585 10015 352 96 10463 81 12597 3584 6532 1256 627 11999 420 101 12520 77 11705 2938 6339 1240 609 11126 403 99 11628 77 16646 5045 8346 1657 858 15906 547 110 16563 83 531390 estab. 10120 2609 4911 981 550 9051 452 269 9772 348 11242 3081 5315 1062 633 10091 472 289 10852 390 13283 3588 6542 1269 671 12070 533 341 12944 339 12495 2938 6351 1253 654 11196 506 360 12062 433 17514 5045 8355 1670 897 15967 708 341 17016 498 531390 empl. 50326 0 8985 6091 6382 21458 9553 7300 38311 12015 54110 0 9755 6660 7515 23930 11080 8642 43652 10458 60767 0 11970 8002 8081 28053 13719 9782 51554 9213 61956 0 11498 8027 7820 27345 12619 10217 50181 11775 78207 0 15482 10727 11175 37384 18443 10964 66791 11416 531390 ann. pay. 2473182 122719 343059 238055 311100 1014933 436479 311352 1762764 710418 2568805 144644 364719 262302 329620 1101285 500003 344091 1945379 623426 2813670 180576 431420 308602 362497 1283095 584952 459945 2327992 485678 3070265 142775 445017 346818 358172 1292782 639480 521284 2453546 616719 3833631 254968 589342 448771 510792 1803873 838655 517247 3159775 673856 531390 rec. 13035224 1279198 2656174 1617807 1540237 7093416 2347376 1495907 10936699 2098525 532111 firms 2224 244 1011 367 252 1874 256 70 2200 24 2265 303 1022 356 250 1931 236 75 2242 23 2261 264 1028 374 249 1915 253 68 2236 25 2378 311 1070 406 244 2031 259 63 2353 25 2328 314 1093 367 236 2010 226 68 2304 24 532111 estab. 4213 245 1015 381 314 1955 480 333 2768 1445 4652 306 1034 369 309 2018 420 357 2795 1857 4420 267 1035 389 299 1990 440 296 2726 1694 4695 316 1079 419 292 2106 422 288 2816 1879 4871 314 1101 382 308 2105 440 357 2902 1969 532111 empl. 111980 0 2227 2420 3247 7894 9528 8542 25964 86016 118499 0 2206 2311 3217 7734 9027 9419 26180 92319 119602 0 2206 2407 3242 7855 9871 8159 25885 93717 126296 0 2294 2613 3200 8107 9776 8064 25947 100349 122256 0 2374 2328 3042 7744 7963 7958 23665 98591 532111 ann. pay. 2519651 7657 41841 45134 64252 158884 191575 154873 505332 2014319 2869982 10463 44096 44792 67780 167131 190853 181405 539389 2330593 2990843 10896 46872 45775 69525 173068 206270 160958 540296 2450547 3175395 8897 46761 51721 69953 177332 202825 163414 543571 2631824 3229373 8348 48924 46417 67975 171664 174544 177451 523659 2705714 532111 rec. 19532743 54068 328182 275347 390145 1047742 1001226 954942 3003910 16528833 532112 firms 789 103 381 98 73 655 71 40 766 23 728 81 349 99 66 595 71 39 705 23 717 77 350 100 73 600 62 35 697 20 707 94 335 101 69 599 59 34 692 15 708 83 347 105 68 603 53 33 689 19 532112 estab. 854 103 381 98 78 660 76 53 789 65 801 83 349 99 69 600 78 46 724 77 808 80 351 100 79 610 69 42 721 87 792 94 335 101 74 604 72 35 711 81 776 83 347 109 72 611 58 38 707 69 532112 empl. 8028 0 766 627 892 2285 1718 1414 5417 2611 8865 0 709 630 801 2140 1756 1285 5181 3684 9093 0 702 650 983 2335 1552 1473 5360 3733 9625 0 686 644 896 2226 1484 1545 5255 4370 9088 0 701 665 877 2243 1202 1310 4755 4333 532112 ann. pay. 327992 3165 21734 22585 31912 79396 58137 49074 186607 141385 372402 3464 23409 22781 29682 79336 65827 49620 194783 177619 382221 3246 20973 23755 38735 86709 53022 51425 191156 191065 399650 5598 23390 24346 36412 89746 52132 48841 190719 208931 385333 7894 23054 23583 32789 87320 48011 48691 184022 201311 532112 rec. 3759695 73605 318550 261005 417166 1070326 585940 446835 2103101 1656594 532120 firms 2131 259 1103 277 175 1814 189 82 2085 46 2112 303 1040 300 179 1822 165 78 2065 47 2067 247 1056 293 184 1780 164 77 2021 46 2036 223 1043 320 174 1760 155 78 1993 43 2065 326 1018 275 178 1797 146 79 2022 43 532120 estab. 5768 259 1105 278 191 1833 311 274 2418 3350 5794 303 1042 302 203 1850 255 274 2379 3415 5839 247 1059 296 203 1805 255 256 2316 3523 6584 224 1045 327 190 1786 224 277 2287 4297 6297 326 1019 284 190 1819 231 250 2300 3997 532120 empl. 51133 0 2230 1771 2240 6241 5635 6169 18045 33088 51722 0 2114 1931 2331 6376 5119 6591 18086 33636 53268 0 2055 1913 2326 6294 5191 5980 17465 35803 53326 0 2061 2095 2243 6399 4574 6316 17289 36037 50608 0 2002 1817 2302 6121 3939 6230 16290 34318 532120 ann. pay. 1602214 18450 60245 49734 63972 192401 190477 192800 575678 1026536 1632093 10102 59348 59254 70255 198959 180472 223697 603128 1028965 1697940 11089 58950 59438 66779 196256 182571 211047 589874 1108066 1770050 8977 59267 64584 71424 204252 157540 225796 587588 1182462 1752181 11453 56047 58540 77090 203130 149436 222424 574990 1177191 532120 rec. 12433436 77156 360908 389943 390996 1219003 872455 1133242 3224700 9208736 532210 firms 1168 168 441 236 132 977 151 23 1151 17 1172 121 494 227 160 1002 134 18 1154 18 1114 116 446 219 153 934 137 23 1094 20 1101 109 445 215 157 926 133 20 1079 22 991 98 402 210 131 841 112 22 975 16 532210 estab. 2918 168 443 243 168 1022 517 152 1691 1227 2718 151 500 232 212 1095 447 147 1689 1029 2834 117 453 223 191 984 409 179 1572 1262 2771 109 448 221 194 972 361 176 1509 1262 2620 108 403 217 186 914 375 246 1535 1085 532210 empl. 18296 0 974 1534 1652 4160 5057 1646 10863 7433 16598 0 1047 1442 2031 4520 4744 1096 10360 6238 17701 0 974 1394 1933 4301 4843 1919 11063 6638 18777 0 964 1347 2056 4367 4517 1515 10399 8378 15959 0 877 1331 1733 3941 3655 1943 9539 6420 532210 ann. pay. 466126 6440 23057 39015 42231 110743 128638 47247 286628 179498 443195 23595 24453 36884 54748 139680 125620 25718 291018 152177 497927 5600 24714 34969 53383 118666 133171 65741 317578 180349 502823 5010 25379 32587 60139 123115 131054 37843 292012 210811 483395 4835 22344 34268 50092 111539 108073 51703 271315 212080 532210 rec. 2130847 21995 98373 139696 186724 446788 406518 214935 1068241 1062606 532220 firms 1537 220 761 268 135 1384 124 22 1530 7 1466 157 749 262 147 1315 122 24 1461 5 1387 141 696 252 147 1236 121 25 1382 5 1383 128 693 270 135 1226 123 29 1378 5 1230 113 608 254 133 1108 94 24 1226 4 532220 estab. 2746 220 762 283 191 1456 478 371 2305 441 2774 168 754 282 208 1412 431 422 2265 509 2685 152 696 275 198 1321 398 386 2105 580 2715 128 694 278 185 1285 394 471 2150 565 2553 119 608 274 180 1181 359 419 1959 594 532220 empl. 14589 0 1615 1739 1695 5049 4151 2756 11956 2633 15302 0 1600 1714 1882 5196 4361 3254 12811 2491 15530 0 1502 1685 1909 5096 4359 3215 12670 2860 16306 0 1501 1762 1741 5004 4187 3918 13109 3197 15269 0 1356 1669 1719 4744 3226 3334 11304 3965 532220 ann. pay. 226045 3361 21243 22250 24895 71749 67975 48140 187864 38181 246162 2572 23411 22678 29094 77755 70609 60331 208695 37467 256848 3122 22996 23112 28802 78032 71634 58596 208262 48586 270588 4998 24858 24427 28124 82407 69493 71115 223015 47573 266321 4979 20431 26094 28001 79505 56921 67942 204368 61953 532220 rec. 982902 22585 108000 95786 84959 311330 180062 261411 752803 230099 532230 firms 12340 1156 6116 2921 1346 11539 696 80 12315 25 11083 955 5605 2591 1189 10340 648 73 11061 22 9643 898 4828 2181 1049 8956 590 75 9621 22 8846 856 4392 1976 956 8180 573 72 8825 21 7785 759 3668 1842 940 7209 495 66 7770 15 532230 estab. 21700 1164 6140 3016 1667 11987 1910 1004 14901 6799 20851 970 5672 2724 1492 10858 1801 936 13595 7256 19609 907 4873 2309 1364 9453 1580 789 11822 7787 18590 879 4438 2105 1228 8650 1476 818 10944 7646 18431 770 3677 1895 1149 7491 1270 914 9675 8756 532230 empl. 157859 0 13974 18948 17228 50150 22117 11362 83629 74230 156138 0 12732 16817 15229 44778 21082 10468 76328 79810 151604 0 10757 14022 13557 38336 19757 10713 68806 82798 150330 0 9621 12836 12170 34627 19284 10830 64741 85589 151159 0 8304 11913 12174 32391 16595 10832 59818 91341 532230 ann. pay. 1438267 25042 116694 138015 142560 422311 208645 101834 732790 705477 1484422 37768 109850 126539 132558 406715 191905 112425 711045 773377 1565439 35090 103624 115490 129579 383783 189233 121408 694424 871015 1587730 30857 104136 115194 130067 380254 199806 127005 707065 880665 1715798 18948 82915 107971 116758 326592 166466 134188 627246 1088552 532230 rec. 9660756 86840 463778 521098 525816 1597532 804924 786011 3188467 6472289 532291 firms 783 90 280 163 100 633 89 16 738 45 779 72 290 157 98 617 87 25 729 50 752 61 282 154 102 599 81 25 705 47 783 69 281 172 104 626 88 24 738 45 845 81 296 190 134 701 79 23 803 42 532291 estab. 1688 90 280 169 105 644 148 63 855 833 2766 72 291 163 101 627 138 91 856 1910 2719 63 283 156 108 610 120 108 838 1881 2846 69 283 174 110 636 133 84 853 1993 2794 81 296 192 146 715 138 67 920 1874 532291 empl. 14492 0 671 1047 1339 3057 2400 835 6292 8200 27374 0 672 1041 1318 3031 2853 1115 6999 20375 28793 0 620 1033 1372 3025 2566 1639 7230 21563 28468 0 648 1136 1375 3159 2965 1156 7280 21188 27860 0 692 1247 1816 3755 2671 1287 7713 20147 532291 ann. pay. 427650 4860 17481 26897 36353 85591 63714 20621 169926 257724 847525 2018 19418 26815 35135 83386 83267 35382 202035 645490 839590 5204 19096 29048 37225 90573 77618 47450 215641 623949 957814 2730 22324 32727 42017 99798 89460 39371 228629 729185 1016493 5528 21199 40621 58220 125568 87738 40461 253767 762726 532291 rec. 3942278 32364 101765 140019 204449 478597 272529 155908 907034 3035244 532292 firms 1622 558 621 214 125 1518 88 10 1616 6 1633 561 615 219 137 1532 88 7 1627 6 1642 541 613 239 145 1538 91 6 1635 7 1666 542 643 209 150 1544 105 6 1655 11 1782 649 669 211 142 1671 93 9 1773 9 532292 estab. 1730 561 623 217 142 1543 122 56 1721 9 1739 564 615 228 145 1552 130 48 1730 9 1742 541 623 245 155 1564 115 17 1696 46 1768 546 643 222 157 1568 134 11 1713 55 1877 649 671 218 155 1693 122 12 1827 50 532292 empl. 8693 0 1248 1432 1676 4356 2477 1019 7852 841 8681 0 1271 1463 1881 4615 2676 462 7753 928 9492 0 1268 1589 1943 4800 2666 349 7815 1677 9908 0 1295 1350 1985 4630 3371 485 8486 1422 9231 0 1408 1400 1936 4744 2838 483 8065 1166 532292 ann. pay. 132309 11471 29946 20487 23824 85728 33088 7759 126575 5734 140349 14607 28241 23032 27322 93202 37972 3275 134449 5900 173232 16820 30618 26335 32200 105973 41402 11880 159255 13977 188419 16005 33237 25900 30691 105833 53893 14361 174087 14332 181481 18400 31796 27607 34510 112313 41072 11758 165143 16338 532292 rec. 836613 88882 154479 108709 138470 490540 134305 64911 689756 146857 532299 firms 2277 333 812 426 351 1922 296 30 2248 29 2275 281 855 449 308 1893 317 38 2248 27 2241 268 834 429 336 1867 306 45 2218 23 2255 309 824 425 329 1887 299 49 2235 20 2276 293 856 423 342 1914 292 51 2257 19 532299 estab. 3166 333 814 435 403 1985 474 142 2601 565 3625 282 855 460 353 1950 468 195 2613 1012 3539 271 835 432 382 1920 443 210 2573 966 3609 310 825 436 365 1936 455 229 2620 989 3720 293 857 432 391 1973 474 227 2674 1046 532299 empl. 27628 0 1762 2825 4619 9206 9194 2668 21068 6560 31191 0 1784 2957 4028 8769 9848 3744 22361 8830 31596 0 1780 2851 4444 9075 9562 4541 23178 8418 32387 0 1764 2894 4347 9005 9668 5081 23754 8633 33093 0 1894 2807 4499 9200 9363 5030 23593 9500 532299 ann. pay. 688793 10186 38372 60504 107410 216472 236105 76038 528615 160178 818100 8758 42221 69483 97263 217725 262035 113129 592889 225211 861501 10132 43121 67027 114522 234802 252788 144608 632198 229303 894886 13091 44230 68729 114036 240086 253901 159972 653959 240927 884116 10522 45609 67327 118147 241605 250568 158280 650453 233663 532299 rec. 3118277 52073 204845 232029 345521 834468 739976 493754 2068198 1050079 532310 firms 3870 352 1577 966 574 3469 316 46 3831 39 3732 287 1537 935 572 3331 324 43 3698 34 3552 274 1463 889 541 3167 309 44 3520 32 3427 261 1404 874 517 3056 298 42 3396 31 3597 316 1499 860 557 3232 289 45 3566 31 532310 estab. 6246 352 1584 984 650 3570 682 316 4568 1678 6428 287 1547 948 644 3426 609 347 4382 2046 6358 274 1469 907 617 3267 540 328 4135 2223 6406 261 1411 893 593 3158 527 325 4010 2396 6737 346 1501 873 662 3382 584 360 4326 2411 532310 empl. 40034 0 3675 6304 7155 17134 8651 4972 30757 9277 42138 0 3545 6141 7191 16877 8975 4563 30415 11723 41863 0 3396 5917 6864 16177 8811 3972 28960 12903 41355 0 3257 5822 6609 15688 8759 3445 27892 13463 40907 0 3476 5633 7110 16219 8311 3330 27860 13047 532310 ann. pay. 1039769 10857 86513 142505 174866 414741 241956 134648 791345 248424 1135420 7946 88126 148343 179830 424245 241944 119596 785785 349635 1189599 9707 87923 149903 180057 427590 251074 110934 789598 400001 1220593 9209 82599 150770 180156 422734 258759 104495 785988 434605 1262493 15725 88253 148324 193905 446207 242410 107519 796136 466357 532310 rec. 4971199 87427 413374 518717 635956 1655474 745152 444797 2845423 2125776 532411 firms 769 122 349 113 73 657 56 22 735 34 702 132 329 98 57 616 39 15 670 32 729 142 350 104 53 649 38 12 699 30 755 139 363 106 67 675 42 9 726 29 743 161 337 95 63 656 48 13 717 26 532411 estab. 831 122 350 118 77 667 73 24 764 67 744 132 332 99 60 623 46 18 687 57 765 142 351 106 55 654 45 12 711 54 792 139 363 108 71 681 50 9 740 52 780 161 337 96 65 659 59 13 731 49 532411 empl. 6958 0 701 747 897 2345 1774 771 4890 2068 6260 0 630 650 722 2002 1371 571 3944 2316 6501 0 678 685 671 2034 1206 432 3672 2829 6967 0 706 701 889 2296 1605 255 4156 2811 6712 0 649 636 800 2085 1619 904 4608 2104 532411 ann. pay. 342817 10939 23379 28051 29120 91489 64377 46078 201944 140873 358539 24921 22437 25485 24076 96919 77071 27824 201814 156725 373491 5444 26663 29198 26952 88257 73396 20881 182534 190957 403777 15099 26068 32507 38318 111992 91657 13454 217103 186674 355060 7197 27134 28770 37940 101041 81528 29124 211693 143367 532411 rec. 6952309 37687 202220 158437 272034 670378 1169486 271733 2111597 4840712 532412 firms 2629 358 991 479 364 2192 288 81 2561 68 2655 349 1031 511 359 2250 272 71 2593 62 2649 349 1018 495 370 2232 269 82 2583 66 2720 336 1094 471 380 2281 296 78 2655 65 2654 365 1043 460 360 2228 281 71 2580 74 532412 estab. 3985 358 992 485 397 2232 453 207 2892 1093 4469 354 1037 520 383 2294 404 161 2859 1610 4694 353 1019 502 399 2273 357 186 2816 1878 4904 337 1095 480 403 2315 394 196 2905 1999 4927 365 1045 468 378 2256 434 175 2865 2062 532412 empl. 44694 0 2133 3185 4727 10045 9070 6391 25506 19188 49561 0 2172 3398 4724 10294 8722 5038 24054 25507 57536 0 2122 3307 4770 10199 8153 6020 24372 33164 60935 0 2311 3123 5055 10489 9901 5435 25825 35110 63316 0 2223 3043 4726 9992 9205 5434 24631 38685 532412 ann. pay. 1627381 18054 68066 102988 154109 343217 311930 240204 895351 732030 1918842 19463 75565 113963 160248 369239 314440 201867 885546 1033296 2334198 34025 73050 112024 173004 392103 322833 236037 950973 1383225 2610402 16416 80033 115552 192687 404688 431589 234784 1071061 1539341 2694343 23517 73465 111796 190801 399579 393106 254000 1046685 1647658 532412 rec. 12787145 108887 408758 512050 764385 1794080 1610134 970386 4374600 8412545 532420 firms 1052 156 470 161 104 891 102 21 1014 38 1019 158 455 160 98 871 91 20 982 37 1010 147 445 163 107 862 89 23 974 36 995 145 445 167 90 847 85 28 960 35 946 146 428 151 88 813 74 24 911 35 532420 estab. 1415 158 471 170 114 913 196 80 1189 226 1362 161 460 170 103 894 168 84 1146 216 1361 147 449 170 119 885 147 111 1143 218 1305 145 451 173 98 867 138 155 1160 145 1175 146 429 154 104 833 118 113 1064 111 532420 empl. 14178 0 920 1044 1349 3313 3521 2052 8886 5292 15012 0 884 1015 1300 3199 3412 2434 9045 5967 15872 0 894 1027 1418 3339 3057 2914 9310 6562 15211 0 891 1058 1150 3099 2941 3775 9815 5396 11299 0 870 944 1121 2935 2424 2879 8238 3061 532420 ann. pay. 867861 7127 37641 51865 55273 151906 169772 135019 456697 411164 1001732 17709 36533 51312 58135 163689 168622 142596 474907 526825 1123842 5610 37937 45992 70699 160238 165981 195337 521556 602286 890987 8486 36610 43385 55282 143763 132303 245108 521174 369813 613644 5568 35885 38494 51006 130953 115460 154946 401359 212285 532420 rec. 4595303 39509 245395 230334 290792 806030 505023 2092912 3403965 1191338 532490 firms 4281 621 1737 617 527 3502 488 145 4135 146 4152 613 1692 632 494 3431 452 121 4004 148 4056 575 1644 649 467 3335 447 126 3908 148 4011 550 1645 654 457 3306 451 121 3878 133 3942 579 1645 617 421 3262 435 120 3817 125 532490 estab. 5849 624 1742 630 584 3580 718 437 4735 1114 5921 618 1696 644 528 3486 680 323 4489 1432 5801 577 1650 659 500 3386 584 321 4291 1510 5982 553 1648 675 480 3356 597 340 4293 1689 6087 582 1646 628 470 3326 678 284 4288 1799 532490 empl. 74043 0 3592 4008 6989 14589 16634 13093 44316 29727 74575 0 3434 4068 6483 13985 15839 10604 40428 34147 77586 0 3383 4228 6159 13770 14772 11989 40531 37055 82823 0 3410 4278 6061 13749 14995 11929 40673 42150 84565 0 3404 4066 5676 13146 14783 10407 38336 46229 532490 ann. pay. 2640977 27971 112451 117497 250679 508598 598140 501301 1608039 1032938 2772973 28876 106977 121216 246503 503572 582962 428828 1515362 1257611 2906064 78697 108902 129863 229163 546625 586942 467228 1600795 1305269 3093233 21312 110062 138561 227025 496960 594550 484766 1576276 1516957 3181878 26636 108896 140436 219396 495364 613585 428309 1537258 1644620 532490 rec. 13294217 173524 622895 595055 844442 2235916 2288966 1604674 6129556 7164661 533110 firms 1991 300 899 248 168 1615 147 68 1830 161 1952 250 923 245 162 1580 150 69 1799 153 1907 224 917 217 172 1530 164 65 1759 148 2027 292 928 254 169 1643 179 64 1886 141 2077 342 885 227 190 1644 200 63 1907 170 533110 estab. 2124 300 900 259 179 1638 165 87 1890 234 2099 253 928 254 169 1604 165 101 1870 229 2054 224 923 224 181 1552 174 101 1827 227 2129 292 930 257 178 1657 190 82 1929 200 2184 342 887 233 199 1661 213 77 1951 233 533110 empl. 22591 0 1726 1630 2089 5445 4597 4200 14242 8349 25881 0 1804 1561 2081 5446 4972 5004 15422 10459 26462 0 1799 1368 2198 5365 5622 5178 16165 10297 25661 0 1820 1631 2142 5593 6173 5601 17367 8294 24052 0 1721 1466 2525 5712 6403 4208 16323 7729 533110 ann. pay. 1147607 23316 77722 68517 96194 265749 214922 205277 685948 461659 1460088 36976 86163 70166 91337 284642 307375 264572 856589 603499 1625641 21355 86047 71296 98307 277005 393236 301845 972086 653555 1621052 26011 91574 85108 93579 296272 350277 319848 966397 654655 1446754 36688 76241 68940 116192 298061 381167 259760 938988 507766 533110 rec. 14894889 208191 816023 267815 434543 1726572 2291438 1026755 5044765 9850124 541110 firms 163485 14770 108033 22910 10443 156156 6432 758 163346 139 162553 14302 107259 22984 10558 155103 6531 767 162401 152 162011 14847 105942 23262 10503 154554 6524 776 161854 157 161875 15055 105751 23223 10427 154456 6451 791 161698 177 162732 16118 104960 23527 10569 155174 6545 827 162546 186 541110 estab. 169399 14778 108122 23185 11145 157230 8842 2464 168536 863 168486 14320 107351 23255 11198 156124 8988 2387 167499 987 167936 14873 106058 23534 11151 155616 8814 2409 166839 1097 167852 15083 105893 23499 11030 155505 8608 2483 166596 1256 169205 16135 105021 23748 11208 156112 8987 2774 167873 1332 541110 empl. 988948 0 206153 147767 138402 492322 238163 148719 879204 109744 1014850 0 204979 147991 140003 492973 241290 150450 884713 130137 1023682 0 203393 149594 138929 491916 241453 150820 884189 139493 1045794 0 203939 149532 138246 491717 239223 151454 882394 163400 1063238 0 204470 151660 140530 496660 243126 156957 896743 166495 541110 ann. pay. 51535054 860675 6726194 5727195 6623780 19937844 14127341 9606611 43671796 7863258 54991274 902331 6932618 5840086 6903561 20578596 14704988 9972476 45256060 9735214 59940068 1036833 7154842 6197647 7138696 21528018 15236018 10850445 47614481 12325587 64738245 1034710 7561879 6457123 7535476 22589188 15916155 11641122 50146465 14591780 67295119 1185232 7513987 6692550 7831861 23223630 16510945 12159634 51894209 15400910 541110 rec. 173488212 3307854 26918108 18388114 18219606 66833682 35619759 27886682 130340123 43148089 541191 firms 5273 480 2464 1156 634 4734 440 67 5241 32 5427 550 2369 1182 747 4848 464 77 5389 38 5524 538 2580 1214 677 5009 417 60 5486 38 5692 581 2719 1251 651 5202 403 48 5653 39 5627 625 2530 1237 690 5082 441 62 5585 42 541191 estab. 6626 480 2469 1172 753 4874 842 358 6074 552 6821 551 2374 1200 842 4967 837 358 6162 659 7017 538 2582 1241 804 5165 800 306 6271 746 7142 581 2723 1287 753 5344 806 260 6410 732 7260 625 2530 1254 817 5226 923 291 6440 820 541191 empl. 50623 0 5512 7604 8167 21283 14858 6926 43067 7556 57426 0 5424 7752 9835 23011 16282 9306 48599 8827 54474 0 5892 7883 8897 22672 14312 6140 43124 11350 53012 0 6080 8128 8554 22762 14524 5061 42347 10665 62699 0 5803 8119 9114 23036 15236 5872 44144 18555 541191 ann. pay. 1756966 17262 143722 228959 263423 653366 535153 280055 1468574 288392 1861030 22069 137185 212306 297622 669182 533472 305933 1508587 352443 1806960 19755 150608 215387 270166 655916 480824 226049 1362789 444171 2049963 21361 179206 263712 306014 770293 586199 213133 1569625 480338 2671659 29364 177992 269316 360291 836963 612402 242581 1691946 979713 541191 rec. 7578917 106105 567159 729166 915627 2318057 1482808 620657 4421522 3157395 541199 firms 1737 320 995 219 106 1640 74 12 1726 11 1660 285 963 207 109 1564 71 14 1649 11 1696 294 968 227 98 1587 80 15 1682 14 1698 275 988 223 101 1587 87 11 1685 13 2099 276 1306 285 127 1994 75 18 2087 12 541199 estab. 1813 320 996 223 115 1654 85 21 1760 53 1730 285 964 210 118 1577 80 23 1680 50 1767 294 970 229 101 1594 94 24 1712 55 1777 275 991 224 103 1593 102 20 1715 62 2227 276 1306 291 133 2006 99 39 2144 83 541199 empl. 9802 0 1861 1441 1386 4688 2190 1650 8528 1274 9977 0 1766 1333 1431 4530 2196 1780 8506 1471 10807 0 1789 1462 1292 4543 2617 2055 9215 1592 11381 0 1811 1414 1326 4551 2913 1260 8724 2657 12514 0 2398 1837 1633 5868 2331 2455 10654 1860 541199 ann. pay. 308959 9885 43991 39014 43705 136595 72688 49206 258489 50470 327246 11870 42785 36457 47545 138657 70052 68536 277245 50001 393721 9114 43657 40949 44260 137980 101398 96933 336311 57410 448340 7994 48338 39471 42140 137943 107951 56434 302328 146012 490125 14642 62029 53553 52667 182891 87775 126455 397121 93004 541199 rec. 1761491 49780 269735 196235 151446 667196 302690 421112 1390998 370493 541211 firms 51841 5434 30202 9806 4187 49629 1994 156 51779 62 51645 5240 30102 9763 4237 49342 2065 170 51577 68 51446 5327 29600 9901 4280 49108 2099 168 51375 71 51399 5329 29646 9806 4286 49067 2084 179 51330 69 52159 5825 29831 9876 4295 49827 2076 178 52081 78 541211 estab. 54291 5440 30218 9890 4509 50057 2812 580 53449 842 54475 5252 30124 9842 4547 49765 2843 600 53208 1267 54284 5330 29624 9977 4572 49503 2876 578 52957 1327 54300 5333 29671 9893 4553 49450 2823 641 52914 1386 55551 5825 29842 9953 4565 50185 2974 646 53805 1746 541211 empl. 394071 0 62787 63238 54839 180864 69918 22439 273221 120850 415914 0 62716 62992 55335 181043 72397 24615 278055 137859 427028 0 61870 63896 55800 181566 75184 24383 281133 145895 428115 0 61799 63352 56104 181255 75340 26547 283142 144973 419074 0 62535 63741 56354 182630 74207 25589 282426 136648 541211 ann. pay. 16785071 178470 1626492 1964697 2111976 5881635 3186027 1024200 10091862 6693209 18635586 179446 1685195 2017806 2171611 6054058 3431622 1088924 10574604 8060982 21023072 166006 1712264 2080514 2258132 6216916 3666243 1170247 11053406 9969666 21111927 158860 1790918 2133080 2337079 6419937 3833552 1309978 11563467 9548460 20400752 223288 1828707 2229817 2418050 6699862 3883833 1343537 11927232 8473520 541211 rec. 49239606 668780 5613705 5139187 4965625 16387297 7804661 2841301 27033259 22206347 541213 firms 11292 947 7040 1769 942 10698 548 30 11276 16 11477 1154 6899 1812 964 10829 594 40 11463 14 11815 1172 7003 1952 1003 11130 630 40 11800 15 11988 1235 6997 1975 1039 11246 673 52 11971 17 13113 1450 7740 2058 1064 12312 703 75 13090 23 541213 estab. 12830 947 7046 1779 999 10771 919 289 11979 851 13106 1154 6903 1828 1019 10904 948 398 12250 856 14030 1174 7009 1971 1069 11223 971 376 12570 1460 14335 1235 7003 1988 1109 11335 976 346 12657 1678 19973 1450 7743 2062 1132 12387 1139 362 13888 6085 541213 empl. 152212 0 13814 11393 12433 37640 18291 4364 60295 91917 159524 0 13756 11617 12781 38154 20559 6816 65529 93995 178009 0 14081 12492 13268 39841 21624 6675 68140 109869 186284 0 14069 12770 13801 40640 23143 8773 72556 113728 215807 0 15835 13408 14138 43381 24641 11901 79923 135884 541213 ann. pay. 864650 9686 136561 93708 80817 320772 100192 30542 451506 413144 998074 13114 146354 106546 91204 357218 112918 42936 513072 485002 1199921 18169 164061 122618 106841 411689 139835 89526 641050 558871 1552087 28047 167654 131333 117805 444839 157357 148456 750652 801435 1597882 23525 191899 140808 126289 482521 171802 135719 790042 807840 541213 rec. 4941570 93217 769408 422395 362344 1647364 468946 339045 2455355 2486215 541214 firms 2315 309 744 289 237 1579 405 213 2197 118 2370 307 773 288 247 1615 398 227 2240 130 2450 327 803 294 234 1658 422 232 2312 138 2594 326 882 313 270 1791 430 234 2455 139 2863 319 921 360 331 1931 507 270 2708 155 541214 estab. 3114 309 744 289 238 1580 415 230 2225 889 3186 311 773 288 248 1620 420 245 2285 901 3196 331 804 294 238 1667 432 275 2374 822 3420 326 882 319 272 1799 442 269 2510 910 3664 319 921 361 339 1940 538 321 2799 865 541214 empl. 381982 0 1511 1896 3174 6581 17769 40230 64580 317402 379248 0 1566 1878 3294 6738 17746 42248 66732 312516 410093 0 1668 1953 3168 6789 18464 44879 70132 339961 421641 0 1842 2051 3625 7518 18922 44915 71355 350286 441423 0 1915 2362 4402 8679 21882 51297 81858 359565 541214 ann. pay. 8962666 91992 56152 58864 111675 318683 481584 929118 1729385 7233281 9361620 183065 75595 58540 113410 430610 518918 996518 1946046 7415574 11147327 77884 134486 67111 122601 402082 666090 1127755 2195927 8951400 10920300 177412 68789 69006 146481 461688 673325 1261574 2396587 8523713 12006407 142671 103612 81419 167204 494906 775593 1450488 2720987 9285420 541214 rec. 20619430 272688 207852 208401 376825 1065766 1265827 2070553 4402146 16217284 541219 firms 28412 3842 18973 3477 1199 27491 682 138 28311 101 28236 3849 18710 3499 1193 27251 737 148 28136 100 28446 4057 18542 3527 1254 27380 791 162 28333 113 29359 4234 18895 3730 1398 28257 831 162 29250 109 31109 4813 19658 3886 1524 29881 908 199 30988 121 541219 estab. 28848 3846 18978 3483 1222 27529 794 259 28582 266 28655 3862 18711 3513 1215 27301 839 219 28359 296 28853 4067 18543 3537 1275 27422 901 221 28544 309 29771 4234 18900 3737 1415 28286 937 234 29457 314 31656 4815 19659 3894 1549 29917 1077 351 31345 311 541219 empl. 132382 0 35867 22061 15421 73349 23515 13976 110840 21542 138922 0 35350 22253 15320 72923 25494 14754 113171 25751 149064 0 35196 22421 16070 73687 27555 19262 120504 28560 155316 0 35909 23610 18044 77563 30323 21619 129505 25811 164965 0 38226 24682 19654 82562 32195 24059 138816 26149 541219 ann. pay. 3648129 77343 611907 470302 387422 1546974 672632 424367 2643973 1004156 3702102 96786 632342 486714 406087 1621929 753071 457947 2832947 869155 4327751 93932 661703 510108 417657 1683400 887867 601386 3172653 1155098 4717689 106775 703639 564863 501092 1876369 989596 716295 3582260 1135429 4924935 105648 751517 608103 553543 2018811 1001362 763265 3783438 1141497 541219 rec. 11443319 383271 2403599 1464556 1193154 5444580 2337165 1637528 9419273 2024046 541310 firms 20569 2467 10577 4042 2014 19100 1288 148 20536 33 20822 2262 10536 4241 2201 19240 1384 161 20785 37 21272 2340 10532 4409 2291 19572 1481 179 21232 40 21715 2283 10735 4578 2334 19930 1538 194 21662 53 22521 2601 11221 4555 2379 20756 1517 195 22468 53 541310 estab. 21188 2468 10584 4063 2097 19212 1500 334 21046 142 21453 2275 10543 4258 2268 19344 1589 348 21281 172 21951 2343 10538 4427 2346 19654 1674 414 21742 209 22468 2285 10741 4592 2385 20003 1711 448 22162 306 23486 2601 11225 4574 2456 20856 1863 499 23218 268 541310 empl. 157670 0 22368 26421 26496 75285 47253 21710 144248 13422 168337 0 22171 27764 28903 78838 51410 21873 152121 16216 179467 0 22377 28864 30238 81479 54814 25374 161667 17800 193406 0 22671 30076 31064 83811 57237 27572 168620 24786 185649 0 23570 29833 31178 84581 56025 26967 167573 18076 541310 ann. pay. 7550260 93006 751521 1039662 1188463 3072652 2500457 1204086 6777195 773065 8373796 107324 783240 1124158 1339971 3354693 2851701 1262009 7468403 905393 9441449 97972 827457 1217828 1483341 3626598 3157317 1557051 8340966 1100483 10298865 101913 843312 1291720 1536411 3773356 3309956 1737188 8820500 1478365 9997521 97535 874884 1300671 1573046 3846136 3313785 1704584 8864505 1133016 541310 rec. 25700888 422758 2994726 3333945 3857423 10608852 8083380 4033196 22725428 2975460 541320 firms 7584 1865 3500 1208 631 7204 338 34 7576 8 7653 1683 3605 1285 656 7229 374 41 7644 9 6390 1327 2998 1095 564 5984 365 33 6382 8 6447 1250 3087 1117 576 6030 370 38 6438 9 6729 1535 2916 1144 662 6257 418 44 6719 10 541320 estab. 7626 1865 3502 1212 636 7215 354 46 7615 11 7695 1683 3606 1289 661 7239 388 55 7682 13 6424 1327 2998 1098 568 5991 373 49 6413 11 6486 1250 3087 1121 580 6038 374 62 6474 12 6829 1535 2916 1148 678 6277 444 75 6796 33 541320 empl. 39510 0 7101 7844 8358 23303 11829 3949 39081 429 42691 0 7376 8450 8756 24582 13013 4617 42212 479 38271 0 6055 7191 7449 20695 13200 4082 37977 294 39628 0 6175 7231 7638 21044 13298 4906 39248 380 43711 0 6113 7531 8790 22434 14885 5345 42664 1047 541320 ann. pay. 1115885 51761 193559 196225 236376 677921 334374 92017 1104312 11573 1240426 53843 208192 226734 258460 747229 366527 109575 1223331 17095 1205902 46167 176736 206205 235103 664211 404265 123967 1192443 13459 1359344 38932 195504 227819 256953 719208 447107 178778 1345093 14251 1560413 60794 208452 255042 313296 837584 495118 182411 1515113 45300 541320 rec. 4429316 250974 704313 721884 794088 2471259 1210918 511322 4193499 235817 541330 firms 46182 6336 21519 7324 5256 40435 4465 870 45770 412 45812 5845 21176 7330 5495 39846 4631 894 45371 441 45579 5905 20641 7266 5506 39318 4861 971 45150 429 45540 5582 20655 7262 5587 39086 4994 1011 45091 449 45849 6551 20845 6974 5224 39594 4795 1001 45390 459 541330 estab. 53424 6339 21540 7367 5386 40632 5824 2955 49411 4013 53729 5849 21198 7378 5631 40056 5887 3085 49028 4701 53479 5916 20676 7310 5638 39540 6066 3287 48893 4586 53763 5592 20682 7306 5715 39295 6136 3355 48786 4977 54910 6569 20859 7022 5453 39903 6580 3579 50062 4848 541330 empl. 795629 0 42046 48665 70676 161387 167274 132456 461117 334512 826717 0 41252 48614 74111 163977 175348 136862 476187 350530 816031 0 40530 48392 74109 163031 184586 151683 499300 316731 859691 0 40652 48366 75472 164490 191693 161090 517273 342418 815541 0 40381 46323 70212 156916 182895 156801 496612 318929 541330 ann. pay. 40097774 320759 1705945 2061606 3243616 7331926 8400565 6891738 22624229 17473545 43916818 360881 1746016 2118635 3510053 7735585 9179005 7249614 24164204 19752614 47405254 462823 1751358 2250536 3687521 8152238 10050505 8851047 27053790 20351464 49388522 354717 1824991 2284957 3807080 8271745 10636433 9321595 28229773 21158749 47837768 411766 1760504 2237220 3618778 8028268 10437405 9296922 27762595 20075173 541330 rec. 118300133 1234427 5000247 5384479 7944348 19563501 22194248 20258842 62016591 56283542 541340 firms 2119 400 1251 245 136 2032 73 11 2116 3 2090 345 1271 248 132 1996 80 10 2086 4 2186 358 1335 251 151 2095 78 8 2181 5 2236 367 1374 260 146 2147 76 7 2230 6 2694 412 1752 311 146 2621 61 8 2690 4 541340 estab. 2133 400 1251 245 138 2034 80 16 2130 3 2103 345 1271 248 134 1998 87 11 2096 7 2200 358 1335 251 153 2097 87 8 2192 8 2253 367 1375 261 149 2152 84 7 2243 10 2713 412 1753 314 149 2628 71 9 2708 5 541340 empl. 9410 0 2332 1564 1722 5618 2465 1277 9360 50 9633 0 2377 1616 1763 5756 2603 [g] [i] [e] 10204 0 2464 1630 1986 6080 3013 696 9789 415 10335 0 2467 1722 1928 6117 2822 908 9847 488 10088 0 3118 2005 1892 7015 2083 871 9969 119 541340 ann. pay. 352730 10589 58903 47546 61518 178556 108396 64175 351127 1603 357404 7807 63190 53611 63186 187794 101605 (D) (D) (D) 399188 11588 64494 52959 73441 202482 130982 33502 366966 32222 412486 6860 65752 57288 68760 198660 122852 54659 376171 36315 373003 10125 84100 70027 70249 234501 95977 32568 363046 9957 541340 rec. 768166 35451 239792 140374 130985 546602 163221 52269 762092 6074 541350 firms 3077 588 1973 287 135 2983 79 7 3069 8 3210 565 2078 321 139 3103 92 8 3203 7 3280 549 2118 352 139 3158 98 16 3272 8 3520 597 2250 377 164 3388 107 16 3511 9 4099 739 2706 374 162 3981 98 11 4090 9 541350 estab. 3133 589 1973 290 138 2990 102 18 3110 23 3270 566 2078 321 145 3110 120 20 3250 20 3338 549 2119 352 145 3165 123 30 3318 20 3581 597 2251 380 168 3396 132 31 3559 22 4182 739 2707 379 171 3996 135 32 4163 19 541350 empl. 12223 0 3469 1866 1744 7079 3043 622 10744 1479 11940 0 3737 2067 1841 7645 3571 565 11781 159 13738 0 3814 2258 1832 7904 3569 1832 13305 433 15138 0 4015 2411 2119 8545 3676 1806 14027 1111 13897 0 4859 2399 2047 9305 3553 868 13726 171 541350 ann. pay. 337544 16585 87358 52043 51435 207421 97596 13939 318956 18588 391532 15742 98569 58932 57507 230750 131455 21536 383741 7791 474127 15112 99120 69426 60056 243714 129309 84244 457267 16860 539533 14650 110815 75490 67137 268092 157405 47600 473097 66436 495556 21631 131101 79318 78312 310362 143468 30978 484808 10748 541350 rec. 1334226 77111 407975 245438 177027 907551 303819 112620 1323990 10236 541360 firms 624 108 313 93 49 563 42 12 617 7 609 114 317 84 43 558 37 9 604 5 623 107 323 89 53 572 34 10 616 7 648 96 339 94 63 592 36 13 641 7 878 137 469 121 78 805 51 12 868 10 541360 estab. 668 108 313 96 51 568 51 15 634 34 644 114 317 85 45 561 49 11 621 23 663 107 324 90 55 576 45 18 639 24 691 96 339 95 65 595 47 22 664 27 966 137 469 124 85 815 69 16 900 66 541360 empl. 11798 0 583 616 646 1845 1656 1601 5102 6696 8773 0 606 531 558 1695 1489 [f] [h] [h] 7081 0 624 544 684 1852 1238 1117 4207 2874 9887 0 675 593 805 2073 1396 1716 5185 4702 7773 0 884 761 1041 2686 1837 1452 5975 1798 541360 ann. pay. 486638 4791 17737 23262 33077 78867 67272 43051 189190 297448 369974 3981 17186 21081 33302 75550 59316 (D) (D) (D) 296890 4299 20464 19086 37104 80953 61032 41317 183302 113588 445716 10995 26099 23681 35052 95827 68285 72386 236498 209218 364986 6138 29839 34833 43248 114058 93416 62160 269634 95352 541360 rec. 1090077 26161 92287 91337 113929 323714 288049 173195 784958 305119 541370 firms 8764 757 4704 1880 955 8296 403 42 8741 23 8780 677 4724 1863 1001 8265 446 43 8754 26 8720 686 4568 1927 987 8168 477 49 8694 26 8685 716 4535 1894 985 8130 484 48 8662 23 8767 751 4516 1920 1020 8207 492 46 8745 22 541370 estab. 8957 757 4705 1892 983 8337 498 70 8905 52 8979 679 4726 1873 1022 8300 551 74 8925 54 8919 688 4572 1935 1007 8202 576 80 8858 61 8881 716 4538 1908 1008 8170 563 89 8822 59 9013 751 4517 1929 1044 8241 630 82 8953 60 541370 empl. 55231 0 10386 12288 12391 35065 12353 3459 50877 4354 56733 0 10362 12248 13071 35681 14099 3912 53692 3041 58676 0 9978 12677 12857 35512 15018 4406 54936 3740 59420 0 9960 12552 12822 35334 15609 4375 55318 4102 59483 0 9947 12706 13369 36022 15908 4363 56293 3190 541370 ann. pay. 1649852 21354 224717 317540 369758 933369 432253 122267 1487889 161963 1784877 27191 234577 330500 400975 993243 506907 156722 1656872 128005 1940343 23437 229831 354318 408387 1015973 564793 201067 1781833 158510 2051931 25008 243121 362100 435368 1065597 602520 217931 1886048 165883 2095167 22367 248001 377857 464929 1113154 640458 206593 1960205 134962 541370 rec. 4311513 67146 690830 768615 867928 2394519 1212551 376918 3983988 327525 541380 firms 4224 391 1488 790 578 3247 721 160 4128 96 4115 295 1502 796 569 3162 703 147 4012 103 4040 303 1453 770 590 3116 684 145 3945 95 4244 344 1566 819 606 3335 666 142 4143 101 4708 440 1846 872 617 3775 680 148 4603 105 541380 estab. 5615 391 1491 798 603 3283 971 475 4729 886 5557 300 1506 806 590 3202 946 451 4599 958 5318 308 1456 777 615 3156 925 448 4529 789 5474 346 1571 826 628 3371 889 444 4704 770 5962 441 1847 881 643 3812 972 488 5272 690 541380 empl. 89998 0 3397 5242 7696 16335 25347 19498 61180 28818 88014 0 3330 5276 7643 16249 25060 17876 59185 28829 89887 0 3259 5114 7975 16348 25478 18159 59985 29902 98422 0 3467 5403 8314 17184 25411 19345 61940 36482 100797 0 4110 5833 8472 18415 25714 19918 64047 36750 541380 ann. pay. 3234837 18971 102637 164753 252670 539031 879949 692907 2111887 1122950 3345179 13956 105186 172800 253232 545174 902083 671529 2118786 1226393 3605567 15251 106130 174251 283388 579020 966164 719598 2264782 1340785 4216324 26191 124898 189584 304870 645543 1016432 780837 2442812 1773512 4403713 24899 145589 210351 326831 707670 1051528 836893 2596091 1807622 541380 rec. 10285091 80560 435621 528199 786993 1831373 2397111 1813906 6042390 4242701 541410 firms 10132 1844 6241 1260 514 9859 234 23 10116 16 10162 1586 6339 1363 562 9850 266 29 10145 17 10376 1671 6296 1463 603 10033 298 27 10358 18 10823 1726 6676 1472 592 10466 312 28 10806 17 11132 1939 7042 1391 501 10873 216 25 11114 18 541410 estab. 10195 1845 6242 1268 525 9880 249 45 10174 21 10220 1587 6340 1371 573 9871 281 49 10201 19 10440 1672 6297 1471 615 10055 311 50 10416 24 10889 1728 6678 1480 603 10489 324 54 10867 22 11217 1939 7042 1399 526 10906 235 53 11194 23 541410 empl. 36714 0 12083 8073 6664 26820 7269 1799 35888 826 40683 0 12400 8694 7345 28439 8556 2936 39931 752 44206 0 12490 9350 7936 29776 9884 2504 42164 2042 46486 0 13045 9416 7742 30203 10347 2829 43379 3107 39536 0 13576 8927 6578 29081 6846 2042 37969 1567 541410 ann. pay. 1263331 58656 318356 227473 244198 848683 283426 84801 1216910 46421 1451607 50014 346478 271815 270273 938580 326809 133484 1398873 52734 1669778 50714 369726 307096 317728 1045264 393237 144382 1582883 86895 1756820 55124 389610 308105 296476 1049315 414069 118292 1581676 175144 1485396 52440 394380 308611 273183 1028614 294831 99372 1422817 62579 541410 rec. 7035892 407646 2802981 1515095 1079114 5804836 869500 221318 6895654 140238 541420 firms 1453 288 729 184 113 1314 106 15 1435 18 1380 222 736 168 128 1254 95 15 1364 16 1388 257 691 191 116 1255 101 17 1373 15 1392 238 694 210 117 1259 97 20 1376 16 1605 289 866 213 115 1483 86 18 1587 18 541420 estab. 1489 288 731 185 115 1319 115 19 1453 36 1418 222 736 169 130 1257 103 19 1379 39 1427 257 691 192 118 1258 109 22 1389 38 1428 238 694 213 117 1262 105 25 1392 36 1644 289 866 216 118 1489 100 23 1612 32 541420 empl. 14366 0 1373 1227 1475 4075 3822 1355 9252 5114 14009 0 1401 1114 1681 4196 3467 [g] [i] [i] 13898 0 1338 1262 1537 4137 3819 [g] [i] [h] 14307 0 1349 1397 1564 4310 [h] [g] 10535 3772 12720 0 1605 1425 1543 4573 2972 1315 8860 3860 541420 ann. pay. 676874 17348 52522 51492 60185 181547 170758 66036 418341 258533 622551 8422 56492 49619 76399 190932 162491 (D) (D) (D) 689546 9820 58983 60095 73370 202268 184963 (D) (D) (D) 678356 10838 55540 62196 76514 205088 (D) (D) 481264 197092 657113 12556 67866 67216 73513 221151 156171 62739 440061 217052 541420 rec. 2055079 52375 235250 218740 169848 676213 398421 193624 1268258 786821 541430 firms 14952 2378 8914 2140 977 14409 460 44 14913 39 15208 2293 9118 2236 1005 14652 477 46 15175 33 15265 2413 8933 2271 1018 14635 549 48 15232 33 15576 2335 9177 2315 1121 14948 541 52 15541 35 15952 2661 9662 2148 964 15435 434 52 15921 31 541430 estab. 15063 2378 8919 2147 994 14438 499 62 14999 64 15329 2303 9120 2246 1019 14688 519 54 15261 68 15383 2413 8934 2280 1032 14659 592 64 15315 68 15705 2335 9179 2323 1139 14976 571 86 15633 72 16102 2661 9667 2154 981 15463 493 84 16040 62 541430 empl. 68785 0 17308 13779 12781 43868 15328 4343 63539 5246 69937 0 17419 14361 13332 45112 16353 4639 66104 3833 74882 0 17220 14711 13420 45351 19007 5515 69873 5009 78739 0 17568 14924 14756 47248 19206 6137 72591 6148 69597 0 18378 13899 12630 44907 14936 4242 64085 5512 541430 ann. pay. 2792839 76133 549114 512093 544088 1681428 694077 185347 2560852 231987 3075241 142885 575491 546117 598406 1862899 788814 198345 2850058 225183 3428453 81271 588109 600639 630186 1900205 980703 237427 3118335 310118 3359301 79127 574908 578341 639725 1872101 920127 301632 3093860 265441 3205643 80387 585580 563244 579875 1809086 755083 240557 2804726 400917 541430 rec. 9412475 352638 2240237 1684932 1607546 5885353 1928502 596492 8410347 1002128 541490 firms 1069 287 562 121 58 1028 32 4 1064 5 1130 222 653 153 52 1080 38 7 1125 5 1171 239 660 137 79 1115 47 3 1165 6 1282 259 711 155 98 1223 50 2 1275 7 1740 369 1043 175 88 1675 54 4 1733 7 541490 estab. 1070 287 562 121 58 1028 33 4 1065 5 1130 222 653 153 52 1080 38 7 1125 5 1172 239 660 137 79 1115 47 4 1166 6 1283 259 711 155 98 1223 50 2 1275 8 1748 369 1043 176 89 1677 59 4 1740 8 541490 empl. 4815 0 1015 787 791 2593 1154 1043 4790 25 6505 0 1175 1051 679 2905 1206 [g] [i] [g] 6740 0 1236 895 1036 3167 1470 [e] [i] [g] 8240 0 1307 1028 1304 3639 [g] [e] 5437 2803 9693 0 1862 1098 1171 4131 1666 127 5924 3769 541490 ann. pay. 164640 10967 35257 22297 29580 98101 35820 29064 162985 1655 212720 9030 39096 30700 25901 104727 38881 (D) (D) (D) 258580 10409 52985 25834 40021 129249 54895 (D) (D) (D) 293613 9726 43183 26419 34949 114277 (D) (D) 194728 98885 336954 17194 58683 33842 35193 144912 79068 5078 229058 107896 541490 rec. 1095124 86069 302635 143333 121900 653937 213382 7558 874877 220247 541511 firms 32911 7368 17028 3417 2115 29928 2187 500 32615 296 36223 8109 18669 3686 2355 32819 2523 556 35898 325 39061 8786 19547 4063 2651 35047 3023 642 38712 349 40246 7904 20815 4253 2929 35901 3264 732 39897 349 43513 8586 24313 4205 2759 39863 2742 568 43173 340 541511 estab. 35787 7371 17044 3456 2186 30057 2508 989 33554 2233 39263 8123 18689 3730 2412 32954 2776 1100 36830 2433 42352 8794 19570 4113 2717 35194 3260 1253 39707 2645 43557 7905 20847 4294 3003 36049 3500 1376 40925 2632 47081 8592 24331 4241 2851 40015 3250 1195 44460 2621 541511 empl. 395099 0 29622 22268 28422 80312 86600 73652 240564 154535 436343 0 32253 24060 31614 87927 99024 87864 274815 161528 490319 0 34471 26587 35985 97043 120921 104276 322240 168079 538674 0 36960 27563 39725 104248 130752 120780 355780 182894 459727 0 42113 27731 37291 107135 105433 82147 294715 165012 541511 ann. pay. 25223546 569030 1565563 1213849 1686588 5035030 5822799 4993917 15851746 9371800 29398800 586656 1778976 1379845 1995852 5741329 7029459 6172108 18942896 10455904 36883457 928283 1913592 1569345 2334045 6745265 9157578 8631951 24534794 12348663 36851309 767110 1899023 1468052 2388088 6522273 8843007 8940669 24305949 12545360 32140417 518204 2103052 1536095 2308088 6465439 7675631 6322683 20463753 11676664 541511 rec. 70268297 1518556 5430285 3521758 4951145 15421744 14665061 12741851 42828656 27439641 541512 firms 31682 6903 16790 3447 2033 29173 1775 442 31390 292 32309 5271 18285 3711 2203 29470 2055 459 31984 325 31560 5317 17183 3712 2310 28522 2196 512 31230 330 32286 5251 17853 3715 2343 29162 2225 561 31948 338 33501 6216 18770 3543 2202 30731 1960 489 33180 321 541512 estab. 34270 6904 16800 3468 2091 29263 2139 925 32327 1943 36399 5297 18299 3724 2243 29563 2387 881 32831 3568 36400 5322 17192 3733 2343 28590 2510 973 32073 4327 37243 5256 17866 3732 2375 29229 2511 987 32727 4516 38877 6219 18779 3574 2307 30879 2442 1071 34392 4485 541512 empl. 354951 0 29459 22588 27166 79213 68003 59797 207013 147938 441249 0 32264 24333 29291 85888 78895 66878 231661 209588 521454 0 30388 24460 31016 85864 85022 79423 250309 271145 538673 0 31693 24291 31577 87561 86900 88551 263012 275661 466119 0 33364 23296 29613 86273 74458 72350 233081 233038 541512 ann. pay. 22465181 414909 1536178 1088137 1471043 4510267 4239658 3804394 12554319 9910862 28557099 330344 1715949 1271517 1663788 4981598 5062399 4713908 14757905 13799194 37986412 484986 1610245 1230661 1789380 5115272 5665610 6634638 17415520 20570892 37107143 364832 1623219 1209193 1852220 5049464 5479980 6066489 16595933 20511210 31748720 364638 1625000 1197418 1737257 4924313 4999531 5199314 15123158 16625562 541512 rec. 85848086 1073516 4569598 3223899 4285347 13152360 11575305 12358080 37085745 48762341 541513 firms 814 131 285 100 75 591 111 54 756 58 913 204 311 115 75 705 103 49 857 56 1013 198 381 126 97 802 107 54 963 50 969 176 378 120 82 756 113 46 915 54 2422 353 1510 206 105 2174 130 62 2366 56 541513 estab. 1470 131 285 102 76 594 132 129 855 615 1511 204 312 115 77 708 126 117 951 560 1609 199 382 129 100 810 128 129 1067 542 1607 176 380 120 85 761 130 106 997 610 3125 359 1512 208 107 2186 188 150 2524 601 541513 empl. 63989 0 548 645 1008 2201 4169 6229 12599 51390 61853 0 616 750 1033 2399 4149 6752 13300 48553 62843 0 715 809 1282 2806 4267 7704 14777 48066 71342 0 695 781 1107 2583 4553 6458 13594 57748 80613 0 2631 1356 1320 5307 5226 8820 19353 61260 541513 ann. pay. 3653479 8494 28359 26135 65855 128843 217066 299779 645688 3007791 3815261 15499 30773 37745 72696 156713 214314 356857 727884 3087377 3787526 18579 35084 41071 89276 184010 235006 412250 831266 2956260 4342484 11163 33879 37935 50664 133641 300788 376342 810771 3531713 4729643 29536 107279 59912 71750 268477 317167 477378 1063022 3666621 541513 rec. 13226657 72321 323652 154685 236009 786667 675807 1103997 2566471 10660186 541519 firms 13729 5085 6776 1019 431 13311 283 75 13669 60 16322 5033 8857 1355 539 15784 398 76 16258 64 19472 5854 10027 1881 873 18635 664 109 19408 64 18141 4291 10333 1711 879 17214 730 130 18074 67 13519 4208 6374 1296 805 12683 654 117 13454 65 541519 estab. 14008 5088 6776 1021 436 13321 314 132 13767 241 16625 5041 8857 1358 544 15800 428 125 16353 272 19783 5854 10028 1884 878 18644 694 181 19519 264 18445 4291 10334 1715 886 17226 760 204 18190 255 13789 4208 6377 1301 817 12703 694 199 13596 193 541519 empl. 59416 0 11486 6432 5644 23562 10771 8541 42874 16542 73604 0 15083 8741 7236 31060 15131 8907 55098 18506 96620 0 17332 12068 11607 41007 24887 13448 79342 17278 106116 0 18006 11113 11807 40926 27830 18029 86785 19331 83038 0 11186 8461 10810 30457 24545 14988 69990 13048 541519 ann. pay. 3413420 253150 550492 277241 304267 1385150 619557 402944 2407651 1005769 4542894 323004 761971 428102 412846 1925923 952874 455646 3334443 1208451 6645430 433326 882233 600783 687162 2603504 1841595 927754 5372853 1272577 6374946 215175 842518 481430 625532 2164655 1722220 1339241 5226116 1148830 5217311 172129 532814 426789 617267 1748999 1604897 1042082 4395978 821333 541519 rec. 12436679 571441 1538078 1146073 1496807 4752399 3732224 2074260 10558883 1877796 541611 firms 28141 6618 15779 2541 1332 26270 1168 397 27835 306 28627 6800 15995 2555 1354 26704 1218 384 28306 321 29917 7257 16500 2699 1428 27884 1300 399 29583 334 33514 8325 18617 2907 1528 31377 1396 397 33170 344 43678 10657 25492 3555 1725 41429 1471 446 43346 332 541611 estab. 29386 6630 15794 2567 1394 26385 1401 605 28391 995 30383 6821 16011 2581 1410 26823 1386 611 28820 1563 31826 7274 16516 2724 1479 27993 1478 662 30133 1693 35817 8354 18630 2933 1593 31510 1540 677 33727 2090 46246 10657 25500 3599 1826 41582 1827 814 44223 2023 541611 empl. 248082 0 27680 16276 17740 61696 42037 42560 146293 101789 273172 0 28084 16419 17710 62213 43407 40667 146287 126885 298353 0 28798 17336 18556 64690 47718 43303 155711 142642 331503 0 32321 18724 20112 71157 51332 45405 167894 163609 354105 0 44293 22729 22449 89471 51538 49979 190988 163117 541611 ann. pay. 15917455 438976 1429277 912901 996143 3777297 2381376 2141944 8300617 7616838 18389220 436679 1507398 936671 1064766 3945514 2706591 1977776 8629881 9759339 21142774 499157 1591447 980094 1161798 4232496 3248872 2171084 9652452 11490322 22743513 458023 1687325 1033453 1193114 4371915 3131032 2412080 9915027 12828486 24281011 713769 2186203 1202518 1302409 5404899 3113130 2705803 11223832 13057179 541611 rec. 64834849 2208106 6299640 2979703 3112665 14600114 7182971 6661076 28444161 36390688 541612 firms 14770 2929 7830 2009 1029 13797 750 129 14676 94 15394 3199 8118 1984 1068 14369 796 122 15287 107 16376 3590 8567 2027 1105 15289 815 157 16261 115 16582 3419 8877 2015 1169 15480 840 151 16471 111 14817 3269 7904 1809 951 13933 639 124 14696 121 541612 estab. 15834 2929 7843 2025 1079 13876 951 269 15096 738 16496 3200 8132 1997 1113 14442 978 261 15681 815 17576 3604 8583 2047 1143 15377 958 309 16644 932 17746 3420 8887 2033 1215 15555 976 290 16821 925 16023 3269 7908 1844 1015 14036 835 306 15177 846 541612 empl. 121930 0 15050 13097 13635 41782 27190 19035 88007 33923 132959 0 15265 12978 14193 42436 29991 17611 90038 42921 146249 0 15936 13125 14704 43765 30646 22639 97050 49199 155168 0 16464 13057 15536 45057 32630 22097 99784 55384 145199 0 14755 11696 12595 39046 23301 15932 78279 66920 541612 ann. pay. 6543329 164738 822750 726651 826669 2540808 1315189 884239 4740236 1803093 7438258 167419 852411 718874 857239 2595943 1440063 842162 4878168 2560090 8758042 253685 950736 827629 945287 2977337 1647525 973937 5598799 3159243 8648347 184964 880521 710471 860978 2636934 1566133 966943 5170010 3478337 8759833 188530 713750 609429 687350 2199059 1150612 690411 4040082 4719751 541612 rec. 17839422 489604 1897304 1302393 1361091 5050392 2157214 1264137 8471743 9367679 541613 firms 13311 3211 7780 1176 565 12732 400 92 13224 87 14131 3815 7903 1177 579 13474 453 105 14032 99 16118 4686 8694 1319 709 15408 484 116 16008 110 18044 5037 9862 1514 820 17233 585 120 17938 106 18788 5321 10344 1548 777 17990 548 129 18667 121 541613 estab. 13527 3211 7789 1187 588 12775 462 146 13383 144 14342 3818 7912 1187 611 13528 493 165 14186 156 16379 4690 8702 1327 737 15456 526 175 16157 222 18315 5038 9874 1522 846 17280 630 175 18085 230 19153 5321 10357 1567 813 18058 651 202 18911 242 541613 empl. 73199 0 13549 7587 7377 28513 14920 8728 52161 21038 82745 0 13749 7591 7639 28979 16771 12268 58018 24727 88106 0 15207 8371 9356 32934 18105 14897 65936 22170 122392 0 17278 9738 10908 37924 22097 15605 75626 46766 117041 0 18319 9983 10254 38556 19933 14663 73152 43889 541613 ann. pay. 3833163 158200 672343 372540 399708 1602791 708838 305261 2616890 1216273 4462188 194438 691345 382087 430213 1698083 858929 440211 2997223 1464965 4812049 255446 789622 434159 557575 2036802 1027272 700589 3764663 1047386 5576721 269019 843189 492676 594780 2199664 1154664 671994 4026322 1550399 5286475 254157 841075 516385 589852 2201469 993819 648771 3844059 1442416 541613 rec. 17979495 1049523 3449582 1902792 2108069 8509966 3671848 1627359 13809173 4170322 541614 firms 3167 681 1657 316 195 2849 211 51 3111 56 3278 723 1693 339 193 2948 221 50 3219 59 3533 832 1817 335 223 3207 222 46 3475 58 4069 967 2125 386 226 3704 265 43 4012 57 4314 1093 2161 426 236 3916 263 62 4241 73 541614 estab. 3485 681 1661 320 206 2868 281 84 3233 252 3621 724 1696 342 213 2975 260 100 3335 286 3918 832 1819 339 237 3227 263 98 3588 330 4474 967 2128 388 232 3715 326 87 4128 346 4916 1098 2163 434 256 3951 335 235 4521 395 541614 empl. 29909 0 2966 2051 2626 7643 7251 4887 19781 10128 34190 0 3018 2207 2550 7775 7597 4610 19982 14208 35961 0 3194 2166 2951 8311 8186 4754 21251 14710 38892 0 3803 2495 3009 9307 10008 4081 23396 15496 41162 0 3891 2774 3195 9860 9287 6573 25720 15442 541614 ann. pay. 1512158 35050 134780 108455 119569 397854 337858 294336 1030048 482110 1633736 38829 132313 118232 122072 411446 378272 282043 1071761 561975 1881989 82315 152450 110369 160537 505671 400140 297718 1203529 678460 1992456 75306 180969 121816 166134 544225 478477 289328 1312030 680426 2189954 70118 171749 138539 183259 563665 465367 411270 1440302 749652 541614 rec. 6782280 274982 704854 506804 622768 2109408 1396892 979470 4485770 2296510 541618 firms 3337 986 1716 317 167 3186 108 24 3318 19 3342 728 1932 335 180 3175 116 30 3321 21 3442 794 1926 338 209 3267 122 28 3417 25 5172 1158 3070 469 264 4961 155 30 5146 26 6238 1621 3534 523 271 5949 219 37 6205 33 541618 estab. 3459 986 1716 322 178 3202 135 27 3364 95 3399 730 1932 338 195 3195 132 36 3363 36 3498 794 1928 340 222 3284 138 30 3452 46 5222 1158 3073 472 274 4977 165 33 5175 47 6375 1621 3536 526 283 5966 247 84 6297 78 541618 empl. 14470 0 2982 2027 2202 7211 3678 1819 12708 1762 16143 0 3407 2165 2482 8054 4271 1811 14136 2007 17387 0 3381 2156 2747 8284 4386 1826 14496 2891 21868 0 5343 3017 3451 11811 5804 2475 20090 1778 27834 0 6241 3425 3536 13202 7796 3198 24196 3638 541618 ann. pay. 630532 41330 118210 77007 96482 333029 183906 42945 559880 70652 793717 30462 142241 89153 109159 371015 219892 64381 655288 138429 906957 45297 142251 97225 127836 412609 225184 74014 711807 195150 1160013 54653 230433 140506 173088 598680 288713 116709 1004102 155911 1633005 115528 281789 180109 187423 764849 372843 209477 1347169 285836 541618 rec. 4362700 395842 903058 495535 550599 2345034 808201 596804 3750039 612661 541620 firms 6285 890 3257 1014 631 5792 384 58 6234 51 6540 1131 3302 944 643 6020 407 61 6488 52 7002 1298 3518 1009 633 6458 428 66 6952 50 7463 1372 3751 1067 673 6863 478 71 7412 51 7853 1414 3961 1119 709 7203 522 73 7798 55 541620 estab. 6913 891 3261 1023 658 5833 532 248 6613 300 7239 1133 3305 959 667 6064 570 265 6899 340 7654 1299 3523 1018 666 6506 559 288 7353 301 8218 1372 3756 1081 691 6900 636 340 7876 342 8855 1414 3966 1134 789 7303 806 350 8459 396 541620 empl. 48627 0 6482 6576 8320 21378 12826 5925 40129 8498 51329 0 6451 6226 8593 21270 13464 6831 41565 9764 54230 0 6795 6635 8432 21862 14538 8400 44800 9430 59009 0 7238 6980 8899 23117 16864 10057 50038 8971 62554 0 7751 7356 9418 24525 18037 9654 52216 10338 541620 ann. pay. 2040495 31189 222987 242239 318773 815188 531380 294905 1641473 399022 2284608 78772 237341 231993 341453 889559 575640 317161 1782360 502248 2537341 65288 271276 267512 359306 963382 647163 402417 2012962 524379 2804661 55953 292254 298848 381877 1028932 781999 484453 2295384 509277 3063664 65695 303080 337448 424965 1131188 849865 504163 2485216 578448 541620 rec. 7791713 233474 997397 914831 1071677 3217379 2052658 1154166 6424203 1367510 541690 firms 14745 3840 8536 1240 561 14177 408 77 14662 83 14977 3660 8794 1328 614 14396 428 72 14896 81 15838 3983 9168 1390 680 15221 476 74 15771 67 17426 4477 9963 1558 738 16736 536 91 17363 63 14926 4438 7873 1299 671 14281 475 95 14851 75 541690 estab. 15127 3840 8541 1261 592 14234 536 162 14932 195 15397 3665 8802 1342 643 14452 552 152 15156 241 16258 3984 9177 1400 711 15272 589 137 15998 260 17867 4478 9972 1575 771 16796 648 166 17610 257 15440 4448 7880 1309 737 14374 611 205 15190 250 541690 empl. 65274 0 14638 7895 7424 29957 14040 9666 53663 11611 67949 0 15217 8533 8047 31797 14535 8335 54667 13282 71325 0 15974 8890 8960 33824 16196 9747 59767 11558 77272 0 17510 10093 9720 37323 19116 12523 68962 8310 72544 0 13924 8463 8834 31221 16299 11437 58957 13587 541690 ann. pay. 3364375 162168 619274 353072 354366 1488880 735879 475302 2700061 664314 3583370 205729 660644 410305 387900 1664578 740747 421221 2826546 756824 4170545 202212 794821 467329 473756 1938118 874429 633199 3445746 724799 4418944 195287 813691 496204 517497 2022679 1064355 766981 3854015 564929 4354309 222970 647827 442679 484938 1798414 940874 706991 3446279 908030 541690 rec. 11233294 728988 2035900 1158659 1191715 5115262 2278674 1557972 8951908 2281386 541710 firms 8049 1179 3142 1239 892 6452 1026 343 7821 228 8153 1083 3228 1256 870 6437 1122 344 7903 250 8524 1292 3220 1303 918 6733 1167 348 8248 276 9202 1293 3516 1408 1012 7229 1249 427 8905 297 9339 1392 3657 1271 979 7299 1234 457 8990 349 541710 estab. 9652 1182 3142 1248 917 6489 1252 672 8413 1239 9988 1097 3232 1268 892 6489 1328 706 8523 1465 10518 1301 3223 1316 956 6796 1358 729 8883 1635 11299 1296 3523 1429 1039 7287 1443 820 9550 1749 11605 1392 3666 1281 1038 7377 1522 852 9751 1854 541710 empl. 275141 0 6480 8193 11971 26644 41323 53604 121571 153570 301353 0 6816 8328 11689 26833 46048 54665 127546 173807 319453 0 6743 8660 12367 27770 49062 56611 133443 186010 343690 0 7279 9356 13645 30280 51010 70560 151850 191840 355085 0 7462 8318 13112 28892 51070 74234 154196 200889 541710 ann. pay. 15282308 103633 299809 402307 620512 1426261 2370431 3001877 6798569 8483739 18250780 88237 338208 416211 640485 1483141 2738470 3463585 7685196 10565584 23266511 157633 354449 468626 739456 1720164 3458129 5306485 10484778 12781733 22927878 142671 382015 517114 831200 1873000 3501475 5359910 10734385 12193493 23475312 156122 394305 458228 796413 1805068 3495476 5270714 10571258 12904054 541710 rec. 55779326 450139 1280900 1235530 2106331 5072900 8047974 12083404 25204278 30575048 541720 firms 1856 228 838 288 188 1542 207 77 1826 30 1883 216 832 296 206 1550 230 67 1847 36 1925 234 817 322 209 1582 234 71 1887 38 2015 211 882 342 213 1648 256 74 1978 37 2100 276 925 323 210 1734 249 80 2063 37 541720 estab. 2037 228 840 294 194 1556 257 151 1964 73 2100 216 835 298 214 1563 293 105 1961 139 2122 234 819 325 215 1593 275 119 1987 135 2215 211 886 344 221 1662 301 126 2089 126 2339 276 929 325 223 1753 314 144 2211 128 541720 empl. 34710 0 1703 1828 2499 6030 7536 10307 23873 10837 36993 0 1672 1923 2710 6305 8698 9337 24340 12653 39644 0 1644 2088 2736 6468 8719 10678 25865 13779 43377 0 1745 2278 2763 6786 10016 11018 27820 15557 44128 0 1862 2121 2794 6777 9881 10702 27360 16768 541720 ann. pay. 1520776 16509 62760 74795 114794 268858 317075 432943 1018876 501900 1667034 11421 72655 76019 122560 282655 381567 395145 1059367 607667 1994096 26374 66741 97658 121942 312715 404510 577166 1294391 699705 2162711 19423 72544 102924 130953 325844 493029 504067 1322940 839771 2216772 18767 77708 93365 139817 329657 488237 481532 1299426 917346 541720 rec. 6703036 67713 282143 271983 392924 1014763 1309228 1312203 3636194 3066842 541810 firms 12824 1935 6257 2224 1281 11697 938 117 12752 72 13017 1905 6452 2135 1351 11843 983 121 12947 70 12977 1914 6298 2160 1358 11730 1048 125 12903 74 13027 1807 6458 2177 1324 11766 1063 126 12955 72 10982 1862 5077 1786 1143 9868 934 112 10914 68 541810 estab. 13635 1935 6259 2229 1293 11716 1037 298 13051 584 13833 1910 6453 2142 1364 11869 1080 269 13218 615 13866 1916 6300 2170 1369 11755 1150 259 13164 702 13960 1807 6458 2185 1336 11786 1141 277 13204 756 12002 1862 5077 1791 1166 9896 1063 272 11231 771 541810 empl. 147108 0 12467 14626 17121 44214 34405 16603 95222 51886 153124 0 12936 14062 18042 45040 36745 17372 99157 53967 167215 0 12642 14297 17996 44935 39025 18825 102785 64430 172115 0 12901 14429 17825 45155 39763 19411 104329 67786 149054 0 10238 11842 15339 37419 34219 15373 87011 62043 541810 ann. pay. 8472136 103719 461061 603882 803843 1972505 1832351 966646 4771502 3700634 8992608 105615 489220 608027 861546 2064408 2059538 1041003 5164949 3827659 10473964 110868 489484 647670 925336 2173358 2265183 1177704 5616245 4857719 10167913 93804 498390 606542 938564 2137300 2210299 1067018 5414617 4753296 9310462 111040 396948 518583 805669 1832240 2022744 1004500 4859484 4450978 541810 rec. 20179500 329882 1115777 1439355 2064713 4949727 4464987 1841229 11255943 8923557 541820 firms 6253 817 3740 920 432 5909 276 43 6228 25 6084 696 3679 916 440 5731 292 35 6058 26 5923 695 3483 906 449 5533 317 46 5896 27 6038 719 3472 981 464 5636 336 39 6011 27 6130 816 3584 939 459 5798 264 37 6099 31 541820 estab. 6580 818 3745 930 460 5953 376 87 6416 164 6399 700 3683 924 463 5770 387 69 6226 173 6273 697 3488 917 468 5570 403 84 6057 216 6439 719 3475 988 485 5667 422 69 6158 281 6547 816 3585 954 499 5854 346 91 6291 256 541820 empl. 42377 0 7299 5956 5823 19078 9484 4555 33117 9260 44063 0 7189 5866 5800 18855 10339 3933 33127 10936 52253 0 6835 5881 5966 18682 11507 5561 35750 16503 52984 0 6732 6372 6175 19279 12365 4565 36209 16775 45853 0 6908 6098 6065 19071 9211 3685 31967 13886 541820 ann. pay. 2369622 31884 327510 286240 304263 949897 541570 254318 1745785 623837 2625643 31685 329721 288490 340981 990877 638704 238194 1867775 757868 3132646 33305 324188 321227 386167 1064887 755511 315400 2135798 996848 3188494 35738 320908 331486 376861 1064993 749085 262654 2076732 1111762 2968802 40383 327719 344302 380067 1092471 619455 216811 1928737 1040065 541820 rec. 6798910 135924 1034429 960045 827551 2957949 1307909 470232 4736090 2062820 541830 firms 766 98 389 126 65 678 57 19 754 12 785 104 406 120 61 691 60 22 773 12 813 109 422 131 64 726 54 22 802 11 808 116 408 124 74 722 57 17 796 12 895 125 473 151 74 823 47 12 882 13 541830 estab. 890 98 390 127 67 682 90 36 808 82 900 104 407 120 64 695 66 61 822 78 931 110 423 131 67 731 59 63 853 78 937 117 409 124 77 727 61 52 840 97 1002 125 473 154 77 829 54 35 918 84 541830 empl. 8957 0 793 817 843 2453 2266 1930 6649 2308 9238 0 860 790 814 2464 2477 1896 6837 2401 9780 0 835 850 839 2524 2142 2159 6825 2955 10507 0 817 811 960 2588 2265 1905 6758 3749 9963 0 964 981 978 2923 1900 1910 6733 3230 541830 ann. pay. 491977 5740 38536 50515 53321 148112 151805 97785 397702 94275 558915 5495 39376 49412 52565 146848 181591 123147 451586 107329 626943 8761 39764 47615 61204 157344 158246 144600 460190 166753 658212 8676 41864 49392 63826 163758 154223 133202 451183 207029 642630 8445 50953 58382 77064 194844 124196 149828 468868 173762 541830 rec. 1361024 28850 166369 158668 153358 507245 253538 316167 1076950 284074 541840 firms 2112 270 1033 358 227 1888 146 28 2062 50 2137 296 1048 361 194 1899 155 33 2087 50 2193 325 1044 355 221 1945 160 34 2139 54 2151 254 1089 360 191 1894 164 38 2096 55 2140 289 1081 349 196 1915 137 41 2093 47 541840 estab. 2731 270 1036 363 253 1922 214 76 2212 519 2715 298 1052 365 217 1932 196 76 2204 511 2758 325 1047 360 246 1978 200 77 2255 503 2798 254 1091 370 208 1923 199 98 2220 578 2810 289 1081 359 218 1947 187 115 2249 561 541840 empl. 30625 0 2075 2363 3037 7475 5310 2172 14957 15668 31339 0 2093 2380 2563 7036 5603 2862 15501 15838 35959 0 2026 2346 2859 7231 5700 4454 17385 18574 35816 0 2161 2426 2512 7099 5804 4595 17498 18318 33451 0 2162 2302 2553 7017 4975 3881 15873 17578 541840 ann. pay. 1277940 16982 98317 91953 108125 315377 217495 81777 614649 663291 1372935 33335 88507 107865 97340 327047 231074 160911 719032 653903 1782678 31937 96743 117144 124216 370040 251205 333978 955223 827455 1715560 15011 93830 113029 99827 321697 249346 248156 819199 896361 1655924 18843 90669 109491 109632 328635 201262 241738 771635 884289 541840 rec. 7318923 81464 408522 406546 325876 1222408 538947 606137 2367492 4951431 541850 firms 1862 248 966 279 188 1681 136 21 1838 24 1873 274 982 276 166 1698 128 22 1848 25 1870 302 933 273 192 1700 127 20 1847 23 1820 246 954 291 161 1652 124 23 1799 21 2012 291 1111 282 156 1840 132 19 1991 21 541850 estab. 2222 248 967 283 195 1693 165 62 1920 302 2276 274 982 281 175 1712 150 41 1903 373 2335 302 933 274 202 1711 144 40 1895 440 2210 246 955 295 170 1666 139 45 1850 360 2417 291 1112 286 166 1855 162 42 2059 358 541850 empl. 41804 0 1877 1840 2485 6202 4580 2648 13430 28374 43516 0 1904 1900 2151 5955 4379 3104 13438 30078 45148 0 1807 1805 2491 6103 4481 3065 13649 31499 32612 0 1879 1922 2118 5919 4265 3170 13354 19258 24223 0 2095 1891 2025 6011 4674 2473 13158 11065 541850 ann. pay. 949302 11964 57454 62683 90492 222593 164056 82607 469256 480046 1025612 15412 69608 64568 81442 231030 151480 98030 480540 545072 1126443 14351 66857 71926 97846 250980 181383 105925 538288 588155 952530 11129 68944 75873 95197 251143 179916 100572 531631 420899 894427 14162 74476 70573 82787 241998 185754 79764 507516 386911 541850 rec. 4315985 72987 410340 276764 292889 1052980 650483 322842 2026305 2289680 541860 firms 3566 453 1304 563 477 2797 577 133 3507 59 3669 313 1434 606 518 2871 605 128 3604 65 3270 301 1247 534 453 2535 550 121 3206 64 3132 270 1163 558 421 2412 538 115 3065 67 3357 248 1377 587 448 2660 532 101 3293 64 541860 estab. 3770 453 1305 565 483 2806 602 163 3571 199 3897 313 1434 608 526 2881 638 161 3680 217 3491 301 1247 534 458 2540 581 157 3278 213 3359 270 1163 558 427 2418 573 138 3129 230 3602 248 1378 590 455 2671 579 142 3392 210 541860 empl. 85988 0 2790 3704 6411 12905 22913 22613 58431 27557 90044 0 3063 4097 7067 14227 24312 21398 59937 30107 85472 0 2649 3559 6127 12335 21897 19676 53908 31564 84766 0 2399 3752 5838 11989 22019 19464 53472 31294 78619 0 2943 3878 5997 12818 21600 17089 51507 27112 541860 ann. pay. 2742321 22864 90487 110818 191931 416100 641098 608204 1665402 1076919 3070984 21331 101904 134644 238203 496082 717706 610532 1824320 1246664 3226674 27158 94238 123573 191454 436423 723481 586406 1746310 1480364 3035504 18626 84049 125815 193298 421788 748067 588881 1758736 1276768 2875814 24756 108877 138619 223281 495533 727457 548521 1771511 1104303 541860 rec. 10561103 108793 646961 686706 881236 2323696 2293903 1519698 6137297 4423806 541870 firms 500 79 241 62 50 432 38 14 484 16 513 73 263 73 40 449 34 16 499 14 499 77 255 65 37 434 35 16 485 14 583 92 305 73 49 519 36 13 568 15 647 119 340 80 38 577 39 15 631 16 541870 estab. 573 79 241 62 50 432 43 30 505 68 580 73 263 73 40 449 34 35 518 62 564 77 255 65 37 434 35 34 503 61 648 92 305 73 49 519 36 31 586 62 721 119 340 80 39 578 46 66 690 31 541870 empl. 9363 0 495 402 676 1573 1632 2252 5457 3906 6591 0 513 479 542 1534 1378 2308 5220 1371 6534 0 525 434 471 1430 1589 2117 5136 1398 7000 0 633 476 667 1776 1576 2055 5407 1593 6291 0 650 529 490 1669 1549 1750 4968 1323 541870 ann. pay. 222800 1982 13913 11813 16429 44137 40111 51947 136195 86605 192500 4969 14727 15029 15896 50621 33023 61403 145047 47453 199945 7462 14770 13444 17712 53388 35423 62485 151296 48649 210772 2374 20630 13633 19155 55792 40849 65583 162224 48548 238451 4399 19836 16195 17096 57526 49582 86499 193607 44844 541870 rec. 873559 30992 110739 71963 93935 307629 192447 257475 757551 116008 541890 firms 9175 1218 5368 1448 608 8642 416 70 9128 47 9114 1115 5319 1494 647 8575 429 67 9071 43 9012 1154 5112 1507 684 8457 444 59 8960 52 8675 1014 4973 1461 656 8104 464 64 8632 43 8430 926 5029 1342 642 7939 395 59 8393 37 541890 estab. 9510 1218 5368 1454 634 8674 496 160 9330 180 9452 1117 5319 1497 675 8608 505 165 9278 174 9314 1158 5112 1517 704 8491 509 124 9124 190 8939 1014 4976 1470 676 8136 523 118 8777 162 8829 926 5030 1351 667 7974 473 107 8554 275 541890 empl. 64447 0 11023 9273 7892 28188 14014 9255 51457 12990 65337 0 11067 9513 8391 28971 14693 8923 52587 12750 69951 0 10624 9711 8893 29228 15782 8769 53779 16172 68443 0 10312 9449 8471 28232 16085 9256 53573 14870 64365 0 10471 8619 8401 27491 13667 9315 50473 13892 541890 ann. pay. 1893459 42094 283612 259693 248249 833648 448280 230886 1512814 380645 2012187 39603 303662 278183 278284 899732 460511 258590 1618833 393354 2338146 53746 309504 299326 313102 975678 550094 309011 1834783 503363 2338129 44879 305773 282072 297867 930591 581092 291194 1802877 535252 1888600 29069 282347 261588 297276 870280 489490 227242 1587012 301588 541890 rec. 8991987 183363 1780206 1331805 1357334 4652708 2146218 891074 7690000 1301987 541910 firms 3408 479 1354 445 345 2623 566 147 3336 72 3446 492 1376 443 357 2668 564 148 3380 66 3542 524 1447 439 364 2774 551 155 3480 62 3516 485 1468 480 335 2768 537 153 3458 58 4365 770 1942 515 387 3614 537 149 4300 65 541910 estab. 4247 479 1356 448 357 2640 663 358 3661 586 4300 492 1378 448 365 2683 664 364 3711 589 4427 524 1449 445 383 2801 636 369 3806 621 4321 485 1470 491 353 2799 630 306 3735 586 5193 770 1945 530 409 3654 658 335 4647 546 541910 empl. 118328 0 2630 2951 4711 10292 25068 28429 63789 54539 120417 0 2634 2909 4933 10476 23918 27847 62241 58176 118400 0 2766 2901 4974 10641 23553 29407 63601 54799 113038 0 2790 3206 4611 10607 22623 27660 60890 52148 114827 0 3720 3395 5153 12268 22022 28656 62946 51881 541910 ann. pay. 3448761 32056 138301 127152 184185 481694 641310 571831 1694835 1753926 3673290 26546 147289 129795 186505 490135 667376 624987 1782498 1890792 4019141 33664 150429 139779 201318 525190 712842 732097 1970129 2049012 4438343 31131 151832 144073 194405 521441 747452 680058 1948951 2489392 4077541 43322 191944 201329 199379 635974 727726 707415 2071115 2006426 541910 rec. 11379034 169086 670297 503887 632995 1976265 1940318 1604317 5520900 5858134 541921 firms 8913 1303 5797 1124 409 8633 234 34 8901 12 9006 1275 5913 1144 405 8737 233 25 8995 11 9057 1236 5879 1235 426 8776 236 32 9044 13 9306 1340 5979 1245 467 9031 235 26 9292 14 8799 1271 5654 1158 439 8522 237 26 8785 14 541921 estab. 14077 1305 5808 1146 442 8701 396 288 9385 4692 14013 1278 5929 1164 444 8815 397 260 9472 4541 14036 1237 5893 1263 453 8846 366 285 9497 4539 14461 1341 6000 1268 507 9116 346 224 9686 4775 13961 1272 5660 1173 472 8577 370 151 9098 4863 541921 empl. 62811 0 11071 7148 5359 23578 8378 4820 36776 26035 57939 0 11402 7213 5273 23888 8245 4188 36321 21618 60274 0 11422 7780 5546 24748 8207 5190 38145 22129 64810 0 11529 7883 6118 25530 8538 4677 38745 26065 63765 0 11182 7323 5675 24180 8325 4432 36937 26828 541921 ann. pay. 1003963 24157 183857 116630 90881 415525 155259 83240 654024 349939 1047565 31661 204077 120971 93037 449746 162489 94288 706523 341042 1151277 31931 213039 140422 108946 494338 178349 116507 789194 362083 1265198 32638 224333 140355 124416 521742 180342 115125 817209 447989 1191700 28661 200588 130890 112490 472629 198458 91073 762160 429540 541921 rec. 4832762 153938 1048709 501426 385808 2089881 613934 275898 2979713 1853049 541922 firms 4151 559 2783 478 162 3982 135 22 4139 12 4229 630 2773 468 184 4055 141 22 4218 11 4145 597 2728 482 175 3982 133 20 4135 10 4082 587 2723 436 184 3930 129 15 4074 8 4042 585 2780 395 164 3924 100 8 4032 10 541922 estab. 4251 559 2784 486 165 3994 174 66 4234 17 4331 630 2775 472 191 4068 182 67 4317 14 4390 597 2728 490 180 3995 152 229 4376 14 4297 587 2723 441 190 3941 146 197 4284 13 4225 585 2780 401 175 3941 117 19 4077 148 541922 empl. 18144 0 5298 2985 2128 10411 4596 1932 16939 1205 17888 0 5225 2941 2353 10519 4946 [g] [j] [f] 17636 0 5168 3038 2254 10460 4651 1675 16786 850 17093 0 5197 2759 2326 10282 4616 [g] [j] [g] 15550 0 5235 2506 2051 9792 3689 474 13955 1595 541922 ann. pay. 594702 17187 172049 103756 72288 365280 139061 53692 558033 36669 593798 20536 177817 92625 85213 376191 146327 (D) (D) (D) 612778 21426 176250 101092 82881 381649 145302 65955 592906 19872 577797 20458 169295 91652 87805 369210 140834 (D) (D) (D) 509144 17405 165150 93052 73816 349423 118771 12735 480929 28215 541922 rec. 1743074 84014 687565 295301 229358 1296238 329006 33809 1659053 84021 541930 firms 1046 189 603 125 66 983 55 7 1045 1 1078 182 626 124 76 1008 62 7 1077 1 1146 198 669 123 80 1070 64 8 1142 4 1204 228 689 127 80 1124 67 9 1200 4 1506 309 883 154 88 1434 60 7 1501 5 541930 estab. 1049 189 604 125 67 985 55 8 1048 1 1081 182 627 124 77 1010 62 8 1080 1 1152 198 670 123 81 1072 64 9 1145 7 1220 228 689 128 81 1126 67 19 1212 8 1605 309 883 154 91 1437 62 11 1510 95 541930 empl. 5936 0 1129 819 894 2842 2051 [f] [i] [b] 6320 0 1148 810 993 2951 2332 [f] [i] [b] 6710 0 1226 776 1044 3046 2240 1104 6390 320 8298 0 1257 816 1070 3143 2689 [g] [i] [g] 8339 0 1533 1014 1150 3697 2188 716 6601 1738 541930 ann. pay. 184499 6034 27975 22619 27099 83727 68901 (D) (D) (D) 194986 4763 29546 23554 31487 89350 76353 (D) (D) (D) 241595 6776 33067 24311 37802 101956 90728 32341 225025 16570 278777 5560 34708 27651 33517 101436 92213 (D) (D) (D) 287531 7125 41137 33578 40000 121840 79369 30802 232011 55520 541930 rec. 900158 29578 169574 113071 128561 440784 214796 88796 744376 155782 541940 firms 23573 1331 7683 7574 5360 21948 1599 19 23566 7 23705 1218 7551 7521 5549 21839 1840 18 23697 8 23993 1383 7161 7537 5866 21947 2012 25 23984 9 24460 1356 7192 7494 6134 22176 2241 33 24450 10 24598 1352 7250 7291 6214 22107 2448 30 24585 13 541940 estab. 23970 1331 7684 7576 5365 21956 1631 34 23621 349 24125 1218 7554 7524 5551 21847 1869 31 23747 378 24510 1383 7163 7538 5874 21958 2047 38 24043 467 25000 1358 7194 7496 6145 22193 2279 46 24518 482 25601 1352 7251 7304 6302 22209 2756 70 25035 566 541940 empl. 195708 0 19054 51460 70621 141135 45382 3135 189652 6056 205537 0 18616 51190 73307 143113 53254 2755 199122 6415 219868 0 17561 51431 78134 147126 58871 3741 209738 10130 231862 0 17738 51161 81619 150518 66215 5088 221821 10041 241631 0 17939 49964 83131 151034 72388 4631 228053 13578 541940 ann. pay. 3977829 51405 334200 917315 1432849 2735769 993620 83309 3812698 165131 4320940 54480 347215 944416 1523004 2869115 1191335 77612 4138062 182878 4819590 65010 338324 979875 1673707 3056916 1387084 108061 4552061 267529 5288469 66825 369243 1015090 1821320 3272478 1588590 150596 5011664 276805 5773930 66827 406561 1028576 1936527 3438491 1809060 163584 5411135 362795 541940 rec. 16999832 269552 1936899 3617871 5331919 11156241 4247170 382881 15786292 1213540 541990 firms 7744 3213 3354 638 294 7499 189 33 7721 23 11624 4849 4972 1001 436 11258 296 41 11595 29 16452 6143 7634 1445 704 15926 429 59 16414 38 13832 4221 7015 1349 676 13261 462 65 13788 44 21193 7154 9287 2392 1262 20095 894 132 21121 72 541990 estab. 8050 3213 3354 638 302 7507 253 105 7865 185 12128 4849 4972 1001 442 11264 365 95 11724 404 16961 6145 7634 1445 710 15934 479 119 16532 429 14341 4224 7015 1349 690 13278 518 128 13924 417 21718 7154 9287 2392 1276 20109 1037 213 21359 359 541990 empl. 29803 0 6019 4086 3739 13844 6319 [h] [j] [i] 51354 0 8865 6459 5812 21136 10156 5891 37183 14171 72834 0 13825 9321 9361 32507 14996 7485 54988 17846 74017 0 12621 8653 8971 30245 16461 8959 55665 18352 132920 0 17922 15647 16670 50239 31852 20267 102358 30562 541990 ann. pay. 1062341 116553 176241 109354 104340 506488 214840 (D) (D) (D) 1720516 215378 277365 174544 153792 821079 308701 200606 1330386 390130 2829383 322662 460998 304155 306416 1394231 557832 293328 2245391 583992 2842894 158878 418318 278244 280282 1135722 597991 332082 2065795 777099 5166643 274522 652335 585777 591275 2103909 1165226 707115 3976250 1190393 541990 rec. 17833428 1165129 2817020 2058468 1949661 7990278 3201602 1587791 12779671 5053757 551111 firms 1188 145 280 50 68 543 284 212 1039 149 1352 180 368 66 78 692 278 228 1198 154 1354 151 392 80 74 697 286 225 1208 146 1389 173 407 75 77 732 265 247 1244 145 1218 68 201 47 76 392 291 354 1037 181 551111 estab. 1421 145 280 50 68 543 293 225 1061 360 1550 181 368 66 78 693 286 243 1222 328 1532 151 392 80 75 698 292 233 1223 309 1611 173 407 75 77 732 270 259 1261 350 1496 68 202 47 76 393 303 378 1074 422 551111 empl. 28382 0 453 305 607 1365 2921 4728 9014 19368 36314 0 618 414 685 1717 2927 6303 10947 25367 30556 0 623 493 718 1834 3387 5171 10392 20164 33183 0 664 466 727 1857 3468 7776 13101 20082 38730 0 352 244 593 1189 3060 13272 17521 21209 551111 ann. pay. 1735149 24206 29360 13973 26454 93993 112492 228252 434737 1300412 2251027 43835 32391 19042 28287 123555 101603 291928 517086 1733941 2070982 92548 26067 25504 39717 183836 132552 254010 570398 1500584 2891058 22750 28918 27031 35640 114339 138251 412199 664789 2226269 2696786 17279 14405 13177 28690 73551 117232 624332 815115 1881671 551111 rec. 11380300 146849 229654 77807 310684 764994 839098 2377919 3982011 7398289 551112 firms 7760 1207 2774 427 296 4704 751 971 6426 1334 8190 1132 3159 483 355 5129 763 946 6838 1352 8381 1020 3385 497 395 5297 843 868 7008 1373 8287 947 3305 514 407 5173 851 906 6930 1357 8821 920 3334 521 386 5161 945 1109 7215 1606 551112 estab. 8422 1208 2780 435 301 4724 813 1016 6553 1869 8902 1133 3170 489 358 5150 786 1022 6958 1944 9125 1022 3397 501 405 5325 863 922 7110 2015 9035 948 3315 517 409 5189 871 968 7028 2007 9820 920 3349 532 399 5200 991 1200 7391 2429 551112 empl. 124756 0 4553 2618 3097 10268 13210 24624 48102 76654 143834 0 4848 2961 3758 11567 16064 28598 56229 87605 154052 0 5385 3103 4515 13003 18901 22101 54005 100047 163382 0 5292 3150 4607 13049 20383 26778 60210 103172 206973 0 5394 3154 4237 12785 19021 37828 69634 137339 551112 ann. pay. 10112447 258284 207118 161147 213236 839785 802064 1539880 3181729 6930718 11805800 365784 209344 222953 282444 1080525 925138 1928940 3934603 7871197 13880635 399582 296537 317824 324256 1338199 1202013 1503272 4043484 9837151 14707073 402322 377434 277555 292537 1349848 1205313 1652084 4207245 10499828 15680799 139069 257031 215582 306292 917974 1110269 2367289 4395532 11285267 551112 rec. 87606642 1603834 4714290 1850704 992609 9161437 4091025 6840047 20092509 67514133 551114 firms 18425 66 170 299 720 1255 4781 6530 12566 5859 18291 82 217 294 717 1310 4509 6572 12391 5900 18009 74 212 301 684 1271 4236 6521 12028 5981 18095 77 215 324 671 1287 4170 6625 12082 6013 19382 45 372 334 838 1589 4845 7012 13446 5936 551114 estab. 33838 69 171 307 737 1284 4950 7375 13609 20229 36076 84 220 301 726 1331 4668 7400 13399 22677 36730 79 215 306 699 1299 4380 7332 13011 23719 36913 78 219 330 685 1312 4338 7451 13101 23812 38067 45 374 345 879 1643 5043 7823 14509 23558 551114 empl. 2550661 0 270 911 3257 4438 50130 192615 247183 2303478 2608128 0 317 887 3095 4299 47187 195004 246490 2361638 2688913 0 306 856 2881 4043 44480 194721 243244 2445669 2682658 0 318 926 2804 4048 45152 202962 252162 2430496 2668095 0 712 1220 4151 6083 54903 229290 290276 2377819 551114 ann. pay. 163801061 8391 15343 46845 135982 206561 2067910 9089551 11364022 152437039 178321208 12447 18091 49851 124273 204662 2130602 9613525 11948789 166372419 195409446 27380 17004 43294 140133 227811 2035209 10017942 12280962 183128484 195525656 21615 19963 42120 131092 214790 2162512 10718551 13095853 182429803 186424726 11452 41336 63829 217868 334485 2651366 11698522 14684373 171740353 551114 rec. 213897581 22600 138770 155862 568605 885837 4542954 18661714 24090505 189807076 561110 firms 23118 3861 9533 3354 2217 18965 2407 1012 22384 734 23853 3865 9953 3332 2308 19458 2600 1026 23084 769 25021 4002 10301 3496 2473 20272 2866 1072 24210 811 27415 4849 11233 3818 2622 22522 3028 1091 26641 774 20118 4482 6584 2445 1962 15473 2659 1159 19291 827 561110 estab. 26238 3869 9544 3364 2253 19030 2673 1417 23120 3118 26293 3879 9962 3351 2335 19527 2861 1441 23829 2464 27359 4003 10310 3512 2499 20324 3095 1475 24894 2465 30147 4856 11248 3835 2644 22583 3242 1370 27195 2952 23680 4490 6591 2461 2003 15545 2938 1436 19919 3761 561110 empl. 383987 0 19031 21984 29123 70138 85249 99560 254947 129040 437967 0 20073 21869 30559 72501 95095 112698 280294 157673 472516 0 20889 22786 32780 76455 106261 120546 303262 169254 518112 0 22776 25099 34907 82782 113163 129474 325419 192693 492056 0 13423 15975 26170 55568 98218 127110 280896 211160 561110 ann. pay. 14810790 399577 978890 977169 1262366 3618002 3175397 3113396 9906795 4903995 17172711 593911 1051802 1071715 1352585 4070013 3636349 3652523 11358885 5813826 20021361 407977 1120279 1142896 1466297 4137449 4337520 4007034 12482003 7539358 22592484 698530 1214760 1239430 1619240 4771960 4685746 4542844 14000550 8591934 22516155 550826 729393 887151 1377031 3544401 4327745 4750327 12622473 9893682 561110 rec. 60040579 1488342 1791533 2161960 3394859 8836694 9811200 10128182 28776076 31264503 561210 firms 1252 114 214 136 170 634 317 160 1111 141 1254 131 247 130 153 661 296 153 1110 144 1292 155 278 145 153 731 262 160 1153 139 1172 100 275 126 131 632 252 152 1036 136 1600 193 564 161 129 1047 258 150 1455 145 561210 estab. 2523 114 214 143 180 651 445 274 1370 1153 2690 138 247 135 156 676 384 350 1410 1280 3023 158 280 151 159 748 345 361 1454 1569 2952 100 275 128 140 643 320 296 1259 1693 3416 193 564 161 140 1058 337 396 1791 1625 561210 empl. 109662 0 480 911 2249 3640 13264 23369 40273 69389 115780 0 503 839 2006 3348 12481 23953 39782 75998 115926 0 548 918 2045 3511 11087 25679 40277 75649 115606 0 538 831 1708 3077 10855 25225 39157 76449 125496 0 1079 1025 1725 3829 10795 23235 37859 87637 561210 ann. pay. 3520919 27065 22685 45573 91985 187308 437207 601369 1225884 2295035 3624788 26095 24187 39782 82513 172577 404286 639172 1216035 2408753 3754987 70362 26715 41146 81929 220152 387720 731258 1339130 2415857 3758242 31990 21620 38575 83349 175534 378476 728804 1282814 2475428 4397197 15137 48144 43615 72262 179158 424533 712011 1315702 3081495 561210 rec. 11191876 56859 145450 122216 159748 484273 955689 1610089 3050051 8141825 561310 firms 6841 1440 2422 896 621 5379 1012 346 6737 104 7618 1628 2783 982 682 6075 1039 377 7491 127 8506 1731 3108 1120 791 6750 1167 434 8351 155 9393 1701 3590 1211 913 7415 1307 510 9232 161 8708 1753 3119 1037 862 6771 1301 469 8541 167 561310 estab. 7447 1447 2428 898 644 5417 1087 459 6963 484 8477 1655 2787 988 710 6140 1092 494 7726 751 9343 1748 3115 1130 810 6803 1218 599 8620 723 10261 1703 3595 1219 934 7451 1385 692 9528 733 9692 1754 3124 1042 892 6812 1434 664 8910 782 561310 empl. 183243 0 4901 5908 8344 19153 43695 59096 121944 61299 257875 0 5681 6475 9209 21365 45496 64455 131316 126559 306465 0 6271 7391 10634 24296 53941 77118 155355 151110 348669 0 7320 7941 12493 27754 57492 90881 176127 172542 309174 0 6397 6856 11790 25043 56532 82959 164534 144640 561310 ann. pay. 3917012 175982 202251 236275 296611 911119 1040544 981632 2933295 983717 6044770 161069 248261 273518 352185 1035033 1148517 1138547 3322097 2722673 7507015 233021 283468 315875 443777 1276141 1485265 1430632 4192038 3314977 8527785 154194 286727 297328 486901 1225150 1476907 1611808 4313865 4213920 7345085 157416 238233 274406 395257 1065312 1463059 1574179 4102550 3242535 561310 rec. 11750905 355271 695700 685921 803998 2540890 2413079 2373108 7327077 4423828 561320 firms 11151 1403 2075 941 884 5303 2859 2208 10370 781 11376 1352 2284 976 1016 5628 2798 2148 10574 802 11490 1419 2274 963 989 5645 2837 2170 10652 838 11969 1556 2428 1064 1096 6144 2966 2067 11177 792 10092 1379 1615 771 956 4721 2791 1898 9410 682 561320 estab. 25114 1406 2083 946 919 5354 3112 3412 11878 13236 27272 1365 2288 982 1061 5696 3080 3261 12037 15235 28104 1449 2276 984 1044 5753 3069 3282 12104 16000 29637 1563 2435 1080 1154 6232 3202 3276 12710 16927 26383 1382 1623 788 1030 4823 3166 3444 11433 14950 561320 empl. 2549701 0 4277 6297 12228 22802 143766 473169 639737 1909964 2725800 0 4660 6528 14201 25389 140932 457969 624290 2101510 3012681 0 4631 6373 13695 24699 141163 474927 640789 2371892 2676010 0 4907 7117 15305 27329 145057 442912 615298 2060712 2390634 0 3472 5207 13489 22168 136614 396702 555484 1835150 561320 ann. pay. 46968885 287159 156709 199767 350315 993950 3132969 7791645 11918564 35050321 51286088 285801 194853 213223 445155 1139032 3275352 8191408 12605792 38680296 58713099 295844 232344 220636 441243 1190067 3400090 8630070 13220227 45492872 57262337 395290 213623 247273 457574 1313760 3425856 8164377 12903993 44358344 52969668 480466 190468 188357 437509 1296800 3361950 7661294 12320044 40649624 561320 rec. 72208487 664291 334206 378571 817283 2194351 4880366 10423759 17498476 54710011 561330 firms 4115 501 720 391 462 2074 1062 625 3761 354 4022 391 778 386 457 2012 1020 598 3630 392 3984 458 716 372 414 1960 996 631 3587 397 4058 409 780 402 402 1993 1002 626 3621 437 4360 507 825 429 489 2250 1034 649 3933 427 561330 estab. 4964 502 720 393 467 2082 1101 730 3913 1051 4965 395 778 389 462 2024 1048 689 3761 1204 4961 474 718 374 415 1981 1015 747 3743 1218 4998 414 782 405 405 2006 1020 714 3740 1258 5018 507 827 430 493 2257 1093 792 4142 876 561330 empl. 881175 0 1458 2634 6383 10475 49627 132786 192888 688287 1009768 0 1623 2599 6284 10506 48256 124160 182922 826846 1253808 0 1527 2448 5683 9658 46537 132382 188577 1065231 1338941 0 1658 2689 5628 9975 47178 130390 187543 1151398 1181080 0 1774 2843 6815 11432 47358 133070 191860 989220 561330 ann. pay. 20378962 136048 67883 87874 204860 496665 1437240 3288081 5221986 15156976 24133166 145911 62132 100482 204940 513465 1444643 3003445 4961553 19171613 32259380 1209440 66069 89356 211584 1576449 1451569 3412742 6440760 25818620 35133964 286080 83033 104659 244125 717897 1536941 3490197 5745035 29388929 32645243 329997 107660 109724 258904 806285 1571830 3622003 6000118 26645125 561330 rec. 41087052 487870 158855 194412 364189 1205326 2558413 4679325 8443064 32643988 561410 firms 4520 760 2716 493 266 4235 230 37 4502 18 4481 791 2672 465 270 4198 224 33 4455 26 4492 767 2687 474 283 4211 215 42 4468 24 4656 848 2793 459 261 4361 237 37 4635 21 5080 870 3148 477 275 4770 250 40 5060 20 561410 estab. 4794 760 2717 499 272 4248 266 88 4602 192 4748 791 2674 469 289 4223 242 85 4550 198 4721 767 2691 476 301 4235 235 95 4565 156 4857 848 2795 465 267 4375 261 80 4716 141 5272 870 3151 479 278 4778 286 72 5136 136 561410 empl. 34853 0 4746 3169 3525 11440 8225 4922 24587 10266 38481 0 4712 3033 3604 11349 8430 4703 24482 13999 37521 0 4695 3064 3802 11561 8308 5777 25646 11875 37916 0 4787 3012 3528 11327 9247 5417 25991 11925 37507 0 5479 3088 3710 12277 9053 4529 25859 11648 561410 ann. pay. 787837 15458 89966 66472 76954 248850 180987 119987 549824 238013 852056 23133 89788 67417 87280 267618 202310 112677 582605 269451 922846 29557 95912 74973 96412 296854 212963 138450 648267 274579 953436 23326 103882 75727 93210 296145 243574 147016 686735 266701 962929 32041 119419 89388 96277 337125 237018 111096 685239 277690 561410 rec. 2372753 103157 449925 261773 232663 1047518 502813 230593 1780924 591829 561421 firms 2859 382 833 488 625 2328 454 42 2824 35 2642 224 864 460 582 2130 429 44 2603 39 2413 216 765 399 549 1929 406 41 2376 37 2259 190 709 373 497 1769 408 42 2219 40 1936 138 508 332 486 1464 395 36 1895 41 561421 estab. 3358 382 833 489 634 2338 536 115 2989 369 3087 224 864 462 595 2145 507 97 2749 338 2809 216 765 401 553 1935 477 98 2510 299 2661 194 710 380 501 1785 473 93 2351 310 2289 142 508 334 495 1479 460 78 2017 272 561421 empl. 62604 0 1798 3368 8591 13757 15208 5619 34584 28020 64127 0 1783 3179 7956 12918 14689 5888 33495 30632 64855 0 1572 2732 7505 11809 13636 6505 31950 32905 62150 0 1463 2579 6848 10890 13966 6124 30980 31170 59170 0 1096 2305 6765 10166 13676 5643 29485 29685 561421 ann. pay. 1445214 18843 37895 52735 121628 231101 270418 103730 605249 839965 1772559 10958 42505 52687 124109 230259 269793 159339 659391 1113168 1754490 15502 40351 49816 127088 232757 276325 145682 654764 1099726 1783879 8178 40978 49025 123467 221648 279783 153655 655086 1128793 2105181 30411 25582 37885 117898 211776 290675 137499 639950 1465231 561421 rec. 6027438 55147 80429 102663 249400 487639 656922 331508 1476069 4551369 561422 firms 2449 415 720 275 271 1681 465 193 2339 110 2294 338 722 261 232 1553 427 202 2182 112 2199 296 677 257 247 1477 412 194 2083 116 2194 303 654 264 230 1451 424 193 2068 126 2153 279 576 272 267 1394 416 215 2025 128 561422 estab. 3299 415 721 279 273 1688 516 321 2525 774 3169 341 724 265 236 1566 474 312 2352 817 3017 299 681 257 252 1489 457 373 2319 698 2972 305 657 267 236 1465 455 299 2219 753 2971 279 578 274 272 1403 461 354 2218 753 561422 empl. 252241 0 1427 1816 3788 7031 20912 35732 63675 188566 259426 0 1441 1737 3213 6391 19499 37935 63825 195601 279523 0 1334 1726 3436 6496 18683 35885 61064 218459 281269 0 1289 1754 3207 6250 18590 34012 58852 222417 279109 0 1167 1839 3713 6719 17476 40131 64326 214783 561422 ann. pay. 3850485 19112 41796 39805 61027 161740 337208 487884 986832 2863653 4107390 24716 48384 43203 61501 177804 341312 560710 1079826 3027564 4867114 26638 44491 39588 80558 191275 339553 622089 1152917 3714197 4885765 24891 47837 35082 70821 178631 365541 587500 1131672 3754093 4854219 39942 35173 45216 77986 198317 305285 616336 1119938 3734281 561422 rec. 11162442 108487 152815 229577 221812 712691 857780 1479006 3049477 8112965 561431 firms 4633 725 2787 778 214 4504 103 20 4627 6 4502 575 2684 860 235 4354 119 21 4494 8 4395 556 2522 924 245 4247 118 19 4384 11 4386 545 2540 886 255 4226 129 24 4379 7 4578 587 2680 925 256 4448 103 18 4569 9 561431 estab. 4689 725 2789 782 239 4535 113 35 4683 6 4554 577 2684 867 248 4376 132 38 4546 8 4451 557 2524 935 254 4270 129 41 4440 11 4441 545 2544 893 269 4251 139 44 4434 7 4658 587 2682 937 291 4497 114 38 4649 9 561431 empl. 21074 0 6238 4882 2698 13818 3460 [h] [j] [g] 24017 0 6019 5427 3008 14454 4023 3391 21868 2149 25644 0 5642 5824 3051 14517 4266 3546 22329 3315 24125 0 5778 5651 3183 14612 4304 4204 23120 1005 22824 0 6231 5828 3137 15196 3459 3034 21689 1135 561431 ann. pay. 315835 22483 85263 58949 38142 204837 60911 (D) (D) (D) 406243 20197 92525 73383 49689 235794 98299 51467 385560 20683 473445 14114 89973 87885 63490 255462 96532 57866 409860 63585 463009 23872 93976 86807 66033 270688 110409 70125 451222 11787 446662 18714 96304 80360 58191 253569 80153 91296 425018 21644 561431 rec. 2327228 99532 744035 476819 263168 1583554 264733 411721 2260008 67220 561439 firms 4125 416 1783 887 532 3618 419 59 4096 29 4042 393 1780 840 521 3534 418 60 4012 30 3887 323 1718 805 519 3365 430 59 3854 33 3836 321 1705 760 538 3324 426 57 3807 29 3702 406 1634 709 487 3236 384 49 3669 33 561439 estab. 6078 419 1784 891 553 3647 568 278 4493 1585 6167 394 1781 846 546 3567 584 267 4418 1749 6159 356 1720 810 542 3428 562 241 4231 1928 6202 326 1713 766 573 3378 527 307 4212 1990 6009 407 1638 713 521 3279 567 269 4115 1894 561439 empl. 89354 0 4035 5832 6906 16773 15089 [i] [k] [k] 93508 0 4020 5487 6884 16391 14945 8807 40143 53365 87425 0 3837 5274 6790 15901 15276 8736 39913 47512 82790 0 3810 4963 7031 15804 14731 9314 39849 42941 72152 0 3656 4620 6492 14768 13377 8315 36460 35692 561439 ann. pay. 2227092 15570 82244 122073 160385 380272 364770 (D) (D) (D) 2435264 18442 88093 123867 163049 393451 388333 248303 1030087 1405177 2380726 15519 89028 123012 175587 403146 410646 257721 1071513 1309213 2340697 23790 92890 114684 185873 417237 402429 282781 1102447 1238250 2052015 20316 89736 111079 181627 402758 371640 258831 1033229 1018786 561439 rec. 6674644 75810 409985 390114 553725 1429634 1030849 671768 3132251 3542393 561440 firms 4696 434 1692 934 721 3781 698 117 4596 100 4568 369 1670 929 703 3671 670 129 4470 98 4377 358 1572 859 715 3504 653 124 4281 96 4420 412 1554 857 693 3516 665 138 4319 101 4492 410 1575 887 671 3543 702 143 4388 104 561440 estab. 5272 438 1692 938 741 3809 821 265 4895 377 5086 369 1674 931 722 3696 790 254 4740 346 4976 358 1573 859 735 3525 762 256 4543 433 5051 425 1556 860 713 3554 798 242 4594 457 5161 413 1575 890 691 3569 850 309 4728 433 561440 empl. 88882 0 3783 6288 9671 19742 25690 17027 62459 26423 91556 0 3679 6200 9542 19421 24823 17892 62136 29420 100066 0 3498 5754 9667 18919 24798 19275 62992 37074 111822 0 3376 5725 9400 18501 25224 22373 66098 45724 119078 0 3547 5891 9029 18467 26939 24575 69981 49097 561440 ann. pay. 2334510 25320 83438 143042 245683 497483 726236 434371 1658090 676420 2523011 26433 88554 145887 263675 524549 728773 511009 1764331 758680 2987725 16603 86640 140978 273281 517502 774510 630054 1922066 1065659 3450492 47127 87084 150792 278661 563664 796758 764608 2125030 1325462 3627378 26477 85582 158158 266884 537101 898455 787201 2222757 1404621 561440 rec. 8494398 92459 276389 415319 646874 1431041 1990301 1670621 5091963 3402435 561450 firms 1102 101 405 213 178 897 158 28 1083 19 1047 75 417 205 146 843 160 26 1029 18 971 82 387 190 125 784 140 28 952 19 937 66 402 176 129 773 118 26 917 20 795 53 314 159 121 647 104 24 775 20 561450 estab. 1509 101 407 217 181 906 205 75 1186 323 1504 75 418 211 148 852 207 78 1137 367 1406 83 390 193 126 792 182 79 1053 353 1360 66 402 178 137 783 154 61 998 362 1177 53 315 161 125 654 146 54 854 323 561450 empl. 35613 0 898 1402 2408 4708 5414 3346 13468 22145 37837 0 911 1357 1938 4206 5567 2732 12505 25332 34048 0 825 1281 1666 3772 4781 3350 11903 22145 33890 0 871 1151 1744 3766 4154 3162 11082 22808 27256 0 661 1030 1600 3291 3754 3101 10146 17110 561450 ann. pay. 1340700 7014 21967 33305 63287 125573 168591 107418 401582 939118 1266714 13494 21145 35520 52888 123047 177372 114404 414823 851891 1438965 3787 19131 36220 50000 109138 163462 110527 383127 1055838 1789791 1820 22763 34721 52161 111465 143098 118950 373513 1416278 1255393 2094 17185 30924 53341 103544 141730 100440 345714 909679 561450 rec. 4801628 10698 65839 95444 150024 322005 450604 753591 1526200 3275428 561491 firms 1091 226 470 214 124 1034 47 5 1086 5 1146 203 542 229 109 1083 53 4 1140 6 1226 249 555 225 131 1160 56 3 1219 7 1097 180 521 214 120 1035 52 3 1090 7 899 105 407 192 128 832 55 3 890 9 561491 estab. 1136 227 471 215 130 1043 69 17 1129 7 1188 203 542 231 115 1091 75 7 1173 15 1263 249 556 229 137 1171 76 3 1250 13 1131 180 522 217 126 1045 69 3 1117 14 955 105 407 196 145 853 84 3 940 15 561491 empl. 6676 0 978 1412 1633 4023 1504 [f] [i] [f] 7230 0 1104 1544 1428 4076 1804 [f] [i] [f] 7695 0 1121 1522 1689 4332 1822 [c] [i] [g] 7681 0 1100 1415 1620 4135 1731 [c] [i] [g] 7892 0 935 1290 1741 3966 1810 [e] [i] [g] 561491 ann. pay. 193883 6120 23595 31995 56674 118384 42482 (D) (D) (D) 196623 7795 28680 37895 34204 108574 47413 (D) (D) (D) 337472 10925 31549 36963 43412 122849 66432 (D) (D) (D) 345107 4897 31582 38231 42921 117631 69266 (D) (D) (D) 231789 3347 22404 35526 46240 107517 50632 (D) (D) (D) 561491 rec. 937444 15510 99279 121181 141828 377798 172739 (D) (D) (D) 561492 firms 3564 703 2137 400 193 3433 119 9 3561 3 3700 642 2321 406 208 3577 110 10 3697 3 3990 790 2434 412 204 3840 133 14 3987 3 3626 594 2313 396 197 3500 114 9 3623 3 2981 378 1991 332 171 2872 95 13 2980 1 561492 estab. 3642 703 2141 411 206 3461 147 30 3638 4 3795 642 2326 416 224 3608 125 31 3764 31 4101 790 2442 421 222 3875 145 51 4071 30 3707 594 2323 402 216 3535 124 45 3704 3 3115 378 1995 346 189 2908 125 55 3088 27 561492 empl. 14336 0 3791 2545 2540 8876 3726 [g] [j] [e] 15256 0 4128 2562 2778 9468 3640 [g] [j] [f] 17394 0 4427 2600 2699 9726 4380 [g] [j] [f] 15879 0 4101 2514 2597 9212 3640 [g] [j] [g] 13236 0 3491 2084 2301 7876 3092 [g] [j] [e] 561492 ann. pay. 423880 17402 95134 68006 75860 256402 117532 (D) (D) (D) 473390 22536 105281 71027 84300 283144 116715 (D) (D) (D) 553605 28035 121248 80847 87051 317181 139794 (D) (D) (D) 511002 20477 111031 80289 86604 298401 123809 (D) (D) (D) 511342 8959 92945 68380 84545 254829 131234 (D) (D) (D) 561492 rec. 1632269 47782 507176 274711 252893 1082562 293257 (D) (D) (D) 561499 firms 1250 336 396 136 127 995 160 57 1212 38 1406 301 563 170 130 1164 151 55 1370 36 1624 386 602 198 171 1357 159 66 1582 42 1828 330 787 226 178 1521 189 74 1784 44 1822 374 725 233 169 1501 204 75 1780 42 561499 estab. 1451 336 400 137 129 1002 180 83 1265 186 1602 301 564 172 132 1169 161 82 1412 190 1825 391 605 200 174 1370 171 88 1629 196 2021 330 787 229 181 1527 204 104 1835 186 2096 374 727 242 180 1523 226 144 1893 203 561499 empl. 36714 0 808 883 1692 3383 6471 7426 17280 19434 39597 0 1059 1103 1748 3910 5971 6596 16477 23120 48051 0 1146 1265 2260 4671 6651 7679 19001 29050 53290 0 1511 1497 2398 5406 7450 9149 22005 31285 54517 0 1398 1529 2268 5195 8105 8820 22120 32397 561499 ann. pay. 871809 12584 23637 25976 40381 102578 153389 163476 419443 452366 1028958 25080 35676 34732 45540 141028 143094 162099 446221 582737 1302654 56793 38483 54847 83204 233327 210099 203864 647290 655364 1352416 15490 45399 48322 79129 188340 219531 263732 671603 680813 1776697 31060 47651 47857 68529 195097 228749 292546 716392 1060305 561499 rec. 5589287 102355 237939 213466 505618 1059378 657790 908416 2625584 2963703 561510 firms 21896 1957 12345 4981 1602 20885 790 151 21826 70 20674 1572 11882 4648 1578 19680 763 158 20601 73 19362 1585 11098 4244 1441 18368 752 164 19284 78 18094 1438 10463 3806 1377 17084 765 158 18007 87 14838 1290 9004 2747 1024 14065 565 128 14758 80 561510 estab. 28782 1960 12360 5069 1896 21285 1822 972 24079 4703 27390 1602 11904 4762 1852 20120 1645 1001 22766 4624 25975 1595 11117 4368 1711 18791 1546 1019 21356 4619 24654 1439 10495 3921 1627 17482 1486 955 19923 4731 21079 1292 9023 2834 1220 14369 1244 969 16582 4497 561510 empl. 185391 0 28886 31542 20678 81106 28002 19060 128168 57223 184912 0 27638 29590 20297 77525 27695 20048 125268 59644 183143 0 25591 26961 18587 71139 27096 20791 119026 64117 182054 0 23717 24201 17970 65888 27362 19792 113042 69012 151770 0 20078 17477 13358 50913 19678 15730 86321 65449 561510 ann. pay. 4774773 54688 512993 591077 458915 1617673 752977 528582 2899232 1875541 4884583 51932 516524 575759 476114 1620329 750691 596931 2967951 1916632 5313269 52378 500426 568933 471231 1592968 808029 706131 3107128 2206141 5533357 51732 458357 503150 433359 1446598 792923 729311 2968832 2564525 4595040 38103 396512 375434 342699 1152748 612975 487324 2253047 2341993 561510 rec. 11117611 113440 1119369 979681 824160 3036650 1422296 1071279 5530225 5587386 561520 firms 3220 417 1504 591 347 2859 281 55 3195 25 3122 382 1453 569 358 2762 278 54 3094 28 2938 353 1347 551 332 2583 270 59 2912 26 2956 375 1394 499 334 2602 265 61 2928 28 2733 400 1326 443 262 2431 227 52 2710 23 561520 estab. 3514 417 1508 595 360 2880 340 139 3359 155 3434 385 1458 574 370 2787 328 140 3255 179 3229 353 1351 557 339 2600 324 136 3060 169 3235 375 1397 503 348 2623 317 128 3068 167 2975 400 1330 445 270 2445 285 105 2835 140 561520 empl. 39555 0 3241 3888 4570 11699 10283 8717 30699 8856 40638 0 3101 3727 4659 11487 10283 7831 29601 11037 40701 0 2856 3626 4354 10836 10014 8382 29232 11469 44645 0 2922 3263 4370 10555 9813 8620 28988 15657 34579 0 2788 2908 3415 9111 8079 7349 24539 10040 561520 ann. pay. 1159275 39783 84213 104662 123709 352367 289195 282718 924280 234995 1383040 20700 116409 105591 127888 370588 305606 267815 944009 439031 1484483 15773 85242 113374 119243 333632 322267 303962 959861 524622 1474543 15236 82526 95249 124651 317662 295072 310741 923475 551068 1342720 18026 77824 84139 105605 285594 275211 262716 823521 519199 561520 rec. 3685354 54742 221165 236261 309132 821300 842782 1007316 2671398 1013956 561591 firms 947 110 483 155 81 829 90 23 942 5 931 81 476 167 89 813 93 22 928 3 915 61 464 178 93 796 92 23 911 4 939 65 466 183 99 813 100 23 936 3 914 74 462 168 95 799 89 23 911 3 561591 estab. 1029 110 483 156 86 835 139 45 1019 10 1013 81 476 168 94 819 148 43 1010 3 1000 61 464 179 95 799 145 52 996 4 1017 65 466 183 103 817 152 44 1013 4 1003 74 462 169 103 808 136 55 999 4 561591 empl. 11108 0 1033 1009 1058 3100 3348 3829 10277 831 10609 0 1035 1091 1178 3304 [h] 3530 [j] [c] 11324 0 1019 1163 1257 3439 3784 3769 10992 332 11829 0 1027 1206 1306 3539 4009 4179 11727 102 11166 0 1058 1099 1265 3422 3776 3823 11021 145 561591 ann. pay. 251967 3403 22790 22232 25140 73565 92158 71789 237512 14455 258836 4477 23431 25934 31319 85161 (D) 66956 (D) (D) 286709 2164 24858 29314 32950 89286 113382 79434 282102 4607 314687 1926 25681 32397 38264 98268 122636 93074 313978 709 317502 4078 26138 30637 37407 98260 117054 101050 316364 1138 561591 rec. 1193755 21710 105532 116855 129943 374040 398504 418771 1191315 2440 561599 firms 1809 236 838 272 164 1510 164 79 1753 56 1744 184 812 281 180 1457 155 73 1685 59 1685 190 769 268 167 1394 165 66 1625 60 1674 173 777 269 160 1379 177 64 1620 54 1568 219 695 227 150 1291 162 62 1515 53 561599 estab. 2754 236 840 273 182 1531 234 327 2092 662 2732 184 813 283 200 1480 221 297 1998 734 2714 190 770 269 192 1421 228 297 1946 768 2736 173 778 272 175 1398 266 268 1932 804 2530 220 696 228 168 1312 251 270 1833 697 561599 empl. 61476 0 1780 1749 2227 5756 6389 12067 24212 37264 64486 0 1699 1828 2397 5924 [i] 11132 [j] [k] 72498 0 1647 1746 2195 5588 5937 9797 21322 51176 74588 0 1649 1724 2136 5509 6584 10280 22373 52215 60569 0 1473 1455 1976 4904 5881 9264 20049 40520 561599 ann. pay. 1830687 13739 47694 49417 58442 169292 165980 317514 652786 1177901 2131580 8050 47274 54383 66323 176030 (D) 315277 (D) (D) 2575572 12483 50764 55644 65193 184084 180406 294102 658592 1916980 2685462 14701 48468 52190 62902 178261 183732 346555 708548 1976914 2214629 10086 42341 50566 66881 169874 168343 299088 637305 1577324 561599 rec. 8631493 73999 327598 405343 395950 1202890 662074 1092481 2957445 5674048 561611 firms 5001 711 2535 742 469 4457 443 74 4974 27 4831 680 2355 751 487 4273 451 74 4798 33 4829 707 2370 716 475 4268 448 75 4791 38 4702 641 2363 713 446 4163 418 84 4665 37 4791 701 2536 674 415 4326 339 85 4750 41 561611 estab. 5115 711 2535 746 478 4470 478 105 5053 62 4985 680 2356 753 497 4286 489 112 4887 98 4983 707 2371 720 486 4284 478 111 4873 110 4856 648 2364 720 460 4192 450 105 4747 109 4949 701 2537 680 422 4340 376 110 4826 123 561611 empl. 49829 0 5012 4884 6298 16194 17395 11503 45092 4737 52312 0 4589 4972 6553 16114 17356 11663 45133 7179 55014 0 4683 4783 6503 15969 18317 12131 46417 8597 54791 0 4588 4673 5950 15211 17067 13944 46222 8569 55145 0 5004 4415 5662 15081 13072 13438 41591 13554 561611 ann. pay. 950620 27404 108302 105493 126898 368097 291461 186531 846089 104531 1048386 25427 99286 109573 128784 363070 314496 190577 868143 180243 1129108 28700 103384 109175 140441 381700 342031 220940 944671 184437 1214133 21844 107097 112130 135906 376977 342845 261247 981069 233064 1305836 22536 115360 110147 144817 392860 285232 261860 939952 365884 561611 rec. 2872425 78888 418061 287382 328328 1112659 541035 434083 2087777 784648 561612 firms 4876 594 1085 600 701 2980 1272 483 4735 141 4751 508 1184 562 634 2888 1211 494 4593 158 4615 526 1113 561 613 2813 1166 481 4460 155 4841 606 1146 649 631 3032 1173 487 4692 149 4853 623 934 652 688 2897 1297 502 4696 157 561612 estab. 6546 595 1086 600 707 2988 1316 664 4968 1578 6574 523 1184 564 636 2907 1256 739 4902 1672 6538 527 1113 565 614 2819 1217 637 4673 1865 6739 606 1146 654 635 3041 1243 616 4900 1839 6992 623 934 653 691 2901 1370 734 5005 1987 561612 empl. 482477 0 2339 4066 9665 16070 57974 94918 168962 313515 487689 0 2486 3758 8775 15019 55596 95558 166173 321516 483307 0 2332 3807 8379 14518 53877 94512 162907 320400 485352 0 2443 4326 8769 15538 53160 95637 164335 321017 517027 0 2098 4384 9710 16192 57116 99654 172962 344065 561612 ann. pay. 6686095 33165 40303 51620 117399 242487 690629 1271429 2204545 4481550 7138571 49539 49965 49057 113390 261951 687954 1342424 2292329 4846242 7855587 43503 47722 55523 115080 261828 702784 1427715 2392327 5463260 8251430 50562 56944 71005 133293 311804 764126 1491891 2567821 5683609 9388780 90603 47986 62564 146672 347825 825883 1638866 2812574 6576206 561612 rec. 13620652 143171 107441 124230 265808 640650 1271897 2286750 4199297 9421355 561613 firms 243 47 72 23 22 164 43 25 232 11 244 33 89 25 21 168 40 23 231 13 251 38 87 26 27 178 38 22 238 13 216 23 76 25 21 145 38 20 203 13 160 10 44 24 16 94 32 22 148 12 561613 estab. 845 47 72 23 22 164 53 65 282 563 858 34 89 25 21 169 44 65 278 580 861 38 87 26 28 179 42 61 282 579 834 23 76 25 21 145 42 56 243 591 795 10 44 24 16 94 43 79 216 579 561613 empl. 33618 0 171 164 311 646 1805 3750 6201 27417 31618 0 189 171 296 656 1694 3718 6068 25550 31628 0 195 168 391 754 1707 3980 6441 25187 32332 0 156 149 277 582 1563 3308 5453 26879 31243 0 95 170 230 495 1492 4162 6149 25094 561613 ann. pay. 760461 1444 4907 2862 4113 13326 36645 88188 138159 622302 762838 2591 4443 2561 4799 14394 31786 83872 130052 632786 820049 2204 4406 4466 5827 16903 35235 95215 147353 672696 865071 717 3603 4275 5454 14049 33888 71522 119459 745612 882925 557 1868 6644 6623 15692 33981 108267 157940 724985 561613 rec. 2093937 1365 5549 18978 18269 44161 73615 222567 340343 1753594 561621 firms 3792 424 1641 687 492 3244 438 66 3748 44 3890 487 1628 675 531 3321 453 67 3841 49 3923 462 1650 667 554 3333 468 75 3876 47 4229 507 1772 746 556 3581 520 77 4178 51 4614 533 1999 840 600 3972 514 85 4571 43 561621 estab. 5259 426 1643 690 503 3262 507 215 3984 1275 5336 489 1628 677 551 3345 516 204 4065 1271 5401 466 1651 668 570 3355 538 233 4126 1275 5740 507 1772 755 573 3607 587 203 4397 1343 5777 533 1999 843 623 3998 649 263 4910 867 561621 empl. 113826 0 3411 4569 6574 14554 16240 9420 40214 73612 119925 0 3438 4469 7153 15060 17475 10381 42916 77009 124694 0 3487 4406 7516 15409 17653 11270 44332 80362 130789 0 3847 4994 7415 16256 20497 12160 48913 81876 112050 0 4372 5618 8148 18138 19820 [j] [l] [l] 561621 ann. pay. 3086009 22187 76038 111947 170000 380172 460157 319207 1159536 1926473 3539349 25951 84203 118008 193111 421273 487996 465129 1374398 2164951 3784200 26903 89673 117860 204499 438935 546230 589079 1574244 2209956 4123130 24589 109558 146268 219439 499854 643273 388515 1531642 2591488 3797331 30195 113647 167379 252314 563535 662767 (D) (D) (D) 561621 rec. 10691268 105367 448357 532747 720556 1807027 1616028 (D) (D) (D) 561622 firms 3750 363 2358 737 214 3672 62 9 3743 7 3773 329 2352 762 248 3691 65 10 3766 7 3821 381 2322 774 241 3718 87 8 3813 8 3787 347 2297 783 250 3677 92 13 3782 5 3718 280 2344 739 251 3614 88 12 3714 4 561622 estab. 3833 363 2361 747 234 3705 92 22 3819 14 3854 330 2352 773 269 3724 100 17 3841 13 3900 381 2323 786 261 3751 121 14 3886 14 3872 347 2298 796 270 3711 127 19 3857 15 3806 280 2346 748 277 3651 127 18 3796 10 561622 empl. 14869 0 5052 4748 2738 12538 1736 270 14544 325 15643 0 4969 4872 3221 13062 1786 537 15385 258 16360 0 4917 4997 3152 13066 2646 384 16096 264 17201 0 4802 4993 3202 12997 2801 988 16786 415 16537 0 4948 4711 3196 12855 2523 [f] [j] [e] 561622 ann. pay. 372161 5512 101054 116587 76475 299628 54121 7243 360992 11169 399060 8011 101536 119712 89996 319255 58450 10852 388557 10503 440695 12248 104320 128084 91594 336246 83901 8563 428710 11985 485481 9425 102781 133461 93538 339205 87548 45574 472327 13154 460628 6904 106745 130736 94801 339186 81650 (D) (D) (D) 561622 rec. 1382466 32144 406329 366181 277847 1082501 219404 (D) (D) (D) 561710 firms 9409 1057 5137 1755 961 8910 439 39 9388 21 9358 909 5126 1796 977 8808 488 39 9335 23 9428 973 5040 1857 992 8862 504 39 9405 23 9468 985 5063 1833 1021 8902 502 43 9447 21 9513 1050 5091 1818 975 8934 508 51 9493 20 561710 estab. 11170 1057 5139 1757 1012 8965 643 370 9978 1192 11127 912 5128 1805 1022 8867 687 330 9884 1243 11111 985 5042 1867 1037 8931 702 311 9944 1167 11130 987 5066 1842 1058 8953 683 343 9979 1151 11230 1050 5093 1823 1017 8983 732 403 10118 1112 561710 empl. 83008 0 10573 11526 12764 34863 15571 6344 56778 26230 91330 0 10535 11778 12895 35208 17325 6348 58881 32449 91669 0 10360 12130 13193 35683 18066 5822 59571 32098 90361 0 10437 12098 13490 36025 17537 6442 60004 30357 89854 0 10738 11977 13023 35738 17259 7557 60554 29300 561710 ann. pay. 2134454 20333 204694 249034 312090 786151 416202 187708 1390061 744393 2362549 27132 215528 260068 329824 832552 473059 175486 1481097 881452 2439661 21763 215489 277281 346139 860672 510820 180411 1551903 887758 2520956 23339 228661 290655 362926 905581 518852 205465 1629898 891058 2669673 31327 238654 295665 363330 928976 523894 254930 1707800 961873 561710 rec. 6584134 119589 736292 746036 823824 2425741 1137006 566678 4129425 2454709 561720 firms 52887 8178 23928 9004 5938 47048 4647 975 52670 217 51527 6779 24068 8877 5977 45701 4638 963 51302 225 50957 7180 23179 8782 5852 44993 4767 968 50728 229 51466 7237 23393 8857 5895 45382 4868 962 51212 254 45824 7121 20150 7870 5122 40263 4402 913 45578 246 561720 estab. 55648 8182 23931 9014 5954 47081 4795 1342 53218 2430 54962 6785 24070 8885 5998 45738 4786 1291 51815 3147 54288 7185 23185 8793 5875 45038 4933 1323 51294 2994 54810 7247 23399 8865 5917 45428 5037 1309 51774 3036 49530 7122 20154 7878 5136 40290 4667 1335 46292 3238 561720 empl. 878966 0 49130 59530 79596 188256 179697 182049 550002 328964 903635 0 49056 58667 80224 187947 179929 177375 545251 358384 918552 0 47396 58043 78593 184032 185279 181938 551249 367303 931515 0 47426 58763 79168 185357 188669 177101 551127 380388 866175 0 42805 51715 68987 163507 172418 166409 502334 363841 561720 ann. pay. 11060638 185690 613678 665124 884114 2348606 1976270 2160004 6484880 4575758 12094901 179108 686920 714498 961988 2542514 2122713 2157172 6822399 5272502 12830126 186628 680833 745161 1007923 2620545 2357618 2332018 7310181 5519945 13669620 178027 709358 785382 1072429 2745196 2517226 2380044 7642466 6027154 12966950 251854 567199 649761 947539 2416353 2342229 2368275 7126857 5840093 561720 rec. 26937846 705686 2263609 1889085 2549520 7407900 4838315 4265978 16512193 10425653 561730 firms 64584 17606 30775 9207 4282 61870 2476 203 64549 35 64683 16399 31114 9593 4596 61702 2705 234 64641 42 66331 15521 31882 10428 5195 63026 3020 243 66289 42 71539 17773 34375 10568 5313 68029 3192 269 71490 49 72975 22417 32761 9726 4819 69723 2933 265 72921 54 561730 estab. 65377 17606 30776 9208 4284 61874 2514 285 64673 704 65490 16401 31115 9594 4598 61708 2738 285 64731 759 67053 15521 31883 10428 5198 63030 3055 290 66375 678 72504 17775 34376 10572 5316 68039 3233 326 71598 906 74208 22417 32761 9733 4838 69749 3074 411 73234 974 561730 empl. 363906 0 62361 59778 56323 178462 88819 31597 298878 65028 393575 0 63131 62387 60773 186291 97324 36466 320081 73494 415873 0 65786 67880 68886 202552 108550 38681 349783 66090 446111 0 69687 68754 70342 208783 115608 42396 366787 79324 423474 0 67797 62889 63837 194523 105556 40307 340386 83088 561730 ann. pay. 8082010 374365 1285297 1141380 1176099 3977141 1980459 673717 6631317 1450693 8935831 380073 1377011 1246489 1299589 4303162 2221986 792147 7317295 1618536 9770825 396259 1437923 1390248 1521339 4745769 2618096 858945 8222810 1548015 11258488 468108 1698757 1513577 1669097 5349539 2910727 1035195 9295461 1963027 11103071 643770 1575431 1430196 1577255 5226652 2740955 1020313 8987920 2115151 561730 rec. 33598503 3086201 6449085 4611333 4629720 18776339 7262903 2547814 28587056 5011447 561740 firms 9174 1422 5195 1508 670 8795 350 25 9170 4 8892 1072 5250 1497 693 8512 348 25 8885 7 8634 1142 4914 1516 691 8263 340 23 8626 8 8724 1118 5033 1478 716 8345 353 19 8717 7 8155 1114 4570 1396 650 7730 397 19 8146 9 561740 estab. 9342 1429 5196 1515 680 8820 401 81 9302 40 9050 1072 5251 1504 701 8528 397 72 8997 53 8789 1142 4915 1523 703 8283 379 51 8713 76 8872 1118 5035 1491 726 8370 388 56 8814 58 8307 1114 4570 1401 659 7744 444 53 8241 66 561740 empl. 45415 0 10289 9755 8829 28873 11370 [h] [k] [f] 45983 0 10395 9725 9054 29174 11467 3590 44231 1752 45814 0 9787 9849 9138 28774 11162 3447 43383 2431 45854 0 9916 9607 9449 28972 12003 3230 44205 1649 45685 0 9312 9142 8491 26945 13300 3315 43560 2125 561740 ann. pay. 801762 25748 151974 152339 146503 476564 207311 (D) (D) (D) 845081 17521 162139 160199 157883 497742 230466 62228 790436 54645 875399 18354 160943 172780 166323 518400 231174 58873 808447 66952 930240 20447 169827 181538 185204 557016 258599 66449 882064 48176 949830 23412 161318 175154 169319 529203 293273 67376 889852 59978 561740 rec. 2766671 111211 652925 514520 458471 1737127 696238 169845 2603210 163461 561790 firms 5873 1238 3103 848 444 5633 215 12 5860 13 6085 1153 3258 915 496 5822 240 11 6073 12 6352 1259 3328 960 522 6069 261 12 6342 10 7059 1364 3772 1036 563 6735 297 19 7051 8 9570 1974 5061 1434 712 9181 355 26 9562 8 561790 estab. 5919 1238 3105 851 450 5644 222 17 5883 36 6138 1153 3260 918 500 5831 253 20 6104 34 6407 1259 3329 962 528 6078 275 19 6372 35 7105 1364 3774 1038 567 6743 312 26 7081 24 9658 1974 5062 1437 714 9187 395 41 9623 35 561790 empl. 26788 0 5936 5491 5882 17309 6816 [g] [k] [g] 30229 0 6386 5936 6621 18943 8083 1525 28551 1678 31134 0 6693 6238 6862 19793 8710 1334 29837 1297 35445 0 7510 6733 7486 21729 10177 2204 34110 1335 45258 0 10289 9242 9422 28953 11676 2643 43272 1986 561790 ann. pay. 650295 38180 129065 113500 142185 422930 152670 (D) (D) (D) 731717 33283 145946 130516 156705 466450 188334 30295 685079 46638 805893 35363 153964 140101 177349 506777 215720 38294 760791 45102 959239 37615 183648 160781 203911 585955 271970 58723 916648 42591 1185184 65286 232586 211455 240341 749668 299356 66930 1115954 69230 561790 rec. 3659260 296424 963657 639100 652564 2551745 754715 165057 3471517 187743 561910 firms 2337 316 884 327 251 1778 386 123 2287 50 2224 212 865 342 268 1687 372 118 2177 47 2134 197 793 331 261 1582 385 115 2082 52 2141 179 810 352 259 1600 368 123 2091 50 1799 200 647 261 215 1323 328 108 1759 40 561910 estab. 2424 316 884 327 260 1787 404 158 2349 75 2312 212 865 342 276 1695 390 151 2236 76 2231 197 793 331 262 1583 411 142 2136 95 2249 179 810 352 261 1602 381 149 2132 117 1915 200 647 261 216 1324 346 142 1812 103 561910 empl. 58126 0 1824 2195 3521 7540 15756 18062 41358 16768 60707 0 1812 2272 3604 7688 15785 18225 41698 19009 57924 0 1717 2227 3566 7510 16478 18155 42143 15781 58005 0 1715 2347 3529 7591 15611 16691 39893 18112 50614 0 1448 1745 2935 6128 13767 14565 34460 16154 561910 ann. pay. 1256537 12450 47354 53441 74343 187588 323044 355538 866170 390367 1411877 11444 51137 58449 81856 202886 351424 388660 942970 468907 1337165 11778 47842 59781 84048 203449 389183 384957 977589 359576 1370361 12919 47703 62482 85578 208682 361398 375973 946053 424308 1245773 13772 40806 50967 78569 184114 339885 337786 861785 383988 561910 rec. 4776440 69342 232136 232687 366714 900879 1133097 1287344 3321320 1455120 561920 firms 3915 688 1765 603 382 3438 351 85 3874 41 3772 492 1794 599 397 3282 364 86 3732 40 3725 530 1687 611 390 3218 368 94 3680 45 3884 553 1787 625 390 3355 391 91 3837 47 4063 585 2012 589 389 3575 355 87 4017 46 561920 estab. 4186 690 1769 606 391 3456 390 151 3997 189 4031 493 1796 601 408 3298 410 143 3851 180 3997 530 1690 615 398 3233 400 159 3792 205 4154 554 1791 630 397 3372 416 154 3942 212 4354 586 2013 592 402 3593 395 189 4177 177 561920 empl. 70594 0 3587 3990 5129 12706 13645 12108 38459 32135 66346 0 3651 3916 5383 12950 14412 12467 39829 26517 69874 0 3351 3987 5311 12649 14648 12952 40249 29625 71676 0 3569 4040 5271 12880 15061 13291 41232 30444 67763 0 4091 3880 5118 13089 13560 13562 40211 27552 561920 ann. pay. 1816926 30451 126369 136875 178313 472008 422384 318579 1212971 603955 1961961 25893 133549 142775 200054 502271 477198 334334 1313803 648158 2211908 31406 131734 160083 193242 516465 523082 376974 1416521 795387 2214686 30421 132855 157173 184201 504650 520543 394229 1419422 795264 2156593 29026 150136 150350 194183 523695 473236 380721 1377652 778941 561920 rec. 8149850 169971 802042 737698 789316 2499027 1635623 1233087 5367737 2782113 561990 firms 19344 3274 9900 2843 1673 17690 1218 242 19150 194 18528 2114 10057 2878 1750 16799 1272 241 18312 216 17691 2169 9162 2846 1778 15955 1277 245 17477 214 17069 1956 8829 2809 1721 15315 1302 247 16864 205 12856 1883 6303 1903 1273 11362 1048 234 12644 212 561990 estab. 20917 3275 9906 2862 1723 17766 1420 457 19643 1274 20218 2121 10064 2896 1811 16892 1428 482 18802 1416 19520 2173 9172 2866 1841 16052 1444 463 17959 1561 19011 1956 8848 2831 1767 15402 1463 492 17357 1654 14846 1883 6306 1927 1326 11442 1290 430 13162 1684 561990 empl. 218566 0 19657 18519 21989 60165 43173 27072 130410 88156 261487 0 20082 18935 22981 61998 46648 28008 136654 124833 333490 0 18446 18600 23547 60593 46569 30415 137577 195913 340753 0 17755 18260 22912 58927 47936 31317 138180 202573 228547 0 12815 12387 16980 42182 37349 28548 108079 120468 561990 ann. pay. 5114035 154927 576289 486063 600945 1818224 1067612 714688 3600524 1513511 5902148 90716 608940 539973 684851 1924480 1259117 761118 3944715 1957433 6510725 138452 590426 553454 754159 2036491 1373793 815711 4225995 2284730 7050468 83550 570812 569645 735527 1959534 1510475 931793 4401802 2648666 6274942 102247 395298 399794 573764 1471103 1310470 873933 3655506 2619436 561990 rec. 21176966 480088 1999235 1649339 2097634 6226296 4868685 2770728 13865709 7311257 562111 firms 5935 527 2532 1228 875 5162 668 79 5909 26 5447 483 2375 1063 814 4735 618 70 5423 24 5075 469 2203 1014 729 4415 567 64 5046 29 5022 428 2205 992 721 4346 587 60 4993 29 5165 457 2271 1042 713 4483 587 72 5142 23 562111 estab. 7103 527 2532 1231 888 5178 738 175 6091 1012 6569 485 2375 1067 829 4756 664 159 5579 990 6181 470 2203 1018 747 4438 597 121 5156 1025 6049 428 2205 995 736 4364 611 116 5091 958 6374 457 2272 1047 732 4508 634 144 5286 1088 562111 empl. 136133 0 5508 8171 11841 25520 24271 11149 60940 75193 133707 0 5167 7058 11054 23279 22684 9754 55717 77990 131061 0 4791 6716 9831 21338 20271 9586 51195 79866 124068 0 4760 6539 9703 21002 21616 8643 51261 72807 125958 0 5158 6815 9600 21573 20730 10391 52694 73264 562111 ann. pay. 4232765 19104 112830 185147 306059 623140 722454 383369 1728963 2503802 4302987 28022 112288 165976 286687 592973 687525 322361 1602859 2700128 4557580 16393 108959 164886 270175 560413 654909 336934 1552256 3005324 4504903 18314 107223 168202 277451 571190 708802 339760 1619752 2885151 4770747 31583 118663 179815 283540 613601 730466 413032 1757099 3013648 562111 rec. 21072283 163687 625397 764080 1117855 2671019 2856002 1599860 7126881 13945402 562112 firms 327 27 135 40 55 257 44 15 316 11 306 20 111 55 53 239 40 13 292 14 298 28 111 48 45 232 43 10 285 13 294 24 114 53 33 224 48 10 282 12 336 27 127 65 45 264 50 11 325 11 562112 estab. 413 27 135 40 55 257 58 29 344 69 404 20 111 55 53 239 60 38 337 67 464 28 111 48 45 232 53 35 320 144 448 24 114 53 33 224 59 34 317 131 500 27 127 65 47 266 64 34 364 136 562112 empl. 8714 0 287 269 678 1234 1676 1836 4746 3968 8740 0 231 364 700 1295 1567 1539 4401 4339 8893 0 226 309 588 1123 1848 1323 4294 4599 8619 0 239 368 443 1050 1915 1243 4208 4411 8609 0 275 429 588 1292 1921 1409 4622 3987 562112 ann. pay. 347269 753 7342 9392 24792 42279 70490 74648 187417 159852 353684 1293 5941 11849 21848 40931 67487 65458 173876 179808 377524 1787 6066 9014 19478 36345 83281 61948 181574 195950 364388 1014 8116 14577 16016 39723 88443 61297 189463 174925 366471 2158 9248 14922 23474 49802 84989 63570 198361 168110 562112 rec. 1478122 7237 47736 55629 79922 190524 334431 228337 753292 724830 562119 firms 813 111 424 118 66 719 75 6 800 13 737 81 386 122 60 649 67 9 725 12 692 77 348 126 69 620 55 6 681 11 740 82 377 125 74 658 65 6 729 11 773 106 363 136 92 697 58 7 762 11 562119 estab. 852 111 424 120 66 721 81 9 811 41 771 81 386 124 60 651 71 12 734 37 723 77 348 128 69 622 58 9 689 34 776 82 377 125 76 660 68 8 736 40 810 106 363 136 94 699 61 8 768 42 562119 empl. 6715 0 853 788 859 2500 2406 285 5191 1524 6664 0 771 768 740 2279 2151 702 5132 1532 6078 0 724 822 926 2472 1819 538 4829 1249 7177 0 785 805 972 2562 2390 632 5584 1593 7325 0 784 870 1233 2887 2076 821 5784 1541 562119 ann. pay. 199761 2833 17576 17919 27157 65485 75056 10425 150966 48795 197385 1970 17616 20128 23342 63056 66072 21820 150948 46437 203895 3399 17861 20693 29918 71871 62978 24174 159023 44872 234668 4017 18317 20570 31463 74367 76102 26192 176661 58007 250202 3766 19763 25235 38905 87669 72728 32251 192648 57554 562119 rec. 797870 26812 78181 73109 111385 289487 180412 92458 562357 235513 562211 firms 378 53 99 55 41 248 65 27 340 38 398 54 108 55 46 263 65 30 358 40 384 26 120 57 49 252 64 29 345 39 393 27 129 64 49 269 60 30 359 34 402 37 131 53 59 280 64 27 371 31 562211 estab. 520 53 99 55 51 258 67 37 362 158 536 54 108 55 50 267 73 44 384 152 500 26 120 57 53 256 71 41 368 132 520 27 129 64 51 271 69 44 384 136 572 37 131 53 64 285 82 41 408 164 562211 empl. 16976 0 219 364 577 1160 2412 4130 7702 9274 18475 0 222 350 632 1204 2409 4287 7900 10575 15972 0 260 364 685 1309 2509 4315 8133 7839 16517 0 303 429 701 1433 2337 4402 8172 8345 16526 0 310 358 781 1449 2380 4013 7842 8684 562211 ann. pay. 729774 4610 7026 9841 18950 40427 82831 162246 285504 444270 832396 3865 7174 11475 21181 43695 81505 157097 282297 550099 702773 1242 8476 12765 20734 43217 85682 171620 300519 402254 738904 2731 9363 14143 25830 52067 75913 183134 311114 427790 760437 4374 9511 11080 26530 51495 90056 172280 313831 446606 562211 rec. 2757276 21703 42298 43329 113840 221170 313594 611899 1146663 1610613 562212 firms 1013 154 369 188 124 835 118 31 984 29 1013 134 387 202 127 850 105 30 985 28 1003 103 398 210 118 829 113 28 970 33 1015 84 398 201 141 824 122 37 983 32 944 72 382 198 122 774 104 37 915 29 562212 estab. 1521 154 369 188 124 835 137 48 1020 501 1515 134 387 202 130 853 122 39 1014 501 1770 103 401 210 118 832 126 38 996 774 1987 84 398 201 141 824 128 52 1004 983 1913 72 382 198 122 774 111 62 947 966 562212 empl. 28204 0 851 1243 1675 3769 4070 2948 10787 17417 26075 0 872 1355 1650 3877 3512 3335 10724 15351 32704 0 910 1394 1605 3909 3837 3094 10840 21864 39127 0 910 1313 1826 4049 4231 3066 11346 27781 34968 0 868 1301 1568 3737 3381 3564 10682 24286 562212 ann. pay. 935375 9364 21786 31925 42316 105391 123052 109417 337860 597515 892464 9385 22277 37612 46246 115520 108163 118603 342286 550178 1169627 25851 23072 37325 46525 132773 126355 94757 353885 815742 1452290 3196 22901 36346 55446 117889 136439 116143 370471 1081819 1361502 6246 22828 36124 51271 116469 116478 122750 355697 1005805 562212 rec. 7883579 35568 137342 168283 234103 575296 586857 475407 1637560 6246019 562213 firms 90 12 30 14 12 68 10 2 80 10 88 10 32 12 11 65 12 2 79 9 97 12 39 13 12 76 10 3 89 8 104 10 43 14 18 85 8 2 95 9 101 6 48 17 9 80 10 2 92 9 562213 estab. 119 12 30 14 12 68 10 2 80 39 121 10 32 12 12 66 12 2 80 41 130 12 39 13 13 77 10 3 90 40 135 10 43 14 18 85 8 2 95 40 140 6 48 17 9 80 10 3 93 47 562213 empl. 3307 [a] 59 95 151 [e] 533 [c] 967 2340 3221 [a] 60 81 140 [e] 551 [b] 881 2340 3401 0 87 88 169 344 434 236 1014 2387 3305 [a] 89 94 238 [e] 314 [c] 855 2450 3359 0 103 [c] 121 [e] 414 [b] 818 2541 562213 ann. pay. 148757 (D) 1525 2365 4877 (D) 18756 (D) 34942 113815 152861 (D) 1553 1414 3373 (D) 21816 (D) 29616 123245 167715 255 1997 2989 4115 9356 18485 7903 35744 131971 165478 (D) 3190 1856 7765 (D) 14762 (D) 32211 133267 169091 93 3390 (D) 5046 (D) 16713 (D) 31811 137280 562213 rec. 1274458 392 16813 (D) 26941 (D) 63509 (D) 139847 1134611 562219 firms 227 28 96 35 21 180 27 5 212 15 209 25 84 39 20 168 25 5 198 11 198 20 66 42 26 154 25 7 186 12 219 25 84 42 22 173 26 6 205 14 223 31 73 39 31 174 28 7 209 14 562219 estab. 299 28 96 35 23 182 33 7 222 77 280 25 84 39 27 175 27 7 209 71 278 20 66 44 30 160 28 10 198 80 291 25 84 42 23 174 31 9 214 77 292 32 73 39 32 176 32 13 221 71 562219 empl. 4269 [a] 211 233 256 [f] 904 [c] 1749 2520 4030 [a] 188 266 254 [f] 760 [e] 1764 2266 4570 0 144 257 320 721 822 531 2074 2496 4649 [a] 200 278 263 [f] 806 [f] 2059 2590 4427 0 178 [c] 391 [f] 914 [e] 2146 2281 562219 ann. pay. 153385 (D) 5495 7085 7910 (D) 36311 (D) 64545 88840 165767 (D) 4928 7903 17744 (D) 27299 (D) 71813 93954 184374 201 3758 8069 10483 22511 30854 19033 72398 111976 197230 (D) 6581 7591 11574 (D) 29297 (D) 77636 119594 194021 1580 5714 (D) 13962 (D) 36930 (D) 84338 109683 562219 rec. 803608 13717 25747 (D) 56507 (D) 131555 (D) 310960 492648 562910 firms 1586 183 440 213 245 1081 382 70 1533 53 1581 199 425 235 223 1082 375 74 1531 50 1559 168 399 260 242 1069 359 78 1506 53 1926 230 478 326 301 1335 443 93 1871 55 2296 303 667 379 347 1696 452 96 2244 52 562910 estab. 1850 185 445 213 249 1092 418 142 1652 198 1839 199 425 236 225 1085 417 149 1651 188 1790 168 399 262 244 1073 388 144 1605 185 2186 230 478 326 303 1337 470 175 1982 204 2647 303 668 379 351 1701 520 212 2433 214 562910 empl. 46328 0 934 1429 3372 5735 15499 8788 30022 16306 46693 0 934 1574 3064 5572 15591 8661 29824 16869 49580 0 844 1719 3400 5963 14974 9934 30871 18709 55618 0 1044 2197 4176 7417 17281 12276 36974 18644 57801 0 1504 2536 4761 8801 17358 12474 38633 19168 562910 ann. pay. 1700879 8862 31258 45529 113432 199081 533334 253927 986342 714537 1867466 12220 28812 50471 102425 193928 531246 286386 1011560 855906 1912726 9822 28704 53298 118955 210779 527689 318976 1057444 855282 2266361 17209 38345 80821 157923 294298 617660 431577 1343535 922826 2378880 28293 58033 88082 162677 337085 633100 467369 1437554 941326 562910 rec. 7228144 118604 213940 298674 521200 1152418 1806816 1493508 4452742 2775402 562920 firms 771 117 290 124 93 624 103 21 748 23 703 68 286 144 78 576 83 19 678 25 653 60 251 135 79 525 89 17 631 22 609 39 231 129 83 482 86 20 588 21 693 67 284 133 82 566 87 19 672 21 562920 estab. 874 117 290 126 96 629 109 25 763 111 837 68 288 144 80 580 87 20 687 150 777 61 251 136 79 527 94 19 640 137 736 39 231 129 86 485 93 20 598 138 831 67 284 133 89 573 100 21 694 137 562920 empl. 12485 0 632 846 1229 2707 3582 1130 7419 5066 13113 0 593 965 1042 2600 2812 1688 7100 6013 12185 0 534 907 1032 2473 2966 1170 6609 5576 12928 0 515 852 1124 2491 3060 1600 7151 5777 12744 0 626 884 1102 2612 3065 1280 6957 5787 562920 ann. pay. 347014 6289 12998 22762 29902 71951 83959 33643 189553 157461 400151 2485 13404 22624 25652 64165 76488 54748 195401 204750 379313 3839 14428 25469 23813 67549 81052 38408 187009 192304 415831 3020 14433 21700 30341 69494 81502 60438 211434 204397 398197 3197 17867 23575 29723 74362 85254 34933 194549 203648 562920 rec. 1826802 18863 99820 128530 130525 377738 326945 129175 833858 992944 562991 firms 3050 358 1657 605 268 2888 136 15 3039 11 3023 261 1708 614 279 2862 136 14 3012 11 2999 314 1601 604 295 2814 161 15 2990 9 3111 309 1674 628 300 2911 175 15 3101 10 2965 293 1551 605 321 2770 171 13 2954 11 562991 estab. 3205 358 1657 606 273 2894 152 71 3117 88 3182 261 1708 616 283 2868 145 68 3081 101 3156 314 1601 606 297 2818 171 67 3056 100 3268 309 1674 628 302 2913 186 58 3157 111 3115 293 1551 605 321 2770 191 50 3011 104 562991 empl. 21489 0 3432 3916 3558 10906 4478 1860 17244 4245 23376 0 3550 4062 3727 11339 4523 1774 17636 5740 23963 0 3411 3931 3994 11336 5376 2388 19100 4863 24840 0 3540 4103 3987 11630 6002 2052 19684 5156 23875 0 3301 3952 4246 11499 5849 1716 19064 4811 562991 ann. pay. 632539 8162 75926 98015 94290 276393 132778 101253 510424 122115 702384 5761 82889 101006 104663 294319 144681 60530 499530 202854 756441 8399 81253 100257 116239 306148 171514 85750 563412 193029 820360 9328 89108 108090 117487 324013 199873 79600 603486 216874 797003 11332 80494 108255 132600 332681 197848 72043 602572 194431 562991 rec. 2411875 58364 344295 347774 374951 1125384 523870 203394 1852648 559227 562998 firms 177 27 65 22 19 133 31 6 170 7 216 53 72 29 17 171 31 9 211 5 217 29 93 37 19 178 25 9 212 5 331 61 140 53 31 285 30 10 325 6 467 72 223 78 42 415 32 10 457 10 562998 estab. 204 27 65 22 20 134 33 17 184 20 246 53 72 29 18 172 34 21 227 19 244 29 93 38 19 179 27 19 225 19 353 61 140 53 32 286 32 19 337 16 504 72 223 78 42 415 34 24 473 31 562998 empl. 2780 0 129 150 263 542 1050 258 1850 930 3080 0 147 189 221 557 1049 584 2190 890 3076 0 174 243 245 662 917 490 2069 1007 3688 0 307 358 445 1110 1045 810 2965 723 4988 0 459 505 563 1527 1157 1378 4062 926 562998 ann. pay. 103373 507 2542 6070 8450 17569 36142 12841 66552 36821 116607 1566 3207 4184 9961 18918 34290 26934 80142 36465 122837 878 4537 6646 8539 20600 33594 24701 78895 43942 153785 5196 8377 10459 14309 38341 42154 43218 123713 30072 188466 4815 11371 15255 20171 51612 41978 60304 153894 34572 562998 rec. 669727 19008 46559 45241 58873 169681 134579 239406 543666 126061 611110 firms 16416 760 2116 1790 2865 7531 7220 1533 16284 132 16646 625 2130 1819 2845 7419 7442 1645 16506 140 16823 645 2119 1788 2783 7335 7606 1741 16682 141 17256 707 2165 1794 2858 7524 7785 1803 17112 144 18547 868 2334 1943 3060 8205 8298 1883 18386 161 611110 estab. 18604 761 2117 1791 2881 7550 7610 2814 17974 630 18889 633 2130 1823 2872 7458 7778 2997 18233 656 19136 646 2119 1794 2801 7360 7940 3089 18389 747 19473 709 2165 1796 2887 7557 8024 3110 18691 782 20894 868 2334 1949 3068 8219 8637 3205 20061 833 611110 empl. 659427 0 5121 12263 40932 58316 314262 233178 605756 53671 694749 0 5034 12510 40454 57998 325658 252530 636186 58563 724354 0 5033 12401 39725 57159 334298 266395 657852 66502 747611 0 5070 12315 40815 58200 344523 280635 683358 64253 793638 0 5677 13277 43705 62659 364396 295675 722730 70908 611110 ann. pay. 12974811 59984 82795 164831 636442 944052 5731732 5189299 11865083 1109728 14279273 63292 96722 175935 647584 983533 6176771 5880706 13041010 1238263 15458594 63772 89564 181032 648957 983325 6583436 6466359 14033120 1425474 16952249 85374 105446 200364 701130 1092314 7192833 7175854 15461001 1491248 18892435 105714 113487 223493 803617 1246311 8013944 7909091 17169346 1723089 611110 rec. 41859655 280280 331487 514461 1784109 2910337 17268060 17797656 37976053 3883602 611210 firms 549 23 70 40 53 186 173 140 499 50 552 28 69 40 59 196 170 136 502 50 551 34 74 35 63 206 153 137 496 55 562 32 87 41 51 211 159 134 504 58 624 35 115 46 62 258 161 147 566 58 611210 estab. 818 23 70 40 53 186 198 230 614 204 816 28 69 40 59 196 192 225 613 203 809 34 74 35 63 206 172 216 594 215 848 32 90 41 51 214 179 202 595 253 931 35 115 46 62 258 174 232 664 267 611210 empl. 74788 0 156 280 732 1168 8411 30377 39956 34832 76511 0 145 252 822 1219 8490 30006 39715 36796 82760 0 155 235 870 1260 7679 30394 39333 43427 85964 0 185 290 715 1190 7960 29267 38417 47547 95015 0 230 319 861 1410 8068 32029 41507 53508 611210 ann. pay. 1854343 2360 3610 8248 19746 33964 190173 549682 773819 1080524 1995080 1936 3749 8137 21231 35053 201732 561873 798658 1196422 2195705 3209 4815 7465 22240 37729 194679 619426 851834 1343871 2378225 1794 5703 9293 20386 37176 204943 639026 881145 1497080 2657285 9158 7297 9224 27022 52701 211407 720859 984967 1672318 611210 rec. 3759090 6315 26716 29133 77769 139933 467486 1395150 2002569 1756521 611310 firms 2366 81 415 174 165 835 373 545 1753 613 2394 101 407 173 161 842 386 540 1768 626 2448 127 411 170 180 888 375 547 1810 638 2454 116 418 184 165 883 372 548 1803 651 2593 147 488 174 170 979 390 562 1931 662 611310 estab. 2946 81 415 174 175 845 389 592 1826 1120 3004 102 407 173 168 850 403 606 1859 1145 3105 127 411 170 184 892 396 599 1887 1218 3136 116 418 189 167 890 389 587 1866 1270 3377 147 488 176 170 981 411 598 1990 1387 611310 empl. 1260468 0 859 1133 2303 4295 19160 141803 165258 1095210 1301801 0 838 1140 2211 4189 19372 142705 166266 1135535 1332535 0 882 1133 2468 4483 18610 144619 167712 1164823 1357358 0 853 1221 2313 4387 18354 142406 165147 1192211 1403085 0 1049 1182 2291 4522 19162 144652 168336 1234749 611310 ann. pay. 30127844 16204 23528 26899 55317 121948 401633 2839864 3363445 26764399 32354264 19520 22393 27564 57452 126929 428201 2989597 3544727 28809537 34603977 25308 24005 30617 67004 146934 437995 3081118 3666047 30937930 37202837 12169 25903 32530 59812 130414 455759 3144340 3730513 33472324 40128148 11973 28836 31318 65194 137321 504961 3378238 4020520 36107628 611310 rec. 104059977 59843 150300 118280 196938 525361 1506890 9194734 11226985 92832992 611410 firms 478 50 152 65 59 326 122 23 471 7 458 50 143 60 55 308 121 22 451 7 442 40 133 72 58 303 110 21 434 8 418 31 137 70 44 282 109 18 409 9 385 31 142 51 42 266 91 20 377 8 611410 estab. 570 50 152 65 59 326 172 50 548 22 553 50 143 60 56 309 173 49 531 22 539 40 134 72 59 305 154 54 513 26 509 31 137 71 45 284 146 50 480 29 474 31 142 51 43 267 132 58 457 17 611410 empl. 10608 0 313 423 809 1545 4859 2730 9134 1474 10642 0 308 407 780 1495 4943 2740 9178 1464 11138 0 290 470 812 1572 4713 2699 8984 2154 10796 0 279 435 623 1337 4522 2533 8392 2404 8269 0 308 312 565 1185 3634 2750 7569 700 611410 ann. pay. 230650 2293 6664 9705 16919 35581 106509 54380 196470 34180 246036 3375 8752 10490 14549 37166 109853 52537 199556 46480 259016 2772 7750 11830 18555 40907 106962 54022 201891 57125 273898 598 9815 12581 16989 39983 108079 53916 201978 71920 202952 1066 8804 9117 14412 33399 90673 60400 184472 18480 611410 rec. 538904 4370 34478 27194 35088 101130 219287 166675 487092 51812 611420 firms 2589 428 1167 432 241 2268 236 47 2551 38 2632 463 1191 403 239 2296 247 52 2595 37 2750 517 1209 409 269 2404 257 54 2715 35 2793 485 1258 425 260 2428 287 52 2767 26 2626 492 1248 344 241 2325 230 52 2607 19 611420 estab. 2896 428 1167 438 252 2285 327 133 2745 151 2930 463 1191 408 243 2305 332 116 2753 177 3045 521 1213 413 276 2423 311 128 2862 183 3060 485 1260 429 264 2438 365 157 2960 100 2914 493 1248 348 265 2354 311 177 2842 72 611420 empl. 29603 0 2322 2817 3327 8466 9104 5714 23284 6319 31791 0 2390 2670 3271 8331 9339 6091 23761 8030 33684 0 2418 2718 3605 8741 9243 7336 25320 8364 32478 0 2440 2769 3500 8709 10648 8624 27981 4497 26749 0 2396 2285 3212 7893 8508 7274 23675 3074 611420 ann. pay. 1113783 20716 71445 82465 118377 293003 347192 212952 853147 260636 1207961 23576 81694 78904 107247 291421 366476 226935 884832 323129 1490566 40964 83092 76731 136130 336917 364582 321209 1022708 467858 1344630 33462 81733 79947 114674 309816 397563 379304 1086683 257947 1116838 17409 68852 69677 110478 266416 361290 328838 956544 160294 611420 rec. 2985150 59788 220729 197591 287880 765988 850273 691093 2307354 677796 611430 firms 3176 655 1727 399 202 2983 142 31 3156 20 3105 459 1761 431 239 2890 156 38 3084 21 3084 478 1697 417 255 2847 182 33 3062 22 3188 525 1743 426 265 2959 175 35 3169 19 3762 639 2241 445 212 3537 160 43 3740 22 611430 estab. 3299 655 1730 406 212 3003 187 59 3249 50 3218 459 1762 442 245 2908 185 76 3169 49 3203 478 1699 428 259 2864 223 64 3151 52 3294 526 1746 436 266 2974 192 82 3248 46 3897 639 2244 455 217 3555 198 100 3853 44 611430 empl. 18926 0 3232 2577 2680 8489 5003 2422 15914 3012 19630 0 3317 2843 3104 9264 4924 3167 17355 2275 20744 0 3284 2754 3287 9325 5738 2867 17930 2814 22228 0 3335 2795 3560 9690 6016 3877 19583 2645 23257 0 4255 2899 2794 9948 5204 4911 20063 3194 611430 ann. pay. 692042 23921 127530 95078 97433 343962 168089 107663 619714 72328 734692 19910 121614 98466 121148 361138 159789 138949 659876 74816 829678 29080 123263 100367 129249 381959 198007 146391 726357 103321 921471 27018 124781 103391 126127 381317 233910 199582 814809 106662 1055477 26830 152279 111385 130191 420685 211445 235989 868119 187358 611430 rec. 3125918 116796 576692 329750 371369 1394607 678012 588159 2660778 465140 611511 firms 1417 122 617 341 225 1305 92 17 1414 3 1435 148 620 343 212 1323 93 16 1432 3 1441 143 616 337 221 1317 102 18 1437 4 1432 123 601 373 221 1318 98 11 1427 5 1298 117 502 319 222 1160 122 11 1293 5 611511 estab. 1694 122 618 350 267 1357 222 110 1689 5 1696 148 622 356 256 1382 240 69 1691 5 1693 144 622 352 255 1373 223 90 1686 7 1674 123 602 393 257 1375 230 58 1663 11 1534 117 502 328 248 1195 269 58 1522 12 611511 empl. 9806 0 1430 2248 2831 6509 2323 [f] [i] [b] 9682 0 1429 2280 2679 6388 2430 [f] [i] [b] 10145 0 1419 2205 2863 6487 2659 [f] [j] [c] 9963 0 1321 2414 2859 6594 2539 [f] [i] [c] 10379 0 1189 2141 2832 6162 3366 [f] [j] [e] 611511 ann. pay. 161253 2103 19483 34997 43647 100230 40571 (D) (D) (D) 171118 3750 21271 37296 44901 107218 45469 (D) (D) (D) 190914 3247 21915 37785 51965 114912 53265 (D) (D) (D) 199851 2812 20583 42044 57208 122647 54921 (D) (D) (D) 223399 3261 20801 40035 62064 126161 73710 (D) (D) (D) 611511 rec. 709925 12504 78322 118776 166325 375927 260857 (D) (D) (D) 611512 firms 825 149 334 129 112 724 77 14 815 10 851 130 359 138 116 743 85 11 839 12 854 131 358 116 119 724 105 13 842 12 911 147 368 143 121 779 106 14 899 12 850 133 340 123 121 717 101 19 837 13 611512 estab. 921 151 334 134 115 734 89 18 841 80 959 132 359 140 117 748 100 15 863 96 1021 133 359 116 122 730 119 18 867 154 1081 147 371 143 124 785 119 18 922 159 1024 134 343 123 127 727 114 36 877 147 611512 empl. 10839 0 642 837 1525 3004 2563 1371 6938 3901 12148 0 709 917 1565 3191 2910 1016 7117 5031 13602 0 725 769 1612 3106 3535 1293 7934 5668 14694 0 741 967 1655 3363 3781 1791 8935 5759 14802 0 682 817 1690 3189 3337 2424 8950 5852 611512 ann. pay. 311179 3411 14397 14441 22040 54289 52669 71303 178261 132918 352436 3676 14551 16563 28565 63355 68337 24672 156364 196072 399587 3635 15631 14881 31840 65987 73535 38414 177936 221651 468792 8292 16827 17926 32388 75433 82792 51823 210048 258744 480049 3742 14901 15208 37616 71467 68445 71969 211881 268168 611512 rec. 1631909 24960 86520 68701 135062 315243 251305 225929 792477 839432 611513 firms 1026 80 468 216 155 919 83 20 1022 4 1025 68 468 218 148 902 100 19 1021 4 1075 81 455 233 165 934 115 23 1072 3 1115 78 475 227 185 965 125 22 1112 3 1109 72 458 238 191 959 123 25 1107 2 611513 estab. 1163 80 470 223 173 946 116 90 1152 11 1160 68 469 224 160 921 134 94 1149 11 1213 82 456 239 178 955 148 100 1203 10 1255 78 475 231 202 986 156 103 1245 10 1256 72 458 238 207 975 224 48 1247 9 611513 empl. 9119 0 1019 1395 2071 4485 2703 [g] [i] [f] 9323 0 999 1464 2020 4483 3176 [g] [i] [f] 10865 0 977 1581 2215 4773 3809 [g] [j] [e] 11480 0 1021 1506 2442 4969 4280 [g] [j] [e] 12207 0 1016 1592 2505 5113 4250 [h] [j] [c] 611513 ann. pay. 187037 1939 24294 22217 32818 81268 53838 (D) (D) (D) 215150 2786 26122 26733 35136 90777 64474 (D) (D) (D) 232263 3210 24327 31318 44180 103035 74058 (D) (D) (D) 270545 4801 28504 30962 49504 113771 92557 (D) (D) (D) 280895 4310 29509 34217 58405 126441 97128 (D) (D) (D) 611513 rec. 842453 22444 126301 104096 160288 413129 290238 (D) (D) (D) 611519 firms 2695 348 1122 435 332 2237 345 75 2657 38 2698 368 1102 439 328 2237 333 89 2659 39 2711 350 1074 450 345 2219 356 94 2669 42 2808 360 1134 468 345 2307 362 92 2761 47 2818 397 1115 477 370 2359 330 86 2775 43 611519 estab. 3078 348 1124 436 346 2254 475 204 2933 145 3086 368 1106 443 334 2251 453 242 2946 140 3105 354 1075 453 351 2233 462 237 2932 173 3224 360 1135 471 358 2324 456 246 3026 198 3262 397 1116 484 394 2391 449 238 3078 184 611519 empl. 39313 0 2339 2854 4440 9633 12458 8007 30098 9215 43444 0 2286 2908 4401 9595 12315 9437 31347 12097 46563 0 2221 2914 4606 9741 13296 10338 33375 13188 51214 0 2342 3051 4613 10006 13954 10414 34374 16840 46660 0 2343 3158 4975 10476 12329 9899 32704 13956 611519 ann. pay. 1008142 11974 52243 61094 108918 234229 303560 178463 716252 291890 1149836 15530 58791 69556 105684 249561 314684 231268 795513 354323 1270025 16690 56224 69427 116186 258527 342054 247783 848364 421661 1451427 12700 64560 79428 126556 283244 385142 243949 912335 539092 1350277 19394 64681 82815 128801 295691 342350 232480 870521 479756 611519 rec. 3978346 70608 274548 248229 389938 983323 1055144 669580 2708047 1270299 611610 firms 7285 846 3735 1623 752 6956 298 27 7281 4 7565 932 3802 1640 818 7192 337 32 7561 4 7930 1058 3891 1664 878 7491 394 40 7925 5 8355 1097 4035 1766 998 7896 408 44 8348 7 8707 1135 4085 1904 1092 8216 440 45 8701 6 611610 estab. 7448 848 3744 1643 792 7027 369 46 7442 6 7719 933 3810 1659 852 7254 411 49 7714 5 8079 1059 3902 1681 913 7555 447 71 8073 6 8508 1100 4042 1783 1034 7959 464 77 8500 8 8851 1135 4088 1909 1134 8266 497 81 8844 7 611610 empl. 42432 0 7796 10633 9679 28108 10663 3442 42213 219 45249 0 7962 10669 10550 29181 11680 4219 45080 169 49862 0 8198 10979 11351 30528 13909 5129 49566 296 53319 0 8544 11663 12917 33124 14588 5303 53015 304 57370 0 8791 12535 14263 35589 15488 5971 57048 322 611610 ann. pay. 455384 14672 82818 94333 95745 287568 126146 36618 450332 5052 530363 25671 91165 101238 113910 331984 145529 47868 525381 4982 648652 28405 104783 113364 134021 380573 202024 58640 641237 7415 710901 26555 117293 131062 153488 428398 209643 64330 702371 8530 746074 24103 116600 129075 158358 428136 217706 84173 730015 16059 611610 rec. 2299777 106294 551456 454343 441583 1553676 507704 198869 2260249 39528 611620 firms 6374 1480 2852 1020 602 5954 376 30 6360 14 6766 1632 2980 1045 646 6303 411 37 6751 15 7116 1618 3099 1140 731 6588 474 38 7100 16 7709 1727 3417 1183 810 7137 513 45 7695 14 8707 2054 3809 1362 844 8069 573 52 8694 13 611620 estab. 6527 1480 2859 1026 613 5978 450 77 6505 22 6961 1636 2987 1048 659 6330 489 114 6933 28 7312 1618 3106 1149 743 6616 544 124 7284 28 7911 1727 3421 1195 829 7172 572 142 7886 25 8940 2054 3812 1366 862 8094 674 149 8917 23 611620 empl. 33576 0 5661 6652 8085 20398 11129 1048 32575 1001 37892 0 5973 6814 8708 21495 12405 2595 36495 1397 41308 0 6166 7543 9862 23571 14280 2926 40777 531 45848 0 6728 7761 10915 25404 16372 3548 45324 524 50488 0 7662 8952 11312 27926 18077 3570 49573 915 611620 ann. pay. 453160 34016 90463 83129 81633 289241 130104 12266 431611 21549 539193 44073 98775 88696 101641 333185 151188 29186 513559 25634 694665 50596 110280 105730 124638 391244 193122 94600 678966 15699 710954 45245 127831 116530 137690 427296 218656 49132 695084 15870 747488 49032 140507 128046 133630 451215 216607 58474 726296 21192 611620 rec. 2451169 215019 628886 445430 376699 1666034 554072 190412 2410518 40651 611630 firms 754 106 278 122 118 624 109 15 748 6 792 122 281 138 111 652 120 15 787 5 816 113 307 128 123 671 122 18 811 5 832 106 321 130 124 681 125 22 828 4 882 125 306 145 152 728 135 15 878 4 611630 estab. 902 106 279 122 121 628 135 40 803 99 941 122 281 139 117 659 145 39 843 98 961 113 307 129 131 680 141 43 864 97 981 106 321 131 132 690 143 54 887 94 1032 125 308 147 157 737 166 39 942 90 611630 empl. 11525 0 590 834 1647 3071 3878 1769 8718 2807 11718 0 581 920 1523 3024 4206 1733 8963 2755 12351 0 675 838 1710 3223 4194 2170 9587 2764 12601 0 685 861 1714 3260 4387 2643 10290 2311 12195 0 626 952 2055 3633 4749 1655 10037 2158 611630 ann. pay. 163767 1949 8669 10107 17880 38605 55487 31056 125148 38619 173672 3096 9472 11062 18645 42275 64861 29956 137092 36580 192133 3487 11114 11603 22183 48387 64591 40485 153463 38670 216219 3822 13764 11687 25917 55190 66202 49425 170817 45402 200063 3777 10843 12784 29687 57091 57714 44436 159241 40822 611630 rec. 499750 11693 36729 37222 75576 161220 130388 79568 371176 128574 611691 firms 2367 351 961 406 347 2065 263 25 2353 14 2454 347 1004 396 345 2092 320 28 2440 14 2523 359 1010 405 330 2104 374 29 2507 16 2822 435 1120 448 387 2390 374 42 2806 16 3406 476 1358 585 484 2903 453 35 3391 15 611691 estab. 2895 351 962 407 354 2074 373 151 2598 297 3324 347 1004 397 353 2101 411 116 2628 696 3426 361 1010 405 338 2114 455 119 2688 738 3807 435 1120 448 395 2398 449 165 3012 795 4429 476 1358 585 492 2911 608 148 3667 762 611691 empl. 26618 0 1910 2716 4743 9369 8640 2579 20588 6030 34221 0 2014 2601 4675 9290 10745 2780 22815 11406 39879 0 2035 2750 4630 9415 12834 3132 25381 14498 45164 0 2285 2979 5274 10538 12682 [h] [k] [j] 45159 0 2893 3873 6682 13448 15691 [h] [k] [j] 611691 ann. pay. 407357 11815 28360 29459 48596 118230 96826 30395 245451 161906 520890 16133 33703 34104 52570 136510 128470 33399 298379 222511 644014 12718 40047 35843 55689 144297 182460 47671 374428 269586 715031 12666 42174 40936 73749 169525 155900 (D) (D) (D) 743117 15295 48955 48204 79990 192444 193782 (D) (D) (D) 611691 rec. 1817131 55277 169035 141952 198246 564510 453767 (D) (D) (D) 611692 firms 1722 243 888 329 167 1627 81 11 1719 3 1807 273 893 347 187 1700 90 13 1803 4 1920 290 925 387 204 1806 98 12 1916 4 2010 297 983 393 209 1882 112 14 2008 2 2018 282 996 417 215 1910 95 11 2016 2 611692 estab. 1837 244 888 332 173 1637 166 30 1833 4 1920 277 893 351 195 1716 167 32 1915 5 2026 292 926 390 210 1818 176 28 2022 4 2103 300 987 396 214 1897 170 34 2101 2 2082 282 996 417 236 1931 122 27 2080 2 611692 empl. 10182 0 1846 2163 2140 6149 2604 1035 9788 394 11333 0 1872 2305 2439 6616 3093 1216 10925 408 12598 0 1908 2585 2719 7212 3536 1217 11965 633 13204 0 2062 2607 2740 7409 3873 [g] [j] [e] 12121 0 2142 2783 2859 7784 3124 [f] [j] [e] 611692 ann. pay. 148366 5798 24650 26542 26445 83435 36593 20919 140947 7419 183981 9818 26173 29033 30956 95980 54631 25233 175844 8137 209650 10389 29544 34839 37631 112403 58538 28476 199417 10233 229676 8108 33802 37244 40323 119477 63875 (D) (D) (D) 196456 5133 31074 42014 43048 121269 47121 (D) (D) (D) 611692 rec. 524689 20683 113565 114567 106101 354916 111513 (D) (D) (D) 611699 firms 4754 711 2251 750 472 4184 450 83 4717 37 4784 598 2309 751 517 4175 483 88 4746 38 4805 578 2268 784 520 4150 525 92 4767 38 5005 651 2294 841 561 4347 530 89 4966 39 3314 657 1265 430 391 2743 446 87 3276 38 611699 estab. 5130 713 2251 754 501 4219 553 216 4988 142 5137 599 2312 756 538 4205 589 218 5012 125 5157 578 2273 789 539 4179 631 225 5035 122 5346 651 2299 850 578 4378 614 242 5234 112 3654 657 1267 431 403 2758 563 230 3551 103 611699 empl. 42741 0 4531 4902 6299 15732 15542 8478 39752 2989 46947 0 4595 4941 6935 16471 16709 10139 43319 3628 50173 0 4590 5158 7038 16786 18928 10730 46444 3729 51866 0 4581 5531 7556 17668 19551 11038 48257 3609 39260 0 2591 2816 5269 10676 16116 8717 35509 3751 611699 ann. pay. 956772 22953 101637 103627 129045 357262 312408 210757 880427 76345 1069563 24051 107403 110691 150529 392674 341988 245833 980495 89068 1223453 29950 116854 121256 165961 434021 418701 271273 1123995 99458 1321057 27701 119690 135196 180085 462672 448591 307118 1218381 102676 1071746 22519 69512 80387 156741 329159 408146 224863 962168 109578 611699 rec. 3131384 96495 266647 239117 488058 1090317 1120131 599304 2809752 321632 611710 firms 3937 836 2071 450 284 3641 212 56 3909 28 3906 687 2132 492 273 3584 238 52 3874 32 3897 641 2102 493 296 3532 267 66 3865 32 4272 743 2274 541 306 3864 302 70 4236 36 4541 988 2306 536 312 4142 286 74 4502 39 611710 estab. 4174 836 2073 453 299 3661 271 138 4070 104 4179 732 2134 495 285 3646 294 153 4093 86 4184 641 2104 501 302 3548 369 189 4106 78 4668 743 2275 551 313 3882 354 326 4562 106 5150 988 2308 542 329 4167 376 180 4723 427 611710 empl. 33846 0 3851 2945 3758 10554 7851 6147 24552 9294 34637 0 3891 3232 3720 10843 8716 6814 26373 8264 39763 0 3907 3226 3963 11096 10015 9372 30483 9280 46642 0 4217 3556 4093 11866 11204 9509 32579 14063 51021 0 4343 3520 4219 12082 10636 8791 31509 19512 611710 ann. pay. 1041475 29653 120626 83840 115144 349263 215874 217727 782864 258611 1147527 36685 124128 96195 117498 374506 245949 242698 863153 284374 1380455 27474 130972 105777 137044 401267 296814 335773 1033854 346601 1729778 25572 142939 120039 137804 426354 350808 336836 1113998 615780 1869153 37930 139791 118296 143163 439180 335451 314008 1088639 780514 611710 rec. 6063612 161817 549077 402589 419210 1532693 1041311 1043263 3617267 2446345 621111 firms 163366 13665 76469 39644 19924 149702 11826 1172 162700 666 161958 13370 74743 39250 20113 147476 12538 1247 161261 697 163895 14675 73458 39474 20980 148587 13265 1326 163178 717 166918 14797 74043 40198 21667 150705 14076 1395 166176 742 169017 15886 72802 41134 22302 152124 14541 1601 168266 751 621111 estab. 184997 13741 76724 40430 21574 152469 17358 5174 175001 9996 183698 13503 74993 39996 21576 150068 17873 5305 173246 10452 185067 14835 73718 40145 22378 151076 18298 5588 174962 10105 187260 14871 74315 40829 22981 152996 18820 5687 177503 9757 192653 15902 72956 41766 23889 154513 21327 7146 182986 9667 621111 empl. 1582567 0 174939 257652 264510 697101 405065 166554 1268720 313847 1654491 0 170543 255655 267277 693475 435215 180118 1308808 345683 1723954 0 167719 257604 279396 704719 467814 196172 1368705 355249 1806648 0 168208 262488 288559 719255 497390 208881 1425526 381122 1860432 0 168155 268986 296788 733929 515736 231342 1481007 379425 621111 ann. pay. 88788617 1559217 10935433 13008680 15303274 40806604 24774422 9156650 74737676 14050941 93396115 1440802 10806070 13083486 15616904 40947262 26792970 10012601 77752833 15643282 99459756 1440596 10850386 13284359 16570038 42145379 29418261 11058079 82621719 16838037 107622592 1430458 11286765 13812462 17392484 43922169 32311974 12521531 88755674 18866918 113075968 1643751 11067715 14206896 17920139 44838501 33723702 14375723 92937926 20138042 621111 rec. 248561502 4688484 29907044 32588713 36241127 103425368 65938217 31380485 200744070 47817432 621112 firms 9828 1078 6909 1093 437 9517 177 58 9752 76 9897 1259 6760 1111 446 9576 192 56 9824 73 10229 1386 6773 1223 488 9870 232 58 10160 69 10314 1262 6812 1363 514 9951 246 54 10251 63 10674 1380 7073 1294 539 10286 255 62 10603 71 621112 estab. 10170 1080 6927 1112 479 9598 239 113 9950 220 10269 1262 6777 1130 472 9641 251 121 10013 256 10588 1388 6787 1246 508 9929 278 139 10346 242 10632 1262 6829 1375 537 10003 289 95 10387 245 11016 1380 7080 1298 575 10333 332 116 10781 235 621112 empl. 36796 0 12271 6931 5696 24898 5059 2545 32502 4294 38080 0 12368 7138 5843 25349 5767 2673 33789 4291 39839 0 12552 7853 6292 26697 7640 3307 37644 2195 41552 0 12742 8778 6735 28255 7710 3045 39010 2542 43893 0 13080 8364 7026 28470 8376 3978 40824 3069 621112 ann. pay. 1614713 67588 601406 259461 211214 1139669 196795 104060 1440524 174189 1662440 78147 615800 278875 231057 1203879 212697 109953 1526529 135911 1792711 79900 639655 307264 256026 1282845 281853 124006 1688704 104007 1919500 74435 674825 347133 286664 1383057 303069 111262 1797388 122112 2005033 76505 665907 350150 290404 1382966 327851 150723 1861540 143493 621112 rec. 4658734 213411 1727401 787070 636063 3363945 681765 299752 4345462 313272 621210 firms 111325 5335 46860 42100 14614 108909 2301 84 111294 31 111497 5413 45605 42600 15284 108902 2477 81 111460 37 112373 5869 44166 43027 16447 109509 2728 101 112338 35 112802 5784 43072 43523 17296 109675 2981 106 112762 40 113128 5983 41978 43592 18159 109712 3268 111 113091 37 621210 estab. 115060 5351 46966 42534 15588 110439 3322 610 114371 689 115268 5481 45721 43011 16229 110442 3479 507 114428 840 116494 5879 44273 43433 17325 110910 3734 648 115292 1202 117038 5804 43195 43907 18139 111045 3960 610 115615 1423 117812 5986 42037 43898 19148 111069 4733 838 116640 1172 621210 empl. 665498 0 120796 277184 183477 581457 66287 9727 657471 8027 683331 0 117731 281161 192735 591627 71172 8809 671608 11723 710858 0 114117 284325 207581 606023 78052 11635 695710 15148 733862 0 111266 288605 218898 618769 84344 12009 715122 18740 750129 0 109279 290007 230322 629608 93578 12674 735860 14269 621210 ann. pay. 19885297 286091 3029447 7813260 5897501 17026299 2313456 318388 19658143 227154 21471821 300124 3150122 8260852 6466857 18177955 2602158 332979 21113092 358729 23235125 320592 3192141 8698170 7184276 19395179 2980788 411252 22787219 447906 25196085 351977 3308382 9219008 7854470 20733837 3346446 493318 24573601 622484 26806179 384111 3350318 9602422 8552426 21889277 3814064 612796 26316137 490042 621210 rec. 71223564 1336829 12805173 26373130 19517851 60032983 7955975 1606511 69595469 1628095 621310 firms 30505 2906 21610 4922 920 30358 140 5 30503 2 30750 2832 21756 5033 958 30579 161 7 30747 3 31807 3401 21922 5243 1052 31618 172 13 31803 4 32682 3378 22385 5564 1137 32464 202 11 32677 5 33738 3569 22892 5778 1286 33525 193 11 33729 9 621310 estab. 30884 2911 21634 4981 1030 30556 288 38 30882 2 31131 2837 21784 5098 1069 30788 291 46 31125 6 32191 3406 21945 5299 1145 31795 302 86 32183 8 33078 3382 22419 5616 1234 32651 308 110 33069 9 34173 3572 22901 5830 1419 33722 383 57 34162 11 621310 empl. 92993 0 46087 30367 11523 87977 4213 [f] [l] [c] 95208 0 46515 31098 11994 89607 4813 [f] [l] [b] 99621 0 46993 32605 13138 92736 5181 1588 99505 116 111637 0 48400 34736 14172 97308 5903 1783 104994 6643 110134 0 50733 36106 16093 102932 5596 1056 109584 550 621310 ann. pay. 2003852 59498 842525 677228 295100 1874351 113138 (D) (D) (D) 2102138 62679 882800 710372 301509 1957360 124144 (D) (D) (D) 2309659 70930 937793 762655 343195 2114573 148558 40372 2303503 6156 2606520 73177 1011363 845843 382399 2312782 160989 60877 2534648 71872 2724415 79029 1067753 903172 430839 2480793 155369 32850 2669012 55403 621310 rec. 9318941 363158 4572863 2496896 1046617 8479534 386040 71955 8937529 381412 621320 firms 16163 964 9141 4203 1440 15748 366 25 16139 24 16246 1029 8943 4313 1511 15796 401 25 16222 24 16499 1180 8735 4446 1655 16016 436 27 16479 20 16582 1086 8683 4629 1675 16073 458 32 16563 19 17127 1164 8958 4655 1804 16581 490 36 17107 20 621320 estab. 17606 968 9191 4358 1821 16338 815 177 17330 276 17673 1051 8989 4472 1878 16390 837 176 17403 270 17948 1195 8788 4597 2032 16612 857 217 17686 262 17969 1093 8747 4794 2009 16643 874 239 17756 213 18759 1165 8992 4817 2205 17179 1082 323 18584 175 621320 empl. 82368 0 21599 27027 18212 66838 10578 2117 79533 2835 84604 0 21052 27561 19238 67851 11633 2074 81558 3046 88347 0 20674 28589 21232 70495 12906 2399 85800 2547 90971 0 20689 29910 21665 72264 14009 2942 89215 1756 95026 0 21555 30261 23167 74983 15241 3297 93521 1505 621320 ann. pay. 1917446 32864 426035 566949 458508 1484356 302616 63997 1850969 66477 2068350 39853 437216 609820 504278 1591167 345961 68733 2005861 62489 2261672 41272 448507 649388 560160 1699327 409611 91435 2200373 61299 2399511 38078 466382 702742 596287 1803489 452706 101741 2357936 41575 2578152 41664 485566 727709 654548 1909487 502479 118356 2530322 47830 621320 rec. 8464738 165886 2246648 2492433 1815366 6720333 1291143 329315 8340791 123947 621330 firms 11318 1345 8357 898 375 10975 221 80 11276 42 10916 1238 8059 908 389 10594 212 74 10880 36 10832 1320 7894 930 340 10484 237 76 10797 35 10933 1343 7944 929 374 10590 235 71 10896 37 12475 1806 8932 948 381 12067 254 95 12416 59 621330 estab. 11738 1347 8369 912 397 11025 329 186 11540 198 11330 1242 8075 918 416 10651 288 237 11176 154 11231 1320 7916 946 359 10541 310 254 11105 126 11303 1343 7965 943 393 10644 307 209 11160 143 12971 1807 8945 961 411 12124 417 244 12785 186 621330 empl. 41004 0 13779 5741 4824 24344 7096 [i] [k] [h] 39620 0 13318 5760 5083 24161 7082 [h] [k] [h] 40957 0 13186 5983 4430 23599 7776 4701 36076 4881 43648 0 13136 5972 4827 23935 8479 5041 37455 6193 48063 0 14884 5993 5096 25973 9443 7000 42416 5647 621330 ann. pay. 1059341 33391 345258 135829 120619 635097 168809 (D) (D) (D) 1014326 32473 348611 145856 125042 651982 177033 (D) (D) (D) 1082976 28712 364045 156320 118456 667533 205060 103198 975791 107185 1194382 32407 375311 161161 134343 703222 237484 116677 1057383 136999 1349154 44295 407279 165106 143185 759865 265176 169148 1194189 154965 621330 rec. 3420780 150852 1309625 412134 287752 2160363 504350 314978 2979691 441089 621340 firms 11862 1453 5313 2364 1529 10659 960 121 11740 122 11854 1516 5351 2318 1520 10705 904 118 11727 127 12299 1650 5465 2396 1578 11089 960 118 12167 132 13173 1864 5912 2459 1675 11910 1006 121 13037 136 14725 2218 6524 2726 1858 13326 1093 166 14585 140 621340 estab. 14455 1458 5329 2421 1721 10929 1580 489 12998 1457 14597 1531 5372 2383 1693 10979 1441 575 12995 1602 15048 1651 5483 2461 1753 11348 1491 663 13502 1546 16117 1868 5939 2521 1837 12165 1513 644 14322 1795 18690 2232 6540 2784 2100 13656 2046 801 16503 2187 621340 empl. 144201 0 10921 15567 20023 46511 33319 17506 97336 46865 135006 0 10862 15362 20274 46498 31477 14890 92865 42141 120512 0 11225 15912 20976 48113 33452 14473 96038 24474 131011 0 12009 16306 22331 50646 35756 14810 101212 29799 145356 0 13188 18201 24843 56232 38413 19775 114420 30936 621340 ann. pay. 4412727 55718 289680 416022 569997 1331417 948520 491752 2771689 1641038 4038525 57292 294481 421700 567165 1340638 879873 396964 2617475 1421050 3514483 59248 308137 457402 611911 1436698 963511 385224 2785433 729050 4048800 65000 357473 492696 672635 1587804 1078393 427007 3093204 955596 4575363 82860 382240 554598 771031 1790729 1197317 577756 3565802 1009561 621340 rec. 10128116 257128 1288740 1357495 1617775 4521138 2328548 1041274 7890960 2237156 621391 firms 8135 479 5455 1716 399 8049 75 5 8129 6 7980 420 5348 1671 449 7888 78 6 7972 8 7902 452 5147 1739 467 7805 88 2 7895 7 7883 452 5096 1738 496 7782 88 6 7876 7 7912 481 4970 1793 532 7776 121 6 7903 9 621391 estab. 8566 482 5498 1818 560 8358 185 5 8548 18 8418 423 5390 1766 606 8185 195 17 8397 21 8329 457 5192 1827 613 8089 228 2 8319 10 8283 455 5140 1814 643 8052 214 6 8272 11 8433 481 4994 1862 700 8037 362 20 8419 14 621391 empl. 30357 0 12455 10751 4984 28190 2030 77 30297 60 31055 0 12224 10512 5633 28369 [g] [e] 30985 70 31201 0 11828 10964 5864 28656 [g] [a] 31156 45 31944 0 11769 10981 6248 28998 2686 163 31847 97 33316 0 11671 11340 6604 29615 3491 79 33185 131 621391 ann. pay. 810115 15165 264937 291572 167421 739095 67047 2083 808225 1890 842508 12149 273266 290863 177674 753952 (D) (D) 840385 2123 889724 12929 272619 310772 200479 796799 (D) (D) 887715 2009 966025 13165 288147 330543 220588 852443 105220 3719 961382 4643 1051514 14619 284184 352700 244721 896224 145912 3300 1045436 6078 621391 rec. 3054999 62088 1193355 929524 537373 2722340 312090 6672 3041102 13897 621399 firms 6423 1172 3848 743 347 6110 202 57 6369 54 6663 1220 3996 766 364 6346 206 60 6612 51 7408 1475 4311 869 410 7065 237 53 7355 53 7527 1397 4469 860 442 7168 252 59 7479 48 10700 2095 6266 1264 580 10205 357 76 10638 62 621399 estab. 6688 1173 3848 750 361 6132 246 93 6471 217 6935 1220 3999 771 379 6369 252 92 6713 222 7694 1475 4314 873 423 7085 291 83 7459 235 7805 1399 4472 863 457 7191 296 94 7581 224 11145 2095 6267 1269 611 10242 401 131 10774 371 621399 empl. 30183 0 6796 4795 4458 16049 6641 4105 26795 3388 31474 0 7144 4947 4667 16758 [i] [h] 28245 3229 36601 0 7852 5581 5234 18667 [i] [h] 31733 4868 39268 0 8137 5558 5739 19434 8891 5617 33942 5326 53692 0 11438 8180 7534 27152 12243 7141 46536 7156 621399 ann. pay. 866369 40998 196266 151212 129462 517938 171478 75349 764765 101604 915368 43277 209082 150113 141908 544380 (D) (D) 821229 94139 1114617 52557 239951 177419 167143 637070 (D) (D) 969989 144628 1219380 42812 250339 182457 188880 664488 254423 143946 1062857 156523 1746788 70285 365396 276944 248154 960779 385981 183414 1530174 216614 621399 rec. 4555969 270544 1207117 769726 612407 2859794 798874 477670 4136338 419631 621410 firms 1020 60 403 138 123 724 187 78 989 31 982 47 372 145 129 693 186 72 951 31 992 57 378 156 108 699 192 67 958 34 1013 52 396 157 120 725 184 74 983 30 1090 70 448 170 118 806 174 76 1056 34 621410 estab. 1845 60 403 139 155 757 481 505 1743 102 1820 48 372 163 153 736 473 508 1717 103 1801 58 379 159 128 724 481 498 1703 98 1808 52 399 162 131 744 461 513 1718 90 1905 70 448 170 138 826 473 513 1812 93 621410 empl. 18966 0 825 933 1664 3422 6685 6363 16470 2496 19148 0 790 925 1675 3390 6904 5898 16192 2956 19972 0 838 1021 1474 3333 7092 6022 16447 3525 20265 0 867 1048 1594 3509 6945 6585 17039 3226 18621 0 970 1112 1589 3671 6503 6387 16561 2060 621410 ann. pay. 440604 5813 14985 16775 34759 72332 150327 146956 369615 70989 465553 2968 14277 19165 34665 71075 165494 148298 384867 80686 510385 4379 15496 20476 31591 71942 179248 157563 408753 101632 523645 1859 17475 21754 32958 74046 186680 177679 438405 85240 502344 2405 18528 25199 40363 86495 163363 187027 436885 65459 621410 rec. 1330813 7641 69580 77827 101528 256576 388950 474698 1120224 210589 621420 firms 3709 311 1175 451 381 2318 664 544 3526 183 3608 209 1167 444 373 2193 644 583 3420 188 3486 216 1046 398 397 2057 647 590 3294 192 3482 215 1027 398 386 2026 657 606 3289 193 3919 326 1253 437 382 2398 686 622 3706 213 621420 estab. 6414 311 1175 460 410 2356 1117 1994 5467 947 6425 209 1181 447 408 2245 1063 2094 5402 1023 6371 216 1052 407 446 2121 1054 2115 5290 1081 6518 243 1035 399 435 2112 1074 2247 5433 1085 7216 328 1256 443 436 2463 1251 2332 6046 1170 621420 empl. 132460 0 2277 3045 5184 10506 25981 63198 99685 32775 140497 0 2237 2962 5081 10280 25540 68098 103918 36579 141937 0 2098 2652 5323 10073 26566 69697 106336 35601 149570 0 2095 2689 5220 10004 27011 74552 111567 38003 152596 0 2462 2911 5222 10595 27567 74867 113029 39567 621420 ann. pay. 3346652 26037 52983 69560 125203 273783 625437 1497854 2397074 949578 3594665 11498 58284 80390 127616 277788 629818 1662721 2570327 1024338 3747931 14520 54357 66005 136483 271365 671880 1796512 2739757 1008174 4053204 16365 56695 74425 140810 288295 718702 1964777 2971774 1081430 4232381 13641 63278 77407 138679 293005 745733 2020730 3059468 1172913 621420 rec. 10560971 34832 200614 197746 299841 733033 1538646 4054478 6326157 4234814 621491 firms 160 30 27 10 8 75 18 26 119 41 151 25 27 7 11 70 14 21 105 46 168 20 38 9 12 79 19 24 122 46 206 25 53 18 15 111 21 29 161 45 244 42 58 25 17 142 25 25 192 52 621491 estab. 818 35 27 10 8 80 31 59 170 648 720 25 27 7 16 75 20 55 150 570 744 20 38 9 12 79 38 51 168 576 751 25 53 18 15 111 40 65 216 535 762 42 58 25 17 142 36 76 254 508 621491 empl. 54305 0 53 71 93 217 726 3498 4441 49864 47077 0 58 45 172 275 613 3716 4604 42473 45714 0 69 62 179 310 863 4534 5707 40007 47760 0 98 124 205 427 871 5184 6482 41278 48389 0 120 166 237 523 965 5319 6807 41582 621491 ann. pay. 2176215 10699 1105 2996 7385 22185 24621 119897 166703 2009512 1834855 10296 2002 971 16943 30212 23104 118528 171844 1663011 1810981 7045 1482 4374 9587 22488 33784 174197 230469 1580512 2003216 2395 5542 6069 9403 23409 37952 202956 264317 1738899 2018229 2466 13510 6866 11750 34592 35795 204448 274835 1743394 621491 rec. 10837635 8825 86414 19549 62281 177069 262833 1534423 1974325 8863310 621492 firms 448 32 50 47 87 216 165 26 407 41 421 40 50 52 70 212 146 30 388 33 448 38 58 56 78 230 152 27 409 39 479 58 60 49 82 249 161 27 437 42 484 42 56 48 90 236 173 35 444 40 621492 estab. 2321 32 50 47 87 216 234 131 581 1740 2786 48 50 52 70 220 202 155 577 2209 2915 46 58 58 80 242 202 135 579 2336 3074 58 62 49 86 255 200 126 581 2493 3074 42 56 48 93 239 235 158 632 2442 621492 empl. 45913 0 108 328 1199 1635 7022 3785 12442 33471 53237 0 113 376 985 1474 5998 4693 12165 41072 57800 0 126 394 1100 1620 6294 4002 11916 45884 63000 0 125 344 1147 1616 6250 4333 12199 50801 63757 0 112 335 1265 1712 6739 5122 13573 50184 621492 ann. pay. 1388572 8546 5084 12875 35688 62193 203572 120189 385954 1002618 1702033 6288 6991 11967 31848 57094 178682 163129 398905 1303128 1802192 8545 6769 11955 34947 62216 180960 148629 391805 1410387 2133620 8065 9616 11782 38463 67926 189835 158611 416372 1717248 2360502 5391 7197 12221 38831 63640 224640 186603 474883 1885619 621492 rec. 8743213 19725 25797 35549 153756 234827 740405 638561 1613793 7129420 621493 firms 1834 191 383 316 366 1256 353 60 1669 165 1791 183 394 301 351 1229 330 63 1622 169 1826 166 383 319 359 1227 357 67 1651 175 1948 178 414 311 386 1289 417 67 1773 175 2403 252 532 390 476 1650 495 80 2225 178 621493 estab. 2561 195 385 318 375 1273 423 146 1842 719 2509 186 395 302 362 1245 374 196 1815 694 2503 168 385 321 365 1239 423 158 1820 683 2566 178 420 312 394 1304 483 174 1961 605 3038 252 533 406 481 1672 579 188 2439 599 621493 empl. 47823 0 812 2155 4945 7912 12163 4461 24536 23287 46961 0 861 2060 4741 7662 11057 5528 24247 22714 47565 0 831 2181 4943 7955 12510 5285 25750 21815 49504 0 905 2158 5285 8348 14816 5884 29048 20456 56521 0 1136 2706 6577 10419 17540 6491 34450 22071 621493 ann. pay. 1760709 36844 52825 119399 244261 453329 421186 190925 1065440 695269 1807895 17715 55236 125330 243927 442208 447093 231939 1121240 686655 1884647 30187 50113 130901 266972 478173 536015 205567 1219755 664892 2083674 27185 55044 128635 292096 502960 680570 235685 1419215 664459 2387114 37506 71483 131275 341811 582075 777193 269338 1628606 758508 621493 rec. 7761851 236860 256882 446254 965037 1905033 2388483 752971 5046487 2715364 621498 firms 4332 307 1080 572 510 2469 896 518 3883 449 4339 301 1096 583 492 2472 879 528 3879 460 4338 320 1048 579 500 2447 889 550 3886 452 4329 316 1004 614 512 2446 861 570 3877 452 5111 416 1387 788 619 3210 862 584 4656 455 621498 estab. 8417 312 1083 581 561 2537 1365 1382 5284 3133 8459 306 1100 592 527 2525 1302 1420 5247 3212 7869 325 1054 591 525 2495 1299 1494 5288 2581 8195 321 1013 624 546 2504 1226 1618 5348 2847 9329 416 1421 798 668 3303 1396 1834 6533 2796 621498 empl. 241978 0 2349 3852 6746 12947 37231 55906 106084 135894 241409 0 2390 3928 6610 12928 37126 54465 104519 136890 241920 0 2273 3871 6724 12868 36501 60942 110311 131609 252131 0 2191 4099 6961 13251 36740 66809 116800 135331 253578 0 3089 5251 8293 16633 36051 71001 123685 129893 621498 ann. pay. 8689463 22819 78585 116360 195920 413684 1123917 1642135 3179736 5509727 8744976 28544 78955 119302 191867 418668 1138269 1645042 3201979 5542997 9032822 35299 78924 120941 200446 435610 1148532 1873650 3457792 5575030 9771266 52206 75067 135633 210923 473829 1211613 2193179 3878621 5892645 10303611 32723 122637 173796 256591 585747 1207195 2365199 4158141 6145470 621498 rec. 25219110 137498 448903 539820 691307 1817528 2928002 5222736 9968266 15250844 621511 firms 2791 260 975 538 372 2145 389 126 2660 131 2706 253 926 502 373 2054 394 127 2575 131 2674 258 884 515 374 2031 390 124 2545 129 2676 265 905 501 374 2045 395 106 2546 130 2596 239 895 464 354 1952 385 118 2455 141 621511 estab. 5271 263 975 548 392 2178 463 354 2995 2276 5171 253 926 507 387 2073 474 364 2911 2260 5127 259 886 517 386 2048 468 349 2865 2262 6139 265 906 508 392 2071 463 331 2865 3274 5173 241 896 470 378 1985 550 395 2930 2243 621511 empl. 111339 0 2152 3622 4975 10749 14738 16567 42054 69285 105229 0 2032 3313 4963 10308 14760 16924 41992 63237 99319 0 1901 3363 4995 10259 15124 17181 42564 56755 109714 0 1964 3320 4991 10275 15049 15582 40906 68808 114316 0 2025 3083 4725 9833 14889 16728 41450 72866 621511 ann. pay. 3554268 28186 92039 158318 209165 487708 544359 495829 1527896 2026372 3705049 28254 97064 147652 225544 498514 586632 495100 1580246 2124803 3964222 21150 93075 159910 249307 523442 619245 566227 1708914 2255308 4533636 22345 92874 164532 261173 540924 691486 539513 1771923 2761713 4760157 20251 110136 164166 271107 565660 739343 609394 1914397 2845760 621511 rec. 14859118 71279 309467 405874 698433 1485053 1812789 1744849 5042691 9816427 621512 firms 3261 330 1301 627 424 2682 383 80 3145 116 3239 398 1210 592 432 2632 399 88 3119 120 3417 442 1257 644 427 2770 433 89 3292 125 3579 435 1375 615 470 2895 455 106 3456 123 3900 503 1487 644 513 3147 490 131 3768 132 621512 estab. 4400 335 1308 639 459 2741 621 411 3773 627 4420 399 1217 598 466 2680 593 460 3733 687 4623 444 1260 667 447 2818 615 403 3836 787 4887 437 1379 628 508 2952 606 486 4044 843 5184 516 1499 654 565 3234 773 496 4503 681 621512 empl. 44989 0 2814 4124 5633 12571 13596 8120 34287 10702 47264 0 2544 3881 5774 12199 14396 8918 35513 11751 52740 0 2680 4248 5693 12621 15940 9214 37775 14965 59481 0 2921 4063 6260 13244 16696 12209 42149 17332 66998 0 3178 4250 6858 14286 18429 15196 47911 19087 621512 ann. pay. 2095359 40709 152840 218165 288140 699854 670712 383507 1754073 341286 2277781 27474 150850 213075 299151 690550 747522 408867 1846939 430842 2603817 46505 158069 223195 312375 740144 854427 467360 2061931 541886 2981738 40028 181489 221301 358557 801375 934593 627954 2363922 617816 3487379 52517 197701 250852 403830 904900 1032231 801129 2738260 749119 621512 rec. 10687214 197219 635120 810122 1275426 2917887 2967006 2216015 8100908 2586306 621610 firms 12310 1176 2472 1229 1582 6459 3861 1300 11620 690 11234 1215 2442 1176 1367 6200 3184 1170 10554 680 11022 1200 2494 1105 1217 6016 3153 1159 10328 694 11117 1247 2496 1135 1251 6129 3113 1188 10430 687 12791 1745 3166 1237 1368 7516 3274 1294 12084 707 621610 estab. 19439 1176 2474 1231 1593 6474 4296 2690 13460 5979 17451 1228 2448 1182 1409 6267 3575 2419 12261 5190 16092 1214 2500 1108 1246 6068 3466 2276 11810 4282 16284 1253 2498 1138 1285 6174 3403 2244 11821 4463 18298 1756 3166 1249 1376 7547 3722 2522 13791 4507 621610 empl. 901525 0 5129 8325 22393 35847 170632 215498 421977 479548 796814 0 5044 7906 19163 32113 142701 193600 368414 428400 786607 0 5109 7322 17273 29704 145267 194455 369426 417181 774381 0 5090 7524 17726 30340 144343 197408 372091 402290 804233 0 6406 8339 19284 34029 149958 215856 399843 404390 621610 ann. pay. 15245666 157698 119640 164224 416113 857675 2707579 3380185 6945439 8300227 14034345 131532 119647 165820 387786 804785 2359607 3153889 6318281 7716064 14245234 100716 122785 164763 355266 743530 2561810 3243588 6548928 7696306 14941576 94809 137398 172846 389724 794777 2729373 3481457 7005607 7935969 16211222 118287 151203 193041 425485 888016 3049788 3997712 7935516 8275706 621610 rec. 34312578 289651 484024 556902 1060856 2391433 6328669 7435563 16155665 18156913 621910 firms 2773 224 622 361 552 1759 832 121 2712 61 2773 259 594 377 525 1755 828 120 2703 70 2946 304 638 402 531 1875 867 134 2876 70 3015 296 640 388 580 1904 902 141 2947 68 2972 262 546 381 564 1753 976 169 2898 74 621910 estab. 3524 224 624 361 556 1765 1029 308 3102 422 3526 259 598 377 528 1762 1004 335 3101 425 3748 304 640 404 535 1883 1040 313 3236 512 3830 300 642 388 590 1920 1055 351 3326 504 3865 262 546 381 567 1756 1163 480 3399 466 621910 empl. 107312 0 1342 2490 7852 11684 33228 19040 63952 43360 103818 0 1283 2561 7450 11294 33450 19868 64612 39206 107951 0 1344 2730 7500 11574 34646 21573 67793 40158 101831 0 1414 2640 8253 12307 36269 22783 71359 30472 109064 0 1253 2639 7970 11862 38325 26967 77154 31910 621910 ann. pay. 2173076 10538 26059 36541 108816 181954 565057 443149 1190160 982916 2130582 14793 23695 38271 110523 187282 600443 462918 1250643 879939 2319228 25185 26319 44888 118595 214987 639588 516380 1370955 948273 2653785 21114 31060 45590 156389 254153 708460 592406 1555019 1098766 2883862 21557 30167 49470 135969 237163 761526 732683 1731372 1152490 621910 rec. 6800309 63059 111911 151141 326580 652691 1775617 1690305 4118613 2681696 621991 firms 581 56 148 52 69 325 118 95 538 43 550 40 146 48 62 296 120 92 508 42 522 24 137 58 47 266 131 89 486 36 504 33 125 60 47 265 123 80 468 36 436 27 85 50 47 209 115 74 398 38 621991 estab. 1347 56 149 52 78 335 192 403 930 417 1299 40 147 48 71 306 190 412 908 391 1273 24 138 61 49 272 204 380 856 417 1316 33 126 60 52 271 185 395 851 465 1270 36 85 50 50 221 175 407 803 467 621991 empl. 46637 0 320 321 970 1611 5194 20569 27374 19263 46655 0 304 329 896 1529 5385 20944 27858 18797 46870 0 305 375 667 1347 6032 20732 28111 18759 49738 0 264 397 661 1322 5627 16578 23527 26211 52195 0 188 330 635 1153 5534 15812 22499 29696 621991 ann. pay. 1383658 3485 9553 9968 31229 54235 160687 611041 825963 557695 1435568 1848 10001 10182 26466 48497 179148 650722 878367 557201 1475343 644 10291 12261 21217 44413 199445 659093 902951 572392 1685575 4546 9920 12514 23413 50393 191104 579950 821447 864128 1774549 5907 6461 12786 22006 47160 198458 566570 812188 962361 621991 rec. 6651376 22912 27297 168219 110196 328624 788812 2158350 3275786 3375590 621999 firms 1341 214 589 199 123 1125 100 48 1273 68 1284 145 598 205 122 1070 113 42 1225 59 1240 142 539 213 120 1014 128 44 1186 54 1322 139 614 228 113 1094 134 38 1266 56 2049 293 1100 266 153 1812 126 50 1988 61 621999 estab. 1875 214 590 200 130 1134 153 72 1359 516 1821 145 599 205 126 1075 173 64 1312 509 1758 142 540 215 122 1019 189 83 1291 467 2061 139 615 231 118 1103 186 71 1360 701 2981 293 1100 271 168 1832 214 105 2151 830 621999 empl. 23148 0 1221 1306 1580 4107 3533 3749 11389 11759 25155 0 1204 1344 1595 4143 4106 3512 11761 13394 25911 0 1153 1401 1588 4142 4993 4543 13678 12233 28715 0 1270 1484 1457 4211 5262 4109 13582 15133 36847 0 2215 1739 1982 5936 4738 5623 16297 20550 621999 ann. pay. 697256 9697 34486 34384 40398 118965 102918 111491 333374 363882 743249 4543 34801 40432 43049 122825 123134 124973 370932 372317 794588 5933 32340 40177 42810 121260 147330 144854 413444 381144 902517 5808 38790 44828 39093 128519 152344 151466 432329 470188 1302617 13879 66854 54332 58922 193987 156964 177296 528247 774370 621999 rec. 4539113 53206 259924 180033 194370 687533 452476 465548 1605557 2933556 622110 firms 3677 69 36 18 13 136 384 1439 1959 1718 3623 67 46 29 20 162 381 1393 1936 1687 3637 72 83 33 24 212 380 1389 1981 1656 3626 81 103 44 30 258 387 1338 1983 1643 3581 90 105 52 43 290 388 1289 1967 1614 622110 estab. 5648 74 36 18 13 141 392 1453 1986 3662 5621 69 46 29 20 164 389 1415 1968 3653 5756 72 85 33 24 214 391 1412 2017 3739 5765 81 105 44 30 260 388 1372 2020 3745 5971 90 105 57 51 303 399 1367 2069 3902 622110 empl. 4610069 0 67 107 182 356 26621 344985 371962 4238107 4599643 0 95 167 277 539 26138 337811 364488 4235155 4623686 0 166 218 332 716 25765 337403 363884 4259802 4680588 0 209 307 428 944 26027 321583 348554 4332034 4713450 0 204 349 577 1130 25092 311346 337568 4375882 622110 ann. pay. 147661362 428059 3602 7095 5594 444350 590741 8818977 9854068 137807294 150207196 111094 3337 11440 13561 139432 618368 8778275 9536075 140671121 156596031 368189 6914 12736 13439 401278 627752 9114598 10143628 146452403 166379184 103648 11097 19007 17169 150921 668447 9135537 9954905 156424279 179673489 106980 13220 25329 56744 202273 693192 9425929 10321394 169352095 622110 rec. 468007640 525446 268810 107783 213717 1115756 2131118 23737230 26984104 441023536 622210 firms 538 12 12 3 5 32 40 213 285 253 535 17 17 5 10 49 35 194 278 257 559 24 19 10 13 66 33 202 301 258 579 22 27 14 17 80 35 206 321 258 609 32 46 17 19 114 33 219 366 243 622210 estab. 848 12 13 3 5 33 44 228 305 543 838 17 17 6 10 50 36 209 295 543 832 28 19 10 13 70 34 236 340 492 758 22 27 14 17 80 36 229 345 413 797 32 46 17 19 114 40 250 404 393 622210 empl. 247775 [a] 35 [b] [b] 122 2467 52630 55219 192556 244652 0 36 39 135 210 2316 49559 52085 192567 240431 0 38 72 165 275 1997 51729 54001 186430 240512 0 51 98 215 364 1837 53489 55690 184822 235942 0 81 114 254 449 1815 58257 60521 175421 622210 ann. pay. 8131790 (D) 4973 (D) (D) 16194 61453 1690423 1768070 6363720 7956625 2274 1571 1897 4256 9998 57254 1618322 1685574 6271051 7975184 11990 1266 2782 3715 19753 55212 1736206 1811171 6164013 8332977 7079 1555 3275 7226 19135 57565 1870290 1946990 6385987 8787338 6557 3233 3260 8502 21552 57488 2176144 2255184 6532154 622210 rec. 15576265 25368 14347 10984 18664 69363 116463 3872251 4058077 11518188 622310 firms 306 28 12 3 3 46 40 77 163 143 331 41 21 4 15 81 30 74 185 146 352 32 28 12 15 87 35 78 200 152 404 44 48 22 13 127 52 69 248 156 548 88 74 42 30 234 69 88 391 157 622310 estab. 468 28 12 3 3 46 41 92 179 289 510 41 21 4 15 81 34 86 201 309 499 32 28 12 19 91 35 92 218 281 615 44 48 22 13 127 52 78 257 358 801 88 74 42 30 234 74 108 416 385 622310 empl. 153493 [a] 24 [b] [b] 82 2587 20710 23379 130114 156236 0 45 25 191 261 1953 19730 21944 134292 150524 0 69 75 193 337 2192 19741 22270 128254 163905 0 101 149 176 426 2933 16891 20250 143655 172192 0 148 258 389 795 3336 19898 24029 148163 622310 ann. pay. 5075960 (D) 1051 (D) (D) 45998 62521 616419 724938 4351022 5276779 6908 1877 1042 13643 23470 53148 592239 668857 4607922 5479550 22548 3520 1752 6050 33870 58602 640072 732544 4747006 6190546 9691 4942 4319 5875 24827 87177 530327 642331 5548215 6636532 12702 6711 10136 12636 42185 103751 651096 797032 5839500 622310 rec. 15561991 45740 22198 36847 39594 144379 261862 1503635 1909876 13652115 623110 firms 8383 518 554 238 274 1584 2928 3178 7690 693 8614 669 712 293 284 1958 2870 3112 7940 674 8631 601 792 357 330 2080 2842 3022 7944 687 8787 628 819 356 366 2169 2869 3031 8069 718 8672 661 717 288 347 2013 2769 3138 7920 752 623110 estab. 16065 520 554 239 284 1597 3034 3927 8558 7507 16561 680 713 296 306 1995 2982 3859 8836 7725 16891 661 795 361 339 2156 2966 3719 8841 8050 17046 644 821 367 376 2208 2964 3717 8889 8157 16779 668 717 294 359 2038 2890 3928 8856 7923 623110 empl. 1557105 0 1164 1558 3798 6520 183579 533760 723859 833246 1558806 0 1457 1936 3856 7249 179223 530563 717035 841771 1533714 0 1606 2402 4518 8526 177249 520215 705990 827724 1559457 0 1684 2403 4968 9055 178335 519629 707019 852438 1604222 0 1554 1958 4816 8328 172553 538795 719676 884546 623110 ann. pay. 28522345 152516 29057 30168 71454 283195 2884662 9899652 13067509 15454836 29672312 185065 39005 47569 76400 348039 2934312 10221328 13503679 16168633 30691284 202181 37221 47197 80688 367287 3099999 10515825 13983111 16708173 33343153 247981 43612 50905 92235 434733 3310169 11097758 14842660 18500493 35808394 316941 42538 40823 92814 493116 3319411 11958631 15771158 20037236 623110 rec. 74576571 784549 98870 87724 268883 1240026 6761935 24261876 32263837 42312734 623210 firms 4538 255 931 497 557 2240 1127 936 4303 235 4430 177 900 504 536 2117 1150 944 4211 219 4356 210 826 505 495 2036 1124 945 4105 251 4358 207 820 505 514 2046 1093 967 4106 252 4862 277 1088 539 567 2471 1111 986 4568 294 623210 estab. 14773 270 936 511 579 2296 2533 6667 11496 3277 15119 207 904 509 566 2186 2555 7017 11758 3361 15542 244 828 513 526 2111 2440 6960 11511 4031 16741 226 821 518 544 2109 2353 7339 11801 4940 19369 277 1088 544 609 2518 2686 8167 13371 5998 623210 empl. 277751 0 2049 3375 7635 13059 49402 120455 182916 94835 275603 0 2002 3410 7455 12867 51299 122451 186617 88986 284362 0 1885 3409 6838 12132 49589 124666 186387 97975 293254 0 1915 3395 7042 12352 48668 127486 188506 104748 317056 0 2457 3661 7771 13889 48041 131402 193332 123724 623210 ann. pay. 4493222 28030 29323 48314 110528 216195 766011 1959404 2941610 1551612 4671746 12780 34542 48078 108674 204074 834785 2112381 3151240 1520506 5065303 23483 32434 52670 108377 216964 837005 2226133 3280102 1785201 5462929 12190 31431 55828 115422 214871 848953 2404788 3468612 1994317 6179164 21516 36761 61506 125066 244849 859498 2495570 3599917 2579247 623210 rec. 11998659 61406 122017 151703 282897 618023 1671595 4742190 7031808 4966851 623220 firms 3539 261 748 451 491 1951 815 601 3367 172 3458 158 769 441 492 1860 796 627 3283 175 3431 166 747 422 480 1815 794 633 3242 189 3414 139 760 426 457 1782 808 632 3222 192 3231 117 645 364 433 1559 812 648 3019 212 623220 estab. 5922 262 749 459 499 1969 1269 1866 5104 818 6003 158 771 449 496 1874 1231 1969 5074 929 6185 166 750 428 487 1831 1201 1973 5005 1180 6296 144 763 433 470 1810 1178 2067 5055 1241 6368 121 645 373 454 1593 1320 2110 5023 1345 623220 empl. 104042 0 1668 3020 6744 11432 28788 41776 81996 22046 107236 0 1701 2901 6761 11363 28932 43093 83388 23848 111992 0 1672 2855 6591 11118 29107 44914 85139 26853 114100 0 1704 2887 6219 10810 29774 46419 87003 27097 123832 0 1515 2453 5962 9930 29480 48959 88369 35463 623220 ann. pay. 1974036 9731 22463 42561 104135 178890 536423 831669 1546982 427054 2125521 9005 24550 44054 107522 185131 558340 895771 1639242 486279 2304038 13142 26684 45514 106597 191937 582831 970247 1745015 559023 2466724 8462 28295 47232 105949 189938 613463 1041272 1844673 622051 2753485 8291 26233 42906 109790 187220 651918 1113346 1952484 801001 623220 rec. 5916927 24540 92760 115560 260536 493396 1408304 2233946 4135646 1781281 623311 firms 2246 129 253 149 185 716 609 685 2010 236 2317 162 254 172 197 785 589 681 2055 262 2429 210 318 152 208 888 588 683 2159 270 2556 185 308 197 232 922 638 713 2273 283 2792 215 315 202 269 1001 742 755 2498 294 623311 estab. 3056 132 253 149 185 719 652 819 2190 866 3304 162 254 172 197 785 646 806 2237 1067 3590 218 320 152 211 901 638 805 2344 1246 3855 185 310 200 234 929 686 877 2492 1363 4163 217 317 203 277 1014 789 969 2772 1391 623311 empl. 243488 0 564 1010 2606 4180 30649 118363 153192 90296 254584 0 535 1198 2787 4520 30568 119763 154851 99733 269210 0 718 1085 2916 4719 30585 122168 157472 111738 288192 0 694 1332 3310 5336 32881 126561 164778 123414 299914 0 730 1352 3794 5876 36965 133377 176218 123696 623311 ann. pay. 4182242 17046 9535 16076 32497 75154 450685 2065620 2591459 1590783 4602050 32452 10123 20465 39421 102461 468752 2185551 2756764 1845286 4988787 54332 15940 17707 41610 129589 505813 2305027 2940429 2048358 5549370 28650 13916 24434 54047 121047 564628 2518565 3204240 2345130 6077470 82218 18108 21886 57148 179360 635832 2751738 3566930 2510540 623311 rec. 14433717 203305 54177 57337 134052 448871 1461986 6266453 8177310 6256407 623312 firms 11708 1611 3969 1948 1640 9168 1844 478 11490 218 11490 1056 4116 2010 1611 8793 1997 472 11262 228 11382 1083 3908 1906 1676 8573 2079 482 11134 248 11512 1045 3947 1861 1672 8525 2226 510 11261 251 11356 1064 3835 1805 1602 8306 2257 513 11076 280 623312 estab. 13735 1617 3972 1954 1684 9227 2090 1154 12471 1264 14370 1059 4123 2019 1652 8853 2230 1272 12355 2015 14486 1097 3915 1912 1715 8639 2301 1401 12341 2145 14680 1057 3950 1882 1715 8604 2448 1388 12440 2240 14601 1066 3839 1819 1635 8359 2531 1319 12209 2392 623312 empl. 191228 0 8664 12978 22335 43977 66532 33531 144040 47188 224765 0 8894 13423 21823 44140 72897 34967 152004 72761 241747 0 8466 12667 22790 43923 77179 39235 160337 81410 258736 0 8521 12491 22748 43760 84214 44349 172323 86413 266041 0 8515 12064 21965 42544 85597 45760 173901 92140 623312 ann. pay. 2722458 66096 102952 143958 258871 571877 858869 541117 1971863 750595 3406144 75310 112390 156126 267251 611077 997195 567648 2175920 1230224 3854194 71097 115422 161033 290625 638177 1105725 682113 2426015 1428179 4282507 67895 123298 167522 319128 677843 1274115 806135 2758093 1524414 4425250 56692 121314 162607 298734 639347 1311432 840905 2791684 1633566 623312 rec. 11696796 183684 501296 481687 779275 1945942 3344506 1970093 7260541 4436255 623990 firms 3684 293 743 447 533 2016 948 570 3534 150 3601 181 730 447 564 1922 933 589 3444 157 3591 161 706 457 535 1859 967 589 3415 176 3684 211 708 466 550 1935 975 591 3501 183 3587 210 684 416 527 1837 937 613 3387 200 623990 estab. 6191 293 746 449 550 2038 1469 1767 5274 917 6200 184 733 448 581 1946 1385 1891 5222 978 6311 161 710 458 552 1881 1454 1870 5205 1106 6470 211 713 469 575 1968 1398 1924 5290 1180 6620 210 685 419 547 1861 1485 2023 5369 1251 623990 empl. 137590 0 1596 3019 7415 12030 36618 59140 107788 29802 147018 0 1617 3017 7841 12475 36634 60539 109648 37370 151094 0 1535 3053 7450 12038 37643 62084 111765 39329 157718 0 1546 3173 7777 12496 38832 65081 116409 41309 159600 0 1481 2867 7359 11707 36368 66907 114982 44618 623990 ann. pay. 2725256 12057 22705 43874 115945 194581 662392 1248707 2105680 619576 2988695 7806 25933 44951 129131 207821 702983 1286162 2196966 791729 3255674 10640 24614 50238 126468 211960 744152 1402253 2358365 897309 3560413 9845 26560 54743 141963 233111 794214 1547969 2575294 985119 3706728 11002 28177 51151 144545 234875 768288 1620154 2623317 1083411 623990 rec. 7645076 28260 89949 119423 313540 551172 1589202 3327861 5468235 2176841 624110 firms 7277 569 2638 1071 884 5162 1341 629 7132 145 7053 388 2429 1160 899 4876 1345 677 6898 155 7007 400 2323 1119 921 4763 1389 688 6840 167 7219 415 2345 1144 989 4893 1444 701 7038 181 7711 570 2636 1210 1010 5426 1389 699 7514 197 624110 estab. 9361 574 2640 1083 942 5239 1851 1431 8521 840 9282 389 2431 1176 947 4943 1826 1607 8376 906 9393 400 2329 1131 948 4808 1842 1687 8337 1056 9722 415 2350 1169 1032 4966 1903 1718 8587 1135 10426 570 2638 1219 1039 5466 1975 1809 9250 1176 624110 empl. 139302 0 5741 7096 11905 24742 46704 45913 117359 21943 147235 0 5260 7668 12138 25066 47335 50829 123230 24005 160364 0 5123 7433 12632 25188 50348 55868 131404 28960 170848 0 5136 7581 13363 26080 53030 59885 138995 31853 169612 0 5747 8020 13671 27438 50438 59618 137494 32118 624110 ann. pay. 2790621 25497 114607 143144 226635 509883 902414 921667 2333964 456657 3075612 14601 113160 154594 242017 524372 975484 1042836 2542692 532920 3440468 11640 113574 163728 262064 551006 1061608 1172381 2784995 655473 3843944 14497 117569 180210 292335 604611 1164853 1315210 3084674 759270 3909639 15532 134967 188202 309479 648180 1154078 1332090 3134348 775291 624110 rec. 10114049 59581 462485 580065 857022 1959153 2893348 3454745 8307246 1806803 624120 firms 9674 653 3080 1450 1242 6425 1829 1170 9424 250 9597 525 3072 1462 1241 6300 1844 1194 9338 259 9686 519 2980 1491 1313 6303 1899 1200 9402 284 9949 616 2998 1530 1305 6449 1988 1226 9663 286 10791 816 3279 1597 1373 7065 2127 1271 10463 328 624120 estab. 13289 655 3085 1457 1289 6486 2724 3018 12228 1061 13257 528 3078 1472 1285 6363 2700 3046 12109 1148 13505 536 2990 1499 1352 6377 2725 3061 12163 1342 13906 623 3004 1548 1340 6515 2824 3118 12457 1449 15285 816 3287 1605 1418 7126 3096 3342 13564 1721 624120 empl. 279754 0 6402 9570 16623 32595 71499 121517 225611 54143 283444 0 6446 9752 16977 33175 71919 121873 226967 56477 298984 0 6318 9919 17831 34068 74843 128604 237515 61469 308365 0 6380 10242 17736 34358 79507 135090 248955 59410 336800 0 7156 10682 18822 36660 83780 142764 263204 73596 624120 ann. pay. 4063488 16626 97473 141363 253508 508970 1068178 1763528 3340676 722812 4365085 14883 102479 150491 270666 538519 1117335 1883002 3538856 826229 4765566 21329 103484 160354 290266 575433 1199049 2084990 3859472 906094 5199934 24292 109068 170985 307967 612312 1321876 2336793 4270981 928953 5732241 34365 118585 186684 334005 673639 1440207 2485495 4599341 1132900 624120 rec. 14431391 101026 366548 507894 805675 1781143 3446451 7035805 12263399 2167992 624190 firms 15093 967 6862 2219 1616 11664 2095 1114 14873 220 15108 905 6646 2252 1657 11460 2191 1203 14854 254 15247 1029 6408 2274 1690 11401 2278 1273 14952 295 16215 1165 6739 2433 1813 12150 2388 1358 15896 319 17561 1470 7516 2532 1819 13337 2493 1391 17221 340 624190 estab. 20647 968 6873 2227 1728 11796 3612 3895 19303 1344 20934 912 6655 2260 1759 11586 3628 4126 19340 1594 21304 1033 6413 2294 1773 11513 3671 4312 19496 1808 22672 1166 6743 2461 1901 12271 3749 4561 20581 2091 24984 1474 7519 2551 1912 13456 4232 5019 22707 2277 624190 empl. 285195 0 13492 14602 21864 49958 75486 104690 230134 55061 307160 0 13193 14911 22302 50406 80665 114422 245493 61667 331251 0 12948 15163 22643 50754 84539 122723 258016 73235 360689 0 13384 16129 24607 54120 90161 133882 278163 82526 377546 0 15036 16827 24389 56252 92569 140439 289260 88286 624190 ann. pay. 5349779 33096 248355 277900 424767 984118 1484339 1917579 4386036 963743 5977640 30683 253269 295421 442770 1022143 1629579 2196121 4847843 1129797 6656050 40506 257602 321407 462014 1081529 1776062 2425123 5282714 1373336 7586136 32994 293408 355158 522793 1204353 1981290 2809325 5994968 1591168 8204468 48293 320367 385103 541866 1295629 2125184 3001305 6422118 1782350 624190 rec. 20387854 176179 994183 1037996 1387349 3595707 5111225 7741514 16448446 3939408 624210 firms 2300 71 1109 410 239 1829 276 154 2259 41 2286 55 1098 414 244 1811 282 152 2245 41 2291 50 1092 406 245 1793 302 154 2249 42 2321 59 1084 398 261 1802 319 155 2276 45 2447 74 1150 398 269 1891 337 168 2396 51 624210 estab. 3119 72 1114 414 246 1846 616 546 3008 111 3128 55 1098 418 259 1830 679 512 3021 107 3135 54 1092 409 263 1818 718 484 3020 115 3153 59 1085 399 272 1815 727 499 3041 112 3455 74 1150 399 290 1913 800 624 3337 118 624210 empl. 24341 0 2325 2669 3187 8181 8964 5114 22259 2082 24980 0 2335 2725 3237 8297 9020 5738 23055 1925 26041 0 2372 2710 3251 8333 9971 5664 23968 2073 27156 0 2354 2645 3453 8452 10732 6005 25189 1967 28952 0 2494 2543 3476 8513 10983 7094 26590 2362 624210 ann. pay. 368870 1379 28455 37018 52176 119028 148671 73083 340782 28088 396655 1711 30205 39198 54653 125767 156753 86656 369176 27479 433130 1908 30901 40161 55296 128266 187712 87161 403139 29991 488598 1439 32517 41609 63735 139300 215343 103244 457887 30711 536613 2096 34323 40829 66062 143310 233985 115307 492602 44011 624210 rec. 3078384 15172 183632 212114 340958 751876 1812627 405222 2969725 108659 624221 firms 2271 56 432 404 509 1401 646 185 2232 39 2266 36 379 399 522 1336 696 192 2224 42 2290 45 365 381 520 1311 725 207 2243 47 2375 55 387 384 523 1349 757 214 2320 55 2544 70 408 398 553 1429 825 229 2483 61 624221 estab. 2653 56 432 404 516 1408 826 332 2566 87 2672 36 379 399 528 1342 868 340 2550 122 2718 47 365 381 526 1319 894 360 2573 145 2828 55 387 384 532 1358 917 393 2668 160 3173 72 408 399 561 1440 1133 442 3015 158 624221 empl. 43124 0 1040 2802 7058 10900 20248 8874 40022 3102 46448 0 890 2735 7203 10828 23040 8741 42609 3839 49454 0 849 2670 7223 10742 24416 10280 45438 4016 51518 0 900 2657 7355 10912 25862 10376 47150 4368 53856 0 954 2751 7606 11311 27521 11104 49936 3920 624221 ann. pay. 770005 959 19173 45861 111854 177847 367988 164071 709906 60099 866703 1067 15743 48019 118135 182964 434243 171114 788321 78382 960585 2082 15854 50993 124005 192934 472405 203045 868384 92201 1050878 2696 19440 50947 130909 203992 520495 225767 950254 100624 1132470 3200 19002 51741 143816 217759 574356 244974 1037089 95381 624221 rec. 2544997 13290 62443 138794 335571 550098 1267156 528808 2346062 198935 624229 firms 2223 171 984 373 227 1755 258 161 2174 49 2251 98 1003 403 239 1743 287 170 2200 51 2282 101 971 420 264 1756 295 177 2228 54 2385 106 1005 448 261 1820 316 190 2326 59 2494 103 1077 432 286 1898 327 199 2424 70 624229 estab. 2458 171 984 378 234 1767 329 269 2365 93 2484 100 1003 408 246 1757 343 288 2388 96 2545 103 971 422 274 1770 356 313 2439 106 2665 106 1007 452 268 1833 380 333 2546 119 2912 103 1077 437 301 1918 462 392 2772 140 624229 empl. 22945 0 2066 2478 3062 7606 7230 5980 20816 2129 24698 0 2135 2673 3181 7989 8629 6383 23001 1697 25819 0 2075 2742 3548 8365 8984 6576 23925 1894 27926 0 2188 2961 3496 8645 9702 7539 25886 2040 29497 0 2340 2886 3767 8993 9704 8364 27061 2436 624229 ann. pay. 486041 4744 47499 57895 75423 185561 155916 110959 452436 33605 546354 3618 50509 66241 74740 195108 195196 124116 514420 31934 611002 3547 50678 70906 86921 212052 218399 143612 574063 36939 707956 3750 56751 77422 91968 229891 254854 177974 662719 45237 790664 12231 61823 81418 103902 259374 270173 206332 735879 54785 624229 rec. 2669356 45479 337781 364791 369601 1117652 820615 603460 2541727 127629 624230 firms 1722 69 872 326 193 1460 185 63 1708 14 1658 40 843 310 196 1389 197 57 1643 15 1646 39 806 326 204 1375 190 67 1632 14 1626 50 730 352 213 1345 204 57 1606 20 1628 58 733 318 234 1343 203 62 1608 20 624230 estab. 1983 69 872 327 202 1470 276 140 1886 97 1905 40 843 311 198 1392 296 125 1813 92 1865 39 806 327 206 1378 265 144 1787 78 1843 50 730 353 215 1348 282 121 1751 92 1905 58 734 319 243 1354 331 134 1819 86 624230 empl. 18566 0 1828 2122 2518 6468 6747 3761 16976 1590 18208 0 1821 2049 2578 6448 7250 3496 17194 1014 19861 0 1780 2178 2676 6634 7064 4463 18161 1700 21783 0 1607 2346 2841 6794 7818 3698 18310 3473 21497 0 1642 2133 3053 6828 7810 3928 18566 2931 624230 ann. pay. 354864 1788 28054 32972 40242 103056 124137 97824 325017 29847 383097 810 29134 34300 44849 109093 144682 91311 345086 38011 431473 3577 29779 38379 49328 121063 146161 119630 386854 44619 493090 1229 29280 43065 54054 127628 175836 94716 398180 94910 532166 1005 30910 40987 62897 135799 185103 105577 426479 105687 624230 rec. 2586908 5084 122443 150807 211140 489474 1052705 350028 1892207 694701 624310 firms 5446 293 1348 664 586 2891 1290 1054 5235 211 5397 238 1289 629 594 2750 1315 1107 5172 225 5357 250 1233 604 607 2694 1316 1091 5101 256 5324 273 1203 614 587 2677 1259 1135 5071 253 5240 275 1205 578 535 2593 1266 1113 4972 268 624310 estab. 8106 295 1359 692 626 2972 1730 2323 7025 1081 8213 243 1304 639 638 2824 1788 2356 6968 1245 8288 261 1239 623 651 2774 1758 2331 6863 1425 8324 273 1212 630 631 2746 1666 2382 6794 1530 8451 276 1210 586 576 2648 1835 2434 6917 1534 624310 empl. 296154 0 2790 4377 7983 15150 54543 128050 197743 98411 313822 0 2741 4191 8158 15090 56380 133995 205465 108357 324336 0 2601 4030 8212 14843 58803 135032 208678 115658 326455 0 2528 4080 7980 14588 54349 143683 212620 113835 319609 0 2588 3829 7325 13742 54426 135856 204024 115585 624310 ann. pay. 3982781 12735 70369 110286 182268 375658 933670 1572177 2881505 1101276 4470954 14301 71630 107074 188811 381816 997353 1748318 3127487 1343467 4846777 16310 72911 103735 188816 381772 1037352 1831930 3251054 1595723 5184930 9981 74680 110316 192716 387693 1044427 2033160 3465280 1719650 5329584 13487 205328 108000 195241 522056 1056937 2064196 3643189 1686395 624310 rec. 11808900 40681 517886 270397 516338 1345302 2628956 4308307 8282565 3526335 624410 firms 51656 5076 18736 10249 9676 43737 6849 880 51466 190 51598 5069 18464 10029 9898 43460 7003 935 51398 200 53686 6147 18600 10091 10238 45076 7428 975 53479 207 54349 5639 19060 10263 10462 45424 7684 1018 54126 223 55828 6210 19261 10662 10559 46692 7848 1045 55585 243 624410 estab. 62963 5086 18745 10285 9958 44074 9474 4682 58230 4733 63719 5106 18551 10071 10180 43908 9464 4986 58358 5361 66300 6164 18632 10150 10487 45433 9781 5200 60414 5886 67117 5680 19097 10319 10724 45820 9921 5432 61173 5944 69733 6217 19266 10688 10748 46919 10427 6010 63356 6377 624410 empl. 644111 0 39672 69473 131554 240699 224966 85871 551536 92575 664343 0 39064 68169 135350 242583 231348 92495 566426 97917 699589 0 38952 68716 139961 247629 245549 101860 595038 104551 746893 0 40071 69603 142685 252359 254589 108005 614953 131940 753374 0 41707 71997 144184 257888 257775 113924 629587 123787 624410 ann. pay. 7513283 103804 371240 681958 1395397 2552399 2664586 1244299 6461284 1051999 8245850 119773 402532 701118 1502337 2725760 2866395 1401098 6993253 1252597 9223193 169551 419773 741940 1604859 2936123 3156050 1627534 7719707 1503486 10148513 137335 445587 785665 1715268 3083855 3408057 1852450 8344362 1804151 10824999 146894 449369 842426 1786472 3225161 3573310 2019798 8818269 2006730 624410 rec. 22557876 406684 1293991 1816334 3431890 6948899 6723125 4565696 18237720 4320156 711110 firms 3451 584 1487 470 325 2866 427 135 3428 23 3273 468 1397 490 303 2658 462 131 3251 22 3320 526 1355 475 333 2689 468 140 3297 23 3303 470 1371 465 346 2652 473 154 3279 24 3368 513 1429 426 339 2707 486 150 3343 25 711110 estab. 3505 584 1488 470 328 2870 447 158 3475 30 3322 469 1397 491 308 2665 481 146 3292 30 3367 526 1355 476 335 2692 488 153 3333 34 3354 473 1372 465 350 2660 487 173 3320 34 3449 513 1429 430 342 2714 517 177 3408 41 711110 empl. 59229 0 2961 3102 4374 10437 18056 22672 51165 8064 61710 0 2853 3249 4116 10218 20041 22189 52448 9262 63401 0 2810 3080 4565 10455 20146 23788 54389 9012 66438 0 2813 3071 4635 10519 19985 26258 56762 9676 66925 0 2981 2839 4692 10512 21281 25124 56917 10008 711110 ann. pay. 1289480 53723 94137 69378 78406 295644 330860 439307 1065811 223669 1349502 43546 91251 70554 79096 284447 384287 466303 1135037 214465 1468581 52472 110150 70413 106244 339279 397492 474757 1211528 257053 1516587 53407 113818 69098 89219 325542 390752 534930 1251224 265363 1602590 49918 106145 72761 88124 316948 421013 555589 1293550 309040 711110 rec. 5337276 181447 425091 239608 299972 1146118 1330175 1798805 4275098 1062178 711120 firms 576 79 251 77 67 474 84 16 574 2 586 86 247 79 71 483 80 21 584 2 579 70 248 84 73 475 79 23 577 2 599 82 253 91 76 502 73 22 597 2 644 104 267 96 76 543 77 23 643 1 711120 estab. 581 79 251 78 68 476 86 17 579 2 591 86 247 80 72 485 82 22 589 2 584 70 248 85 74 477 81 23 581 3 604 82 253 92 77 504 75 22 601 3 648 104 267 97 76 544 79 24 647 1 711120 empl. 9553 0 510 517 889 1916 3522 [h] [i] [f] 10217 0 508 514 944 1966 [h] 4354 [i] [f] 10688 0 525 574 973 2072 [h] 4405 [i] [f] 10904 0 513 605 1033 2151 [h] 4763 [j] [f] 9970 0 540 642 1001 2183 [h] [h] [i] [a] 711120 ann. pay. 177805 5359 10937 5731 12880 34907 58966 (D) (D) (D) 194730 9242 11727 6006 13930 40905 (D) 83974 (D) (D) 215867 2945 11071 8216 14225 36457 (D) 106028 (D) (D) 217841 7078 11134 8292 17758 44262 (D) 97644 (D) (D) 210335 6267 11639 10403 13454 41763 (D) (D) (D) (D) 711120 rec. 570020 23535 46896 33060 38334 141825 (D) (D) (D) (D) 711130 firms 4720 1058 2311 648 375 4392 228 93 4713 7 4594 852 2388 669 353 4262 231 89 4582 12 4486 821 2274 661 370 4126 257 94 4477 9 4554 871 2334 684 316 4205 244 97 4546 8 4532 880 2400 611 325 4216 222 84 4522 10 711130 estab. 4732 1058 2311 650 377 4396 229 98 4723 9 4604 852 2388 670 355 4265 233 92 4590 14 4497 822 2274 662 371 4129 259 98 4486 11 4562 871 2334 685 316 4206 247 101 4554 8 4552 881 2401 612 326 4220 229 90 4539 13 711130 empl. 40833 0 4530 4182 4954 13666 10220 15824 39710 1123 42616 0 4646 4364 4752 13762 [i] 14445 [k] [h] 43985 0 4427 4300 4958 13685 [j] 16207 [k] [h] 42957 0 4533 4484 4172 13189 [j] 16459 [k] [h] 48959 0 4676 3930 4314 12920 [j] 15173 [k] [j] 711130 ann. pay. 1228814 128827 156289 108529 177434 571079 232560 370979 1174618 54196 1289181 80152 195020 124780 190922 590874 (D) 366642 (D) (D) 1340707 75445 185147 137164 183402 581158 (D) 407542 (D) (D) 1349035 98039 236979 125267 181514 641799 (D) 414247 (D) (D) 1316162 90047 224095 126401 158903 599446 (D) 354548 (D) (D) 711130 rec. 4146826 308403 847121 500768 660513 2316805 (D) 755632 (D) (D) 711190 firms 914 246 414 97 69 826 74 9 909 5 802 184 386 91 59 720 71 8 799 3 783 203 341 82 66 692 81 7 780 3 784 192 365 84 56 697 77 7 781 3 702 182 321 68 61 632 60 7 699 3 711190 estab. 971 246 414 97 72 829 81 18 928 43 825 184 387 91 59 721 80 16 817 8 805 203 341 82 66 692 94 11 797 8 807 192 365 84 56 697 93 10 800 7 717 182 321 68 62 633 67 10 710 7 711190 empl. 8530 0 759 652 941 2352 2660 [g] [i] [g] 7427 0 722 598 844 2164 [h] 1163 [i] [g] 8300 0 632 536 923 2091 [h] 1166 [i] [g] 7507 0 676 542 749 1967 [h] 973 [i] [g] 6677 0 566 439 829 1834 [g] [g] [i] [g] 711190 ann. pay. 233270 20413 45352 13079 33560 112404 41741 (D) (D) (D) 219345 20783 41868 14751 16927 94329 (D) 25110 (D) (D) 226098 26274 35461 13085 15648 90468 (D) 23057 (D) (D) 260125 23353 42688 50332 15164 131537 (D) 25415 (D) (D) 202025 18399 32741 19891 16184 87215 (D) (D) (D) (D) 711190 rec. 776776 58611 100020 47624 58584 264839 (D) (D) (D) (D) 711211 firms 601 110 118 59 67 354 137 83 574 27 610 121 111 66 64 362 138 86 586 24 628 106 137 62 77 382 136 78 596 32 684 111 158 88 73 430 136 91 657 27 719 133 172 76 81 462 137 88 687 32 711211 estab. 633 110 119 59 67 355 140 91 586 47 667 132 112 66 64 374 139 108 621 46 684 106 138 62 78 384 137 109 630 54 735 111 159 88 73 431 138 113 682 53 767 133 172 76 82 463 139 105 707 60 711211 empl. 32700 0 248 412 938 1598 5583 15370 22551 10149 32037 0 248 473 912 1633 5651 16520 23804 8233 36344 0 300 415 1094 1809 5633 14895 22337 14007 40054 0 324 595 1020 1939 5043 18695 25677 14377 38371 0 348 514 1144 2006 5151 16648 23805 14566 711211 ann. pay. 5717642 27925 14691 15542 33670 91828 756373 3833674 4681875 1035767 6707965 28159 12272 20358 34883 95672 919537 4506352 5521561 1186404 7587075 23260 14670 15883 41275 95088 1036992 4441244 5573324 2013751 8268207 9206 19465 29332 37325 95328 749035 5496143 6340506 1927701 8782649 9971 21549 21462 43177 96159 453586 5650210 6199955 2582694 711211 rec. 12647534 41557 58533 63789 136288 300167 766694 8052069 9118930 3528604 711212 firms 846 281 233 102 55 671 72 65 808 38 810 225 260 98 58 641 67 68 776 34 821 238 251 95 57 641 90 59 790 31 802 209 273 88 54 624 86 64 774 28 797 256 258 71 40 625 85 61 771 26 711212 estab. 918 281 236 105 56 678 78 74 830 88 888 225 266 98 58 647 70 82 799 89 899 238 255 95 59 647 97 69 813 86 881 209 273 89 56 627 92 75 794 87 879 256 258 77 40 631 90 73 794 85 711212 empl. 42890 0 478 654 688 1820 [h] 14047 [j] [j] 42522 0 517 643 773 1933 [h] 14329 [j] [j] 45792 0 502 603 758 1863 [h] 13560 [j] [k] 45183 0 548 588 704 1840 3923 13719 19482 25701 44882 0 515 462 528 1505 [h] 12177 [j] [k] 711212 ann. pay. 818498 11671 17618 13938 14709 57936 (D) 212032 (D) (D) 880445 8707 23052 14279 16548 62586 (D) 236535 (D) (D) 994436 14078 18100 13024 17137 62339 (D) 232893 (D) (D) 988946 8449 20397 14915 14149 57910 98986 250050 406946 582000 1027926 11085 21948 12819 14079 59931 (D) 228088 (D) (D) 711212 rec. 6261154 96144 136264 90993 71106 394507 (D) 1114348 (D) (D) 711219 firms 2735 571 1388 359 234 2552 166 14 2732 3 2784 586 1402 349 257 2594 172 16 2782 2 2846 581 1406 406 256 2649 176 18 2843 3 2938 596 1468 407 256 2727 186 20 2933 5 2738 552 1380 391 224 2547 164 20 2731 7 711219 estab. 2771 571 1391 362 238 2562 180 24 2766 5 2817 586 1406 359 258 2609 184 19 2812 5 2878 581 1407 416 258 2662 187 23 2872 6 2968 596 1469 415 257 2737 196 25 2958 10 2772 552 1381 395 226 2554 183 25 2762 10 711219 empl. 15485 0 2698 2363 3073 8134 [i] 1434 [j] [e] 16484 0 2692 2270 3465 8427 [i] 1984 [j] [c] 18060 0 2703 2639 3459 8801 [i] 2607 [j] [c] 19147 0 2803 2721 3415 8939 6992 2910 18841 306 18251 0 2633 2574 2994 8201 [i] 3426 [j] [e] 711219 ann. pay. 523518 41359 116428 51841 82392 292020 (D) 56798 (D) (D) 570768 34434 103680 69990 99005 307109 (D) 85615 (D) (D) 633437 40151 107849 77468 89178 314646 (D) 103684 (D) (D) 697438 36112 112488 84252 93099 325951 210800 138401 675152 22286 705102 42197 105887 68675 122783 339542 (D) 137259 (D) (D) 711219 rec. 2634562 145946 448938 270254 384714 1249852 (D) 502302 (D) (D) 711310 firms 908 165 348 120 89 722 121 39 882 26 956 187 343 119 92 741 128 60 929 27 1034 203 382 142 91 818 123 67 1008 26 1112 188 429 136 116 869 149 67 1085 27 1355 231 548 170 133 1082 169 70 1321 34 711310 estab. 976 166 348 121 92 727 131 53 911 65 1030 187 343 120 94 744 137 80 961 69 1107 203 383 142 94 822 131 85 1038 69 1184 188 430 137 118 873 158 86 1117 67 1451 233 548 171 133 1085 177 91 1353 98 711310 empl. 34481 0 685 798 1248 2731 5488 7951 16170 18311 41246 0 709 797 1255 2761 5461 12025 20247 20999 44268 0 808 969 1236 3013 5110 12897 21020 23248 48304 0 843 879 1581 3303 6635 14213 24151 24153 51137 0 1063 1114 1768 3945 7018 13230 24193 26944 711310 ann. pay. 570181 7586 18053 19027 25560 70226 88708 145738 304672 265509 782023 10487 20298 18707 28291 77783 100187 203437 381407 400616 787309 15663 25228 26992 25941 93824 90821 237460 422105 365204 941537 11021 32645 21605 44000 109271 125955 272146 507372 434165 1069285 14486 33512 29566 49255 126819 134452 290691 551962 517323 711310 rec. 3967111 134971 185194 187519 196870 704554 548267 1001082 2253903 1713208 711320 firms 3082 754 1500 382 222 2858 175 33 3066 16 3137 756 1533 388 220 2897 189 33 3119 18 3200 754 1564 402 216 2936 207 37 3180 20 3206 774 1535 429 222 2960 186 39 3185 21 3454 778 1770 441 210 3199 200 32 3431 23 711320 estab. 3127 755 1500 385 223 2863 181 46 3090 37 3194 757 1535 390 221 2903 198 39 3140 54 3287 755 1566 403 216 2940 216 40 3196 91 3272 774 1535 430 224 2963 194 56 3213 59 3557 778 1770 443 214 3205 224 59 3488 69 711320 empl. 23410 0 2891 2487 2956 8334 6616 5022 19972 3438 24167 0 3025 2561 2921 8507 7566 4058 20131 4036 27578 0 3065 2625 2894 8584 7964 5633 22181 5397 25624 0 3001 2812 2954 8767 7132 5480 21379 4245 28869 0 3408 2861 2705 8974 7310 4037 20321 8548 711320 ann. pay. 795335 47702 152546 77354 109755 387357 193712 107816 688885 106450 890764 49954 190850 76133 89641 406578 241228 124252 772058 118706 1129926 62278 210559 91288 87239 451364 227921 212414 891699 238227 1068338 75464 195432 94701 92810 458407 214544 208803 881754 186584 1139486 61406 195005 102360 92773 451544 235079 184531 871154 268332 711320 rec. 6551232 339130 925098 589257 429494 2282979 1084184 1004156 4371319 2179913 711410 firms 2729 509 1586 394 134 2623 89 8 2720 9 2784 578 1534 413 145 2670 94 9 2773 11 2992 613 1674 418 167 2872 98 12 2982 10 3048 612 1755 411 151 2929 97 13 3039 9 3476 711 2078 414 146 3349 100 17 3466 10 711410 estab. 2788 509 1587 397 145 2638 109 10 2757 31 2837 578 1535 416 156 2685 112 11 2808 29 3048 613 1675 422 177 2887 117 15 3019 29 3107 612 1757 417 158 2944 111 24 3079 28 3551 711 2080 418 158 3367 125 30 3522 29 711410 empl. 14253 0 3135 2494 1712 7341 3513 1503 12357 1896 15069 0 3026 2597 1900 7523 3629 1823 12975 2094 15979 0 3267 2675 2158 8100 3751 1896 13747 2232 16220 0 3410 2628 1903 7941 3953 2200 14094 2126 17052 0 3902 2619 1888 8409 3705 2317 14431 2621 711410 ann. pay. 954736 44996 170433 130063 84468 429960 196404 112000 738364 216372 1037071 69085 164942 149112 88694 471833 200514 139973 812320 224751 1117482 63353 168734 142897 112754 487738 218160 152828 858726 258756 1139323 74285 188508 139256 92512 494561 221167 168630 884358 254965 1281125 71990 204887 167792 127945 572614 272742 109572 954928 326197 711410 rec. 3521784 225594 832561 539047 336637 1933839 607576 237420 2778835 742949 711510 firms 11746 3701 6729 756 331 11517 197 23 11737 9 12108 3929 6748 758 359 11794 268 33 12095 13 12682 4241 6836 857 414 12348 290 33 12671 11 13344 4464 7298 891 386 13039 266 31 13336 8 15826 5794 8449 904 427 15574 211 29 15814 12 711510 estab. 11768 3701 6734 756 334 11525 201 27 11753 15 12131 3931 6751 758 360 11800 276 38 12114 17 12703 4243 6838 857 418 12356 296 35 12687 16 13366 4464 7300 891 391 13046 273 39 13358 8 15848 5795 8451 907 431 15584 217 34 15835 13 711510 empl. 30718 0 10616 4858 4341 19815 7175 2450 29440 1278 36886 0 10805 4919 4696 20420 9614 4133 34167 2719 37524 0 11066 5533 5431 22030 10793 3980 36803 721 39407 0 11790 5778 5049 22617 9897 4520 37034 2373 39236 0 13725 5766 5568 25059 7734 5239 38032 1204 711510 ann. pay. 3494555 688162 1865872 373980 164492 3092506 214501 164420 3471427 23128 3458716 738170 1837980 287516 168896 3032562 244919 91391 3368872 89844 3589333 788950 1736130 390273 239532 3154885 332673 75429 3562987 26346 3946090 880156 2085968 320184 225202 3511510 308487 91386 3911383 34707 4317954 1065728 2249299 389399 224889 3929315 226095 135836 4291246 26708 711510 rec. 9490621 2498201 4533098 964353 631162 8626814 557664 220944 9405422 85199 712110 firms 3714 312 1783 614 400 3109 454 132 3695 19 3749 259 1790 628 430 3107 481 138 3726 23 3789 298 1745 634 430 3107 501 155 3763 26 3936 339 1778 674 448 3239 519 151 3909 27 4224 420 1943 680 466 3509 537 153 4199 25 712110 estab. 3903 312 1785 618 421 3136 517 217 3870 33 3940 259 1792 631 451 3133 545 227 3905 35 3988 298 1747 636 447 3128 569 236 3933 55 4140 339 1780 676 463 3258 586 247 4091 49 4464 420 1944 685 488 3537 623 266 4426 38 712110 empl. 66057 0 3694 3995 5444 13133 18723 22204 54060 11997 71382 0 3713 4135 5736 13584 19972 24312 57868 13514 75400 0 3659 4191 5754 13604 19879 26514 59997 15403 76831 0 3673 4429 6021 14123 21164 24997 60284 16547 77952 0 4113 4447 6220 14780 22296 25502 62578 15374 712110 ann. pay. 1441234 5374 61915 67702 93662 228653 374620 504843 1108116 333118 1602612 4251 64511 72935 102967 244664 405591 562639 1212894 389718 1764538 6360 64968 78097 111677 261102 418383 645499 1324984 439554 1907012 6801 70559 85186 119300 281846 473071 633939 1388856 518156 1973092 7825 77045 92674 126325 303869 505356 687276 1496501 476591 712110 rec. 5920808 41062 356098 339718 440082 1176960 1568224 1847393 4592577 1328231 712120 firms 865 84 517 104 71 776 72 14 862 3 852 70 517 104 78 769 65 15 849 3 851 74 503 108 75 760 71 17 848 3 853 69 497 127 74 767 67 15 849 4 950 111 535 133 83 862 68 15 945 5 712120 estab. 903 84 518 105 74 781 79 39 899 4 891 70 517 106 81 774 71 42 887 4 892 74 503 110 79 766 76 46 888 4 893 69 498 128 78 773 72 28 873 20 1002 111 535 134 92 872 74 35 981 21 712120 empl. 8410 0 972 658 940 2570 2357 [g] [i] [g] 7965 0 984 657 1061 2702 2285 [g] [i] [g] 8300 [a] 970 670 983 [h] 2526 1997 [i] [g] 8439 0 969 784 970 2723 2486 1886 7095 1344 8893 0 1045 839 1055 2939 2572 1967 7478 1415 712120 ann. pay. 132442 752 14289 9920 12755 37716 42871 (D) (D) (D) 131411 821 14514 9686 17013 42034 39997 (D) (D) (D) 143178 (D) 14970 11392 14121 (D) 45604 36454 (D) (D) 154385 1147 15709 13181 16653 46690 47191 35324 129205 25180 163526 1545 17829 14701 18051 52126 53377 34065 139568 23958 712120 rec. 461088 7217 69202 46592 51393 174404 144307 94484 413195 47893 712130 firms 382 36 103 55 57 251 84 42 377 5 390 43 98 58 42 241 95 43 379 11 400 39 115 48 46 248 92 49 389 11 444 47 128 56 59 290 95 47 432 12 508 70 147 74 54 345 99 51 495 13 712130 estab. 395 36 103 55 57 251 89 44 384 11 404 43 98 58 42 241 100 45 386 18 414 39 115 48 46 248 96 52 396 18 459 47 128 56 59 290 99 50 439 20 525 70 147 74 54 345 101 59 505 20 712130 empl. 17472 0 227 369 792 1388 3837 8578 13803 3669 19566 0 201 394 579 1174 4298 8739 14211 5355 20505 0 247 334 629 1210 4189 10252 15651 4854 21775 0 279 365 821 1465 4513 10629 16607 5168 22257 0 329 480 727 1536 4569 10771 16876 5381 712130 ann. pay. 412160 886 3735 7247 16611 28479 83530 208006 320015 92145 468919 855 3646 7744 11512 23757 93488 211461 328706 140213 508771 3456 5069 6690 12097 27312 95660 256279 379251 129520 558407 1352 5801 7056 17825 32034 106013 280060 418107 140300 581700 2543 7292 9323 16601 35759 101238 284846 421843 159857 712130 rec. 1663809 11741 29325 29411 64217 134694 264676 816103 1215473 448336 712190 firms 355 61 125 64 45 295 44 12 351 4 352 45 130 57 48 280 55 11 346 6 350 45 122 56 50 273 59 12 344 6 407 67 140 60 59 326 64 12 402 5 490 84 194 79 50 407 65 13 485 5 712190 estab. 481 61 125 64 47 297 53 66 416 65 479 45 130 58 48 281 65 39 385 94 483 45 122 56 51 274 72 48 394 89 540 67 140 60 61 328 76 52 456 84 642 84 194 79 52 409 96 53 558 84 712190 empl. 4573 0 241 414 606 1261 1395 [g] [h] [f] 5694 0 265 374 651 1290 1806 [g] [h] [g] 6175 [a] 248 358 656 [g] 1940 1266 [h] [g] 6500 0 305 391 767 1463 2258 1249 4970 1530 7021 0 381 520 670 1571 2283 1663 5517 1504 712190 ann. pay. 100492 1020 5291 6894 11730 24935 27647 (D) (D) (D) 118209 1277 5841 6197 12657 25972 34951 (D) (D) (D) 132830 (D) 5916 6269 13271 (D) 40203 39357 (D) (D) 161604 8518 7333 7406 15903 39160 49862 44717 133739 27865 181963 1889 8249 11728 13971 35837 49283 54544 139664 42299 712190 rec. 609302 11306 41901 52977 43862 150046 128253 194080 472379 136923 713110 firms 846 256 190 106 86 638 154 32 824 22 608 175 134 70 76 455 107 27 589 19 633 182 130 82 75 469 117 29 615 18 611 145 153 76 80 454 115 26 595 16 675 209 160 74 70 513 118 27 658 17 713110 estab. 931 256 190 106 86 638 157 41 836 95 689 175 134 70 76 455 108 32 595 94 716 182 130 82 75 469 119 33 621 95 700 145 153 76 80 454 119 30 603 97 772 209 160 74 70 513 124 31 668 104 713110 empl. 114786 0 385 716 1144 2245 6036 4409 12690 102096 102099 0 294 478 1015 1787 4334 4377 10498 91601 102753 0 281 558 1076 1915 4887 4205 11007 91746 98816 0 322 529 1119 1970 4992 4252 11214 87602 94107 0 337 490 983 1810 5093 4218 11121 82986 713110 ann. pay. 1879963 12686 17626 22909 35840 89061 116039 80241 285341 1594622 1962744 18057 16243 20299 30864 85463 107231 87677 280371 1682373 2010721 13154 16856 16449 30239 76698 123725 89216 289639 1721082 2043643 7721 19770 15638 34554 77683 125672 98360 301715 1741928 1858356 16987 13865 17732 35192 83776 129041 92811 305628 1552728 713110 rec. 8101592 66408 57227 60297 122254 306186 407784 273008 986978 7114614 713120 firms 1561 299 514 299 206 1318 207 21 1546 15 1525 312 519 259 213 1303 189 18 1510 15 1434 274 507 242 193 1216 184 18 1418 16 1418 314 514 205 189 1222 162 19 1403 15 1582 367 558 245 189 1359 188 22 1569 13 713120 estab. 2581 299 516 299 219 1333 254 80 1667 914 2446 312 519 261 218 1310 242 81 1633 813 2163 274 507 246 200 1227 259 56 1542 621 2083 314 515 214 200 1243 200 56 1499 584 2220 367 560 249 194 1370 265 55 1690 530 713120 empl. 27817 0 1099 2019 2683 5801 7053 2609 15463 12354 25323 0 1155 1690 2908 5753 6801 2349 14903 10420 21256 0 1131 1612 2665 5408 6410 2245 14063 7193 20485 0 1126 1357 2478 4961 5970 2664 13595 6890 22437 0 1266 1616 2517 5399 6805 3071 15275 7162 713120 ann. pay. 276588 9365 20092 23408 26557 79422 66608 27418 173448 103140 303564 10841 20567 19781 30368 81557 85822 27202 194581 108983 266333 9613 21301 21272 28756 80942 59921 28987 169850 96483 270353 11335 21064 18774 29099 80272 59994 28181 168447 101906 291444 14895 24896 21600 26101 87492 70726 36507 194725 96719 713120 rec. 1202448 62253 110846 104549 112503 390151 237038 111993 739182 463266 713210 firms 520 76 75 69 40 260 95 100 455 65 472 62 60 56 44 222 89 95 406 66 460 38 63 56 38 195 96 99 390 70 486 54 69 46 45 214 93 106 413 73 465 39 58 45 43 185 92 112 389 76 713210 estab. 595 76 75 69 40 260 98 135 493 102 546 64 60 56 44 224 90 126 440 106 537 38 65 56 38 197 97 131 425 112 562 54 69 46 45 214 93 138 445 117 562 39 58 45 43 185 97 152 434 128 713210 empl. 119820 0 145 447 525 1117 4372 22649 28138 91682 128446 0 126 374 582 1082 4307 22169 27558 100888 150218 0 129 387 502 1018 4498 24093 29609 120609 156151 0 142 299 563 1004 4407 25420 30831 125320 163956 0 132 298 578 1008 4620 27185 32813 131143 713210 ann. pay. 2611157 8596 11378 11710 9707 41391 71551 422555 535497 2075660 3077079 20706 2830 5610 12903 42049 126601 451922 620572 2456507 3592162 15377 5014 5296 9080 34767 80645 538303 653715 2938447 4007402 29482 5911 6897 15416 57706 102815 599492 760013 3247389 4120898 26430 8189 5274 14590 54483 87772 607050 749305 3371593 713210 rec. 18687578 128219 50783 29654 49369 258025 462419 2675569 3396013 15291565 713290 firms 1665 194 501 348 288 1331 237 63 1631 34 1417 148 416 258 266 1088 215 77 1380 37 1366 148 412 232 259 1051 201 73 1325 41 1322 151 400 222 244 1017 196 68 1281 41 1372 151 401 248 270 1070 190 69 1329 43 713290 estab. 1931 194 503 355 290 1342 277 190 1809 122 1692 148 418 258 281 1105 254 198 1557 135 1654 148 414 238 269 1069 236 188 1493 161 1613 151 405 224 257 1037 228 180 1445 168 1662 153 403 249 275 1080 246 158 1484 178 713290 empl. 47101 0 1117 2368 3814 7299 8321 12009 27629 19472 50238 0 897 1746 3558 6201 7840 14113 28154 22084 52382 0 879 1540 3489 5908 7552 13726 27186 25196 59485 0 856 1480 3178 5514 7142 12778 25434 34051 57922 0 881 1647 3631 6159 6735 11747 24641 33281 713290 ann. pay. 862022 6031 17948 34759 40196 98934 123184 237870 459988 402034 1021464 5127 20552 28238 44666 98583 114919 295681 509183 512281 1164534 7186 16099 39310 41986 104581 109385 319809 533775 630759 1392224 5134 17841 20416 37656 81047 114920 311036 507003 885221 1383347 10862 20784 21254 41063 93963 121087 302056 517106 866241 713290 rec. 8220836 69924 142413 145893 331474 689704 755395 2222435 3667534 4553302 713910 firms 10986 1305 2745 1782 1607 7439 3043 413 10895 91 11003 1248 2778 1780 1613 7419 3065 428 10912 91 11058 1264 2622 1735 1677 7298 3187 484 10969 89 11020 1198 2864 1715 1596 7373 3077 480 10930 90 11011 1617 2554 1555 1558 7284 3165 471 10920 91 713910 estab. 11755 1305 2745 1786 1620 7456 3113 484 11053 702 11809 1252 2781 1784 1629 7446 3132 494 11072 737 11885 1265 2622 1738 1687 7312 3250 563 11125 760 11861 1198 2865 1719 1608 7390 3129 567 11086 775 11842 1618 2554 1562 1570 7304 3245 581 11130 712 713910 empl. 270260 0 6266 11989 22029 40284 138822 55296 234402 35858 280053 0 6286 12021 22157 40464 140228 57562 238254 41799 297876 0 5907 11697 23037 40641 145138 65439 251218 46658 295095 0 6343 11492 21849 39684 141803 66862 248349 46746 290041 0 5974 10421 21487 37882 146889 64260 249031 41010 713910 ann. pay. 5562133 70318 210220 281212 446843 1008593 2707417 1069820 4785830 776303 5816678 73085 226151 291239 460256 1050731 2825801 1177727 5054259 762419 6243095 64721 197748 270202 464157 996828 2965259 1361500 5323587 919508 6472021 72656 245117 303648 499401 1120822 3058883 1420629 5600334 871687 6590959 129425 226969 284080 499549 1140023 3273281 1396560 5809864 781095 713910 rec. 16857370 455115 733979 851738 1448114 3488946 7849824 3249565 14588335 2269035 713920 firms 367 32 54 42 40 168 71 95 334 33 365 31 64 33 34 162 76 94 332 33 358 31 66 37 39 173 70 85 328 30 372 38 63 35 41 177 72 90 339 33 344 24 68 34 35 161 66 84 311 33 713920 estab. 400 32 54 42 40 168 71 102 341 59 395 31 64 33 34 162 76 99 337 58 389 31 66 37 39 173 70 91 334 55 404 38 63 35 41 177 72 95 344 60 379 24 68 34 35 161 66 89 316 63 713920 empl. 55738 0 110 274 556 940 3117 20637 24694 31044 60097 0 129 227 473 829 3460 20229 24518 35579 56860 0 134 264 505 903 3233 19130 23266 33594 63906 0 116 245 581 942 3580 20281 24803 39103 63872 0 143 226 474 843 3152 18856 22851 41021 713920 ann. pay. 420948 675 1760 3038 3238 8711 18355 114977 142043 278905 425577 1451 1644 2401 3350 8846 19680 106616 135142 290435 452407 875 2108 3790 6831 13604 18837 119296 151737 300670 494642 1274 3151 2631 4772 11828 19868 119329 151025 343617 520891 616 2629 3057 5832 12134 20879 116060 149073 371818 713920 rec. 1675962 2174 12187 13262 19411 47034 60645 323551 431230 1244732 713930 firms 4136 676 2008 771 417 3872 215 31 4118 18 4076 606 1981 784 433 3804 225 28 4057 19 4038 603 1882 795 478 3758 239 22 4019 19 4021 595 1878 788 478 3739 236 24 3999 22 3906 710 1770 730 430 3640 215 31 3886 20 713930 estab. 4227 678 2008 772 427 3885 238 46 4169 58 4170 606 1982 786 444 3818 245 42 4105 65 4126 603 1883 797 490 3773 259 57 4089 37 4121 595 1882 790 487 3754 263 35 4052 69 4021 710 1773 736 441 3660 248 45 3953 68 713930 empl. 23167 0 4295 5043 5366 14704 6161 1363 22228 939 24016 0 4206 5146 5631 14983 6507 1158 22648 1368 24824 0 4137 5209 6254 15600 7392 1107 24099 725 24660 0 4046 5116 6229 15391 7030 1088 23509 1151 23047 0 3915 4722 5619 14256 6211 1462 21929 1118 713930 ann. pay. 564470 18299 105200 116901 127087 367487 150439 27685 545611 18859 599112 16818 106012 121624 136224 380678 164948 23480 569106 30006 640131 15042 103908 124982 159171 403103 191597 24034 618734 21397 674576 19538 108504 128953 159434 416429 188520 29927 634876 39700 675529 23841 109680 129822 157061 420404 178395 41049 639848 35681 713930 rec. 3289466 142109 589296 642458 743212 2117075 858349 161601 3137025 152441 713940 firms 20141 4310 6223 2955 2611 16099 3402 492 19993 148 20402 4245 6413 3062 2649 16369 3358 522 20249 153 20891 4405 6541 3074 2775 16795 3387 553 20735 156 21769 4690 6993 3122 2781 17586 3446 572 21604 165 22857 5313 6869 3481 2905 18568 3534 596 22698 159 713940 estab. 21942 4322 6228 2965 2639 16154 3735 917 20806 1136 22401 4253 6417 3070 2669 16409 3672 894 20975 1426 23003 4415 6544 3087 2802 16848 3673 960 21481 1522 24068 4699 7000 3137 2811 17647 3697 1043 22387 1681 25477 5313 6877 3490 2932 18612 3853 1103 23568 1909 713940 empl. 343556 0 13132 19907 35440 68479 132074 72153 272706 70850 357466 0 13467 20654 36430 70551 131875 75695 278121 79345 382808 0 13701 20584 38035 72320 134219 83638 290177 92631 399434 0 14734 20958 37837 73529 135928 85671 295128 104306 422294 0 14949 23101 39788 77838 137962 90146 305946 116348 713940 ann. pay. 3673968 117775 192888 207601 338533 856797 1236140 769068 2862005 811963 4035119 142033 221353 224536 366856 954778 1257202 860229 3072209 962910 4498973 125265 227745 244190 398490 995690 1335589 960845 3292124 1206849 4844349 139764 248443 252898 429608 1070713 1394436 1032628 3497777 1346572 5024407 144612 239145 276166 435014 1094937 1428453 1075656 3599046 1425361 713940 rec. 15036862 537334 998330 967585 1395179 3898428 3969112 2694755 10562295 4474567 713950 firms 4691 289 1082 847 1168 3386 1251 46 4683 8 4597 314 1091 835 1118 3358 1195 35 4588 9 4545 353 1060 769 1106 3288 1208 41 4537 8 4391 300 1021 764 1061 3146 1195 41 4382 9 4233 282 946 754 1035 3017 1163 43 4223 10 713950 estab. 5400 291 1083 849 1173 3396 1333 123 4852 548 5291 314 1092 835 1122 3363 1285 99 4747 544 5234 354 1060 770 1111 3295 1303 99 4697 537 5059 300 1021 765 1067 3153 1289 97 4539 520 4898 282 946 754 1040 3022 1251 108 4381 517 713950 empl. 86523 0 2555 5842 16168 24565 41288 5128 70981 15542 84241 0 2529 5695 15498 23722 39929 4376 68027 16214 87867 0 2415 5244 15146 22805 40662 5058 68525 19342 84562 0 2400 5208 14574 22182 39755 4587 66524 18038 81617 0 2230 5166 14347 21743 39288 4880 65911 15706 713950 ann. pay. 822107 8665 27483 48416 140935 225499 380573 51522 657594 164513 846650 10095 29966 52513 141857 234431 388859 50573 673863 172787 887757 12911 29335 49301 142095 233642 407582 59644 700868 186889 888712 8825 30248 52349 141233 232655 415881 60864 709400 179312 919348 10654 26414 50747 146187 234002 421831 69407 725240 194108 713950 rec. 3057184 48115 146369 207070 506020 907574 1320303 183000 2410877 646307 713990 firms 14151 3704 5982 2163 1313 13162 826 113 14101 50 14168 3323 6166 2232 1370 13091 899 121 14111 57 13894 3112 5972 2224 1417 12725 979 127 13831 63 14067 3163 6141 2177 1428 12909 979 122 14010 57 13207 3488 5244 2044 1335 12111 913 125 13149 58 713990 estab. 14656 3707 5987 2174 1343 13211 969 244 14424 232 14727 3325 6173 2245 1395 13138 1042 238 14418 309 14473 3115 5979 2238 1445 12777 1102 306 14185 288 14618 3166 6147 2193 1446 12952 1108 270 14330 288 13718 3490 5251 2052 1360 12153 1072 262 13487 231 713990 empl. 86474 0 12266 14223 17121 43610 26628 9999 80237 6237 93063 0 12612 14764 18039 45415 29526 10059 85000 8063 102354 0 12230 14651 18542 45423 33171 13449 92043 10311 102478 0 12587 14373 18924 45884 32834 12876 91594 10884 95246 0 10999 13468 17696 42163 30354 12122 84639 10607 713990 ann. pay. 1483276 107212 219676 215251 245998 788137 394114 190615 1372866 110410 1626207 104571 244213 233741 273382 855907 467228 171474 1494609 131598 1808225 94117 251131 231523 279296 856067 562716 205186 1623969 184256 1870067 91988 270841 231469 295308 889606 547492 241388 1678486 191581 1784278 103251 236608 238670 285570 864099 533263 208045 1605407 178871 713990 rec. 6865068 506553 1143621 1015817 1130381 3796372 1684981 663350 6144703 720365 721110 firms 35385 4839 10419 5220 6196 26674 6839 1449 34962 423 35408 4588 10581 5125 6460 26754 6846 1388 34988 420 35610 4589 10464 5201 6495 26749 7110 1344 35203 407 36185 4516 10753 5279 6758 27306 7167 1303 35776 409 36667 4832 10328 5756 6988 27904 7136 1246 36286 381 721110 estab. 44286 4843 10439 5267 6327 26876 7621 2526 37023 7263 44832 4597 10605 5167 6617 26986 7581 2444 37011 7821 45554 4599 10501 5248 6647 26995 7806 2488 37289 8265 45972 4535 10787 5335 6922 27579 7843 2419 37841 8131 46440 4833 10340 5794 7145 28112 7934 2608 38654 7786 721110 empl. 1343314 0 21934 35366 85548 142848 263736 248878 655462 687852 1364320 0 22330 34637 89847 146814 263242 237349 647405 716915 1378844 0 22230 35017 90241 147488 269873 232421 649782 729062 1377158 0 22990 35814 93832 152636 270785 226715 650136 727022 1312857 0 22658 38803 97685 159146 269124 214427 642697 670160 721110 ann. pay. 21906277 367087 300504 402049 939499 2009139 3275400 3809126 9093665 12812612 23289646 247914 340169 412764 1040732 2041579 3407579 3849856 9299014 13990632 25181023 484632 333401 434174 1064911 2317118 3623807 3978125 9919050 15261973 24806674 264135 357915 458697 1153514 2234261 3716942 3838552 9789755 15016919 24660984 266744 365535 504756 1224188 2361223 3862536 3870997 10094756 14566228 721110 rec. 89767226 1391154 2194249 2399614 5152622 11137639 14113189 11980741 37231569 52535657 721120 firms 201 14 12 6 11 43 36 39 118 83 188 12 9 7 12 40 26 42 108 80 185 13 11 11 6 41 32 40 113 72 194 10 16 15 13 54 34 41 129 65 218 20 28 15 15 78 31 41 150 68 721120 estab. 295 14 12 6 11 43 36 40 119 176 279 13 9 7 12 41 26 42 109 170 288 13 11 11 6 41 32 41 114 174 304 10 16 15 13 54 34 45 133 171 333 20 28 15 15 78 31 43 152 181 721120 empl. 291489 0 26 45 146 217 1815 10104 12136 279353 298890 0 18 50 161 229 1346 10591 12166 286724 311576 0 26 81 80 187 1541 10567 12295 299281 296839 0 34 101 182 317 1471 10317 12105 284734 301909 0 60 103 209 372 1511 9917 11800 290109 721120 ann. pay. 6928844 21138 1042 408 5208 27796 35212 169095 232103 6696741 7635321 5711 242 1724 1653 9330 27616 278793 315739 7319582 8142986 4674 561 2905 796 8936 28510 187490 224936 7918050 7837147 1004 9588 2654 5049 18295 34913 219176 272384 7564763 7886229 15003 1614 3885 2211 22713 22293 199422 244428 7641801 721120 rec. 26088854 59606 10855 9280 8439 88180 76872 608989 774041 25314813 721191 firms 3045 584 1444 502 313 2843 183 13 3039 6 2977 516 1415 493 337 2761 201 10 2972 5 2976 541 1370 497 338 2746 210 14 2970 6 3019 521 1424 492 348 2785 214 15 3014 5 3293 682 1563 498 332 3075 193 20 3288 5 721191 estab. 3068 584 1446 502 318 2850 186 23 3059 9 3000 516 1415 493 342 2766 206 20 2992 8 2999 541 1370 497 343 2751 215 24 2990 9 3042 521 1424 493 350 2788 218 28 3034 8 3325 682 1563 498 337 3080 196 41 3317 8 721191 empl. 17001 0 2856 3274 4056 10186 5560 [f] [j] [f] 18172 0 2847 3191 4433 10471 6320 854 17645 527 19029 0 2740 3290 4464 10494 6599 [g] [j] [e] 19665 0 2830 3212 4628 10670 6689 [g] [j] [f] 19454 0 3191 3189 4336 10716 5990 [g] [j] [g] 721191 ann. pay. 208256 13135 31914 34689 44430 124168 66677 (D) (D) (D) 228807 10674 34161 35849 48556 129240 79707 12775 221722 7085 253829 11332 33491 37899 53681 136403 85317 (D) (D) (D) 265061 10223 35901 37548 56808 140480 89305 (D) (D) (D) 264284 12769 38581 40241 54046 145637 81842 (D) (D) (D) 721191 rec. 991314 80538 216030 158507 191887 646962 239302 (D) (D) (D) 721199 firms 840 276 373 101 58 808 21 8 837 3 833 281 364 95 59 799 24 7 830 3 876 284 382 113 58 837 31 6 874 2 874 236 423 107 67 833 32 7 872 2 1413 403 660 208 81 1352 49 9 1410 3 721199 estab. 859 276 373 101 59 809 27 13 849 10 851 281 364 95 60 800 30 11 841 10 895 284 382 113 59 838 37 11 886 9 888 236 423 107 68 834 40 11 885 3 1433 403 661 208 81 1353 62 14 1429 4 721199 empl. 4102 0 720 651 739 2110 793 [f] [h] [e] 4100 0 721 611 752 2084 984 605 3673 427 4621 0 727 703 737 2167 1269 [f] [h] [e] 4661 0 823 679 857 2359 1233 [f] [h] [f] 7847 0 1407 1323 1060 3790 1767 [g] [i] [g] 721199 ann. pay. 65243 7673 10066 8270 11483 37492 9128 (D) (D) (D) 66621 5480 11222 9580 10751 37033 14355 8782 60170 6451 83117 7246 11826 10336 11220 40628 22965 (D) (D) (D) 77245 5152 14264 8904 12273 40593 19650 (D) (D) (D) 156870 8681 26181 22562 16459 73883 27411 (D) (D) (D) 721199 rec. 566932 51233 135747 100713 62884 350577 89421 (D) (D) (D) 721211 firms 3809 1078 1761 547 252 3638 139 19 3796 13 3615 971 1695 538 232 3436 145 20 3601 14 3526 917 1648 550 226 3341 151 20 3512 14 3578 935 1712 509 242 3398 143 24 3565 13 3823 1118 1738 543 234 3633 154 23 3810 13 721211 estab. 3989 1078 1763 549 260 3650 194 44 3888 101 3783 972 1696 542 239 3449 182 36 3667 116 3691 919 1648 554 231 3352 185 39 3576 115 3750 935 1714 513 246 3408 180 43 3631 119 4063 1118 1742 548 246 3654 226 65 3945 118 721211 empl. 17171 0 3630 3542 3152 10324 4239 928 15491 1680 17467 0 3488 3499 2991 9978 4294 943 15215 2252 17683 0 3393 3528 2796 9717 4591 1079 15387 2296 17844 0 3543 3289 3009 9841 4309 1507 15657 2187 18073 0 3562 3485 2990 10037 4429 1555 16021 2052 721211 ann. pay. 315542 22078 66834 55992 49960 194864 66635 19059 280558 34984 325675 19960 68026 57255 46462 191703 76905 15932 284540 41135 333909 19255 66180 58837 46428 190700 82213 18068 290981 42928 350570 20063 72935 57681 51591 202270 77900 25504 305674 44896 371121 27679 72550 64548 58402 223179 82334 26458 331971 39150 721211 rec. 1740039 184487 406102 336680 236625 1163894 324154 109125 1597173 142866 721214 firms 3206 877 1185 426 275 2763 302 94 3159 47 3108 793 1173 418 280 2664 313 85 3062 46 3045 728 1155 412 293 2588 315 93 2996 49 3008 672 1138 427 317 2554 306 94 2954 54 2961 698 1057 439 286 2480 326 99 2905 56 721214 estab. 3441 877 1189 430 300 2796 438 120 3354 87 3340 793 1177 423 299 2692 453 112 3257 83 3284 728 1159 417 316 2620 441 136 3197 87 3250 672 1139 430 345 2586 437 132 3155 95 3217 702 1058 443 303 2506 465 147 3118 99 721214 empl. 18959 0 2329 2683 3003 8015 5560 2009 15584 3375 19650 0 2374 2602 3140 8116 5978 2092 16186 3464 20424 0 2335 2656 3341 8332 6095 2481 16908 3516 20975 0 2265 2730 3688 8683 6207 2530 17420 3555 20980 0 2180 2810 3327 8317 6231 2761 17309 3671 721214 ann. pay. 436788 25754 80452 72879 62924 242009 99986 32188 374183 62605 470808 24730 83464 76480 71099 255773 117186 33069 406028 64780 509010 24141 87810 75649 78375 265975 120740 45544 432259 76751 550404 25216 94290 79783 91662 290951 125453 52253 468657 81747 568943 26865 87176 89887 82633 286561 133306 61580 481447 87496 721214 rec. 1855788 150668 351571 313030 251980 1067249 389263 163811 1620323 235465 721310 firms 3314 218 2153 546 271 3188 92 26 3306 8 3125 202 2007 537 261 3007 90 22 3119 6 3079 257 1876 533 277 2943 106 20 3069 10 2926 202 1788 527 261 2778 117 18 2913 13 2897 188 1796 505 266 2755 107 21 2883 14 721310 estab. 3393 218 2153 554 279 3204 110 60 3374 19 3193 202 2007 544 271 3024 97 55 3176 17 3140 257 1879 538 283 2957 116 39 3112 28 2990 213 1788 536 265 2802 127 44 2973 17 2984 188 1796 519 273 2776 143 44 2963 21 721310 empl. 15992 0 4094 3550 3426 11070 2934 1580 15584 408 15135 0 3815 3536 3369 10720 2859 1056 14635 500 15605 0 3467 3479 3565 10511 3324 1015 14850 755 15640 0 3347 3472 3367 10186 3733 1036 14955 685 15581 0 3367 3354 3410 10131 3476 1467 15074 507 721310 ann. pay. 177064 3948 44437 33409 30273 112067 36036 18488 166591 10473 183524 3100 43544 35598 31637 113879 40230 17920 172029 11495 204367 6312 41632 34778 39633 122355 48595 18369 189319 15048 209104 4278 41393 36651 35219 117541 57072 16366 190979 18125 217099 3919 44487 37346 35866 121618 54649 31322 207589 9510 721310 rec. 1495454 32265 308555 173023 134465 648308 743870 69903 1462081 33373 722110 firms 166666 23078 38247 32211 32112 125648 37795 2632 166075 591 163897 19513 39483 32001 31842 122839 37850 2603 163292 605 165128 20969 38982 31718 31672 123341 38427 2735 164503 625 165621 21195 39348 31920 31221 123684 38549 2751 164984 637 170651 22780 38325 33562 32820 127487 39791 2721 169999 652 722110 estab. 193140 23141 38277 32270 32313 126001 40004 6494 172499 20641 190788 19618 39514 32080 32091 123303 39917 6330 169550 21238 192342 21016 39024 31803 31883 123726 40466 6420 170612 21730 193262 21273 39386 32007 31470 124136 40416 6468 171020 22242 198531 22836 38348 33609 32967 127760 41869 6768 176397 22134 722110 empl. 3703453 0 93627 218349 442205 754181 1417597 392287 2564065 1139388 3788062 0 96084 217019 438976 752079 1429557 395446 2577082 1210980 3897123 0 94969 214724 436747 746440 1461631 420141 2628212 1268911 3963258 0 95555 216347 430583 742485 1470301 428304 2641090 1322168 4000075 0 96708 226163 453209 776080 1509540 420866 2706486 1293589 722110 ann. pay. 40642096 1056657 993656 1982432 4152089 8184834 15566671 4625575 28377080 12265016 43410899 987862 1106118 2077143 4325589 8496712 16309627 4782489 29588828 13822071 46707000 1041402 1099160 2159323 4491721 8791606 17308393 5353782 31453781 15253219 48702432 1079364 1198095 2263900 4595562 9136921 17814415 5556674 32508010 16194422 49674450 1253863 1190538 2408255 4975572 9828228 18701273 5293807 33823308 15851142 722110 rec. 148212500 4279151 5603984 9719326 16380041 35982502 49973387 14484571 100440460 47772040 722211 firms 106960 13119 33278 20331 17686 84414 18471 3470 106355 605 104358 12116 32319 19657 17496 81588 18612 3524 103724 634 103786 12689 31280 19372 17175 80516 18990 3606 103112 674 106615 13913 32067 19754 17303 83037 19268 3622 105927 688 111551 14627 33768 20888 18133 87416 19840 3590 110846 705 722211 estab. 172766 13375 33333 20475 18381 85564 26660 19899 132123 40643 170421 12360 32410 19840 18247 82857 26275 20071 129203 41218 170565 12891 31376 19577 17868 81712 26141 20093 127946 42619 173753 14052 32137 19958 17930 84077 25951 20952 130980 42773 180764 14731 33825 21001 18636 88193 27758 21952 137903 42861 722211 empl. 2896895 0 77732 136631 240217 454580 702081 621465 1778126 1118769 2924617 0 75670 131941 237727 445338 711072 634562 1790972 1133645 2967916 0 73489 130313 233813 437615 728435 653406 1819456 1148460 2997206 0 75311 132512 235541 443364 732975 668775 1845114 1152092 3042258 0 80425 139582 247557 467564 752712 661144 1881420 1160838 722211 ann. pay. 26071622 440103 810011 1205367 2035062 4490543 6065948 5338532 15895023 10176599 27467717 402635 826637 1206480 2106414 4542166 6428220 5769596 16739982 10727735 28851835 395053 828439 1255058 2145348 4623898 6752417 6141544 17517859 11333976 30134048 447276 893303 1320803 2250689 4912071 7027897 6392613 18332581 11801467 31230656 514355 933840 1420978 2413811 5282984 7303508 6432133 19018625 12212031 722211 rec. 116311201 2198325 4797185 6136421 9120438 22252369 25481156 24090122 71823647 44487554 722212 firms 3497 417 1303 716 457 2893 441 104 3438 59 3247 462 1274 634 427 2797 339 66 3202 45 3209 440 1243 670 405 2758 347 61 3166 43 3529 614 1336 727 403 3080 349 53 3482 47 4151 735 1585 895 473 3688 350 66 4104 47 722212 estab. 4789 418 1303 720 465 2906 545 335 3786 1003 4250 462 1277 637 437 2813 412 166 3391 859 4199 440 1244 679 413 2776 422 160 3358 841 4464 619 1338 731 411 3099 417 120 3636 828 5046 738 1587 899 478 3702 394 149 4245 801 722212 empl. 85864 0 3026 4663 6082 13771 15578 11435 40784 45080 74269 0 3035 4167 5685 12887 11719 6325 30931 43338 69911 0 2928 4391 5373 12692 12127 5983 30802 39109 69512 0 3220 4789 5416 13425 12157 4899 30481 39031 68996 0 3918 5756 6385 16059 12133 6134 34326 34670 722212 ann. pay. 991890 10985 29646 46105 62494 149230 160708 117289 427227 564663 870665 12519 32104 39899 60426 144948 123020 70350 338318 532347 874667 8699 32370 43930 59647 144646 131161 76375 352182 522485 890270 18808 36850 49533 58976 164167 132971 60069 357207 533063 888638 23377 41706 61086 71767 197936 132660 74461 405057 483581 722212 rec. 2854839 95764 209502 267160 268007 840433 408146 213598 1462177 1392662 722213 firms 29100 5840 9017 6335 4919 26111 2722 191 29024 76 29044 5463 9082 6163 5012 25720 3037 210 28967 77 29212 5589 9087 6132 4919 25727 3175 233 29135 77 29152 5663 9148 6117 4818 25746 3080 250 29076 76 28345 6141 8272 6101 4670 25184 2835 236 28255 90 722213 estab. 36088 5858 9045 6377 5244 26524 4249 1185 31958 4130 36249 5495 9109 6232 5329 26165 4443 1218 31826 4423 36131 5607 9128 6218 5183 26136 4464 1089 31689 4442 37576 5677 9185 6205 5080 26147 4218 1204 31569 6007 37006 6155 8289 6145 4852 25441 4275 1308 31024 5982 722213 empl. 295075 0 20729 42780 65452 128961 86147 21751 236859 58216 319663 0 20894 41417 66547 128858 97290 23536 249684 69979 347651 0 20811 41508 65828 128147 104839 25273 258259 89392 340616 0 21063 41193 64549 126805 101807 28152 256764 83852 351873 0 19311 40885 62299 122495 92347 26974 241816 110057 722213 ann. pay. 2807716 130956 200582 335785 525529 1192852 791201 219901 2203954 603762 3136702 126135 214820 345145 568589 1254689 934716 248639 2438044 698658 3727730 131195 222595 364995 581345 1300130 1019110 291787 2611027 1116703 3764974 127728 235145 385607 596617 1345097 1046547 323689 2715333 1049641 3813460 140854 211634 371802 587891 1312181 955195 326032 2593408 1220052 722213 rec. 14655131 618158 1156553 1579092 2110229 5464032 3082889 1113429 9660350 4994781 722310 firms 2590 479 801 405 305 1990 358 149 2497 93 2558 406 804 424 342 1976 350 138 2464 94 2506 343 773 444 340 1900 373 136 2409 97 2491 384 776 411 317 1888 380 128 2396 95 2202 373 695 373 228 1669 299 138 2106 96 722310 estab. 15905 480 814 410 342 2046 591 1233 3870 12035 16455 408 840 451 373 2072 533 1148 3753 12702 16894 348 790 474 353 1965 536 1185 3686 13208 17330 384 778 426 348 1936 565 1134 3635 13695 20004 383 695 386 264 1728 454 1072 3254 16750 722310 empl. 358851 0 1814 2718 4103 8635 13625 24814 47074 311777 356731 0 1860 2805 4602 9267 12650 23426 45343 311388 377485 0 1768 2950 4461 9179 13419 23070 45668 331817 384642 0 1759 2743 4250 8752 14017 21323 44092 340550 415991 0 1536 2499 3050 7085 10844 21397 39326 376665 722310 ann. pay. 4793388 12615 21272 30301 43183 107371 170503 336684 614558 4178830 5187039 13970 24309 31904 52931 123114 171769 340679 635562 4551477 5632030 10862 21523 36728 48716 117829 187524 338834 644187 4987843 5771381 11510 23115 35005 48425 118055 203414 335832 657301 5114080 5910258 18804 23411 34749 39455 116419 159719 367544 643682 5266576 722310 rec. 20650581 70668 142280 139913 150398 503259 476373 1272389 2252021 18398560 722320 firms 7244 1562 2425 1229 883 6099 956 155 7210 34 8017 1514 2682 1414 1045 6655 1151 171 7977 40 8574 1585 2903 1412 1216 7116 1227 189 8532 42 8927 1555 3119 1517 1218 7409 1290 185 8884 43 8461 1555 2844 1481 1110 6990 1243 186 8419 42 722320 estab. 7350 1563 2425 1230 887 6105 996 192 7293 57 8171 1514 2683 1417 1051 6665 1202 237 8104 67 8714 1585 2903 1415 1220 7123 1270 231 8624 90 9058 1556 3119 1518 1225 7418 1325 229 8972 86 8629 1556 2847 1482 1112 6997 1289 255 8541 88 722320 empl. 84724 0 5234 8194 11826 25254 36535 19544 81333 3391 99295 0 5708 9440 14346 29494 44175 22365 96034 3261 108616 0 6289 9427 16550 32266 46792 24810 103868 4748 113461 0 6799 10201 16478 33478 49840 23639 106957 6504 110988 0 6188 9891 15140 31219 48290 26115 105624 5364 722320 ann. pay. 1058085 41213 72784 92468 133894 340359 435767 241759 1017885 40200 1292951 47462 82268 109619 170701 410050 553508 280317 1243875 49076 1470192 46778 89527 119243 204549 460097 601410 339587 1401094 69098 1543126 43901 100523 127548 210662 482634 644538 338644 1465816 77310 1560690 46352 96483 129033 201634 473502 634236 360170 1467908 92782 722320 rec. 4923881 212787 492316 524835 703183 1933121 1781506 958414 4673041 250840 722330 firms 2399 702 1111 283 155 2251 122 16 2389 10 2662 970 1078 303 168 2519 119 15 2653 9 3006 994 1227 389 227 2837 147 14 2998 8 2845 877 1206 380 212 2675 147 16 2838 7 2574 847 1088 299 189 2423 128 17 2568 6 722330 estab. 2531 711 1112 283 163 2269 150 53 2472 59 2787 970 1078 311 181 2540 138 51 2729 58 3137 998 1227 393 232 2850 170 49 3069 68 2957 877 1206 382 234 2699 180 21 2900 57 2691 847 1088 304 196 2435 182 21 2638 53 722330 empl. 13540 0 2107 1819 2036 5962 4395 768 11125 2415 12812 0 2106 1972 2218 6296 4040 1359 11695 1117 15819 0 2426 2561 2996 7983 5129 1597 14709 1110 15659 0 2376 2455 2818 7649 4772 1164 13585 2074 14151 0 2125 1944 2416 6485 4154 1355 11994 2157 722330 ann. pay. 220733 11798 30595 21945 24504 88842 65509 12686 167037 53696 220520 18302 32019 25374 28014 103709 60337 25544 189590 30930 264837 21492 35162 30787 33701 121142 74570 30608 226320 38517 261939 17670 36947 30788 34851 120256 71881 22258 214395 47544 226690 15662 31505 23538 31357 102062 66474 22358 190894 35796 722330 rec. 1188332 91734 194220 120408 149465 555827 318617 124919 999363 188969 722410 firms 52230 5679 27967 10693 4677 49016 3009 158 52183 47 50714 5361 26620 10637 4779 47397 3111 166 50674 40 50091 5630 25685 10407 4939 46661 3235 153 50049 42 49483 5595 24849 10491 5003 45938 3338 163 49439 44 50195 5645 24732 10987 5072 46436 3556 160 50152 43 722410 estab. 52665 5681 27975 10727 4763 49146 3157 236 52539 126 51177 5365 26629 10673 4866 47533 3234 263 51030 147 50578 5635 25697 10442 5015 46789 3359 219 50367 211 49973 5596 24861 10533 5077 46067 3449 299 49815 158 50683 5647 24741 11005 5133 46526 3685 244 50455 228 722410 empl. 320230 0 63580 68825 61524 193929 101375 19009 314313 5917 324824 0 60468 68661 63328 192457 106916 20560 319933 4891 328620 0 58634 67347 65586 191567 110292 19167 321026 7594 335165 0 56885 67757 66785 191427 114791 21435 327653 7512 347842 0 57852 70595 67306 195753 121694 20134 337581 10261 722410 ann. pay. 2971730 132825 575070 566907 522123 1796925 943210 178770 2918905 52825 3138070 117934 578619 587637 555538 1839728 1033232 213964 3086924 51146 3345304 133999 576598 606797 607280 1924674 1121326 216875 3262875 82429 3485547 130801 585055 624374 633021 1973251 1197418 242759 3413428 72119 3680423 151526 589042 665181 651936 2057685 1289873 230087 3577645 102778 722410 rec. 15414170 771470 3596363 3106935 2593129 10067897 4302381 691553 15061831 352339 811111 firms 76137 7866 48529 14353 4058 74806 1094 154 76054 83 75919 7269 48268 14817 4170 74524 1165 151 75840 79 75807 7271 47630 15142 4340 74383 1184 160 75727 80 76264 7360 47737 15333 4414 74844 1178 162 76184 80 77556 7315 49113 15291 4398 76117 1200 166 77483 73 811111 estab. 78818 7867 48539 14418 4214 75038 1511 517 77066 1752 78394 7294 48294 14879 4302 74769 1560 480 76809 1585 78191 7571 47643 15202 4469 74885 1582 488 76955 1236 78673 7367 47755 15398 4548 75068 1510 556 77134 1539 80418 7317 49125 15349 4659 76450 1755 529 78734 1684 811111 empl. 296447 0 104603 90688 50502 245793 29519 8066 283378 13069 304208 0 104394 93849 51896 250139 31683 8711 290533 13675 309705 0 104329 96032 54020 254381 33230 10305 297916 11789 314281 0 104062 97160 55266 256488 33202 10951 300641 13640 319181 0 108225 96878 55099 260202 32998 10459 303659 15522 811111 ann. pay. 6974937 164541 2047065 2077783 1262837 5552226 796093 253268 6601587 373350 7375223 186642 2130195 2222640 1335052 5874529 857334 287696 7019559 355664 7843695 195231 2173064 2348040 1425272 6141607 917998 362285 7421890 421805 8194658 189842 2273222 2460029 1488083 6411176 953823 360557 7725556 469102 8476979 187020 2385306 2543605 1546577 6662508 977616 346880 7987004 489975 811111 rec. 32652413 1016937 11394489 8848694 5136948 26397068 3602681 1155718 31155467 1496946 811112 firms 4024 280 2297 1013 285 3875 137 7 4019 5 3961 225 2318 971 290 3804 144 8 3956 5 3752 211 2231 904 258 3604 135 9 3748 4 3669 224 2134 913 256 3527 127 10 3664 5 3609 241 2079 909 256 3485 110 7 3602 7 811112 estab. 5058 285 2301 1060 428 4074 477 166 4717 341 5098 225 2329 1024 442 4020 518 213 4751 347 4781 421 2247 961 396 4025 488 209 4722 59 4741 233 2159 966 390 3748 457 175 4380 361 4473 241 2082 960 383 3666 425 161 4252 221 811112 empl. 21922 0 5493 6404 3487 15384 3880 [f] [j] [g] 21863 0 5438 6139 3508 15085 4020 [g] [j] [g] 19412 0 5324 5784 3080 14188 3831 [g] [j] [e] 19915 0 4974 5778 3091 13843 3598 [f] [j] [g] 19003 0 4872 5788 3060 13720 [h] [f] 17666 1337 811112 ann. pay. 527687 6162 110950 147412 85957 350481 104746 (D) (D) (D) 537672 4419 113786 144210 85955 348370 116024 (D) (D) (D) 507702 24000 114662 138846 75441 352949 113218 (D) (D) (D) 527341 5595 109706 144940 77328 337569 115910 (D) (D) (D) 493108 6953 105365 147786 78569 338673 (D) (D) 452837 40271 811112 rec. 1714007 30092 446906 489243 253847 1220088 (D) (D) 1590393 123614 811113 firms 6653 588 3564 1935 458 6545 102 4 6651 2 6497 462 3510 1924 492 6388 102 5 6495 2 6510 571 3414 1925 490 6400 104 5 6509 1 6488 515 3454 1906 507 6382 100 4 6486 2 6393 495 3542 1793 460 6290 99 1 6390 3 811113 estab. 6824 588 3567 1957 510 6622 181 18 6821 3 6676 464 3515 1942 551 6472 180 21 6673 3 6673 572 3420 1944 542 6478 173 21 6672 1 6646 515 3456 1923 565 6459 165 20 6644 2 6522 495 3545 1813 515 6368 150 1 6519 3 811113 empl. 29656 0 8603 12430 5614 26647 2886 [b] [k] [b] 30013 0 8453 12350 6021 26824 2757 [e] [k] [b] 29820 0 8286 12427 6046 26759 2762 [e] [k] [b] 29832 0 8360 12217 6263 26840 2698 [e] [k] [b] 28179 0 8493 11437 5643 25573 [h] [a] 28134 45 811113 ann. pay. 760332 15385 186087 319606 154117 675195 81007 (D) (D) (D) 792296 13909 188217 329104 174867 706097 81362 (D) (D) (D) 814475 17563 187215 338708 176321 719807 83859 (D) (D) (D) 827555 13494 195204 341862 184008 734568 82976 (D) (D) (D) 799500 14962 206085 328233 169892 719172 (D) (D) 797741 1759 811113 rec. 2609122 62560 844016 999055 471616 2377247 (D) (D) 2603599 5523 811118 firms 8657 553 5192 1900 666 8311 298 28 8637 20 8152 401 4937 1817 689 7844 267 24 8135 17 7696 409 4629 1734 625 7397 264 20 7681 15 7400 422 4450 1620 608 7100 267 20 7387 13 6991 378 4268 1486 591 6723 233 19 6975 16 811118 estab. 9611 563 5203 1928 771 8465 673 270 9408 203 9127 407 4944 1850 787 7988 601 342 8931 196 8654 413 4637 1772 710 7532 567 321 8420 234 8301 428 4468 1652 680 7228 541 286 8055 246 7892 379 4275 1515 685 6854 522 275 7651 241 811118 empl. 44703 0 11452 12137 8590 32179 8434 2756 43369 1334 41708 0 10903 11565 8735 31203 7350 2016 40569 1139 39888 0 10291 11010 7859 29160 7288 1785 38233 1655 38937 0 9791 10283 7691 27765 7441 1797 37003 1934 36550 0 9646 9583 7325 26554 6474 1642 34670 1880 811118 ann. pay. 1067670 11236 226612 278937 222514 739299 228149 70284 1037732 29938 1019179 9595 222647 269662 224512 726416 208544 46791 981751 37428 1008875 9055 214911 264141 210796 698903 215789 44094 958786 50089 1020574 11206 214729 256474 205503 687912 216901 50204 955017 65557 986185 9358 214532 248050 206538 678478 196097 43232 917807 68378 811118 rec. 3361203 47372 910448 829647 662732 2450199 592813 144302 3187314 173889 811121 firms 35031 2982 17512 8285 4572 33351 1537 110 34998 33 34145 2675 17028 8081 4660 32444 1552 107 34103 42 34268 2892 16723 8099 4731 32445 1675 100 34220 48 33893 2745 16467 7910 4834 31956 1782 105 33843 50 33559 2735 16461 7515 4928 31639 1756 113 33508 51 811121 estab. 35823 2986 17514 8307 4644 33451 1811 316 35578 245 35037 2679 17031 8100 4737 32547 1794 281 34622 415 35188 2895 16724 8128 4794 32541 1921 260 34722 466 34786 2747 16471 7932 4897 32047 2018 247 34312 474 34598 2735 16462 7531 5026 31754 2096 289 34139 459 811121 empl. 206837 0 38447 54875 59614 152936 42392 8291 203619 3218 209140 0 37505 53400 60932 151837 43327 7256 202420 6720 215798 0 36735 53435 62134 152304 47392 6690 206386 9412 220925 0 36038 52227 63048 151313 51300 7395 210008 10917 219876 0 36407 49928 64727 151062 50330 8195 209587 10289 811121 ann. pay. 5559416 91585 770930 1340360 1690388 3893263 1290383 281283 5464929 94487 5910276 80695 789360 1365224 1802879 4038158 1379394 259155 5676707 233569 6340092 87960 786614 1400076 1886910 4161560 1590207 248835 6000602 339490 6745343 88089 805282 1409432 2005903 4308706 1748523 278785 6336014 409329 6942603 100294 829451 1394465 2091150 4415360 1802973 326237 6544570 398033 811121 rec. 22451953 434109 3667367 4680347 6259044 15040867 5234232 1077857 21352956 1098997 811122 firms 3734 397 2051 757 300 3505 192 28 3725 9 3711 351 2035 790 304 3480 198 21 3699 12 3787 401 2061 792 315 3569 181 25 3775 12 3978 451 2137 844 322 3754 183 30 3967 11 4453 570 2452 854 345 4221 190 31 4442 11 811122 estab. 6181 397 2051 770 363 3581 458 334 4373 1808 5924 352 2038 806 358 3554 480 201 4235 1689 5893 401 2064 806 391 3662 375 254 4291 1602 6062 451 2142 856 396 3845 409 273 4527 1535 6800 570 2458 875 431 4334 489 345 5168 1632 811122 empl. 30342 0 4483 4859 3761 13103 6046 2819 21968 8374 30678 0 4430 5030 3905 13365 6186 1902 21453 9225 30739 0 4518 5030 4090 13638 5929 2612 22179 8560 32058 0 4618 5417 4196 14231 6126 3544 23901 8157 32684 0 5380 5460 4431 15271 6232 3237 24740 7944 811122 ann. pay. 877535 9322 94365 113784 104075 321546 186868 95263 603677 273858 906296 8884 97491 120134 105856 332365 192755 58113 583233 323063 909887 9723 99195 125162 118993 353073 183493 79666 616232 293655 980414 13377 107514 137174 122944 381009 196009 115920 692938 287476 1005418 15444 118891 139635 130358 404328 191094 115779 711201 294217 811122 rec. 3786605 90740 578134 500917 418867 1588658 629073 418032 2635763 1150842 811191 firms 4522 568 1401 1288 770 4027 410 69 4506 16 4527 552 1455 1233 768 4008 419 83 4510 17 4554 541 1470 1226 777 4014 437 88 4539 15 4525 541 1488 1207 767 4003 412 91 4506 19 4466 494 1434 1192 819 3939 405 104 4448 18 811191 estab. 7701 591 1403 1298 849 4141 1057 687 5885 1816 7813 590 1458 1244 839 4131 1053 1082 6266 1547 7703 547 1479 1243 839 4108 1027 1230 6365 1338 7677 584 1498 1221 835 4138 971 1204 6313 1364 7890 498 1435 1198 948 4079 1113 1266 6458 1432 811191 empl. 59732 0 3281 8697 9909 21887 13436 6078 41401 18331 59786 0 3457 8387 9983 21827 13986 9331 45144 14642 60377 0 3420 8289 10051 21760 14834 10110 46704 13673 61754 0 3593 8094 9919 21606 14176 11352 47134 14620 63290 0 3549 7882 10702 22133 13195 12964 48292 14998 811191 ann. pay. 881869 22330 50137 132088 148755 353310 204662 92676 650648 231221 931667 19006 56709 131694 154989 362398 215810 155210 733418 198249 1032563 15164 57273 135847 158439 366723 244018 178261 789002 243561 1007530 23528 63243 139440 165403 391614 234141 190647 816402 191128 1093091 17437 66350 136311 193415 413513 225886 224130 863529 229562 811191 rec. 3834424 67226 287814 479838 634920 1469798 740625 803827 3014250 820174 811192 firms 12804 1915 5812 2011 1348 11086 1546 148 12780 24 12713 1742 5832 2054 1356 10984 1555 145 12684 29 12970 1830 5874 2057 1453 11214 1576 150 12940 30 12942 1728 5924 2028 1487 11167 1587 154 12908 34 12158 1634 5238 2017 1479 10368 1607 149 12124 34 811192 estab. 13875 1929 5834 2080 1508 11351 1869 457 13677 198 13882 1751 5864 2113 1516 11244 1885 437 13566 316 14112 1855 5902 2101 1586 11444 1886 454 13784 328 14134 1729 5959 2100 1631 11419 1885 471 13775 359 13497 1634 5256 2076 1649 10615 2029 493 13137 360 811192 empl. 120905 0 12151 13156 17958 43265 54726 16443 114434 6471 125905 0 12105 13392 18345 43842 54923 15955 114720 11185 130248 0 12260 13402 19612 45274 55321 17463 118058 12190 133783 0 12258 13220 19922 45400 57099 17847 120346 13437 131863 0 11189 13167 19719 44075 57763 16589 118427 13436 811192 ann. pay. 1350616 44397 151544 149874 206112 551927 539506 170795 1262228 88388 1510625 46021 163112 163648 226514 599295 570346 176887 1346528 164097 1618415 47407 173360 172529 245704 639000 601730 198113 1438843 179572 1703613 43943 183463 180396 260743 668545 645792 202935 1517272 186341 1705758 46146 157566 177894 258924 640530 681369 201032 1522931 182827 811192 rec. 5351378 196662 821408 646934 805714 2470718 1801573 572829 4845120 506258 811198 firms 2626 351 1546 438 175 2510 81 18 2609 17 2482 314 1454 423 171 2362 75 27 2464 18 2456 289 1395 454 188 2326 86 22 2434 22 2509 295 1473 448 176 2392 77 19 2488 21 2525 369 1447 429 168 2413 72 19 2504 21 811198 estab. 3010 351 1546 441 192 2530 142 80 2752 258 2947 316 1454 429 185 2384 118 112 2614 333 2921 293 1396 458 204 2351 131 101 2583 338 2931 295 1475 455 191 2416 132 90 2638 293 2959 369 1448 436 182 2435 126 110 2671 288 811198 empl. 18178 0 3186 2820 2239 8245 2572 1326 12143 6035 19305 0 2968 2723 2161 7852 2523 1885 12260 7045 19971 0 2893 2858 2367 8118 2779 2231 13128 6843 19396 0 3112 2870 2218 8200 2618 1728 12546 6850 18212 0 3043 2745 2149 7937 2451 1824 12212 6000 811198 ann. pay. 375603 7717 55711 56130 50838 170396 69494 32931 272821 102782 404782 8255 53372 54955 49081 165663 58688 44433 268784 135998 436397 7581 54059 57421 52599 171660 65283 63327 300270 136127 442064 6198 60327 61284 52557 180366 67314 49124 296804 145260 450230 9417 61674 63188 52192 186471 73932 50819 311222 139008 811198 rec. 1718020 57092 318258 249757 189116 814223 373904 144295 1332422 385598 811211 firms 4623 310 3162 712 278 4462 122 21 4605 18 4262 248 2956 650 259 4113 115 18 4246 16 3894 257 2667 602 232 3758 104 15 3877 17 3545 240 2391 572 213 3416 98 15 3529 16 3410 238 2316 507 214 3275 102 15 3392 18 811211 estab. 4828 310 3170 726 310 4516 172 47 4735 93 4433 249 2964 666 284 4163 150 35 4348 85 4073 258 2675 614 250 3797 152 31 3980 93 3708 240 2398 586 230 3454 139 31 3624 84 3563 238 2319 509 235 3301 139 32 3472 91 811211 empl. 23761 0 6203 4545 3523 14271 3804 1827 19902 3859 23408 0 5834 4141 3282 13257 3462 2194 18913 4495 21736 0 5319 3856 2964 12139 3369 1914 17422 4314 19360 0 4631 3666 2704 11001 2946 1875 15822 3538 20456 0 4605 3261 2717 10583 3134 2106 15823 4633 811211 ann. pay. 571292 5431 96745 90678 78453 271307 92578 58796 422681 148611 579359 4764 94194 84111 74259 257328 89854 64195 411377 167982 560611 4967 87464 80604 71111 244146 96874 50966 391986 168625 512872 6344 81988 79317 69600 237249 91725 47687 376661 136211 551315 4644 84773 72197 70617 232231 89642 70981 392854 158461 811211 rec. 1416719 27649 335564 218147 197029 778389 232580 180655 1191624 225095 811212 firms 6188 708 3135 1083 624 5550 451 94 6095 93 5921 642 3031 1018 597 5288 462 93 5843 78 5613 629 2852 986 549 5016 437 83 5536 77 5438 607 2827 935 531 4900 399 72 5371 67 5100 685 2784 763 440 4672 297 64 5033 67 811212 estab. 7674 709 3141 1091 656 5597 611 272 6480 1194 7035 643 3035 1033 617 5328 624 236 6188 847 6623 629 2859 993 572 5053 577 253 5883 740 6305 608 2833 943 551 4935 554 204 5693 612 5857 686 2785 768 475 4714 422 173 5309 548 811212 empl. 75628 0 6541 7143 8083 21767 15258 9872 46897 28731 74638 0 6306 6668 7803 20777 16350 10070 47197 27441 76121 0 5954 6413 7183 19550 15495 10475 45520 30601 74652 0 5912 6087 7075 19074 14525 10089 43688 30964 65700 0 5680 4969 5864 16513 10753 7823 35089 30611 811212 ann. pay. 2912835 40024 151350 190329 257966 639669 562695 394853 1597217 1315618 3045228 37947 157499 185118 253848 634412 610399 433319 1678130 1367098 4347263 19311 153597 181036 234913 588857 610835 481231 1680923 2666340 4181385 27083 152832 181149 236455 597519 574357 451487 1623363 2558022 3126849 22870 143526 149182 200920 516498 434767 365209 1316474 1810375 811212 rec. 9741793 95921 598878 521582 602644 1819025 1248992 1013500 4081517 5660276 811213 firms 1533 114 713 294 212 1333 156 28 1517 16 1467 105 686 270 217 1278 145 23 1446 21 1429 113 653 257 211 1234 147 28 1409 20 1393 112 629 252 199 1192 154 25 1371 22 1388 104 628 263 195 1190 155 28 1373 15 811213 estab. 1800 114 715 302 237 1368 278 101 1747 53 1764 105 693 275 242 1315 260 100 1675 89 1714 114 655 264 235 1268 255 117 1640 74 1653 112 630 259 234 1235 256 72 1563 90 1627 104 629 267 209 1209 264 100 1573 54 811213 empl. 16475 0 1503 1955 2823 6281 5267 2747 14295 2180 17665 0 1441 1796 2910 6147 4905 2081 13133 4532 18274 0 1376 1751 2792 5919 4961 2921 13801 4473 18953 0 1347 1700 2572 5619 5163 2735 13517 5436 19783 0 1321 1735 2591 5647 5276 3620 14543 5240 811213 ann. pay. 507691 2452 34061 51727 86776 175016 166071 84395 425482 82209 582349 2376 36308 48690 93350 180724 173415 70112 424251 158098 622868 4944 33983 49763 90782 179472 181442 103554 464468 158400 663053 3765 36691 48492 90614 179562 181620 92619 453801 209252 860281 17529 37130 50395 90091 195145 198436 123186 516767 343514 811213 rec. 2863181 52922 139370 171543 298120 661955 590951 486451 1739357 1123824 811219 firms 2648 340 1428 427 233 2428 154 26 2608 40 2625 250 1441 431 239 2361 177 38 2576 49 2520 217 1378 410 253 2258 175 41 2474 46 2578 244 1416 409 248 2317 174 38 2529 49 2599 279 1422 414 234 2349 163 41 2553 46 811219 estab. 2912 341 1430 430 252 2453 224 89 2766 146 2986 251 1441 431 253 2376 228 140 2744 242 2934 217 1379 410 270 2276 216 151 2643 291 2967 254 1417 410 263 2344 215 125 2684 283 3101 279 1422 418 246 2365 222 146 2733 368 811219 empl. 22490 0 2940 2783 3051 8774 5012 2105 15891 6599 26499 0 2967 2792 3143 8902 5463 3826 18191 8308 27514 0 2879 2648 3304 8831 5678 3269 17778 9736 27659 0 2947 2663 3264 8874 5677 3611 18162 9497 31855 0 2965 2631 3156 8752 5252 3446 17450 14405 811219 ann. pay. 828204 9581 81420 88158 111151 290310 179945 90795 561050 267154 1032019 6642 85117 86740 115242 293741 206661 148945 649347 382672 1077525 6601 83757 88308 122367 301033 221902 132587 655522 422003 1132399 19828 92180 90937 124628 327573 231939 135969 695481 436918 1477808 11588 93792 100972 124289 330641 229067 149181 708889 768919 811219 rec. 4655460 49404 351209 309733 353280 1063626 677682 426988 2168296 2487164 811310 firms 24137 2588 12493 4556 2554 22191 1515 249 23955 182 23682 2092 12528 4595 2526 21741 1515 245 23501 181 23426 2305 12103 4504 2546 21458 1551 244 23253 173 23499 2100 12314 4495 2617 21526 1563 230 23319 180 24480 2484 12943 4528 2622 22577 1496 235 24308 172 811310 estab. 25626 2588 12498 4574 2622 22282 1795 514 24591 1035 25149 2095 12529 4606 2596 21826 1788 484 24098 1051 24950 2306 12104 4518 2610 21538 1804 478 23820 1130 24977 2103 12319 4523 2668 21613 1800 460 23873 1104 25932 2484 12946 4543 2684 22657 1784 464 24905 1027 811310 empl. 191016 0 25790 29824 33499 89113 48384 20341 157838 33178 196181 0 25808 30073 33375 89256 49248 21057 159561 36620 197613 0 25146 29527 33442 88115 51149 21446 160710 36903 200954 0 25471 29222 34620 89313 50898 22546 162757 38197 196649 0 27040 29525 34746 91311 49256 20279 160846 35803 811310 ann. pay. 6261573 83859 572413 768567 1011296 2436135 1658782 752836 4847753 1413820 6543415 66078 587010 803087 1034266 2490441 1738723 787470 5016634 1526781 6756014 67099 584801 813454 1062055 2527409 1832249 814527 5174185 1581829 7015703 63873 609274 812758 1124791 2610696 1853539 916935 5381170 1634533 7009776 75054 656118 841034 1144463 2716669 1838463 815015 5370147 1639629 811310 rec. 23832512 429813 2963538 2914803 3593768 9901922 5612313 2548213 18062448 5770064 811411 firms 3467 433 2308 501 151 3393 48 11 3452 15 3346 405 2175 526 162 3268 56 9 3333 13 3305 416 2096 538 174 3224 60 8 3292 13 3149 347 2026 507 180 3060 67 10 3137 12 2780 276 1826 465 139 2706 55 7 2768 12 811411 estab. 3635 436 2310 501 155 3402 68 17 3487 148 3504 405 2177 527 165 3274 78 12 3364 140 3463 416 2098 540 176 3230 83 19 3332 131 3303 347 2028 510 181 3066 90 20 3176 127 2928 276 1827 465 140 2708 80 16 2804 124 811411 empl. 13096 0 4456 3174 1866 9496 1209 710 11415 1681 12680 0 4247 3292 2016 9555 1520 226 11301 1379 13123 0 4089 3442 2166 9697 1692 759 12148 975 13169 0 3973 3184 2281 9438 1825 793 12056 1113 11596 0 3725 2985 1739 8449 1514 518 10481 1115 811411 ann. pay. 288044 9025 73849 64620 45665 193159 30759 17271 241189 46855 290465 8121 74901 70988 48171 202181 41923 5907 250011 40454 306697 7760 73096 73628 54321 208805 46716 23959 279480 27217 321042 4649 72337 69361 58576 204923 52374 25886 283183 37859 279254 4099 65947 68203 45404 183653 43153 15493 242299 36955 811411 rec. 1165129 32481 382333 285180 156961 856955 116026 49383 1022364 142765 811412 firms 5416 585 3444 822 363 5214 145 21 5380 36 5260 502 3391 779 387 5059 152 21 5232 28 5115 528 3233 760 385 4906 163 22 5091 24 5126 490 3248 783 401 4922 161 20 5103 23 4852 519 3061 711 366 4657 153 21 4831 21 811412 estab. 6308 585 3445 825 375 5230 166 55 5451 857 6008 502 3392 783 400 5077 168 52 5297 711 5765 528 3233 764 396 4921 188 57 5166 599 5782 491 3248 787 411 4937 195 48 5180 602 5472 519 3061 713 377 4670 171 45 4886 586 811412 empl. 56139 0 6623 5291 4658 16572 4036 1830 22438 33701 51450 0 6553 5067 4979 16599 4334 1305 22238 29212 48230 0 6246 4872 5041 16159 4510 1475 22144 26086 44829 0 6170 5011 5284 16465 4744 1429 22638 22191 43379 0 5883 4681 4861 15425 4308 1320 21053 22326 811412 ann. pay. 1546093 13499 122312 116001 123683 375495 124669 42105 542269 1003824 1361375 8652 126278 117655 135577 388162 133298 35138 556598 804777 1426206 12256 123382 115864 143604 395106 150279 44285 589670 836536 1310683 9444 127112 130633 153466 420655 164341 45571 630567 680116 1242051 11255 125496 123331 144764 404846 149991 40954 595791 646260 811412 rec. 3259436 74479 582604 407995 441861 1506939 432943 110295 2050177 1209259 811420 firms 6428 702 4368 962 297 6329 95 3 6427 1 6274 621 4303 937 310 6171 98 3 6272 2 6150 639 4127 930 334 6030 111 6 6147 3 5964 600 3991 938 316 5845 110 5 5960 4 5940 678 3928 923 304 5833 99 3 5935 5 811420 estab. 6441 702 4369 962 299 6332 105 3 6440 1 6285 621 4304 938 314 6177 103 3 6283 2 6161 639 4128 933 336 6036 116 6 6158 3 5972 600 3992 939 317 5848 115 5 5968 4 5947 678 3928 923 309 5838 101 3 5942 5 811420 empl. [j] 0 8550 6136 3752 18438 2940 [e] [j] [b] 22053 0 8470 5990 3977 18437 [h] [e] [j] [b] 22777 0 8202 5943 4252 18397 [h] 699 [j] [e] 22458 0 7937 5979 4111 18027 [h] [f] [j] [e] 21385 0 7979 5936 3923 17838 [h] [e] [j] [e] 811420 ann. pay. (D) 11648 133130 110705 80529 336012 64184 (D) (D) (D) 439702 10844 139427 113904 89668 353843 (D) (D) (D) (D) 477715 13712 139692 114975 95879 364258 (D) 16037 (D) (D) 474922 10968 139542 121176 92628 364314 (D) (D) (D) (D) 461627 11782 142849 122433 90269 367333 (D) (D) (D) (D) 811420 rec. 1457169 68458 561865 338914 221573 1190810 (D) (D) (D) (D) 811430 firms 1882 188 1481 142 46 1857 22 1 1880 2 1773 146 1435 135 34 1750 19 1 1770 3 1674 158 1325 142 30 1655 16 0 1671 3 1505 117 1219 122 27 1485 17 1 1503 2 1381 121 1114 106 26 1367 11 2 1380 1 811430 estab. 2027 189 1488 148 76 1901 99 25 2025 2 1993 146 1442 145 67 1800 51 139 1990 3 1886 159 1332 153 47 1691 48 0 1739 147 1714 117 1226 138 45 1526 43 143 1712 2 1578 121 1118 119 45 1403 39 135 1577 1 811430 empl. [i] 0 2603 856 579 4038 669 [e] [i] [a] 4793 0 2551 827 437 3815 [f] [e] [h] [a] 4627 0 2332 879 387 3598 [e] 0 [h] [f] 4246 0 2178 747 350 3275 [e] [e] [h] [a] 3751 0 1981 646 358 2985 [e] [e] [h] [a] 811430 ann. pay. (D) 1843 32416 12296 9067 55622 10206 (D) (D) (D) 70680 1529 32507 13122 7097 54255 (D) (D) (D) (D) 67157 1508 30653 14065 7177 53403 (D) 0 (D) (D) 64190 1159 30599 12054 6854 50666 (D) (D) (D) (D) 57674 1477 28142 11154 6811 47584 (D) (D) (D) (D) 811430 rec. 218306 9090 127052 32813 18344 187299 (D) (D) (D) (D) 811490 firms 10266 1484 6433 1339 581 9837 335 55 10227 39 10282 1525 6411 1385 581 9902 292 54 10248 34 10673 1649 6562 1487 593 10291 297 47 10635 38 10339 1427 6555 1407 580 9969 287 43 10299 40 11860 2030 7071 1652 715 11468 313 44 11825 35 811490 estab. 10588 1487 6440 1352 601 9880 414 166 10460 128 10500 1527 6416 1396 609 9948 356 78 10382 118 10882 1650 6571 1498 614 10333 358 72 10763 119 10535 1428 6561 1417 597 10003 334 75 10412 123 12180 2031 7076 1657 730 11494 363 89 11946 234 811490 empl. 48825 0 12565 8548 7444 28557 10450 4245 43252 5573 46494 0 12435 8857 7457 28749 9075 3735 41559 4935 48233 0 12653 9522 7635 29810 9285 3650 42745 5488 46019 0 12680 9030 7486 29196 8645 3374 41215 4804 51483 0 13844 10577 9178 33599 9460 3117 46176 5307 811490 ann. pay. 1040061 28688 206637 160509 169725 565559 247425 107134 920118 119943 1036932 26515 214079 183350 165839 589783 218092 121488 929363 107569 1133404 33132 221237 194254 178766 627389 270057 119982 1017428 115976 1117420 23347 231842 196819 185288 637296 234141 107705 979142 138278 1252244 36391 254382 227275 226546 744594 260488 103972 1109054 143190 811490 rec. 4521689 230083 1217135 793548 728034 2968800 750643 337830 4057273 464416 812111 firms 3955 299 3030 435 118 3882 65 7 3954 1 3874 332 2942 408 121 3803 62 7 3872 2 3913 386 2878 431 141 3836 67 7 3910 3 3809 377 2824 397 132 3730 70 5 3805 4 4024 406 2963 431 143 3943 71 5 4019 5 812111 estab. 4161 299 3034 444 134 3911 118 28 4057 104 4071 339 2949 415 138 3841 105 16 3962 109 4106 386 2883 438 160 3867 118 12 3997 109 3999 377 2830 405 146 3758 122 11 3891 108 4209 406 2968 432 157 3963 125 19 4107 102 812111 empl. 13564 0 5588 2652 1479 9719 2016 [e] [j] [g] 12777 0 5362 2504 1555 9421 [g] [e] [j] [g] 13341 0 5259 2623 1775 9657 [g] [e] [j] [g] 12894 0 5189 2462 1637 9288 2209 [e] [j] [g] 13726 0 5412 2699 1868 9979 2241 [e] [j] [g] 812111 ann. pay. 202513 3543 79538 37745 22561 143387 29983 (D) (D) (D) 208044 7171 78688 38804 23716 148379 (D) (D) (D) (D) 217925 4399 78408 41586 28594 152987 (D) (D) (D) (D) 218322 5628 80948 39732 26880 153188 35427 (D) (D) (D) 235792 4946 83832 46931 31343 167052 35009 (D) (D) (D) 812111 rec. 539579 19712 234288 92715 72432 419147 62907 (D) (D) (D) 812112 firms 64664 6348 37710 12469 5710 62237 2240 165 64642 22 63020 5803 36819 12145 5667 60434 2394 170 62998 22 62768 6538 35877 11962 5734 60111 2458 178 62747 21 61999 6255 35287 11790 5906 59238 2555 185 61978 21 62659 6851 35290 11543 6068 59752 2705 177 62634 25 812112 estab. 73718 6396 37737 12559 6029 62721 3997 1962 68680 5038 72879 5822 36850 12245 5967 60884 4035 1910 66829 6050 72743 6576 35905 12084 6012 60577 3900 1949 66426 6317 71944 6268 35340 11899 6174 59681 3901 1997 65579 6365 73646 6859 35312 11598 6286 60055 4419 2005 66479 7167 812112 empl. 379337 0 78313 81135 74574 234022 74135 [k] [m] [k] 390953 0 75918 78939 74352 229209 79227 [k] [m] [l] 400951 0 73594 78044 75313 226951 82831 [k] [m] [l] 404018 0 71390 77069 77532 225991 86346 30668 343005 61013 413362 0 73367 75705 79808 228880 91255 29509 349644 63718 812112 ann. pay. 5409690 120543 870420 1029316 1111016 3131295 1236856 (D) (D) (D) 5822665 110360 899699 1062368 1161478 3233905 1397084 (D) (D) (D) 6298879 130793 913542 1105174 1232584 3382093 1543427 (D) (D) (D) 6638371 177020 932274 1115211 1316783 3541288 1656153 531528 5728969 909402 6850273 143835 947031 1112461 1375352 3578679 1772515 496239 5847433 1002840 812112 rec. 15129468 498916 3138851 2474167 2650843 8762777 3308546 1008663 13079986 2049482 812113 firms 5994 1162 3757 771 236 5926 62 4 5992 2 6292 1283 3927 791 235 6236 51 2 6289 3 6705 1263 4250 879 238 6630 71 2 6703 2 7473 1466 4754 903 279 7402 65 4 7471 2 8740 1765 5648 972 283 8668 65 5 8738 2 812113 estab. 6194 1162 3760 776 244 5942 87 4 6033 161 6326 1286 3928 797 237 6248 64 6 6318 8 6738 1265 4255 883 249 6652 76 4 6732 6 7505 1467 4759 906 289 7421 75 4 7500 5 8783 1765 5649 973 294 8681 75 22 8778 5 812113 empl. 18679 0 7399 4871 2973 15243 1692 [c] [j] [g] 17364 0 7679 5020 2990 15689 [g] [c] 17300 64 19086 0 8272 5622 2973 16867 [g] [c] [j] [b] 21245 0 9293 5765 3589 18647 1764 [f] [j] [b] 22937 0 11170 6114 3539 20823 1662 [e] [j] [b] 812113 ann. pay. 224391 15294 69083 50047 36010 170434 24454 (D) (D) (D) 207238 14538 76021 54071 37893 182523 (D) (D) 205944 1294 235781 13971 86221 62931 39508 202631 (D) (D) (D) (D) 272334 17965 101753 67985 49014 236717 28573 (D) (D) (D) 292698 21654 123844 72314 46085 263897 22869 (D) (D) (D) 812113 rec. 939761 110242 479807 187054 103428 880531 47530 (D) (D) (D) 812191 firms 1674 338 886 244 98 1566 72 27 1665 9 1696 271 951 255 119 1596 65 25 1686 10 1659 308 898 226 121 1553 70 28 1651 8 1519 241 814 240 116 1411 70 30 1511 8 1304 226 655 215 104 1200 66 28 1294 10 812191 estab. 3107 340 897 266 118 1621 204 192 2017 1090 3067 277 961 272 135 1645 181 159 1985 1082 2978 313 914 241 135 1603 156 183 1942 1036 3056 241 830 247 137 1455 154 176 1785 1271 3109 226 659 224 132 1241 236 221 1698 1411 812191 empl. 26232 0 1790 1561 1294 4645 2764 [h] [j] [j] 25088 0 1888 1614 1582 5084 2765 [h] [j] [j] 26364 0 1841 1412 1598 4851 2899 [i] [j] [j] 30446 0 1634 1525 1566 4725 2662 [i] [j] [j] 29512 0 1352 1385 1380 4117 2699 [i] [j] [j] 812191 ann. pay. 307999 5598 22589 22178 20238 70603 53616 (D) (D) (D) 301661 5566 25892 23601 22981 78040 57511 (D) (D) (D) 318940 5885 25921 22662 29476 83944 55386 (D) (D) (D) 393421 5389 24671 26944 28218 85222 44812 (D) (D) (D) 415101 5002 21125 23201 25913 75241 49936 (D) (D) (D) 812191 rec. 1805438 24359 92115 75376 82324 274174 161312 (D) (D) (D) 812199 firms 8069 1465 4262 1533 557 7817 232 18 8067 2 8508 1559 4456 1564 659 8238 250 18 8506 2 8995 1732 4571 1628 722 8653 316 24 8993 2 9701 1845 4839 1819 797 9300 375 22 9697 4 9329 1774 4253 2035 859 8921 380 25 9326 3 812199 estab. 8510 1470 4267 1565 647 7949 413 111 8473 37 8889 1560 4465 1595 738 8358 408 121 8887 2 9345 1732 4579 1650 788 8749 459 135 9343 2 10093 1847 4846 1838 868 9399 531 129 10059 34 9877 1774 4257 2047 926 9004 678 156 9838 39 812199 empl. 35786 0 8619 9828 7216 25663 7509 [g] [k] [f] 39283 0 9093 10135 8599 27827 8309 [h] [k] [f] 43467 0 9336 10658 9449 29443 10683 [h] [k] [e] 48309 0 9736 11822 10223 31781 12777 [h] [k] [f] 50056 0 9235 13221 11102 33558 12457 [h] [k] [f] 812199 ann. pay. 439418 26850 94009 85328 74747 280934 103488 (D) (D) (D) 498315 28662 104041 93899 92362 318964 114841 (D) (D) (D) 560780 28555 112174 102335 105364 348428 140098 (D) (D) (D) 624766 32907 120346 114454 112488 380195 168923 (D) (D) (D) 636926 35744 106691 121391 120917 384743 171066 (D) (D) (D) 812199 rec. 2290111 179122 508478 426672 379783 1494055 512763 (D) (D) (D) 812210 firms 11519 558 5313 3419 1626 10916 567 27 11510 9 11414 580 5242 3310 1675 10807 570 25 11402 12 11353 573 5184 3257 1713 10727 583 33 11343 10 11435 643 5181 3252 1686 10762 621 42 11425 10 11427 593 5138 3200 1752 10683 690 43 11416 11 812210 estab. 16215 559 5453 3890 2197 12099 1260 154 13513 2702 16097 584 5378 3741 2232 11935 1233 135 13303 2794 16121 582 5318 3649 2289 11838 1246 225 13309 2812 16103 652 5326 3659 2218 11855 1287 295 13437 2666 16228 595 5208 3569 2401 11773 1574 232 13579 2649 812210 empl. 105776 0 12644 22526 20740 55910 17515 2349 75774 30002 104764 0 12461 21708 21404 55573 17655 2006 75234 29530 109157 0 12367 21364 21947 55678 18556 3174 77408 31749 112590 0 12367 21303 21607 55277 19299 4386 78962 33628 105050 0 12528 21138 22571 56237 21742 3980 81959 23091 812210 ann. pay. 2499299 14186 326565 569840 517368 1427959 456829 52616 1937404 561895 2571288 16288 341030 570898 550548 1478764 468377 52486 1999627 571661 2711245 16335 340550 572222 573260 1502367 488723 73693 2064783 646462 2773635 19604 355111 590224 576775 1541714 510085 108320 2160119 613516 2813190 16302 361825 587645 615337 1581109 576500 105585 2263194 549996 812210 rec. 10961391 121249 1963276 2309257 2084686 6478468 1794792 344861 8618121 2343270 812220 firms 5407 970 3048 726 360 5104 248 38 5390 17 5276 876 3051 717 331 4975 252 35 5262 14 5229 843 3009 742 341 4935 243 38 5216 13 5192 831 2962 743 346 4882 254 43 5179 13 4737 827 2541 736 335 4439 229 49 4717 20 812220 estab. 6878 970 3050 732 397 5149 358 168 5675 1203 6779 876 3052 725 357 5010 360 282 5652 1127 6757 843 3010 749 371 4973 335 278 5586 1171 6694 834 2963 746 376 4919 425 259 5603 1091 6249 827 2545 742 365 4479 445 259 5183 1066 812220 empl. 60906 0 5998 4562 4583 15143 7751 3564 26458 34448 55346 0 5923 4609 4246 14778 7885 3524 26187 29159 57001 0 5876 4769 4317 14962 7852 3873 26687 30314 57750 0 5742 4694 4383 14819 8101 3757 26677 31073 42082 0 5217 4686 4236 14139 7301 4202 25642 16440 812220 ann. pay. 1205700 20502 86464 93100 115007 315073 245621 104863 665557 540143 1186280 15401 90543 100698 114214 320856 255897 129055 705808 480472 1226112 12866 93477 104189 120263 330795 266435 119599 716829 509283 1304362 15386 94232 109233 128077 346928 289126 127605 763659 540703 1058189 7783 84990 106028 122504 321305 263838 150692 735835 322354 812220 rec. 3409005 33929 288112 305381 321563 948985 645035 503607 2097627 1311378 812310 firms 12264 1292 7513 2109 877 11791 416 48 12255 9 11804 1067 7475 2023 813 11378 376 39 11793 11 11301 987 7099 1977 816 10879 372 39 11290 11 10930 987 6922 1854 725 10488 391 37 10916 14 10996 1131 6892 1873 691 10587 362 35 10984 12 812310 estab. 13992 1295 7564 2216 1182 12257 925 550 13732 260 13487 1075 7527 2150 1090 11842 865 347 13054 433 12956 996 7145 2101 1098 11340 830 377 12547 409 12565 990 6979 1955 975 10899 837 348 12084 481 12521 1131 6928 1972 906 10937 821 311 12069 452 812310 empl. 56567 0 15872 13401 10687 39960 10220 3080 53260 3307 53588 0 15708 12795 9997 38500 8780 1579 48859 4729 53310 0 14965 12511 9908 37384 9046 2646 49076 4234 51528 0 14566 11774 8911 35251 9438 2288 46977 4551 49179 0 14657 11797 8507 34961 8563 1561 45085 4094 812310 ann. pay. 709894 18341 148650 126150 117690 410831 145434 57899 614164 95730 668672 15884 154305 127190 113377 410756 128465 24546 563767 104905 714956 14285 153188 123637 115514 406624 145463 50307 602394 112562 722076 13605 156161 119909 106294 395969 146342 50761 593072 129004 669971 15827 157284 123346 100854 397311 129701 27983 554995 114976 812310 rec. 3438898 112469 921646 489764 333000 1856879 484594 127632 2469105 969793 812320 firms 24174 2133 10982 5257 3474 21846 2157 155 24158 16 23786 2181 10757 5076 3400 21414 2191 161 23766 20 23753 2369 10770 4918 3367 21424 2152 157 23733 20 23572 2371 10796 4868 3267 21302 2090 159 23551 21 23714 2384 11245 4721 3216 21566 1983 143 23692 22 812320 estab. 27674 2145 11001 5334 3816 22296 3806 1141 27243 431 27382 2184 10781 5142 3730 21837 3754 1199 26790 592 27324 2381 10795 4988 3694 21858 3715 1149 26722 602 27026 2379 10828 4943 3565 21715 3584 1118 26417 609 27059 2386 11266 4795 3518 21965 3388 1099 26452 607 812320 empl. 203388 0 24234 34588 46107 104929 72379 21079 198387 5001 203807 0 23661 33520 45200 102381 73459 22130 197970 5837 201742 0 23685 32543 44999 101227 72425 22276 195928 5814 197888 0 23627 32251 43752 99630 69275 20931 189836 8052 190399 0 25164 31225 43243 99632 65782 17390 182804 7595 812320 ann. pay. 2683906 59776 285408 394726 560132 1300042 995943 327622 2623607 60299 2804853 51928 292939 400133 587093 1332093 1041141 343140 2716374 88479 2819649 54640 303271 395611 569922 1323444 1038624 362617 2724685 94964 2835945 55608 313850 405397 575233 1350088 1019632 330191 2699911 136034 2819867 54010 352373 412958 582748 1402089 993733 289219 2685041 134826 812320 rec. 7851550 258932 1622921 1268459 1465211 4615523 2221887 694772 7532182 319368 812331 firms 952 67 256 136 146 605 233 83 921 31 919 51 260 135 132 578 225 83 886 33 890 50 231 142 118 541 241 80 862 28 850 37 217 148 113 515 221 85 821 29 770 46 184 122 109 461 197 82 740 30 812331 estab. 1266 69 256 136 146 607 239 122 968 298 1270 51 260 135 132 578 232 119 929 341 1240 50 231 142 119 542 247 120 909 331 1191 37 217 148 113 515 227 123 865 326 1107 46 184 122 110 462 203 126 791 316 812331 empl. 53644 0 542 916 2008 3466 10320 12038 25824 27820 57255 0 565 912 1860 3337 9792 12195 25324 31931 56585 0 511 963 1580 3054 10453 12423 25930 30655 56582 0 475 981 1515 2971 9579 12823 25373 31209 54591 0 427 824 1496 2747 8914 12496 24157 30434 812331 ann. pay. 1078445 5759 7212 13467 31896 58334 191160 251220 500714 577731 1175062 2346 8215 15055 29663 55279 194388 268700 518367 656695 1232823 1114 8306 17889 24353 51662 214067 273732 539461 693362 1255752 1455 8931 20197 25064 55647 196322 292158 544127 711625 1281628 2530 8053 15965 31632 58180 193556 319388 571124 710504 812331 rec. 3302845 9548 34751 52319 84643 181261 478192 781945 1441398 1861447 812332 firms 757 40 156 102 95 393 245 84 722 35 708 40 162 98 80 380 222 73 675 33 663 43 141 91 79 354 201 78 633 30 630 30 144 90 77 341 188 72 601 29 575 24 134 76 74 308 180 59 547 28 812332 estab. 1598 40 156 102 96 394 264 169 827 771 1619 40 163 98 81 382 239 157 778 841 1531 43 142 91 81 357 214 162 733 798 1488 36 145 90 80 351 202 148 701 787 1423 24 134 76 75 309 203 137 649 774 812332 empl. 79183 0 396 681 1279 2356 10612 11548 24516 54667 78430 0 356 655 1119 2130 10079 10478 22687 55743 77856 0 311 605 1110 2026 9007 11217 22250 55606 77724 0 334 597 1059 1990 8378 10539 20907 56817 77071 0 309 522 990 1821 8517 9214 19552 57519 812332 ann. pay. 1892648 6065 5419 9445 23609 44538 227954 270981 543473 1349175 1940020 1082 5078 11154 18776 36090 228854 263481 528425 1411595 1975394 2450 5106 9553 19897 37006 203138 274980 515124 1460270 1937594 1957 5356 12008 18935 38256 197188 273742 509186 1428408 2031018 1512 5396 10344 18573 35825 206267 236822 478914 1552104 812332 rec. 5885888 6959 32160 55974 51918 147011 517076 610786 1274873 4611015 812910 firms 6742 1024 4244 1042 332 6642 92 5 6739 3 6857 901 4349 1140 363 6753 98 4 6855 2 7025 989 4330 1189 399 6907 110 4 7021 4 7436 1054 4496 1285 456 7291 138 4 7433 3 8130 1170 4832 1420 547 7969 151 6 8126 4 812910 estab. 6769 1024 4244 1042 332 6642 93 6 6741 28 6894 901 4351 1140 363 6755 99 4 6858 36 7061 991 4330 1189 399 6909 110 4 7023 38 7482 1054 4498 1292 458 7302 138 4 7444 38 8188 1170 4834 1426 549 7979 157 10 8146 42 812910 empl. 23449 0 8499 6646 4234 19379 2564 513 22456 993 24908 0 8754 7197 4662 20613 2772 [f] [j] [f] 26767 0 8777 7658 5108 21543 3165 584 25292 1475 28954 0 9183 8244 5841 23268 3945 [g] [k] [f] 32177 0 10102 9037 6982 26121 4136 [g] [k] [f] 812910 ann. pay. 314354 10847 100984 80034 53095 244960 40148 10954 296062 18292 337383 12419 108912 90844 62440 274615 44642 (D) (D) (D) 365318 11823 112181 97323 69803 291130 50828 10653 352611 12707 413219 14361 119440 109600 80933 324334 62958 (D) (D) (D) 472468 16163 132242 122983 99458 370846 67477 (D) (D) (D) 812910 rec. 1505152 84882 525925 359576 250784 1221167 165014 (D) (D) (D) 812921 firms 2331 174 943 479 350 1946 326 42 2314 17 2204 141 902 471 316 1830 315 43 2188 16 2062 133 830 448 292 1703 298 46 2047 15 1958 124 808 416 256 1604 296 44 1944 14 1772 112 768 348 251 1479 250 34 1763 9 812921 estab. 3383 174 945 483 365 1967 435 81 2483 900 3402 141 904 477 332 1854 420 81 2355 1047 3268 133 832 455 303 1723 396 82 2201 1067 3148 124 810 425 268 1627 382 92 2101 1047 2890 112 774 351 261 1498 296 103 1897 993 812921 empl. 57140 0 2104 3112 4647 9863 12138 6450 28451 28689 50330 0 1972 3112 4186 9270 11776 6773 27819 22511 48935 0 1798 2931 3843 8572 11150 7019 26741 22194 49758 0 1739 2711 3366 7816 10899 6441 25156 24602 40096 0 1678 2272 3286 7236 8866 5551 21653 18443 812921 ann. pay. 1352798 19626 38246 60222 103747 221841 323036 158710 703587 649211 1287000 5491 38046 62378 93453 199368 320761 174473 694602 592398 1287153 3842 33591 61821 97265 196519 317519 189385 703423 583730 1328143 3021 33931 58548 78179 173679 303854 184143 661676 666467 1099506 7104 33302 48687 76759 165852 261721 149130 576703 522803 812921 rec. 3354855 39880 149525 154843 206696 550944 677706 450112 1678762 1676093 812922 firms 2271 210 1279 473 208 2170 90 4 2264 7 2132 172 1225 432 206 2035 85 6 2126 6 1981 141 1155 394 191 1881 90 4 1975 6 1782 156 1013 371 162 1702 71 4 1777 5 1531 89 921 301 146 1457 65 6 1528 3 812922 estab. 3066 210 1283 499 274 2266 258 66 2590 476 2867 174 1236 458 274 2142 241 65 2448 419 2575 142 1163 422 251 1978 238 62 2278 297 2209 156 1025 402 222 1805 181 56 2042 167 1920 90 927 319 185 1521 173 57 1751 169 812922 empl. 15102 0 2866 2994 2586 8446 2523 328 11297 3805 14501 0 2761 2812 2558 8131 2478 [f] [j] [h] 12595 0 2547 2604 2420 7571 2495 782 10848 1747 10608 0 2220 2415 2119 6754 1965 [f] [i] [g] 9151 0 1994 1954 1852 5800 1597 [f] [i] [g] 812922 ann. pay. 228990 3617 38789 43968 36472 122846 38062 6785 167693 61297 210325 3039 41607 41545 40817 127008 40461 (D) (D) (D) 196776 3032 39111 39421 38923 120487 43914 11176 175577 21199 169194 2745 34692 37912 38763 114112 32805 (D) (D) (D) 140088 1737 30643 31173 30112 93665 25183 (D) (D) (D) 812922 rec. 539653 10160 149151 119300 97778 376389 81902 (D) (D) (D) 812930 firms 2070 190 831 420 209 1650 300 86 2036 34 1921 225 779 389 203 1596 220 70 1886 35 1954 221 783 413 201 1618 234 66 1918 36 1994 245 805 379 209 1638 255 68 1961 33 2289 257 961 454 242 1914 265 72 2251 38 812930 estab. 9613 205 844 454 293 1796 813 1363 3972 5641 9811 261 895 415 316 1887 636 1358 3881 5930 10934 249 808 432 305 1794 660 1212 3666 7268 10661 245 824 417 297 1783 729 1180 3692 6969 11775 257 972 476 339 2044 800 1247 4091 7684 812930 empl. 78538 0 1873 2779 2709 7361 11321 14579 33261 45277 80570 0 1709 2531 2717 6957 8460 11487 26904 53666 81049 0 1762 2693 2649 7104 8909 11389 27402 53647 88259 0 1808 2472 2817 7097 10049 12572 29718 58541 86176 0 2225 2936 3195 8356 10187 13401 31944 54232 812930 ann. pay. 1081268 9949 31226 48089 39476 128740 150254 200828 479822 601446 1189905 6489 33429 46850 42488 129256 124395 189157 442808 747097 1151860 7697 35197 48348 43223 134465 140749 183986 459200 692660 1356739 10352 34947 46588 47353 139240 156915 200168 496323 860416 1365243 9629 45578 57785 57123 170115 153958 209594 533667 831576 812930 rec. 6687864 49332 237803 252581 233040 772756 591760 891185 2255701 4432163 812990 firms 8007 2620 3627 974 430 7651 286 41 7978 29 9960 3404 4523 1088 502 9517 347 64 9928 32 13314 4348 6355 1395 670 12768 443 75 13286 28 11213 2946 5851 1308 611 10716 390 79 11185 28 17467 4588 8354 2385 1240 16567 780 94 17441 26 812990 estab. 8308 2622 3633 981 448 7684 357 110 8151 157 10267 3404 4529 1096 520 9549 409 176 10134 133 13743 4391 6363 1400 692 12846 510 233 13589 154 11646 2947 5856 1313 628 10744 477 276 11497 149 17900 4588 8359 2389 1257 16593 836 328 17757 143 812990 empl. 40560 0 7073 6267 5718 19058 10061 5390 34509 6051 52419 0 8701 6963 6674 22338 12559 9509 44406 8013 65009 0 12041 8927 8865 29833 16001 12164 57998 7011 62969 0 10972 8461 8051 27484 14487 13277 55248 7721 98755 0 16607 15580 16571 48758 27973 15488 92219 6536 812990 ann. pay. 899951 66453 140850 113941 102314 423558 186721 89208 699487 200464 1178663 91232 184583 129097 132879 537791 299790 154177 991758 186905 1468143 125013 262962 170160 187265 745400 303595 269793 1318788 149355 1385288 66034 242603 163104 169775 641516 271213 241730 1154459 230829 2037431 117026 345219 312334 321040 1095619 494308 303011 1892938 144493 812990 rec. 7486867 722746 1938159 1264030 1053436 4978371 1419560 776503 7174434 312433 813110 firms 161205 5581 85392 37075 17754 145802 14291 1002 161095 110 164446 6506 85840 37887 18229 148462 14807 1066 164335 111 166598 6705 85947 38542 18679 149873 15440 1169 166482 116 165859 6029 84980 38873 18943 148825 15712 1210 165747 112 172311 7532 87434 40589 19482 155037 15942 1213 172192 119 813110 estab. 161332 5581 85393 37076 17759 145809 14336 1048 161193 139 164574 6506 85841 37889 18233 148469 14854 1102 164425 149 166716 6707 85949 38543 18685 149884 15484 1202 166570 146 165984 6029 84983 38874 18951 148837 15761 1246 165844 140 172562 7532 87436 40589 19485 155042 16009 1272 172323 239 813110 empl. 1469479 0 192115 240091 236535 668741 539166 164597 1372504 96975 1517882 0 192299 245550 243445 681294 561687 175519 1418500 99382 1569353 0 192972 249912 249364 692248 587271 187485 1467004 102349 1595009 0 191539 252752 253292 697583 598202 196792 1492577 102432 1638915 0 200736 261971 259923 722630 607209 197037 1526876 112039 813110 ann. pay. 18855527 87838 2007913 2584394 2794289 7474434 6859178 2659056 16992668 1862859 20390610 122886 2124993 2772870 3019986 8040735 7410576 2918466 18369777 2020833 22089462 147168 2242849 2960284 3225583 8575884 8022148 3219807 19817839 2271623 23294649 108633 2347702 3102665 3425528 8984528 8515581 3535837 21035946 2258703 24843744 138677 2521215 3324490 3607367 9591749 9046341 3703308 22341398 2502346 813110 rec. 82910385 581781 8926690 11243940 11998419 32750830 29654114 12089227 74494171 8416214 813211 firms 5703 508 3795 660 325 5288 263 69 5620 83 5754 445 3822 694 352 5313 293 70 5676 78 6046 544 3872 787 362 5565 331 68 5964 82 6532 563 4187 861 402 6013 363 75 6451 81 7277 665 4693 924 440 6722 380 82 7184 93 813211 estab. 5898 508 3795 666 344 5313 305 89 5707 191 5941 445 3822 701 367 5335 336 96 5767 174 6237 544 3873 793 376 5586 372 95 6053 184 6727 563 4188 875 412 6038 404 103 6545 182 7502 665 4694 946 493 6798 466 120 7384 118 813211 empl. 40237 0 6888 4192 4232 15312 9045 9151 33508 6729 41174 0 7123 4468 4538 16129 9839 9304 35272 5902 44368 0 7239 5116 4740 17095 11542 8011 36648 7720 47459 0 7891 5595 5285 18771 13038 9907 41716 5743 51024 0 8796 5912 5810 20518 13916 10136 44570 6454 813211 ann. pay. 1490037 37374 215272 155622 160200 568468 341155 296506 1206129 283908 1477408 10493 236609 170146 175193 592441 386631 328336 1307408 170000 1624854 17504 249270 205547 181599 653920 452005 325247 1431172 193682 1854652 22490 282335 230470 205083 740378 538815 397461 1676654 177998 2076295 28377 320021 245028 233146 826572 609981 422533 1859086 217209 813211 rec. 24294638 737414 4592832 3234067 3742770 12307083 5876147 5408587 23591817 702821 813212 firms 2235 164 927 389 277 1757 272 87 2116 119 2243 107 964 391 288 1750 288 81 2119 124 2243 110 949 394 286 1739 297 87 2123 120 2293 92 975 409 305 1781 313 85 2179 114 2438 117 1085 388 322 1912 311 92 2315 123 813212 estab. 3492 164 927 398 317 1806 454 238 2498 994 3545 108 965 399 321 1793 467 218 2478 1067 3534 111 949 400 329 1789 472 201 2462 1072 3620 92 975 420 339 1826 493 217 2536 1084 3926 117 1085 400 363 1965 512 363 2840 1086 813212 empl. 44149 0 1933 2599 3736 8268 9856 8219 26343 17806 46219 0 2006 2577 3843 8426 10819 8013 27258 18961 49147 0 1997 2627 3795 8419 11196 8979 28594 20553 51362 0 2077 2756 4124 8957 11643 9849 30449 20913 53470 0 2214 2600 4270 9084 11626 9840 30550 22920 813212 ann. pay. 1265706 18502 49799 77157 108517 253975 262375 201582 717932 547774 1426592 2799 53738 75553 115204 247294 309635 223155 780084 646508 1609334 3846 54765 82609 126065 267285 328240 258052 853577 755757 1821778 3948 62115 89451 139560 295074 361236 331889 988199 833579 1974250 7797 68402 88434 156789 321422 384763 321891 1028076 946174 813212 rec. 7644145 26285 413114 450048 636400 1525847 1607989 1249404 4383240 3260905 813219 firms 2684 180 1466 412 260 2318 261 88 2667 17 2794 126 1552 439 273 2390 282 100 2772 22 2899 178 1546 474 281 2479 298 102 2879 20 3040 169 1661 488 287 2605 307 107 3019 21 3259 196 1786 523 308 2813 310 111 3234 25 813219 estab. 2959 180 1466 416 265 2327 363 240 2930 29 3054 126 1552 443 277 2398 361 257 3016 38 3154 182 1546 475 286 2489 373 260 3122 32 3301 169 1664 491 295 2619 378 236 3233 68 3524 196 1786 525 320 2827 379 254 3460 64 813219 empl. 29272 0 2931 2736 3512 9179 10256 9304 28739 533 33949 0 3166 2911 3628 9705 11024 11700 32429 1520 35358 0 3148 3118 3743 10009 11772 12626 34407 951 37126 0 3371 3217 3873 10461 12180 12344 34985 2141 39306 0 3566 3410 4108 11084 12622 13346 37052 2254 813219 ann. pay. 884810 5188 69302 76622 103663 254775 321418 296985 873178 11632 1055660 6279 78765 84374 109345 278763 363525 374007 1016295 39365 1154173 4384 79489 96109 115890 295872 403519 411549 1110940 43233 1274691 5705 93355 103529 123579 326168 443741 421828 1191737 82954 1365435 6369 100916 112584 137544 357413 458410 477491 1293314 72121 813219 rec. 14579643 52405 932792 1255641 1170206 3411044 5339243 5422466 14172753 406890 813311 firms 1526 135 718 287 179 1319 146 45 1510 16 1579 80 750 301 209 1340 180 42 1562 17 1619 117 695 314 230 1356 196 49 1601 18 1705 94 752 338 254 1438 197 49 1684 21 1901 119 878 363 255 1615 205 61 1881 20 813311 estab. 1843 135 718 291 191 1335 206 208 1749 94 1958 80 750 306 222 1358 245 249 1852 106 2012 117 695 318 241 1371 260 264 1895 117 2134 94 752 342 266 1454 259 247 1960 174 2372 119 878 365 273 1635 317 275 2227 145 813311 empl. 18151 0 1513 1915 2370 5798 4595 4169 14562 3589 21937 0 1644 2029 2785 6458 6378 5126 17962 3975 24029 0 1538 2072 2994 6604 6735 5954 19293 4736 25484 0 1592 2198 3324 7114 6876 5944 19934 5550 27894 0 1831 2367 3400 7598 7078 7446 22122 5772 813311 ann. pay. 494410 3396 36020 46117 60083 145616 119771 107804 373191 121219 597212 1488 41184 51466 73175 167313 159934 138319 465566 131646 684911 2812 38611 55056 79785 176264 172987 176928 526179 158732 783674 2815 43223 60302 95317 201657 193702 177476 572835 210839 872407 3153 49670 69122 100611 222556 201980 257300 681836 190571 813311 rec. 3704259 31224 195111 210736 328754 765825 582539 1595821 2944185 760074 813312 firms 3274 271 1574 634 437 2916 294 51 3261 13 3344 186 1645 694 443 2968 320 43 3331 13 3431 198 1623 723 485 3029 347 42 3418 13 3635 193 1722 783 495 3193 380 50 3623 12 3922 238 1929 774 536 3477 376 53 3906 16 813312 estab. 3880 271 1575 635 456 2937 451 275 3663 217 4078 186 1647 696 458 2987 468 227 3682 396 4227 208 1624 724 498 3054 508 351 3913 314 4504 193 1725 786 508 3212 533 390 4135 369 4835 238 1933 778 560 3509 559 295 4363 472 813312 empl. 31988 0 3333 4221 5800 13354 10767 5027 29148 2840 33746 0 3440 4600 5909 13949 11069 5115 30133 3613 36882 0 3442 4783 6398 14623 12315 5240 32178 4704 40125 0 3672 5171 6612 15455 13538 6642 35635 4490 41886 0 4160 5133 7190 16483 13304 6973 36760 5126 813312 ann. pay. 721629 7344 62685 78273 114777 263079 226046 141834 630959 90670 790538 5984 72939 88705 115721 283349 245170 141067 669586 120952 905609 5924 76430 96953 131655 310962 290993 173353 775308 130301 1058498 9625 87082 113300 149389 359396 321541 231649 912586 145912 1149787 6303 100536 114851 168670 390360 338371 246105 974836 174951 813312 rec. 3946705 33176 430522 386810 593246 1443754 906898 770097 3120749 825956 813319 firms 4075 365 2073 689 416 3543 358 135 4036 39 4160 265 2087 757 424 3533 444 146 4123 37 4245 313 2057 770 467 3607 455 143 4205 40 4642 327 2298 858 495 3978 467 152 4597 45 5651 474 2987 968 566 4995 469 142 5606 45 813319 estab. 4675 365 2075 700 441 3581 502 433 4516 159 4705 267 2089 765 449 3570 590 404 4564 141 4818 315 2059 778 504 3656 584 420 4660 158 5248 330 2301 868 538 4037 595 452 5084 164 6278 476 2991 980 584 5031 642 426 6099 179 813319 empl. 39400 0 4248 4404 5545 14197 12284 9341 35822 3578 44424 0 4359 4902 5803 15064 15436 10340 40840 3584 46913 0 4329 4961 6190 15480 15870 11510 42860 4053 51298 0 4785 5606 6611 17002 15859 12786 45647 5651 54437 0 6087 6251 7556 19894 15932 12267 48093 6344 813319 ann. pay. 1004232 10416 103180 111879 146822 372297 319635 236129 928061 76171 1145632 8862 108471 129347 158820 405500 390211 268437 1064148 81484 1246385 9695 112218 133610 173317 428840 421877 297181 1147898 98487 1397230 8434 134125 158275 191399 492233 437415 339290 1268938 128292 1562583 16336 170750 184944 222333 594363 454103 354700 1403166 159417 813319 rec. 5289186 107105 711061 694052 673979 2186197 1459675 1012882 4658754 630432 813410 firms 30183 1988 15650 6292 3480 27410 2268 425 30103 80 29762 1609 15691 6263 3411 26974 2260 446 29680 82 29739 1766 15323 6325 3452 26866 2331 452 29649 90 29742 1786 15253 6322 3439 26800 2378 467 29645 97 28975 1806 14475 6368 3338 25987 2422 468 28877 98 813410 estab. 32063 1988 15655 6325 3651 27619 2865 959 31443 620 31642 1609 15697 6299 3552 27157 2875 1021 31053 589 31628 1766 15333 6359 3590 27048 2926 1059 31033 595 31711 1786 15256 6355 3560 26957 2969 1148 31074 637 31176 1809 14476 6387 3470 26142 3268 1128 30538 638 813410 empl. 314725 0 31244 41313 45677 118234 83315 65174 266723 48002 320681 0 31569 41303 45280 118152 83702 67038 268892 51789 330697 0 30864 41646 45723 118233 85898 70549 274680 56017 339182 0 30807 41603 45286 117696 88498 72921 279115 60067 339933 0 30023 41692 44201 115916 90588 73707 280211 59722 813410 ann. pay. 3890204 30852 344984 411718 493086 1280640 1195262 856902 3332804 557400 4044190 24367 371147 421004 496141 1312659 1225263 920195 3458117 586073 4332728 33448 375416 438092 521189 1368145 1321915 988736 3678796 653932 4700999 33706 397264 452521 542519 1426010 1438597 1068628 3933235 767764 4789128 32818 384592 466461 524363 1408234 1505267 1123370 4036871 752257 813410 rec. 16117675 215275 2363440 2196555 2076162 6851432 4226702 2795465 13873599 2244076 813910 firms 16076 656 10641 2602 1088 14987 914 146 16047 29 16534 583 10747 2799 1253 15382 978 146 16506 28 16542 622 10639 2831 1277 15369 995 150 16514 28 16625 620 10657 2892 1264 15433 1010 151 16594 31 16355 683 10500 2762 1199 15144 1036 150 16330 25 813910 estab. 16641 660 10645 2623 1160 15088 1178 326 16592 49 17154 589 10750 2818 1331 15488 1300 328 17116 38 17144 624 10654 2856 1342 15476 1313 314 17103 41 17214 620 10673 2919 1329 15541 1301 318 17160 54 16937 683 10511 2788 1272 15254 1327 309 16890 47 813910 empl. 116928 0 22023 16746 14256 53025 32714 19348 105087 11841 121817 0 22366 17823 16384 56573 35048 19687 111308 10509 127217 0 22598 18133 16642 57373 35783 20781 113937 13280 129650 0 22694 18490 16502 57686 36598 20590 114874 14776 120671 0 22323 17664 15646 55633 36570 20324 112527 8144 813910 ann. pay. 4477273 28839 571805 528425 537278 1666347 1435856 964339 4066542 410731 4922933 26685 605359 596780 630609 1859433 1652858 1038604 4550895 372038 5288226 26606 637014 631298 674255 1969173 1708397 1136409 4813979 474247 5599951 26070 673383 659333 687984 2046770 1807166 1215255 5069191 530760 5581162 23194 684468 666795 682915 2057372 1843610 1261271 5162253 418909 813910 rec. 19049690 128064 2633399 2242121 2187491 7191075 5949349 3783386 16923810 2125880 813920 firms 7621 470 4496 1277 673 6916 568 118 7602 19 7140 444 4279 1132 574 6429 566 125 7120 20 7202 443 4276 1161 581 6461 583 138 7182 20 7328 461 4277 1207 624 6569 592 143 7304 24 7258 529 4261 1121 609 6520 581 135 7236 22 813920 estab. 7928 470 4498 1290 698 6956 711 224 7891 37 7429 444 4280 1137 593 6454 696 237 7387 42 7493 443 4278 1165 600 6486 704 257 7447 46 7653 461 4279 1212 637 6589 714 270 7573 80 7630 529 4263 1127 625 6544 725 273 7542 88 813920 empl. 69482 0 9196 8293 8788 26277 [j] [j] [l] [h] 75037 0 8668 7342 7584 23594 22254 [j] [l] [j] 78577 0 8631 7562 7681 23874 22348 [j] [l] [j] 82207 0 8670 7868 8349 24887 22696 [j] [l] [j] 77456 [a] 8613 7272 8119 [j] 23211 [j] [l] [i] 813920 ann. pay. 2703465 49958 264042 274879 315047 903926 (D) (D) (D) (D) 2832918 18193 254736 245810 282518 801257 904596 (D) (D) (D) 3047829 14595 264931 264644 300324 844494 928232 (D) (D) (D) 3436845 18485 277260 288192 348187 932124 997899 (D) (D) (D) 3536327 (D) 285315 285487 349004 (D) 1077774 (D) (D) (D) 813920 rec. 11409755 (D) 1298371 1039887 1171825 (D) 3532638 (D) (D) (D) 813930 firms 17952 803 8587 4397 2624 16411 1384 137 17932 20 17382 787 8347 4180 2513 15827 1394 141 17362 20 16963 883 7909 4075 2500 15367 1428 151 16946 17 16666 881 7840 4004 2377 15102 1399 147 16648 18 16689 881 7261 4101 2792 15035 1491 141 16667 22 813930 estab. 18697 811 8594 4414 2679 16498 1578 398 18474 223 18197 789 8350 4201 2554 15894 1596 372 17862 335 17811 883 7912 4099 2539 15433 1627 395 17455 356 17476 881 7842 4025 2423 15171 1597 389 17157 319 17520 881 7262 4115 2844 15102 1680 419 17201 319 813930 empl. 167206 0 18609 29158 34532 82299 48812 24604 155715 11491 166926 0 18005 27945 33570 79520 49826 25443 154789 12137 168175 0 17064 27219 33497 77780 51123 27836 156739 11436 163284 0 16749 26728 31607 75084 50238 26893 152215 11069 170894 0 16570 27509 36848 80927 53123 24307 158357 12537 813930 ann. pay. 3558338 16417 331710 411389 555662 1315178 1011873 815058 3142109 416229 3728856 12401 335113 422676 585132 1355322 1071312 844438 3271072 457784 3921562 15971 329780 433067 619787 1398605 1108336 982776 3489717 431845 4047683 20545 334009 456267 615371 1426192 1168104 996510 3590806 456877 4362340 19644 324702 471548 677182 1493076 1330876 977740 3801692 560648 813930 rec. 13997265 94712 1378220 1571443 2061000 5105375 4050999 3046628 12203002 1794263 813940 firms 2429 557 1404 261 121 2343 78 7 2428 1 1989 389 1245 186 86 1906 75 7 1988 1 2540 564 1511 257 118 2450 81 8 2539 1 2223 483 1363 213 87 2146 69 7 2222 1 2858 707 1650 269 141 2767 79 11 2857 1 813940 estab. 2435 557 1404 262 122 2345 82 7 2434 1 1995 389 1245 187 87 1908 79 7 1994 1 2546 564 1511 257 120 2452 85 8 2545 1 2229 483 1363 213 89 2148 73 7 2228 1 2864 707 1650 269 144 2770 81 12 2863 1 813940 empl. 9954 0 2628 1659 1608 5895 [h] [g] [i] [a] 8456 0 2211 1201 1109 4521 2853 [g] [i] [a] 10889 0 2698 1679 1505 5882 3262 [g] [j] [a] 8884 0 2434 1373 1143 4950 2510 [g] [i] [a] 11580 [a] 3105 1746 1837 [i] 2809 [g] [j] [a] 813940 ann. pay. 297652 21297 68798 52104 44089 186288 (D) (D) (D) (D) 249507 14873 53247 33031 30027 131178 82551 (D) (D) (D) 343605 20616 78635 48191 48366 195808 100064 (D) (D) (D) 288752 16101 62480 41122 34781 154484 88340 (D) (D) (D) 402376 (D) 89859 57587 66657 (D) 106757 (D) (D) (D) 813940 rec. 1432176 (D) 368828 188022 228485 (D) 340683 (D) (D) (D) 813990 firms 24033 2439 14701 3384 2128 22652 1244 103 23999 34 23704 2172 14597 3396 2164 22329 1234 107 23670 34 23757 2180 14491 3490 2182 22343 1270 109 23722 35 23664 2152 14437 3456 2203 22248 1265 117 23630 34 22580 2024 13685 3249 2197 21155 1261 134 22550 30 813990 estab. 24333 2439 14701 3388 2138 22666 1307 238 24211 122 23958 2172 14597 3402 2169 22340 1292 194 23826 132 24016 2180 14493 3494 2188 22355 1322 198 23875 141 23924 2152 14438 3461 2208 22259 1322 252 23833 91 22874 2024 13686 3252 2205 21167 1337 281 22785 89 813990 empl. 136787 0 26692 22579 28345 77616 41944 13543 133103 3684 139366 0 26524 22687 28813 78024 42494 14087 134605 4761 144373 0 26526 23311 29173 79010 44428 14867 138305 6068 144707 0 26622 22930 29395 78947 44236 16151 139334 5373 143426 0 25482 21636 29089 76207 43146 18306 137659 5767 813990 ann. pay. 3021439 43220 487901 480308 623420 1634849 912457 366963 2914269 107170 3334271 49861 501940 508935 649911 1710647 988253 479331 3178231 156040 3558797 38419 517973 539211 688806 1784409 1056974 484665 3326048 232749 3787007 39775 554308 553856 748097 1896036 1099542 585680 3581258 205749 3892929 33277 528653 540011 748715 1850656 1120480 669317 3640453 252476 813990 rec. 15985424 223152 2729872 2388153 3011058 8352235 4292022 2186333 14830590 1154834